JP2009126012A - Method for manufacturing droplet discharge head - Google Patents

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JP2009126012A JP2007301809A JP2007301809A JP2009126012A JP 2009126012 A JP2009126012 A JP 2009126012A JP 2007301809 A JP2007301809 A JP 2007301809A JP 2007301809 A JP2007301809 A JP 2007301809A JP 2009126012 A JP2009126012 A JP 2009126012A
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Masaharu Ito
正春 伊藤
Hiroyuki Ishikawa
博幸 石川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a manufacturing method of a droplet discharge head in which, in a droplet discharge head in which a damper plate is laminated on one surface of a spacer plate and a nozzle plate is laminated on the other surface thereof, a damper wall is allowed to face a common fluid chamber, and the droplet discharge head can be formed by highly accurately positioning open holes of the spacer plate and the damper plate relative to a nozzle. <P>SOLUTION: The method includes the steps of: laminating and adhering a resin damper plate 13 used as a damper wall 27 on one wide surface and a resin nozzle plate 11 on the other wide plate, in a spacer plate 12 in which a recessed part 32 used as a damper chamber 28 and a first open hole 23a are provided; irradiating a position corresponding to the first open hole 23a in the damper plate 13 with a laser beam to bore a second open hole 23b therein; and irradiating a position corresponding to the first open hole 23a in the nozzle plate 11 with a laser beam to bore a nozzle 5 therein. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、複数のノズルから選択的に液体を吐出する液滴吐出ヘッドの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a droplet discharge head that selectively discharges liquid from a plurality of nozzles.

液滴吐出ヘッド例えばインクジェット式の記録ヘッドでは、従来から、インク供給源から供給されたインクが共通インク室(共通液室)から各圧力室に分配されてノズルに至るようにインク流路が形成されたキャビティ部と、このキャビティ部に積層されるアクチュエータとを備えた構成が知られている(特許文献1,2等)。この構成では、アクチュエータから各圧力室内のインクに選択的に吐出圧力を与えることで、その圧力室に対応するノズルからインクを吐出するようにしている。   Conventionally, in an ink jet recording head, for example, an ink flow path is formed so that ink supplied from an ink supply source is distributed from a common ink chamber (common liquid chamber) to each pressure chamber and reaches nozzles. There is known a configuration including a cavity portion and an actuator laminated on the cavity portion (Patent Documents 1 and 2, etc.). In this configuration, by selectively applying a discharge pressure from the actuator to the ink in each pressure chamber, the ink is discharged from the nozzle corresponding to the pressure chamber.

上記のような構成では、圧力室はノズルと共通インク室の両方に連通しているので、アクチュエータにより圧力室内のインクが加圧されると、インクに生じた圧力波には、ノズルに向かう前進成分だけでなく、共通インク室に向かう後退成分も発生する。この圧力波の後退成分が共通インク室を介して他のノズルに伝播するクロストークが発生すると、記録品質が低下する。そのため、前記圧力波の後退成分を吸収する(減衰させる)ダンパを共通インク室に設け、クロストークを防止するようにしている。   In the above configuration, since the pressure chamber communicates with both the nozzle and the common ink chamber, when the ink in the pressure chamber is pressurized by the actuator, the pressure wave generated in the ink is moved forward toward the nozzle. In addition to the component, a backward component toward the common ink chamber is also generated. When the crosstalk in which the backward component of the pressure wave propagates to other nozzles through the common ink chamber occurs, the recording quality deteriorates. Therefore, a damper that absorbs (attenuates) the backward component of the pressure wave is provided in the common ink chamber to prevent crosstalk.

例えば、特許文献1の記録ヘッドでは、共通インク室の一側を構成するダンパ壁を、薄い金属壁で構成するとともに、ダンパ壁を挟んで共通インク室の反対側にダンパ室を設け、前記ダンパ壁を振動可能にすることで圧力変動を吸収するようにしている。また、特許文献2では、金属製のダンパ壁に代えてポリイミド樹脂からなる薄膜部材でダンパ壁を構成することで、さらに振動させ易くして、圧力変動に対する減衰効果を高めている。   For example, in the recording head disclosed in Patent Document 1, a damper wall constituting one side of the common ink chamber is formed of a thin metal wall, and a damper chamber is provided on the opposite side of the common ink chamber across the damper wall. By making the walls vibrate, pressure fluctuations are absorbed. Moreover, in patent document 2, it replaces with a metal damper wall, and it makes it easier to vibrate by comprising a damper wall with the thin film member which consists of a polyimide resin, and has improved the damping effect with respect to a pressure fluctuation.

ところで、特許文献1及び2では、複雑なインク流路を構成するために、薄いプレートを積層してキャビティ部を形成している。キャビティ部ではその下面(前面)にノズルが開口するとともに、上面(背面)に圧力室が形成されているため、ノズルが形成されたプレートと圧力室が形成されたプレートとの間に、共通インク室(共通液室)が形成されたプレートや、ダンパ壁を有するプレート(ダンパープレート)等の複数のプレートが介挿されている。   By the way, in patent documents 1 and 2, in order to constitute a complicated ink flow path, a thin plate is laminated and a cavity part is formed. In the cavity portion, a nozzle opens on the lower surface (front surface) and a pressure chamber is formed on the upper surface (rear surface). Therefore, a common ink is formed between the plate on which the nozzle is formed and the plate on which the pressure chamber is formed. A plurality of plates such as a plate in which a chamber (common liquid chamber) is formed and a plate having a damper wall (damper plate) are interposed.

そのため、圧力室とノズルとを連通させる連通路は、複数のプレートに連続するように形成されている。つまり、連通路となるべき連通穴が複数のプレートに穿設されていて、これらが相互に位置合わせされて連通路を構成し、さらに連通路はノズルに位置合わせされている。ダンパ壁を有するダンパープレートにも、連通穴を形成して上下のプレートと位置合わせする必要があるが、減衰効果を考慮してダンパープレートを樹脂単体で形成すると、剛性が低く取り扱い性が悪い。従って、あらかじめ連通穴が穿設された樹脂製のダンパープレートを、上下のその他のプレートと位置合わせする組み立て方法を選択すると、高い精度で位置合わせすることが困難である。   Therefore, the communication path for communicating the pressure chamber and the nozzle is formed to be continuous with the plurality of plates. That is, communication holes to be communication paths are formed in the plurality of plates, and these are aligned with each other to form a communication path, and the communication path is aligned with the nozzle. A damper plate having a damper wall also needs to be formed with a communication hole and aligned with the upper and lower plates. However, if the damper plate is formed of a single resin in consideration of the damping effect, the rigidity is low and the handleability is poor. Therefore, if an assembly method is selected in which a resin damper plate having communication holes previously formed is aligned with other upper and lower plates, it is difficult to align with high accuracy.

これを解決するために、特許文献2では、ダンパープレートとして、樹脂製の薄膜部材と金属製の板材とを貼り合わせて一体化したものを用い、これらを貼り合わせた後に、薄膜部材に連通穴をレーザ加工で穿設している。また、板材には、薄板部材の反対側の面から、薄板部材を残すように多数の凹部(ダンパ室に相当)がエッチング加工されていて、ダンパープレート全体の剛性を確保しなら、薄膜部材が振動できるようにしている。
特開2007−125807号公報(図2及び図3参照) 特開2006−347036号公報(図3及び図4参照)
In order to solve this, in Patent Document 2, as a damper plate, a resin thin film member and a metal plate material that are integrated and bonded together are used, and after these are bonded together, a communication hole is formed in the thin film member. Are drilled by laser processing. In addition, the plate material is etched from a number of recesses (corresponding to the damper chamber) so as to leave the thin plate member from the opposite side of the thin plate member, and if the rigidity of the entire damper plate is secured, the thin film member It can be vibrated.
JP 2007-125807 A (see FIGS. 2 and 3) JP 2006-347036 A (see FIGS. 3 and 4)

しかしながら、特許文献1及び2のいずれの構成も、連通穴が形成されたダンパープレートに対して、ノズルが形成されたノズルプレートを直接または間接的に積層するため、連通穴とノズルとを高い精度で位置合わせすることが困難であった。   However, in both configurations of Patent Documents 1 and 2, since the nozzle plate on which the nozzle is formed is directly or indirectly stacked on the damper plate on which the communication hole is formed, the communication hole and the nozzle are highly accurate. It was difficult to align with.

本発明は、上記問題を解消するものであって、ダンパ室となる窪みを有する第1のプレート、その一方の面に積層されダンパ壁となる樹脂製の第2のプレート、他方の面に積層されノズルが形成される樹脂製の第3のプレートを有するものにおいて、共通液室に樹脂製のダンパ壁を臨ませて、減衰効果を十分に高めるとともに、第1及び第2のプレートの各連通穴とノズルとを高い精度で位置合わせして形成することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を実現することを目的とするものである。   The present invention solves the above problem, and includes a first plate having a depression serving as a damper chamber, a second plate made of resin that is laminated on one surface thereof and serving as a damper wall, and laminated on the other surface. And having a resin-made third plate on which the nozzle is formed, the resin-made damper wall faces the common liquid chamber to sufficiently enhance the damping effect, and each of the first and second plates communicates with each other. An object of the present invention is to realize a method of manufacturing a droplet discharge head that can be formed by aligning holes and nozzles with high accuracy.

