JP2009104083A - Light guide - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light guide capable of being manufactured in high productivity by a lamination process and forming a core by performing development without using any organic solvent. <P>SOLUTION: The light guide is formed of a clad and a core in the clad. The clad is manufactured by curing a curing film after laminating the curable film formed of an epoxy resin composition containing polyalkylene glycol diglycidyl ether, water-added bisphenol epoxy resin, solid bisphenol epoxy resin, phenoxy resin and a cation curing initiator. In addition, the core is manufactured by performing pattern exposure and development after laminating an optical curing film formed of an epoxy resin composition containing an epoxy resin having 3,4-epoxy cyclohexenyl skeleton, liquid-like bisphenol epoxy resin, solid bisphenol epoxy resin and an optical cation curing agent. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ポリマ材料で形成される光導波路に関するものである。   The present invention relates to an optical waveguide formed of a polymer material.

インターネットに代表される光通信の高速処理のニーズとは別に、装置内で大量の画像情報を伝送する分野などにおいて、光伝送を採用することによって、高速処理や電磁ノイズ回避を実現するニーズが高まっている。これには、LSIやICチップ間を従来の電気伝送に替えて光で伝送しようという装置内光コネクションが重要な技術となっている。   In addition to the need for high-speed processing of optical communications represented by the Internet, the need to realize high-speed processing and electromagnetic noise avoidance is increasing by adopting optical transmission in fields where large amounts of image information are transmitted within the device. ing. For this purpose, an in-device optical connection for transmitting light between LSIs and IC chips using light instead of conventional electric transmission is an important technology.

そしてこの分野では、長距離光通信で使用されているような、波長1.3μmや1.5μm台の波長を用いる断面径が10μm以下のシングルモード導波路ではなく、導波路の光入出力部と受発光素子の位置合せが容易になる断面径が30〜100μmのマルチモード導波路が最適であり、このようなマルチモード導波路において、光の損失が小さく、量産性に優れ、電気回路基板との一体化が容易なポリマ導波路の実用が望まれている。   In this field, the optical input / output unit of the waveguide is not a single mode waveguide having a cross-sectional diameter of 10 μm or less using a wavelength of 1.3 μm or 1.5 μm, as used in long-distance optical communication. A multimode waveguide having a cross-sectional diameter of 30 to 100 μm that facilitates alignment of the light receiving and emitting elements is optimal. In such a multimode waveguide, the loss of light is small, and mass production is excellent. There is a demand for practical use of a polymer waveguide that can be easily integrated.

このようなポリマ導波路を作製するポリマ材料としては、透明性が高い熱可塑性樹脂や光あるいは熱で硬化する硬化性樹脂が使用されている。   As a polymer material for producing such a polymer waveguide, a highly transparent thermoplastic resin or a curable resin that is cured by light or heat is used.

しかし、アクリル樹脂、PET、シクロオレフィンポリマなど熱可塑性樹脂を用いる場合(例えば、特許文献1等参照)、熱可塑性樹脂は高温が作用すると溶融するため、半田付けに耐えることができないものであり、また熱可塑性樹脂は接着力が低いため、層間密着性の高い光導波路を作製することが難しいものであり、実用化が困難であるという問題がある。   However, when a thermoplastic resin such as acrylic resin, PET, or cycloolefin polymer is used (see, for example, Patent Document 1), the thermoplastic resin melts when a high temperature acts, and therefore cannot withstand soldering. Moreover, since the thermoplastic resin has low adhesive strength, it is difficult to produce an optical waveguide with high interlayer adhesion, and there is a problem that it is difficult to put it into practical use.

一方、硬化性樹脂は耐熱性が高く、層間密着性も良好であるので、ポリマ材料として硬化性樹脂を用いることが主流になっている。   On the other hand, since curable resins have high heat resistance and good interlayer adhesion, it is the mainstream to use curable resins as polymer materials.

例えば、特許文献2には、オキセタン樹脂、エポキシ樹脂、光重合開始剤を含有する液状の光硬化性樹脂をクラッド用やコア用のポリマ材料として用い、この光硬化性樹脂液を塗布して形成した後に、パターン露光、現像を行なってコアを形成する工程を有する工法で、光導波路を作製する技術が開示されている。   For example, in Patent Document 2, a liquid photocurable resin containing an oxetane resin, an epoxy resin, and a photopolymerization initiator is used as a polymer material for a cladding or a core, and this photocurable resin liquid is applied and formed. After that, a technique for manufacturing an optical waveguide by a method having a step of forming a core by performing pattern exposure and development is disclosed.

また特許文献3には、多官能の反応性オリゴマーと光重合開始剤を含有する液状の光硬化性エポキシ樹脂をクラッド用やコア用のポリマ材料として用い、この光硬化性エポキシ樹脂液を塗布して形成した後に、パターン露光、現像を行なってコアを形成する工程を有する工法で、光導波路を作製する技術が開示されている。
特開平1−302308号公報 特開2001−343539号公報 特許第3063903号公報
In Patent Document 3, a liquid photocurable epoxy resin containing a polyfunctional reactive oligomer and a photopolymerization initiator is used as a polymer material for cladding and core, and this photocurable epoxy resin liquid is applied. A technique for producing an optical waveguide by a method having a step of forming a core by pattern exposure and development after being formed is disclosed.
JP-A-1-302308 JP 2001-343539 A Japanese Patent No. 30603903

しかし、上記の特許文献2,3のように、ポリマ材料として液状の光硬化性樹脂を用いる場合、光硬化性樹脂液を塗布する塗工工程が必要となり、生産性に問題を有するものであった。また特許文献2,3のものでは、光硬化性樹脂液の塗布層にパターン露光をした後に現像を行なうにあたって、有機溶剤を用いて現像を行なう必要があり、有機溶剤は引火・爆発のおそれや作業環境での人体に対する悪影響があるという問題もあった。   However, as described in Patent Documents 2 and 3, when a liquid photocurable resin is used as a polymer material, a coating process for applying a photocurable resin liquid is required, which has a problem in productivity. It was. Further, in Patent Documents 2 and 3, it is necessary to perform development using an organic solvent in performing development after pattern exposure is performed on the coating layer of the photocurable resin liquid. There was also a problem that there was an adverse effect on the human body in the work environment.

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ラミネートプロセスにより生産性高く製造することができると共に、また有機溶剤を用いることなく現像を行なってコアを形成することができ、しかも光の損失が小さい光導波路を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above points, and can be manufactured with high productivity by a laminating process, and can be developed without using an organic solvent to form a core. An object of the present invention is to provide an optical waveguide with low loss.

