JP2009107867A - Method and device for manufacturing optical device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、加熱軟化した光学素材を押圧成形して光学素子を得る光学素子の製造方法とその製造装置に関する。 The present invention relates to an optical element manufacturing method for obtaining an optical element by press-molding a heat-softened optical material and an apparatus for manufacturing the optical element.
加熱軟化したガラス等の光学素材を、金型を用いて押圧成形する際、光学素材が金型に付着して離型し難いという課題があった。このため、金型とガラスの離型性向上の手段として、従来から、種々の技術が提案されている。 When an optical material such as heat-softened glass is press-molded using a mold, there is a problem that the optical material adheres to the mold and is difficult to release. For this reason, conventionally, various techniques have been proposed as means for improving mold releasability between glass and glass.
例えば、特許文献１では、ガラス素材表面と金型のプレス面の少なくとも一方に炭素系膜をコーティングにより形成し、この炭素系膜を介してガラス素材を加圧成形する方法が提案されている。 For example, Patent Document 1 proposes a method in which a carbon-based film is formed on at least one of a glass material surface and a press surface of a mold by coating, and the glass material is pressure-molded through the carbon-based film.
さらに、特許文献２では、金型のプレス面を第１の型部材と第２の型部材の２つの部材で構成し、第２の型部材として炭素系材料を用いた技術が提案されている。そして、この炭素系材料をガラス光学素子の有効径外の部分に用いている。
しかしながら、特許文献１では、成形工程前に予めガラス素材と金型表面の少なくとも一方に炭素系膜をコーティングしなければならない。このため、新たに１工程が加わり、作業工数が増大してしまう。 However, in Patent Document 1, it is necessary to coat a carbon-based film on at least one of the glass material and the mold surface in advance before the molding process. For this reason, one process is newly added, and work man-hours will increase.
また、特許文献２では、金型のプレス面に炭素系材料を用いているが、成形時にガラス素材と炭素系材料間の摩擦により炭素粉末が飛散して、成形された光学素子の外観を損ねるおそれがある。また、炭素系部材でレンズ形状を形成する機能もあるため、炭素系部材の精密加工が必要となり、製作費用も増大する。 In Patent Document 2, a carbon-based material is used for the press surface of the mold. However, carbon powder is scattered by friction between the glass material and the carbon-based material during molding, and the appearance of the molded optical element is impaired. There is a fear. In addition, since there is a function of forming a lens shape with a carbon-based member, precise processing of the carbon-based member is required, and the manufacturing cost increases.
本発明は斯かる課題を解決するためになされたもので、成形型間に成形品と非接触状態に炭素系部材を配置することで成形型と成形品との離型性の向上を図り得る光学素子の製造方法とその製造装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and by disposing a carbon-based member in a non-contact state with a molded product between the molding dies, the mold release property between the molding die and the molded product can be improved. An object of the present invention is to provide an optical element manufacturing method and a manufacturing apparatus therefor.
前記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、
光学素材を加熱軟化して一対の成形型で押圧成形する光学素子の製造方法において、
前記一対の成形型の間でかつ成形された光学素子と非接触となる位置に炭素系材料を含む固体部材を配置して、前記光学素材を押圧成形することを特徴とする。
In order to achieve the object, the invention according to claim 1
In the method of manufacturing an optical element in which an optical material is softened by heating and press-molded with a pair of molds,
A solid member containing a carbon-based material is disposed between the pair of molds and at a position that is not in contact with the molded optical element, and the optical material is press-molded.
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光学素子の製造方法において、
前記一対の成形型の間の酸素濃度が０．５ｐｐｍ以上となる雰囲気下で前記光学素材を押圧成形することを特徴とする。
The invention according to claim 2 is the method of manufacturing an optical element according to claim 1,
The optical material is press-molded in an atmosphere in which an oxygen concentration between the pair of molds is 0.5 ppm or more.
請求項３に係る発明は、請求項１に記載の光学素子の製造方法において、
前記固体部材がリング形状であることを特徴とする。
請求項４に係る発明は、請求項１又は３に記載の光学素子の製造方法において、
前記固体部材を位置決め部材を介して前記一対の成形型間に配置することを特徴とする。
The invention according to claim 3 is the method of manufacturing an optical element according to claim 1,
The solid member has a ring shape.
The invention according to claim 4 is the method of manufacturing an optical element according to claim 1 or 3,
The solid member is disposed between the pair of molds via a positioning member.
請求項５に係る発明は、請求項１に記載の光学素子の製造方法において、
前記炭素系材料が黒鉛、ガラス状カーボン、ダイヤモンド状カーボンのいずれかであることを特徴とする。
The invention according to claim 5 is the method of manufacturing an optical element according to claim 1,
The carbon-based material is any one of graphite, glassy carbon, and diamond-like carbon.
請求項６に係る光学素子の製造装置の発明は、
光学素材を加熱軟化して一対の成形型で押圧成形する光学素子の製造装置において、
前記一対の成形型の間でかつ成形された光学素子と非接触となる位置に炭素系材料を含む固体部材を配置したことを特徴とする。
The invention of the optical element manufacturing apparatus according to claim 6 comprises:
In an optical element manufacturing apparatus that heat-softens an optical material and press-molds it with a pair of molds,
A solid member containing a carbon-based material is disposed between the pair of molds and at a position that is not in contact with the molded optical element.
本発明によれば、一対の成形型の間でかつ成形された光学素子と非接触となる位置に炭素系材料を含む固体部材を配置したことで、成形型と成形品との離型性の向上を図ることができる。 According to the present invention, by disposing a solid member containing a carbon-based material between a pair of molds and in a position that is not in contact with the molded optical element, the mold release property between the mold and the molded product can be improved. Improvements can be made.
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
［製造装置の構成］
図１は、本実施形態に係る光学素子の製造装置の全体構成を示す図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Configuration of manufacturing equipment]
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of an optical element manufacturing apparatus according to this embodiment.
この製造装置１０は、成形室１２内に収容された予熱ステージ１４、成形ステージ１６、冷却ステージ１８を備えている。成形室１２内は、酸化性雰囲気を非酸化性雰囲気に置換可能になっている。 The manufacturing apparatus 10 includes a preheating stage 14, a molding stage 16, and a cooling stage 18 accommodated in the molding chamber 12. The inside of the molding chamber 12 can replace the oxidizing atmosphere with a non-oxidizing atmosphere.
