JP2009139665A - Coating liquid removing device and coating liquid removing method for inkjet head, and manufacturing method of color filter - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタを製造する分野に主として使用されるものであり、詳しくはインクジェットヘッドにてR、G、B塗布液を吐出してカラーフィルターを形成するのに関わるインクジェットヘッドの残留塗布液除去装置及び残留塗布液除去方法並びにカラーフィルタの製造方法の改良に関する。 The present invention is mainly used in the field of manufacturing color filters for color liquid crystal displays, and more specifically, an ink jet head related to forming a color filter by discharging R, G, B coating liquids with an ink jet head. The present invention relates to an improvement in a residual coating solution removing apparatus, a residual coating solution removing method, and a color filter manufacturing method.
カラー液晶用ディスプレイは、カラーフィルタ、TFT用アレイ基板などにより構成されている。この中でカラーフィルタは、ガラス基板上に格子状のブラックマトリックスで縁取られる各画素を、R(赤色)、G(緑色)、B(青色)3色に分けて規則正しく形成したもので、カラー液晶用ディスプレイの色形成の中枢をなす部材である。 The color liquid crystal display includes a color filter, a TFT array substrate, and the like. In this color filter, each pixel bordered by a grid-like black matrix on a glass substrate is regularly formed by dividing it into three colors of R (red), G (green), and B (blue). It is the member which makes the center of the color formation of the display.
このカラーフィルタは通常は、1)ガラス基板上に黒色のフォトレジスト材の塗布膜を形成し、フォトリソ法により黒色塗布膜を格子状に加工する(格子状ブラックマトリックスの形成)、2)一旦Rの塗布膜を全面に形成し、フォトリソ法により格子間のR画素にのみR塗布膜を残す(R画素形成)、3)G、BについてもRと同様の手法により、一旦B、G各々の塗布膜を全面に形成後、B、G画素にのみB、G塗布膜を残す(B、G画素形成)、ことで製造される。 This color filter is usually 1) forming a coating film of a black photoresist material on a glass substrate, and processing the black coating film into a lattice shape by photolithography (formation of a lattice-like black matrix), 2) once R The coating film is formed on the entire surface, and the R coating film is left only on the R pixels between the lattices by photolithography (R pixel formation). After the coating film is formed on the entire surface, the B and G coating films are left only on the B and G pixels (B and G pixel formation).
上記のフォトリソ法によるR、G、B画素形成では、R、G、Bの全面塗布膜形成、露光、現像、といった多くの工程が必要となる。近年これを簡素化するために、ブラックマトリックスの格子で形成される画素部にのみ、R、G、Bの各塗布液を直接インクジェットヘッドにより供給してR、G、Bの色画素を形成する手法が、工業的に行われるようになってきている(例えば特許文献1)。 In forming the R, G, and B pixels by the above-described photolithography method, many processes such as R, G, and B whole surface coating film formation, exposure, and development are required. In recent years, in order to simplify this, only R, G, and B coating liquids are directly supplied to the pixel portion formed by a black matrix lattice by an inkjet head to form R, G, and B color pixels. The technique has come to be carried out industrially (for example, Patent Document 1).
このインクジェットヘッドによるR、G、B画素形成方法は、露光、現像といった工程が不要で、色画素形成に必要な量の塗布液のみを使用するので、カラーフィルター製造の大幅なコストダウンを可能とするものである。 This method of forming R, G, and B pixels using an ink jet head does not require steps such as exposure and development, and uses only the amount of coating liquid necessary for forming color pixels, thereby enabling a significant cost reduction in color filter manufacturing. To do.
インクジェットヘッドは通常多数のノズル孔を有しており、ノズル孔ごとに設けられた圧電素子等の間欠駆動手段を動作させることにより、ノズル孔より塗布液を間欠的に吐出することができる。しかしながらノズル孔から長時間にわたって塗布液を吐出すると、ノズル孔周辺に塗布液の他に塗布液の固化物やゴミ等の異物が付着し、それによってノズル孔から正常な塗布液の吐出が妨げられて塗布液の飛翔方向が定まらなくなる。 Ink jet heads usually have a large number of nozzle holes, and by operating intermittent driving means such as a piezoelectric element provided for each nozzle hole, the coating liquid can be intermittently discharged from the nozzle holes. However, if the coating liquid is discharged from the nozzle hole for a long time, foreign matter such as solidified liquid or dust of the coating liquid adheres to the periphery of the nozzle hole, thereby preventing normal discharge of the coating liquid from the nozzle hole. As a result, the flying direction of the coating liquid is not determined.
そのため狙った位置に塗布液を着弾させることができず、正確なカラーフィルタの色画素形成ができなくなるという問題がある。この場合、数枚〜数十枚塗布するごとにインクジェットヘッドの加圧パージを行って、ノズル孔から多量の塗布液を吐出し、固化物を溶解して押し流したり、ゴミ等の異物を押し流したりして、ノズル孔の洗浄を行う。これによって、上記の問題が回避される。 For this reason, there is a problem in that the coating liquid cannot be landed on the target position, and color pixel formation of the accurate color filter cannot be performed. In this case, pressurize and purge the inkjet head every time several to tens of sheets are applied, discharge a large amount of coating liquid from the nozzle holes, dissolve the solidified material, and wash away foreign matter such as dust. Then, the nozzle hole is cleaned. This avoids the above problem.
また、インクジェットヘッドの多数のノズル孔の内で、カラーフィルタの色画素と位置的に合致していないものは一時的に使用されない。この場合ノズル孔内に貯留する塗布液中の溶剤が揮発して塗布液の固形分濃度が上昇し、塗布液が高粘度化する。このような高粘度化した塗布液はノズル孔の間欠駆動手段ではパワー不足でノズル孔からは押し出せない。そのため、インクジェットヘッドに供給される塗布液に高い圧力を付加して加圧圧送によってノズル孔から押し出したり(加圧パージ)、ノズル孔の出口側から吸引力を作用させて高粘度化した塗布液を吸い出し(吸引パージ)たりする。 Of the many nozzle holes of the ink jet head, those that do not coincide with the color pixels of the color filter are temporarily not used. In this case, the solvent in the coating solution stored in the nozzle hole volatilizes, the solid content concentration of the coating solution increases, and the coating solution becomes highly viscous. Such a high-viscosity coating liquid cannot be pushed out of the nozzle hole due to insufficient power by the intermittent driving means of the nozzle hole. Therefore, a high pressure is applied to the coating liquid supplied to the ink jet head and the liquid is pushed out from the nozzle hole by pressurized pressure feeding (pressure purge), or the viscosity is increased by applying a suction force from the outlet side of the nozzle hole. (Suction purge).
