JP2009140815A - Electron emission element, electron source, and electron beam apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子放出素子、電子源、及び電子線装置に関する。 The present invention relates to an electron-emitting device, an electron source, and an electron beam apparatus.
従来、電子放出素子の陰極部を形成するための材料として、ダイヤモンド半導体が用いられる。ダイヤモンド半導体を陰極部として用いる場合、電子親和力及び仕事関数が十分に小さくなり、真空中に電子を容易に取り出すことができる。特に、導電型がn型のダイヤモンド半導体については、従来のLaB6やZrO/Wに代わる新たな電子放出素子の材料として着目されている。 Conventionally, a diamond semiconductor is used as a material for forming the cathode portion of the electron-emitting device. When a diamond semiconductor is used as the cathode portion, the electron affinity and work function are sufficiently small, and electrons can be easily taken out in a vacuum. In particular, an n-type diamond semiconductor is attracting attention as a material for a new electron-emitting device that replaces conventional LaB 6 and ZrO / W.
例えば特許文献1には、導電型がn型のダイヤモンド半導体の表面に配置された電子放出部と接するように電子供給部を形成した電子放出素子が開示されている。また、特許文献2には、導電型がn型のダイヤモンド半導体の表面に電子通過開口が形成されたゲート電極を配置した電子放出素子が開示されている。
しかしながら、ダイヤモンド半導体を利用した電子放出素子については、次のような問題を有していた。すなわち、ダイヤモンド半導体は、金属材料と比較して抵抗率が高いことから、電子放出部における電圧降下が問題となっていた。 However, an electron-emitting device using a diamond semiconductor has the following problems. That is, since the diamond semiconductor has a higher resistivity than the metal material, a voltage drop at the electron emission portion has been a problem.
また、ダイヤモンド半導体の表面ではバンドベンディングが生じ易いため、エネルギー準位の高い方向にバンドがシフトし、ダイヤモンド半導体の見かけの仕事関数が大きくなるという問題があった。これらのことから、従来のダイヤモンド半導体を用いた電子放出素子では、電界放出が不安定となるという問題があった。 Further, since band bending is likely to occur on the surface of the diamond semiconductor, there is a problem that the band shifts in the direction of higher energy level and the apparent work function of the diamond semiconductor increases. For these reasons, the conventional electron-emitting device using a diamond semiconductor has a problem that field emission becomes unstable.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、十分な量の電子放出を安定して得られる電子放出素子、電子源、及び電子線装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide an electron-emitting device, an electron source, and an electron beam apparatus that can stably obtain a sufficient amount of electron emission.
上述の課題を解決するため、本発明に係る電子放出素子は、土台部と、土台部の一面に形成された突起状の電子放出部とによって構成された陰極部を備え、陰極部は、仕事関数が3.0eV以下の材料によって形成され、少なくとも電子放出部の先端を覆うように、厚さ20nm以下の導電層が設けられていることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, an electron-emitting device according to the present invention includes a cathode part including a base part and a protruding electron-emitting part formed on one surface of the base part. The conductive layer is formed of a material having a function of 3.0 eV or less, and a conductive layer having a thickness of 20 nm or less is provided so as to cover at least the tip of the electron emission portion.
本発明に係る電子放出素子では、仕事関数が3.0eV以下の材料を陰極部に用いることで、陰極部から真空中に電子が容易に電界放出可能となる。また、電子放出部の先端が、厚さ20nm以下の導電層により覆われているので、電子放出部の先端における電圧降下が抑制され、電位が一定に保たれる。したがって、十分な量の電子放出を安定して得ることができる。この導電層は、厚さ20nm以下に抑えられており、導電層自体に起因する仕事関数の増加は回避されている。 In the electron-emitting device according to the present invention, by using a material having a work function of 3.0 eV or less for the cathode portion, electrons can be easily emitted from the cathode portion into the vacuum. In addition, since the tip of the electron emission portion is covered with a conductive layer having a thickness of 20 nm or less, a voltage drop at the tip of the electron emission portion is suppressed and the potential is kept constant. Therefore, a sufficient amount of electron emission can be stably obtained. This conductive layer is suppressed to a thickness of 20 nm or less, and an increase in work function due to the conductive layer itself is avoided.
また、陰極部は、ダイヤモンドによって形成され、導電層は、炭化チタン又はグラファイトによって形成されていることが好ましい。この場合、陰極部の仕事関数を容易に3.0eV以下に維持でき、また、導電層の抵抗率を容易に10−3Ωcm以下に維持できる。炭化チタン又はグラファイトによって形成される導電層は、ダイヤモンドとの密着性が十分に高く、この結果、陰極部の耐久性の向上も図られる。 Moreover, it is preferable that the cathode part is formed of diamond and the conductive layer is formed of titanium carbide or graphite. In this case, the work function of the cathode portion can be easily maintained at 3.0 eV or less, and the resistivity of the conductive layer can be easily maintained at 10 −3 Ωcm or less. The conductive layer formed of titanium carbide or graphite has sufficiently high adhesion to diamond, and as a result, the durability of the cathode portion can be improved.
