JP2009117797A - Magnetic viscous fluid and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic viscous fluid that achieves a small device having a narrow gap. <P>SOLUTION: The magnetic viscous fluid contains magnetic particles including nanosized magnetizable metal nanoparticles and a dispersion medium which disperses the magnetic particles. Each of the magnetic particles has an oxide film and a surface modified layer of a predetermined thickness which are formed by subjecting the magnetic particle formed by an arc plasma method to surface modification by a coupling agent in the gas phase. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁気粘性流体及びそれの製造方法に関する。   The present invention relates to a magnetorheological fluid and a method for producing the same.

磁気粘性流体は、磁化可能な金属粒子を分散媒に分散させてなる液体である(例えば特許文献1参照)。この磁気粘性流体は、磁場の作用のないときには流体として機能する一方、磁場を作用させたときには、金属粒子がクラスターを形成して液体が増粘し、液体の内部応力が増大する。その内部応力の増大により磁気粘性流体は、剛体のように機能してせん断流れや圧力流れに対して抗力を示すようになる。   The magnetorheological fluid is a liquid obtained by dispersing magnetizable metal particles in a dispersion medium (see, for example, Patent Document 1). This magnetorheological fluid functions as a fluid when no magnetic field is applied, whereas when a magnetic field is applied, metal particles form clusters to increase the viscosity of the liquid and increase the internal stress of the liquid. Due to the increase of the internal stress, the magnetorheological fluid functions like a rigid body and exhibits a resistance against shear flow and pressure flow.

磁気粘性流体は、金属粒子の密度が、分散媒の密度よりも大きいため、放置しておくと磁性粒子が沈降する場合がある。また、磁場の付与と磁場の解除とを繰り返すことによって金属粒子が二次凝集して、安定した分散状態を維持できなくなる場合がある。そこで、例えば特許文献2には、金属粒子を鎖状に凝集させることによって二次凝集を防止し、それによって長期安定性を向上させた磁気粘性流体が開示されている。
特表2006−505937号公報 特開2005−41896号公報
In the magnetorheological fluid, the density of the metal particles is larger than the density of the dispersion medium, so that the magnetic particles may settle if left standing. Further, by repeating the application of the magnetic field and the release of the magnetic field, the metal particles may be agglomerated and the stable dispersion state may not be maintained. Thus, for example, Patent Document 2 discloses a magnetorheological fluid in which secondary aggregation is prevented by aggregating metal particles in a chain shape, thereby improving long-term stability.
JP-T-2006-505937 Japanese Patent Laid-Open No. 2005-41896

ところで、前記磁気粘性流体は、例えばブレーキ、クラッチ、ダンパといった、機械的に作動する各種のデバイスに利用されるものであるが、そうした磁気粘性流体を利用したデバイスを小型化したいという要求が存在する。そのためには、デバイスにおいて磁気粘性流体が封入される液室の間隙を、できるだけ狭くしなければならない。   By the way, the magnetic viscous fluid is used for various mechanically operated devices such as brakes, clutches, and dampers. However, there is a demand for miniaturizing a device using such a magnetic viscous fluid. . For this purpose, the gap between the liquid chambers in which the magnetorheological fluid is sealed in the device must be as narrow as possible.

例えば前記特許文献1の磁気粘性流体は、金属粒子を、平均粒子径が6〜100μmの非球形にすると共に、粒子間の摩擦を低減する摩擦低減剤を添加することによって、0.1〜0.75mm程度の間隙を有するデバイスに使用可能にしている。しかしながら、間隙をそれ以上に狭くしようとしたときには、磁気粘性流体に含まれる金属粒子が、間隙を構成する壁面等に接触してしまうようになる。その結果、デバイスの作動抵抗が増大したり、前記壁面の摩耗を招いたりすることになる。つまり、従来の磁気粘性流体を用いたデバイスは、その液室の間隙の最小限度が比較的大きいことに起因して、大幅に小型化することはできなかった。   For example, in the magnetorheological fluid of Patent Document 1, the metal particles are made non-spherical with an average particle diameter of 6 to 100 μm, and a friction reducing agent that reduces friction between the particles is added to add 0.1 to 0. It can be used for a device having a gap of about 75 mm. However, when trying to narrow the gap further, the metal particles contained in the magnetorheological fluid come into contact with the wall surfaces constituting the gap. As a result, the operating resistance of the device increases or the wall surface wears. In other words, a conventional device using a magnetorheological fluid could not be significantly reduced in size because the minimum gap between the liquid chambers was relatively large.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、狭小な間隙を有する小型のデバイスを実現可能な磁気粘性流体を提供することにある。   This invention is made | formed in view of this point, The place made into the objective is providing the magnetorheological fluid which can implement | achieve the small device which has a narrow gap | interval.

本発明の一側面によると、磁気粘性流体は、ナノサイズの磁化可能な金属ナノ粒子を含む磁性粒子、及び、前記磁性粒子を分散させる分散媒、を含有し、前記磁性粒子は、アークプラズマ法により作成した当該磁性粒子に対し、気相中においてカップリング剤による表面改質を施すことにより形成された、所定厚みの酸化膜と表面改質層とを有している。尚、ここでいうナノサイズとは、1〜数100ナノメートル(nm)程度の大きさを意味する。   According to one aspect of the present invention, the magnetorheological fluid includes magnetic particles including nano-size magnetizable metal nanoparticles, and a dispersion medium in which the magnetic particles are dispersed, and the magnetic particles are arc plasma method. The magnetic particles prepared in (1) have an oxide film having a predetermined thickness and a surface modified layer formed by surface modification with a coupling agent in the gas phase. The nano-size here means a size of about 1 to several hundred nanometers (nm).

この構成の磁気粘性流体は、そこに含まれる金属粒子がナノサイズであって極めて小さいため、デバイスにおける液室の間隙を狭くしても、金属ナノ粒子(磁性粒子)が、その間隙を構成する壁面に接触することが抑制される。その結果、デバイスの動作に支障を生じることなくかつ、前記壁面の摩耗を招くことが防止される。つまり、液室の間隙をできるだけ狭くすることでデバイスの小型化が図られると共に、前記壁面やシール等の摩耗を未然に防止して、デバイスの長寿命化が図られる。   In the magnetorheological fluid having this configuration, since the metal particles contained therein are nano-sized and extremely small, even if the gap between the liquid chambers in the device is narrowed, the metal nanoparticles (magnetic particles) constitute the gap. Contact with the wall surface is suppressed. As a result, the operation of the device is not hindered and the wall surface is prevented from being worn. In other words, by reducing the gap between the liquid chambers as much as possible, the device can be miniaturized, and wear of the wall surface and the seal can be prevented in advance, thereby extending the life of the device.

また、磁性粒子は、所定厚みの酸化膜と表面改質層とを有しているため、分散媒に対する磁性粒子の分散性が向上する。また、分散媒と粒子とが長期に亘って相分離しにくくなると同時に、磁気粘性流体の基底粘度(磁場を作用させない状態での粘度)が低下する。特に本構成の磁気粘性流体は、磁性粒子がナノサイズの粒子を含み、その比表面積が大きいため、磁性粒子をそのまま、分散媒に分散させたときには基底粘度が高くなってしまうところを、磁性粒子の表面改質により、それを回避することが可能になる。   Moreover, since the magnetic particles have an oxide film and a surface modification layer having a predetermined thickness, the dispersibility of the magnetic particles in the dispersion medium is improved. In addition, the dispersion medium and the particles are difficult to phase-separate over a long period of time, and at the same time, the base viscosity (viscosity without applying a magnetic field) of the magnetorheological fluid decreases. In particular, the magneto-rheological fluid of this configuration has magnetic particles containing nano-sized particles and has a large specific surface area. Therefore, when the magnetic particles are dispersed in a dispersion medium as they are, the base viscosity becomes high. This can be avoided by surface modification.

そうして、前記酸化膜と表面改質層は、アークプラズマ法により作成した当該磁性粒子に対し、気相中においてカップリング剤による表面改質を施すことにより形成されている。こうしたドライなプロセスによって表面改質を行った場合は、周知の湿式化学法により表面改質を行う場合と比較して、金属ナノ粒子の凝集が抑制される。またそれだけでなく、磁性粒子の耐酸化性も向上し、磁性粒子のハンドリング性や安全性も改善される。   Thus, the oxide film and the surface modification layer are formed by subjecting the magnetic particles prepared by the arc plasma method to surface modification with a coupling agent in the gas phase. When surface modification is performed by such a dry process, aggregation of metal nanoparticles is suppressed as compared with the case where surface modification is performed by a well-known wet chemical method. In addition, the oxidation resistance of the magnetic particles is improved, and the handling properties and safety of the magnetic particles are improved.

前記磁性粒子は、平均粒子径が20nm以上500nm以下、好ましくは70nm以上200nm以下の金属ナノ粒子を含む、ことが特に望ましい。平均粒子径を70nm以上とすることで高い磁気粘性効果(MR効果)が得られる一方で、平均粒子径を200nm以下にすることで沈降性の悪化が回避される。また、前記磁性粒子は、大きさが10μm以下の、前記金属ナノ粒子の凝集体を含む、としてもよい。   It is particularly desirable that the magnetic particles include metal nanoparticles having an average particle diameter of 20 nm to 500 nm, preferably 70 nm to 200 nm. By setting the average particle size to 70 nm or more, a high magnetoviscous effect (MR effect) can be obtained. On the other hand, by setting the average particle size to 200 nm or less, deterioration of sedimentation can be avoided. The magnetic particles may include an aggregate of the metal nanoparticles having a size of 10 μm or less.

前記酸化膜の厚みは、2nm以上10nm以下である、ことが好ましい。酸化膜の厚みが10nmよりも厚いときには、磁性粒子に対する酸化物の体積比率が大きくなりすぎて、磁性粒子の磁性が得られず、磁気粘性流体としての性能が確保できなくなる。また、酸化膜の厚みが2nmよりも薄いときには、磁性粒子が酸化燃焼し易く、ハンドリング性及び安全性の観点で劣る。   The thickness of the oxide film is preferably 2 nm or more and 10 nm or less. When the thickness of the oxide film is thicker than 10 nm, the volume ratio of the oxide to the magnetic particles becomes too large, and the magnetism of the magnetic particles cannot be obtained, and the performance as a magnetorheological fluid cannot be ensured. Further, when the thickness of the oxide film is less than 2 nm, the magnetic particles are easily oxidized and burned, which is inferior in terms of handling properties and safety.

これに対し、酸化膜の厚みが2nm以上10nm以下のときには、ハンドリング性及び安全性を確保しつつ、磁気粘性流体としての性能を得ることが可能になる。   On the other hand, when the thickness of the oxide film is 2 nm or more and 10 nm or less, it is possible to obtain performance as a magnetorheological fluid while ensuring handling properties and safety.

