JP2009109551A - Optical scanner and image forming apparatus with the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical scanner, capable of accurately deflecting and scanning a plurality of beams, while reducing the manufacturing cost using a compact configuration, and to provide an image forming apparatus equipped with the optical scanner. <P>SOLUTION: The optical scanner comprises a plurality of semiconductor lasers 41 which emit beams; an optical deflection unit 1 which deflects the beams; a plurality of imaging members which image the deflected beams onto the surface of a photoreceptor drum 32, and the optical deflection unit 1 has a first deflection element 3u and a second deflection element 3d, on which a deflection face is formed; a driving element 4 which receives driving force; and an actuator 9 which drives the driving element 4 where the first deflection element 3u, the second deflection element 3d and the driving element 4 are connected in series by torsion springs 5, and 6 and the first deflection element 3u and the second deflection element 3d are rocked about the rocking axis O of the torsion springs 5 and 6, when the driving element 4 rocks. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、LBP、デジタル複写機、またはデジタルFAX等の画像形成装置において、レーザービームを用いて光書き込みを行う光学走査装置、及びそれを備える画像形成装置に関する。   The present invention relates to an optical scanning apparatus that performs optical writing using a laser beam in an image forming apparatus such as an LBP, a digital copying machine, or a digital FAX, and an image forming apparatus including the optical scanning apparatus.

近年、画像形成装置のカラー化が進んでおり、特にモノクロと同じスピードで高速印刷が可能な、所謂タンデム方式の画像形成装置が広く知られている。タンデム方式とは、各色ごとに光学走査系を設け、各々の光学走査系において形成された画像を重ね合わせて所望の画像を得る方式である。   In recent years, colorization of image forming apparatuses has progressed, and so-called tandem image forming apparatuses that can perform high-speed printing at the same speed as monochrome are widely known. The tandem method is a method in which an optical scanning system is provided for each color, and a desired image is obtained by superimposing images formed in the respective optical scanning systems.

このようなタンデム方式を有する画像形成装置として、複数の光学走査系に対して共通の回転多面鏡を備えるタイプのものが数多く提案されている。その中でも、光偏向ユニットとして用いられる回転多面鏡を、正弦波振動する1枚のミラーに置き換えたものが提案されている(特許文献1、特許文献2)。   Many types of image forming apparatuses having such a tandem method have been proposed which include a common rotary polygon mirror for a plurality of optical scanning systems. Among them, there have been proposed ones in which a rotating polygon mirror used as an optical deflection unit is replaced with a single mirror that vibrates sinusoidally (Patent Documents 1 and 2).

特許文献1には、4色分のビームを、振動する1枚のミラーの片側面で偏向走査し、走査されたビームを色毎に分離して、各々の感光体に導光する構成が記載されている。   Patent Document 1 describes a configuration in which a beam for four colors is deflected and scanned on one side of a vibrating mirror, and the scanned beam is separated for each color and guided to each photoconductor. Has been.

また、特許文献2には、振動する1枚のミラー(或いは2枚貼合せの一体もののミラー)の両面を使って偏向走査し、走査されたビームを色毎に分離して、各々対応する感光体に導光する構成が記載されている。すなわち、ミラーの片面で2色分のビームを走査することで、両面合わせて計4色分のビームを偏向走査する構成である。   Further, in Patent Document 2, deflection scanning is performed using both surfaces of a vibrating single mirror (or a two-piece laminated mirror), and the scanned beam is separated for each color to correspond to each corresponding photosensor. A configuration for guiding light to the body is described. That is, by scanning the beam for two colors on one side of the mirror, the beam for a total of four colors is deflected and scanned on both sides.

さらに特許文献2には、両面ミラーを用いるタイプだけでなく、各々独立した片側鏡面のミラーを別々な揺動軸で軸支し、反鏡面側が向き合うように並べ、両面ミラーに近い形偏向走査を行う構成も記載されている。
特開2006−243034号公報 特開2006−292891号公報
Furthermore, in Patent Document 2, not only a type using a double-sided mirror, but also mirrors with independent single-sided mirror surfaces are pivotally supported by separate rocking shafts and arranged so that the opposite mirror surfaces face each other. The configuration to be performed is also described.
JP 2006-243034 A JP 2006-292891 A

しかしながら、上記従来の光学走査装置及びそれを備える画像形成装置では、以下に示す問題を生じる。   However, the conventional optical scanning device and the image forming apparatus including the same cause the following problems.

上記従来の光学走査装置では、揺動軸上に設けられるミラーは1枚(或いは2枚貼合せの一体もののミラー)である。よって、複数の光源から1枚のミラーにビームを精度よく入射させるためには、狭いスペースにミラー、レンズ等の入射系の部材を如何に配置するか、といった点で設計上の制約が生じていた。   In the above-described conventional optical scanning device, the mirror provided on the swing shaft is a single sheet (or a mirror that is a two-piece laminated body). Therefore, in order to make a beam accurately incident on a single mirror from a plurality of light sources, there is a design restriction in terms of how to arrange incident members such as mirrors and lenses in a narrow space. It was.

例えば、特許文献1、特許文献2には、複数の光源から射出されたビームをハーフミラー等を用いて合成し、振動する1枚のミラーに入射させる構成が記載されている。しかしながら、一般的にハーフミラーは高価であり、さらにハーフミラーは、光路上に高精度に位置決めされる必要がある。その結果、製造コストの増大を招く。   For example, Patent Document 1 and Patent Document 2 describe a configuration in which beams emitted from a plurality of light sources are combined using a half mirror or the like and incident on one vibrating mirror. However, the half mirror is generally expensive, and the half mirror needs to be positioned with high accuracy on the optical path. As a result, the manufacturing cost increases.

また、入射系の部材を傾けて配置することで、振動する1枚のミラー面上における偏向点を揃える構成も知られている。入射系の部材を傾ける方向としては、主走査方向に傾け
る場合と、副走査方向に傾ける場合が挙げられる。
A configuration is also known in which the deflection points on one mirror surface that vibrates are aligned by inclining and arranging the members of the incident system. As the direction in which the incident system member is tilted, there are a case where it is tilted in the main scanning direction and a case where it is tilted in the sub-scanning direction.

しかし、入射系の部材を主走査方向に傾けて並べて配置する場合は、揺動するミラーが静止状態になった際に、複数の光源から射出されるビームが全て異なる方向に偏向されてしまう。すなわち、走査中心が異なるといった問題を生じる。   However, in the case where incident members are arranged side by side in the main scanning direction, the beams emitted from the plurality of light sources are all deflected in different directions when the oscillating mirror is stationary. That is, there arises a problem that the scanning center is different.

また、正弦振動する1枚のミラーによって偏向走査されるビームの速度が感光体上で等速度になるようにすると、走査レンズに、例えばf・arcsinθ特性を持たせる必要がある。しかし、4色全ての正弦波の位相が異なるので、4色全てのビームを等速度にすることは困難である。   In addition, if the speed of the beam deflected and scanned by one mirror that vibrates sinusoidally is the same speed on the photosensitive member, the scanning lens needs to have, for example, f · arcsin θ characteristics. However, since the phases of the sine waves of all four colors are different, it is difficult to make the beams of all four colors have the same speed.

また、振動する1枚のミラーによってビームを偏向走査する際、ミラーサイズを主走査方向に大きくしないと、ミラーの走査端で入射ビームの光束がミラー面上から外れてしまうといった、所謂ケラレが発生する。ケラレが発生すると、感光体上でスポットが肥大し、画像不良が生じる可能性がある。   In addition, when deflecting and scanning a beam with a single vibrating mirror, so-called vignetting occurs in which the luminous flux of the incident beam deviates from the mirror surface at the scanning end of the mirror unless the mirror size is increased in the main scanning direction. To do. When vignetting occurs, the spots on the photoreceptor are enlarged, and image defects may occur.

一方で、入射系の部材を副走査方向に傾けて並べて配置する場合は、ミラーによって走査されるビームをそのまま感光体まで導光すると、ミラーの揺動軸に直交する平面に対して傾いているビームほど、大きな走査線曲がりを有することになる。   On the other hand, when the incident members are arranged side by side in the sub-scanning direction, if the beam scanned by the mirror is directly guided to the photosensitive member, it is tilted with respect to a plane perpendicular to the swing axis of the mirror. The beam will have a larger scan line bend.

