JP2009141108A - Storage vessel - Google Patents

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岩城　　忠雄
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剛 永島
Koji Iimura
康治 飯村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a storage vessel capable of maintaining a storage space at pressure higher than that of an external environment by a simple structure without depending upon a pressure means by an external gas introducing device or the like. <P>SOLUTION: The storage vessel is formed in the storage space storing a storage section by airtightly connecting pump spaces capable of changing capacities to the storage space. The storage vessel has working sections movable for changing the content volumes of the pump spaces. For example, an extensible bellows and elastic bodies are used for the working sections. The pump spaces can also be unified with the storage space. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体ウェハなどの結晶基板、石英ガラスなどのガラス基板、半導体素子、フォトマスク、ハードディスク、あるいは表示素子などの収納物を外気と隔離して清浄に収納するための収納容器に関する。   The present invention relates to a storage container for cleanly storing a stored object such as a crystal substrate such as a semiconductor wafer, a glass substrate such as quartz glass, a semiconductor element, a photomask, a hard disk, or a display element from outside air.

従来、半導体ウェハなどの結晶基板や、表示素子やフォトマスクに用いられるガラス基板、ハードディスク、半導体素子、あるいは表示素子などは、汚染粒子等の侵入や汚染を防ぐために、外気から気密にシールされた収納空間すなわちミニエンバイロメントを形成することができる収納容器の中に収納されるのが通常である。   Conventionally, crystal substrates such as semiconductor wafers, glass substrates used for display elements and photomasks, hard disks, semiconductor elements, and display elements are hermetically sealed from the outside air in order to prevent entry of contaminant particles and contamination. Usually, it is stored in a storage container that can form a storage space or mini-environment.

しかしながら、近年の半導体プロセスにおける微細化の進展や、表示素子の高精細化が進展するに伴って、従来以上の気密性を保ったミニエンバイロメントが求められるようになってきた。例えば、半導体プロセスにおいては線幅が６５ｎｍを切り、近い将来には３２ｎｍになると言われている。そのため、ミニエンバイロメントとしては、１００ｎｍ以下の粒径を持った汚染粒子が外部から侵入しないようなシールが必要となる。   However, with the progress of miniaturization in recent semiconductor processes and the advancement of high definition of display elements, a mini-environment that maintains airtightness higher than that of conventional devices has been demanded. For example, in the semiconductor process, it is said that the line width cuts 65 nm and will be 32 nm in the near future. Therefore, as a mini-environment, a seal is required so that contaminant particles having a particle size of 100 nm or less do not enter from the outside.

このようなミニエンバイロメントを実現するために、シール材料やシール形状などを工夫した収納容器が開発されてきた。   In order to realize such a mini-environment, a storage container in which a sealing material or a sealing shape is devised has been developed.

また、外部の高圧不活性ガスで容器内を置換して、容器内を０．００５ＭＰａ程度高い圧力に維持することによってミニエンバイロメントをより清浄な状態に維持しようとする試みもなされている。この方法は、充分高いシール性を持った収納容器内に不活性ガスを外部環境よりも若干高い圧力に充填した後、容器のガス導入口に設けられたバルブを閉じることによって実現している（特許文献１）。
特許第２６４４１６６号 Attempts have also been made to maintain the minienvironment in a cleaner state by replacing the inside of the container with an external high-pressure inert gas and maintaining the inside of the container at a pressure higher by about 0.005 MPa. This method is realized by filling a storage container having a sufficiently high sealing property with an inert gas at a pressure slightly higher than the external environment, and then closing a valve provided at the gas inlet of the container ( Patent Document 1).
Japanese Patent No. 2644166

従来の収納容器において、最も効果的に外部からの汚染粒子を排除する方法は、特許文献１に見られるように収納容器の収納空間を外部環境よりも高い圧力に設定することである。しかしながら、従来の方法は外部からのガス導入装置が必要になったり、収納容器のガス導入口にバルブを設けたりするため、高価で複雑な収納容器となっていた。   In the conventional storage container, the most effective method of removing the contaminant particles from the outside is to set the storage space of the storage container at a pressure higher than that of the external environment as seen in Patent Document 1. However, the conventional method requires an external gas introduction device or is provided with a valve at the gas introduction port of the storage container, which makes the storage container expensive and complicated.

本発明は、外部のガス導入装置などによる加圧手段に頼ることなく、簡便な構造で収納空間を外部環境よりも高い圧力に維持することが可能な収納容器を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a storage container capable of maintaining a storage space at a pressure higher than that of the external environment with a simple structure without relying on pressurizing means such as an external gas introduction device.

本発明の収納容器は、収納容器本体と、蓋体と、収納容器本体を蓋体で閉じたときに形成される収納空間を外部環境から気密に隔離するシールとから構成され、これら収納容器本体と蓋体とは結合部によって結合されて収納空間内を加圧した状態で保持できるようになっている。また、収納容器本体を蓋体で閉じたときに、収納容器本体の内側に設けられた収納物を支持するための支持部と、蓋体の内側に設けられた収納物を押圧するための押圧部とが互いに収納物を挟持して、収納物が固定保持されるようになっている。また、収納空間に気密に連結され内容積が可変であるポンプ空間の内容積を変化させ、収納空間の気圧を変化させるために移動可能な作用部を有している。この作用部を移動させることによって、外部からの加圧手段を用いなくても収納空間内の圧力を簡便に高くすることができるようになっている。   The storage container of the present invention comprises a storage container main body, a lid, and a seal that hermetically isolates the storage space formed when the storage container main body is closed with the lid, from the external environment. And the lid are coupled by a coupling portion so that the inside of the storage space can be held in a pressurized state. In addition, when the storage container main body is closed with the lid, a support portion for supporting the stored item provided inside the storage container main body and a press for pressing the stored item provided inside the lid body The storage unit holds the stored item with each other, and the stored item is fixedly held. Moreover, it has an action part movable in order to change the internal volume of the pump space which is airtightly connected to the storage space and whose internal volume is variable, and to change the pressure of the storage space. By moving the action portion, the pressure in the storage space can be easily increased without using external pressurizing means.

ポンプ空間は収納空間に対してのみ開口した伸縮自在なベローズまたは弾性体で形成することができる。   The pump space can be formed of an extendable bellows or an elastic body that opens only to the storage space.

作用部をピストンで、ポンプ空間をシリンダーで形成することもできる。ピストンはシリンダー内を平行移動が可能であり、シリンダーは収納空間側に開口しているか、シリンダーに連結パイプを通して連結孔で収納空間側に開口している。ピストンとシリンダーとの間はシール（上述の収納容器本体と蓋体とに備わるシールと区別して、第二のシールと呼ぶ）で外部環境から気密に隔離されている。   It is also possible to form the working portion with a piston and the pump space with a cylinder. The piston can move in parallel within the cylinder, and the cylinder is open to the storage space side, or is connected to the storage space side through a connecting pipe through the cylinder. The piston and the cylinder are hermetically isolated from the external environment by a seal (referred to as a second seal in distinction from the seal provided on the storage container body and the lid described above).

また、ポンプ空間の複数の可変位置において移動させた作用部を固定可能な留め部を収納容器本体または蓋体に形成することによって作用部の移動を所定の位置に固定することができ、その結果、収納空間を所定の圧力に保ったまま維持することが可能となった。   Further, the movement of the action part can be fixed at a predetermined position by forming a fastening part on the storage container main body or the lid that can fix the action part moved at a plurality of variable positions in the pump space. The storage space can be maintained while maintaining a predetermined pressure.

あるいはまた、収納空間の一部をポンプ空間として、収納容器本体または蓋体の側面の一部または全部を伸縮自在なベローズまたは弾性体で形成し、この収納容器本体または蓋体を移動して収納空間の大きさを変化させることによって簡単に収納容器内の圧力を高くすることができた。   Alternatively, a part of the storage space is used as a pump space, and a part or all of the side surface of the storage container body or lid is formed of an extendable bellows or elastic body, and the storage container body or lid is moved and stored. By changing the size of the space, the pressure in the storage container could be easily increased.

さらにまた、収納空間の一部または全部をポンプ空間として、ポンプ空間と収納空間を気密に保持した状態で、シールまたは当該シールと対抗して気密に保持するための壁面が移動可能に形成されている。シールが収納容器本体または蓋体と一体になって移動可能に形成されていて、収納容器本体または蓋体を移動させることによって、ベローズを用いることなく簡便に収納空間の圧力を高めることができる。   Furthermore, a part or all of the storage space is used as a pump space, and a seal or a wall surface for holding the seal in an airtight manner is formed in a state where the pump space and the storage space are kept airtight. Yes. The seal is formed so as to be movable integrally with the storage container main body or the lid, and by moving the storage container main body or the lid, the pressure in the storage space can be easily increased without using a bellows.

なお、収納容器本体と蓋体とを結合する結合部は、収納容器本体または蓋体と一体に形成することによって、収納空間の圧力が高い状態においても、充分に安定した機械的強度を保った状態で収納容器本体と蓋体とを気密に閉じた状態に保つことができる。   In addition, the coupling part that joins the storage container body and the lid body is formed integrally with the storage container body or the lid body, thereby maintaining a sufficiently stable mechanical strength even in a state where the pressure of the storage space is high. In this state, the storage container body and the lid can be kept airtightly closed.

さらに、収納物を固定保持する保持部および押圧部を高分子弾性材料で形成することによって、外部の機械的衝撃や振動などにも安定して収納物を固定保持することができる。   Furthermore, by forming the holding portion and the pressing portion for fixing and holding the stored item with a polymer elastic material, the stored item can be stably fixed and held against an external mechanical shock or vibration.

また、収納容器本体と蓋体とを閉じて形成される収納空間は、外部環境に対して少なくともおよそ０．００１〜０．０２ＭＰａだけ高圧で保持可能な構造にすることによって、大部分の外部環境に対して高圧状態を保持することができると同時に、容器の内部圧力に対する負荷を最小に抑えることができる。   In addition, the storage space formed by closing the storage container main body and the lid is configured to be able to hold at a high pressure of at least about 0.001 to 0.02 MPa relative to the external environment. In addition, it is possible to maintain a high pressure state, and at the same time, it is possible to minimize the load on the internal pressure of the container.