本発明の他の側面によると、磁気粘性流体の製造方法は、磁化可能な金属材料から、アークプラズマ法により、ナノサイズの金属ナノ粒子を含む磁性粒子を作成する工程、前記作成した磁性粒子の表面に酸化膜を形成する工程、カップリング剤を前記酸化膜表面の水酸基と気相中で反応させることによって前記磁性粒子に対し表面改質を施す工程、及び、前記表面改質を施した磁性粒子を分散媒に分散させる工程、を含む。   According to another aspect of the present invention, a method for producing a magnetorheological fluid includes a step of producing magnetic particles containing nano-sized metal nanoparticles from a magnetizable metal material by an arc plasma method, A step of forming an oxide film on the surface, a step of modifying the magnetic particles by reacting a coupling agent with a hydroxyl group on the surface of the oxide film in a gas phase, and a magnetic material subjected to the surface modification. A step of dispersing the particles in a dispersion medium.

カップリング剤による表面改質処理としては、カップリング剤を所定の溶剤に溶解させた溶液に金属ナノ粒子を浸漬させるか、当該溶液を金属ナノ粒子に噴霧するかした後に、溶剤を蒸発させる、湿式化学法が一般的である。しかしながらこうした処理では、金属ナノ粒子が強く凝集して、サイズの大きい凝集体となってしまう。   As the surface modification treatment with the coupling agent, the metal nanoparticles are immersed in a solution in which the coupling agent is dissolved in a predetermined solvent or the solution is sprayed onto the metal nanoparticles, and then the solvent is evaporated. Wet chemical methods are common. However, in such a treatment, the metal nanoparticles are strongly aggregated to form an aggregate having a large size.

これに対し前記の構成では、大気中で金属ナノ粒子の酸化膜表面に生成させた水酸基とカップリング剤とを気相中で反応させて、磁性粒子に対する表面改質を行う。こうしたドライなプロセスによって表面改質を行うことで、前述したように、金属ナノ粒子の凝集の抑制及び疎水化に伴う分散性の向上がなされるだけでなく、湿式化学法による表面改質の場合と比較して、磁性粒子の耐酸化性が向上し、ハンドリング性や安全性が改善される。   On the other hand, in the said structure, the hydroxyl group produced | generated on the oxide film surface of the metal nanoparticle in air | atmosphere and a coupling agent are made to react in a gaseous phase, and surface modification with respect to a magnetic particle is performed. As described above, surface modification by such a dry process not only suppresses aggregation of metal nanoparticles and improves dispersibility associated with hydrophobicity, but also in the case of surface modification by a wet chemical method. Compared with, the oxidation resistance of the magnetic particles is improved, and the handling properties and safety are improved.

前記製造方法は、前記分散工程の前又は後に、前記磁性粒子を解砕する工程をさらに含む、としてもよい。   The manufacturing method may further include a step of crushing the magnetic particles before or after the dispersing step.

これによって、磁性粒子の大きさを精度よく制御することが可能になり、磁性粒子の大きさを比較的小さくすることによって、磁気粘性流体の特性を所望の特性にすることが実現する。   As a result, the size of the magnetic particles can be accurately controlled, and by making the size of the magnetic particles relatively small, it is possible to achieve the desired characteristics of the magnetorheological fluid.

本発明のさらに別の側面によると、磁気粘性流体は、ナノサイズの磁化可能な金属ナノ粒子及び当該金属ナノ粒子が塊状に凝集した凝集体を含む磁性粒子、並びに、前記磁性粒子を分散させる分散媒、を含有する。   According to still another aspect of the present invention, the magnetorheological fluid includes nano-sized magnetizable metal nanoparticles, magnetic particles including aggregates of the metal nanoparticles aggregated in a lump, and dispersion for dispersing the magnetic particles. Medium.

ここで、塊状の凝集体とは、金属ナノ粒子が特定方向に連なるように凝集することで棒状又は鎖状になるのではなく、複数の金属ナノ粒子が一つのブロックを形成するように凝集することを意味する。   Here, agglomerated aggregates do not form rods or chains by aggregating metal nanoparticles in a specific direction, but agglomerate so that a plurality of metal nanoparticles form one block. Means that.

この構成の磁気粘性流体は、そこに含まれる金属粒子がナノサイズであって極めて小さいため、デバイスにおける液室の間隙を狭くしても、金属ナノ粒子(磁性粒子)が、その間隙を構成する壁面に接触することが抑制される。   In the magnetorheological fluid having this configuration, since the metal particles contained therein are nano-sized and extremely small, even if the gap between the liquid chambers in the device is narrowed, the metal nanoparticles (magnetic particles) constitute the gap. Contact with the wall surface is suppressed.

また、この磁性粒子に含まれる凝集体は、金属ナノ粒子が塊状に凝集した凝集体である。このため、例えば特許文献2に開示された鎖状の凝集体を含む磁気粘性流体に比べて、本構成の磁気粘性流体はその基底粘度が低下する。つまり、本構成の磁気粘性流体は、磁場を付与しない基底状態においては高い流動性が得られる一方で、磁場を付与したときには粘度上昇の度合いが大きくなるため、高いMR効果が得られる。   The aggregate contained in the magnetic particles is an aggregate obtained by agglomerating metal nanoparticles in a lump. For this reason, for example, the base viscosity of the magnetorheological fluid of this configuration is lower than that of the magnetorheological fluid including the chain aggregate disclosed in Patent Document 2. That is, the magneto-rheological fluid having this configuration can obtain high fluidity in the ground state where no magnetic field is applied, but has a high MR effect because the degree of increase in viscosity is increased when the magnetic field is applied.

以上説明したように、本発明によると、ナノサイズの金属粒子を含む磁性粒子を、分散媒に分散させることで、デバイスにおける液室の間隙を狭くしても、磁性粒子がその間隙を構成する壁面に接触することを抑制することができる。これによって、デバイスの小型化を実現しつつ、それの長寿命化を図ることができる。また、磁性粒子が、気相法による表面改質によって形成された所定厚みの酸化膜と表面改質層とを有していることにより、磁性粒子の分散媒に対する分散性が向上しかつ、分散媒と粒子とが長期に亘って相分離しにくくなると共に、磁性粒子の耐酸化性を向上させることができる。   As described above, according to the present invention, magnetic particles including nano-sized metal particles are dispersed in a dispersion medium, so that even if the gap between the liquid chambers in the device is narrowed, the magnetic particles constitute the gap. Contact with the wall surface can be suppressed. As a result, it is possible to extend the life of the device while reducing the size of the device. In addition, since the magnetic particles have an oxide film having a predetermined thickness formed by surface modification by a gas phase method and a surface modification layer, the dispersibility of the magnetic particles in the dispersion medium is improved and the dispersion is performed. The medium and particles are difficult to phase separate over a long period of time, and the oxidation resistance of the magnetic particles can be improved.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the following description of the preferred embodiment is merely illustrative in nature, and is not intended to limit the present invention, its application, or its use.

本発明の実施形態に係る磁気粘性流体は、磁性粒子を分散媒に分散させてなる液体であり、本実施形態では特に、その磁性粒子が、ナノサイズの金属粒子(金属ナノ粒子)からなる。   The magnetorheological fluid according to the embodiment of the present invention is a liquid obtained by dispersing magnetic particles in a dispersion medium. In particular, in the present embodiment, the magnetic particles are composed of nano-sized metal particles (metal nanoparticles).

磁性粒子は、磁化可能な金属材料からなる。金属材料に特に制限はないが、軟磁性材料が好ましい。軟磁性材料としては、鉄、コバルト、ニッケル及びパーマロイ等の合金を例示することができる。   The magnetic particles are made of a magnetizable metal material. The metal material is not particularly limited, but a soft magnetic material is preferable. Examples of soft magnetic materials include alloys such as iron, cobalt, nickel, and permalloy.

金属ナノ粒子は、その平均粒子径が、20〜500nmであることが望ましく、より好ましくは、70〜200nmである。後述するように、平均粒子径が70nm以上であるときには、高いMR効果が得られると共に、平均粒子径が200nm以下であるときには、磁気粘性流体の沈降性の悪化を回避することができる。   As for a metal nanoparticle, it is desirable that the average particle diameter is 20-500 nm, More preferably, it is 70-200 nm. As will be described later, when the average particle diameter is 70 nm or more, a high MR effect is obtained, and when the average particle diameter is 200 nm or less, deterioration of sedimentation property of the magnetorheological fluid can be avoided.

また、磁性粒子には、金属ナノ粒子が凝集した凝集体を含んでいても良い。特に、金属ナノ粒子が塊状に凝集した凝集体を含んでいても良い。ここでいう「塊状」とは、複数の金属ナノ粒子が、一つのブロックを形成するように凝集することを意味する。塊状の凝集体は、例えば棒状又は鎖状の凝集体が磁気粘性流体に含まれる場合と比較して、基底粘度を低下させることになる。凝集体の大きさは、レーザー回折散乱法による平均粒子径が、10μm以下であることが望ましく、5μm以下であることがより好ましい。   Further, the magnetic particles may contain an aggregate in which metal nanoparticles are aggregated. In particular, an aggregate in which metal nanoparticles are aggregated in a lump shape may be included. The term “agglomerated” as used herein means that a plurality of metal nanoparticles are aggregated so as to form one block. Agglomerated aggregates, for example, lower the base viscosity as compared with the case where rod-like or chain-like aggregates are contained in the magnetorheological fluid. As for the size of the aggregate, the average particle diameter by laser diffraction scattering method is preferably 10 μm or less, and more preferably 5 μm or less.

分散媒は、特に限定されるものではないが、一例として疎水性のシリコーンオイルを挙げることができる。採用する分散媒の種類に応じて、磁性粒子に対し、その分散媒と親和性の高い表面改質を施すようにすればよい。こうすることで、磁性粒子の分散安定性が高まる。例えば疎水性のシリコーンオイルを分散媒として採用する場合、磁性粒子にはカップリング剤による表面改質を施すことが好ましい。   The dispersion medium is not particularly limited, and a hydrophobic silicone oil can be given as an example. Depending on the type of the dispersion medium to be used, the magnetic particles may be subjected to surface modification having high affinity with the dispersion medium. By doing so, the dispersion stability of the magnetic particles is increased. For example, when hydrophobic silicone oil is used as the dispersion medium, it is preferable to subject the magnetic particles to surface modification with a coupling agent.

磁気粘性流体における磁性粒子の配合量は、例えば3〜40vol%とすればよい。   The blending amount of the magnetic particles in the magnetorheological fluid may be 3 to 40 vol%, for example.

