JP2009116292A - Resin composition for forming clad layer, resin film for forming clad layer using it, light guide using them, and optical module - Google Patents

Resin composition for forming clad layer, resin film for forming clad layer using it, light guide using them, and optical module Download PDF

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竜也 牧野
Masami Ochiai
雅美 落合
Atsushi Takahashi
敦之 高橋
Masatoshi Yamaguchi
正利 山口
Tomoaki Shibata
智章 柴田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition for forming a clad layer superior in curvature resistance and torsion resistance, and also to provide a resin film for forming the clad layer, a light guide manufactured by using them, and an optical module. <P>SOLUTION: The resin composition for forming the clad layer of the light guide containing (A) (meta)acryl polymer having a reactive functional group and weight average molecular weight of 100,000 or more, (B) an epoxy resin, (C) a phenol-based epoxy resin curing agent, (D) a light reactive monomer, and (E) a photobase generator is provided. The resin film for forming the clad layer, the light guide manufactured by using them, and an optical module are provided. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、クラッド層形成用樹脂組成物およびクラッド層形成用樹脂フィルムそれらを用いた光導波路ならびに光モジュールに関する。   The present invention relates to a resin composition for forming a cladding layer, a resin film for forming a cladding layer, and an optical waveguide and an optical module using the same.

電子素子間や配線基板間の高速・高密度信号伝送において、従来の電気配線による伝送では、信号の相互干渉や減衰が障壁となり、高速・高密度化の限界が見え始めている。これを打ち破るため電子素子間や配線基板間を光で接続する技術、いわゆる光インタコネクションが検討されている。
機器内部や機器間などの短距離で光信号を伝送するためには、フレキシブルなフィルム光導波路が望まれている。特に、携帯用小型機器の内部に光導波路を配線する場合には、省スペース化のために部品表面を這わせるようにして配線する場合も多く、小さな曲率半径で屈曲可能な、ポリマーフィルム光導波路が求められている。
フレキシブル光導波路の屈曲性、あるいは形状復元する際の界面における追従性を向上させるために、低弾性率材料を用いた光導波路の開発がなされている。例えば、特許文献1及び2では、光導波路の曲げ弾性率を1000MPa以下、膜厚を150μm以下とした、耐屈曲性、耐捻性の高いフィルム光導波路が提案されている。しかし、スタンパを用いて光導波路を作製していることから、設計の自由度が低く、設計の変更がし難しいこという欠点がある。
In high-speed and high-density signal transmission between electronic devices and between wiring boards, signal transmission interference and attenuation become barriers in conventional transmission using electric wiring, and the limits of high-speed and high-density are beginning to appear. In order to overcome this problem, a technique for optically connecting electronic elements and wiring boards, so-called optical interconnection, has been studied.
In order to transmit an optical signal over a short distance such as inside or between devices, a flexible film optical waveguide is desired. In particular, when an optical waveguide is wired inside a small portable device, the component film is often wired so that the surface of the component faces in order to save space. The polymer film optical waveguide can be bent with a small curvature radius. Is required.
In order to improve the flexibility of the flexible optical waveguide or the followability at the interface when the shape is restored, an optical waveguide using a low elastic modulus material has been developed. For example, Patent Documents 1 and 2 propose a film optical waveguide with high bending resistance and high twist resistance in which the bending elastic modulus of the optical waveguide is 1000 MPa or less and the film thickness is 150 μm or less. However, since the optical waveguide is manufactured using a stamper, there is a disadvantage that the degree of freedom in design is low and it is difficult to change the design.

特許第3870976号Japanese Patent No. 3870976 特開第3906870号Japanese Patent No. 3906870

本発明は、上記した従来技術の問題に鑑み、耐屈曲性、耐捻性に優れるクラッド層形成用樹脂組成物、およびクラッド層形成用樹脂フィルム、これらを用いて作製した光導波路ならびに光モジュールを提供することを目的とする。   In view of the above-described problems of the prior art, the present invention provides a clad layer-forming resin composition excellent in bending resistance and twist resistance, a clad layer-forming resin film, an optical waveguide and an optical module produced using them. The purpose is to provide.

本発明者らは、鋭意検討を進めた結果、以下の方法により上記課題を解決し得ることを見出した。すなわち、本発明は、以下(1)〜(17)に関する。
1.(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマー、(B)エポキシ樹脂、(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤、(D)光反応性モノマー、及び(E)光塩基発生剤を含有する光導波路のクラッド層形成用樹脂組成物。
2.(D)光反応性モノマーが、(メタ)アクリレートである上記1に記載のクラッド層形成用樹脂組成物。
3.(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマーが、エポキシ基含有繰り返し単位を0.5〜6質量%含有するエポキシ基含有(メタ)アクリルポリマーである上記1又は2に記載のクラッド層形成用樹脂組成物。
4.(B)エポキシ樹脂が、ビスフェノール型エポキシ樹脂及び/又はフェノールノボラック型エポキシ樹脂を含む上記1〜3のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。
5.(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤が、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、o-クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のうち少なくとも1つを含む上記1〜4のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。
6.前記(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマー100質量部に対し、(B)エポキシ樹脂を5〜250質量部、及び(D)光反応性モノマーを5〜100質量部、及び(E)光塩基発生剤を0.1〜20質量部含有し、(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤を、エポキシ樹脂のエポキシ基1個当たりフェノール性水酸基の当量比が0.5〜1.5の範囲となるように含有する上記1〜5のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。
7.前記クラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの、25℃での引張り弾性率が1〜2000MPaである上記1〜6のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。
8.前記クラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの、25℃での引張り破断伸び率が10〜600%である上記1〜7のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。
9.前記クラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの、曲げ半径2mmの屈曲耐久試験を10万回実施後、破断のない上記1〜8のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。
10.前記クラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの、捻回耐久試験を10万回実施後、破断のない上記1〜9のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。
11.上記1〜10のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物を用いたクラッド層形成用樹脂フィルム。
12.上記1〜10のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物により、下部クラッド層と上部クラッド層のうち少なくとも一方の層が形成された光導波路。
13.上記11に記載のクラッド層形成用樹脂フィルムにより、下部クラッド層と上部クラッド層のうち少なくとも一方の層が形成された光導波路。
14.前記光導波路の下部クラッド層と上部クラッド層の間に、両クラッド層よりも屈折率の高い感光性樹脂組成物によりコア部が形成され、コア部とクラッド層との比屈折率差が1〜10%である上記12又は13に記載の光導波路。
15.クラッド層形成用樹脂フィルムの少なくとも1つがクラッド層形成用樹脂と支持フィルムから構成され、支持フィルムがコア層に対してクラッド層の外側に配置されている上記13又は14に記載の光導波路。
16.クラッド層形成用樹脂フィルムが、接着処理を施した支持フィルム上にクラッド層形成用樹脂組成物が成膜されてなる上記15に記載の光導波路。
17.上記12〜16のいずれかに記載の光導波路を用いた光モジュール。
As a result of intensive studies, the present inventors have found that the above-described problem can be solved by the following method. That is, the present invention relates to the following (1) to (17).
1. (A) a (meth) acrylic polymer having a reactive functional group and a weight average molecular weight of 100,000 or more, (B) an epoxy resin, (C) a phenolic epoxy resin curing agent, (D) a photoreactive monomer And (E) a resin composition for forming a cladding layer of an optical waveguide containing a photobase generator.
2. (D) The resin composition for forming a clad layer according to 1 above, wherein the photoreactive monomer is (meth) acrylate.
3. (A) An epoxy group-containing (meth) acryl having a reactive functional group and having a weight average molecular weight of 100,000 or more and containing 0.5 to 6% by mass of an epoxy group-containing repeating unit. 3. The resin composition for forming a cladding layer according to the above 1 or 2, which is a polymer.
4). (B) The resin composition for clad layer formation in any one of said 1-3 in which an epoxy resin contains a bisphenol type epoxy resin and / or a phenol novolak type epoxy resin.
5). (C) The resin composition for forming a clad layer according to any one of the above 1 to 4, wherein the phenolic epoxy resin curing agent includes at least one of a phenol novolak resin, a bisphenol A novolak resin, and an o-cresol novolak type epoxy resin. object.
6). (B) 5 to 250 parts by mass of epoxy resin and (D) light with respect to 100 parts by mass of (A) reactive functional group and 100 parts by mass of (meth) acrylic polymer having a weight average molecular weight of 100,000 or more. 5-100 parts by mass of reactive monomer and 0.1-20 parts by mass of (E) photobase generator, (C) phenolic epoxy resin curing agent, phenolic per epoxy group of epoxy resin The resin composition for forming a clad layer according to any one of the above 1 to 5, which is contained so that an equivalent ratio of hydroxyl groups is in a range of 0.5 to 1.5.
7). The resin composition for forming a clad layer according to any one of the above 1 to 6, wherein a cured film obtained by curing the resin composition for forming a clad layer has a tensile elastic modulus at 25 ° C of 1 to 2000 MPa.
8). The resin composition for forming a clad layer according to any one of 1 to 7 above, wherein a cured film obtained by curing the resin composition for forming a clad layer has a tensile elongation at break at 10C of 10 to 600%.
9. The resin composition for forming a clad layer according to any one of the above 1 to 8, wherein the cured film formed by curing the resin composition for forming a clad layer is subjected to a bending durability test with a bending radius of 2 mm for 100,000 times and is not broken. object.
10. 10. The resin composition for forming a clad layer according to any one of the above 1 to 9, wherein the cured film formed by curing the resin composition for forming a clad layer is subjected to a twisting durability test 100,000 times and has no breakage.
11. A resin film for forming a clad layer using the resin composition for forming a clad layer according to any one of 1 to 10 above.
12 An optical waveguide in which at least one of a lower clad layer and an upper clad layer is formed from the clad layer forming resin composition according to any one of 1 to 10 above.
13. 12. An optical waveguide in which at least one of a lower clad layer and an upper clad layer is formed by the clad layer forming resin film described in 11 above.
14 Between the lower clad layer and the upper clad layer of the optical waveguide, a core part is formed of a photosensitive resin composition having a higher refractive index than both clad layers, and the relative refractive index difference between the core part and the clad layer is 1 to 14. The optical waveguide according to the above 12 or 13, which is 10%.
15. 15. The optical waveguide according to the above 13 or 14, wherein at least one of the clad layer forming resin films is composed of a clad layer forming resin and a support film, and the support film is disposed outside the clad layer with respect to the core layer.
16. 16. The optical waveguide as described in 15 above, wherein the clad layer forming resin film is formed by depositing a clad layer forming resin composition on a support film subjected to an adhesion treatment.
17. The optical module using the optical waveguide in any one of said 12-16.

本発明によれば、耐屈曲性、耐捻性に優れるクラッド層形成用樹脂硬化、ならびにこれを用いた光導波路を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the resin hardening for clad layer formation which is excellent in bending resistance and twist resistance, and an optical waveguide using the same can be provided.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物としては、(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマー、(B)エポキシ樹脂、(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤、(D)光反応性モノマー及び(E)光塩基発生剤を含有してなるものである。以下、本発明において(A)成分を(A)(メタ)アクリルポリマーと略記することがある。   The resin composition for forming a cladding layer of the present invention includes (A) a (meth) acrylic polymer having a reactive functional group and a weight average molecular weight of 100,000 or more, (B) an epoxy resin, and (C) phenol. Type epoxy resin curing agent, (D) a photoreactive monomer, and (E) a photobase generator. Hereinafter, in the present invention, the component (A) may be abbreviated as (A) (meth) acrylic polymer.

上記のようなクラッド形成用樹脂組成物が上記課題を解決できる理由は次のように推察される。(1)(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマーと(B)エポキシ樹脂を用いることで、耐屈曲性、耐捻性に加えて、低弾性、密着性、作業性及び高温時信頼性が得られること
(2)(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤と(D)紫外線照射によって得られる光反応性モノマーを用いることにより耐熱性、耐リフロー性に優れること、
The reason why the above-described resin composition for forming a clad can solve the above-described problems is presumed as follows. (1) In addition to bending resistance and torsion resistance, (A) a reactive functional group and a (meth) acrylic polymer having a weight average molecular weight of 100,000 or more and (B) an epoxy resin are used. (2) (C) phenolic epoxy resin curing agent and (D) photoreactive monomer obtained by ultraviolet irradiation, heat resistance, Excellent reflow resistance,

(3)(C)成分及び(D)成分の存在下で(E)光塩基発生剤を使用するため、光が当たらない状態ではエポキシ樹脂、光反応性モノマーがほとんど反応せず、保存安定性に優れる上に、光を照射すれば光反応が促進され、またエポキシ樹脂の硬化促進剤が発生するため、加熱するとスムーズにエポキシ樹脂の硬化が進むという、反応性と保存安定性とを両立したフィルムを得ることができること、である。
以下、各成分についてより具体的に説明する。
(3) Since the (E) photobase generator is used in the presence of the component (C) and the component (D), the epoxy resin and the photoreactive monomer hardly react in the absence of light, and storage stability In addition to being superior to the above, photoreaction is promoted by irradiating light, and an epoxy resin curing accelerator is generated. Therefore, the epoxy resin cures smoothly when heated, achieving both reactivity and storage stability. It is possible to obtain a film.
Hereinafter, each component will be described more specifically.

本発明の(A)成分における(メタ)アクリルポリマーとは、アクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸、メタクリル酸エステル、及びこれらの誘導体を単量体とし、これを重合してなるポリマーをいう。該(メタ)アクリルポリマーは、上記単量体の単独重合体であってもよいし、また、これらのモノマーの2種以上を重合させた共重合体であってもよい。さらには、本発明の効果を阻害しない範囲で、上記のモノマーと、上記以外のモノマーとを含む共重合体であってもよい。また、複数の(メタ)アクリルポリマーの混合物であってもよい。
(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマーとしては、エポキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基、カルボキシル基、水酸基、エピスルフィド基などの官能基を含有するものが好ましく、中でも架橋性の点でエポキシ基が好ましい。具体的には、原料モノマーとしてエチレン性不飽和エポキシドを含有し、かつ重量平均分子量が10万以上であるエポキシ基含有(メタ)アクリルポリマーを挙げることができる。
The (meth) acrylic polymer in the component (A) of the present invention refers to a polymer obtained by polymerizing acrylic acid, acrylic acid ester, methacrylic acid, methacrylic acid ester, and derivatives thereof as monomers. The (meth) acrylic polymer may be a homopolymer of the above monomer, or may be a copolymer obtained by polymerizing two or more of these monomers. Furthermore, the copolymer containing said monomer and monomers other than the above may be used in the range which does not inhibit the effect of this invention. Further, it may be a mixture of a plurality of (meth) acrylic polymers.
(A) As a (meth) acrylic polymer having a reactive functional group and a weight average molecular weight of 100,000 or more, a functional group such as an epoxy group, an acryloyl group, a methacryloyl group, a carboxyl group, a hydroxyl group, and an episulfide group What is contained is preferable, and an epoxy group is particularly preferable in terms of crosslinkability. Specifically, an epoxy group-containing (meth) acrylic polymer containing an ethylenically unsaturated epoxide as a raw material monomer and having a weight average molecular weight of 100,000 or more can be mentioned.

