JP2009124835A - 半導体装置、および静電アクチュエータの制御方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】静電アクチュエータの消費電力を削減しつつ動作速度を改善させ、併せて信頼性を向上させることができる半導体装置、および静電アクチュエータの制御方法を提供する。
【解決手段】静電アクチュエータ10が開状態から閉状態へと遷移するときにその静電容量が増加し、電圧生成回路40によって印加している動作電圧VACTが一時的に降下することを集積回路部20の制御回路30で検知する。動作電圧VACTの一時的な降下を検知したら、電源生成回路40によって印加している電圧をホールド電圧VHOLDに切り替える。これにより、静電アクチュエータ10の消費電力は抑えられ、動作速度は改善されるため信頼性が向上する。
【選択図】図1
【解決手段】静電アクチュエータ10が開状態から閉状態へと遷移するときにその静電容量が増加し、電圧生成回路40によって印加している動作電圧VACTが一時的に降下することを集積回路部20の制御回路30で検知する。動作電圧VACTの一時的な降下を検知したら、電源生成回路40によって印加している電圧をホールド電圧VHOLDに切り替える。これにより、静電アクチュエータ10の消費電力は抑えられ、動作速度は改善されるため信頼性が向上する。
【選択図】図1
Description
この発明は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を用いた静電アクチュエータを制御する半導体装置、および静電アクチュエータの制御方法に関する。
近年の電子機器の小型・軽量化、低消費電力化、高機能化を実現するための技術の1つとして、MEMSが注目されている。このMEMSは、シリコンプロセス技術により、微小な機械的要素と電子回路要素とを融合したシステムである。
このようなMEMS技術を用いた静電型アクチュエータの構造は、例えば特許文献1に開示されている。静電アクチュエータを閉状態(上部電極と下部電極が、絶縁膜を介して接触した状態)にするには、上部電極と下部電極との間に電位差をかけ、これら電極間の静電引力が、上部電極が固着された可動部の弾性力を上回るようにする。
このように閉状態の静電アクチュエータでは、上部電極と下部電極が絶縁膜を介して接した状態となり、上部電極と下部電極との間の静電容量は、開状態の場合よりも大きくなる。この際、FN(Fowler−Nordheim)トンネルもしくはプール・フレンケル機構により絶縁膜に電荷が注入されトラップされ得る。この現象を、静電型アクチュエータのダイエレクトリック・チャージングという。
そして、ダイエレクトリック・チャージングにより絶縁膜にトラップされた電荷量がある値以上になると、上部電極と下部電極との間の電位差を0Vとしても、絶縁膜中の電荷に上部電極が引き寄せられ、静電アクチュエータを閉状態から開状態にできなくなる。この現象を、ダイエレクトリック・チャージングによるスティクションという。
こうしたスティクションを回避するための手段は、例えば非特許文献1にも記載されているが、絶縁膜中にトラップされる電荷量を完全になくし、スティクションを完全に排除することは困難である。通常、静電アクチュエータを閉状態にするためには上部電極と下部電極との間に所定の電圧を所定時間印加することが行われているが、この印加電圧は、静電アクチュエータの製造時のバラつきを考慮して十分に余裕のあるように高い電圧とする必要がある。
また、同様にこの印加電圧の印加時間も十分に余裕のあるように長くすることが必要である。上述したダイエレクトリック・チャージングの進行は、印加電圧が高い程、また電圧印加時間が長い程速くなる。そこで、静電アクチュエータを閉状態にするために必要な最低限の電圧を最低限の印加時間だけ印加して、消費電力を削減しつつ動作速度を改善させ、併せて信頼性を向上させることができる半導体装置が望まれている。
米国特許第5578976号明細書
G.M.Rebeiz,"RF MEMS Theory,Design,and Technology,"Wiley−Interscience,2003,pp,190−191.