さらに、収納空間またはポンプ空間の少なくとも１箇所には呼吸開口を形成し、この呼吸開口には、パーチクルフィルターと、ケミカルフィルターと、ガスバルブまたは収納容器内部からの気体は遮断し外部環境からの気体は導入可能な逆止弁が、当該収納容器の内側から外側に向かって順に取り付けられた構造とすることによって、外部環境の気圧が収納空間の気圧よりも低い場合は外部との気密を保持でき、例え外部環境の気圧が収納容器内部よりも高くなったとしてもパーチクルに対しても化学汚染物に対しても清浄な気体が外部から侵入するように制限することが可能となった。   Furthermore, a breathing opening is formed in at least one part of the storage space or the pump space. In this breathing opening, gas from the inside of the particle filter, the chemical filter, the gas valve or the storage container is blocked, and the gas from the external environment is blocked. By adopting a structure in which the check valve that can be introduced is attached in order from the inside to the outside of the storage container, when the atmospheric pressure in the external environment is lower than the atmospheric pressure in the storage space, the airtightness with the outside can be maintained, Even if the atmospheric pressure in the external environment is higher than that in the storage container, it is possible to restrict the clean gas from entering the particle and chemical contaminants from the outside.

以上説明したように本発明の収納容器は、収納容器本体と蓋体とをシールを介して収納空間に収納物を保持することによって、この収納物を外部環境と隔離して気密に保持できる上に、この収納空間に気密に連結されたポンプ空間の容積を変形して収縮させることによって、簡便に前記収納空間の気圧を外部環境に対して高圧にして保持することが可能となるため、従来以上に外部環境からのパーチクルの侵入を防止することができ、収納物のパーチクル汚染の防止効果が高いという効果がある。   As described above, the storage container of the present invention can hold the storage container in an airtight manner by isolating the storage container from the external environment by holding the storage container main body and the lid body in the storage space via a seal. Further, by deforming and contracting the volume of the pump space that is airtightly connected to the storage space, it is possible to easily maintain the pressure of the storage space at a high pressure with respect to the external environment. As described above, intrusion of particles from the external environment can be prevented, and the effect of preventing particle contamination of stored items is high.

また、収納容器内部の気圧を高くすることによって、収納容器内壁などに付着していた化学汚染物の蒸気圧を低くすることができるために、収納物の化学汚染をも低減させることができるという効果を有する。   Moreover, since the vapor pressure of chemical contaminants adhering to the inner wall of the storage container can be lowered by increasing the air pressure inside the storage container, chemical contamination of the storage object can also be reduced. Has an effect.

さらにまた、本発明の収納容器では収納物を支持部と押圧部で挟持して保持するため、収納物を容器内壁から隔離して弾性的に保持でき、より壁面からの汚染と外部からの機械衝撃に対して強い収納が可能となるという効果を有する。   Furthermore, in the storage container of the present invention, the stored item is held and held between the support portion and the pressing portion, so that the stored item can be elastically held by being isolated from the inner wall of the container. It has the effect of being able to be stowed against impact.

本発明の収納容器は、収納物を保持する収納容器本体と、収納容器本体を外部環境から隔離するために収納容器本体の開口を閉じる蓋体からなる。収納物を収納容器から出入するときは、通常蓋体を収納容器から分離し収納容器開口を通して行う。尚、蓋体と収納容器本体を一部だけ分離する構造であっても良い。   The storage container of the present invention includes a storage container main body that holds stored items, and a lid that closes the opening of the storage container main body in order to isolate the storage container main body from the external environment. When a stored item is put in and out of the storage container, the lid body is usually separated from the storage container and opened through the storage container opening. In addition, the structure which isolate | separates only a part of a cover body and a storage container main body may be sufficient.

以下に本発明の収納容器に係わる最良の形態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の収納容器に係わる第一実施形態を示した模式的断面図であり、図２は図１で示した実施形態の変形例を示した模式的断面図である。図１と図２において、１は収納容器本体、２は蓋体、３はシール、４はシール溝、５は収納空間、６は収納物、７はベローズ、８はポンプ空間、９は結合部本体、１０はヒンジ、１１はフック、１２は連結孔、１３は連結パイプ、１４は作用部留め、１５は作用部、１６は第一留め溝、１７は第二留め溝、１８は支持部、１９は押圧部、２０はフック受け、２１は隔離壁、２２は作用開口である。   The best mode for the storage container of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a first embodiment of the storage container of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a modification of the embodiment shown in FIG. 1 and 2, 1 is a storage container body, 2 is a lid, 3 is a seal, 4 is a seal groove, 5 is a storage space, 6 is a storage item, 7 is a bellows, 8 is a pump space, and 9 is a coupling portion. Main body, 10 is a hinge, 11 is a hook, 12 is a connecting hole, 13 is a connecting pipe, 14 is a working part fastening, 15 is a working part, 16 is a first fastening groove, 17 is a second fastening groove, 18 is a supporting part, Reference numeral 19 denotes a pressing portion, 20 denotes a hook receiver, 21 denotes an isolation wall, and 22 denotes an action opening.

図１では、収納物６を収納空間５に入れて、収納容器本体１が蓋体２で閉じられた状態を示している。このときシール３は収納空間５を外部環境から気密に隔離する作用をしている。このシール３は収納容器本体１の周縁全周にわたって形成されたシール溝４に気密に嵌め込まれているために、収納容器本体１に密着して一体化している。一方、蓋体２の周縁部はシール３の全周に一様に当接して、収納容器本体１と協働でシール３を上下両側から押え付け、収納空間５と外部環境との気密性を確保する。   In FIG. 1, the storage object 6 is put in the storage space 5 and the storage container body 1 is closed by the lid 2. At this time, the seal 3 acts to hermetically isolate the storage space 5 from the external environment. Since the seal 3 is fitted in a seal groove 4 formed over the entire circumference of the peripheral edge of the storage container body 1, the seal 3 is in close contact with and integrated with the storage container body 1. On the other hand, the peripheral edge of the lid body 2 is in uniform contact with the entire circumference of the seal 3 and presses the seal 3 from both the upper and lower sides in cooperation with the storage container main body 1 to improve the airtightness between the storage space 5 and the external environment. Secure.

なお、本実施例では断面が円形のシールを用いた例を示したが、シールとの当たり方を工夫することによって、断面がＸ字型、Ｙ字型、Ｕ字型、あるいはＶ字型をしたシールや、リップを有するリップシール等を用いることもできる。   In addition, although the example which used the seal | sticker with a circular cross section was shown in a present Example, a cross section can be made into X shape, Y shape, U shape, or V shape by devising how to contact with a seal. A sealed seal, a lip seal having a lip, or the like can also be used.

シール３は取り外しができるようになっていても良く、シール３にゴミ等や傷がついたりしたときに洗浄したり交換したりしても良い。このときには、シール溝４にゴミ等が付着したときにもシールを取り外して取り除いたり、シール溝４を洗浄したりすることができる。   The seal 3 may be removable, and may be washed or replaced when dust or the like is attached to the seal 3. At this time, even when dust or the like adheres to the seal groove 4, the seal can be removed and removed, or the seal groove 4 can be washed.

またこのとき、収納容器本体１と蓋体２とは結合部によって結合されており、シール３を介して気密に密着固定されている。本実施形態において、この結合部は結合部本体９に形成されたヒンジ１０とフック１１とからなっており、ヒンジ１０が収納容器本体１と結合されることによってこれと一体化されている。   Further, at this time, the storage container main body 1 and the lid body 2 are coupled to each other by a coupling portion, and are tightly and tightly fixed through a seal 3. In the present embodiment, the coupling portion includes a hinge 10 and a hook 11 formed on the coupling portion main body 9, and the hinge 10 is integrated with the storage container main body 1 by being coupled thereto.

このとき収納物６は、支持部１８と押圧部１９とでしっかりと挟持されており、収納時に外部から振動や衝撃が与えられた場合にも収納物をしっかりと保持固定されている。本発明の実施形態では、収納物６は支持部１８と押圧部１９とで周縁部頂点を斜めに押さえつけるように保持されている例が示してあるが、収納物６が外部からの振動や衝撃に対してしっかりと保持されていればどのような状態で収納物６が保持されていても良いことは言うまでもない。ただし、収納物が半導体ウェハなどの極端に汚染をきらうものが収納物６である場合は、支持部１８と押圧部１９とは収納物６の所定の挟持部分を最小面積で挟持することが望ましい。たとえば、支持部１８および押圧部１９と収納物の接触部を点接触形状あるいは線接触形状とすることにより汚染を最小限にすることができる。   At this time, the stored item 6 is firmly held between the support portion 18 and the pressing portion 19, and the stored item is firmly held and fixed even when a vibration or impact is applied from the outside during storage. In the embodiment of the present invention, there is shown an example in which the stored item 6 is held by the support unit 18 and the pressing unit 19 so as to press the peripheral portion apex obliquely, but the stored item 6 is subjected to vibration and impact from the outside. Needless to say, the stored item 6 may be held in any state as long as it is held firmly. However, when the stored item 6 is an item that is extremely contaminated, such as a semiconductor wafer, it is desirable that the support portion 18 and the pressing portion 19 hold a predetermined holding portion of the stored item 6 with a minimum area. . For example, the contamination can be minimized by making the contact portion of the support portion 18 and the pressing portion 19 and the stored item into a point contact shape or a line contact shape.

一方、ポンプ空間８は、連結パイプ１３を通じて連結孔１２で収納空間５に連結されている。ポンプ空間８の開口はこれ以外になく、ポンプ空間８と収納空間５とは気密に連結されている。図１と図２においては、ポンプ空間８は、可変可能な容積を有していて、伸縮自在のベローズ７を壁面の一部として構成されている。またポンプ空間８のベローズ７が形成されていない壁面の一部には作用部１５が形成されており、この作用部１５に手動または機械装置によって力を与えることによって、ベローズ７は伸縮自在に動き、その結果ポンプ空間８の容積が変化する。この作用部１５の他端には作用部留め１４が形成されており、蓋体１に形成された第一留め部１６または第二留め部１７に係止するようになっている。すなわち、図１や図２に示すように、作用部留め１４が第一留め部１６に係止している場合に比べて、作用留め部１４が第二留め部１７に係止している場合の方が、ポンプ空間８の容積を小さくすることができる。そして、作用部留め１４が第一留め部１６や第二留め部１７に係止している限り、ベローズ７は伸縮せず、ポンプ空間８はその容積を変えることはない。   On the other hand, the pump space 8 is connected to the storage space 5 through the connection pipe 13 through the connection hole 12. There is no other opening in the pump space 8, and the pump space 8 and the storage space 5 are connected in an airtight manner. In FIG. 1 and FIG. 2, the pump space 8 has a variable volume and is configured with a telescopic bellows 7 as a part of the wall surface. Further, an action portion 15 is formed on a part of the wall surface of the pump space 8 where the bellows 7 is not formed. By applying a force to the action portion 15 manually or by a mechanical device, the bellows 7 moves freely. As a result, the volume of the pump space 8 changes. An action part clasp 14 is formed at the other end of the action part 15, and is engaged with the first clasp part 16 or the second clasp part 17 formed on the lid 1. That is, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, when the action fastening part 14 is locked to the second fastening part 17 as compared with the case where the action part fastening 14 is locked to the first fastening part 16. In this case, the volume of the pump space 8 can be reduced. As long as the action part stopper 14 is locked to the first stopper part 16 and the second stopper part 17, the bellows 7 does not expand and contract, and the pump space 8 does not change its volume.