本発明に係る光導波路は、クラッドと、クラッド内のコアとから形成される光導波路において、クラッドは、ポリアルキレングリコールジグリシジルエーテル、水添ビスフェノール型エポキシ樹脂、固形ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、及びカチオン硬化開始剤を含有するエポキシ樹脂組成物で形成される硬化性フィルムをラミネートした後に硬化することによって作製されるものであり、コアは、3,4−エポキシシクロヘキセニル骨格を有するエポキシ樹脂、液状ビスフェノール型エポキシ樹脂、固形ビスフェノール型エポキシ樹脂、及び光カチオン硬化剤を含有するエポキシ樹脂組成物で形成される光硬化性フィルムをラミネートした後に、パターン露光及び現像することによって作製されるものであることを特徴とするものである。   The optical waveguide according to the present invention is an optical waveguide formed from a clad and a core in the clad, wherein the clad is polyalkylene glycol diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol type epoxy resin, solid bisphenol type epoxy resin, phenoxy resin, And a curable film formed by laminating a curable film formed of an epoxy resin composition containing a cationic curing initiator, and the core is an epoxy resin having a 3,4-epoxycyclohexenyl skeleton, It is produced by laminating a liquid bisphenol type epoxy resin, a solid bisphenol type epoxy resin, and a photocurable film formed of an epoxy resin composition containing a photocationic curing agent, and then pattern exposure and development. With features Is shall.

この発明によれば、クラッド用の硬化性フィルムと、コア用の光硬化性フィルムを用いて、ラミネートプロセスにより生産性高く光導波路を形成することができると共に、有機溶剤を用いることなく現像を行なってコアを形成することができ、しかも光の損失が小さく、フレキシブルな光導波路を形成することができるものである。   According to the present invention, an optical waveguide can be formed with high productivity by a laminating process using a curable film for cladding and a photocurable film for core, and development is performed without using an organic solvent. Thus, the core can be formed, and the loss of light is small, and a flexible optical waveguide can be formed.

また本発明は、上記のコア用の光硬化性フィルムを形成するエポキシ樹脂組成物に、フェノキシ樹脂をも含有することを特徴とするものである。   The present invention is also characterized in that the epoxy resin composition forming the photocurable film for the core contains a phenoxy resin.

この発明によれば、光の損失がより小さい光導波路を形成することができるものである。   According to this invention, it is possible to form an optical waveguide with a smaller light loss.

また本発明は、上記のコア用の光硬化性フィルムを形成するエポキシ樹脂組成物に、式(1)の化学構造を有するエポキシ樹脂をも含有することを特徴とするものである。   The present invention is also characterized in that the epoxy resin composition forming the above-mentioned core photocurable film also contains an epoxy resin having a chemical structure of the formula (1).

Figure 2009104083
Figure 2009104083

この発明によれば、光の損失がより小さい光導波路を形成することができるものである。   According to this invention, it is possible to form an optical waveguide with a smaller light loss.

また本発明は、上記のクラッド用の硬化性フィルムを形成するエポキシ樹脂組成物に、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物をも含有することを特徴とするものである。   The present invention also provides 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol as an epoxy resin composition for forming the curable film for cladding. It also contains an adduct.

この発明によれば、光の損失がより小さい光導波路を形成することができるものである。   According to this invention, it is possible to form an optical waveguide with a smaller light loss.

本発明によれば、クラッド用の硬化性フィルムと、コア用の光硬化性フィルムを用いて、ラミネートプロセスにより生産性高く光導波路を形成することができると共に、有機溶剤を用いることなく現像を行なってコアを形成することができ、しかも光の損失が小さく、フレキシブルな光導波路を形成することができるものである。   According to the present invention, an optical waveguide can be formed with high productivity by a laminating process using a curable film for cladding and a photocurable film for core, and development is performed without using an organic solvent. Thus, the core can be formed, and the loss of light is small, and a flexible optical waveguide can be formed.

以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described.

本発明において、クラッドを形成するために使用される硬化性フィルムは、ポリアルキレングリコールジグリシジルエーテル、水添ビスフェノール型エポキシ樹脂、固形ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、及びカチオン硬化開始剤を含有するエポキシ樹脂組成物によって形成されるものである。   In the present invention, the curable film used to form the clad is an epoxy containing polyalkylene glycol diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol type epoxy resin, solid bisphenol type epoxy resin, phenoxy resin, and cationic curing initiator. It is formed by a resin composition.

上記のポリアルキレングリコールジグリシジルエーテルを含有することによって、その分子構造に起因する優れた柔軟性を硬化物に発現することができ、クラッドのTgを下げて光導波路のフレキシブル化が容易になるものであり、かつ屈折率を低くすることができると共に透明性を高くすることができ、光損失を低減することができるものである。また硬化性フィルムのタック性(粘着性)を高めて層間の密着性を向上することができるものである。ポリアルキレングリコールジグリシジルエーテルの含有量が多くなり過ぎると、Tgが低くなり過ぎて耐熱性が低下したり、タック性が強くなり過ぎて取り扱いに問題が生じたりするので、ポリアルキレングリコールジグリシジルエーテルの含有量は、樹脂分全量に対して5〜20質量%の範囲が好ましい。   By containing the above-mentioned polyalkylene glycol diglycidyl ether, excellent flexibility due to its molecular structure can be expressed in the cured product, and the optical waveguide can be easily made flexible by lowering the Tg of the cladding. In addition, the refractive index can be lowered, transparency can be increased, and light loss can be reduced. Moreover, the tack property (adhesiveness) of a curable film can be improved and the adhesiveness between layers can be improved. If the polyalkylene glycol diglycidyl ether content is too high, the Tg will be too low and the heat resistance will be lowered, or the tackiness will be too strong and handling problems will occur. The content of is preferably in the range of 5 to 20 mass% with respect to the total resin content.

このポリアルキレングリコールジグリシジルエーテルとしては、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルなどを用いることができる。   As this polyalkylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether and the like can be used.

また上記の水添ビスフェノール型エポキシ樹脂を含有することによって、クラッドのTgを下げて光導波路のフレキシブル化が容易になるものであり、かつ屈折率を低くすることができると共に透明性を高くすることができ、光損失を低減することができるものである。この水添ビスフェノール型エポキシ樹脂として、常温で液状のもの、常温で固形のもの、いずれでも使用することができるので、液状のものを用いることによって硬化性フィルムのタック性を高めることができ、また固形のものを用いることによって硬化性フィルムのタック性を下げることができ、硬化性フィルムのタック性を調整することができるものである。水添ビスフェノール型エポキシ樹脂の含有量は、樹脂分全量に対して20〜50質量%の範囲が好ましい。   Also, by containing the above hydrogenated bisphenol type epoxy resin, the Tg of the clad can be lowered to make the optical waveguide flexible, and the refractive index can be lowered and the transparency can be increased. And light loss can be reduced. As this hydrogenated bisphenol-type epoxy resin, any one that is liquid at room temperature or solid at room temperature can be used, so that the tackiness of the curable film can be improved by using a liquid one, By using a solid material, the tackiness of the curable film can be lowered, and the tackiness of the curable film can be adjusted. The content of the hydrogenated bisphenol type epoxy resin is preferably in the range of 20 to 50% by mass with respect to the total resin content.