このような(メタ)アクリルポリマーとしては、例えば、(メタ)アクリルエステル共重合体、アクリルゴムなどを使用することができ、アクリルゴムがより好ましい。アクリルゴムは、アクリル酸エステルを主成分とし、主として、ブチルアクリレートとアクリロニトリルなどの共重合体や、エチルアクリレートとアクリロニトリルなどの共重合体などからなるゴムである。
共重合体モノマーとしては、例えば、ブチル(メタ)アクリレート、エチルアクリレート、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、アクリロニトリル等を挙げることができる。
As such (meth) acrylic polymer, for example, (meth) acrylic ester copolymer, acrylic rubber, and the like can be used, and acrylic rubber is more preferable. Acrylic rubber is a rubber mainly composed of an acrylate ester and mainly composed of a copolymer such as butyl acrylate and acrylonitrile, a copolymer such as ethyl acrylate and acrylonitrile, or the like.
Examples of the copolymer monomer include butyl (meth) acrylate, ethyl acrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, acrylonitrile and the like.

反応性官能基としてエポキシ基を選択する場合、共重合体モノマー成分としてエチレン性不飽和エポキシドを使用することが好ましい。
エチレン性不飽和エポキシドとしては、特に制限はなく、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、α−プロピルグリシジル(メタ)アクリレート、α−ブチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−プロピルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシヘプチル(メタ)アクリレート、α−エチル−6,7−エポキシヘプチル(メタ)アクリレート、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルエチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルプロピル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルブチル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。この中で、透明性及び耐熱性の観点から、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルエチル(メタ)アクリレートが好ましい。
このような重量平均分子量が10万以上であるエポキシ基含有(メタ)アクリルポリマーは、上記モノマーから適宜モノマーを選択して製造することもできるし、市販品(例えばナガセケムテックス株式会社製HTR−860P−3、HTR−860P−5等)もある。
When an epoxy group is selected as the reactive functional group, it is preferable to use an ethylenically unsaturated epoxide as the copolymer monomer component.
The ethylenically unsaturated epoxide is not particularly limited, and examples thereof include glycidyl (meth) acrylate, α-ethyl glycidyl (meth) acrylate, α-propyl glycidyl (meth) acrylate, α-butyl glycidyl (meth) acrylate, 2- Methyl glycidyl (meth) acrylate, 2-ethyl glycidyl (meth) acrylate, 2-propyl glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, 3,4-epoxyheptyl (meth) acrylate, α-ethyl -6,7-epoxyheptyl (meth) acrylate, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, , 4-epoxycyclohexyl ethyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl methyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl-butyl (meth) acrylate. Among these, from the viewpoint of transparency and heat resistance, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylethyl ( (Meth) acrylate is preferred.
Such an epoxy group-containing (meth) acrylic polymer having a weight average molecular weight of 100,000 or more can be produced by appropriately selecting a monomer from the above monomers, or a commercially available product (for example, HTR- manufactured by Nagase ChemteX Corporation). 860P-3, HTR-860P-5, etc.).

(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマーにおいて、反応性官能基の数は架橋密度に影響するので重要であり、用いる樹脂によっても異なるが、(メタ)アクリルポリマーを複数のモノマーの共重合体として得る場合は、原料として使用する反応性官能基含有モノマーの量としては、共重合体の0.5〜6.0質量%の程度含まれることが好ましい。   (A) In a (meth) acrylic polymer having a reactive functional group and a weight average molecular weight of 100,000 or more, the number of reactive functional groups is important because it affects the crosslink density, and also varies depending on the resin used. However, when the (meth) acrylic polymer is obtained as a copolymer of a plurality of monomers, the amount of the reactive functional group-containing monomer used as a raw material is about 0.5 to 6.0% by mass of the copolymer. It is preferably included.

(A)成分としてエポキシ基含有(メタ)アクリルポリマーを使用する場合、原料として使用するエチレン性不飽和エポキシドの量は、共重合体の0.5〜6.0質量%が好ましく、0.5〜5.0質量%がより好ましく、0.8〜5.0質量%が特に好ましい。エポキシ基含有繰り返し単位の量がこの範囲にあると、エポキシ基の緩やかな架橋が起こるため、屈曲試験、捻り試験などに耐えられる適度な弾性率の硬化フィルムを得ることができる。   When the epoxy group-containing (meth) acrylic polymer is used as the component (A), the amount of the ethylenically unsaturated epoxide used as a raw material is preferably 0.5 to 6.0% by mass of the copolymer, 0.5 -5.0 mass% is more preferable, and 0.8-5.0 mass% is especially preferable. When the amount of the epoxy group-containing repeating unit is within this range, the epoxy group is gradually crosslinked, so that a cured film having an appropriate elastic modulus that can withstand a bending test, a torsion test and the like can be obtained.

エチレン性不飽和エポキシドに他の官能基を組み込んでモノマーとすることもできる。その場合の混合比率は、エポキシ基含有(メタ)アクリルポリマーのガラス転移温度(以下「Tg」という)を考慮して決定し、Tgは−10℃以上であることが好ましい。Tgが−10℃以上であると、クラッド層形成用樹脂フィルムのタック性が適当であり、取り扱い性に問題を生じないからである。   Other functional groups may be incorporated into the ethylenically unsaturated epoxide to form a monomer. The mixing ratio in that case is determined in consideration of the glass transition temperature (hereinafter referred to as “Tg”) of the epoxy group-containing (meth) acrylic polymer, and Tg is preferably −10 ° C. or higher. This is because when the Tg is −10 ° C. or higher, the tackiness of the resin film for forming a clad layer is appropriate, and there is no problem in handleability.

(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマーとして、上記モノマーを重合させて、エポキシ基含有(メタ)アクリルポリマーを使用する場合、その重合方法としては特に制限はなく、例えば、パール重合、溶液重合などの方法を使用することができる。   (A) In the case of using an epoxy group-containing (meth) acrylic polymer by polymerizing the above monomer as a (meth) acrylic polymer having a reactive functional group and a weight average molecular weight of 100,000 or more, the polymerization There is no restriction | limiting in particular as a method, For example, methods, such as pearl polymerization and solution polymerization, can be used.

(A)(メタ)アクリルポリマーの重量平均分子量は、10万以上であるが、10万〜300万であることが好ましく、30万〜300万であることがさらに好ましく、50万〜200万であることが特に好ましい。重量平均分子量が10万以上であれば、シート状、フィルム状での強度や可とう性の十分でタック性が増大することがない。一方、300万以下であれば、エポキシ樹脂やフェノール系エポキシ樹脂硬化剤との相溶性が良好であり、さらにフロー性が十分でコア埋め込み性が低下することがない。なお、本発明において、重量平均分子量とは、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレン検量線を用いて換算した値を示す。   (A) The weight average molecular weight of the (meth) acrylic polymer is 100,000 or more, preferably 100,000 to 3,000,000, more preferably 300,000 to 3,000,000, and 500,000 to 2,000,000. It is particularly preferred. If the weight average molecular weight is 100,000 or more, the strength and flexibility in sheet form and film form are sufficient and tackiness does not increase. On the other hand, if it is 3 million or less, the compatibility with the epoxy resin and the phenolic epoxy resin curing agent is good, the flow property is sufficient, and the core embedding property does not deteriorate. In the present invention, the weight average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve.

本発明に使用する(B)エポキシ樹脂は、特に限定されず、例えばエポキシ樹脂ハンドブック(新保正樹編、日刊工業新聞社)等に記載されるエポキシ樹脂を広く使用することができる。具体的には、例えば、ヒドロキノン型エポキシ樹脂、レゾルシノール型エポキシ樹脂、カテコール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラブロモビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂などの2官能フェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添2,2’−ビフェノール型エポキシ樹脂、水添4,4’−ビフェノール型エポキシ樹脂などの水添2官能フェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン−フェノール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン−クレゾール型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂などの3官能以上の多官能フェノールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;ポリエチレングリコール型エポキシ樹脂、ポリプロピレングリコール型エポキシ樹脂、ネオペンチルグリコール型エポキシ樹脂、1,6−ヘキサンジオール型エポキシ樹脂などの2官能脂肪族アルコールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;シクロヘキサンジオール型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、トリシクロデカンジメタノール型エポキシ樹脂などの2官能脂環式アルコールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;トリメチロールプロパン型エポキシ樹脂、ソルビトール型エポキシ樹脂、グリセリン型エポキシ樹脂などの3官能以上の多官能脂肪族アルコールグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;フタル酸ジグリシジルエステルなどの2官能芳香族グリシジルエステル;テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステルなどの2官能脂環式グリシジルエステル;N,N−ジグリシジルアニリン、N,N−ジグリシジルトリフルオロメチルアニリンなどの2官能芳香族グリシジルアミン;N,N,N’,N’−テトラグリシジル−4,4−ジアミノジフェニルメタン、1,3−ビス(N,N−グリシジルアミノメチル)シクロヘキサン、N,N,o−トリグリシジル−p−アミノフェノールなどの3官能以上の多官能芳香族グリシジルアミン;アリサイクリックジエポキシアセタール、アリサイクリックジエポキシアジペート、アリサイクリックジエポキシカルボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキシドなどの2官能脂環式エポキシ樹脂;2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加体などの3官能以上の多官能脂環式エポキシ樹脂;トリグリシジルイソシアヌレートなどの3官能以上の多官能複素環式エポキシ樹脂;オルガノポリシロキサン型エポキシ樹脂などのケイ素含有2官能又は3官能以上の多官能エポキシ樹脂などが挙げられる。
これらの中でも、透明性及び(メタ)アクリルポリマーとの相溶性の観点から、ヒドロキノン型エポキシ樹脂、レゾルシノール型エポキシ樹脂、カテコール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂などの2官能フェノールグリシジルエーテル型液状エポキシ樹脂;上記2官能脂環式液状エポキシ樹脂であることが好ましい。
以上の化合物は、単独又は2種類以上組み合わせて用いることができる。
The (B) epoxy resin used for this invention is not specifically limited, For example, the epoxy resin described in the epoxy resin handbook (Shinho Masaki edition, Nikkan Kogyo Shimbun) etc. can be used widely. Specifically, for example, hydroquinone type epoxy resin, resorcinol type epoxy resin, catechol type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, tetrabromobisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, bisphenol AD Type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, fluorene type epoxy resin, etc. bifunctional phenol glycidyl ether type epoxy resin; hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated 2,2 Hydrogenated bifunctional phenol glycidyl ether type epoxy resin such as' -biphenol type epoxy resin, hydrogenated 4,4'-biphenol type epoxy resin; phenol novolac type epoxy resin, Crezo Polyfunctional glycol glycidyl ether type epoxy resin having 3 or more functional groups such as luminolac type epoxy resin, dicyclopentadiene-phenol type epoxy resin, dicyclopentadiene-cresol type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, etc .; polyethylene glycol type epoxy resin , Polypropylene glycol type epoxy resin, neopentyl glycol type epoxy resin, 1,6-hexanediol type epoxy resin, etc. bifunctional aliphatic alcohol glycidyl ether type epoxy resin; cyclohexanediol type epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, tri Bifunctional alicyclic alcohol glycidyl ether type epoxy resin such as cyclodecanedimethanol type epoxy resin; Trimethylolpropane type epoxy resin Polyfunctional aliphatic alcohol glycidyl ether type epoxy resin such as sorbitol type epoxy resin and glycerin type epoxy resin; bifunctional aromatic glycidyl ester such as diglycidyl phthalate; tetrahydrophthalic acid diglycidyl ester, hexahydro Bifunctional alicyclic glycidyl esters such as diglycidyl phthalate; bifunctional aromatic glycidyl amines such as N, N-diglycidylaniline and N, N-diglycidyltrifluoromethylaniline; N, N, N ′, N Trifunctional or more polyfunctional fragrances such as' -tetraglycidyl-4,4-diaminodiphenylmethane, 1,3-bis (N, N-glycidylaminomethyl) cyclohexane, N, N, o-triglycidyl-p-aminophenol Glycidylamine; Alicycline Bifunctional cycloaliphatic epoxy resins such as kudiepoxy acetal, alicyclic diepoxy adipate, alicyclic diepoxycarboxylate, vinylcyclohexene dioxide; 1,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol 1,2 -Trifunctional or higher polyfunctional alicyclic epoxy resin such as epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct; Trifunctional or higher polyfunctional heterocyclic epoxy resin such as triglycidyl isocyanurate; Organopolysiloxane type epoxy Silicon-containing bifunctional or trifunctional or higher polyfunctional epoxy resins such as resins are exemplified.
Among these, from the viewpoint of transparency and compatibility with (meth) acrylic polymer, hydroquinone type epoxy resin, resorcinol type epoxy resin, catechol type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type Bifunctional phenol glycidyl ether type liquid epoxy resin such as epoxy resin and bisphenol AD type epoxy resin; the above bifunctional alicyclic liquid epoxy resin is preferable.
These compounds can be used alone or in combination of two or more.

本発明において(B)エポキシ樹脂の使用量は、(A)(メタ)アクリルポリマー100質量部に対して、5〜250質量部が好ましい。この範囲にあると、弾性率及び成型時のフロー性抑制が確保でき、また高温での取り扱い性も十分に得られる。(B)エポキシ樹脂の使用量は、10〜100質量部がより好ましく、20〜50質量部が特に好ましい。   In this invention, the usage-amount of (B) epoxy resin has preferable 5-250 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) (meth) acrylic polymer. When it is within this range, it is possible to ensure the elastic modulus and flowability during molding, and to obtain sufficient handleability at high temperatures. (B) As for the usage-amount of an epoxy resin, 10-100 mass parts is more preferable, and 20-50 mass parts is especially preferable.

本発明に使用する(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤は、エポキシ樹脂と組み合わせることによって、高温高圧下において耐衝撃性に優れるため有効である。   The (C) phenolic epoxy resin curing agent used in the present invention is effective because it is excellent in impact resistance under high temperature and high pressure when combined with an epoxy resin.

(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤としては、特に制限はなく、例えば、ヒドロキノン、レゾルシノール、カテコール、ビスフェノールA、テトラブロモビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールAF、ビスフェノールAD、ビフェノール、ジヒドロキシナフタレン、ビナフトール、フルオレン型ビスフェノールなどの2官能フェノール;フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、トリアジン環含有フェノールノボラック樹脂、トリアジン環含有クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、テトラブロモビスフェノールAノボラック樹脂、ビスフェノールAFノボラック樹脂、ビスフェノールADノボラック樹脂、ビフェノールノボラック樹脂、フルオレン型ビスフェノールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン−フェノールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン−クレゾールノボラック樹脂などのノボラック樹脂;フェノールレゾール樹脂、クレゾールレゾール樹脂などのレゾール樹脂などが挙げられる。
これらの中でも、透明性及び(メタ)アクリルポリマーとの相溶性の観点から、ヒドロキノン、レゾルシノール、カテコール、ビスフェノールA、ビスフェノールFなどの2官能フェノール;フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂などのノボラック樹脂であることが好ましい。
以上の化合物は、単独又は2種類以上組み合わせて用いることができる。
(C) The phenolic epoxy resin curing agent is not particularly limited, and examples thereof include hydroquinone, resorcinol, catechol, bisphenol A, tetrabromobisphenol A, bisphenol F, bisphenol AF, bisphenol AD, biphenol, dihydroxynaphthalene, binaphthol, and fluorene. Bifunctional phenols such as type bisphenol; phenol novolak resin, cresol novolak resin, triazine ring-containing phenol novolak resin, triazine ring-containing cresol novolak resin, bisphenol A novolak resin, tetrabromobisphenol A novolak resin, bisphenol AF novolak resin, bisphenol AD novolak Resin, biphenol novolac resin, fluorene type bisphenol novolac tree , Dicyclopentadiene - phenol novolak resin, dicyclopentadiene - novolak resins such as cresol novolak resins; phenolic resole resins, such as resole resins and cresol resol resin.
Among these, from the viewpoint of transparency and compatibility with (meth) acrylic polymers, bifunctional phenols such as hydroquinone, resorcinol, catechol, bisphenol A, bisphenol F; phenol novolac resin, cresol novolac resin, bisphenol A novolac resin, etc. The novolac resin is preferable.
These compounds can be used alone or in combination of two or more.