本発明は、静電アクチュエータを閉状態にするために必要な最低限の電圧を最低限の印加時間だけ印加して、消費電力を削減しつつ動作速度を改善させ、併せて信頼性を向上させることができる半導体装置、および静電アクチュエータの制御方法を提供するものである。
本発明の一態様に係る半導体装置は、開状態から静電引力により弾性力に抗して閉状態になったときに近接可能に形成された第1電極と第2電極とを持つ静電アクチュエータを制御する半導体装置であって、前記第1および第2電極に対して印加する各種の印加電圧を発生させる電圧発生部と、前記電圧発生部を制御して前記印加電圧を切り替えさせる制御部と、前記第1または第2電極の電圧もしくは該電圧の変化速度を検知する検知部とを備え、前記制御部は、前記検知部の検知出力にしたがって、前記電圧発生部の目標電圧を第1電圧からこれよりも低い第2電圧に切り替える制御を行うことを特徴とする。
本発明の他の態様に係る半導体装置は、開状態から静電引力により弾性力に抗して閉状態となったときに近接可能に形成された第1および第2電極とを持つ静電アクチュエータを制御する半導体装置であって、前記第1および第2電極に対して印加する各種の印加電圧を発生させる電圧発生部と、前記電圧発生部を制御して前記印加電圧を切り替えさせる制御部と、前記第1または第2電極の電圧もしくは該電圧の変化速度を検知する検知部とを備え、前記制御部は、前記検知部によって、前記第1または第2電極の電圧の上昇速度が所定速度以下となったことが検知されたときに、前記電圧発生部の目標電圧を第1電圧からこれよりも低い第2電圧に切り替える制御を行うことを特徴とする。
本発明の一態様に係る静電アクチュエータの制御方法は、開状態から静電引力により弾性力に抗して閉状態になったときに近接可能に形成された第1電極と第2電極とを持つ静電アクチュエータの制御方法において、前記第1および第2電極に対して印加する各種の印加電圧を発生させる第1ステップと、前記第1ステップにより発生された前記印加電圧を前記第1および第2電極に印加する第2ステップと、前記第1または第2電極の電圧もしくは該電圧の変化速度を検知する第3ステップと、前記第3ステップの検知出力にしたがって、前記第1ステップにて発生させる目標電圧を第1電圧からこれよりも低い第2電圧に切り替える制御を行う第4ステップとを備えたことを特徴とする。
本発明の他の態様に係る静電アクチュエータの制御方法は、開状態から静電引力により弾性力に抗して閉状態になったときに近接可能に形成された第1電極と第2電極とを持つ静電アクチュエータの制御方法において、前記第1および第2電極に対して印加する各種の印加電圧を発生させる第1ステップと、前記第1ステップにより発生された前記印加電圧を前記第1および第2電極に印加する第2ステップと、前記第1または第2電極の電圧もしくは該電圧の変化速度を検知する第3ステップと、前記第3ステップによって、前記第1または第2電極の電圧の上昇速度が所定速度以下となったことが検知されたときに、前記第1ステップにて発生させる目標電圧を第1電圧からこれよりも低い第2電圧に切り替える制御を行う第4ステップとを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、静電アクチュエータを閉状態にするために必要な最低限の電圧を最低限の印加時間だけ印加して、消費電力を削減しつつ動作速度を改善させ、併せて信頼性を向上させることができる半導体装置、および静電アクチュエータの制御方法を提供することができる。
次に、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の全体構成を示す概略図である。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置の全体構成を示す概略図である。
この第1実施形態に係る半導体装置は、例えば図1に示すような静電型方式を採用する静電アクチュエータ10と、これを制御するための集積回路部20とからなる。静電アクチュエータ10は、公知の構造を有しており、第1実施形態は、集積回路部20の動作に特徴を有している。なお、静電アクチュエータ10と集積回路部20とは、1つのシリコン基板上に形成されていてもよいし、それぞれ別のシリコン基板上に形成されるものであってもよい。
まず、図1を参照して、静電アクチュエータ10の構造を説明する。図1(A)は、静電アクチュエータ10の閉状態(上部電極14と下部電極15が、絶縁膜16を介して接触した状態)を示しており、同図(B)は、開状態(上部電極14と下部電極15が離れた状態)を示している。
図1に示すように、この静電アクチュエータ10は、図示しない基板(シリコン基板など)に固定された梁部11と、この梁部11に対し可動とされた可動部12と、この梁部11に対し固定された固定部13と、可動部12に固定された上部電極14と、固定部13に固定された下部電極15と、この下部電極15の表面に形成された絶縁膜16とを備えている。上部電極14および下部電極15は、集積回路部20により、動作のために必要な電圧(印加電圧)の供給を受ける。