以上のノズル孔の洗浄やノズル孔内に貯留した高粘度塗布液の排出のために、加圧パージや吸引パージによってノズル孔から多量の塗布液を吐出させると、インクジェットヘッドの塗布液吐出機能を初期の良好な状態に復帰させることができるが、ノズル孔から吐出された多量の塗布液は、ノズル孔の出口があるノズル孔出口面に付着しつつ拡がる。そして一部の塗布液は自重によりノズル孔出口面から自然落下するが、その他の塗布液はノズル孔の出口周辺を中心としてノズル孔出口面に残留する。 When a large amount of coating liquid is discharged from the nozzle hole by pressure purge or suction purge for cleaning the nozzle hole or discharging the high viscosity coating liquid stored in the nozzle hole, the coating liquid discharge function of the inkjet head is achieved. Although the initial good state can be restored, a large amount of the coating liquid discharged from the nozzle hole spreads while adhering to the nozzle hole outlet surface where the nozzle hole outlet is located. A part of the coating liquid naturally falls from the nozzle hole exit surface due to its own weight, while the other coating liquid remains on the nozzle hole exit surface around the periphery of the nozzle hole outlet.
このノズル孔出口面に残留した塗布液をそのまま放置して、間欠駆動手段でノズル孔より塗布液を吐出しようとすると、上記のノズル孔周辺に塗布液や異物が付着している時と同じ問題を生じる。このため、加圧パージや吸引パージ後にノズル孔出口面に残留する塗布液を、塗布液除去手段によって除去することが通常行われる。 If the coating liquid remaining on the nozzle hole exit surface is left as it is and an attempt is made to discharge the coating liquid from the nozzle hole by intermittent drive means, the same problem as when the coating liquid or foreign matter adheres to the periphery of the nozzle hole. Produce. For this reason, the coating liquid remaining on the nozzle hole outlet surface after the pressure purge or the suction purge is usually removed by the coating liquid removing means.
塗布液除去手段の代表的なものが、ブレード状のワイパーをノズル孔出口面に摺動させて残留した塗布液を除去するワイピングシステムである(例えば特許文献2)。 A typical example of the coating liquid removing means is a wiping system that removes the remaining coating liquid by sliding a blade-like wiper on the exit surface of the nozzle hole (for example, Patent Document 2).
ノズル孔出口面の表面には塗布液の液離れをよくして精度良く吐出、飛翔させるために、撥液層が通常形成されているが、特許文献2の手段ではワイパーの摺動によってこの撥液層も摩滅させてしまうために、塗布液が安定して吐出できなくなるという不都合が生じる。 A liquid repellent layer is usually formed on the surface of the nozzle hole outlet surface in order to improve the liquid separation of the coating liquid and to discharge and fly with high accuracy. Since the liquid layer is also worn away, there arises a disadvantage that the coating liquid cannot be stably discharged.
撥液層を摩滅させない非接触の塗布液除去手段としては、真空ノズルをノズル孔出口面に残留する塗布液に近接させて、負圧による吸引作用で残留塗布液を吸引除去するもの(例えば特許文献3)、ブレード状のワイパーをノズル孔出口面に対して一定隙間をおいて長手方向に移動させることで、ノズル孔出口面下でワイパーと接する残留塗布液をワイパーの方に誘導・転写させるもの(例えば特許文献4)、ノズル孔出口面に親液性が高いプレートを一定隙間で近接/引き離しを行うことによって、ノズル孔出口面の残留塗布液をプレート面に転写させるもの(例えば特許文献5)、等が提案されている。 As a non-contact coating solution removing means that does not wear the liquid repellent layer, a vacuum nozzle is brought close to the coating solution remaining on the exit surface of the nozzle hole, and the remaining coating solution is sucked and removed by a negative pressure suction action (for example, patent) Reference 3) By moving the blade-like wiper in the longitudinal direction with a certain gap with respect to the nozzle hole exit surface, the residual coating liquid in contact with the wiper under the nozzle hole exit surface is guided and transferred to the wiper. (For example, Patent Document 4), a plate having high lyophilicity on a nozzle hole outlet surface is moved close to / separated with a certain gap to transfer the residual coating liquid on the nozzle hole outlet surface to the plate surface (for example, Patent Document 5), etc. are proposed.
しかしながら、上記の特許文献3に開示された手段では、真空ノズルの負圧による吸引力では残留塗布液をすべて除去できない。さらにまた、負圧による吸引力によってノズル孔出口面に急激な気流の流れが生じ、ノズル孔内に貯留されている塗布液の溶剤の揮発が促進されて塗布液が高粘度化するので、残留塗布液除去作業後にノズル孔から間欠駆動手段による正常な吐出が行なえないという問題もあった。 However, with the means disclosed in the above-mentioned Patent Document 3, it is not possible to remove all the remaining coating liquid with the suction force generated by the negative pressure of the vacuum nozzle. Furthermore, the suction force caused by the negative pressure causes an abrupt air flow on the nozzle hole exit surface, which accelerates the volatilization of the solvent of the coating solution stored in the nozzle hole and increases the viscosity of the coating solution. There has also been a problem that normal ejection by the intermittent drive means cannot be performed from the nozzle hole after the coating liquid removing operation.
また特許文献4の手段では、残留塗布液とワイパーとの接触面積が小さいため、残留塗布液を全て転写させるには移動速度を小さくする必要がある。それによって作業に長時間要することの他に、ノズル孔出口面とワイパー間の隙間以下の大きさの残留塗布液はワイパーに接触しないため、全く除去できないという問題がある。 In the means of Patent Document 4, since the contact area between the residual coating liquid and the wiper is small, it is necessary to reduce the moving speed in order to transfer all of the residual coating liquid. Accordingly, in addition to the long time required for the work, there is a problem that the residual coating liquid having a size smaller than the gap between the nozzle hole outlet surface and the wiper does not contact the wiper and cannot be removed at all.