この水添ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールE型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールS型エポキシ樹脂などを用いることができる。   Examples of the hydrogenated bisphenol type epoxy resin include hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol E type epoxy resin, and hydrogenated bisphenol S type epoxy resin.

また上記の常温(室温)で固形である固形ビスフェノール型エポキシ樹脂を含有することによって、硬化物の脆さを抑えてクラッドの強靭性を高めることができると共にTgを低めに調整することができ、光導波路のフレキシブル化が容易になるものであり、かつ屈折率を低くすることができると共に透明性を高くすることができ、光損失を低減することができるものである。また硬化性フィルムのタック性が低くなるように調整することもできる。固形ビスフェノール型エポキシ樹脂の含有量は、樹脂分全量に対して10〜40質量%の範囲が好ましい。   Moreover, by containing the solid bisphenol-type epoxy resin that is solid at room temperature (room temperature), the brittleness of the cured product can be suppressed and the toughness of the clad can be increased, and the Tg can be adjusted low. The optical waveguide can be easily made flexible, the refractive index can be lowered, the transparency can be increased, and the optical loss can be reduced. Moreover, it can also adjust so that the tackiness of a curable film may become low. The content of the solid bisphenol type epoxy resin is preferably in the range of 10 to 40% by mass with respect to the total resin content.

この固形ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂、固形ビスフェノールF型エポキシ樹脂、固形ビスフェノールE型エポキシ樹脂、固形ビスフェノールS型エポキシ樹脂などを用いることができる。   As this solid bisphenol type epoxy resin, solid bisphenol A type epoxy resin, solid bisphenol F type epoxy resin, solid bisphenol E type epoxy resin, solid bisphenol S type epoxy resin and the like can be used.

また上記のフェノキシ樹脂を含有することによって、硬化物の脆さを抑えてクラッドの強靭性を高めることができると共にTgを低めに調整することができ、光導波路のフレキシブル化が容易になるものであり、かつ屈折率を低くすることができると共に透明性を高くすることができ、光損失を低減することができるものである。また、硬化性フィルムを作製する際に調製する溶剤溶液(ワニス)の粘度が高くなるように調整することができ、硬化性フィルムの作製が容易になるものであり、また硬化性フィルムのタック性を低く抑えるように調整することもできるものである。フェノキシ樹脂の含有量が多くなり過ぎると、ワニスのチクソ性が高くなって硬化性フィルムを作製する際の塗工性に適さなくなるので、フェノキシ樹脂の含有量は、樹脂分全量に対して10〜25質量%の範囲が好ましい。   Also, by containing the above phenoxy resin, the brittleness of the cured product can be suppressed and the toughness of the clad can be increased, and the Tg can be adjusted to be low, and the optical waveguide can be easily made flexible. In addition, the refractive index can be lowered, transparency can be increased, and light loss can be reduced. Moreover, it can adjust so that the viscosity of the solvent solution (varnish) prepared when producing a curable film may become high, preparation of a curable film becomes easy, and tackiness of a curable film It is also possible to adjust so as to keep the value low. If the content of the phenoxy resin is too large, the thixotropy of the varnish becomes high and becomes unsuitable for coating properties when producing a curable film. Therefore, the content of the phenoxy resin is 10 to the total resin content. A range of 25% by weight is preferred.

また、エポキシ樹脂組成物に硬化性を付与するための硬化開始剤として、上記のようにカチオン硬化開始剤を含有することによって、クラッドの透明性を高めることができ、光損失を低減することができるものである。このカチオン硬化剤としては、光によってのみ硬化を開始できる光カチオン硬化開始剤、熱によってのみ硬化を開始できる熱カチオン硬化開始剤、光によっても熱によっても硬化を開始できる光・熱カチオン硬化開始剤があるが、これらのいずれのものも使用することができ、またこれらを単独で使用する他に複数種を併用してもよい。カチオン硬化開始剤の含有量は必要に応じて設定されるが、一般に、樹脂分全量に対して0.5〜2質量%の範囲が好ましい。   Moreover, by containing a cationic curing initiator as described above as a curing initiator for imparting curability to the epoxy resin composition, the transparency of the cladding can be increased, and light loss can be reduced. It can be done. This cationic curing agent includes a photocationic curing initiator that can initiate curing only by light, a thermal cationic curing initiator that can initiate curing only by heat, and a light / thermal cationic curing initiator that can initiate curing by both light and heat. However, any of these can be used, and in addition to using these alone, a plurality of them may be used in combination. Although content of a cationic hardening initiator is set as needed, generally the range of 0.5-2 mass% is preferable with respect to resin whole quantity.

上記の樹脂成分や硬化開始剤の各材料を組み合わせて調製したエポキシ樹脂組成物から硬化性フィルムを作製し、この硬化性フィルムを硬化させることによって、透明性に優れ、且つフレキシブル性の高いクラッドを、ラミネート時のボイドの混入少なく作製することができるものであり、光損失が小さく、フレキシブルな光導波路のクラッドを得ることができるものである。   By producing a curable film from an epoxy resin composition prepared by combining the above resin components and curing initiator materials, and curing this curable film, a highly flexible and highly flexible cladding can be obtained. It can be manufactured with less mixing of voids at the time of laminating, and it is possible to obtain a clad of a flexible optical waveguide with a small optical loss.

クラッド形成用の硬化性フィルムを作製するエポキシ樹脂組成物は、上記の成分が必須であるが、上記の成分の他に、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物を含有することが好ましい。このものは常温で液体の透明な脂環式エポキシであり、硬化物のTgを高めに調整することができ、またクラッドの屈折率を低くすることができると共に透明性を高くすることができるものであり、光損失を低減することができるものである。2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物の含有量は、樹脂分全量に対して3〜15質量%の範囲が好ましい。3質量%未満であると、含有による効果を十分に得ることができないものであり、逆に15質量%を超えると、硬化物の柔軟性が低下し、クラッドの耐屈曲性が低下するので、フレキシブル光導波路を作製する上で好ましくない。   In the epoxy resin composition for producing a curable film for forming a clad, the above-described components are essential. In addition to the above-described components, 1,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol is 1,2- It is preferable to contain an epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct. This is a transparent alicyclic epoxy that is liquid at room temperature, which can adjust the Tg of the cured product to be higher, can lower the refractive index of the cladding, and can increase transparency. Therefore, the optical loss can be reduced. The content of 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol is preferably in the range of 3 to 15% by mass with respect to the total resin content. . If it is less than 3% by mass, the effect of inclusion cannot be sufficiently obtained. Conversely, if it exceeds 15% by mass, the flexibility of the cured product is reduced, and the bending resistance of the cladding is reduced. It is not preferable in producing a flexible optical waveguide.