予熱ステージ１４は、上下に対向配置された一対の上加熱板３０１及び下加熱板３０２と、これらを固定して支持する上プレート支持軸31及び下プレート支持軸34と、上加熱板３０１及び下加熱板３０２の夫々に内蔵されている上カートリッジヒータ３３１及び下カートリッジヒータ３３２と、上プレート支持軸31及び上加熱板３０１を上下(対向)方向に駆動するシリンダ32とを有している。 Preheating stage 14, and disposed facing the heating plate 30 1 and the lower heating plate 30 2 on the pair was vertically, an upper plate support shaft 31 and the lower plate support shaft 34 for supporting and fixing the upper heating plate 30 1 and 2 on the cartridge heaters 33 1 and lower cartridge heaters 33 incorporated in the people each of the lower heating plate 30 2, the cylinder 32 for driving the upper plate support shaft 31 and the upper heating plate 30 1 in the vertical (opposite) direction and have.
成形ステージ１６は、上下に対向配置された一対の上加熱板４０１及び下加熱板４０２と、これらを固定して支持する上プレート支持軸41及び下プレート支持軸44と、上加熱板4０１及び下加熱板4０２の夫々に内蔵されている上カートリッジヒータ4３１及び下カートリッジヒータ4３２と、上プレート支持軸41及び上加熱板4０１を上下(対向)方向に駆動するシリンダ42とを有している。 Molding stage 16, the opposed heated plates 40 1 and lower heating plate 40 2 on the pair was vertically, the plate support shaft 41 and the lower plate support shaft 44 on the supporting and fixing the upper heating plate 40 An upper cartridge heater 43 1 and a lower cartridge heater 43 2 incorporated in each of the first and lower heating plates 40 2 , a cylinder 42 for driving the upper plate support shaft 41 and the upper heating plate 40 1 in the vertical (opposite) direction, and have.
冷却ステージ１8は、上下に対向配置された一対の上加熱板5０１及び下加熱板5０２と、これらを固定して支持する上プレート支持軸51及び下プレート支持軸54と、上加熱板5０１及び下加熱板5０２の夫々に内蔵されている上カートリッジヒータ5３１及び下カートリッジヒータ5３２と、上プレート支持軸51及び上加熱板5０１を上下(対向)方向に駆動するシリンダ52とを有している。 Cooling stage 18, the opposed heated plates 50 1 and the lower heating plate 50 2 on the pair was vertically, an upper plate support shaft 51 and the lower plate support shaft 54 for supporting and fixing the upper heating plate 50 An upper cartridge heater 53 1 and a lower cartridge heater 53 2 incorporated in each of the first and lower heating plates 50 2 , a cylinder 52 for driving the upper plate support shaft 51 and the upper heating plate 50 1 in the vertical (opposite) direction, and have.
なお、成形室１２を覆う筐体12aと上プレート支持軸31,41、51との嵌合部は、内部気密を保持できるだけのシールが施されている。また、筐体12aには、雰囲気を置換するための気体流入孔２６と気体排出孔２７が設けられている。成形室１２内は、この気体流入孔２６と気体排出孔２７を介して、室内の空気を窒素（Ｎ２）等の不活性ガスと置換することが可能となっている。 The fitting portion between the casing 12a covering the molding chamber 12 and the upper plate support shafts 31, 41, 51 is provided with a seal sufficient to maintain internal airtightness. The housing 12a is provided with a gas inlet hole 26 and a gas outlet hole 27 for replacing the atmosphere. In the molding chamber 12, the indoor air can be replaced with an inert gas such as nitrogen (N 2 ) through the gas inlet hole 26 and the gas outlet hole 27.
このとき、成形室１２内の酸素濃度は０．５ｐｐｍ以上となる雰囲気となるように制御される。そのために、成形室１２には、室内の酸素濃度を計測する計器２８が取付けられている。 At this time, the oxygen concentration in the molding chamber 12 is controlled to be an atmosphere of 0.5 ppm or more. For this purpose, a meter 28 for measuring the oxygen concentration in the room is attached to the molding chamber 12.
成形開始時には、成形室１２の入口シャッタ１１が開いて、予熱ステージ１４の下加熱板３０２に後述する型セット２０が搬入載置される。さらに、この型セット２０は、成形ステージ１６の下加熱板４０２と冷却ステージ１8の下加熱板5０２へと、順次、移送されて載置される。 At the start of forming, opens inlet shutter 11 of the molding chamber 12, the mold set 20 to be described later under the heating plate 30 and second preheating stage 14 is carried placed. Furthermore, this type set 20 includes a lower heating plate 40 2 of the forming stage 16 to the lower heating plate 50 and second cooling stage 18, and are sequentially placed is transported.
なお、成形終了時には、成形室１２の出口シャッタ１３が開いて型セット２０が搬出されるようになっている。
次に、各ステージでの動作を説明する。
At the end of molding, the outlet shutter 13 of the molding chamber 12 is opened and the mold set 20 is carried out.
Next, the operation at each stage will be described.
予熱ステージ１４では、シリンダ３２を駆動して、上加熱板３０１を下加熱板３０２との対向方向（以下、「上下方向」という）に移動させることにより、型セット２０の挟持、解放の動作が行われる。そして、上カートリッジヒータ３３１及び下カートリッジヒータ３３２により所定温度に加熱された、上加熱板３０１及び下加熱板３０２間に型セット２０が載置されて挟持される。 In the preheating stage 14, by driving the cylinder 32, the opposing direction of the upper heating plate 30 1 and the lower heating plate 30 2 (hereinafter, referred to as "vertical direction") by moving the, mold set 20 sandwiched release Operation is performed. Then, by the upper cartridge heaters 33 1 and lower cartridge heaters 33 2 is heated to a predetermined temperature, the mold sets 20 between upper heating plate 30 1 and the lower heating plate 30 2 is placed on and clamped.
こうして、挟持された型セット２０には、上加熱板３０１及び下加熱板３０２からの熱が伝達されて加熱される。これにより、型セット２０に収容された成形素材としてのプリフォーム３８（図２参照）が所定温度にまで加熱される。 Thus, the mold set 20 sandwiched, heat from the upper heating plate 30 1 and the lower heating plate 30 2 is heated is transmitted. Thereby, the preform 38 (see FIG. 2) as a molding material accommodated in the mold set 20 is heated to a predetermined temperature.