さらにまた特許文献5の手段では、残留塗布液をノズル孔出口面とプレート面との親液性の差によって転写させているため、全ての残留塗布液をプレート面に転写するには転写力が不十分であるとともに、塗布液が転写されるプレート面の親液性を維持するのが難しく、親液性が経時的に劣化するために残留塗布液の除去量が減少していくという問題があった。
本発明は、上述の事情に基づいてなされたもので、その目的とするところは、インクジェットヘッドの塗布液の加圧パージ及び吸引パージ後にノズル孔出口面に残留する塗布液を、全て短時間で除去可能とする非接触でかつ空気の流れが生じない残留塗布液除去手段を具現化するとともに、その手段を備えて残留塗布液除去性能に優れるインクジェットヘッドの塗布液除去装置ならびに塗布液除去方法を提供することにある。さらには上記のインクジェットヘッドの塗布液除去方法を用いて、低コストで塗布欠点の全くない高品質のカラーフィルターを製造できるカラーフィルタの製造方法を提供することにある。 The present invention has been made based on the above-described circumstances, and the object thereof is to remove all of the coating liquid remaining on the nozzle hole outlet surface after a pressure purge and suction purge of the coating liquid of the inkjet head in a short time. A non-contact, non-contact, and non-flowing residual coating liquid removing means that can be removed is realized, and an inkjet head coating liquid removing apparatus and a coating liquid removing method that are provided with the means and have excellent residual coating liquid removal performance. It is to provide. Furthermore, another object of the present invention is to provide a method for producing a color filter that can produce a high-quality color filter that is low in cost and has no coating defects by using the above-described method for removing a coating solution from an inkjet head.
上記本発明の目的は、以下に述べる手段によって達成される。
本発明になるインクジェットヘッドの塗布液除去装置は、
インクジェットヘッドのノズル孔出口面に残留する塗布液除去装置であって、
溝で区切られた複数の転写面を備える転写プレートと、
前記転写プレートとノズル孔出口面に所定間隔で近接させる近接手段と、
前記ノズル孔出口面の長手方向に対して前記所定間隔を維持したまま前記転写プレートを移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする。
The object of the present invention is achieved by the means described below.
The inkjet head coating liquid removing apparatus according to the present invention is:
A coating liquid removing device remaining on the nozzle hole exit surface of the inkjet head,
A transfer plate comprising a plurality of transfer surfaces separated by grooves,
Proximity means for approaching the transfer plate and the nozzle hole exit surface at a predetermined interval;
And a moving means for moving the transfer plate while maintaining the predetermined interval with respect to the longitudinal direction of the outlet surface of the nozzle hole.
ここで、さらに転写プレートに転写された塗布液を除去する除去手段を備えることが好ましい。
また、本発明になるインクジェットヘッドの塗布液除去方法は、
インクジェットヘッドのノズル孔出口面に残留する塗布液除去方法であって、
溝で区切られた複数の転写面を備える転写プレートをノズル孔出口面に所定間隔で近接させる工程と、
前記ノズル孔出口面の長手方向に対して前記所定間隔を維持したまま前記転写プレートを移動させる工程を行うことで、ノズル孔出口面に残留する塗布液を転写プレートに転写させることを特徴とする。
Here, it is preferable to further include a removing means for removing the coating liquid transferred to the transfer plate.
Moreover, the method of removing the coating liquid of the inkjet head according to the present invention is as follows.
A method for removing a coating liquid remaining on a nozzle hole exit surface of an inkjet head,
A step of bringing a transfer plate having a plurality of transfer surfaces separated by grooves close to a nozzle hole exit surface at a predetermined interval;
The coating liquid remaining on the nozzle hole outlet surface is transferred to the transfer plate by performing a step of moving the transfer plate while maintaining the predetermined interval with respect to the longitudinal direction of the nozzle hole outlet surface. .
ここで、インクジェットヘッドのノズル孔出口面に残留する塗布液を前記転写プレートに転写してから、転写プレート上の塗布液を除去することが好ましい。 Here, it is preferable to remove the coating liquid on the transfer plate after the coating liquid remaining on the nozzle hole outlet surface of the inkjet head is transferred to the transfer plate.
本発明になるカラーフィルタの製造方法は、上記に記載のインクジェットヘッドの塗布液除去方法を用いて残留塗布液を除去してから、インクジェットヘッドで塗布液の塗布を行い、カラーフィルタを製造することを特徴とする。 The method for producing a color filter according to the present invention is to produce a color filter by removing the residual coating solution using the coating solution removing method for an inkjet head described above and then applying the coating solution with the inkjet head. It is characterized by.
本発明になるインクジェットヘッドの塗布液除去装置および塗布液除去方法を用いれば、塗布液が残留するノズル孔出口面に複数の転写面を有する転写プレートを一定隙間で近接させて、ノズル孔出口面の長手方向両端部間を移動させるため、転写プレートとノズル孔出口面の間に残留する塗布液を集合させて液膜として形成できる。そしてこの液膜を転写プレートでノズル孔出口面上を移動させて除去するのであるから、転写プレートはノズル孔出口面に接触しない。したがって、ノズル孔出口面の撥液層を全く損なうことなくノズル孔出口面の残留塗布液を除去することができる。 By using the coating liquid removing apparatus and the coating liquid removing method of the inkjet head according to the present invention, a nozzle plate outlet surface is formed by bringing a transfer plate having a plurality of transfer surfaces close to the nozzle hole outlet surface where the coating liquid remains in a certain gap. Therefore, the remaining coating liquid between the transfer plate and the nozzle hole exit surface can be gathered to form a liquid film. Since the liquid film is removed by moving the liquid film on the nozzle hole exit surface with the transfer plate, the transfer plate does not contact the nozzle hole exit surface. Therefore, the residual coating liquid on the nozzle hole exit surface can be removed without damaging the liquid repellent layer on the nozzle hole exit surface.
さらに、ノズル孔出口面上に場所も大きさも不規則に残留する塗布液滴を、ノズル孔出口面と転写プレート面間の隙間に毛細管作用で塗れ拡がらせることができる結果、残留塗布液滴の大きさに関係なく残留塗布液を転写プレートに転写することができ、非接触で空気の流れが生じない残留塗布液除去ができる。また転写プレートは転写面を複数有するので、転写プレートの1回の長手方向走査により、ノズル孔出口面の残留塗布液を複数の転写面に転写することができ、短時間で確実にノズル孔出口面の残留塗布液除去が可能となる。 Furthermore, the coating droplets that remain irregularly in place and size on the nozzle hole exit surface can be spread and spread by the capillary action in the gap between the nozzle hole exit surface and the transfer plate surface. Regardless of the size, the residual coating liquid can be transferred to the transfer plate, and the residual coating liquid can be removed without causing air flow without contact. Also, since the transfer plate has a plurality of transfer surfaces, the residual coating liquid on the nozzle hole outlet surface can be transferred to the plurality of transfer surfaces by a single longitudinal scan of the transfer plate, and the nozzle hole outlet can be reliably and quickly delivered. It is possible to remove the remaining coating liquid on the surface.