前記目的を達成するために、請求項1に記載の発明における液滴吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出する複数のノズルと、各ノズル毎に設けられ且つ連通路を介して前記ノズルに連通する圧力室と、各圧力室に液体を分配する共通液室と、前記共通液室の一側を構成し且つ可撓性を有するダンパ壁と、前記ダンパ壁を挟んで前記共通液室に隣接するダンパ室とを少なくとも備えたキャビティ部を有し、前記キャビティ部が、複数枚のプレートをその広幅面同士が対向するように積層して形成されている液滴吐出ヘッドの製造方法であって、第1のプレートの一方の広幅面に、前記ダンパ室となる窪み部を凹設し、これと同時または前後して、当該第1のプレートの板厚を貫通して前記連通路の一部となる第1連通穴を形成する工程と、前記第1のプレートにおける前記一方の広幅面に、前記ダンパ壁となる樹脂製の第2のプレートを、他方の広幅面に樹脂製の第3のプレートを、それぞれ積層して固着する工程と、前記第2のプレートにおける前記第1連通穴に対応する位置に、レーザ光を照射して、前記連通路の一部となる第2連通穴を穿設する工程と、前記第3のプレートにおける前記第1連通穴に対応する位置に、レーザ光を照射して、前記ノズルを穿設する工程とを備えることを特徴とするものである。   In order to achieve the above object, a method of manufacturing a droplet discharge head according to the first aspect of the present invention includes a plurality of nozzles that discharge liquid, and are provided for each nozzle and communicated with the nozzles via a communication path. Pressure chambers, a common liquid chamber that distributes liquid to each pressure chamber, a damper wall that constitutes one side of the common liquid chamber and has flexibility, and is adjacent to the common liquid chamber across the damper wall A droplet discharge head manufacturing method comprising: a cavity portion including at least a damper chamber, wherein the cavity portion is formed by laminating a plurality of plates so that their wide surfaces face each other. A recess portion serving as the damper chamber is formed in one wide surface of the first plate, and a part of the communication path passes through the plate thickness of the first plate at the same time or before and after. Forming a first communication hole to be, and A step of laminating and fixing a resin second plate serving as the damper wall to the one wide surface of one plate and a resin third plate to the other wide surface; Irradiating a laser beam at a position corresponding to the first communication hole in the second plate to form a second communication hole serving as a part of the communication path; and the first plate in the third plate. And a step of irradiating a laser beam at a position corresponding to the communication hole to form the nozzle.

また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記第2連通穴と前記ノズルとは、前記第2のプレートの前記第1のプレートとは反対側の外方から照射したレーザ光によって、前記第2連通穴、前記ノズルの順に穿設されることを特徴とするものである。   According to a second aspect of the present invention, in the method of manufacturing a droplet discharge head according to the first aspect, the second communication hole and the nozzle are different from the first plate of the second plate. The second communication hole and the nozzle are formed in this order by laser light irradiated from the opposite side.

また、請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記第2のプレートはアラミド樹脂製であることを特徴とするものである。   According to a third aspect of the present invention, in the method for manufacturing a droplet discharge head according to the first or second aspect, the second plate is made of an aramid resin.

また、請求項4に記載の発明における液滴吐出ヘッドの製造方法において、液体を吐出する複数のノズルと、各ノズル毎に設けられ且つ連通路を介して前記ノズルに連通する圧力室と、各圧力室に液体を分配する共通液室と、前記共通液室の一側を構成し且つ可撓性を有するダンパ壁と、前記ダンパ壁を挟んで前記共通液室に隣接するダンパ室とを少なくとも備えたキャビティ部を有し、前記キャビティ部が、複数枚のプレートをその広幅面同士が対向するように積層して形成されている液滴吐出ヘッドの製造方法であって、遮光性を有する第1のプレートの一方の広幅面に、前記ダンパ室となる窪み部を凹設し、これと同時または前後して、当該第1のプレートの板厚を貫通して前記連通路の一部となる第1連通穴を形成する工程と、前記第1のプレートにおける前記一方の広幅面に、前記ダンパ壁となるポジ型感光性樹脂製の第2のプレートを積層して固着する工程と、前記第2のプレートに対し、前記第1のプレートをマスクとして前記第1連通穴を通して露光し、現像して、前記第1連通穴に対応する前記第2のプレートの位置に前記連通路の一部となる第2連通穴を穿設する工程と、前記第2連通穴が穿設された工程の後に、前記第1のプレートの他方の広幅面に、樹脂製の第3のプレートを積層して固着する工程と、前記第3のプレートに、前記第2のプレートの前記第1のプレートとは反対側の外方から前記第2連通穴及び第1連通穴を通してレーザ光を照射し、前記ノズルを穿設する工程とを備えることを特徴とするものである。   In the method of manufacturing a droplet discharge head according to claim 4, a plurality of nozzles that discharge liquid, a pressure chamber that is provided for each nozzle and communicates with the nozzle via a communication path, At least a common liquid chamber that distributes the liquid to the pressure chamber, a flexible damper wall that constitutes one side of the common liquid chamber, and a damper chamber adjacent to the common liquid chamber across the damper wall A method for manufacturing a droplet discharge head, wherein the cavity portion is formed by laminating a plurality of plates so that the wide surfaces thereof face each other. A concave portion that becomes the damper chamber is provided in one wide surface of one plate, and at the same time or before and after this, it penetrates the plate thickness of the first plate and becomes a part of the communication path. Forming a first communication hole; A step of laminating and adhering a second plate made of a positive photosensitive resin serving as the damper wall to the one wide surface of one plate, and the first plate to the second plate. Exposing and developing as a mask through the first communication hole, developing a second communication hole that becomes a part of the communication path at a position of the second plate corresponding to the first communication hole; After the step of forming the second communication hole, a step of laminating and fixing a third plate made of resin on the other wide surface of the first plate, and the third plate, Irradiating a laser beam from the outside of the second plate opposite to the first plate through the second communication hole and the first communication hole to form the nozzle. Is.

また、請求項5に記載の発明における液滴吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出する複数のノズルと、各ノズル毎に設けられ且つ連通路を介して前記ノズルに連通する圧力室と、各圧力室に液体を分配する共通液室と、前記共通液室の一側を構成し且つ可撓性を有するダンパ壁と、前記ダンパ壁を挟んで前記共通液室に隣接するダンパ室とを少なくとも備えたキャビティ部を有し、前記キャビティ部が、複数枚のプレートをその広幅面同士が対向するように積層して形成されている液滴吐出ヘッドの製造方法であって、遮光性を有する第1のプレートの一方の広幅面に、前記ダンパ室となる窪み部を凹設し、これと同時または前後して、当該第1のプレートの板厚を貫通して前記連通路の一部となる第1連通穴を形成する工程と、前記第1のプレートにおける前記一方の広幅面に、透光性を有する樹脂製の第3のプレートを積層して固着する工程と、前記第3のプレートに、前記第1のプレートの前記第3のプレートとは反対側の外方から前記第1連通穴を通してレーザ光を照射し、前記第1連通穴に対応する前記第3のプレートの位置に前記ノズルを穿設する工程と、前記第1のプレートの他方の広幅面に、前記ダンパ壁となるポジ型感光性樹脂製の第2のプレートを積層して固着する工程と、前記第2のプレートに対し、前記第1のプレートをマスクとして前記第3のプレート及び前記第1連通穴を通して露光し、現像して、前記第1連通穴に対応する前記第2のプレートの位置に前記連通路の一部となる第2連通穴を穿設する工程とを備えることを特徴とするものである。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a liquid droplet ejection head, comprising: a plurality of nozzles that eject liquid; a pressure chamber that is provided for each nozzle and communicates with the nozzle via a communication path; At least a common liquid chamber that distributes the liquid to the pressure chamber, a damper wall that constitutes one side of the common liquid chamber and has flexibility, and a damper chamber that is adjacent to the common liquid chamber across the damper wall A method for manufacturing a droplet discharge head, wherein the cavity portion is formed by laminating a plurality of plates so that the wide surfaces thereof face each other. A concave portion that becomes the damper chamber is provided in one wide surface of one plate, and at the same time or before and after this, it penetrates the plate thickness of the first plate and becomes a part of the communication path. Forming the first communication hole; and A step of laminating and fixing a translucent resin-made third plate on the one wide surface of the rate; and the third plate, the third plate of the first plate Irradiating laser light from the outside on the opposite side through the first communication hole, and drilling the nozzle at the position of the third plate corresponding to the first communication hole; and the other of the first plate And a step of laminating and fixing a positive photosensitive resin second plate serving as the damper wall to the wide surface of the second plate, and the third plate using the first plate as a mask with respect to the second plate. Exposing and developing through a plate and the first communication hole, and forming a second communication hole that becomes a part of the communication path at a position of the second plate corresponding to the first communication hole; It is characterized by comprising.

また、請求項6に記載の発明は、請求項1から5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記第3のプレートはポリイミド樹脂製であることを特徴とするものである。   According to a sixth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a droplet discharge head according to any one of the first to fifth aspects, the third plate is made of polyimide resin. .

また、請求項7に記載の発明は、請求項1から6のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記第1のプレートは金属製であることを特徴とするものである。   According to a seventh aspect of the present invention, in the method for manufacturing a droplet discharge head according to any one of the first to sixth aspects, the first plate is made of metal.

また、請求項8に記載の発明は、請求項1から7のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記第1のプレートに設けた窪み部の、プレートの積層方向から見た平面視形状は、前記共通液室の平面視形状と実質的に同じに形成されていることを特徴とするものである。   The invention according to claim 8 is the liquid droplet ejection head manufacturing method according to any one of claims 1 to 7, as viewed from the plate stacking direction of the recess provided in the first plate. The planar view shape is substantially the same as the planar view shape of the common liquid chamber.

また、請求項9に記載の発明は、請求項1から8のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記第1、第2、及び第3のプレートが一体化され、前記第2のプレートに前記第2連通穴を、前記第3のプレートに前記ノズルをそれぞれ形成した後に、前記第2のプレートの前記第1のプレートとは反対側に、前記共通液室となる穴部が穿設された第4のプレートを、前記穴部が前記窪み部と対応するように積層して固着する工程を備えることを特徴とするものである。   According to a ninth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a droplet discharge head according to any one of the first to eighth aspects, the first, second, and third plates are integrated, and the first After forming the second communication hole in the second plate and the nozzle in the third plate, a hole serving as the common liquid chamber is formed on the opposite side of the second plate from the first plate. The fourth plate having the holes is laminated and fixed so that the hole portion corresponds to the recessed portion.

