JP2009146555A - Nonvolatile semiconductor storage device - Google Patents

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Yuji Komine
峰 祐 司 小
Shinya Fujisawa
澤 慎 也 藤
Yasuhiko Honda
多 泰 彦 本
Ryu Hondai
台 隆 本
Hisatomo Kasai
西 央 倫 葛
Takahiro Suzuki
木 孝 洋 鈴
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten automatic writing operation time as much as possible. <P>SOLUTION: The nonvolatile semiconductor storage device includes a memory cell array 4 having a plurality of nonvolatile memory cells, an address search circuit 35 which searches for write object data and outputs an address where the write object data are present, when writing data in the nonvolatile memory cells, and a control circuit 20 which exercises control to write the write object data into the nonvolatile memory cells in accordance with the address output from the address search circuit. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、不揮発性半導体記憶装置に関する。   The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device.

一般に、フラッシュメモリに代表される不揮発性半導体記憶装置には、ワード単位でメモリセルに書き込みができる自動ワード書き込み動作と、書き込み時間を短縮化するための複数ワードの書き込みを可能にする自動ページ書き込み動作がある(例えば、特許文献1参照。)。   In general, in a nonvolatile semiconductor memory device represented by a flash memory, an automatic word write operation capable of writing to a memory cell in units of words and an automatic page write enabling a plurality of words to be written to shorten the write time. There is an operation (for example, see Patent Document 1).

近年、不揮発性半導体記憶装置の大容量化に伴い、一回の自動ページ書き込み動作で書き込みできるワード数も、従来の8ワード、16ワード、32ワードから、256ワード、512ワードとすることにより、全体の書き込み時間の短縮化を図っている。   In recent years, with the increase in capacity of nonvolatile semiconductor memory devices, the number of words that can be written by one automatic page write operation has been changed from the conventional 8 words, 16 words, 32 words to 256 words, 512 words, The entire writing time is shortened.

従来の不揮発性半導体記憶装置の自動ページ書き込み動作、例えば8ワード自動ページ書き込み動作においては、まず、ページアドレスでデコードされた、4ページ分のデータがデータバッファから出力され、書き込みが行われる。先頭ページの書き込み時間が終了すると、アドレス生成回路がアドレスを+4だけ増加し、ページアドレスを次の4ページ分のデータ領域に移して、次の書き込みデータをデータバッファから読み出して、同様に書き込み動作を行う。
特開2006−172681号公報
In an automatic page write operation of a conventional nonvolatile semiconductor memory device, for example, an 8-word automatic page write operation, first, four pages of data decoded by a page address are output from the data buffer and written. When the write time for the first page ends, the address generation circuit increments the address by +4, moves the page address to the data area for the next four pages, reads the next write data from the data buffer, and performs the same write operation I do.
JP 2006-172681 A

本発明は、自動書き込み動作時間を可及的に短縮することができる不揮発性半導体記憶装置を提供する。   The present invention provides a nonvolatile semiconductor memory device capable of reducing the automatic write operation time as much as possible.

本発明の一態様による不揮発性半導体記憶装置は、複数の不揮発性メモリセルを有するメモリセルアレイと、複数の前記不揮発性メモリセルにデータを書き込む際に、書き込み対象データを検索し、前記書き込み対象データが存在するアドレスを出力するアドレス検索回路と、前記アドレス検索回路から出力される前記アドレスに従って、前記メモリセルに前記書き込み対象データを書き込むように制御する制御回路と、を備えていることを特徴とする。   According to one embodiment of the present invention, a nonvolatile semiconductor memory device includes a memory cell array having a plurality of nonvolatile memory cells, and searches for data to be written when writing data to the plurality of nonvolatile memory cells. An address search circuit that outputs an address in which the data exists, and a control circuit that controls to write the data to be written to the memory cell according to the address output from the address search circuit. To do.

本発明によれば、自動書き込み動作時間を可及的に短縮することができる。   According to the present invention, the automatic write operation time can be shortened as much as possible.

従来、自動ページ書き込み動作においては、書き込みデータが存在しない場合、すなわち書き込みデータが無いので書き込みは行われない場合も、書き込みデータが存在するときと同様の書き込み時間だけ経過させ、その後、アドレスを+4だけ増加させる。全てのページに対して書き込みが行われた後、アドレスを、ページ書き込みを行う先頭アドレスに戻し、ベリファイ動作に移る。このベリファイ動作の場合も、書き込みのデータの有無に関わらず、アドレスの増加動作が毎回発生する。   Conventionally, in the automatic page write operation, when there is no write data, that is, when there is no write data and no write is performed, the same write time as when there is write data is passed, and then the address is set to +4 Only increase. After all the pages have been written, the address is returned to the top address where the page is written, and the verify operation is started. Also in this verify operation, an address increment operation occurs every time regardless of the presence or absence of write data.

ページ数が少ない場合、書き込みデータの有無に関わらず、全てのページアドレスのインクリメントが挿入されても、トータルの書き込み動作時間にはさほど影響が出ないが、ページ数が多くなった場合は無視できなくなり、トータルの書き込み動作時間が長くなるという問題があった。   If the number of pages is small, even if all page address increments are inserted regardless of whether there is write data, the total write operation time will not be affected so much, but if the number of pages increases, it can be ignored. There is a problem that the total write operation time becomes longer.

また、従来の自動消去動作モードにおいても、例えば消去ベリファイ動作、過消去ベリファイ動作、過消去セルの再書き込み動作で、ページアドレスの増加動作は、対象ビットの有無に関わらず、毎回発生していた。このため、トータルの消去動作時間が長くなるという問題があった。   Also in the conventional automatic erase operation mode, for example, in the erase verify operation, over-erase verify operation, and over-erase cell rewrite operation, the page address increase operation occurs every time regardless of the presence or absence of the target bit. . For this reason, there has been a problem that the total erase operation time becomes long.

出願人が見出した上記課題に対応して、本発明の実施形態を以下に図面を参照して詳細に説明する。   In response to the above-mentioned problems found by the applicant, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(第1実施形態)
本発明の第1実施形態による不揮発性半導体記憶装置を図1に示す。本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、複数のメモリブロック2と、読み出し用センスアンプ回路12と、自動動作用センスアンプ回路14と、自動動作制御システム20と、データ制御システム30と、CE端子101と、WE端子102と、アドレス入力端子103と、同時に16ビットデータの入出力が可能なデータ入出力端子104と、を備えている。
(First embodiment)
A nonvolatile semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention is shown in FIG. The nonvolatile semiconductor memory device of this embodiment includes a plurality of memory blocks 2, a read sense amplifier circuit 12, an automatic operation sense amplifier circuit 14, an automatic operation control system 20, a data control system 30, and a CE terminal. 101, a WE terminal 102, an address input terminal 103, and a data input / output terminal 104 capable of inputting / outputting 16-bit data at the same time.

メモリブロック2のそれぞれには、メモリセルアレイ4と、メモリセルアレイ4の周辺に設けられたメモリデコーダ6とが設けられている。メモリデコーダ6は、例えば、ロウデコーダ、カラムデコーダ等である。メモリセルアレイ4は、例えば4値データを記憶することのできる、マトリクス状に配列された複数のメモリセルを有している。   Each of the memory blocks 2 is provided with a memory cell array 4 and a memory decoder 6 provided around the memory cell array 4. The memory decoder 6 is, for example, a row decoder or a column decoder. The memory cell array 4 has a plurality of memory cells arranged in a matrix, for example, capable of storing quaternary data.

本実施形態においては、不揮発性半導体記憶装置はNOR型フラッシュメモリであって、各メモリセルは、半導体基板上で互いに離間して形成されたソース領域およびドレイン領域と、上記ソース領域と上記ドレイン領域との間のチャネルとなる半導体基板の領域上に形成されたトンネル絶縁膜と、このトンネル絶縁膜上に形成されたフローティングゲートと、このフローティングゲート上に形成された電極間絶縁膜と、この電極間絶縁膜上に形成された制御ゲートとを備えている。   In the present embodiment, the nonvolatile semiconductor memory device is a NOR flash memory, and each memory cell includes a source region and a drain region formed on a semiconductor substrate so as to be separated from each other, and the source region and the drain region. A tunnel insulating film formed on the region of the semiconductor substrate serving as a channel between the floating insulating film, a floating gate formed on the tunnel insulating film, an interelectrode insulating film formed on the floating gate, and the electrode And a control gate formed on the intermediate insulating film.

制御ゲートとドレイン領域に高い正の電圧を印可し、ソース領域と半導体基板とを接地電位とすることにより、半導体基板からトンネル絶縁膜を通ってフローティングゲートに電子が注入されて蓄積され、これによりメモリセルの閾値が変化する。本実施形態においては、4値データを、閾値の低い方向から順番にデータ(11)、(10)、(00)、(01)と表す。すなわち、データ(11)は、フローティングゲートに電子が蓄積していない状態(消去状態)を表している。   By applying a high positive voltage to the control gate and the drain region and setting the source region and the semiconductor substrate to the ground potential, electrons are injected from the semiconductor substrate through the tunnel insulating film into the floating gate and accumulated. The threshold value of the memory cell changes. In the present embodiment, quaternary data is represented as data (11), (10), (00), and (01) in order from the lowest threshold value. That is, the data (11) represents a state where electrons are not accumulated in the floating gate (erased state).

自動動作制御システム20は、コマンド判定回路22と、アドレス生成回路24と、自動動作制御回路26とを備えている。   The automatic operation control system 20 includes a command determination circuit 22, an address generation circuit 24, and an automatic operation control circuit 26.

データ制御システム30は、256ページのデータを保持することのできる第1データバッファ31と、データ変換回路32と、データ入力選択回路33と、256ページのデータ保持することができるデータ保持回路およびデータ判定回路を含む第2データバッファ34と、書き込みデータの存在するアドレスを自動検索し出力する自動アドレス検索回路35(以下、AAS回路35ともいう)と、アドレス選択回路36と、書き込みデータ多値圧縮回路37と、ベリファイデータ制御回路38と、ベリファイデータ出力デコード回路39とを備えている。   The data control system 30 includes a first data buffer 31 that can hold 256 pages of data, a data conversion circuit 32, a data input selection circuit 33, a data holding circuit and data that can hold 256 pages of data. A second data buffer 34 including a determination circuit, an automatic address search circuit 35 (hereinafter also referred to as AAS circuit 35) for automatically searching for and outputting an address where write data exists, an address selection circuit 36, and write data multi-value compression A circuit 37, a verify data control circuit 38, and a verify data output decoding circuit 39 are provided.

自動書き込み動作
次に、本実施形態の不揮発性半導体記憶装置の構成および動作を、自動ページ書き込み動作を例にとって説明する。この自動ページ書き込み動作の一例として、データ(10)の書き込みとそのベリファイ、続いてデータ(00)の書き込みとそのベリファイ、最後にデータ(01)の書き込みとそのベリファイを行う制御シーケンスとして説明する。
Automatic Write Operation Next, the configuration and operation of the nonvolatile semiconductor memory device of this embodiment will be described by taking an automatic page write operation as an example. As an example of this automatic page write operation, a control sequence for writing data (10) and its verification, subsequently writing data (00) and its verification, and finally writing and verifying data (01) will be described.

まず、CE端子101からチップイネーブル信号を入力し、不揮発性半導体記憶装置を起動する。自動ページ書き込み動作を行う前に、自動ページ書き込み動作が行われるメモリセルアレイ4の領域の各メモリセルは、消去状態(データ(11))になっているものとする。   First, a chip enable signal is input from the CE terminal 101 to start the nonvolatile semiconductor memory device. It is assumed that each memory cell in the region of the memory cell array 4 where the automatic page write operation is performed is in an erased state (data (11)) before the automatic page write operation is performed.

次に、自動ページ書き込みのコマンドをアドレス端子103およびデータ入出力端子104から入力する。すると、コマンド判定回路22が自動ページ書き込み動作を認識し、自動動作制御回路26に、自動ページ書き込み動作の制御開始を通知するコマンド割り込み信号を出力する。   Next, an automatic page write command is input from the address terminal 103 and the data input / output terminal 104. Then, the command determination circuit 22 recognizes the automatic page write operation and outputs a command interrupt signal for notifying the automatic operation control circuit 26 of the start of control of the automatic page write operation.

続けて、書き込みアドレスおよび書き込みデータを、アドレス端子103およびデータ入出力端子104から入力する。すると、アドレス生成回路24では、自動動作制御回路26から入力されるアドレス制御信号により、書き込みアドレスの先頭アドレスをラッチするとともに、書き込みデータを格納する為のカラムアドレスAを、データ制御システム30の第1データバッファ31に出力する。   Subsequently, a write address and write data are input from the address terminal 103 and the data input / output terminal 104. Then, the address generation circuit 24 latches the head address of the write address according to the address control signal input from the automatic operation control circuit 26, and sets the column address A for storing the write data to the first address of the data control system 30. 1 output to the data buffer 31.

書き込みデータは、コマンド入力毎にコマンド判定回路22で生成されるラッチクロックCLKAのパルスにより、入力データバスを介して、カラムアドレスAが示す第1データバッファ31の領域に送られてラッチされる。カラムアドレスAは、データラッチ毎に、自動インクリメントされる。   The write data is sent and latched to the area of the first data buffer 31 indicated by the column address A via the input data bus by the pulse of the latch clock CLKA generated by the command determination circuit 22 for every command input. The column address A is automatically incremented every data latch.

第1データバッファ31に全てのページの書き込みデータが格納されると、アドレス生成回路24は、ページ書き込みを行う対象となるブロックアドレス、ロウアドレス、および先頭のページアドレスをカラムアドレスAに示す。第1データバッファ31には、各ページを16ビットとして、256ページのデータPage0〜Page255のデータが格納されている。   When the write data for all pages is stored in the first data buffer 31, the address generation circuit 24 indicates the block address, row address, and head page address to be page-written as column address A. The first data buffer 31 stores 256 pages of data Page0 to Page255, each page having 16 bits.

第1データバッファ31に格納された書き込みデータから、書き込むべきデータ(10)を検索するために、上記格納された書き込みデータがデータ変換回路32によって変換される。このデータ変換回路32によって変換されたデータが、データ入力選択回路33を介して第2データバッファ34の保持回路に格納される。このデータ変換は、以下のように行われる。   In order to retrieve the data (10) to be written from the write data stored in the first data buffer 31, the stored write data is converted by the data conversion circuit 32. The data converted by the data conversion circuit 32 is stored in the holding circuit of the second data buffer 34 via the data input selection circuit 33. This data conversion is performed as follows.

まず、書き込むべきデータ(書き込み対象データ)がデータ(10)であるので、自動動作制御回路26からデータ変換回路32に送られてくるデータパターン選択信号[1:0]は、“10”とする。なお、書き込むべきデータがデータ(00)、データ(01)である場合は、図2に示すように、データパターン選択信号[1:0]はそれぞれ“00”、“01”となる。データパターン選択信号[1:0]が“11”の場合は、後述する状態マルチ書き込みの場合である。   First, since the data to be written (data to be written) is data (10), the data pattern selection signal [1: 0] sent from the automatic operation control circuit 26 to the data conversion circuit 32 is “10”. . When the data to be written is data (00) and data (01), as shown in FIG. 2, the data pattern selection signals [1: 0] are “00” and “01”, respectively. When the data pattern selection signal [1: 0] is “11”, this is a case of state multi-write described later.

他方、第1データバッファ31から1回の転送で16ページ(256ビット)のデータ群がデータバスを介して送られ、そしてこの転送が16回行われる。すなわち、データ群Page0〜Page15が送られてきた後、データ群Page16〜Page31が送られてくる。このデータ転送が15回行われた後、最後にデータ群Page240〜Page255がデータ変換回路32に送られてくる。   On the other hand, a data group of 16 pages (256 bits) is sent from the first data buffer 31 through the data bus in one transfer, and this transfer is performed 16 times. That is, after the data groups Page0 to Page15 are sent, the data groups Page16 to Page31 are sent. After the data transfer is performed 15 times, the data groups Page 240 to Page 255 are finally sent to the data conversion circuit 32.

第1バッファ回路31から1回の転送で送られてくるデータ群のうち前半の8ページ分のデータ群を上位ビットデータ群とし、後半の8ページ分のデータ群を下位ビットデータ群とする。例えば、1回の転送で送られてくるデータ群をPage0〜Page15とすると、上位ビットデータ群はデータ群Page0〜Page7となり、下位ビットデータ群はデータ群Page8〜Page15となる。   Of the data group sent from the first buffer circuit 31 by one transfer, the data group for the first eight pages is the upper bit data group, and the data group for the second eight pages is the lower bit data group. For example, if the data group sent in one transfer is Page0 to Page15, the upper bit data group is the data group Page0 to Page7, and the lower bit data group is the data group Page8 to Page15.

そして、1回の転送で送られてくる例えば上位ビットデータ群Page0〜Page7と下位ビットデータ群Page8〜Page15におけるそれぞれの順序が同じデータの組、例えばデータPage0とデータPage8の組を「多値圧縮ペア」と呼ぶ。したがって、データPage1とデータPage9の組も多値圧縮ペアとなり、データPage2とデータPage10の組も多値圧縮ペアとなる。   For example, a set of data having the same order in the upper bit data group Page0 to Page7 and the lower bit data group Page8 to Page15, for example, a set of data Page0 and DataPage8, sent in one transfer is expressed as “multi-value compression”. Called “Pair”. Therefore, the set of data Page 1 and data Page 9 is also a multi-value compression pair, and the set of data Page 2 and data Page 10 is also a multi-value compression pair.

また、データPage241とデータPage249の組も多値圧縮ペアとなり、データPage248とデータPage255の組も多値圧縮ペアとなる。そして、多値圧縮ペアのうち上位ビットデータ群に含まれるデータを上位ビットデータと呼び、下位ビットデータ群にふくまれるデータを下位ビットデータと呼ぶ。   A set of the data Page 241 and the data Page 249 is also a multi-value compression pair, and a set of the data Page 248 and the data Page 255 is also a multi-value compression pair. Data included in the upper bit data group in the multi-value compression pair is referred to as upper bit data, and data included in the lower bit data group is referred to as lower bit data.