磁気粘性流体にはまた、所望の各種特性を得るために、各種の添加剤を添加することも可能である。   Various additives can also be added to the magnetorheological fluid in order to obtain various desired properties.

本実施形態に係る磁気粘性流体の製造方法は、大別して、磁性粒子を作成する工程、磁性粒子の表面改質を行う工程、及び、表面改質を行った磁性粒子を分散媒に分散させる工程、を含む。以下、それぞれの工程について順に説明する。   The method for producing a magnetorheological fluid according to this embodiment is roughly divided into a step of creating magnetic particles, a step of modifying the surface of the magnetic particles, and a step of dispersing the magnetic particles subjected to the surface modification in a dispersion medium. ,including. Hereinafter, each process is demonstrated in order.

(磁性粒子の作成工程)
ナノサイズの金属粒子を生成する手法としては、例えば液相法や気相法といった、種々の、公知の手法を採用することが可能である。この内、凝集した粒子間の結合力や、粒子の凝集形態を制御する観点からは、気相法が好ましい。気相法としては、高周波プラズマ法やアークプラズマ法を具体例として挙げることができる。この内でもアークプラズマ法が最も好ましい。
(Making process of magnetic particles)
As a technique for generating nano-sized metal particles, various known techniques such as a liquid phase method and a gas phase method can be employed. Among these, the gas phase method is preferable from the viewpoint of controlling the bonding force between the aggregated particles and the aggregation form of the particles. Specific examples of the gas phase method include a high frequency plasma method and an arc plasma method. Of these, the arc plasma method is most preferable.

図1は、アークプラズマ法によりナノサイズの金属粒子を製造するための装置Aを、概略的に示している。この製造装置Aは、タングステン電極を含むプラズマトーチ11と、金属材料21が載置される水冷銅ハース12とが、密閉容器13内に相対して配設されて構成されている。陰極であるプラズマトーチ11と、陽極である水冷銅ハース12との間には直流電源14が接続されている。   FIG. 1 schematically shows an apparatus A for producing nano-sized metal particles by the arc plasma method. This manufacturing apparatus A is configured such that a plasma torch 11 including a tungsten electrode and a water-cooled copper hearth 12 on which a metal material 21 is placed are disposed relative to each other in an airtight container 13. A DC power source 14 is connected between a plasma torch 11 as a cathode and a water-cooled copper hearth 12 as an anode.

この製造装置Aによって金属ナノ粒子を生成するときには、密閉容器13内を、水素、又は、不活性ガスと水素又は窒素等の2原子分子ガスやその他の多原子分子ガスとの混合ガス雰囲気にした状態で、アークプラズマ18を発生させる。そのアークプラズマ18によって、水冷銅ハース12上に置かれた金属材料21が蒸発すると共に、それが冷却することで、ナノサイズの金属ナノ粒子が生成される。   When producing the metal nanoparticles by the manufacturing apparatus A, the inside of the sealed container 13 is set to a mixed gas atmosphere of hydrogen or an inert gas and a diatomic molecular gas such as hydrogen or nitrogen or other polyatomic molecular gas. In the state, an arc plasma 18 is generated. The arc plasma 18 evaporates the metal material 21 placed on the water-cooled copper hearth 12 and cools it to generate nano-sized metal nanoparticles.

生成した金属ナノ粒子は、ガス循環ポンプ15によって吸引されることで、密閉容器13に連通する粒子捕集器16において捕集される。尚、ガス循環ポンプ15から排出されたガスは密閉容器13に戻される(図1の白抜きの矢印参照)。   The generated metal nanoparticles are sucked by the gas circulation pump 15 and collected by the particle collector 16 communicating with the sealed container 13. In addition, the gas discharged | emitted from the gas circulation pump 15 is returned to the airtight container 13 (refer the white arrow of FIG. 1).

本実施形態においては、前記のようにして金属ナノ粒子を生成した後に、装置A内の雰囲気を、数%の酸素を含む非酸化性ガスに置換し、その状態で数時間放置する。これによって、粒子捕集器16に捕集されている金属ナノ粒子の表面に、2nm〜10nm程度の酸化膜を生成させる。尚、前記の放置時間を長くしても、酸化膜はそれ以上は成長しない。   In the present embodiment, after producing the metal nanoparticles as described above, the atmosphere in the apparatus A is replaced with a non-oxidizing gas containing several percent of oxygen and left in that state for several hours. As a result, an oxide film of about 2 nm to 10 nm is generated on the surface of the metal nanoparticles collected by the particle collector 16. Even if the standing time is increased, the oxide film does not grow any further.

このように酸化膜を生成することによって、ナノサイズの金属粒子を大気中に取り出したときに、それが燃焼してしまうことを防止することができる。以上のようにして本実施形態に係る磁性粒子が作成されることになる。   By generating the oxide film in this way, it is possible to prevent the nano-sized metal particles from burning when taken out into the atmosphere. As described above, the magnetic particles according to the present embodiment are produced.

(磁性粒子の表面改質工程)
磁性粒子の表面改質として、本実施形態ではカップリング剤による表面改質を行う。
(Surface modification process of magnetic particles)
As the surface modification of the magnetic particles, in this embodiment, the surface modification with a coupling agent is performed.

前述したように酸化膜を形成した磁性粒子を装置Aから取り出し、それを大気中に常温で所定時間、放置する。   As described above, the magnetic particles on which the oxide film is formed are taken out from the apparatus A and left in the atmosphere at room temperature for a predetermined time.

その後、カップリング剤の蒸気と磁性粒子表面の水酸基とを反応させることによって,磁性粒子表面がカップリング剤で被覆され,疎水化される。   Thereafter, by reacting the vapor of the coupling agent with the hydroxyl groups on the surface of the magnetic particles, the surface of the magnetic particles is coated with the coupling agent to be hydrophobized.

このようにドライなプロセスによる表面改質は、溶媒中での金属ナノ粒子の凝集を抑制すると共に、詳しくは後述するが、磁性粒子の特性を所望の特性とする上で有効である。   Thus, the surface modification by the dry process is effective in suppressing the aggregation of the metal nanoparticles in the solvent and making the characteristics of the magnetic particles desired characteristics, as will be described in detail later.

(磁性粒子の解砕工程)
表面改質後の磁性粒子には、比較的サイズの大きい凝集体が含まれている場合があるため、磁性粒子を分散媒に分散させる前又は後に、磁性粒子の解砕を行うことが好ましい。解砕は、粉砕機(例えばボールミル)を用いて行うようにすればよく、そうすることによって、磁性粒子の平均粒子径を、所定の大きさ以下に正確に制御することが可能になる。尚、磁性粒子の解砕工程は省略することも可能である。
(Crushing process of magnetic particles)
Since the magnetic particles after surface modification may contain relatively large aggregates, it is preferable to crush the magnetic particles before or after dispersing the magnetic particles in the dispersion medium. The pulverization may be performed using a pulverizer (for example, a ball mill), and by doing so, the average particle diameter of the magnetic particles can be accurately controlled to a predetermined size or less. Note that the step of crushing the magnetic particles can be omitted.

(磁性粒子の分散工程)
カップリング剤による表面改質によって、その表面が疎水性となった磁性粒子を分散媒に分散させる。本実施形態では、前述したように、分散媒を疎水性のシリコーンオイルとする。この分散工程においては、例えばホモジナイザーや遊星混合器等の分散機を利用した一般的な手法を採用することにより、磁性粒子を分散媒に分散させる。前述したように、磁性粒子は、カップリング剤による表面改質が施されているため、比較的容易に、シリコーンオイルに分散させることができる。
(Dispersing process of magnetic particles)
The magnetic particles whose surface has become hydrophobic by surface modification with a coupling agent are dispersed in a dispersion medium. In this embodiment, as described above, the dispersion medium is a hydrophobic silicone oil. In this dispersion step, the magnetic particles are dispersed in the dispersion medium by adopting a general method using a disperser such as a homogenizer or a planetary mixer. As described above, since the magnetic particles are surface-modified with a coupling agent, they can be dispersed in silicone oil relatively easily.

以上のようにして、金属ナノ粒子を含む磁性粒子、及び、分散媒を主成分とした磁気粘性流体を製造することができる。   As described above, magnetic particles containing metal nanoparticles and a magnetorheological fluid mainly composed of a dispersion medium can be produced.

(第1実施例)
次に、本実施形態に関して実際に実施した実施例について説明する。先ず、前述した製造方法に従って磁気粘性流体を作成した。
(First embodiment)
Next, examples actually implemented with respect to the present embodiment will be described. First, a magnetorheological fluid was prepared according to the manufacturing method described above.

磁性粒子(金属ナノ粒子)の材料としては純鉄(Aldrich社製、Iron,rod,6.3mm diam., 99.98% Fe)を使用した。この純鉄から、図1に示す金属ナノ粒子製造装置Aによって、ナノサイズの金属粒子を作成した。   Pure iron (Aldrich, Iron, rod, 6.3 mm diam., 99.98% Fe) was used as the material for the magnetic particles (metal nanoparticles). From this pure iron, nano-sized metal particles were prepared by the metal nanoparticle production apparatus A shown in FIG.

具体的には、密閉容器13内を真空に引いた後に、アルゴン及び水素を導入して密閉容器13内を大気圧とした。アルゴン及び水素の分圧は、それぞれ0.5atmに設定した。   Specifically, after the inside of the sealed container 13 was evacuated, argon and hydrogen were introduced to make the inside of the sealed container 13 atmospheric pressure. The partial pressures of argon and hydrogen were each set to 0.5 atm.

前記純鉄20〜30gを、水冷銅ハース12上に置き、プラズマトーチ11(タングステン電極(陰極))と水冷銅ハース12上の純鉄21(陽極)との間にプラズマを発生させ、それによって、純鉄を溶融・蒸発させることでナノ粒子を合成した。ここで、プラズマ電流は150A、電圧は40Vとした。また、このときの合成速度は0.8g/minであり、磁性粒子の平均粒子径は、BET比表面積の測定結果から換算した径(以下、BET換算径という)で、105nm程度であった。   20-30 g of pure iron is placed on the water-cooled copper hearth 12, and plasma is generated between the plasma torch 11 (tungsten electrode (cathode)) and the pure iron 21 (anode) on the water-cooled copper hearth 12, thereby Nanoparticles were synthesized by melting and evaporating pure iron. Here, the plasma current was 150 A and the voltage was 40V. The synthesis rate at this time was 0.8 g / min, and the average particle size of the magnetic particles was about 105 nm in terms of the diameter converted from the measurement result of the BET specific surface area (hereinafter referred to as BET converted diameter).