作用部留め１４の移動は、手動で行っても良いし、機械装置を用いて行っても良い。本実施形態では作用部留め部が２個所に形成されている場合を示したが、３個所以上あっても良い。また、歯車やベルト等と連動させて任意の位置で固定可能にしてあっても良い。或いは、縮んだベローズが内部の圧力によって変動しない場合には、作用部留め部がなくても良い。   The movement of the action part stopper 14 may be performed manually or using a mechanical device. In the present embodiment, the case where the action portion fastening portions are formed in two places is shown, but there may be three or more places. Further, it may be fixed at an arbitrary position in conjunction with a gear or a belt. Alternatively, when the contracted bellows does not fluctuate due to the internal pressure, there is no need for the action portion fastening portion.

図１に示すように、収納容器本体１がシール３を介して蓋体２で閉じられている状態で、作用部留め１４の係止を第一留め部１６から第二留め部１７に移動させると、ベローズ７が縮んでポンプ空間８の容積が小さくなる。ポンプ空間８は連結孔１２で収納空間５と気密に連結されているから、ポンプ空間８と収納空間５とを合わせた空間の圧力は気体の状態方程式に従って高くなる。すなわち、温度一定の条件で、ポンプ空間８の容積と収納空間５の容積とを合わせた容積がｋ倍になると、収納空間５の圧力はｋ分の１になる。本発明の収納容器では、外部環境の圧力に対して０．００１〜０．０２ＭＰａだけ高圧に保持可能とすることが好適であるので、ｋは０．８３５〜０．９９０までの値になるように設計されている。ｋの値がこれ以上小さくなると、通常は収納空間の圧力が高くなって蓋体２を収納容器１に安全に固定するのが困難になる。（ただし、これ以上に圧力が高くなっても蓋体２を収納容器１に安全に固定することができるように収納容器の構造や材料等を選定できる場合は、ｋの値を上記の値より小さくすることも可能となる。）また、ｋの値がこれ以上大きくなると、収納空間と外部環境との圧力差が取れなくなり、長期間の圧力保持が困難になる。もちろん、ｋが１を超えると収納空間の圧力が外部環境より低くなるので、好ましくはない。（収納容器が通常用いられる状態より減圧下または高圧下で気密にして、収納容器内の圧力を高める場合も考えられるが、このような場合においては、通常用いられる状態を基準としてｋの値を設計することは言うまでもない。）   As shown in FIG. 1, the locking of the action part fastener 14 is moved from the first fastening part 16 to the second fastening part 17 in a state where the storage container body 1 is closed by the lid body 2 via the seal 3. Then, the bellows 7 contracts and the volume of the pump space 8 decreases. Since the pump space 8 is airtightly connected to the storage space 5 through the connection hole 12, the pressure in the space combining the pump space 8 and the storage space 5 increases according to the gas equation of state. In other words, when the volume of the pump space 8 and the storage space 5 is combined k times under a constant temperature condition, the pressure in the storage space 5 is reduced to 1 / k. In the storage container of the present invention, it is preferable that the pressure can be maintained at a high pressure by 0.001 to 0.02 MPa with respect to the pressure of the external environment, so that k becomes a value from 0.835 to 0.990. Designed to. If the value of k becomes smaller than this, the pressure in the storage space usually increases, and it becomes difficult to safely fix the lid 2 to the storage container 1. (However, if the structure or material of the storage container can be selected so that the lid 2 can be safely fixed to the storage container 1 even when the pressure becomes higher than this, the value of k is determined from the above value. In addition, if the value of k becomes larger than this, a pressure difference between the storage space and the external environment cannot be obtained, and it becomes difficult to maintain the pressure for a long time. Of course, if k exceeds 1, the pressure in the storage space becomes lower than the external environment, which is not preferable. (It is conceivable to increase the pressure in the storage container by making it tighter under reduced pressure or high pressure than in the state in which the storage container is normally used. Needless to say, designing.)

なお、本実施形態ではベローズ７を用いてポンプ空間８の容積を伸縮させる場合を示したが、ポンプ空間８を弾性体で囲繞して構成しても良い。   In the present embodiment, the bellows 7 is used to expand and contract the volume of the pump space 8, but the pump space 8 may be surrounded by an elastic body.

また、ピストンとシリンダーを組み合わせてポンプ空間８を構成しても良い。このシリンダーの一方はピストンを気密に挿入するために開口しており、他方は収納空間に気密に連結されている。ピストンとシリンダーとの間には、第二のシールが取り付けられており、ピストンはシリンダー内部を外部環境から気密に隔離しながら平行移動することができる。すなわち、ピストンを平行移動させることによって、シリンダー内部のポンプ空間の容積を任意に変化させることが可能となる。第二のシールは、シリンダー側に取り付けても良いし、ピストン側に取り付けても良い。あるいは、シリンダーとピストンの間に挟まっている状態でも良い。尚、シールがなくてもシリンダー内部を外部環境から気密に隔離することが可能な場合は、シールを使用しなくとも良い。   Moreover, you may comprise the pump space 8 combining a piston and a cylinder. One of the cylinders is opened for airtight insertion of the piston, and the other is airtightly connected to the storage space. A second seal is attached between the piston and the cylinder, and the piston can be translated while being airtightly isolated from the outside environment. That is, it is possible to arbitrarily change the volume of the pump space inside the cylinder by moving the piston in parallel. The second seal may be attached to the cylinder side or the piston side. Or the state pinched | interposed between a cylinder and a piston may be sufficient. If the inside of the cylinder can be hermetically isolated from the external environment without a seal, the seal need not be used.

次に、図１に示す収納容器の使用方法に従って、各要素の機能を説明する。図１において、最初に、蓋体２を開けた状態で収納容器本体１に取り付けられた支持部１８に収納物６を乗せる。この支持部１８は、図１では２つしか書かれていないが、実際は少なくとも３つ、通常は４つまたはそれ以上形成されている。或いは、収納容器全周で連続して１つにつながったものとなっている場合もある。   Next, the function of each element is demonstrated according to the usage method of a storage container shown in FIG. In FIG. 1, first, the stored item 6 is placed on the support portion 18 attached to the storage container body 1 with the lid 2 opened. Although only two support portions 18 are written in FIG. 1, in actuality, at least three, usually four or more are formed. Alternatively, there may be a case where the entire circumference of the storage container is connected to one.

次に蓋体２で収納容器本体１を覆って閉じ、収納容器本体１に蓋体２を押し付けて結合部本体９を動かしてフック１１を蓋体２の頂部にかけて、蓋体２を収納容器本体１に取り付ける。このとき、結合部本体９は収納容器本体１にヒンジ１０で固定されている。   Next, the storage container body 1 is covered and closed by the lid body 2, the lid body 2 is pressed against the storage container body 1, the coupling body 9 is moved, the hook 11 is put on the top of the lid body 2, and the lid body 2 is placed. Attach to 1. At this time, the coupling portion main body 9 is fixed to the storage container main body 1 with a hinge 10.

収納容器本体１と蓋体２とは互いに弾性力を持ったシール３を押し付けているために、これら３部品は互いに密着して収納空間５を外部環境から気密に隔離する。   Since the storage container main body 1 and the lid body 2 press the seal 3 having elastic force against each other, these three parts are in close contact with each other to isolate the storage space 5 from the outside environment in an airtight manner.

一方、収納容器本体１を蓋体２で閉じることによって、支持部１８で支持された収納物６は上部から押圧部１９によって押し付けられて、しっかりと保持固定される。この押圧部１９は、図１では２つしか書かれていないが、実際は少なくとも３つ、通常は４つまたはそれ以上形成されている。或いは、蓋体全周で１つにつながったものとなっている場合もある。尚、押圧部１９の数は、支持部１８の数と同程度であることが望ましい。   On the other hand, by closing the storage container body 1 with the lid 2, the storage 6 supported by the support portion 18 is pressed from above by the pressing portion 19, and is firmly held and fixed. Although only two pressing portions 19 are written in FIG. 1, in reality, at least three, usually four or more are formed. Alternatively, there may be a case where the entire lid is connected to one. It is desirable that the number of pressing portions 19 is approximately the same as the number of support portions 18.

このとき、支持部１８と押圧部１９は弾性力のある柔らかい高分子材料で形成されているのが望ましい。例えば、収納物が半導体ウェハやガラスなどの場合は、ポリエチレンエラストマーやポリエステルエラストマーなどのエラストマーや、四フッ化エチレンなどのフッ素樹脂や、ポリブチレンテレフタレートやポリブチレンナフタレートや、ポリエチレン、ポリエーテルエーテルケトンなどの高分子材料を用いることができる。   At this time, it is desirable that the support portion 18 and the pressing portion 19 are formed of a soft polymer material having elasticity. For example, when the stored items are semiconductor wafers and glass, elastomers such as polyethylene elastomer and polyester elastomer, fluororesins such as tetrafluoroethylene, polybutylene terephthalate and polybutylene naphthalate, polyethylene and polyether ether ketone A polymer material such as can be used.

支持部１８と押圧部１９の構造をバネ抑え構造にするなどして、弾性を持たせても良いことは言うまでもない。   Needless to say, the support portion 18 and the pressing portion 19 may have elasticity by, for example, a spring holding structure.