クラッド形成用の硬化性フィルムを作製するエポキシ樹脂組成物には、さらに、本発明の趣旨を阻害ない範囲で、各種エポキシ樹脂、各種オキセタン樹脂、各種のアクリレートやメタクリレートなど反応性二重結合を有する化合物、各種の液状又は固形のゴム状物質などを含有することもできるものであり、また増感剤や表面調整剤(レベリング剤、消泡剤、ハジキ防止剤)などを含有することもできるものである。   The epoxy resin composition for producing a curable film for forming a clad further has a reactive double bond such as various epoxy resins, various oxetane resins, various acrylates and methacrylates within the range not impairing the gist of the present invention. It can contain compounds, various liquid or solid rubber-like substances, and can also contain sensitizers and surface conditioners (leveling agents, antifoaming agents, repellency inhibitors), etc. It is.

次に、本発明において、コアを形成するために使用される光硬化性フィルムは、3,4−エポキシシクロヘキセニル骨格を有するエポキシ樹脂、液状ビスフェノール型エポキシ樹脂、固形ビスフェノール型エポキシ樹脂、及び光カチオン硬化剤を含有するエポキシ樹脂組成物で形成されるものである。   Next, in the present invention, the photocurable film used to form the core is an epoxy resin having a 3,4-epoxycyclohexenyl skeleton, a liquid bisphenol type epoxy resin, a solid bisphenol type epoxy resin, and a photocation. It is formed with an epoxy resin composition containing a curing agent.

上記の3,4−エポキシシクロヘキセニル骨格を有するエポキシ樹脂を含有することによって、コアの透明性を高くすることができ、光損失を低減することができるものである。またタック性が強くなるように調整することができ、硬化過程において速い硬化速度を有する光硬化性フィルムを得ることができるものであり、さらに分子構造に応じてTgを高くしたり低くしたりすることができ、硬化物のTgを調整することができるものである。また、光硬化性フィルムをパターン露光・現像して導波路のコアを作製する際に、コアの両側面は現像によって荒れが発生し易く、このコアの両側面で光が散乱してクラッドへと逃げ易くなって光導波損失が一般に生じるが、3,4−エポキシシクロヘキセニル骨格を有するエポキシ樹脂を含有することによってコアのこの側面の部分の屈折率がコア内部よりも低下する現象がみられ、コアの両側面からクラッドへと逃げる光の量が少なくなって光導波損失を低減することができるものである。3,4−エポキシシクロヘキセニル骨格を有するエポキシ樹脂の含有量は、樹脂分全量に対して5〜20質量%の範囲が好ましい。   By containing the epoxy resin having the 3,4-epoxycyclohexenyl skeleton, the transparency of the core can be increased and the optical loss can be reduced. Moreover, it can adjust so that tack property may become strong, and can obtain the photocurable film which has a quick cure rate in a hardening process, and also makes Tg high or low according to molecular structure. The Tg of the cured product can be adjusted. In addition, when a waveguide core is produced by pattern exposure and development of a photocurable film, both sides of the core are likely to be roughened by development, and light is scattered on both sides of the core, resulting in cladding. Easily escape and optical waveguide loss generally occurs, but by including an epoxy resin having a 3,4-epoxycyclohexenyl skeleton, the phenomenon that the refractive index of this side portion of the core is lower than the inside of the core is seen, The amount of light escaping from both side surfaces of the core to the cladding is reduced, and the optical waveguide loss can be reduced. The content of the epoxy resin having a 3,4-epoxycyclohexenyl skeleton is preferably in the range of 5 to 20% by mass with respect to the total resin content.

この3,4−エポキシシクロヘキセニル骨格を有するエポキシ樹脂としては、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3′,4′−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート、ε−カプロラクトン変性3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3′,4′−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートなどを用いることができる。   Examples of the epoxy resin having a 3,4-epoxycyclohexenyl skeleton include 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexenecarboxylate, ε-caprolactone-modified 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3. ', 4'-epoxycyclohexanecarboxylate or the like can be used.

また上記の常温で液状である液状ビスフェノール型エポキシ樹脂を含有することによって、硬化物の脆さを抑えてコアの強靭性を高めることができると共にTgを低めに調整することができ、光導波路のフレキシブル化が容易になるものであり、かつ屈折率を高くすることができると共に透明性を高くすることができ、光損失を低減することができるものである。また硬化性フィルムのタック性が強くなるように調整することもできる。液状ビスフェノール型エポキシ樹脂の含有量は、樹脂分全量に対して10〜40質量%の範囲が好ましい。   Further, by containing the liquid bisphenol type epoxy resin that is liquid at room temperature, the brittleness of the cured product can be suppressed and the toughness of the core can be increased, and the Tg can be adjusted to be low. Flexibility is facilitated, the refractive index can be increased, transparency can be increased, and light loss can be reduced. Moreover, it can also adjust so that the tackiness of a curable film may become strong. The content of the liquid bisphenol-type epoxy resin is preferably in the range of 10 to 40% by mass with respect to the total resin content.

この液状ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂、液状ビスフェノールF型エポキシ樹脂、液状ビスフェノールE型エポキシ樹脂、液状ビスフェノールS型エポキシ樹脂などを用いることができる。   As this liquid bisphenol type epoxy resin, liquid bisphenol A type epoxy resin, liquid bisphenol F type epoxy resin, liquid bisphenol E type epoxy resin, liquid bisphenol S type epoxy resin and the like can be used.

また上記の常温で固形である固形ビスフェノール型エポキシ樹脂を含有することによって、硬化物の脆さを抑えてコアの強靭性を高めることができると共にTgを低めに調整することができ、光導波路のフレキシブル化が容易になるものであり、かつ屈折率を高くすることができると共に透明性を高くすることができ、光損失を低減することができるものである。また硬化性フィルムのタック性が低くなるように調整することもできる。固形ビスフェノール型エポキシ樹脂の含有量は、樹脂分全量に対して40〜80質量%の範囲が好ましい。   Further, by containing the solid bisphenol type epoxy resin that is solid at room temperature, the brittleness of the cured product can be suppressed and the toughness of the core can be increased, and the Tg can be adjusted to be low. Flexibility is facilitated, the refractive index can be increased, transparency can be increased, and light loss can be reduced. Moreover, it can also adjust so that the tackiness of a curable film may become low. The content of the solid bisphenol type epoxy resin is preferably in the range of 40 to 80% by mass with respect to the total resin content.

この固形ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂、固形ビスフェノールF型エポキシ樹脂、固形ビスフェノールE型エポキシ樹脂、固形ビスフェノールS型エポキシ樹脂などを用いることができる。   As this solid bisphenol type epoxy resin, solid bisphenol A type epoxy resin, solid bisphenol F type epoxy resin, solid bisphenol E type epoxy resin, solid bisphenol S type epoxy resin and the like can be used.