このように構成された静電アクチュエータ10を開状態から閉状態にするには、上部電極14と下部電極15との間に意図する電圧(目標電圧)である動作電圧VACTをかけ、これら電極14,15間の静電引力が、上部電極14が固着された可動部12の弾性力を上回るようにする。閉状態の静電アクチュエータ10では、上部電極14と下部電極15とが絶縁膜16を介して接した状態となり、図2(A)に示すように、両電極14,15間の静電容量Cmon=Ccloseは、図2(B)に示すような開状態の場合における静電容量Cmon=Copenよりも大きくなる。
このような閉状態において、FNトンネルもしくはプール・フレンケル機構により絶縁膜16に電荷が注入されトラップされ得る(ダイエレクトリック・チャージング)。そして、ダイエレクトリック・チャージングにより絶縁膜16にトラップされた電荷の量が十分に大きくなると、上部電極14と下部電極15との間の電位差を0Vとしても、絶縁膜16中の電荷に上部電極14が引き寄せられ、閉状態から開状態にできなくなる(スティクション)。
こうした特性の静電アクチュエータ10を開状態から閉状態へと遷移させるときに、上部電極14と下部電極15との間に印加される電圧(被印加電圧)の波形は、例えば理論上は図3に示すようなものとなる。ここでは、上部電極14および下部電極15の一方が接地され、他方に動作電圧VACTを印加することとする。開状態から動作電圧VACTの印加を開始すると、被印加電圧の波形は0Vから急激に立ち上がって時刻t1のときに動作電圧VACTに達する。
このとき、時刻t1から時刻t2までの一定の印加期間tASにおいて動作電圧VACTを印加し続けた結果、静電アクチュエータ10が閉状態に遷移した後は、例えば時刻t2以降に動作電圧VACTよりも多少低い電圧のホールド電圧VHOLDへと印加電圧を下げて時刻t3の時点に達したとしても、静電アクチュエータ10は再び開状態とはならず、閉状態を維持する。
しかし、静電アクチュエータ10の製造上のバラつきなどを考慮すれば、動作電圧VACTの電圧値をある程度マージンをもって高くするとともに、印加時間tASもある程度長くせざるを得ない。このため、静電アクチュエータ10に対して必要以上の電圧が必要以上の時間印加されることになり、静電アクチュエータ10の信頼性を確保する観点からは好ましくない。
ここで、静電アクチュエータ10が開状態から閉状態へと遷移するときに実際に上部電極14に印加されている被印加電圧の波形は、例えば図4に示すようなものとなる。この場合の被印加電圧の波形は、動作電圧VACTの印加を開始すると、時刻t1のときに動作電圧VACTに達するが、その後時刻tpiのときに被印加電圧が動作電圧VACTから一旦下がり、時刻t2にかけて再び動作電圧VACTに戻るようなものとなる。
時刻tpiのときに被印加電圧が下がるのは、静電アクチュエータ10が開状態から閉状態へと遷移したときに静電アクチュエータ10の静電容量が大きくなって(増加して)、印加電圧を印加している電源回路等の出力抵抗が有限であることに起因する。しかし、実際には静電アクチュエータ10が閉状態となっているにもかかわらず、時刻tpiから時刻t2まで動作電圧VACTを印加し続けていることは消費電力を増やしていることに他ならない。
したがって、第1実施形態の半導体装置では、静電アクチュエータ10が開状態から閉状態へと遷移するときにその静電容量が増加し、印加されている動作電圧VACTが一時的に降下することを後述する集積回路部20の制御回路で検知する。そして、動作電圧VACTの一時的な降下を検知したら、印加電圧をホールド電圧VHOLDに切り替えることによって、消費電力を抑えつつ動作速度を改善させ、静電アクチュエータ10の信頼性を向上させるようにしている。
このような制御により静電アクチュエータ10に印加される電圧の波形は、例えば図5に示すようなものとなる。まず、開状態の静電アクチュエータ10に対して印加電圧を0Vから上昇させ、時刻t1の前後で動作電圧VACTまで上昇させる。すると、上部電極14に印加された被印加電圧が動作電圧VACTに達した後に、ある時刻tpiにおいて静電アクチュエータ10が開状態から閉状態へと遷移してその静電容量が増加し、これにより被印加電圧が動作電圧VACTから一時的に降下する。
このとき既に静電アクチュエータ10は閉状態となっているため、時刻tpi以降に図5中破線で示すような動作電圧VACTを上部電極14に印加することなく、そのままホールド電圧VHOLDに切り替える(実線)。これにより、図4に示した場合と比較して、動作電圧VACTを印加する時間を短くすることができるので、消費電力を効果的に削減することができる。