収納容器本体および蓋体からなる収納容器（その中に組込む部品、材料や付属品を含む）は一般に高分子材料で形成されている。高分子材料としては、
ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン）等のフッ素樹脂、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＣ（ポリカーボネート），ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＢＮ（ポリブチレンナフタレート）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＳ（ポリスチレン）等がある。尚、上記の材料単独でも良いし、複数を含む材料でも良い。 A storage container including a storage container main body and a lid (including parts, materials and accessories incorporated therein) is generally formed of a polymer material. As a polymer material,
Fluororesin such as PTFE (polytetrafluoroethylene) and PFA (perfluoroalkoxyalkane), PP (polypropylene), PC (polycarbonate), PEEK (polyetheretherketone), PBT (polybutylene terephthalate), PBN (polybutylene) Phthalate), PET (polyethylene terephthalate), PE (polyethylene), PS (polystyrene) and the like. In addition, said material may be individual and the material containing multiple may be sufficient.

図１のような構造にすることによって、連結孔１２の内径を充分小さくすることが可能となり、より小さな作用力でポンプ空間８を変化させて収納空間５の圧力を上昇させることが可能となる。   With the structure as shown in FIG. 1, the inner diameter of the connecting hole 12 can be made sufficiently small, and the pressure in the storage space 5 can be increased by changing the pump space 8 with a smaller acting force. .

なお、図１に示したポンプ空間８はベローズ７で囲繞されて形成されているものを示したが、このポンプ空間８はシリンダー壁とその中を移動可能なピストンとで形成されていてもよいし、ゴムのように変形自在の弾性壁で囲繞して形成されていても良いことは言うまでもない。   Although the pump space 8 shown in FIG. 1 is shown surrounded by the bellows 7, the pump space 8 may be formed by a cylinder wall and a piston movable in the cylinder wall. However, it goes without saying that it may be surrounded by a deformable elastic wall such as rubber.

本明細書において、ベローズとは「蛇腹構造」とか「アコーディオン構造」になっているもの、すなわち、山折と谷折の繰り返し構造になっているものである。自由に曲げが効くものもあるので、フレキシブルと呼ばれる場合もある。ベローズの断面は、一般には、三角形、正方形、長方形、六角形や八角形などの多角形、或いは円筒形やだ円形になっている。上述したように、ベローズの一方向から力を加えると蛇腹構造が縮んで、ベローズ内部は気密に保持されているのでベローズ内部の圧力が増大する。また、側壁または側面（上記の蛇腹に相当する部分）が弾性体で構成されて伸縮自在になっているものも、一方向から力を加えると、側壁または側面部分の弾性体が縮んで、この内部は気密に保持されているので、内部の圧力が増大する。（これらをベローズタイプと呼ぶ。）   In this specification, the bellows is a structure having a “bellows structure” or an “accordion structure”, that is, a structure in which a mountain fold and a valley fold are repeated. Some are free to bend, so they are sometimes called flexible. The cross section of the bellows is generally a triangle, a square, a rectangle, a polygon such as a hexagon or an octagon, or a cylinder or an oval. As described above, when a force is applied from one direction of the bellows, the bellows structure is contracted, and the inside of the bellows is kept airtight, so the pressure inside the bellows increases. In addition, the side wall or the side surface (portion corresponding to the above bellows) is made of an elastic body and can be expanded and contracted. When a force is applied from one direction, the elastic body of the side wall or the side surface portion contracts. Since the inside is kept airtight, the internal pressure increases. (These are called bellows types.)

ベローズタイプの場合、気密になっているベローズタイプの内壁は外気と接触することはないので、上述のピストンとシリンダー構造のものと比較すると、より高い清浄度（クリーン度）を保持できる。さらに、ピストンとシリンダー構造は、ピストンまたはシリンダーが移動してシール等と接触し擦れる際に微小粒子が発生するおそれもある。これに対して、ベローズタイプの場合は、そのようなことは構造上基本的にはないので、やはりより高い清浄度（クリーン度）を実現できる。ピストンがはずれたり、シールが破損したりしたときにもシリンダー内部は外気と接触し、好ましくはない。ピストンやシールがシリンダーから分離する構造になっていて気密性の点では問題を発生する場合がある。これに対してベローズタイプは全体が一体となっているので外気と気密性を保持するという点において優れている。このように、微小なゴミや粒子を排除したい場合はベローズタイプのものが好適ではあるが、余り清浄度を高める必要がなく充分に取り扱いに注意する場合には、もちろんピストンとシリンダー構造のものでも良い。   In the case of the bellows type, since the airtight inner wall of the bellows type does not come into contact with the outside air, a higher cleanliness (cleanness) can be maintained as compared with the piston and cylinder structure described above. Further, the piston and cylinder structure may generate fine particles when the piston or cylinder moves and contacts and rubs with a seal or the like. On the other hand, in the case of the bellows type, there is basically no such thing in structure, so that higher cleanliness (cleanness) can be realized. Even when the piston is detached or the seal is broken, the inside of the cylinder comes into contact with the outside air, which is not preferable. The piston and seal are separated from the cylinder, which may cause problems in terms of airtightness. On the other hand, the bellows type is excellent in that it keeps the outside air and airtightness because it is integrated as a whole. In this way, the bellows type is suitable for removing minute dust and particles, but of course it is not necessary to increase the degree of cleanliness, and if you are careful about handling it, you can of course use a piston and cylinder structure. good.

ベローズタイプでは、ベローズすなわち蛇腹構造と弾性体構造を組合わせた構造とすることもできる。たとえば、ベローズタイプの断面が長方形形状のベローズタイプの場合に、横側面部を蛇腹構造とし、上下面を弾性体構造とすることができる。他の多角形形状の場合も同様に可能である。   In the bellows type, a structure in which a bellows, that is, a bellows structure and an elastic body structure are combined can be used. For example, when the bellows type cross-section is a rectangular bellows type, the lateral side surface portion can be a bellows structure and the top and bottom surfaces can be an elastic body structure. Other polygonal shapes are possible as well.

図１においては、ポンプ空間８は蓋体２の上面に配置されているが、ポンプ空間８の大きさは、蓋体２の上面の一部であっても良いし、全部であっても良い。ポンプ空間８が、蓋体２の上面の全部の場合はもちろん、一部であっても、適当なサイズがあり、ポンプ空間８の上面（蛇腹構造の場合は、山折の頂上を結ぶ面）が平坦であれば、収納容器を重ねて保管しておくことも可能である。図２に示すような保護壁２１を備えた容器の場合は、ポンプ空間の構造にかかわらず、保護壁２１の上面を平坦とし一定の強度を持たせることにより、収納容器を重ねて保管しておくことができる。   In FIG. 1, the pump space 8 is disposed on the upper surface of the lid body 2, but the size of the pump space 8 may be a part of the upper surface of the lid body 2 or the whole. . The pump space 8 has an appropriate size even if it is a part of the upper surface of the lid body 2, and the upper surface of the pump space 8 (the surface connecting the tops of the mountain folds in the case of the bellows structure). If it is flat, it is also possible to store the storage container in an overlapping manner. In the case of a container having a protective wall 21 as shown in FIG. 2, regardless of the structure of the pump space, the upper surface of the protective wall 21 is flat and has a certain strength, so that the storage container can be stacked and stored. I can leave.

また、本実施形態ではポンプ空間８は蓋体２に連結されているが、収納容器本体１に連結しても良いことは言うまでもない。   Moreover, in this embodiment, although the pump space 8 is connected with the cover body 2, it cannot be overemphasized that you may connect with the storage container main body 1. FIG.

また、図１に示す実施形態では、蓋体２を収納容器本体１に結合するための結合部本体９とヒンジ１０とフック１１とからなる結合部は収納容器本体１に一体で形成されている場合を示したが、蓋体２に一体に形成されていても良い。さらに、これら結合部は収納容器本体１や蓋体２に一体に形成されていなければならないことはなく、別部品として取り付けられるようになっていても良い。   Further, in the embodiment shown in FIG. 1, a coupling portion consisting of a coupling portion main body 9, a hinge 10 and a hook 11 for coupling the lid 2 to the storage container main body 1 is formed integrally with the storage container main body 1. Although the case has been shown, it may be formed integrally with the lid 2. Further, these connecting portions do not have to be formed integrally with the storage container main body 1 or the lid body 2 and may be attached as separate parts.

図２は図１に示した実施形態の変形例であり、２０はフック係止部、２１は保護壁、２２は作用開口である。蓋体２の上部に取り付けられたポンプ空間８、作用部１５、および作用部留め１４等は保護壁２１で覆われている。このようにすることによって、作用部１５や作用部留め１４やベローズ７などに不慮の外力が加わるなどしてポンプ空間８の容積が変化しないようにすることができる。   FIG. 2 is a modification of the embodiment shown in FIG. 1, wherein 20 is a hook locking portion, 21 is a protective wall, and 22 is a working opening. The pump space 8, the action part 15, the action part stopper 14, and the like attached to the upper part of the lid 2 are covered with a protective wall 21. By doing so, it is possible to prevent the volume of the pump space 8 from changing due to, for example, an unexpected external force applied to the action portion 15, the action portion stopper 14, the bellows 7, and the like.

図２においては、作用部留め１４に手動または機械装置で力を働かせるために、作用開口２２が設けられている。   In FIG. 2, an action opening 22 is provided for applying force to the action part stopper 14 manually or by a mechanical device.

なお、図２においては、フック１１をかけるためのフック係止部２０が形成されている。もちろん、結合部本体９が充分長くフック１１が保護壁２１にかかる場合は、このフック係止部２０は必ずしも必要ではない。   In addition, in FIG. 2, the hook latching | locking part 20 for hooking the hook 11 is formed. Of course, when the coupling portion main body 9 is sufficiently long and the hook 11 is placed on the protective wall 21, the hook locking portion 20 is not necessarily required.