本発明になるカラーフィルタの製造方法によれば、上記の優れたインクジェットヘッド塗布液除去方法を用いてカラーフィルタを製造するのであるから、ノズル孔出口面の撥液層の劣化や汚れによる混色や白抜け欠点等の塗布欠点のない高品質のカラーフィルタを、長時間安定して高い生産性で製造できる。 According to the color filter manufacturing method of the present invention, a color filter is manufactured using the above-described excellent inkjet head coating liquid removal method. A high-quality color filter without coating defects such as white defects can be manufactured stably for a long time with high productivity.
以下、この発明の好ましい一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明に係る塗布液除去装置100とインクジェットヘッド10の概略正面図、図2はインクジェットヘッド10のノズル孔出口面11を下側から見た平面図、図3は転写プレート110の拡大正面図、図4および図5は転写プレート110でインクジェットヘッド10に残留する塗布液を除去する状態を段階的に示したフロー図である。
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic front view of a coating
まず図1を参照すると、インクジェットヘッド10とその塗布液供給装置20と、本発明の塗布液除去装置100が示されている。インクジェットヘッド10は本体14の下部に樹脂プレート13を有しており、その一部が下方に凸状に突出してノズル孔出口面11を構成している。
First, referring to FIG. 1, an
このノズル孔出口面11には撥液層がコーティングにより形成されている。撥液層としては、テフロン(登録商標)、シリコン等の撥液性樹脂よりなるものが好ましい。ノズル孔出口面11にはさらに、図2に示されるように、塗布液を吐出する多数のノズル孔12がインクジェットヘッド10長手方向(Y方向)に所定ピッチで千鳥状に配置されている。
A liquid repellent layer is formed on the nozzle
塗布液が多量にノズル孔12より吐出されると、塗布液はノズル孔出口面11上に拡がって残留することになる。またインクジェットヘッド10は塗布液供給装置20に配管21で接続されている。塗布液供給装置20は、塗布液29が貯蔵された塗布液貯蔵部22を備えている。この塗布液貯蔵部22には圧空源25から所定圧力に調整された加圧空気が、加圧配管24、加圧バルブ23を介して付加される。塗布液貯蔵部22には、真空源28から所定の大きさの負圧も真空配管27、真空バルブ26を介して作用させることができる。
When a large amount of the coating liquid is discharged from the
なお、塗布液貯蔵部22を所定圧力に加圧する時は加圧バルブ23を開、真空バルブ26を閉とし、塗布液貯蔵部22に負圧を作用させる時は、真空バルブ26を開、加圧バルブ23を閉とする。
When pressurizing the coating
図1で塗布液除去装置100は、ノズル孔出口面11に残留する塗布液を除去する転写プレート110と、転写プレート110の一端を保持して転写プレート110をZ方向に昇降させてノズル孔出口面11に略平行に一定隙間Sで近接させる近接手段である昇降ユニット120と、転写プレート110を昇降ユニット120とともにインクジェットヘッド10の長手方向(Y方向)に自在に往復動させる移動手段である搬送ユニット130と、転写プレート110に転写された残留塗布液を除去する除去手段である除去ユニット140と、搬送ユニット130と除去ユニット140を重力方向に支持するベース136と、により構成される。なお一定隙間Sは、転写プレート110とノズル孔出口面11の間の所定間隔となるものである。
In FIG. 1, a coating
ここで搬送ユニット130は、昇降ユニット120を支持する支持台132と、支持台132をY方向に案内するレール134と、支持台132をレール134に沿ってY方向に自在に往復動させる図示されていないリニアモータより構成されている。このうち、レール134とリニアモータのステータはベース136に固定されている。
Here, the
除去ユニット140は、転写プレート110に転写された塗布液を除去するブレード142と、ブレード142を保持するブレード取付け台144と、ブレード142とプレート取付け台144を上下方向に自在に昇降させる昇降ユニット146と、昇降ユニット146を支持する支持台150と、支持台150をX方向(紙面に垂直な方向)に案内するレール152と、支持台150をレール152に沿ってX方向に自在に往復動させる図示されていないリニアモータと、除去した塗布液を回収する廃液回収パン154と、から構成されている。なお支持台150と、レール152と、図示されていないリニアモータで搬送ユニット148が構成される。
The
除去ユニット140は昇降ユニット146を駆動してブレード142を下降させ、一点鎖線で示すように直下に移動してきた転写プレート110の転写面112A、B、Cに当接させ、ブレード142を搬送ユニット148によりX方向(紙面の垂直奥行き側)に移動して、転写面112A、B、C上を摺動することで転写面112A、B、C上に転写された塗布液を除去することができる。除去された塗布液は複数の液滴となって、重力により廃液回収パン154に自然落下し、回収される。
The
ブレード142の材質は、合成樹脂、合成ゴム等、塗布液に対しての耐薬品性があり膨潤しないものであればいかなるものでもよい。さらに除去した塗布液のブレード142からの剥離性を良くするために撥液性が高い材質を選定することが好ましい。
The material of the
次に図3に転写プレート110の詳細を示す。転写プレート110は、複数の転写面112A、B、Cと、転写面112A、B、Cの各々をインクジェットヘッド10の長手方向(Y方向)に区切る溝114A、Bを備えている。すなわち、転写面112A、B、Cはインクジェットヘッド10の長手方向に区切られた複数の転写面となる。
Next, FIG. 3 shows details of the
転写面112A、B、CのX方向の長さは同じ幅Wであるが、Y方向の長さはそれぞれD1、D2、D3となっており、塗布液を転写できる面積がそれぞれで異なっている。溝114A、Bはインクジェットヘッド10の長手方向に直交する方向、すなわちX方向に伸びて幅Wを有し、上下方向(Z方向)の長さは同じく深さHであるが、Y方向の長さはそれぞれ長さL1、L2となっている。
The lengths of the transfer surfaces 112A, B, and C in the X direction are the same width W, but the lengths in the Y direction are D1, D2, and D3, respectively, and the areas where the coating liquid can be transferred are different. . The
また転写プレート110を、塗布液除去のために搬送ユニット130でY方向に移動させる時は、転写面112Aの一端にある先頭辺116を先頭にし、終了辺117の方に向かって、転写面112Cの一端にある転写終了辺118を最後尾として移動させる。
Further, when the
次に図1の塗布液除去装置100を用いた本発明の塗布液除去方法について図4と図5を用いて段階に分けて詳細に説明する。
Next, the coating liquid removing method of the present invention using the coating
まず、インクジェットヘッド10に残留する塗布液を除去する準備動作として、転写プレート110と除去ユニット140のブレード142を、各々の初期位置に移動させる。
転写プレート110の初期位置は図1に示すように、支持台132がベース136上の右端の位置にあり、昇降ユニット120が下限位置にある時の位置である。除去ユニット140のブレード142の初期位置はZ方向、すなわち上下方向には昇降ユニット146が上限位置にある時の位置、X方向、すなわち紙面に垂直方向には搬送ユニット148の支持台150が最も手前側にある時の位置である。
First, as a preparatory operation for removing the coating liquid remaining on the
As shown in FIG. 1, the initial position of the
