JP2009122549A - Photosensitive resin composition, spacer and method for forming the same, and liquid crystal display element - Google Patents

Photosensitive resin composition, spacer and method for forming the same, and liquid crystal display element Download PDF

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秀之 中村
Kyohei Mochizuki
喬平 望月
Yuichi Fukushige
裕一 福重
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve sensitivity (shape under low exposure energy and controllability of film thickness), preservability in a liquid state and the temporal stability of a photosensitive film after film formation. <P>SOLUTION: A photosensitive resin composition contains a resin having, in a side chain, a group having a branched and/or alicyclic structure, an acidic group and a group having an ethylenically unsaturated bond bonded to a main chain via an ester group, a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, and a specific benzoyloxime-based photopolymerization initiator having a carbazole group. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、スペーサ及びその形成方法、並びに液晶表示素子に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a spacer, a method for forming the same, and a liquid crystal display element.

近年、液晶表示装置の大面積化や生産性の向上等からマザーガラス基板の大型化が進んでいる。従来の基板サイズ(680×880mm程度)では、マスクサイズよりも基板サイズが小さいことから、一括露光方式で対応が可能であった。ところが、近年の装置の大型化に伴ない、大型基板(例えば1,500×1,800mm程度)の需要が増加しているが、このような基板サイズと同程度のマスクサイズを準備することはほぼ不可能であり、一括露光方式での対応は難しい。   In recent years, an increase in the size of a mother glass substrate has been promoted due to an increase in the area of liquid crystal display devices and an improvement in productivity. With a conventional substrate size (about 680 × 880 mm), since the substrate size is smaller than the mask size, it was possible to cope with the batch exposure method. However, with the recent increase in the size of the apparatus, the demand for large substrates (for example, about 1,500 × 1,800 mm) is increasing. However, preparing a mask size comparable to such a substrate size is not possible. It is almost impossible, and it is difficult to deal with the batch exposure method.

そこで、大型基板対応露光方式として、ステップ露光方式が提唱されている。
ところが、ステップ露光方式では、一枚の基板において複数回露光し、その度ごとに位置合せを行なうため、ステップ移動に要する時間が発生する。そのため、ステップ露光方式では、一括露光方式に比較して、スループット低減が危惧されている。また、一括露光方式では、3,000J/m程度でパターニング可能な露光感度で許容されていたが、ステップ露光方式では、1,500J/m以下で良好なパターニングが行なえる露光感度が求められている。しかしながら、既存の材料では、1,500J/m以下の露光量では良好なスペーサ形状及び膜厚を得ることは困難である。
Therefore, a step exposure method has been proposed as an exposure method for large substrates.
However, in the step exposure method, since a plurality of exposures are performed on a single substrate and alignment is performed each time, time required for step movement occurs. Therefore, in the step exposure method, there is a concern about a reduction in throughput as compared with the batch exposure method. Further, in the batch exposure method, the exposure sensitivity that allows patterning at about 3,000 J / m 2 is allowed, but in the step exposure method, an exposure sensitivity that allows good patterning at 1,500 J / m 2 or less is required. It has been. However, with existing materials, it is difficult to obtain a good spacer shape and film thickness with an exposure amount of 1,500 J / m 2 or less.

また、スペーサの形状、膜厚の制御性に関する要求値は、近年益々厳しくなってきており、スペーサを形成する際のプロセスの変動による形状、膜厚の変動、組成物溶液の経時変化に伴なう形状、膜厚の安定性に関しては改善の余地がある。特に、1,500J/m以下の露光量領域では、露光量に対するスペーサの形状、膜厚の制御性に課題がある。 In addition, the required values for the controllability of the spacer shape and film thickness have become increasingly severe in recent years, and accompanying changes in the shape and film thickness due to process variations during the formation of the spacer, and changes in the composition solution over time. There is room for improvement in the shape and stability of the film thickness. In particular, in the exposure amount region of 1,500 J / m 2 or less, there are problems in the controllability of the spacer shape and film thickness with respect to the exposure amount.

さらに、近年、液晶表示パネルの製造に使用される感光性の樹脂組成物は、保存期間中や使用中に組成物中の成分が結晶化する等して異物が発生し、装置を汚染する等の問題が深刻化しており、汚染の問題を低減できる感光性の樹脂組成物が望まれている。   Furthermore, in recent years, the photosensitive resin composition used in the production of liquid crystal display panels causes foreign matters to be generated due to crystallization of components in the composition during the storage period or during use, thereby contaminating the device. This problem has become serious, and a photosensitive resin composition that can reduce the problem of contamination is desired.

上記に対する技術として、エチレン性不飽和カルボン酸等とエチレン性不飽和化合物との共重合体及び特定の光重合開始剤を用いた感光性樹脂組成物が開示されている(例えば、特許文献1参照)。また、特定構造の脂肪族環状炭化水素基を有する構成単位と酸性官能基を有する構成単位とラジカル重合性基を有する構成単位とが連結した分子構造の脂肪族環状炭化水素基含有共重合体からなる硬化性樹脂が開示されている(例えば、特許文献2参照)。
特開2007−65607号公報 特開2002−293837号公報
As a technique against the above, a photosensitive resin composition using a copolymer of an ethylenically unsaturated carboxylic acid or the like and an ethylenically unsaturated compound and a specific photopolymerization initiator is disclosed (for example, see Patent Document 1). ). Further, from an aliphatic cyclic hydrocarbon group-containing copolymer having a molecular structure in which a structural unit having an aliphatic cyclic hydrocarbon group having a specific structure, a structural unit having an acidic functional group, and a structural unit having a radical polymerizable group are linked. A curable resin is disclosed (for example, see Patent Document 2).
JP 2007-65607 A Japanese Patent Laid-Open No. 2002-293737

上記前者の感光性樹脂組成物では、ある程度の露光感度は得られると推定されるものの、液保存性が悪いために、塗布液調製後は塗布液を冷下で保存しなければならないという取り扱い上の制約があり、これによるコストへの跳ね返りもあるばかりか、塗布後においても被塗物上に設けられた乾膜状態で経時でカブリを起こしてしまう等安定性の面でも課題がある。   In the former photosensitive resin composition, although it is estimated that a certain degree of exposure sensitivity can be obtained, since the liquid storage stability is poor, the coating liquid must be stored in the cold after preparation of the coating liquid. In addition to the rebound to the cost due to this, there is also a problem in terms of stability such as fogging with time in the dry film state provided on the object to be coated even after coating.

また、上記後者の脂肪族環状炭化水素基含有共重合体からなる硬化性樹脂では、必ずしも良好な形状等を得るための感度及び重合反応性が得られず、液保存性や成膜後の感光性膜の経時安定性の面でも不充分である。   In addition, the latter curable resin comprising the aliphatic cyclic hydrocarbon group-containing copolymer does not necessarily provide sensitivity and polymerization reactivity for obtaining a good shape and the like, and liquid storage stability and photosensitivity after film formation. In view of the temporal stability of the conductive film, it is insufficient.

本発明は、上記に鑑みなされたものであり、感度(低露光量(好ましくは1,500J/m以下)での形状及び膜厚の制御性)が高く、液状態での保存性及び成膜後の感光性膜の経時安定性に優れた感光性樹脂組成物、高さバラツキが少なく形状良好であって安定生産が可能なスペーサ及びその形成方法、並びに表示特性が良好で安定生産が可能な液晶表示素子を提供することを目的とし、が目的を達成することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above, and has high sensitivity (controllability of shape and film thickness at a low exposure (preferably 1,500 J / m 2 or less)), storage stability in liquid state, and composition. Photosensitive resin composition with excellent temporal stability of the photosensitive film after film formation, spacer with low height variation, good shape and stable production, its formation method, and good display characteristics and stable production possible An object of the present invention is to provide a simple liquid crystal display element and to achieve the object.

本発明は、特に分岐及び/又は脂環構造と主鎖に対しエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合とが設けられた樹脂と特定のオキシム系開始剤とを併用した系が、高い感度、重合反応性(重合硬化性)と、液状態及び成膜状態で優れた保存性が得られ、形成しようとするパターンの形状及びそれに必要な膜厚の制御性を高めるのに特に有効である、との知見を得、かかる知見に基づいて達成されたものである。   The present invention is a system in which a specific oxime-based initiator is used in combination with a resin provided with a branched and / or alicyclic structure and an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group with respect to the main chain, High sensitivity, polymerization reactivity (polymerization curability), excellent storage stability in the liquid state and film formation state are obtained, and it is particularly effective for improving the control of the shape of the pattern to be formed and the required film thickness It was achieved based on this knowledge.

前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
<1> 〔A〕側鎖に、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びに主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する樹脂と、〔B〕エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、〔C〕下記一般式(1)又は(2)で表される化合物群から選ばれる光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物である。
Specific means for achieving the above object are as follows.
<1> [A] a resin having an ethylenically unsaturated bond arranged in the side chain via an ester group between a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and a main chain; and [B] ethylene A photosensitive resin composition containing a polymerizable compound having a polymerizable unsaturated bond and [C] a photopolymerization initiator selected from the group of compounds represented by the following general formula (1) or (2).

Figure 2009122549
Figure 2009122549

前記一般式(1)〜(2)において、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、又はフェニル基を表し、R及びRは、各々独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、置換もしくは無置換のフェニル基、又は炭素数7〜20のアリサイクリック基(但し、炭素数7〜8のシクロアルキル基を除く)を表し、前記フェニル基が置換されている場合の置換基は炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、フェニル基、又はハロゲン原子である。Rは、炭素数4〜20の含酸素複素環基、炭素数4〜20の含窒素複素環基、又は炭素数4〜20の含硫黄複素環基を表し、Rは、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、又は炭素数1〜12のアルコキシル基を表す。nは0〜5の整数を表し、mは0〜5の整数を表し、lは0〜6の整数を表し、n及びmはn+m≦5を満たす。 In the general formulas (1) to (2), R 1 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, or a phenyl group, and R 2 and R 3 are each independently selected. A hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, a substituted or unsubstituted phenyl group, or an alicyclic group having 7 to 20 carbon atoms (provided that the carbon number is 7 to In the case where the phenyl group is substituted, the substituent is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, or a halogen atom. . R 4 represents an oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, a nitrogen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, or a sulfur-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and R 5 represents a hydrogen atom, An alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an alkoxyl group having 1 to 12 carbon atoms is represented. n represents an integer of 0 to 5, m represents an integer of 0 to 5, l represents an integer of 0 to 6, and n and m satisfy n + m ≦ 5.

<2> 前記分岐及び/又は脂環構造は、ジシクロペンテニル基、シクロヘキシル基、トリシクロペンテニル基、アダマンチル基、ノルボルニル基、及びイソボルニル基から選択される少なくとも1種であることを特徴とする前記<1>に記載の感光性樹脂組成物である。
<3> 前記分岐及び/又は脂環構造は、下記一般式(3)で表される基で構成されていることを特徴とする前記<1>又は前記<2>に記載の感光性樹脂組成物である。
<2> The branched and / or alicyclic structure is at least one selected from a dicyclopentenyl group, a cyclohexyl group, a tricyclopentenyl group, an adamantyl group, a norbornyl group, and an isobornyl group. It is the photosensitive resin composition as described in <1>.
<3> The photosensitive resin composition according to <1> or <2>, wherein the branched and / or alicyclic structure is composed of a group represented by the following general formula (3): It is a thing.

Figure 2009122549
Figure 2009122549

前記一般式(3)において、Xは、2価の有機連結基を表し、無置換でも置換基を有していてもよい。yは1又は2を表し、nは0〜15の整数を表す。
<4> 前記樹脂は、下記一般式(4)で表される単量体を共重合させることで前記分岐及び/又は脂環構造を有する基が導入された共重合体であり、下記一般式(4)で表される単量体に由来の構成単位を主鎖に有することを特徴とする前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物である。
In the general formula (3), X represents a divalent organic linking group, which may be unsubstituted or may have a substituent. y represents 1 or 2, and n represents an integer of 0 to 15.
<4> The resin is a copolymer into which a group having the branched and / or alicyclic structure is introduced by copolymerizing a monomer represented by the following general formula (4). (4) The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <3>, wherein the main chain includes a structural unit derived from the monomer represented by (4).

Figure 2009122549
Figure 2009122549

前記一般式(4)において、Xは、2価の有機連結基を表し、無置換でも置換基を有していてもよい。Rは、水素原子又はメチル基を表し、yは1又は2を表し、nは0〜15の整数を表す。
<5> 前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されたスペーサである。
In the general formula (4), X represents a divalent organic linking group, which may be unsubstituted or may have a substituent. R represents a hydrogen atom or a methyl group, y represents 1 or 2, and n represents an integer of 0 to 15.
<5> A spacer formed using the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4>.

<6> 少なくとも下記工程(イ)〜(ニ)を含むスペーサの形成方法である。
(イ)前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程
(ロ)前記被膜の少なくとも一部を露光する工程
(ハ)露光後の前記被膜を現像する工程
(ニ)現像後の前記被膜を加熱する工程
<7> 前記<5>に記載のスペーサを備えた液晶表示素子である。
<6> A spacer forming method including at least the following steps (A) to (D).
(B) A step of forming a film of the photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4> on a substrate (b) A step of exposing at least a part of the film (c) Exposure The process of developing the said film after (d) The process of heating the said film after image development <7> It is a liquid crystal display element provided with the spacer as described in said <5>.

本発明によれば、感度(低露光量(好ましくは1,500J/m以下)での形状及び膜厚の制御性)が高く、液状態での保存性及び成膜後の感光性膜の経時安定性に優れた感光性樹脂組成物を提供することができる。また、
本発明によれば、高さバラツキが少なく形状良好であって安定生産が可能なスペーサ及びその形成方法、並びに表示特性が良好で安定生産が可能な液晶表示素子を提供することができる。
According to the present invention, sensitivity (shape and film thickness controllability at a low exposure (preferably 1,500 J / m 2 or less) is high), storage stability in a liquid state, and photosensitive film after film formation. A photosensitive resin composition having excellent stability over time can be provided. Also,
According to the present invention, it is possible to provide a spacer having a small height variation and a good shape and capable of stable production, a method for forming the same, and a liquid crystal display element having good display characteristics and capable of stable production.

以下、本発明の感光性樹脂組成物について詳細に説明し、さらに該感光性樹脂組成物を用いたスペーサ及びその形成方法並びに液晶表示素子についても詳述する。   Hereinafter, the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail, and a spacer using the photosensitive resin composition, a method for forming the spacer, and a liquid crystal display element will be described in detail.

<感光性樹脂組成物>
本発明の感光性樹脂組成物は、〔A〕側鎖に、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びに主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する樹脂と、〔B〕エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、〔C〕以下に示す一般式(1)又は一般式(2)で表される化合物群から選ばれる光重合開始剤とを少なくとも用いて構成されたものである。また、必要に応じて、他の成分を更に用いて構成されてもよい。
<Photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention has an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group between a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and a main chain on the side chain [A]. A resin, [B] a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, and [C] a photopolymerization initiator selected from the group of compounds represented by formula (1) or formula (2) shown below. It is configured using at least. Moreover, you may comprise using another component further as needed.

本発明の感光性樹脂組成物においては、特に、分岐及び/又は脂環構造と主鎖に対しエステル基を介して配置されたエチレン性不飽和結合とが配された〔A〕樹脂と特定構造の光重合開始剤とを混在させることで、感度、重合反応性に対して相乗的な作用が得られるので、感度がより高められ、液状態での保存性(例えば室温下での長期保存)、及び成膜後の感光性膜の経時安定性を向上させることができ、形成しようとするパターンの形状及びそれに必要な膜厚の制御性が向上する。これにより、マスクを用いたときのマスクパターンサイズが忠実に再現され、1500J/m以下の低露光量領域での露光でも所望の形状及び膜厚が得られ、所望のパターン構造物(好ましくはカラーフィルタ用のスペーサ)の安定形成が可能である。
また、基板上に設けられたときの密着性向上、及び硬化後の強度、耐熱性の向上にも有利である。
In the photosensitive resin composition of the present invention, in particular, the [A] resin and a specific structure in which a branched and / or alicyclic structure and an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group with respect to the main chain are arranged. By mixing with the photopolymerization initiator, a synergistic effect on sensitivity and polymerization reactivity can be obtained, so sensitivity is further enhanced and storage stability in liquid state (eg, long-term storage at room temperature) In addition, the temporal stability of the photosensitive film after film formation can be improved, and the controllability of the shape of the pattern to be formed and the film thickness required for it can be improved. Thereby, the mask pattern size when using the mask is faithfully reproduced, and a desired shape and film thickness can be obtained even in exposure in a low exposure amount region of 1500 J / m 2 or less, and a desired pattern structure (preferably It is possible to stably form a color filter spacer.
It is also advantageous for improving adhesion when provided on a substrate, and improving strength and heat resistance after curing.

以下、本発明の感光性樹脂組成物を構成する各成分について詳細に説明する。
〔A〕樹脂
本発明の感光性樹脂組成物は、側鎖に、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びに主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する樹脂の少なくとも一種を含有する。この樹脂は、酸性基を有して現像性を具えると共に、主鎖に対しエステル基を介してエチレン性不飽和結合を有することで、高い重合反応性を具えつつ、優れた液保存性及び乾膜での経時保存性有しているので、パターン構造物を所望の形状及びそれに必要な膜厚(高さなど)に制御可能な制御性を付与することができる。また、分岐及び/又は脂環構造を有し、形成されたパターン構造物の外力を受けた際の圧縮弾性率、圧縮変形からの弾性回復性を高めることができる。これより、例えばカラーフィルタ用のスペーサなどのパターン構造物を構成するのに有用である。
Hereinafter, each component which comprises the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated in detail.
[A] Resin The photosensitive resin composition of the present invention has, on the side chain, a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group with the main chain. Contains at least one of the resins it contains. This resin has an acidic group and developability, and has an ethylenically unsaturated bond via an ester group with respect to the main chain, thereby having excellent liquid storage stability and high polymerization reactivity. Since it has storability over time in a dry film, it is possible to impart controllability that allows the pattern structure to be controlled to a desired shape and a required film thickness (such as height). Moreover, it has a branched and / or alicyclic structure, and it is possible to enhance the compression elastic modulus and the elastic recovery from the compression deformation when receiving the external force of the formed pattern structure. Thus, it is useful for constructing a pattern structure such as a color filter spacer.

ここで、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びに主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合は、それぞれが異なる側鎖中に含まれていてもよいし、一部が組み合わされて同じ側鎖中に含まれていてもよいし、全てが同じ側鎖中に含まれていてもよい。   Here, the ethylenically unsaturated bond arranged via the ester group between the branched and / or alicyclic structure, the acidic group, and the main chain may be contained in different side chains. , Some may be combined and contained in the same side chain, or all may be contained in the same side chain.

なお、本明細書中において、(メタ)アクリロイル基はアクリロイル基又はメタクリロイル基を表し、(メタ)アクリレートはアクリレート又はメタクリレートを表し、(メタ)アクリルはアクリル又はメタクリルを表し、(メタ)アクリルアミドはアクリルアミド又はメタクリルアミドを表し、(メタ)アクリルアニリドはアクリルアニリド又はメタクリルアニリドを表す。   In the present specification, (meth) acryloyl group represents acryloyl group or methacryloyl group, (meth) acrylate represents acrylate or methacrylate, (meth) acryl represents acryl or methacryl, and (meth) acrylamide represents acrylamide. Alternatively, it represents methacrylamide, and (meth) acrylanilide represents acrylanilide or methacrylanilide.

〜〜分岐及び/又は脂環構造〜〜
〔A〕樹脂は、樹脂の主鎖に結合する側鎖に、分岐及び/又は脂環構造の少なくとも1種を含む。分岐及び/又は脂環構造は、〔A〕樹脂の側鎖中に複数含まれていてもよい。また、分岐及び/又は脂環構造は、〔A〕樹脂の側鎖中に、酸性基、及び/又は、主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合とともに含まれていてもよい。
また、分岐及び/又は脂環構造は、〔A〕樹脂の主鎖に直接結合して分岐及び/又は脂環構造のみで〔A〕樹脂の側鎖を構成されていてもよいし、〔A〕樹脂の主鎖に2価の有機連結基を介して結合し、分岐及び/又は脂環構造を有する基として〔A〕樹脂の側鎖を構成されていてもよい。
~~ Branched and / or alicyclic structure ~~
[A] The resin contains at least one of a branched and / or alicyclic structure in a side chain bonded to the main chain of the resin. A plurality of branched and / or alicyclic structures may be included in the side chain of the [A] resin. In addition, the branched and / or alicyclic structure is included in the side chain of the resin [A] together with an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group between the acidic group and / or the main chain. It may be.
The branched and / or alicyclic structure may be directly bonded to the main chain of the [A] resin to constitute the side chain of the [A] resin only by the branched and / or alicyclic structure. It may be bonded to the main chain of the resin through a divalent organic linking group, and the side chain of the resin [A] may be constituted as a group having a branched and / or alicyclic structure.