また、成形ステージ１６では、下加熱板４０２上に、予熱ステージ１４で加熱された後の型セット２０が載置される。そして、この成形ステージ１６において、シリンダ４２を介して上加熱板４０１を駆動して、型セット２０の挟持、押圧、解放等の動作が行われる。そして、上カートリッジヒータ４３１及び下カートリッジヒータ４３２により所定温度に加熱された、上加熱板４０１及び下加熱板４０２間に型セット２０が載置されて挟持、押圧される。これにより、型セット２０内のプリフォーム３８が所定形状に成形される。 Further, in the molding stage 16, on the lower heating plate 40 2, type set 20 after being heated in the preheating stage 14 is placed. Then, in the molding stage 16, by driving the upper heating plate 40 1 via the cylinder 42, clamping of the mold set 20, the pressing, the operation of releasing or the like from the. Then, by the upper cartridge heaters 43 1 and lower cartridge heaters 43 2 is heated to a predetermined temperature, the upper heating plate 40 1 and the mold set 20 between the lower heating plate 40 2 is placed sandwiched and pressed. Thereby, the preform 38 in the mold set 20 is formed into a predetermined shape.
さらに、冷却ステージ１８では、下加熱板５０２上に、成形ステージ１６で成型された後の型セット２０が載置される。
この冷却ステージ１８において、シリンダ５２を介して上加熱板５０１が上下駆動されることにより、型セット２０の挟持、解放の動作が行われる。そして、上カートリッジヒータ５３１及び下カートリッジヒータ５３２により所定温度に加熱された、上加熱板５０１及び下加熱板５０２間に型セット２０が挟持されると、型セット２０は該上加熱板５０１及び下加熱板５０２から熱を奪われる。
Furthermore, in the cooling stage 18, on the lower heating plate 50 2, type set 20 after being molded by the molding stage 16 is placed.
In this cooling stage 18, by the upper heating plate 50 1 is vertically driven via the cylinder 52, clamping of the mold set 20, the operation of the release is carried out. Then, by the upper cartridge heaters 53 1 and lower cartridge heaters 53 2 is heated to a predetermined temperature, the mold sets 20 between upper heating plate 50 1 and the lower heating plate 50 2 is held, the mold set 20 upper heating deprived of heat from the plate 50 1 and the lower heating plate 50 2.
これに伴い、型セット２０内で成形された光学素子３９（図４参照）は、成形室１２から取り出し可能な所定温度に冷却される。
なお、本実施形態では、加熱ステージ１４、成形ステージ１６、冷却ステージ１８を備えた連続工程による成形を例として説明したが、これに限らず、例えば金型を移送せずに加熱、押圧、冷却を同じ位置で行う方式であってもよい。
［型セットの構成］
図２は、型セット２０の構成を示す図である。
Accordingly, the optical element 39 (see FIG. 4) molded in the mold set 20 is cooled to a predetermined temperature that can be taken out from the molding chamber 12.
In the present embodiment, the molding by the continuous process including the heating stage 14, the molding stage 16, and the cooling stage 18 has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, heating, pressing, and cooling are performed without transferring the mold. May be performed at the same position.
[Configuration of type set]
FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the mold set 20.
次に、図２に基づき、型セット２０の構成を説明する。
型セット２０は、鍔付き円柱状の上型２１及び下型２２と、円筒状のスリーブ２３とを有している。上型２１は、大径の円柱部２１１と小径の円柱部２１２とを有し、境界は平面部２１３に形成されている。小径の円柱部２１２の先端に、凸球面状の成形面２１ａが形成されている。
Next, the configuration of the mold set 20 will be described with reference to FIG.
The mold set 20 includes a columnar upper mold 21 and a lower mold 22 with a flange, and a cylindrical sleeve 23. Upper die 21, and a cylindrical portion 21 2 of the cylindrical portion 21 1 and the small diameter of the large-diameter, boundary is formed in a planar portion 21 3. The diameter of the distal end of the cylindrical portion 21 2, a convex spherical molding surface 21a is formed.
また、下型２２は、大径の円柱部２２１を有し、その先端は平面部２２３に形成されている。この平面部２２３の中央に、凹球面状の成形面２２ａが形成されている。なお、本実施形態では、上型２１の成形面２１ａの曲率半径と下型２２の成形面２２ａの曲率半径とは異なっている。 The lower mold 22 has a cylindrical portion 22 1 of the large diameter, the tip is formed in a planar portion 22 3. The center of the flat portion 22 3, concave spherical molding surface 22a is formed. In the present embodiment, the radius of curvature of the molding surface 21a of the upper mold 21 and the radius of curvature of the molding surface 22a of the lower mold 22 are different.
これら上型２１及び下型２２は、スリーブ２３の内部で、成形面２１ａ及び成形面２２ａが対向するようにスリーブ２３の両端側から嵌挿されている。スリーブ２３の側面には、キャビティ２４と外気とを連通する孔２５が形成されている。 The upper mold 21 and the lower mold 22 are fitted into the sleeve 23 from both ends of the sleeve 23 so that the molding surface 21a and the molding surface 22a face each other. A hole 25 for communicating the cavity 24 and the outside air is formed on the side surface of the sleeve 23.
上型２１は、スリーブ２３の軸方向に摺動可能となっている。上型２１の成形面２１ａと下型２２の成形面２２ａとの間には、成形素材としてのプリフォーム３８が配置されている。 The upper die 21 is slidable in the axial direction of the sleeve 23. A preform 38 as a molding material is disposed between the molding surface 21 a of the upper mold 21 and the molding surface 22 a of the lower mold 22.
なお、上型２１、下型２２、及びスリーブ２３は、例えばタングステンカーバイド（ＷＣ）等の超硬合金を研削、研磨して製作されている。また、プリフォーム３８は、例えば球形状のガラス素材又は樹脂素材が用いられている。さらに、下型２２に対し上型２１を型中心軸に沿って上下に摺動できる構成を有すれば、スリーブ２３を省略することもできる。 The upper mold 21, the lower mold 22, and the sleeve 23 are manufactured by grinding and polishing a cemented carbide such as tungsten carbide (WC). The preform 38 is made of, for example, a spherical glass material or resin material. Further, if the upper die 21 can be slid up and down along the die center axis with respect to the lower die 22, the sleeve 23 can be omitted.