以上の準備動作が完了してから、図1の真空バルブ26を閉、加圧バルブ23を開として、塗布液貯蔵部22内の塗布液を加圧してインクジェットヘッド10に塗布液を圧送する加圧パージを行うと、全てのノズル孔12より塗布液が吐出される。ノズル孔12より吐出された塗布液は、ノズル孔出口面11上に拡がりつつ部分的に集合して複数の塗布液滴になる。集合した塗布液滴の容量が大きくなると、重力によってその一部が自然落下する。そして加圧パージ終了時には、吐出された塗布液はノズル孔出口面11上に、場所も大きさも不規則に残留する複数の塗布液滴30となる(図4(a)の段階)。
After the above preparatory operations are completed, the
次に搬送ユニット130を駆動して転写プレート110を移動させ、端部15B付近にあるノズル孔出口面11の右端の直下に、転写プレート110の先頭辺116が来る位置で停止させる。そして昇降ユニット120を駆動して転写プレート110を上昇させ、ノズル孔出口面11と転写プレート110の転写面112A、B、Cとを略平行、かつ両面間の隙間量がSになる位置で、転写プレート110の上昇を停止させる(図4(b)の段階)。
Next, the
つづいて再び搬送ユニット130を駆動して転写プレート110をY方向に矢印で示される向きに(紙面の右から左側へ)、インクジェットヘッド10のノズル孔出口面11と転写面112A、B、Cとの間に隙間量Sを保持しながら、一定速度で移動させる。この転写プレート110の移動によって先頭辺116が、ノズル孔出口面11に隙間量S以上の長さで上下方向に垂れ下がって残留している塗布液滴30に接触すると、塗布液滴30はノズル孔出口面11と転写面112Aとの間にできる隙間量Sの平行隙間部119に毛細管作用により入り込んで拡がり、最終的には転写面112A全体に拡がる厚さSの液膜31を形成する(図4(c)の段階)。
Subsequently, the
言い換えると、塗布液がノズル孔出口面とのぬれ性と自重のバランスで、ノズル孔出口面に液滴として存在できる限界の長さより隙間量Sを狭く設定する。塗布液のノズル孔出口面に対して液滴として存在できる限界の長さとは、それ以上上下方向に長くなると、自重で落下してしまう長さをいう。従って、塗布液の種類、ノズル孔出口面の状態によって多少変化する。 In other words, the gap amount S is set to be narrower than the limit length at which the coating liquid can exist as droplets on the nozzle hole exit surface in a balance between wettability with the nozzle hole exit surface and its own weight. The limit length that can exist as droplets with respect to the nozzle hole exit surface of the coating liquid refers to the length that drops when the coating liquid becomes longer in the vertical direction. Therefore, it varies somewhat depending on the type of coating liquid and the state of the nozzle hole outlet surface.
さらに矢印方向へ転写プレート110の移動を続けると、液膜31は転写面112A内に保持される形で転写プレート110とともに移動する。すなわち転写プレート110の移動の途中にあった塗布液滴30は液膜31となって元の位置からノズル孔出口面11上を移動することになるが、ノズル孔吐出口面11は撥液性を有するので、液膜31が移動しても液膜31の一部がノズル孔出口面11に付着して残留することはなく、結果として塗布液滴30をノズル孔吐出口面11上を移動させることになる。
When the
転写面112A全体に液膜31を形成した状態で、転写プレート110の移動により新たな塗布液滴30が先頭辺116に接すると、転写面112A内に液膜31を保持する塗布液の表面張力に妨げられて、塗布液滴30は平行隙間部119には浸入できない。そのため転写プレート110に押されるような形で塗布液滴30はそのまま移動する。
In the state where the
さらに新たな塗布液滴30に接すると、それが転写プレート110に押されている塗布液滴と集合してより大きな塗布液滴32となり、その一部が自然落下により除去されながら矢印方向に移動する(図4(d)の段階)。
Further, when it comes into contact with a
この場合塗布液滴30の大きさに関係なく、先頭辺116の移動方向前方に塗布液滴30を集合させることができる。すなわちノズル孔出口面11からの垂れ下がり量が、平行隙間部119の隙間量Sより小さな塗布液滴であっても、この小さな塗布液滴は、転写プレート110の移動に伴う液膜31や大きな塗布液滴32の移動によって、液膜31や大きな塗布液滴32と集合する、言い方をかえると液膜31や大きな塗布液滴32に吸収される。
In this case, the
さらに転写プレート110の移動を継続すると、平行隙間部119に液膜31を維持した状態で大きな塗布液滴32は樹脂プレート13上も移動して、インクジェットヘッド10の端部15Aの位置で一部落下する。そして端部15A近傍で樹脂プレート13と転写面112A間に形成される平行隙間部119に液膜31を維持しつつ、転写面112Aの上側に開放状態になっている部分には、液膜31がそのまま残留し、結果として塗布液が転写面112A上に転写される(図5(e)の段階)。
If the movement of the
更に転写プレート110の移動を継続し、端部15Aの直下を終了辺117が通過して、溝114Aが来ると、転写面112A全面に塗布液が転写される一方、残留した塗布液の一部は溝114Aに落下してたまるが、その他の塗布液は端部15A近傍の樹脂プレート13の下に垂れ下がる形で残留し、端部塗布液滴33となる(図5(f)の段階)。
Further, when the movement of the
更に転写プレート110の移動を継続して、転写面112B、溝114B、転写面112Cが端部15A直下を通過すると、残留していた端部塗布液滴33が転写面112B、Cに転写されたり、溝114Bの方に落下したりして、端部塗布液滴33が転写プレート110の方に移動して、インクジェットヘッド10のノズル孔出口面11や樹脂プレート13には塗布液は何も残留しなくなる(図5(g)の段階)。
Further, when the
すなわちインクジェットヘッド10への加圧パージ後にノズル孔出口面11上に場所も大きさも不規則に残留する複数の塗布液滴30は、全て非接触で転写プレート110に転写され、インクジェットヘッド10からは完全に除去される。
That is, the plurality of coating
その後、転写プレート110を引きつづき移動させ、転写面112A、B、Cがブレード142直下の位置に来た時に停止させる。つづいて昇降ユニット146を駆動してブレード142を下降させて転写面112A、B、CのX方向端部に当接させる。
Thereafter, the
次にブレード142を転写面112A、B、Cに当接したまま搬送ユニット148を駆動して、ブレード142をX方向、すなわち紙面の垂直な方向で奥側に向かって移動させ、転写プレート110の転写面112A、B、C上に転写された塗布液を全て除去する。そして、ブレード142がX方向の終了位置に来たら、搬送ユニット148を停止させると共に、昇降ユニット146を逆方向に駆動してブレード142を上限位置まで上昇させる。その後、搬送ユニット148も逆方向に駆動して、ブレード142をX方向の初期位置までもどす。これと並行して、昇降ユニット120を駆動して転写プレート110を下降後、搬送ユニット130を駆動して、Y方向の初期位置に転写プレート110を戻し、次ぎの塗布液除去作業に備える。
Next, the
以上のように本発明のインクジェットヘッドの塗布液除去装置は、ノズル孔出口面と転写プレートの間に残留する塗布液の液滴を集合させて液膜として形成し、その液膜を転写プレートでノズル孔出口面上を移動させて除去することで、ノズル孔出口面を傷つけることなく、また細かい液滴も確実に除去することができる。 As described above, the coating liquid removing device for an inkjet head according to the present invention collects droplets of the coating liquid remaining between the nozzle hole outlet surface and the transfer plate to form a liquid film, and the liquid film is formed on the transfer plate. By moving and removing on the nozzle hole outlet surface, fine droplets can be reliably removed without damaging the nozzle hole outlet surface.