また、請求項10に記載の発明は、請求項1から8のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記キャビティ部は、前記第1、第2、及び第3のプレートと、前記共通液室となる穴部が穿設された第4のプレートと、前記圧力室となる穴部が穿設された第5のプレートとを有し、前記圧力室と前記第2のプレートとの間に前記共通液室が位置するように、前記第4及び第5のプレートを、前記第1、第2、及び第3のプレートに対し積層して固着する工程を備えることを特徴とするものである。   The invention according to claim 10 is the method of manufacturing a droplet discharge head according to any one of claims 1 to 8, wherein the cavity portion includes the first, second, and third plates; A fourth plate having a hole serving as the common liquid chamber; and a fifth plate having a hole serving as the pressure chamber; and the pressure chamber, the second plate, A step of laminating and fixing the fourth and fifth plates to the first, second and third plates so that the common liquid chamber is located between the first and second plates. Is.

請求項1に記載の発明によれば、第1のプレートの表裏の広幅面に、樹脂製の第2のプレートと第3のプレートとをそれぞれ積層固着し、その後にあらかじめ第1のプレートに穿設されている第1連通穴に対応させて、第2のプレートに第2連通穴をレーザ光で加工している。次いで、第1のプレートの第1連通穴に対応させて、第3のプレートにレーザ光を照射して、ノズルを穿設加工している。つまり、あらかじめ形成されている第1連通穴に対応させて、第2連通穴とノズルとを形成するから、連通穴同士だけでなく、連通穴とノズルとの位置精度も高められ、プレート同士を穴に合わせて位置合わせして積層する必要がなくなる。   According to the first aspect of the present invention, the second plate and the third plate made of resin are laminated and fixed to the wide surfaces of the front and back surfaces of the first plate, respectively, and then the first plate is punched in advance. The second communication hole is processed with a laser beam in the second plate so as to correspond to the provided first communication hole. Next, the third plate is irradiated with laser light so as to correspond to the first communication hole of the first plate, and the nozzle is drilled. In other words, since the second communication hole and the nozzle are formed corresponding to the first communication hole formed in advance, not only the communication holes but also the positional accuracy of the communication hole and the nozzle can be improved, and the plates can be connected to each other. There is no need to align and stack with the holes.

また、第1のプレートに積層された第2のプレートは、第1のプレートにおける窪み部に対応する領域をダンパ壁として共通液室に臨ませることで、撓み易い薄膜樹脂の特性を生かして、圧力波に対する減衰効果を向上させることができる。さらに、樹脂製の第2のプレートには、第1のプレートに積層してから第2連通穴を加工するので、製造時に取り扱いやすく、組み立て性にも優れている。   In addition, the second plate laminated on the first plate makes use of the characteristics of the thin-film resin that is easy to bend by facing the common liquid chamber with the region corresponding to the depression in the first plate as a damper wall, The attenuation effect on the pressure wave can be improved. Furthermore, since the second communication hole is processed in the second plate made of resin after being laminated on the first plate, it is easy to handle at the time of manufacture and has excellent assemblability.

請求項2に記載の発明によれば、第3のプレートに対するノズル加工を、第2のプレートの外方から照射したレーザ光によって、第2連通穴、ノズルの順で行っている。つまり、第2連通穴とノズルとの加工において、レーザ光源を共用することができ、レーザ光源と、加工対象物である第2及び第3のプレートとの位置関係を変えずに順次加工できるから、第1連通穴、第2連通穴及びノズルの位置精度を極めて高くすることができる。   According to the second aspect of the invention, the nozzle processing for the third plate is performed in the order of the second communication hole and the nozzle by the laser beam irradiated from the outside of the second plate. That is, in processing the second communication hole and the nozzle, a laser light source can be shared, and processing can be performed sequentially without changing the positional relationship between the laser light source and the second and third plates as processing objects. The positional accuracy of the first communication hole, the second communication hole, and the nozzle can be made extremely high.

請求項3に記載の発明によれば、第2のプレートに、圧力波の吸収効率に優れた(振動し易い)アラミド樹脂を用いているから、共通液室を介したクロストークを大幅に抑制することができる。   According to the invention described in claim 3, since the aramid resin excellent in pressure wave absorption efficiency (easy to vibrate) is used for the second plate, crosstalk through the common liquid chamber is greatly suppressed. can do.

請求項4に記載の発明によれば、遮光性を有する第1のプレートの一方の広幅面に、ポジ型感光性樹脂製の第2のプレートを積層固着し、その後に第1のプレートをマスクとして第1連通穴を通して露光し現像して、第1連通穴に対応する第2のプレートの位置に第2連通穴を穿設している。つまり、あらかじめ形成されている第1連通穴を利用して、第2連通穴を形成しているから、連通穴同士の位置精度が極めて高くなる。   According to the fourth aspect of the present invention, the second plate made of a positive photosensitive resin is laminated and fixed to one wide surface of the first plate having a light shielding property, and then the first plate is masked. As described above, exposure and development are performed through the first communication hole, and the second communication hole is formed at the position of the second plate corresponding to the first communication hole. That is, since the 2nd communicating hole is formed using the 1st communicating hole formed beforehand, the position accuracy of the communicating holes becomes very high.

また、第1のプレートの他方の広幅面に樹脂製の第3のプレートを積層固着し、第3のプレートにノズルをレーザ加工するときには、第2のプレートの外方からレーザ光を照射している。従って、ノズルを形成するときも、第2連通穴及び第1連通穴を通してレーザ加工するので、第1連通穴とノズルとの位置合わせ精度も高められる。   When a third plate made of resin is laminated and fixed to the other wide surface of the first plate, and the nozzle is laser processed on the third plate, the laser beam is irradiated from the outside of the second plate. Yes. Therefore, when forming the nozzle, laser processing is performed through the second communication hole and the first communication hole, so that the alignment accuracy between the first communication hole and the nozzle can be improved.

また、第1のプレートに積層された第2のプレートは、第1のプレートにおける窪み部に対応する領域をダンパ壁として共通液室に臨ませることで、樹脂の特性を生かして圧力波に対する減衰効果を発揮することができる。さらに、樹脂製の第2のプレートには、第1のプレートに積層してから第2連通穴を加工するので、製造時に取り扱いやすく、組み立て性にも優れている。   In addition, the second plate stacked on the first plate has a region corresponding to the depression in the first plate facing the common liquid chamber as a damper wall, thereby making it possible to attenuate the pressure wave by taking advantage of the characteristics of the resin. The effect can be demonstrated. Furthermore, since the second communication hole is processed in the second plate made of resin after being laminated on the first plate, it is easy to handle at the time of manufacture and has excellent assemblability.

請求項5に記載の発明によれば、第1のプレートの一方の広幅面に、樹脂製の第3のプレートを積層固着し、この第3のプレートに第1のプレートの第3のプレートとは反対側の外方からレーザ光を照射してノズルを穿設加工している。つまり、ノズルを形成するときに、第1連通穴を通してレーザ加工するので、第1連通穴とノズルとの位置合わせ精度が高められる。   According to the fifth aspect of the present invention, the third plate made of resin is laminated and fixed to one wide surface of the first plate, and the third plate of the first plate is attached to the third plate. Is drilling the nozzle by irradiating laser light from the outside on the opposite side. That is, when the nozzle is formed, laser processing is performed through the first communication hole, so that the alignment accuracy between the first communication hole and the nozzle is improved.

また、第1のプレートの他方の広幅面に、ポジ型感光性樹脂製の第2のプレートを積層固着し、第2のプレートに対し、遮光性の第1のプレートをマスクとして、透光性を有する第3のプレート及び第1連通穴を通して露光し現像して、第2連通穴を穿設している。従って、第1連通穴を利用して第2連通穴を形成しているから、連通穴同士の位置精度が極めて高くなる。   A second plate made of a positive photosensitive resin is laminated and fixed to the other wide surface of the first plate, and the light-transmitting first plate is used as a mask with respect to the second plate. The second communicating hole is formed by exposing and developing through the third plate having the first hole and the first communicating hole. Therefore, since the 2nd communicating hole is formed using the 1st communicating hole, the position accuracy of the communicating holes becomes very high.

また、第1のプレートに積層された第2のプレートは、第1のプレートにおける窪み部に対応する領域をダンパ壁として共通液室に臨ませることで、樹脂の特性を生かして圧力波に対する減衰効果を発揮することができる。さらに、樹脂製の第2のプレートには、第1のプレートに積層してから第2連通穴を加工するので、製造時に取り扱いやすく、組み立て性にも優れている。   In addition, the second plate stacked on the first plate has a region corresponding to the depression in the first plate facing the common liquid chamber as a damper wall, thereby making it possible to attenuate the pressure wave by taking advantage of the characteristics of the resin. The effect can be demonstrated. Furthermore, since the second communication hole is processed in the second plate made of resin after being laminated on the first plate, it is easy to handle at the time of manufacture and has excellent assemblability.

請求項6に記載の発明によれば、第3のプレートはポリイミド製であるので、レーザ光でノズルを加工するときの加工性に優れている。また、ポリイミドは透光性を有しているので、請求項5に記載の発明において、第3のプレートを通して露光することが可能となる。   According to invention of Claim 6, since the 3rd plate is a product made from a polyimide, it is excellent in workability when processing a nozzle with a laser beam. Moreover, since polyimide has translucency, in the invention according to claim 5, it is possible to perform exposure through the third plate.