また、エポキシ樹脂組成物に光硬化性を付与するための光硬化開始剤として、上記のように光カチオン硬化開始剤を含有することによって、コアの透明性を高めることができ、光損失を低減することができるものである。光カチオン硬化剤の含有量は必要に応じて設定されるが、一般に、樹脂分全量に対して0.5〜2質量%の範囲が好ましい。   In addition, by containing a photocationic curing initiator as described above as a photocuring initiator for imparting photocurability to the epoxy resin composition, the transparency of the core can be increased and light loss is reduced. Is something that can be done. Although content of a photocationic hardening agent is set as needed, generally the range of 0.5-2 mass% is preferable with respect to resin whole quantity.

上記の樹脂成分や硬化開始剤の各材料を組み合わせて調製したエポキシ樹脂組成物から光硬化性フィルムを作製し、この硬化性フィルムをパターン露光して現像することによって、透明性に優れ、且つフレキシブル性の高いコアを、ラミネート時のボイドの混入少なく作製することができるものであり、光損失が小さく、フレキシブルな光導波路のコアを得ることができるものである。また上記のエポキシ樹脂組成物から作製した光硬化性フィルムは、水系フラックス洗浄剤を現像液として用いて現像することができるものであり、現像に有機溶剤を用いる必要がなくなって、引火・爆発の問題や作業環境での人体に対する悪影響の問題を回避することができるものである。   A photo-curable film is produced from an epoxy resin composition prepared by combining the above resin components and curing initiator materials, and this curable film is subjected to pattern exposure and developed to provide excellent transparency and flexibility. A high-performance core can be produced with less mixing of voids during lamination, and a flexible optical waveguide core with low optical loss can be obtained. In addition, the photocurable film prepared from the above epoxy resin composition can be developed using a water-based flux cleaning agent as a developer, and it is not necessary to use an organic solvent for development. It is possible to avoid problems and adverse effects on the human body in the work environment.

コア形成用の硬化性フィルムを作製するエポキシ樹脂組成物は、上記の成分が必須であるが、上記の成分の他に、フェノキシ樹脂を含有させるようにするのが好ましい。フェノキシ樹脂を含有することによって、硬化物の脆さを抑えてコアの強靭性を高めることができると共にTgを低めに調整することができ、光導波路のフレキシブル化が容易になるものであり、かつ屈折率を高くすることができると共に透明性を高くすることができ、光損失を低減することができるものである。特に、このように硬化物の脆さを抑えてコアの強靭性を高めることができるため、露光・現像してパターン状に形成したコアのエッジに欠けや傷など物理的損傷が発生することを防ぐことができるものであり、導波路損失を低減することができるものである。また、光硬化性フィルムを作製する際に調製する溶剤溶液(ワニス)の粘度が高くなるように調整することができ、光硬化性フィルムの作製が容易になるものであり、さらに光硬化性フィルムのタック性を低く抑えるように調整することもできるものである。フェノキシ樹脂の含有量は、樹脂分全量に対して1〜5質量%の範囲が好ましい。1質量%未満であると、フェノキシ樹脂を含有することによる効果を十分に得ることができないものであり、逆に5質量%を超えると、水系フラックス洗浄剤で現像を行なうことが難しくなるので、好ましくない。   In the epoxy resin composition for producing a curable film for forming a core, the above components are essential, but it is preferable to contain a phenoxy resin in addition to the above components. By containing the phenoxy resin, the brittleness of the cured product can be suppressed, the toughness of the core can be increased, Tg can be adjusted to be low, and the optical waveguide can be easily made flexible. A refractive index can be increased, transparency can be increased, and light loss can be reduced. In particular, since the toughness of the core can be increased by suppressing the brittleness of the cured product in this way, physical damage such as chipping and scratching occurs on the edge of the core formed in a pattern by exposure and development. This can be prevented, and waveguide loss can be reduced. Moreover, it can adjust so that the viscosity of the solvent solution (varnish) prepared when producing a photocurable film may become high, preparation of a photocurable film becomes easy, and also a photocurable film It can also be adjusted to keep the tackiness of the sheet low. The content of the phenoxy resin is preferably in the range of 1 to 5% by mass with respect to the total resin content. If it is less than 1% by mass, the effect of containing the phenoxy resin cannot be sufficiently obtained. Conversely, if it exceeds 5% by mass, it becomes difficult to perform development with an aqueous flux cleaning agent. It is not preferable.

またコア形成用の光硬化性フィルムを作製するエポキシ樹脂組成物には、上記の成分の他に、上記の式(1)の化学構造を有するエポキシ樹脂を含有させるようにするのが好ましい。この式(1)の化学構造を有するエポキシ樹脂を含有することによって、透明性の高いコアを形成できるものであり、光損失の小さい光導波路を形成することができるものである。この式(1)の化学構造を有するエポキシ樹脂を含有しない場合には、エポキシ樹脂組成物の組成によってはベンゼン環の有無や分子量の違いなどにより、作製した光硬化性フィルムの透明性が霞んで低下するが、式(1)の化学構造を有するエポキシ樹脂を含有することで光硬化性フィルムの透明性が高まることから、式(1)の化学構造を有するエポキシ樹脂は光硬化性フィルムを形成するエポキシ樹脂同士の相溶化剤として作用していると考えられるものであり、そしてこのような特殊な作用によって、エポキシ樹脂はミクロな相分離のない硬化物となってコアが形成されるものであり、光導波損失を低減できるものと考えられる。式(1)の化学構造を有するエポキシ樹脂の含有量は、樹脂分全量に対して5〜20質量%が好ましい。   Moreover, it is preferable to make the epoxy resin composition which produces the photocurable film for core formation contain the epoxy resin which has a chemical structure of said Formula (1) other than said component. By containing the epoxy resin having the chemical structure of the formula (1), a highly transparent core can be formed, and an optical waveguide with small optical loss can be formed. When the epoxy resin having the chemical structure of the formula (1) is not contained, depending on the composition of the epoxy resin composition, the transparency of the produced photocurable film is obscured due to the presence or absence of a benzene ring or a difference in molecular weight. The epoxy resin having the chemical structure of formula (1) forms a photocurable film because the transparency of the photocurable film is increased by containing the epoxy resin having the chemical structure of formula (1). The epoxy resin is thought to act as a compatibilizer between the epoxy resins, and due to this special action, the epoxy resin becomes a cured product without micro phase separation and the core is formed. It is considered that the optical waveguide loss can be reduced. As for content of the epoxy resin which has a chemical structure of Formula (1), 5-20 mass% is preferable with respect to resin whole quantity.