また、静電アクチュエータ10への印加電圧が動作電圧VACTに達する前に閉状態へと遷移した場合に印加される被印加電圧の波形は、例えば図6Aに示すようなものとなる。まず、開状態の静電アクチュエータ10に対して印加する印加電圧を0Vから動作電圧VACTに上昇させると、時刻t1よりも前の時刻taの時点で静電アクチュエータ10が開状態から閉状態へと遷移してその静電容量が増加し、上部電極14の被印加電圧は動作電圧VACTに達する前に一時的に降下する。
このとき既に静電アクチュエータ10は閉状態となっているため、時刻ta以降に図6A中破線で示すように動作電圧VACTを印加電圧として印加することなく、そのまま印加電圧をホールド電圧VHOLDに切り替える。これにより、図4に示した場合と比較して、電圧を印加する時間を短くすることができるので、消費電力を効果的に削減することができる。
このような制御を行うことにより、第1実施形態の半導体装置では、静電アクチュエータ10が開状態から閉状態へと遷移するのに必要な最低限の電圧を最低限の期間だけ印加するだけで、静電アクチュエータ10を閉状態にすることができるので、消費電力を削減して信頼性を向上させることができる。
図6Bは、第1実施形態の半導体装置における集積回路部20の構成例を示す図である。この集積回路部20は、遅延素子21と、検知部23を構成するコンパレータ25と、制御回路30と、電圧生成回路40とを備えている。電圧生成回路40は、静電アクチュエータ10に印加する印加電圧として、動作電圧VACTおよびホールド電圧VHOLDを生成する。
この電圧生成回路40からの印加電圧は、検知部23のコンパレータ25のマイナス側入力端子に接続されるとともに、遅延素子21を介してプラス側入力端子に接続され、コンパレータ25により比較される。電圧生成回路40によって静電アクチュエータ10に印加されている印加電圧が降下した場合は、コンパレータ25の出力は正となり、この信号を制御回路30は遷移完了信号として認識し、電圧生成回路40に対して動作電圧VACTからホールド電圧VHOLDに印加電圧を切り替えさせる切替信号を出力する。
図6Cは、第1実施形態の半導体装置における集積回路部20の一部の他の構成例を示す図である。また、図6Dは、第1実施形態の半導体装置における集積回路部20の一部のさらに他の構成例を示す図である。なお、以降において、既に説明した部分と重複する箇所には同一の符号を付して、特に明記する以外は説明を省略する。図6Cおよび図6Dに示す集積回路部20は、ノイズ等の影響で静電アクチュエータ10が閉状態へと遷移しなくとも印加電圧が短期的に降下する場合を考慮したものである。
具体的には、この集積回路部20は、電圧生成回路40からの印加電圧にオフセット電圧24を加えたものが検知部23のコンパレータ25のマイナス側入力端子に接続されるとともに、電圧生成回路40からの印加電圧が遅延素子21を介してプラス側入力端子に接続されている点が先の例と相違している。
また、図6Dに示すように、集積回路部20は、電圧生成回路40からの印加電圧にオフセット電圧24を加えたものが検知部23のコンパレータ25のマイナス側入力端子に接続されるとともに、電圧生成回路40からの印加電圧がサンプル・ホールド回路22を介してプラス側入力端子に接続されるように構成されてもよい。
このように、検知部23のコンパレータ25がオフセット電圧24を有するように構成すれば、ノイズ等の影響を極力低減することができる。なお、図示は省略するが、ノイズ等の影響対策としては、印加電圧に上記オフセット電圧24を加える代わりに、ヒステリシスを持つコンパレータを用いてもよいし、これらを組み合わせても好適である。
[第2実施形態]
上述した第1実施形態に係る半導体装置は、静電アクチュエータ10に対する被印加電圧の一時的な降下を検知して、印加電圧を切り替える点を特徴としたが、本発明の第2実施形態に係る半導体装置は、次のような点を特徴としている。すなわち、第2実施形態に係る半導体装置は、静電アクチュエータ10に対する被印加電圧の上昇速度の変化を検知して、印加電圧を切り替える。例えば、上部電極14および下部電極15の開閉速度が比較的遅いタイプの静電アクチュエータ10では、これらの電極14,15を開状態から閉状態へと遷移するためにある程度以上の時間が必要である。そして、上部電極14に印加される被印加電圧の波形は、例えば図7に示すようなものとなる。すなわち、開状態から動作電圧VACTの印加を開始すると、被印加電圧の波形は0Vから急激に立ち上がって時刻t1aのときにその上昇速度が一旦緩やかになり、そのままの緩やかな上昇速度で時刻t1のときに動作電圧VACTに達する。
