JP2009151907A

JP2009151907A - Method of manufacturing magnetic head slider

Info

Publication number: JP2009151907A
Application number: JP2008013627A
Authority: JP
Inventors: Takashi Fujii; 隆司藤井; Jian Hui Huang; 堅輝黄; Anthony Reymund Melad Binarao; アンソニーレイモンドメラッドビナラオ; Shao Hui Yang; 少輝楊; Tatsuya Shimizu; 達也清水
Original assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Current assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Priority date: 2007-12-18
Filing date: 2008-01-24
Publication date: 2009-07-09
Also published as: CN101465125B; CN101465125A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a highly reliable magnetic head slider, with a simplified manufacturing process, which provides reduction in manufacturing time and costs. <P>SOLUTION: The manufacturing method includes a multi-layer forming step of forming a magnetic head section including a read element and/or a write element and a magnetic shield for magnetically shielding the read element and/or the write element. The magnetic head slider is manufactured by being cut off from a multi-layered body having the magnetic head section. The manufacturing method further includes, after the multi-layer forming step, a shield end removing step of removing end portions in a width direction of the magnetic shield located on the flying surface side of the magnetic head slider. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁気ヘッドスライダの製造方法にかかり、特に、薄膜形成された磁気ヘッド部を有する磁気ヘッドスライダの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head slider, and more particularly to a method for manufacturing a magnetic head slider having a magnetic head portion formed with a thin film.

近年における磁気ディスク装置の記録密度の進歩は目覚しく、今なお増加している。そして、これまで、磁気データをディスク面に対して水平に記録する面内記録方式と呼ばれる記録方式が主に採られている。しかし、この面内記録方式では、磁極が反発し合い、さらなる高密度化が困難である。仮に、記録媒体の膜圧を薄くして磁極の反発を抑え、高密度化が可能になったとしても、室温の熱エネルギーで記録磁化が不安定化する熱擾乱の問題を避けることができない。このため、近年では、さらに記録密度の増加を図ることができる垂直記録方式の磁気ディスク装置が実現されている。 In recent years, the recording density of magnetic disk devices has been remarkably improved and is still increasing. Until now, a recording method called an in-plane recording method for recording magnetic data horizontally with respect to the disk surface has been mainly employed. However, in this in-plane recording method, the magnetic poles repel each other, and it is difficult to further increase the density. Even if the film pressure of the recording medium is reduced to suppress the repulsion of the magnetic pole and the density can be increased, the problem of thermal disturbance in which the recording magnetization becomes unstable due to thermal energy at room temperature cannot be avoided. Therefore, in recent years, a perpendicular recording type magnetic disk apparatus capable of further increasing the recording density has been realized.

そして、垂直記録方式としては、例えば、ハードディスクに対して垂直に配置されたヘッド（単磁極型ヘッド）を使用して、二層記録メディアの裏打ち軟磁性層と単磁極ヘッドで挟まれた記録層に磁界を印加し、記録層の磁性体をディスク面に垂直な方向に磁化することで、データを記録する方法が用いられている。かかる方式によると、線記録密度を上げるほど隣接ビット間に働く反磁界が減少し、記録磁化が安定に保たれるという特性を有する。 As a perpendicular recording method, for example, a recording layer sandwiched between a backing soft magnetic layer of a two-layer recording medium and a single pole head using a head (single pole type head) arranged perpendicular to the hard disk A method of recording data by applying a magnetic field to the recording layer and magnetizing the magnetic material of the recording layer in a direction perpendicular to the disk surface is used. According to such a method, the demagnetizing field acting between adjacent bits decreases as the linear recording density increases, and the recording magnetization is kept stable.

ここで、下記特許文献１に開示された、従来例における垂直記録方式の薄膜磁気ヘッドを有する磁気ヘッドスライダの製造方法について、図１４乃至図２４を参照して説明する。 Here, a method of manufacturing a magnetic head slider having a perpendicular recording type thin film magnetic head disclosed in the following Patent Document 1 will be described with reference to FIGS.

特許文献１における磁気ヘッドは、まず、積層形成工程にて、めっき処理やスパッタリングなどの成膜技術、フォトリソグラフィやエッチングなどを利用したパターニング技術、ならびに機械加工や研磨加工などの研磨技術を含む既存の薄膜プロセスを使用して、図１５（ａ）に示すように、基体１００上に多層薄膜構造の磁気ヘッド部１１０を形成する（図１４のステップＳ１０１、ウエハ工程）。ここで、積層形成工程にて積層形成した磁気ヘッド部１１０の構成を、図１７を参照して説明する。なお、図１７（ｂ）は、磁気ヘッド部１１０の側方断面図であり、これを左側から見た断面図を図１７（ａ）に示している。 The magnetic head in Patent Document 1 first includes existing film formation techniques such as plating and sputtering, patterning techniques using photolithography and etching, and polishing techniques such as machining and polishing in the lamination process. As shown in FIG. 15A, the magnetic head portion 110 having a multilayer thin film structure is formed on the substrate 100 (step S101 in FIG. 14, wafer process). Here, the configuration of the magnetic head unit 110 formed by lamination in the lamination formation step will be described with reference to FIG. FIG. 17B is a side sectional view of the magnetic head portion 110, and FIG. 17A shows a sectional view of the magnetic head portion 110 viewed from the left side.

磁気ヘッド部１１０は、例えばアルティック（Ａｌ_２Ｏ_３・ＴｉＣ）などのセラミック材料よりなる基板１０１（基体１００）上に、例えば酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３；以下、単に「アルミナ」という）よりなる絶縁層１０２と、磁気抵抗効果（ＭＲ；Ｍａｇｎｅｔｏ−ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）を利用して再生処理を実行する再生ヘッド部１１０Ａと、垂直記録方式により記録処理を実行する記録ヘッド部１１０Ｂと、例えばアルミナなどよりなるオーバーコート層１１４とがこの順に積層された構成をなしている。以下、再生ヘッド部１１０Ａ部及び記録ヘッド部１１０Ｂについて、さらに詳述する。 The magnetic head unit 110 is made of, for example, aluminum oxide (Al ₂ O ₃ ; hereinafter simply referred to as “alumina”) on a substrate 101 (base 100) made of a ceramic material such as Altic (Al ₂ O ₃ .TiC). An insulating layer 102, a reproducing head unit 110A that performs a reproducing process using a magnetoresistive effect (MR), a recording head unit 110B that performs a recording process by a perpendicular recording system, and alumina, for example. And an overcoat layer 114 formed in this order. Hereinafter, the reproducing head unit 110A and the recording head unit 110B will be described in more detail.

上記再生ヘッド部１１０Ａは、例えば、下部シールド層１０３と、シールドギャップ膜１０４と、上部シールド層兼リターンヨーク層（以下、単に「リターンヨーク層」という）１０６と、がこの順に積層された構成をなしている。シールドギャップ膜１０４には、後述するエアベアリング面Ｓ（浮上面）に一端面が露出するように、磁気再生デバイスとしてのＭＲ素子１０５が埋設されている。下部シールド層１０３およびリターンヨーク層１０６は、主に、ＭＲ素子１０５を周囲から磁気的に遮蔽するものである。そして、下部シールド層１０３およびリターンヨーク層１０６は、例えば、ニッケル鉄合金（ＮｉＦｅ（以下、単に「パーマロイ（商品名）」という）；Ｎｉ：８０重量％，Ｆｅ：２０重量％）などの磁性材料により構成されている。 The reproducing head portion 110A has a configuration in which, for example, a lower shield layer 103, a shield gap film 104, and an upper shield layer / return yoke layer (hereinafter simply referred to as “return yoke layer”) 106 are laminated in this order. There is no. An MR element 105 as a magnetic reproducing device is embedded in the shield gap film 104 so that one end face is exposed on an air bearing surface S (floating surface) described later. The lower shield layer 103 and the return yoke layer 106 mainly shield the MR element 105 from the surroundings. The lower shield layer 103 and the return yoke layer 106 are made of, for example, a magnetic material such as a nickel iron alloy (NiFe (hereinafter simply referred to as “permalloy (trade name)”); Ni: 80 wt%, Fe: 20 wt%). It is comprised by.

また、シールドギャップ膜１０４は、下部シールド層１０３やリターンヨーク層１０６からＭＲ素子１０５を磁気的かつ電気的に分離するものである。このシールドギャップ膜１０４は、例えば、アルミナなどの非磁性非導電性材料により構成されている。そして、ＭＲ素子１０５は、例えば、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ；ＧｉａｎｔＭａｇｎｅｔｏ−ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）やトンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ；ＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭａｇｎｅｔｏ−ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）を利用して再生処理を実行するものである。 The shield gap film 104 magnetically and electrically separates the MR element 105 from the lower shield layer 103 and the return yoke layer 106. The shield gap film 104 is made of a nonmagnetic nonconductive material such as alumina, for example. The MR element 105 executes a reproducing process using, for example, a giant magnetoresistive effect (GMR) or a tunneling magnetoresistive effect (TMR).

上記記録ヘッド部１１０Ｂは、例えば、リターンヨーク層１０６と、薄膜コイル１０８を埋設するギャップ層１０７およびヨーク層１０９と、ギャップ層１０７に設けられた開口１０７Ｋを通じてヨーク層１０９を介してリターンヨーク層１０６と磁気的に連結された磁極層１１１と、絶縁層１１２と、ライトシールド層１１３と、がこの順に積層された構成をなしている。リターンヨーク層１０６は、上述したように、再生ヘッド部１１０ＡにおいてＭＲ素子１０５を周囲から磁気的に遮蔽する機能を担うと共に、記録ヘッド部１１０Ｂにおいて、磁極層１１１から放出された磁束をハードディスク（図示せず）を経由して環流させる機能を担うものである。このリターンヨーク層１０６は、例えば、パーマロイ（Ｎｉ：８０重量％，Ｆｅ：２０重量％）などの磁性材料により構成されている。 The recording head portion 110B includes, for example, the return yoke layer 106, the gap layer 107 and the yoke layer 109 in which the thin film coil 108 is embedded, and the return yoke layer 106 via the yoke layer 109 through the opening 107K provided in the gap layer 107. The magnetic pole layer 111, the insulating layer 112, and the write shield layer 113 that are magnetically coupled to each other are stacked in this order. As described above, the return yoke layer 106 has a function of magnetically shielding the MR element 105 from the surroundings in the reproducing head portion 110A, and at the recording head portion 110B, magnetic flux emitted from the pole layer 111 is transferred to the hard disk (FIG. It bears the function of refluxing via (not shown). The return yoke layer 106 is made of a magnetic material such as permalloy (Ni: 80 wt%, Fe: 20 wt%), for example.