コア形成用の光硬化性フィルムを作製するエポキシ樹脂組成物には、さらに、本発明の趣旨を阻害ない範囲で、各種エポキシ樹脂、各種オキセタン樹脂、各種のアクリレートやメタクリレートなど反応性二重結合を有する化合物、各種の液状又は固形のゴム状物質などを含有することもできるものであり、また増感剤や表面調整剤(レベリング剤、消泡剤、ハジキ防止剤)などを含有することもできるものである。   Reactive double bonds such as various epoxy resins, various oxetane resins, various acrylates and methacrylates are further added to the epoxy resin composition for producing the photocurable film for core formation, as long as the gist of the present invention is not impaired. It can also contain various liquid or solid rubber-like substances, and can also contain sensitizers and surface conditioners (leveling agents, antifoaming agents, anti-repelling agents), etc. Is.

上記のエポキシ樹脂組成物を用いてクラッド用の硬化性フィルムやコア用の光硬化性フィルムを作製するにあたって、エポキシ樹脂組成物を溶剤に溶解して溶剤溶液(ワニス)を調製し、このワニスを剥離フィルムの表面にコーターで塗布し、これを乾燥することによって行なうことができる。   In producing a curable film for cladding and a photocurable film for core using the epoxy resin composition described above, the epoxy resin composition is dissolved in a solvent to prepare a solvent solution (varnish). It can carry out by apply | coating with the coater on the surface of a peeling film, and drying this.

次に、このクラッド用の硬化性フィルムとコア用の光硬化性フィルムを用いて光導波路を製造する方法について説明する。ここで、クラッド用硬化性フィルムの屈折率は、コア用光硬化性フィルムの屈折率よりも低く形成されるものである。   Next, a method for producing an optical waveguide using the curable film for clad and the photocurable film for core will be described. Here, the refractive index of the clad curable film is lower than the refractive index of the core photocurable film.

まず、フレキシブルプリント配線基板など回路11が形成されたフレキシブルな基板11の表面に図1(a)のようにクラッド用硬化性フィルム1をラミネートし、次に紫外線などの光照射や加熱をしてクラッド用硬化性フィルム1を硬化させることによって、図1(b)のように、基板11の表面にアンダークラッド3aを積層して形成する。   First, a clad curable film 1 is laminated on the surface of a flexible substrate 11 on which a circuit 11 such as a flexible printed wiring board is formed, as shown in FIG. By curing the clad curable film 1, an underclad 3a is laminated on the surface of the substrate 11 as shown in FIG.

次に、アンダークラッド3aの表面にコア用光硬化性フィルム2をラミネートし、図1(c)のようにコアパターンのスリット12が形成されたマスク13を重ね、スリット12を通して紫外線など光硬化が可能な光を照射することによって、コア用光硬化性フィルム2にコアパターンで露光する。このように露光した後、コア用光硬化性フィルム2を現像処理して、露光されていない部分のコア用光硬化性フィルム2を除去することによって、露光して光硬化されたコア4を図1(d)のようにパターン形状でアンダークラッド3aの表面に形成する。ここで本発明では、現像液として水性フラックス洗浄剤を用いて現像を行なうことができる。また露光は、このようにマスク13を用いて光照射することによって行なう他に、レーザ光をパターン形状に走査して照射する直接描画方式で行なうこともできる。   Next, the core photocurable film 2 is laminated on the surface of the underclad 3 a, and a mask 13 in which the core pattern slit 12 is formed as shown in FIG. By irradiating possible light, the core photocurable film 2 is exposed in a core pattern. After the exposure, the core photocurable film 2 is developed to remove the unexposed portion of the core photocurable film 2, thereby exposing the exposed and photocured core 4. It is formed on the surface of the underclad 3a in a pattern shape as in 1 (d). Here, in the present invention, development can be performed using an aqueous flux cleaner as a developer. In addition to the light exposure using the mask 13 as described above, the exposure can also be performed by a direct drawing method in which a laser beam is scanned and irradiated in a pattern shape.

この後、クラッド用硬化性フィルム1をラミネートして、コア4を覆うようにアンダークラッド3aの上に図1(e)のように重ね、光照射や加熱をしてクラッド用硬化性フィルム1を硬化させることによって、図1(f)のようにオーバークラッド3bを積層して形成する。   Thereafter, the clad curable film 1 is laminated, overlaid on the under clad 3a so as to cover the core 4 as shown in FIG. By curing, an overclad 3b is laminated and formed as shown in FIG.

このようにして、アンダークラッド3aとオーバークラッド3bからなるクラッド3内にコア4が埋入された光導波路Aを基板10の表面に形成することができるものである。そしてこの光導波路Aは、フレキシブルに形成されるものであり、基板10として回路11を有するフレキシブルプリント配線基板を用いることによって、光電複合フレキシブル配線板を得ることができるものである。   In this manner, the optical waveguide A in which the core 4 is embedded in the clad 3 composed of the under clad 3a and the over clad 3b can be formed on the surface of the substrate 10. The optical waveguide A is formed flexibly, and a photoelectric composite flexible wiring board can be obtained by using a flexible printed wiring board having the circuit 11 as the substrate 10.

上記のようにして光導波路Aを製造するにあたって、クラッド3やコア4はクラッド用硬化性フィルム1やコア用光硬化性フィルム2をラミネートするラミネートプロセスで製造を行なうことができ、塗工のような工程を必要とすることなく、生産性高く光導波路Aを製造することができるものである。またクラッド3やコア4はクラッド用硬化性フィルム1やコア用光硬化性フィルム2によって、均一で精度が高い厚みで形成することができるものである。   In producing the optical waveguide A as described above, the clad 3 and the core 4 can be produced by a laminating process in which the clad curable film 1 and the core photocurable film 2 are laminated. The optical waveguide A can be manufactured with high productivity without the need for a simple process. The clad 3 and the core 4 can be formed with a uniform and high-precision thickness by the clad curable film 1 and the core photocurable film 2.

尚、図1(d)のようにコア用光硬化性フィルム2を現像してコア4を形成する際に、現像液がアンダークラッド3aに作用し、アンダークラッド3aが現像液で膨潤したり、アンダークラッド3aとコア4が層間剥離したりすることがあるが、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物を含有するエポキシ樹脂組成物で作製したクラッド用硬化性フィルム1を用いてアンダークラッド3aを形成することによって、このような膨潤や層間剥離の発生を防ぐことができるものである。このように膨潤や層間剥離を防ぐことができるのは、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物は、多官能な脂環式エポキシ樹脂であって、グリシジルエーテル型ではない外部エポキシであるという化学構造式に起因していると考えられる。   In addition, when developing the core photocurable film 2 to form the core 4 as shown in FIG. 1D, the developer acts on the underclad 3a, and the underclad 3a swells with the developer, The underclad 3a and the core 4 may be delaminated, but contains a 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol. By forming the underclad 3a using the curable film 1 for clad produced with the epoxy resin composition, such swelling and delamination can be prevented. Thus, swelling and delamination can be prevented because 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol is multifunctional. It is thought that it originates in the chemical structural formula that it is an alicyclic epoxy resin and is an external epoxy which is not glycidyl ether type.

次に、本発明を実施例によって具体的に説明する。   Next, the present invention will be specifically described with reference to examples.