請求項7に記載の発明によれば、第1のプレートは金属製であるので、窪み部や第1連通穴をエッチングによって加工し易い。また、金属は遮光性を有しているので、請求項4または5に記載の発明において、マスクとして使用することができる。   According to the seventh aspect of the present invention, since the first plate is made of metal, it is easy to process the recess and the first communication hole by etching. In addition, since the metal has a light-shielding property, it can be used as a mask in the invention according to claim 4 or 5.

請求項8に記載の発明によれば、第1のプレートに設けた窪み部の、プレートの積層方向から見た平面視形状は、共通液室の平面視形状と実質的に同じに形成されている。つまり、第1のプレートと第2のプレートとを積層したときに、窪み部を覆う第2のプレートの領域、換言すると、共通液室の平面視形状と実質的に同じ大きさの第2のプレートの領域が、全てダンパ壁として活用されるので減衰効率が向上する。   According to invention of Claim 8, the planar view shape seen from the lamination direction of the plate of the hollow part provided in the 1st plate is formed substantially the same as the planar view shape of a common liquid chamber. Yes. That is, when the first plate and the second plate are stacked, the second plate region that covers the recess, in other words, the second plate having substantially the same size as the plan view shape of the common liquid chamber. Since the entire plate area is used as a damper wall, the damping efficiency is improved.

請求項9に記載の発明によれば、第1、第2、及び第3のプレートが一体化されて、ノズルと第2の連通穴とが形成された後に、第2のプレートと対向して第4のプレートが積層される。これにより、第4にプレートにおける共通液室となる穴部が第2のプレートで覆われ、第2のプレートが共通液室の一側を構成するダンパ壁となる。   According to the ninth aspect of the present invention, after the first, second, and third plates are integrated to form the nozzle and the second communication hole, the second plate faces the second plate. A fourth plate is laminated. Thereby, the hole which becomes the 4th common liquid chamber in a plate is covered with a 2nd plate, and a 2nd plate becomes a damper wall which comprises one side of a common liquid chamber.

請求項10に記載の発明によれば、第1、第2、及び第3のプレートと、共通液室となる穴部が穿設された第4のプレートと、圧力室となる穴部が穿設された第5のプレートとを積層することで、圧力室と第2のプレートとの間に共通液室が位置するキャビティ部を製造することができる。   According to the tenth aspect of the present invention, the first, second, and third plates, the fourth plate in which the hole serving as the common liquid chamber is formed, and the hole serving as the pressure chamber are formed. By laminating the provided fifth plate, a cavity part in which the common liquid chamber is located between the pressure chamber and the second plate can be manufactured.

以下に、本発明をインクジェット式の記録ヘッド1に具体化した実施形態を、図面を用いて説明する。図1は記録ヘッド1の斜視図である。記録ヘッド1は、複数のノズル5(図2及び図3参照)を外部に開口させ内部にインク流路を有するキャビティ部2と、キャビティ部2内のインクに吐出圧力を与えるアクチュエータ3と、このアクチュエータ3に駆動信号を出力するフレキシブル配線材4とが積層配置される構造を有している。なお、以下の説明では、キャビティ部2のノズル5が開口された側を下面とし、アクチュエータ3が積層されている側を上面とする。図1及び図2では、下面側に開口するノズル5から、下向きにインクが吐出される。   Hereinafter, an embodiment in which the present invention is embodied in an ink jet recording head 1 will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of the recording head 1. The recording head 1 includes a cavity portion 2 having a plurality of nozzles 5 (see FIG. 2 and FIG. 3) opened to the outside and an ink flow path therein, an actuator 3 that applies discharge pressure to the ink in the cavity portion 2, and this The actuator 3 has a structure in which a flexible wiring material 4 that outputs a drive signal is stacked. In the following description, the side of the cavity 2 where the nozzle 5 is opened is the lower surface, and the side where the actuator 3 is laminated is the upper surface. In FIGS. 1 and 2, ink is ejected downward from the nozzle 5 opening on the lower surface side.

キャビティ部2は、図2に示すように、ノズルプレート(請求項の第3のプレートに相当)11、スペーサプレート(請求項の第1のプレートに相当)12、ダンパープレート(請求項の第2のプレートに相当)13、2枚のマニホールドプレート(請求項の第4のプレートに相当)14a、14b、サプライプレート15、ベースプレート16、及びキャビティプレート(請求項の第5のプレートに相当)17の合計8枚の薄い平板を、その各広幅面同士が対向するように積層し接着剤等により接合した構造となっている。   As shown in FIG. 2, the cavity portion 2 includes a nozzle plate (corresponding to the third plate in the claims) 11, a spacer plate (corresponding to the first plate in the claims) 12, a damper plate (second claim in the claims). 13), two manifold plates (corresponding to the fourth plate of claims) 14a, 14b, supply plate 15, base plate 16, and cavity plate (corresponding to the fifth plate of claims) 17 A total of eight thin flat plates are laminated so that their wide surfaces face each other, and are joined by an adhesive or the like.

各プレート11〜17(13を除く)は、40〜150μm程度の厚さを有し、ノズルプレート11はポリイミド樹脂製、ダンパープレート13はアラミド樹脂製、その他のプレート12、14a、14b、15、16、17は、42%ニッケル合金鋼板製である。ダンパープレート13は薄膜であって、20〜40μm程度の厚さである。   Each of the plates 11 to 17 (excluding 13) has a thickness of about 40 to 150 μm, the nozzle plate 11 is made of polyimide resin, the damper plate 13 is made of aramid resin, and the other plates 12, 14a, 14b, 15, 16 and 17 are 42% nickel alloy steel plates. The damper plate 13 is a thin film and has a thickness of about 20 to 40 μm.

ノズルプレート11には、微小径(20μm程度)のインク吐出用のノズル5が微小間隔で多数個穿設されており、ノズル5は、X方向に沿って延びる列状に配置され、5列設けられている。ノズルプレート11の各ノズル5は、後述する圧力室21にそれぞれ個別に連通路22を介して連通している。そのため、ノズルプレート11とキャビティプレート17の間に介挿されたスペーサプレート12、ダンパープレート13、マニホールドプレート14a、14b、サプライプレート15、ベースプレート16には、それぞれ連通路22の一部となる連通穴23が穿設されている(図3参照)。   In the nozzle plate 11, a large number of nozzles 5 for discharging ink having a minute diameter (about 20 μm) are formed at minute intervals, and the nozzles 5 are arranged in a row extending along the X direction, and five rows are provided. It has been. Each nozzle 5 of the nozzle plate 11 is individually communicated with a pressure chamber 21 described later via a communication passage 22. Therefore, the spacer plate 12, the damper plate 13, the manifold plates 14 a and 14 b, the supply plate 15, and the base plate 16 inserted between the nozzle plate 11 and the cavity plate 17 each have a communication hole that becomes a part of the communication path 22. 23 is drilled (see FIG. 3).

キャビティプレート17には、複数の圧力室21となる穴部がノズル5の配列に対応して5列に配列されている。各圧力室21となる穴部は、図2に示すように、平面視細長形状でその長手方向がY方向(前記X方向と直交する方向)に沿うようにしてキャビティプレート17の板厚を貫通して形成されている。上記各穴部は、後述するベースプレート16とアクチュエータ3とによって上下面を覆うことによりそれぞれ圧力室に形成される。各圧力室21の長手方向の一端は、ベースプレート16に穿設された接続穴24と、サプライプレート15に形成された接続流路25とを介して共通インク室26に連通している。各圧力室21の長手方向の他端は、前述した連通路22に接続している。   In the cavity plate 17, holes to be a plurality of pressure chambers 21 are arranged in five rows corresponding to the arrangement of the nozzles 5. As shown in FIG. 2, each of the pressure chambers 21 has an elongated shape in plan view, and penetrates the thickness of the cavity plate 17 so that its longitudinal direction is along the Y direction (direction perpendicular to the X direction). Is formed. Each of the holes is formed in the pressure chamber by covering the upper and lower surfaces with a base plate 16 and an actuator 3 described later. One end of each pressure chamber 21 in the longitudinal direction communicates with the common ink chamber 26 via a connection hole 24 formed in the base plate 16 and a connection channel 25 formed in the supply plate 15. The other end in the longitudinal direction of each pressure chamber 21 is connected to the communication path 22 described above.

2枚のマニホールドプレート14a、14bには、X方向に沿って長い5つの(共通液室26になるべき)溝状の穴部が板厚を貫通して略平行状に形成されている。両穴部は、2枚のマニホールドプレート14a、14bを積層し、且つその上面をサプライプレート15にて覆い、下面をダンパープレート13にて覆うことにより、合計5つの共通液室26に形成される。   In the two manifold plates 14a, 14b, five groove-shaped holes (to be the common liquid chamber 26) that are long along the X direction are formed substantially parallel to each other through the plate thickness. Both hole portions are formed in a total of five common liquid chambers 26 by laminating two manifold plates 14a and 14b, covering the upper surface with the supply plate 15, and covering the lower surface with the damper plate 13. .

スペーサプレート12の上面には、各共通液室26と位置及び形状を一致させたダンパ室28となる窪み部が凹設されている。その窪み部を覆い且つスペーサプレート12の全面に樹脂製のダンパープレート13が接合され、窪み部はダンパープレート13にて覆われることでダンパ室28として形成される。窪み部と対向するダンパープレート13の部分は、弾性変形により自由に振動可能なダンパ壁27として形成される。なお、窪み部は、スペーサプレート12を板厚方向に貫通したもの、あるいは貫通しないもののいずれであってもよい。また、窪み部は、各共通液室26の平面形状を一致させた平面形状でなくてもよく、さらに複数に区画された形状でもよい。   On the upper surface of the spacer plate 12, a recess is formed which becomes a damper chamber 28 whose position and shape coincide with each common liquid chamber 26. A resin damper plate 13 is bonded to the entire surface of the spacer plate 12 so as to cover the recess, and the recess is covered with the damper plate 13 to form a damper chamber 28. The portion of the damper plate 13 that faces the recess is formed as a damper wall 27 that can vibrate freely by elastic deformation. In addition, the hollow part may be either one that penetrates the spacer plate 12 in the plate thickness direction or one that does not penetrate the spacer plate 12. Further, the recessed portion may not be a planar shape in which the planar shapes of the common liquid chambers 26 are matched, and may be a shape that is further divided into a plurality of portions.