また、ギャップ層１０７は、リターンヨーク層１０６上に配設され、開口１０７Ｋが設けられたギャップ層部分１０７Ａと、このギャップ層部分１０７Ａ上に配設され、薄膜コイル１０８の各巻線間よびその周辺領域を覆うギャップ層部分１０７Ｂと、ギャップ層部分１０７Ａ，１０７Ｂを部分的に覆うように配設されたギャップ層部分１０７Ｃと、を含んで構成されている。ギャップ層部分１０７Ａは、例えばアルミナなどの非磁性非導電性材料により構成されている。ギャップ層部分１０７Ｂは、例えば、加熱されることにより流動性を示すフォトレジスト（感光性樹脂）やスピンオングラス（ＳＯＧ）などにより構成されている。ギャップ層部分１０７Ｃは、例えばアルミナやシリコン酸化物（ＳｉＯ_２）などの非磁性非導電性材料により構成されており、その厚みはギャップ層部分１０７Ｂの厚みよりも大きくなっている。 The gap layer 107 is disposed on the return yoke layer 106, the gap layer portion 107A having an opening 107K, and the gap layer portion 107A is disposed between the windings of the thin film coil 108 and its periphery. A gap layer portion 107B covering the region and a gap layer portion 107C disposed so as to partially cover the gap layer portions 107A and 107B are configured. The gap layer portion 107A is made of a nonmagnetic nonconductive material such as alumina. The gap layer portion 107B is made of, for example, a photoresist (photosensitive resin) or spin-on glass (SOG) that exhibits fluidity when heated. The gap layer portion 107C is made of a nonmagnetic nonconductive material such as alumina or silicon oxide (SiO ₂ ), for example, and the thickness thereof is larger than the thickness of the gap layer portion 107B.

また、薄膜コイル１０８は、主に、記録用の磁束を発生させるものである。この薄膜コイル１０８は、例えば、銅（Ｃｕ）などの高導電性材料により構成されており、リターンヨーク層１０６とヨーク層１０９との連結部分を中心としてスパイラル状に巻回する巻線構造をなしている。なお、図１７（ｂ）では、薄膜コイル１０８を構成する複数の巻線のうちの一部のみを示している。また、ヨーク層１０９は、リターンヨーク層１０６と磁極層１１１との間を磁気的に連結させるためのものであり、例えばパーマロイ（Ｎｉ：８０重量％，Ｆｅ：２０重量％）などの磁性材料により構成されている。 The thin film coil 108 mainly generates a magnetic flux for recording. The thin film coil 108 is made of, for example, a highly conductive material such as copper (Cu), and has a winding structure in which the thin film coil 108 is spirally wound around the connection portion between the return yoke layer 106 and the yoke layer 109. ing. In FIG. 17B, only a part of the plurality of windings constituting the thin film coil 108 is shown. The yoke layer 109 is for magnetically connecting the return yoke layer 106 and the pole layer 111, and is made of a magnetic material such as permalloy (Ni: 80 wt%, Fe: 20 wt%). It is configured.

また、磁極層１１１は、主に、薄膜コイル１０８において発生した磁束を収容し、その磁束を磁気ディスク（図示せず）に向けて放出するものである。この磁極層１１１は、例えば、鉄コバルト合金（ＦｅＣｏ）、鉄系合金（Ｆｅ−Ｍ；Ｍは４Ａ，５Ａ，６Ａ，３Ｂ，４Ｂ族の金属元素）、あるいは、これらの各合金の窒化物などにより構成されている。絶縁層１１２は、主に、磁極層１１１とライトシールド層１１３との間を磁気的かつ電気的に分離するものであり、例えば、アルミナなどの非磁性非導電性材料により構成されている。ライトシールド層１１３は、主に、磁極層１１１を周囲から磁気的に遮蔽するものである。このライトシールド層１１３は、例えば、パーマロイ（Ｎｉ：８０重量％，Ｆｅ：２０重量％）などの磁性材料により構成されている。 The pole layer 111 mainly contains magnetic flux generated in the thin film coil 108 and emits the magnetic flux toward a magnetic disk (not shown). The pole layer 111 is made of, for example, an iron-cobalt alloy (FeCo), an iron-based alloy (Fe-M; M is a metal element of groups 4A, 5A, 6A, 3B, and 4B), or nitrides of these alloys. It is comprised by. The insulating layer 112 mainly separates the magnetic pole layer 111 and the write shield layer 113 magnetically and electrically, and is made of, for example, a nonmagnetic nonconductive material such as alumina. The write shield layer 113 mainly shields the magnetic pole layer 111 from the surroundings. The write shield layer 113 is made of a magnetic material such as permalloy (Ni: 80 wt%, Fe: 20 wt%).

次に、図１８を参照して、薄膜磁気ヘッドの要部の詳細な構成について説明する。図１８は、上述した磁気ヘッド部１１０の要部の平面構成を拡大して表している。つまり、図１７（ａ）に示した磁気ヘッド部を上方から見た図である。なお、ここでは、磁気ヘッド部の要部として、リターンヨーク層１０６と、磁極層１１１と、ライトシールド層１１３と、を挙げて説明する。 Next, with reference to FIG. 18, the detailed structure of the principal part of a thin film magnetic head is demonstrated. FIG. 18 shows an enlarged plan configuration of the main part of the magnetic head part 110 described above. That is, it is a view of the magnetic head portion shown in FIG. Here, description will be given by taking the return yoke layer 106, the pole layer 111, and the write shield layer 113 as the main parts of the magnetic head portion.

上述したリターンヨーク層１０６と、磁極層１１１と、ライトシールド層１１３とは、後述するように、基体１００上に磁気ヘッド部１１０が積層された積層体からバーブロック状に切り出されるときの切出面Ｓ’に、それぞれの一端部が露出される。そして、磁極層１１１は、切出面Ｓ’に露出する部分は、ディスク上の記録トラック幅を規定する極微小な一定幅を有する先端部１１１Ａとして形成されている。なお、この先端部１１１Ａは、後端部１１１Ｂから幅が狭くなるよう絞られて形成されている。また、リターンヨーク層１０６とライトシールド層１１３とは、切出面Ｓ’で、その幅方向の端部が除去された形状に形成されている。具体的には、切出面Ｓ’に対して所定の角度だけ傾斜するテーパ状の傾斜面１０６Ａ，１１３Ａをそれぞれ形成している。そして、このような各層１０６，１１１，１１３の形状は、上述した積層形成工程（ウエハ工程）にてそれぞれ形成される。 The return yoke layer 106, the magnetic pole layer 111, and the write shield layer 113 described above are cut out surfaces that are cut out in a bar block shape from a laminate in which the magnetic head unit 110 is laminated on the base 100, as will be described later. One end of each is exposed at S ′. The portion of the pole layer 111 exposed on the cut surface S 'is formed as a tip 111A having a very small fixed width that defines the recording track width on the disk. Note that the front end portion 111A is formed so as to be narrower than the rear end portion 111B. Further, the return yoke layer 106 and the write shield layer 113 are formed in a shape in which the end in the width direction is removed on the cut surface S ′. Specifically, tapered inclined surfaces 106A and 113A that are inclined by a predetermined angle with respect to the cut-out surface S 'are formed. The shapes of the layers 106, 111, and 113 are formed in the layer formation process (wafer process) described above.

その後、図１５（ｂ）に示すように、上述した構造の磁気ヘッド部１１０が積層された基体１００（積層体）から、バーブロック１３０を切り出す（図１４のステップＳ１０２）。このとき、上記図１８で示した切出面Ｓ’で切り出す。そして、当該切出面Ｓ’を、図１９の断面図及び図２０の上面図に示すように、浮上面Ｓとなる位置までラッピングして（図１４のステップＳ１０３）、再生素子であるＭＲ素子１０５及び記録素子である磁極層１１１の先端部１１１Ａの長さを調整する。これにより、図２２の斜視図に示すように、磁気ヘッド部１１０の浮上面Ｓにて、リターンヨーク層１０６とライトシールド層１１３との幅方向の端部が、それぞれ除去されたテーパ状（傾斜面１０６Ａ，１１３Ａ）に形成される。但し、このテーパ状の傾斜面１０６Ａ，１１３Ａの先端側及び周囲には、図２１に示すように、アルミナなどの絶縁体１１５が埋められた状態となっている。 After that, as shown in FIG. 15B, the bar block 130 is cut out from the base body 100 (laminated body) on which the magnetic head portions 110 having the above-described structure are laminated (step S102 in FIG. 14). At this time, it cuts out by the cut surface S 'shown in FIG. Then, as shown in the cross-sectional view of FIG. 19 and the top view of FIG. 20, the cut surface S ′ is lapped to the position where it becomes the air bearing surface S (step S103 of FIG. 14), and the MR element 105 which is a reproducing element. In addition, the length of the tip portion 111A of the pole layer 111 that is a recording element is adjusted. As a result, as shown in the perspective view of FIG. 22, the end portions in the width direction of the return yoke layer 106 and the write shield layer 113 are removed from the air bearing surface S of the magnetic head portion 110. Surfaces 106A, 113A). However, as shown in FIG. 21, an insulator 115 such as alumina is buried in the tip side and the periphery of the tapered inclined surfaces 106A and 113A.

そして、その後、図１６（ａ）に示すバーブロック１３０に対して、磁気ヘッドスライダ１３１の浮上面Ｓに所定の形状のＡＢＳを形成する（図１４のステップＳ１０４）。そして、バーブロック１３０からから個々の磁気ヘッドスライダ１３１にスライダ切断装置にて切断する（図１４のステップＳ１０５）。これにより、図１６（ｂ）に示すように、基体１００部分がスライダ部１００となり、その端部に磁気ヘッド部１１０を備えた磁気ヘッドスライダ１３１となる。 Thereafter, an ABS having a predetermined shape is formed on the air bearing surface S of the magnetic head slider 131 with respect to the bar block 130 shown in FIG. 16A (step S104 in FIG. 14). Then, the magnetic head slider 131 is cut from the bar block 130 by a slider cutting device (step S105 in FIG. 14). As a result, as shown in FIG. 16B, the base 100 portion becomes the slider portion 100 and the magnetic head slider 131 having the magnetic head portion 110 at the end thereof.

そして、上述したように製造された磁気ヘッドスライダ１３１を搭載してヘッドジンバルアセンブリを構成し、さらに、当該ヘッドジンバルアセンブリを組み込んで磁気ディスク装置を構成することができる。ここで、磁気ディスク装置に組み込まれた磁気ヘッドスライダによる記録動作を、図２３（ａ）を参照して説明する。 The magnetic head slider 131 manufactured as described above can be mounted to constitute a head gimbal assembly, and the head gimbal assembly can be incorporated to constitute a magnetic disk device. Here, the recording operation by the magnetic head slider incorporated in the magnetic disk device will be described with reference to FIG.

上述した磁気ヘッド部１１０では、データの記録時において、図示しない外部回路を通じて記録ヘッド部１１０Ｂの薄膜コイル１０８に電流が流れると、薄膜コイル１０８において磁束Ｊ１が発生する。このとき発生した磁束Ｊ１は、ヨーク層１０９を通じて磁極層１１１に収容され、この磁極層１１１の端面（浮上面Ｓ）から磁気ディスク３００の記録層３０２に向けて放出されたのち、バックレイヤー３０１を経由してリターンヨーク層１０６に環流される。この際、磁極層１１１から放出された磁束Ｊ１に基づいて、記録層３０２をその表面と直交する方向に磁化するための磁界（垂直磁界）が発生し、この垂直磁界によって記録層３０２が磁化されることにより、磁気ディスク３００に情報が記録される。 In the magnetic head unit 110 described above, when a current flows through the thin film coil 108 of the recording head unit 110B through an external circuit (not shown) during data recording, a magnetic flux J1 is generated in the thin film coil 108. The magnetic flux J1 generated at this time is accommodated in the magnetic pole layer 111 through the yoke layer 109, and is emitted from the end face (floating surface S) of the magnetic pole layer 111 toward the recording layer 302 of the magnetic disk 300. Then, it is circulated to the return yoke layer 106. At this time, a magnetic field (vertical magnetic field) for magnetizing the recording layer 302 in a direction perpendicular to the surface thereof is generated based on the magnetic flux J1 emitted from the pole layer 111, and the recording layer 302 is magnetized by this perpendicular magnetic field. As a result, information is recorded on the magnetic disk 300.