図３は、本発明の収納容器に係る第二の実施形態であり、図３（ａ）は蓋体が収納容器本体に結合されていない場合、図３（ｂ）は蓋体と収納容器本体とが互いに結合されている場合である。また、図４と図５に示されている本発明の収納容器は、図３に示した実施形態の変形例である。図４において、２３は通気孔、２４は隔離壁であり、図５において、２５は結合部である。なお、図３（ａ）、（ｂ）、図４、および図５において、図１と図２の要素と同様の機能を持つ要素には同一の符号を付し、その説明を省略した。   FIG. 3 is a second embodiment according to the storage container of the present invention. FIG. 3A shows a case where the lid is not coupled to the storage container body, and FIG. 3B shows the cover and the storage container body. Are connected to each other. Moreover, the storage container of this invention shown by FIG. 4 and FIG. 5 is a modification of embodiment shown in FIG. In FIG. 4, 23 is a vent hole, 24 is an isolation wall, and in FIG. 5, 25 is a coupling part. 3A, 3 </ b> B, 4, and 5, elements having the same functions as those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図３に示した実施形態が、図１で示した実施形態と異なっている点は、図３に示した収納容器は、収納空間５の一部が図１におけるポンプ空間８と一致しており（収納空間５の全体が図１におけるポンプ空間８と一致していると考えることもできる）、ポンプ空間８の容積を蓋体２の側面に設けられた伸縮自在なベローズ７を用いて変化させている点である。また、本実施形態において、図１と図２に示した作用部１５は蓋体２に、作用部留め１４はフック１１に、第一留め溝１６と第二止め溝１７は蓋体２の端部に一致している。   The embodiment shown in FIG. 3 is different from the embodiment shown in FIG. 1 in that the storage container shown in FIG. 3 has a part of the storage space 5 that matches the pump space 8 in FIG. (It can be considered that the entire storage space 5 coincides with the pump space 8 in FIG. 1), and the volume of the pump space 8 is changed by using a telescopic bellows 7 provided on the side surface of the lid 2. It is a point. Further, in this embodiment, the action portion 15 shown in FIGS. 1 and 2 is on the lid body 2, the action portion stopper 14 is on the hook 11, and the first stopper groove 16 and the second stopper groove 17 are the ends of the lid body 2. Matches the part.

図３（ａ）において、収納物６は複数の支持部１８で支持されており、収納容器本体１に蓋体２を結合するための結合部（結合部本体９とヒンジ１０およびフック１１で構成されている）は外れた状態になっている。このとき、ベローズ７は伸びた状態になっており、蓋体２が占める内部空間の一部がポンプ空間８となっている。   In FIG. 3A, the stored item 6 is supported by a plurality of support portions 18, and includes a connecting portion (a connecting portion main body 9, a hinge 10, and a hook 11) for connecting the lid body 2 to the storage container main body 1. Is in a disconnected state. At this time, the bellows 7 is in an extended state, and a part of the internal space occupied by the lid 2 is a pump space 8.

また、この状態では、蓋体２の周縁はシール３に当接しており、収納空間５とポンプ空間８は外部環境から気密に隔離された状態にある。従って。この状態で図３（ｂ）に示すように蓋体７を抑え込むことによってベローズ７を縮ませて、外部環境からの気密状態を保持したままで、ポンプ空間８と収納空間５の容積を小さくすることが可能となる。その結果、収納空間５の気圧をベローズ７収縮前よりも高くすることができる。ベローズ７の収縮量を調節することによって、気圧上昇量を制御することができる。その状態で結合部のフック１１を蓋体２の端部に引っ掛けることによって、収納空間５の気圧を保ったまま蓋体２で収納容器本体１を閉じることができる。   In this state, the peripheral edge of the lid body 2 is in contact with the seal 3, and the storage space 5 and the pump space 8 are airtightly isolated from the external environment. Therefore. In this state, as shown in FIG. 3B, the bellows 7 is contracted by suppressing the lid 7, and the volumes of the pump space 8 and the storage space 5 are reduced while maintaining an airtight state from the external environment. It becomes possible. As a result, the air pressure in the storage space 5 can be made higher than before the bellows 7 contracts. By adjusting the amount of contraction of the bellows 7, the amount of increase in atmospheric pressure can be controlled. In this state, the storage container body 1 can be closed with the lid 2 while maintaining the atmospheric pressure of the storage space 5 by hooking the hook 11 of the coupling portion to the end of the lid 2.

図３（ｂ）に示すように、蓋体２で収納容器本体１を閉じたときは、収納物６は複数の支持部１８と押圧部１９とで挟持されて保持固定される。支持部１８や押圧部１９の長さを調節したり、収納物６の位置を調整したりすることによっても気圧上昇量を制御することができる。   As shown in FIG. 3B, when the storage container main body 1 is closed with the lid 2, the storage item 6 is sandwiched and held and fixed by the plurality of support portions 18 and the pressing portions 19. The amount of increase in atmospheric pressure can also be controlled by adjusting the lengths of the support portion 18 and the pressing portion 19 or adjusting the position of the stored item 6.

図３に示す実施形態においても結合部本体９、ヒンジ１０およびフック１１とからなる結合部は収納容器本体１に一体で形成されている場合を示しているが、図１に示す実施形態と同様に、蓋体２に一体に形成されていても良いし、さらに、これらの結合部が別部品として取り付けられるようになっていても良い。   In the embodiment shown in FIG. 3 as well, the connecting portion composed of the connecting portion main body 9, the hinge 10 and the hook 11 is formed integrally with the storage container main body 1, but is the same as the embodiment shown in FIG. In addition, it may be formed integrally with the lid body 2, and these coupling portions may be attached as separate parts.

図４は図３で示した本発明の収納容器に係る第二の実施形態についての変形例である。この変形例では、図３の実施形態で示した蓋体２でベローズ７が形成されている内部空間領域を隔離壁２４で仕切ってポンプ空間８を形成したものである。このポンプ空間８と収納空間５は通気孔２３で気密に連結されている。   FIG. 4 is a modification of the second embodiment according to the storage container of the present invention shown in FIG. In this modified example, the pump space 8 is formed by partitioning the internal space region in which the bellows 7 are formed in the lid body 2 shown in the embodiment of FIG. The pump space 8 and the storage space 5 are airtightly connected by a vent hole 23.

図４に示す状態で、蓋体２は収納容器本体１とシール３を介して気密に閉じられており、収納物６は支持部１８と押圧部１９で保持固定されている。そして、蓋体２上部を抑え込むことによってベローズ７が収縮し、ポンプ空間８の容積が小さくなる。その結果、ポンプ空間８と通気孔２３で連結されている収納空間５の気圧を上昇させることができる。その状態で、結合部本体９に形成されているフック１１を蓋体２に掛けることによって、収納空間５の圧力を保持したままで、蓋体２を収納容器本体１にしっかりと結合させることができる。   In the state shown in FIG. 4, the lid 2 is hermetically closed via the storage container main body 1 and the seal 3, and the stored item 6 is held and fixed by the support portion 18 and the pressing portion 19. And by suppressing the upper part of the cover body 2, the bellows 7 will shrink | contract and the volume of the pump space 8 will become small. As a result, the air pressure in the storage space 5 connected to the pump space 8 and the vent hole 23 can be increased. In this state, by hooking the hook 11 formed in the coupling portion main body 9 on the lid body 2, the lid body 2 can be firmly coupled to the storage container body 1 while maintaining the pressure of the storage space 5. it can.

図４に示す本発明の収納容器は、収納物６を支持部１８と押圧部１９とで固定する工程と、ベローズ７を収縮して収納空間５の気圧を上昇させる工程とを分離して行うことができるために、より安全に収納物を保持固定することができる。   The storage container of the present invention shown in FIG. 4 performs the process of fixing the storage 6 with the support part 18 and the pressing part 19 and the process of contracting the bellows 7 to increase the pressure in the storage space 5. Therefore, the stored item can be held and fixed more safely.

図５に示す収納容器は、図３に示す収納容器に係る第二の実施形態の別の変形例である。図５において２５は結合部である。なお、図３と同様の作用を有する要素には同一の符号を付し、その説明を省略した。図５に示した変形例では、蓋体２を収納容器本体１に取り付けるための結合部２５が、収納容器本体１や蓋体２とは全く別部品で分離して形成されている場合を示している。すなわち、図５にはリング状に形成されたゴム状弾性体を結合部２５として用いた場合を示してある。この結合部２５によって蓋体２の側面に設けられた伸縮自在のベローズ７を縮ませて、外部環境からの気密状態を保持したままで、ポンプ空間８と収納空間５の容積を小さくすることができる。もちろん、これ以外にも金属固定バンドを用いたり、蓋体と収納容器本体が結合可能な他の外部容器の中に本発明の収納容器を収納することによって、この外部容器を結合部として用いたりしても良い。上記のゴム状弾性体や金属固定バンドの弾性係数を変えたり、長さを変化させたりすることによっても収納容器を結合する力を変えることができる。この結果収納容器の容積を変えてポンプ空間または収納空間の圧力を調整できる。   The storage container shown in FIG. 5 is another modification of the second embodiment related to the storage container shown in FIG. In FIG. 5, reference numeral 25 denotes a connecting portion. In addition, the same code | symbol was attached | subjected to the element which has the effect | action similar to FIG. 3, and the description was abbreviate | omitted. The modification shown in FIG. 5 shows a case where the coupling portion 25 for attaching the lid 2 to the storage container body 1 is formed as a separate part from the storage container body 1 and the lid 2. ing. That is, FIG. 5 shows a case where a rubber-like elastic body formed in a ring shape is used as the coupling portion 25. By contracting the telescopic bellows 7 provided on the side surface of the lid 2 by the coupling portion 25, the volumes of the pump space 8 and the storage space 5 can be reduced while maintaining an airtight state from the external environment. it can. Of course, in addition to this, a metal fixing band may be used, or the external container may be used as a coupling portion by storing the storage container of the present invention in another external container in which the lid and the storage container body can be combined. You may do it. The force for coupling the storage container can also be changed by changing the elastic coefficient or the length of the rubber-like elastic body or metal fixing band. As a result, the pressure of the pump space or the storage space can be adjusted by changing the volume of the storage container.

以上説明した図３ないし図５に示した実施形態においても、ベローズ７の代わりにゴム状高分子材料などの弾性体を用いることができる。   In the embodiment shown in FIGS. 3 to 5 described above, an elastic body such as a rubbery polymer material can be used instead of the bellows 7.

図６は本発明の収納容器に係る第三の実施形態を示す模式的断面図であり、図６（ａ）は蓋体を閉める直前の状態を示した図であり、図６（ｂ）は蓋体を閉じた後の状態を示した図である。図６（ａ）、（ｂ）において、２６は掛け爪、２７は受け爪である。なお、図６（ａ）、（ｂ）において、図１ないし図５と同様の作用を有する要素には同一の符号を付して、その説明を省略した。   FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a third embodiment according to the storage container of the present invention. FIG. 6 (a) is a view showing a state immediately before closing the lid, and FIG. It is the figure which showed the state after closing a cover body. 6 (a) and 6 (b), 26 is a hanging claw and 27 is a receiving claw. In FIGS. 6A and 6B, elements having the same functions as those in FIGS. 1 to 5 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図６のシール３およびシール溝４は、図１〜５に示すものとそれらの位置が異なっている。すなわち、シール溝４は蓋体２の側面の内側に形成され、シール３はその溝４に気密に嵌め込まれている。（尚、シール溝４は収納容器本体の側面の外側に形成されていても良い。）   The seal 3 and the seal groove 4 in FIG. 6 are different from those shown in FIGS. That is, the seal groove 4 is formed inside the side surface of the lid body 2, and the seal 3 is fitted in the groove 4 in an airtight manner. (The seal groove 4 may be formed outside the side surface of the storage container body.)