ダンパープレート13を上面に備えたスペーサプレート12を、下側のマニホールドプレート14bの下面に積層することで、ダンパ壁27が共通液室26内に臨む。圧力室21から共通液室26に伝播した圧力波の後退成分によりダンパ壁27が変位することで、その圧力変動を吸収減衰させ、圧力変動が他の圧力室21へ伝播するクロストークを抑制する。   By stacking the spacer plate 12 having the damper plate 13 on the upper surface on the lower surface of the lower manifold plate 14 b, the damper wall 27 faces the common liquid chamber 26. The damper wall 27 is displaced by the retreat component of the pressure wave propagated from the pressure chamber 21 to the common liquid chamber 26, so that the pressure fluctuation is absorbed and attenuated, and the crosstalk in which the pressure fluctuation propagates to the other pressure chambers 21 is suppressed. .

キャビティプレート17のY方向に平行な一方の辺寄りには、インク供給源からのインクを導入するためのインク供給口29が4つ穿設されており、各インク供給口29と上下位置を対応させて、ベースプレート16とサプライプレート15とにそれぞれ4つの接続口30が穿設されている。4つのインク供給口29には、インク中の異物を除去するためのフィルタ体31(図1参照)が接着剤等で一括して貼着されている。   Four ink supply ports 29 for introducing ink from an ink supply source are formed near one side parallel to the Y direction of the cavity plate 17, and each ink supply port 29 corresponds to the vertical position. Thus, four connection ports 30 are formed in the base plate 16 and the supply plate 15, respectively. Filter bodies 31 (see FIG. 1) for removing foreign substances in the ink are collectively attached to the four ink supply ports 29 with an adhesive or the like.

図2における左側の1つのインク供給口29は、ブラックインク用のもので、同じく左側の2つの共通液室26、26に接続しており、ブラックインクを吐出するノズル列を2列に設定している。これは、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものであり、他の3つのインク供給口29には、シアン、イエロー、マゼンタの各インクがそれぞれ単独に供給され、それぞれノズル列が1列ずつ設けられている。   The one ink supply port 29 on the left side in FIG. 2 is for black ink, and is connected to the two common liquid chambers 26 and 26 on the left side, and two nozzle rows for discharging black ink are set. ing. This is because black ink is used more frequently than other color inks, and each of the other three ink supply ports 29 is supplied with cyan, yellow, and magenta inks individually. Each nozzle row is provided.

このように、キャビティ部2には、インクが、インク供給口29から接続口30を経て共通液室26に流入し、接続流路25及び接続穴24を経由して圧力室21に至り、さらに連通路22を経てノズル5に至るインク流路が形成されている。   In this way, ink flows into the cavity portion 2 from the ink supply port 29 via the connection port 30 to the common liquid chamber 26, reaches the pressure chamber 21 via the connection flow path 25 and the connection hole 24, and An ink flow path reaching the nozzle 5 through the communication path 22 is formed.

アクチュエータ3としては、公知の圧電方式、静電気により振動板を駆動する方式、電気発熱素子による方式などを適用することができる。ここではアクチュエータ32は、特開2005−322850号公報等に開示された公知のものと同様に、全ての圧力室21にわたる大きさを有する扁平形状で、扁平な方向と直交する方向に積層される複数の圧電セラミックス層41(例えばPZT)を備えている(図2及び図3参照)。その複数のセラミックス層41間に圧力室21毎に設けた複数の個別電極42と複数の圧力室21に共通なコモン電極43とが介挿され、個別電極42コモン電極43との間に選択的に電圧を印加することで、圧力室21内のインクに吐出圧力を与えることができる。   As the actuator 3, a known piezoelectric method, a method of driving a diaphragm by static electricity, a method using an electric heating element, or the like can be applied. Here, the actuator 32 is a flat shape having a size extending over all the pressure chambers 21 and is stacked in a direction perpendicular to the flat direction, similar to the known one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-322850. A plurality of piezoelectric ceramic layers 41 (for example, PZT) are provided (see FIGS. 2 and 3). A plurality of individual electrodes 42 provided for each pressure chamber 21 between the plurality of ceramic layers 41 and a common electrode 43 common to the plurality of pressure chambers 21 are inserted, and selectively between the individual electrodes 42 and the common electrode 43. By applying a voltage to the ink, an ejection pressure can be applied to the ink in the pressure chamber 21.

また、個別電極42およびコモン電極43は、セラミックス層41を貫通したスルーホール内の導電材にてアクチュータ3の最上面の外部電極44(図1及び図2参照)と電気的に接続されている。そして、外部電極44とフレキシブルフラット配線材4の電極パターン(図示せず)とが接合されている。   Further, the individual electrode 42 and the common electrode 43 are electrically connected to the outermost electrode 44 (see FIGS. 1 and 2) on the uppermost surface of the actuator 3 by a conductive material in a through hole that penetrates the ceramic layer 41. . And the external electrode 44 and the electrode pattern (not shown) of the flexible flat wiring material 4 are joined.

次に、キャビティ部2の製造方法について説明する。共通インク室26の圧力変動に対する減衰効果を高めるためにダンパ壁27を薄い樹脂プレート(フィルム)で構成しているので、ダンパープレート13は単体では剛性が低く取り扱い難い。   Next, the manufacturing method of the cavity part 2 is demonstrated. Since the damper wall 27 is made of a thin resin plate (film) in order to enhance the damping effect on the pressure fluctuation of the common ink chamber 26, the damper plate 13 is low in rigidity and difficult to handle.

そのため、第1実施形態では、図4(a)に示すように、まず、スペーサプレート12の上面となる広幅面に、ダンパ室28となる窪み部32を凹設し、板厚を貫通して連通路22の一部となる第1連通穴23aを穿設する。スペーサプレート12は金属製であるので、凹設または貫通する部分を除いて、その表面及び裏面をレジスト膜で被覆し、エッチング液(溶剤)を用いてエッチング加工を行うことで、窪み部32と第1連通穴23aを形成することができる。窪み部32と第2連通穴23aの形成は同時に行っても、別々に行っても良い。   For this reason, in the first embodiment, as shown in FIG. 4A, first, a recess 32 serving as the damper chamber 28 is provided in the wide surface serving as the upper surface of the spacer plate 12 so as to penetrate the plate thickness. A first communication hole 23 a that is a part of the communication path 22 is formed. Since the spacer plate 12 is made of metal, except for the recessed or penetrating portion, the front and back surfaces thereof are covered with a resist film, and etching is performed using an etching solution (solvent). The first communication hole 23a can be formed. The formation of the recessed portion 32 and the second communication hole 23a may be performed simultaneously or separately.

次に、図4(b)に示すように、スペーサプレート12の上面となる広幅面にダンパープレート13を接着固定して、窪み部32と第1連通穴23aを覆う。ダンパープレート13としては、樹脂の溶液を、スペーサプレート12に塗布して硬化させて薄いプレート(フィルム)状に形成してもよい。また、スペーサプレート12の下面となる広幅面にノズルプレート11を接着固定して、第1連通穴23aを覆う。   Next, as shown in FIG. 4B, the damper plate 13 is bonded and fixed to the wide surface that is the upper surface of the spacer plate 12 to cover the recess 32 and the first communication hole 23 a. As the damper plate 13, a resin solution may be applied to the spacer plate 12 and cured to form a thin plate (film). Further, the nozzle plate 11 is bonded and fixed to the wide surface which is the lower surface of the spacer plate 12 to cover the first communication hole 23a.

次に、図4(c)に示すように、スペーサプレート12の第1連通穴23aに対応するダンパープレート13の位置に、ダンパープレート13の外方からレーザ光を照射して、連通路22の一部となる第2連通穴23bを穿設する。第2連通穴23bは第1連通穴23aと同じ大きさに穿設される。続いて、図4(d)に示すように、スペーサプレート12の第1連通穴23aに対応するノズルプレート11の位置に、同じくダンパープレート13の外方からレーザ光を照射して、ノズルプレート11にノズル5を穿設する。ノズル5は第1及び第2連通穴23a、23bよりも小径に形成される。   Next, as shown in FIG. 4C, a laser beam is irradiated from the outside of the damper plate 13 to the position of the damper plate 13 corresponding to the first communication hole 23 a of the spacer plate 12. A part of the second communication hole 23b is formed. The second communication hole 23b is formed in the same size as the first communication hole 23a. Subsequently, as shown in FIG. 4 (d), the nozzle plate 11 is irradiated with laser light from the outside of the damper plate 13 to the position of the nozzle plate 11 corresponding to the first communication hole 23 a of the spacer plate 12. Nozzle 5 is drilled in. The nozzle 5 is formed with a smaller diameter than the first and second communication holes 23a and 23b.

そして、ノズルプレート11、スペーサプレート12、ダンパープレート13を一体化した積層体に対して、キャビティ部2のその他のプレート14a、14b、15、16、17を位置合わせして接着する(図2及び図3参照)。一体化されたプレート11〜13に対して、その他のプレート14〜17を先に固着して一体化させてから接着してもよいし、また、一体化されたプレート11〜13に対して、その他のプレート14〜17を順次重ねてから同時に接着してもよい。   Then, the other plates 14a, 14b, 15, 16, and 17 of the cavity portion 2 are aligned and bonded to the laminated body in which the nozzle plate 11, the spacer plate 12, and the damper plate 13 are integrated (FIG. 2 and FIG. 2). (See FIG. 3). The other plates 14 to 17 may be bonded and integrated with the integrated plates 11 to 13 before being bonded, or the integrated plates 11 to 13 may be bonded to each other. The other plates 14 to 17 may be sequentially stacked and then bonded together.