前記2価の有機連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、エステル基、アミド基、及びエーテル基から選ばれる一つ又は組み合わせが好ましい。前記アルキレン基としては、総炭素数1〜20のアルキレン基が好ましく、さらに好ましくは1〜10が好ましい。具体的には、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、オクチレン、ドデシレン、オクタデシレンなどが挙げられ、これらは分岐/環状構造、官能基を有していてもよく、さらに好ましくは、メチレン基、エチレン基、オクチレン基が好ましい。前記アリーレン基としては、総炭総数6〜20のアリーレン基が好ましく、さらに好ましくは6〜12が好ましい。具体的には、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフタレン基、アントラセン基などが挙げられ、これらは分岐、官能基を有していてもよく、さらに好ましくは、フェニレン基、ビフェニレン基が好ましい。   The divalent organic linking group is preferably one or a combination selected from an alkylene group, an arylene group, an ester group, an amide group, and an ether group. As said alkylene group, a C1-C20 alkylene group is preferable, More preferably, 1-10 are preferable. Specific examples include methylene, ethylene, propylene, butylene, pentylene, hexylene, octylene, dodecylene, octadecylene, and the like, which may have a branched / cyclic structure or a functional group, and more preferably a methylene group. , Ethylene group and octylene group are preferable. As the arylene group, an arylene group having a total carbon number of 6 to 20 is preferable, and 6 to 12 is more preferable. Specific examples include a phenylene group, a biphenylene group, a naphthalene group, and an anthracene group, which may have a branched or functional group, and more preferably a phenylene group or a biphenylene group.

分岐及び/又は脂環構造は、現像性及び弾性回復率 の観点から、少なくともエステル基(−COO−)を介して〔A〕樹脂の主鎖に結合されている形態が好ましい。この形態は、分岐及び/又は脂環構造がエステル基(−COO−)のみを介して〔A〕樹脂の主鎖に結合されている形態に限られず、分岐及び/又は脂環構造がエステル基(−COO−)を含む2価の連結基を介して〔A〕樹脂の主鎖に結合されている形態であってもよい。すなわち、分岐及び/又は脂環構造とエステル鎖との間、及び/又は、エステル鎖と〔A〕樹脂の主鎖との間に、他の原子や他の連結基が含まれていてもよい。   The form in which the branched and / or alicyclic structure is bonded to the main chain of the resin [A] via at least an ester group (—COO—) is preferable from the viewpoint of developability and elastic recovery. This form is not limited to the form in which the branched and / or alicyclic structure is bonded to the main chain of the resin [A] only through the ester group (—COO—), and the branched and / or alicyclic structure is an ester group. The form couple | bonded with the principal chain of [A] resin may be sufficient through the bivalent coupling group containing (-COO-). That is, other atoms and other linking groups may be included between the branched and / or alicyclic structure and the ester chain, and / or between the ester chain and the main chain of the [A] resin. .

前記分岐構造としては、炭素原子数3〜12個の分岐状のアルキル基が挙げられ、例えば、i−プロピル基、i−ブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、2−メチルブチル基、イソヘキシル基、2−エチルヘキシル基、2−メチルヘキシル基、i−アミル基、t−アミル基、3−オクチル、t−オクチル等が好ましい。これらの中でも、i−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基等がより好ましく、i−プロピル基、s−ブチル基、t−ブチル基等が特に好ましい。   Examples of the branched structure include branched alkyl groups having 3 to 12 carbon atoms, such as i-propyl group, i-butyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, and neopentyl group. 2-methylbutyl group, isohexyl group, 2-ethylhexyl group, 2-methylhexyl group, i-amyl group, t-amyl group, 3-octyl, t-octyl and the like are preferable. Among these, i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group and the like are more preferable, and i-propyl group, s-butyl group, t-butyl group and the like are particularly preferable.

前記脂環構造としては、炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基が挙げられ、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、ジシクロペンテニル基、ジシクロペンタニル基、トリシクロペンテニル基、及びトリシクロペンタニル基等並びにこれらを有する基が好ましい。これらの中でも、ジシクロペンテニル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、トリシクロペンテニル基、トリシクロペンタニル基等がより好ましく、ジシクロペンテニル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロペンテニル基等が更に好ましく、ジシクロペンテニル基が特に好ましい。   Examples of the alicyclic structure include alicyclic hydrocarbon groups having 5 to 20 carbon atoms, such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, norbornyl group, isobornyl group, adamantyl group, A tricyclodecyl group, a dicyclopentenyl group, a dicyclopentanyl group, a tricyclopentenyl group, a tricyclopentanyl group, and the like, and groups having these are preferable. Among these, dicyclopentenyl group, cyclohexyl group, norbornyl group, isobornyl group, adamantyl group, tricyclodecyl group, tricyclopentenyl group, tricyclopentanyl group and the like are more preferable, dicyclopentenyl group, cyclohexyl group, norbornyl Group, isobornyl group, tricyclopentenyl group and the like are more preferable, and dicyclopentenyl group is particularly preferable.

更には、分岐及び/又は脂環構造を有する基として、下記一般式(3)で表される基を有して構成された形態が好ましい。   Furthermore, the form comprised by having group represented by following General formula (3) as group which has a branched and / or alicyclic structure is preferable.

Figure 2009122549
Figure 2009122549

一般式(3)において、Xは、2価の有機連結基を表し、無置換でも置換基を有していてもよい。yは、1又は2を表し、nは0〜15の整数を表す。   In the general formula (3), X represents a divalent organic linking group, which may be unsubstituted or may have a substituent. y represents 1 or 2, and n represents an integer of 0 to 15.

前記2価の有機連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、エステル基、アミド基、及びエーテル基から選ばれる1つ又は組み合わせが好ましく、これらは置換基を有していてもよい。
前記アルキレン基としては、総炭素数1〜20のアルキレン基が好ましく、さらに好ましくは1〜10のアルキレン基である。具体的には、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、オクチレン、ドデシレン、オクタデシレンなどの基が挙げられ、これらは分岐/環状構造、官能基を有していてもよく、さらに好ましくは、メチレン基、エチレン基、オクチレン基である。
前記アリーレン基としては、総炭総数6〜20のアリーレン基が好ましく、さらに好ましくは6〜12のアリーレン基である。具体的には、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフタレン基、アントラセン基などが挙げられ、これらは分岐、官能基を有していてもよく、さらに好ましくは、フェニレン基、ビフェニレン基である。
置換されている場合の置換基としては、アルキル基、ヒドロキシ基、アミノ基、ハロゲン基、芳香環基、脂環構造を有する基などが挙げられる。
The divalent organic linking group is preferably one or a combination selected from an alkylene group, an arylene group, an ester group, an amide group, and an ether group, and these may have a substituent.
As said alkylene group, a C1-C20 alkylene group is preferable, More preferably, it is a 1-10 alkylene group. Specific examples include groups such as methylene, ethylene, propylene, butylene, pentylene, hexylene, octylene, dodecylene, and octadecylene, which may have a branched / cyclic structure or a functional group, and more preferably, A methylene group, an ethylene group and an octylene group;
The arylene group is preferably an arylene group having a total carbon number of 6 to 20, more preferably 6 to 12. Specific examples include a phenylene group, a biphenylene group, a naphthalene group, and an anthracene group, which may have a branched or functional group, and more preferably a phenylene group or a biphenylene group.
Examples of the substituent when substituted include an alkyl group, a hydroxy group, an amino group, a halogen group, an aromatic ring group, and a group having an alicyclic structure.

〔A〕樹脂の側鎖に分岐及び/又は脂環構造を導入するための単量体としては、スチレン類、(メタ)アクリレート類、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類などが挙げられ、(メタ)アクリレート類、ビニルエステル類、(メタ)アクリルアミド類が好ましく、(メタ)アクリレート類がより好ましい。   [A] Monomers for introducing a branched and / or alicyclic structure into the side chain of the resin include styrenes, (meth) acrylates, vinyl ethers, vinyl esters, (meth) acrylamides and the like. (Meth) acrylates, vinyl esters and (meth) acrylamides are preferred, and (meth) acrylates are more preferred.

〔A〕樹脂の側鎖に分岐構造を導入するための具体的な単量体としては、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、(メタ)アクリル酸s−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸i−アミル、(メタ)アクリル酸t−アミル、(メタ)アクリル酸sec−iso−アミル、(メタ)アクリル酸2−オクチル、(メタ)アクリル酸3−オクチル、(メタ)アクリル酸t−オクチル等が挙げられ、中でも、(メタ)アクリル酸i−プロピル、(メタ)アクリル酸i−ブチル、メタクリル酸t−ブチル等が好ましく、メタクリル酸i−プロピル、メタクリル酸t−ブチル等がより好ましい。   [A] Specific monomers for introducing a branched structure into the side chain of the resin include i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, and s-butyl (meth) acrylate. , T-butyl (meth) acrylate, i-amyl (meth) acrylate, t-amyl (meth) acrylate, sec-iso-amyl (meth) acrylate, 2-octyl (meth) acrylate, (meta ) 3-octyl acrylate, t-octyl (meth) acrylate, etc. Among them, i-propyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, t-butyl methacrylate, etc. are preferable, methacryl More preferred are i-propyl acid and t-butyl methacrylate.

〔A〕樹脂の側鎖に脂環構造を導入するための単量体としては、炭素原子数5〜20個の脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリレートが挙げられる。具体的な例としては、(メタ)アクリル酸(ビシクロ〔2.2.1]ヘプチル−2)、(メタ)アクリル酸1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3−メチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3,5−ジメチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3−エチルアダマンチル、(メタ)アクリル酸3−メチル−5−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3,5,8−トリエチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3,5−ジメチル−8−エチル−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−メチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−エチル−2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−5−イル、(メタ)アクリル酸オクタヒドロ−4,7−メンタノインデン−1−イルメチル、(メタ)アクリル酸1−メンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシ−2,6,6−トリメチル−ビシクロ〔3.1.1〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸3,7,7−トリメチル−4−ヒドロキシ−ビシクロ〔4.1.0〕ヘプチル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸フエンチル、(メタ)アクリル酸2,2,5−トリメチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニル、(メタ)アクリル酸トリシクロペンテニル等が挙げられる。
これら(メタ)アクリル酸エステルの中でも、嵩高い官能基 で圧縮弾性率、弾性回復性が良好になる点で、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸1−アダマンチル、(メタ)アクリル酸2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸フエンチル、(メタ)アクリル酸1−メンチル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニル、(メタ)アクリル酸トリシクロペンテニルなどが好ましく、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸(ノル)ボルニル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸2−アダマンチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニル、(メタ)アクリル酸トリシクロペンテニルが特に好ましい。
[A] Examples of the monomer for introducing an alicyclic structure into the side chain of the resin include (meth) acrylates having an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms. Specific examples include (meth) acrylic acid (bicyclo [2.2.1] heptyl-2), (meth) acrylic acid 1-adamantyl, (meth) acrylic acid 2-adamantyl, (meth) acrylic acid 3 -Methyl-1-adamantyl, 3,5-dimethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, 3-ethyladamantyl (meth) acrylate, 3-methyl-5-ethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, ( 3,5,8-triethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, 3,5-dimethyl-8-ethyl-1-adamantyl (meth) acrylate, 2-methyl-2-adamantyl (meth) acrylate, (meth ) 2-ethyl-2-adamantyl acrylate, 3-hydroxy-1-adamantyl (meth) acrylate, octahydro-4,7 (meth) acrylate Mentanoinden-5-yl, octahydro-4,7-mentanoinden-1-ylmethyl (meth) acrylate, 1-menthyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid 3-hydroxy-2,6,6-trimethyl-bicyclo [3.1.1] heptyl, 3,7,7-trimethyl-4-hydroxy-bicyclo [4.1.0] heptyl (meth) acrylate, ( (Meth) acrylic acid (nor) bornyl, (meth) acrylic acid isobornyl, (meth) acrylic acid fuentyl, (meth) acrylic acid 2,2,5-trimethylcyclohexyl, (meth) acrylic acid cyclohexyl, (meth) acrylic acid di Examples include cyclopentenyl and tricyclopentenyl (meth) acrylate.
Among these (meth) acrylic acid esters, bulky functional groups improve compression elastic modulus and elastic recoverability, so that (meth) acrylic acid cyclohexyl, (meth) acrylic acid (nor) bornyl, (meth) acrylic Isobornyl acid, 1-adamantyl (meth) acrylate, 2-adamantyl (meth) acrylate, fuentyl (meth) acrylate, 1-menthyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, (meth) acrylic Dicyclopentenyl acid, tricyclopentenyl (meth) acrylate and the like are preferable, cyclohexyl (meth) acrylate, (nor) bornyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 2-adamantyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid dicyclopentenyl, (meth) acrylic acid tricyclope Nthenyl is particularly preferred.

また、〔A〕樹脂の側鎖に脂環構造を導入するための単量体としては、下記一般式(4)又は(5)で表される化合物が挙げられる。ここで、一般式(4)、(5)において、Xは2価の有機連結基を表し、Rは水素原子又はメチル基を表す。yは1又は2を表し、nは0〜15を表す。一般式(4)、(5)の中でも、y=1又は2、n=0〜8が好ましく、更に好ましくは、y=1又は2、n=0〜4(より好ましくはn=0〜2)である。一般式(4)又は(5)で表される化合物の好ましい具体例として、下記化合物D−1〜D−11、T−1〜T−12が挙げられる。
中でも、二重結合部位の反応性による弾性回復率 の点で、下記一般式(4)で表される化合物が好ましい。
[A] Examples of the monomer for introducing an alicyclic structure into the side chain of the resin include compounds represented by the following general formula (4) or (5). Here, in the general formulas (4) and (5), X represents a divalent organic linking group, and R represents a hydrogen atom or a methyl group. y represents 1 or 2, and n represents 0-15. Among general formulas (4) and (5), y = 1 or 2, n = 0 to 8 is preferable, and y = 1 or 2, n = 0 to 4 (more preferably n = 0 to 2). ). Preferred specific examples of the compound represented by the general formula (4) or (5) include the following compounds D-1 to D-11 and T-1 to T-12.
Among these, the compound represented by the following general formula (4) is preferable from the viewpoint of the elastic recovery rate due to the reactivity of the double bond site.

Figure 2009122549
Figure 2009122549

一般式(4)〜(5)において、Xで表される2価の有機連結基は、無置換であっても、置換基を有していてもよく、前記一般式(3)のXで表される2価の有機連結基と同義であり、好ましい態様も同様である。   In the general formulas (4) to (5), the divalent organic linking group represented by X may be unsubstituted or may have a substituent, and X in the general formula (3) It is synonymous with the bivalent organic coupling group represented, and its preferable aspect is also the same.

Figure 2009122549
Figure 2009122549

Figure 2009122549
Figure 2009122549

Figure 2009122549
Figure 2009122549

Figure 2009122549
Figure 2009122549

〔A〕樹脂の側鎖に脂環構造を導入するための単量体としては、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。
前記市販品としては、日立化成工業(株)製:FA−511A、FA−512A(S)、FA−512M、FA−513A、FA−513M、TCPD−A、TCPD−M、
H−TCPD−A、H−TCPD−M、TOE−A、TOE−M、H−TOE−A、H−TOE−M等が挙げられる。これらの中でも現像性に優れ、変形回復率に優れる点で、FA−512A(S),512Mが好ましい。
[A] As a monomer for introducing an alicyclic structure into the side chain of the resin, an appropriately produced monomer or a commercially available product may be used.
As said commercial item, Hitachi Chemical Co., Ltd. product: FA-511A, FA-512A (S), FA-512M, FA-513A, FA-513M, TCPD-A, TCPD-M,
H-TCPD-A, H-TCPD-M, TOE-A, TOE-M, H-TOE-A, H-TOE-M and the like can be mentioned. Among these, FA-512A (S) and 512M are preferable because they are excellent in developability and excellent in the deformation recovery rate.

〜〜酸性基〜〜
〔A〕樹脂は、主鎖に連結する側鎖に、酸性基の少なくとも1種を含む。酸性基は、側鎖中に複数含まれていてもよい。また、酸性基は、〔A〕樹脂の側鎖中に、前記分岐及び/又は脂環構造、並びに主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合とともに含まれていてもよい。
また、前記酸性基は、〔A〕樹脂の主鎖に直接結合し酸性基のみで〔A〕樹脂の側鎖を構成してもよいし、〔A〕樹脂の主鎖に2価の有機連結基を介して結合し、酸性基を有する基として〔A〕樹脂の側鎖を構成してもよい。ここで、2価の有機連結基については前記分岐及び/又は脂環構造における説明で例示した2価の有機連結基が挙げられ、好ましい範囲も同様である。
~~ Acid group ~~
[A] The resin contains at least one acidic group in the side chain linked to the main chain. A plurality of acidic groups may be contained in the side chain. In addition, the acidic group is included in the side chain of [A] resin together with the branched and / or alicyclic structure, and an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group between the main chain. Also good.
The acidic group may be directly bonded to the main chain of the [A] resin to constitute the side chain of the [A] resin only with the acidic group, or the divalent organic linkage to the main chain of the [A] resin. The side chain of [A] resin may be comprised as a group which couple | bonds through group and has an acidic group. Here, examples of the divalent organic linking group include the divalent organic linking groups exemplified in the description of the branched and / or alicyclic structure, and preferred ranges thereof are also the same.

前記酸性基としては、特に制限はなく、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、スルホンアミド基、リン酸基、フェノール性水酸基等が挙げられる。これらの中でも、現像性、及び硬化膜の耐水性が優れる点から、カルボキシ基、フェノール性水酸基であることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as said acidic group, It can select suitably from well-known things, For example, a carboxyl group, a sulfonic acid group, a sulfonamide group, a phosphoric acid group, a phenolic hydroxyl group etc. are mentioned. Among these, a carboxy group and a phenolic hydroxyl group are preferable from the viewpoint of excellent developability and water resistance of the cured film.

前記酸性基を〔A〕樹脂に導入するための単量体の具体例としては、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、α−シアノ桂皮酸、アクリル酸ダイマー、水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、適宜製造したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。   Specific examples of the monomer for introducing the acidic group into the [A] resin can be appropriately selected from known ones, such as (meth) acrylic acid, vinylbenzoic acid, maleic acid, maleic acid. Acid monoalkyl ester, fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, α-cyanocinnamic acid, acrylic acid dimer, addition reaction product of hydroxyl group-containing monomer and cyclic acid anhydride, ω-carboxyl -Polycaprolactone mono (meth) acrylate and the like. As these, those produced as appropriate may be used, or commercially available products may be used.

前記水酸基を有する単量体と環状酸無水物との付加反応物に用いられる水酸基を有する単量体としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。前記環状酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水フタル酸、シクロヘキサンジカルボン酸無水物等が挙げられる。   Examples of the monomer having a hydroxyl group used in the addition reaction product of the monomer having a hydroxyl group and a cyclic acid anhydride include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. Examples of the cyclic acid anhydride include maleic anhydride, phthalic anhydride, and cyclohexanedicarboxylic anhydride.

単量体の市販品としては、東亜合成化学工業(株)製:アロニックスM−5300、アロニックスM−5400、アロニックスM−5500、アロニックスM−5600、新中村化学工業(株)製:NKエステルCB−1、NKエステルCBX−1、共栄社油脂化学工業(株)製:HOA−MP、HOA−MS、大阪有機化学工業(株)製:ビスコート#2100等が挙げられる。これらの中でも現像性に優れ、低コストである点で(メタ)アクリル酸等が好ましい。   Commercially available monomers include Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd .: Aronix M-5300, Aronix M-5400, Aronix M-5500, Aronix M-5600, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd .: NK Ester CB -1, NK ester CBX-1, manufactured by Kyoeisha Oil and Chemical Co., Ltd .: HOA-MP, HOA-MS, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd .: Biscote # 2100, and the like. Among these, (meth) acrylic acid and the like are preferable in terms of excellent developability and low cost.