つまり、それぞれの色に応じて大きな走査線曲がりを持つことになり、画像上では色毎に印字位置が異なってしまうので色ずれが生じてしまう。このような色ずれの発生を防ぐために、走査線曲がりを走査レンズで補正する方法があるが、あまりに補正量が多いと結像性能が劣化し、画像不良が生じる恐れがある。   That is, a large scanning line bend is caused according to each color, and the printing position is different for each color on the image, so that color misregistration occurs. In order to prevent the occurrence of such color misregistration, there is a method of correcting the scanning line curve with the scanning lens. However, if the correction amount is too large, the imaging performance may be deteriorated and an image defect may occur.

また、特許文献2のように走査ミラーの両面を用いると、片面あたりの入射系ビームは2色分で済むのでその分色ずれの発生は少なくなるが、それでも影響が無くなる訳ではない。   In addition, when both surfaces of the scanning mirror are used as in Patent Document 2, since the incident system beam for one surface is sufficient for two colors, the occurrence of color shift is reduced by that amount, but the effect is not eliminated.

また、副走査方向の傾け角を狭くすると、入射系の配置ではビームピッチが狭くなるので、ビーム同士が干渉する恐れがある。また、傾け角を狭くしすぎると、ビームピッチが狭すぎて光線分離が困難になる。なお、入射系のビームピッチを狭めるためには、複数発光点を有する半導体レーザを用いる方法もあるが、ビーム分離はさらに困難なものとなる。   Further, if the tilt angle in the sub-scanning direction is narrowed, the beam pitch becomes narrow in the arrangement of the incident system, so that the beams may interfere with each other. On the other hand, if the tilt angle is too narrow, the beam pitch is too narrow and it becomes difficult to separate the light beams. In order to narrow the beam pitch of the incident system, there is a method using a semiconductor laser having a plurality of light emitting points, but the beam separation becomes more difficult.

また、各ビームごとのミラー反射点を副走査方向(振動するミラーの揺動軸方向)にずらすことで入射系の副走査ピッチを広げる方法もあるが、その方法によると、走査に用いるミラーサイズが大きくなってしまう。   Also, there is a method of widening the sub-scanning pitch of the incident system by shifting the mirror reflection point for each beam in the sub-scanning direction (the swinging axis direction of the oscillating mirror). Will become bigger.

ここで、ミラーサイズが大きくなった場合に生じる問題について説明する。   Here, a problem that occurs when the mirror size increases will be described.

ミラーの共振周波数は以下の式で表される。

Figure 2009109551
The resonance frequency of the mirror is expressed by the following equation.
Figure 2009109551

上式において、fは共振周波数、Kはミラーを支持する梁のバネ定数、Iはミラーの慣性モーメントである。ミラーサイズが大きくなると、慣性モーメントIが大きくなるので、上式より共振周波数fが小さくなる。   In the above equation, f is the resonance frequency, K is the spring constant of the beam supporting the mirror, and I is the moment of inertia of the mirror. As the mirror size increases, the moment of inertia I increases, so the resonance frequency f decreases from the above equation.

共振周波数fが小さくなると、画像形成装置の書き込みスピードが遅くなって解像度を下げる等の対応が必要になるので、共振周波数fを元の値に維持するためには、バネ定数Kを上げる必要がある。   When the resonance frequency f is reduced, the writing speed of the image forming apparatus is reduced and it is necessary to take measures such as lowering the resolution. Therefore, in order to maintain the resonance frequency f at the original value, it is necessary to increase the spring constant K. is there.

バネ定数Kを上げるには、走査ミラーを支持するねじりバネの断面積を大きくすればよいが、ねじりバネの断面積を大きくすると、最大ねじれ時にバネにかかる応力が大きくなり、ねじりバネが破断する恐れがある。   The spring constant K can be increased by increasing the cross-sectional area of the torsion spring that supports the scanning mirror. However, if the cross-sectional area of the torsion spring is increased, the stress applied to the spring at the maximum torsion increases and the torsion spring breaks. There is a fear.

従って、最大ねじれ時にバネにかかる応力を上げずにバネ定数を上げるには、ねじりバネを長くすることが考えられるが、ねじりバネを長くすると、光学走査装置が揺動軸方向に大型化してしまうという問題を生じる。   Therefore, in order to increase the spring constant without increasing the stress applied to the spring at the maximum torsion, it is conceivable to lengthen the torsion spring. However, if the torsion spring is lengthened, the optical scanning device becomes larger in the swing axis direction. This causes a problem.

上記で説明したように、揺動軸に対して振動するミラーを1枚備える場合は、入射系を限られたスペースに高精度に位置決めする必要があるので、製造コストの増大を招く(特許文献1、特許文献2)。また、入射系を限られたスペースに配置するために、入射系を主走査方向に傾ける、または副走査方向に傾けるといった方法を採用する場合であっても、画像不良を生じる、及び光学走査装置が大型化するといった問題を生じる。   As described above, in the case of providing one mirror that vibrates with respect to the swing axis, it is necessary to position the incident system with high accuracy in a limited space, resulting in an increase in manufacturing cost (Patent Document) 1, Patent Document 2). Further, in order to arrange the incident system in a limited space, even when a method of tilting the incident system in the main scanning direction or in the sub-scanning direction is employed, an image defect occurs, and the optical scanning device This causes the problem of increasing the size.

これらの現状に鑑みて本発明は、コンパクトな構成で製造コストを低減しつつも、複数のビームを精度よく偏向走査することが可能な光学走査装置及びそれを備える画像形成装置を提供することを目的とする。   In view of these circumstances, the present invention provides an optical scanning apparatus capable of accurately deflecting and scanning a plurality of beams while reducing the manufacturing cost with a compact configuration, and an image forming apparatus including the optical scanning apparatus. Objective.

上記目的を達成するために本発明にあっては、ビームを射出する複数の光源と、前記複数の光源から射出されたビームを偏向する光偏向ユニットと、前記光偏向ユニットにおいて偏向されたビームを該ビームに対応する感光体の表面に結像する複数の結像部材と、を備える光学走査装置において、前記光偏向ユニットは、表面にビームの偏向面が形成される第1の偏向子及び第2の偏向子と、駆動力を受ける駆動子と、前記駆動子を駆動させる駆動手段と、を有し、第1の偏向子、第2の偏向子、及び前記駆動子がねじりバネによって直列に連結されると共に、前記駆動手段が前記駆動子を駆動させることで、第1の偏向子及び第2の偏向子が前記ねじりバネの揺動軸周りに揺動可能に構成されることを特徴とする。   In order to achieve the above object, in the present invention, a plurality of light sources that emit beams, a light deflection unit that deflects the beams emitted from the plurality of light sources, and a beam deflected by the light deflection unit are provided. And a plurality of imaging members that form an image on the surface of the photoconductor corresponding to the beam. The optical deflection unit includes a first deflector having a beam deflection surface formed on the surface, and a first deflector. The first deflector, the second deflector, and the driver are connected in series by a torsion spring. The first deflector and the second deflector are configured to be swingable about a swing shaft of the torsion spring by being connected and driving the driver by the drive means. To do.

また、ビームを射出する複数の光源と、前記複数の光源から射出されたビームを偏向する光偏向ユニットと、前記光偏向ユニットにおいて偏向されたビームを該ビームに対応する感光体の表面に結像する複数の結像部材と、を備える光学走査装置において、前記光偏向ユニットは、表面にビームの偏向面が形成される第1の偏向子、第2の偏向子、第3の偏向子、及び第4の偏向子と、駆動力を受ける駆動子と、前記駆動子を駆動させる駆動手段と、を有し、第1の偏向子、第2の偏向子、第3の偏向子、第4の偏向子、及び前記駆動子がねじりバネによって直列に連結されると共に、前記駆動手段が前記駆動子を駆動させることで、第1の偏向子、第2の偏向子、第3の偏向子、及び第4の偏向子が、前記ねじりバネの揺動軸周りに揺動可能に構成されることを特徴とする。   Also, a plurality of light sources that emit beams, a light deflection unit that deflects the beams emitted from the plurality of light sources, and an image of the beams deflected by the light deflection unit on the surface of the photosensitive member corresponding to the beams An optical scanning device comprising: a plurality of imaging members, wherein the optical deflection unit includes a first deflector, a second deflector, a third deflector having a beam deflection surface formed on a surface thereof; and A first deflector, a second deflector, a third deflector, a fourth deflector, a driver that receives a driving force, and a driving unit that drives the driver. The deflector and the driver are connected in series by a torsion spring, and the driving means drives the driver so that the first deflector, the second deflector, the third deflector, and The fourth deflector can swing around the swing axis of the torsion spring. Characterized in that it is configured to.