また、ダイヤモンドの少なくとも一部は、導電型がn型のダイヤモンド半導体であることが好ましい。これにより、陰極部の仕事関数を容易に3.0eV以下に維持できる。 Moreover, it is preferable that at least a part of diamond is a diamond semiconductor having an n-type conductivity. Thereby, the work function of a cathode part can be easily maintained below 3.0 eV.
また、陰極部は、LaB6又はCeBxによって形成され、導電層は、タングステンによって形成されていることが好ましい。この場合についても、陰極部の仕事関数を容易に3.0eV以下に維持できる。タングステンによって形成される導電層は、LaB6又はCeBxとの密着性が十分に高く、その結果、陰極部の耐久性の向上が図られる。 The cathode part is preferably made of LaB 6 or CeB x , and the conductive layer is preferably made of tungsten. Also in this case, the work function of the cathode part can be easily maintained at 3.0 eV or less. The conductive layer formed of tungsten has sufficiently high adhesion with LaB 6 or CeB x, and as a result, the durability of the cathode portion is improved.
また、導電層の厚さは、5nm以下であることが好ましい。これにより、導電層自体による仕事関数の増加が一層確実に抑えられる。 Further, the thickness of the conductive layer is preferably 5 nm or less. As a result, an increase in work function due to the conductive layer itself can be more reliably suppressed.
また、土台部の一面からの電子放出部の高さは、1μm以下であることが好ましい。電子放出部をこのような微小な突起とした場合でも、導電層によって保護され、十分な耐久性が得られる。 Moreover, it is preferable that the height of the electron emission part from one surface of a base part is 1 micrometer or less. Even when the electron emission portion is formed as such a minute protrusion, it is protected by the conductive layer, and sufficient durability is obtained.
また、本発明に係る電子源は、上述した電子放出素子において、導電層が電子放出部に対して正の電位となるように、導電層にバイアス電圧を印加する電圧印加手段を備えたことを特徴としている。この電子源では、導電層にバイアス電圧を印加することにより、バンドベンディングによって見かけ上大きくなった仕事関数を低減し、導電層の電位を容易に変化させることができるので、十分な量の電子放出を安定して得ることができる。 In addition, the electron source according to the present invention includes a voltage applying unit that applies a bias voltage to the conductive layer so that the conductive layer has a positive potential with respect to the electron emission portion in the electron-emitting device described above. It is a feature. In this electron source, by applying a bias voltage to the conductive layer, the work function apparently increased by band bending can be reduced, and the potential of the conductive layer can be easily changed. Can be obtained stably.
また、本発明に係る電子線装置は、上述した電子源を備えたことを特徴としている。この電子線装置においても、十分な量の電子放出を安定して得ることができる。 In addition, an electron beam apparatus according to the present invention includes the above-described electron source. Even in this electron beam apparatus, a sufficient amount of electron emission can be stably obtained.
本発明に係る電子放出素子、電子源、及び電子線装置によれば、十分な量の電子放出を安定して得られる。 According to the electron-emitting device, the electron source, and the electron beam apparatus according to the present invention, a sufficient amount of electron emission can be stably obtained.
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[第1実施形態]