〜〜エチレン性不飽和結合〜〜
〔A〕樹脂は、主鎖に連結する側鎖に、主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合の少なくとも1種を含む。このエチレン性不飽和結合は、側鎖中に複数含まれていてもよい。また、エチレン性不飽和結合は、〔A〕樹脂の側鎖中に、前記分岐及び/又は脂環構造、並びに/又は前記酸性基とともに含まれていてもよい。
~~ ethylenically unsaturated bond ~~
[A] The resin contains at least one kind of ethylenically unsaturated bond arranged on the side chain connected to the main chain via an ester group between the resin and the main chain. A plurality of ethylenically unsaturated bonds may be contained in the side chain. Moreover, the ethylenically unsaturated bond may be contained in the side chain of the [A] resin together with the branched and / or alicyclic structure and / or the acidic group.

また、エチレン性不飽和結合は、〔A〕樹脂の主鎖との間に少なくとも1つのエステル基(−COO−)を介して結合し、エチレン性不飽和結合とエステル基のみで〔A〕樹脂の側鎖を構成していてもよい。また、〔A〕樹脂の主鎖とエステル基との間、及び/又は、エステル基とエチレン性不飽和結合との間に、さらに2価の有機連結基を有してもよく、エチレン性不飽和結合は「主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する基」として〔A〕樹脂の側鎖を構成していてもよい。ここで、2価の有機連結基については、分岐及び/又は脂環構造における説明で例示した2価の有機連結基が挙げられ、好ましい範囲も同様である。   The ethylenically unsaturated bond is bonded to the main chain of the [A] resin via at least one ester group (—COO—), and only the ethylenically unsaturated bond and the ester group [A] resin. The side chain may be constituted. Further, [A] a divalent organic linking group may be further provided between the main chain of the resin and the ester group and / or between the ester group and the ethylenically unsaturated bond. The saturated bond may constitute the side chain of the resin [A] as “a group having an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group between the main chain” and [A] resin. Here, the divalent organic linking group includes the divalent organic linking groups exemplified in the description of the branched and / or alicyclic structure, and the preferred range is also the same.

エチレン性不飽和結合としては、(メタ)アクリロイル基を導入して配されることが好ましい。
〔A〕樹脂の側鎖に(メタ)アクリロイル基を導入する方法は、公知の方法の中から適宜選択することができ、例えば、酸性基を持つ繰り返し単位にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、ヒドロキシル基を持つ繰り返し単位にイソシアネート基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法、イソシアネート基を持つ繰り返し単位にヒドロキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法などが挙げられる。
その中でも、酸性基を持つ繰り返し単位にエポキシ基を持つ(メタ)アクリレートを付加する方法が最も製造が容易であり、低コストである点で好ましい。
The ethylenically unsaturated bond is preferably arranged by introducing a (meth) acryloyl group.
[A] The method of introducing a (meth) acryloyl group into the side chain of the resin can be appropriately selected from known methods. For example, a (meth) acrylate having an epoxy group in a repeating unit having an acidic group is used. Examples thereof include a method of adding, a method of adding a (meth) acrylate having an isocyanate group to a repeating unit having a hydroxyl group, and a method of adding a (meth) acrylate having a hydroxy group to a repeating unit having an isocyanate group.
Among these, the method of adding (meth) acrylate having an epoxy group to a repeating unit having an acidic group is most preferable because it is the easiest to produce and is low in cost.

前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレートとしては、特に制限はないが、例えば、下記構造式(1)で表される化合物及び下記構造式(2)で表される化合物が好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular as (meth) acrylate which has the said epoxy group, For example, the compound represented by following Structural formula (1) and the compound represented by following Structural formula (2) are preferable.

Figure 2009122549
Figure 2009122549

但し、前記構造式(1)中、Rは水素原子又はメチル基を表す。Lは有機基を表す。 However, in the structural formula (1), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. L 1 represents an organic group.

Figure 2009122549
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但し、前記構造式(2)中、Rは水素原子又はメチル基を表す。Lは有機基を表す。Wは4〜7員環の脂肪族炭化水素基を表す。 However, in said structural formula (2), R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group. L 2 represents an organic group. W represents a 4- to 7-membered aliphatic hydrocarbon group.

前記構造式(1)で表される化合物及び構造式(2)で表される化合物の中でも、構造式(1)で表される化合物が構造式(2)よりも好ましい。前記構造式(1)及び(2)においては、L及びLがそれぞれ独立に炭素数1〜4のアルキレン基のものがより好ましい。 Of the compound represented by the structural formula (1) and the compound represented by the structural formula (2), the compound represented by the structural formula (1) is more preferable than the structural formula (2). In the structural formulas (1) and (2), it is more preferable that L 1 and L 2 are each independently an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms.

前記構造式(1)で表される化合物又は構造式(2)で表される化合物としては、特に制限はないが、例えば、以下の例示化合物(1)〜(10)が挙げられる。   Although there is no restriction | limiting in particular as a compound represented by the said Structural formula (1) or a structural formula (2), For example, the following exemplary compounds (1)-(10) are mentioned.

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〜〜その他の単量体〜〜
本発明における〔A〕樹脂には、その他の単量体を用いて、その他の基が導入されていてもよい。
前記その他の単量体としては、特に制限はなく、例えば、(メタ)アクリル酸エステル、スチレン、ビニルエーテル、二塩基酸無水物基、ビニルエステル基、炭化水素アルケニル基等を有する単量体などが挙げられる。
~~ other monomers ~~
Other groups may be introduced into the [A] resin in the present invention using other monomers.
The other monomer is not particularly limited, and examples thereof include (meth) acrylic acid ester, styrene, vinyl ether, dibasic acid anhydride group, vinyl ester group, hydrocarbon alkenyl group and the like. Can be mentioned.

前記ビニルエーテル基としては、特に制限はなく、例えば、ブチルビニルエーテル基などが挙げられる。
前記二塩基酸無水物基としては、特に制限はなく、例えば、無水マレイン酸基、無水イタコン酸基などが挙げられる。
前記ビニルエステル基としては、特に制限はなく、例えば、酢酸ビニル基などが挙げられる。
前記炭化水素アルケニル基としては、特に制限はなく、例えば、ブタジエン基、イソプレン基などが挙げられる。
There is no restriction | limiting in particular as said vinyl ether group, For example, a butyl vinyl ether group etc. are mentioned.
The dibasic acid anhydride group is not particularly limited, and examples thereof include a maleic anhydride group and an itaconic anhydride group.
There is no restriction | limiting in particular as said vinyl ester group, For example, a vinyl acetate group etc. are mentioned.
There is no restriction | limiting in particular as said hydrocarbon alkenyl group, For example, a butadiene group, an isoprene group, etc. are mentioned.

前記〔A〕樹脂におけるその他の単量体の含有率としては、組成比が、1〜40質量%であることが好ましく、2〜30質量%であることがより好ましい。   As content rate of the other monomer in said [A] resin, it is preferable that a composition ratio is 1-40 mass%, and it is more preferable that it is 2-30 mass%.

〔A〕樹脂の具体例としては、例えば、下記構造で表される化合物(例示化合物P−1〜P−56)が挙げられる。
また、例示化合物中のx、y、及びzは、各繰り返し単位の組成比(質量比)を表し、後述の好ましい範囲で構成する形態が好適である。また、各例示化合物の重量平均分子量も、後述の好ましい範囲で構成する形態が好適である。
[A] Specific examples of the resin include compounds represented by the following structures (Exemplary Compounds P-1 to P-56).
In addition, x, y, and z in the exemplified compound represent a composition ratio (mass ratio) of each repeating unit, and a form configured in a preferable range described later is preferable. Moreover, the form comprised also in the preferable range mentioned later of the weight average molecular weight of each exemplary compound is suitable.

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<合成法>
〔A〕樹脂は、モノマーの(共)重合反応の工程とエチレン性不飽和基を導入する工程の二段階の工程から合成することができる。
まず、(共)重合反応は種々のモノマーの(共)重合反応によって作られ、特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、重合の活性種については、ラジカル重合、カチオン重合、アニオン重合、配位重合などを適宜選択することができる。これらの中でも合成が容易であり、低コストである点からラジカル重合であることが好ましい。また、重合方法についても特に制限はなく公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、バルク重合法、懸濁重合法、乳化重合法、溶液重合法などを適宜選択することができる。これらの中でも、溶液重合法であることがより望ましい。
<Synthesis method>
[A] The resin can be synthesized from a two-stage process including a monomer (co) polymerization reaction process and an ethylenically unsaturated group introduction process.
First, the (co) polymerization reaction is made by a (co) polymerization reaction of various monomers, and is not particularly limited and can be appropriately selected from known ones. For example, radical polymerization, cationic polymerization, anionic polymerization, coordination polymerization and the like can be appropriately selected for the active species of polymerization. Among these, radical polymerization is preferable from the viewpoint of easy synthesis and low cost. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also about the polymerization method, It can select suitably from well-known things. For example, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, an emulsion polymerization method, a solution polymerization method and the like can be appropriately selected. Among these, the solution polymerization method is more desirable.

<炭素数>
〔A〕樹脂の総炭素数としては、弾性係数(硬さ)の点で、10以上が好ましい。中でも、総炭素数は、10〜30がより好ましく、特に好ましくは10〜15である。
<Carbon number>
[A] The total carbon number of the resin is preferably 10 or more in terms of elastic modulus (hardness). Especially, as for total carbon number, 10-30 are more preferable, Most preferably, it is 10-15.

<分子量>
〔A〕樹脂の分子量としては、重量平均分子量で10,000〜10万が好ましく、12,000〜60,000が更に好ましく、15,000〜45,000が特に好ましい。重量平均分子量が前記範囲内であると、樹脂(好ましくは共重合体)の製造適性、現像性の点で望ましい。また、溶融粘度の低下により形成された形状が潰れ難い点で、また、架橋不良となり難い点、現像でのスペーサ形状の残渣がない点で好ましい。
重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)で測定される。GPCについては、後記する実施例の項で詳細に示す。
<Molecular weight>
[A] The molecular weight of the resin is preferably 10,000 to 100,000 in terms of weight average molecular weight, more preferably 12,000 to 60,000, and particularly preferably 15,000 to 45,000. When the weight average molecular weight is within the above range, it is desirable from the viewpoint of production suitability and developability of a resin (preferably a copolymer). Further, it is preferable in that the shape formed by the decrease in melt viscosity is difficult to be crushed, in that it is difficult to cause crosslinking failure, and there is no residue in the spacer shape during development.
The weight average molecular weight is measured by gel permeation chromatography (GPC). GPC will be described in detail in the section of the examples described later.

<ガラス転移温度>
〔A〕樹脂のガラス転移温度(Tg)は、40〜180℃であることが好ましく、45〜140℃であることはより好ましく、50〜130℃であることが特に好ましい。ガラス転移温度(Tg)が前記好ましい範囲内であると、良好な現像性、力学強度を有するスペーサが得られる。
<Glass transition temperature>
[A] The glass transition temperature (Tg) of the resin is preferably 40 to 180 ° C, more preferably 45 to 140 ° C, and particularly preferably 50 to 130 ° C. When the glass transition temperature (Tg) is within the preferred range, a spacer having good developability and mechanical strength can be obtained.

<酸価>
〔A〕樹脂の酸価は、とりうる分子構造により好ましい範囲が変動するが、一般には20mgKOH/g以上であることが好ましく、40mgKOH/g以上であることはより好ましく、50〜130mgKOH/gであることが特に好ましい。酸価が前記好ましい範囲内であると、良好な現像性、力学強度を有するスペーサが得られる。
<Acid value>
[A] The preferred range of the acid value of the resin varies depending on the molecular structure that can be taken, but generally it is preferably 20 mgKOH / g or more, more preferably 40 mgKOH / g or more, and 50 to 130 mgKOH / g. It is particularly preferred. When the acid value is within the preferred range, a spacer having good developability and mechanical strength can be obtained.

<Tg>
前記〔A〕樹脂は、良好な現像性、力学強度を有するスペーサが得られる点で、ガラス転移温度(Tg)が40〜180℃であり、かつ重量平均分子量が10,000〜100,000であることが好ましく、Tgが45〜140℃(更には50〜130℃)であり、かつ重量平均分子量が12,000〜60,000(更には15,000〜45,000)であることが好ましい。
更に、前記〔A〕樹脂の好ましい例は、好ましい前記分子量、ガラス転移温度(Tg)、及び酸価のそれぞれの組合せがより好ましい。
<Tg>
The [A] resin has a glass transition temperature (Tg) of 40 to 180 ° C. and a weight average molecular weight of 10,000 to 100,000 because a spacer having good developability and mechanical strength can be obtained. Preferably, the Tg is 45 to 140 ° C. (further 50 to 130 ° C.) and the weight average molecular weight is 12,000 to 60,000 (further 15,000 to 45,000). .
Furthermore, the preferable example of said [A] resin has more preferable each combination of the said preferable molecular weight, glass transition temperature (Tg), and an acid value.

本発明における〔A〕樹脂は、分岐及び/又は脂環構造と、酸性基と、主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合と、をそれぞれ別の繰り返し単位(共重合単位)に有する3元共重合以上の共重合体であることが、パターン構造物(例えばカラーフィルタ用のスペーサ)を形成したときの変形回復率、現像残渣、レチキュレーションの観点から好ましい。
具体的には、前記〔A〕樹脂は、分岐及び/又は脂環構造を有する繰り返し単位:X(xモル%)と、酸性基を有する繰り返し単位:Y(yモル%)と、主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する繰り返し単位:Z(zモル%)と、を少なくとも有する3元共重合以上の共重合体であることが好ましい。さらに、必要に応じてその他の繰り返し単位:L(lモル%)を有していてもよい。
このような共重合体は、例えば、分岐及び/又は脂環構造を有する単量体と、酸性基を有する単量体と、主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する単量体と、必要に応じて他の単量体と、を共重合させて得ることができる。このうち、嵩高い官能基で圧縮弾性率、弾性回復性が良好になる点で、少なくとも前記分岐及び/又は脂環構造を有する単量体として、前記一般式(4)で表される単量体を共重合させて、分岐及び/又は脂環構造を有する基が導入された共重合体である場合が好ましい。この場合、〔A〕樹脂は、前記一般式(4)で表される単量体に由来の構成単位を主鎖に有する。
The resin [A] in the present invention comprises a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and an ethylenically unsaturated bond arranged via an ester group between the main chain and separate repeating units ( From the viewpoint of deformation recovery rate, development residue, and reticulation when a pattern structure (for example, a color filter spacer) is formed, it is preferably a copolymer of terpolymerization or higher in the copolymer unit). .
Specifically, the resin [A] includes a repeating unit having a branched and / or alicyclic structure: X (x mol%), a repeating unit having an acidic group: Y (y mol%), a main chain, It is preferable that the copolymer is a terpolymer or more copolymer having at least a repeating unit having an ethylenically unsaturated bond, Z (z mol%), arranged via an ester group. Furthermore, you may have other repeating units: L (1 mol%) as needed.
Such a copolymer is, for example, an ethylenic polymer arranged via an ester group between a monomer having a branched and / or alicyclic structure, a monomer having an acidic group, and a main chain. It can be obtained by copolymerizing a monomer having a saturated bond and, if necessary, another monomer. Among these, a monomer represented by the general formula (4) is used as a monomer having at least the branched and / or alicyclic structure in that the compressive elastic modulus and elastic recoverability are improved with a bulky functional group. It is preferable that the copolymer is a copolymer into which a group having a branched and / or alicyclic structure is introduced. In this case, [A] resin has the structural unit derived from the monomer represented by the said General formula (4) in a principal chain.

前記〔A〕樹脂が共重合体である場合の共重合組成比については、ガラス転移温度と酸価を勘案して決定される。一概に言えないが、下記の範囲とすることができる。
〔A〕樹脂における、分岐及び/又は脂環構造を有する繰り返し単位の組成比(x)は、10〜70モル%が好ましく、15〜65モル%が更に好ましく、20〜60モル%が特に好ましい。組成比(x)が前記範囲内であると、良好な現像性が得られると共に、画像部の現像液耐性も良好である。
〔A〕樹脂における、酸性基を有する繰り返し単位の組成比(y)は、5〜70モル%が好ましく、10〜60モル%が更に好ましく、20〜50モル%が特に好ましい。組成比(y)が前記範囲内であると、良好な硬化性、現像性が得られる。
〔A〕樹脂における「主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合」を有する繰り返し単位の組成比(z)は、10〜70モル%が好ましく、20〜70モル%が更に好ましく、30〜70モル%が特に好ましい。組成比(z)が前記範囲内であると、顔料分散性に優れると共に、感度及び重合硬化性が良好であり、調液後の液保存性、及び塗布後の乾膜状態で長期保持された際の経時安定性が良好になる。
更には、〔A〕樹脂としては、組成比(x)が10〜70モル%(更には15〜65モル%、特には20〜50モル%)であって、組成比(y)が5〜70モル%(更には10〜60モル%、特には30〜70モル%)であって、組成比(z)が10〜70モル%(更には20〜70モル%、特には30〜70モル%)である場合が好ましい。
The copolymer composition ratio when the [A] resin is a copolymer is determined in consideration of the glass transition temperature and the acid value. Although it cannot be generally stated, the following ranges can be adopted.
[A] The composition ratio (x) of the repeating unit having a branched and / or alicyclic structure in the resin is preferably 10 to 70 mol%, more preferably 15 to 65 mol%, particularly preferably 20 to 60 mol%. . When the composition ratio (x) is within the above range, good developability is obtained and the developer resistance of the image area is also good.
[A] The composition ratio (y) of the repeating unit having an acidic group in the resin is preferably 5 to 70 mol%, more preferably 10 to 60 mol%, and particularly preferably 20 to 50 mol%. When the composition ratio (y) is within the above range, good curability and developability can be obtained.
[A] The composition ratio (z) of the repeating unit having an “ethylenically unsaturated bond arranged through an ester group with the main chain” in the resin is preferably 10 to 70 mol%, and preferably 20 to 70 mol. % Is more preferable, and 30 to 70 mol% is particularly preferable. When the composition ratio (z) is within the above range, the pigment dispersibility is excellent, the sensitivity and the polymerization curability are good, the liquid storage stability after preparation, and the dry film state after application are maintained for a long time. The stability over time is improved.
Furthermore, as the [A] resin, the composition ratio (x) is 10 to 70 mol% (more preferably 15 to 65 mol%, particularly 20 to 50 mol%), and the composition ratio (y) is 5 to 5 mol%. 70 mol% (more preferably 10 to 60 mol%, especially 30 to 70 mol%), and the composition ratio (z) is 10 to 70 mol% (more preferably 20 to 70 mol%, particularly 30 to 70 mol%). %) Is preferred.

前記〔A〕樹脂の感光性樹脂組成物中における含有量としては、組成物の全固形分に対して、5〜70質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。
〔A〕樹脂は、後述するその他の樹脂と併用できるが、前記〔A〕樹脂のみで構成される場合が好ましい。
As content in the photosensitive resin composition of said [A] resin, 5-70 mass% is preferable with respect to the total solid of a composition, and 10-50 mass% is more preferable.
[A] The resin can be used in combination with other resins described later, but it is preferable that the resin is composed only of the [A] resin.

〜その他の樹脂〜
前記〔A〕樹脂と併用することができる樹脂としては、アルカリ性水溶液に対して膨潤性を示す化合物が好ましく、アルカリ性水溶液に対して可溶性である化合物がより好ましい。
アルカリ性水溶液に対して膨潤性又は溶解性を示す樹脂としては、例えば、酸性基を有するものが好適に挙げられ、具体的には、エポキシ化合物にエチレン性不飽和二重結合と酸性基とを導入した化合物(エポキシアクリレート化合物)、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及び酸性基を有するビニル共重合体、エポキシアクリレート化合物と、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及び酸性基を有するビニル共重合体との混合物、マレアミド酸系共重合体、などが好ましい。
前記酸性基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基、などが挙げられ、これらの中でも、原料の入手性などの観点から、カルボキシル基が好ましく挙げられる。
~ Other resins ~
The resin that can be used in combination with the resin [A] is preferably a compound that exhibits swelling properties with respect to an alkaline aqueous solution, and more preferably a compound that is soluble in an alkaline aqueous solution.
As the resin exhibiting swellability or solubility with respect to an alkaline aqueous solution, for example, those having an acidic group are preferably mentioned. Specifically, an ethylenically unsaturated double bond and an acidic group are introduced into an epoxy compound. Compound (epoxy acrylate compound), vinyl copolymer having (meth) acryloyl group and acidic group in side chain, epoxy acrylate compound and vinyl copolymer having (meth) acryloyl group and acidic group in side chain And the like, and a maleamic acid copolymer are preferable.
The acidic group is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. Examples thereof include a carboxyl group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group. Among these, the availability of raw materials, etc. From the viewpoint, a carboxyl group is preferable.