また、本発明の画像形成装置にあっては、上記に記載の光学走査装置と、前記光学走査装置から偏向されたビームが表面に結像される複数の感光体と、前記感光体に形成された画像をシート材上に転写する転写手段と、を備えることを特徴とする。   In the image forming apparatus of the present invention, the optical scanning device described above, a plurality of photosensitive members on which a beam deflected from the optical scanning device is imaged, and the photosensitive member are formed. And a transfer means for transferring the transferred image onto the sheet material.

本発明によれば、コンパクトな構成で製造コストを低減しつつも、複数のビームを精度
よく偏向走査することが可能な光学走査装置及びそれを備える画像形成装置を提供することが可能になる。
According to the present invention, it is possible to provide an optical scanning apparatus capable of accurately deflecting and scanning a plurality of beams and an image forming apparatus including the same while reducing the manufacturing cost with a compact configuration.

以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を、実施の形態に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。   The best mode for carrying out the present invention will be exemplarily described in detail below based on the embodiments with reference to the drawings. However, the dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the components described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention only to those unless otherwise specified. Absent.

[第1の実施の形態]
図1〜図6を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る光学走査装置及びそれを備える画像形成装置について説明する。
[First Embodiment]
With reference to FIGS. 1 to 6, an optical scanning device and an image forming apparatus including the same according to a first embodiment of the present invention will be described.

(画像形成装置の全体構成)
まず、本実施の形態に係る画像形成装置の全体構成について説明する。図6に本実施の形態に係る画像形成装置の概略構成を示す。
(Overall configuration of image forming apparatus)
First, the overall configuration of the image forming apparatus according to the present embodiment will be described. FIG. 6 shows a schematic configuration of the image forming apparatus according to the present embodiment.

画像形成を行う際は、画像情報に基づいて各々光変調されたビームLc、Lm、Ly、Lkが光学箱31から射出され、各々対応する感光ドラム(感光体)32c、32m、32y、32kの表面上に照射される。   When image formation is performed, beams Lc, Lm, Ly, and Lk that are light-modulated based on image information are emitted from the optical box 31, and the corresponding photosensitive drums (photoconductors) 32c, 32m, 32y, and 32k are respectively output. Irradiated on the surface.

各々の感光ドラムの表面は、一次帯電器33c、33m、33y、33kによって予め一様に帯電されており、ビームLc、Lm、Ly、Lkが照射されることで、各々の感光ドラムの表面に静電潜像が形成される。   The surface of each photosensitive drum is uniformly charged in advance by primary chargers 33c, 33m, 33y, and 33k, and the surface of each photosensitive drum is irradiated with the beams Lc, Lm, Ly, and Lk. An electrostatic latent image is formed.

感光ドラム32c、32m、32y、32kの表面に形成された静電潜像に対して、現像器34c、34m、34y、34kからシアン、マゼンタ、イエロー、ブラックのトナーが供給され、静電潜像はトナー像として可視像化される。   To the electrostatic latent images formed on the surfaces of the photosensitive drums 32c, 32m, 32y, and 32k, cyan, magenta, yellow, and black toners are supplied from the developing units 34c, 34m, 34y, and 34k, and the electrostatic latent images are supplied. Is visualized as a toner image.

そしてトナー像は、感光ドラム32の回転とともに転写ベルト39上の位置まで搬送される。転写ベルト39(転写手段)は、シート材36を搬送し、各々の感光ドラム32の表面に形成されたトナー像が転写ベルト39上の位置に搬送されるタイミングに合わせて、感光ドラム32と転写ベルト39のニップにシート材36を搬送する。   The toner image is conveyed to a position on the transfer belt 39 as the photosensitive drum 32 rotates. The transfer belt 39 (transfer means) conveys the sheet material 36 and transfers the toner image formed on the surface of each photosensitive drum 32 to the photosensitive drum 32 in accordance with the timing at which the toner image is conveyed to a position on the transfer belt 39. The sheet material 36 is conveyed to the nip of the belt 39.

その結果、シート材36上には、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックのトナー像が順に重ね合わされて転写され、シート材上に所望のカラー画像が形成される。なお、転写ベルト39を駆動する駆動ローラ40は、転写ベルト39の送りを精度よく行うために、回転ムラの小さな駆動モータ(不図示)に接続される。   As a result, cyan, magenta, yellow, and black toner images are sequentially superimposed and transferred onto the sheet material 36 to form a desired color image on the sheet material. Note that the drive roller 40 that drives the transfer belt 39 is connected to a drive motor (not shown) with small rotation unevenness in order to feed the transfer belt 39 with high accuracy.

シート材36上に形成されたカラー画像は、定着器37によって熱定着された後、排出ローラ38によって搬送されて画像形成装置の外部に出力される。   The color image formed on the sheet material 36 is heat-fixed by a fixing device 37 and then conveyed by a discharge roller 38 to be output to the outside of the image forming apparatus.

(光学走査装置の全体構成)
図5を参照して、本実施の形態に係る光学走査装置の全体構成について説明を行う。図5は、本実施の形態に係る光学走査装置の全体構成を示す斜視図である。
(Overall configuration of optical scanning device)
With reference to FIG. 5, the overall configuration of the optical scanning device according to the present embodiment will be described. FIG. 5 is a perspective view showing the overall configuration of the optical scanning device according to the present embodiment.

図5に示すように本実施の形態に係る光学走査装置は、ビームを射出する複数の半導体レーザ41c、41m、41y、41kと、射出されたビームを偏向走査する光偏向ユニット1を備える。また、偏向走査されたビームを透過するfθレンズ44cm、44ykと、ビームを反射する第1〜第3反射ミラーを備える。なお、fθレンズ、第1〜第3反
射ミラーは、感光ドラムの表面にビームを結像する結像部材として設けられるものである。そして、これらの結像部材と光偏向ユニット1は、不図示の光学箱に一体に収容される。
As shown in FIG. 5, the optical scanning device according to the present embodiment includes a plurality of semiconductor lasers 41c, 41m, 41y, and 41k that emit beams, and an optical deflection unit 1 that deflects and scans the emitted beams. In addition, fθ lenses 44 cm and 44 yk that transmit the deflection-scanned beam and first to third reflection mirrors that reflect the beam are provided. The fθ lens and the first to third reflection mirrors are provided as an imaging member that forms an image of the beam on the surface of the photosensitive drum. And these image formation member and the light deflection unit 1 are accommodated integrally in an optical box (not shown).

上記構成によって、各々のビームに対応して設けられる感光ドラム32c、32m、32y、32kの表面にビームを結像する際は、まず、画像情報に基づいて半導体レーザ(光源)41c、41m、41y、41kからビームが射出される。   With the above configuration, when a beam is imaged on the surface of the photosensitive drums 32c, 32m, 32y, and 32k provided corresponding to each beam, first, the semiconductor lasers (light sources) 41c, 41m, and 41y are based on the image information. , 41k.

射出された計4本のビームは、光偏向ユニット1によって2本ずつ互いに異なる方向へ偏向走査される。偏向走査されたビームはそれぞれfθレンズ44cm、44ykを透過する。   A total of four emitted beams are deflected and scanned by the optical deflection unit 1 in two different directions. The deflected and scanned beams pass through the fθ lenses 44 cm and 44 yk, respectively.

例えば、fθレンズ44cmを透過した2本のビームのうち、半導体レーザ41cから射出されたビームは、第1反射ミラー45cで反射され、ビームLcして感光ドラム32c上に結像する。   For example, out of the two beams transmitted through the fθ lens 44 cm, the beam emitted from the semiconductor laser 41 c is reflected by the first reflecting mirror 45 c and forms an image on the photosensitive drum 32 c as a beam Lc.

一方で、半導体レーザ41mから射出されたビームは、第2反射ミラー46m、第3反射ミラー47mで順次反射され、ビームLmとなって感光ドラム32m上に結像する。   On the other hand, the beam emitted from the semiconductor laser 41m is sequentially reflected by the second reflecting mirror 46m and the third reflecting mirror 47m, and forms an image on the photosensitive drum 32m as a beam Lm.

同様に、fθレンズ44ykを透過した2本のビームのうち、半導体レーザ41kから射出されたビームは、第1反射ミラー45kで反射され、ビームLkして感光ドラム32k上に結像する。   Similarly, of the two beams transmitted through the fθ lens 44yk, the beam emitted from the semiconductor laser 41k is reflected by the first reflecting mirror 45k and forms an image on the photosensitive drum 32k as a beam Lk.

また、半導体レーザ41yから射出されたビームは、第2反射ミラー46y、第3反射ミラー47yで順次反射され、ビームLyとして感光ドラム32y上に結像する。   The beam emitted from the semiconductor laser 41y is sequentially reflected by the second reflecting mirror 46y and the third reflecting mirror 47y, and forms an image on the photosensitive drum 32y as a beam Ly.