次いで、前記製造装置A(密閉容器13及び粒子捕集器16)内を再度真空引きした後、当該装置A内をアルゴン5%含有のドライエア(窒素80%及び酸素20%)雰囲気にし、その状態で3時間だけ放置した。この徐酸化処理によって、粒子捕集器16に捕集されている金属ナノ粒子の表面に酸化膜を生成した。この金属ナノ粒子を装置Aから取り出してTEM(Transmission Electron Microscope)により観察したところ、その酸化膜の厚みは約2nmであった。尚、徐酸化処理の時間を3時間未満にした場合は、酸化膜の厚みが薄すぎることにより、金属ナノ粒子が酸化燃焼してしまうことが多くなる。一方、徐酸化処理の時間を3時間よりも長くしても、酸化膜の厚みは、2nm〜10nm程度以上には成長しない。   Next, the inside of the production apparatus A (the sealed container 13 and the particle collector 16) is evacuated again, and then the inside of the apparatus A is made into a dry air (nitrogen 80% and oxygen 20%) atmosphere containing 5% argon. And left alone for 3 hours. By this gradual oxidation treatment, an oxide film was generated on the surface of the metal nanoparticles collected in the particle collector 16. When the metal nanoparticles were taken out from the apparatus A and observed with a TEM (Transmission Electron Microscope), the thickness of the oxide film was about 2 nm. In addition, when the time of the slow oxidation treatment is set to less than 3 hours, the thickness of the oxide film is too thin, so that the metal nanoparticles often oxidize and burn. On the other hand, even if the time of the gradual oxidation treatment is longer than 3 hours, the thickness of the oxide film does not grow to about 2 nm to 10 nm or more.

酸化膜生成後の金属ナノ粒子(磁性粒子)を前記製造装置Aから取り出し、大気中に常温で1時間放置した。そうして、磁性粒子の酸化膜に水酸基を生成させた。   The metal nanoparticles (magnetic particles) after the formation of the oxide film were taken out from the production apparatus A and left in the atmosphere at room temperature for 1 hour. Thus, hydroxyl groups were generated in the oxide film of the magnetic particles.

その後、前記の磁性粒子を、カップリング剤の蒸気と脱水縮合反応させることによって、磁性粒子に対する表面改質を施した。   Thereafter, the magnetic particles were subjected to a dehydration condensation reaction with the vapor of the coupling agent, thereby surface-modifying the magnetic particles.

表面改質は具体的には、内容量300ccのステンレス製圧力容器内に、前記磁性粒子を入れると共に、磁性粒子10gに対し、0.38gの比率となるようにシランカップリング剤として、メチルトリメトキシシラン(信越化学工業株式会社製、商品名:KBM-13)を、その圧力容器内に入れ、圧力容器を密閉した。尚、このときの磁性粒子の比表面積は、7.3m/g程度であった。また、シランカップリング剤は、ビーカー等の開口容器に入れた状態で、前記圧力容器内に入れており、磁性粒子とシランカップリング剤とは、直接混合させていない。 Specifically, the surface modification is carried out by placing the magnetic particles in a stainless steel pressure vessel having an internal capacity of 300 cc and using methyltrimethyl as a silane coupling agent so as to have a ratio of 0.38 g to 10 g of magnetic particles. Methoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name: KBM-13) was placed in the pressure vessel, and the pressure vessel was sealed. At this time, the specific surface area of the magnetic particles was about 7.3 m 2 / g. Moreover, the silane coupling agent is put in the pressure vessel in a state where it is put in an open vessel such as a beaker, and the magnetic particles and the silane coupling agent are not directly mixed.

そうして、前記の圧力容器を、乾燥炉中において、シランカップリング剤(KBM-13)が揮発する温度である80℃で、2時間保持した。こうして気相中で磁性粒子の表面改質を行った。表面改質後の磁性粒子を取り出して確認したところ、疎水性を示した。   Thus, the pressure vessel was held in a drying furnace at 80 ° C., which is a temperature at which the silane coupling agent (KBM-13) volatilizes, for 2 hours. Thus, the surface modification of the magnetic particles was performed in the gas phase. When the magnetic particles after the surface modification were taken out and confirmed, they showed hydrophobicity.

次に、表面改質後の磁性粒子をトルエン中に分散させ、その磁性粒子−トルエン懸濁液をボールミルによって6時間解砕した。ここで用いたボールミルのポットは、1リットルのジルコニアポットであり、ボールには直径1mmのジルコニアボールを用いた。この解砕処理によって、磁性粒子の平均粒子径(BET換算径)は、105nm程度から、70nm程度へと変化した。   Next, the surface-modified magnetic particles were dispersed in toluene, and the magnetic particle-toluene suspension was crushed by a ball mill for 6 hours. The pot of the ball mill used here is a 1 liter zirconia pot, and a zirconia ball having a diameter of 1 mm was used as the ball. By this crushing treatment, the average particle diameter (BET conversion diameter) of the magnetic particles changed from about 105 nm to about 70 nm.

そうして、磁性粒子の解砕後に、当該磁性粒子を分散媒に分散させた。具体的には、先ず前記磁性粒子−トルエン懸濁液における粒子濃度を、熱重量分析によって確認した上で、その粒子濃度に対応する量の分散媒、つまりシリコーンオイル(信越化学工業株式会社製、商品名:KF96-50cs)を、その懸濁液に添加して混合及び分散させた。ここでの混合分散には自転公転方式の遊星混合器を用い、その公転直径を400Gとして、5分間、混合分散を行った。   Thus, after the magnetic particles were crushed, the magnetic particles were dispersed in a dispersion medium. Specifically, after confirming the particle concentration in the magnetic particle-toluene suspension by thermogravimetric analysis, an amount of dispersion medium corresponding to the particle concentration, that is, silicone oil (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Trade name: KF96-50cs) was added to the suspension and mixed and dispersed. In this case, a rotating and rotating planetary mixer was used for mixing and dispersing, and the rotating diameter was 400 G. Mixing and dispersing was performed for 5 minutes.

その後、当該シリコーンオイル混合の磁性粒子−トルエン懸濁液を、105℃で数時間保持し、それによってトルエンのみを蒸発させた。尚、磁性粒子は、表面改質を行っているため、酸化することはない。こうして得たものが、この実施例に係る磁気粘性流体であり、その磁性粒子の平均粒子径(BET換算径)は70nmであった。   Thereafter, the magnetic particle-toluene suspension of the silicone oil mixture was kept at 105 ° C. for several hours, whereby only toluene was evaporated. The magnetic particles are not oxidized because they are surface-modified. What was obtained in this way was the magnetorheological fluid according to this example, and the average particle diameter (BET equivalent diameter) of the magnetic particles was 70 nm.

尚、この実施例に係る製造方法に従って、磁性粒子の平均粒子径(BET換算径)を90nmとした磁気粘性流体(実施例2)と、平均粒子径を50nmとした磁気粘性流体(実施例3)と、をそれぞれ作成した。   In addition, according to the manufacturing method which concerns on this Example, the magnetorheological fluid (Example 2) which made the average particle diameter (BET conversion diameter) of a magnetic particle 90 nm, and the magnetorheological fluid (Example 3) which made the average particle diameter 50 nm ) And, respectively.

この実施例に対し、前記鉄ナノ粒子を含む磁性粒子に対して、表面改質を行わないで作成した磁気粘性流体(比較例1)と、前記磁性粒子に対して、湿式化学法により表面改質を行った上で作成した磁気粘性流体(比較例2)とをそれぞれ用意した。   In contrast to this example, the magnetorheological fluid (Comparative Example 1) prepared without surface modification of the magnetic particles containing the iron nanoparticles and the magnetic particles were modified by a wet chemical method. A magnetorheological fluid (Comparative Example 2) prepared on the basis of the quality was prepared.

さらに、従来例として市販の磁気粘性流体において一般的に用いられているカルボニル鉄粒子によって調整した磁気粘性流体を用意した。表1に、実施例、比較例1,2及び従来例の特性をまとめて示す。尚、表1の実施例における改質後の粒子径は、解砕前の粒子径を示している。   Furthermore, as a conventional example, a magnetorheological fluid prepared by carbonyl iron particles generally used in commercially available magnetorheological fluids was prepared. Table 1 summarizes the characteristics of the examples, comparative examples 1 and 2 and the conventional example. In addition, the particle diameter after the modification | reformation in the Example of Table 1 has shown the particle diameter before crushing.

(磁性粒子の粒径について)
先ず、実施例の磁性粒子の粒径分布を、レーザー回折散乱法(装置名:MICROTRAC INC. MT3000)により測定した。その測定結果を図2(a)に示す。尚、実線は頻度分布であり、破線は累積分布である。これによると、実施例に係る磁性粒子(金属ナノ粒子の、例えば塊状の凝集体を含む)の平均粒子径は、1〜2μmであった。
(Regarding the particle size of magnetic particles)
First, the particle size distribution of the magnetic particles of the examples was measured by a laser diffraction scattering method (device name: MICROTRAC INC. MT3000). The measurement result is shown in FIG. The solid line is the frequency distribution and the broken line is the cumulative distribution. According to this, the average particle diameter of the magnetic particles (including, for example, massive aggregates of metal nanoparticles) according to the example was 1 to 2 μm.

これに対し、前記従来例の磁気粘性流体に含まれる磁性粒子の粒径分布を、レーザー回折散乱法により測定した結果を、図2(b)に示す。これによると、従来例の磁気粘性流体における磁性粒子の平均粒子径は、6μmであり、実施例の磁気粘性流体に比べて、その粒子径は遙かに大きかった。   In contrast, FIG. 2B shows the result of measuring the particle size distribution of the magnetic particles contained in the conventional magnetorheological fluid by the laser diffraction scattering method. According to this, the average particle diameter of the magnetic particles in the conventional magnetorheological fluid was 6 μm, and the particle diameter was much larger than that of the magnetorheological fluid of the example.

次に、前記実施例、実施例2及び実施例3に関し、平均粒子径の違いによるMR効果(磁場を与えたときの粘性の変化特性)の相違について確認した。   Next, regarding Example, Example 2, and Example 3, differences in MR effect (change characteristics of viscosity when a magnetic field was applied) due to differences in average particle diameter were confirmed.

先ず、ここで用いた粘度計は、図3に概略を示すように、磁場形成用のコイル41が内蔵された円柱状の入力シリンダ4と、入力シリンダ4と同軸に相対して配置された円筒状の出力シリンダ5とを備えている。   First, as shown in FIG. 3, the viscometer used here is a columnar input cylinder 4 having a built-in magnetic field forming coil 41 and a cylinder arranged coaxially with the input cylinder 4. Output cylinder 5 is provided.