なお本発明の塗布液除去装置、塗布液除去方法は、インクジェットヘッド用の粘度が5〜20mPa・sの塗布液に特に好適に適用することができる。 The coating liquid removing apparatus and the coating liquid removing method of the present invention can be particularly preferably applied to a coating liquid having a viscosity of 5 to 20 mPa · s for an inkjet head.
以上のインクジェットヘッド10に残留する塗布液の除去作業で、転写プレート110のX方向の長さである幅Wはインクジェットヘッド10のX方向の長さよりも大きい方が好ましい。転写プレート110の幅Wの方が、インクジェットヘッド10、すなわち樹脂プレート13のX方向の長さより大きい方が、樹脂プレート13全域までに広がった塗布液を受けとめることができるからである。
In the above-described operation for removing the coating liquid remaining on the
また本実施態様では転写面112A、B、Cは、転写プレート110の長手方向に、溝114A、Bで区切られて3つ配置されているが、2つ以上であれば、いくら配置してもよい。この場合、各転写面は必ず溝で長手方向に区切られることが必要である。転写面112AとB及びCは長さD1とD2あるいはD3の長さが異なっていてもよいので、転写面に関しては、面積の広い転写面と狭い転写面が少なくとも1対は存在してもよい。
In this embodiment, three
転写面が溝で長手方向に区切られないと、連続した一つの転写面となってしまう。一つの長い転写面へノズル孔出口面11に残留する塗布液を転写しようとすると、図5(f)の状態のように、全ての残留塗布液を転写面に転写しきれず、一部の塗布液がインクジェットヘッド10の端部15A付近に端部塗布液滴33として必ず残留する。
If the transfer surface is not separated in the longitudinal direction by grooves, it becomes one continuous transfer surface. If the coating liquid remaining on the nozzle
この端部塗布液滴33は転写面を長手方向に非常に長くすると、実用上実害を与えない程度に小さくすることができるが、非常に時間がかかってしまう。一方長手方向に溝で区切られた複数の転写面にこの端部塗布液滴33を転写しようとすると、転写面で引っ張られる端部塗布液滴33の一部が溝のところで落下し、溝に遭遇する回数が多いほど端部塗布液滴33の減少量も多くなる。
If the transfer surface of the
したがって、転写面の長さを比較的短くして、転写面と溝の個数を複数の適当個数もうける方が、より短い時間で端部塗布液滴33を消滅させられる。すなわちインクジェットヘッド10に残留する塗布液を除去できるので好ましい。
Therefore, when the length of the transfer surface is made relatively short and a plurality of appropriate numbers of transfer surfaces and grooves are provided, the
また、本実施の形態では、溝は転写プレートの幅方向に直線的に設けた例を示したが、これに限定される必要はない。例えば、溝は転写プレートの幅方向に対してやや斜めに設けられていてもよい。 In this embodiment, the groove is linearly provided in the width direction of the transfer plate. However, the present invention is not limited to this. For example, the groove may be provided slightly obliquely with respect to the width direction of the transfer plate.
また最初に塗布液転写される転写面112AのY方向長さD1は、インクジェットヘッド10のY方向長さの1/3以上の長さであることが好ましい。インクジェットヘッド10のY方向長さの1/3未満であると、ノズル孔出口面11〜転写面112A間の隙間量S以上の大きさの塗布液滴30に遭遇しない確率が大きくなり、ノズル孔出口面11〜転写面112A間に液膜31を形成できず、その結果隙間量Sより小さな塗布液滴30を吸収、あるいは集合させて回収できないことがあるためである。
In addition, the Y-direction length D1 of the
一方、転写面112Aの後でインクジェットヘッド10に残留した塗布液が転写される転写面112B、Cについては、Y方向長さD2、D3は転写面112Aの長さD1の好ましくは1/5、より好ましくは1/10以下にする。これは上記したように転写面112B、Cで転写されるのは端部塗布液滴33であり、この端部塗布液滴33を早く消滅させるには、転写面の長さを短くして、転写面を長手方向に区切る溝との遭遇回数を多くする方がよいことによる。
On the other hand, for the transfer surfaces 112B and C onto which the coating liquid remaining on the
最初の残留塗布液が転写される転写面112Aにつづく溝114AのY方向長さL1に対して、2番目に残留塗布液が転写される転写面112Bにつづく溝114BのY方向長さL2は、L1/2以下であることが好ましい。これは、溝114Bに落下する塗布液量が溝114Aに落下する塗布液量よりも必ず少なくなるので、長さを短くして溝通過にかかる時間を短くして、塗布液除去作業時間を短くするためである。
The Y-direction length L2 of the
なお溝114AのY方向長さL1は5mm以上あることが好ましい。これより小さいと、端部塗布液滴33が転写面112Aと転写面112Bとの間で橋渡しをして、溝114Aに落下しないことがあるためである。また溝114A、Bの深さHは1mm以上であることが好ましい。これより小さいと、溝114A、Bに落下してきた塗布液が溝114A、Bをあふれて、樹脂プレート13やノズル孔出口面11に再付着することがあるためである。
The length L1 of the
転写プレート110の材質は、ステンレス等の金属でも、テフロン(登録商標)等の合成樹脂、セラミックスの他、塗布液に対しての耐薬品性があり膨潤しないものであればいかなるものでもよいが、ノズル孔出口面11およびその周辺を取り囲む樹脂プレート13よりも親液性が高い材質であることが好ましい。
The material of the
また、隙間量Sは、塗布液がノズル孔出口面とのぬれ性と自重のバランスで、ノズル孔出口面に液滴として存在できる限界の長さより隙間量Sを狭く設定する。より具体的には、ノズル孔出口面11に残留する塗布液滴30の大きさから、好ましくは100μm〜1mm、より好ましくは300μm〜500μmである。この範囲よりも大きいとノズル孔出口面11上に残留する複数の塗布液滴30は、その大多数が隙間量S以下の大きさとなり、転写プレート110に転写されない塗布液滴30がノズル孔出口面11に残留する。
Further, the gap amount S is set to be narrower than the limit length at which the coating liquid can exist as droplets on the nozzle hole outlet surface in a balance between wettability with the nozzle hole outlet surface and its own weight. More specifically, it is preferably 100 μm to 1 mm, more preferably 300 μm to 500 μm, based on the size of the