一方、再生時においては、再生ヘッド部１１０ＡのＭＲ素子１０５にセンス電流が流れると、磁気ディスク３００の記録層３０２から発生する再生用の信号磁界に応じてＭＲ素子１０５の抵抗値が変化する。この抵抗変化をセンス電流の変化として検出することにより、磁気ディスク３００に記録されている情報が読み出される。 On the other hand, at the time of reproduction, when a sense current flows through the MR element 105 of the reproducing head portion 110A, the resistance value of the MR element 105 changes in accordance with the reproduction signal magnetic field generated from the recording layer 302 of the magnetic disk 300. By detecting this change in resistance as a change in sense current, information recorded on the magnetic disk 300 is read out.

そして、上述した特許文献１の磁気ヘッド部１１０では、リターンヨーク層１０６の両幅側に２つのテーパ状の傾斜面１０６Ａ、及び、ライトシールド層１１３の両幅側に２つのテーパ状の傾斜面１１３Ａを設けていることにより、以下の理由により、不要な記録処理であるトラックイレーズの発生を抑制し、磁気記録動作の信頼性を向上させることができる。 In the magnetic head portion 110 of Patent Document 1 described above, two tapered inclined surfaces 106A are provided on both width sides of the return yoke layer 106, and two tapered inclined surfaces are provided on both width sides of the write shield layer 113. By providing 113A, the occurrence of track erase, which is an unnecessary recording process, can be suppressed for the following reasons, and the reliability of the magnetic recording operation can be improved.

ここで、図２３（ｂ）は、上述したリターンヨーク層１０６などの幅方向の端部にテーパ状の傾斜面が形成されていない、さらに従来の磁気ヘッド部を示す図であり、この磁気ヘッド部の記録時における磁束の流れを示している。また、図２４は、リターンヨーク層の形状（従来；テーパ面なし，特許文献１；テーパ面あり）とその磁界強度との相関に関する測定結果を模式的に表している図である。まず、図２３（ｂ）に示す従来の磁気ヘッド部は、例えば、リターンヨーク層２０６に特許文献１のようなテーパ状の傾斜面１０６Ａが設けられておらず、リターンヨーク層２０６が２つの角部２０６Ｂを有する完全な矩形状に形成されている。また、ライトシールド層２１３にもテーパ状の傾斜面１１３Ａが設けられておらず、ライトシールド層２１３が２つの角部２１３Ｂを有する完全な矩形状に形成されている。 Here, FIG. 23B is a diagram showing a conventional magnetic head portion in which a tapered inclined surface is not formed at the end portion in the width direction such as the return yoke layer 106 described above, and this magnetic head. The flow of the magnetic flux at the time of recording of the part is shown. FIG. 24 is a diagram schematically showing a measurement result relating to the correlation between the shape of the return yoke layer (conventional; no tapered surface, Patent Document 1; with a tapered surface) and the magnetic field strength thereof. First, in the conventional magnetic head portion shown in FIG. 23B, for example, the return yoke layer 206 is not provided with the tapered inclined surface 106A as in Patent Document 1, and the return yoke layer 206 has two corners. It is formed in a complete rectangular shape having a portion 206B. Also, the write shield layer 213 is not provided with the tapered inclined surface 113A, and the write shield layer 213 is formed in a complete rectangular shape having two corner portions 213B.

すると、図２３（ｂ）に示す従来の磁気ヘッド部では、磁極層２１１から放出された磁束Ｊ２がリターンヨーク層２０６に環流されると、この環流磁束Ｊ２がリターンヨーク層２０６の角部２０６Ｂに局所的に集中する。また、同様に、ライトシールド層２１３の角部２１３Ｂにも磁極層１１１からの磁束Ｊ２や外部磁束が局所的に集中する。このため、図２４に示すように、リターンヨーク層２０６及びライトシールド層２１３の各角部２０６Ｂ，２１３Ｂ近傍において磁界強度が局所的に著しく高まってしまう。この結果、当該各角部２０６Ｂ，２１３Ｂに集中した磁束に起因した意図しない垂直磁界が発生し、これにより磁気ディスク３００に不要な記録処理が施されて、トラックイレーズが生じる。このため、磁気記録動作の信頼性が低下しうる。 Then, in the conventional magnetic head portion shown in FIG. 23B, when the magnetic flux J2 emitted from the pole layer 211 is circulated to the return yoke layer 206, the circulated magnetic flux J2 is applied to the corner portion 206B of the return yoke layer 206. Concentrate locally. Similarly, the magnetic flux J2 from the magnetic pole layer 111 and the external magnetic flux are also concentrated locally on the corner portion 213B of the write shield layer 213. For this reason, as shown in FIG. 24, the magnetic field intensity locally increases remarkably in the vicinity of the corners 206B and 213B of the return yoke layer 206 and the write shield layer 213. As a result, an unintended vertical magnetic field is generated due to the magnetic flux concentrated on the corners 206B and 213B, and unnecessary recording processing is performed on the magnetic disk 300, thereby causing track erase. For this reason, the reliability of the magnetic recording operation can be reduced.

これに対して、図２３（ａ）に示すように、特許文献１における磁気ヘッド部１１０では、リターンヨーク層１０６にテーパ状の傾斜面１０６Ａを、また、ライトシールド層１１３にテーパ状の傾斜面１１３Ａをそれぞれ設けているため、磁束の集中を誘発し得る角部が存在せず、図２４に示すように、傾斜面１０６Ａ，１１３Ａ近傍において磁界強度が局所的に著しく集中することがない。従って、特許文献１では、従来の磁気ヘッド部において問題となっていた磁束の集中が防止され、これにより不要な記録処理の発生確率が低下するため、トラックイレーズの発生を抑制し、磁気記録動作の信頼性を向上させることが可能となる。 On the other hand, as shown in FIG. 23A, in the magnetic head portion 110 in Patent Document 1, the return yoke layer 106 has a tapered inclined surface 106A, and the write shield layer 113 has a tapered inclined surface. Since 113A is provided, there is no corner portion that can induce the concentration of magnetic flux, and the magnetic field strength does not concentrate significantly in the vicinity of the inclined surfaces 106A and 113A as shown in FIG. Therefore, in Patent Document 1, the concentration of magnetic flux, which has been a problem in the conventional magnetic head unit, is prevented, thereby reducing the probability of occurrence of unnecessary recording processing, thereby suppressing the occurrence of track erase and the magnetic recording operation. It becomes possible to improve the reliability.

特開２００４−３９１４８号公報JP 2004-39148 A

しかしながら、上述した特許文献１に開示の磁気ヘッドスライダの製造方法では、薄膜積層工程（ウエハ工程）において、リターンヨーク層やライトシールド層の幅方向の両端側にテーパ状の傾斜面を形成しているため、パターンニングをはじめ、積層時における工程が複雑となる。従って、製造時間が長くなると共に、製造コストが増加する、という問題があった。さらに、薄膜積層にてその形状を形成することから、テーパ状の傾斜面の周囲には実際には絶縁体で埋められることとなり、かかる部分が磁気ディスクに接触する可能性も高くなりうる。その結果、磁気ディスク装置の信頼性の向上を図ることができない、という問題があった。 However, in the magnetic head slider manufacturing method disclosed in Patent Document 1 described above, tapered inclined surfaces are formed on both ends in the width direction of the return yoke layer and the write shield layer in the thin film stacking process (wafer process). As a result, the process at the time of lamination including patterning becomes complicated. Therefore, there is a problem that the manufacturing time is increased and the manufacturing cost is increased. Further, since the shape is formed by laminating the thin film, the periphery of the tapered inclined surface is actually filled with an insulator, and the possibility that such a portion contacts the magnetic disk can be increased. As a result, there is a problem that the reliability of the magnetic disk device cannot be improved.

このため、本発明では、上記従来例の有する不都合を改善し、特に、データ記録再生の信頼性の高い磁気ヘッドスライダを製造すると共に、当該磁気ヘッドスライダの製造工程の簡易化を図り、製造時間の短縮及び製造コストの低減を図る、ことをその目的とする。 For this reason, the present invention improves the inconveniences of the above conventional example, and in particular, manufactures a magnetic head slider with high data recording / reproduction reliability, simplifies the manufacturing process of the magnetic head slider, and reduces the manufacturing time. The purpose is to reduce the manufacturing cost and the manufacturing cost.

そこで、本発明の一形態である磁気ヘッドスライダの製造方法は、再生素子及び／あるいは記録素子と、当該再生素子及び／あるいは記録素子に対して磁気遮蔽する磁気シールドと、を含む磁気ヘッド部を積層形成する積層形成工程を有し、磁気ヘッド部が積層形成された積層体から磁気ヘッドスライダを切り出して磁気ヘッドスライダを製造する方法であって、積層形成工程以降に、磁気ヘッドスライダの浮上面側に位置する磁気シールドの幅方向の端部を除去するシールド端部除去工程を有する、という構成を採る。なお、磁気シールドは、記録素子から発生する磁束が還流する機能を有するものを含む。 Accordingly, a method of manufacturing a magnetic head slider according to one aspect of the present invention includes a magnetic head unit including a reproducing element and / or a recording element and a magnetic shield that magnetically shields the reproducing element and / or the recording element. A method of manufacturing a magnetic head slider by cutting out a magnetic head slider from a stacked body in which a magnetic head portion is formed by stacking, wherein a magnetic head slider has an air bearing surface after the layer forming step. A configuration is adopted in which a shield end portion removing step for removing the end portion in the width direction of the magnetic shield located on the side is adopted. The magnetic shield includes one having a function of returning a magnetic flux generated from the recording element.

また、上記積層形成工程に続いて、積層体から磁気ヘッドスライダが複数連なるバーブロックを切り出すバーブロック切出工程と、このバーブロックから個々の磁気ヘッドスライダを切断するスライダ切断工程と、を有し、少なくともバーブロック切出工程以降に、シールド端部除去工程を有する、という構成を採る。 Further, following the above-described lamination forming step, a bar block cutting step of cutting out a bar block in which a plurality of magnetic head sliders are continuous from the laminated body, and a slider cutting step of cutting individual magnetic head sliders from the bar block are provided. Then, at least after the bar block cutting step, the shield end removing step is employed.

さらに、上記シールド端部除去工程は、磁気ヘッドスライダの浮上面に、再生素子及び／あるいは記録素子と磁気シールドの幅方向の端部を除いた中央部分とを覆うマスクを形成するマスク形成工程と、マスクから露出した部分を浮上面側から所定の深さまで除去する除去工程と、を有する、という構成を採る。 Further, the shield end removing step includes a mask forming step of forming a mask covering the reproducing element and / or the recording element and the central portion excluding the end in the width direction of the magnetic shield on the air bearing surface of the magnetic head slider. And a removal step of removing a portion exposed from the mask from the air bearing surface side to a predetermined depth.