製造装置１０によるプリフォーム３８の成形に際しては、予熱ステージ１４、成形ステージ１６、及び冷却ステージ１８における全ての上・下加熱板３０、４０、５０のカートリッジヒータ３３、４３、５３に通電される。これにより、夫々の上・下加熱板３０、４０、５０は、夫々の工程に応じて予め設定された温度に加熱される。この加熱後、シリンダ３２、４２、５２が、夫々の工程で設定された距離（寸法）に応じて加圧方向に駆動される。 When the preform 38 is formed by the manufacturing apparatus 10, the cartridge heaters 33, 43, 53 of all the upper and lower heating plates 30, 40, 50 in the preheating stage 14, the forming stage 16, and the cooling stage 18 are energized. Thereby, each of the upper and lower heating plates 30, 40, 50 is heated to a temperature set in advance according to each process. After this heating, the cylinders 32, 42 and 52 are driven in the pressurizing direction according to the distance (dimension) set in each step.
次に、この製造装置１０による実施の形態について説明する。
［第１の実施の形態］
図３及び図４は、第１の実施の形態の光学素子の製造方法を示す図である。
Next, an embodiment of the manufacturing apparatus 10 will be described.
[First Embodiment]
3 and 4 are diagrams showing a method for manufacturing the optical element of the first embodiment.
図３は、予熱ステージ１４において、上加熱板３０１及び下加熱板３０２間に型セット２０を挟持した状態を示す。また、図４は、成形ステージ１６において、上加熱板４０１及び下加熱板４０２間に挟持した型セット２０を加圧して成形完了した後の状態を示している。 3, in the preheating stage 14, showing a state in which sandwich the upper heating plate 30 1 and the mold set 20 between the lower heating plate 30 2. Further, FIG. 4, in the molding stage 16 shows a state after the mold sets 20 which is sandwiched between the upper heating plate 40 1 and the lower heating plate 40 2 to complete molding under pressure.
プリフォーム３８は、球状のガラス素材を用いている。このプリフォーム３８の曲率半径は、下型２２の成形面２２ａの曲率半径よりも小さいことが好ましい。こうすることで、プリフォーム３８と成形面２２ａとは点接触となる。これにより、軟化したガラス素材が変形する際、ガラス素材と成形面２２ａとの間の隙間に気体を閉じ込めこめることがない為、成形品にガス溜りが生じるのを防止することができる。このプリフォーム３８を成形すると、図４に示すような凹メニスカス形状の光学素子３９が得られる。 The preform 38 uses a spherical glass material. The radius of curvature of the preform 38 is preferably smaller than the radius of curvature of the molding surface 22a of the lower mold 22. By doing so, the preform 38 and the molding surface 22a are in point contact. As a result, when the softened glass material is deformed, gas is not trapped in the gap between the glass material and the molding surface 22a, so that it is possible to prevent a gas accumulation from occurring in the molded product. When this preform 38 is molded, a concave meniscus optical element 39 as shown in FIG. 4 is obtained.
本実施の形態では、一対の上型２１及び下型２２の成形面２１ａ及び成形面２２ａの間でかつ成形された光学素子３９と非接触となる位置に、炭素系材料を含む固体部材としてのリング状の炭素部材６０を配置する。この炭素部材６０は、黒鉛、ガラス状カーボン、ダイヤモンド状カーボンのいずれかを用いている。 In the present embodiment, a solid member containing a carbon-based material is disposed between the molding surface 21a and the molding surface 22a of the pair of upper mold 21 and lower mold 22 and at a position that is not in contact with the molded optical element 39. A ring-shaped carbon member 60 is disposed. The carbon member 60 uses any of graphite, glassy carbon, and diamond-like carbon.
なお、ここでは、成形面２２ａ（又は成形面２１ａ）とは、プリフォーム３８（及び光学素子３９）を構成するガラス素材と、下型２２（又は上型２１）とが接触する面をいうものとする。 Here, the molding surface 22a (or molding surface 21a) refers to the surface where the glass material constituting the preform 38 (and the optical element 39) and the lower mold 22 (or upper mold 21) are in contact. And
本実施形態では、下型２２の成形面２２ａの外周側の平面部２２３に、載置部としての環状の段差部２２４を形成し、この段差部２２４にリング状の炭素部材６０を嵌合した。この段差部２２４は、スリーブ２３の内壁に対面して形成されている。この炭素部材６０は、型中心軸(上下中心軸)に対して対称に配置されている。このとき、環状の段差部２２４に嵌合された炭素部材６０は、成形された光学素子３９と非接触となるように位置決めされている。よって、この炭素部材６０が、成形前のプリフォーム３８や成形された光学素子３９に接触して付着することはない。 In the present embodiment, the flat surface portion 22 3 of the outer peripheral side of the molding surface 22a of the lower die 22 to form the annular step portion 22 4 of the mounting portion, a ring-shaped carbon member 60 to the stepped portion 22 4 Mated. The step portion 22 4 are formed to face the inner wall of the sleeve 23. The carbon member 60 is disposed symmetrically with respect to the mold center axis (vertical center axis). At this time, the carbon member 60 is fitted into the annular step portion 22 4 is positioned such that the optical element 39 which is molded with a non-contact manner. Therefore, the carbon member 60 does not contact and adhere to the preform 38 and the molded optical element 39 before molding.
なお、この炭素部材６０は連続的なリング状でなくてもよい。例えば、リング状の炭素部材６０を複数に分割して配置してもよい。また、下型２２に段差部２２４を形成することなく、下型２２の成形面２２ａの外周側の平面部２２３に直接的に炭素部材６０を載置するようにしてもよい。 The carbon member 60 may not be a continuous ring. For example, the ring-shaped carbon member 60 may be divided and arranged. Further, without forming a step portion 22 4 in the lower mold 22 may be placed directly a carbon member 60 to the planar portion 22 3 of the outer peripheral side of the molding surface 22a of the lower mold 22.
成形に際しては、成形室１２内に気体流入孔２６から窒素(N2)が導入され、成形室１２内の酸素濃度が予め調整される。次に、組み立てられた型セット２０を、成形室１２の予熱ステージ１４に搬入する。搬入された型セット２０は、予熱ステージ１４において５００℃まで加熱される。 At the time of molding, nitrogen (N2) is introduced into the molding chamber 12 from the gas inflow hole 26, and the oxygen concentration in the molding chamber 12 is adjusted in advance. Next, the assembled mold set 20 is carried into the preheating stage 14 of the molding chamber 12. The loaded mold set 20 is heated to 500 ° C. in the preheating stage 14.