なお、プレート12、14〜17は、同種の金属材料であるため、それぞれインク流路となる穴部などの形成と同時に相互の位置決め部(図示しない)を同じエッチング加工により形成しておくことで、相互の位置関係を高精度で合わせて積層することができる。好ましくは、特開2002-234170号公報に記載のように、各プレートをフレーム枠に支持した状態でエッチング加工し、フレーム枠に設けた位置決め部どうしで各プレート間の位置合わせすることで、さらに高精度に積層することができる。一方、樹脂材料であるノズルプレート11及びダンパープレート13は、他のプレートと同様に予め穴加工して積層すると、接着時の加熱等による膨張のため、そのプレートの穴部と他のプレートの穴部とがずれやすい。   Since the plates 12 and 14 to 17 are made of the same type of metal material, mutual positioning portions (not shown) are formed by the same etching process at the same time as the formation of the hole portions for the ink flow paths. , Mutual positional relationship can be laminated with high accuracy. Preferably, as described in JP-A-2002-234170, etching is performed in a state where each plate is supported by the frame frame, and alignment between the plates is performed by positioning portions provided on the frame frame. It can be laminated with high accuracy. On the other hand, when the nozzle plate 11 and the damper plate 13 which are resin materials are previously drilled and stacked in the same manner as other plates, the holes of the plates and the holes of other plates are expanded due to expansion due to heating during bonding. The part tends to shift.

上記製造方法を用いると、ノズルプレート11及びダンパープレート13をスペーサプレート12に接着した状態で、第1連通穴23aの位置に合わせて、ダンパープレート13の第2連通穴23bとノズルプレート11のノズル5とを加工するので、先に穴加工されたプレートを位置合わせする場合に比べて、各穴の位置を高精度で一致させることができる。また、スペーサプレート12と他のプレート14〜17とは、上述のとおり、位置合わせし易いから、キャビティ部全体としてインク流路となる各穴部を高精度で一致させることができる。   When the above manufacturing method is used, the nozzle plate 11 and the damper plate 13 are bonded to the spacer plate 12, and the second communication hole 23b of the damper plate 13 and the nozzle of the nozzle plate 11 are aligned with the position of the first communication hole 23a. 5 is processed, the position of each hole can be matched with high precision compared with the case where the plate that has been previously drilled is aligned. Further, since the spacer plate 12 and the other plates 14 to 17 are easily aligned as described above, the hole portions serving as the ink flow paths as the entire cavity portion can be matched with high accuracy.

また、上記方法では、第2連通穴23bとノズル5とを、同じ方向から順次レーザ加工している。そのため、レーザ加工用の装置に、ノズルプレート11、スペーサプレート12、ダンパープレート13を一体化した積層体をセットし、積層体を上下反転させたりすることなく、順次上記2つの穴加工を行うことができる。従って、第1連通穴23a、第2連通穴23b、ノズル5の位置合わせの精度がさらに向上する。   In the above method, the second communication hole 23b and the nozzle 5 are sequentially laser processed from the same direction. Therefore, a laminated body in which the nozzle plate 11, the spacer plate 12, and the damper plate 13 are integrated is set in a laser processing apparatus, and the above two holes are sequentially processed without turning the laminated body upside down. Can do. Therefore, the positioning accuracy of the first communication hole 23a, the second communication hole 23b, and the nozzle 5 is further improved.

また、ダンパープレート13とノズルプレート11は樹脂製であるため、単体ではその剛性が低いが、金属製のスペーサプレート12に固着して加工するので、取り扱い性が大幅に改善される。さらに、樹脂プレート11、13とスペーサプレート12とに膨張率の差があるが、スペーサプレート12の両面を樹脂プレート11、13で挟む形になるため、その3つのプレートが一体化した積層体が反るのを抑えることができ、他のプレート14〜17との積層を容易に行うことができる。   Further, since the damper plate 13 and the nozzle plate 11 are made of resin, the rigidity of the damper plate 13 and the nozzle plate 11 is low. However, since the damper plate 13 and the nozzle plate 11 are fixed to the metal spacer plate 12 and processed, the handling property is greatly improved. Furthermore, although there is a difference in expansion coefficient between the resin plates 11 and 13 and the spacer plate 12, since both surfaces of the spacer plate 12 are sandwiched between the resin plates 11 and 13, a laminate in which the three plates are integrated is formed. Warpage can be suppressed and lamination with other plates 14 to 17 can be easily performed.

なお、連通路22は、前述したように各プレート12〜16に形成された連通穴23を上下に接続して形成されており、ここでは、少なくとも第1連通穴23aと第2連通穴23bは同じ形状に形成している。しかしながら、各連通穴23の形状は必ずしも同じでなくてもよく、ノズル5に近い側が小径になるように段階的に設定してもよい。   As described above, the communication path 22 is formed by connecting the communication holes 23 formed in the plates 12 to 16 up and down. Here, at least the first communication hole 23a and the second communication hole 23b are They are formed in the same shape. However, the shape of each communication hole 23 does not necessarily have to be the same, and may be set stepwise so that the side close to the nozzle 5 has a small diameter.

次に、キャビティ部2の製造方法の第2実施形態を、図5を用いて説明する。第2実施形態では、ダンパープレート13に、ポジ型感光性樹脂を用いている。   Next, 2nd Embodiment of the manufacturing method of the cavity part 2 is described using FIG. In the second embodiment, a positive photosensitive resin is used for the damper plate 13.

まず、図5(a)に示すように、第1実施形態と同様に、金属製のスペーサプレート12にエッチング加工で、窪み部32と第1連通穴23aとを加工する。次いで、図5(b)に示すように、スペーサプレート12の上面となる広幅面にポジ型感光性樹脂製(ポジ型感光性ポリイミド等)の薄いプレート(フィルム)状のダンパープレート13を接着固定する。ダンパープレート13としては、ポジ型感光性樹脂の溶液を、スペーサプレート12に塗布して硬化させて薄いプレート(フィルム)状に形成してもよい。   First, as shown in FIG. 5A, similarly to the first embodiment, the hollow portion 32 and the first communication hole 23a are processed in the metal spacer plate 12 by etching. Next, as shown in FIG. 5B, a thin plate (film) -like damper plate 13 made of positive photosensitive resin (positive photosensitive polyimide or the like) is bonded and fixed to the wide surface which is the upper surface of the spacer plate 12. To do. As the damper plate 13, a positive photosensitive resin solution may be applied to the spacer plate 12 and cured to form a thin plate (film).

そして、スペーサプレート12側の外方から当該スペーサプレート12(遮光性がある)をフォトマスクとして露光すると、スペーサプレート12の第1連通穴23aに対応するダンパープレート13の部分が露光される。ダンパープレート13がポジ型感光性であるため、露光された部分は、現像工程により溶融されて除去され、図5(c)に示すように、第1連通穴23aと同じ大きさの第2連通穴23bがダンパープレート13に穿設される。   Then, when the spacer plate 12 (which has a light shielding property) is exposed from the outside on the spacer plate 12 side as a photomask, a portion of the damper plate 13 corresponding to the first communication hole 23a of the spacer plate 12 is exposed. Since the damper plate 13 is positive photosensitive, the exposed portion is melted and removed by the development process, and as shown in FIG. 5C, the second communication having the same size as the first communication hole 23a. A hole 23 b is formed in the damper plate 13.

次に、図5(d)に示すように、スペーサプレート12の下面となる広幅面にノズルプレート11を接着固定する。そして、図5(e)に示すように、ノズルプレート11に対して、ダンパープレート13の外方から、第2連通穴23bと第1連通穴23aを通してレーザ光を照射して、第1及び第2連通穴23a、23bよりも小径のノズル5を穿設する。これ以降の製造工程は、第1実施形態と同様である。   Next, as shown in FIG. 5 (d), the nozzle plate 11 is bonded and fixed to the wide surface which is the lower surface of the spacer plate 12. Then, as shown in FIG. 5E, the nozzle plate 11 is irradiated with laser light from the outside of the damper plate 13 through the second communication hole 23b and the first communication hole 23a. The nozzle 5 having a smaller diameter than the two communication holes 23a and 23b is formed. The subsequent manufacturing steps are the same as those in the first embodiment.

この第2実施形態では、特に、ダンパープレート13をポジ型感光性樹脂製にして、遮光性を有するスペーサプレート12をフォトマスクとして利用している。そのため、第1連通穴23aと同じ大きさの第2連通穴23bを高い位置精度で簡単に形成できる。また、ノズルプレート11に、ダンパープレート13側からレーザ光によりノズル5を形成するので、第1及び第2連通穴23a、23bとノズル5との位置精度も高められる。   In the second embodiment, in particular, the damper plate 13 is made of a positive photosensitive resin, and the spacer plate 12 having a light shielding property is used as a photomask. Therefore, the second communication hole 23b having the same size as the first communication hole 23a can be easily formed with high positional accuracy. Further, since the nozzle 5 is formed on the nozzle plate 11 by the laser beam from the damper plate 13 side, the positional accuracy between the first and second communication holes 23a, 23b and the nozzle 5 is also improved.