本発明において、(C)成分の使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基1個当たりフェノール性水酸基の当量比が0.5〜1.5の範囲であることが好ましく、0.8〜1.2であることがより好ましい。この範囲であれば、樹脂の硬化(橋かけ)が十分になり、ガラス転移温度が上がり、硬化剤の耐湿性を向上させることができる。   In this invention, it is preferable that the usage-amount of (C) component is the range whose equivalent ratio of phenolic hydroxyl group per epoxy group of an epoxy resin is 0.5-1.5, 0.8-1.2 It is more preferable that If it is this range, hardening (crosslinking) of resin will become enough, a glass transition temperature will go up, and the moisture resistance of a hardening | curing agent can be improved.

本発明で使用する(D)光反応性モノマーとしては、特に制限はなく、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどの脂肪族(メタ)アクリレート;イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレートなどの複素環式(メタ)アクリレート;これらのエトキシ化体;これらのプロポキシ化体;これらのエトキシ化プロポキシ化体;これらのカプロラクトン変性体;フェノールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレートなどの芳香族エポキシ(メタ)アクリレートが挙げられる。
これらの中でも、透明性及び(メタ)アクリルポリマーとの相溶性の観点から、上記脂肪族(メタ)アクリレート;上記複素環式(メタ)アクリレート;これらのエトキシ化体;これらのプロポキシ化体;これらのエトキシ化プロポキシ化体;これらのカプロラクトン変性体であることが好ましい。
以上の化合物は、単独又は2種類以上組み合わせて用いることができ、さらにその他の(メタ)アクリルモノマーと組み合わせて用いることもできる。
The (D) photoreactive monomer used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, and pentaerythritol. Aliphatic (meth) acrylates such as tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate; heterocyclic (meth) acrylates such as isocyanuric acid tri (meth) acrylate; these Ethoxylated products thereof; propoxylated products thereof; ethoxylated propoxylated products thereof; modified products of these caprolactones; phenol novolac type epoxy (meth) acrylates, cresol novolac type epoxy ( Aromatic epoxy (meth) acrylates such as data) acrylate.
Among these, from the viewpoint of transparency and compatibility with (meth) acrylic polymer, the above aliphatic (meth) acrylate; the above heterocyclic (meth) acrylate; the ethoxylated product thereof; the propoxylated product thereof; An ethoxylated propoxy compound of the above; preferably a caprolactone modified product thereof.
The above compounds can be used alone or in combination of two or more, and can also be used in combination with other (meth) acrylic monomers.

(D)光反応性モノマーは、耐熱性の観点から、硬化物のTgが100℃以上であることが好ましい。(D)成分のTgを測定する方法としては、(D)成分に光開始剤を添加し紫外線照射した硬化物を5×5mm程度の大きさに成形しサンプルを作製する。作製したサンプルをセイコーインスツルメンツ株式会社製:EXSTRA6000によって圧縮モードにより測定してTgを決定した。Tgが100℃以上であると、耐熱性が良好である。この点からTgとしては150℃以上がより好ましく、200℃以上がさらに好ましく、250℃以上が特に好ましい。   (D) It is preferable that Tg of hardened | cured material is 100 degreeC or more from a heat resistant viewpoint as for a photoreactive monomer. As a method for measuring Tg of component (D), a photoinitiator is added to component (D), and a cured product irradiated with ultraviolet rays is molded to a size of about 5 × 5 mm to prepare a sample. Tg was determined by measuring the produced sample in a compression mode using EXSTRA6000 manufactured by Seiko Instruments Inc. Heat resistance is favorable in Tg being 100 degreeC or more. In this respect, Tg is more preferably 150 ° C. or higher, further preferably 200 ° C. or higher, and particularly preferably 250 ° C. or higher.

なお複数の(D)成分を使用する場合、そのTgはその混合物を上記測定方法で測定したときのTgであり、それぞれのモノマーのTgが100℃以上であることを要しない。   In addition, when using several (D) component, the Tg is Tg when the mixture is measured by the said measuring method, and it is not required that Tg of each monomer is 100 degreeC or more.

本発明の(D)光反応性モノマーの使用量は、(A)(メタ)アクリルポリマー100質量部に対して、5〜100質量部が好ましい。配合量が5質量部以上であれば、光反応性モノマーの重合反応が起こりやすくなるために支持基材からの剥離性が向上する傾向がある。100質量部以下であれば、(メタ)アクリルポリマーの低弾性が機能し、フィルムが脆くなることなく耐屈曲性が向上し、好適である。従って、10〜70質量部がより好ましく、20〜50質量部が特に好ましい。   As for the usage-amount of the (D) photoreactive monomer of this invention, 5-100 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of (A) (meth) acrylic polymer. If the blending amount is 5 parts by mass or more, the polymerization reaction of the photoreactive monomer is likely to occur, so that the peelability from the support substrate tends to be improved. If it is 100 parts by mass or less, the low elasticity of the (meth) acrylic polymer functions, and the flex resistance is improved without the film becoming brittle. Therefore, 10-70 mass parts is more preferable, and 20-50 mass parts is especially preferable.

本発明における(E)光塩基発生剤は、一般的にはα−アミノケトン化合物と呼ばれるものである。このような化合物は、例えば、J.Photopolym.Sci.Technol,Vol.13,No12001等に記載されているもので、紫外線を照射すると次式のように反応する。   The (E) photobase generator in the present invention is generally called an α-aminoketone compound. Such compounds are described, for example, in J. Org. Photopolym. Sci. Technol, Vol. 13, No. 20001, etc., and reacts as shown in the following formula when irradiated with ultraviolet rays.

Figure 2009116292
Figure 2009116292

α−アミノケトン化合物は、紫外線照射する前は、ラジカルが存在しないため光反応性モノマーの重合反応は起きない。また、立体障害のため熱硬化性樹脂の硬化も促進しない。しかし、紫外線照射により、α−アミノケトン化合物の解離が起こり、ラジカルの発生に伴い、光反応性モノマーの重合反応が起こる。また、α−アミノケトン化合物の解離により、立体障害が低下し活性化したアミンが存在するようになる。そのため、アミンが熱硬化性樹脂の硬化促進作用を有するようになり、以後加熱により硬化促進作用が働くと類推される。このような作用により、紫外線照射する以前には、ラジカルや活性化したアミンが存在しないため、室温での保存安定性に非常に優れているクラッド層形成用樹脂組成物を提供することができる。また、紫外線照射により生じるラジカル及びアミンの構造によって光反応性モノマーやエポキシ樹脂の硬化速度が変化するので、用いる(B)〜(D)成分によって(E)光塩基発生剤を決定することができる。   Since the α-aminoketone compound does not have radicals before being irradiated with ultraviolet rays, the polymerization reaction of the photoreactive monomer does not occur. In addition, curing of the thermosetting resin is not accelerated due to steric hindrance. However, the α-aminoketone compound is dissociated by ultraviolet irradiation, and a polymerization reaction of the photoreactive monomer occurs with the generation of radicals. In addition, dissociation of the α-aminoketone compound causes steric hindrance to be reduced and activated amines to be present. For this reason, it is presumed that the amine has a curing accelerating action of the thermosetting resin, and the heating accelerating action is subsequently exerted by heating. By such an action, there is no radical or activated amine before the ultraviolet irradiation, so that it is possible to provide a resin composition for forming a cladding layer that is very excellent in storage stability at room temperature. Moreover, since the cure rate of a photoreactive monomer or an epoxy resin changes with the structure of the radical and amine produced by ultraviolet irradiation, the (E) photobase generator can be determined by the (B) to (D) components used. .

前記(E)光塩基発生剤としては、紫外線照射により、ラジカル及び活性化されたアミンが発生する化合物であれば特に制限はなく、例えば、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリン−4−イルフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イルフェニル)−ブタン−1−オン、1,2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−(4−モルフォリン)−2−イルプロパン−1−オンなどのα−アミノケトン;ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキシド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシドなどのホスフィンオキシド;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体などの2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体などが挙げられる。
また、前記2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体において、2つのトリアリールイミダゾール部位のアリール基の置換基は、同一で対称な化合物を与えてもよく、相違して非対称な化合物を与えてもよい。
これらの中で、硬化性及び透明性の観点から、上記α−アミノケトンであることが好ましい。
以上の光塩基発生剤は、単独で又は2種類以上組み合わせて用いることができる。さらに、その他の熱ラジカル重合開始剤、光ラジカル重合開始剤、及び適切な増感剤と組み合わせて用いることもできる。
The (E) photobase generator is not particularly limited as long as it is a compound that generates radicals and activated amines upon irradiation with ultraviolet rays. For example, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4- Morpholin-4-ylphenyl) -butan-1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4-morpholin-4-ylphenyl) -butan-1-one, , 2-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl]-(4-morpholin) -2-ylpropan-1-one and the like α-amino ketones; bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine Oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine Phosphine oxides such as xoxide; 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o -Fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer 2,4,5-triarylimidazole dimer such as a monomer.
In the 2,4,5-triarylimidazole dimer, the substituents of the aryl groups at the two triarylimidazole sites may give the same and symmetric compounds, but give differently asymmetric compounds. May be.
Among these, from the viewpoint of curability and transparency, the α-aminoketone is preferable.
The above photobase generators can be used alone or in combination of two or more. Furthermore, it can also be used in combination with other thermal radical polymerization initiators, photo radical polymerization initiators, and appropriate sensitizers.

前記塩基発生剤のほかに、光フリース転位、光クライゼン転位やクルチウス転位、スチーブンス転位によって塩基を発生させる方法を用いることができる。   In addition to the base generator, a method of generating a base by optical Fries rearrangement, optical Claisen rearrangement, Curtius rearrangement, or Stevens rearrangement can be used.

前記塩基発生剤は、分子量500以下の低分子化合物として用いるほか、高分子の主鎖及び側鎖に導入した化合物を用いても良い。この場合の分子量としては、流動性の観点から重量平均分子量1000〜100000が好ましく、より好ましくは5000〜30000である。   The base generator may be a low molecular compound having a molecular weight of 500 or less, or a compound introduced into the main chain and side chain of a polymer. The molecular weight in this case is preferably a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 30,000 from the viewpoint of fluidity.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物において、(E)光塩基発生剤の使用量は、(A)(メタ)アクリルポリマー100質量部に対して、0.1〜20質量部である。0.1質量部以上であれば、反応性が向上し残存モノマーを減らすことができ、20質量部以下であれば、重合反応による分子量増加を上手く機能させ、低分子量成分を少なくすることができ、耐リフロー性を向上させることができる。従って、好ましくは0.5〜15質量部であり、さらに好ましくは、1〜5質量部である。   In the resin composition for forming a clad layer of the present invention, the amount of the (E) photobase generator used is 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) (meth) acrylic polymer. If it is 0.1 part by mass or more, the reactivity can be improved and the residual monomer can be reduced, and if it is 20 parts by mass or less, the molecular weight increase due to the polymerization reaction can be functioned well and the low molecular weight component can be reduced. The reflow resistance can be improved. Therefore, it is preferably 0.5 to 15 parts by mass, and more preferably 1 to 5 parts by mass.

次に、上記(A)〜(E)成分以外に、クラッド層形成用樹脂組成物に含有させることのできる成分について説明する。本発明のクラッド層形成用樹脂フィルムを形成する樹脂組成物には、可とう性や耐リフロー性を向上させる目的で、(F)高分子量樹脂を添加することができる。例えばフェノキシ樹脂、高分子量エポキシ樹脂、超高分子量エポキシ樹脂などが挙げられる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することもできる。   Next, in addition to the above components (A) to (E), components that can be contained in the cladding layer forming resin composition will be described. For the purpose of improving flexibility and reflow resistance, (F) a high molecular weight resin can be added to the resin composition for forming the clad layer forming resin film of the present invention. Examples thereof include phenoxy resin, high molecular weight epoxy resin, and ultra high molecular weight epoxy resin. These can be used alone or in combination of two or more.

(F)高分子量樹脂の使用量は、エポキシ樹脂及びフェノール系エポキシ樹脂硬化剤の合計100質量部に対して、40質量部以下とすることが好ましい。この範囲であると、エポキシ樹脂層のTgを確保できる。   (F) It is preferable that the usage-amount of high molecular weight resin shall be 40 mass parts or less with respect to 100 mass parts in total of an epoxy resin and a phenol type epoxy resin hardening | curing agent. Within this range, the Tg of the epoxy resin layer can be secured.

また、本発明のクラッド層形成用樹脂フィルムを形成する樹脂組成物には、その取り扱い性向上、及び、溶融粘度の調整などを目的として、無機フィラーを添加することもできる。無機フィラーとしては、特に制限はなく、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ほう酸アルミウイスカ、窒化ほう素、結晶性シリカ、非晶性シリカ等が挙げられ、フィラーの形状は特に制限されるものではない。これらのフィラーは単独で又は二種類以上を組み合わせて使用することができる。   Moreover, an inorganic filler can also be added to the resin composition for forming the resin film for forming a clad layer of the present invention for the purpose of improving the handleability and adjusting the melt viscosity. The inorganic filler is not particularly limited. For example, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, calcium silicate, magnesium silicate, calcium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum borate whisker, Examples thereof include boron nitride, crystalline silica, amorphous silica, and the like, and the shape of the filler is not particularly limited. These fillers can be used alone or in combination of two or more.

中でも、取扱い性、溶融粘度の調整のためには、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ほう素、結晶性シリカ、非晶性シリカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、結晶性シリカ、非晶性シリカなどが好ましい。また、フィルムの熱時流動性向上のためにナノフィラーを用いることがより好ましい。   Above all, for the adjustment of handleability and melt viscosity, aluminum oxide, aluminum nitride, boron nitride, crystalline silica, amorphous silica, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, calcium silicate Magnesium silicate, calcium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, crystalline silica, amorphous silica and the like are preferable. Moreover, it is more preferable to use a nanofiller for improving the hot fluidity of the film.

無機フィラーの使用量は、樹脂組成物100質量部に対して1〜40質量部が好ましい。1質量部以上であれば、添加効果が得られ、40質量部以下であれば、樹脂組成物の貯蔵弾性率が過度に上昇することがなく、好適である。   As for the usage-amount of an inorganic filler, 1-40 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of resin compositions. If it is 1 part by mass or more, the effect of addition is obtained, and if it is 40 parts by mass or less, the storage elastic modulus of the resin composition does not increase excessively, which is preferable.

また、本発明のクラッド層形成用樹脂組成物には、異種材料間の界面結合を良くするために、各種カップリング剤を添加することもできる。カップリング剤としては、例えば、シラン系、チタン系、アルミニウム系等が挙げられる。   In addition, various coupling agents can be added to the resin composition for forming a cladding layer of the present invention in order to improve interfacial bonding between different materials. Examples of the coupling agent include silane, titanium, and aluminum.