このときの加熱温度により、型セット２０内の炭素部材６０は成形室内の酸素と反応してＣＯ２（又はＣＯ）が発生する。このとき、プリフォーム３８と成形面２２ａとは点接触であるので、ＣＯ２がプリフォーム３８の周囲、上型２１及び下型２２の成形面２１ａ、２２ａにくまなく充満する。 Due to the heating temperature at this time, the carbon member 60 in the mold set 20 reacts with oxygen in the molding chamber to generate CO 2 (or CO). At this time, since the preform 38 and the molding surface 22a are in point contact, CO 2 fills the molding surface 21a and 22a of the upper mold 21 and the lower mold 22 all around the preform 38.
こうして、ＣＯ２の炭素原子（Ｃ）が、プリフォーム３８の表面、上型２１及び下型２２の成形面２１ａ、２２ａに付着する。これにより、プリフォーム３８の表面、上型２１及び下型２２の成形面２１ａ、２２ａには、炭素膜がコーティングのように形成される。この炭素膜により、プリフォーム３８と成形面２１ａ、２２ａとの間の融着が防止される。 In this way, the carbon atoms (C) of CO 2 adhere to the surface of the preform 38 and the molding surfaces 21 a and 22 a of the upper mold 21 and the lower mold 22. Thereby, a carbon film is formed like a coating on the surface of the preform 38 and the molding surfaces 21 a and 22 a of the upper mold 21 and the lower mold 22. This carbon film prevents fusion between the preform 38 and the molding surfaces 21a and 22a.
次に、型セット２０を成形ステージ１６に移動させて５８０℃まで加熱する。この時点で、型セット２０に対し３０Ｎの加圧力で成形を開始する。そして、プリフォーム３８が所定の中心肉厚まで押圧されたところで、押圧を終了する。こうして、光学素子３９としての凹メニスカスレンズの形状が成形される。 Next, the mold set 20 is moved to the molding stage 16 and heated to 580 ° C. At this point, molding is started with a pressure of 30 N against the mold set 20. Then, when the preform 38 is pressed to a predetermined center thickness, the pressing is finished. Thus, the shape of the concave meniscus lens as the optical element 39 is molded.
なお、炭素部材６０は、プリフォーム３８が成形されて光学素子３９となった後にも、この光学素子３９と非接触となる位置に置かれている。
本実施形態によれば、炭素部材６０が加熱されることにより、プリフォーム３８の表面、上型２１及び下型２２の成形面２１ａ、２２ａに炭素膜が形成される。このため、プリフォーム３８を構成するガラス素材と成形面２１ａ、２２ａの素地とが直接接触することはなくなる。こうして、成形面２１ａ、２２ａと光学素子３９との離型性の向上が図られる。しかも、炭素膜をコーティングする工程を追加する必要はないので、作業工数が増大することもない。
The carbon member 60 is placed at a position that is not in contact with the optical element 39 even after the preform 38 is molded into the optical element 39.
According to the present embodiment, by heating the carbon member 60, a carbon film is formed on the surface of the preform 38 and the molding surfaces 21 a and 22 a of the upper mold 21 and the lower mold 22. For this reason, the glass raw material which comprises the preform 38, and the base of the molding surfaces 21a and 22a do not contact directly. Thus, the mold releasability between the molding surfaces 21a and 22a and the optical element 39 is improved. In addition, since it is not necessary to add a process for coating the carbon film, the number of work steps does not increase.
また、本実施形態では、成形される光学素子３９と非接触となる位置に炭素部材６０を配置したので、プリフォーム３８を構成するガラス素材と炭素部材６０とが接触して摩擦を生じ、この摩擦により炭素粉末が飛散して、成形された光学素子３９の外観を損ねることがない。さらに、炭素部材６０が光学素子３９の成形面を構成するわけではないので、この炭素部材６０を精密に加工する必要はない。
［第２の実施の形態］
図５及び図６は、第２の実施の形態の光学素子の製造方法を示す図である。なお、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。
In the present embodiment, since the carbon member 60 is disposed at a position that is not in contact with the optical element 39 to be molded, the glass material constituting the preform 38 and the carbon member 60 come into contact with each other to generate friction. The carbon powder is not scattered by friction and the appearance of the molded optical element 39 is not impaired. Furthermore, since the carbon member 60 does not constitute the molding surface of the optical element 39, it is not necessary to precisely process the carbon member 60.
[Second Embodiment]
5 and 6 are views showing a method for manufacturing the optical element of the second embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected and demonstrated to the member which is the same as that of 1st Embodiment, or corresponds.
図５は、予熱ステージ１４において不図示の上・下加熱板30間に型セット２０を挟持した状態を示している。また、図６は、成形ステージ１６において不図示の上・下加熱板30間に挟持した型セット２０を加圧して成形完了した後の状態を示している。 FIG. 5 shows a state in which the mold set 20 is sandwiched between upper and lower heating plates 30 (not shown) in the preheating stage 14. FIG. 6 shows a state after the molding is completed by pressurizing the mold set 20 sandwiched between the upper and lower heating plates 30 (not shown) in the molding stage 16.
図５において、成形前ではプリフォーム３８と上型２１及び下型２２の成形面２１ａ、２２ａとは点接触しているのが好ましい。前述したように、成形品（光学素子３９）にガス溜りが生じるのを防止するためである。 In FIG. 5, the preform 38 and the molding surfaces 21 a and 22 a of the upper mold 21 and the lower mold 22 are preferably in point contact before molding. As described above, this is for preventing gas accumulation in the molded product (optical element 39).
本実施形態では、炭素部材６０を位置決め部材６２を介して上型２１及び下型２２間に、成形された光学素子３９と非接触となるように配置した。すなわち、下型２２の成形面２２ａの平面部２２３上に円管状の位置決め部材６２を載置した。そして、この位置決め部材６２に形成した環状の段差部６４にリング状の炭素部材６０を嵌合した。この段差部６４は、プリフォーム３８と対面する側に形成されている。 In the present embodiment, the carbon member 60 is disposed between the upper mold 21 and the lower mold 22 via the positioning member 62 so as not to contact the molded optical element 39. That is, placing the positioning member 62 of the circular tube on the flat surface portion 22 3 of the molding surface 22a of the lower mold 22. Then, the ring-shaped carbon member 60 was fitted into the annular stepped portion 64 formed on the positioning member 62. The stepped portion 64 is formed on the side facing the preform 38.