前記〔A〕樹脂とその他の樹脂とを併用する場合、〔A〕樹脂と併用することができる樹脂との合計の含有量(固形分)としては、感光性樹脂層の全固形分に対して、5〜70質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。この含有量が、5質量%以上であると感光樹脂層の膜強度を維持でき、該感光樹脂層の表面のタック性を良好に保つことができ、70質量%以下であると露光感度が良好になる。   When the above [A] resin and another resin are used in combination, the total content (solid content) of the resin that can be used in combination with the [A] resin is based on the total solid content of the photosensitive resin layer. 5 to 70 mass% is preferable, and 10 to 50 mass% is more preferable. When the content is 5% by mass or more, the film strength of the photosensitive resin layer can be maintained, and the tackiness of the surface of the photosensitive resin layer can be maintained well. When the content is 70% by mass or less, the exposure sensitivity is good. become.

〔B〕重合性化合物
本発明の感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の少なくとも一種を含有する。後述の光重合開始剤からのラジカルの作用を受けて重合反応を起こし、硬化膜を形成する。
[B] Polymerizable compound The photosensitive resin composition of the present invention contains at least one polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. Under the action of radicals from the photopolymerization initiator described later, a polymerization reaction is caused to form a cured film.

前記重合性化合物としては、公知の組成物を構成する重合性の化合物から選択して用いることができ、例えば、特開2006−23696号公報の段落番号[0010]〜[0020]に記載の成分や、特開2006−64921号公報の段落番号[0027]〜[0053]に記載の成分を挙げることができる。   The polymerizable compound can be selected from polymerizable compounds constituting a known composition and used, for example, the components described in paragraph numbers [0010] to [0020] of JP-A-2006-23696. And the components described in paragraph numbers [0027] to [0053] of JP-A-2006-64921.

前記〔A〕樹脂との関係において、〔B〕重合性化合物の〔A〕樹脂に対する質量比率(〔B〕/〔A〕比)が0.5〜2.0であることが好ましく、0.6〜1.4であることはより好ましく、0.7〜1.2であることが特に好ましい。〔B〕/〔A〕比が前記範囲内であると、良好な現像性、力学強度を有するスペーサが得られる。   In the relationship with the [A] resin, the mass ratio of the [B] polymerizable compound to the [A] resin ([B] / [A] ratio) is preferably 0.5 to 2.0. It is more preferably 6 to 1.4, and particularly preferably 0.7 to 1.2. When the ratio [B] / [A] is within the above range, a spacer having good developability and mechanical strength can be obtained.

〔C〕光重合開始剤
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤として、下記一般式(1)又は一般式(2)で表される化合物群から選ばれる少なくとも一種(以下、「本発明における光開始剤」ということがある。)を含有する。一般式(1)又は(2)で表されるオキシム系の光重合開始剤を前記〔A〕樹脂と共に用いることにより、感度が高められ、重合反応の進行が良好になり、形状及びそれに必要な膜厚の制御性をより向上させることができる。これにより、1500J/m以下の低露光量でも、良好な感度、密着性が得られる。例えば、カラーフィルタ用のスペーサを形成するときには、基板との密着性が良好で所望の形状に形成されたスペーサを得ることができる。
[C] Photopolymerization initiator The photosensitive resin composition of the present invention has at least one selected from the group of compounds represented by the following general formula (1) or general formula (2) as a photopolymerization initiator (hereinafter, “ It may be referred to as “photoinitiator in the present invention”). By using the oxime-based photopolymerization initiator represented by the general formula (1) or (2) together with the [A] resin, the sensitivity is enhanced, the progress of the polymerization reaction is improved, the shape and the necessary for it. The controllability of the film thickness can be further improved. Thereby, good sensitivity and adhesion can be obtained even with a low exposure amount of 1500 J / m 2 or less. For example, when forming a color filter spacer, it is possible to obtain a spacer having good adhesion to the substrate and having a desired shape.

なお、本発明にいう光重合開始剤とは、可視光線、紫外線、遠紫外線、荷電粒子線、X線等による露光により、前記〔B〕重合性化合物の重合を開始しうる活性種を発生する成分を意味する。   The photopolymerization initiator referred to in the present invention generates an active species capable of initiating the polymerization of the [B] polymerizable compound by exposure with visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, charged particle beam, X-ray or the like. Means ingredients.

Figure 2009122549
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前記一般式(1)〜(2)において、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、又はフェニル基を表す。
及びRは、各々独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、置換もしくは無置換のフェニル基、又は炭素数7〜20のアリサイクリック基(但し、炭素数7〜8のシクロアルキル基を除く)を表し、前記フェニル基が置換されている場合の置換基は炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、フェニル基、又はハロゲン原子である。ここで、これらの置換基の数は、1〜5個であることができる。
は、炭素数4〜20の含酸素複素環基、炭素数4〜20の含窒素複素環基、又は炭素数4〜20の含硫黄複素環基を表す。
は、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、又は炭素数1〜12のアルコキシ基を表す。
また、nは1〜5の整数を表し、mは0〜5の整数を表し、lは0〜6の整数を表し、n及びmはn+m≦5を満たす。
In the general formulas (1) to (2), R 1 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, or a phenyl group.
R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, a substituted or unsubstituted phenyl group, or an alicyclic group having 7 to 20 carbon atoms. Represents a click group (excluding a cycloalkyl group having 7 to 8 carbon atoms), and the substituent when the phenyl group is substituted is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms , A phenyl group, or a halogen atom. Here, the number of these substituents may be 1-5.
R 4 represents an oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, a nitrogen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, or a sulfur-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms.
R 5 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms.
N represents an integer of 1 to 5, m represents an integer of 0 to 5, l represents an integer of 0 to 6, and n and m satisfy n + m ≦ 5.

前記一般式(1)〜(2)中において、Rで表される炭素数1〜20のアルキル基は、直鎖状又は分岐状のアルキル基であることができ、その具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基を挙げることができる。中でも、炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜8のアルキル基は特に好ましい。 In the general formulas (1) to (2), the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 may be a linear or branched alkyl group. For example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n- Examples include octyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group, and n-dodecyl group. Especially, a C1-C10 alkyl group is preferable and a C1-C8 alkyl group is especially preferable.

で表される炭素数3〜8のシクロアルキル基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。中でも、炭素数3〜6のシクロアルキル基が好ましく、炭素数5〜6のシクロアルキル基は特に好ましい。 The cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms represented by R 1, examples thereof include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group. Among these, a cycloalkyl group having 3 to 6 carbon atoms is preferable, and a cycloalkyl group having 5 to 6 carbon atoms is particularly preferable.

上記のうち、Rとしては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ヘキシル基などが好ましい。 Among these, as R 1 , for example, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-hexyl group and the like are preferable.

、Rで表される炭素数1〜20のアルキル基としては、直鎖状又は分岐状であることができ、その具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基を挙げることができる。中でも、炭素数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素数1〜8のアルキル基は特に好ましい。 The alkyl group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 2 and R 3 may be linear or branched, and specific examples thereof include, for example, a methyl group, an ethyl group, and an n-propyl group. I-propyl group, n-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl group , N-undecyl group and n-dodecyl group. Especially, a C1-C10 alkyl group is preferable and a C1-C8 alkyl group is especially preferable.

、Rで表される炭素数3〜8のシクロアルキル基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。中でも、炭素数3〜6のシクロアルキル基が好ましく、炭素数5〜6のシクロアルキル基は特に好ましい。 The cycloalkyl group of R 2, carbon atoms represented by R 3 3 to 8, and examples thereof include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group. Among these, a cycloalkyl group having 3 to 6 carbon atoms is preferable, and a cycloalkyl group having 5 to 6 carbon atoms is particularly preferable.

、Rで表される置換フェニル基の置換基である「炭素数1〜6のアルキル基」としては、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基であることができ、その具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。中でも、炭素数1〜6のアルキル基が好ましく、炭素数1〜5のアルキル基は特に好ましい。 The “alkyl group having 1 to 6 carbon atoms” as the substituent of the substituted phenyl group represented by R 2 and R 3 can be a linear, branched or cyclic alkyl group, and specific examples thereof. As methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, etc. Can be mentioned. Especially, a C1-C6 alkyl group is preferable and a C1-C5 alkyl group is especially preferable.

また、R、Rで表される置換フェニル基の置換基である「炭素数1〜6のアルコキシ基」としては、直鎖状、分岐状又は環状であることができ、その具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、i−プロポキシ基、n−ブトキシ基、t−ブトキシ基等を挙げることができる。中でも、炭素数1〜3のアルコキシ基が好ましい。 Further, the “C1-C6 alkoxy group” which is a substituent of the substituted phenyl group represented by R 2 and R 3 can be linear, branched or cyclic, and specific examples thereof are as follows. Can include methoxy, ethoxy, n-propoxy, i-propoxy, n-butoxy, t-butoxy and the like. Among these, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms is preferable.

、Rで表される置換フェニル基の置換基であるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子等を挙げることができる。 Examples of the halogen atom that is a substituent of the substituted phenyl group represented by R 2 and R 3 include a fluorine atom and a chlorine atom.

、Rで表される炭素数7〜20のアリサイクリック基(炭素数7〜8のシクロアルキル基を除く)としては、例えば、ビシクロアルキル基、トリシクロアルキル基、スピロアルキル基、ter−シクロアルキル基、テルペン骨格含有基、アダマンチル骨格含有基などが挙げられる。中でも、炭素数9〜18のアリサイクリック基が好ましく、炭素数9〜12は特に好ましい。 Examples of the alicyclic group having 7 to 20 carbon atoms represented by R 2 and R 3 (excluding a cycloalkyl group having 7 to 8 carbon atoms) include, for example, a bicycloalkyl group, a tricycloalkyl group, a spiroalkyl group, Examples thereof include a ter-cycloalkyl group, a terpene skeleton-containing group, and an adamantyl skeleton-containing group. Among these, alicyclic groups having 9 to 18 carbon atoms are preferable, and 9 to 12 carbon atoms are particularly preferable.

上記のうち、Rとしては、ビシクロアルキル基、トリシクロアルキル基、アダマンチル骨格含有基などが好ましく、Rとしては、トリシクロアルキル基、アダマンチル骨格含有基などが好ましい。 Among the above, R 2 is preferably a bicycloalkyl group, a tricycloalkyl group, an adamantyl skeleton-containing group or the like, and R 3 is preferably a tricycloalkyl group, an adamantyl skeleton-containing group or the like.

で表される、炭素数4〜20の含窒素複素環基、炭素数4〜20の含酸素複素環基、炭素数4〜20の含硫黄複素環基としては、例えば、チオラニル基、アゼピニル基、ジヒドロアゼピニル基、ジオキソラニル基、トリアジニル基、オキサチアニル基、チアゾリル基、オキサジアジニル基、ジオキサインダニイル基、ジヒアナフタレニル基、フラニル基、チオフェニル基、ピロリル基、オキサゾリル基、イソオキサゾリル基、チアゾリル基、イソチアゾリル基、ピラゾリル基、フラザニル基、ピラニル基、ピリジニル基、ピリダジニル基、ピリミジル基、ピラジニル基、ピロリニル基、モルホニル基、ピペラジニル基、キヌクリジニル基、インドーリル基、イソインドーリル基、ベンゾフラニル基、ベンゾチオフェニル基、インドリジニル基、クロメニル基、キノリニル基、イソキノリニル基、プリニル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、フタラジニル基、プテリジニル基、カルバゾーリル基、アクリジニル基、フェナントリジニル基、チオキサンテニル基、フェナジニル基、フェノチアジニル基、フェノキサチイニル基、フェノキサジニル基、チアントレニル基、テトラヒドロフラニル基、テトラヒドロピラニル基などが挙げられる。
これらのうち、炭素数4〜20の含酸素複素環基が好ましく、特にテトラヒドロフラニル基、テトラヒドロピラニル基等が好ましい。
Examples of the nitrogen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, the oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and the sulfur-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms represented by R 4 include a thiolanyl group, Azepinyl group, dihydroazepinyl group, dioxolanyl group, triazinyl group, oxathianyl group, thiazolyl group, oxadiazinyl group, dioxaindanyl group, dihyanaphthalenyl group, furanyl group, thiophenyl group, pyrrolyl group, oxazolyl group, isoxazolyl group , Thiazolyl group, isothiazolyl group, pyrazolyl group, furazanyl group, pyranyl group, pyridinyl group, pyridazinyl group, pyrimidyl group, pyrazinyl group, pyrrolinyl group, morpholinyl group, piperazinyl group, quinuclidinyl group, indolyl group, isoindoryl group, benzofuranyl group , Benzothiophenyl group, indolizini Group, chromenyl group, quinolinyl group, isoquinolinyl group, purinyl group, quinazolinyl group, cinnolinyl group, phthalazinyl group, pteridinyl group, carbazolyl group, acridinyl group, phenanthridinyl group, thioxanthenyl group, phenazinyl group, phenothiazinyl group, phenoxy group Examples include a satinyl group, a phenoxazinyl group, a thiantenyl group, a tetrahydrofuranyl group, and a tetrahydropyranyl group.
Of these, an oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms is preferable, and a tetrahydrofuranyl group, a tetrahydropyranyl group, and the like are particularly preferable.

で表される炭素数1〜12のアルキル基は、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基であることができ、その具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。中でも、炭素数1〜12のアルキル基が好ましく、炭素数1〜8のアルキル基は特に好ましい。 The alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 5 can be a linear, branched or cyclic alkyl group, and specific examples thereof include, for example, a methyl group, an ethyl group, and n-propyl. Group, i-propyl group, n-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl Group, n-undecyl group, n-dodecyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group and the like. Especially, a C1-C12 alkyl group is preferable and a C1-C8 alkyl group is especially preferable.

また、Rで表される炭素数1〜12のアルコキシ基としては、直鎖状、分岐状又は環状のアルコキシ基であることができ、その具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、i−プロポキシ基、n−ブトキシ基、t−ブトキシ、n−ペンチルオキシ基等を挙げることができる。中でも、炭素数1〜2のアルコキシ基が好ましい。 Further, the alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 5, straight chain, can be an alkoxy group branched or cyclic, and examples thereof include a methoxy group, an ethoxy group, n- A propoxy group, i-propoxy group, n-butoxy group, t-butoxy, n-pentyloxy group, etc. can be mentioned. Among these, an alkoxy group having 1 to 2 carbon atoms is preferable.

これらのうち、前記Rとしては、特に、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、メトキシ基、エトキシ基が好ましい。 Among these, as R 5 , a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group, a methoxy group, and an ethoxy group are particularly preferable.

前記一般式(1)〜(2)中において、nは、1であることが好ましい。mは、1、2のいずれかであることが好ましく、1であることが特に好ましい、また、lは、0、1、2のいずれかであることが好ましく、1であることが特に好ましい。   In the general formulas (1) to (2), n is preferably 1. m is preferably any one of 1, 2 and is particularly preferably 1, and 1 is preferably either 0, 1, or 2 and particularly preferably 1.

前記一般式(1)又は(2)で表される構造のうち、高い感度及び重合反応性(硬化)を得つつ、調液後の液保存性及び成膜後の乾膜状態での経時安定性を維持し、形成しようとするパターンの形状及びそれに必要な膜厚の制御性を高め、被塗物との密着性を高める観点から、Rがエチル基であって、Rがメチル基であって、Rがメチル基であって、Rがテトラヒドロフラニル基であって、Rがメチル基であって、nが1であって、mが1であって、lが1である場合が特に好ましい。更には、一般式(2)で表される構造の方がより好ましい。 Among the structures represented by the general formula (1) or (2), while obtaining high sensitivity and polymerization reactivity (curing), liquid storage after preparation and stability over time in a dry film state after film formation From the viewpoint of maintaining controllability, increasing the controllability of the shape of the pattern to be formed and the film thickness required for it, and improving the adhesion to the object, R 1 is an ethyl group and R 2 is a methyl group R 3 is a methyl group, R 4 is a tetrahydrofuranyl group, R 5 is a methyl group, n is 1, m is 1, l is 1, Some cases are particularly preferred. Furthermore, the structure represented by the general formula (2) is more preferable.

前記一般式(1)又は(2)で表される化合物の具体例としては、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-2-テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-2-テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-2-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-2-テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-3-テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-3-テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-3-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
Specific examples of the compound represented by the general formula (1) or (2) include ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9.H.- Carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);

エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-3-テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-4-テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-4-テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-4-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-4-テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-2-テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-2-テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);

エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-2-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-2-テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-3-テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-3-テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-3-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-3-テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-4-テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-4-テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-2-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-3-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);

エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-4-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-4-テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−ベンゾイルアセチルオキシム);
エタノン,1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9.H.−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム);
等を挙げることができる。
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-benzoylacetyloxime);
Ethanone, 1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl] -9. H. -Carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime);
Etc.

これらのうち、特に、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム);エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム);エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム);エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)及びエタノン,1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9.H.−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)が好ましい。
これら光重合開始剤は、1種単独であるいは2種以上を併用してもよい。
Of these, in particular, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime); ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime); ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime); ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and ethanone, 1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxy Benzoyl] -9. H. -Carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) is preferred.
These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

〔C〕一般式(1)〜(2)で表される光重合開始剤の感光性樹脂組成物中における含有量としては、前記〔B〕重合性化合物100質量部に対して、1〜20質量部が好ましく、より好ましくは2〜15質量部である。光重合開始剤〔C〕の含有量が前記範囲内であると、高い感度及び重合反応性(硬化)を得ながら、調液後の液保存性、及び成膜後の乾膜状態での経時安定性を維持でき、形成しようとするパターンの形状及び膜厚の制御性を向上させることができる。具体的には、前記含有量が、1質量部以上であると現像時の残膜率が低減でき、20質量部以下であると現像時における未露光部のアルカリ現像液に対する溶解性を維持できる。   [C] The content of the photopolymerization initiator represented by the general formulas (1) to (2) in the photosensitive resin composition is 1 to 20 with respect to 100 parts by mass of the [B] polymerizable compound. A mass part is preferable, More preferably, it is 2-15 mass parts. When the content of the photopolymerization initiator [C] is within the above range, while obtaining high sensitivity and polymerization reactivity (curing), liquid storage stability after preparation, and aging in a dry film state after film formation The stability can be maintained, and the controllability of the shape and film thickness of the pattern to be formed can be improved. Specifically, when the content is 1 part by mass or more, the remaining film ratio at the time of development can be reduced, and when it is 20 parts by mass or less, the solubility of the unexposed part in the alkaline developer at the time of development can be maintained. .

本発明の感光性樹脂組成物においては、感度(低露光量(好ましくは1,500J/m以下)での形状及び膜厚の制御性)を高め、液状態での保存性及び成膜後の感光性膜(乾膜)の経時安定性をより向上させる点で、下記の組み合わせ態様がより好ましい。
すなわち、〔A〕樹脂が、分岐及び/又は脂環構造と酸性基と「主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合」とをそれぞれ別の繰り返し単位(共重合単位)に有する3元共重合以上の共重合体であって、〔C〕光重合開始剤が下記1)又は2)の場合である。
1)〔C〕光重合開始剤が、一般式(1)又は(2)において、Rがエチル基であって、Rがメチル基であって、Rがメチル基であって、Rがテトラヒドロフラニル基であって、Rがメチル基であって、nが1であって、mが1であって、lが1である光重合開始剤。
2)〔C〕光重合開始剤が、一般式(1)又は(2)において、Rがエチル基であって、Rがメチル基であって、Rがメチル基であって、Rがテトラヒドロピラニル基であって、Rがメチル基であって、nが1であって、mが1であって、lが1である光重合開始剤。
In the photosensitive resin composition of the present invention, sensitivity (shape and film thickness controllability at low exposure (preferably 1,500 J / m 2 or less) is improved), storage stability in liquid state and after film formation In terms of further improving the temporal stability of the photosensitive film (dry film), the following combinations are more preferable.
That is, [A] the resin has different repeating units (copolymerization) each having a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and an “ethylenically unsaturated bond arranged through an ester group between the main chain”. In this case, the copolymer is a terpolymer or higher copolymer in the unit), and the [C] photopolymerization initiator is 1) or 2) below.
1) [C] The photopolymerization initiator in the general formula (1) or (2), R 1 is an ethyl group, R 2 is a methyl group, R 3 is a methyl group, R A photopolymerization initiator in which 4 is a tetrahydrofuranyl group, R 5 is a methyl group, n is 1, m is 1 and l is 1.
2) [C] The photopolymerization initiator is represented by the general formula (1) or (2), wherein R 1 is an ethyl group, R 2 is a methyl group, R 3 is a methyl group, and R A photopolymerization initiator in which 4 is a tetrahydropyranyl group, R 5 is a methyl group, n is 1, m is 1 and l is 1.