図1は、本発明に係る電子源を適用した電子線装置の一例である電子顕微鏡の構成を概略的に示す図である。図1に示すように、電子顕微鏡(電子線装置)20は、例えばチャンバ22と、電子源10Aと、電子光学系24とを含んで構成された走査型電子顕微鏡(SEM)である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of an electron microscope which is an example of an electron beam apparatus to which an electron source according to the present invention is applied. As shown in FIG. 1, the electron microscope (electron beam apparatus) 20 is a scanning electron microscope (SEM) configured to include, for example, a
チャンバ22は、例えば金属製の箱型容器であり、使用状態において真空状態とされる。電子源10Aは、チャンバ22の上部において下向きに配置されている。電子源10Aは、チャンバ22の外側に配置された電源(電圧印加手段)39と接続されており、使用状態においてバイアス電圧が印加される。電子源10Aの先端部からは、チャンバ22の下部に設けられた収容部26の試料Sに向けて電子線Bが出射される。
The
電子光学系24は、引出電極28と、加速電極30と、集束レンズ32と、走査コイル34と、対物レンズ36とを有し、これらが電子源10Aからの電子線Bの出射方向に沿って配置されることによって構成されている。電子源10Aからの電子は、引出電極28と電子源10Aとの間の電界によって放出され、加速電極30による電界によって加速される。
The electron
電子源10Aから放出された電子線Bは、集束レンズ32及び対物レンズ36によって、収容部26に収容された試料Sの試料面上に微小な電子プローブを結像させる。試料S面上に結像した電子プローブは、走査コイル34によって走査される。そして、試料Sから放出される二次電子は、収容部26の側部に設けられた検出器38によって検出される。
The electron beam B emitted from the
次に、上述した電子源10Aについて詳細に説明する。図2は、電子源10Aの斜視図であり、図3は、図2におけるIII−III線断面図である。
Next, the
図2及び図3に示すように、電子源10Aは、電子放出素子40と、絶縁層12と、一対の電極14,16と、配線18とを備えている。電子放出素子40は、陰極部42と、導電層44とを備えている。陰極部42は、土台部46と、電子放出部48とによって構成されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
土台部46は、例えば不純物が含まれていないノンドープダイヤモンドによって、底面が0.8mm角程度の角柱状に形成されている。土台部46における長手方向の一端面(一面)50には、導電型がn型のダイヤモンド半導体層が形成されている。
The
このダイヤモンド半導体層は、土台部46の本体部分を形成するノンドープダイヤモンドに、窒素、リン、硫黄、リチウムのいずれかの元素又は2種類以上の元素、あるいはいずれかの元素と同時にホウ素を不純物としてドープすることにより得られる。
This diamond semiconductor layer is doped with non-doped diamond, which forms the main body of the
電子放出部48は、例えば土台部46のダイヤモンド半導体層と同様に、導電型がn型のダイヤモンド半導体によって形成されている。電子放出部48は、例えば円錐形状をなし、土台部46の一端面50の中央に配置されている。電子放出部48の土台部46の一端面50からの高さは、例えば1μm以下となっており、電子放出部48の先端52は、一端面50と垂直に土台部46の長手方向に延びている。
The
導電層44は、例えば炭化チタンによって、厚さ5nm以下に形成されている。この導電層44は、第1の部分44a〜第4の部分44dから構成されている。第1の部分44aは、土台部46において、一端面50に直交する側面54の全面を被覆するように形成されている。
The
第2の部分44bは、土台部46の側面54に隣接する側面56、及び側面56と対向する側面(図示せず)において、側面54側の端部を覆うように形成されている。第3の部分44cは、土台部46の一端面50において、土台部46の側面54側の略半分の領域60に形成されている。第4の部分44dは、電子放出部48の先端52と、電子放出部48の円錐面62における側面54側の領域とを覆うように形成されている。
The
絶縁層12は、例えばSiO2、Al2O3によって、厚さ0.2〜2μmの範囲で形成されている。絶縁層12の厚さが0.2μmより薄い場合には、絶縁性が保てず、2μmより厚い場合には、高温時と室温時とのサイクルで剥離等の問題が生じる。絶縁層12は、第1の部分12aと、第2の部分12bとによって構成されている。第1の部分12aは、土台部46において、側面54と対向する側面64の全面を被覆するように形成されている。
The insulating
第2の部分12bは、電子放出部48の直径と略等幅に、土台部46の一端面50において、土台部46の側面64側の領域58に形成されている。第2の部分12bの一端は、第1の部分12aの一端部の中央部分と一体に連結し、第2の部分12bの他端は、電子放出部48の底面に接している。
The
電極14及び電極16は、例えばモリブデンによって形成されており、厚さ0.1〜0.5μm程度に形成されている。電極14は、土台部46の側面54において、導電層44における第1の部分44aの基部側を被覆するように矩形に形成されている。
The
電極16は、第1の部分16aと、第2の部分16bとによって構成されている。第1の部分16aは、絶縁層12の第1の部分12aの全面を被覆するように形成されている。一方、第2の部分16bは、絶縁層12の第2の部分12bの全面を被覆するように形成されている。第2の部分16bの一端は、第1の部分16aの一端部の中央部分と一体に連結され、第2の部分16bの他端は、電子放出部48の底面に接している。
The
配線18は、電極14の中央と、電極16の第1の部分16aにおいて、電極14と対向する部分の中央とにそれぞれ接続されている。導電層44及び電子放出部48は、一対の電極14,16と、配線18とを介し、電源39(図1参照)に接続されている。導電層44には、当該導電層44が電子放出部48に対して正の電位となるように、電源39からのバイアス電圧が印加される。
The
続いて、上述した構成を有する電子源10Aの製造方法について説明する。 Then, the manufacturing method of 10 A of electron sources which have the structure mentioned above is demonstrated.