これら4本のビームが、半導体レーザ41から射出されてから感光ドラム32上に結像するまでのプロセスについてさらに詳細に説明する。   The process from when these four beams are emitted from the semiconductor laser 41 until the image is formed on the photosensitive drum 32 will be described in more detail.

半導体レーザ41c、41m、41y、41kから射出されたビームは、コリメータレンズ42c、42m、42y、42kによって平行光(コリメート光)化される。これらコリメート光は、シリンドリカルレンズ43c、43m、43y、43kを透過して、光偏向ユニット1へ入射する。   Beams emitted from the semiconductor lasers 41c, 41m, 41y, and 41k are converted into parallel light (collimated light) by the collimator lenses 42c, 42m, 42y, and 42k. The collimated light passes through the cylindrical lenses 43c, 43m, 43y, and 43k and enters the light deflection unit 1.

光偏向ユニット1の構成は後述するが、本実施の形態における光偏向ユニット1は、中空形状のプレート部材2に、3つの可動子がねじりバネを介して揺動可能に設けられ、そのうち2つの可動子が、偏向子としてビームを偏向する役割を担うように構成される。以下、ビームを偏向する可動子を偏向子と称して説明を行う。   The configuration of the optical deflection unit 1 will be described later. In the optical deflection unit 1 according to the present embodiment, three movable elements are swingably provided on a hollow plate member 2 via a torsion spring. The mover is configured to play a role of deflecting the beam as a deflector. In the following description, the movable element that deflects the beam is referred to as a deflector.

光偏向ユニット1に設けられる偏向子にビームが入射すると、偏向子上の偏向面では、入射したビームが副走査方向に圧縮されて結像し、線像となる。なお、本実施の形態においては、偏向子の表裏の両面に偏向面が形成される構成である。   When a beam is incident on a deflector provided in the optical deflection unit 1, the incident beam is compressed in the sub-scanning direction on the deflecting surface on the deflector to form a line image. In the present embodiment, the deflecting surfaces are formed on both the front and back surfaces of the deflector.

また、これらの偏向子の表裏の偏向面と、各々の偏向面に対応する感光ドラム32c、32m、32y、32kの表面上は、副走査方向では互いに共役関係となるように構成されている。よって、偏向面の倒れ誤差に起因する感光ドラム32の表面上での副走査方向ビーム位置ズレ、所謂面倒れを低減することが可能である。   The deflection surfaces on the front and back sides of these deflectors and the surfaces of the photosensitive drums 32c, 32m, 32y, and 32k corresponding to the respective deflection surfaces are configured so as to be conjugate with each other in the sub-scanning direction. Therefore, it is possible to reduce the so-called surface tilt in the sub-scanning direction beam position on the surface of the photosensitive drum 32 due to the deflection surface tilt error.

また、半導体レーザ41から射出される4本のビームは、各々対応する感光ドラム32c、32m、32y、32k上に、最適に絞り込こまれたビームとして走査されるように
、fθレンズ44cm、44ykにより調整される。
Also, the four beams emitted from the semiconductor laser 41 are scanned as optimally narrowed beams on the corresponding photosensitive drums 32c, 32m, 32y, and 32k, respectively, so that the fθ lenses 44cm and 44yk are scanned. It is adjusted by.

さらに、本実施の形態では、一方の偏向子で偏向されるビームをBDセンサ48m、48yにより光検知可能な構成とした。この構成によれば、BDセンサ48m、48yからの出力信号を基準に走査回毎の書き込み信号を同期させ、ビームの書き込み位置ずれを防止することが可能になる。   Further, in the present embodiment, the beam deflected by one of the deflectors is configured to be able to be detected by the BD sensors 48m and 48y. According to this configuration, it is possible to synchronize the writing signal for each scanning time based on the output signals from the BD sensors 48m and 48y, and to prevent the writing position deviation of the beam.

なお、BDセンサ48m、48yは光学走査装置の両端に備えられており、ビームの入射タイミングを利用して、偏向子の走査振幅や走査周期等を制御するために用いられている。   The BD sensors 48m and 48y are provided at both ends of the optical scanning device, and are used to control the scanning amplitude, the scanning cycle, and the like of the deflector using the beam incident timing.

(光偏向ユニットの構成)
図1〜図4を参照して、本実施の形態に係る光学走査装置に備えられる光偏向ユニット1の構成、及びその作用について説明を行う。
(Configuration of light deflection unit)
With reference to FIGS. 1-4, the structure of the optical deflection | deviation unit 1 with which the optical scanning device based on this Embodiment is equipped, and its effect | action are demonstrated.

図3は、光偏向ユニット1の全体構成を示す斜視図である。図3(a)は、表側から見た様子であり、図3(b)は、裏側から見た様子を示すものである。また、図4は、光偏向ユニット1の分解斜視図である。図4(a)は、表側から見た様子であり、図4(b)は、裏側から見た様子を示すものである。   FIG. 3 is a perspective view showing the overall configuration of the light deflection unit 1. FIG. 3A shows a state seen from the front side, and FIG. 3B shows a state seen from the back side. FIG. 4 is an exploded perspective view of the light deflection unit 1. FIG. 4A shows a state seen from the front side, and FIG. 4B shows a state seen from the back side.

図3、図4に示すように、3つの可動子を揺動可能に連結するねじりバネの端部は、ねじりバネを取り囲むプレート部材2の内周側に保持される。さらに、プレート部材2と、可動子を駆動するアクチュエータ9(駆動手段)は、ホルダ8(保持部材)に一体に保持される。   As shown in FIGS. 3 and 4, the end of the torsion spring that connects the three movers so as to be swingable is held on the inner peripheral side of the plate member 2 surrounding the torsion spring. Furthermore, the plate member 2 and the actuator 9 (driving means) for driving the mover are integrally held by the holder 8 (holding member).

これらを具備した光偏向ユニット1は、ビス穴12を介して光学箱31(図6)にビス固定される。また、図3に示すように、背面側から照射されるビームL2u、L2dは、ホルダ8に設けられた開口部13u、13dを介してプレート部材2に入射し、偏向走査される。   The light deflection unit 1 having these components is screw-fixed to the optical box 31 (FIG. 6) through the screw holes 12. Further, as shown in FIG. 3, beams L2u and L2d irradiated from the back side are incident on the plate member 2 through openings 13u and 13d provided in the holder 8, and are deflected and scanned.

また、図4に示すように、光偏向ユニット1のアクチュエータ9には、鉄心(コア)10に巻線(コイル)11を周回させたものが用いられる。アクチュエータ9は、ホルダ8に設けられた凹部14に挿入され、鉄心(コア)10の後端をホルダ8の挿入口15に圧入することでホルダ8に強固に固定されている。このようにしてアクチュエータ9を組み付けた後、プレート部材2が表側から組み付けられる。   As shown in FIG. 4, the actuator 9 of the light deflection unit 1 uses an iron core (core) 10 around a winding (coil) 11. The actuator 9 is inserted into a recess 14 provided in the holder 8, and is firmly fixed to the holder 8 by press-fitting the rear end of the iron core (core) 10 into the insertion port 15 of the holder 8. After the actuator 9 is assembled in this way, the plate member 2 is assembled from the front side.

また、プレート部材2に設けられる可動子のうちの1つは、巻線(コイル)11に通電すること駆動される。プレート部材2の構成については後述するが、プレート部材2には、ねじりバネによって直列に連結される可動子のうちの1つに、永久磁石7が設けられ、この可動子が、ねじりバネの揺動軸O周りに他の可動子を揺動させる駆動子として用いられる。以下、アクチュエータ9から駆動力を受け、他の可動子をねじりバネの揺動軸周りに揺動させる可動子を、駆動子と称して説明する。   One of the movers provided on the plate member 2 is driven by energizing the winding (coil) 11. Although the configuration of the plate member 2 will be described later, the plate member 2 is provided with a permanent magnet 7 in one of the movers connected in series by a torsion spring, and this mover is used to swing the torsion spring. It is used as a driver that swings another mover around the moving axis O. Hereinafter, the mover that receives the driving force from the actuator 9 and causes the other mover to swing around the swing axis of the torsion spring will be referred to as a driver.

巻線(コイル)11が通電されると、巻線(コイル)11と永久磁石(マグネット)7との間にローレンツ力が生じて駆動子を揺動させるトルクが働き、それに伴い、ねじりバネに直列に連結する偏向子が揺動する。   When the winding (coil) 11 is energized, a Lorentz force is generated between the winding (coil) 11 and the permanent magnet (magnet) 7 to act as a torque for swinging the driver, and accordingly, the torsion spring The deflector connected in series swings.