光重合開始剤としては、前記一般式(1)〜(2)以外のO−アシルオキシム型光重合開始剤(以下、「光重合開始剤C−2」と称する。)を併用してもよい。
光重合開始剤C−2の具体例としては、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−ブタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−ブタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−アセチルオキシム)、1,2−オクタジオン−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−(4―メチルベンゾイルオキシム))等を挙げることができる。これらのうち、特に1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)が好ましい。
前記光重合開始剤C−2を併用する場合、光重合開始剤C−2の使用割合は、光重合開始剤の30質量%以下とするのが好ましい。
As the photopolymerization initiator, O-acyloxime photopolymerization initiators other than the general formulas (1) to (2) (hereinafter referred to as “photopolymerization initiator C-2”) may be used in combination. .
Specific examples of the photopolymerization initiator C-2 include 1,2-octadion-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), 1,2-butanedione-1- [4- (Phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), 1,2-butanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-acetyloxime), 1,2-octadione-1- [ 4- (methylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), 1,2-octadion-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O- (4-methylbenzoyloxime)) and the like be able to. Of these, 1,2-octadion-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime) is particularly preferable.
When using the said photoinitiator C-2 together, it is preferable that the usage-amount of the photoinitiator C-2 shall be 30 mass% or less of a photoinitiator.

さらに、上記以外の公知の光重合開始剤(光重合開始剤C−3)を併用してもよい。光重合開始剤C−3としては、例えば、特開2006−23696号公報の段落番号[0010]〜[0020]や、特開2006−64921号公報の段落番号[0027]〜[0053]に記載の開始剤を挙げることができる。他の公知の光重合開始剤の例としては、感度の点で、アミノアセトフェノン系化合物、アシルフォスフィンオキサイド系化合物、上記以外のオキシムエステル系化合物が好適である。
アミノアセトフェノン系化合物の具体例としては、IRGACURE(Irg)369やIRGACURE(Irg)379、及びIRGACURE(Irg)907(以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)等が挙げられる。アシルフォスフィンオキサイド系化合物の具体例としては、DAROCUR TPOや、Irgacure(Irg)819(以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)等が挙げられる。あMた、オキシムエステル系化合物の具体例としては、IRGACURE(Irg)OXE01 (チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)等が挙げられる。以下に、これらの開始剤の構造を示す。
Furthermore, you may use together well-known photoinitiators other than the above (photoinitiator C-3). Examples of the photopolymerization initiator C-3 are described in paragraph numbers [0010] to [0020] of JP-A-2006-23696 and paragraph numbers [0027] to [0053] of JP-A-2006-64921. Can be mentioned. As examples of other known photopolymerization initiators, aminoacetophenone compounds, acylphosphine oxide compounds, and oxime ester compounds other than those described above are preferable in terms of sensitivity.
Specific examples of aminoacetophenone compounds include IRGACURE (Irg) 369, IRGACURE (Irg) 379, and IRGACURE (Irg) 907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.). Specific examples of the acylphosphine oxide compound include DAROCUR TPO, Irgacure (Irg) 819 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.), and the like. Specific examples of the oxime ester compounds include IRGACURE (Irg) OXE01 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals). The structures of these initiators are shown below.

Figure 2009122549
Figure 2009122549

前記光重合開始剤C−2,C−3は、本発明の効果を損なわない範囲で適宜使用することができる。光重合開始剤の感光性樹脂組成物中における総量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.5〜25質量%が好ましく、1〜20質量%がより好ましい。   The photopolymerization initiators C-2 and C-3 can be appropriately used as long as the effects of the present invention are not impaired. 0.5-25 mass% is preferable with respect to the total solid of the photosensitive resin composition, and, as for the total amount in the photosensitive resin composition of a photoinitiator, 1-20 mass% is more preferable.

〔D〕微粒子
本発明における感光性樹脂組成物は、前記〔A〕樹脂、〔B〕重合性化合物、及び〔C〕光重合開始剤と共に、力学強度の点で、〔D〕微粒子を含有することが好ましい。
微粒子としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、特開2003−302639号公報[0035]〜[0041]に記載の体質顔料が好ましく、中でも、良好な現像性、力学強度を有するスペーサが得られる点から、コロイダルシリカが好ましい。
[D] Fine Particles The photosensitive resin composition of the present invention contains [D] fine particles in terms of mechanical strength together with the [A] resin, [B] polymerizable compound, and [C] photopolymerization initiator. It is preferable.
The fine particles are not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, extender pigments described in JP-A-2003-302039 [0035] to [0041] are preferable, and among them, good development is preferable. Colloidal silica is preferable from the viewpoint of obtaining a spacer having the property and mechanical strength.

前記〔D〕微粒子の平均粒子径は、スペーサ等の外力を受けやすい構造を形成する場合には高い力学強度が得られる点で、5〜50nmであることが好ましく、10〜40nmであることがより好ましく、15〜30nmであることが特に好ましい。   [D] The average particle diameter of the fine particles is preferably 5 to 50 nm, and preferably 10 to 40 nm in that a high mechanical strength can be obtained when forming a structure that is susceptible to external force such as a spacer. More preferably, it is 15-30 nm.

前記〔D〕微粒子の感光性樹脂組成物(スペーサを形成するときにはスペーサ(又はこれを構成する感光性樹脂層)中における含有量としては、高い力学強度を有するスペーサを得る観点から、感光性樹脂組成物中の全固形分(質量)に対して、5〜50質量%であることが好ましく、10〜40質量%であることがより好ましく、15〜30質量%であることが特に好ましい。   [D] The content in the photosensitive resin composition of fine particles (when forming the spacer, the spacer (or the photosensitive resin layer constituting the spacer) is a photosensitive resin from the viewpoint of obtaining a spacer having high mechanical strength. The total solid content (mass) in the composition is preferably 5 to 50 mass%, more preferably 10 to 40 mass%, and particularly preferably 15 to 30 mass%.

〔E〕その他
本発明における感光性樹脂組成物は、前記〔A〕樹脂、〔B〕重合性化合物、〔C〕光重合開始剤、及び必要に応じて〔D〕微粒子以外に、さらに必要に応じて、光重合開始助剤などの他の成分を含んでいてもよい。
[E] Others The photosensitive resin composition according to the present invention is necessary in addition to the above [A] resin, [B] polymerizable compound, [C] photopolymerization initiator, and [D] fine particles as required. Accordingly, other components such as a photopolymerization initiation aid may be included.

感光性樹脂組成物は、他の添加成分として光重合開始助剤を併用してもよい。光重合開始助剤は、光重合開始剤によって重合が開始された重合性化合物の重合を促進するために、光重合開始剤と組み合わせて用いることができる。光重合開始助剤としては、アミン系化合物の少なくとも1種を用いることが好ましい。   The photosensitive resin composition may use a photopolymerization initiation assistant in combination as another additive component. The photopolymerization initiation assistant can be used in combination with a photopolymerization initiator in order to promote polymerization of a polymerizable compound that has been polymerized by the photopolymerization initiator. As the photopolymerization initiation assistant, it is preferable to use at least one amine compound.

前記アミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。また、アミン系やその他の光重合開始助剤を複数組み合わせて使用してもよい。
上記以外の他の光重合開始助剤として、例えば、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物、クマリン系化合物などが挙げられる。前記アルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。前記チオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
また、光重合開始助剤として市販のものを用いることもできる。市販の光重合開始助剤としては、例えば、商品名「EAB−F」(保土谷化学工業(株)製)などが挙げられる。
Examples of the amine compound include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminobenzoate. Ethyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 Examples include '-bis (ethylmethylamino) benzophenone, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable. Further, a plurality of amine-based and other photopolymerization initiation assistants may be used in combination.
Examples of other photopolymerization initiation assistants other than the above include alkoxyanthracene compounds, thioxanthone compounds, and coumarin compounds. Examples of the alkoxyanthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, and the like. It is done. Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.
Moreover, a commercially available thing can also be used as a photoinitiation adjuvant. Examples of commercially available photopolymerization initiation assistants include trade name “EAB-F” (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.).

光重合開始助剤の感光性樹脂組成物中における含有量としては、上記の光重合開始剤1質量部に対して、0.6質量部以上20質量部以下が好ましく、1質量部以上15質量部以下がより好ましく、とりわけ1.5質量部以上15質量部以下が好ましい。   As content in the photosensitive resin composition of a photoinitiator adjuvant, 0.6 mass part or more and 20 mass parts or less are preferable with respect to 1 mass part of said photoinitiator, 1 mass part or more and 15 mass parts. Part or less is more preferable, and 1.5 parts by weight or more and 15 parts by weight or less is particularly preferable.

また、その他の成分としては、公知の組成物を構成する成分から選択して用いることができ、例えば、特開2006−23696号公報の段落番号[0010]〜[0020]や特開2006−64921号公報の段落番号[0027]〜[0053]に記載の成分を挙げることができる。   Further, as other components, they can be selected from components constituting a known composition and used, for example, paragraph numbers [0010] to [0020] of JP-A-2006-23696 and JP-A-2006-64921. Ingredients listed in paragraphs [0027] to [0053] of the gazette.

<スペーサ及びその形成方法>
本発明のスペーサは、既述の本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されたものである。感光性樹脂組成物の詳細及び好ましい態様については、既述した通りである。本発明のスペーサは、本発明の感光性樹脂組成物を用いた方法であれば、いずれの方法で形成されてもよいが、以下に示す工程(イ)〜(ニ)を含む方法(本発明のスペーサの形成方法)を用いることによって最も好適に形成することができる。
<Spacer and formation method thereof>
The spacer of the present invention is formed using the above-described photosensitive resin composition of the present invention. Details and preferred embodiments of the photosensitive resin composition are as described above. The spacer of the present invention may be formed by any method as long as it is a method using the photosensitive resin composition of the present invention, but the method including the following steps (i) to (d) (the present invention) The spacer can be formed most suitably by using the spacer forming method.

本発明のスペーサは、本発明の感光性樹脂組成物を用いて構成されるので、異物等の混入などに伴なう液晶の配向乱れなどが抑制され、スペーサとして必要とされる高い圧縮弾性率、変形回復性を持ち、均一高で形状の良好なスペーサが得られる。   Since the spacer of the present invention is composed of the photosensitive resin composition of the present invention, the alignment disorder of the liquid crystal due to the mixing of foreign substances and the like is suppressed, and a high compression elastic modulus required as a spacer is achieved. A spacer having good deformation recovery, uniform height and good shape can be obtained.

本発明のスペーサの形成方法は、(イ)既述の本発明の感光性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程(以下、「被膜形成工程」ともいう。)と、(ロ)前記被膜の少なくとも一部を露光する工程(以下、「露光工程」ともいう。)と、(ハ)露光後の前記被膜を現像する工程(以下、「現像工程」ともいう。)と、(ニ)現像後の前記被膜を加熱する工程(以下、「被膜加熱工程」ともいう。)とを設けて構成されており、必要に応じて、更に他の工程を設けて構成されてもよい。   The method for forming a spacer of the present invention comprises (a) a step of forming a film of the above-described photosensitive resin composition of the present invention on a substrate (hereinafter also referred to as “film formation step”), and A step of exposing at least a part of the coating (hereinafter also referred to as “exposure step”), (c) a step of developing the coating after exposure (hereinafter also referred to as “developing step”), and (d). A step of heating the film after development (hereinafter also referred to as “film heating step”) is provided, and another step may be provided as necessary.

(イ)被膜形成工程
被膜形成工程は、既述の本発明の感光性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する。被膜として感光性樹脂層を形成することができ、この感光性樹脂層は、後述の露光工程や現像工程等の他工程を経ることにより、セル厚を均一に保持し得るスペーサを構成する。本発明のスペーサを用いることにより、特にセル厚の変動で表示ムラが生じやすい表示装置(特に液晶表示装置)における画像中の表示ムラが効果的に解消される。
(A) Film formation process A film formation process forms the film of the photosensitive resin composition of this invention as stated above on a board | substrate. A photosensitive resin layer can be formed as a coating, and this photosensitive resin layer constitutes a spacer capable of maintaining a uniform cell thickness by performing other steps such as an exposure step and a development step described later. By using the spacer of the present invention, display unevenness in an image in a display device (particularly a liquid crystal display device) that tends to cause display unevenness due to variation in cell thickness is effectively eliminated.

基板上に感光性樹脂層を形成する方法としては、(a)既述の〔A〕樹脂、〔B〕重合性化合物、及び〔C〕光重合開始剤を少なくとも含む感光性樹脂組成物を塗布する塗布法、及び(b)前記感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用い、加熱及び/又は加圧により感光性樹脂層をラミネート、転写する転写法が好適に挙げられる。   As a method for forming a photosensitive resin layer on a substrate, (a) a photosensitive resin composition containing at least the above-described [A] resin, [B] polymerizable compound, and [C] photopolymerization initiator is applied. Preferable examples include a coating method for coating, and (b) a transfer method for laminating and transferring the photosensitive resin layer by heating and / or pressurization using the photosensitive transfer material having the photosensitive resin layer.

(a)塗布法
感光性組成物の塗布は、公知の塗布法、例えば、スピンコート法、カーテンコート法、スリットコート法、ディップコート法、エアーナイフコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、あるいは米国特許第2681294号明細書に記載のポッパーを使用するエクストルージョンコート法等により行なうことができる。中でも、特開2004−89851号公報、特開2004−17043号公報、特開2003−170098号公報、特開2003−164787号公報、特開2003−10767号公報、特開2002−79163号公報、特開2001−310147号公報等に記載のスリットノズルあるいはスリットコーターによる方法が好適である。
(A) Coating method The photosensitive composition is coated by a known coating method such as spin coating, curtain coating, slit coating, dip coating, air knife coating, roller coating, wire bar coating, It can be carried out by a gravure coating method or an extrusion coating method using a popper described in US Pat. No. 2,681,294. Among them, JP 2004-89851 A, JP 2004-17043 A, JP 2003-170098 A, JP 2003-164787 A, JP 2003-10767 A, JP 2002-79163 A, A method using a slit nozzle or a slit coater described in JP 2001-310147 A is suitable.

(b)転写法
転写は、感光性転写材料を用いて、仮支持体上に膜状に形成された感光性樹脂層を所望の基板面に例えば加熱及び/又は加圧したローラー又は平板を用いて圧着又は加熱圧着することによって貼り合せた後、仮支持体の剥離により感光性樹脂層を基板上に転写する。具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられ、低異物の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
(B) Transfer method Transfer is performed using a photosensitive transfer material, for example, a roller or flat plate in which a photosensitive resin layer formed in a film shape on a temporary support is heated and / or pressed on a desired substrate surface. Then, the photosensitive resin layer is transferred onto the substrate by peeling off the temporary support. Specific examples include laminators and laminating methods described in JP-A-7-110575, JP-A-11-77942, JP-A-2000-334836, and JP-A-2002-148794. From the viewpoint, it is preferable to use the method described in JP-A-7-110575.

感光性樹脂層を形成する場合、感光性樹脂層と仮支持体との間には更に酸素遮断層(以下、「酸素遮断膜」又は「中間層」ともいう。)を設けることができる。これにより、露光感度をアップすることができる。また、転写性を向上させるために、クッション性を有する熱可塑性樹脂層を設けてもよい。
感光性転写材料を構成する仮支持体、酸素遮断層、熱可塑性樹脂層、その他の層や該感光性転写材料の作製方法については、特開2006−23696号公報の段落番号[0024]〜[0030]に記載の構成、作製方法を適用することができる。
In the case of forming the photosensitive resin layer, an oxygen blocking layer (hereinafter also referred to as “oxygen blocking film” or “intermediate layer”) can be further provided between the photosensitive resin layer and the temporary support. Thereby, exposure sensitivity can be improved. In order to improve transferability, a thermoplastic resin layer having cushioning properties may be provided.
Paragraph numbers [0024] to [0024] of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-23696 describe the temporary support, the oxygen-blocking layer, the thermoplastic resin layer, and other layers constituting the photosensitive transfer material and the method for producing the photosensitive transfer material. The structure and manufacturing method described in [0030] can be applied.

(a)塗布法、(b)転写法ともに感光性樹脂層を形成する場合、その層厚は0.5〜10.0μmが好ましく、1〜6μmがより好ましい。層厚が前記範囲であると、製造時における塗布形成の際のピンホールの発生が防止され、未露光部の現像除去を長時間を要することなく行なうことができる。   When the photosensitive resin layer is formed by both the coating method (a) and the transfer method (b), the layer thickness is preferably 0.5 to 10.0 μm, and more preferably 1 to 6 μm. When the layer thickness is in the above range, the generation of pinholes during the formation of coating during production is prevented, and development and removal of unexposed portions can be performed without requiring a long time.

感光性樹脂層を形成する基板としては、例えば、透明基板(例えばガラス基板やプラスチックス基板)、透明導電膜(例えばITO膜)付基板、カラーフィルタ付きの基板(カラーフィルタ基板ともいう。)、駆動素子(例えば、薄膜トランジスタ[TFT])付駆動基板、などが挙げられる。基板の厚みとしては、700〜1200μmが一般に好ましい。   Examples of the substrate on which the photosensitive resin layer is formed include a transparent substrate (for example, a glass substrate or a plastics substrate), a substrate with a transparent conductive film (for example, an ITO film), a substrate with a color filter (also referred to as a color filter substrate), and the like. Examples thereof include a drive substrate with a drive element (for example, a thin film transistor [TFT]). The thickness of the substrate is generally preferably 700 to 1200 μm.

(ロ)露光工程・現像工程
露光工程では、前記被膜形成工程で形成された被膜の少なくとも一部を露光し、潜像を形成する。その後の現像工程では、前記露光工程で露光された被膜を現像し、所望の形状のスペーサパターンを形成することができる。
(B) Exposure process / development process In the exposure process, at least a part of the film formed in the film formation process is exposed to form a latent image. In the subsequent development step, the coating film exposed in the exposure step can be developed to form a spacer pattern having a desired shape.

これらの工程の具体例としては、特開2006−64921号公報の段落番号[0071]〜[0077]に記載の形成例や、特開2006−23696号公報の段落番号[0040]〜[0051]に記載の工程などが、本発明において好適な例として挙げることができる。   Specific examples of these processes include the formation examples described in paragraphs [0071] to [0077] of JP-A-2006-64921, and paragraph numbers [0040] to [0051] of JP-A-2006-23696. The process described in 1 can be given as a suitable example in the present invention.

(ハ)被膜加熱工程
被膜加熱工程では、前記現像工程における現像後の被膜を加熱する。加熱によって被膜の硬化がより促進し、高強度を有し、圧縮弾性率、弾性回復性の良好なスペーサが得られる。
(C) Film heating process In the film heating process, the film after development in the development process is heated. Curing of the coating is further accelerated by heating, and a spacer having high strength, good compression elastic modulus and good elastic recovery can be obtained.

上記のようにして、基板上にスペーサを備えた液晶表示装置用基板を作製することができる。スペーサは、基板上に形成されたブラックマトリクス等の黒色遮光部の上やTFT等の駆動素子上に形成されることが好ましい。また、ブラックマトリクス等の黒色遮光部やTFT等の駆動素子とスペーサとの間にITO等の透明導電層(透明電極)やポリイミド等の液晶配向膜が存在していてもよい。   As described above, a substrate for a liquid crystal display device including a spacer on the substrate can be manufactured. The spacer is preferably formed on a black light shielding portion such as a black matrix formed on the substrate or on a driving element such as a TFT. Further, a transparent conductive layer (transparent electrode) such as ITO or a liquid crystal alignment film such as polyimide may exist between a black light shielding portion such as a black matrix or a driving element such as a TFT and a spacer.