次に、第3実施形態について、図6を用いて説明する。第3実施形態でも、第2実施形態と同様に、ダンパープレート13はポジ型感光性樹脂製である。第3実施形態では、図6(a)に示すように、第1実施形態と同様に、金属製のスペーサプレート12にエッチング加工で、窪み部32と第1連通穴23aとを加工する。次いで、図6(b)に示すように、スペーサプレート12の下面となる広幅面に、ポリイミド製のノズルプレート11を接着固定する。ポリイミド樹脂は透光性を有している。   Next, a third embodiment will be described with reference to FIG. Also in the third embodiment, as in the second embodiment, the damper plate 13 is made of a positive photosensitive resin. In 3rd Embodiment, as shown to Fig.6 (a), the recessed part 32 and the 1st communicating hole 23a are processed by the etching process to the metal spacer plates 12 similarly to 1st Embodiment. Next, as shown in FIG. 6B, the polyimide nozzle plate 11 is bonded and fixed to the wide surface which is the lower surface of the spacer plate 12. The polyimide resin has translucency.

次に、図6(c)に示すように、ノズルプレート11に対して、スペーサプレート12の外方からレーザ光を照射し、スペーサプレート12の第1連通穴23aに対応するノズルプレート11の位置に、第1連通穴23aよりも小径のノズル5を穿設する。   Next, as shown in FIG. 6 (c), the nozzle plate 11 is irradiated with laser light from the outside of the spacer plate 12, and the position of the nozzle plate 11 corresponding to the first communication hole 23 a of the spacer plate 12. In addition, the nozzle 5 having a smaller diameter than the first communication hole 23a is formed.

次に、図6(d)に示すように、スペーサプレート12の上面となる広幅面に、第2実施形態と同様に、ポジ型感光性樹脂製のダンパープレート13を接着固定する。そして、ダンパープレート13に対して、ノズルプレート11側から露光する。このとき、ノズルプレート11のポリイミドが光を透過するので、第2実施形態と同様に、遮光性がある金属製のスペーサプレート12をフォトマスクとして作用し、スペーサプレート12の第1連通穴23aに対応するダンパープレート13の部分のみが露光される。ダンパープレート13はポジ型感光性であるため、露光された部分は、現像工程により溶融されて除去され、図6(e)に示すように、ダンパープレート13に第1連通穴23aと同じ大きさの第2連通穴23bが穿設される。   Next, as shown in FIG. 6D, a positive photosensitive resin damper plate 13 is bonded and fixed to the wide surface, which is the upper surface of the spacer plate 12, as in the second embodiment. Then, the damper plate 13 is exposed from the nozzle plate 11 side. At this time, since the polyimide of the nozzle plate 11 transmits light, the light-shielding metal spacer plate 12 acts as a photomask, as in the second embodiment, and the first communication hole 23a of the spacer plate 12 Only the corresponding part of the damper plate 13 is exposed. Since the damper plate 13 is positive-type photosensitive, the exposed portion is melted and removed by the development process, and as shown in FIG. 6E, the damper plate 13 has the same size as the first communication hole 23a. The second communication hole 23b is formed.

この第3実施形態でも、第2実施形態と同様に、第1連通穴23aと第2連通穴23bとノズル5の位置合わせ精度を高めることができる。   In the third embodiment, as in the second embodiment, the alignment accuracy of the first communication hole 23a, the second communication hole 23b, and the nozzle 5 can be increased.

なお、上記実施形態では、液滴吐出ヘッドの一例としてインクジェット式の記録ヘッドについて説明したが、着色液を塗布したり、導電液をパターン状に吐出したりする装置などにも本発明は適用できる。   In the above embodiment, an ink jet recording head has been described as an example of a droplet discharge head. However, the present invention can also be applied to an apparatus that applies a colored liquid or discharges a conductive liquid in a pattern. .

記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of a recording head. キャビティ部の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a cavity part. キャビティ部をY軸方向に沿って切断した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which cut | disconnected the cavity part along the Y-axis direction. (a)〜(d)は第1実施形態の製造方法を説明する工程図である。(A)-(d) is process drawing explaining the manufacturing method of 1st Embodiment. (a)〜(e)は第2実施形態の製造方法を説明する工程図である。(A)-(e) is process drawing explaining the manufacturing method of 2nd Embodiment. (a)〜(e)は第3実施形態の製造方法を説明する工程図である。(A)-(e) is process drawing explaining the manufacturing method of 3rd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 記録ヘッド
2 キャビティ部
3 アクチュエータ
4 フレキシブル配線材
5 ノズル
11 ノズルプレート(第3のプレート)
12 スペーサプレート(第1のプレート)
13 ダンパープレート(第2のプレート)
14a、14b マニホールドプレート(第4のプレート)
15 サプライプレート
16 ベースプレート
17 キャビティプレート(第5のプレート)
21 圧力室
22 連通路
23 連通穴
23a 第1連通穴
23b 第2連通穴
26 共通液室
27 ダンパ壁
28 ダンパ室
32 窪み部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Recording head 2 Cavity part 3 Actuator 4 Flexible wiring material 5 Nozzle 11 Nozzle plate (3rd plate)
12 Spacer plate (first plate)
13 Damper plate (second plate)
14a, 14b Manifold plate (fourth plate)
15 Supply plate 16 Base plate 17 Cavity plate (fifth plate)
21 pressure chamber 22 communication passage 23 communication hole 23a first communication hole 23b second communication hole 26 common liquid chamber 27 damper wall 28 damper chamber 32 recess

Claims (10)