また、巻線(コイル)11が通電される電流を変調させることにより、駆動子及び偏向子を、ねじりバネの揺動軸周りに共振振動させることが可能になる。これにより、2つの偏向子が、光偏向ユニット1に入射されるビームを偏向走査することが可能になる。   Further, by modulating the current applied to the winding (coil) 11, it is possible to cause the driver and the deflector to oscillate around the oscillation axis of the torsion spring. Thus, the two deflectors can deflect and scan the beam incident on the optical deflection unit 1.

また、2つの偏向子の間に駆動子を配置することで、2つの偏向子はアクチュエータ9のサイズ以上に離間された距離に配置されており、アクチュエータ9が、偏向子によって偏向されたビームを遮光する可能性は低い。   Further, by arranging a driver element between the two deflectors, the two deflectors are arranged at a distance that is more than the size of the actuator 9, and the actuator 9 transmits the beam deflected by the deflector. The possibility of shading is low.

次に、図1を参照して、1つの駆動子と2つの偏向子を備えるプレート部材2の構成について説明する。図1は、本実施の形態におけるプレート部材の全体構成を示す斜視図である。   Next, the configuration of the plate member 2 including one driver and two deflectors will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of the plate member in the present embodiment.

プレート部材2は、Si単結晶のウェハをエッチング加工して製作される。上記でも説明したように、プレート部材2には偏向子3u、3dと駆動子4が備えられ、これらが、ねじりバネ6u、5u、5d、6dによって直列に連結される。   The plate member 2 is manufactured by etching a Si single crystal wafer. As described above, the plate member 2 includes the deflectors 3u and 3d and the driver 4, which are connected in series by the torsion springs 6u, 5u, 5d, and 6d.

また、駆動子4には、棒状の永久磁石(マグネット)7が一体に固定され、偏向子3u、3dには、表裏の両面にアルミ等が蒸着される。ここで、3uを第1の偏向子、3dを第2の偏向子と称して説明を行う。   Further, a rod-like permanent magnet (magnet) 7 is integrally fixed to the driver 4, and aluminum or the like is vapor-deposited on both the front and back surfaces of the deflectors 3u and 3d. Here, 3u is referred to as a first deflector, and 3d is referred to as a second deflector.

アルミ等が蒸着された表面は、ビームを反射するのに好適な偏向面となる。図1に示すように、ビームL1u、L2uは第1の偏向子3uで偏向され、ビームL1d、L2dは第2の偏向子3dで偏向される。   The surface on which aluminum or the like is deposited is a deflection surface suitable for reflecting the beam. As shown in FIG. 1, the beams L1u and L2u are deflected by the first deflector 3u, and the beams L1d and L2d are deflected by the second deflector 3d.

そして、第1の偏向子3u、第2の偏向子3dは、駆動子4がアクチュエータ9から駆動力を受けることで、揺動軸O周りに、ねじりバネ6u、5u、5d、6dによってねじり振動してビームを偏向走査する。   The first deflector 3u and the second deflector 3d are torsionally vibrated by the torsion springs 6u, 5u, 5d, and 6d around the swing axis O when the driver 4 receives a driving force from the actuator 9. Then, the beam is deflected and scanned.

図2を参照して、本実施の形態における第1の偏向子3u、第2の偏向子3dの挙動について説明する。図2は、縦軸を偏向子の振幅角度θ、横軸を時間tとした場合の、可動子(偏向子)3u、3dの挙動の経時変化を示すものである。   With reference to FIG. 2, the behavior of the first deflector 3u and the second deflector 3d in the present embodiment will be described. FIG. 2 shows changes with time in the behavior of the movable elements (deflectors) 3u and 3d, where the vertical axis represents the amplitude angle θ of the deflector and the horizontal axis represents time t.

光偏向ユニット1は、プレート部材2が有する複数の固有振動数(基本周波数ωと、基本周波数の2倍の周波数2ω)を重ね合わせた振動数で駆動される。すなわち、ビームの偏向に用いられる2つの可動子の挙動は以下の式で表される。なお、図2ではφ=0、A=0としている。 The optical deflection unit 1 is driven at a frequency obtained by superimposing a plurality of natural frequencies (a fundamental frequency ω and a frequency 2ω that is twice the fundamental frequency) of the plate member 2. That is, the behavior of the two movers used for beam deflection is expressed by the following equation. In FIG. 2, φ = 0 and A 3 = 0.

θ(t)=Asin(ωt)+Asin(2ωt+φ)+A
:基本周波数(基本波)における振幅
:基本周波数の2倍の周波数(倍波)における振幅
ω:基本周波数
φ:基本波と倍波の位相差
:静的な角度誤差、例えば第1の偏向子3u、第2の偏向子3d、駆動子4が静止状態の時の姿勢の、設計値からの誤差分
θ (t) = A 1 sin (ωt) + A 2 sin (2ωt + φ) + A 3
A 1 : Amplitude at the fundamental frequency (fundamental wave) A 2 : Amplitude at a frequency (double wave) twice the fundamental frequency ω: Fundamental frequency φ: Phase difference between the fundamental wave and the harmonic A 3 : Static angular error, For example, when the first deflector 3u, the second deflector 3d, and the driver 4 are in a stationary state, the amount of error from the design value is determined.

上式によれば、第1の偏向子3u、第2の偏向子3d、駆動子4の挙動が、基本周波数で同位相で振れるモードと、基本周波数の2倍の周波数での逆位相で振れるモードと、を重ね合わせることで得られることを示している。   According to the above equation, the behaviors of the first deflector 3u, the second deflector 3d, and the driver 4 are swung in the same phase at the fundamental frequency and in the opposite phase at twice the fundamental frequency. It can be obtained by superimposing the mode.

また、各パラメータを適切に設定することにより、1周期内のある特定の範囲において、θ(t)≒kt+α(K、α:定数)、と近似することが可能である。   Further, by appropriately setting each parameter, it is possible to approximate θ (t) ≈kt + α (K, α: constant) in a specific range within one cycle.

この範囲では、略等角速度(dθ/dt=k)で第1の偏向子3u、第2の偏向子3d
が揺動することになり、図1におけるビームL1u、L1d、L2u、L2dはそれぞれある時間範囲で略等角速度で偏向走査されることになる。
In this range, the first deflector 3u and the second deflector 3d have substantially equal angular velocities (dθ / dt = k).
1 oscillates, and the beams L1u, L1d, L2u, and L2d in FIG. 1 are deflected and scanned at a substantially constant angular velocity within a certain time range.

また、プレート部材2は、揺動軸O方向に対し対称な形状となっており、駆動子4の中央が対称軸となった構成となっている。これにより上下の第1の偏向子3u、第2の偏向子3dは揺動軸O周りに同じ挙動を示す。   Further, the plate member 2 has a symmetrical shape with respect to the swing axis O direction, and has a configuration in which the center of the driver element 4 is a symmetrical axis. Accordingly, the upper and lower first deflectors 3u and the second deflector 3d exhibit the same behavior around the swing axis O.

以上より、本実施の形態に係る光学走査装置は、偏向子を2枚有し、これらが駆動子4を挟んで揺動軸O方向に離間して配置されているので、ミラー面サイズを大きくしなくても揺動軸O方向に各ビームの反射点をずらして配置することが可能になる。   As described above, the optical scanning device according to the present embodiment has two deflectors, and these are arranged apart from each other in the direction of the swing axis O with the driver 4 interposed therebetween, so the mirror surface size is increased. Even if not, the reflection point of each beam can be shifted in the swing axis O direction.

これにより、入射系ピッチを広げて配置することが可能になりながら、ミラーサイズ、すなわち偏向子の大きさを必要以上に大きくする必要がない。よって、ねじりバネも必要最小限の長さですみ、光学走査装置全体が揺動軸O方向に必要以上厚くることを抑制することが出来る。   As a result, it is possible to dispose the incident system with a wider pitch, but it is not necessary to increase the mirror size, that is, the size of the deflector more than necessary. Therefore, the torsion spring also has a minimum necessary length, and the entire optical scanning device can be prevented from becoming thicker than necessary in the swing axis O direction.

また、入射系を副走査方向に傾ければ、さらに各入射系間のピッチを離して配置することができるので、プレート部材2のサイズをより小さくすることができる。この時、入射系の副走査方向の傾け角は、必要最小限にとどめることが可能になり、結像性能への影響最小にとどめることができる。   Further, if the incident system is tilted in the sub-scanning direction, the pitch between the incident systems can be further increased, so that the size of the plate member 2 can be further reduced. At this time, the tilt angle of the incident system in the sub-scanning direction can be kept to the minimum necessary, and the influence on the imaging performance can be kept to the minimum.