逆に小さいと転写プレート110とノズル孔出口面11とが接触して双方が損傷する危険性が高くなってしまう。また、転写プレート110の残留塗布液を転写する時のY方向の移動速度であるが、好ましくは10〜100mm/s、より好ましくは30〜60mm/sである。この範囲よりも小さいと塗布液の除去作業に時間がかかりすぎ、逆に大きいと、完全に残留塗布液を除去するのにより多くの転写面や溝が必要となり、塗布液の除去が非効率となって、かえって時間がかかるためである。
Conversely, if it is small, there is a high risk that the
さらにまた、転写プレート110は、ノズル孔出口面11に隙間量Sで近接してY方向に移動開始し、転写面112Aの終了辺117が端部15Bをいくらか通過する距離を走行してから、終了辺117がインクジェットノズル10の端部15Bの直下になるところまで戻り、再び端部15Aの方に向かって移動させてもよい。転写面112Aとノズル孔出口面11との間に液膜31が形成されるのが、転写プレート110の移動を開始してからしばらくたってからの時は、端部15B付近には隙間量Sより小さな塗布液滴30が残ることになるが、液膜31が形成されてから転写プレート110を一旦端部15Bまで戻すことによって、端部15B付近の隙間量Sより小さな塗布液滴30も吸収して、全ての塗布液滴を回収できるからである。
Furthermore, the
また、本実施の形態では、ノズル孔出口面に対して転写プレートを移動させる説明を行ったが、ノズル孔出口面の方を移動させるようにしてもよい。 In the present embodiment, the transfer plate is moved relative to the nozzle hole outlet surface. However, the nozzle hole outlet surface may be moved.
本実施態様では除去ユニット140はブレード142で転写プレート110上の塗布液を除去する方式のものを示したが、その他の方式として転写プレート110上の塗布液に溶剤液とエアーを吹き付けて塗布液を吹き飛ばす方式や、吸水性の良い布を転写プレート110上の塗布液に押し当てながら移動することで塗布液を吸収させる方式など、転写プレート110上の塗布液を移動させて除去させるならいかなる手段のものを用いてもよい。
In this embodiment, the
(実施例1)
以下実施例により本発明を具体的に説明する。
図1に示す塗布液除去装置100を用いて、インクジェットヘッド10のノズル孔出口面11に残留する塗布液の除去を行った。
Example 1
The present invention will be specifically described below with reference to examples.
The coating liquid remaining on the nozzle
インクジェットヘッド10は、図3に示すようにノズル孔出口面11に、ノズル孔12が3列千鳥状で、Y方向ピッチ70.5μm、総数512個備えられたものを用いた。この各ノズル孔12からは、圧電素子の駆動によって1回あたり40plの塗布液を間欠的に吐出可能であった。またインクジェットヘッド10の外形形状については、ノズル孔出口面11のY方向の長さが45mm、X方向の長さが4mmであり、樹脂プレート13のY方向の長さが60mm、X方向の長さが16mmであった。
As shown in FIG. 3, the
またノズル孔出口面11には撥液層として厚さ80μmのポリイミド樹脂層を設けた結果、ノズル孔出口面11は樹脂プレート13より下方に80μm凸状に突出した。一方除去ユニット140で、ブレード142にはY方向の長さ80mm、Z方向の長さ15mmで厚さ2mmのPET樹脂を用いた。
In addition, as a liquid repellent layer, a polyimide resin layer having a thickness of 80 μm was provided on the nozzle
塗布液除去装置100で用いた転写プレート110はステンレス製で、インクジェットヘッド10の長手方向(Y方向)に区切られた3個の転写面112A、B、Cを備えるものを用いた。転写面112Aの長さD1=30mm、転写面112Bの長さD2=2.5mm、転写面112Cの長さD3=2.5mm、各転写面を区切る溝114Aの長さL1=5mm、溝114BのL2=2.5mm、溝の深さH=5mm、転写プレート110のX方向の長さである幅W=30mm、であった。
The
インクジェットヘッド10から吐出する塗布液には、R色顔料を有し、粘度10mPa・s、固形分濃度15%のR色塗布液を用いた。
The coating liquid discharged from the
まず塗布液供給装置20を動作させて、0.05MPaの圧力でR色塗布液をインクジェットヘッド10から2000μl吐出した。吐出されたR色塗布液は、インクジェットヘッド10のノズル孔出口面11にほぼ全量残留した。そして塗布液除去装置100を動作させて、転写プレート110の転写面112A、B、Cをノズル孔出口面11に略平行に隙間量Sが300μmとなるように近接させた。
First, the coating
つづいて搬送ユニット130で転写プレートを移動速度30mm/secでインクジェットヘッド10の長手方向(Y方向)全域に移動させることで、ノズル孔出口面11に残留している塗布液の除去を行った。その結果、ノズル孔出口面11に残留している塗布液は全て転写プレート110の転写面112A、B、Cに転写されるか下部に落下し、インクジェットヘッド10のノズル孔出口面11と樹脂プレート13の表面には塗布液の残留がないことを確認できた。
Subsequently, the
転写プレート110の転写面112A、B、Cに転写された塗布液は、ブレード142を圧力0.05MPaで転写面112A、B、Cに押し付け後、X方向に100mm/secで摺動させることで除去した。
The coating liquid transferred onto the transfer surfaces 112A, B, and C of the
ノズル孔出口面11に残量塗布液がないことを確認後、圧電素子を駆動して、間欠的にインクジェットヘッド10からの塗布液の吐出を行った。その結果、全てのノズル孔12において目詰まり、飛行曲がり等の吐出不良は確認されず、正常な吐出が可能であることが確認された。
After confirming that there was no remaining amount of coating liquid on the nozzle
(実施例2)
実施例1の塗布液除去装置100とインクジェットヘッド10を用いてカラーフィルターを製造した。前工程までに、360×465mmで厚さ0.7mmの無アルカリガラス基板上に、各画素の大きさが幅100μmで長さが300μm、ブラックマトリックスの幅が20μm、ブラックマトリックスの表面に撥液性を有する格子状ブラックマトリックス基板を作成した。
(Example 2)
A color filter was manufactured using the coating
ブラックマトリックスの撥液性はR色塗布液に対して接触角が40°以上になるものであった。このブラックマトリックス基板を図1の図示しない吸着ステージに吸着保持し、吸着ステージを50mm/sで移動させながら、インクジェットヘッド10から1画素あたり800μlのR色塗布液を吐出して、R色画素のみを全面に形成した。
The liquid repellency of the black matrix was such that the contact angle with respect to the R color coating solution was 40 ° or more. The black matrix substrate is sucked and held on a suction stage (not shown) in FIG. 1, and while the suction stage is moved at 50 mm / s, 800 μl of R color coating liquid is discharged from the