上記発明によると、磁気ヘッドスライダの製造工程にて、磁気ヘッド部が積層形成された後に、磁気ヘッドスライダの浮上面側から磁気シールドの幅方向の端部を除去する。これにより、データ記録再生時に、磁気シールドの端部に磁束が集中することがなく、トラックイレーズの発生を抑制することができる。そして、本発明では、特に、積層形成工程中ではなく、その後に浮上面側から磁気シールドの端部を除去しているため、磁気シールドが複数ある場合であってもこれらの端部を同時に除去することができ、製造工程の簡易化を図ることができる。その結果、製造時間の短縮、さらには、製造コストの低減を図ることができる。 According to the above invention, in the magnetic head slider manufacturing process, after the magnetic head portion is laminated and formed, the end portion in the width direction of the magnetic shield is removed from the air bearing surface side of the magnetic head slider. Thereby, at the time of data recording / reproducing, magnetic flux does not concentrate at the end of the magnetic shield, and the occurrence of track erase can be suppressed. In the present invention, particularly, the end of the magnetic shield is removed from the air bearing surface side, not during the stacking process, so even if there are a plurality of magnetic shields, these ends are removed at the same time. It is possible to simplify the manufacturing process. As a result, the manufacturing time can be shortened and the manufacturing cost can be reduced.

また、本発明では、上記シールド端部除去工程は、浮上面に露出する、磁気シールドの幅方向の端部と、当該端部の周囲に形成された絶縁体部と、を除去する、という構成を採る。これにより、磁気シールドの端部と、その周囲の絶縁体部とが除去されるため、データ記録再生時に、磁気ヘッド部と磁気ディスクとの距離を大きくとることができる。従って、磁気ヘッド部が磁気ディスクに接触を抑制することができ、データ記録再生の安定化及び磁気ヘッドの耐久性の向上を図ることができる。 In the present invention, the shield end portion removing step removes the end portion of the magnetic shield in the width direction and the insulator portion formed around the end portion, which are exposed on the air bearing surface. Take. As a result, since the end portion of the magnetic shield and the surrounding insulator portion are removed, the distance between the magnetic head portion and the magnetic disk can be increased during data recording and reproduction. Accordingly, the magnetic head unit can be prevented from contacting the magnetic disk, and data recording / reproduction can be stabilized and the durability of the magnetic head can be improved.

また、本発明では、スライダ切断工程の前後に、磁気ヘッドスライダの浮上面に所定形状のエアベアリング面を形成するＡＢＳ形成工程を有し、シールド端部除去工程は、ＡＢＳ形成工程の一部として実行される、という構成を採る。これにより、ＡＢＳ形成中に、上述した磁気シールドの端部の除去処理を実行することができ、さらに製造工程の短縮化を図ることができる。 Further, in the present invention, before and after the slider cutting step, there is an ABS forming step for forming an air bearing surface having a predetermined shape on the air bearing surface of the magnetic head slider, and the shield end removal step is a part of the ABS forming step. It is configured to be executed. As a result, during the ABS formation, the above-described removal process of the end of the magnetic shield can be performed, and the manufacturing process can be further shortened.

また、本発明では、上記シールド端部除去工程は、マスク形成工程の前に、浮上面上にダイアモンドライクカーボン層を形成するＤＬＣ工程を有する、という構成を採る。また、シールド端部除去工程は、除去工程の後に、さらに浮上面上にダイアモンドライクカーボン層を形成する第二のＤＬＣ形成工程を有すると共に、その後、浮上面に対して所定の処理を行った後に、当該浮上面上に形成されているダイアモンドライクカーボン層を全て除去するＤＬＣ除去工程を有する、という構成を採る。さらに、ＡＢＳ形成工程の後に、浮上面を覆うダイアモンドライクカーボン層を形成する第三のＤＬＣ形成工程を有する、という構成を採る。これにより、マスク形成やシールド除去時、ＡＢＳ形成処理時など、ダイアモンドライクカーボン層で浮上面を保護することができる。そして、最終的な磁気ヘッドスライダの浮上面も、ダイアモンドライクカーボン層で保護することができる。 In the present invention, the shield end removing step includes a DLC step of forming a diamond-like carbon layer on the air bearing surface before the mask forming step. In addition, the shield end portion removing step has a second DLC forming step for forming a diamond-like carbon layer on the air bearing surface after the removing step, and thereafter performing a predetermined process on the air bearing surface. The DLC removal step of removing all the diamond-like carbon layers formed on the air bearing surface is adopted. Furthermore, after the ABS forming step, a configuration is adopted in which a third DLC forming step for forming a diamond-like carbon layer covering the air bearing surface is provided. Thereby, the air bearing surface can be protected by the diamond-like carbon layer during mask formation, shield removal, and ABS formation processing. The air bearing surface of the final magnetic head slider can also be protected by the diamond-like carbon layer.

また、本発明の他の形態である磁気ヘッドスライダは、再生素子及び／あるいは記録素子と、当該再生素子及び／あるいは記録素子に対して磁気遮蔽する磁気シールドと、を含む積層形成された磁気ヘッド部を有しており、磁気ヘッドスライダの浮上面側に位置する磁気シールドの幅方向の端部が除去されており、当該磁気シールドの除去部分が浮上面に露出している、という構成を採る。また、磁気ヘッドスライダの浮上面側に位置する磁気シールドの幅方向の端部、及び、当該端部の周囲に位置する絶縁体部、が除去されており、磁気シールド及び絶縁体部の除去部分が浮上面に露出している、という構成を採る。さらに、浮上面全体に、ダイアモンドライクカーボン層が形成されている、という構成を採る。 According to another aspect of the present invention, there is provided a magnetic head slider comprising a reproducing element and / or a recording element and a magnetic head formed in a laminated manner including a magnetic shield for magnetically shielding the reproducing element and / or the recording element. The end of the magnetic shield located in the air bearing surface side of the magnetic head slider is removed, and the removed portion of the magnetic shield is exposed on the air bearing surface. . Also, the end portion in the width direction of the magnetic shield located on the air bearing surface side of the magnetic head slider and the insulator portion located around the end portion are removed, and the removed portion of the magnetic shield and insulator portion Is exposed on the air bearing surface. Furthermore, the structure that the diamond like carbon layer is formed in the whole air bearing surface is taken.

また、本発明では、上述した磁気ヘッドスライダの製造方法で形成された磁気ヘッドスライダ、あるいは、上記構成の磁気ヘッドスライダ、を備えたヘッドジンバルアセンブリ、さらには、当該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置を提供している。 In the present invention, a head gimbal assembly including the magnetic head slider formed by the magnetic head slider manufacturing method described above or the magnetic head slider having the above-described configuration, and a magnetic disk including the head gimbal assembly are also provided. The device is provided.

本発明は、以上のように構成され機能するので、これによると、製造された磁気ヘッドスライダは、磁気ディスク上で、磁気シールドの端部に磁束が集中することがなく、トラックイレーズの発生を抑制することができ、データ記録再生の信頼性の向上を図ることができる。また、その製造工程において、磁気シールドの端部を、積層形成工程中ではなく、その後に浮上面側から除去しているため、磁気シールドが複数ある場合であってもこれらの端部を同時に除去することができ、製造工程の簡易化を図ることができる。その結果、製造時間の短縮、また、製造コストの低減を図ることができる。さらには、磁気シールドの端部の除去部分に絶縁体などの他の物体が存在せず、かかる部分が空間部となるため、磁気ヘッド部と磁気ディスクとの距離を大きく採ることができ、これらの接触を抑制でき、さらなる信頼性の向上を図ることができる。 Since the present invention is configured and functions as described above, according to this, the manufactured magnetic head slider does not concentrate the magnetic flux at the end of the magnetic shield on the magnetic disk, and generates track erase. Therefore, the reliability of data recording / reproduction can be improved. Also, in the manufacturing process, the edges of the magnetic shield are removed from the air bearing surface afterwards, not during the layer formation process, so even if there are multiple magnetic shields, these edges are removed simultaneously. It is possible to simplify the manufacturing process. As a result, the manufacturing time can be shortened and the manufacturing cost can be reduced. Furthermore, since there is no other object such as an insulator in the removed part of the end of the magnetic shield, and this part becomes a space part, the distance between the magnetic head part and the magnetic disk can be increased. Can be suppressed, and the reliability can be further improved.

本発明は、磁気ヘッド部の一部を構成する磁気シールドの浮上面に露出する幅方向の端部を除去する方法に特徴を有する。また、これにより、製造された磁気ヘッド部の構造にも特徴を有する。以下、実施例にて説明する。 The present invention is characterized by a method of removing an end portion in the width direction exposed on the air bearing surface of a magnetic shield constituting a part of the magnetic head portion. This also has a feature in the structure of the manufactured magnetic head portion. Examples will be described below.

本発明の第１の実施例を、図１乃至図１３を参照して説明する。図１乃至図２は、磁気ヘッドスライダの製造方法を示すフローチャートである。図３乃至図６は、磁気ヘッドスライダの構成を示す図である。図７乃至図１１は、磁気ヘッドスライダの製造時における各工程の様子を示す図である。図１２は、製造した磁気ヘッドスライダを搭載したヘッドジンバルアセンブリを示し、図１３は、ヘッドジンバルアセンブリを搭載した磁気ディスク装置を示す。 A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2 are flowcharts showing a method of manufacturing a magnetic head slider. 3 to 6 are diagrams showing the configuration of the magnetic head slider. 7 to 11 are diagrams showing the state of each process during the manufacture of the magnetic head slider. FIG. 12 shows a head gimbal assembly on which the manufactured magnetic head slider is mounted, and FIG. 13 shows a magnetic disk device on which the head gimbal assembly is mounted.

［磁気ヘッドスライダの製造方法の概略］
まず、磁気ヘッドスライダ３１の製造方法の概略を説明する。なお、基本的な手順は上述した特許文献１に示す方法とほぼ同一であるため、図１５乃至図１６も参照して説明する。 [Outline of magnetic head slider manufacturing method]
First, an outline of a method for manufacturing the magnetic head slider 31 will be described. The basic procedure is almost the same as the method described in Patent Document 1 described above, and will be described with reference to FIGS.

はじめに、図１５（ａ）に示すように、例えばセラミックス材料等からなる基体１００上に、フォトリソグラフィ法などを用いた積層形成工程（ウエハ工程（図１のステップＳ１））によって、多数の薄膜層からなる磁気ヘッド部１１０（本実施例では、符号１０）を積層形成する。この積層形成工程は、例えば、テーブル上に載置された基体１００上に、スパッタリング装置等によって積層材料を成膜する。そして、必要に応じて、成膜した薄膜上に、レジスト、露光、現像を行い、エッチング装置等によって薄膜層を所望の形状に成形する。これにより、図１５（ａ）に示すように、基体１００上のほぼ全面に磁気ヘッド部１１０を複数形成する。なお、本実施例では、この積層形成工程において、上記特許文献１にて説明したリターンヨーク層１０６やライトシールド層１１３といった各磁気シールドに傾斜部を形成することは行わない。これについては後述する。 First, as shown in FIG. 15A, a large number of thin film layers are formed on a substrate 100 made of, for example, a ceramic material by a layer forming process (wafer process (step S1 in FIG. 1)) using a photolithography method or the like. A magnetic head portion 110 (in this embodiment, reference numeral 10) made of is laminated. In this lamination formation step, for example, a lamination material is formed on the substrate 100 placed on a table by a sputtering apparatus or the like. Then, if necessary, resist, exposure, and development are performed on the formed thin film, and the thin film layer is formed into a desired shape by an etching apparatus or the like. As a result, as shown in FIG. 15A, a plurality of magnetic head portions 110 are formed on almost the entire surface of the substrate 100. In the present embodiment, in this lamination forming step, the inclined portion is not formed in each magnetic shield such as the return yoke layer 106 and the write shield layer 113 described in Patent Document 1. This will be described later.