まず、ノンドープダイヤモンドからなる角柱状の土台部46を用意する。次に、例えばアルミニウムによる厚さ1μm〜2μmの膜を土台部46の一端面に形成する。そして、フォトリソグラフィ又は集束イオンビーム(FIB)法により、土台部46の一端面をパターニングし、円形のマスクを土台部46の一端面の中央に形成する。
First, a
次に、上述したマスクを用いて土台部46の一端面を集束イオンビーム(FIB)法によりエッチングする。これにより、図4(a)に示すように、土台部46の一端面50の中央に、円錐形状の電子放出部48が形成される。
Next, the one end surface of the
続いて、例えばホスフィン(PH3)をドーパントとして用いるマイクロ波プラズマCVD法により、電子放出部48の表面と、土台部46の一端面50とにリンをドープする。ドープするリンの濃度は、例えば1017〜1020cm−3とされ、1019〜1020cm−3がより好ましい。
Subsequently, phosphorus is doped into the surface of the
次に、図4(b)に示すように、土台部46及び電子放出部48に対し、土台部46における側面54方向からチタンの蒸着を行う。チタンの蒸着には、例えば抵抗加熱蒸着法、EB加熱蒸着法、スパッタリング法といった公知の方法を適用可能である。
Next, as shown in FIG. 4B, titanium is deposited on the
土台部46における側面54方向からチタンを蒸着することにより、土台部46の側面54、一端面50における側面54側の領域60、及び電子放出部48の円錐面62における側面54側の領域に、それぞれ導電層44の第1の部分44a、第3の部分44c、及び第4の部分44dが形成される。また、チタンの一部が回り込むことにより、土台部46の側面56及びこれと対向する側面における側面54側の端部に、導電層44の第2の部分44bが形成される。
By depositing titanium from the direction of the
次に、チタンと炭素との反応を促進するため、例えば300℃以上で一定時間のアニール処理を行う。この際、炭化物形成反応の反応速度と、反応温度との相関を予め把握しておくことにより、Å単位での膜厚の制御をすることができる。その後、王水洗浄処理を施すことにより、形成された導電層44を維持したまま、未反応のチタンを除去する。
Next, in order to promote the reaction between titanium and carbon, for example, annealing is performed at a temperature of 300 ° C. or higher for a predetermined time. At this time, the film thickness can be controlled in units of soot by grasping in advance the correlation between the reaction rate of the carbide forming reaction and the reaction temperature. Thereafter, by performing aqua regia washing treatment, unreacted titanium is removed while the formed
続いて、図5(a)に示すように、所定のマスクを用いたマイクロ波プラズマCVD法により、土台部46の側面64、及び一端面50における領域58に、それぞれ絶縁層12の第1の部分12a及び第2の部分12bを形成する。また、同様の手法で、図5(b)に示すように、導電層44における第1の部分44aの基部側を被覆するように電極14を形成し、絶縁層12の第1の部分12a及び第2の部分12bを被覆するように、電極16を形成する。
Subsequently, as illustrated in FIG. 5A, the first insulating
最後に、配線18を、電極14の中央と、電極16の第1の部分16aにおいて、電極14と対向する部分の中央とにそれぞれ接続することにより、図2及び図3に示した電子源10Aが完成する。
Finally, the
以上説明したように、電子顕微鏡20に用いられている電子源10Aでは、仕事関数が3.0ev以下であるダイヤモンドを陰極部42に用いることで、陰極部42から真空中に電子が容易に電界放出可能となる。また、電子放出部48の先端52が、炭化チタンからなる導電層44により覆われているので、電子放出部48の先端52における電圧降下が抑制され、電位が一定に保たれる。したがって、電子源10Aでは、十分な量の電子放出を安定して得ることができる。導電層44は、厚さ20nm以下に抑えられており、導電層44自体に起因する陰極部42の仕事関数の増加は回避されている。
As described above, in the
また、電子源10Aでは、陰極部42は、ダイヤモンドによって形成され、導電層44は、炭化チタン又はグラファイトによって形成されている。このため、陰極部42の仕事関数を容易に3.0eV以下に維持でき、また、導電層44の抵抗率を容易に10−3Ωcm以下に維持できる。炭化チタン又はグラファイトによって形成される導電層44は、ダイヤモンドとの密着性が十分に高く、この結果、陰極部42の耐久性の向上も図られる。
In the
さらに、電子源10Aでは、導電層44が電子放出部48に対して正の電位となるように、導電層44にバイアス電圧を印加する電源39が設けられている。導電型がn型のダイヤモンド半導体のエネルギーバンドの表面ではバンドベンディングが生じ易いため、エネルギー準位の高い方向にバンドがシフトし、ダイヤモンド半導体の見かけの仕事関数が大きくなることがある。
Further, in the
これに対し、導電層44にバイアス電圧を印加すると、導電型がn型のダイヤモンド半導体の伝導帯下端に電子が充填され、エネルギー準位の低い方向にエネルギーバンドがシフトする。この結果、電子放出層48と導電層44との間に電位差が生じ易い状態となる。これにより、バンドベンディングによって見かけ上大きくなった仕事関数が低減され、導電層44の電位を容易に変化させることができるので、十分な量の電子放出を安定して得ることができる。導電層44にバイアス電圧を印加した場合においては、電界放出を導電層44の電位によって制御できることとなる。
On the other hand, when a bias voltage is applied to the
ここで、導電型がn型のダイヤモンド半導体のエネルギーバンドについて、図6〜図8を用いて説明する。各図において、Evは価電子帯上端のエネルギー準位を表し、Ecは伝導帯下端のエネルギー準位を表している。 Here, an energy band of an n-type diamond semiconductor will be described with reference to FIGS. In each figure, Ev represents the energy level at the upper end of the valence band, and Ec represents the energy level at the lower end of the conduction band.