この多値圧縮ペア、例えばデータPage0とPage8は、それぞれ16ビットのデータであるから、図3に示すように、それぞれ、16個のバイナリビットIO<0>,IO<1>,・・・,IO<15>から構成されているものとする。ここで、各IO<i>(i=0,・・・,15)は、i番目の入出力端子104から入力されたバイナリビットを表している。   Since this multi-value compression pair, for example, data Page 0 and Page 8 is 16-bit data, respectively, as shown in FIG. 3, 16 binary bits IO <0>, IO <1>,. It is assumed that it is composed of IO <15>. Here, each IO <i> (i = 0,..., 15) represents a binary bit input from the i-th input / output terminal 104.

そして、多値圧縮ペアのうち、上位ビットデータおよび下位ビットデータの同一の入出力端子から入力されたバイナリビットを、それぞれ上位ビット(以下、UBともいう)および下位ビット(以下、LBともいう)と呼び、これらのビットを「多値圧縮ビットペア」と呼ぶ。   In the multi-value compression pair, binary bits input from the same input / output terminal of the upper bit data and the lower bit data are respectively converted into upper bits (hereinafter also referred to as UB) and lower bits (hereinafter also referred to as LB). These bits are called “multi-value compression bit pairs”.

データ変換回路32においては、データパターン選択信号が“00”、“10”の場合は図4(a)に示すように、データ変換回路32に入力されるデータ群における多値圧縮ペアの多値圧縮ビットペアを構成する上位ビットと下位ビットは、その組み合わせによって出力される多値圧縮ビットペアの上位ビットデータと下位ビットデータのビット値を換え、出力する。   In the data conversion circuit 32, when the data pattern selection signal is “00” or “10”, as shown in FIG. 4A, the multi-value of the multi-value compression pair in the data group input to the data conversion circuit 32 The upper bits and lower bits constituting the compressed bit pair are output by changing the bit values of the upper bit data and lower bit data of the multi-value compression bit pair output by the combination.

例えば、入力された多値圧縮ビットペアの上位ビットUBが「0」、下位ビットLBが「0」のときは、出力する多値圧縮ビットペアの上位ビットUBは換えずに「0」、下位ビットLBは換えて「1」とする。入力された多値圧縮ビットペアの上位ビットUBが「0」、下位ビットLBが「1」のときは、出力する多値圧縮ビットペアの上位ビットUBは換えて「1」、下位ビットLBは換えずに「1」とする。   For example, when the upper bit UB of the input multi-value compression bit pair is “0” and the lower bit LB is “0”, the upper bit UB of the output multi-value compression bit pair is not changed, but “0”, the lower bit LB Is replaced with “1”. When the upper bit UB of the input multi-value compression bit pair is “0” and the lower bit LB is “1”, the upper bit UB of the output multi-value compression bit pair is changed to “1”, and the lower bit LB is not changed. “1”.

入力された多値圧縮ビットペアの上位ビットUBが「1」、下位ビットLBが「0」のときは、出力する多値圧縮ビットペアの上位ビットUBおよび下位ビットLBはそれぞれ換えない。また、入力された多値圧縮ビットペアの上位ビットUBが「1」、下位ビットLBが「1」のときも、出力する多値圧縮ビットペアの上位ビットUBおよび下位ビットLBはそれぞれ換えない。   When the upper bit UB of the input multi-value compression bit pair is “1” and the lower bit LB is “0”, the upper bit UB and the lower bit LB of the output multi-value compression bit pair are not changed. Even when the upper bit UB of the input multi-value compression bit pair is “1” and the lower bit LB is “1”, the upper bit UB and the lower bit LB of the output multi-value compression bit pair are not changed.

すなわち、データパターン選択信号が“00”または“10”の場合(書き込むべきデータが(00)または(10)の場合)は、入力された多値圧縮ビットペアの上位ビットUBおよび下位ビットLBがそれぞれ「0」および「0」のときは出力する多値圧縮ビットペアの下位ビットLBのみを「1」に換えて出力する。入力された多値圧縮ビットペアの上位ビットUBおよび下位ビットLBがそれぞれ「0」および「1」のときは出力する多値圧縮ビットペアの上位ビットUBのみを「1」に換えて出力する。入力される多値圧縮ビットペアがその他のときは、出力する多値圧縮ビットの上位ビットUBおよび下位ビットLBは換えないで出力する。   That is, when the data pattern selection signal is “00” or “10” (when the data to be written is (00) or (10)), the upper bit UB and the lower bit LB of the input multi-value compression bit pair are respectively When “0” and “0”, only the lower bit LB of the output multi-value compression bit pair is changed to “1” and output. When the upper bit UB and lower bit LB of the input multi-value compression bit pair are “0” and “1”, respectively, only the upper bit UB of the output multi-value compression bit pair is changed to “1” and output. When the input multi-value compression bit pair is other than that, the upper bit UB and the lower bit LB of the output multi-value compression bit are output without being changed.

また、データパターン選択信号が“01”の場合は、図4(b)に示すように、データ変換回路32に入力されるデータ群の多値圧縮ペアの多値圧縮ビットペアを構成する上位ビットUBと下位ビットLBは、その組み合わせによって出力される多値圧縮ビットペアの上位ビットデータと下位ビットデータのビット値を換え、出力する。   When the data pattern selection signal is “01”, as shown in FIG. 4B, the upper bits UB constituting the multi-value compression bit pair of the multi-value compression pair of the data group input to the data conversion circuit 32 are displayed. And the lower bit LB change the bit value of the upper bit data and the lower bit data of the multi-value compression bit pair output by the combination and output.

すなわち、データパターン選択信号が“01”場合(書き込むべきデータが(01)の場合)は、入力された多値圧縮ビットペアの上位ビットUBおよび下位ビットLBがそれぞれ「0」および「1」のとき、またはそれぞれ「1」および「1」のときは出力する多値圧縮ビットの上位ビットUBおよび下位ビットLBは換えないで出力する。入力された多値圧縮ビットペアの上位ビットUBおよび下位ビットLBがそれぞれ「0」および「0」のときは出力する多値圧縮ビットペアの上位ビットUBおよび下位ビットLBを「1」に換え、入力された多値圧縮ビットペアの上位ビットUBおよび下位ビットLBがそれぞれ「1」および「0」のときは出力する多値圧縮ビットペアの上位ビットUBは換えずに「1」、下位ビットLBは「1」に換え、出力する。   That is, when the data pattern selection signal is “01” (when the data to be written is (01)), the upper bit UB and the lower bit LB of the input multi-value compression bit pair are “0” and “1”, respectively. Alternatively, when “1” and “1”, respectively, the upper bit UB and the lower bit LB of the output multi-value compression bit are output without being changed. When the upper bit UB and lower bit LB of the input multi-value compression bit pair are “0” and “0”, respectively, the upper bit UB and lower bit LB of the output multi-value compression bit pair are changed to “1”. When the upper bit UB and the lower bit LB of the multi-value compression bit pair are “1” and “0”, respectively, the upper bit UB of the output multi-value compression bit pair is not changed, and the lower bit LB is “1”. To output.

このようなデータ変換を行う理由は、後述する状態マルチ書き込み動作を実現する際にデータ(00)とデータ(10)の対象ビットの情報が必要なことと、第2データバッファ34のデータ判定回路の構成を簡略化するためである。すなわち、多値圧縮ビットペア「00」を変換後に「00」として出力すると、データ判定回路における、データ(10)とデータ(00)を区別する論理が増加するためである。   The reason for performing such data conversion is that information on the target bits of data (00) and data (10) is necessary when a state multi-write operation to be described later is realized, and the data determination circuit of the second data buffer 34 This is to simplify the configuration. That is, when the multi-value compression bit pair “00” is output as “00” after conversion, the logic for distinguishing the data (10) and the data (00) in the data determination circuit increases.

このようにして変換されたデータは、データ入力選択回路33を介して第2データバッファ34に転送される。なお、データ入力選択回路33は、自動動作制御回路26から送られてくる経路選択信号[1:0]または信号APRG[1:0]に基づいて、第1データバッファ31からデータ変換回路32を介して転送されてくるデータ群およびベリファイデータ制御回路38から転送されてくるデータ群のいずれか一方を選択し、選択したデータ群を第2データバッファ34に転送する。   The data converted in this way is transferred to the second data buffer 34 via the data input selection circuit 33. The data input selection circuit 33 changes the data conversion circuit 32 from the first data buffer 31 based on the path selection signal [1: 0] or the signal APRG [1: 0] sent from the automatic operation control circuit 26. One of the data group transferred via the verification data control circuit 38 and the data group transferred from the verify data control circuit 38 is selected, and the selected data group is transferred to the second data buffer 34.

1回の転送で16ページ(256ビット)のデータ群がデータバスを介して送られ、そしてこの転送が16回行われる。すなわち、データ変換回路32によって変換されたデータ群Page0〜Page15が送られてきた後、データ群Page16〜Page31が送られてくる。このデータ転送が15回行われた後、最後にデータ群Page240〜Page255がデータ変換回路32から送られてくる。   A group of 16 pages (256 bits) is sent through the data bus in one transfer, and this transfer is performed 16 times. That is, after the data groups Page0 to Page15 converted by the data conversion circuit 32 are sent, the data groups Page16 to Page31 are sent. After this data transfer is performed 15 times, the data groups Page 240 to Page 255 are finally sent from the data conversion circuit 32.

データ変換回路32からのデータを第2データバッファ34でラッチする場合、第2データバッファ34へのラッチアドレスは、カラムアドレスA→カラムアドレスB(AASEN=0)経由でPage0〜Page15のときカラムアドレスA[4:1]=0000、Page16〜Page31のときカラムアドレスA[4:1]=0001、Page240〜Page255のときカラムアドレスA[4:1]=1111と、インクリメントした値となる。なお、Page0〜Page15は、一回で同時ラッチされるため、A[0]はDon't Careとなる。   When the data from the data conversion circuit 32 is latched by the second data buffer 34, the latch address to the second data buffer 34 is the column address at the time of Page 0 to Page 15 via the column address A → column address B (AASEN = 0). The column address A [4: 1] = 0001 when A [4: 1] = 0000, Page 16 to Page 31, and the column address A [4: 1] = 1111 when Page 240 to Page 255 are incremented values. Note that Page 0 to Page 15 are simultaneously latched once, so A [0] is Don't Care.

第2データバッファ34の一具体例の構成を図5に示す。第2データバッファ34は、16個のデータバッファ回路340〜34015を備えている。各データバッファ回路340(i=0,・・・,15)は、16個のデータ保持回路341〜34115と、第1乃至第4データ判定回路343,343,343,343と、判定結果出力回路345と、を備えている。各データ保持回路341(i=0,・・・,15)は16ビットのデータを保持することが可能である。 The configuration of a specific example of the second data buffer 34 is shown in FIG. The second data buffer 34 includes 16 data buffer circuits 340 0 to 340 15 . Each data buffer circuit 340 i (i = 0,..., 15) includes 16 data holding circuits 341 0 to 341 15 and first to fourth data determination circuits 343 1 , 343 2 , 343 3 , 343. 4 and a determination result output circuit 345. Each data holding circuit 341 i (i = 0,..., 15) can hold 16-bit data.

データ変換回路32から第1回目の転送で送られてきたデータ群Page0〜Page15は、データバッファ回路340のデータ保持回路341〜34115にそれぞれ格納される。データ変換回路32から第i(i=1,・・・,16)回目の転送で送られてきたデータ群Page(16×(i−1))〜Page(16×i−1)は、データバッファ回路340のデータ保持回路341〜34115にそれぞれ格納される。 Data conversion circuit 32 from the first data group sent by the transfer Page0~Page15 are respectively stored in the data buffer circuit 340 0 of the data holding circuit 341 0-341 15. Data groups Page (16 × (i−1)) to Page (16 × i−1) sent from the data conversion circuit 32 in the i-th (i = 1,..., 16) transfer are data. The data is stored in the data holding circuits 341 0 to 341 15 of the buffer circuit 340 i , respectively.

なお、データバッファ回路340(i=0,・・・,15)の選択は、アドレス選択回路36から送られてくるカラムアドレスBをデコードしたデコード信号RowDECiに基づいて行われる。データの格納は自動動作制御回路26から送られてくるラッチパルスCLKBと、制御信号UBEN1,LBEN1とに基づいて行われる。なお、図5に示すように、例えばデータバッファ回路340のデータ保持回路341〜341およびデータ保持回路341〜34111に保持されるデータ群のカラムアドレスBは、メモリセルアレイに書き込まれるべきデータのアドレス番地であって「00000」となり、データ保持回路341〜341およびデータ保持回路34112〜34115に保持されるデータ群のカラムアドレスBは「00001」となる。 The selection of the data buffer circuit 340 i (i = 0,..., 15) is performed based on the decode signal RowDECi obtained by decoding the column address B sent from the address selection circuit. Data is stored based on the latch pulse CLKB sent from the automatic operation control circuit 26 and the control signals UBEN1 and LBEN1. As shown in FIG. 5, for example, the column address of the data buffer circuit 340 data hold circuit 341 0 0-341 3 and the data holding circuit 341 8-341 data group held in the 11 B is written into the memory cell array The address of the data to be processed is “00000”, and the column address B of the data group held in the data holding circuits 341 4 to 341 7 and the data holding circuits 341 12 to 341 15 is “00001”.

第1データ判定回路343は、この第1データ判定回路343が含まれているデータバッファ回路内のデータ保持回路341〜341内に保持されているデータ群に基づいて、書き込むべきデータ(すなわちデータ「0」)が存在するか否かを判定する。 The first data determination circuit 343 1 is the data to be written based on the data group held in the data holding circuits 341 0 to 341 3 in the data buffer circuit including the first data determination circuit 343 1. It is determined whether or not (that is, data “0”) exists.

第2データ判定回路343は、この第2データ判定回路343が含まれているデータバッファ回路内のデータ保持回路341〜34111内に保持されているデータ群に基づいて書き込むべきデータが存在する否かを判定する。 The second data determination circuit 343 2 receives data to be written based on the data group held in the data holding circuits 341 8 to 341 11 in the data buffer circuit including the second data determination circuit 343 2. Determine if it exists.

第3データ判定回路343は、この第3データ判定回路343が含まれているデータバッファ回路内のデータ保持回路341〜341内に保持されているデータ群に基づいて書き込むべきデータが存在する否かを判定する。 The third data determination circuit 343 3 receives data to be written based on the data group held in the data holding circuits 341 4 to 341 7 in the data buffer circuit including the third data determination circuit 343 3. Determine if it exists.

第4データ判定回路343は、この第4データ判定回路343が含まれているデータバッファ回路内のデータ保持回路34112〜34115内に保持されているデータ群に基づいて書き込むべきデータが存在する否かを判定する。 The fourth data determination circuit 343 4 receives data to be written based on the data group held in the data holding circuits 341 12 to 341 15 in the data buffer circuit including the fourth data determination circuit 343 4. Determine if it exists.

各データ判定回路は判定の対象とするデータ群の各ビットが「1」のときは、書き込むべきデータはなしと判定し、ビットに「0」が存在するときの書き込むべきデータがあると判定する。   Each data determination circuit determines that there is no data to be written when each bit of the data group to be determined is “1”, and determines that there is data to be written when “0” exists in the bit.

データバッファ回路340(i=0,・・・,15)の判定結果出力回路345は、第1データ判定回路343の第1判定結果と制御信号UBEN2とのAND演算を行う第1のANDゲートと、第2データ判定回路343の第2判定結果とLBEN2とのAND演算を行う第2のANDゲートと、上記第1および第2のANDゲートの出力のOR演算を行って第1判定信号HIT(2i)を出力する第1のORゲートと、第3データ判定回路343の第3判定結果と制御信号UBEN2とのAND演算を行う第3のANDゲートと、第4データ判定回路343の第4判定結果とLBEN2とのAND演算を行う第4のANDゲートと、上記第3および第4のANDゲートの出力のOR演算を行って第2判定信号HIT(2i+1)を出力する第2のORゲートと、を備えている。 Data buffer circuit 340 i (i = 0, ··· , 15) the decision result output circuit 345 of the first AND performing an AND operation on the first determination result and the control signal UBEN2 the first data determination circuit 343 1 gate and the first determination performed and a second aND gate for performing an aND operation, an oR operation of the outputs of the first and second aND gates and the second data determination circuit 343 of the second determination result and LBEN2 a first OR gate for outputting a signal HIT (2i), a third aND gate for performing an aND operation on the third data determination circuit 343 of the third determination result as control signal UBEN2, fourth data determination circuit 343 4 of a fourth aND gate for performing an aND operation between the fourth determination result and LBEN2, the third and fourth by performing an oR operation on the output of the aND gate second determination signal HIT (2i And includes a second OR gate for outputting the 1), the.

制御信号UBEN1、LBEN1、UBEN2、LBEN2の値と動作との関係を図6に示す。図6において、制御信号MODEVERIFYは、その値が「0」のときが書き込み動作または第1データバッファから第2データバッファにデータが転送させ、その値が「1」のときはベリファイ動作をさせる。   FIG. 6 shows the relationship between the values of the control signals UBEN1, LBEN1, UBEN2, and LBEN2 and the operation. In FIG. 6, when the value of the control signal MODEVERIFY is “0”, a write operation or data is transferred from the first data buffer to the second data buffer, and when the value is “1”, a verify operation is performed.

第1判定信号、例えば第1判定信号HIT0の値が「1」ならば、上位ビットデータ群Page0〜Page3または下位ビットデータ群Page8〜Page11に書き込みデータが存在し、その値が「0」ならば上位ビットデータ群Page0〜Page3および下位ビットデータ群Page8〜Page11に書き込みデータがないことを表している。また、第2判定信号、例えば第2判定信号HIT1の値が「1」ならば、上位ビットデータ群Page4〜Page7または下位ビットデータ群Page12〜Page15に書き込みデータが存在し、その値が「0」ならば上位ビットデータ群Page4〜Page7および下位ビットデータ群Page12〜Page15に書き込みデータがないことを表している。   If the value of the first determination signal, for example, the first determination signal HIT0 is “1”, there is write data in the upper bit data group Page0 to Page3 or the lower bit data group Page8 to Page11, and the value is “0”. This indicates that there is no write data in the upper bit data groups Page0 to Page3 and the lower bit data groups Page8 to Page11. If the value of the second determination signal, for example, the second determination signal HIT1 is “1”, write data exists in the upper bit data groups Page4 to Page7 or the lower bit data groups Page12 to Page15, and the value is “0”. Then, this indicates that there is no write data in the upper bit data groups Page4 to Page7 and the lower bit data groups Page12 to Page15.