図６（ａ）に示す、収納容器本体１に蓋体２を閉じる直前の状態とは、収納容器本体１と蓋体２とは完全に結合していないが、蓋体２のシール溝４に嵌め込まれたシール３が収納容器本体１の側壁に接触して収納空間５とポンプ空間８が外部環境から気密に形成された直後の状態のことを指す。このとき、ポンプ空間８は収納空間５の一部となっており、図３で示した場合と本質的に同一の状態となっている。従って、この場合においても、上部を押し付けて蓋体２を収納容器本体１に押し込むことによって、ポンプ空間８に相当する収納空間５の容積が収縮して小さくなる。またこのとき、シール３は収納容器本体１の側壁に常に押し当てられた状態で移動するために、収納空間５とポンプ空間８の気密性は維持されており、その結果、収納空間５の圧力を上昇させることができる。尚、この場合、シール３と対向して気密を保持するための収納容器本体の側壁（側面）が移動すると考えることもできる。   The state immediately before closing the lid 2 on the storage container main body 1 shown in FIG. 6A is that the storage container main body 1 and the lid 2 are not completely joined, but the seal groove 4 of the lid 2 This refers to a state immediately after the fitted seal 3 comes into contact with the side wall of the storage container body 1 and the storage space 5 and the pump space 8 are formed airtight from the external environment. At this time, the pump space 8 is a part of the storage space 5 and is essentially in the same state as shown in FIG. Accordingly, in this case as well, the volume of the storage space 5 corresponding to the pump space 8 contracts and becomes smaller by pressing the upper part and pushing the lid 2 into the storage container body 1. At this time, since the seal 3 moves while being pressed against the side wall of the storage container body 1, the airtightness of the storage space 5 and the pump space 8 is maintained. As a result, the pressure in the storage space 5 is maintained. Can be raised. In this case, it can be considered that the side wall (side surface) of the storage container main body for keeping the airtightness facing the seal 3 moves.

本実施形態において、作用部は蓋体であり、作用部留めは掛け爪２６であり、留め溝は受け爪２７である。   In the present embodiment, the action portion is a lid, the action portion stopper is a hanging claw 26, and the retaining groove is a receiving claw 27.

図６（ａ）におけるポンプ空間８に相当する容積の大きさは、図６（ａ）においてＬで示されているシール３と蓋体２の底面までの距離に比例している。言い換えれば、蓋体２の底面からシール３までの距離を設計上で調節することによって、ポンプ空間８に相当する容積を調節することが可能となる。それにより、収納容器本体１を蓋体２で閉じたときの収納空間５の外部環境との圧力差をあらかじめ設計に織り込むことが可能となる。   The volume corresponding to the pump space 8 in FIG. 6A is proportional to the distance from the seal 3 indicated by L in FIG. 6A to the bottom surface of the lid 2. In other words, the volume corresponding to the pump space 8 can be adjusted by adjusting the distance from the bottom surface of the lid 2 to the seal 3 by design. Thereby, the pressure difference with the external environment of the storage space 5 when the storage container body 1 is closed with the lid 2 can be woven into the design in advance.

図６（ｂ）は上記のようにして収納容器本体１が蓋体２に完全に結合されて閉じられた状態になっている。収納容器本体１と蓋体２との結合は、掛け爪２６が受け爪２７に引っ掛かって嵌合することによって達成される。すなわち、この実施形態においては、掛け爪２６と受け爪２７が結合部になる。もちろん、この場合も、図１や図５に示したような結合部を形成しても良い。そして、この状態における収納空間５の気圧は、好適には外部環境と比較しておよそ０．００１〜０．０２ＭＰａだけ高くなっている。   FIG. 6B shows a state in which the container main body 1 is completely coupled to the lid 2 and closed as described above. The storage container main body 1 and the lid body 2 are connected by the hooking claw 26 being hooked on the receiving claw 27 and fitting. In other words, in this embodiment, the hooking claw 26 and the receiving claw 27 become a coupling portion. Of course, in this case as well, a coupling portion as shown in FIGS. 1 and 5 may be formed. The atmospheric pressure in the storage space 5 in this state is preferably higher by about 0.001 to 0.02 MPa than the external environment.

図７は本発明による収納容器に用いたシールの一実施形態を示した模式的断面図であり、図７（ａ）はシールが収納容器本体に接していない場合、図７（ｂ）はシールが収納容器本体に接している場合を示している。図７において、２８はシール本体、２９は凸条、３０は第一リップ、３１は先端凸条、３２は第二リップ、３３は嵌合凹条、３４は調圧空間、３５は嵌合凸条である。なお、図６と同様の機能を有する要素には符号を付し、その説明を省略した。   FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the seal used in the storage container according to the present invention. FIG. 7A shows a case where the seal is not in contact with the storage container body, and FIG. Is in contact with the storage container body. In FIG. 7, 28 is a seal body, 29 is a ridge, 30 is a first lip, 31 is a tip ridge, 32 is a second lip, 33 is a fitting groove, 34 is a pressure adjusting space, and 35 is a fitting protrusion. Article. In addition, the code | symbol was attached | subjected to the element which has the function similar to FIG. 6, and the description was abbreviate | omitted.

図７（ａ）に示すように、シール３はシール本体２８、第一リップ３０、先端凸条３１、第二リップ３２、および嵌合凹条から構成されている。一方、蓋体２に形成されているシール溝４には嵌合凸条３５が形成されており、シール３の嵌合凹条３３に嵌合してシール３を蓋体２にしっかりと固定している。この嵌合凹条３３の深さは嵌合凸条３５の高さよりも深く形成されており、嵌合空間を形成する。このシール３は、高分子エラストマーや高分子ウレタンやゴム化合物などの弾性材料で形成されている。   As shown in FIG. 7A, the seal 3 is composed of a seal body 28, a first lip 30, a tip ridge 31, a second lip 32, and a fitting groove. On the other hand, the fitting groove 35 is formed in the seal groove 4 formed in the lid body 2, and the seal 3 is firmly fixed to the lid body 2 by fitting into the fitting groove 33 of the seal 3. ing. The depth of the fitting groove 33 is formed deeper than the height of the fitting protrusion 35 and forms a fitting space. The seal 3 is made of an elastic material such as a polymer elastomer, a polymer urethane, or a rubber compound.

一方、第二リップ３２は蓋体２内側面に密着し、蓋体全周で連続して閉じた形状をしている。第二リップ３２は先端に行くに従って薄くなるように形成されている。   On the other hand, the second lip 32 is in close contact with the inner surface of the lid body 2 and has a closed shape continuously around the entire circumference of the lid body. The second lip 32 is formed so as to become thinner toward the tip.

また、第一リップ３０も全周で連続して閉じた形状をしており、その先端の断面は略円形をした先端凸条３１となっている。この第一リップ３０は第二リップ３２と比較して、弾性的な変形量が大きくなるようにリップが長く形成されている。   The first lip 30 also has a shape that is continuously closed over the entire circumference, and the tip section is a tip ridge 31 having a substantially circular shape. The first lip 30 has a longer lip than the second lip 32 so as to increase the amount of elastic deformation.

さらに、第一リップ３０の蓋体２の開口側には、凸条２９が形成されている。この凸条２９も全周で連続して閉じた形状をしている。   Further, a ridge 29 is formed on the opening side of the lid 2 of the first lip 30. The ridges 29 are also continuously closed on the entire circumference.

次に、図７（ｂ）に示すように、収納容器本体１を蓋体２で覆って嵌合させると、最初に凸条２９が収納容器本体１の側面に当接し、弾性的に収縮して均一な力で収納容器本体１と収納空間との間を気密に封止する。このとき、嵌合凹条３３と嵌合凸条３５との間隙にできた嵌合空間は、凸条２９による弾力を吸収して収納容器本体１の側面を一様な力で押し付ける作用をする。なおこのとき、収納空間は外部環境よりもわずかながら圧力が高くなるため、第二リップ３２は蓋体２の側面に押し付けられて、蓋体２の側面に沿って気体が外部に逃げようとするのを防ぐために、このシール３による気密性はさらに向上する。   Next, as shown in FIG. 7 (b), when the storage container body 1 is covered with the lid body 2 and fitted, the ridges 29 first come into contact with the side surfaces of the storage container body 1 and elastically contract. The space between the storage container body 1 and the storage space is hermetically sealed with uniform force. At this time, the fitting space formed in the gap between the fitting groove 33 and the fitting protrusion 35 acts to absorb the elasticity of the protrusion 29 and press the side surface of the storage container body 1 with a uniform force. . At this time, since the pressure in the storage space is slightly higher than the external environment, the second lip 32 is pressed against the side surface of the lid body 2, and the gas tends to escape to the outside along the side surface of the lid body 2. In order to prevent this, the airtightness of the seal 3 is further improved.

蓋体２を収納容器本体１にさらに押し込むと、第一リップ３０が収納容器本体１の側面に押し付けられてシールするために、凸条２９との二重シールとなる。また、このとき、第一リップ３０と凸条２９と収納容器本体１の側面との間隙に調圧空間３４ができる。この調圧空間３４は、収納空間と外部環境の各々の気圧の中間の気圧を有した空間であり、そのため第一リップ３０と凸条２９とは収納空間と外部環境との全差圧を保持しなくても、各々の気圧の差分を保持するだけで充分な気密性を保つことが可能となる。このことによって、蓋体２を収納容器本体１にさらに押し込むとき、第一リップ３０の摩擦負荷を実質的に低減させることが可能となるために、蓋体２を収納容器本体１に滑らかに挿入することが可能になる。   When the lid body 2 is further pushed into the storage container main body 1, the first lip 30 is pressed against the side surface of the storage container main body 1 for sealing, so that a double seal with the ridge 29 is obtained. At this time, a pressure adjusting space 34 is formed in the gap between the first lip 30, the ridge 29, and the side surface of the storage container body 1. The pressure adjusting space 34 is a space having an intermediate air pressure between the storage space and the external environment. Therefore, the first lip 30 and the ridge 29 maintain a total differential pressure between the storage space and the external environment. Even if it does not, it becomes possible to maintain sufficient airtightness only by maintaining the difference between the respective atmospheric pressures. Accordingly, when the lid body 2 is further pushed into the storage container body 1, the friction load of the first lip 30 can be substantially reduced, so that the lid body 2 is smoothly inserted into the storage container body 1. It becomes possible to do.