上記シラン系カップリング剤としては、特に制限はなく、例えば、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3−ウレイドプロピルトリメトキシシランなどを使用することができ、単独で又は二種類以上を組み合わせて使用することができる。具体的には日本ユニカー社製A−189、A−1160がある。   The silane coupling agent is not particularly limited. For example, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane, 3-ureidopropyltrimethoxysilane and the like can be used, and these can be used alone or in combination of two or more. Specifically, there are A-189 and A-1160 manufactured by Nippon Unicar Company.

上記カップリング剤の使用量は、その効果や耐熱性及びコストの面から、(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマー100質量部に対して、0.01〜10質量部とするのが好ましい。   The amount of the coupling agent used is 100 mass parts of (meth) acrylic polymer having (A) a reactive functional group and a weight average molecular weight of 100,000 or more from the viewpoint of its effect, heat resistance and cost. On the other hand, it is preferable to set it as 0.01-10 mass parts.

上記イオン捕捉剤の使用量は、添加による効果や耐熱性、コスト等の点から、(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマー100質量部に対して、0.1〜10質量部が好ましい。   The amount of the ion scavenger used is 100 masses of (meth) acrylic polymer having (A) a reactive functional group and a weight average molecular weight of 100,000 or more from the viewpoint of the effect of addition, heat resistance, cost, and the like. 0.1-10 mass parts is preferable with respect to a part.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物は、(A)〜(E)成分を溶媒に溶解して得られる。
ここで用いる溶媒としては、該樹脂組成物を溶解し得るものであれば特に限定されず、例えば、トルエン、キシレン、メシチレン、クメン、p−シメンなどの芳香族炭化水素;ジエチルエーテル、tert−ブチルメチルエーテル、シクロペンチルメチルエーテル、ジブチルエーテルなどの鎖状エーテル;テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサンなどの環状エーテル;メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルコール;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなどのケトン;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトンなどのエステル;エチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの炭酸エステル;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどの多価アルコールアルキルエーテル;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどの多価アルコールアルキルエーテルアセテート;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドンなどのアミド等、又はこれらの混合溶媒を用いることができる。樹脂溶液中の樹脂分濃度は通常30〜80質量%であることが好ましい。
The resin composition for forming a cladding layer of the present invention is obtained by dissolving the components (A) to (E) in a solvent.
The solvent used here is not particularly limited as long as it can dissolve the resin composition. For example, aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, mesitylene, cumene, p-cymene; diethyl ether, tert-butyl Chain ethers such as methyl ether, cyclopentyl methyl ether and dibutyl ether; cyclic ethers such as tetrahydrofuran and 1,4-dioxane; alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, butanol, ethylene glycol and propylene glycol; acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl Ketones such as ketone, cyclohexanone and 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone; esters such as methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate and γ-butyrolactone; Carbonates such as tylene carbonate and propylene carbonate; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol dimethyl ether, Polyhydric alcohol alkyl ethers such as propylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, and diethylene glycol diethyl ether; ethylene glycol monomethyl ether Polyhydric alcohol alkyl ether acetates such as ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate; N, N -Amides such as dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, etc., or a mixed solvent thereof can be used. The resin concentration in the resin solution is usually preferably 30 to 80% by mass.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物は、光導波路の下部クラッド、上部クラッドの少なくとも1つに用いることが好ましい。   The resin composition for forming a clad layer of the present invention is preferably used for at least one of a lower clad and an upper clad of an optical waveguide.

以下には、本発明のクラッド層形成用樹脂フィルムの作製法、並びにこれを用いた光導波路の作製法を説明する。
本発明のクラッド層形成用樹脂フィルムは、クラッド層形成用樹脂組成物を溶剤に溶解あるいは分散してワニスとし、支持フィルム上に塗布、加熱し溶剤を除去することによって得ることができる。
Below, the preparation method of the resin film for clad layer formation of this invention and the preparation method of an optical waveguide using the same are demonstrated.
The resin film for forming a clad layer of the present invention can be obtained by dissolving or dispersing the resin composition for forming a clad layer in a solvent to form a varnish, applying the solution on a support film, heating and removing the solvent.

すなわち、保護フィルム(離型シートともいう)上に、上記成分からなる樹脂組成物を有機溶剤等に溶解させてワニス化したものを、ナイフコート法、ロールコート法、スプレーコート法、グラビアコート法、バーコート法、カーテンコート法等、一般に周知の方法に従って、塗工し、乾燥させてクラッド層を形成する。その後、支持基材上を積層し、離型シート(保護フィルム)、クラッド層、及び支持基材からなるクラッド層形成用樹脂フィルムを得ることができる。
又は、支持基材上に直接、クラッド層樹脂組成物を同様の方法で塗工し、乾燥させて、クラッド層形成用樹脂フィルムを得ることができる。この場合、必要に応じ保護フィルムを積層してもよい。
That is, on a protective film (also referred to as a release sheet), a resin composition comprising the above components dissolved in an organic solvent or the like to be varnished is a knife coating method, roll coating method, spray coating method, gravure coating method. The clad layer is formed by coating and drying according to generally known methods such as bar coating and curtain coating. Then, the support base material is laminated | stacked and the resin film for clad layer formation which consists of a release sheet (protective film), a clad layer, and a support base material can be obtained.
Alternatively, the clad layer resin composition can be directly coated on the supporting substrate by the same method and dried to obtain a clad layer forming resin film. In this case, you may laminate | stack a protective film as needed.

本発明のクラッド層形成用樹脂フィルムに用いる保護フィルム又は支持基材としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルムなどのプラスチックフィルム、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル等が挙げられる。   Examples of the protective film or supporting substrate used for the resin film for forming a clad layer of the present invention include plastic films such as polytetrafluoroethylene film, polyethylene film, polypropylene film, polymethylpentene film, polyester such as polyethylene terephthalate, and the like. Can be mentioned.

また、上記ワニス化するための溶剤としては、本発明のクラッド層形成用樹脂組成物を溶解しえるものであれば特に制限はなく、前述の有機溶媒と同様のものを用いることができる。
これらの有機溶剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。また、樹脂ワニス中の固形分濃度は、通常10〜80質量%であることが好ましい。
The solvent for forming the varnish is not particularly limited as long as it can dissolve the clad layer-forming resin composition of the present invention, and the same solvents as those described above can be used.
These organic solvents can be used alone or in combination of two or more. Moreover, it is preferable that the solid content density | concentration in a resin varnish is 10-80 mass% normally.

無機フィラーを添加した際のワニスの製造には、無機フィラーの分散性を考慮して、らいかい機、3本ロール、ボールミル及びビーズミルなどを使用するのが好ましく、また、これらを組み合わせて使用することもできる。また、無機フィラーと低分子量の原料をあらかじめ混合した後、高分子量の原料を配合することによって、混合する時間を短縮することもできる。また、ワニスとした後、真空脱気等によってワニス中の気泡を除去することもできる。   For the production of the varnish when the inorganic filler is added, it is preferable to use a raking machine, a three-roll, a ball mill, a bead mill or the like in consideration of the dispersibility of the inorganic filler, or a combination thereof. You can also. Moreover, after mixing an inorganic filler and a low molecular weight raw material beforehand, the mixing time can also be shortened by mix | blending a high molecular weight raw material. Further, after the varnish is formed, the bubbles in the varnish can be removed by vacuum degassing or the like.

クラッド層の厚さに関しては、乾燥後の厚さで、5〜500μmの範囲が好ましい。5μm以上であると、光の閉じ込めに必要なクラッド厚さが確保でき、500μm以下であると、膜厚を均一に制御することが容易である。以上の観点から、該クラッド層の厚さは、さらに10μm〜100μmの範囲であることが好ましい。
また、クラッド層の厚さは、最初に形成される下部クラッド層と、コアパターンを埋め込むための上部クラッド層において、同一であっても異なってもよいが、コアパターンを埋め込むために、上部クラッド層の厚さはコア層の厚さよりも厚くすることが好ましい。
Regarding the thickness of the cladding layer, the thickness after drying is preferably in the range of 5 to 500 μm. When the thickness is 5 μm or more, a clad thickness necessary for light confinement can be secured, and when the thickness is 500 μm or less, it is easy to control the film thickness uniformly. From the above viewpoint, the thickness of the cladding layer is preferably in the range of 10 μm to 100 μm.
The thickness of the clad layer may be the same or different between the lower clad layer formed first and the upper clad layer for embedding the core pattern. The thickness of the layer is preferably larger than the thickness of the core layer.

また、クラッド層形成用樹脂フィルムの製造に際し、クラッド層形成用樹脂フィルムの保護やロール状に製造する際の巻き取り性を向上させるなどの目的で、必要に応じクラッド層形成用樹脂フィルムに保護フィルムを貼り合わせてもよい。   In addition, when manufacturing a resin film for forming a clad layer, the resin film for forming a clad layer is protected as necessary for the purpose of protecting the resin film for forming the clad layer or improving the winding property when manufacturing it into a roll. A film may be attached.

支持基材の厚みは、特に制限はないが、5〜250μmが好ましい。5μmより薄いと作業性が悪くなり、250μmより厚いと経済的でなくなるため好ましくない。以上の観点から、支持基材の厚さは、10〜200μmが好ましく、15〜150μmがさらに好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of a support base material, 5-250 micrometers is preferable. If the thickness is less than 5 μm, the workability deteriorates, and if it is more than 250 μm, it is not economical, which is not preferable. From the above viewpoint, the thickness of the supporting base material is preferably 10 to 200 μm, and more preferably 15 to 150 μm.

次に、本発明で使用するコア部形成用樹脂組成物は、コア層がクラッド層より高屈折率であるように設計され、活性光線によりコアパターンを形成し得る樹脂組成物を用いることができ、感光性樹脂組成物が好適である。   Next, the resin composition for forming a core part used in the present invention can be a resin composition that is designed such that the core layer has a higher refractive index than the clad layer and can form a core pattern with actinic rays. A photosensitive resin composition is preferred.

コア部形成用樹脂フィルムの厚さについては特に限定されず、乾燥後のコア層の厚さが、通常は10〜100μmとなるように調整される。
コア層の厚さが10μm以上であると、光導波路形成後の受発光素子又は光ファイバーとの結合において位置合わせトレランスが拡大できるという利点があり、100μm以下であると、光導波路形成後の受発光素子又は光ファイバーとの結合において、結合効率が向上するという利点がある。
以上の観点から、該フィルムの厚さは、さらに30〜70μmの範囲であることが好ましい。
It does not specifically limit about the thickness of the resin film for core part formation, The thickness of the core layer after drying is normally adjusted so that it may be 10-100 micrometers.
When the thickness of the core layer is 10 μm or more, there is an advantage that the alignment tolerance can be increased in the coupling with the light emitting / receiving element or the optical fiber after the optical waveguide is formed, and when the thickness is 100 μm or less, the light receiving / emitting after the optical waveguide is formed. In coupling with an element or an optical fiber, there is an advantage that coupling efficiency is improved.
From the above viewpoint, the thickness of the film is preferably in the range of 30 to 70 μm.

コア部形成用樹脂フィルムの製造過程で用いる基材は、光導波路形成用フィルムを支持する支持体であって、その材料については特に限定されないが、後にコア部形成用樹脂フィルムを剥離することが容易であり、かつ、耐熱性及び耐溶剤性を有するとの観点から、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどが好適に挙げられる。
該基材の厚さは、5〜50μmであることが好ましい。5μm以上であると、支持体としての強度が得やすいという利点があり、50μm以下であると、パターン形成時のマスクとのギャップが小さくなり、より微細なパターンが形成できるという利点がある。
以上の観点から、該基材の厚さは10〜40μmの範囲であることがより好ましく、15〜30μmであることが特に好ましい。
The base material used in the manufacturing process of the core portion forming resin film is a support that supports the optical waveguide forming film, and the material thereof is not particularly limited, but the core portion forming resin film may be peeled later. From the viewpoint of being easy and having heat resistance and solvent resistance, polyesters such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene and the like are preferable.
The thickness of the substrate is preferably 5 to 50 μm. When it is 5 μm or more, there is an advantage that the strength as a support is easily obtained, and when it is 50 μm or less, there is an advantage that a gap with the mask at the time of pattern formation becomes small and a finer pattern can be formed.
From the above viewpoint, the thickness of the base material is more preferably in the range of 10 to 40 μm, and particularly preferably 15 to 30 μm.

また、露光用光線の透過率向上及びコアパターンの側壁荒れ低減のため、高透明タイプのフレキシブルな基材を用いるのが好ましい。
高透明タイプの基材のヘイズ値は5%以下であることが好ましく、3%以下であることがより好ましく、2%以下であることが特に好ましい。
なお、ヘイズ値はJIS K7105に準拠して測定したものであり、例えば、NDH−1001DP(日本電色工業株式会社製)等の市販の濁度計などで測定可能である。
このような基材としては、東洋紡績株式会社製、商品名「コスモシャインA1517」や「コスモシャインA4100」として入手可能である。
なお、上記基材は、後にコア部形成用樹脂フィルムの剥離を容易とするため、離型処理、帯電防止処理等が施されていてもよい。
Moreover, it is preferable to use a highly transparent flexible base material in order to improve the transmittance of exposure light and reduce the side wall roughness of the core pattern.
The haze value of the highly transparent base material is preferably 5% or less, more preferably 3% or less, and particularly preferably 2% or less.
In addition, a haze value is measured based on JISK7105, for example, can be measured with commercially available turbidimeters, such as NDH-1001DP (made by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.).
Such a base material is available from Toyobo Co., Ltd. under the trade names “Cosmo Shine A1517” and “Cosmo Shine A4100”.
In addition, in order to make peeling of the resin film for core part formation easy later, the said base material may perform the mold release process, the antistatic process, etc.

また、コア部形成用樹脂フィルムの製造に際し、コア部形成用樹脂フィルムの保護やロール状に製造する際の巻き取り性を向上させるなどの目的で、必要に応じコア部形成用樹脂フィルムに保護フィルムを貼り合わせてもよい。
保護フィルムとしては、前記クラッド層形成用樹脂フィルムの支持フィルムとして例に挙げたものと同様なものが使用でき、必要に応じ離型処理や帯電防止処理がなされていてもよい。
In addition, when manufacturing the core part forming resin film, the core part forming resin film is protected as necessary for the purpose of protecting the core part forming resin film and improving the winding property when manufacturing in a roll shape. A film may be attached.
As the protective film, those similar to those exemplified as the support film for the clad layer-forming resin film can be used, and may be subjected to mold release treatment or antistatic treatment as necessary.