図6は、導電層44が形成されていない電子放出部48にバイアス電圧が印加される前のエネルギーバンドを示す図である。この場合、導電型がn型のダイヤモンド半導体のエネルギーバンドは、バンドベンディングによってエネルギー準位の高い方向にシフトしている。このため、伝導帯の電子が真空中に電界放出されるためには、高い電圧を印加する必要がある。
FIG. 6 is a diagram showing an energy band before a bias voltage is applied to the
また、図7は、20μmよりも厚い導電層44が形成されている電子放出部48にバイアス電圧が印加された場合のエネルギーバンドを示す図である。この場合、導電型がn型のダイヤモンド半導体の伝導帯の電子は、導電層44のフェルミレベルまで到達してしまう。そのため、導電層44の厚さに起因して、電界放出のための仕事関数が増加してしまうこととなる。
FIG. 7 is a diagram showing an energy band when a bias voltage is applied to the
一方、図8は、厚さ20μm以下の導電層44が形成されている電子放出部48にバイアス電圧が印加された場合のエネルギーバンドを示す図である。この場合、導電型がn型のダイヤモンド半導体から放出される電子は、導電層44のフェルミレベルに到達することなく、電子放出部48におけるエネルギーレベルを保ちながら、導電層44を通過し、容易に電界放出される。従って、導電層44による仕事関数の増加は回避される。
On the other hand, FIG. 8 is a diagram showing an energy band when a bias voltage is applied to the
また、導電層44に用いる材料の結晶性は、導電層44による仕事関数の増加へ大きな影響を与える。そのため、導電層44には、結晶性の高い炭化チタンを用いることにより、導電層44による仕事関数の増加をより一層抑えることができる。
Further, the crystallinity of the material used for the
なお、導電型がn型のダイヤモンド半導体層は、土台部46の一端面50、及び電子放出部48に形成されていることに限られるものではない。導電型がn型のダイヤモンド半導体層は、土台部46の側面64の全面にのみ形成されていてもよい。
The n-type diamond semiconductor layer of the conductivity type is not limited to being formed on the one
また、電子放出部48の形状は、円錐状に限られるものではない。電子放出部48の形状は、多角錐状、円柱状、多角柱状等であってもよく、電子放出部48の先端52は、丸みを帯びていてもよい。また、土台部46の形状も、円柱状等であってもよい。
Further, the shape of the
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態に係る電子源について説明する。第2実施形態に係る電子源10Bは、導電層44が、グラファイトによって形成されている点で第1実施形態と異なっている。その他の点では、第1実施形態と同様である。
[Second Embodiment]
Next, an electron source according to a second embodiment of the present invention will be described. The
この電子源10Bの製造方法においては、まず、第1実施形態と同様に、土台部46の一端面50、及び電子放出部48に導電型がn型のダイヤモンド半導体層を形成する。次に、図9(a)に示すように、真空中において、陰極部42を例えば1400℃程度でアニールし、ダイヤモンドの表面の炭素結合を切断する。これにより、sp2結合が支配的なグラファイト領域74を陰極部42の表層部に形成する。
In this method of manufacturing the
次に、図9(b)に示すように、第1実施形態におけるチタンの蒸着と同様に、陰極部42に対して土台部46の側面54方向からアルミニウムの蒸着を行い、保護膜90を形成する。保護膜90は、第1実施形態における導電層44の第1の部分44a〜第4の部分44dと同様の位置に形成される。
Next, as shown in FIG. 9B, similarly to the titanium deposition in the first embodiment, aluminum is deposited on the
続いて、図9(c)に示すように、土台部46の側面64方向より、例えば酸素プラズマ処理を施すことによって、保護膜90により被覆されていないグラファイト領域74を除去する。その後、図10(a)に示すように、例えば塩酸処理により保護膜90が除去し、グラファイトからなる導電層44が形成される。その後、第1実施形態と同様の後工程を行うことにより、図10(b)に示すように、電子源10Bが完成する。
Subsequently, as shown in FIG. 9C, the
このような電子源10Bにおいても、仕事関数が3.0ev以下であるダイヤモンドを陰極部42に用いることで、陰極部42から真空中に電子が容易に電界放出可能となる。また、電子放出部48の先端52が、グラファイトからなる導電層44により覆われているので、電子放出部48の先端52における電圧降下が抑制され、電位が一定に保たれる。したがって、十分な量の電子放出を安定して得ることができる。導電層44は、厚さ20nm以下に抑えられており、導電層44自体に起因する陰極部42の仕事関数の増加は回避されている。
Also in such an
また、グラファイトのc面(六員環によって形成される面)は、ダイヤモンドの(111)面と良好な整合性を有する。したがって、陰極部42と導電層44との密着性が良好なものとなり、電子源10Bの耐久性の向上も図られる。
Further, the c-plane of graphite (surface formed by a six-membered ring) has good matching with the (111) plane of diamond. Therefore, the adhesion between the
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態に係る電子源について説明する。
[Third Embodiment]
Next, an electron source according to a third embodiment of the present invention will be described.