例えば、スペーサが黒色遮光部や駆動素子の上に設けられる場合、該基板に予め配設された黒色遮光部(ブラックマトリクスなど)や駆動素子を覆うようにして、例えば、感光性転写材料の感光性樹脂層を支持体面にラミネートし、剥離転写して感光性樹脂層を形成した後、これに露光、現像、加熱処理等を施してスペーサを形成することによって、液晶表示装置用基板を作製することができる。
本発明の液晶表示装置用基板には更に、必要に応じて赤色(R)、青色(B)、緑色(G)3色等の着色画素が設けられてもよい。
For example, when the spacer is provided on the black light-shielding portion or the driving element, for example, the photosensitive transfer material is exposed so as to cover the black light-shielding portion (black matrix or the like) or the driving element previously disposed on the substrate. A substrate for a liquid crystal display device is manufactured by laminating a photosensitive resin layer on a support surface, peeling and transferring to form a photosensitive resin layer, and then subjecting it to exposure, development, heat treatment, etc. to form a spacer. be able to.
The substrate for a liquid crystal display device of the present invention may further be provided with colored pixels of three colors such as red (R), blue (B), and green (G) as necessary.

本発明のスペーサは、ブラックマトリクス等の黒色遮蔽部及び着色画素等の着色部を含むカラーフィルタを形成した後に形成することができる。
前記黒色遮蔽部及び着色部とスペーサとは、感光性組成物を塗布する塗布法と感光性組成物からなる感光性樹脂層を有する転写材料を用いる転写法と、を任意に組合せて形成することが可能である。
前記黒色遮蔽部及び着色部並びに前記スペーサはそれぞれ感光性組成物から形成でき、具体的には、例えば、基板に液体の前記感光性樹脂組成物を直接塗布することにより感光性樹脂層を形成した後に、露光・現像を行ない、前記黒色遮蔽部及び着色部をパターン状に形成し、その後、別の液体の前記感光性樹脂組成物を前記基板とは異なる別の基板(仮支持体)上に設置して感光性樹脂層を形成することにより作製された転写材料を用い、この転写材料を前記黒色遮蔽部及び着色部が形成された前記基板に密着させて感光性樹脂層を転写した後に、露光・現像を行うことによりスペーサをパターン状に形成することができる。
このようにして、スペーサが設けられたカラーフィルタを作製することができる。
The spacer of the present invention can be formed after forming a color filter including a black shielding part such as a black matrix and a colored part such as a colored pixel.
The black shielding part, the colored part and the spacer are formed by arbitrarily combining a coating method for applying a photosensitive composition and a transfer method using a transfer material having a photosensitive resin layer made of the photosensitive composition. Is possible.
The black shielding part, the colored part and the spacer can each be formed from a photosensitive composition. Specifically, for example, a photosensitive resin layer is formed by directly applying the liquid photosensitive resin composition to a substrate. Later, exposure and development are performed to form the black shielding portion and the colored portion in a pattern, and then the photosensitive resin composition of another liquid is placed on another substrate (temporary support) different from the substrate. After using the transfer material prepared by installing and forming the photosensitive resin layer, this transfer material is closely attached to the substrate on which the black shielding portion and the colored portion are formed, and the photosensitive resin layer is transferred, The spacer can be formed in a pattern by performing exposure and development.
In this manner, a color filter provided with a spacer can be manufactured.

<液晶表示素子>
本発明の液晶表示装置は、既述の本発明のスペーサを設けて構成されている。液晶表示素子の1つとして、少なくとも一方が光透過性の一対の支持体(液晶表示装置用基板を含む。)間に液晶層と液晶駆動手段(単純マトリックス駆動方式及びアクティブマトリックス駆動方式を含む。)を少なくとも備えたものが挙げられる。
<Liquid crystal display element>
The liquid crystal display device of the present invention is configured by providing the above-described spacer of the present invention. As one of the liquid crystal display elements, at least one of them includes a liquid crystal layer and a liquid crystal driving means (simple matrix driving method and active matrix driving method) between a pair of light transmissive supports (including a liquid crystal display device substrate). ) At least.

この場合、液晶表示装置用基板は、複数のRGB画素群を有し、該画素群を構成する各画素が互いにブラックマトリックスで離画されているカラーフィルタ基板として用いることができる。このカラーフィルタ基板には、弾性回復率及び加重変形量に優れた変形回復性の高いスペーサが設けられているため、該カラーフィルタ基板を備えた液晶表示素子は、カラーフィルタ基板と対向基板との間のセルギャップ(セル厚)の変動に起因して液晶材料が偏在する、低温発泡する等による色ムラ等の表示ムラの発生を効果的に防止することができる。これにより、作製された液晶表示素子は鮮やかな画像を表示できる。   In this case, the substrate for a liquid crystal display device can be used as a color filter substrate having a plurality of RGB pixel groups and each pixel constituting the pixel group being separated from each other by a black matrix. Since this color filter substrate is provided with a high deformation recovery spacer having an excellent elastic recovery rate and weighted deformation amount, a liquid crystal display element including the color filter substrate is provided between the color filter substrate and the counter substrate. It is possible to effectively prevent the occurrence of display unevenness such as color unevenness due to uneven distribution of liquid crystal material due to fluctuations in cell gap (cell thickness) and low temperature foaming. Thereby, the produced liquid crystal display element can display a vivid image.

また、液晶表示素子の別の態様として、少なくとも一方が光透過性の一対の支持体(液晶表示装置用基板を含む。)間に液晶層と液晶駆動手段とを少なくとも備え、前記液晶駆動手段がアクティブ素子(例えばTFT)を有し、かつ一対の基板間が弾性回復率及び加重変形量に優れた変形回復性の高いスペーサにより所定幅に規制して構成されたものである。この場合も、本発明の液晶表示装置用基板は、複数のRGB画素群を有し、該画素群を構成する各画素が互いにブラックマトリックスで離画されたカラーフィルタ基板として用いられる。   As another aspect of the liquid crystal display element, at least one of the liquid crystal display elements includes at least a liquid crystal layer and a liquid crystal driving means between a pair of light-transmitting supports (including a substrate for a liquid crystal display device). An active element (for example, TFT) is included, and a pair of substrates is configured to be regulated to a predetermined width by a highly deformable spacer having an excellent elastic recovery rate and weighted deformation amount. Also in this case, the substrate for a liquid crystal display device of the present invention has a plurality of RGB pixel groups, and is used as a color filter substrate in which each pixel constituting the pixel group is separated from each other by a black matrix.

本発明において使用可能な液晶としては、ネマチック液晶、コレステリック液晶、スメクチック液晶、強誘電液晶が挙げられる。
また、前記カラーフィルタ基板の前記画素群は、互いに異なる色を呈する2色の画素からなるものでも、3色の画素、4色以上の画素からなるものであってもよい。例えば3色の場合、赤(R)、緑(G)及び青(B)の3つの色相で構成される。RGB3色の画素群を配置する場合には、モザイク型、トライアングル型等の配置が好ましく、4色以上の画素群を配置する場合にはどのような配置であってもよい。カラーフィルタ基板の作製は、例えば2色以上の画素群を形成した後既述のようにブラックマトリックスを形成してもよいし、逆にブラックマトリックスを形成した後に画素群を形成するようにしてもよい。RGB画素の形成については、特開2004−347831号公報等を参考にすることができる。
Examples of liquid crystals that can be used in the present invention include nematic liquid crystals, cholesteric liquid crystals, smectic liquid crystals, and ferroelectric liquid crystals.
In addition, the pixel group of the color filter substrate may be composed of two-color pixels exhibiting different colors, or may be composed of three-color pixels, four-color pixels or more. For example, in the case of three colors, it is composed of three hues of red (R), green (G), and blue (B). When arranging pixel groups of three colors of RGB, arrangement of mosaic type, triangle type, etc. is preferable, and when arranging pixel groups of four colors or more, any arrangement may be used. For producing the color filter substrate, for example, a black matrix may be formed as described above after forming a pixel group of two or more colors, or conversely, a pixel group may be formed after forming a black matrix. Good. Regarding the formation of RGB pixels, JP 2004-347831 A can be referred to.

<液晶表示装置>
液晶表示装置は、上記の液晶表示装置用基板を設けて構成することができる。また、液晶表示装置は、前記液晶表示素子を設けて構成することができる。すなわち、互いに向き合うように対向配置された一対の基板間を既述のように、本発明のスペーサで所定幅に規制し、規制された間隙に液晶材料を封入(封入部位を液晶層と称する。)して構成されており、液晶層の厚さ(セル厚)が所望の均一厚に保持されるようになっている。
<Liquid crystal display device>
A liquid crystal display device can be configured by providing the above-described liquid crystal display device substrate. Further, the liquid crystal display device can be configured by providing the liquid crystal display element. That is, as described above, the space between the pair of substrates arranged to face each other is regulated to a predetermined width by the spacer of the present invention, and the liquid crystal material is enclosed in the regulated gap (the enclosed portion is referred to as a liquid crystal layer). The thickness of the liquid crystal layer (cell thickness) is maintained at a desired uniform thickness.

液晶表示装置における液晶表示モードとしては、STN型、TN型、GH型、ECB型、強誘電性液晶、反強誘電性液晶、VA型、IPS型、OCB型、ASM型、その他種々のものが好適に挙げられる。中でも、本発明の液晶表示装置においては、最も効果的に本発明の効果を奏する観点から、液晶セルのセル厚の変動により表示ムラを起こし易い表示モードが望ましく、セル厚が2〜4μmであるVA型表示モード、IPS型表示モード、OCB型表示モードに構成されるのが好ましい。   The liquid crystal display mode in the liquid crystal display device includes STN type, TN type, GH type, ECB type, ferroelectric liquid crystal, antiferroelectric liquid crystal, VA type, IPS type, OCB type, ASM type, and various other types. Preferably mentioned. Among them, in the liquid crystal display device of the present invention, from the viewpoint of exhibiting the effect of the present invention most effectively, a display mode that easily causes display unevenness due to fluctuations in the cell thickness of the liquid crystal cell is desirable, and the cell thickness is 2 to 4 μm. The VA display mode, the IPS display mode, and the OCB display mode are preferably configured.

液晶表示装置の基本的な構成態様としては、(a)薄膜トランジスタ(TFT)等の駆動素子と画素電極(導電層)とが配列形成された駆動側基板と、対向電極(導電層)を備えた対向基板とをスペーサを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、(b)駆動基板と、対向電極(導電層)を備えた対向基板とをスペーサを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、等が挙げられ、本発明の液晶表示装置は、各種液晶表示機器に好適に適用することができる。   The basic configuration of the liquid crystal display device includes: (a) a driving side substrate in which driving elements such as thin film transistors (TFTs) and pixel electrodes (conductive layers) are arranged; and a counter electrode (conductive layer). A counter substrate is arranged with a spacer interposed therebetween and a liquid crystal material is sealed in the gap, and (b) a drive substrate and a counter substrate having a counter electrode (conductive layer) are interposed with a spacer. The liquid crystal display device of the present invention can be suitably applied to various liquid crystal display devices.

液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男編集、側工業調査会、1994年発行)」に記載がある。本発明の液晶表示装置には、本発明の液晶表示素子を備える以外に特に制限はなく、例えば前記「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載された種々の方式の液晶表示装置に構成することができる。中でも特に、カラーTFT方式の液晶表示装置を構成するのに有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)、1996年発行)」に記載がある。   The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, side industry research committee, published in 1994)”. The liquid crystal display device of the present invention is not particularly limited except that it includes the liquid crystal display element of the present invention. For example, the liquid crystal display device can be configured as various types of liquid crystal display devices described in the “next-generation liquid crystal display technology”. . In particular, it is effective in constructing a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (Kyoritsu Publishing Co., Ltd., issued in 1996)”.

液晶表示装置は、既述のスペーサや液晶表示装置用基板、液晶表示素子を備える以外は、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ.視野角補償フィルム、反射防止フィルム、光拡散フィルム、防眩フィルムなどの様々な部材を用いて一般的に構成できる。これら部材については、例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島健太郎、(株)シーエムシー、1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表良吉、(株)富士キメラ総研、2003等発行)」に記載されている。   The liquid crystal display device includes an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and the like except that the spacer, the liquid crystal display device substrate, and the liquid crystal display element are provided. It can generally be configured using various members such as a viewing angle compensation film, an antireflection film, a light diffusion film, and an antiglare film. Regarding these members, for example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials / Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC Co., Ltd., published in 1994)”, “Current Status and Future Prospects of the 2003 Liquid Crystal Related Market (Part 2)” (Fuji Chimera Research Institute, Inc., 2003, etc.) ”.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” is based on mass.

なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)で測定した。GPCは、HLC−8020GPC(東ソー(株)製)を用い、カラムとして、TSKgel、Super Multipore HZ−H(東ソー(株)製、4.6mmID×15cm)を3本用い、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いた。また、条件としては、試料濃度を0.35/min、流速を0.35ml/min、サンプル注入量を10μl、測定温度を40℃とし、IR検出器を用いて行なった。また、検量線は、東ソー(株)製「標準試料TSK standard,polystyrene」:「F−40」、「F−20」、「F−4」、「F−1」、「A−5000」、「A−2500」、「A−1000」、「n−プロピルベンゼン」の8サンプルから作製した。   The weight average molecular weight was measured by gel permeation chromatography (GPC). For GPC, HLC-8020GPC (manufactured by Tosoh Corporation) is used, TSKgel, Super Multipore HZ-H (manufactured by Tosoh Corporation, 4.6 mm ID × 15 cm) are used as columns, and THF (tetrahydrofuran) is used as an eluent. ) Was used. The conditions were as follows: the sample concentration was 0.35 / min, the flow rate was 0.35 ml / min, the sample injection amount was 10 μl, the measurement temperature was 40 ° C., and an IR detector was used. In addition, the calibration curve is “standard sample TSK standard, polystyrene” manufactured by Tosoh Corporation: “F-40”, “F-20”, “F-4”, “F-1”, “A-5000”, It produced from eight samples of "A-2500", "A-1000", and "n-propylbenzene".

(樹脂の合成)
〔A〕樹脂の合成を以下に示すように行なった。
−合成例1−
既述の例示化合物P−51にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−52の合成を以下のように行なった。なお、例示化合物P−51の合成については下記合成例2に示す。
反応容器中に、1−メトキシ−2−プロパノール(MFG、日本乳化剤(株)製)7.48部をあらかじめ加え、90℃に昇温し、スチレン(St)3.1部、トリシクロペンテニルメタアクリレート(日立化成工業(株)製のTCPD−M;x)4.28部、メタクリル酸(MAA;y)11.7部、アゾ系重合開始剤(和光純薬(株)製、V−601)2.08部、及び1−メトキシ−2−プロパノール55.2部からなる混合溶液を窒素ガス雰囲気下、90℃の反応容器中に2時間かけて滴下した。滴下後、4時間反応させて、アクリル樹脂溶液を得た。
次いで、前記アクリル樹脂溶液に、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.15部、及びテトラエチルアンモニウムブロマイド0.34部を加えた後、メタクリル酸グリシジル(GLM,東京化成工業(株)製)26.4部を2時間かけて滴下した(GLM−MAA;z)。滴下後、空気を吹き込みながら90℃で4時間反応させた後、固形分濃度が45%になるように溶媒1−メトキシ−2−プロピルアセテート(MMPGAc、ダイセル化学工業(株)製)を添加することにより調製し、不飽和基を持つ既述の例示化合物P−51にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−52(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;76.0mgKOH/g、Mw;25,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た(x:y:z:St=30mol%:27mol%:37mol%:6mol%)。
ここで、GLM−MAAは、メタクリル酸にグリシジルメタクリレートが結合したものを示す(以下、同様である)。
なお、例示化合物P−52の分子量Mwは、重量平均分子量を示し、重量平均分子量の測定は、ゲル浸透クロマトグラフ法(GPC法)を用いて行なった(以下、同様である)。
(Synthesis of resin)
[A] Resin was synthesized as shown below.
-Synthesis Example 1
Example compound P-52 in which a structural unit derived from styrene was added to the example compound P-51 described above was synthesized as follows. In addition, about the synthesis | combination of exemplary compound P-51, it shows in the following synthesis example 2.
In the reaction vessel, 7.48 parts of 1-methoxy-2-propanol (MFG, manufactured by Nippon Emulsifier Co., Ltd.) was added in advance, the temperature was raised to 90 ° C., 3.1 parts of styrene (St), tricyclopentenyl meta Acrylate (TCPD-M; manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) 4.28 parts, methacrylic acid (MAA; y) 11.7 parts, azo polymerization initiator (Wako Pure Chemical Industries, Ltd., V-601) ) A mixed solution consisting of 2.08 parts and 55.2 parts of 1-methoxy-2-propanol was dropped into a 90 ° C. reaction vessel over 2 hours under a nitrogen gas atmosphere. After dripping, it was made to react for 4 hours and the acrylic resin solution was obtained.
Next, 0.15 part of hydroquinone monomethyl ether and 0.34 part of tetraethylammonium bromide were added to the acrylic resin solution, and then 26.4 parts of glycidyl methacrylate (GLM, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was added for 2 hours. (GLM-MAA; z). After dripping, after reacting at 90 ° C. for 4 hours while blowing air, a solvent 1-methoxy-2-propyl acetate (MMPGAc, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) is added so that the solid concentration is 45%. A resin solution (solid content acid value; 76.0 mgKOH) of Exemplified Compound P-52 ([A] resin) obtained by adding a structural unit derived from styrene to the aforementioned Exemplified Compound P-51 having an unsaturated group / G, Mw; 25,000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution) (x: y: z: St = 30 mol%: 27 mol%: 37 mol%: 6 mol%).
Here, GLM-MAA indicates a compound in which glycidyl methacrylate is bonded to methacrylic acid (the same applies hereinafter).
In addition, molecular weight Mw of exemplary compound P-52 showed the weight average molecular weight, and the measurement of the weight average molecular weight was performed using the gel permeation chromatograph method (GPC method) (hereinafter the same).

以下、〔A〕樹脂の他の化合物として、既述の例示化合物P−46〜例示化合物P−56を合成する合成例(合成例2〜9、合成例12〜13)、並びに比較用の共重合体の合成例(合成例10〜11)を示す。   Hereinafter, [A] Synthesis Examples (Synthesis Examples 2 to 9, Synthesis Examples 12 to 13) for synthesizing Exemplified Compound P-46 to Exemplified Compound P-56 described above as other compounds of the resin, and Comparative Examples The synthesis example (synthesis examples 10-11) of a polymer is shown.

−合成例2−
既述の例示化合物P−51の合成を以下のように行なった。
合成例1において、スチレンを用いず、例示化合物P−51中のx:y:zが34mol%:27mol%:39mol%になるように、TCPD−M(x)、メタクリル酸(y)、及びGLM−MAA(z)の添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−51(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;72.5mgKOH/g、Mw;22,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 2-
The above-described exemplary compound P-51 was synthesized as follows.
In Synthesis Example 1, without using styrene, TCPD-M (x), methacrylic acid (y), and so that x: y: z in Exemplified Compound P-51 is 34 mol%: 27 mol%: 39 mol%, and Except for changing the addition amount of GLM-MAA (z), the resin solution (solid content acid value) of Exemplified Compound P-51 ([A] resin) having an unsaturated group was synthesized by the same method as in Synthesis Example 1. 72.5 mg KOH / g, Mw; 22,000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

−合成例3−
既述の例示化合物P−49にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−50の合成を以下のように行なった。なお、例示化合物P−49の合成については下記合成例4に示す。
合成例1において、トリシクロペンテニルメタアクリレートをメタクリル酸シクロヘキシル(CHMA,東京化成工業(株)製)に代え、例示化合物P−49にスチレン由来の構造単位を加えた組成x:y:z:Stが25mol%:25mol%:40mol%:10mol%になるように、メタクリル酸シクロヘキシル(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、及びスチレン(St)の添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−49にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−50(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;84.9mgKOH/g、Mw;26,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 3-
Example Compound P-50, in which a structural unit derived from styrene was added to Example Compound P-49 described above, was synthesized as follows. In addition, about the synthesis | combination of exemplary compound P-49, it shows in the following synthesis example 4. FIG.
In Synthesis Example 1, tricyclopentenyl methacrylate was replaced with cyclohexyl methacrylate (CHMA, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.), and composition x: y: z: St in which structural unit derived from styrene was added to exemplary compound P-49 Except that the addition amount of cyclohexyl methacrylate (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z), and styrene (St) is changed so that is 25 mol%: 25 mol%: 40 mol%: 10 mol% A resin solution (solid content acid value) of Exemplified Compound P-50 ([A] Resin) synthesized by the same method as in Synthetic Example 1 and adding an styrene-derived structural unit to Exemplified Compound P-49 having an unsaturated group 84.9 mg KOH / g, Mw; 26,000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

−合成例4−
既述の例示化合物P−49の合成を以下のように行なった。
合成例1において、スチレンを用いず、トリシクロペンテニルメタアクリレートをメタクリル酸シクロヘキシル(CHMA,東京化成工業(株)製)に代え、例示化合物P−49中のx:y:zが32mol%:25mol%:43mol%になるように、メタクリル酸シクロヘキシル(x)、メタクリル酸(y)、及びGLM−MAA(z)の添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−49(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;80.9mgKOH/g、Mw;21,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 4-
The above-described exemplary compound P-49 was synthesized as follows.
In Synthesis Example 1, styrene was not used and tricyclopentenyl methacrylate was replaced with cyclohexyl methacrylate (CHMA, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.), and x: y: z in Exemplified Compound P-49 was 32 mol%: 25 mol. %: Synthesized by the same method as in Synthesis Example 1 except that the amount of cyclohexyl methacrylate (x), methacrylic acid (y), and GLM-MAA (z) was changed so as to be 43 mol%. Resin solution (solid acid value: 80.9 mg KOH / g, Mw; 21,000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-) of exemplary compound P-49 ([A] resin) having a saturated group Propyl acetate 45% solution) was obtained.