以下、本発明のクラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムについて説明する。
本発明のクラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの25℃での引張り弾性率は、1〜2000MPaであることが好ましく、10〜1500MPaがより好ましく、20〜1000MPaがさらに好ましい。硬化フィルムの弾性率が2000MPa以下であると、フィルムを厚み方向に曲げた場合、小さな曲率半径で曲げることができる。一方、1MPa以上であれば、屈曲試験や捻り試験を行ったときに、硬化フィルムが伸びきることなく、もとの形状に戻るため、好適である。このクラッド層形成用樹脂組成物を光導波路に用いれば、フィルムは機械的な引張り力が加わっても上下クラッド層で吸収されるため、コアの変形を小さくすることができ、光導波路の伝送特性の劣化を抑制することができる。
Hereinafter, a cured film obtained by curing the resin composition for forming a cladding layer of the present invention will be described.
The tensile elastic modulus at 25 ° C. of the cured film obtained by curing the resin composition for forming a cladding layer of the present invention is preferably 1 to 2000 MPa, more preferably 10 to 1500 MPa, and further preferably 20 to 1000 MPa. When the elastic modulus of the cured film is 2000 MPa or less, when the film is bent in the thickness direction, it can be bent with a small radius of curvature. On the other hand, when the pressure is 1 MPa or more, the cured film returns to its original shape without being stretched when a bending test or a twist test is performed, which is preferable. If this resin composition for forming a cladding layer is used in an optical waveguide, the film is absorbed by the upper and lower cladding layers even when a mechanical tensile force is applied, so the core deformation can be reduced and the transmission characteristics of the optical waveguide can be reduced. Can be prevented.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの25℃での引張り試験における引張り破断伸び率は、10〜600%が好ましく、さらに好ましくは15〜400%がより好ましく、20〜200%がさらに好ましい。引張り破断が10%以上であると、脆くなり屈曲時に破断することがなく、好適である。600%以下であれば、屈曲試験により硬化フィルムが容易に伸びて、もとの形状に戻らないということがなく、好適である。なお、引張り破断伸び率とは、フィルム引張り試験において、フィルムが破断した時点での伸び率のことを意味するものである。
このクラッド層形成用樹脂硬化フィルムを光導波路に用いれば、機械的な引張り力が加わっても、上下クラッド層で吸収されるため、コアの変形を小さくすることができ、フィルム光導波路の伝送特性の劣化を抑制することができる。
The tensile elongation at break in a tensile test at 25 ° C. of a cured film obtained by curing the resin composition for forming a cladding layer of the present invention is preferably 10 to 600%, more preferably 15 to 400%, and more preferably 20 -200% is more preferable. When the tensile break is 10% or more, it becomes brittle and does not break when bent. If it is 600% or less, the cured film does not easily stretch by the bending test and does not return to the original shape, which is preferable. The tensile elongation at break means the elongation at the time when the film is broken in the film tensile test.
If this cured resin film for forming a clad layer is used in an optical waveguide, even if a mechanical tensile force is applied, it is absorbed by the upper and lower clad layers, so that the deformation of the core can be reduced, and the transmission characteristics of the film optical waveguide Can be prevented.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの繰り返し曲げ試験において、1〜5mm、例えば2mmの曲率半径で10万回曲げ試験を実施後、クラッド層形成用樹脂硬化フィルムに機械的破断が発生しないことが好ましい。さらに好ましくは、100万回曲げ試験を実施後、機械的破断が発生しないことである。硬化フィルムに機械的破断が発生しない場合、このフィルムをクラッド層に用いた光導波路は長期間安定した光伝送を行うことができ、例えば携帯電話のヒンジ部など、常に可動する部分に適用することができる。機器の小型化のためには、より小さい曲率半径においても光導波路に機械的破断が発生しないことが求められ、この観点から、曲率半径0.5mmで機械的破断が発生しないことがより好ましい。機械的破断は、拡大鏡下、顕微鏡下、又は目視での観察で確認することができる。   In a repeated bending test of a cured film obtained by curing the resin composition for forming a cladding layer of the present invention, after performing a bending test 100,000 times with a curvature radius of 1 to 5 mm, for example, 2 mm, It is preferable that no mechanical breakage occurs. More preferably, no mechanical breakage occurs after the bending test is performed 1 million times. If no mechanical breakage occurs in the cured film, the optical waveguide using this film as the cladding layer can perform stable optical transmission for a long period of time, and it should be applied to parts that are always movable, such as the hinge part of mobile phones. Can do. In order to reduce the size of the device, it is required that the optical waveguide does not break even at a smaller radius of curvature. From this viewpoint, it is more preferable that no mechanical breakage occurs when the radius of curvature is 0.5 mm. Mechanical breakage can be confirmed by magnifying glass, under a microscope, or by visual observation.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの繰り返し捻り試験において、10万回捻り試験を実施後、クラッド層形成用樹脂硬化フィルムに機械的破断が発生しないことが好ましい。さらに好ましくは、100万回捻り試験を実施後、機械的破断が発生しないことである。硬化フィルムに機械的破断が発生しないと、このフィルムをクラッド層に用いた光導波路は長期間安定した光伝送を行うことができ、例えば携帯電話のヒンジ部など、常に可動する部分に適用することができる。機械的破断は、拡大鏡下、顕微鏡下、又は目視での観察で確認することができる。   In the repeated twist test of the cured film obtained by curing the resin composition for forming a clad layer of the present invention, it is preferable that no mechanical breakage occurs in the cured resin film for forming a clad layer after the 100,000 times twist test. More preferably, no mechanical breakage occurs after the 1,000,000 times twist test. If no mechanical breakage occurs in the cured film, the optical waveguide using this film as the cladding layer can perform stable light transmission for a long period of time. For example, it should be applied to a mobile part such as a hinge part of a mobile phone. Can do. Mechanical breakage can be confirmed by magnifying glass, under a microscope, or by visual observation.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる、厚み110μmの硬化フィルムの全光線透過率は50%以上であることが好ましい。該透過率が50%以上であれば、光導波路においてコア部の視認性が良好であり、例えば光導波路をダイシングソーにより外形加工する際に、加工の位置決めがしやすくなる。以上の観点から、該透過率は60%以上であることがさらに好ましく、70%以上であることが特に好ましい。なお、全光線透過率の上限については特に制限されない。   The total light transmittance of a cured film having a thickness of 110 μm obtained by curing the resin composition for forming a cladding layer of the present invention is preferably 50% or more. If the transmittance is 50% or more, the visibility of the core portion in the optical waveguide is good. For example, when the optical waveguide is processed by a dicing saw, the processing can be easily positioned. From the above viewpoint, the transmittance is more preferably 60% or more, and particularly preferably 70% or more. The upper limit of the total light transmittance is not particularly limited.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる、厚み110μmの硬化フィルムのヘイズ(曇価)は50%以下であることが好ましい。ヘイズが50%以下であれば、光導波路においてコア部の視認性が良好であり、例えば光導波路をダイシングソーにより外形加工する際に、加工の位置決めがしやすくなる。以上の観点から、ヘイズは40%以下であることがさらに好ましく、30%以下であることが特に好ましい。   It is preferable that the cured film having a thickness of 110 μm obtained by curing the resin composition for forming a cladding layer of the present invention has a haze (haze value) of 50% or less. If the haze is 50% or less, the visibility of the core portion in the optical waveguide is good. For example, when the outer shape of the optical waveguide is processed by a dicing saw, the processing is easily positioned. From the above viewpoint, the haze is more preferably 40% or less, and particularly preferably 30% or less.

本発明のクラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムは、最高温度265℃のリフロー試験を3回実施した後の屈折率変化が、±0.005以下であることが好ましい。この範囲にあれば、光学的な安定性を確保できるため、鉛フリーリフロープロセスが適用でき、樹脂組成物の適用範囲を広げることができる。以上の観点から、屈折率変化は±0.003以内であることがより好ましく、±0.001以内であることがさらに好ましい。なお、最高温度265℃のリフロー試験とは、IPC/JEDEC J−STD−020Bに準じた条件で実施する鉛フリーはんだリフロー試験のことを意味するものである。   The cured film formed by curing the resin composition for forming a cladding layer of the present invention preferably has a refractive index change of ± 0.005 or less after three reflow tests at a maximum temperature of 265 ° C. are performed. If it exists in this range, since optical stability can be ensured, a lead free reflow process can be applied and the application range of a resin composition can be expanded. From the above viewpoint, the refractive index change is more preferably within ± 0.003, and further preferably within ± 0.001. Note that the reflow test at the maximum temperature of 265 ° C. means a lead-free solder reflow test performed under conditions in accordance with IPC / JEDEC J-STD-020B.

以下、本発明のクラッド形成用樹脂組成物を用いて光導波路を作製する方法について説明する。
その方法としては、例えば、スピンコート法、ディッピング法、スプレー法、カーテンコート法、シルクスクリーン法、ロールコート法等の方法を用いて基板上に該樹脂組成物を塗布し、加熱、又は減圧乾燥等によって溶媒を乾燥除去した後、活性光線の照射又は加熱によって樹脂を硬化する。この樹脂層がクラッド層を構成するものである。
次いで、同様の塗布方法により、先に形成した光導波路層より屈折率の高い樹脂組成物を塗布し、これをコア層とする。
続いて、ネガ又はポジ型のマスクパターンを通して、活性光線を照射し、露光後、ウェット現像、ドライ現像等で未露光部を除去して現像し、コアパターンを製造する。
ここで、必要に応じ、60〜250℃程度の加熱又は0.1から1000mJ/cm2程度の露光を行うことにより、光導波路パターンをさらに硬化して用いてもよい。
この後、クラッド層形成用樹脂組成物を同様の方法にて塗布・製膜し、光導波路を作製する。
Hereinafter, a method for producing an optical waveguide using the clad-forming resin composition of the present invention will be described.
As the method, for example, the resin composition is applied onto a substrate using a method such as a spin coating method, a dipping method, a spray method, a curtain coating method, a silk screen method, or a roll coating method, and is heated or dried under reduced pressure. After the solvent is removed by drying, etc., the resin is cured by irradiation with actinic rays or heating. This resin layer constitutes the cladding layer.
Next, a resin composition having a higher refractive index than that of the previously formed optical waveguide layer is applied by the same application method, and this is used as the core layer.
Subsequently, actinic rays are irradiated through a negative or positive mask pattern, and after exposure, unexposed portions are removed by wet development, dry development, etc., and a core pattern is manufactured.
Here, if necessary, the optical waveguide pattern may be further cured by heating at about 60 to 250 ° C. or exposure at about 0.1 to 1000 mJ / cm 2 .
Thereafter, the clad layer forming resin composition is applied and formed in the same manner to produce an optical waveguide.

以下、本発明のクラッド層形成用樹脂フィルムを用いて光導波路を形成するための製造方法について詳述する。
その方法としては、例えば、保護フィルムが存在する場合には保護フィルムを剥離後、下部クラッドフィルムを基板上に加熱圧着することにより積層する方法などが挙げられる。
ここで、密着性及び追従性の見地から減圧下で積層することが好ましい。
該フィルムの加熱温度は20〜130℃とすることが好ましく、圧着圧力は、0.1〜1.0MPa(1〜10kgf/cm2程度)とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
次いで、下部クラッドフィルムを光又は加熱により硬化し、下部クラッドフィルムより屈折率の高いコアフィルムを同様な方法で積層する。
このようにして積層した後、ネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線が画像状に照射される。
活性光線の光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射する公知の光源が挙げられる。
また、他にも写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いることができる。
Hereinafter, the manufacturing method for forming an optical waveguide using the resin film for clad layer formation of this invention is explained in full detail.
As the method, for example, in the case where a protective film is present, a method of laminating the lower clad film on the substrate by thermocompression after the protective film is peeled off can be mentioned.
Here, it is preferable to laminate | stack under reduced pressure from the viewpoint of adhesiveness and followable | trackability.
The heating temperature of the film is preferably 20 to 130 ° C., and the pressing pressure is preferably 0.1 to 1.0 MPa (about 1 to 10 kgf / cm 2 ), but these conditions are particularly limited. There is no.
Next, the lower clad film is cured by light or heating, and a core film having a refractive index higher than that of the lower clad film is laminated by the same method.
After laminating in this way, actinic rays are irradiated in an image form through a negative or positive mask pattern.
Examples of the active light source include known light sources that effectively emit ultraviolet rays, such as carbon arc lamps, mercury vapor arc lamps, ultrahigh pressure mercury lamps, high pressure mercury lamps, and xenon lamps.
In addition, those that effectively emit visible light, such as a photographic flood bulb and a solar lamp, can be used.

次いで、ウェット現像等で未露光部を除去して現像し、導波路パターンを形成する。
ウェット現像の場合は、前記フィルムの組成に適した有機溶剤等の現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。
有機溶剤系現像液としては、例えば、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、γ―ブチロラクトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル等が挙げられる。
これらの有機溶剤は、引火防止のため、1〜20質量部の範囲で水を添加することが好ましい。
また、必要に応じて2種類以上の現像方法を併用してもよい。
現像の方式としては、例えば、ディップ方式、バトル方式、高圧スプレー方式等のスプレー方式、ブラッシング、スクラッピング等が挙げられ、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適している。
現像後の処理として、必要に応じて60〜250℃程度の加熱又は0.1から1000mJ/cm2程度の露光を行うことにより、光導波路パターンをさらに硬化して用いてもよい。
この後、クラッド層形成用樹脂フィルムを同様な方法で積層し、光導波路を作製する。
Next, the unexposed portion is removed and developed by wet development or the like to form a waveguide pattern.
In the case of wet development, development is performed by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, and scraping using a developer such as an organic solvent suitable for the composition of the film.
Examples of the organic solvent developer include N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, γ-butyrolactone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propylene glycol monomethyl Examples include ether.
These organic solvents preferably add water in the range of 1 to 20 parts by mass in order to prevent ignition.
Moreover, you may use together 2 or more types of image development methods as needed.
Examples of the development method include a dip method, a battle method, a spray method such as a high-pressure spray method, brushing, and scraping. The high-pressure spray method is most suitable for improving the resolution.
As processing after development, the optical waveguide pattern may be further cured and used by heating at about 60 to 250 ° C. or exposure at about 0.1 to 1000 mJ / cm 2 as necessary.
Thereafter, the clad layer forming resin film is laminated by the same method to produce an optical waveguide.

以下、本発明のクラッド層形成用樹脂フィルムを用いてフレキシブル光導波路を形成するための製造方法について詳述する。
まず、第1の工程としてクラッド層形成用樹脂と支持フィルムから構成された第1のクラッド層形成用樹脂フィルムのクラッド層形成用樹脂を硬化し、下部クラッド層2を形成する(図1(a)参照)。
クラッド層形成用樹脂フィルムの支持フィルムの反対側に保護フィルムを設けている場合には該保護フィルムを剥離せずに、クラッド層形成用樹脂フィルムを光又は加熱により硬化した後、保護フィルムを剥離し、クラッド層1を形成する。
このとき、クラッド層形成用樹脂は接着処理を施した支持フィルム上に製膜されていることが好ましい。
一方、保護フィルムは、クラッド層形成用樹脂フィルムからの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましく、必要に応じ離型処理が施されていてもよい。
Hereinafter, the manufacturing method for forming a flexible optical waveguide using the resin film for clad layer formation of this invention is explained in full detail.
First, as a first step, the clad layer forming resin of the first clad layer forming resin film composed of the clad layer forming resin and the support film is cured to form the lower clad layer 2 (FIG. 1A )reference).
When a protective film is provided on the opposite side of the support film of the resin film for forming the clad layer, the protective film is not peeled off, and after the resin film for forming the clad layer is cured by light or heating, the protective film is peeled off. Then, the cladding layer 1 is formed.
At this time, the clad layer forming resin is preferably formed on a support film that has been subjected to an adhesion treatment.
On the other hand, the protective film is preferably not subjected to adhesion treatment in order to facilitate peeling from the clad layer-forming resin film, and may be subjected to mold release treatment as necessary.