このように構成された第2データバッファ34から、書き込むデータが存在する否かを示す判定信号HIT0〜HIT31が出力され、自動アドレス検索回路35(AAS回路35)に送られる。   From the second data buffer 34 configured in this manner, determination signals HIT0 to HIT31 indicating whether or not there is data to be written are output and sent to the automatic address search circuit 35 (AAS circuit 35).

次に、AAS回路35を図7に示す。AAS回路35は、AASメイン回路351と、フリップフロップ352とを備えている。AASメイン回路351は、第2データバッファ34から送られてくる第1および第2判定信号HIT0〜HIT31と、自動動作制御回路26から送られてくる制御信号ADDINCENTに基づいて、出力信号AAS_Iを出力する。フリップフロップ352は制御信号ADDINCENに基づいて動作し、AASメイン回路351の出力信号AAS_IをAASアドレスとしてアドレス選択回路36に出力する。   Next, the AAS circuit 35 is shown in FIG. The AAS circuit 35 includes an AAS main circuit 351 and a flip-flop 352. The AAS main circuit 351 outputs an output signal AAS_I based on the first and second determination signals HIT0 to HIT31 sent from the second data buffer 34 and the control signal ADDINCENT sent from the automatic operation control circuit 26. To do. The flip-flop 352 operates based on the control signal ADDINCEN, and outputs the output signal AAS_I of the AAS main circuit 351 to the address selection circuit 36 as an AAS address.

次に、AAS回路35の動作を説明する。第1データバッファ31から第2データバッファ34へのデータの転送が終了し、第2データバッファにおいて、データの判定が行われて第1および第2判定信号HIT0〜HIT31の値が決定されると、自動動作制御回路26からAAS回路35に制御信号AADINCENが送られるとともに、アドレス選択回路36に送られる制御信号AASENの値が「1」にされる。   Next, the operation of the AAS circuit 35 will be described. When the transfer of data from the first data buffer 31 to the second data buffer 34 is completed, the data is determined in the second data buffer, and the values of the first and second determination signals HIT0 to HIT31 are determined. The control signal AADINCEN is sent from the automatic operation control circuit 26 to the AAS circuit 35, and the value of the control signal AASEN sent to the address selection circuit 36 is set to “1”.

すると、AAS回路が動作するとともに、アドレス選択回路36がアドレス制御をAAS回路35から出力されるAASアドレスを選択して出力し、これによりAAS回路から出力されるAASアドレスに基づいて書き込み動作(以下、AAS書き込み動作ともいう)が行われる。   Then, the AAS circuit is operated, and the address selection circuit 36 selects and outputs the AAS address output from the AAS circuit 35 by the address control, thereby writing based on the AAS address output from the AAS circuit (hereinafter referred to as the AAS address). , Also referred to as an AAS write operation).

このAASアドレスに基づいた書き込み動作のタイミング図を図8に示す。この図8に示すタイミング図においては、判定信号HIT1、HIT3、HIT31のみが書き込むデータが存在していることを示しているものする。   FIG. 8 shows a timing chart of the write operation based on the AAS address. In the timing chart shown in FIG. 8, only the determination signals HIT1, HIT3, and HIT31 indicate that there is data to be written.

制御信号ADDINCENの立ち上がりエッジで、判定信号HIT0〜HIT31に対応したアドレス(判定信号HIT1に対応するアドレスは「00001」、判定信号HIT3に対応するアドレスは「00011」)をAASアドレスに出力する。この例では、初めは、判定信号HIT1に対応するアドレス「00001」が出力される。   At the rising edge of the control signal ADDINCEN, an address corresponding to the determination signals HIT0 to HIT31 (the address corresponding to the determination signal HIT1 is “00001” and the address corresponding to the determination signal HIT3 is “00011”) is output to the AAS address. In this example, first, an address “00001” corresponding to the determination signal HIT1 is output.

AASアドレスは、アドレス選択回路36を介してカラムアドレスBとして、第2データバッファ34とメモリブロック2に出力される。第2データバッファ34に対しては、書き込みデータを出力するためのアドレス、メモリブロック2に対しては、データを書き込むアドレスを意味する。第2データバッファ34は判定信号HIT1の対応するUB側(上位ビット側)のデータPage4〜Page7、LB側(下位ビット側)のデータPage12〜Page15を出力する。   The AAS address is output to the second data buffer 34 and the memory block 2 as the column address B via the address selection circuit 36. For the second data buffer 34, it means an address for outputting write data, and for the memory block 2, it means an address for writing data. The second data buffer 34 outputs UB side (upper bit side) data Page 4 to Page 7 and LB side (lower bit side) data Page 12 to Page 15 corresponding to the determination signal HIT1.

第2データバッファ34からの出力データは、書き込み多値データ圧縮回路37によって圧縮され、PRGデータバスを介してメモリブロック2に送られる。データ(10)の書き込みは、多値圧縮ビットペアの下位ビットLBが0のビットを、PRGデータバスに1(書き込み対象ビット)として出力し、書き込みが行われる。   The output data from the second data buffer 34 is compressed by the write multi-value data compression circuit 37 and sent to the memory block 2 via the PRG data bus. Data (10) is written by outputting a bit whose lower bit LB of the multi-value compression bit pair is 0 as 1 (write target bit) to the PRG data bus.

すなわち、第2データバッファ34から1回の転送で送られてくる128ビットのデータは、多値データ圧縮回路37によって半分の64ビットに圧縮される。書き込み時間が経過後、制御信号ADDINCENの立ち上がりエッジで次の書き込みアドレスへスキップする。   That is, the 128-bit data sent from the second data buffer 34 in one transfer is compressed by the multi-value data compression circuit 37 to a half of 64 bits. After the write time elapses, the control signal ADDINCEN is skipped to the next write address at the rising edge.

例えば、図8においては、判定信号HIT1に対応するAASアドレスの領域にデータ(10)の書き込みを行った後、判定信号HIT3に対応するAASアドレスへスキップし、このAASアドレスの領域にデータ(10)の書き込みを行う。その後、判定信号HIT31に対応するAASアドレスへスキップし、このASSアドレスの領域にデータ(10)を書き込む。順次書き込みを行い、書き込みデータが存在する最後のAASアドレスを出力するとき、最後のAASアドレスを実行していることを示すEND信号を、AAS回路が自動動作制御回路26に出力する。   For example, in FIG. 8, after data (10) is written in the area of the AAS address corresponding to the determination signal HIT1, the data (10) is skipped to the AAS address corresponding to the determination signal HIT3. ). Thereafter, the process skips to the AAS address corresponding to the determination signal HIT31 and writes data (10) in the area of the ASS address. When sequential writing is performed and the last AAS address in which write data exists is output, the AAS circuit outputs an END signal indicating that the last AAS address is being executed to the automatic operation control circuit 26.

自動動作制御回路26は、END信号を受け取ることで、最後のアドレスの書き込み時間が経過すると、制御信号AASRSTを発生し、AAS回路35を初期化(リセット)する。制御信号AASRSTにより、判定信号HIT0〜31の値が「1」となっている一番若いアドレス、つまり、書き込みデータが存在する最初のアドレス00001を信号AAS_Iに出力し、データ(10)のベリファイのモードに移る。   By receiving the END signal, the automatic operation control circuit 26 generates a control signal AASRST and initializes (resets) the AAS circuit 35 when the write time of the last address has elapsed. According to the control signal AASRST, the youngest address where the value of the determination signals HIT0 to 31 is “1”, that is, the first address 00001 where the write data exists is output to the signal AAS_I, and the verification of the data (10) is performed. Move to mode.

なお、書き込み対象となるビット(メモリセル)が存在しない場合、波形図を図9に示す。   FIG. 9 shows a waveform diagram when there is no bit (memory cell) to be written.

上述の動作をするAASメイン回路351の一具体例を図10に示す。AASメイン回路351は、32個のカラムアドレスBに対応して設けられるアドレスドライバ354(i=0,・・・,31)と、16個の判定信号デコーダ356(i=0,・・・,15)と、33個の出力ドライバ358(i=0,・・・,32)からなる出力ドライバ回路358と、を備えている。 A specific example of the AAS main circuit 351 that performs the above-described operation is shown in FIG. The AAS main circuit 351 includes an address driver 354 i (i = 0,..., 31) provided corresponding to 32 column addresses B, and 16 determination signal decoders 356 i (i = 0,...). 15) and an output driver circuit 358 including 33 output drivers 358 i (i = 0,..., 32).

判定信号デコーダ356(i=0,・・・,15)は、判定信号HIT(2i)、判定信号HIT(2i+1)、および制御信号MODEVERIFYに基づいて、第1デコード信号をアドレスドライバ3542iに送出する第1デコーダ回路と、判定信号HIT(2i+1)および制御信号MODEVERIFYに基づいて第2デコード信号をアドレスドライバ3542i+1に送出する第2デコード回路と、を備えている。 The decision signal decoder 356 i (i = 0,..., 15) sends the first decode signal to the address driver 354 2i based on the decision signal HIT (2i), the decision signal HIT (2i + 1), and the control signal MODEVERIFY. A first decoder circuit for sending, and a second decode circuit for sending a second decode signal to the address driver 354 2i + 1 based on the determination signal HIT (2i + 1) and the control signal MODEVERIFY.

判定信号デコーダ356(i=0,・・・,15)の第1デコード回路は、判定信号HIT(2i+1)および制御信号MODEVERIFYを受けNAND演算する第1のNANDゲートと、この第1のNANDゲートの出力を反転する第1のインバータと、この第1のインバータの出力および判定信号HIT(2i)を受けNOR演算するNORゲートと、このNORゲートの出力を反転する第2のインバータと、からなっている。 The first decoding circuit of the determination signal decoder 356 i (i = 0,..., 15) receives the determination signal HIT (2i + 1) and the control signal MODEVERIFY, and performs a NAND operation on the first NAND gate. A first inverter that inverts the output of the gate, a NOR gate that performs NOR operation in response to the output of the first inverter and the determination signal HIT (2i), and a second inverter that inverts the output of the NOR gate; It has become.

また、判定信号デコーダ356(i=0,・・・,15)の第2デコード回路は、判定信号HIT(2i+1)、および制御信号MODEVERIFYの反転信号を受けNAND演算する第2のNANDゲートと、この第2のNANDゲートの出力を反転する第3のインバータと、を備えている。 The second decoding circuit of the determination signal decoder 356 i (i = 0,..., 15) has a second NAND gate that performs a NAND operation on the determination signal HIT (2i + 1) and the inverted signal of the control signal MODEVERIFY. And a third inverter for inverting the output of the second NAND gate.

各アドレスドライバ354(i=0,・・・,31)は、1個のORゲートと、1個のフリップフロップと、第1および第2のNANDゲートと、1個のNORゲートを備えている。アドレスドライバ354(i=0,・・・,31)のORゲートは、NORゲートの出力とフリップフロップの出力とに基づいてOR演算をし、演算結果をフリップフロップに送出する。このフリップフロップは制御信号ADDINCENに基づいて動作し、リセット信号AASRSTに基づいてリセットされる。 Each address driver 354 i (i = 0,..., 31) includes one OR gate, one flip-flop, first and second NAND gates, and one NOR gate. Yes. The OR gate of the address driver 354 i (i = 0,..., 31) performs an OR operation based on the output of the NOR gate and the output of the flip-flop, and sends the operation result to the flip-flop. The flip-flop operates based on the control signal ADDINCEN and is reset based on the reset signal AASRST.

アドレスドライバ3542i(i=0,・・・,15)の第1のNANDゲートは、フリップフロップの出力の反転した信号と、判定信号デコーダ356の第1判定信号デコード回路の出力とに基づいてNAND演算を行い、演算結果を第2のNANDゲートおよびNORゲートのそれぞれの2つの入力端子の一方の入力端子に送出する。なお、アドレスドライバ354のNORゲートの他方の入力端子には「0」が入力され、第2のNANDゲートは他方の入力端子には「1」が入力される。 The first NAND gate of the address driver 354 2i (i = 0,..., 15) is based on the inverted signal of the output of the flip-flop and the output of the first determination signal decoding circuit of the determination signal decoder 356 i . The NAND operation is performed, and the operation result is sent to one input terminal of each of the two input terminals of the second NAND gate and the NOR gate. Incidentally, "0" is input to the other input terminal of the NOR gate of the address driver 354 0, the second NAND gate and the other input terminal "1" is input.

また、アドレスドライバ3542i(i=1,・・・,15)の第2のNANDゲートの他方の入力端子には、アドレスドライバ3542i+1の第2のNANDゲートの出力を反転した信号が入力され、NORゲートの他方の入力端子にはアドレスドライバ3542i+1の第2のNANDゲートの出力が入力される。 Further, a signal obtained by inverting the output of the second NAND gate of the address driver 354 2i + 1 is input to the other input terminal of the second NAND gate of the address driver 354 2i (i = 1,..., 15). The output of the second NAND gate of the address driver 354 2i + 1 is input to the other input terminal of the NOR gate.

また、アドレスドライバ3542i+1(i=0,・・・,15)の第1のNANDゲートは、フリップフロップの出力の反転した信号と、判定信号デコーダ356の第2判定信号デコード回路の出力とに基づいてNAND演算を行い、演算結果を第2のNANDゲートおよびNORゲートのそれぞれの2つの入力端子の一方の入力端子に送出する。 The first NAND gate of the address driver 354 2i + 1 (i = 0,..., 15) has an inverted signal of the output of the flip-flop and the output of the second determination signal decoding circuit of the determination signal decoder 356 i . The NAND operation is performed based on the above, and the operation result is sent to one input terminal of each of the two input terminals of the second NAND gate and the NOR gate.

また、アドレスドライバ3542i+1(i=0,・・・,15)の第2のNANDゲートの他方の入力端子には、アドレスドライバ3542iの第2のNANDゲートの出力を反転した信号が入力され、NORゲートの他方の入力端子にはアドレスドライバ3542iの第2のNANDゲートの出力が入力される。アドレスドライバ35431の第2のNANDゲートの出力を反転した信号がEND信号となる。 Further, a signal obtained by inverting the output of the second NAND gate of the address driver 354 2i is input to the other input terminal of the second NAND gate of the address driver 354 2i + 1 (i = 0,..., 15). The output of the second NAND gate of the address driver 3542i is input to the other input terminal of the NOR gate. A signal obtained by inverting the output of the second NAND gate of the address driver 354 31 is an END signal.

出力ドライバ回路358の出力ドライバ358(i=0,・・・,31)は、アドレスドライバ354のNORゲートの出力に基づいて駆動され判定信号HITiに対応するAASアドレスとなる信号AAS_Iを出力し、出力ドライバ35832はEND信号に基づいて駆動されAASアドレスが00000となるAAS_I信号を出力する。 The output driver 358 i (i = 0,..., 31) of the output driver circuit 358 is driven based on the output of the NOR gate of the address driver 354 i and outputs a signal AAS_I that becomes an AAS address corresponding to the determination signal HITi. The output driver 358 32 is driven based on the END signal and outputs an AAS_I signal whose AAS address is 00000.

このように構成されたAASメイン回路351の動作を図11乃至図13に示す。図11は第2データバッファ34に書き込みデータをラッチしたときの状態(一番左のブロックD出力が「1」の状態)を示し、図12は、制御信号ADDINCENの立ち上がりエッジで、次に書き込みデータがあるアドレスへスキップした例(左から3個目のブロック)を示し、図13は、制御信号ADDINCENの立ち上がりエッジで、これ以降、書き込みデータが存在するアドレスが無く、終了信号ENDを出力した状態を示している。   The operation of the AAS main circuit 351 configured as described above is shown in FIGS. FIG. 11 shows a state when write data is latched in the second data buffer 34 (the leftmost block D output is “1”). FIG. 12 shows the next write at the rising edge of the control signal ADDINCEN. FIG. 13 shows an example in which data is skipped to a certain address (third block from the left). FIG. 13 shows the rising edge of the control signal ADDINCEN, and thereafter, there is no address where write data exists, and the end signal END is output. Indicates the state.

これらの図からわかるように、アドレスドライバの一つが動作しているときは、他のアドレスドライバはOff状態になっている。   As can be seen from these figures, when one of the address drivers is operating, the other address drivers are in the Off state.

データ(10)のベリファイ判定動作
次に、データ(10)のベリファイ判定動作を説明する。
Data (10) Verify Determination Operation Next, the data (10) verify determination operation will be described.

データ(10)のベリファイにおいて、ベリファイ判定がOKとなるためには、書き込みデータが存在しないこと、すなわち判定信号HIT0〜HIT31のすべての値が「0」となり、END信号の値が「1」となることである。判定信号HIT0〜HIT31のすべて値が「0」になるためには、図5に示す第2データバッファ34において、下位ビット側(LB側)の全保持データが1となれば良い。   In the verification of the data (10), in order for the verification determination to be OK, there is no write data, that is, all values of the determination signals HIT0 to HIT31 are “0”, and the value of the END signal is “1”. It is to become. In order for all the values of the determination signals HIT0 to HIT31 to be “0”, all the retained data on the lower bit side (LB side) should be 1 in the second data buffer 34 shown in FIG.

データ(10)のベリファイ判定動作は、まずAAS回路35を使用して、LB側に書き込みデータが存在する領域のみ、自動動作用センスアンプ回路14を用いてメモリセルアレイ4からデータを読み出す。この読み出されたデータは、ベリファイデータ制御回路38に送られる。ベリファイデータ制御回路38は、図1および図14に示すように、制御信号MODEEVおよび制御信号AASENによって動作し、センスアンプ回路14の出力と、第2データバッファのAASアドレスに対応する出力データとに基づいてベリファイ判定を行い、その判定結果を、入力選択回路33を介して第2データバッファ34に送出する。なお、第2データバッファの出力データは、書き込み対象ビットが0、非対象のビットが1となっている。   In the verify determination operation for data (10), first, the AAS circuit 35 is used to read data from the memory cell array 4 using the automatic operation sense amplifier circuit 14 only in an area where write data exists on the LB side. The read data is sent to the verify data control circuit 38. As shown in FIGS. 1 and 14, the verify data control circuit 38 operates in response to the control signal MODEEV and the control signal AASEN, and outputs the output of the sense amplifier circuit 14 and the output data corresponding to the AAS address of the second data buffer. Based on the verification, the determination result is sent to the second data buffer 34 via the input selection circuit 33. In the output data of the second data buffer, the write target bit is 0 and the non-target bit is 1.