−合成例5−
既述の例示化合物P−53の合成を以下のように行なった。
合成例1において、スチレンを用いず、トリシクロペンテニルメタアクリレートをジシクロペンテニルメタアクリレート(日立化成工業(株)製のファンクリルFA−512M)に代え、例示化合物P−53中のx:y:zが46.2mol%:24.3mol%:29.5mol%になるように、FA−512M(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、の添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−53(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;71.2mgKOH/g、Mw;25,500、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 5-
The above-described exemplified compound P-53 was synthesized as follows.
In Synthesis Example 1, styrene was not used, and tricyclopentenyl methacrylate was replaced with dicyclopentenyl methacrylate (Hanchlor FA-512M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), and x: y in exemplary compound P-53: Except for changing the addition amount of FA-512M (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z) so that z is 46.2 mol%: 24.3 mol%: 29.5 mol%, Resin solution (solid content acid value: 71.2 mg KOH / g, Mw; 25,500, 1-) of an exemplary compound P-53 ([A] resin) having an unsaturated group, synthesized by the same method as in Synthesis Example 1. Methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution) was obtained.

−合成例6−
既述の化合物P−10にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−54の合成を以下のように行なった。
合成例1において、トリシクロペンテニルメタアクリレートをジシクロペンタニルメタアクリレート(日立化成工業(株)製のファンクリルFA−513M)に代え、例示化合物P−10にスチレン由来の構造単位を加えた組成x:y:z:Stが25mol%:25mol%:40mol%:10mol%になるように、FA−513M(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、及びスチレンの添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−10にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−54(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;78.7mgKOH/g、Mw;28,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 6
Example compound P-54 in which a structural unit derived from styrene was added to compound P-10 described above was synthesized as follows.
In Synthesis Example 1, a composition in which tricyclopentenyl methacrylate is replaced with dicyclopentanyl methacrylate (funcryl FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) and a structural unit derived from styrene is added to exemplary compound P-10. The addition amounts of FA-513M (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z), and styrene were adjusted so that x: y: z: St was 25 mol%: 25 mol%: 40 mol%: 10 mol%. Except for the change, the resin solution of Exemplified Compound P-54 ([A] resin) synthesized by the same method as in Synthetic Example 1 and added with the structural unit derived from styrene to Exemplified Compound P-10 having an unsaturated group ( Solid content acid value: 78.7 mg KOH / g, Mw; 28,000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution It was obtained.

−合成例7−
既述の化合物P−1にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−46の合成を以下のように行なった。
合成例1において、トリシクロペンテニルメタアクリレートをADMA(出光興産(株)製)に代え、化合物P−1にスチレン由来の構造単位を加えた組成x:y:z:Stが30mol%:24mol%:38mol%:8mol%になるように、ADMA(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、及びスチレンの添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−1にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−46(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;74.1mgKOH/g、Mw;29,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 7-
Example compound P-46, in which a structural unit derived from styrene was added to compound P-1 described above, was synthesized as follows.
In Synthesis Example 1, tricyclopentenyl methacrylate was replaced with ADMA (manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), and the composition x: y: z: St was 30 mol%: 24 mol% with the addition of a structural unit derived from styrene to compound P-1. : 38 mol%: synthesized by the same method as in Synthesis Example 1 except that the addition amount of ADMA (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z), and styrene was changed so as to be 8 mol%. Resin solution of an exemplified compound P-46 ([A] resin) obtained by adding a structural unit derived from styrene to the exemplified compound P-1 having an unsaturated group (solid content acid value: 74.1 mgKOH / g, Mw; 29, 000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

−合成例8−
既述の化合物P−2にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−47の合成を以下のように行なった。
合成例1において、トリシクロペンテニルメタアクリレートをメタクリル酸イソボルニル(IBXMA,和光純薬工業(株)製)に代え、化合物P−2にスチレン由来の構造単位を加えた組成x:y:z:Stが34mol%:24mol%:36mol%:6mol%になるように、IBXMA(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、及びスチレンの添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ化合物P−2にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−47(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;72.9mgKOH/g、Mw;29,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 8-
Example compound P-47 in which a structural unit derived from styrene was added to compound P-2 described above was synthesized as follows.
In Synthesis Example 1, the composition x: y: z: St in which tricyclopentenyl methacrylate was replaced by isobornyl methacrylate (IBXMA, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) and a structural unit derived from styrene was added to compound P-2. Except that the addition amounts of IBXMA (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z), and styrene were changed so that the ratio was 34 mol%: 24 mol%: 36 mol%: 6 mol%. Resin solution (solid content acid value: 72.9 mgKOH / g) of Compound P-2 ([A] resin) synthesized by the same method and having a structural unit derived from styrene added to compound P-2 having an unsaturated group Mw; 29,000, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

−合成例9−
既述の化合物P−2にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−48の合成を以下のように行なった。
合成例1において、トリシクロペンテニルメタアクリレートをメタクリル酸イソボルニル(IBXMA,和光純薬工業(株)製)に代え、化合物P−2中のx:y:z:Stが40mol%:23mol%:35mol%:2mol%になるように、メタクリル酸イソボルニル(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、及びスチレンの添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ化合物P−2にスチレン由来の構造単位を加えた例示化合物P−48(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;67.7mgKOH/g、Mw;25,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 9-
Example compound P-48 in which a structural unit derived from styrene was added to compound P-2 described above was synthesized as follows.
In Synthesis Example 1, tricyclopentenyl methacrylate was replaced with isobornyl methacrylate (IBXMA, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), and x: y: z: St in compound P-2 was 40 mol%: 23 mol%: 35 mol. %: Synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the addition amount of isobornyl methacrylate (x), methacrylic acid (y), GLM-MAA (z), and styrene was changed so as to be 2 mol%. Resin solution of the compound P-48 ([A] resin) obtained by adding a structural unit derived from styrene to the compound P-2 having an unsaturated group (solid content acid value: 67.7 mgKOH / g, Mw; 25,000) 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

−合成例10(比較用の共重合体1)−
比較用の樹脂として、下記のようにして共重合体1を合成した。
合成例6において、ジシクロペンタニルアクリレート等と共に更にメタクリル酸グリシジル(GLM,東京化成工業(株)製)を加え、アクリル樹脂溶液に更に加えたメタクリル酸グリシジルを加えなかったこと以外は、共重合体1中のx:y:z:Stが27mol%:25mol%:40mol%:8mol%になるように、ジシクロペンタニルメタクリレート(x)、メタクリル酸(y)、GLM(z)、及びスチレンの添加量を変更した以外は、合成例6と同様の方法により合成し、不飽和基を持たない共重合体1の樹脂溶液(固形分酸価;95.9mgKOH/g、Mw;18,000、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis example 10 (Comparative copolymer 1)-
As a comparative resin, copolymer 1 was synthesized as follows.
In Synthesis Example 6, glycidyl methacrylate (GLM, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was further added together with dicyclopentanyl acrylate, etc., and glycidyl methacrylate added to the acrylic resin solution was not added. Dicyclopentanyl methacrylate (x), methacrylic acid (y), GLM (z), and styrene so that x: y: z: St in coalescence 1 is 27 mol%: 25 mol%: 40 mol%: 8 mol% The resin solution of the copolymer 1 having no unsaturated group (solid content acid value: 95.9 mg KOH / g, Mw; 18,000) 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution).

−合成例11(比較用の共重合体2)−
比較用の樹脂として、下記のようにして共重合体2を合成した。
冷却管、撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)7部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200部を仕込んだ。引き続き、スチレン5部、メタクリル酸20部、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル25部、3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン25部、メタクリル酸テトラヒドロフルフリル20部、及び1,3−ブタジエン5部を仕込み、窒素置換した後、ゆるやかに攪拌を始めた。溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度で5時間保持し、共重合体2を含む重合体溶液を得た。
得られた重合体溶液の固形分濃度は30.0%であり、重合体の重量平均分子量は18,000であった。
-Synthesis example 11 (Comparative copolymer 2)-
As a comparative resin, copolymer 2 was synthesized as follows.
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 7 parts of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate. Subsequently, 5 parts of styrene, 20 parts of methacrylic acid, 25 parts of tricyclo [5.2.1.02,6] decane-8-yl methacrylate, 25 parts of 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, methacrylic acid After 20 parts of tetrahydrofurfuryl and 5 parts of 1,3-butadiene were charged and purged with nitrogen, stirring was started gently. The temperature of the solution was raised to 70 ° C. and kept at this temperature for 5 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer 2.
The resulting polymer solution had a solid content concentration of 30.0%, and the weight average molecular weight of the polymer was 18,000.

−合成例12−
既述の例示化合物P−55の合成を以下のように行なった。
合成例1において、スチレンを用いず、トリシクロペンテニルメタアクリレートを、既述の化合物D−8(一般式(4)で表される化合物)に代え、例示化合物P−55中のx:y:zが46mol%:24mol%:30mol%になるように、D-8(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、の添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−55(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;71.0mgKOH/g、Mw;28,500、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 12-
The above-described exemplified compound P-55 was synthesized as follows.
In Synthesis Example 1, styrene was not used, and tricyclopentenyl methacrylate was replaced with the aforementioned compound D-8 (a compound represented by the general formula (4)), and x: y in the exemplified compound P-55: The same as in Synthesis Example 1 except that the addition amount of D-8 (x), methacrylic acid (y), and GLM-MAA (z) was changed so that z was 46 mol%: 24 mol%: 30 mol%. Resin solution (solid content acid value: 71.0 mgKOH / g, Mw; 28,500, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution) was obtained.

−合成例13−
既述の例示化合物P−56の合成を以下のように行なった。
合成例1において、スチレンを用いず、トリシクロペンテニルメタアクリレートを、既述の化合物D−11(一般式(4)で表される化合物)に代え、例示化合物P−56中のx:y:zが46mol%:24mol%:30mol%になるように、D-8(x)、メタクリル酸(y)、GLM−MAA(z)、の添加量を変更した以外は、合成例1と同様の方法により合成し、不飽和基を持つ例示化合物P−56(〔A〕樹脂)の樹脂溶液(固形分酸価;71.5mgKOH/g、Mw;24,500、1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート45%溶液)を得た。
-Synthesis Example 13-
The above-described exemplary compound P-56 was synthesized as follows.
In Synthesis Example 1, styrene was not used, and tricyclopentenyl methacrylate was replaced with the aforementioned compound D-11 (a compound represented by the general formula (4)), and x: y in Exemplary Compound P-56: The same as in Synthesis Example 1 except that the addition amount of D-8 (x), methacrylic acid (y), and GLM-MAA (z) was changed so that z was 46 mol%: 24 mol%: 30 mol%. Resin solution of an exemplified compound P-56 having an unsaturated group ([A] resin) (solid content acid value: 71.5 mg KOH / g, Mw; 24,500, 1-methoxy-2-propanol / 1-methoxy-2-propyl acetate 45% solution) was obtained.

(実施例1):塗布法
<カラーフィルタ基板の作製>
特開2005−3861号公報の段落番号[0084]〜[0095]に記載の方法により、ブラックマトリクス、R(赤色)画素、G(緑色)画素、B(青色)画素を有するカラーフィルタを作製した(以下、これをカラーフィルタ基板と称する。)。ここで、カラーフィルタ基板の基板サイズは、550mm×650mmとした。
次いで、得られたカラーフィルタ基板のR画素、G画素、及びB画素並びにブラックマトリクスの上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)の透明電極をスパッタリングにより形成した。
(Example 1): Coating method <Preparation of color filter substrate>
A color filter having a black matrix, an R (red) pixel, a G (green) pixel, and a B (blue) pixel was produced by the method described in paragraph numbers [0084] to [0095] of JP-A-2005-3861. (Hereinafter, this is referred to as a color filter substrate). Here, the substrate size of the color filter substrate was set to 550 mm × 650 mm.
Next, a transparent electrode of ITO (Indium Tin Oxide) was further formed on the R pixel, G pixel, B pixel and black matrix of the obtained color filter substrate by sputtering.

<フォトスペーサの形成>
上記で作製したITO透明電極がスパッタ形成されたカラーフィルタ基板のITO透明電極上に、スリット状ノズルを有するガラス基板用コーターMH−1600(エフ・エー・エス・アジア社製)にて下記表1に示す処方(実施例1では処方1)からなる感光性樹脂層用塗布液をスリット塗布した。引き続き、真空乾燥機VCD(東京応化社製)を用いて30秒間溶媒の一部を乾燥させて塗布膜の流動性をなくした後、120℃で3分間プリベークし、膜厚5.0μmの感光性樹脂層を形成した(被膜形成工程)。
<Formation of photo spacer>
On the ITO transparent electrode of the color filter substrate on which the ITO transparent electrode produced as described above was formed by sputtering, a glass substrate coater MH-1600 (manufactured by FS Asia Co., Ltd.) having a slit-shaped nozzle is shown in Table 1 below. A photosensitive resin layer coating solution having the formulation shown in (Prescription 1 in Example 1) was slit-coated. Subsequently, after part of the solvent was dried for 30 seconds using a vacuum dryer VCD (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) to remove the fluidity of the coating film, it was pre-baked at 120 ° C. for 3 minutes, and a photosensitive film having a thickness of 5.0 μm A functional resin layer was formed (film formation step).

続いて、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)を用いて、マスク(画像パターンを有する石英露光マスク)と、該マスクと感光性樹脂層とが向き合うように配置したカラーフィルタ基板と、を略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と感光性樹脂層の表面との間の距離を100μmとし、マスクを介して露光量300mJ/cmにてプロキシミティー露光した(露光工程)。 Subsequently, using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, the mask (quartz exposure mask having an image pattern) and the mask and the photosensitive resin layer face each other. The distance between the mask surface and the surface of the photosensitive resin layer is set to 100 μm in a state where the color filter substrate placed on the substrate is substantially parallel and vertical, and the proxy is used with an exposure amount of 300 mJ / cm 2 through the mask. Mitty exposure (exposure process).

次に、炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有;商品名:T−CD1(富士フィルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を用いて29℃で30秒間、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し、パターン像を形成した(現像工程)。引き続いて、洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有;商品名:T−SD3(富士フィルム(株)製))を純水で10倍に希釈した液を用いて33℃で20秒間、コーン型ノズル圧力0.02MPaにてシャワーで吹きかけ、形成されたパターン像の周辺の残渣除去を行ない、円柱状のスペーサパターンを300μm×300μmに1本のスペーサ間隔となるように形成した。   Next, a sodium carbonate-based developer (0.38 mol / liter sodium bicarbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, an anionic surfactant, an antifoaming agent, and a stabilizer Containing agent: Trade name: T-CD1 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) diluted 10-fold with pure water, and shower-developed at 29 ° C. for 30 seconds at a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa. An image was formed (development process). Subsequently, a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer; trade name: T-SD3 (Fuji Film Co., Ltd.)) diluted 10 times with pure water Sprayed with a shower at 33 ° C. for 20 seconds at a cone-type nozzle pressure of 0.02 MPa, the residue around the formed pattern image is removed, and a cylindrical spacer pattern is spaced by one spacer every 300 μm × 300 μm. It formed so that it might become.

次に、スペーサパターンが設けられたカラーフィルタ基板を、230℃下で30分間加熱処理を行なう(被膜加熱工程)ことにより、カラーフィルタ基板上にフォトスペーサを作製した。ここで、得られたフォトスペーサ1000個を、三次元表面構造解析顕微鏡(メーカー:ZYGO Corporation、型式:New View 5022)を用いてITO透明電極形成面側から最も高いスペーサの最も高い位置を測定(n=20)し、平均したときの平均値を高さ(平均高さ)とした。また、得られたフォトスペーサの底面積の計測は、SEM写真を用いて行なった。その結果、直径15.1μm、平均高さ4.7μmの円柱形状であった。測定値は下記表2に示す。   Next, the color filter substrate provided with the spacer pattern was subjected to a heat treatment at 230 ° C. for 30 minutes (coating heating step) to produce a photo spacer on the color filter substrate. Here, 1000 photo spacers obtained were measured using a three-dimensional surface structure analysis microscope (manufacturer: ZYGO Corporation, model: New View 5022) to measure the highest position of the highest spacer from the ITO transparent electrode forming surface side ( n = 20), and the average value when averaged was defined as the height (average height). Moreover, the measurement of the bottom area of the obtained photospacer was performed using the SEM photograph. As a result, it was a cylindrical shape having a diameter of 15.1 μm and an average height of 4.7 μm. The measured values are shown in Table 2 below.

Figure 2009122549
Figure 2009122549

<液晶表示装置の作製>
別途、対向基板としてガラス基板を用意し、上記で得られたカラーフィルタ基板の透明電極上及び対向基板上にそれぞれPVAモード用にパターニングを施し、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
<Production of liquid crystal display device>
Separately, a glass substrate was prepared as a counter substrate, and the PVA mode was patterned on the transparent electrode and the counter substrate of the color filter substrate obtained above, and an alignment film made of polyimide was further provided thereon.

その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリックス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、PVAモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板をUV照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付けた。   After that, a UV curable resin sealant is applied by a dispenser method at a position corresponding to the outer periphery of the black matrix provided so as to surround the pixel group of the color filter, and a liquid crystal for PVA mode is dropped and attached to the counter substrate. After bonding, the bonded substrate was irradiated with UV, and then heat-treated to cure the sealant. Polarizing plates HLC2-2518 manufactured by Sanlitz Co., Ltd. were attached to both surfaces of the liquid crystal cell thus obtained.

次いで、赤色(R)LEDとしてFR1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)、緑色(G)LEDとしてDG1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)、青色〔B〕LEDとしてDB1112H(スタンレー電気(株)製のチップ型LED)を用いてサイドライト方式のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。   Next, FR1112H (chip type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd.) as a red (R) LED, DG1112H (chip type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd.) as a green (G) LED, DB1112H (as a blue [B] LED) A side-light type backlight was constructed using a chip-type LED manufactured by Stanley Electric Co., Ltd. and placed on the back side of the liquid crystal cell provided with the polarizing plate to obtain a liquid crystal display device.

<評価>
得られたフォトスペーサについて、下記の測定、評価を行なった。測定評価の結果は下記表2に示す。
<Evaluation>
The obtained photo spacer was subjected to the following measurements and evaluations. The results of measurement evaluation are shown in Table 2 below.

−変形回復率−
得られたフォトスペーサに対して、微小硬度計(DUH−W201、(株)島津製作所製)により次のようにして測定を行ない、評価した。測定は、50μmφの円錘台圧子を採用し、最大荷重50mN、保持時間5秒として、負荷−除荷試験法により行なった。この測定値から下記式により変形回復率〔%〕を求め、下記評価基準にしたがって評価した。測定は、22±1℃、50%RHの環境下で行なった。
変形回復率(%)
=(荷重開放後の回復量[μm]/荷重時の変形量[μm])×100
〈評価基準〉
5:変形回復率が90%以上であった。
4:変形回復率が87%以上90%未満であった。
3:変形回復率が85%以上87%未満であった。
2:変形回復率が80%以上85%未満であった。
1:変形回復率が75%以上80%未満であった。
0:変形回復率が75%未満であった。
-Deformation recovery rate-
The obtained photo spacer was measured and evaluated by a micro hardness tester (DUH-W201, manufactured by Shimadzu Corporation) as follows. The measurement was performed by a load-unloading test method using a frustum-type indenter with a diameter of 50 μm, a maximum load of 50 mN, and a holding time of 5 seconds. From this measured value, the deformation recovery rate [%] was obtained by the following formula and evaluated according to the following evaluation criteria. The measurement was performed in an environment of 22 ± 1 ° C. and 50% RH.
Deformation recovery rate (%)
= (Recovery amount after release of load [μm] / Deformation amount under load [μm]) × 100
<Evaluation criteria>
5: Deformation recovery rate was 90% or more.
4: The deformation recovery rate was 87% or more and less than 90%.
3: The deformation recovery rate was 85% or more and less than 87%.
2: Deformation recovery rate was 80% or more and less than 85%.
1: The deformation recovery rate was 75% or more and less than 80%.
0: Deformation recovery rate was less than 75%.