さらにまた、第一リップ３０が収納空間の気圧によって収納容器本体１の側面に押し付けられた状態で蓋体２を押し上げるとき、先端凸条は第一リップ３０が側面との摩擦力によって巻き込まれることなく滑らかに移動させることを可能とする。   Furthermore, when the lid 2 is pushed up with the first lip 30 pressed against the side surface of the storage container body 1 by the atmospheric pressure of the storage space, the first lip 30 is caught by the frictional force between the first lip 30 and the side surface. It is possible to move smoothly.

なお、図７に示したシールは図６に示した実施形態の収納容器に適用するのが好適であるが、上記のそれ以外の実施形態で示した本発明の収納容器にも適用することが可能であることは言うまでもない。   The seal shown in FIG. 7 is preferably applied to the storage container of the embodiment shown in FIG. 6, but can also be applied to the storage container of the present invention shown in the other embodiments described above. It goes without saying that it is possible.

図８は本発明による収納容器の第四の実施形態を示す模式的断面図であり、図６に示す第三の実施形態の収納容器に呼吸弁を形成したものである。図８において、３５は呼吸開口、３６はパーチクルフィルター、３７はケミカルフィルター、３８はガスバルブ、および３９はフィルター収納部である。なお、図８において、図６と同様の機能を有する要素には同一の符号を付してその説明を省略した。   FIG. 8 is a schematic sectional view showing a fourth embodiment of the storage container according to the present invention, in which a breathing valve is formed in the storage container of the third embodiment shown in FIG. In FIG. 8, 35 is a breathing opening, 36 is a particle filter, 37 is a chemical filter, 38 is a gas valve, and 39 is a filter housing. In FIG. 8, elements having the same functions as those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

図８に示す収納容器は、収納容器本体１が蓋体２で閉じられており、これらは収納空間５の気圧を保った状態でしっかりと結合されている。収納空間５の気圧は外部環境よりもおよそ０．００１〜０．０２ＭＰａ高くなっている。従って、そのような状態で図６に示すような収納容器の結合部を解除すると、内圧で蓋体２が持ち上げられて急激に収納空間の気体がリークされて収納物６に悪影響を与える場合がある。   In the storage container shown in FIG. 8, the storage container main body 1 is closed by a lid body 2, and these are firmly coupled in a state in which the atmospheric pressure of the storage space 5 is maintained. The pressure in the storage space 5 is approximately 0.001 to 0.02 MPa higher than the external environment. Therefore, when the storage container connecting portion as shown in FIG. 6 is released in such a state, the lid 2 is lifted by the internal pressure, and the gas in the storage space is suddenly leaked, which may adversely affect the stored items 6. is there.

しかしながら、図８に示す実施形態では、収納空間５の気圧が外部環境に対して高い状態であっても、ガスバルブ３８をゆっくりと開放することによって、収納空間５の気体は呼吸開口３５、パーチクルフィルター３６、ケミカルフィルター３７、ガスバルブ３８を滑らかに通過して収納物６に悪影響を与えることなく収納空間５と外部環境との圧力差をなくし、蓋体２を収納容器本体１から容易に分離することができる。これらケミカルフィルター３７やパーチクルフィルター３６はフィルター収納壁３９で気密に囲繞されて収納されている。   However, in the embodiment shown in FIG. 8, even if the pressure in the storage space 5 is high with respect to the external environment, the gas in the storage space 5 is released from the breathing opening 35 and the particle filter by slowly opening the gas valve 38. 36, passing through the chemical filter 37 and the gas valve 38 smoothly, eliminating the pressure difference between the storage space 5 and the external environment without adversely affecting the stored items 6, and easily separating the lid 2 from the storage container body 1. Can do. The chemical filter 37 and the particle filter 36 are housed in a hermetically enclosed manner by a filter housing wall 39.

また、収納空間５の圧力を高くした状態で長期間保存するなどの何らかの原因で収納空間５の圧力が低下した場合は、ガスバルブ３８をゆっくりと開放して収納空間５の圧力を定圧まで戻した後、蓋体２をゆっくりと持ち上げて図６（ａ）の状態に戻す。このとき、シール３は外部環境との気密を保ったままであるから、外部から流入する気体は、ガスバルブ３８、ケミカルフィルター３７、およびパーチクルフィルター３６を順次通過して収納空間５の中に導入される。このようにして収納空間５の中に導入された気体は、ケミカルフィルター３７で有機ガス成分、酸性ガス成分、およびアルカリ性ガス成分を吸着ろ過した後、パーチクルフィルター３６で例えば０．１ミクロン以上の粒径のパーチクルがろ過されているために、収納物６に悪影響を与えない清浄な気体となっている。   In addition, when the pressure in the storage space 5 decreases for some reason, such as when the storage space 5 is kept high for a long time, the gas valve 38 is slowly opened to return the pressure in the storage space 5 to a constant pressure. Thereafter, the lid 2 is slowly lifted back to the state shown in FIG. At this time, since the seal 3 remains airtight with the external environment, the gas flowing from the outside sequentially passes through the gas valve 38, the chemical filter 37, and the particle filter 36 and is introduced into the storage space 5. . The gas introduced into the storage space 5 in this manner is obtained by adsorbing and filtering organic gas components, acidic gas components, and alkaline gas components with the chemical filter 37, and then with the particle filter 36, for example, particles having a size of 0.1 microns or more. Since the particle of the diameter is filtered, it is a clean gas that does not adversely affect the stored item 6.

ケミカルフィルター３７としては、活性炭、活性金属繊維、活性セラミックなどを用いることができる。これらは通常、粉末や顆粒状あるいは繊維状となっているために、膜状のパーチクルフィルターで囲繞してこれらが外部に出ないようにしておくことが重要である。このケミカルフィルター３７を用いて酸性ガスやアルカリ性ガスを効率良く吸着ろ過するために、上記活性炭等に中和剤を点着する場合もある。   As the chemical filter 37, activated carbon, activated metal fiber, activated ceramic, or the like can be used. Since these are usually in the form of powder, granules or fibers, it is important to surround them with a membrane particle filter so that they do not come out. In order to efficiently adsorb and filter acidic gas and alkaline gas using the chemical filter 37, a neutralizing agent may be spotted on the activated carbon or the like.

パーチクルフィルター３６としては、多孔性高分子である四フッ化エチレンを膜状にしたものやポリプロピレン中空糸を用いたものなどを使うことができる。   As the particle filter 36, a film made of ethylene tetrafluoride, which is a porous polymer, or a film using a polypropylene hollow fiber can be used.

また、ガスバルブ３８の代わりに、収納空間５から流出する気体は阻止するが、逆に収納空間５に流入する気体は通すような一般に良く知られている逆止弁を用いることもできる。収納容器本体１が蓋体２で閉じられており、収納空間が外部環境に対して高い圧力の状態にある場合は、この逆止弁は収納空間内の気体の作用で閉じられており、外部から気体が流入してくることはない。このような場合に外部から気体を導入したいときは、この弁を外部から機械的に開放してやれば良い。   Instead of the gas valve 38, a generally well-known check valve that blocks gas flowing out from the storage space 5 but allows gas flowing into the storage space 5 to pass therethrough can be used. When the storage container body 1 is closed by the lid body 2 and the storage space is in a high pressure state with respect to the external environment, the check valve is closed by the action of the gas in the storage space. Gas does not flow in from. In such a case, when it is desired to introduce gas from the outside, this valve may be mechanically opened from the outside.

本実施形態で示したガスバルブまたは逆止弁、ケミカルフィルター、およびパーチクルフィルターからなる通気手段は、収納容器本体または第一実施形態などで示したポンプ空間に設けることもできる。また、この通気手段を複数設けることもできる。   The ventilation means including the gas valve or the check valve, the chemical filter, and the particle filter shown in the present embodiment can be provided in the storage container body or the pump space shown in the first embodiment. A plurality of ventilation means can be provided.

以上説明したように、本発明の収納容器は、収納物を内壁から分離して支持固定した上に、収納物を収める収納空間の気圧を外部環境の気圧よりも高くした状態にすることによって内部に侵入するパーチクルなどを阻止して清浄な環境を保つことができる。そのため、収納容器本体および蓋体はこの内圧に耐えることができる程度充分に機械強度の強い構造とする必要がある。本発明の収納容器の収納空間は外部環境に対して、０．００１〜０．０２ＭＰａだけ高圧に保持することが好適であるが、この程度の圧力に耐えることができるように収納容器本体、蓋体、およびベローズ等の材料や構造を選定し設計する必要がある。本明細書においては、これらの材料は高分子材料であるとして説明してきたが、これらのいずれかまたは全てを高分子材料で作製する場合には、所望の高圧に耐える必要があるので、充分な耐圧を有する壁厚にすると同時に、充分な補強構造を有するようにしなければならないことは言うまでもない。尚、収納容器本体、蓋体、および／またはベローズ等に金属製のものを用いることにより、収納空間の圧力をより高い状態にして用いることもできるし、収納容器材料の壁厚を薄くすることもできるし、補強構造も簡便なものとすることもできる。金属としては、ステンレスやマンガン鋼などの鉄系、ニッケル系、クローム系、アルミニウム合金などのアルミニウム系、チタン合金などのチタン系、マグネシウム合金などのマグネシウム系等の各種金属材料がある。さらに、金属に高分子材料を被覆したものも収納容器本体、蓋体、および／またはベローズ等に使用しても良い。   As described above, the storage container according to the present invention is configured such that the stored item is separated from the inner wall and supported and fixed, and the internal pressure of the storage space for storing the stored item is set higher than the atmospheric pressure of the external environment. A clean environment can be maintained by preventing particles and the like from entering. For this reason, the storage container main body and the lid need to have a structure having a sufficiently strong mechanical strength to withstand this internal pressure. The storage space of the storage container of the present invention is preferably maintained at a high pressure by 0.001 to 0.02 MPa with respect to the external environment, but the storage container body and lid are able to withstand this level of pressure. It is necessary to select and design materials and structures such as body and bellows. In the present specification, these materials have been described as polymer materials. However, when any or all of these materials are made of a polymer material, it is necessary to withstand a desired high pressure. Needless to say, the wall thickness must have a pressure resistance and at the same time have a sufficient reinforcing structure. The storage container body, lid, and / or bellows can be made of metal so that the pressure in the storage space can be increased, and the wall thickness of the storage container material can be reduced. In addition, the reinforcing structure can be simplified. Examples of the metal include various metal materials such as iron-based materials such as stainless steel and manganese steel, nickel-based materials, chromium-based materials, aluminum-based materials such as aluminum alloys, titanium-based materials such as titanium alloys, and magnesium-based materials such as magnesium alloys. Further, a metal coated with a polymer material may be used for the storage container body, the lid, and / or the bellows.