ベリファイデータ制御回路38の一具体例の回路図を図15に示す。この具体例のベリファイデータ制御回路38は、書き込みベリファイ(MODEEV=「0」)のとき動作しセンスアンプ14の出力を反転するクロックドインバータ381と、センスアンプ14の出力を反転するインバータ382と、消去ベリファイ(MODEEV=「1」)のとき動作しインバータ382の出力を反転するクロックドインバータ383と、制御信号AASENおよび第2データバッファ34の出力を受けるNANDゲート384と、クロックドインバータ381および383のうちの一方の出力とNANDゲート384の出力とを受けるNORゲート385とを備えている。   A circuit diagram of a specific example of the verify data control circuit 38 is shown in FIG. The verify data control circuit 38 of this specific example operates in the case of write verify (MODEEV = “0”), a clocked inverter 381 that inverts the output of the sense amplifier 14, an inverter 382 that inverts the output of the sense amplifier 14, A clocked inverter 383 that operates when erase verify (MODEEV = "1") and inverts the output of the inverter 382, a NAND gate 384 that receives the control signal AASEN and the output of the second data buffer 34, and clocked inverters 381 and 383 A NOR gate 385 for receiving one of the outputs and the output of the NAND gate 384.

メモリブロック2における1回の書き込み動作は64ビットで行っていたのに対して、ベリファイデータ制御回路38における1回のベリファイ判定は128ビットで行う。つまり、第2判定信号HIT1(AASアドレス[4:0]=「00001」)のベリファイ判定を行う時は、第1判定信号HIT0と第2判定信号HIT1(AASアドレス[4:0]=「00000」)のメモリセル領域を1回でベリファイ判定を行っている。   While one write operation in the memory block 2 is performed with 64 bits, the verify data control circuit 38 performs one verify operation with 128 bits. That is, when the verify determination of the second determination signal HIT1 (AAS address [4: 0] = “00001”) is performed, the first determination signal HIT0 and the second determination signal HIT1 (AAS address [4: 0] = “00000”). The verify determination is performed once for the memory cell region of “)”.

ベリファイ判定されるデータをラッチしている第2データバッファ34も、AASアドレス[4:1]で制御する。つまり、ベリファイ判定時のAASアドレスのスキップは、AASアドレス[4:1]の単位でスキップしている。例えば、第1判定信号HIT0または第2判定信号HIT1の次のアドレス検索は第1判定信号HIT2または第2判定信号HIT3に対応するAASアドレスとなる。これは、図10に示すAASメイン回路351の制御信号MODEVERIFY信号=「1」で実現する。このときのAASメイン回路351の状態を図16に示す。   The second data buffer 34 that latches data to be verified is also controlled by the AAS address [4: 1]. That is, the skip of the AAS address at the time of verify determination is skipped in units of AAS address [4: 1]. For example, the next address search of the first determination signal HIT0 or the second determination signal HIT1 becomes an AAS address corresponding to the first determination signal HIT2 or the second determination signal HIT3. This is realized by the control signal MODEVERIFY signal = “1” of the AAS main circuit 351 shown in FIG. The state of the AAS main circuit 351 at this time is shown in FIG.

このように本実施形態においては、AAS回路35によるアドレス生成は、書き込みモードやベリファイモードごとに、可変であることが特徴である。   As described above, the present embodiment is characterized in that the address generation by the AAS circuit 35 is variable for each write mode or verify mode.

ベリファイデータ制御回路38は図15に示したように、ベリファイ判定の対象ビット(=書き込みの対象ビット)のみ、ベリファイデータAを反転(書き込みベリファイのとき)して通過させ、書き込み非対象のビットは強制的に1としている。この理由は、自動動作用センスアンプ回路14は、書き込み対象ビットの書き込みベリファイパス(ベリファイ判定が合格)で0、ベリファイフェイル(ベリファイ判定が不合格)で1を出力し、書き込み非対象のビットは1を出力するためで、書き込み非対象のビットが書き込み対象ビットとならないように対策している。また、一度ベリファイパスしたビットは、書き込み対象ビットにならないように対策している。   As shown in FIG. 15, the verify data control circuit 38 inverts the verify data A (only at the time of write verify) and passes only the bits to be verified (= write target bits). Forced to 1. The reason is that the automatic operation sense amplifier circuit 14 outputs 0 in the write verify pass (verify verification is successful) of the write target bit, and 1 in the verify fail (verify verification is failed). Since 1 is output, measures are taken so that bits that are not to be written do not become bits to be written. In addition, a measure is taken so that a bit once verified passes does not become a write target bit.

なお、ベリファイ動作時には、書き込みモードと同様に、最後のAASアドレスを実行する時、END信号の値が「1」となる。   During the verify operation, the value of the END signal becomes “1” when the last AAS address is executed, as in the write mode.

最後のAASアドレスのビットをベリファイ後、自動動作制御回路26は制御信号AASRSTを発生する。このとき、END信号の値が「1」であれば、データ(10)の書き込みが全てパスしたことを意味する(判定信号HITがないので、END信号の値は「1」のままとなる)。フェイルビットがある場合はEND信号の値が「0」となり、制御信号MODEVERIFYの値を「0」にセットして、再度データ(10)の書き込みを実行する。   After verifying the bit of the last AAS address, the automatic operation control circuit 26 generates a control signal AASRST. At this time, if the value of the END signal is “1”, it means that the writing of the data (10) has all passed (there is no determination signal HIT, so the value of the END signal remains “1”). . If there is a fail bit, the value of the END signal becomes “0”, the value of the control signal MODEVERIFY is set to “0”, and data (10) is written again.

書き込み動作とベリファイ動作を繰り返した場合のタイミング図を図17に示す。図17は、書き込み動作(判定信号HIT1、HIT3、HIT31に対応するAASアドレスのみ)を実行後、ベリファイ動作(判定信号HIT1、HIT3、HIT31に対応するAASアドレスのみ)で、判定信号HIT31に対応するAASアドレスだけフェイルした場合を示している。制御信号AASRSTが発生されると、判定信号HIT31だけ1となっているために、END=「0」、またAAS_Iは「11111」を示す。よって、再度書き込みを実行するときは、AASアドレス「11111」から実行する(図17参照)。このようにして、データ(10)の書き込み動作とベリファイ動作が行われる。   FIG. 17 shows a timing chart when the write operation and the verify operation are repeated. FIG. 17 shows a verification operation (only AAS addresses corresponding to the determination signals HIT1, HIT3, and HIT31) after execution of a write operation (only AAS addresses corresponding to the determination signals HIT1, HIT3, and HIT31) and corresponds to the determination signal HIT31. A case where only the AAS address fails is shown. When the control signal AASRST is generated, only the determination signal HIT31 is 1, so END = “0” and AAS_I indicates “11111”. Therefore, when writing is executed again, it is executed from the AAS address “11111” (see FIG. 17). In this manner, the data (10) write operation and the verify operation are performed.

データ(00)の書き込み動作とベリファイ判定
次に、データ(00)の書き込み動作とベリファイ判定を説明する。
Data (00) Write Operation and Verify Determination Next, the data (00) write operation and verify determination will be described.

データ(10)の書き込み動作およびベリファイが完了後、データ(00)の書き込み動作に移行するが、第2データバッファ34には、上位ビット側(UB側)にデータ(00)の書き込み対象ビットが記憶されているので、データパターン選択信号[1:0]を“00”にセットして、データ(10)で説明したと同様に、AAS回路35を使用して書き込み動作とベリファイ動作を行う。   After the write operation and verification of the data (10) are completed, the operation shifts to the write operation of the data (00). In the second data buffer 34, the write target bit of the data (00) is on the upper bit side (UB side). Since it is stored, the data pattern selection signal [1: 0] is set to “00”, and the write operation and the verify operation are performed using the AAS circuit 35 in the same manner as described in the data (10).

データ(01)の書き込み動作とベリファイ
次に、データ(01)の書き込み動作とベリファイ判定を説明する。
Data (01) Write Operation and Verify Next, the data (01) write operation and verify determination will be described.

データ(01)の書き込みデータは第2データバッファ34に存在しないので、データパターン選択信号[1:0]を“01”にセットして、第1データバッファ31から第2データバッファ34にデータ転送してから、データ(10)で説明したと同様に、AAS回路35を使用して書き込み動作とベリファイ動作を行う。   Since the write data of data (01) does not exist in the second data buffer 34, the data pattern selection signal [1: 0] is set to “01”, and the data is transferred from the first data buffer 31 to the second data buffer 34. Then, as described in the data (10), the write operation and the verify operation are performed using the AAS circuit 35.

なお、本実施形態においては、第2データバッファ34は、図18に示すように、データ保持回路341の出力段に、PチャネルトランジスタとNチャネルトランジスタからなるアナログスイッチ(トランスファゲート)401を備えている。   In the present embodiment, the second data buffer 34 includes an analog switch (transfer gate) 401 composed of a P-channel transistor and an N-channel transistor at the output stage of the data holding circuit 341, as shown in FIG. Yes.

しかし、本実施形態の一変形例のように、書き込み動作やベリファイ動作といった異なる動作モードで、異なるデータを、同一出力バスに出力するために、第2データバッファ34は、図19に示すように、データ保持回路341の出力段に、それぞれがPチャネルトランジスタとNチャネルトランジスタからなる2個のアナログスイッチ(トランスファゲート)412、414を備えていてもよい。すなわち、2ポート出力制御が行われるように構成してもよい。   However, in order to output different data to the same output bus in different operation modes such as a write operation and a verify operation as in a modification of the present embodiment, the second data buffer 34 has a configuration as shown in FIG. The output stage of the data holding circuit 341 may include two analog switches (transfer gates) 412 and 414 each composed of a P-channel transistor and an N-channel transistor. That is, it may be configured such that 2-port output control is performed.

この場合、スイッチ412は、制御信号MODEVERIFY=「0」のとき(書き込みモードのとき)、カラムアドレスB[4:0]が示す8ページ分のデータを出力する。またスイッチ414は、制御信号MODEVERIFY=「1」のとき(ベリファイモードのとき)、カラムアドレスB[4:1]と、制御信号UBEN1=「1」の示す上位ビット側(UB側)の8ページ分のデータを出力するか、または、カラムアドレスB[4:1]と、制御信号LBEN1=「1」の示す下位ビット側(LB側)の8ページ分のデータを出力する。   In this case, the switch 412 outputs data for eight pages indicated by the column address B [4: 0] when the control signal MODEVERIFY = “0” (in the write mode). When the control signal MODEVERIFY = “1” (in the verify mode), the switch 414 has 8 pages on the column address B [4: 1] and the upper bit side (UB side) indicated by the control signal UBEN1 = “1”. Or output data for 8 pages on the lower bit side (LB side) indicated by the column address B [4: 1] and the control signal LBEN1 = "1".

この2ポート出力制御が行われるときの、書き込み動作とベリファイ動作における各ページと、第2データバッファの出力が送られるデータ出力バスとの関係を図20に示す。   FIG. 20 shows the relationship between each page in the write operation and verify operation and the data output bus to which the output of the second data buffer is sent when this 2-port output control is performed.

例えば、図20に示すように、Page4のデータは、書き込み時においては、データバス[0:15]に出力され、ベリファイ動作時においては、データバス[64:79]に出力される。 For example, as shown in FIG. 20, the data of Page 4 is output to the data bus [0:15] at the time of writing, and is output to the data bus [64:79] at the time of the verify operation.

以上説明したように、本実施形態によれば、書き込み対象ビットが存在しない場合には、そのアドレスを書き込み対象ビットが存在するアドレスまでスキップするように構成されているので、自動書き込み動作時間を可及的に短縮することができる。   As described above, according to the present embodiment, when the write target bit does not exist, the address is skipped to the address where the write target bit exists, so that the automatic write operation time is allowed. It can be shortened as much as possible.

(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態による不揮発性半導体記憶装置を説明する。
(Second Embodiment)
Next, a nonvolatile semiconductor memory device according to a second embodiment of the present invention is described.

本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、第1実施形態の不揮発性半導体記憶装置において、状態マルチ書き込みとベリファイ動作を行う。状態マルチ書き込みは、多値記憶レベルの(10)レベルと(00)レベルを同時に書き込むモードである。第1実施形態で説明したように、データパターン選択信号[1:0]を“10”と設定して、第1データバッファ31から第2データバッファ34にデータを転送すると、第2データバッファ34の上位ビット側(UB側)には(00)レベルの書き込み対象データが、下位ビット側(LB側)には(10)レベルの書き込み対象データが格納される。   The nonvolatile semiconductor memory device of this embodiment performs state multi-write and verify operations in the nonvolatile semiconductor memory device of the first embodiment. The state multi-write is a mode in which the (10) level and the (00) level of the multilevel storage level are simultaneously written. As described in the first embodiment, when the data pattern selection signal [1: 0] is set to “10” and data is transferred from the first data buffer 31 to the second data buffer 34, the second data buffer 34 The (00) level write target data is stored in the upper bit side (UB side) of (1), and the (10) level write target data is stored in the lower bit side (LB side).

書き込み動作に入る前に、データパターン選択信号[1:0]を“11”(状態マルチ書き込みモード)と設定する(図2参照)。図5において、制御信号UBEN2、LBEN2の値が両方とも「1」となり、判定信号HITを生成するロジックは、(10)レベル、(00)レベルの両方の書き込み対象ビットを検索する。ここで、制御信号AASEN=「1」として、第1実施形態におけるAAS回路35によるデータ(10)の書き込みと同様の制御を行うことで、AAS回路35によるアドレススキップで(10)レベルと(00)レベルを同時に書き込むことが可能となる。   Before entering the write operation, the data pattern selection signal [1: 0] is set to “11” (state multi-write mode) (see FIG. 2). In FIG. 5, the values of the control signals UBEN2 and LBEN2 are both “1”, and the logic that generates the determination signal HIT searches for the write target bits at both the (10) level and the (00) level. Here, by setting the control signal AASEN = “1” and performing the same control as the writing of the data (10) by the AAS circuit 35 in the first embodiment, the address skip by the AAS circuit 35 and the (10) level (00) ) Levels can be written simultaneously.

状態マルチの書き込みデータは、第2データバッファ34からの出力データを、データ多値圧縮回路37によって圧縮され、PRGデータバスを介してメモリブロック2に送られる。状態マルチ書き込みのときは、データ(10)の書き込みとして、多値圧縮ビットペアの下位ビットLBが0のビット、あるいは、データ(00)の書き込みとして、多値圧縮ビットペアの上位ビットUBが0のビットを、PRGデータバスに1(書き込み対象ビット)として出力し、多値記憶レベルの(10)レベルと(00)レベルを同時に書き込むことが可能となる。   In the state multi-write data, the output data from the second data buffer 34 is compressed by the data multi-value compression circuit 37 and sent to the memory block 2 via the PRG data bus. In the state multi-write, the lower bit LB of the multi-value compression bit pair is 0 as the write of data (10), or the upper bit UB of the multi-value compression bit pair is 0 as the write of data (00). Is output to the PRG data bus as 1 (write target bit), and the (10) level and (00) level of the multilevel storage level can be written simultaneously.

書き込み終了後に、ベリファイ動作を行う。しかし、(10)レベルと(00)レベルでは異なる閾値レベルであるため、(10)レベルのベリファイと、(00)レベルのベリファイとを別々に行う。(10)レベルのベリファイを行うときは、データパターン選択信号[1:0]を“10”と設定し、AAS回路35を使用してベリファイを行う。ここでデータパターン選択信号[1:0]が“10”と設定されているため、図5において判定信号HITの生成は、UBEN2=「0」、LBEN2=「1」となり、LB側(データ(10)側)の書き込み対象ビットが存在するアドレスのベリファイを行う。同様に、データ(00)のベリファイもデータパターン選択信号[1:0]を“00”と設定することで、UB側(データ(00)側)の書き込み対象ビットが存在するアドレスのみベリファイを行うことができる。   After the writing is completed, the verify operation is performed. However, since the (10) level and the (00) level are different threshold levels, the (10) level verification and the (00) level verification are performed separately. (10) When performing level verification, the data pattern selection signal [1: 0] is set to “10”, and verification is performed using the AAS circuit 35. Here, since the data pattern selection signal [1: 0] is set to “10”, the generation of the determination signal HIT in FIG. 5 is UBEN2 = “0”, LBEN2 = “1”, and the LB side (data ( 10) verify the address where the write target bit exists. Similarly, the data (00) is verified by setting the data pattern selection signal [1: 0] to “00” to verify only the address where the write target bit on the UB side (data (00) side) exists. be able to.

動作終了の判定は、データ(10)のベリファイ、データ(00)のベリファイを実行後、データパターン選択信号[1:0]を“00”に設定し(状態マルチ書き込み)、END信号の値が「1」であれば終了する。フェイルビットが残っている場合は、再度、ベリファイ更新後の、判定信号HITから、AAS回路35によるデータ(10)、データ(00)の同時書き込みを行う。   To determine the end of the operation, after verifying the data (10) and verifying the data (00), the data pattern selection signal [1: 0] is set to “00” (status multi-write), and the value of the END signal is If “1”, the process is terminated. If the fail bit remains, data (10) and data (00) are simultaneously written by the AAS circuit 35 again from the determination signal HIT after the verify update.

以上説明したように、本実施形態によれば、状態マルチ書き込み動作は、第1実施形態と同様に、書き込み対象ビットが存在しない場合には、そのアドレスを書き込み対象ビットが存在するアドレスまでスキップするように構成されているので、自動書き込み動作時間を可及的に短縮することができる。   As described above, according to the present embodiment, the state multi-write operation skips the address to the address where the write target bit exists when the write target bit does not exist as in the first embodiment. Thus, the automatic write operation time can be shortened as much as possible.

(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態による不揮発性半導体記憶装置を説明する。
(Third embodiment)
Next, a non-volatile semiconductor memory device according to a third embodiment of the present invention is described.