−感度−
得られた感光性樹脂層用塗布液に対して、露光量を種々変化させたときにスペーサパターンを形成できるかできないかを観察し、下記評価基準にしたがって評価した。
〈評価基準〉
○:60mJ/cm未満でパターン形成が可能であった。
△:60〜200mJ/cmでパターン形成が可能であった。
×:パターン形成に200mJ/cmを超える露光量が必要であった。
-Sensitivity-
With respect to the obtained coating liquid for photosensitive resin layer, it was observed whether or not a spacer pattern could be formed when the exposure amount was variously changed, and evaluated according to the following evaluation criteria.
<Evaluation criteria>
A: Pattern formation was possible at less than 60 mJ / cm 2 .
Δ: Pattern formation was possible at 60 to 200 mJ / cm 2 .
X: An exposure amount exceeding 200 mJ / cm 2 was required for pattern formation.

−保存性−
(1)液保存性
上記で得られた感光性樹脂層用塗布液を密栓し、密栓後の自然経時(25℃)180日が経過した後、及び感光性樹脂層用塗布液を60℃のオーブンに入れて2週間経過した後の、それぞれの塗布液を用い、前記「感度」の評価における操作と同様にして、下記評価基準にしたがって評価した。
〈評価基準〉
○:60mJ/cm未満でパターン形成が可能であった。
△:60mJ/cm以上150mJ/cm未満でパターン形成が可能であった。
×:パターン形成に150mJ/cm以上300mJ/cm未満の露光量が必要であった。
××:パターン形成に300mJ/cm以上の露光量が必要であった。
-Preservability-
(1) Liquid storage stability The coating solution for the photosensitive resin layer obtained above was sealed, and after the natural aging (25 ° C) 180 days after sealing, the coating solution for the photosensitive resin layer was heated to 60 ° C. Each coating solution after 2 weeks in the oven was used and evaluated according to the following evaluation criteria in the same manner as the operation in the evaluation of “sensitivity”.
<Evaluation criteria>
A: Pattern formation was possible at less than 60 mJ / cm 2 .
(Triangle | delta): Pattern formation was possible at 60 mJ / cm < 2 > or more and less than 150 mJ / cm < 2 >.
×: exposure of less than 150 mJ / cm 2 or more 300 mJ / cm 2 in the pattern formation is required.
XX: An exposure amount of 300 mJ / cm 2 or more was required for pattern formation.

(2)感光性樹脂層の経時安定性
プリベーク後の感光性樹脂層(感光性樹脂層が形成されたカラーフィルタ基板)を60℃のオーブンに14日間入れ、前記「感度」の評価における操作と同様にして、下記評価基準にしたがって評価した。
<評価基準>
○:60mJ/cm未満でパターン形成が可能であった。
△:60mJ/cm以上150mJ/cm未満でパターン形成が可能であった。
×:パターン形成に150mJ/cm以上300mJ/cm未満の露光量が必要であった。
××:パターン形成に300mJ/cm以上の露光量が必要であった。
(2) Stability over time of photosensitive resin layer The pre-baked photosensitive resin layer (color filter substrate on which the photosensitive resin layer is formed) is placed in an oven at 60 ° C. for 14 days, Similarly, it evaluated in accordance with the following evaluation criteria.
<Evaluation criteria>
A: Pattern formation was possible at less than 60 mJ / cm 2 .
(Triangle | delta): Pattern formation was possible at 60 mJ / cm < 2 > or more and less than 150 mJ / cm < 2 >.
×: exposure of less than 150 mJ / cm 2 or more 300 mJ / cm 2 in the pattern formation is required.
XX: An exposure amount of 300 mJ / cm 2 or more was required for pattern formation.

(実施例2及び実施例4〜18、比較例1〜4):塗布法
実施例1において、感光性樹脂層用塗布液の処方を前記表1に示すように変更すると共に、感光性樹脂層用塗布液の調製に用いた化合物P−1(〔A〕樹脂)、微粒子、及び開始剤を、下記表2に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様して、フォトスペーサ及び液晶表示装置を作製した。得られたフォトスペーサは、円柱形状とした。
(Example 2 and Examples 4 to 18, Comparative Examples 1 to 4): Coating Method In Example 1, the formulation of the coating solution for the photosensitive resin layer was changed as shown in Table 1, and the photosensitive resin layer was used. In the same manner as in Example 1, except that the compound P-1 ([A] resin), the fine particles, and the initiator used for preparing the coating liquid were changed as shown in Table 2 below, A liquid crystal display device was produced. The obtained photospacer was cylindrical.

(実施例3):転写法
実施例1において、感光性樹脂層用塗布液(処方1)の塗布に代えて以下に示すスペーサ用感光性転写フィルムを用いた転写を行なうことにより、感光性樹脂層を形成したこと以外は、実施例1と同様して、フォトスペーサ及び液晶表示装置を作製した。得られたフォトスペーサは、円柱形状であった。
(Example 3): Transfer method In Example 1, instead of applying the photosensitive resin layer coating solution (prescription 1), transfer using a photosensitive transfer film for spacers shown below is performed, whereby a photosensitive resin is obtained. A photospacer and a liquid crystal display device were produced in the same manner as in Example 1 except that the layer was formed. The obtained photospacer was cylindrical.

−スペーサ用感光性転写フィルムの作製−
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体(PET仮支持体)上に、下記処方Aからなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥層厚15.0μmの熱可塑性樹脂層を形成した。
-Production of photosensitive transfer film for spacers-
On a polyethylene terephthalate film temporary support (PET temporary support) having a thickness of 75 μm, a thermoplastic resin layer coating solution having the following formulation A is applied and dried to form a thermoplastic resin layer having a dry layer thickness of 15.0 μm. did.

〔熱可塑性樹脂層用塗布液の処方A〕
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 … 25.0部
(=55/11.7/4.5/28.8[モル比]、重量平均分子量90,000)
・スチレン/アクリル酸共重合体 … 58.4部
(=63/37[モル比]、重量平均分子量8,000)
・2,2−ビス〔4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル〕プロパン
… 39.0部
・下記界面活性剤1 … 10.0部
・メタノール … 90.0部
・1−メトキシ−2−プロパノール … 51.0部
・メチルエチルケトン …700部
[Prescription A for Coating Solution for Thermoplastic Resin Layer]
Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer 25.0 parts (= 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8 [molar ratio], weight average molecular weight 90,000)
-Styrene / acrylic acid copolymer: 58.4 parts (= 63/37 [molar ratio], weight average molecular weight 8,000)
2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane
39.0 parts, surfactant 1 below 10.0 parts methanol 90.0 parts 1-methoxy-2-propanol 51.0 parts methyl ethyl ketone 700 parts

*界面活性剤1
・下記構造物1 …30%
・メチルエチルケトン …70%
* Surfactant 1
・ The following structure 1… 30%
・ Methyl ethyl ketone 70%

Figure 2009122549
Figure 2009122549

次に、形成した熱可塑性樹脂層上に、下記処方Bからなる中間層用塗布液を塗布、乾燥させて、乾燥層厚1.5μmの中間層を積層した。   Next, on the formed thermoplastic resin layer, an intermediate layer coating solution having the following formulation B was applied and dried to laminate an intermediate layer having a dry layer thickness of 1.5 μm.

〔中間層用塗布液の処方B〕
・ポリビニルアルコール …3.22部
(PVA−205(鹸化率80%)、(株)クラレ製)
・ポリビニルピロリドン …1.49部
(PVP K−30、アイエスピー・ジャパン株式会社製)
・メタノール …42.3部
・蒸留水 …524部
[Prescription B of coating solution for intermediate layer]
Polyvinyl alcohol: 3.22 parts (PVA-205 (saponification rate 80%), manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
・ Polyvinylpyrrolidone: 1.49 parts (PVP K-30, manufactured by ISP Japan Co., Ltd.)
・ Methanol: 42.3 parts ・ Distilled water: 524 parts

次に、形成した中間層上に更に、前記表1に示す処方1からなる感光性樹脂層用塗布液(〔A〕樹脂は表2中の化合物)を塗布、乾燥させて、乾燥層厚5.0μmの感光性樹脂層を積層した。   Next, a photosensitive resin layer coating solution ([A] resin is a compound in Table 2) having the formulation 1 shown in Table 1 above is further applied onto the formed intermediate layer and dried to obtain a dry layer thickness of 5 A photosensitive resin layer of 0.0 μm was laminated.

以上のようにして、PET仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性樹脂層の積層構造(3層の合計層厚:21.5μm)に構成した後、感光性樹脂層の表面に更に、カバーフィルムとして厚み12μmのポリプロピレン製のフィルムを加熱・加圧して貼り付け、スペーサ用感光性転写フィルムを得た。   As described above, after forming a laminated structure of PET temporary support / thermoplastic resin layer / intermediate layer / photosensitive resin layer (total thickness of three layers: 21.5 μm), the surface of the photosensitive resin layer is formed. Further, a polypropylene film having a thickness of 12 μm was applied as a cover film by heating and pressing to obtain a photosensitive transfer film for spacers.

−フォトスペーサの作製−
得られたスペーサ用感光性転写フィルムのカバーフィルムを剥離し、露出した感光性樹脂層の表面を、実施例1と同様にして作製したITO透明電極がスパッタ形成されたカラーフィルタ基板のITO透明電極上に重ね合わせ、ラミネーターLamicII型〔(株)日立インダストリイズ製〕を用いて、線圧100N/cm、130℃の加圧・加熱条件下で搬送速度2m/分にて貼り合わせた。その後、PET仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去し、感光性樹脂層を熱可塑性樹脂層及び中間層と共に転写した(被膜形成工程)。
-Production of photo spacer-
The cover film of the obtained photosensitive transfer film for spacers was peeled off, and the ITO transparent electrode of the color filter substrate on which the ITO transparent electrode produced in the same manner as in Example 1 was formed by sputtering on the exposed surface of the photosensitive resin layer. The film was laminated on top and laminated using a laminator Lamic II type (manufactured by Hitachi Industries, Ltd.) under a linear pressure of 100 N / cm and a pressurization / heating condition of 130 ° C. at a conveyance speed of 2 m / min. Thereafter, the PET temporary support was peeled and removed at the interface with the thermoplastic resin layer, and the photosensitive resin layer was transferred together with the thermoplastic resin layer and the intermediate layer (film formation step).

続いて、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製)を用いて、マスク(画像パターンを有する石英露光マスク)と、該マスクと熱可塑性樹脂層とが向き合うように配置したカラーフィルタ基板とを略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と感光性樹脂層の中間層に接する側の表面との間の距離を100μmとし、マスクを介して熱可塑性樹脂層側から露光量90mJ/cmにてプロキシミティー露光した(露光工程)。 Subsequently, using a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, the mask (quartz exposure mask having an image pattern) and the mask and the thermoplastic resin layer face each other. The distance between the mask surface and the surface of the photosensitive resin layer on the side in contact with the intermediate layer is set to 100 μm with the color filter substrate placed on the substrate in a state where the color filter substrate stands substantially parallel and vertically, and the thermoplastic resin layer is interposed through the mask. Proximity exposure was performed from the side at an exposure amount of 90 mJ / cm 2 (exposure process).

次に、トリエタノールアミン系現像液(トリエタノールアミン30%含有、商品名:T−PD2(富士フィルム(株)製)を純水で12倍(T−PD2を1部と純水11部の割合で混合)に希釈した液)を30℃で50秒間、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、このガラス基板の上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより10秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。続いて、炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有;商品名:T−CD1(富士フィルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を用いて29℃で30秒間、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し、パターン像を形成した(現像工程)。
次いで、洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有;商品名:T−SD3(富士フィルム(株)製))を純水で10倍に希釈した液を用いて33℃で20秒間、コーン型ノズル圧力0.02MPaにてシャワーで吹きかけ、形成されたパターン像の周辺の残渣除去を行ない、円柱状のスペーサパターンを300μm×300μmに1本のスペーサ間隔となるように形成した。
次に、スペーサパターンが設けられたカラーフィルタ基板を、230℃下で30分間加熱処理を行なう(被膜加熱工程)ことにより、カラーフィルタ基板上にフォトスペーサを作製した。得られたフォトスペーサは、直径15.1μm、平均高さ4.7μmの円柱形状であった。
そして、フォトスペーサが作製されたカラーフィルタ基板を用い、実施例1と同様にして、PVAモード液晶表示装置を作製した。
Next, a triethanolamine developer (containing 30% triethanolamine, trade name: T-PD2 (manufactured by Fujifilm Corporation) 12 times with pure water (1 part of T-PD2 and 11 parts of pure water) The mixture was diluted with a ratio at a flat nozzle pressure of 0.04 MPa for 30 seconds at 30 ° C. to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. Subsequently, after air was blown off on the upper surface of the glass substrate, pure water was sprayed for 10 seconds by a shower, pure water shower cleaning was performed, and air was blown to reduce a liquid pool on the substrate. Subsequently, a sodium carbonate developer (0.38 mol / liter sodium bicarbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, an anionic surfactant, an antifoaming agent, and a stabilizer. Containing agent: Trade name: T-CD1 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) diluted 10-fold with pure water, and shower-developed at 29 ° C. for 30 seconds at a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa. An image was formed (development process).
Subsequently, a solution obtained by diluting a cleaning agent (phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer; trade name: T-SD3 (Fuji Film Co., Ltd.)) 10 times with pure water Used, and sprayed with a shower at a cone type nozzle pressure of 0.02 MPa for 20 seconds at 33 ° C. to remove residues around the formed pattern image, and to form a cylindrical spacer pattern with one spacer spacing of 300 μm × 300 μm. It formed so that it might become.
Next, the color filter substrate provided with the spacer pattern was subjected to a heat treatment at 230 ° C. for 30 minutes (coating heating step) to produce a photo spacer on the color filter substrate. The obtained photospacer had a cylindrical shape with a diameter of 15.1 μm and an average height of 4.7 μm.
And the PVA mode liquid crystal display device was produced like Example 1 using the color filter board | substrate with which the photo spacer was produced.

Figure 2009122549
Figure 2009122549

前記表2中の光重合開始剤の詳細については以下の通りである。
・CGI−242:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)〔チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製〕
・C−1:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)
・C−2:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-4-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム)
・C−3:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム)
・C−4:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル-5-テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル] −,1−(O−アセチルオキシム)
・C−5:エタノン,1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9.H.−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)
・イルガキュア(IRG)907:2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モノフォリノプロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
The details of the photopolymerization initiator in Table 2 are as follows.
CGI-242: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) [Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. Made)
C-1: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranyloxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime )
C-2: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime)
C-3: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime )
C-4: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime)
C-5: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl] -9. H. -Carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime)
Irgacure (IRG) 907: 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-monoforinopropan-1-one (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)

前記表2に示すように、実施例では、比較例に比して、より高い感度が得られており、調製された感光性樹脂層用塗布液の液保存性、及び塗布後の乾膜状態で保持されたときの感光性樹脂層の経時安定性も良好であった。   As shown in Table 2, in the examples, higher sensitivity was obtained compared to the comparative example, and the liquid storage stability of the prepared coating solution for the photosensitive resin layer, and the dry film state after coating, The time-dependent stability of the photosensitive resin layer when held at was good.

Claims (7)

〔A〕側鎖に、分岐及び/又は脂環構造、酸性基、並びに主鎖との間にエステル基を介して配されたエチレン性不飽和結合を有する樹脂と、
〔B〕エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、
〔C〕下記一般式(1)又は(2)で表される化合物群から選ばれる光重合開始剤と、
を含有する感光性樹脂組成物。
Figure 2009122549

〔一般式(1)〜(2)中、Rは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、又はフェニル基を表し、R及びRは、各々独立に、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、置換もしくは無置換のフェニル基、又は炭素数7〜20のアリサイクリック基(但し、炭素数7〜8のシクロアルキル基を除く)を表し、前記フェニル基が置換されている場合の置換基は炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、フェニル基、又はハロゲン原子である。Rは、炭素数4〜20の含酸素複素環基、炭素数4〜20の含窒素複素環基、又は炭素数4〜20の含硫黄複素環基を表し、Rは、水素原子、炭素数1〜12のアルキル基、又は炭素数1〜12のアルコキシル基を表す。nは0〜5の整数を表し、mは0〜5の整数を表し、lは0〜6の整数を表し、n及びmはn+m≦5を満たす。〕
[A] a resin having an ethylenically unsaturated bond arranged in the side chain via an ester group between a branched and / or alicyclic structure, an acidic group, and a main chain;
[B] a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond;
[C] a photopolymerization initiator selected from the group of compounds represented by the following general formula (1) or (2);
Containing a photosensitive resin composition.
Figure 2009122549

[In General Formulas (1) to (2), R 1 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, or a phenyl group, and R 2 and R 3 are each independently selected. A hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 8 carbon atoms, a substituted or unsubstituted phenyl group, or an alicyclic group having 7 to 20 carbon atoms (provided that the carbon number is 7 to And a substituent when the phenyl group is substituted is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, or a halogen atom. . R 4 represents an oxygen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, a nitrogen-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, or a sulfur-containing heterocyclic group having 4 to 20 carbon atoms, and R 5 represents a hydrogen atom, An alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an alkoxyl group having 1 to 12 carbon atoms is represented. n represents an integer of 0 to 5, m represents an integer of 0 to 5, l represents an integer of 0 to 6, and n and m satisfy n + m ≦ 5. ]
前記分岐及び/又は脂環構造は、ジシクロペンテニル基、シクロヘキシル基、トリシクロペンテニル基、アダマンチル基、ノルボルニル基、及びイソボルニル基から選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   The branched and / or alicyclic structure is at least one selected from a dicyclopentenyl group, a cyclohexyl group, a tricyclopentenyl group, an adamantyl group, a norbornyl group, and an isobornyl group. The photosensitive resin composition as described. 前記分岐及び/又は脂環構造は、下記一般式(3)で表される基で構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2009122549

〔式中、Xは、2価の有機連結基を表し、yは1又は2を表し、nは0〜15の整数を表す。〕
The said branched and / or alicyclic structure is comprised by the group represented by following General formula (3), The photosensitive resin composition of Claim 1 or Claim 2 characterized by the above-mentioned.
Figure 2009122549

[Wherein, X represents a divalent organic linking group, y represents 1 or 2, and n represents an integer of 0 to 15. ]
前記樹脂は、下記一般式(4)で表される単量体を共重合させることで前記分岐及び/又は脂環構造を有する基が導入された共重合体であり、下記一般式(4)で表される単量体に由来の構成単位を主鎖に有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2009122549

〔式中、Xは、2価の有機連結基を表し、Rは水素原子又はメチル基を表し、yは1又は2を表し、nは0〜15の整数を表す。〕
The resin is a copolymer in which a group having the branched and / or alicyclic structure is introduced by copolymerizing a monomer represented by the following general formula (4). The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the main chain has a structural unit derived from a monomer represented by the formula:
Figure 2009122549

[Wherein, X represents a divalent organic linking group, R represents a hydrogen atom or a methyl group, y represents 1 or 2, and n represents an integer of 0 to 15. ]
請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成されたスペーサ。   The spacer formed using the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-4. 少なくとも下記工程(イ)〜(ニ)を含むスペーサの形成方法。
(イ)請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程
(ロ)前記被膜の少なくとも一部を露光する工程
(ハ)露光後の前記被膜を現像する工程
(ニ)現像後の前記被膜を加熱する工程
A method for forming a spacer comprising at least the following steps (a) to (d).
(B) A step of forming a film of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 on a substrate (b) A step of exposing at least a part of the film (c) After exposure (D) a step of heating the coated film after development
請求項5に記載のスペーサを備えた液晶表示素子。   A liquid crystal display device comprising the spacer according to claim 5.
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