上記の説明や図においては、収納物が１つであるように記載してきたが、収納物が複数ある場合についても本発明を用いることができることは言うまでもない。さらに、上述した収納物とは、技術分野において述べたように、半導体ウェハなどの結晶基板、石英ガラスなどのガラス基板、半導体素子、フォトマスク、ハードディスク、あるいは表示素子などを指すが、その他にアモルファス半導体基板、太陽電池用基板、ＭＥＭＳ等で用いられる基板や、一般にウエハや薄板と称されるものも指す。さらには、外部環境に対して圧力差を有する収納容器に外気と隔離して収納するものも指す。   In the above description and drawings, it is described that there is one stored item, but it goes without saying that the present invention can also be used when there are a plurality of stored items. Furthermore, as described in the technical field, the above-mentioned stored item refers to a crystal substrate such as a semiconductor wafer, a glass substrate such as quartz glass, a semiconductor element, a photomask, a hard disk, or a display element. It also refers to a substrate used in a semiconductor substrate, a solar cell substrate, MEMS, or the like, or what is generally called a wafer or a thin plate. Furthermore, the thing stored separately from external air in the storage container which has a pressure difference with respect to an external environment is also pointed out.

本明細書における上記の実施形態の説明において、同様の材料・構造・構成・作用・機能や効果等を示すものについては、繰り返して説明していない箇所もあるが、互いに矛盾しない程度に同様の材料・構造・構成・作用・機能や効果等を示すものであることは言うまでもない。   In the description of the above-described embodiments in the present specification, the same materials, structures, configurations, functions, functions, effects, and the like are not repeatedly described, but are similar to the extent that they do not contradict each other. Needless to say, it indicates materials, structures, configurations, functions, functions, effects, and the like.

本発明は、外部環境に対して圧力差を有する収納容器に外気と隔離して収納物を清浄に収納する収納容器を用いる産業に利用できる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used in the industry that uses a storage container that cleanly stores stored items isolated from outside air in a storage container having a pressure difference with respect to the external environment.

図１は、本発明による収納容器に係る第一実施形態を示した模式的断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a first embodiment of a storage container according to the present invention. 図２は、本発明による収納容器に係る第一実施形態の変形例を示した模式的断面図である。FIG. 2 is a schematic sectional view showing a modification of the first embodiment of the storage container according to the present invention. 図３は、本発明による収納容器に係る第二実施形態を示した模式的断面図であり、図３（ａ）は蓋体結合前の収納容器を示した模式的断面図で、図３（ｂ）は蓋体結合後の収納容器を示した模式的断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a second embodiment of the storage container according to the present invention, and FIG. 3 (a) is a schematic cross-sectional view showing the storage container before the lid is joined. b) is a schematic cross-sectional view showing the storage container after the lid is joined. 図４は、本発明による収納容器に係る第二実施形態の変形例を示した模式的断面図である。FIG. 4 is a schematic sectional view showing a modification of the second embodiment according to the storage container of the present invention. 図５は、本発明による収納容器に係る第二実施形態の別の変形例を示した模式的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing another modification of the second embodiment of the storage container according to the present invention. 図６は、本発明による収納容器に係る第三実施形態を示した模式的断面図であり、図６（ａ）は蓋体結合前の収納容器を示した模式的断面図で、図６（ｂ）は蓋体結合後の収納容器を示した模式的断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a third embodiment of the storage container according to the present invention, and FIG. 6 (a) is a schematic cross-sectional view showing the storage container before the lid is joined. b) is a schematic cross-sectional view showing the storage container after the lid is joined. 図７は、本発明に用いたシールの１例を示した模式的断面図であり、図７（ａ）はシールが収納容器本体に接していない場合を示した模式的断面図で、図７（ｂ）はシールが収納容器本体に接している場合を示した模式的断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing an example of the seal used in the present invention, and FIG. 7A is a schematic cross-sectional view showing a case where the seal is not in contact with the storage container body. (B) is typical sectional drawing which showed the case where a seal | sticker is in contact with the storage container main body. 図８は、本発明による収納容器に係る第四実施形態を示した模式的断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a fourth embodiment of the storage container according to the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 収納容器本体、２ 蓋体、３ シール、５ 収納空間、６ 収納物、８ ポンプ空間、９ 結合部本体、１８ 支持部、１９ 押圧部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Storage container main body, 2 Cover body, 3 Seal, 5 Storage space, 6 Storage thing, 8 Pump space, 9 Connection part main body, 18 Support part, 19 Press part

Claims (13)

収納容器本体および蓋体からなる収納容器であって、
前記収納容器は、
前記収納容器本体を前記蓋体で閉じたときに形成される収納空間を外部環境から気密に隔離するシールおよび前記収納容器本体と前記蓋体とを結合する結合部と、
前記収納容器本体の内側に設けられた収納物を支持するための支持部と、
前記蓋体の内側に設けられた前記収納物を押圧するための押圧部と、
前記収納空間に気密に連結され、当該収納空間の気圧を変化させるために内容積が可変であるポンプ空間と、
前記ポンプ空間の内容積を変化させるために移動可能な作用部と、
を有しており、
前記収納容器本体と前記蓋体とを気密に閉じたときに、前記支持部と前記押圧部とが互いに協働して前記収納物を保持固定することを特徴とする収納容器。 A storage container comprising a storage container body and a lid,
The storage container is
A seal that hermetically isolates the storage space formed when the storage container body is closed with the lid, and a coupling portion that couples the storage container body and the lid;
A support portion for supporting a stored item provided inside the storage container body;
A pressing portion for pressing the stored item provided inside the lid;
A pump space that is airtightly connected to the storage space and has a variable internal volume in order to change the pressure of the storage space;
An action part movable to change the internal volume of the pump space;
Have
The storage container is characterized in that when the storage container body and the lid are closed in an airtight manner, the support part and the pressing part cooperate with each other to hold and fix the storage object. 上記ポンプ空間は上記収納空間に対して開口した伸縮自在なベローズまたは弾性体で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の収納容器。 The storage container according to claim 1, wherein the pump space is formed of an extendable bellows or an elastic body that is open to the storage space. 上記作用部は平行移動可能なピストンであり、上記ポンプ空間は前記ピストン側と上記収納空間側に開口したシリンダーからなることを特徴とする請求項１に記載の収納容器。 2. The storage container according to claim 1, wherein the action portion is a parallel movable piston, and the pump space includes a cylinder opened to the piston side and the storage space side. ピストンとシリンダーとの間は第二のシールで外部環境から気密に隔離されていることを特徴とする請求項３に記載の収納容器。 The storage container according to claim 3, wherein the piston and the cylinder are hermetically isolated from the external environment by a second seal. 上記ポンプ空間の複数の可変位置において上記作用部を固定可能な留め部が上記収納容器本体または蓋体に形成されていることを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載の収納容器。 The storage container according to any one of claims 2 to 4, wherein a fastening portion capable of fixing the action portion at a plurality of variable positions in the pump space is formed on the storage container main body or the lid. 上記ポンプ空間、作用部、および作用部留めは保護壁により覆われていることを特徴とする請求項５に記載の収納容器。 6. The storage container according to claim 5, wherein the pump space, the action part, and the action part stopper are covered with a protective wall. 作用部留めに手動または機械装置で力を働かせるための作用開口が保護壁に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の収納容器。 The storage container according to claim 6, wherein an action opening for applying a force manually or mechanically to the action part stopper is provided in the protective wall. 上記ポンプ空間は上記収納空間の一部または全部と一致しており、上記収納容器または蓋体の側面の一部または全部が伸縮自在なベローズまたは弾性体で形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の収納容器。 The pump space corresponds to a part or all of the storage space, and a part or all of a side surface of the storage container or the lid is formed of a bellows or an elastic body that can be expanded and contracted. Item 3. A storage container according to item 1 or 2. 上記ポンプ空間は上記収納空間の一部または全部と一致しており、
前記ポンプ空間と前記収納空間を気密に保持した状態で、
上記のシールおよび／または当該シールと対向して気密を保持するための壁面が移動可能に形成されていることを特徴とする請求項１、３または４のいずれかに記載の収納容器。 The pump space coincides with part or all of the storage space,
In a state where the pump space and the storage space are kept airtight,
The storage container according to any one of claims 1, 3, and 4, wherein the seal and / or a wall surface for maintaining airtightness facing the seal is formed to be movable. 上記結合部は、上記収納容器本体または蓋体と一体に形成されてなることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の収納容器。 The storage container according to any one of claims 1 to 9, wherein the coupling portion is formed integrally with the storage container main body or the lid. 上記保持部および押圧部は、高分子弾性材料で形成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の収納容器。 The storage container according to any one of claims 1 to 10, wherein the holding part and the pressing part are made of a polymer elastic material. 上記収納容器本体と上記蓋体とを閉じて形成される収納空間は、外部環境に対して０．００１〜０．０２ＭＰａだけ高圧に保持可能である請求項１から１１のいずれかに記載の収納容器。 The storage according to any one of claims 1 to 11, wherein a storage space formed by closing the storage container main body and the lid can be held at a high pressure by 0.001 to 0.02 MPa relative to the external environment. container. 上記収納空間またはポンプ空間の少なくとも１箇所には呼吸開口が形成され、当該呼吸開口には、
パーチクルフィルターと、
ケミカルフィルターと、
ガスバルブまたは収納容器内部からの気体は遮断し外部環境からの気体は導入可能な逆止弁とが、当該収納容器の内側から外側に向かって順に取り付けられていることを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載の収納容器。 A breathing opening is formed in at least one place of the storage space or the pump space.
A particle filter,
Chemical filters,
2. A check valve capable of blocking gas from the inside of the gas valve or the storage container and introducing gas from the outside environment to the outside of the storage container in order from the inside to the outside. The storage container according to any one of 12 above.
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