第3実施形態に係る電子源10Cは、陰極部42がLaB6又はCeBxによって形成され、導電層44がタングステンによって形成されている点で第1実施形態と異なっている。その他の点は、第1実施形態と同様である。
The
この電子源10Cの製造方法においては、まず、LaB6又はCeBxからなる土台部46を用意する。次に、図11(a)に示すように、陰極部42に対して土台部46の側面54方向からタングステンの蒸着を行い、第1実施形態と同様に導電層44の第1の部分44a〜第4の部分44dを形成する。その後、第1実施形態と同様の後工程を行うことにより、図11(b)に示すように、電子源10Cが完成する。
In the manufacturing method of the
電子源10Cにおいても、仕事関数が3.0ev以下であるLaB6又はCeBxを陰極部42に用いることで、陰極部42から真空中に電子が容易に電界放出可能となる。また、電子放出部48の先端52が、タングステンからなる導電層44により覆われているので、電子放出部48の先端52における電圧降下が抑制され、電位が一定に保たれる。したがって、十分な量の電子放出を安定して得ることができる。導電層44は、厚さ20nm以下に抑えられており、導電層44自体に起因する陰極部42の仕事関数の増加は回避されている。
Also in the
また、タングステンによって形成される導電層44は、LaB6又はCeBxとの密着性が十分に高いものとなる。タングステンの融点は、3400℃程度であり、高温の環境下でも安定していることから、陰極部42の耐久性の向上が図られる。さらに、タングステンは、酸素への耐久性が高く、電子源10Cを備えた電子顕微鏡20は、より低真空な状態において電界放出が可能である。
Further, the
[第4実施形態]
次に、本発明の第4実施形態に係る電子源について説明する。図12は、第4実施形態に係る電子源10Dを示す断面図である。
[Fourth Embodiment]
Next, an electron source according to a fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 12 is a cross-sectional view showing an
図12に示すように、電子源10Dは、土台部46及び電子放出部48を被覆する各層の構成が第1実施形態と異なっている。すなわち、電子源10Dでは、導電層66は、電子放出部48の円錐面62の略全面に形成されている。導電層66において、土台部46の側面64側の底部には、開口76が形成されている。
As shown in FIG. 12, the
絶縁層67は、第1実施形態における絶縁層12を、土台部46の側面54に形成した配置をしており、第1の部分67aと、第2の部分67bとによって構成されている。第1の部分67aは、第1実施形態における第1の部分12aに対応しており、第2の部分67bは、第2の部分12bに対応している。また、第2の部分67bの一端は、電子放出部48の底面を被覆する導電層66に接している。
The insulating
電極68は、第1の部分68aと、第2の部分68bとによって構成されている。第1の部分68aは、絶縁層67における第1の部分67aの全面を被覆している。同様に、第2の部分68bは、第2の部分67bの全面を被覆するように形成され、電子放出部48の底面を被覆する導電層66に接している。
The
電極69は、第1実施形態における絶縁層12と同様に形成されており、第1の部分69aと、第2の部分69bとによって構成されている。第2の部分69bは、開口76内に延在して電子放出部48の底部と接している。
The
一方、図13は、第4実施形態の変形例に係る電子源を示す断面図である。図13に示すように、電子源10Eでは、導電層70の構成が第1実施形態と異なっている。絶縁層70は、第1の部分70a〜第3の部分70cから構成されている。第1の部分70aは、土台部46の一端面50と直交する各側面にそれぞれ形成されている。第2の部分70bは、土台部46の一端面50の全面を被覆している。第3の部分70cは、電子源10Dにおける導電層66と同様の配置をしている。
On the other hand, FIG. 13 is a cross-sectional view showing an electron source according to a modification of the fourth embodiment. As shown in FIG. 13, in the
絶縁層71は、電子源10Dにおける電極69と同様に形成されており、第1の部分71aと、第2の部分71bとによって構成されている。また、電極72は、第1実施形態における電極16と同様に形成されており、第1の部分72aと、第2の部分72bとによって構成されている。なお、電極14の配置は、第1実施形態と同様である。
The insulating
この電子源10D及び電子源10Eの製造方法においては、まず、第1実施形態と同様に、土台部46の一端面50、及び電子放出部48に導電型がn型のダイヤモンド半導体層を形成する。ここで、電子源10Dについては、図14に示すように、土台部46の一端面50、一端面50に直交する全側面、及び電子放出部48の開口76に対応する部分にマスク92を形成する。そして、陰極部42に対して全方位からチタンを蒸着し、開口76を除いた電子放出部48の円錐面62の全面に導電層66を形成する。
In the manufacturing method of the
一方、電子源10Eについては、図15に示すように、電子放出部48の開口76に対応する部分のみにマスク93を形成する。そして、陰極部42に対して全方位からチタンを蒸着し、開口76を除いた電子放出部48の円錐面62の全面、土台部46の一端面50、及び一端面50に直交する全側面に導電層70を形成する。
On the other hand, for the
その後、アニール処理や王水処理等を経て、絶縁層67及び一対の電極68,69を形成すると、上述した電子源10Dが完成する。同様に、絶縁層71及び一対の電極14,72を形成すると、上述した電子源10Eが完成する。このような電子源10D及び電子源10Eによっても、上述した実施形態と同様の作用効果が得られる。
After that, when the insulating
[第5実施形態]
次に、本発明の第5実施形態に係る電子源について説明する。図16は、第5実施形態に係る電子源を示す断面図である。
[Fifth Embodiment]
Next, an electron source according to a fifth embodiment of the present invention will be described. FIG. 16 is a cross-sectional view showing an electron source according to the fifth embodiment.