入力シリンダ4には円環状の溝43がその上面から凹陥して形成されており、この溝43には、評価対象となる磁気粘性流体が入れられる。   An annular groove 43 is formed in the input cylinder 4 so as to be recessed from the upper surface thereof, and a magnetorheological fluid to be evaluated is placed in the groove 43.

出力シリンダ5は、その上端開口が閉塞しており、その部分が前記入力シリンダ4に一体に形成された支持軸に対し支持される一方、円環状となった下端には、入力シリンダ4の円環状の溝43内に内挿されるブレード51が、下方に向かって延びて設けられている。これによって、後述するように相対回転をする前記入力シリンダ4の溝43の内側壁と、前記出力シリンダ5のブレード51の側壁と、の間に磁気粘性流体が存在するようになる。   The output cylinder 5 is closed at its upper end opening and is supported by a support shaft formed integrally with the input cylinder 4, while the circular shape of the input cylinder 4 is provided at the lower end of the annular shape. A blade 51 inserted into the annular groove 43 is provided extending downward. As a result, a magnetorheological fluid is present between the inner wall of the groove 43 of the input cylinder 4 and the side wall of the blade 51 of the output cylinder 5 that rotate relative to each other as will be described later.

前記入力シリンダ4にはモータ42が連結されており、このモータ42を駆動することによって入力シリンダ4は出力シリンダ5に対して相対的に、前記の軸回りに回転することができる。その相対回転によって、前記溝43内において磁気粘性流体のせん断流れを作り出すことができる。   A motor 42 is connected to the input cylinder 4. By driving the motor 42, the input cylinder 4 can rotate around the axis relative to the output cylinder 5. Due to the relative rotation, a shear flow of the magnetorheological fluid can be created in the groove 43.

一方、前記出力シリンダ5には力センサ52が接続されており、この力センサ52によって、前記磁気粘性流体がせん断流れ状態にあるときに、出力シリンダ5に作用する力(トルク)を検出することができる。   On the other hand, a force sensor 52 is connected to the output cylinder 5, and the force sensor 52 detects a force (torque) acting on the output cylinder 5 when the magnetorheological fluid is in a shear flow state. Can do.

この粘度計では、磁気粘性流体をせん断流れの状態にして、コイル電流を変化させることにより磁気粘性流体に与える磁場の強さを変化させ、それに伴う出力シリンダ5のトルク変化から、せん断応力の変化、ひいては磁気粘性流体の粘性変化を評価することができる。   In this viscometer, the strength of the magnetic field applied to the magnetorheological fluid is changed by changing the coil current with the magnetorheological fluid in a state of shear flow, and the change in the shear stress is determined from the change in the torque of the output cylinder 5. Thus, the viscosity change of the magnetorheological fluid can be evaluated.

そうして、前記実施例、実施例2及び実施例3の磁気粘性流体について、前記粘度計のコイルに電流を通電したときのせん断応力変化を測定した。コイルに通電する電流は1Aとした。これによって0.5T(テスラ)の磁場が生成されることになる。ここでの、実施例、実施例2及び実施例3の各磁気粘性流体の粒子の分散濃度は共に、5vol%とした。図4に、その結果を示す。これによると、実施例及び実施例2に係る磁気粘性流体は、磁場を印加することによって、せん断応力が1.3kPaから、6.5kPa(実施例2)乃至5.0kPa(実施例)程度に変化しており、MR効果が発現していることがわかる。これに対し、実施例3に係る磁気粘性流体は、磁場を印加しても、0.8kPaから2.3kPa程度にしか、せん断応力が変化しない。従って、MR効果は得られるものの、そのMR効果は相対的に小さい。このことから、磁気粘性流体に含まれる磁性粒子の平均粒子径は、70nm以上であることが特に好ましいことが判る。   Thus, for the magnetorheological fluids of Examples, Example 2 and Example 3, the change in shear stress when current was passed through the coil of the viscometer was measured. The current supplied to the coil was 1A. As a result, a magnetic field of 0.5 T (Tesla) is generated. Here, the dispersion concentration of the particles of each of the magnetorheological fluids of Example, Example 2 and Example 3 was 5 vol%. FIG. 4 shows the result. According to this, in the magnetorheological fluid according to Example and Example 2, when a magnetic field is applied, the shear stress is reduced from 1.3 kPa to 6.5 kPa (Example 2) to 5.0 kPa (Example). It can be seen that the MR effect is manifested. In contrast, the magnetorheological fluid according to Example 3 changes the shear stress only from about 0.8 kPa to 2.3 kPa even when a magnetic field is applied. Therefore, although the MR effect can be obtained, the MR effect is relatively small. From this, it can be seen that the average particle diameter of the magnetic particles contained in the magnetorheological fluid is particularly preferably 70 nm or more.

一方、磁性粒子の平均粒子径が大きいときには、磁気粘性流体における沈降性が悪化することから、磁性粒子の平均粒子径は、200nm以下であることが特に望ましい。   On the other hand, when the average particle size of the magnetic particles is large, the sedimentation property in the magnetorheological fluid is deteriorated. Therefore, the average particle size of the magnetic particles is particularly preferably 200 nm or less.

(表面改質処理について)
次に、磁性粒子に対する表面改質の有無、及び、その表面改質方法の相違による特性に違いについて確認した。先ず、図5(a)のTEM写真に示すように、表面改質を行った実施例の磁性粒子を1週間放置したところ、その磁性粒子の表面の酸化膜の厚みは約2nmであった。前述したように、実施例の磁性粒子は、その粒子合成後に2nm程度の酸化膜を生成していることから、この実施例の磁性粒子は、1週間放置しても酸化膜が成長していないことがわかる。
(About surface modification treatment)
Next, the presence or absence of surface modification on the magnetic particles and the difference in characteristics due to the difference in the surface modification method were confirmed. First, as shown in the TEM photograph of FIG. 5A, when the magnetic particles of the surface modified example were left for one week, the thickness of the oxide film on the surface of the magnetic particles was about 2 nm. As described above, since the magnetic particles of this example produced an oxide film of about 2 nm after the synthesis of the particles, the magnetic film of this example did not grow even after being left for one week. I understand that.

これに対し、図5(b)は、表面改質を行っていない比較例1の磁性粒子を、前記と同様に1週間放置したときのTEM写真を示している。これによると、その表面の酸化膜の厚みは5nm程度となっており、酸化膜が成長していることがわかる。   On the other hand, FIG. 5B shows a TEM photograph when the magnetic particles of Comparative Example 1 not subjected to surface modification are left for one week in the same manner as described above. According to this, the thickness of the oxide film on the surface is about 5 nm, and it can be seen that the oxide film has grown.

ここで、表2に示すように、酸化膜の厚みと、その粒子中の酸化物の体積比率との関係によると、前記従来例のような磁気粘性流体においては、粒子径が1000nmの磁性粒子の表面に、厚さ20nm程度の酸化膜が形成されていると推定され、その粒子における酸化物の体積比率は12vol%である。   Here, as shown in Table 2, according to the relationship between the thickness of the oxide film and the volume ratio of the oxide in the particles, in the magnetorheological fluid as in the conventional example, the magnetic particles having a particle diameter of 1000 nm It is presumed that an oxide film having a thickness of about 20 nm is formed on the surface, and the volume ratio of the oxide in the particles is 12 vol%.

これに対し、本実施例のように、粒子径が例えば50nm程度であるときに、厚さ5nmの酸化膜が形成されているときは、その粒子における酸化物の体積比率は、49vol%となって、酸化物がその粒子のおおよそ半分の体積を占めることになる。このように酸化物の体積比率が大きくなると、磁気粘性流体においてMR効果が得られないことにもなる。   On the other hand, when the particle diameter is, for example, about 50 nm and an oxide film having a thickness of 5 nm is formed as in this embodiment, the volume ratio of the oxide in the particles is 49 vol%. Thus, the oxide occupies approximately half the volume of the particles. Thus, when the volume ratio of the oxide becomes large, the MR effect cannot be obtained in the magnetorheological fluid.

そこで、本実施例のように、粒子径が例えば50nm程度であるときには、酸化膜の厚みは厚さ2nm程度とすることが好ましい。こうすることによって、その粒子における酸化物の体積比率が22vol%となり、従来例のような磁気粘性流体における体積比率(12vol%)と同程度となる。従って、磁性粒子の表面改質を行うことによって表面酸化膜の成長を防止することは、磁気粘性流体におけるMR効果を長期に亘って安定して得る上で有効である。また、本実施例のように、磁性粒子の平均粒子径が20nm以上500nm以下、好ましくは70nm以上200nm以下に設定される場合は、酸化膜の厚みは、2nm以上10nm以下に設定することが望ましい。   Therefore, as in this embodiment, when the particle size is, for example, about 50 nm, the thickness of the oxide film is preferably about 2 nm. By carrying out like this, the volume ratio of the oxide in the particle | grains will be 22 vol%, and will become comparable as the volume ratio (12 vol%) in the magnetorheological fluid like a prior art example. Therefore, preventing the growth of the surface oxide film by modifying the surface of the magnetic particles is effective in stably obtaining the MR effect in the magnetorheological fluid over a long period of time. When the average particle diameter of the magnetic particles is set to 20 nm to 500 nm, preferably 70 nm to 200 nm as in this embodiment, the thickness of the oxide film is desirably set to 2 nm to 10 nm. .

次に、図6は、実施例に係る磁性粒子を水に分散させた様子を示しており、実施例に係る磁性粒子は、表面改質によって、その表面が疎水性となっているため、水に対して浮かんでいることがわかる。また、図7(a)は、比較例1に係る表面改質を行っていない磁性粒子を、トルエン(左側)及び水(右側)のそれぞれに分散させた時の様子を、図7(b)は、実施例に係る表面改質を行った磁性粒子を、トルエン(左側)及び水(右側)のそれぞれに分散させた時の様子を示している。ここでは、超音波分散機を用いて5分間分散を行った。尚、図7(a)(b)は、その分散後、5時間放置した後の状態を示している。これをみると明らかなように、実施例に係る磁性粒子をトルエンに対して分散させた場合のみ、高い分散性が得られている。従って、磁性粒子の表面改質によって、疎水性分散媒に対する分散性が向上することがわかる。   Next, FIG. 6 shows a state in which the magnetic particles according to the example are dispersed in water. The surface of the magnetic particles according to the example is hydrophobic because of the surface modification. You can see that it is floating. FIG. 7A shows a state in which magnetic particles not subjected to surface modification according to Comparative Example 1 are dispersed in each of toluene (left side) and water (right side). These show the state when the magnetic particles subjected to surface modification according to the example were dispersed in each of toluene (left side) and water (right side). Here, the dispersion was performed for 5 minutes using an ultrasonic disperser. FIGS. 7A and 7B show the state after being left for 5 hours after the dispersion. As is apparent from this, high dispersibility is obtained only when the magnetic particles according to the example are dispersed in toluene. Therefore, it can be seen that the dispersibility in the hydrophobic dispersion medium is improved by the surface modification of the magnetic particles.