本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、第1実施形態の不揮発性半導体記憶装置において、自動消去動作の消去ベリファイ、過消去ベリファイと過消去セルの再書き込み、および製品テストにおける消去、書き込み動作時にAAS回路35を使用したものである。   The nonvolatile semiconductor memory device according to the present embodiment is the same as the nonvolatile semiconductor memory device according to the first embodiment in the erase verify of the automatic erase operation, the over-erase verify and the over-write of the over-erased cell, and the erase and write operations in the product test. The AAS circuit 35 is used.

NOR型フラッシュメモリでは、消去状態の閾値制御が重要である。消去後のメモリセルの閾値は、0V以上に制御されている必要がある。以下、上述した構成によりこの様な閾値制御を行う方法に関して説明する。   In a NOR flash memory, threshold control of the erased state is important. The threshold value of the memory cell after erasing needs to be controlled to 0 V or more. Hereinafter, a method for performing such threshold control with the above-described configuration will be described.

第1実施形態の不揮発性半導体記憶装置において、第2データバッファ34の入力側に、制御信号APRG[1:0]を入力する。制御信号APRG[1]を第2データバッファ34の入力データバスの上位ビット側(UB側(128ビット))に、入力バスからデータおよび制御信号APRG[0]を下位ビット側(LB側(128ビット))に入力する。   In the nonvolatile semiconductor memory device of the first embodiment, the control signal APRG [1: 0] is input to the input side of the second data buffer 34. The control signal APRG [1] is sent to the upper bit side (UB side (128 bits)) of the input data bus of the second data buffer 34, and the data and control signal APRG [0] are sent from the input bus to the lower bit side (LB side (128 side). Bit)).

初期設定
初期設定は次のように行われる。まず、制御信号AASEN=「0」、制御信号MODEVERIFY=「0」、データパターン選択信号[1:0]=“01”で、制御信号APRG[1:0]=“01”と設定し、第2データバッファ34でラッチを行う。このときのアドレスは自動動作制御システム20のアドレス生成回路24が生成するカラムアドレスAを使用して、順次、第2データバッファ34の全ての上位ビット(UB)側を「0」とラッチする。このとき、下位ビット(LB)側は全て「1」である。これによりラッチ完了後は、判定信号HIT0〜31は全てデータ有りの判定となっている。
Initial setting Initial setting is performed as follows. First, the control signal AASEN = “0”, the control signal MODEVERIFY = “0”, the data pattern selection signal [1: 0] = “01”, and the control signal APRG [1: 0] = “01” is set. 2. Latching is performed by the data buffer 34. The column address A generated by the address generation circuit 24 of the automatic operation control system 20 is used as the address at this time, and all the upper bits (UB) of the second data buffer 34 are sequentially latched as “0”. At this time, the lower bit (LB) side is all “1”. Thus, after the latch is completed, the determination signals HIT0 to HIT31 are all determined to have data.

ここで、データパターン選択信号[1:0]=“01”の設定は、メモリセルのレベルが(01)対象と言う意味では無く、ベリファイの対象ビットの有無を調べるために、第2データバッファ34のUB側の領域を使用する、と言う意味で設定している。   Here, the setting of the data pattern selection signal [1: 0] = “01” does not mean that the level of the memory cell is the (01) target, but the second data buffer is used to check the presence / absence of the verification target bit. 34 is set in the sense of using the area on the UB side.

消去ベリファイ
消去ベリファイは次のように行われる。まず、制御信号MODEEV=「1」、制御信号MODEVERIFY=「1」、制御信号AASEN=「1」として、AAS回路35からのAASアドレスを使用してベリファイを行う。消去モードにおける自動動作用センスアンプ回路14の判定結果は消去ベリファイパスで「1」、消去ベリファイフェイルで「0」を出力するので、図15に示すベリファイデータ制御回路38は、自動動作用センスアンプ回路14の出力を反転することなく、第2データバッファ34にラッチする。ここでも、第1実施形態におけるデータ(10)のベリファイ判定と第2データバッファへのラッチで説明した様に、ベリファイの対象ビットのみ判定結果をスルーし、非対象ビットは「1」を出力する。
Erase Verify Erase verify is performed as follows. First, the control signal MODEEV = “1”, the control signal MODEVERIFY = “1”, and the control signal AASEN = “1” are used to perform verification using the AAS address from the AAS circuit 35. Since the determination result of the automatic operation sense amplifier circuit 14 in the erase mode outputs “1” in the erase verify pass and “0” in the erase verify fail, the verify data control circuit 38 shown in FIG. The output of the circuit 14 is latched in the second data buffer 34 without being inverted. Here, as described in the verification determination of the data (10) and the latch to the second data buffer in the first embodiment, only the verification target bit is passed, and the non-target bit outputs “1”. .

最初の消去ベリファイは、判定信号HIT0〜31は全てデータ有りの状態なので、AAS回路35はスキップなしでAASアドレスを出力し、ベリファイが行われる。消去ベリファイフェイルビットが存在した場合(判定方法はVerify後AASRST挿入し、END信号が0ならば終了)、消去動作実行→消去ベリファイを繰り返すが、以降のベリファイからベリファイの対象ビットの存在するアドレスのみベリファイを行う。なお、消去ベリファイフェイルビットが存在しない場合は、ベリファイ後、制御信号AASRSTを発生し、END信号が0ならば終了する。   In the first erase verify, since all the determination signals HIT0 to HIT31 have data, the AAS circuit 35 outputs the AAS address without skipping and the verification is performed. When there is an erase verify fail bit (the determination method is AASRST inserted after verify and end if the END signal is 0), the erase operation is executed → erase verify is repeated, but only the address where the target bit to be verified from the subsequent verify exists Perform verification. If there is no erase verify fail bit, a control signal AASRST is generated after verifying, and the process ends if the END signal is 0.

過消去ベリファイと過消去セルの再書き込み
次に、過消去ベリファイと過消去セルの再書き込みを説明する。まず、初期設定の状態から、制御信号MODEEV=「0」、制御信号MODEVERIFY=「1」、制御信号AASEN=「1」として、AAS回路35からのAASアドレスを使用して過消去ベリファイを行う。過消去ベリファイでファイルビットが存在した場合、制御信号MODEEV=「0」、制御信号MODEVERIFY=「0」、制御信号AASEN=「1」で、AAS回路35からのAASアドレスを使用して書き込みを行う。
Overerase Verify and Overerase Cell Rewrite Next, overerase verify and overerase cell rewrite will be described. First, from the initial setting state, the control signal MODEEV = “0”, the control signal MODEVERIFY = “1”, and the control signal AASEN = “1” are used, and overerasure verification is performed using the AAS address from the AAS circuit 35. When a file bit exists in the over-erase verification, writing is performed using the AAS address from the AAS circuit 35 with the control signal MODEEV = “0”, the control signal MODEVERIFY = “0”, and the control signal AASEN = “1”. .

製品テストにおける消去、書き込み
製品テストにおける、消去動作、書き込み動作も上述したと同様に、AAS回路35を使用してアドレススキップが可能となる。この場合、テスト時間を短縮することができる。
In the product test , the erase operation and the write operation in the product test can be skipped using the AAS circuit 35 as described above. In this case, the test time can be shortened.

以上説明したように、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、ベリファイの対象ビットが存在しない場合には、そのアドレスをベリファイの対象ビットが存在するアドレスまでスキップするように構成されているので、製品テストにおける、消去、書き込み動作時間を可及的に短縮することができる。   As described above, also in this embodiment, as in the first embodiment, when there is no verification target bit, the address is skipped to the address where the verification target bit exists. Therefore, it is possible to shorten the erase / write operation time in the product test as much as possible.

(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態による不揮発性半導体記憶装置を説明する。
(Fourth embodiment)
Next, a nonvolatile semiconductor memory device according to a fourth embodiment of the present invention is described.

本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、第1実施形態の不揮発性半導体記憶装置において、製品テスト時に、書き込みおよび消去後のセル閾値レベルを確認するメモリセルリードテストを行うものである。   The nonvolatile semiconductor memory device of this embodiment performs a memory cell read test for confirming the cell threshold level after writing and erasing in the product test in the nonvolatile semiconductor memory device of the first embodiment.

第1実施形態の不揮発性半導体記憶装置において、図1に示すベリファイデータ出力デコードDEC回路39を使用する。   In the nonvolatile semiconductor memory device of the first embodiment, the verify data output decoding DEC circuit 39 shown in FIG. 1 is used.

まず、制御信号MODEVERIFY=「1」、制御信号AASEN=「0」、データパターン選択信号[1:0]=“01”と設定し、AASアドレスは使用せず、自動動作制御回路26のアドレス生成回路24で生成したアドレスで、メモリセルのセルリード(自動動作用センスアンプ回路14の読み出し)を行い、リード結果を第2データバッファ34に保存する。   First, the control signal MODEVERIFY = “1”, the control signal AASEN = “0”, the data pattern selection signal [1: 0] = “01” are set, the AAS address is not used, and the automatic operation control circuit 26 generates an address. The memory cell is read (read by the automatic operation sense amplifier circuit 14) at the address generated by the circuit 24, and the read result is stored in the second data buffer 34.

ここで、制御信号AASEN=「0」としているので、図15に示すベリファイデータ制御回路38は、センスアンプ14から送られてくる全ビットをスルーして第2データバッファ34に保存する。本実施形態では、一回のベリファイリードデータは128ビットなので、ベリファイリード後に、図1に示すPAGEアドレスを使用して、8ページ分のページ読み出しが可能となる。   Here, since the control signal AASEN = “0”, the verify data control circuit 38 shown in FIG. 15 passes through all the bits sent from the sense amplifier 14 and stores them in the second data buffer 34. In this embodiment, since one verify read data is 128 bits, after verify read, it is possible to read pages for 8 pages using the PAGE address shown in FIG.

なお、PAGEアドレスは、アドレス端子に直結し、すなわち外部アドレス端子103から出力したいページを選択できる。同様に、ベリファイリード時のメモリセルアレイのアドレスも、外部アドレス端子103から入力したブロックアドレス、ロウアドレス、カラムアドレスBで示した番地のデータをリードする。   The PAGE address is directly connected to the address terminal, that is, a page to be output from the external address terminal 103 can be selected. Similarly, as the address of the memory cell array at the time of verify read, the data at the address indicated by the block address, the row address, and the column address B input from the external address terminal 103 is read.

ベリファイデータ出力デコード回路39の出力が送出されるベリファイページ出力バスは、データ入出力端子104から外部に出力可能である。また、ベリファイデータ出力デコード回路39の出力は、自動動作制御回路26に送ると、BIST(Built In Self Test)テストを含むチップ内部で閉じた自動動作テストでも、ページ読み出しが可能となるので、テスト時間の向上が図れる。BIST時のブロックアドレス、ロウアドレス、カラムアドレスB、およびPAGEアドレスは、自動動作制御回路26から生成される。   The verify page output bus to which the output of the verify data output decoding circuit 39 is sent can be output from the data input / output terminal 104 to the outside. Further, when the output of the verify data output decoding circuit 39 is sent to the automatic operation control circuit 26, the page can be read even in the automatic operation test closed inside the chip including the BIST (Built In Self Test) test. Time can be improved. The block address, row address, column address B, and PAGE address at the time of BIST are generated from the automatic operation control circuit 26.

(第5実施形態)
次に、本発明の第5実施形態による不揮発性半導体記憶装置を説明する。
(Fifth embodiment)
Next, a nonvolatile semiconductor memory device according to a fifth embodiment of the present invention is described.

第1乃至第4実施形態の不揮発性半導体記憶装置においては、第2データバッファ34は、64個のデータ判定回路343〜343と、合計で4096ビット分のデータを保持するデータ保持回路341〜34115とを有しており、チップにおける占有面積がかなり大きい。そこで、本実施形態の不揮発性半導体記憶装置においては、第2データバッファを、その占有面積を可及的に小さくした構造とした。 In the nonvolatile semiconductor memory devices of the first to fourth embodiments, the second data buffer 34 includes 64 data determination circuits 343 1 to 343 4 and a data holding circuit 341 that holds a total of 4096 bits of data. 0 to 341 15 and the occupied area in the chip is considerably large. Therefore, in the nonvolatile semiconductor memory device of this embodiment, the second data buffer has a structure in which the occupied area is made as small as possible.

本実施形態の不揮発性半導体記憶装置を図23に示す。本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、図1に示す第1実施形態の不揮発性半導体記憶装置と基本的な回路構造はほぼ同じであるが、下記の点で異なっている。   A nonvolatile semiconductor memory device of this embodiment is shown in FIG. The nonvolatile semiconductor memory device of this embodiment has substantially the same basic circuit structure as the nonvolatile semiconductor memory device of the first embodiment shown in FIG. 1, but differs in the following points.

第1実施形態における、第1データバッファ31、データ変換回路32、データ入力選択回路33、および第2データバッファ34をそれぞれ、第1データバッファ31A、データ変換回路32A、データ入力回路33A、第2データバッファ34Aに置き換えるとともに、書き込みデータ多値圧縮回路37を書込みデータマスク回路40および書き込みデータ切り替え回路42に置き換え、更にセンスアンプデータマスク回路44を新たに設けた構成となっている。書込みデータマスク回路40および書き込みデータ切り替え回路42は、第2データバッファ34Aと、メモリブロック2との間に設けられ、センスアンプデータマスク回路44は自動動作用センスアンプ回路14とベリファイデータ制御回路38との間に設けられている。   In the first embodiment, the first data buffer 31, the data conversion circuit 32, the data input selection circuit 33, and the second data buffer 34 are respectively referred to as a first data buffer 31A, a data conversion circuit 32A, a data input circuit 33A, and a second data buffer. In addition to the data buffer 34A, the write data multi-value compression circuit 37 is replaced with a write data mask circuit 40 and a write data switching circuit 42, and a sense amplifier data mask circuit 44 is newly provided. The write data mask circuit 40 and the write data switching circuit 42 are provided between the second data buffer 34A and the memory block 2, and the sense amplifier data mask circuit 44 is the automatic operation sense amplifier circuit 14 and the verify data control circuit 38. Between.

第1データバッファ31Aは、第1実施形態の第1データバッファ31と同様に256ページのデータを保持することが可能であるが、第1データバッファ31と異なり、カラムアドレス信号Bを受ける。データ変換回路32Aは、第1データバッファ31Aから第1出力データバスを介して送られてくる256ビットのデータを変換し、変換された128ビットのデータDATAをデータ入力選択回路33Aに送るとともに、UBBデータバスを介して128ビットのUBBデータを第2データバッファ34A、書き込みデータマスク回路40、およびセンスアンプデータマスク回路44に送信する。   The first data buffer 31A can hold 256 pages of data as in the first data buffer 31 of the first embodiment, but receives the column address signal B unlike the first data buffer 31. The data conversion circuit 32A converts 256-bit data sent from the first data buffer 31A via the first output data bus, sends the converted 128-bit data DATA to the data input selection circuit 33A, and The 128-bit UBB data is transmitted to the second data buffer 34A, the write data mask circuit 40, and the sense amplifier data mask circuit 44 via the UBB data bus.

次に、本実施形態の不揮発性半導体記憶装置の構成と動作を、自動ページ書き込み動作を例にとって説明する。第1実施形態の場合と同様に、自動ページ書き込みのページ数は256ページ、メモリブロック2に一回で書き込みのできるビット数を64ビット、自動動作用センスアンプ回路14が一回で読み出しのできるビット数を128ビットとして説明する。   Next, the configuration and operation of the nonvolatile semiconductor memory device of the present embodiment will be described by taking an automatic page write operation as an example. As in the first embodiment, the number of pages for automatic page writing is 256 pages, the number of bits that can be written to the memory block 2 at one time is 64 bits, and the sense amplifier circuit 14 for automatic operation can be read at one time. A description will be given assuming that the number of bits is 128 bits.

自動ページ書き込みコマンドを入力し、書き込みデータを第1データバッファ31Aに保存するまでは、第1実施形態で説明したと同様にして行う。したがって、第1データバッファ31Aへの書き込みデータの転送が終了すると、第1データバッファ31Aには、各ページを16ビットとして、256ページのデータPage0〜Page255のデータが格納されている。   The process until the automatic page write command is input and the write data is stored in the first data buffer 31A is the same as described in the first embodiment. Therefore, when the transfer of the write data to the first data buffer 31A is completed, 256 pages of data Page0 to Page255 are stored in the first data buffer 31A with each page being 16 bits.

第1データバッファ31Aへの書き込みデータの転送の終了後、第1データバッファ31Aに格納された書き込みデータから、書き込むべきデータ(例えば、データ(10))を検索するために、上記格納された書き込みデータがデータ変換回路32Aによって変換される。このデータ変換は、以下のように行われる。   After the transfer of the write data to the first data buffer 31A is completed, the stored write is performed in order to retrieve data to be written (for example, data (10)) from the write data stored in the first data buffer 31A. Data is converted by the data conversion circuit 32A. This data conversion is performed as follows.

まず、書き込むべきデータがデータ(01)である場合は、自動動作制御回路26からデータ変換回路32Aに送られてくるデータパターン選択信号[1:0]は“01”となる。この場合、データ変換回路32Aは、図24(b)に示すように、多値圧縮ビットペア(01)はDATA信号の値が「0」と変換されてデータ入力選択回路33Aに送信される。このとき多値圧縮ビットペア(01)の上位ビットUBは「0」なので、図24(b)に示すように、UBの反転データであるデータUBBは「1」となり、データ変換回路32Aから、第2データバッファ34A、書き込みデータマスク回路40、およびセンスアンプデータマスク回路44に送信される。なお、この場合、他の多値圧縮ビットペア(00)、(10)、(11)はDATA信号の値が「1」と変換されてデータ入力選択回路33Aに送信される。   First, when the data to be written is data (01), the data pattern selection signal [1: 0] sent from the automatic operation control circuit 26 to the data conversion circuit 32A is “01”. In this case, as shown in FIG. 24B, the data conversion circuit 32A converts the value of the DATA signal of the multi-value compression bit pair (01) to “0” and transmits it to the data input selection circuit 33A. At this time, since the upper bit UB of the multi-value compression bit pair (01) is “0”, as shown in FIG. 24B, the data UBB which is the inverted data of the UB becomes “1”, and the data conversion circuit 32A 2 is transmitted to the data buffer 34A, the write data mask circuit 40, and the sense amplifier data mask circuit 44. In this case, the value of the DATA signal of other multi-value compression bit pairs (00), (10), and (11) is converted to “1” and transmitted to the data input selection circuit 33A.