続いて、図１５（ａ）に示す磁気ヘッド部１１０が形成された基体１００を、図１５（ｂ）に示すように、磁気ヘッドスライダ３１が複数連結した細長いバーブロック１３０（本実施例では、符号３０）に切り出す（図１のステップＳ２、バーブロック切出工程）。このバーブロック３０の切り出しは、例えば、複数のバーブロック３０が連結した状態のブロックを上下から治具にて保持し、上下方向に引張りながらスライサにてバーブロック３０を１本ずつ切り出す。なお、バーブロック３０の切出しは、各バーごとに浮上面Ｓに露出する記録素子及び再生素子を所定寸法に合わせるラッピングを終えた後に行う。ここで、図１６（ａ）に、切り出したバーブロック１３０を示す。なお、バーブロック１３０は、図１６（ａ）の点線に示すように、後に個々の磁気ヘッドスライダ１３１（本実施例では、符号３１）に切断される。 Subsequently, as shown in FIG. 15B, the base 100 on which the magnetic head portion 110 shown in FIG. 15A is formed is connected to a plurality of elongated bar blocks 130 (in this embodiment, 30) (step S2 in FIG. 1, bar block cutting step). The bar block 30 is cut out by, for example, holding a block in a state where a plurality of bar blocks 30 are connected from above and below with a jig, and cutting out the bar blocks 30 one by one with a slicer while pulling up and down. The bar block 30 is cut out after lapping for adjusting the recording elements and reproducing elements exposed on the air bearing surface S to a predetermined size for each bar. Here, FIG. 16A shows the cut bar block 130. The bar block 130 is later cut into individual magnetic head sliders 131 (reference numeral 31 in this embodiment) as shown by the dotted lines in FIG.

続いて、磁気ヘッドスライダ１３１の浮上面Ｓとなるバーブロック１３０の表面を、ラッピング装置にて研磨する（図１のステップＳ３、ラッピング工程）。このラッピングにより、浮上面Ｓに露出する記録素子及び再生素子を最終素子長さに調整する。 Subsequently, the surface of the bar block 130 which becomes the air bearing surface S of the magnetic head slider 131 is polished by a lapping device (step S3 in FIG. 1, lapping process). By this lapping, the recording element and the reproducing element exposed to the air bearing surface S are adjusted to the final element length.

続いて、ラッピングした磁気ヘッドスライダ１３１の浮上面Ｓであるバーブロック１３０の表面に、所定の凹凸形状のエアベアリング面（以下、「浮上面」あるいは「ＡＢＳ」と言う）を形成する（図１のステップＳ４、ＡＢＳ形成工程）。このとき、同時に、本発明の特徴となる磁気シールドの端部の除去処理を行う（図１のステップＳ５、シールド端部除去工程）。かかる処理については後述する。 Subsequently, an air bearing surface (hereinafter referred to as “floating surface” or “ABS”) having a predetermined uneven shape is formed on the surface of the bar block 130 which is the floating surface S of the lapped magnetic head slider 131 (FIG. 1). Step S4, ABS forming step). At the same time, the end portion of the magnetic shield, which is a feature of the present invention, is removed (step S5 in FIG. 1, shield end portion removing step). Such processing will be described later.

その後、スライダ切断装置にて、バーブロック１３０を個々の磁気ヘッドスライダ１３１に切断する（図１のステップＳ６、スライダ切断工程）。これにより、図１５（ｂ）に示すように、基体１００部分がスライダ部（本実施例では、符号２０）となり、その端部に磁気ヘッド部１１０（本実施例では、符号１０）を備えた磁気ヘッドスライダ１３１（本実施例では符号３１）となる。そして、切断した個々の磁気ヘッドスライダ１３１を洗浄するなどの所定の処理を行い、磁気ヘッドスライダ１３１の製造が完了する。なお、上述した手順は一例であって、他の手順や工程を経て磁気ヘッドスライダ１３１を製造してもよい。 Thereafter, the bar block 130 is cut into individual magnetic head sliders 131 by the slider cutting device (step S6 in FIG. 1, slider cutting step). As a result, as shown in FIG. 15B, the base 100 portion becomes a slider portion (reference numeral 20 in this embodiment), and a magnetic head portion 110 (reference numeral 10 in this embodiment) is provided at the end thereof. This is the magnetic head slider 131 (reference numeral 31 in this embodiment). Then, a predetermined process such as cleaning of each cut magnetic head slider 131 is performed, and the manufacture of the magnetic head slider 131 is completed. The above-described procedure is an example, and the magnetic head slider 131 may be manufactured through other procedures and processes.

［磁気ヘッドスライダの製造方法の詳細］
次に、本発明の特徴となる、上述したＡＢＳ形成時（ＡＢＳ形成工程）に行われる磁気シールドの端部の除去処理の手順について、詳細に説明する。 [Details of magnetic head slider manufacturing method]
Next, the procedure of the removal process of the end portion of the magnetic shield performed during the ABS formation (ABS formation process), which is a feature of the present invention, will be described in detail.

まず、上述したように、バーブロック３０に切り出され浮上面Ｓがラッピングされた状態の磁気ヘッド部１０、つまり、ＡＢＳ形成及び磁気シールドの端部除去が行われる前の状態の磁気ヘッド部１０の構成を、図３乃至図６を参照して説明する。図３（ｂ）は、磁気ヘッド部１０の側方断面図であり、これを左側から見た断面図を図３（ａ）に示している。 First, as described above, the magnetic head unit 10 cut out by the bar block 30 and the air bearing surface S is wrapped, that is, the magnetic head unit 10 in a state before the ABS formation and the end removal of the magnetic shield are performed. The configuration will be described with reference to FIGS. FIG. 3B is a side sectional view of the magnetic head unit 10, and FIG. 3A shows a sectional view of the magnetic head unit 10 as viewed from the left side.

図３に示すように、積層形成されたときの本実施例における磁気ヘッド部１０は、例えばアルティック（Ａｌ_２Ｏ_３・ＴｉＣ）などのセラミック材料よりなる基板１（基体１００）上に、例えば酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３（アルミナ））よりなる絶縁層２と、磁気抵抗効果（ＭＲ；Ｍａｇｎｅｔｏ−ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）を利用して再生処理を実行する再生ヘッド部１０Ａと、垂直記録方式により記録処理を実行する記録ヘッド部１０Ｂと、例えばアルミナなどよりなるオーバーコート層１４と、がこの順に積層された構成をなしている。 As shown in FIG. 3, the magnetic head unit 10 in this embodiment when laminated is formed on a substrate 1 (base 100) made of a ceramic material such as Altic (Al ₂ O ₃ .TiC), for example. An insulating layer 2 made of aluminum oxide (Al ₂ O ₃ (alumina)), a reproducing head unit 10A that performs reproducing processing using a magnetoresistive effect (MR), and recording processing by a perpendicular recording method The recording head unit 10B to be executed and the overcoat layer 14 made of, for example, alumina are laminated in this order.

そして、上記再生ヘッド部１０Ａは、例えば、下部シールド層３と、シールドギャップ膜４と、上部シールド層兼リターンヨーク層（以下、単に「リターンヨーク層」という）６と、がこの順に積層された構成をなしている。シールドギャップ膜４には、後述するエアベアリング面Ｓ（浮上面）に一端面が露出するように、磁気再生デバイスとしてのＭＲ素子５が埋設されている。下部シールド層３およびリターンヨーク層６は、主に、ＭＲ素子５を周囲から磁気的に遮蔽するものであり、本発明における磁気シールドである。そして、下部シールド層３およびリターンヨーク層６は、例えば、ニッケル鉄合金（ＮｉＦｅ（以下、単に「パーマロイ（商品名）」という）；Ｎｉ：８０重量％，Ｆｅ：２０重量％）などの磁性材料により構成されている。 In the reproducing head portion 10A, for example, a lower shield layer 3, a shield gap film 4, and an upper shield layer / return yoke layer (hereinafter simply referred to as “return yoke layer”) 6 are laminated in this order. It has a configuration. An MR element 5 as a magnetic reproducing device is embedded in the shield gap film 4 so that one end face is exposed on an air bearing surface S (floating surface) described later. The lower shield layer 3 and the return yoke layer 6 mainly shield the MR element 5 from the surroundings, and are magnetic shields in the present invention. The lower shield layer 3 and the return yoke layer 6 are made of, for example, a magnetic material such as a nickel iron alloy (NiFe (hereinafter simply referred to as “Permalloy (trade name)”); Ni: 80 wt%, Fe: 20 wt%). It is comprised by.

また、シールドギャップ膜４は、下部シールド層３やリターンヨーク層６からＭＲ素子５を磁気的かつ電気的に分離するものである。このシールドギャップ膜４は、例えば、アルミナなどの非磁性非導電性材料により構成されている。そして、ＭＲ素子５は、例えば、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ；ＧｉａｎｔＭａｇｎｅｔｏ−ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）やトンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ；ＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭａｇｎｅｔｏ−ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）を利用して再生処理を実行するものである。 The shield gap film 4 magnetically and electrically separates the MR element 5 from the lower shield layer 3 and the return yoke layer 6. The shield gap film 4 is made of, for example, a nonmagnetic nonconductive material such as alumina. The MR element 5 performs a reproducing process by using, for example, a giant magnetoresistive effect (GMR) or a tunneling magnetoresistive effect (TMR; Tunneling Magneto-resistive).

そして、上記記録ヘッド部１０Ｂは、例えば、リターンヨーク層６と、薄膜コイル８を埋設するギャップ層７（ギャップ層部分７Ａ，７Ｂ，７Ｃ）およびヨーク層９と、ギャップ層７に設けられた開口７Ｋを通じてヨーク層９を介してリターンヨーク層６と磁気的に連結された磁極層１１と、絶縁層１２と、ライトシールド層１３と、がこの順に積層された構成をなしている。 The recording head portion 10B includes, for example, a return yoke layer 6, a gap layer 7 (gap layer portions 7A, 7B, and 7C) in which the thin film coil 8 is embedded, a yoke layer 9, and openings provided in the gap layer 7. The pole layer 11 magnetically coupled to the return yoke layer 6 through the yoke layer 9 through 7K, the insulating layer 12, and the write shield layer 13 are stacked in this order.