次に図8は、実施例、比較例1及び従来例それぞれの磁気粘性流体の沈降性について行った試験結果を示している。つまり、実施例、比較例1及び従来例それぞれの磁気粘性流体を放置し、各時間における沈降層の比率(試料全体の高さh1に対する沈降層の高さh2の比率、以下、沈降率(%)=((h1-h2)×100)/h1)を評価した。図8において横軸は時間、縦軸は沈降率である。尚、この沈降性試験における、実施例、比較例1及び従来例の各磁気粘性流体の磁性粒子の分散濃度は5vol%と、比較的低い濃度に設定され、これによって、各磁気粘性流体は沈降しやすい条件にしている。   Next, FIG. 8 shows the test results of the sedimentation properties of the magnetorheological fluids of Examples, Comparative Examples 1 and Conventional Examples. In other words, the magnetorheological fluids of Examples, Comparative Example 1 and Conventional Example were allowed to stand, and the ratio of the sedimentation layer at each time (the ratio of the height h2 of the sedimentation layer to the height h1 of the entire sample, hereinafter, the sedimentation rate (% ) = ((h1-h2) × 100) / h1). In FIG. 8, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the sedimentation rate. In this sedimentation test, the dispersion concentration of the magnetic particles of each of the magnetorheological fluids of Examples, Comparative Example 1 and the conventional example is set to a relatively low concentration of 5 vol%. Easy to do.

図8の試験結果によると、従来例に係る磁気粘性流体は、50時間弱程度放置することによって沈降率が40%程度となり、沈降性が悪かった。   According to the test results of FIG. 8, the magnetorheological fluid according to the conventional example had a sedimentation rate of about 40% when left for about 50 hours, and the sedimentation property was poor.

これに対し、比較例1に係る磁気粘性流体は、120時間放置後において、沈降率が60%程度であり、従来例よりも沈降率は改善していた。   On the other hand, the magnetorheological fluid according to Comparative Example 1 had a sedimentation rate of about 60% after standing for 120 hours, and the sedimentation rate was improved as compared with the conventional example.

さらに、実施例に係る磁気粘性流体は、120時間放置後において、沈降率が80%強であり、沈降率は、比較例1よりもさらに改善しており、高い沈降性が得られた。従って、金属ナノ粒子を含む磁性粒子の表面改質を行うことによって、磁気粘性流体における沈降性が向上することがわかる(表1の沈降試験の欄参照)。   Furthermore, the magnetorheological fluid according to the example had a sedimentation rate of more than 80% after being left for 120 hours, and the sedimentation rate was further improved as compared with Comparative Example 1, and a high sedimentation property was obtained. Therefore, it can be seen that by performing surface modification of magnetic particles containing metal nanoparticles, the sedimentation property in the magnetorheological fluid is improved (see the column of sedimentation test in Table 1).

次に、実施例及び比較例1のそれぞれの磁性粒子の酸化反応について確認した。図9は、実施例及び比較例1のそれぞれの磁性粒子を、150℃で、水蒸気中に3時間保持した後に、その粒子をX線回折法(X-ray diffraction; XRD、装置名:JEOL JPX-3530M)により分析した結果を示している。これによると、表面改質を行っていない比較例1の磁性粒子は、酸化物(Fe)が生成されていたのに対し、表面改質を行っている実施例の磁性粒子には、酸化物が生成されていなかった。従って、表面改質を行うことによって、磁性粒子の耐酸化性が向上することが判る。 Next, the oxidation reaction of each magnetic particle of Example and Comparative Example 1 was confirmed. FIG. 9 shows that each magnetic particle of Example and Comparative Example 1 was held in water vapor at 150 ° C. for 3 hours, and then the particle was subjected to X-ray diffraction (XRD, apparatus name: JEOL JPX). -3530M). According to this, the magnetic particles of Comparative Example 1 that were not subjected to surface modification produced oxide (Fe 2 O 3 ), whereas the magnetic particles of Examples that were subjected to surface modification were No oxide was produced. Therefore, it can be seen that the oxidation resistance of the magnetic particles is improved by surface modification.

以上、主に表面改質の有無による、磁性粒子及び磁気粘性流体の特性の変化について検討した結果を説明したが、次に、実施例と比較例2とを主に比較することにより、表面改質方法の相違による特性の変化について検討した結果を説明する。   As described above, the result of examining the change in the characteristics of the magnetic particles and the magnetorheological fluid mainly due to the presence or absence of the surface modification has been described. Next, the surface modification is mainly performed by comparing the example and the comparative example 2. The results of studying changes in characteristics due to differences in quality methods will be described.

図10は、実施例に係る磁性粒子、比較例1,2に係る磁性粒子のそれぞれを、150℃の雰囲気中に放置すると共に、熱重量分析により各磁性粒子の重量変化率を測定した結果を示している。これによると、比較例1の、表面改質を行っていない磁性粒子は、70時間経過後には、重量変化率TGが2.5wt%程度となった。また、60時間経過時における1時間当たりの重量変化量、つまり、酸化速度は、2.4wt%/hrであった。   FIG. 10 shows the results of measuring the weight change rate of each magnetic particle by thermogravimetric analysis while leaving each of the magnetic particles according to the example and the magnetic particles according to Comparative Examples 1 and 2 in an atmosphere of 150 ° C. Show. According to this, the magnetic particle of Comparative Example 1 that had not been subjected to surface modification had a weight change rate TG of about 2.5 wt% after 70 hours. The amount of change in weight per hour after 60 hours, that is, the oxidation rate, was 2.4 wt% / hr.

また、比較例2の、湿式化学法により表面改質を行った磁性粒子は、70時間経過後には、重量変化率TGが2.1wt%程度となり、60時間経過時における酸化速度は、2.0wt%/hrであった。これに対し、前述したように、気相法により表面改質を行った実施例に係る磁性粒子は、70時間経過後には、重量変化率TGが1.0wt%程度となり、60時間経過時における酸化速度は、0.90wt%/hrであった。このように、実施例に係る磁性粒子は、70時間経過後の重量変化率TGが、比較例1や比較例2と比較して、約半分程度となり、その酸化速度も、比較例1や比較例2と比較して、大幅に遅くなっている。従って、気相法による表面改質処理は、磁性粒子の耐酸化性を大幅に向上させることがわかる。   Further, the magnetic particles surface-modified by the wet chemical method of Comparative Example 2 have a weight change rate TG of about 2.1 wt% after 70 hours, and the oxidation rate after 60 hours is 2. It was 0 wt% / hr. On the other hand, as described above, in the magnetic particles according to the examples subjected to the surface modification by the vapor phase method, the weight change rate TG becomes about 1.0 wt% after 70 hours, and at the time when 60 hours have passed. The oxidation rate was 0.90 wt% / hr. Thus, in the magnetic particles according to the example, the weight change rate TG after 70 hours is about half that of Comparative Example 1 and Comparative Example 2, and the oxidation rate thereof is also Comparative Example 1 and Comparative Example. Compared to Example 2, it is significantly slower. Therefore, it can be seen that the surface modification treatment by the vapor phase method significantly improves the oxidation resistance of the magnetic particles.

また、表1に示すように、比較例2に係る磁性粒子をXRDにより分析したところ、若干の酸化物ピークが存在していたのに対し、実施例に係る磁性粒子をXRDにより分析したところ、前述したように、酸化物ピークは全く存在していなかった(図9参照)。   Further, as shown in Table 1, when the magnetic particles according to Comparative Example 2 were analyzed by XRD, some oxide peaks were present, whereas when the magnetic particles according to Examples were analyzed by XRD, As described above, no oxide peak was present (see FIG. 9).

尚、表1に示すように、実施例及び比較例1,2のような純鉄のナノ粒子を含む、酸化膜形成後でかつ表面改質前の磁性粒子を、XRDにより分析したところ、酸化物ピークがなかったのに対し、従来例では酸化物ピークが存在し、酸化物が若干生成されていた。   As shown in Table 1, the magnetic particles after the oxide film formation and before the surface modification including the pure iron nanoparticles as in Examples and Comparative Examples 1 and 2 were analyzed by XRD. In contrast to the absence of a product peak, an oxide peak was present in the conventional example, and some oxide was produced.

従って、実施例に係る磁性粒子は、高い耐酸化性を有しており、これによって、ハンドリング性や安全性が大幅に改善されることになる。   Therefore, the magnetic particles according to the examples have high oxidation resistance, which greatly improves handling properties and safety.

(磁気粘性流体における粒子の分散濃度について)
次に、前記実施例に係る磁気粘性流体の粒子の分散濃度とMR効果との関係について検討を行った。図11は、分散濃度を25vol%に設定した磁気粘性流体について、図3に示す粘度計を用いて測定したせん断応力の変化を示している。尚、粘度計のせん断速度は480(1/s)で、ギャップ(溝43の内側壁と出力シリンダ5のブレード51の側壁との間の距離)は、50μmとした。これによると、磁気粘性流体に対して0.5Tの磁場を印加することによって、14kPa程度のせん断応力が発生していることがわかる。
(Dispersion concentration of particles in magnetorheological fluid)
Next, the relationship between the dispersion concentration of the particles of the magnetorheological fluid according to the example and the MR effect was examined. FIG. 11 shows a change in shear stress measured using the viscometer shown in FIG. 3 for a magnetorheological fluid having a dispersion concentration set to 25 vol%. The shear rate of the viscometer was 480 (1 / s), and the gap (distance between the inner wall of the groove 43 and the side wall of the blade 51 of the output cylinder 5) was 50 μm. According to this, it is understood that a shear stress of about 14 kPa is generated by applying a magnetic field of 0.5 T to the magnetorheological fluid.

また、図12は、図11と同様に、分散濃度を10vol%に設定した磁気粘性流体について、図3に示す粘度計を用いて測定したせん断応力の変化を示している。粘度計のせん断速度はは、前記と同様480(1/s)で、ギャップは、50μmと25μmとのそれぞれについて測定した。これによると、先ず、ギャップが50μmのときには、磁気粘性流体に対して0.5Tの磁場を印加することによって、7.5kPa程度のせん断応力が発生していることがわかる。従って、磁気粘性流体の分散濃度が低下することにより、せん断応力、つまり磁気粘性流体の粘度が低下していることがわかる。   FIG. 12 shows the change in shear stress measured using the viscometer shown in FIG. 3 for a magnetorheological fluid having a dispersion concentration set to 10 vol%, as in FIG. The shear rate of the viscometer was 480 (1 / s) as described above, and the gap was measured for each of 50 μm and 25 μm. According to this, it can be seen that when the gap is 50 μm, a shear stress of about 7.5 kPa is generated by applying a magnetic field of 0.5 T to the magnetorheological fluid. Therefore, it can be seen that the shear stress, that is, the viscosity of the magnetorheological fluid is lowered by the decrease in the dispersion concentration of the magnetorheological fluid.