なお、この炭素部材６０は、型中心軸に対し対称に配置されている。また、この場合も、炭素部材６０は連続したリング状に限ることはなく、例えば複数に分割して配置してもよい。また、炭素部材６０は、黒鉛、ガラス状カーボン、ダイヤモンド状カーボンのいずれかを用いている。 The carbon member 60 is disposed symmetrically with respect to the mold center axis. Also in this case, the carbon member 60 is not limited to a continuous ring shape, and may be divided into a plurality of parts, for example. The carbon member 60 is made of graphite, glassy carbon, or diamond-like carbon.
また、上型２１は、大径の円柱部２１１と小径の円柱部２１２とに形成されているので(図2参照)、この上型２１を用いてプリフォーム３８を押圧した時にも位置決め部材６２及び炭素部材６０が上型２１に干渉しないようになっている。 Further, the upper mold 21 and is formed in a columnar portion 21 1 of the large-diameter small diameter and the cylindrical portion 21 2 (see FIG. 2), also positioned when pressing the preform 38 by using the upper die 21 The member 62 and the carbon member 60 do not interfere with the upper mold 21.
本実施形態では、成形前に、上型２１の成形面２１ａの付近に炭素部材６０が位置するように該炭素部材６０を配置する。これは、上型２１の成形面２１ａの形状によっては、上型２１のみにプリフォーム３８のガラスが付着する場合もありうるため、位置決め部材６２を用いて、上型２１の成形面２１ａの付近に炭素部材６０を配置した。なお、上型２１の成形面２１ａの曲率半径が小さいほど、プリフォーム３８を構成するガラスと成形面２１ａとの密着度が高くなる。 In the present embodiment, the carbon member 60 is disposed so that the carbon member 60 is positioned in the vicinity of the molding surface 21a of the upper mold 21 before molding. This is because, depending on the shape of the molding surface 21 a of the upper mold 21, the glass of the preform 38 may adhere only to the upper mold 21, so that the positioning member 62 is used in the vicinity of the molding surface 21 a of the upper mold 21. The carbon member 60 was disposed on the surface. In addition, the smaller the radius of curvature of the molding surface 21a of the upper mold 21, the higher the degree of adhesion between the glass constituting the preform 38 and the molding surface 21a.
このため、本実施の形態では、曲率半径が小さい上型２１の成形面２１ａに、炭素部材６０を近づけて配置するため、位置決め部材６２を用いた。
本実施の形態によれば、上型２１の成形面２１ａの近傍に、集中的かつ均等にＣＯ２が発生する。こうして、上型２１の成形面２１ａとプリフォーム３８の表面に炭素膜が一様に形成される。このため、成形を完了した後の成形面２１ａと光学素子（凹メニスカスレンズ）３９との離型性の向上が図られる。
For this reason, in the present embodiment, the positioning member 62 is used in order to place the carbon member 60 close to the molding surface 21a of the upper mold 21 having a small curvature radius.
According to the present embodiment, CO 2 is generated intensively and evenly in the vicinity of the molding surface 21 a of the upper mold 21. In this way, a carbon film is uniformly formed on the molding surface 21 a of the upper mold 21 and the surface of the preform 38. For this reason, the mold release property between the molding surface 21a after completion of molding and the optical element (concave meniscus lens) 39 is improved.
また、炭素部材６０は、プリフォーム３８と対面する側に配置されているので、スリーブ２３と炭素部材６０とが接触するおそれは生じない。このため、炭素部材６０とスリーブ２３とが接触し、こすれて炭素部材６０の粉末が発生することはない。その他、第１の実施の形態と同様の効果を有する。
［第３の実施の形態］
図７及び図８は、第３の実施の形態の光学素子の製造方法を示す図である。なお、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。
Further, since the carbon member 60 is disposed on the side facing the preform 38, there is no possibility that the sleeve 23 and the carbon member 60 come into contact with each other. For this reason, the carbon member 60 and the sleeve 23 are in contact with each other and are not rubbed to generate carbon member 60 powder. In addition, it has the same effect as the first embodiment.
[Third Embodiment]
7 and 8 are views showing a method for manufacturing the optical element according to the third embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected and demonstrated to the member which is the same as that of 1st Embodiment, or corresponds.
図７は、予熱ステージ１４において、不図示の上・下加熱板30間に型セット２０を挟持した状態を示している。また、図８は、成形ステージ１６において、不図示の上・下加熱板30間に挟持した型セット２０を加圧して成形完了した後の状態を示している。 FIG. 7 shows a state in which the mold set 20 is sandwiched between upper and lower heating plates 30 (not shown) in the preheating stage 14. FIG. 8 shows a state after the molding is completed by pressurizing the mold set 20 sandwiched between the upper and lower heating plates 30 (not shown) in the molding stage 16.
図７において、成形前ではプリフォーム３８と上型２１及び下型２２の成形面２１ａ、２２ａとは点接触しているのが好ましい。成形品（光学素子３９）にガス溜りが生じるのを防止するためである。 In FIG. 7, it is preferable that the preform 38 and the molding surfaces 21a and 22a of the upper mold 21 and the lower mold 22 are in point contact before molding. This is to prevent gas accumulation from occurring in the molded product (optical element 39).
ところで、外観規格が厳しい光学素子39にあっては、炭素部材６０から生じる発塵が下型２２の成形面２２ａに落下するのを防止する必要がある。落下した炭素部材６０の発塵が光学素子39に付着するのを回避するためである。 By the way, in the optical element 39 having strict appearance standards, it is necessary to prevent the dust generated from the carbon member 60 from falling on the molding surface 22a of the lower mold 22. This is to prevent dust from the dropped carbon member 60 from adhering to the optical element 39.