リターンヨーク層６は、上述したように、ＭＲ素子５を周囲から磁気的に遮蔽する機能を担うと共に、記録ヘッド部１０Ｂにおいて、磁極層１１から放出された磁束を、ハードディスク（図示せず）を経由して環流させる機能を担うものである。また、このリターンヨーク層６は、同時に、記録素子である磁極層１１を周囲から磁気的に遮蔽する機能も有する。そして、リターンヨーク層６は、例えば、パーマロイ（Ｎｉ：８０重量％，Ｆｅ：２０重量％）などの磁性材料により構成されている。 As described above, the return yoke layer 6 has a function of magnetically shielding the MR element 5 from the surroundings, and in the recording head unit 10B, the magnetic flux emitted from the magnetic pole layer 11 is transferred to a hard disk (not shown). It is responsible for the function of circulating through. The return yoke layer 6 also has a function of magnetically shielding the magnetic pole layer 11 as a recording element from the surroundings. The return yoke layer 6 is made of a magnetic material such as permalloy (Ni: 80 wt%, Fe: 20 wt%).

また、磁極層１１は、主に、薄膜コイル８において発生した磁束を収容し、その磁束を磁気ディスク（図示せず）に向けて放出するものである。絶縁層１２は、主に、磁極層１１とライトシールド層１３との間を磁気的かつ電気的に分離するものであり、例えば、アルミナなどの非磁性非導電性材料により構成されている。ライトシールド層１３は、主に、磁極層１１を周囲から磁気的に遮蔽するものである。このライトシールド層１３は、例えば、パーマロイ（Ｎｉ：８０重量％，Ｆｅ：２０重量％）などの磁性材料により構成されている。 The pole layer 11 mainly contains magnetic flux generated in the thin film coil 8 and emits the magnetic flux toward a magnetic disk (not shown). The insulating layer 12 mainly separates the magnetic pole layer 11 and the write shield layer 13 magnetically and electrically, and is made of a nonmagnetic nonconductive material such as alumina, for example. The write shield layer 13 mainly shields the pole layer 11 from the surroundings. The write shield layer 13 is made of a magnetic material such as permalloy (Ni: 80% by weight, Fe: 20% by weight).

そして、上記リターンヨーク層６及びライトシールド層１３は、上述した下部シールド層３及びリターンヨーク層６と同様に、本発明における磁気シールドとして機能している。なお、上記磁気ヘッド部１０の積層構造は、上述した特許文献１のものとほぼ同一であるため、さらなる詳細な説明は省略する。 The return yoke layer 6 and the write shield layer 13 function as a magnetic shield in the present invention, like the lower shield layer 3 and the return yoke layer 6 described above. Note that the laminated structure of the magnetic head unit 10 is substantially the same as that of Patent Document 1 described above, and thus further detailed description is omitted.

ここで、さらに、図４乃至図６を参照して、上述した磁気ヘッド部１０の要部の詳細な構成について説明する。図４は、上述した磁気ヘッド部１０の要部の平面構成を拡大して表している。つまり、図３（ａ）に示した磁気ヘッド部１０を上方から見た図である。また、図５は、磁気ヘッド部１０の要部の斜視図である。図６は、バーブロック３０上の磁気ヘッドスライダ３１を浮上面側から見た図である。 Here, with reference to FIGS. 4 to 6, a detailed configuration of the main part of the magnetic head unit 10 described above will be described. FIG. 4 shows an enlarged plan configuration of the main part of the magnetic head unit 10 described above. That is, it is a view of the magnetic head unit 10 shown in FIG. FIG. 5 is a perspective view of the main part of the magnetic head unit 10. FIG. 6 is a view of the magnetic head slider 31 on the bar block 30 as viewed from the air bearing surface side.

なお、ここでは、磁気ヘッド部１０の要部として、記録素子である磁極層１１と、磁気シールドとして機能するリターンヨーク層６及びライトシールド層１３と、を挙げて説明する。なお、下部シールド層３も磁気シールドとして機能し、上記リターンヨーク層６及びライトシールド層１３と同様に、後述するようにその端部が除去されるが、図４、図５では、下部シールド３の図示を省略して説明する。 Here, the magnetic head portion 10 will be described by taking the magnetic pole layer 11 that is a recording element, the return yoke layer 6 and the write shield layer 13 that function as a magnetic shield, and the like. The lower shield layer 3 also functions as a magnetic shield, and its end is removed as will be described later in the same manner as the return yoke layer 6 and the write shield layer 13, but the lower shield 3 is shown in FIGS. The explanation is omitted.

図４乃至図６に示すように、下部シールド３（図４，５で図示せず）と、ＭＲ素子５（図４，５で図示せず）と、リターンヨーク層６と、磁極層１１と、ライトシールド層１３とは、磁気ヘッドスライダ３１の浮上面（ＡＢＳ）となる面Ｓに、それぞれの一端部が露出している。そして、図４，５に示すように、磁極層１１は、浮上面Ｓに露出する部分が、ディスク上の記録トラック幅を規定する極微小な一定幅を有する先端部１１Ａとして形成されている。また、リターンヨーク層６とライトシールド層１３とは、その一端部が、浮上面Ｓに沿って直線状に形成されている。つまり、この時点では、上述した特許文献１に示すように、リターンヨーク層６とライトシールド層１３の浮上面Ｓにおける幅方向の端部がテーパ状の傾斜面として形成されておらず、ほぼ直角に形成されている。また、リターンヨーク層６とライトシールド層１３の周囲は、図６に示すように、絶縁体１５にて埋められている。 As shown in FIGS. 4 to 6, the lower shield 3 (not shown in FIGS. 4 and 5), the MR element 5 (not shown in FIGS. 4 and 5), the return yoke layer 6 and the pole layer 11 The write shield layer 13 has one end exposed at a surface S that becomes the air bearing surface (ABS) of the magnetic head slider 31. As shown in FIGS. 4 and 5, the pole layer 11 has a portion exposed to the air bearing surface S formed as a tip portion 11A having a very small fixed width that defines the recording track width on the disk. The return yoke layer 6 and the write shield layer 13 are linearly formed along the air bearing surface S at one end thereof. That is, at this time, as shown in Patent Document 1 described above, the end portions in the width direction of the air bearing surfaces S of the return yoke layer 6 and the write shield layer 13 are not formed as tapered inclined surfaces, and are almost perpendicular to each other. Is formed. Further, the periphery of the return yoke layer 6 and the write shield layer 13 is filled with an insulator 15 as shown in FIG.

そして、上述した形状の磁気ヘッドスライダ３１（バーブロック３０）に対して、ＡＢＳ形成処理が実行され（図１のステップＳ４）、さらに、磁気ヘッド部１０に対して、磁気シールドであるリターンヨーク層６やライトシールド層１３などの端部の除去処理が実行される（図１のステップＳ５）。この手順を、図２に示し、また、図７乃至図９に、各工程の様子を示す。 Then, an ABS forming process is performed on the magnetic head slider 31 (bar block 30) having the above-described shape (step S4 in FIG. 1), and a return yoke layer serving as a magnetic shield is further applied to the magnetic head unit 10. 6 and the light shield layer 13 are removed (step S5 in FIG. 1). This procedure is shown in FIG. 2, and FIGS. 7 to 9 show the state of each step.

まず、図７（ａ）に示すバーブロック３０の表面である磁気ヘッドスライダ３１の浮上面Ｓとなる面に対して、図７（ｂ）に示すように、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）をコーティングして、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層５１，５２を２層形成する（図２のステップＳ１１、ＤＬＣ工程）。なお、通常は、ＤＬＣ形成の前にＳｉ等のシード層を設けるが、このＳｉ等のシード層は密着性が強く、後にミリングで除去する場合に完全に除去することが困難となる。このため、Ｓｉのシード層の代わりに、低内部ストレスのＤＬＣを第一層に形成し、その上にさらにＤＬＣを第二層として形成する。これにより、後の工程で、浮上面からＤＬＣを除去することが容易となる。 First, as shown in FIG. 7B, diamond-like carbon (DLC) is coated on the surface that is the air bearing surface S of the magnetic head slider 31 that is the surface of the bar block 30 shown in FIG. Thus, two diamond-like carbon (DLC) layers 51 and 52 are formed (step S11 in FIG. 2, DLC step). Normally, a seed layer made of Si or the like is provided before the DLC formation, but the seed layer made of Si or the like has high adhesion, and it becomes difficult to completely remove it when it is later removed by milling. Therefore, instead of the Si seed layer, a low internal stress DLC is formed in the first layer, and a DLC is further formed thereon as a second layer. This facilitates the removal of DLC from the air bearing surface in a later step.

続いて、図７（ｃ）に示すように、上記２層のＤＬＣ層５１，５２の上に、フォトレジストを塗布、露光、現像して、マスク４０を形成する（図２のステップＳ１２、マスク形成工程）。このとき、マスク４０は、図９（ａ）の符号４１部分に示すように、再生素子であるＭＲ素子５、及び、記録素子である磁極層１１を覆うと共に、リターンヨーク層６やライトシールド層１３などの磁気シールドの中央部分を覆う形状に形成する（図６を参照）。つまり、マスク４０の符号４１の部分は、ＭＲ素子５及び磁極層１１の全体は覆うものの、浮上面Ｓ上におけるリターンヨーク層６やライトシールド層１３といった磁気シールドの幅方向の両端は覆うことがないよう、その幅が形成されている。例えば、図９（ａ）の例では、３０μｍである。なお、ライトシールド層１３等の端部（エッジ）に集中する磁界の大きさは、その磁気ヘッド部の構造や記録媒体等によっても変化するので、上記符号４１部分のマスク（レジスト）の幅は、それらに応じて適宜調節される。例えば、図９（ｂ）に示すように、１５μｍというように、図９（ａ）に示す場合よりも狭く形成されてもよく、その幅は任意である。 Subsequently, as shown in FIG. 7C, a photoresist is applied, exposed and developed on the two DLC layers 51 and 52 to form a mask 40 (step S12 in FIG. 2, mask). Forming step). At this time, the mask 40 covers the MR element 5 as a reproducing element and the magnetic pole layer 11 as a recording element, as well as the return yoke layer 6 and the write shield layer, as indicated by reference numeral 41 in FIG. 13 and the like to cover the central portion of the magnetic shield (see FIG. 6). That is, the reference numeral 41 of the mask 40 covers the entire MR element 5 and the pole layer 11, but covers both ends of the magnetic shield such as the return yoke layer 6 and the write shield layer 13 on the air bearing surface S in the width direction. Its width is formed so that there is no. For example, in the example of FIG. 9A, it is 30 μm. Note that the magnitude of the magnetic field concentrated on the end (edge) of the write shield layer 13 and the like varies depending on the structure of the magnetic head unit, the recording medium, and the like. , And adjusted accordingly. For example, as shown in FIG. 9 (b), it may be formed narrower than the case shown in FIG. 9 (a), such as 15 μm, and its width is arbitrary.

なお、スライダ部分２０にもマスク４０が形成されているが、これは、当該マスク４０を利用して、磁気ヘッドスライダ３１のＡＢＳも形成するためである。つまり、ＡＢＳのシャロー部分を同時に形成すべく、目的のＡＢＳ形状に対応したマスクパターンを形成する。 A mask 40 is also formed on the slider portion 20 because the ABS of the magnetic head slider 31 is also formed using the mask 40. That is, a mask pattern corresponding to the target ABS shape is formed in order to simultaneously form the shallow portion of the ABS.