また、プレート部材2は1枚のウェハから製作されるので、複数の可動子3u、4、3d、複数のねじりバネ6u、5u、5d、6dのそれぞれの間で、同じ半導体プロセスを実行することになり、ウェハばらつきやプロセスばらつきによる形状誤差等が少ない。   Further, since the plate member 2 is manufactured from one wafer, the same semiconductor process is executed between each of the plurality of movable elements 3u, 4, 3d and the plurality of torsion springs 6u, 5u, 5d, 6d. Therefore, there are few shape errors due to wafer variations and process variations.

また、プレート部材2は揺動軸O方向に対称な形状となっており、第1の偏向子3u、第2の偏向子3dが同じ挙動をするので、走査されるビームの挙動を揃えることが可能である。その結果、画像形成装置における印刷画質も各ビームで揃えることが可能になる。   Further, the plate member 2 has a symmetrical shape in the direction of the swing axis O, and the first deflector 3u and the second deflector 3d behave in the same manner, so that the behavior of the scanned beam can be made uniform. Is possible. As a result, the print image quality in the image forming apparatus can be made uniform for each beam.

また、第1の偏向子3u、第2の偏向子3dは、その振動周期の一部で等角速度駆動になるので、その部分を用いて光書き込みを行うと、従来の回転多面鏡を用いて走査偏向する光学走査装置と略同じ光学系を用いることができる。   In addition, since the first deflector 3u and the second deflector 3d are driven at a constant angular velocity during a part of the vibration period, when optical writing is performed using the part, a conventional rotary polygon mirror is used. It is possible to use substantially the same optical system as the optical scanning device that performs scanning deflection.

また、正弦波駆動の場合には、走査レンズ44はf・arcsinθレンズ等を用いて等速化する必要があるが、完全に等速にすると画像の両端で主走査方向スポットが肥大するといった問題が生じる。その対策として、等速性を画像クロックで補う等の構成が必要になるが、本実施の形態のように等角速度駆動の場合には、それらを考慮してなくて済む。   In the case of sine wave drive, the scanning lens 44 needs to have a constant velocity using an f · arcsin θ lens or the like. However, if the velocity is completely uniform, the main scanning direction spot is enlarged at both ends of the image. Occurs. As a countermeasure, it is necessary to have a configuration in which the constant speed is compensated by an image clock. However, in the case of constant angular velocity driving as in this embodiment, it is not necessary to consider them.

さらに、第1の偏向子3u、第2の偏向子3dは、アクチュエータ9のサイズ以上に離間しているので、アクチュエータ9がビームを遮る可能性は低い。また、ビームが走査される部位にホルダ8は開口を有するので、ホルダ8による遮光やビームのケラレも回避できる。   Furthermore, since the first deflector 3u and the second deflector 3d are separated from each other by the size of the actuator 9 or less, the possibility that the actuator 9 blocks the beam is low. Further, since the holder 8 has an opening at the site where the beam is scanned, light shielding by the holder 8 and vignetting of the beam can be avoided.

従って、本実施の形態によれば、コンパクトな構成で製造コストを低減しつつも、複数のビームを精度よく偏向走査することが可能な光学走査装置及びそれを備える画像形成装置を提供することが可能になる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to provide an optical scanning apparatus capable of accurately deflecting and scanning a plurality of beams while reducing the manufacturing cost with a compact configuration, and an image forming apparatus including the optical scanning apparatus. It becomes possible.

[第2の実施の形態]
図7を参照して、本発明の第2の実施の形態に係る光学走査装置及びそれを備える画像
形成装置について説明する。図7は、本実施の形態に係るプレート部材の全体構成を示す斜視図である。なお、本実施の形態は、上記第1の実施の形態と比較して、プレート部材2の構成が異なるものである。その他の構成は、第1の実施の形態と何ら異なるものではないので、ここでは説明を省略する。
[Second Embodiment]
With reference to FIG. 7, an optical scanning device and an image forming apparatus including the same according to a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 7 is a perspective view showing the overall configuration of the plate member according to the present embodiment. In addition, this Embodiment differs in the structure of the plate member 2 compared with the said 1st Embodiment. Since other configurations are not different from those of the first embodiment, description thereof is omitted here.

図7に示すように、本実施の形態におけるプレート部材2は、第1の偏向子3u、第2の偏向子3d、駆動子4のそれぞれの間に、別な可動子(ダミー)16u、16dを介在させる点にある。なお、可動子16u、16dは、ビームの偏向を行わず、かつアクチュエータ9から駆動力を受けることもない。また、これらの可動子16u、16dも、第1の偏向子3u、第2の偏向子3d、駆動子4と同様にねじりバネ17u、5u、5d、17uに直列に連結されている。   As shown in FIG. 7, the plate member 2 in the present embodiment includes separate movers (dummy) 16 u and 16 d between the first deflector 3 u, the second deflector 3 d, and the driver 4. The point is to intervene. The movers 16u and 16d do not deflect the beam and do not receive a driving force from the actuator 9. The movable elements 16u and 16d are also connected in series to the torsion springs 17u, 5u, 5d, and 17u in the same manner as the first deflector 3u, the second deflector 3d, and the driver 4.

第1の実施の形態では、偏向子を2つ、駆動子を1つ設ける場合について説明したが、さらに、少なくとも1つ以上の可動子を加える構成であっても、上記で説明した効果と同様の効果を得ることが可能である。   In the first embodiment, the case where two deflectors and one drive element are provided has been described. However, even in a configuration in which at least one movable element is added, the same effect as described above is obtained. It is possible to obtain the effect.

このように、ダミーの可動子を少なくとも1つ加えることで、偏向子を、さらに異なる複数の固有振動数の重ね合わせによって揺動させることが可能になり、より等角速度性の増した駆動やレンズ特性の補正が可能な駆動等、付加価値の高い駆動特性を期待できる。   Thus, by adding at least one dummy mover, it becomes possible to oscillate the deflector by superimposing a plurality of different natural frequencies. High-value-added driving characteristics such as driving capable of correcting characteristics can be expected.

[第3の実施の形態]
図8を参照して、本発明の第3の実施の形態に係る光学走査装置及びそれを備える画像形成装置について説明する。図8は、本実施の形態に係るプレート部材の全体構成を示す斜視図である。なお、本実施の形態は、上記第1の実施の形態と比較して、プレート部材2の構成が異なるものである。その他の構成は、第1の実施の形態と何ら異なるものではないので、ここでは説明を省略する。
[Third Embodiment]
With reference to FIG. 8, an optical scanning device and an image forming apparatus including the same according to a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 8 is a perspective view showing the overall configuration of the plate member according to the present embodiment. In addition, this Embodiment differs in the structure of the plate member 2 compared with the said 1st Embodiment. Since other configurations are not different from those of the first embodiment, description thereof is omitted here.

図8に示すように、本実施の形態におけるプレート部材2は、第1の偏向子3u、第2の偏向子3d、駆動子4を片支持とする点が特徴である。また、上記第1の実施の形態におけるプレート部材2の構成と異なり、第1の偏向子3uが、ねじりバネ5u1つで連結されている。   As shown in FIG. 8, the plate member 2 according to the present embodiment is characterized in that the first deflector 3u, the second deflector 3d, and the driver 4 are supported as one side. Also, unlike the configuration of the plate member 2 in the first embodiment, the first deflector 3u is connected by one torsion spring 5u.

第1の実施の形態では、各偏向子、駆動子がねじりバネによってプレート部材2の両端に連結される両支持構成とした。しかし、例えば第1の偏向子3u、第2の偏向子3dいずれか1つが、ねじりバネでプレート部材2に連結された片支持の構成であっても、上記第1の実施の形態で説明した効果と同様の効果を得ることが可能である。 In the first embodiment, each deflector and driver are both supported by being connected to both ends of the plate member 2 by a torsion spring. However, even if, for example, one of the first deflector 3u and the second deflector 3d is a single-supported structure connected to the plate member 2 by a torsion spring, it has been described in the first embodiment. It is possible to obtain an effect similar to the effect.