また、ギャップが25μmのときには、磁気粘性流体に対して0.5Tの磁場を印加することによって、13kPa程度のせん断応力が発生していることがわかる。従って、ギャップの大きさを変えることによっても、磁場印加時における磁気粘性流体の粘度が変化し、ギャップを小さくすることで磁場印加時における磁気粘性流体の粘度は高くなる。   It can also be seen that when the gap is 25 μm, a shear stress of about 13 kPa is generated by applying a magnetic field of 0.5 T to the magnetorheological fluid. Therefore, changing the size of the gap also changes the viscosity of the magnetorheological fluid when the magnetic field is applied, and reducing the gap increases the viscosity of the magnetorheological fluid when the magnetic field is applied.

図13は、磁気粘性流体の磁性粒子の分散濃度(横軸)と、磁場印加時及び非印加時におけるせん断応力(縦軸)との関係を示しており、白丸及び白三角はそれぞれ、磁場を印加していないときのせん断応力を、黒丸及び黒三角はそれぞれ、磁場を印加したときのせん断応力を示している。また、白丸及び黒丸は、前記ギャップが50μmに設定されたときの結果を、白三角及び黒三角は、前記ギャップが25μmに設定されたときの結果を、それぞれ示している。これによると、分散濃度に対して磁場印加時のせん断応力は、略比例関係を有している。   FIG. 13 shows the relationship between the dispersion concentration (horizontal axis) of the magnetic particles of the magnetorheological fluid and the shear stress (vertical axis) when the magnetic field is applied and when the magnetic field is not applied. The black circle and the black triangle indicate the shear stress when the magnetic field is applied, and the shear stress when the magnetic field is not applied. White circles and black circles show the results when the gap is set to 50 μm, and white triangles and black triangles show the results when the gap is set to 25 μm. According to this, the shear stress when a magnetic field is applied has a substantially proportional relationship with respect to the dispersion concentration.

(第2実施例)
次に、第2実施例について説明する。第2実施例では、次のようにして磁気粘性流体を作成した。
(Second embodiment)
Next, a second embodiment will be described. In the second embodiment, a magnetorheological fluid was prepared as follows.

つまり、磁性粒子(金属ナノ粒子)の材料としては純鉄(純度99.8%未満)を使用し、図1に示す金属ナノ粒子製造装置Aによって、その純鉄から、ナノサイズの金属粒子を作成した。このとき、密閉容器13内の雰囲気ガスとしては、水素50%含有のアルゴン水素混合ガスを用いると共に、アーク電流を150A、アーク電圧を35〜45Vとした。   That is, pure iron (purity of less than 99.8%) is used as the material of the magnetic particles (metal nanoparticles), and nano-sized metal particles are produced from the pure iron by the metal nanoparticle manufacturing apparatus A shown in FIG. Created. At this time, as the atmosphere gas in the sealed container 13, an argon hydrogen mixed gas containing 50% hydrogen was used, the arc current was 150 A, and the arc voltage was 35 to 45 V.

次いで、前記製造装置Aの密閉容器13内の雰囲気ガスを、酸素2%含有のアルゴンガスに置換し、その状態で5時間だけ放置した。これによって、粒子捕集器16に捕集されている金属ナノ粒子の表面に酸化膜を生成した。   Next, the atmosphere gas in the sealed container 13 of the manufacturing apparatus A was replaced with argon gas containing 2% oxygen, and left in that state for 5 hours. As a result, an oxide film was generated on the surface of the metal nanoparticles collected by the particle collector 16.

酸化膜生成後の金属ナノ粒子(磁性粒子)を前記製造装置Aから取り出し、大気中に常温で1時間放置した。そうして、磁性粒子の酸化膜に水酸基を生成させた。   The metal nanoparticles (magnetic particles) after the formation of the oxide film were taken out from the production apparatus A and left in the atmosphere at room temperature for 1 hour. Thus, hydroxyl groups were generated in the oxide film of the magnetic particles.

その後、前記の磁性粒子を、カップリング剤の蒸気と脱水縮合反応させることによって、磁性粒子に対する表面改質を施した。   Thereafter, the magnetic particles were subjected to a dehydration condensation reaction with the vapor of the coupling agent, thereby surface-modifying the magnetic particles.

そうして、分散媒としてのシリコーンオイルを50ml入れた容器内に、前記の磁性粒子を70g入れ、ホモジナイザーにより、その磁性粒子をシリコーンオイルに分散させた。   Then, 70 g of the magnetic particles were put in a container containing 50 ml of silicone oil as a dispersion medium, and the magnetic particles were dispersed in the silicone oil by a homogenizer.

その後、前記の磁性粒子を分散させたシリコーンオイルを、φ3mmのジルコニア製ボールと共に、ボールミル(図示省略)に入れ、回転数60rpmで、5時間、そのボールミルを駆動させた。それによって、磁性粒子(凝集体)の解砕を行った。こうして作成したのが、第2実施例における磁気粘性流体である。尚、分散濃度は15vol%である。   Thereafter, the silicone oil in which the magnetic particles were dispersed was placed in a ball mill (not shown) together with a zirconia ball having a diameter of 3 mm, and the ball mill was driven at a rotation speed of 60 rpm for 5 hours. Thereby, the magnetic particles (aggregates) were crushed. The magnetorheological fluid in the second embodiment was created in this way. The dispersion concentration is 15 vol%.

この磁気粘性流体に含まれる磁性粒子の形態を、走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope; SEM)により観察した。そのSEM写真を図14に示す。また、前記従来例に係る磁気粘性流体に含まれる粒子のSEM写真を図15に示す。   The morphology of the magnetic particles contained in the magnetorheological fluid was observed with a scanning electron microscope (SEM). The SEM photograph is shown in FIG. FIG. 15 shows an SEM photograph of particles contained in the magnetorheological fluid according to the conventional example.

図14,15によると、従来例の磁性粒子は数ミクロンの粒子がさらに凝集した凝集体を含んでいるのに対し、第2実施例における磁性粒子の一部には、複数の金属粒子が1μm程度の塊状に凝集した凝集体を形成していることがわかる。   According to FIGS. 14 and 15, the magnetic particles of the conventional example include aggregates in which particles of several microns are further aggregated, whereas a plurality of metal particles are 1 μm in some of the magnetic particles in the second embodiment. It turns out that the aggregate aggregated in the lump form of the grade is formed.

また、第2実施例における磁性粒子に含まれる金属ナノ粒子の平均粒子径を、BET比表面積の測定結果から換算した。それによると、第2実施例に係る金属ナノ粒子の平均粒子径は90nmであった。   Moreover, the average particle diameter of the metal nanoparticle contained in the magnetic particle in 2nd Example was converted from the measurement result of the BET specific surface area. According to this, the average particle diameter of the metal nanoparticles according to the second example was 90 nm.

次に、第2実施例においても、金属ナノ粒子表面の改質処理の効果を確認するため,表面改質を施した金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体(実施例)と,表面処理を施していない金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体(比較例)の粘性を比較した。これに用いた粘度計は、図示は省略するが、相対回転が可能な入力シリンダと出力シリンダとを含む、一般的な二重円管タイプのものである。図16にその結果を示す。尚、横軸は入力シリンダの回転数(せん断速度)、縦軸はせん断応力である。これによると、表面改質を施した金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体に係る特性曲線(実線)と表面処理を施していない金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体に係る特性曲線(破線)とは共に、右上がりの曲線であって互いに略平行になっている。つまり、いずれの磁気粘性流体も回転数に対してせん断応力がほぼ線形的に変化している一方で、表面処理を施した金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体のせん断応力は、表面処理を施していない金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体のせん断応力よりも低い値である。これにより、金属ナノ粒子の表面処理を施すことによって、磁気粘性流体の基底粘度を低下させることができることがわかる。   Next, also in the second embodiment, in order to confirm the effect of the modification treatment on the surface of the metal nanoparticles, the surface treatment was performed with a magnetorheological fluid containing the surface-modified metal nanoparticles (example). The viscosity of a magnetorheological fluid containing no metal nanoparticles (comparative example) was compared. Although not shown, the viscometer used for this is of a general double tube type including an input cylinder and an output cylinder capable of relative rotation. FIG. 16 shows the result. The horizontal axis represents the rotational speed (shear rate) of the input cylinder, and the vertical axis represents the shear stress. According to this, both the characteristic curve (solid line) related to magnetorheological fluid containing metal nanoparticles with surface modification and the characteristic curve (dashed line) related to magnetorheological fluid containing metal nanoparticles not subjected to surface treatment are both The curves are ascending to the right and are substantially parallel to each other. In other words, the shear stress of each magnetorheological fluid changes almost linearly with respect to the number of rotations, while the shear stress of the magnetorheological fluid containing surface-treated metal nanoparticles undergoes surface treatment. The value is lower than the shear stress of a magnetorheological fluid containing no metal nanoparticles. Thereby, it turns out that the base viscosity of a magnetorheological fluid can be reduced by performing the surface treatment of a metal nanoparticle.

次に,前記第2実施例に係る磁気粘性流体及び従来例の磁気粘性流体のそれぞれについて、狭小間隙における粘性評価を行った。粘性評価に用いた粘度計は、図示は省略するが、その間に磁気粘性流体を挟むよう対向して配置されると共に、相対回転が可能にされた平行円盤を備えていて、その平行円盤を相対回転させたときのせん断応力を測定することが可能に構成されている。ここでの粘性評価は、平行円盤間のギャップを50μmに設定した状態で、円盤の回転数に対するせん断応力の変化を測定することにより行った。   Next, for each of the magnetorheological fluid according to the second embodiment and the magnetorheological fluid of the conventional example, viscosity evaluation in a narrow gap was performed. The viscometer used for the viscosity evaluation is not shown in the figure, but is provided with a parallel disk which is disposed so as to sandwich the magnetorheological fluid therebetween, and is capable of relative rotation. It is configured to be able to measure the shear stress when rotated. Viscosity evaluation here was performed by measuring the change of the shear stress with respect to the rotation speed of a disk in the state which set the gap between parallel disks to 50 micrometers.