(クラッド用硬化性フィルムとコア用光硬化性フィルムの作製)
各材料として次のものを用いた。
(1)ポリアルキレングリコールジグリシジルエーテル
・ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル:東都化成(株)製「PG207N」
(2)3,4−エポキシシクロヘキセニル骨格を有するエポキシ樹脂
・3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3′,4′−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート:ダイセル化学工業(株)製「セロキサイド2021P」
・ε−カプロラクトン変性3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3′,4′−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート:ダイセル化学工業(株)製「セロキサイド2081」
(3)水添ビスフェノール型エポキシ樹脂
・液状の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂:ジャパンエポキシレジン(株)製「YX8000」
・固形の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂:ジャパンエポキシレジン(株)製「YL7170」
(4)固形ビスフェノール型エポキシ樹脂
・固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂:ジャパンエポキシレジン(株)製「エピコート1006FS」
・固形ビスフェノールF型エポキシ樹脂:ジャパンエポキシレジン(株)製「エピコート4007」
(5)液状ビスフェノール型エポキシ樹脂
・液状ビスフェノールF型エポキシ樹脂:大日本インキ化学工業(株)製「エピクロン830S」
・液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂:大日本インキ化学工業(株)製「エピクロン850S」
(6)フェノキシ樹脂
・東都化成(株)製「YP50」
(7)式(1)のエポキシ樹脂
・三井化学(株)製「VG−3101」
(8)2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物のエポキシ樹脂
・ダイセル化学工業(株)製「EHPE3150」
(9)光カチオン硬化開始剤
・(株)アデカ製「SL−170」(SbF 系スルホニウム塩)
(10)熱カチオン硬化開始剤
・三新化学工業(株)製「SI−150L」(SbF 系スルホニウム塩)
(11)表面調整剤
・大日本インキ化学工業(株)製「F470」
(12)溶剤
・トルエン
・MEK
上記の材料を表1の配合に従って、ガラス容器に秤取し、還流下60℃で溶解した後、目開き1μmのPTFE製メンブランフィルターで濾過することによって、ワニスを調製した。そしてこのワニスを離型フィルム(帝人デュポン社製PETフィルム「OX−50」)の表面にヒラノテクシード社製のコンマコーターヘッドのマルチコーターを用いて塗布し、これを乾燥することによって、厚み10μmと厚み50μmのクラッド用硬化性フィルム1、及び厚み40μmのコア用光硬化性フィルム2を作製した。
(Preparation of curable film for clad and photocurable film for core)
The following were used as each material.
(1) Polyalkylene glycol diglycidyl ether / polypropylene glycol diglycidyl ether: “PG207N” manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.
(2) Epoxy resin having 3,4-epoxycyclohexenyl skeleton, 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexene carboxylate: “Celoxide 2021P” manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.
Ε-caprolactone-modified 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexanecarboxylate: “Celoxide 2081” manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.
(3) Hydrogenated bisphenol type epoxy resin / Liquid hydrogenated bisphenol A type epoxy resin: “YX8000” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.
Solid hydrogenated bisphenol A type epoxy resin: “YL7170” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.
(4) Solid bisphenol type epoxy resin / solid bisphenol A type epoxy resin: “Epicoat 1006FS” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.
Solid bisphenol F type epoxy resin: “Epicoat 4007” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.
(5) Liquid bisphenol type epoxy resin / Liquid bisphenol F type epoxy resin: “Epicron 830S” manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.
・ Liquid bisphenol A epoxy resin: “Epicron 850S” manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
(6) Phenoxy resin, “YP50” manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.
(7) Epoxy resin of formula (1), “VG-3101” manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.
(8) 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol and “EHPE3150” manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.
(9) Light cationic curing initiator, Ltd. ADEKA "SL-170" (SbF 6 - sulfonium salt)
(10) thermal cationic curing initiator, available from Sanshin Chemical Industry Co., Ltd. "SI-150L" (SbF 6 - sulfonium salt)
(11) Surface conditioner “F470” manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.
(12) Solvent / Toluene / MEK
The above materials were weighed in a glass container according to the composition shown in Table 1, dissolved at 60 ° C. under reflux, and then filtered through a PTFE membrane filter having an opening of 1 μm to prepare a varnish. And this varnish is apply | coated to the surface of a mold release film (Teijin DuPont PET film "OX-50") using the multi-coater of the comma coater head made from Hirano Techseed, and this is dried, and thickness is 10 micrometers and thickness. A curable film 1 for cladding having a thickness of 50 μm and a photocurable film 2 for core having a thickness of 40 μm were prepared.

尚、表1において、クラッド用硬化性フィルム1を作製するエポキシ樹脂組成物のうち、請求項1の要件を満たす組成を「クラッド実施例組成1」〜「クラッド実施例組成3」、請求項1の要件を満たさない組成を「クラッド比較例組成1」と表示し、コア用光硬化性フィルム2を作製するエポキシ樹脂組成物のうち、請求項1の要件を満たす組成を「コア実施例組成1」〜「コア実施例組成4」、請求項1の要件を満たさない組成を「コア比較例組成1」と表示した。   In Table 1, among the epoxy resin compositions for producing the clad curable film 1, the compositions satisfying the requirements of claim 1 are “cladding example composition 1” to “cladding example composition 3”. The composition that does not satisfy the requirement of “Clad Comparative Example Composition 1” is displayed, and among the epoxy resin compositions for producing the core photocurable film 2, the composition that satisfies the requirement of claim 1 is designated as “Core Example Composition 1”. To “core example composition 4”, and the composition not satisfying the requirements of claim 1 is indicated as “core comparative example composition 1”.

そして上記のクラッド用硬化性フィルム1とコア用光硬化性フィルム2の屈折率とTg(ガラス転移温度)を測定し、結果を表1に示す。   And the refractive index and Tg (glass transition temperature) of said curable film 1 for a clad and the photocurable film 2 for a core were measured, and a result is shown in Table 1.

屈折率の測定は次のようにして行なった。上記と同様にして離型フィルムの表面に厚み80μmになるように作製したフィルムを、30mm×10mm×厚み4mmの高屈折率ガラス板(屈折率1.6)の平滑面に、加圧式真空ラミネーター(ニチゴー・モートン(株)製「V−130」)を用いて60℃、0.2MPaの条件でラミネートし、超高圧水銀灯で2J/cmの条件で紫外光を照射して露光して、離型フィルムを剥した後、150℃で1時間加熱処理を行なった。そしてフィルムの表面を平滑にするために研磨し、アタゴ社製の屈折率測定装置にてフィルムの屈折率を測定した。 The refractive index was measured as follows. A pressure-type vacuum laminator is formed on the smooth surface of a 30 mm × 10 mm × 4 mm thick high refractive index glass plate (refractive index of 1.6) using a film prepared in the same manner as described above so as to have a thickness of 80 μm on the surface of the release film. (Nichigo-Morton Co., Ltd. “V-130”) is laminated at 60 ° C. and 0.2 MPa, and is exposed by irradiating with ultra-high pressure mercury lamp at 2 J / cm 2 under ultraviolet light. After peeling off the release film, heat treatment was performed at 150 ° C. for 1 hour. And it grind | polished in order to make the surface of a film smooth, and the refractive index of the film was measured with the refractive index measuring apparatus made from Atago.