[第4の実施の形態]
図9を参照して、本発明の第4の実施の形態に係る光学走査装置及びそれを備える画像形成装置について説明する。図9は、本実施の形態に係るプレート部材の全体構成を示す斜視図である。なお、本実施の形態は、上記第1の実施の形態と比較して、プレート部材2の構成が異なるものである。その他の構成は、第1の実施の形態と何ら異なるものではないので、ここでは説明を省略する。
[Fourth Embodiment]
With reference to FIG. 9, an optical scanning device and an image forming apparatus including the same according to a fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 9 is a perspective view showing the overall configuration of the plate member according to the present embodiment. In addition, this Embodiment differs in the structure of the plate member 2 compared with the said 1st Embodiment. Since other configurations are not different from those of the first embodiment, description thereof is omitted here.

図9に示すように、本実施の形態におけるプレート部材2は、第2の偏向子3dと駆動子4とが、ねじりバネを介さずに一体に設けられ、1つの可動子として構成されることが特徴である。この構成であっても、第1の偏向子3u、偏向子第2の偏向子3dは、揺動軸O周りに揺動することは可能である。   As shown in FIG. 9, the plate member 2 in the present embodiment is configured such that the second deflector 3 d and the driver 4 are integrally provided without a torsion spring, and are configured as one movable element. Is a feature. Even with this configuration, the first deflector 3u and the second deflector 3d can swing around the swing axis O.

この構成によれば、用いられるねじりバネの数を2本にすることが出来る。このように
、ねじりバネの数が2本であっても、上記第1の実施の形態で説明した効果と同様の効果を得ることが可能である。
According to this configuration, the number of torsion springs used can be two. Thus, even when the number of torsion springs is two, it is possible to obtain the same effect as the effect described in the first embodiment.

本実施の形態のように、プレート部材2に設けられる可動子は2つであってもよい。これら2つの可動子の振幅が揃わない場合には、それぞれ光路長が異なってしまうことが考えられる。しかし、感光ドラム32c、32m、32y、32kのうち、32cと32k、32mと32y、では同じ光路長をキープできるので、プレート部材2に対する光学走査系の配置は変更する必要がない。   As in the present embodiment, the number of movers provided on the plate member 2 may be two. If the amplitudes of these two movers are not uniform, the optical path lengths may be different from each other. However, among the photosensitive drums 32c, 32m, 32y, and 32k, the same optical path length can be maintained in 32c and 32k, and 32m and 32y. Therefore, it is not necessary to change the arrangement of the optical scanning system with respect to the plate member 2.

そこで、走査レンズ44cm、44ykは上下の第1の偏向子3u、第2の偏向子3dの各々で別体とし、別々な形状として、光路長は反射ミラー等で揃えるようにすればよい。   Therefore, the scanning lenses 44 cm and 44 yk may be separated from each of the upper and lower first deflectors 3 u and the second deflector 3 d, and may have different shapes, and the optical path lengths may be aligned by a reflection mirror or the like.

[第5の実施の形態]
図10、図11を参照して、本発明の第5の実施の形態に係る光学走査装置及びそれを備える画像形成装置について説明する。図10は、本実施の形態に係るプレート部材の全体構成を示す斜視図である。また、図11は、本実施の形態に係る光学走査装置の全体構成を示す斜視図である。なお、本実施の形態は、上記第1の実施の形態と比較して、プレート部材2の構成、及び光学走査装置の全体構成が異なるものである。その他の構成は、第1の実施の形態と何ら異なるものではないので、ここでは説明を省略する。
[Fifth Embodiment]
With reference to FIGS. 10 and 11, an optical scanning device and an image forming apparatus including the same according to a fifth embodiment of the present invention will be described. FIG. 10 is a perspective view showing the overall configuration of the plate member according to the present embodiment. FIG. 11 is a perspective view showing the overall configuration of the optical scanning device according to the present embodiment. In the present embodiment, the configuration of the plate member 2 and the overall configuration of the optical scanning device are different from those of the first embodiment. Since other configurations are not different from those of the first embodiment, description thereof is omitted here.

図10に示すように、本実施の形態におけるプレート部材2は、7つの可動子3c、3m、3y、3k、4、16u、16dを有し、そのうち可動子3c、3m、3y、3kを第1〜第4の偏向子として用いることが特徴である。なお、可動子16u、16dは偏向面を備えていないダミー可動子である。   As shown in FIG. 10, the plate member 2 in the present embodiment has seven movers 3c, 3m, 3y, 3k, 4, 16u, and 16d, of which the movers 3c, 3m, 3y, and 3k are the first. It is characterized by being used as first to fourth deflectors. The movers 16u and 16d are dummy movers not provided with a deflection surface.

また、これらの偏向子を共振駆動させるものとして駆動子4が設けられ、不図示のアクチュエータ9と対になって、第1〜第4の偏向子3c、3m、3y、3k、ダミーの可動子16u、16dを共振駆動させる。   In addition, a driver 4 is provided to resonately drive these deflectors, and is paired with an actuator 9 (not shown) to provide first to fourth deflectors 3c, 3m, 3y, 3k, dummy movers. 16u and 16d are driven to resonate.

この構成によると、第1〜第4の偏向子3c、3m、3y、3kによって、ビームは二点鎖線Lc、Lm、Ly、Lkで示すように偏向走査される。   According to this configuration, the beam is deflected and scanned by the first to fourth deflectors 3c, 3m, 3y, and 3k as indicated by two-dot chain lines Lc, Lm, Ly, and Lk.

また、図11に示すように、上記プレート部材2は光偏向ユニット1に備えられる。さらに、本実施の形態に係る光学走査装置は、半導体レーザ41c、41m、41y、41kから射出されるビームを、プレート部材2の片側面だけに入射する。その後、1枚の走査レンズ44を透過した後、各々に対応した感光ドラム32c、32m、32y、32kに導光する構成である。   Further, as shown in FIG. 11, the plate member 2 is provided in the light deflection unit 1. Further, in the optical scanning device according to the present embodiment, the beams emitted from the semiconductor lasers 41 c, 41 m, 41 y, and 41 k are incident on only one side surface of the plate member 2. Thereafter, after passing through one scanning lens 44, the light is guided to the corresponding photosensitive drums 32c, 32m, 32y, and 32k.

このような構成であっても、上記第1の実施の形態で説明した効果と同様の効果を得ることが可能である。   Even with such a configuration, it is possible to obtain the same effects as those described in the first embodiment.

さらに、本実施の形態に係る光学走査装置によれば、プレート部材2の片面だけを用いているので、表裏の差が偏向性能に影響することがない。例えば、偏向子3c、3m、3y、3kの偏向面には、非常に高精度な平面性を求められる。しかし、半導体プロセス上、ウェハには反り等の変形が発生しやすく、この変形によって感光ドラム32c、32m、32y、32k上ではスポット形状が崩れたりするなどの画像不良が生じる恐れがある。   Furthermore, according to the optical scanning device according to the present embodiment, since only one side of the plate member 2 is used, the difference between the front and back sides does not affect the deflection performance. For example, very high-precision flatness is required for the deflection surfaces of the deflectors 3c, 3m, 3y, and 3k. However, in the semiconductor process, the wafer is likely to be deformed such as warpage, and this deformation may cause image defects such as the spot shape being broken on the photosensitive drums 32c, 32m, 32y, and 32k.

もし、プレート部材2の表裏の両面を用いて偏向走査を行う場合は、表面と裏面で反り
の方向が逆になってしまうので、その差分が偏向性能に影響を及ぼす可能性がある。
If deflection scanning is performed using both the front and back surfaces of the plate member 2, the direction of warping is reversed between the front surface and the back surface, so that the difference may affect the deflection performance.

しかし、本実施の形態におけるプレート部材2は、片面のみを用いて偏向走査を行うだけなので、反りの方向が揃うことになる。よって、走査レンズ44で補正する等で対応することができる。   However, since the plate member 2 in the present embodiment only performs deflection scanning using only one side, the directions of warpage are aligned. Therefore, it can be dealt with by correcting with the scanning lens 44.

このように第1〜第4の偏向子3c、3m、3y、3kの反りの方向が揃うことによって、結像性能が各色ともに揃い、ひいては印刷画質が向上する効果を期待することができる。   Thus, by aligning the warp directions of the first to fourth deflectors 3c, 3m, 3y, and 3k, it is possible to expect the effect that the imaging performance is aligned for each color and the print image quality is improved.

また、本実施の形態のように、ダミーの可動子を少なくとも1つ加えることで、偏向子を、さらに異なる複数の固有振動数の重ね合わせによって揺動させることが可能になる。よって、より等角速度性の増した駆動やレンズ特性の補正が可能な駆動等、付加価値の高い駆動特性を期待できる。   Further, by adding at least one dummy mover as in the present embodiment, the deflector can be swung by overlapping a plurality of different natural frequencies. Therefore, it is possible to expect high added value driving characteristics such as driving with increased angular velocity and driving capable of correcting lens characteristics.