このために、本実施形態では、下型２２の成形面２２ａの外周側の平面部２２３に環状の位置決め部材６２を載置した。そして、この位置決め部材６２に断面コ字状の凹部６６を形成し、その凹部６６にリング状の炭素部材６０を嵌合した。これにより、炭素部材６０は周囲を断面コ字状の凹部６６に覆われるので、炭素部材６０から生じた発塵が下型２２の成形面２２ａに落下することはない。 Therefore, in this embodiment, mounting the annular positioning member 62 to the planar portion 22 3 of the outer peripheral side of the molding surface 22a of the lower mold 22. A concave portion 66 having a U-shaped cross section was formed in the positioning member 62, and the ring-shaped carbon member 60 was fitted into the concave portion 66. As a result, the carbon member 60 is covered with the concave portion 66 having a U-shaped cross section, so that dust generated from the carbon member 60 does not fall on the molding surface 22a of the lower mold 22.
すなわち、この炭素部材６０は、成形された光学素子３９と非接触となるように配置されている。なお、この炭素部材６０は、黒鉛、ガラス状カーボン、ダイヤモンド状カーボンのいずれかを用いている。また、この炭素部材６０は連続的なリング状でなくてもよい。例えば、炭素部材６０を複数に分割して配置してもよい。 That is, the carbon member 60 is disposed so as not to contact the molded optical element 39. The carbon member 60 is made of graphite, glassy carbon, or diamond-like carbon. Further, the carbon member 60 may not be a continuous ring shape. For example, the carbon member 60 may be divided and arranged.
本実施形態によれば、炭素部材６０は周囲を位置決め部材６２の凹部６６に覆われているので、炭素部材６０の粉塵が下型２２の成形面２２ａに落下するのを防止することができる。このため、成形された光学素子３９の光学機能面に炭素部材６０の粉塵が付着することはなくなる。よって、異物等が付着していない外観美麗な光学素子（凹メニスカスレンズ）３９を得ることができる。 According to the present embodiment, since the carbon member 60 is covered with the recess 66 of the positioning member 62, the dust of the carbon member 60 can be prevented from falling on the molding surface 22 a of the lower mold 22. For this reason, the dust of the carbon member 60 does not adhere to the optical functional surface of the molded optical element 39. Accordingly, it is possible to obtain an optical element (concave meniscus lens) 39 having a beautiful appearance to which no foreign matter or the like is attached.
その他、成形を完了した後の成形面２１ａと光学素子（凹メニスカスレンズ）３９との離型性の向上が図られる等、第１の実施の形態と同様の効果を有する。
次に、具体的な実施例について説明する。
［具体的な実施例］
（１）使用した上型２１及び下型２２
以下の（ａ）（ｂ）の２種類を用いた。
In addition, the present embodiment has the same effects as those of the first embodiment, such as improvement in the releasability between the molding surface 21a after completion of molding and the optical element (concave meniscus lens) 39.
Next, specific examples will be described.
[Specific Examples]
(1) Upper mold 21 and lower mold 22 used
The following two types (a) and (b) were used.
（ａ）超硬合金（ＷＣ）の母材を精密加工して成形面を製作して、その成形面にＰｔ−Ｉｒ合金からなる保護膜を成膜したもの（以下、「ＷＣ−Ｐｔ−Ｉｒ合金製の型」という）。 (A) A cemented carbide (WC) base material is precisely processed to form a molding surface, and a protective film made of a Pt—Ir alloy is formed on the molding surface (hereinafter referred to as “WC-Pt—Ir”). Called "alloy mold").
（ｂ）ＳｉＣ基材の表面にＣＶＤによりＳｉＣ膜を形成したもの（ＣＶＤ−ＳｉＣ）を精密加工して成形面を形成したもの（以下、「ＣＶＤ−ＳｉＣ製の型」という）。
なお、ＣＶＤとはＣｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ の略称で化学蒸着法により薄膜を作る工業的手法の１つである。
（２）使用した成形素材
Ｌ−ＢＡＬ４２（オハラ、ガラス転移点Ｔｇ＝５０６℃、屈伏点Ａｔ＝５３８℃）
φ３．０のボール研磨品をプリフォーム３８とした。
（３）成形された光学素子39の形状
外径３．７ｍｍ、肉厚０．５ｍｍの凹メニスカスレンズである。
（４）使用した炭素部材６０
内径φ５．０、外径φ７．５、高さ１．２ｍｍのリング状の黒鉛を用いた。
（５）成形に際しては、気体流入口２６から導入する窒素流量により、成形室１２内の酸素濃度を予め調整した。次に、組み立てられた型セット２０を、成形室１２の入口から投入した。そして、投入された型セット２０を予熱ステージ１４上で５００℃まで加熱した。
(B) A SiC substrate with a SiC film formed on the surface of the SiC substrate (CVD-SiC) by precision processing to form a molding surface (hereinafter referred to as “CVD-SiC mold”).
Note that CVD is an abbreviation for Chemical Vapor Deposition and is one of industrial methods for forming a thin film by chemical vapor deposition.
(2) Molding material used L-BAL42 (Ohara, glass transition point Tg = 506 ° C., yield point At = 538 ° C.)
A ball polished product of φ3.0 was used as a preform 38.
(3) Shape of the molded optical element 39 A concave meniscus lens having an outer diameter of 3.7 mm and a thickness of 0.5 mm.
(4) Used carbon member 60
Ring-shaped graphite having an inner diameter of φ5.0, an outer diameter of φ7.5, and a height of 1.2 mm was used.
(5) At the time of molding, the oxygen concentration in the molding chamber 12 was adjusted in advance by the flow rate of nitrogen introduced from the gas inlet 26. Next, the assembled mold set 20 was introduced from the entrance of the molding chamber 12. The charged mold set 20 was heated to 500 ° C. on the preheating stage 14.
次に、型セット２０を成形ステージ１６に移動させて５８０℃まで加熱した。この時点で、３０Ｎの加圧力で成形を開始した。そして、所定の中心肉厚まで押圧したところで、押圧を終了した。 Next, the mold set 20 was moved to the molding stage 16 and heated to 580 ° C. At this point, molding was started with a pressure of 30 N. And the press was complete | finished when it pressed to predetermined | prescribed center wall thickness.