図17に、横軸を円盤の回転数(せん断速度)、縦軸をせん断応力とした、粘性評価の結果を示す。これによると、第2実施例に係る磁気粘性流体は、回転数に対してせん断応力が線形的に変化している。つまり、第2実施例に係る磁気粘性流体では、そこに含まれる磁性粒子が円盤等に接触することなく、円盤がスムースに回転していると考えられる。従って、第2実施例に係る磁気粘性流体は、少なくとも50μm程度の間隙を有するデバイスに使用しても、間隙を構成する壁面や液室を密閉するためのシール等の摩耗を招くことがない。よって、第2実施例に係る磁気粘性流体は、狭小間隙を有するデバイスに使用することが可能であると共に、デバイスの寿命を長くすることができる。   FIG. 17 shows the results of viscosity evaluation with the horizontal axis as the disk rotation speed (shear rate) and the vertical axis as the shear stress. According to this, in the magnetorheological fluid according to the second embodiment, the shear stress changes linearly with respect to the rotational speed. That is, in the magnetorheological fluid according to the second embodiment, it is considered that the disk is smoothly rotating without the magnetic particles contained therein contacting the disk or the like. Therefore, even when the magnetorheological fluid according to the second embodiment is used in a device having a gap of at least about 50 μm, it does not cause wear such as a seal for sealing the wall surface and liquid chamber constituting the gap. Therefore, the magnetorheological fluid according to the second embodiment can be used for a device having a narrow gap and can extend the lifetime of the device.

これに対し、従来例の磁気粘性流体は、回転数に対してせん断応力が線形的に変化しないと共に、円盤の回転数を高めたときには、せん断応力の測定自体が不能になった。これは、従来例の磁気粘性流体に含まれる磁性粒子は、前述したように6μm程度の比較的大きい平均粒子径を有しているが、その磁性粒子が円盤等に接触することで、円盤の回転抵抗を招いていると推測される。従って、従来例の磁気粘性流体は、50μm程度の間隙を有するデバイスに使用した場合、デバイスの作動不良を招くことから、そうした狭小間隙のデバイスに使用することはできない。   On the other hand, in the conventional magnetorheological fluid, the shear stress did not change linearly with respect to the rotational speed, and when the rotational speed of the disk was increased, the measurement of the shear stress itself became impossible. This is because the magnetic particles contained in the conventional magnetorheological fluid have a relatively large average particle diameter of about 6 μm as described above, but when the magnetic particles come into contact with the disk or the like, Presumed to have caused rotational resistance. Therefore, when the magnetorheological fluid of the conventional example is used for a device having a gap of about 50 μm, it causes a malfunction of the device and cannot be used for such a narrow gap device.

最後に、前記第2実施例の磁気粘性流体について、磁場を与えたときの粘性の変化特性(MR効果)について、図3に示す粘度計を用いて評価試験をした。図18にその結果を示す。これによると、実施例に係る磁気粘性流体は、せん断速度480(1/s)、1Aのコイル電流を通電することにより13kPa程度のせん断応力が発生しており、MR効果が発現していることがわかる。   Finally, with respect to the magnetorheological fluid of the second embodiment, the viscosity change characteristics (MR effect) when a magnetic field was applied were evaluated using a viscometer shown in FIG. FIG. 18 shows the result. According to this, in the magnetorheological fluid according to the example, a shearing stress of about 13 kPa is generated by applying a coil current of 1A with a shear rate of 480 (1 / s), and the MR effect is exhibited. I understand.

以上説明したように、本発明は、磁気粘性流体が封入される液室の間隙を狭くすることができるから、ブレーキ、クラッチ、ダンパ等の、磁気粘性流体を利用したデバイスの小型化及び長寿命化を実現する上で有用である。   As described above, according to the present invention, the gap between the liquid chambers in which the magnetorheological fluid is sealed can be narrowed, so that the devices using the magnetorheological fluid, such as brakes, clutches, and dampers, can be downsized and have a long service life. This is useful in realizing

アークプラズマ法による金属粒子の製造装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the manufacturing apparatus of the metal particle by an arc plasma method. 実施例及び従来例に係る磁性粒子の凝集体の大きさを示すデータである。It is data which shows the magnitude | size of the aggregate of the magnetic particle which concerns on an Example and a prior art example. 粘度計の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of a viscometer. 平均粒子径が異なる各磁気粘性流体に対して、磁場を与えたときのトルク変化を示す図である。It is a figure which shows the torque change when a magnetic field is given with respect to each magnetorheological fluid from which an average particle diameter differs. 実施例及び比較例に係る磁性粒子を示す顕微鏡写真である。It is a microscope picture which shows the magnetic particle which concerns on an Example and a comparative example. 実施例に係る磁性粒子を水に分散させたときの様子を示す写真である。It is a photograph which shows a mode when the magnetic particle which concerns on an Example is disperse | distributed to water. 実施例及び比較例に係る磁性粒子を水及びトルエンに分散させたときの様子を示す写真である。It is a photograph which shows a mode when the magnetic particle which concerns on an Example and a comparative example is disperse | distributed to water and toluene. 実施例、比較例及び従来例に係る磁気粘性流体の沈降試験の結果を示す図である。It is a figure which shows the result of the sedimentation test of the magnetorheological fluid concerning an Example, a comparative example, and a prior art example. 実施例及び比較例に係る磁性粒子のXRD分析結果を示す図である。It is a figure which shows the XRD analysis result of the magnetic particle which concerns on an Example and a comparative example. 実施例及び比較例に係る磁性粒子の、時間に対する重量変化を示す図である。It is a figure which shows the weight change with respect to time of the magnetic particle which concerns on an Example and a comparative example. 実施例に係る磁気粘性流体に、磁場を与えたときのせん断応力変化を示す図である。It is a figure which shows the shear stress change when a magnetic field is given to the magnetorheological fluid concerning an Example. 実施例に係る磁気粘性流体に、磁場を与えたときのせん断応力変化を示す図である。It is a figure which shows the shear stress change when a magnetic field is given to the magnetorheological fluid concerning an Example. 磁気粘性流体の磁性粒子の分散濃度に対する、せん断応力の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship of the shear stress with respect to the dispersion density | concentration of the magnetic particle of a magnetorheological fluid. 第2実施例に係る磁性粒子の凝集体を示す顕微鏡写真である。It is a microscope picture which shows the aggregate of the magnetic particle which concerns on 2nd Example. 従来例に係る磁性粒子の凝集体を示す顕微鏡写真である。It is a microscope picture which shows the aggregate of the magnetic particle which concerns on a prior art example. 表面改質処理を施した金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体と、表面改質処理を施していない金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体との粘度の比較を示す図である。It is a figure which shows the comparison of the viscosity of the magnetorheological fluid containing the metal nanoparticle which performed the surface modification process, and the magnetorheological fluid which contains the metal nanoparticle which has not performed the surface modification process. 第2実施例及び従来例に係る磁気粘性流体の、狭小間隙におけるせん断速度に対するせん断応力の変化特性を示す図である。It is a figure which shows the change characteristic of the shear stress with respect to the shear rate in the narrow gap of the magnetorheological fluid concerning a 2nd Example and a prior art example. 第2実施例に係る磁気粘性流体の、磁場を与えたときのトルク変化を示す図である。It is a figure which shows the torque change when the magnetic field of the magnetorheological fluid concerning a 2nd example is given.

符号の説明Explanation of symbols

21 金属材料 21 Metal materials

Claims (8)

ナノサイズの磁化可能な金属ナノ粒子を含む磁性粒子、及び、
前記磁性粒子を分散させる分散媒、
を含有し、
前記磁性粒子は、アークプラズマ法により作成した当該磁性粒子に対し、気相中においてカップリング剤による表面改質を施すことにより形成された、所定厚みの酸化膜と表面改質層とを有している磁気粘性流体。
Magnetic particles comprising nano-size magnetizable metal nanoparticles, and
A dispersion medium for dispersing the magnetic particles;
Containing
The magnetic particles have an oxide film having a predetermined thickness and a surface modified layer formed by subjecting the magnetic particles prepared by the arc plasma method to surface modification with a coupling agent in a gas phase. A magnetorheological fluid.
請求項1に記載の磁気粘性流体において、
前記磁性粒子は、平均粒子径が20nm以上500nm以下の金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体。
The magnetorheological fluid according to claim 1,
The magnetic particle is a magnetorheological fluid containing metal nanoparticles having an average particle diameter of 20 nm to 500 nm.
請求項2に記載の磁気粘性流体において、
前記磁性粒子は、平均粒子径が70nm以上200nm以下の金属ナノ粒子を含む磁気粘性流体。
The magnetorheological fluid according to claim 2,
The magnetic particle is a magnetorheological fluid containing metal nanoparticles having an average particle diameter of 70 nm to 200 nm.
請求項1に記載の磁気粘性流体において、
前記磁性粒子は、大きさが10μm以下の、前記金属ナノ粒子の凝集体を含む磁気粘性流体。
The magnetorheological fluid according to claim 1,
The magnetic particle is a magnetorheological fluid containing aggregates of the metal nanoparticles having a size of 10 μm or less.
請求項1に記載の磁気粘性流体において、
前記酸化膜の厚みは、2nm以上10nm以下である磁気粘性流体。
The magnetorheological fluid according to claim 1,
The thickness of the oxide film is a magnetorheological fluid having a thickness of 2 nm to 10 nm.
磁化可能な金属材料から、アークプラズマ法により、ナノサイズの金属ナノ粒子を含む磁性粒子を作成する工程、
前記作成した磁性粒子の表面に酸化膜を形成する工程、
カップリング剤を前記酸化膜表面の水酸基と気相中で反応させることによって前記磁性粒子に対し表面改質を施す工程、及び、
前記表面改質を施した磁性粒子を分散媒に分散させる工程、を含む磁気粘性流体の製造方法。
A step of producing magnetic particles including nano-sized metal nanoparticles from a magnetizable metal material by an arc plasma method;
Forming an oxide film on the surface of the magnetic particles produced,
A step of modifying the magnetic particles by reacting a coupling agent with a hydroxyl group on the surface of the oxide film in a gas phase; and
A method of producing a magnetorheological fluid, comprising the step of dispersing the surface-modified magnetic particles in a dispersion medium.
請求項6に記載の製造方法において、
前記分散工程の前又は後に、前記磁性粒子を解砕する工程をさらに含む製造方法。
The manufacturing method according to claim 6,
The production method further comprising a step of crushing the magnetic particles before or after the dispersing step.
ナノサイズの磁化可能な金属ナノ粒子及び当該金属ナノ粒子が塊状に凝集した凝集体を含む磁性粒子、並びに、
前記磁性粒子を分散させる分散媒、
を含有する磁気粘性流体。
Magnetic particles including nano-size magnetizable metal nanoparticles and aggregates in which the metal nanoparticles are aggregated in a lump, and
A dispersion medium for dispersing the magnetic particles;
Containing magnetorheological fluid.
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