続いて、図７（ｄ）に示すように、イオンミリングによって、マスク４０でカバーされていない部分を取り除く（図２のステップＳ１３、除去工程）。このときのイオンミリングをシャローイオンミリングという。このミリングは、例えば、Arガスを使用し、Ar流量は９ｓｃｃｍ、角度は４５度、加速電圧は９００Ｖ、時間は７．５分にて行った。 Subsequently, as shown in FIG. 7D, the portion not covered with the mask 40 is removed by ion milling (step S13 in FIG. 2, removal step). This ion milling is called shallow ion milling. This milling was performed using, for example, Ar gas, Ar flow rate of 9 sccm, angle of 45 degrees, acceleration voltage of 900 V, and time of 7.5 minutes.

このようにしてイオンミリングを行った後の浮上面Ｓにおけるライトシールド層１３等の形状を、図１０乃至図１１に示す。これらの図に示すように、平坦な浮上面Ｓを形成している部分は、マスク４０の符号４１部分に覆われていた部分であり、その端からライトシールド層１３等の端部までは角度θ１で削りとられる。このとき、例えば、角度θ１＝８度であり、また、ハイト方向の削り高さは２００ナノメートルである。また、このとき、ライトシールド層１３等の端部部分だけでなく、さらにその周囲に位置する絶縁体１５（例えば、アルミナ）も、角度θ２で削り取られる。 The shape of the write shield layer 13 and the like on the air bearing surface S after performing ion milling in this manner is shown in FIGS. As shown in these figures, the portion forming the flat air bearing surface S is the portion covered with the reference numeral 41 portion of the mask 40, and the angle from the end to the end portion of the write shield layer 13 and the like is an angle. It is shaved at θ1. At this time, for example, the angle θ1 = 8 degrees, and the cutting height in the height direction is 200 nanometers. At this time, not only the end portions of the write shield layer 13 and the like, but also the insulator 15 (for example, alumina) located in the periphery thereof is scraped off at the angle θ2.

以上のように、図１０，図１１に示すように、ライトシールド層１３等の磁気シールドの幅方向の端部を浮上面Ｓから垂直方向に所定の深さだけ除去することで、当該ライトシールド層１３等の端部には傾斜面Ｔが形成される。そして、上記除去処理は、既に磁気ヘッド部１０が積層形成された後に実行されているため、除去部分は空間部となる。つまり、除去されることによって形成された傾斜面Ｔは、浮上面に露出する面となる。 As described above, as shown in FIGS. 10 and 11, by removing the end portion in the width direction of the magnetic shield such as the write shield layer 13 from the floating surface S by a predetermined depth in the vertical direction, the write shield can be obtained. An inclined surface T is formed at the end of the layer 13 or the like. And since the said removal process is already performed after the magnetic head part 10 is laminated | stacked and formed, a removal part turns into a space part. That is, the inclined surface T formed by the removal is a surface exposed to the air bearing surface.

なお、上述した除去処理と共に、スライダ部２０側もミリングされており、これにより、ＡＢＳのシャロー部分のミリングが行われる。つまり、本実施例では、上述したライトシールド層１３等の磁気シールドの幅方向の端部の除去は、ＡＢＳ形成工程であるシャローミリングと同時に実行される。 In addition, the slider part 20 side is milled with the removal process mentioned above, and, thereby, the shallow part of ABS is milled. That is, in this embodiment, the removal of the end portion in the width direction of the magnetic shield such as the write shield layer 13 described above is performed simultaneously with the shallow milling which is the ABS forming process.

続いて、図８（ａ）に示すように、上述したようにミリングされた部分（例えば、傾斜面Ｔなど）を保護するよう、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）をコーティングして、ダイアモンドライクカーボン層５３を形成する（図２のステップＳ１４、第二のＤＬＣ形成工程）。このとき、ダイアモンドライクカーボン層５３が既存のマスク４０の側面に付着することで、当該ダイアモンドライクカーボン層５３の壁面が形成される。 Subsequently, as shown in FIG. 8A, diamond-like carbon (DLC) is coated to protect the milled portion (for example, the inclined surface T) as described above, and the diamond-like carbon layer 53 is coated. (Step S14 in FIG. 2, second DLC formation step). At this time, the diamond-like carbon layer 53 adheres to the side surface of the existing mask 40, whereby the wall surface of the diamond-like carbon layer 53 is formed.

続いて、ＡＢＳのキャビティーを形成するために、さらにマスクを作成し（図２のステップＳ１５）、イオンミリングでキャビティーを形成する（図２のステップＳ１６）。なお、多段の凹凸形状から成るＡＢＳを形成するために、さらにミリング等が必要な場合には、マスク形成とミリングを繰り返す。そして、ＡＢＳ形状が完成すると、図８（ｂ）に示すように、これまでに形成したマスク４０（フォトレジスト）を除去する（図２のステップＳ１７）。このとき、図８（ｂ）に示すように、上記ステップＳ１４で形成したダイアモンドライクカーボン層５３の壁面が残ってしまう。これをフェンシングと呼ぶが、このフェンシングが大きく形成されると、磁気ヘッドスライダ３１がメディアに接触するというクラッシュ等の危険性が生じうる。従って、このフェンシングを取り除くために、ヘビーエッチングを実施する。ヘビーエッチングは、例えば、ＡｒとＯ_２の混合ガスを使用し、Ｏ_２流量は１２ｓｃｃｍ（standard cc/min）、Ａｒ流量は６ｓｃｃｍ、角度は４５度であり、エッチング時間は９０秒、加速電圧は５００Ｖの条件でエッチングを行い、ＤＬＣのエッチングレートは毎秒０．６７オングストロームである。これによって、図８（ｃ）に示すように、形成した全てのダイアモンドライクカーボン層５１，５２，５３を浮上面Ｓ上から全て除去する（図２のステップＳ１８、ＤＬＣ除去工程）。 Subsequently, in order to form an ABS cavity, a mask is further formed (step S15 in FIG. 2), and a cavity is formed by ion milling (step S16 in FIG. 2). If further milling or the like is required to form an ABS having a multi-stage uneven shape, mask formation and milling are repeated. When the ABS shape is completed, as shown in FIG. 8B, the mask 40 (photoresist) formed so far is removed (step S17 in FIG. 2). At this time, as shown in FIG. 8B, the wall surface of the diamond-like carbon layer 53 formed in step S14 remains. This is called fencing. If this fencing is formed large, there is a risk of a crash such as the magnetic head slider 31 coming into contact with the medium. Therefore, heavy etching is performed to remove this fencing. Heavy etching uses, for example, a mixed gas of Ar and O ₂ , the O ₂ flow rate is 12 sccm (standard cc / min), the Ar flow rate is 6 sccm, the angle is 45 degrees, the etching time is 90 seconds, and the acceleration voltage is Etching is performed under the condition of 500 V, and the etching rate of DLC is 0.67 angstroms per second. As a result, as shown in FIG. 8C, all the formed diamondlike carbon layers 51, 52, 53 are removed from the air bearing surface S (step S18 in FIG. 2, DLC removing step).

その後、磁気ヘッドスライダ３１のＡＢＳを保護するために、浮上面Ｓ全体を、再度、ダイアモンドライクカーボンでコーティングし、ダイアモンドライクカーボン層を形成する（図２のステップＳ１９、第三のＤＬＣ形成工程）。なお、このとき、磁気ヘッドスライダ３１の浮上面Ｓとの密着性を良くするために、図８（ｄ）に示すように、まず、浮上面ＳにＳｉシード層５４を形成した後に、その上に、最後のダイアモンドライクカーボン層５５を形成し、ＡＢＳ全体を覆う。これにより、浮上面Ｓにゴミ等がつきにくくなり、ヘッドクラッシュの危険性が低くなり信頼性が向上する。 Thereafter, in order to protect the ABS of the magnetic head slider 31, the entire air bearing surface S is again coated with diamond-like carbon to form a diamond-like carbon layer (step S19 in FIG. 2, third DLC formation step). . At this time, in order to improve the adhesion of the magnetic head slider 31 to the air bearing surface S, first, as shown in FIG. Then, the final diamond-like carbon layer 55 is formed to cover the entire ABS. As a result, dust or the like is less likely to adhere to the air bearing surface S, the risk of head crashes is reduced, and reliability is improved.

以上のようにして形成された磁気ヘッドスライダ３１を（例えば、図１６（ｂ）参照）、図１２に示すように、例えば、フレキシャ６１のタング面にマイクロアクチュエータ６２を介して搭載することで、ヘッドジンバルアセンブリ６０を構成することができる。そして、このヘッドジンバルアセンブリ６０を用いて、当該ヘッドジンバルアセンブリを搭載した磁気ディスク装置７０を構成することができ、磁気ディスクに対してデータの記録再生を行うことができる。 By mounting the magnetic head slider 31 formed as described above (see, for example, FIG. 16B), for example, on the tongue surface of the flexure 61 via the microactuator 62, as shown in FIG. The head gimbal assembly 60 can be configured. The head gimbal assembly 60 can be used to configure a magnetic disk device 70 on which the head gimbal assembly is mounted, and data can be recorded / reproduced on / from the magnetic disk.

そして、データの記録再生時には、上述したように、ヨークシールド層６など磁気シールドの端部が除去されて傾斜面が形成されているため、かかる部分に磁極層１１からの磁束あるいは外部からの磁束が集中することがなく、トラックイレーズの発生を抑制することができ、信頼性の向上を図ることができる。特に、磁気シールドの傾斜面の形成を、積層形成工程中ではなく、その後に浮上面側から磁気シールドの端部を除去して行っているため、磁気シールドが複数ある場合であっても、積層形成時に複雑な工程を経ることなく、これらの端部を同時に除去することができ、製造工程の簡易化を図ることができる。その結果、製造時間の短縮、さらには、製造コストの低減を図ることができる。 At the time of data recording / reproduction, as described above, since the end portion of the magnetic shield such as the yoke shield layer 6 is removed to form the inclined surface, the magnetic flux from the magnetic pole layer 11 or the magnetic flux from the outside is formed in this portion. Therefore, the occurrence of track erase can be suppressed and the reliability can be improved. In particular, the formation of the inclined surface of the magnetic shield is not performed during the layer formation process, but the end of the magnetic shield is subsequently removed from the air bearing surface side, so even if there are multiple magnetic shields, These end portions can be removed at the same time without going through a complicated process at the time of formation, and the manufacturing process can be simplified. As a result, the manufacturing time can be shortened and the manufacturing cost can be reduced.

さらに、上述したように磁気シールドの端部やその周囲の絶縁体の除去することで、当該除去部分が空間部となり、かかる除去部分である傾斜面Ｔが浮上面に露出する。すると、磁気ヘッド部と磁気ディスクとの距離を大きくとることができ、磁気ヘッド部が磁気ディスクに接触することを抑制することができる。その結果、データ記録再生の安定化及び磁気ヘッドの耐久性の向上を図ることができる。 Further, as described above, by removing the end portion of the magnetic shield and the surrounding insulator, the removed portion becomes a space portion, and the inclined surface T as the removed portion is exposed on the air bearing surface. Then, the distance between the magnetic head unit and the magnetic disk can be increased, and the magnetic head unit can be prevented from contacting the magnetic disk. As a result, it is possible to stabilize data recording and reproduction and improve the durability of the magnetic head.