また、書き込むべきデータがデータ(00)またはデータ(10)である場合は、自動動作制御回路26からデータ変換回路32Aに送られてくるデータパターン選択信号[1:0]は“00”または“10”となる。この場合、データ変換回路32Aは、図24(a)に示すように、多値圧縮ビットペア(00)または(10)はそれぞれDATA信号の値が「0」と変換され出力される。なお、このとき多値圧縮ビットペア(00)または(10)の上位ビットUBはそれぞれ「0」または「1」なので、図24(a)に示すように、UBの反転データであるデータUBBはそれぞれ「1」または「0」となり、データ変換回路32Aから、第2データバッファ34A、書き込みデータマスク回路40、およびセンスアンプデータマスク回路44に送信される。なお、この場合、他の多値圧縮ビットペア(01)、(11)はDATA信号の値が「1」と変換されてデータ入力選択回路33Aに送信される。   When the data to be written is data (00) or data (10), the data pattern selection signal [1: 0] sent from the automatic operation control circuit 26 to the data conversion circuit 32A is “00” or “ 10 ". In this case, as shown in FIG. 24A, the data conversion circuit 32A converts the value of the DATA signal of the multi-value compression bit pair (00) or (10) to “0” and outputs it. At this time, since the upper bits UB of the multi-value compression bit pair (00) or (10) are “0” or “1”, respectively, as shown in FIG. It becomes “1” or “0”, and is transmitted from the data conversion circuit 32 A to the second data buffer 34 A, the write data mask circuit 40, and the sense amplifier data mask circuit 44. In this case, the other multi-value compression bit pairs (01) and (11) are converted to “1” in the value of the DATA signal and transmitted to the data input selection circuit 33A.

このように、データ変換回路32Aによってデータ変換を行うことで、多値圧縮ビットペアの2ビットを1ビットに圧縮し、この圧縮されたビットデータDATAが第2データバッファに送信される。したがって、32ビットの多値圧縮ペアは、データ変換回路32Aによって圧縮されて16ビットデータとなる。例えば、16ビットのデータPage0と、16ビットのデータPage8からなる32ビットの多値圧縮ペアは、データ変換回路32Aによって圧縮されて16ビットの圧縮データPage0_8となり、16ビットのデータPage1と、16ビットのデータPage9からなる32ビットの多値圧縮ペアは、データ変換回路32Aによって圧縮されて16ビットの圧縮データPage1_9となる。同様に、iを0〜7までの整数とすると、16ビットのデータPage(i)と、16ビットのデータPage(i+8)からなる32ビットの多値圧縮ペアは、データ変換回路32Aによって圧縮されて16ビットの圧縮データPage(i)_(i+8)となる。また、データ変換回路32Aでは上位ビットUBの反転信号であるUBBデータも出力し、第2データバッファ34A、書き込みデータマスク回路40、およびセンスアンプデータマスク回路44に送信される。   Thus, by performing data conversion by the data conversion circuit 32A, 2 bits of the multi-value compression bit pair are compressed to 1 bit, and the compressed bit data DATA is transmitted to the second data buffer. Accordingly, the 32-bit multi-value compression pair is compressed by the data conversion circuit 32A into 16-bit data. For example, a 32-bit multi-value compression pair composed of 16-bit data Page0 and 16-bit data Page8 is compressed by the data conversion circuit 32A into 16-bit compressed data Page0_8, and 16-bit data Page1 and 16-bit A 32-bit multi-value compression pair consisting of the data Page9 is compressed by the data conversion circuit 32A into 16-bit compressed data Page1_9. Similarly, if i is an integer from 0 to 7, a 32-bit multi-value compression pair consisting of 16-bit data Page (i) and 16-bit data Page (i + 8) is compressed by the data conversion circuit 32A. 16-bit compressed data Page (i) _ (i + 8). The data conversion circuit 32A also outputs UBB data that is an inverted signal of the upper bit UB, and transmits it to the second data buffer 34A, the write data mask circuit 40, and the sense amplifier data mask circuit 44.

データ入力選択回路33Aは、自動動作制御回路26から送られてくる経路選択信号[1:0]または信号APRG[1:0]に基づいて、データ変換回路32Aによって変換された128ビットのデータ群DATAおよびベリファイデータ制御回路38から転送されてくるデータ群のいずれか一方を選択し、選択したデータ群を第2データバッファ34Aに転送する。   The data input selection circuit 33A is a 128-bit data group converted by the data conversion circuit 32A based on the path selection signal [1: 0] or the signal APRG [1: 0] sent from the automatic operation control circuit 26. One of the data groups transferred from the DATA and verify data control circuit 38 is selected, and the selected data group is transferred to the second data buffer 34A.

次に、本実施形態に係る第2データバッファ34Aについて説明する。この第2データバッファ34Aの回路の一具体例を図25に示す。この具体例の第2データバッファ34Aは、第1乃至第4データマスク回路402〜402と、第1乃至第4データ判定回路404〜404と、16個のデータバッファ回路420〜42015と、16個の判定結果出力回路440〜44015とを備えている。各データバッファ回路420(i=0,1,・・・,15)は、8個のデータ保持回路422〜422を有している。データ保持回路422(i=0,1,・・・,7)は、データ変換回路32Aによって圧縮された16ビットの圧縮データPage(i)_(i+8)を保持する。各判定結果出力回路440(i=0,1,・・・,15)は、それぞれが1ビットのデータを保持する4個のデータ保持回路HIT10_0、HIT0X_0、HIT10_1、HIT0X_1と、ロジック回路442とを備えている。 Next, the second data buffer 34A according to the present embodiment will be described. A specific example of the circuit of the second data buffer 34A is shown in FIG. In this specific example, the second data buffer 34A includes first to fourth data mask circuits 402 1 to 402 4 , first to fourth data determination circuits 404 1 to 404 4 , and 16 data buffer circuits 420 0 to 420 0 . 420 15 and 16 determination result output circuits 440 0 to 440 15 . Each data buffer circuit 420 i (i = 0, 1,..., 15) has eight data holding circuits 422 0 to 422 7 . The data holding circuit 422 i (i = 0, 1,..., 7) holds the 16-bit compressed data Page (i) _ (i + 8) compressed by the data conversion circuit 32A. Each determination result output circuit 440 i (i = 0, 1,..., 15) includes four data holding circuits HIT10_0, HIT0X_0, HIT10_1, HIT0X_1, each holding 1-bit data, and a logic circuit 442. It has.

次に、この第2データバッファ34Aの構成と動作を説明する。   Next, the configuration and operation of the second data buffer 34A will be described.

データ変換回路32Aからデータ入力選択回路33Aを介して、第2データバッファ34Aに一回の転送で、16ビットの圧縮データが8個からなる圧縮データ群Page0_8、Page1_9、Page2_10、Page3_11、Page4_12、Page5_13、Page6_14、Page7_15が転送され、それぞれデータ保持回路422、422、422、422、422、422、422、422に保持される。なお、第i(i=1,・・・,16)回目の転送による上記圧縮データ群Page0_8、Page1_9、Page2_10、Page3_11、Page4_12、Page5_13、Page6_14、Page7_15は、データバッファ回路420のデータ保持回路422、422、422、422、422、422、422、422に保持される。なお、本実施形態では、8組の圧縮データ群Page0_8、Page1_9、Page2_10、Page3_11、Page4_12、Page5_13、Page6_14、Page7_15の中、4組の圧縮データ群Page0_8、Page1_9、Page2_10、Page3_11を上位圧縮データ群と呼び、残りの4組の圧縮データ群Page4_12、Page5_13、Page6_14、Page7_15を下位圧縮データ群と呼ぶ。 A single data transfer circuit 32A through the data input selection circuit 33A to the second data buffer 34A transfers the compressed data group consisting of 8 pieces of 16-bit compressed data to Page0_8, Page1_9, Page2_10, Page3_11, Page4_12, and Page5_13. , Page6_14 and Page7_15 are transferred and held in the data holding circuits 422 0 , 422 1 , 422 2 , 422 3 , 422 4 , 422 5 , 422 6 , 422 7 , respectively. Note that the compressed data group Page0_8, Page1_9, Page2_10, Page3_11, Page4_12, Page5_13, Page6_14, and Page7_15 by the i-th (i = 1,..., 16th) transfer are the data holding circuit 422 of the data buffer circuit 420 i. 0 , 422 1 , 422 2 , 422 3 , 422 4 , 422 5 , 422 6 , 422 7 . In this embodiment, among the 8 sets of compressed data groups Page0_8, Page1_9, Page2_10, Page3_11, Page4_12, Page5_13, Page6_14, and Page7_15, 4 sets of compressed data groups Page0_8, Page1_9, Page2_10, and Page3_11 are combined with the upper compressed data group. The remaining four sets of compressed data groups Page4_12, Page5_13, Page6_14, and Page7_15 are referred to as lower-level compressed data groups.

各回のデータ転送時に、第1乃至第4データマスク回路402〜402と、第1乃至第4データ判定回路404〜404で書き込みデータの有無を調べる。 At each data transfer, the first to fourth data mask circuits 402 1 to 402 4 and the first to fourth data determination circuits 404 1 to 404 4 check whether or not there is write data.

第1データマスク回路402は、上位圧縮データ群の64ビットデータの各データDATAと、このデータDATAに対応するデータUBBとに基づいて、上位圧縮データ群中に書き込むべきデータ(10)があるか否か、すなわち上位圧縮データ群の元の多値圧縮ペア中に多値圧縮ビットペアが(10)となるものがあるか否かを決定する。この第1データマスク回路402には、データDATAと、データUBBとが対となる64ビット対が入力され、この入力された64ビット対中、DATA=0かつUBB=0となるビット対の場合にのみ、対応する出力ビットを「0」として出力し、それ以外のビット対の場合には対応する出力ビットを「1」として出力する。したがって、第1データマスク回路402においては、書き込むべきデータが(10)がある場合に「0」を出力し、書き込むべきデータが(10)以外の場合は、マスクして「1」を出力する。 The first data mask circuit 402 1, and the data DATA 64-bit data of the upper compressed data group, based on the data UBB corresponding to the data DATA, there is data (10) to be written into the upper compressed data group Whether or not there is a multi-value compression bit pair of (10) in the original multi-value compression pair of the higher-order compressed data group. The first data mask circuit 402 1, and the data DATA, the data UBB and is input paired 64-bit pairs, the input 64-bit toward China, DATA = 0 and UBB = 0 the bits pairs Only in this case, the corresponding output bit is output as “0”, and in the case of other bit pairs, the corresponding output bit is output as “1”. Thus, in the first data mask circuit 402 1 outputs "0" when the data to be written has (10), if data to be written other than (10), by masking outputs "1" To do.

同様に、第2データマスク回路402は、下位圧縮データ群の64ビットデータの各データDATAと、このデータDATAに対応するデータUBBとに基づいて、下位圧縮データ群中に書き込むべきデータ(10)があるか否かを決定する。この第2データマスク回路402は、第1データマスク回路402と同様に、データDATAと、データUBBとが対となる64ビット対が入力され、この入力された64ビット対中、DATA=0かつUBB=0となるビット対の場合にのみ、対応する出力ビットを「0」として出力し、それ以外のビット対の場合には対応する出力ビットを「1」として出力する。したがって、第2データマスク回路402においては、書き込むべきデータ(10)がある場合に「0」を出力し、書き込むべきデータが(10)以外の場合は、マスクして「1」を出力する。 Similarly, the second data mask circuit 402 2, and the data DATA of 64-bit data of the lower compressed data group, based on the data UBB corresponding to the data DATA, the data to be written into the lower compressed data groups (10 ) Or not. The second data mask circuit 402 2, as 1 and the first data mask circuit 402, and the data DATA, the data UBB and is input 64-bit pairs forming a pair is, the input 64-bit toward China, DATA = Only when the bit pair is 0 and UBB = 0, the corresponding output bit is output as “0”, and when the bit pair is other than that, the corresponding output bit is output as “1”. Accordingly, in the second data mask circuit 402 2, and outputs "0" when there is data (10) to be written, if the data to be written is other than (10), by masking outputs "1" .

第3データマスク回路402は、上位圧縮データ群の64ビットデータの各データDATAと、このデータDATAに対応するデータUBBとに基づいて、上位圧縮データ群中に書き込むべきデータ(00)または(01)があるか否かを決定する。この第3データマスク回路402には、データDATAと、データUBBとが対となる64ビット対が入力され、この入力された64ビット対中、DATA=0かつUBB=1となるビット対の場合にのみ、対応する出力ビットを「0」として出力し、それ以外のビット対の場合には対応する出力ビットを「1」として出力する。したがって、第1データマスク回路402においては、書き込むべきデータ(00)または(01)がある場合に「0」を出力し、書き込むべきデータが(00)または(01)以外の場合は、マスクして「1」を出力する。 Third data mask circuit 402 3, and the data DATA of 64-bit data of the upper compressed data group, based on the data UBB corresponding to the data DATA, the data to be written into the upper compressed data set (00) or ( 01) is determined. This third data mask circuit 402 3, a data DATA, data UBB and 64 bit pairs to be pairs are input, the input 64-bit toward China, DATA = 0 and UBB = 1 the bits pairs Only in this case, the corresponding output bit is output as “0”, and in the case of other bit pairs, the corresponding output bit is output as “1”. Thus, in the first data mask circuit 402 1, if if there is data (00) or (01) to be written outputs "0", the data to be written is other than (00) or (01), the mask And “1” is output.

第4データマスク回路402は、下位圧縮データ群の64ビットデータの各データDATAと、このデータDATAに対応するデータUBBとに基づいて、下位圧縮データ群中に書き込むべきデータ(00)または(01)があるか否かを決定する。この第4データマスク回路402は、第3データマスク回路402と同様に、データDATAと、データUBBとが対となる64ビット対が入力され、この入力された64ビット対中、DATA=0かつUBB=1となるビット対の場合にのみ、対応する出力ビットを「0」として出力し、それ以外のビット対の場合には対応する出力ビットを「1」として出力する。したがって、第1データマスク回路402においては、書き込むべきデータ(00)または(01)がある場合に「0」を出力し、書き込むべきデータが(00)または(01)以外の場合は、マスクして「1」を出力する。 Fourth data mask circuit 402 4, and the data DATA 64-bit data of the lower compressed data group, based on the data UBB corresponding to the data DATA, the data to be written into the lower compressed data set (00) or ( 01) is determined. The fourth data mask circuit 402 4, like the third data mask circuit 402 3, a data DATA, data UBB and is input 64-bit pairs forming a pair is, the input 64-bit toward China, DATA = Only when the bit pair is 0 and UBB = 1, the corresponding output bit is output as “0”, and when the bit pair is other than that, the corresponding output bit is output as “1”. Thus, in the first data mask circuit 402 1, if if there is data (00) or (01) to be written outputs "0", the data to be written is other than (00) or (01), the mask And “1” is output.

第1データ判定回路404は、第1データマスク回路402の64ビットの出力に基づいて、書き込みデータが有るか否かを判定する。書き込みデータが有る場合すなわち第1データマスク回路402の出力である64ビット中に「0」となるビットが1つでもある場合には第1判定結果として「1」を出力し、ない場合すなわち第1データマスク回路402の出力である64ビットが全て「1」である場合には第1判定結果として「0」を出力し、この第1判定結果をデータ保持回路HIT10_0に送り、保持させる。 The first data determination circuit 404 1 determines whether or not there is write data based on the 64-bit output of the first data mask circuit 402 1 . When there is write data, that is, when there is at least one bit that is “0” in the 64 bits that are the output of the first data mask circuit 402 1 , “1” is output as the first determination result, that is, When all 64 bits that are the output of the first data mask circuit 402 1 are “1”, “0” is output as the first determination result, and this first determination result is sent to the data holding circuit HIT10_0 to be held. .

第2データ判定回路404は、第2データマスク回路402の64ビットの出力に基づいて、書き込みデータが有るか否かを判定する。書き込みデータが有る場合すなわち第2データマスク回路402の出力である64ビット中に「0」となるビットが1つでもある場合には第2判定結果として「1」を出力し、ない場合すなわち第2データマスク回路402の出力である64ビットが全て「1」である場合には第2判定結果として「0」を出力し、この第2判定結果をデータ保持回路HIT10_1に送り、保持させる。 Second data determination circuit 404 2, based on the 64-bit output of the second data mask circuit 402 2 determines whether the write data is present. If the bit is "0" when that is 64 bits in a second output data mask circuit 402 2 write data there is even one outputs "1" as the second determination result, when there is no i.e. If 64-bit, which is the output of the second data mask circuit 402 2 are all "1" outputs "0" as the second determination result, it sends the second determination result to the data holding circuit HIT10_1, to hold .

第3データ判定回路404は、第3データマスク回路402の64ビットの出力に基づいて、書き込みデータが有るか否かを判定する。書き込みデータが有る場合すなわち第3データマスク回路402の出力である64ビット中に「0」となるビットが1つでもある場合には第3判定結果として「1」を出力し、ない場合すなわち第3データマスク回路402の出力である64ビットが全て「1」である場合には第3判定結果として「0」を出力し、この第3判定結果をデータ保持回路HIT0X_0に送り、保持させる。 Third data determination circuit 404 3 based on the 64-bit output of the third data mask circuit 402 3 determines whether the write data is present. If the bit is "0" when that is 64 bits in an output of the third data mask circuit 402 3 write data there is even one outputs "1" as the third determination result, if there is no i.e. If 64-bit third which is the output of the data mask circuit 402 3 are all "1" outputs "0" as the third determination result, sends the third determination result to the data holding circuit HIT0X_0, to hold .

第4データ判定回路404は、第4データマスク回路402の出力に基づいて、書き込みデータが有るか否かを判定する。書き込みデータが有る場合すなわち第4データマスク回路402の出力である64ビット中に「0」となるビットが1つでもある場合には第4判定結果として「1」を出力し、ない場合すなわち第4データマスク回路402の出力である64ビットが全て「1」である場合には第4判定結果として「0」を出力し、この第4判定結果をデータ保持回路HIT0X_1に送り、保持させる。 Fourth data determination circuit 404 4, based on the output of the fourth data mask circuit 402 4, determines whether the write data is present. If the bit is "0" if that is the fourth 64-bit in an output of the data mask circuit 402 4 write data there is even one outputs "1" as the fourth judgment result, if no i.e. If 64-bit fourth is the output of the data mask circuit 402 3 are all "1" outputs "0" as the fourth determination result, it sends the fourth determination result to the data holding circuit HIT0X_1, to hold .