次いで、第2の工程としてクラッド層上にコア部形成用樹脂フィルムをラミネートし、コア層を積層する(図1(b)参照)。
この第2の工程において、上述のクラッド層上に、コア部形成用樹脂フィルムを室温、又は加熱圧着することにより、クラッド層より屈折率の高いコア層を積層する。ここで、密着性及び追従性の見地から減圧下で積層することが好ましい。ここでの加熱温度は20〜130℃とすることが好ましく、圧着圧力は、0.1〜1.0MPa(1〜10kgf/cm2)程度とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。
なお、コア部形成用樹脂フィルムの基材の反対側に保護フィルムを設けている場合には該保護フィルムを剥離後、コア部形成用樹脂フィルムをラミネートする。
このとき、保護フィルム及び基材は、コア部形成用樹脂フィルムからの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましく、必要に応じ離型処理が施されていてもよい。
Next, as a second step, a core part-forming resin film is laminated on the clad layer, and the core layer is laminated (see FIG. 1B).
In the second step, a core layer having a higher refractive index than that of the cladding layer is laminated on the above-described cladding layer by bonding the resin film for forming a core part at room temperature or by thermocompression bonding. Here, it is preferable to laminate | stack under reduced pressure from the viewpoint of adhesiveness and followable | trackability. The heating temperature here is preferably 20 to 130 ° C., and the pressure is preferably about 0.1 to 1.0 MPa (1 to 10 kgf / cm 2 ), but these conditions are particularly limited. There is no.
In addition, when the protective film is provided in the other side of the base material of the resin film for core part formation, after peeling this protective film, the resin film for core part formation is laminated.
At this time, it is preferable that the protective film and the base material are not subjected to an adhesive treatment in order to facilitate the peeling from the core portion forming resin film, and may be subjected to a mold release treatment as necessary.

次に、第3の工程として、コア層を露光現像し、光導波路のコアパターンを形成する(図1(c)参照)。
具体的には、ネガマスクパターンを通して活性光線が画像状に照射される。
活性光線の光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射する公知の光源が挙げられる。
また、他にも写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いることができる。
Next, as a third step, the core layer is exposed and developed to form a core pattern of the optical waveguide (see FIG. 1C).
Specifically, actinic rays are irradiated in an image form through a negative mask pattern.
Examples of the active light source include known light sources that effectively emit ultraviolet rays, such as carbon arc lamps, mercury vapor arc lamps, ultrahigh pressure mercury lamps, high pressure mercury lamps, and xenon lamps.
In addition, those that effectively emit visible light, such as a photographic flood bulb and a solar lamp, can be used.

次いで、コア部形成用樹脂フィルムの基材が残っている場合には、基材を剥離し、ウェット現像等で未露光部を除去して現像し、導波路パターンを形成する(図1(d)参照)。
ウェット現像の場合は、前記フィルムの組成に適した有機溶剤系現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。
有機溶剤系現像液としては、例えば、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラクトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が挙げられる。
これらの有機溶剤は、引火防止のため、1〜20質量部の範囲で水を添加することが好ましい。
また、必要に応じて2種類以上の現像方法を併用してもよい。
現像の方式としては、例えば、ディップ方式、バトル方式、高圧スプレー方式等のスプレー方式、ブラッシング、スクラッピング等が挙げられ、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適している。
現像後の処理として、必要に応じて60〜250℃程度の加熱又は0.1〜1000mJ/cm2程度の露光を行うことにより、光導波路パターンをさらに硬化して用いてもよい。
Next, when the base material of the core part forming resin film remains, the base material is peeled off, and the unexposed part is removed and developed by wet development or the like to form a waveguide pattern (FIG. 1D )reference).
In the case of wet development, development is performed by a known method such as spraying, rocking dipping, brushing, scraping, or the like, using an organic solvent developer suitable for the composition of the film.
Examples of the organic solvent developer include N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, γ-butyrolactone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propylene glycol monomethyl Examples include ether and propylene glycol monomethyl ether acetate.
These organic solvents preferably add water in the range of 1 to 20 parts by mass in order to prevent ignition.
Moreover, you may use together 2 or more types of image development methods as needed.
Examples of the development method include a dip method, a battle method, a spray method such as a high-pressure spray method, brushing, and scraping. The high-pressure spray method is most suitable for improving the resolution.
As the treatment after development, the optical waveguide pattern may be further cured and used by performing heating at about 60 to 250 ° C. or exposure at about 0.1 to 1000 mJ / cm 2 as necessary.

この後、コアパターンを第2のクラッド層形成用樹脂フィルムのラミネートによって埋め込む第4の工程と、第2のクラッド層形成用樹脂フィルムのクラッド層形成用樹脂を硬化し、上部クラッド層を形成する第5の工程を行う(図1(e)参照)。
ラミネートは、クラッド層形成用樹脂フィルムがクラッド層形成用樹脂と支持フィルムからなる場合には、クラッド層形成用樹脂をコアパターン側にする。
このときのクラッド層の厚さは、前述のようにコア層の厚さより大きくすることが好ましい。硬化は、光又は熱によって上記と同様に行う。
なお、クラッド層形成用樹脂フィルムの支持フィルムの反対側に保護フィルムを設けている場合には該保護フィルムを剥離後、クラッド層形成用樹脂フィルムを光又は加熱により硬化し、クラッド層を形成する。
このとき、クラッド層形成用樹脂は接着処理を施した支持フィルム上に製膜されていることが好ましい。
一方、保護フィルムは、クラッド層形成用樹脂フィルムからの剥離を容易にするため接着処理は行っていないことが好ましく、必要に応じ離型処理が施されていてもよい。
上述のフィルムを用いた製造方法によれば、薄膜形成が可能であり、従来の課題であったコアサイズの大きなマルチモードの光導波路の作製時間を大幅に短縮できる。
本発明のフレキシブル光導波路の繰り返し曲げ試験において、1〜5mm、例えば2mmの曲率半径で10万回曲げ試験を実施後、フレキシブル光導波路に機械的破断が発生しないことが好ましい。さらに好ましくは、100万回曲げ試験を実施後、機械的破断が発生しないことである。光導波路に機械的破断が発生しないと、長期間安定した光伝送を行うことができ、例えば携帯電話のヒンジ部など、常に可動する部分に適用することができる。機器の小型化のためには、より小さい曲率半径においても光導波路に機械的破断が発生しないことが求められ、この観点から、曲率半径0.5mmで機械的破断が発生しないことがより好ましい。機械的破断は、拡大鏡下、顕微鏡下、又は目視での観察で確認することができる。
Thereafter, a fourth step of embedding the core pattern by laminating the second clad layer forming resin film, and curing the clad layer forming resin of the second clad layer forming resin film to form an upper clad layer. A fifth step is performed (see FIG. 1 (e)).
When the clad layer forming resin film is composed of a clad layer forming resin and a support film, the laminating is performed with the clad layer forming resin on the core pattern side.
At this time, the thickness of the clad layer is preferably larger than the thickness of the core layer as described above. Curing is performed by light or heat in the same manner as described above.
When a protective film is provided on the opposite side of the support film of the clad layer forming resin film, the protective film is peeled off, and then the clad layer forming resin film is cured by light or heating to form a clad layer. .
At this time, the clad layer forming resin is preferably formed on a support film that has been subjected to an adhesion treatment.
On the other hand, the protective film is preferably not subjected to adhesion treatment in order to facilitate peeling from the clad layer-forming resin film, and may be subjected to mold release treatment as necessary.
According to the manufacturing method using the above-described film, a thin film can be formed, and the manufacturing time of a multimode optical waveguide having a large core size, which has been a conventional problem, can be greatly shortened.
In the repeated bending test of the flexible optical waveguide of the present invention, it is preferable that no mechanical breakage occurs in the flexible optical waveguide after the bending test is performed 100,000 times with a curvature radius of 1 to 5 mm, for example, 2 mm. More preferably, no mechanical breakage occurs after the bending test is performed 1 million times. If mechanical breakage does not occur in the optical waveguide, stable optical transmission can be performed for a long period of time. For example, the optical waveguide can be applied to a part that is always movable, such as a hinge part of a mobile phone. In order to reduce the size of the device, it is required that the optical waveguide does not break even at a smaller radius of curvature. From this viewpoint, it is more preferable that no mechanical breakage occurs when the radius of curvature is 0.5 mm. Mechanical breakage can be confirmed by magnifying glass, under a microscope, or by visual observation.

本発明のフィルム光導波路は、好ましくは1〜2000MPaという小さな引張り弾性率のクラッド層を有しているので、フィルム光導波路が屈曲し、あるいは形状復元する際の界面のおける追従性を向上させることができる。
本発明のフレキシブル光導波路の繰り返し捻り試験において、10万回捻り試験を実施後、フレキシブル光導波路に機械的破断が発生しないことが好ましい。さらに好ましくは、100万回捻り試験を実施後、機械的破断が発生しないことである。光導波路に機械的破断が発生しないと、長期間安定した光伝送を行うことができ、例えば携帯電話のヒンジ部など、常に可動する部分に適用することができる。機械的破断は、拡大鏡下、顕微鏡下、又は目視での観察で確認することができる。
The film optical waveguide of the present invention preferably has a cladding layer having a small tensile modulus of elasticity of 1 to 2000 MPa, so that the followability at the interface when the film optical waveguide bends or recovers its shape is improved. Can do.
In the repeated twist test of the flexible optical waveguide of the present invention, it is preferable that no mechanical breakage occurs in the flexible optical waveguide after the 100,000-time twist test. More preferably, no mechanical breakage occurs after the 1,000,000 times twist test. If mechanical breakage does not occur in the optical waveguide, stable optical transmission can be performed for a long period of time. For example, the optical waveguide can be applied to a part that is always movable, such as a hinge part of a mobile phone. Mechanical breakage can be confirmed by magnifying glass, under a microscope, or by visual observation.

本発明の光導波路は、コア部とクラッド層の比屈折率差が、1〜10%であることが好ましい。1%以上であると、屈曲時にコア部を伝搬する光がクラッド層に漏れ出すことがない。10%以下であると、光導波路と光ファイバなどの接続部において、伝搬光が広がりすぎることがなく、結合損失が大きくならない。以上の観点から、1.5〜7.5%であることがより好ましく、2〜5%であることが特に好ましい。なお、比屈折率差は、以下に示す式により求めた。
比屈折率差(%)=[(コア部の屈折率)2−(クラッド層の屈折率)2]/[2×(コア部の屈折率)2]×100
In the optical waveguide of the present invention, the relative refractive index difference between the core portion and the cladding layer is preferably 1 to 10%. When it is 1% or more, the light propagating through the core portion at the time of bending does not leak into the cladding layer. If it is 10% or less, the propagation light does not spread too much at the connection portion such as the optical waveguide and the optical fiber, and the coupling loss does not increase. From the above viewpoint, it is more preferably 1.5 to 7.5%, and particularly preferably 2 to 5%. The relative refractive index difference was determined by the following formula.
Specific refractive index difference (%) = [(refractive index of core part) 2 − (refractive index of clad layer) 2 ] / [2 × (refractive index of core part) 2 ] × 100

本発明の光導波路において、光伝搬損失は0.3dB/cm以下であることが好ましい。0.3dB/cm以下であれば、光の損失が小さくなり、伝送信号の強度が十分である。以上の観点から0.2dB/cm以下であることがさらに好ましい。   In the optical waveguide of the present invention, the light propagation loss is preferably 0.3 dB / cm or less. If it is 0.3 dB / cm or less, the loss of light becomes small and the intensity of the transmission signal is sufficient. From the above viewpoint, it is more preferably 0.2 dB / cm or less.

本発明の光導波路は、耐屈曲性、耐捻性、透明性、信頼性、及び耐熱性に優れており、光モジュールの光伝送路として用いることもできる。光モジュールの形態としては、例えば、光導波路の両端に光ファイバを接続した光ファイバ付き光導波路、光導波路の両端にコネクタを接続したコネクタ付き光導波路、光導波路とプリント配線板とを複合化した光電気複合基板、光導波路と光信号と電気信号を相互に変換する光/電気変換素子を組み合わせた光電気変換モジュール、光導波路と波長分割フィルタを組み合わせた波長合分波器などが挙げられる。
なお、光電気複合基板において、複合化するプリント配線板として、特に制限はなく、例えば、ガラスエポキシ基板、セラミック基板などのリジッド基板、ポリイミド基板、ポリエチレンテレフタレート基板などのフレキシブル基板などが挙げられる。
The optical waveguide of the present invention is excellent in bending resistance, twist resistance, transparency, reliability, and heat resistance, and can also be used as an optical transmission line of an optical module. As the form of the optical module, for example, an optical waveguide with an optical fiber in which optical fibers are connected to both ends of the optical waveguide, an optical waveguide with a connector in which connectors are connected to both ends of the optical waveguide, and an optical waveguide and a printed wiring board are combined. Examples include an opto-electric composite substrate, an opto-electric conversion module that combines an optical waveguide, an optical / electric conversion element that converts an optical signal and an electrical signal, and a wavelength multiplexer / demultiplexer that combines an optical waveguide and a wavelength division filter.
In the photoelectric composite substrate, the printed wiring board to be combined is not particularly limited, and examples thereof include a rigid substrate such as a glass epoxy substrate and a ceramic substrate, a flexible substrate such as a polyimide substrate and a polyethylene terephthalate substrate.

以下の本発明の実施例をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例になんら限定されるものではない。
実施例1
[クラッド層形成用樹脂ワニスCLV−1の調合]
(A)(メタ)アクリルポリマーとして、エポキシ基含有アクリルゴムのシクロヘキサノン溶液(ナガセケムテックス株式会社製HTR−860P−3、分子量80万、固形分12質量%)833質量部(固形分100質量部)、(B)エポキシ樹脂として、ビスフェノールF型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製YDF−8170C、エポキシ当量158g/eq)16質量部、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製YDCN−703、エポキシ当量209g/eq)5質量部、(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤として、ビスフェノールAノボラック樹脂のメチルエチルケトン溶液(大日本インキ化学工業株式会社製LF−4871、水酸基当量118g/eq、固形分60質量%)26質量部(固形分15質量部)、(D)光反応性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(新中村化学工業株式会社製A−DPH)30質量部、(E)光塩基発生剤として、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製イルガキュア369)2質量部、シランカップリング剤として、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(日本ユニカー株式会社製A−189)0.1質量部、及びγ‐ウレイドプロピルトリエトキシシラン(日本ユニカー株式会社製A−1160)0.3質量部を攪拌混合後、減圧脱泡して、クラッド層形成用樹脂ワニスCLV−1を得た。
The following examples of the present invention will be described more specifically, but the present invention is not limited to these examples.
Example 1
[Preparation of Clad Layer Forming Resin Varnish CLV-1]
(A) As a (meth) acrylic polymer, cyclohexanone solution of epoxy group-containing acrylic rubber (HTR-860P-3 manufactured by Nagase ChemteX Corporation, molecular weight 800,000, solid content 12% by mass) 833 parts by mass (solid content 100 parts by mass) ), (B) As an epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin (YDF-8170C, Toto Kasei Co., Ltd., epoxy equivalent 158 g / eq) 16 parts by mass, o-cresol novolac type epoxy resin (YDCN-703, Toto Kasei Co., Ltd.) , Epoxy equivalent 209 g / eq) 5 parts by mass, (C) as a phenolic epoxy resin curing agent, a methyl ethyl ketone solution of bisphenol A novolak resin (LF-4871, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Ltd., hydroxyl equivalent 118 g / eq, solid content) 60 parts by mass) 26 parts by mass (solid content 1 (Parts by mass), (D) 30 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (A-DPH manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) as a photoreactive monomer, and (E) 2-benzyl-2-dimethyl as a photobase generator. 2 parts by mass of amino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one (Irgacure 369 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.), γ-mercaptopropyltrimethoxysilane (Nihon Unicar Co., Ltd.) as a silane coupling agent A-189) 0.1 parts by mass and 0.3 part by mass of γ-ureidopropyltriethoxysilane (A-1160, manufactured by Nihon Unicar Co., Ltd.) were stirred and mixed, and then degassed under reduced pressure to form a cladding layer. Resin varnish CLV-1 was obtained.

[クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1の作製]
クラッド層形成用樹脂ワニスCLV−1を、表面離型処理PETフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製A53、厚み25μm)の離型処理面上に塗工機(株式会社ヒラノテクシード製マルチコーターTM−MC)を用いて塗布し、100℃で20分乾燥し、次いで保護フィルムとして表面離型処理PETフィルム(帝人デュポンフィルム株式会社製A31、厚み25μm)を貼付け、クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が、下部クラッド層形成用樹脂フィルムでは30μm、上部クラッド層形成用樹脂フィルムでは80μm、及び屈折率測定用硬化フィルムでは50μmとなるように調節した。
[Preparation of Cladding Layer Forming Resin Film CLF-1]
Clad layer-forming resin varnish CLV-1 is coated on a release treatment surface of a surface release treatment PET film (A53, Teijin DuPont Films Co., Ltd., thickness 25 μm) (Multicoater TM-MC, manufactured by Hirano Techseed Co., Ltd.). And then dried at 100 ° C. for 20 minutes, and then a surface release treatment PET film (A31 manufactured by Teijin DuPont Films Ltd., thickness 25 μm) is pasted as a protective film to obtain a resin film CLF-1 for forming a clad layer It was. At this time, the thickness of the resin layer can be arbitrarily adjusted by adjusting the gap of the coating machine. In this embodiment, the thickness after curing is 30 μm for the resin film for forming the lower cladding layer, and the upper cladding layer. The resin film for forming was adjusted to 80 μm, and the cured film for refractive index measurement was adjusted to 50 μm.

[引張り試験、屈曲耐久試験、及び捻回耐久試験用、並びに全光線透過率及びヘイズ測定用硬化フィルムの作製]
ロールラミネータ(日立化成テクノプラント株式会社製HLM−1500)を用い、保護フィルム(A31)を除去した下部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1を、保護フィルム(A31)を除去した上部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1上に、圧力0.4MPa、温度80℃、速度0.4m/minの条件で積層した。次いで、紫外線露光機(大日本スクリーン株式会社製MAP−1200−L)を用い、紫外線(波長365nm)を250mJ/cm2照射した。160℃で1時間硬化させた後、支持フィルム(A53)を除去して厚み110μmの硬化フィルムを得た。
[Preparation of cured film for tensile test, bending endurance test, twist endurance test, and total light transmittance and haze measurement]
Using a roll laminator (HLM-1500 manufactured by Hitachi Chemical Technoplant Co., Ltd.), the lower clad layer forming resin film CLF-1 from which the protective film (A31) has been removed is used for forming the upper clad layer from which the protective film (A31) has been removed. On the resin film CLF-1, it laminated | stacked on the conditions of pressure 0.4MPa, temperature 80 degreeC, and speed 0.4m / min. Subsequently, ultraviolet rays (wavelength 365 nm) were irradiated at 250 mJ / cm 2 using an ultraviolet exposure machine (MAP-1200-L manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd.). After curing at 160 ° C. for 1 hour, the support film (A53) was removed to obtain a cured film having a thickness of 110 μm.

[引張り試験]
得られた硬化フィルム(幅10mm、長さ70mm)の引張り試験(つかみ具間距離50mm)を、引張り試験機(株式会社オリエンテック製 RTM−100)を用いて、温度25℃、引張り速度50mm/minで、JIS K 7127に準拠して行った。
(1)引張り弾性率
引張り弾性率は、引張り応力−ひずみ曲線の初めの直線部分を用いて、以下に示す式により算出した。
引張り弾性率(MPa)=直線上の2点間の応力の差(N)÷硬化フィルムの元の平均断面積(mm2)÷同じ2点間のひずみの差
(2)引張り破断伸び率
引張り破断伸び率は、以下に示す式により算出した。
引張り破断伸び率(%)=(破断時のつかみ具間距離(mm)−初期のつかみ具間距離(mm))÷初期のつかみ具間距離(mm)×100
[Tensile test]
The obtained cured film (width 10 mm, length 70 mm) was subjected to a tensile test (distance between grips 50 mm) using a tensile tester (RTM-100 manufactured by Orientec Co., Ltd.) at a temperature of 25 ° C. and a tensile speed of 50 mm / min, in accordance with JIS K 7127.
(1) Tensile modulus The tensile modulus was calculated by the following equation using the first linear portion of the tensile stress-strain curve.
Tensile stress difference (N) ÷ original average cross-sectional area of the cured film (mm 2) ÷ difference (2) Tensile elongation at break of the strain between the same two points between two points of the tensile modulus (MPa) = a straight line The elongation at break was calculated according to the following formula.
Tensile elongation at break (%) = (distance between grips at break (mm) −initial distance between grips (mm)) ÷ initial distance between grips (mm) × 100

[屈曲耐久試験]
得られた硬化フィルム(幅5mm、長さ10mm)の屈曲耐久試験を、屈曲耐久試験機(株式会社大昌電子製)を用い、曲げ角度0〜180°、曲げ半径2mm、曲げ速度2回/秒の条件で屈曲耐久試験を行い、硬化フィルムの破断の有無を観察した。
○:10万回後も破断せず
×:10万回未満で破断
[Bending durability test]
A bending durability test of the obtained cured film (width 5 mm, length 10 mm) was performed using a bending durability tester (manufactured by Daisho Electronics Co., Ltd.), a bending angle of 0 to 180 °, a bending radius of 2 mm, and a bending speed of 2 times / second. The bending durability test was performed under the conditions described above, and the presence or absence of breakage of the cured film was observed.
○: Not broken after 100,000 times ×: Broken after less than 100,000 times

[捻回耐久試験]
得られた硬化フィルム(幅2mm、長さ40mm)の捻回耐久試験を、屈曲耐久試験機(株式会社大昌電子製)を用い、捻り角度±180°、つかみ具間距離20mm、捻り速度0.5回/秒の条件で捻回耐久試験を行い、硬化フィルムの破断の有無を観察した。
○:10万回後も破断せず
×:10万回未満で破断
[Twist durability test]
A twist endurance test of the obtained cured film (width 2 mm, length 40 mm) was performed using a bending endurance tester (manufactured by Daisho Electronics Co., Ltd.) with a twist angle of ± 180 °, a distance between grippers of 20 mm, and a twist rate of 0. A twisting durability test was performed under the condition of 5 times / second, and the presence or absence of breakage of the cured film was observed.
○: Not broken after 100,000 times ×: Broken after less than 100,000 times

[全光線透過率及びヘイズの測定]
得られた硬化フィルムの全光線透過率及びヘイズを分色度・濁度測定器(日本電食工業株式会社製COH 400)を用いて測定した。以下の基準で評価した。
(1)全光線透過率
○:50%以上
×:50%未満
(2)ヘイズ
○:50%以下
×:50%より大きい
[Measurement of total light transmittance and haze]
The total light transmittance and haze of the obtained cured film were measured using a color separation / turbidity measuring device (COH 400 manufactured by Nippon Denko Kogyo Co., Ltd.). Evaluation was made according to the following criteria.
(1) Total light transmittance ○: 50% or more ×: Less than 50% (2) Haze ○: 50% or less ×: More than 50%

[コア部形成用樹脂ワニスCOV−1の調合]
バインダーポリマーとして、フェノキシ樹脂のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(東都化成株式会社製YP−70、固形分40質量%)63質量部(固形分25質量部)、重合性化合物として、エトキシ化フルオレン型ジアクリレートのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(新中村化学工業株式会社A−BPEF/PGMAC70、固形分70質量%)54質量部(固形分38質量部)、ビスフェノールA型エポキシアクリレート(新中村化学工業株式会社EA−1020)38質量部、光ラジカル重合開始剤として、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製イルガキュア2959)1質量部、及びビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製イルガキュア819)1質量部を攪拌混合後、減圧脱泡して、コア部形成用樹脂ワニスCOV−1を得た。
[Preparation of resin varnish COV-1 for core formation]
As binder polymer, propylene glycol monomethyl ether acetate solution of phenoxy resin (YP-70 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., solid content 40% by mass) 63 parts by mass (solid content 25 parts by mass), and as the polymerizable compound, ethoxylated fluorene type di Propylene glycol monomethyl ether acetate solution of acrylate (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd. A-BPEF / PGMAC70, solid content 70% by mass) 54 parts by mass (solid content 38 parts by mass), bisphenol A type epoxy acrylate (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.) EA-1020) 38 parts by mass, as radical photopolymerization initiator, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one (Ciba Specialty Chemicals) Irgacure 29 9) 1 part by mass and 1 part by mass of bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide (Irgacure 819 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) were stirred and mixed, and then degassed under reduced pressure to form a core part. Resin varnish COV-1 was obtained.

[コア部形成用樹脂フィルムCOF−1の作製]
コア部形成用樹脂ワニスCOV−1を、PETフィルム(東洋紡績株式会社製A1517、厚み16μm)の非処理面上に、クラッド層形成用樹脂フィルムと同様な方法で塗布乾燥し、コア部形成用樹脂フィルムCOF−1を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が、50μmとなるように調節した。
[Preparation of Core Part Forming Resin Film COF-1]
The core part-forming resin varnish COV-1 is applied and dried on the non-treated surface of a PET film (Toyobo Co., Ltd., A1517, thickness 16 μm) in the same manner as the clad layer-forming resin film. A resin film COF-1 was obtained. At this time, the thickness of the resin layer can be arbitrarily adjusted by adjusting the gap of the coating machine, but in this example, the thickness after curing was adjusted to 50 μm.

[屈折率測定用硬化フィルムの作製]
(1)クラッド層形成用樹脂フィルム
クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1に、前記紫外線露光機を用い、紫外線(波長365nm)を250mJ/cm2照射した。160℃で1時間硬化させた後、支持フィルム(A53)及び保護フィルム(A31)を除去して厚み50μmの硬化フィルムを得た。
(2)コア部形成用樹脂フィルム
コア部形成用樹脂フィルムCOF−1に、前記紫外線露光機を用い、紫外線(波長365nm)を2000mJ/cm2照射した。保護フィルム(A31)を除去し、160℃で1時間加熱処理後、支持フィルム(A1517)を除去して厚み50μmの硬化フィルムを得た。
[Production of cured film for refractive index measurement]
(1) Clad Layer Forming Resin Film The clad layer forming resin film CLF-1 was irradiated with ultraviolet rays (wavelength 365 nm) at 250 mJ / cm 2 using the ultraviolet exposure machine. After curing at 160 ° C. for 1 hour, the support film (A53) and the protective film (A31) were removed to obtain a cured film having a thickness of 50 μm.
(2) Core part-forming resin film The core part-forming resin film COF-1 was irradiated with 2000 mJ / cm 2 of ultraviolet rays (wavelength 365 nm) using the ultraviolet exposure machine. The protective film (A31) was removed, and after heat treatment at 160 ° C. for 1 hour, the support film (A1517) was removed to obtain a cured film having a thickness of 50 μm.

[屈折率の測定]
得られた硬化フィルムの温度25℃における波長830nmでの屈折率をプリズムカプラ(SAIRON TECHNOLOGY社製、SPA−4000)を用いて測定した。
[Measurement of refractive index]
The refractive index at a wavelength of 830 nm at a temperature of 25 ° C. of the obtained cured film was measured using a prism coupler (manufactured by SAIRON TECHNOLOGY, SPA-4000).

[比屈折率の算出]
得られた硬化フィルムの温度25℃における波長830nmでの屈折率をプリズムカプラ(SAIRON TECHNOLOGY社製、SPA−4000)を用いて測定した。
比屈折率差は、以下に示す式により算出した。
比屈折率差(%)=[(コア部形成用樹脂硬化フィルムの屈折率)2−(クラッド層形成用樹脂硬化フィルムの屈折率)2]÷[2×(コア部形成用樹脂硬化フィルムの屈折率)2]×100
[Calculation of relative refractive index]
The refractive index at a wavelength of 830 nm at a temperature of 25 ° C. of the obtained cured film was measured using a prism coupler (manufactured by SAIRON TECHNOLOGY, SPA-4000).
The relative refractive index difference was calculated by the following formula.
Relative Refractive Index Difference (%) = [(Refractive Index of Resin Cured Film for Forming Core Part) 2 − (Refractive Index of Resin Cured Film for Forming Clad Layer) 2 ] ÷ [2 × (of Resin Cured Film for Forming Core Part Refractive index) 2 ] × 100

[光導波路の作製]
前記紫外線露光機を用い、下部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1に紫外線(波長365nm)を250mJ/cm2照射した。保護フィルム(A31)を除去した後、160℃で1時間硬化させ、下部クラッド層を形成した。
[Fabrication of optical waveguide]
Using the ultraviolet exposure machine, the lower clad layer forming resin film CLF-1 was irradiated with ultraviolet rays (wavelength 365 nm) at 250 mJ / cm 2 . After removing the protective film (A31), it was cured at 160 ° C. for 1 hour to form a lower cladding layer.

続いて、前記ロールラミネータを用い、保護フィルム(A31)を除去したコア部形成用樹脂フィルムCOF−1を、下部クラッド層上に、圧力0.4MPa、温度80℃、速度0.4m/minの条件で積層した。さらに、真空加圧式ラミネータ(株式会社名機製作所製MVLP−500/600)を用い、圧力0.4MPa、温度80℃及び加圧時間30秒の条件で圧着した。
次いで、幅50μmのネガ型フォトマスクを介し、上記紫外線露光機で紫外線(波長365nm)を500mJ/cm2照射し、次いで80℃で5分間露光後加熱を行った。支持フィルム(A1517)を除去し、現像液(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/N,N−ジメチルアセトアミド=70/30質量比)を用い、コア部を現像した後、プロピレングリコールモノメチルエーテル、次いでイソプロパノールを用いて洗浄し、100℃で1時間加熱乾燥した。
Subsequently, using the roll laminator, the core part-forming resin film COF-1 from which the protective film (A31) has been removed is placed on the lower cladding layer at a pressure of 0.4 MPa, a temperature of 80 ° C., and a speed of 0.4 m / min. It laminated | stacked on conditions. Furthermore, using a vacuum pressurization type laminator (MVLP-500 / 600 manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.), pressure bonding was performed under the conditions of a pressure of 0.4 MPa, a temperature of 80 ° C., and a pressurization time of 30 seconds.
Next, the film was irradiated with ultraviolet rays (wavelength 365 nm) of 500 mJ / cm 2 through the negative photomask having a width of 50 μm with the above-described ultraviolet exposure machine, and then heated after exposure at 80 ° C. for 5 minutes. The support film (A1517) was removed, and the core was developed using a developer (propylene glycol monomethyl ether acetate / N, N-dimethylacetamide = 70/30 mass ratio), and then propylene glycol monomethyl ether and then isopropanol were used. Washed and dried by heating at 100 ° C. for 1 hour.