また、ＡＢＳの形成過程で、ダイアモンドライクカーボン層によるフェンシングを除去することで、さらに磁気ヘッド部が磁気ディスクに接触することを抑制できる。また、最終的にＡＢＳを覆うダイアモンドライクカーボン層を形成することで、ごみの付着を防止することができる。以上より、上述した方法にて製造された磁気ヘッドスライダを用いて磁気ディスク装置を構成することで、当該磁気ディスク装置の信頼性を向上させることができる。 Further, by removing fencing due to the diamond-like carbon layer during the ABS formation process, it is possible to further prevent the magnetic head unit from contacting the magnetic disk. Further, by forming a diamond-like carbon layer that finally covers the ABS, it is possible to prevent dust from adhering. As described above, by configuring the magnetic disk device using the magnetic head slider manufactured by the above-described method, the reliability of the magnetic disk device can be improved.

ここで、上記では、磁気シールドの一例としてリターンヨーク層６やライトシールド層１３を図示して説明したが、下部シールド層３も磁気シールドとして扱い、その浮上面Ｓ側に位置する幅方向の端部を除去してもよい。また、磁気シールドはこれに限定されず、他にも、再生素子や記録素子に対する磁気シールドとして機能する磁性材料にて形成されたものを磁気シールドして扱い、上述したように、浮上面Ｓにおける幅方向の端部を除去してもよい。 Here, in the above description, the return yoke layer 6 and the write shield layer 13 are illustrated and described as an example of the magnetic shield. However, the lower shield layer 3 is also treated as a magnetic shield, and the end in the width direction located on the air bearing surface S side. The part may be removed. In addition, the magnetic shield is not limited to this, but other than that, a magnetic material that functions as a magnetic shield for a reproducing element and a recording element is handled as a magnetic shield. You may remove the edge part of the width direction.

また、上記では、磁気シールドの端部を除去する工程がＡＢＳ形成工程の一部として実行される場合を例示したが、ＡＢＳ形成工程以外のタイミングで、別途実行されてもよい。但し、少なくとも、積層形成工程以降であって、浮上面側から除去処理を実行できるよう、当該浮上面が露出するようバーブロック等に切り出した後に実行するとよい。 Moreover, although the case where the process of removing the edge part of a magnetic shield was performed as a part of ABS formation process was illustrated above, you may perform separately at timings other than an ABS formation process. However, at least after the layer formation step, it may be performed after cutting out into a bar block or the like so that the air bearing surface is exposed so that the removal process can be performed from the air bearing surface side.

ここで、上記では、磁気ヘッド部１０の一例として、「単磁極型ヘッド」を備えたものを説明したが、必ずしもこれに限られない。例えば、「リング型ヘッド」を用いた磁気ヘッド部を備えた磁気ヘッドスライダを製造するために適用してもよい。 Here, as an example of the magnetic head unit 10, the one provided with the “single pole type head” has been described above, but is not necessarily limited thereto. For example, the present invention may be applied to manufacture a magnetic head slider having a magnetic head portion using a “ring-type head”.

また、上記では、複合型薄膜磁気ヘッドを製造する場合を例示したが、必ずしもこれに限定されない。例えば、書き込み用の誘導型磁気変換素子を有する記録専用の薄膜磁気ヘッドや、記録・再生兼用の誘導型磁気変換素子を有する薄膜磁気ヘッドにも適用可能である。また、本発明は、書き込み用の素子および読み出し用の素子の積層順序を逆転させた構造の薄膜磁気ヘッドについても適用可能である。さらに、本発明は、垂直記録型の薄膜磁気ヘッドに限らず、長手記録型（面内記録型）の薄膜磁気ヘッドについても適用可能である。 Moreover, although the case where a composite type thin film magnetic head was manufactured was illustrated above, it is not necessarily limited to this. For example, the present invention can be applied to a thin film magnetic head dedicated to recording having an inductive magnetic transducer for writing or a thin film magnetic head having an inductive magnetic transducer for both recording and reproduction. The present invention can also be applied to a thin film magnetic head having a structure in which the stacking order of the write element and the read element is reversed. Further, the present invention is applicable not only to a perpendicular recording type thin film magnetic head but also to a longitudinal recording type (in-plane recording type) thin film magnetic head.

本発明である磁気ヘッドスライダの製造方法は、磁気ディスク装置に搭載し、磁気ディスクに対してデータの記録再生を行う磁気ヘッドスライダを製造するために利用することができる。従って、産業上の利用可能性を有する。 The magnetic head slider manufacturing method according to the present invention can be used to manufacture a magnetic head slider that is mounted on a magnetic disk device and records and reproduces data on the magnetic disk. Therefore, it has industrial applicability.

磁気ヘッドスライダの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of a magnetic head slider. 磁気ヘッドスライダの製造方法を示すフローチャートであり、図１に示す工程の一部の詳細を示す。It is a flowchart which shows the manufacturing method of a magnetic head slider, and shows the detail of one part of the process shown in FIG. 磁気ヘッド部の積層構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the laminated structure of a magnetic head part. 磁気ヘッド部の積層構造を示す上面図である。It is a top view which shows the laminated structure of a magnetic head part. 磁気ヘッド部の積層構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the laminated structure of a magnetic head part. 磁気ヘッドスライダの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of a magnetic head slider. 磁気ヘッドスライダの製造時における各工程の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of each process at the time of manufacture of a magnetic head slider. 磁気ヘッドスライダの製造時における各工程の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of each process at the time of manufacture of a magnetic head slider. 磁気ヘッドスライダの製造時における各工程の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of each process at the time of manufacture of a magnetic head slider. 磁気ヘッドスライダの製造時における各工程の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of each process at the time of manufacture of a magnetic head slider. 磁気ヘッドスライダの製造時における各工程の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of each process at the time of manufacture of a magnetic head slider. 磁気ヘッドスライダを搭載したヘッドジンバルアセンブリを示す図である。It is a figure which shows the head gimbal assembly which mounts a magnetic head slider. ヘッドジンバルアセンブリを搭載した磁気ディスク装置を示す図である。It is a figure which shows the magnetic disc apparatus carrying a head gimbal assembly. 従来例における磁気ヘッドスライダの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the magnetic head slider in a prior art example. 従来例磁気ヘッドスライダの製造時における各工程の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of each process at the time of manufacture of a conventional example magnetic head slider. 従来例磁気ヘッドスライダの製造時における各工程の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of each process at the time of manufacture of a conventional example magnetic head slider. 従来例における磁気ヘッド部の積層構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the laminated structure of the magnetic head part in a prior art example. 従来例における磁気ヘッド部の積層構造を示す上面図である。It is a top view which shows the laminated structure of the magnetic head part in a prior art example. 従来例における磁気ヘッド部の積層構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the laminated structure of the magnetic head part in a prior art example. 従来例における磁気ヘッド部の積層構造を示す上面図である。It is a top view which shows the laminated structure of the magnetic head part in a prior art example. 従来例における磁気ヘッド部の積層構造を示す上面図である。It is a top view which shows the laminated structure of the magnetic head part in a prior art example. 従来例における磁気ヘッド部の積層構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the laminated structure of the magnetic head part in a prior art example. 従来例における磁気ヘッド部の記録時における磁束の流れを説明する図である。It is a figure explaining the flow of the magnetic flux at the time of recording of the magnetic head part in a prior art example. 従来例におけるリターンヨーク層の形状とその磁界強度との相関に関する測定結果を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically the measurement result regarding the correlation of the shape of the return yoke layer in the prior art example, and its magnetic field intensity.

Explanation of symbols

１基板
２絶縁層
３下部シールド層
４シールドギャップ膜
５ＭＲ素子
６リターンヨーク層
７ギャップ層
８薄膜コイル
９ヨーク層
１１磁極層
１２絶縁層
１３ライトシールド層
１４オーバーコート層
１５絶縁体
１０磁気ヘッド部
２０スライダ部
３０バーブロック
３１磁気ヘッドスライダ
６０ヘッドジンバルアセンブリ
７０磁気ディスク装置
１００基体
１０Ａ再生ヘッド部
１０Ｂ記録ヘッド部
Ｓ浮上面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Insulating layer 3 Lower shield layer 4 Shield gap film 5 MR element 6 Return yoke layer 7 Gap layer 8 Thin film coil 9 Yoke layer 11 Pole layer 12 Insulating layer 13 Write shield layer 14 Overcoat layer 15 Insulator 10 Magnetic head part 20 Slider part 30 Bar block 31 Magnetic head slider 60 Head gimbal assembly 70 Magnetic disk device 100 Base 10A Playback head part 10B Recording head part S Air bearing surface

Claims

A lamination forming step of laminating and forming a magnetic head portion including a reproducing element and / or a recording element and a magnetic shield that magnetically shields the reproducing element and / or the recording element; A method of manufacturing a magnetic head slider by cutting out a magnetic head slider from the laminated body,
After the layer forming step, a shield end portion removing step for removing an end portion in the width direction of the magnetic shield located on the air bearing surface side of the magnetic head slider,
A method of manufacturing a magnetic head slider.

Subsequent to the layer forming step, the bar block cutting step of cutting out a plurality of bar blocks of magnetic head sliders from the stack, and the slider cutting step of cutting individual magnetic head sliders from the bar block,
At least after the bar block cutting step, the shield end removal step,
The method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 1.

The shield end removal step includes
A mask formation step of forming a mask covering the reproducing element and / or the recording element and a central portion excluding an end in the width direction of the magnetic shield on the air bearing surface of the magnetic head slider;
Removing the portion exposed from the mask to a predetermined depth from the air bearing surface side,
3. A method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 1, wherein

The shield end portion removing step removes an end portion in the width direction of the magnetic shield exposed on the air bearing surface and an insulator portion formed around the end portion.
4. A method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 1, 2, or 3.

Before and after the slider cutting step, an ABS forming step of forming an air bearing surface of a predetermined shape on the air bearing surface of the magnetic head slider;
The shield end removal step is executed as part of the ABS formation step.
5. A method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 2, 3 or 4.

The shield end portion removing step includes a DLC step of forming a diamond-like carbon layer on the air bearing surface before the mask forming step.
The method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 5.

The shield end portion removing step further includes a second DLC forming step for forming a diamond-like carbon layer on the air bearing surface after the removing step, and thereafter performing a predetermined process on the air bearing surface. And a DLC removal step for removing all of the diamond like carbon layer formed on the air bearing surface.
The method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 6.

After the ABS forming step, a third DLC forming step of forming a diamond-like carbon layer covering the air bearing surface is included.
The method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 7.

The magnetic shield includes one having a function of returning a magnetic flux generated from the recording element,
9. A method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 or 8.

A magnetic head slider having a magnetic head portion formed by stacking, including a reproducing element and / or a recording element, and a magnetic shield for magnetically shielding the reproducing element and / or the recording element,
The end portion in the width direction of the magnetic shield located on the air bearing surface side of the magnetic head slider is removed, and the removed portion of the magnetic shield is exposed on the air bearing surface.
A magnetic head slider characterized by that.

An end portion in the width direction of the magnetic shield located on the air bearing surface side of the magnetic head slider and an insulator portion located around the end portion are removed, and the magnetic shield and the insulator portion are removed. A portion is exposed on the air bearing surface,
The magnetic head slider according to claim 10.

A diamond-like carbon layer is formed on the entire air bearing surface,
12. The magnetic head slider according to claim 10, wherein

A head gimbal assembly comprising the magnetic head slider formed by the method of manufacturing a magnetic head slider according to claim 1 or the magnetic head slider according to claim 10.

A magnetic disk apparatus comprising the head gimbal assembly according to claim 13.