なお、データ保持回路HIT10_0、HIT10_1、HIT0X_0、HIT0X_1に判定結果を保持するタイミングはデータを各データ保持回路422(i=0,1,・・・,7)に保持するタイミングと同じタイミングで行う。 The timing for holding the determination result in the data holding circuits HIT10_0, HIT10_1, HIT0X_0, and HIT0X_1 is the same as the timing for holding the data in each data holding circuit 422 i (i = 0, 1,..., 7). .

各判定結果出力回路440(i=0,・・・,15)のロジック回路442は第1乃至第6のNORゲートを有している。第1のNORゲートはデータ保持回路HIT10_0に保持された第1判定結果と、信号PRGPTN1XBとに基づいてNOR演算を行う。第2のNORゲートはデータ保持回路HIT0X_0に保持された第3判定結果と、信号PRGPTNN10とに基づいてNOR演算を行う。第3のNORゲートは、第1および第2のNORゲートの出力に基づいてNOR演算を行い、判定信号HIT(2i)を出力する。第4のNORゲートはデータ保持回路HIT10_1に保持された第2判定結果と、信号PRGPTN1XBとに基づいてNOR演算を行う。第5のNORゲートはデータ保持回路HIT0X_1に保持された第4判定結果と、信号PRGPTNN10とに基づいてNOR演算を行う。第6のNORゲートは、第4および第5のNORゲートの出力に基づいてNOR演算を行い、判定信号HIT(2i+1)を出力する。なお、
全てのデータが第1データバッファ31Aから第2データバッファ34Aに転送されると、データパターン選択信号[1:0]が“10”の場合は信号PRGPTN10が「1」、信号PRGPTN1XBが「0」となり、データ保持回路HIT10_0、HIT10_1の出力、つまり、データ“10”となる箇所の判定結果が判定信号HIT0〜HIT31に現れる。また、データパターン選択信号[1:0]が“00”または“01”の場合は、信号PRGPTN10が「0」、信号PRGPTN1XBが「1」となり、データ保持回路HIT0X_0、HIT0X_1の出力、つまり、データ“00”またはデータ“01”となる箇所の判定結果が判定信号HIT0〜HIT31に現れる。なお、判定信号HIT0〜HIT31は書き込みデータ有りで「1」となる。
The logic circuit 442 of each determination result output circuit 440 i (i = 0,..., 15) has first to sixth NOR gates. The first NOR gate performs a NOR operation based on the first determination result held in the data holding circuit HIT10_0 and the signal PRGPTN1XB. The second NOR gate performs a NOR operation based on the third determination result held in the data holding circuit HIT0X_0 and the signal PRGPTNN10. The third NOR gate performs a NOR operation based on the outputs of the first and second NOR gates and outputs a determination signal HIT (2i). The fourth NOR gate performs a NOR operation based on the second determination result held in the data holding circuit HIT10_1 and the signal PRGPTN1XB. The fifth NOR gate performs a NOR operation based on the fourth determination result held in the data holding circuit HIT0X_1 and the signal PRGPTNN10. The sixth NOR gate performs a NOR operation based on the outputs of the fourth and fifth NOR gates and outputs a determination signal HIT (2i + 1). In addition,
When all the data is transferred from the first data buffer 31A to the second data buffer 34A, when the data pattern selection signal [1: 0] is “10”, the signal PRGPTN10 is “1” and the signal PRGPTN1XB is “0”. Thus, the output of the data holding circuits HIT10_0 and HIT10_1, that is, the determination result of the location where the data is “10” appears in the determination signals HIT0 to HIT31. When the data pattern selection signal [1: 0] is “00” or “01”, the signal PRGPTN10 is “0” and the signal PRGPTN1XB is “1”, and the outputs of the data holding circuits HIT0X_0 and HIT0X_1, that is, data The determination result of the place where “00” or data “01” is present appears in the determination signals HIT0 to HIT31. The determination signals HIT0 to HIT31 are “1” when there is write data.

状態マルチ書き込み動作時は、書き込み動作に入る前に、データパターン選択信号[1:0]を“11”(状態マルチ書き込みモード)と設定する。この場合、図25に示す信号PRGPTN10が「0」、信号PRGPTN1XBが「0」となり、判定信号HIT0〜HIT31を生成するロジックは、データ保持回路HIT10_0、HIT10_1、HIT0X_0、HIT0X_1の書き込み対象ビットを検索することによって行う。   In the state multi-write operation, the data pattern selection signal [1: 0] is set to “11” (state multi-write mode) before entering the write operation. In this case, the signal PRGPTN10 shown in FIG. 25 is “0” and the signal PRGPTN1XB is “0”, and the logic that generates the determination signals HIT0 to HIT31 searches the write target bits of the data holding circuits HIT10_0, HIT10_1, HIT0X_0, and HIT0X_1. By doing.

第2データバッファの出力データは書き込みデータマスク回路40に入力される。この書き込みデータマスク回路40の一具体例を図26に示す。この書き込みデータマスク回路40は、第1乃至第4のNANDゲート40〜40を備えている。第1のNANDゲート40は、信号PRGPTN10と、上位ビットUBの反転信号UBBとに基づいてNAND演算を行う。第2のNANDゲート40は、信号UBBの反転値UBと、信号PRGPTN00とに基づいてNAND演算を行う。第3のNANDゲート40は、第1および第2のNANDゲートの出力に基づいてNAND演算を行う。第4のNANDゲート40は、第3のNANDゲートの出力の反転値と、第2データバッファ34Aの出力とに基づいてNAND演算を行い、演算結果を書き込みデータ切り替え回路42に送出する。 The output data of the second data buffer is input to the write data mask circuit 40. A specific example of the write data mask circuit 40 is shown in FIG. The write data mask circuit 40 includes first to fourth NAND gates 40 1 to 40 4 . The first NAND gate 40 1 includes a signal PRGPTN10, performs a NAND operation on the basis of an inverted signal UBB upper bits UB. The second NAND gate 40 2 performs the inverted value UB signal UBB, a NAND operation on the basis of the signal PRGPTN00. The third NAND gate 40 3 performs a NAND operation on the basis of the outputs of the first and second NAND gates. The fourth NAND gate 40 3, and the inverted value of the output of the third NAND gate performs a NAND operation on the basis of the output of the second data buffer 34A, and sends the data switching circuit 42 writes the operation result.

書き込みデータマスク回路40では、データパターン選択信号[1:0]が“10”の場合の場合)、信号PRGPTN10が「1」、信号PRGPTN00が「0」になり、信号UBBが「1」の場合に書き込みデータ切り替え回路42への出力を「1」にマスクする。また、データパターン選択信号[1:0]が“00”の場合、信号PRGPTN10が「0」、信号PRGPTN00が「1」になり、信号UBBが「0」の場合に書き込みデータ切り替え回路42への出力を「1」にマスクする。これにより、例えばデータパターン選択信号[1:0]が“10”の場合、第2データバッファ34Aには多値圧縮ペアが(00)の箇所も「0」となっているが、信号UBBが「1」なので、書き込みデータ切り替え回路42への出力は「1」にマスクされる。データパターン選択信号[1:0]が“10”、“00”以外の場合は、信号UBBの値によらず第2データバッファ34Aの出力データがそのまま書き込みデータ切り替え回路42へ出力される。したがって、書き込みデータマスク回路40においては、第2データバッファ34Aに保持されたデータ中に、データ(10)、(00)、(01)のいずれかの書き込み対象データが存在する場合にのみ、データ「0」を出力し、存在しない場合には「1」を出力する。信号PRGPTN1XB、信号PRGPTN10、信号PRGPTN00のデコード値を図27に示す。すなわち、書き込みデータマスク回路40は、書き込み対象ビットの場合には「0」を出力する。   In the write data mask circuit 40, when the data pattern selection signal [1: 0] is “10”), the signal PRGPTN10 is “1”, the signal PRGPTN00 is “0”, and the signal UBB is “1”. The output to the write data switching circuit 42 is masked to “1”. When the data pattern selection signal [1: 0] is “00”, the signal PRGPTN10 is “0”, the signal PRGPTN00 is “1”, and when the signal UBB is “0”, the write data switching circuit 42 is supplied. Mask output to "1". Thereby, for example, when the data pattern selection signal [1: 0] is “10”, the location where the multi-value compression pair is (00) is also “0” in the second data buffer 34A, but the signal UBB is Since it is “1”, the output to the write data switching circuit 42 is masked by “1”. When the data pattern selection signal [1: 0] is other than “10” or “00”, the output data of the second data buffer 34A is output to the write data switching circuit 42 as it is regardless of the value of the signal UBB. Therefore, in the write data mask circuit 40, data is written only when data to be written of any of data (10), (00), and (01) exists in the data held in the second data buffer 34A. “0” is output, and “1” is output when it does not exist. Decoded values of the signal PRGPTN1XB, the signal PRGPTN10, and the signal PRGPTN00 are shown in FIG. That is, the write data mask circuit 40 outputs “0” in the case of a write target bit.

書き込みデータ切り替え回路42は、書き込みデータマスク回路40の出力データ(128ビット)の上位ビット(第1乃至第64ビット)と下位ビット(第65ビット乃至第124ビット)とを切り替える。カラムアドレスB[0]が「0」の場合は下位ビット側の「0」のビットを、「1」の場合は上位ビット側の「0」のビットをPRGデータバスに「1」(書き込み対象ビット)として出力し、書き込みを行う。すなわち、書き込み対象データが存在する場合にのみ、書き込みが行われる。書き込みデータ切り替え回路42は、書き込み対象ビットの場合には「1」を出力する。   The write data switching circuit 42 switches between upper bits (first to 64th bits) and lower bits (65th to 124th bits) of the output data (128 bits) of the write data mask circuit 40. When the column address B [0] is “0”, the bit “0” on the lower bit side is set to “1” (the object to be written) on the PRG data bus. Bit) and write. That is, writing is performed only when there is data to be written. The write data switching circuit 42 outputs “1” in the case of a write target bit.

書き込み終了後のベリファイ動作は、異なる閾値レベルを判定するため、各レベルのベリファイを別々に行う。センスアンプデータマスク回路44の一具体例を図29に示す。このセンスアンプデータマスク回路44は、NANDゲート44と、ANDゲート44とを備えている。NANDゲート44は、信号PGRTN10と、信号UBBとに基づいてNAND演算を行い、演算結果をANDゲート44に送出する。ANDゲート44は、NANDゲート44の出力と、センスアンプ14の出力とに基づいて、AND演算を行い、演算結果をベリファイデータ制御回路38に送出する。データパターン選択信号[1:0]が“10”の場合、信号PRGPTN10が「1」になり信号UBBが「1」(多値圧縮ペアが“00”、“01”)の場合、センスアンプ回路14の出力によらず、「0」を出力する。これにより、“10”レベルをベリファイした場合に、第2データバッファ34Aの多値圧縮ペアが“00”となる箇所のデータを破壊しないことを実現する。 In the verify operation after the end of writing, verify of each level is performed separately in order to determine different threshold levels. A specific example of the sense amplifier data mask circuit 44 is shown in FIG. The sense amplifier data mask circuit 44 includes a NAND gate 44 1, and the AND gate 44 2. NAND gate 44 1 is provided with a signal PGRTN10, performs a NAND operation on the basis of the signal UBB, it sends the result to the AND gate 44 2. AND gate 44 2, the output of NAND gate 44 1, on the basis of the output of the sense amplifier 14 performs an AND operation, and sends the result to verify data control circuit 38. When the data pattern selection signal [1: 0] is “10”, the signal PRGPTN10 is “1” and the signal UBB is “1” (multi-value compression pair is “00”, “01”). “0” is output regardless of the output of 14. As a result, when the “10” level is verified, it is possible to prevent destruction of data at a location where the multi-value compression pair of the second data buffer 34A is “00”.

以上説明した本実施形態の第2データバッファ34Aの処理動作を図30に示し、第1乃至第4実施形態の第2データバッファ34の処理動作を図31に示す。図30からわかるように、本実施形態においては、第1データバッファ31Aから送出されたデータは、データ変換回路32Aによって多値圧縮されて変換され、多値圧縮ビットペアの2ビットを1ビットに圧縮して第2データバッファ34Aに送られる。そして、この変換されたデータは第2データバッファ34Aにおいて、ラッチされると同時にデータの判定が行われる。ラッチされたデータは、図示しない書き込みデータマスク回路40(図23参照)を介して書き込みデータ出力回路42に送出される。一方、第2データバッファ34Aにおいて、データ判定された後は、この判定結果に基づいて判定信号HITが出力され、AAS回路35に送出される。   The processing operation of the second data buffer 34A of the present embodiment described above is shown in FIG. 30, and the processing operation of the second data buffer 34 of the first to fourth embodiments is shown in FIG. As can be seen from FIG. 30, in this embodiment, the data sent from the first data buffer 31A is converted by multi-value compression by the data conversion circuit 32A, and 2 bits of the multi-value compression bit pair are compressed to 1 bit. Then, it is sent to the second data buffer 34A. The converted data is latched in the second data buffer 34A, and at the same time, the data is determined. The latched data is sent to the write data output circuit 42 via a write data mask circuit 40 (see FIG. 23) (not shown). On the other hand, after the data is determined in the second data buffer 34A, the determination signal HIT is output based on the determination result and sent to the AAS circuit 35.

これに対して、図31からわかるように、第1乃至第4実施形態においては、第1データバッファ31から送出されたデータは、データ変換回路32によって多値圧縮されて変換され、多値圧縮ビットペアが圧縮されずに2ビットのまま、第2データバッファ34に送られる。この変換されたデータは第2データバッファ34において、まずラッチされる。その後、このラッチされたデータはデータ出力される。一方、上記ラッチされたデータは、第2データバッファ34において、データ判定され、この判定結果に基づいて判定信号HITが出力され、AAS回路35に送出される。   On the other hand, as can be seen from FIG. 31, in the first to fourth embodiments, the data sent from the first data buffer 31 is subjected to multi-value compression and conversion by the data conversion circuit 32, and multi-value compression is performed. The bit pair is sent to the second data buffer 34 without being compressed and remains 2 bits. The converted data is first latched in the second data buffer 34. Thereafter, the latched data is output as data. On the other hand, the latched data is subjected to data determination in the second data buffer 34, and a determination signal HIT is output based on the determination result and sent to the AAS circuit 35.

以上説明したように、本実施形態は、データ変換回路32Aによって多値圧縮ペアの2ビットを1ビットに圧縮することで、第2データバッファ34Aにおける各データバッファ回路420(i=0,・・・,15)のサイズ(128ビット)を、第1乃至第4実施形態の第2データバッファ34の各データバッファ回路のサイズ(256ビット)の半分にすることができる。更に、第1乃至第4実施形態においては、各データバッファ回路420(i=0,・・・,15)に対して1組の第1乃至第4データ判定回路を設けていたが、本実施形態においては、共通にして用いている。このため、第1乃至第4実施形態に比べて、本実施形態の第2データバッファの面積を小さくすることができる。 As described above, in the present embodiment, each data buffer circuit 420 i (i = 0,...) In the second data buffer 34A is compressed by compressing 2 bits of the multi-value compression pair into 1 bit by the data conversion circuit 32A. .., 15) can be made half the size (256 bits) of each data buffer circuit of the second data buffer 34 of the first to fourth embodiments. Further, in the first to fourth embodiments, one set of first to fourth data determination circuits is provided for each data buffer circuit 420 i (i = 0,..., 15). In the embodiment, it is used in common. Therefore, the area of the second data buffer of this embodiment can be reduced compared to the first to fourth embodiments.

また、本実施形態も、第1乃至第4実施形態と同様に、書き込み対象ビットが存在しない場合には、そのアドレスを書き込み対象ビットが存在するアドレスまでスキップするように構成されているので、自動書き込み動作時間を可及的に短縮することができる。   As in the first to fourth embodiments, this embodiment is also configured to skip the address to the address where the write target bit exists when there is no write target bit. The write operation time can be shortened as much as possible.

(応用例)
以下、上記各実施例で述べた構成および機能を有するNOR型フラッシュメモリ100を半導体チップに搭載した一例について説明する。
(Application example)
Hereinafter, an example in which the NOR flash memory 100 having the configuration and function described in each of the above embodiments is mounted on a semiconductor chip will be described.

図21は、応用例に係るNOR型フラッシュメモリ100を備えた半導体チップ(マルチ・チップ・パッケージ:MCP(Multi Chip Package))1000の一例を示す断面図である。   FIG. 21 is a cross-sectional view showing an example of a semiconductor chip (multi-chip package: MCP) 1000 including a NOR flash memory 100 according to an application example.

図21に示すように、半導体チップ1000は、基板1001上に順次積層されたNAND型フラッシュメモリ1002、スペーサ1003、NOR型フラッシュメモリ100、スペーサ1004、PSRAM(Pseudo Static Random Access Memory)1005、およびコントローラ1006を同一パッケージ内に搭載している。   As shown in FIG. 21, a semiconductor chip 1000 includes a NAND flash memory 1002, a spacer 1003, a NOR flash memory 100, a spacer 1004, a PSRAM (Pseudo Static Random Access Memory) 1005, and a controller, which are sequentially stacked on a substrate 1001. 1006 is mounted in the same package.

NAND型フラッシュメモリ1002は、例えば、多値データの記憶が可能な複数のメモリセルを有している。また、半導体チップ1000において、PSRAMに換えて、SDRAM(Synchronous Dynamic Random Access Memory)を用いた構成であっても良い。   The NAND flash memory 1002 has, for example, a plurality of memory cells that can store multi-value data. Further, the semiconductor chip 1000 may be configured to use SDRAM (Synchronous Dynamic Random Access Memory) instead of PSRAM.

上記メモリのうち、メモリシステムによる用途により、NAND型フラッシュメモリ1002は、例えば、データ格納用メモリとして使用される。また、NOR型フラッシュメモリ100は、例えば、プログラム格納用メモリとして使用される。また、PSRAM1005は、例えば、ワーク用メモリとして使用される。   Among the above memories, the NAND flash memory 1002 is used as a data storage memory, for example, depending on the use by the memory system. The NOR flash memory 100 is used as a program storage memory, for example. The PSRAM 1005 is used as a work memory, for example.