次いで、型セット２０を冷却ステージ１８に移動させて３００℃まで冷却した。その後、型セット２０を成形室１２から搬出して光学素子３９を取り出した。
表−１と表−２によると、成形室１２の酸素濃度が０．５ｐｐｍ以上の範囲では、プリフォーム３８を構成するガラス素材の型への付着（ガラス付着）はない（○）ことがわかる。ただし、ＷＣ−Ｐｔ−Ｉｒ合金製の型を用いた場合、２５０ｐｐｍで成形品（光学素子３９）の「クモリ」が発生した。また、ＣＶＤ−ＳｉＣ製の型を用いた場合、５０００ｐｐｍで成形品（光学素子３９）の「クモリ」が発生した。これらの成形品の「クモリ」は、ガラス付着はないが、成形室１２の酸素濃度が高くなることによって、上型２１及び下型２２の成形面が荒れたことから成形品に曇りが生じたものである。 According to Table-1 and Table-2, when the oxygen concentration of the molding chamber 12 is in the range of 0.5 ppm or more, it is understood that there is no adhesion (glass adhesion) to the mold of the glass material constituting the preform 38 (◯). . However, when a mold made of a WC—Pt—Ir alloy was used, “spatter” of the molded product (optical element 39) was generated at 250 ppm. In addition, when a CVD-SiC mold was used, “spatter” of the molded product (optical element 39) was generated at 5000 ppm. The “spider” of these molded products does not adhere to glass, but due to the increased oxygen concentration in the molding chamber 12, the molded surfaces of the upper mold 21 and the lower mold 22 were roughened, and the molded products were clouded. Is.
また、成形室１２の酸素濃度が０．５ｐｐｍ以下の場合は、酸素欠乏により炭素部材６０からＣＯ２の発生が少なくなって、ガラス付着が発生した（×）ものと考えられる。
以上から、実用的な成形室１２の酸素濃度の下限値は０．５ｐｐｍであり、上限値は使用する型膜（もしくは型基材）の成形面に荒れが発生しない範囲（ＷＣ−Ｐｔ−Ｉｒ合金製の型を用いた場合は２００ｐｐｍ、ＣＶＤ−ＳｉＣ製の型を用いた場合は１０００ｐｐｍ)といえる。
Further, when the oxygen concentration in the molding chamber 12 is 0.5 ppm or less, it is considered that the generation of CO2 from the carbon member 60 is reduced due to oxygen deficiency, and glass adhesion occurs (×).
From the above, the lower limit value of the oxygen concentration in the practical molding chamber 12 is 0.5 ppm, and the upper limit value is a range in which no roughening occurs on the molding surface of the mold film (or mold substrate) to be used (WC-Pt-Ir). It can be said that 200 ppm when an alloy mold is used and 1000 ppm when a CVD-SiC mold is used.
１０ 光学素子の製造装置
１１ 入口シャッタ
１２ 成形室
１３ 出口シャッタ
１４ 予熱ステージ
１６ 成形ステージ
１８ 冷却ステージ
２０ 型セット
２１ 上型
２１ａ 成形面
２１１ 大径の円柱部
２１２ 小径の円柱部
２１３ 平面部
２２ 下型
２２ａ 成形面
２２１ 大径の円柱部
２２３ 平面部
２２４ 段差部
２３ スリーブ
２４ キャビティ
２５ 孔
２６ 気体流入口
２７ 気体流出口
２８ 計器
３０１ 上加熱板
３０２ 下加熱板
３２ シリンダ
３２ａ シリンダロッド
３３１ 上ヒータ
３３２ 下ヒータ
３４ 載置台
３８ プリフォーム
３９ 光学素子
４０１ 上加熱板
４０２ 下加熱板
４２ シリンダ
４２ａ シリンダロッド
４３１ 上ヒータ
４３２ 下ヒータ
４４ 載置台
５０１ 上加熱板
５０２ 下加熱板
５２ シリンダ
５２ａ シリンダロッド
５３１ 上ヒータ
５３２ 下ヒータ
５４ 載置台
６０ 炭素部材
６２ 位置決め部材
６４ 段差部
６６ 凹部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Optical element manufacturing apparatus 11 Entrance shutter 12 Molding chamber 13 Exit shutter 14 Preheating stage 16 Molding stage 18 Cooling stage 20 Mold set 21 Upper mold 21a Molding surface 21 1 Large diameter cylindrical part 21 2 Small diameter cylindrical part 21 3 Plane part 22 Lower mold 22a Molding surface 22 1 Large-diameter cylindrical portion 22 3 Plane portion 22 4 Stepped portion 23 Sleeve 24 Cavity 25 Hole 26 Gas inlet 27 Gas outlet 28 Instrument 30 1 Upper heating plate 30 2 Lower heating plate 32 Cylinder 32a Cylinder rod 33 1 upper heater 33 2 lower heater 34 mounting table 38 preform 39 optical element 40 1 upper heating plate 40 2 lower heating plate 42 cylinder 42a cylinder rod 43 1 upper heater 43 2 lower heater 44 mounting table 50 1 upper heating plate 50 2 Lower heating plate 52 Cylinder 52a Cylinder rod 53 1 Upper heater 53 2 Lower heater 5 4 Mounting table 60 Carbon member 62 Positioning member 64 Stepped portion 66 Recessed portion
Claims (6)
前記一対の成形型の間でかつ成形された光学素子と非接触となる位置に炭素系材料を含む固体部材を配置して、前記光学素材を押圧成形する
ことを特徴とする光学素子の製造方法。 In the method of manufacturing an optical element in which an optical material is softened by heating and press-molded with a pair of molds,
A method of manufacturing an optical element, comprising: placing a solid member containing a carbon-based material between the pair of molds and in a position not in contact with the molded optical element, and pressing the optical material. .
ことを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造方法。 The method for manufacturing an optical element according to claim 1, wherein the optical material is press-molded in an atmosphere in which an oxygen concentration between the pair of molds is 0.5 ppm or more.
ことを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造方法。 The method for manufacturing an optical element according to claim 1, wherein the solid member has a ring shape.
ことを特徴とする請求項１又は３に記載の光学素子の製造方法。 The method for manufacturing an optical element according to claim 1, wherein the solid member is disposed between the pair of molds via a positioning member.
ことを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造方法。 The method for producing an optical element according to claim 1, wherein the carbon-based material is any one of graphite, glassy carbon, and diamond-like carbon.
前記一対の成形型の間でかつ成形された光学素子と非接触となる位置に炭素系材料を含む固体部材を配置した
ことを特徴とする光学素子の製造装置。 In an optical element manufacturing apparatus that heat-softens an optical material and press-molds it with a pair of molds,
An optical element manufacturing apparatus, wherein a solid member containing a carbon-based material is disposed between the pair of molds and at a position that is not in contact with the molded optical element.
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