上述した第1実施形態に係る半導体装置は、静電アクチュエータ10に対する被印加電圧の一時的な降下を検知して、印加電圧を切り替える点を特徴としたが、本発明の第2実施形態に係る半導体装置は、次のような点を特徴としている。すなわち、第2実施形態に係る半導体装置は、静電アクチュエータ10に対する被印加電圧の上昇速度の変化を検知して、印加電圧を切り替える。例えば、上部電極14および下部電極15の開閉速度が比較的遅いタイプの静電アクチュエータ10では、これらの電極14,15を開状態から閉状態へと遷移するためにある程度以上の時間が必要である。そして、上部電極14に印加される被印加電圧の波形は、例えば図7に示すようなものとなる。すなわち、開状態から動作電圧VACTの印加を開始すると、被印加電圧の波形は0Vから急激に立ち上がって時刻t1aのときにその上昇速度が一旦緩やかになり、そのままの緩やかな上昇速度で時刻t1のときに動作電圧VACTに達する。
そして、図4に示したように、時刻t1から時刻t2までの一定の印加期間tASにかけて被印加電圧が動作電圧VACTから一旦下がることなく、静電アクチュエータ10は閉状態に遷移する。そして、例えば時刻t2を過ぎるたときにホールド電圧VHOLDへと印加電圧を下げて時刻t3の時点に達したとしても再び開状態とはならず、閉状態を維持する。このような場合は、時刻t1よりも前の被印加電圧の上昇速度が緩やかとなった時点(時刻t1a:図7参照)で静電アクチュエータ10は閉状態へ遷移してその静電容量が増加する。
このため、第2実施形態の半導体装置では、図8Aに示すように、この上昇速度が緩やかとなった時刻t1a直後の時刻tbにて、印加電圧を動作電圧VACTからホールド電圧VHOLDに切り替えることによって、消費電力を抑えて静電アクチュエータ10の信頼性を向上させるようにしている。
図8Bは、第2実施形態の半導体装置における集積回路部20の構成例を示す図である。この集積回路部20においては、電圧生成回路40からの印加電圧は、検知部23のコンパレータ25のマイナス側入力端子に接続されるとともに、遅延素子21およびオフセット電圧24を介してプラス側入力端子に接続され、コンパレータ25により比較される。
このコンパレータ25により、電圧生成回路40によって生成され静電アクチュエータ10に印加されている被印加電圧の上昇速度が緩やかになったタイミングを判別することができる。このため、このタイミングを遷移完了信号として制御回路30が認識し、電圧生成回路40に対して切替信号を出力して動作電圧VACTからホールド電圧VHOLDに印加電圧を切り替えさせればよい。なお、このような構成によれば、遅延素子21の遅延時間とオフセット電圧24のオフセット時間により所望の電圧の上昇速度を検知可能に設定することができる。
図8Cは、第2実施形態の半導体装置における集積回路部20の一部の他の構成例を示す図である。また、図8Dは、第2実施形態の半導体装置における集積回路部20の一部のさらに他の構成例を示す図である。図8Cに示すように、この集積回路部20は、図8Bに示した例における遅延素子21をサンプル・ホールド回路22に代えた構成となっている。
一方、図8Dに示す集積回路部20は、ノイズ等の影響により短期的に被印加電圧の上昇速度が緩やかになる可能性がある場合を考慮したものである。この集積回路部20では、例えばサンプリング時間が早いサンプル・ホールド回路22aと、サンプリング時間がサンプル・ホールド回路22aよりも遅いサンプル・ホールド回路22bとを用い、検知部23においてオフセット電圧24a,24b、コンパレータ25a,25bおよびANDゲート26を採用している。
そして、サンプル・ホールド回路22aの出力にオフセット電圧24aを加えたものと被印加電圧とのコンパレータ25aによる比較結果と、サンプル・ホールド回路22aの出力とサンプル・ホールド回路22bの出力にオフセット電圧24bを加えたものとのコンパレータ25bによる比較結果との論理積信号をANDゲート26から出力することによって、静電アクチュエータ10が閉状態へと遷移したタイミングを検知する。
このタイミングでのANDゲート26からの遷移完了信号を制御回路30が認識するようにすれば、ノイズ等の影響を極力低減することができる。なお、第1実施形態の場合と同様に、ノイズ等の影響対策としては、コンパレータ25,25a,25bにヒステリシスを持たせるようにしたり、これらとオフセット電圧24,24a,24bとを組み合わせたりしてもよい。
[第3実施形態]
上述した第2実施形態に係る半導体装置は、静電アクチュエータ10に対する被印加電圧の上昇速度の変化を検知して、印加電圧を切り替える点を特徴としたが、本発明の第3実施形態に係る半導体装置は、次のような点を特徴としている。すなわち、第3実施形態に係る半導体装置は、静電アクチュエータ10に対する被印加電圧の一時的な降下と、この被印加電圧の上昇速度の変化とを検知して、印加電圧を切り替える。例えば、静電アクチュエータ10に印加する印加電圧が変動しやすい状態(不安定な状態)のときは、静電アクチュエータ10に印加されている被印加電圧の波形は動作電圧VACTに達した後に一旦降下し、その後緩やかに上昇するような波形となり、例えば図9Aに示すようなものとなる。すなわち、開状態から動作電圧VACTの印加を開始すると、上部電極14に印加される被印加電圧の波形は0Vから急激に立ち上がって時刻t1aaのときにその上昇速度が一旦緩やかになり、さらに緩やかになりつつ時刻t1のときに動作電圧VACTに達する。