図16に示すように、電子源10Fは、導電型がn型のダイヤモンド半導体からなる電子放出部48と導電層44との間に、開口76を除いた電子放出部48の円錐面62の全面を被覆するように、ノンドープダイヤモンド、又は導電型がp型のダイヤモンド半導体からなる中間層78が設けられている点で、第1実施形態と異なる。
As shown in FIG. 16, the
また、図17は、第5実施形態の変形例に係る電子源を示す断面図である。図17に示すように、電子源10Gは、導電型がn型のダイヤモンド半導体からなる電子放出部48と導電層44との間に、開口76を除いた電子放出部48の円錐面62の全面を被覆する第1の中間層80と、第1の中間層80の全面を被覆する第2の中間層82とが設けられている。第1の中間層80は、例えばノンドープダイヤモンドからなり、第2の中間層82は、導電型がp型のダイヤモンド半導体層からなる。
FIG. 17 is a cross-sectional view showing an electron source according to a modification of the fifth embodiment. As shown in FIG. 17, the
電子源10F及び電子源Gにおいても、上述した実施形態と同様の作用効果が得られる。電子源10Fでは、中間層78の配置により、電子放出部48の先端52において内部に電界が容易に入り込み易くなる。電界放出の効率が良好になり、電子放出量を一層大きくできる。電子源10Gでは、第1の中間層80及び第2の中間層82の接合界面における結晶欠陥等を減少させることができる。これにより、電子が接合界面を通過する際のエネルギー損失を低減でき、電子放出量を一層大きくできる。
Also in the
[第6実施形態]
次に、本発明の第6実施形態に係る電子源について説明する。図18は、第6実施形態に係る電子源を示す斜視図である。
[Sixth Embodiment]
Next, an electron source according to a sixth embodiment of the present invention will be described. FIG. 18 is a perspective view showing an electron source according to the sixth embodiment.
図18に示すように、電子源10Hは、電子放出素子41と、パッド電極94と、連結部96とを備えるアレイチップ型の電子源である。電子放出素子41は、陰極部43と、導電層45とを備えている。
As shown in FIG. 18, the
陰極部43は、扁平な直方体形状をなす土台部47と、4つの電子放出部49とによって構成されている。土台部47及び電子放出部49は、それぞれノンドープダイヤモンドによって形成されている。電子放出部49は、土台部47の主面(一面)98上に例えば2×2のマトリクス状に配置されている。電子放出部49の主面98からの高さは、例えば1μmとなっている。また、電子放出部49の先端100は、丸みを帯びた形状となっている。
The
導電層45は、例えばグラファイトによって、厚さ5nm以下に形成されている。導電層45は、電子放出部49の全面を覆うように形成されている。パッド電極94は、土台部47の主面98の互いに対向する2つの端部において、電子放出部49の位置に対応するように2つずつ配置されている。
The
連結部96は、例えばグラファイトからなり、電子放出部49の底面の直径と略等幅に、電子放出部49とパッド電極94との間にそれぞれ配置されている。連結部96の一端は、パッド電極94に接続され、連結部96の他端は、電子放出部49の底面に接続されている。
The connecting
この電子源10Hの製造方法においては、まず、ノンドープダイヤモンドからなる土台部47を用意する。次に、所定のマスクを用いた集束イオンビーム(FIB)法により、土台部47の主面98上に電子放出部49を形成する。マスクの消失前にエッチングを停止することにより、電子放出部49の先端100に丸みを持たせることができる。
In the manufacturing method of the
続いて、真空中において、例えば1400℃程度でアニール処理をし、図19(a)に示すように、土台部47及び電子放出部49の表面にグラファイト層74を形成する。次に、主面98において、電子放出部49、パッド電極94、及び連結部96の形成領域を除いた領域をマスク101で被覆する。そして、図19(b)に示すように、アルミニウムを全方位より蒸着することにより、マスク101が被覆していない領域に、アルミニウムの保護膜102を形成する。
Subsequently, annealing is performed in a vacuum at, for example, about 1400 ° C., and a
マスク101を除去した後、図19(c)に示すように、土台部47及び電子放出部49の全面に、例えば酸素プラズマ処理を施すことにより、保護膜102により被覆されていない部分のグラファイト層74が除去される。そして、例えば塩酸処理により保護膜102を除去すると、グラファイトからなる導電層45及び連結部96が形成される。その後、パッド電極94を形成することにより、上述した電子源10Hが完成する。このような電子源10Hにおいても、上述した実施形態と同様の作用効果が得られる。
After removing the
[電子源の特性試験結果]
この特性試験では、第1実施形態に係る電子源10A及び電子源10Bと同様の構成をなすサンプルについて、導電層の厚さを変化させたときのビーム電流及びその安定性を測定した。
[Characteristic test results of electron source]
In this characteristic test, the beam current and its stability when the thickness of the conductive layer was changed were measured for the sample having the same configuration as the
サンプル群A及びサンプル群Bは、炭化チタンからなる導電層を備えており、サンプル群C及びサンプル群Dは、グラファイトからなる導電層を備えている。また、導電型がn型のダイヤモンド半導体層が、サンプル群A及びサンプル群Cについては、土台部の一側面に形成されており、サンプル群B及びサンプル群Dについては、土台部の一端面及び電子放出部に形成されている。測定は、加速電圧を15kv、引き出し電圧を3kvとして行った。また、サンプルA3〜サンプルD3については、電圧を印加した後、開回路状態(フロート)とした場合における、ビーム電流及びその安定性を測定した。 The sample group A and the sample group B are provided with a conductive layer made of titanium carbide, and the sample group C and the sample group D are provided with a conductive layer made of graphite. In addition, an n-type diamond semiconductor layer having a conductivity type is formed on one side surface of the base portion for sample group A and sample group C, and one end surface of the base portion for sample group B and sample group D. It is formed in the electron emission part. The measurement was performed with an acceleration voltage of 15 kv and an extraction voltage of 3 kv. For Sample A3 to Sample D3, the beam current and its stability were measured when an open circuit state (float) was applied after voltage was applied.