つづいて逐次的に同じ条件で、G色塗布液、B色塗布液を用いてG色画素、B色画素を形成した。R色塗布液は実施例1と同じもの、G色塗布液は、G色顔料を有し、粘度12mPa・s、固形分濃度16%、B色塗布液は、B色顔料を有し、粘度11mPa・s、固形分濃度14%であった。 Subsequently, G color pixels and B color pixels were formed using the G color coating liquid and the B color coating liquid sequentially under the same conditions. The R color coating solution is the same as in Example 1, the G color coating solution has a G color pigment, the viscosity is 12 mPa · s, the solid content concentration is 16%, the B color coating solution has a B color pigment, and the viscosity It was 11 mPa · s and the solid content concentration was 14%.
なお各R、G、B色画素形成においては、基板30枚塗布するごとにインクジェットヘッド10を0.1MPaの圧力で圧力パージして各塗布液を1000μl吐出して、ノズル孔周囲の洗浄を行った。それにつづいてインクジェットヘッド10に残留している塗布液を実施例1と同じ条件で塗布液除去装置100を作動させて、残留している塗布液をすべて除去した。各色画素形成が終わるたびに100度10分のプリベークをし、R、G、B色画素がすべて形成されてから、230℃30分のベークを行って、最終的に厚さ2μmのR、G、B画素のあるカラーフィルタをえることができた。
In each R, G, and B color pixel formation, each
さらに、このカラーフィルターをTFTアレイを形成した基板と重ね合わせ、オーブン中で加圧しながら160℃で90分間加熱して、シール剤を硬化させた。このセルに液晶注入を行った後、紫外線硬化樹脂により液晶注入口を封口した。次に、偏光板をセルの2枚のガラス基板の外側に貼り付け、さらに、得られたセルをモジュール化して、液晶表示装置を完成させた。得られた液晶表示装置は欠点がなく、色度も基板全面に渡って、均一で品質的に申し分ないものであった。
Further, this color filter was superposed on the substrate on which the TFT array was formed, and heated at 160 ° C. for 90 minutes while being pressurized in an oven to cure the sealing agent. After liquid crystal injection into this cell, the liquid crystal injection port was sealed with an ultraviolet curable resin. Next, a polarizing plate was attached to the outside of the two glass substrates of the cell, and the obtained cell was modularized to complete a liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device had no defects, and the chromaticity was uniform and satisfactory over the entire surface of the substrate.
10 インクジェットヘッド
11 ノズル孔出口面
12 ノズル孔
13 樹脂プレート
14 本体
15A、B 端部
20 塗布液供給装置
21 配管
22 塗布液貯蔵部
23 加圧バルブ
24 加圧配管
25 圧空源
26 真空バルブ
27 真空配管
28 真空源
29 塗布液
30 塗布液滴
31 液膜
32 大きな塗布液滴
33 端部塗布液滴
100 塗布液除去装置
110 転写プレート
112A、B、C 転写面
114A、B 溝
116 先頭辺
117 終了辺
118 転写終了辺
119 平行隙間部
120 昇降ユニット
130 搬送ユニット
132 支持台
134 レール
136 ベース
140 除去ユニット
142 ブレード
144 ブレード取付け台
146 昇降ユニット
148 搬送ユニット
150 支持台
152 レール
154 廃液回収パン
D1、D2、D3 転写面112A、B、CのY方向の長さ
L1、L2 溝114A、BのY方向の長さ
H 溝114A、Bの深さ
W 転写面112A、B、Cと溝114A、Bの幅(X方向長さ)
DESCRIPTION OF
Claims (6)
溝で区切られた複数の転写面を備える転写プレートと、
前記転写プレートとノズル孔出口面に所定間隔で近接させる近接手段と、
前記ノズル孔出口面の長手方向に対して前記所定間隔を維持したまま前記転写プレートを移動させる移動手段と、
を備えたことを特徴とする塗布液除去装置。 A coating liquid removing device remaining on the nozzle hole exit surface of the inkjet head,
A transfer plate comprising a plurality of transfer surfaces separated by grooves,
Proximity means for approaching the transfer plate and the nozzle hole exit surface at a predetermined interval;
Moving means for moving the transfer plate while maintaining the predetermined interval with respect to the longitudinal direction of the nozzle hole outlet surface;
A coating solution removing apparatus comprising:
溝で区切られた複数の転写面を備える転写プレートをノズル孔出口面に所定間隔で近接させる工程と、
前記ノズル孔出口面の長手方向に対して前記所定間隔を維持したまま前記転写プレートを移動させる工程と、
を含む塗布液除去方法。 A method for removing a coating liquid remaining on a nozzle hole exit surface of an inkjet head,
A step of bringing a transfer plate having a plurality of transfer surfaces separated by grooves close to a nozzle hole exit surface at a predetermined interval;
Moving the transfer plate while maintaining the predetermined interval with respect to the longitudinal direction of the nozzle hole exit surface;
The coating liquid removal method containing this.
A color filter is manufactured by applying the coating liquid with the inkjet head after removing the residual coating liquid by using the inkjet head coating liquid removing method according to any one of claims 4 and 5. A method for producing a color filter characterized by the above.
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