上述した第2実施形態に係る半導体装置は、静電アクチュエータ10に対する被印加電圧の上昇速度の変化を検知して、印加電圧を切り替える点を特徴としたが、本発明の第3実施形態に係る半導体装置は、次のような点を特徴としている。すなわち、第3実施形態に係る半導体装置は、静電アクチュエータ10に対する被印加電圧の一時的な降下と、この被印加電圧の上昇速度の変化とを検知して、印加電圧を切り替える。例えば、静電アクチュエータ10に印加する印加電圧が変動しやすい状態(不安定な状態)のときは、静電アクチュエータ10に印加されている被印加電圧の波形は動作電圧VACTに達した後に一旦降下し、その後緩やかに上昇するような波形となり、例えば図9Aに示すようなものとなる。すなわち、開状態から動作電圧VACTの印加を開始すると、上部電極14に印加される被印加電圧の波形は0Vから急激に立ち上がって時刻t1aaのときにその上昇速度が一旦緩やかになり、さらに緩やかになりつつ時刻t1のときに動作電圧VACTに達する。
そして、時刻t1を過ぎてある時刻tpiの時点で静電アクチュエータ10が開状態から閉状態へと遷移してその静電容量が増加し、これにより被印加電圧が動作電圧VACTから一時的に降下する。しかし、静電アクチュエータ10に対しては動作電圧VACTを印加し続けているため、時刻tpiを過ぎた後に被印加電圧は再度緩やかに上昇する。このとき既に静電アクチュエータ10は閉状態となっているため、時刻tpiの直後の時刻t1b以降に図9A中破線で示すような動作電圧VACTを印加電圧として印加することなく、そのままホールド電圧VHOLDに切り替える。
これにより、静電アクチュエータ10に印加する印加電圧が例えば昇圧回路にて生成されて揺らぐなど不安定な状態であったり、リップルが生じたりしている場合であっても、この揺らぎやリップルを閉状態への遷移と認識することはない。そして、実際に静電アクチュエータ10が閉状態へと遷移したタイミングを正確に認識し、印加電圧を動作電圧VACTからホールド電圧VHOLDに切り替えることができる。
図9Bは、第3実施形態の半導体装置における集積回路部20の構成例を示す図である。この集積回路部20では、例えば被印加電圧が一旦降下したことを検知するために上記第1実施形態において図6Cに示した構成のものを用い、被印加電圧の上昇速度が緩やかになったことを検知するために上記第2実施形態において図8Bに示した構成のものを用いればよい。
具体的には、集積回路部20では、印加電圧にオフセット電圧24aを加えたものを検知部23aのコンパレータ25aのマイナス側入力端子に接続するとともに、遅延素子21aを通した印加電圧をコンパレータ25aのプラス側入力端子に接続する。そして、このコンパレータ25aの出力をインバータ27を介してRSフリップフロップ(以下、「RS−FF」と略記する。)29にてラッチしておく。
一方、印加電圧を検知部23bのコンパレータ25bのマイナス側入力端子に接続するとともに、印加電圧に遅延素子21bを通してオフセット電圧24bを加えたものをコンパレータ25bのプラス側入力端子に接続する。このコンパレータ25bの出力とRS−FF29のラッチデータとをNANDゲート28に入力させる。ここで、RS−FF29のラッチデータは被印加電圧が降下したことを示す信号であり、コンパレータ25bの出力は、被印加電圧の上昇速度が緩やかになったかどうかを示す信号である。したがって、コンパレータ25bの出力とRS−FF29のラッチデータをNANDゲート28に入力させることにより、被印加電圧が一旦降下した後に再び緩やかに上昇したか否かを示す遷移完了信号を得ることができる。こうして得られた遷移完了信号に基づき、制御回路30によって電圧生成回路40の印加電圧を切り替えさせればよい。
[第4実施形態]
次に、本発明の第4実施形態に係る半導体装置について説明する。図10は、第4実施形態の半導体装置における集積回路部20の構成例を示す図である。この第4実施形態の半導体装置における集積回路部20は、上記第1実施形態において図6Bに示した構成のものに、平滑化容量としてキャパシタ19を追加し、静電アクチュエータ10の上部電極14および下部電極15と並列に接続配置した点が相違している。
次に、本発明の第4実施形態に係る半導体装置について説明する。図10は、第4実施形態の半導体装置における集積回路部20の構成例を示す図である。この第4実施形態の半導体装置における集積回路部20は、上記第1実施形態において図6Bに示した構成のものに、平滑化容量としてキャパシタ19を追加し、静電アクチュエータ10の上部電極14および下部電極15と並列に接続配置した点が相違している。