コントローラ1006は、主としてNAND型フラッシュメモリ1002に対するデータ入出力制御、データ管理を行う。コントローラ1006は、ECC訂正回路(図示せず)を有しており、データを書き込む際には誤り訂正符合(ECC)付加し、読み出す際にも誤り訂正符号の解析・処理を行う。   The controller 1006 mainly performs data input / output control and data management for the NAND flash memory 1002. The controller 1006 includes an ECC correction circuit (not shown), adds an error correction code (ECC) when writing data, and analyzes and processes the error correction code when reading data.

NAND型フラッシュメモリ1002、NOR型フラッシュメモリ100、PSRAM1005、およびコントローラ1006は、ワイヤ1007により基板1001にボンディングされている。   The NAND flash memory 1002, the NOR flash memory 100, the PSRAM 1005, and the controller 1006 are bonded to the substrate 1001 with wires 1007.

基板1001の裏面に設けられた各半田ボール1008は、それぞれワイヤ1007に電気的に接続されている。パッケージ形状としては、例えば、各半田ボール1008が二次元的に配置された表面実装型のBGA(Ball Grid Array)が採用される。   Each solder ball 1008 provided on the back surface of the substrate 1001 is electrically connected to a wire 1007. As the package shape, for example, a surface mount type BGA (Ball Grid Array) in which each solder ball 1008 is two-dimensionally arranged is adopted.

なお、実施例1におけるECC訂正回路11は、既述のようにNOR型フラッシュメモリ100内に設けられてもよく、または、コントローラ1006内に設けられていても良い。この場合、NAND型フラッシュメモリ1002とECC訂正回路を共用しても良いし、NAND型フラッシュメモリ1002とNOR型フラッシュメモリ100とで、それぞれ異なるECC訂正回路を有していても良い。また、ECC訂正回路11は、コントローラ1002の外部に独立して設けられていても良い。   The ECC correction circuit 11 according to the first embodiment may be provided in the NOR flash memory 100 as described above, or may be provided in the controller 1006. In this case, the NAND flash memory 1002 and the ECC correction circuit may be shared, and the NAND flash memory 1002 and the NOR flash memory 100 may have different ECC correction circuits. Further, the ECC correction circuit 11 may be provided outside the controller 1002 independently.

次に、上記半導体チップ1000を、電子機器の一例である携帯電話に適用する場合について説明する。   Next, a case where the semiconductor chip 1000 is applied to a mobile phone which is an example of an electronic device will be described.

図22は、半導体チップ1000を内部に実装する携帯電話を示す図である。図22に示すように、携帯電話2000は、メイン画面2001を有する本体上部2002と、キーパッド2003を有する本体下部2004と、を備えている。この携帯電話2000には、半導体チップ1000が搭載される。   FIG. 22 is a diagram showing a mobile phone in which the semiconductor chip 1000 is mounted. As shown in FIG. 22, the mobile phone 2000 includes a main body upper part 2002 having a main screen 2001 and a main body lower part 2004 having a keypad 2003. The mobile phone 2000 is equipped with a semiconductor chip 1000.

携帯電話2000に搭載されたCPU(図示せず)は、半導体チップ1000にインターフェイス(図示せず)を介してアクセスし、データ等の転送を行うようになっている。   A CPU (not shown) mounted on the mobile phone 2000 accesses the semiconductor chip 1000 via an interface (not shown) and transfers data and the like.

携帯電話2000は、例えば、NAND型フラッシュメモリ1002をユーザデータの格納領域として、NOR型フラッシュメモリ100をファームウェア等のプログラム格納領域として使用する。 The cellular phone 2000 uses, for example, the NAND flash memory 1002 as a user data storage area and the NOR flash memory 100 as a program storage area such as firmware.

この様なメモリシステムにおいて、NOR型フラッシュメモリ100には、高速な書き込み動作が要求される。また一方で、アプリケーションソフトの高機能化に伴い、格納すべきプログラムのデータ量も増大傾向にある。   In such a memory system, the NOR flash memory 100 is required to perform a high-speed write operation. On the other hand, the amount of program data to be stored is increasing as the application software becomes more sophisticated.

応用例に係るNOR型フラッシュメモリ100は、上述したように、多値データを記憶可能なメモリセルを設け、また、書き込み対象ビットが存在しない場合には、そのアドレスを書き込み対象ビットが存在するアドレスまでスキップするように構成されていることで、上記2つの課題を共に解決することが可能である。   As described above, the NOR flash memory 100 according to the application example includes a memory cell capable of storing multi-value data, and when there is no write target bit, the address is the address where the write target bit exists. It is possible to solve both the above-mentioned two problems by being configured to skip to the above.

なお、半導体チップ1000は、上記携帯電話以外にも、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、PDA等の各種電子機器に適用することができる。   Note that the semiconductor chip 1000 can be applied to various electronic devices such as a personal computer, a digital still camera, and a PDA in addition to the mobile phone.

第1実施形態による不揮発性半導体記憶装置を示すブッロク図。The block diagram which shows the non-volatile semiconductor memory device by 1st Embodiment. 多値圧縮ペアを示す図。The figure which shows a multi-value compression pair. データパターン選択信号を説明する図。The figure explaining a data pattern selection signal. データ変換回路のデータ変換を説明する図。The figure explaining the data conversion of a data conversion circuit. 第2データバッファの一具体例の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the specific example of a 2nd data buffer. 制御信号と動作モードとの関係を説明する図。The figure explaining the relationship between a control signal and an operation mode. 自動アドレス検索回路を示すブロック図。The block diagram which shows an automatic address search circuit. 書き込み対象ビットがある場合のAASアドレスに基づいた書き込み動作のタイミング図。FIG. 6 is a timing diagram of a write operation based on an AAS address when there is a write target bit. 書き込み対象ビットがない場合のAASアドレスに基づいた書き込み動作のタイミング図。FIG. 9 is a timing diagram of a write operation based on an AAS address when there is no write target bit. AASメイン回路の一具体例を示す回路図。The circuit diagram which shows one specific example of an AAS main circuit. 第2データバッファに書き込みデータをラッチした状態を示す図。The figure which shows the state which latched the write data in the 2nd data buffer. 制御信号ADDINCENの立ち上がりエッジで、次に書き込むデータがあるアドレスへスキップした状態を示す図。The figure which shows the state which skipped to the address with the data to write next at the rising edge of the control signal ADDINCEN. 制御信号ADDINCENの立ち上がりエッジで、これ以降、書き込みデータが存在するアドレスが無く、終了信号ENDを出力した状態を示す図。The figure which shows the state which did not have the address where write data exists after this, and the end signal END was output at the rising edge of the control signal ADDINCEN. ベリファイデータ制御回路と第2データバッファとの関係を示すブロック図。The block diagram which shows the relationship between a verification data control circuit and a 2nd data buffer. ベリファイデータ制御回路の一具体例を示す回路図。FIG. 5 is a circuit diagram showing a specific example of a verify data control circuit. ベリファイ動作時のAASメイン回路の状態を示す図。The figure which shows the state of the AAS main circuit at the time of a verify operation | movement. 書き込み動作とベリファイ動作を繰り返した場合のタイミング図。FIG. 6 is a timing chart when a write operation and a verify operation are repeated. 第1実施形態における第2データバッファの出力段を示す回路図。The circuit diagram which shows the output stage of the 2nd data buffer in 1st Embodiment. 第1実施形態の変形例における第2データバッファの出力段を示す回路図。The circuit diagram which shows the output stage of the 2nd data buffer in the modification of 1st Embodiment. 2ポート出力制御が行われるときの、書き込み動作とベリファイ動作における各ページと、第2データバッファの出力が送られるデータ出力バスとの関係を示す図。The figure which shows the relationship between each page in a write operation and a verify operation, and the data output bus to which the output of a 2nd data buffer is sent when 2 port output control is performed. 応用例におけるNOR型フラッシュメモリを備えた半導体チップの一例を示す断面図。Sectional drawing which shows an example of the semiconductor chip provided with the NOR type flash memory in the application example. 応用例におけるNOR型フラッシュメモリを備えた半導体チップを格納する携帯電話を示す模式図。The schematic diagram which shows the mobile telephone which stores the semiconductor chip provided with the NOR type flash memory in the application example. 第5実施形態による不揮発性半導体記憶装置を示すブロック図。The block diagram which shows the non-volatile semiconductor memory device by 5th Embodiment. 第5実施形態に係るデータ変換回路のデータ変換を説明する図。The figure explaining the data conversion of the data converter circuit which concerns on 5th Embodiment. 第2データバッファの一具体例の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the specific example of a 2nd data buffer. 書き込みデータマスク回路の一具体例を示す回路図。FIG. 5 is a circuit diagram showing a specific example of a write data mask circuit. 信号PRGPTNN10B、信号PRGPTN1XB、信号PRGPTN10、信号PRGPTN00のデコード値を示す図。The figure which shows the decoding value of signal PRGPTNN10B, signal PRGPTN1XB, signal PRGPTN10, and signal PRGPTN00. 書き込みデータ切り替え回路の一具体例を示す回路図。FIG. 3 is a circuit diagram showing a specific example of a write data switching circuit. センスアンプデータマスク回路の一具体例を示す回路図。FIG. 5 is a circuit diagram showing a specific example of a sense amplifier data mask circuit. 第5実施形態に係る第2データバッファの処理動作を説明する図。The figure explaining the processing operation of the 2nd data buffer concerning a 5th embodiment. 第1乃至第4実施形態に係る第2データバッファの処理動作を説明する図。The figure explaining the processing operation of the 2nd data buffer concerning a 1st thru / or a 4th embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

2 メモリブロック
4 メモリセルアレイ
6 メモリデコーダ
12 読み出し用センスアンプ回路
14 自動動作用センスアンプ回路
20 自動動作制御システム
22 コマンド判定回路
24 アドレス生成回路
26 自動動作制御回路
30 データ制御システム
31 第1データバッファ
31A 第1データバッファ
32 データ変換回路
32A データ変換回路
33 入力選択回路
34 第2データバッファ
34A 第2データバッファ
35 自動アドレス検索回路(AAS回路)
36 アドレス選択回路
37 書き込みデータ多値圧縮回路
38 ベリファイデータ制御回路
39 ベリファイデータ出力デコード回路
40 書き込みデータマスク回路
42 書き込みデータ切り替え回路
44 センスアンプデータマスク回路
1000 半導体チップ
1001 基板
1002 NAND型フラッシュメモリ
1003、1004 スペーサ
1005 PSRAM
1006 コントローラ
1007 ワイヤ
1008 半田ボール
2000 携帯電話
2001 メイン画面
2002 本体上部
2003 キーパッド
2004 本体下部
2 memory block 4 memory cell array 6 memory decoder 12 read sense amplifier circuit 14 automatic operation sense amplifier circuit 20 automatic operation control system 22 command determination circuit 24 address generation circuit 26 automatic operation control circuit 30 data control system 31 first data buffer 31A First data buffer 32 Data conversion circuit 32A Data conversion circuit 33 Input selection circuit 34 Second data buffer 34A Second data buffer 35 Automatic address search circuit (AAS circuit)
36 address selection circuit 37 write data multi-value compression circuit 38 verify data control circuit 39 verify data output decode circuit 40 write data mask circuit 42 write data switching circuit 44 sense amplifier data mask circuit 1000 semiconductor chip 1001 substrate 1002 NAND flash memory 1003 1004 Spacer 1005 PSRAM
1006 Controller 1007 Wire 1008 Solder ball 2000 Mobile phone 2001 Main screen 2002 Main body upper part 2003 Keypad 2004 Lower main body

Claims (9)

複数の不揮発性メモリセルを有するメモリセルアレイと、
複数の前記不揮発性メモリセルにデータを書き込む際に、書き込み対象データを検索し、前記書き込み対象データが存在するアドレスを出力するアドレス検索回路と、
前記アドレス検索回路から出力される前記アドレスに従って、前記メモリセルに前記書き込み対象データを書き込むように制御する制御回路と、
を備えていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
A memory cell array having a plurality of nonvolatile memory cells;
An address search circuit that searches for write target data and outputs an address where the write target data exists when writing data to the plurality of nonvolatile memory cells;
A control circuit for controlling to write the write target data in the memory cell according to the address output from the address search circuit;
A non-volatile semiconductor memory device comprising:
入力データを保持し、前記入力データ中に前記書き込み対象データが存在するか否かを判定する判定機能を有しているデータバッファを更に備え、
前記アドレス検索回路は、前記データバッファの判定結果に基づいて、前記書き込み対象データが存在する前記アドレスを出力することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
A data buffer that holds input data and has a determination function for determining whether or not the data to be written exists in the input data;
2. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein the address search circuit outputs the address where the write target data exists based on a determination result of the data buffer.
入力データを保持する第1データバッファと、
前記書き込み対象データに応じて、前記第1データバッファに保持された入力データを変換するデータ変換回路と、
前記データ変換回路によって変換された入力データを保持するとともに、この保持した入力データ中に前記書き込み対象データが存在するか否かを判定する判定機能を有している第2データバッファと、を更に備え、
前記アドレス検索回路は、前記第2データバッファの判定結果に基づいて、前記書き込み対象データが存在する前記アドレスを出力することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
A first data buffer for holding input data;
A data conversion circuit for converting input data held in the first data buffer according to the write target data;
A second data buffer that holds the input data converted by the data conversion circuit and has a determination function for determining whether or not the data to be written exists in the held input data; Prepared,
2. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein the address search circuit outputs the address where the write target data exists based on a determination result of the second data buffer.
前記書き込み後にベリファイ判定を行うベリファイデータ制御回路を備え、前記ベリファイデータ制御回路は、ベリファイ判定の対象ビットが存在するデータはベリファイデータを反転して前記データバッファに出力し、ベリファイ判定の非対象ビットおよびベリファイで一度パスしたビットは、パスデータを前記データバッファに出力することを特徴とする請求項2または3に記載の不揮発性半導体記憶装置。   A verify data control circuit for performing a verify determination after the writing; the verify data control circuit inverts the verify data for the data in which the verify determination target bit exists and outputs the inverted data to the data buffer; 4. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 2, wherein a bit that has been passed once by verifying outputs pass data to the data buffer. 5. 複数の前記不揮発性メモリセルは4値レベルのデータを記憶することが可能であり、前記制御回路は、前記4値レベルのデータのうち、閾値電圧が最も高いレベルおよび閾値電圧が最も低いレベルのデータを除いた2つのレベルのデータを、同時に前記不揮発性メモリセルに書き込むように制御する請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。   The plurality of nonvolatile memory cells can store quaternary level data, and the control circuit has the highest threshold voltage and the lowest threshold voltage among the quaternary level data. 5. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein two levels of data excluding data are controlled to be written to the nonvolatile memory cell at the same time. 6. 入力データを保持する第1データバッファと、
前記書き込み対象データに応じて、前記第1データバッファに保持された入力データを多値圧縮して変換し、この変換されたデータを更に半分に圧縮した第1圧縮データと、残りの半分である第2圧縮データとを出力するデータ変換回路と、
前記データ変換回路から出力される前記第1圧縮データを保持するとともに、前記第1圧縮データ中に前記書き込み対象データが存在するか否かを判定する判定機能を有している第2データバッファと、を更に備え、
前記アドレス検索回路は、前記データバッファの判定結果に基づいて、前記書き込み対象データが存在する前記アドレスを出力することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
A first data buffer for holding input data;
According to the data to be written, the input data held in the first data buffer is converted by multi-value compression and converted, and the converted data is further compressed in half and the remaining half. A data conversion circuit for outputting the second compressed data;
A second data buffer that holds the first compressed data output from the data conversion circuit and has a determination function for determining whether or not the write target data exists in the first compressed data; Further comprising
2. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein the address search circuit outputs the address where the write target data exists based on a determination result of the data buffer.
前記書き込み対象データの種類を示すデータパターン信号と、前記第2データバッファに保持された前記第1圧縮データと、前記データ変換回路から出力される第2圧縮データとに基づいて、前記第2データバッファに保持された前記第1圧縮データが前記書き込み対象データであるときはマスクしないで出力し、前記書き込み対象データであるときはマスクして出力する書き込みデータマスク回路を更に備え、
前記書き込みデータマスク回路の出力と、前記アドレス探索回路から出力されるアドレスに基づいて書き込みが行われることを特徴とする請求項6記載の不揮発性半導体記憶装置。
Based on the data pattern signal indicating the type of the write target data, the first compressed data held in the second data buffer, and the second compressed data output from the data conversion circuit, the second data A write data mask circuit that outputs without masking when the first compressed data held in the buffer is the write target data, and masks and outputs when the data is the write target data;
7. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 6, wherein writing is performed based on an output of the write data mask circuit and an address output from the address search circuit.
ベリファイ読み出しを行うベリファイ用センスアンプと、
前記ベリファイ用センスアンプの出力と、前記第2圧縮データと、前記データパターン信号と、に基づいて、ベリファイ判定の対象ビットが存在しないデータの場合のみベリファイが行われないように、前記ベリファイ用センスアンプの出力をマスクするセンスアンプデータマスク回路と、
を備えていることを特徴とする請求項6または7に記載の不揮発性半導体記憶装置。
A verify sense amplifier for performing verify read;
Based on the output of the verify sense amplifier, the second compressed data, and the data pattern signal, the verify sense is performed so that verification is not performed only in the case of data that does not have a target bit for verify determination. A sense amplifier data mask circuit for masking the output of the amplifier;
The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 6, further comprising:
前記第2データバッファは、前記第1圧縮データを保持するとともに、前記第1および第2圧縮データとに基づいて、前記第1圧縮データ中に前記書き込み対象データが存在するか否かを判定し、この判定結果と前記書き込み対象データの種類を示すデータパターン信号とに基づいて前記アドレス検索回路に判定信号を送り、前記書き込み対象データが存在する前記アドレスを出力させることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の不揮発性半導体記憶装置。   The second data buffer holds the first compressed data and determines whether the write target data exists in the first compressed data based on the first and second compressed data. 7. A determination signal is sent to the address search circuit based on the determination result and a data pattern signal indicating the type of the write target data to output the address where the write target data exists. The nonvolatile semiconductor memory device according to any one of 1 to 8.
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