また、第1〜第4の偏向子3c、3m、3y、3kの間にダミーの可動子16u、16dを配置することで、偏向子どうしの間隔が広がり、入射系ピッチを大きくすることが可能になる。   Further, by arranging dummy movable elements 16u and 16d between the first to fourth deflectors 3c, 3m, 3y and 3k, the distance between the deflectors can be widened and the incident system pitch can be increased. become.

第1の実施の形態におけるプレート部材の全体構成を示す斜視図The perspective view which shows the whole structure of the plate member in 1st Embodiment. 第1の実施の形態における可動子の挙動を示す図The figure which shows the behavior of the needle | mover in 1st Embodiment 第1の実施の形態における光偏向ユニットの全体構成を示す斜視図The perspective view which shows the whole structure of the light deflection | deviation unit in 1st Embodiment. 第1の実施の形態における光偏向ユニットの分解斜視図The disassembled perspective view of the light deflection unit in the first embodiment 第1の実施の形態に係る光学走査装置の全体構成を示す斜視図The perspective view which shows the whole structure of the optical scanning device concerning 1st Embodiment. 第1の実施の形態に係る画像形成装置の全体構成を示す概略構成図1 is a schematic configuration diagram illustrating an overall configuration of an image forming apparatus according to a first embodiment. 第2の実施の形態におけるプレート部材の全体構成を示す斜視図The perspective view which shows the whole structure of the plate member in 2nd Embodiment. 第3の実施の形態におけるプレート部材の全体構成を示す斜視図The perspective view which shows the whole structure of the plate member in 3rd Embodiment. 第4の実施の形態におけるプレート部材の全体構成を示す斜視図The perspective view which shows the whole structure of the plate member in 4th Embodiment. 第5の実施の形態におけるプレート部材の全体構成を示す斜視図The perspective view which shows the whole structure of the plate member in 5th Embodiment. 第5の実施の形態に係る光学走査装置の全体構成を示す斜視図The perspective view which shows the whole structure of the optical scanner which concerns on 5th Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 光偏向ユニット
3u 第1の偏向子
3d 第2の偏向子
4 駆動子
5u ねじりバネ
5d ねじりバネ
6u ねじりバネ
6d ねじりバネ
7 永久磁石
32 感光ドラム
41 半導体レーザ
L1uビーム
O 揺動軸
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical deflection unit 3u 1st deflector 3d 2nd deflector 4 Driver 5u Torsion spring 5d Torsion spring 6u Torsion spring 6d Torsion spring 7 Permanent magnet 32 Photosensitive drum 41 Semiconductor laser L1u beam O Oscillation shaft

Claims (10)

ビームを射出する複数の光源と、
前記複数の光源から射出されたビームを偏向する光偏向ユニットと、
前記光偏向ユニットにおいて偏向されたビームを該ビームに対応する感光体の表面に結像する複数の結像部材と、
を備える光学走査装置において、
前記光偏向ユニットは、
表面にビームの偏向面が形成される第1の偏向子及び第2の偏向子と、
駆動力を受ける駆動子と、
前記駆動子を駆動させる駆動手段と、
を有し、
第1の偏向子、第2の偏向子、及び前記駆動子がねじりバネによって直列に連結されると共に、
前記駆動手段が前記駆動子を駆動させることで、第1の偏向子及び第2の偏向子が前記ねじりバネの揺動軸周りに揺動可能に構成されることを特徴とする光学走査装置。
A plurality of light sources for emitting beams;
An optical deflection unit for deflecting beams emitted from the plurality of light sources;
A plurality of imaging members for imaging the beam deflected in the light deflection unit on the surface of the photosensitive member corresponding to the beam;
In an optical scanning device comprising:
The light deflection unit is
A first deflector and a second deflector each having a beam deflecting surface formed on the surface;
A driver that receives driving force;
Driving means for driving the driver;
Have
The first deflector, the second deflector, and the driver are connected in series by a torsion spring;
An optical scanning device characterized in that the first deflector and the second deflector are configured to be swingable about a swing axis of the torsion spring by the drive means driving the driver.
前記駆動子は、
第1の偏向子と第2の偏向子の間に配置されることを特徴とする請求項1に記載の光学走査装置。
The driver is
The optical scanning device according to claim 1, wherein the optical scanning device is disposed between the first deflector and the second deflector.
第1の偏向子と第2の偏向子の間には、
ビームの偏向を行わず、かつ前記駆動手段から駆動力を受けることもない可動子が少なくとも1つ連結されることを特徴とする請求項1または2に記載の光学走査装置。
Between the first deflector and the second deflector,
The optical scanning apparatus according to claim 1, wherein at least one movable element that does not deflect a beam and does not receive a driving force from the driving unit is connected.
第1の偏向子または第2の偏向子のいずれか一方と前記駆動子が、前記ねじりバネを介さず一体に設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の光学走査装置。   3. The optical scanning device according to claim 1, wherein either the first deflector or the second deflector and the driver are integrally provided without the torsion spring. 4. 前記偏向面は、
第1の偏向子及び第2の偏向子の表裏の両面に形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光学走査装置。
The deflection surface is
5. The optical scanning device according to claim 1, wherein the optical scanning device is formed on both front and back surfaces of the first deflector and the second deflector. 6.
ビームを射出する複数の光源と、
前記複数の光源から射出されたビームを偏向する光偏向ユニットと、
前記光偏向ユニットにおいて偏向されたビームを該ビームに対応する感光体の表面に結像する複数の結像部材と、
を備える光学走査装置において、
前記光偏向ユニットは、
表面にビームの偏向面が形成される第1の偏向子、第2の偏向子、第3の偏向子、及び第4の偏向子と、
駆動力を受ける駆動子と、
前記駆動子を駆動させる駆動手段と、
を有し、
第1の偏向子、第2の偏向子、第3の偏向子、第4の偏向子、及び前記駆動子がねじりバネによって直列に連結されると共に、
前記駆動手段が前記駆動子を駆動させることで、第1の偏向子、第2の偏向子、第3の偏向子、及び第4の偏向子が、前記ねじりバネの揺動軸周りに揺動可能に構成されることを特徴とする光学走査装置。
A plurality of light sources for emitting beams;
An optical deflection unit for deflecting beams emitted from the plurality of light sources;
A plurality of imaging members for imaging the beam deflected in the light deflection unit on the surface of the photosensitive member corresponding to the beam;
In an optical scanning device comprising:
The light deflection unit is
A first deflector, a second deflector, a third deflector, and a fourth deflector each having a beam deflecting surface formed thereon;
A driver that receives driving force;
Driving means for driving the driver;
Have
The first deflector, the second deflector, the third deflector, the fourth deflector, and the driver are connected in series by a torsion spring;
When the driving means drives the driver, the first deflector, the second deflector, the third deflector, and the fourth deflector swing around the swing axis of the torsion spring. An optical scanning device characterized by being configured.
各々の偏向子の間には、
ビームの偏向を行わず、かつ前記駆動手段から駆動力を受けることもない可動子、もしくは前記駆動子が連結されることを特徴とする請求項6に記載の光学走査装置。
Between each deflector,
The optical scanning device according to claim 6, wherein a movable element that does not deflect a beam and that does not receive a driving force from the driving unit or the driving element is connected.
前記偏向面は、
第1の偏向子、第2の偏向子、第3の偏向子、第4の偏向子の表裏の両面に形成されることを特徴とする請求項6または7に記載の光学走査装置。
The deflection surface is
The optical scanning device according to claim 6, wherein the optical scanning device is formed on both front and back surfaces of the first deflector, the second deflector, the third deflector, and the fourth deflector.
前記ねじりバネの端部は、
前記ねじりバネを取り囲むプレート部材の内周側に保持され、
前記プレート部材と前記駆動手段を一体に保持する保持部材が設けられることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光学走査装置。
The end of the torsion spring is
Held on the inner peripheral side of the plate member surrounding the torsion spring,
9. The optical scanning device according to claim 1, further comprising a holding member that integrally holds the plate member and the driving unit.
請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光学走査装置と、
前記光学走査装置から偏向されたビームが表面に結像される複数の感光体と、
前記感光体に形成された画像をシート材上に転写する転写手段と、
を備えることを特徴とする画像形成装置。
An optical scanning device according to any one of claims 1 to 9,
A plurality of photoreceptors on which a beam deflected from the optical scanning device is imaged;
Transfer means for transferring an image formed on the photoreceptor onto a sheet material;
An image forming apparatus comprising:
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