このキャパシタ19は、電圧生成回路40と静電アクチュエータ10との間に上述したように並列に接続され、例えばその容量は静電アクチュエータ10の開状態と閉状態との容量の差の20倍未満に設定されている。このように容量が設定されることにより、静電アクチュエータ10が閉状態へと遷移したときの被印加電圧の電圧降下の大きさを実際に印加されている印加電圧の5%程度に抑えることができる。また、閉状態へと遷移した後の被印加電圧の上昇速度を5%程度遅くすることができる。
このように集積回路部20を構成することによって、静電アクチュエータ10が閉状態へと遷移したときの上部電極14に印加される被印加電圧に対する影響がキャパシタ19の容量で弱められ、印加電圧の切り替えに関する各種状態を検知することができなくなることを防止することができる。なお、電圧生成回路40によってホールド電圧VHOLDが印加されている場合に接続されるキャパシタ19の平滑化容量は、静電アクチュエータ10の省電力化や動作速度改善などに影響を及ぼさないため、必ずしも上記20倍未満と設定する必要はない。
[第5実施形態]
次に、本発明の第5実施形態に係る半導体装置について説明する。図11は、第5実施形態の半導体装置の回路構成の例を示す図である。この第5実施形態の半導体装置は、複数の静電アクチュエータ10a〜10n(nは任意の整数、以下同じ)およびキャパシタ19a〜19nと、動作電圧VACTを出力する昇圧回路からなる1つの電圧生成回路40aと、ホールド電圧VHOLDを出力する昇圧回路からなる1つの電圧生成回路40bとを備えている。
次に、本発明の第5実施形態に係る半導体装置について説明する。図11は、第5実施形態の半導体装置の回路構成の例を示す図である。この第5実施形態の半導体装置は、複数の静電アクチュエータ10a〜10n(nは任意の整数、以下同じ)およびキャパシタ19a〜19nと、動作電圧VACTを出力する昇圧回路からなる1つの電圧生成回路40aと、ホールド電圧VHOLDを出力する昇圧回路からなる1つの電圧生成回路40bとを備えている。
各静電アクチュエータ10a〜10nおよびキャパシタ19a〜19nは、それぞれスイッチSWa〜SWnを介して電圧生成回路40a,40bと接続されている。各静電アクチュエータ10a〜10nが閉状態へと遷移したことを検知する複数の検知回路20a〜20nは、上記第1実施形態において図6Dに示したように、サンプル・ホールド回路22a〜22nと、オフセット電圧24a〜24nと、コンパレータ25a〜25nとを備え、各オフセット電圧24a〜24nおよびコンパレータ25a〜25nによって検知部23a〜23nが構成されている。
このように構成された半導体装置では、各検知回路20a〜20nの検知部23a〜23nからの遷移完了信号が制御回路30に入力され、この制御回路30によって対応するスイッチSWa〜SWnを切り替えて、各静電アクチュエータ10a〜10nが閉状態へと遷移したタイミングで動作電圧VACTをホールド電圧VHOLDに切り替える制御が行われる。
これにより、各静電アクチュエータ10a〜10nに印加する印加電圧(動作電圧VACT)を最低限に抑えることができるとともに、その印加時間も最低限に止めることができるので、消費電力を削減して信頼性を向上させることができる。
[第6実施形態]
次に、本発明の第6実施形態に係る半導体装置について説明する。図12は、第6実施形態の半導体装置の回路構成の例を示す図である。この第6実施形態の半導体装置は、複数の静電アクチュエータ10a〜10nおよびキャパシタ19a〜19nと、動作電圧VACTを出力する昇圧回路からなる1つの電圧生成回路40aと、ホールド電圧VHOLDを出力する昇圧回路からなる電圧生成回路40bとを備えている点は、上記第5実施形態の半導体装置と同様であるが、各静電アクチュエータ10a〜10nおよびキャパシタ19a〜19nが、1つのスイッチSWaを介して電圧生成回路40a,40bと接続されている点が相違している。
次に、本発明の第6実施形態に係る半導体装置について説明する。図12は、第6実施形態の半導体装置の回路構成の例を示す図である。この第6実施形態の半導体装置は、複数の静電アクチュエータ10a〜10nおよびキャパシタ19a〜19nと、動作電圧VACTを出力する昇圧回路からなる1つの電圧生成回路40aと、ホールド電圧VHOLDを出力する昇圧回路からなる電圧生成回路40bとを備えている点は、上記第5実施形態の半導体装置と同様であるが、各静電アクチュエータ10a〜10nおよびキャパシタ19a〜19nが、1つのスイッチSWaを介して電圧生成回路40a,40bと接続されている点が相違している。
このように構成すれば、第5実施形態の構成と比較して、集積回路部20におけるスイッチの個数や面積を減らすことができ、装置の小型化を図ることができる。なお、各静電アクチュエータ10a〜10nが閉状態へと遷移したことを検知する集積回路部20は、上記第3実施形態において図9Bに示したように、遅延素子21a,21bと、オフセット電圧24a,24bと、コンパレータ25a,25bと、インバータ27と、NANDゲート28と、RS−FF29とをそれぞれ備え、各オフセット電圧24a,24bおよびコンパレータ25a,25bによって検知部23a,23bが構成されている。