次に、前記真空加圧式ラミネータを用い、保護フィルム(A31)を除去した上部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1を、コア部及び下部クラッド層上に、圧力0.4MPa、温度80℃及び加圧時間30秒の条件で積層した。紫外線(波長365nm)を250mJ/cm2照射し、下部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1の支持フィルム(A53)を除去した後、160℃で1時間硬化させて、上部クラッド層を形成した。続いて、上部クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−1の支持フィルム(A53)を除去し、光導波路を得た。その後、ダイシングソー(株式会社ディスコ製DAD−341)を用いて導波路長10cmの光導波路を切り出した。 Next, the upper cladding layer-forming resin film CLF-1 from which the protective film (A31) has been removed using the vacuum pressurizing laminator is applied on the core and the lower cladding layer at a pressure of 0.4 MPa, a temperature of 80 ° C. Lamination was performed under a pressure time of 30 seconds. Ultraviolet light (wavelength 365 nm) was irradiated at 250 mJ / cm 2 to remove the support film (A53) of the resin film CLF-1 for forming the lower cladding layer, and then cured at 160 ° C. for 1 hour to form an upper cladding layer. Subsequently, the support film (A53) of the upper clad layer-forming resin film CLF-1 was removed to obtain an optical waveguide. Thereafter, an optical waveguide having a waveguide length of 10 cm was cut out using a dicing saw (DAD-341 manufactured by DISCO Corporation).

実施例2〜6及び比較例1
表1に示す配合比に従ってクラッド層形成用樹脂ワニスCLV−2〜7を調合し、実施例1と同様な方法で、クラッド層形成用樹脂フィルムCLF−2〜7を作製した。フィルム硬化時の紫外線照射量、並びに硬化フィルムの引張り試験、屈曲耐久試験、及び捻回耐久試験、並びに全光線透過率及びヘイズ測定を実施した結果を表1に示す。
続いて、これらの光導波路形成用樹脂フィルムを用いて、実施例1と同様な方法で、光導波路を作製した。光導波路の作製に用いたコア部形成用樹脂フィルム及びクラッド層形成用樹脂フィルムの組合せ、それぞれの硬化フィルムの屈折率を測定した結果、並びに比屈折率差を表2に示す。
Examples 2 to 6 and Comparative Example 1
Clad layer-forming resin varnishes CLV-2 to 7 were prepared according to the compounding ratios shown in Table 1, and clad layer-forming resin films CLF-2 to 7 were produced in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results of ultraviolet irradiation during film curing, as well as tensile test, bending durability test, and twisting durability test, and total light transmittance and haze measurement of the cured film.
Then, the optical waveguide was produced by the method similar to Example 1 using these resin films for optical waveguide formation. Table 2 shows the combination of the core portion forming resin film and the clad layer forming resin film used for the production of the optical waveguide, the results of measuring the refractive index of each cured film, and the relative refractive index difference.

Figure 2009116292
Figure 2009116292

*1:エポキシ基含有アクリルゴムのシクロヘキサノン溶液(ナガセケムテックス株式会社製、重量平均分子量80万)
*2:フェノキシ樹脂のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(東都化成株式会社製)
*3:ビスフェノールF型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製、エポキシ当量158g/eq)
*4:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製、エポキシ当量172g/eq)
*5:o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(東都化成株式会社製、エポキシ当量209g/eq)
*6:ビスフェノールAノボラック樹脂のメチルエチルケトン溶液(大日本インキ化学工業株式会社、水酸基当量118g/eq)
*7:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*8:トリメチロールプロパントリアクリレート(新中村化学工業株式会社製)
*9:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリニルフェニル)−ブタン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*10:2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリニルフェニル)−ブタン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*11:1,2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリニルプロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)
*12:γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(日本ユニカー株式会社製)
*13:γ‐ウレイドプロピルトリエトキシシラン(日本ユニカー株式会社製)
*14:○…10万回後も破断せず、×…10万回未満で破断
*15:○…10万回後も破断せず、×…10万回未満で破断
*16:○…50%以上、×…50%未満、フィルム厚み110μmの条件で測定
*17:○…50%以下、×…50%より大きい、フィルム厚み110μmの条件で測定
* 1: Cyclohexanone solution of epoxy group-containing acrylic rubber (manufactured by Nagase ChemteX Corporation, weight average molecular weight 800,000)
* 2: Propylene glycol monomethyl ether acetate solution of phenoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.)
* 3: Bisphenol F type epoxy resin (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., epoxy equivalent 158 g / eq)
* 4: Bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., epoxy equivalent 172 g / eq)
* 5: o-cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., epoxy equivalent 209 g / eq)
* 6: Methyl ethyl ketone solution of bisphenol A novolak resin (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd., hydroxyl equivalent: 118 g / eq)
* 7: Dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
* 8: Trimethylolpropane triacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
* 9: 2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinylphenyl) -butan-1-one (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
* 10: 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4-morpholinylphenyl) -butan-1-one (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
* 11: 1,2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinylpropan-1-one (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
* 12: γ-Mercaptopropyltrimethoxysilane (manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.)
* 13: γ-Ureidopropyltriethoxysilane (Nihon Unicar Co., Ltd.)
* 14: ○… No break after 100,000 times, ×… Break after less than 100,000 times * 15: ○… No break after 100,000 times, ×… Break less than 100,000 times * 16: ○… 50 % Measured under the conditions of less than 50% and a film thickness of 110 μm * 17: ○ Measured under the condition of 50% or less, x ... greater than 50% and a film thickness of 110 μm

Figure 2009116292
Figure 2009116292

[光伝搬損失の測定]
実施例1〜6及び比較例1で得られた光導波路(導波路長10cm)の光伝搬損失を、光源に波長850nmの光を中心波長とするVCSEL(EXFO社製FLS−300−01−VCL)、受光センサ(株式会社アドバンテスト製Q82214)、入射ファイバ(GI−50/125マルチモードファイバ、NA=0.20)及び出射ファイバ(SI−114/125、NA=0.22)を用いて、カットバック法(測定導波路長10、5、3、2cm)により測定した。
○:0.3dB/cm以下
×:0.3dB/cmより大きい
[Measurement of optical propagation loss]
The optical propagation loss of the optical waveguides (waveguide length 10 cm) obtained in Examples 1 to 6 and Comparative Example 1 is the VCSEL (FLS-300-01-VCL manufactured by EXFO) with the light source having a wavelength of 850 nm as the central wavelength. ), A light receiving sensor (Q82214 manufactured by Advantest Corporation), an incident fiber (GI-50 / 125 multimode fiber, NA = 0.20) and an outgoing fiber (SI-114 / 125, NA = 0.22), It was measured by the cutback method (measurement waveguide lengths 10, 5, 3, 2 cm).
○: 0.3 dB / cm or less ×: larger than 0.3 dB / cm

また、得られた光導波路(幅5mm、長さ10mm)の屈曲耐久試験及び捻回耐久試験を前記と同様な条件で実施した。
○:10万回後も破断せず
×:10万回未満で破断
以上の結果を表3に示す。
Further, the bending durability test and the twisting durability test of the obtained optical waveguide (width 5 mm, length 10 mm) were performed under the same conditions as described above.
○: No fracture after 100,000 times ×: Less than 100,000 times The results are shown in Table 3.

Figure 2009116292
Figure 2009116292

*1:○…0.3dB/cm以下、×…0.3dB/cmより大きい
*2:○…10万回後も破断せず、×…10万回未満で破断
* 1: ○ ... 0.3 dB / cm or less, x ... greater than 0.3 dB / cm * 2: ○ ... no breakage after 100,000 times, x ... breakage less than 100,000 times

表1から、本発明のクラッド層形成用樹脂組成物の硬化フィルムは、屈曲耐性及び捻回耐性に優れており、これらを用いて製造した光導波路も屈曲耐性及び捻回耐性に優れていることがわかる。一方、本発明に属さないクラッド層形成用樹脂組成物の硬化フィルム及び該樹脂組成物を用いて製造した光導波路は、屈曲耐性及び捻回耐性に劣っていることがわかる。   From Table 1, the cured film of the resin composition for forming a clad layer of the present invention is excellent in bending resistance and twisting resistance, and an optical waveguide manufactured using these is also excellent in bending resistance and twisting resistance. I understand. On the other hand, it can be seen that a cured film of a resin composition for forming a cladding layer that does not belong to the present invention and an optical waveguide produced using the resin composition are inferior in bending resistance and twisting resistance.

本発明のクラッド層形成用樹脂硬化フィルム、及びこれを用いた光導波路は、上記構成により優れた屈曲耐性及び捻回耐性を有するものである。このため、光インタコネクション等の幅広い分野に適用できる。   The cured resin film for forming a cladding layer of the present invention and an optical waveguide using the same have excellent bending resistance and twisting resistance due to the above configuration. Therefore, it can be applied to a wide range of fields such as optical interconnection.

光導波路作製工程の一例を示す断面模式図Cross-sectional schematic diagram showing an example of optical waveguide manufacturing process

符号の説明Explanation of symbols

1、8;支持フィルム(クラッド層用)
2;下部クラッド層
3;コア層
4;支持フィルム(コア部形成用)
5;ホトマスク
6;コアパターン
7;上部クラッド層
1, 8; Support film (for clad layer)
2; lower clad layer 3; core layer 4; support film (for core portion formation)
5; Photomask 6; Core pattern 7; Upper cladding layer

Claims (17)

(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマー、(B)エポキシ樹脂、(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤、(D)光反応性モノマー、及び(E)光塩基発生剤を含有する光導波路のクラッド層形成用樹脂組成物。   (A) a (meth) acrylic polymer having a reactive functional group and a weight average molecular weight of 100,000 or more, (B) an epoxy resin, (C) a phenolic epoxy resin curing agent, (D) a photoreactive monomer And (E) a resin composition for forming a cladding layer of an optical waveguide containing a photobase generator. (D)光反応性モノマーが、(メタ)アクリレートである請求項1に記載のクラッド層形成用樹脂組成物。   (D) The resin composition for forming a clad layer according to claim 1, wherein the photoreactive monomer is (meth) acrylate. (A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマーが、エポキシ基含有繰り返し単位を0.5〜6質量%含有するエポキシ基含有(メタ)アクリルポリマーである請求項1又は2に記載のクラッド層形成用樹脂組成物。   (A) An epoxy group-containing (meth) acryl having a reactive functional group and having a weight average molecular weight of 100,000 or more and containing 0.5 to 6% by mass of an epoxy group-containing repeating unit. The resin composition for forming a clad layer according to claim 1, which is a polymer. (B)エポキシ樹脂が、ビスフェノール型エポキシ樹脂及び/又はフェノールノボラック型エポキシ樹脂を含む請求項1〜3のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。   (B) The resin composition for clad layer formation in any one of Claims 1-3 in which an epoxy resin contains a bisphenol type epoxy resin and / or a phenol novolak type epoxy resin. (C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤が、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、o-クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のうち少なくとも1つを含む請求項1〜4のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。   The resin for forming a clad layer according to any one of claims 1 to 4, wherein the (C) phenolic epoxy resin curing agent contains at least one of a phenol novolak resin, a bisphenol A novolak resin, and an o-cresol novolak type epoxy resin. Composition. 前記(A)反応性官能基を有し、かつ重量平均分子量が10万以上である(メタ)アクリルポリマー100質量部に対し、(B)エポキシ樹脂を5〜250質量部、及び(D)光反応性モノマーを5〜100質量部、及び(E)光塩基発生剤を0.1〜20質量部含有し、(C)フェノール系エポキシ樹脂硬化剤を、エポキシ樹脂のエポキシ基1個当たりフェノール性水酸基の当量比が0.5〜1.5の範囲となるように含有する請求項1〜5のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。   (B) 5 to 250 parts by mass of epoxy resin and (D) light with respect to 100 parts by mass of (A) reactive functional group and 100 parts by mass of (meth) acrylic polymer having a weight average molecular weight of 100,000 or more. 5-100 parts by mass of reactive monomer and 0.1-20 parts by mass of (E) photobase generator, (C) phenolic epoxy resin curing agent, phenolic per epoxy group of epoxy resin The resin composition for forming a clad layer according to any one of claims 1 to 5, which is contained so that an equivalent ratio of hydroxyl groups is in a range of 0.5 to 1.5. 前記クラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの、25℃での引張り弾性率が1〜2000MPaである請求項1〜6のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。   The resin composition for forming a clad layer according to any one of claims 1 to 6, wherein a cured film obtained by curing the resin composition for forming a clad layer has a tensile elastic modulus at 25 ° C of 1 to 2000 MPa. 前記クラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの、25℃での引張り破断伸び率が10〜600%である請求項1〜7のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。   The resin composition for forming a clad layer according to any one of claims 1 to 7, wherein a cured film obtained by curing the resin composition for forming a clad layer has a tensile elongation at break at 10C of 10 to 600%. . 前記クラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの、曲げ半径2mmの屈曲耐久試験を10万回実施後、破断のない請求項1〜8のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。   The resin for forming a clad layer according to any one of claims 1 to 8, wherein the cured film formed by curing the resin composition for forming a clad layer is not broken after performing a bending durability test with a bending radius of 2 mm 100,000 times. Composition. 前記クラッド層形成用樹脂組成物を硬化してなる硬化フィルムの、捻回耐久試験を10万回実施後、破断のない請求項1〜9のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物。   The resin composition for forming a clad layer according to any one of claims 1 to 9, wherein the cured film formed by curing the resin composition for forming a clad layer has no break after performing a twisting durability test 100,000 times. 請求項1〜10のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物を用いたクラッド層形成用樹脂フィルム。   The resin film for clad layer formation using the resin composition for clad layer formation in any one of Claims 1-10. 請求項1〜10のいずれかに記載のクラッド層形成用樹脂組成物により、下部クラッド層と上部クラッド層のうち少なくとも一方の層が形成された光導波路。   An optical waveguide in which at least one of a lower clad layer and an upper clad layer is formed from the clad layer forming resin composition according to claim 1. 請求項11に記載のクラッド層形成用樹脂フィルムにより、下部クラッド層と上部クラッド層のうち少なくとも一方の層が形成された光導波路。   An optical waveguide in which at least one of a lower clad layer and an upper clad layer is formed by the clad layer forming resin film according to claim 11. 前記光導波路の下部クラッド層と上部クラッド層の間に、両クラッド層よりも屈折率の高い感光性樹脂組成物によりコア部が形成され、コア部とクラッド層との比屈折率差が1〜10%である請求項12又は13に記載の光導波路。   Between the lower clad layer and the upper clad layer of the optical waveguide, a core part is formed of a photosensitive resin composition having a higher refractive index than both clad layers, and the relative refractive index difference between the core part and the clad layer is 1 to The optical waveguide according to claim 12 or 13, which is 10%. クラッド層形成用樹脂フィルムの少なくとも1つがクラッド層形成用樹脂と支持フィルムから構成され、支持フィルムがコア層に対してクラッド層の外側に配置されている請求項13又は14に記載の光導波路。   The optical waveguide according to claim 13 or 14, wherein at least one of the clad layer forming resin films comprises a clad layer forming resin and a support film, and the support film is disposed outside the clad layer with respect to the core layer. クラッド層形成用樹脂フィルムが、接着処理を施した支持フィルム上にクラッド層形成用樹脂組成物が成膜されてなる請求項15に記載の光導波路。   The optical waveguide according to claim 15, wherein the resin film for forming a cladding layer is formed by forming a resin composition for forming a cladding layer on a support film subjected to an adhesion treatment. 請求項12〜16のいずれかに記載の光導波路を用いた光モジュール。   An optical module using the optical waveguide according to claim 12.
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JP2011027903A (en) * 2009-07-23 2011-02-10 Hitachi Chem Co Ltd Resin composition for forming clad layer, optical waveguide and optical module

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