図20及び図21は、その結果を示す図である。図20に示すように、サンプル群A及びサンプル群Bの双方について、20Vのバイアス電圧が導電層に印加された場合において、膜厚20nm以下のサンプルでは、80pA以上のビーム電流量が得られ、0.1rpmよりも小さい安定性が得られた。特に、導電層の膜厚5nm以下のサンプルA4、サンプルA5、サンプルB4及びサンプルB5では、0.1rpmよりも小さい安定性で、700pA以上のビーム電流量が得られており、特に優れた電子放出特性を示すことが確認された。 20 and 21 are diagrams showing the results. As shown in FIG. 20, when a bias voltage of 20 V is applied to the conductive layer for both the sample group A and the sample group B, a beam current amount of 80 pA or more is obtained for a sample with a film thickness of 20 nm or less. Stability less than 0.1 rpm was obtained. In particular, Sample A4, Sample A5, Sample B4, and Sample B5 having a conductive layer thickness of 5 nm or less have a beam current amount of 700 pA or more with stability smaller than 0.1 rpm, and particularly excellent electron emission. It was confirmed to show characteristics.
また、図21に示すように、サンプル群C及びサンプル群Dの双方について、20Vのバイアス電圧が導電層に印加された場合において、膜厚20nm以下のサンプルでは、70pA以上のビーム電流量が得られ、0.1rpmよりも小さい安定性が得られた。特に、導電層の膜厚5nm以下のサンプルC3、サンプルC4、サンプルD3及びサンプルD4では、0.1rpmよりも小さい安定性で、600pA以上のビーム電流量が得られており、特に優れた電子放出特性を示すことが確認された。 Further, as shown in FIG. 21, when a bias voltage of 20 V is applied to the conductive layer for both the sample group C and the sample group D, a beam current amount of 70 pA or more is obtained for a sample with a film thickness of 20 nm or less. And a stability of less than 0.1 rpm was obtained. In particular, Sample C3, Sample C4, Sample D3, and Sample D4 having a conductive layer thickness of 5 nm or less have a beam current amount of 600 pA or more with stability smaller than 0.1 rpm, and particularly excellent electron emission. It was confirmed to show characteristics.
10A〜10H…電子源、20…電子顕微鏡(電子線装置)、39…電源(電圧印加手段)、40,41…電子放出素子、42,43…陰極部、44,45,66,70…導電層、46,47…土台部、48,49…電子放出部、50…一端面(一面)、52,100…電子放出部の先端、98…主面(一面)。 10A to 10H ... Electron source, 20 ... Electron microscope (electron beam device), 39 ... Power source (voltage applying means), 40, 41 ... Electron emitting element, 42, 43 ... Cathode, 44, 45, 66, 70 ... Conductive Layers 46, 47 ... base part, 48, 49 ... electron emission part, 50 ... one end face (one face), 52, 100 ... tip of the electron emission part, 98 ... main face (one face).
Claims (8)
前記陰極部は、仕事関数が3.0eV以下の材料によって形成され、
少なくとも前記電子放出部の先端を覆うように、厚さ20nm以下の導電層が設けられていることを特徴とする電子放出素子。 A cathode part constituted by a base part and a projecting electron emission part formed on one surface of the base part;
The cathode portion is formed of a material having a work function of 3.0 eV or less,
An electron-emitting device, wherein a conductive layer having a thickness of 20 nm or less is provided so as to cover at least the tip of the electron-emitting portion.
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JP7427575B2 (en) | 2020-12-03 | 2024-02-05 | 株式会社東芝 | Electron emission electrode and magnetron |
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