このように構成された半導体装置では、スイッチSWaを電圧生成回路40aに接続して各静電アクチュエータ10a〜10nに対して動作電圧VACTを印加し、各NANDゲート28からの遷移完了信号がすべての静電アクチュエータ10a〜10nが閉状態へと遷移したことを示すときに制御回路30によってSWaを電圧生成回路40bに切り替えて、各静電アクチュエータ10a〜10nにホールド電圧VHOLDを印加するようにすればよい。
なお、このとき、動作電圧VACTを生成する電圧生成回路40aに接続されるキャパシタ19a〜19nの容量は、上述したように静電アクチュエータ10a〜10nの開状態と閉状態との静電容量の差の20倍未満に設定されればよい。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。
10,10a〜10n…静電アクチュエータ、11…梁部、12…可動部、13…固定部、14…上部電極、15…下部電極、16…絶縁膜、19,19a〜19n…キャパシタ、20…集積回路部、20a〜20n…検知回路、21,21a,21b…遅延素子、22,22a〜22n…サンプル・ホールド回路、23,23a〜23n…検知部、24,24a〜24n…オフセット電圧、25,25a〜25n…コンパレータ、26…ANDゲート、27…インバータ、28…NANDゲート、29…RSフリップフロップ、30…制御回路、40,40a,40b…電圧生成回路。
Claims (5)
- 開状態から静電引力により弾性力に抗して閉状態になったときに近接可能に形成された第1電極と第2電極とを持つ静電アクチュエータを制御する半導体装置であって、
前記第1および第2電極に対して印加する各種の印加電圧を発生させる電圧発生部と、
前記電圧発生部を制御して前記印加電圧を切り替えさせる制御部と、
前記第1または第2電極の電圧もしくは該電圧の変化速度を検知する検知部と
を備え、
前記制御部は、
前記検知部の検知出力にしたがって、前記電圧発生部の目標電圧を第1電圧からこれよりも低い第2電圧に切り替える制御を行う
ことを特徴とする半導体装置。 - 開状態から静電引力により弾性力に抗して閉状態になったときに近接可能に形成された第1電極と第2電極とを持つ静電アクチュエータを制御する半導体装置であって、
前記第1および第2電極に対して印加する各種の印加電圧を発生させる電圧発生部と、
前記電圧発生部を制御して前記印加電圧を切り替えさせる制御部と、
前記第1または第2電極の電圧もしくは該電圧の変化速度を検知する検知部と
を備え、
前記制御部は、
前記検知部によって、前記第1または第2電極の電圧の上昇速度が所定速度以下となったことが検知されたときに、前記電圧発生部の目標電圧を第1電圧からこれよりも低い第2電圧に切り替える制御を行う
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1および第2電極と並列に接続配置された平滑化容量素子をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置。
- 開状態から静電引力により弾性力に抗して閉状態になったときに近接可能に形成された第1電極と第2電極とを持つ静電アクチュエータの制御方法において、
前記第1および第2電極に対して印加する各種の印加電圧を発生させる第1ステップと、
前記第1ステップにより発生された前記印加電圧を前記第1および第2電極に印加する第2ステップと、
前記第1または第2電極の電圧もしくは該電圧の変化速度を検知する第3ステップと、
前記第3ステップの検知出力にしたがって、前記第1ステップにて発生させる目標電圧を第1電圧からこれよりも低い第2電圧に切り替える制御を行う第4ステップと
を備えたことを特徴とする静電アクチュエータの制御方法。 - 開状態から静電引力により弾性力に抗して閉状態になったときに近接可能に形成された第1電極と第2電極とを持つ静電アクチュエータの制御方法において、
前記第1および第2電極に対して印加する各種の印加電圧を発生させる第1ステップと、
前記第1ステップにより発生された前記印加電圧を前記第1および第2電極に印加する第2ステップと、
前記第1または第2電極の電圧もしくは該電圧の変化速度を検知する第3ステップと、
前記第3ステップによって、前記第1または第2電極の電圧の上昇速度が所定速度以下となったことが検知されたときに、前記第1ステップにて発生させる目標電圧を第1電圧からこれよりも低い第2電圧に切り替える制御を行う第4ステップと
を備えたことを特徴とする静電アクチュエータの制御方法。
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