液体を吐出する複数のノズルと、各ノズル毎に設けられ且つ連通路を介して前記ノズルに連通する圧力室と、各圧力室に液体を分配する共通液室と、前記共通液室の一側を構成し且つ可撓性を有するダンパ壁と、前記ダンパ壁を挟んで前記共通液室に隣接するダンパ室とを少なくとも備えたキャビティ部を有し、前記キャビティ部が、複数枚のプレートをその広幅面同士が対向するように積層して形成されている液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
第1のプレートの一方の広幅面に、前記ダンパ室となる窪み部を凹設し、これと同時または前後して、当該第1のプレートの板厚を貫通して前記連通路の一部となる第1連通穴を形成する工程と、
前記第1のプレートにおける前記一方の広幅面に、前記ダンパ壁となる樹脂製の第2のプレートを、他方の広幅面に樹脂製の第3のプレートを、それぞれ積層して固着する工程と、
前記第2のプレートにおける前記第1連通穴に対応する位置に、レーザ光を照射して、前記連通路の一部となる第2連通穴を穿設する工程と、
前記第3のプレートにおける前記第1連通穴に対応する位置に、レーザ光を照射して、前記ノズルを穿設する工程とを備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
A plurality of nozzles for discharging liquid, a pressure chamber provided for each nozzle and communicating with the nozzle via a communication path, a common liquid chamber for distributing the liquid to each pressure chamber, and one side of the common liquid chamber And a flexible damper wall and at least a damper chamber adjacent to the common liquid chamber with the damper wall interposed therebetween, and the cavity portion includes a plurality of plates. A method of manufacturing a droplet discharge head formed by laminating so that wide surfaces face each other,
A concave portion serving as the damper chamber is provided in one wide surface of the first plate, and at the same time or before and after this, a part of the communication path passes through the plate thickness of the first plate. Forming a first communication hole,
A step of laminating and fixing a resin-made second plate serving as the damper wall to the one wide surface of the first plate and a resin-made third plate to the other wide surface;
Irradiating a laser beam at a position corresponding to the first communication hole in the second plate to form a second communication hole serving as a part of the communication path;
And a step of irradiating a laser beam at a position corresponding to the first communication hole in the third plate to pierce the nozzle.
前記第2連通穴と前記ノズルとは、前記第2のプレートの前記第1のプレートとは反対側の外方から照射したレーザ光によって、前記第2連通穴、前記ノズルの順に穿設されることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。   The second communication hole and the nozzle are formed in the order of the second communication hole and the nozzle by laser light emitted from the outside of the second plate opposite to the first plate. The method of manufacturing a droplet discharge head according to claim 1. 前記第2のプレートはアラミド樹脂製であることを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。   The method for manufacturing a droplet discharge head according to claim 1, wherein the second plate is made of an aramid resin. 液体を吐出する複数のノズルと、各ノズル毎に設けられ且つ連通路を介して前記ノズルに連通する圧力室と、各圧力室に液体を分配する共通液室と、前記共通液室の一側を構成し且つ可撓性を有するダンパ壁と、前記ダンパ壁を挟んで前記共通液室に隣接するダンパ室とを少なくとも備えたキャビティ部を有し、前記キャビティ部が、複数枚のプレートをその広幅面同士が対向するように積層して形成されている液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
遮光性を有する第1のプレートの一方の広幅面に、前記ダンパ室となる窪み部を凹設し、これと同時または前後して、当該第1のプレートの板厚を貫通して前記連通路の一部となる第1連通穴を形成する工程と、
前記第1のプレートにおける前記一方の広幅面に、前記ダンパ壁となるポジ型感光性樹脂製の第2のプレートを積層して固着する工程と、
前記第2のプレートに対し、前記第1のプレートをマスクとして前記第1連通穴を通して露光し、現像して、前記第1連通穴に対応する前記第2のプレートの位置に前記連通路の一部となる第2連通穴を穿設する工程と、
前記第2連通穴が穿設された工程の後に、前記第1のプレートの他方の広幅面に、樹脂製の第3のプレートを積層して固着する工程と、
前記第3のプレートに、前記第2のプレートの前記第1のプレートとは反対側の外方から前記第2連通穴及び第1連通穴を通してレーザ光を照射し、前記ノズルを穿設する工程とを備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
A plurality of nozzles for discharging liquid, a pressure chamber provided for each nozzle and communicating with the nozzle via a communication path, a common liquid chamber for distributing the liquid to each pressure chamber, and one side of the common liquid chamber And a flexible damper wall and at least a damper chamber adjacent to the common liquid chamber with the damper wall interposed therebetween, and the cavity portion includes a plurality of plates. A method of manufacturing a droplet discharge head formed by laminating so that wide surfaces face each other,
A recess portion serving as the damper chamber is formed in one wide surface of the first light-shielding plate so as to penetrate the plate thickness of the first plate at the same time or before and after the recess. Forming a first communication hole to be a part of
A step of laminating and fixing a second plate made of a positive photosensitive resin to be the damper wall on the one wide surface of the first plate;
The second plate is exposed and developed through the first communication hole using the first plate as a mask, and developed, and one of the communication paths is placed at the position of the second plate corresponding to the first communication hole. Forming a second communication hole to be a part;
After the step of forming the second communication hole, a step of laminating and fixing a resin-made third plate on the other wide surface of the first plate;
Irradiating the third plate with laser light from the outside of the second plate opposite to the first plate through the second communication hole and the first communication hole, thereby forming the nozzle. A method for manufacturing a droplet discharge head, comprising:
液体を吐出する複数のノズルと、各ノズル毎に設けられ且つ連通路を介して前記ノズルに連通する圧力室と、各圧力室に液体を分配する共通液室と、前記共通液室の一側を構成し且つ可撓性を有するダンパ壁と、前記ダンパ壁を挟んで前記共通液室に隣接するダンパ室とを少なくとも備えたキャビティ部を有し、前記キャビティ部が、複数枚のプレートをその広幅面同士が対向するように積層して形成されている液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
遮光性を有する第1のプレートの一方の広幅面に、前記ダンパ室となる窪み部を凹設し、これと同時または前後して、当該第1のプレートの板厚を貫通して前記連通路の一部となる第1連通穴を形成する工程と、
前記第1のプレートにおける前記一方の広幅面に、透光性を有する樹脂製の第3のプレートを積層して固着する工程と、
前記第3のプレートに、前記第1のプレートの前記第3のプレートとは反対側の外方から前記第1連通穴を通してレーザ光を照射し、前記第1連通穴に対応する前記第3のプレートの位置に前記ノズルを穿設する工程と、
前記第1のプレートの他方の広幅面に、前記ダンパ壁となるポジ型感光性樹脂製の第2のプレートを積層して固着する工程と、
前記第2のプレートに対し、前記第1のプレートをマスクとして前記第3のプレート及び前記第1連通穴を通して露光し、現像して、前記第1連通穴に対応する前記第2のプレートの位置に前記連通路の一部となる第2連通穴を穿設する工程とを備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
A plurality of nozzles for discharging liquid, a pressure chamber provided for each nozzle and communicating with the nozzle via a communication path, a common liquid chamber for distributing the liquid to each pressure chamber, and one side of the common liquid chamber And a flexible damper wall and at least a damper chamber adjacent to the common liquid chamber with the damper wall interposed therebetween, and the cavity portion includes a plurality of plates. A method of manufacturing a droplet discharge head formed by laminating so that wide surfaces face each other,
A recess portion serving as the damper chamber is formed in one wide surface of the first light-shielding plate so as to penetrate the plate thickness of the first plate at the same time or before and after the recess. Forming a first communication hole to be a part of
A step of laminating and fixing a translucent resin-made third plate on the one wide surface of the first plate;
The third plate is irradiated with laser light from the outside of the first plate opposite to the third plate through the first communication hole, and the third plate corresponding to the first communication hole is irradiated with the third plate. Drilling the nozzle at the position of the plate;
A step of laminating and adhering a second plate made of a positive photosensitive resin to be the damper wall to the other wide surface of the first plate;
The position of the second plate corresponding to the first communication hole is exposed and developed with respect to the second plate through the third plate and the first communication hole using the first plate as a mask. And a step of forming a second communication hole which becomes a part of the communication path.
前記第3のプレートはポリイミド樹脂製であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。   The method of manufacturing a droplet discharge head according to claim 1, wherein the third plate is made of polyimide resin. 前記第1のプレートは金属製であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。   The method of manufacturing a droplet discharge head according to claim 1, wherein the first plate is made of metal. 前記第1のプレートに設けた窪み部の、プレートの積層方向から見た平面視形状は、前記共通液室の平面視形状と実質的に同じに形成されていることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。   The planar view shape of the recess provided in the first plate as viewed from the stacking direction of the plates is formed substantially the same as the planar view shape of the common liquid chamber. 8. A method for manufacturing a droplet discharge head according to any one of items 1 to 7. 前記第1、第2、及び第3のプレートが一体化され、前記第2のプレートに前記第2連通穴を、前記第3のプレートに前記ノズルをそれぞれ形成した後に、前記第2のプレートの前記第1のプレートとは反対側に、前記共通液室となる穴部が穿設された第4のプレートを、前記穴部が前記窪み部と対応するように積層して固着する工程を備えることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。   The first, second, and third plates are integrated, the second communication hole is formed in the second plate, and the nozzle is formed in the third plate. A step of laminating and fixing a fourth plate having a hole serving as the common liquid chamber on the side opposite to the first plate so that the hole corresponds to the recess is provided. 9. A method of manufacturing a droplet discharge head according to claim 1, wherein 前記キャビティ部は、前記第1、第2、及び第3のプレートと、前記共通液室となる穴部が穿設された第4のプレートと、前記圧力室となる穴部が穿設された第5のプレートとを有し、
前記圧力室と前記第2のプレートとの間に前記共通液室が位置するように、前記第4及び第5のプレートを、前記第1、第2、及び第3のプレートに対し積層して固着する工程を備えることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
The cavity portion has the first, second, and third plates, a fourth plate in which a hole serving as the common liquid chamber is formed, and a hole that serves as the pressure chamber. A fifth plate,
The fourth and fifth plates are stacked on the first, second, and third plates so that the common liquid chamber is located between the pressure chamber and the second plate. The method for manufacturing a droplet discharge head according to claim 1, further comprising a fixing step.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8579420B2 (en) 2010-03-16 2013-11-12 Panasonic Corporation Ink-jet apparatus
US8646878B2 (en) 2011-01-14 2014-02-11 Panasonic Corporation Ink-jet head
JP2015044362A (en) * 2013-08-28 2015-03-12 エスアイアイ・プリンテック株式会社 Liquid jet head and liquid jet device
WO2016067880A1 (en) * 2014-10-31 2016-05-06 京セラ株式会社 Inkjet head and printer
US9962934B2 (en) 2016-03-28 2018-05-08 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head, liquid ejecting head unit, liquid ejecting apparatus, and method for manufacturing liquid ejecting head unit
US10442188B2 (en) 2016-02-10 2019-10-15 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2019177588A (en) * 2018-03-30 2019-10-17 ブラザー工業株式会社 Liquid discharge device
KR20210157609A (en) * 2020-06-22 2021-12-29 아머스 주식회사 Leak sensor using fluoride polymer

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000043261A (en) * 1998-07-31 2000-02-15 Seiko Epson Corp Ink-jet type recording head, and manufacture of elastic plate for ink-jet type recording head
JP2003072068A (en) * 2001-08-31 2003-03-12 Fuji Xerox Co Ltd Ink jet recording head and ink jet recorder
JP2006044132A (en) * 2004-08-06 2006-02-16 Fuji Xerox Co Ltd Inkjet recorder
JP2006044133A (en) * 2004-08-06 2006-02-16 Fuji Xerox Co Ltd Inkjet recording head
JP2006305987A (en) * 2005-05-02 2006-11-09 Fuji Xerox Co Ltd Liquid droplet discharging head, and manufacturing method for liquid droplet discharging head
JP2006347036A (en) * 2005-06-17 2006-12-28 Brother Ind Ltd Inkjet printer head and its manufacturing method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000043261A (en) * 1998-07-31 2000-02-15 Seiko Epson Corp Ink-jet type recording head, and manufacture of elastic plate for ink-jet type recording head
JP2003072068A (en) * 2001-08-31 2003-03-12 Fuji Xerox Co Ltd Ink jet recording head and ink jet recorder
JP2006044132A (en) * 2004-08-06 2006-02-16 Fuji Xerox Co Ltd Inkjet recorder
JP2006044133A (en) * 2004-08-06 2006-02-16 Fuji Xerox Co Ltd Inkjet recording head
JP2006305987A (en) * 2005-05-02 2006-11-09 Fuji Xerox Co Ltd Liquid droplet discharging head, and manufacturing method for liquid droplet discharging head
JP2006347036A (en) * 2005-06-17 2006-12-28 Brother Ind Ltd Inkjet printer head and its manufacturing method

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8579420B2 (en) 2010-03-16 2013-11-12 Panasonic Corporation Ink-jet apparatus
US8646878B2 (en) 2011-01-14 2014-02-11 Panasonic Corporation Ink-jet head
JP2015044362A (en) * 2013-08-28 2015-03-12 エスアイアイ・プリンテック株式会社 Liquid jet head and liquid jet device
WO2016067880A1 (en) * 2014-10-31 2016-05-06 京セラ株式会社 Inkjet head and printer
JPWO2016067880A1 (en) * 2014-10-31 2017-08-03 京セラ株式会社 Inkjet head and printer
US10155387B2 (en) 2014-10-31 2018-12-18 Kyocera Corporation Inkjet head and printer
US10442188B2 (en) 2016-02-10 2019-10-15 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
US9962934B2 (en) 2016-03-28 2018-05-08 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head, liquid ejecting head unit, liquid ejecting apparatus, and method for manufacturing liquid ejecting head unit
JP2019177588A (en) * 2018-03-30 2019-10-17 ブラザー工業株式会社 Liquid discharge device
JP7031443B2 (en) 2018-03-30 2022-03-08 ブラザー工業株式会社 Liquid discharge device
KR20210157609A (en) * 2020-06-22 2021-12-29 아머스 주식회사 Leak sensor using fluoride polymer
KR102452078B1 (en) 2020-06-22 2022-10-07 아머스 주식회사 Component detecting type leak sensor using fluoride polymer

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