またTgの測定は次のようにして行なった。上記と同様にして離型フィルムの表面に厚み80μmになるように作製したフィルムに、超高圧水銀灯で2J/cmの条件で紫外光を照射して露光し、100℃で5分間の加熱処理を行なった後、離型フィルムを剥し、さらにフィルムのみを150℃で1時間加熱処理した。この硬化済みのフィルムを5mm×50mmの大きさにカットし、粘弾性スペクトロメータ(セイコー電子工業(株)製「DMS200」)を用いて、複素弾性率(E”)のピーク温度をTgとして測定した。 The Tg was measured as follows. In the same manner as described above, a film prepared to have a thickness of 80 μm on the surface of the release film was exposed by irradiating with ultraviolet light under a condition of 2 J / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp, and heat treatment at 100 ° C. for 5 minutes. Then, the release film was peeled off, and only the film was heat-treated at 150 ° C. for 1 hour. This cured film was cut into a size of 5 mm × 50 mm, and measured using a viscoelasticity spectrometer (“DMS200” manufactured by Seiko Denshi Kogyo Co., Ltd.) as the peak temperature of the complex elastic modulus (E ″) as Tg. did.

Figure 2009104083
Figure 2009104083

(実施例1)
厚み25μmのポリイミドフィルムの両面に厚み12μmの銅箔を積層したフレキシブル両面銅張積層板(松下電工(株)製「FELIOS(R−F775)」)を用い、片面の銅箔にパターニングを施して回路11を形成すると共に、他の片面の銅箔をエッチングして除去することによって、130mm×130mmの外形サイズのフレキシブルプリント配線基板からなる、図2(a)のようなフレキシブル基板10を作製した。そして140mm×140mm×厚み2mmのガラス板16の全面に再剥離タイプ両面粘着テープ17(寺岡製作所(株)製「No.7692」)の強粘着面を、加圧式真空ラミネーター(ニチゴー・モートン(株)製「V−130」)を用いて60℃、0.2MPaの条件でラミネートし、さらに両面粘着テープ17の弱粘着面にフレキシブル基板10の回路11を形成した面を真空ラミネーター「V−130」で同条件でラミネートすることによって、ガラス板16にフレキシブル基板10を図2(b)のように仮接着した。
(Example 1)
Using a flexible double-sided copper-clad laminate ("FELIOS (R-F775)" manufactured by Matsushita Electric Works Co., Ltd.) in which a 12-μm-thick copper foil is laminated on both sides of a 25-μm-thick polyimide film, patterning is performed on the copper foil on one side. The circuit board 11 was formed and the copper foil on the other side was etched and removed, thereby producing a flexible board 10 as shown in FIG. 2A composed of a flexible printed wiring board having an outer size of 130 mm × 130 mm. . A strong adhesive surface of a re-peeling type double-sided adhesive tape 17 (“No. 7692” manufactured by Teraoka Seisakusho Co., Ltd.) is applied to the entire surface of a glass plate 16 having a size of 140 mm × 140 mm × thickness 2 mm. The surface of the double-sided adhesive tape 17 on which the circuit 11 of the flexible substrate 10 is formed is laminated with a vacuum laminator “V-130”. The flexible substrate 10 was temporarily bonded to the glass plate 16 as shown in FIG.

次に、厚み10μmのクラッド用硬化性フィルム1として「クラッド実施例組成1」のものを用い、フレキシブル基板10の回路11を形成していない側の表面にこのクラッド用硬化性フィルム1を、真空ラミネーター「V−130」で上記と同条件で図2(c)のようにラミネートした。そして超高圧水銀灯で2J/cmの条件で紫外光をクラッド用硬化性フィルム1に照射し、さらに離型フィルムを剥した後に150℃で30分間熱処理し、また酸素プラズマ処理を施して、クラッド用硬化性フィルム1が硬化したアンダークラッド3aを形成した。 Next, a 10 μm-thick curable film 1 for clad having the “cladding example composition 1” is used, and the curable film 1 for clad is vacuum-bonded on the surface of the flexible substrate 10 on which the circuit 11 is not formed. A laminator “V-130” was laminated as shown in FIG. Then, the curable film 1 for cladding is irradiated with ultraviolet light under the condition of 2 J / cm 2 with an ultra-high pressure mercury lamp, and the release film is peeled off, followed by heat treatment at 150 ° C. for 30 minutes, and oxygen plasma treatment. The underclad 3a which the curable film 1 for hardening hardened | cured was formed.

次に、厚み40μmのコア用光硬化性フィルム2として「コア実施例組成1」のものを用い、このコア用光硬化性フィルム2をアンダークラッド3aの表面に、真空ラミネーター「V−130」で上記と同条件で図2(d)のようにラミネートした。そして幅40μm、長さ120mmの直線パターンのスリット12を形成したネガマスク13をコア用光硬化性フィルム2の表面に重ね、超高圧水銀灯で3J/cmの条件で紫外光を照射することによって露光し、光硬化性フィルム1のスリット12に対応する部分を光硬化させた。 Next, the core photocurable film 2 having a thickness of 40 [mu] m was used as the “core example composition 1”. The core photocurable film 2 was applied to the surface of the underclad 3a with a vacuum laminator “V-130”. Lamination was performed as shown in FIG. 2 (d) under the same conditions as above. Then, a negative mask 13 formed with a linear pattern of slits 12 having a width of 40 μm and a length of 120 mm is superimposed on the surface of the core photocurable film 2 and exposed by irradiating ultraviolet light with a super high pressure mercury lamp under the condition of 3 J / cm 2. And the part corresponding to the slit 12 of the photocurable film 1 was photocured.

次に光硬化性フィルム1から離型フィルムを剥離した後、140℃で2分間熱処理を行ない、さらに現像液として55℃に調整した水系フラックス洗浄剤(荒川化学工業(株)製「パインアルファST−100SX」)を用いて現像処理することによって、光硬化性フィルム1の未露光部分を溶解除去し、さらに水で仕上げ洗浄してエアブローした後、100℃で10分間乾燥することによって、図2(e)のようにコア4を形成した。またこのように現像処理を行なった後の、アンダークラッド3aの表面状態を目視観察し、コア4の外観を実体顕微鏡で観察した。結果を表2に示す。   Next, the release film was peeled off from the photocurable film 1, and then heat treated at 140 ° C. for 2 minutes, and further adjusted to 55 ° C. as a developing solution (Arakawa Chemical Industries, Ltd. “Pine Alpha ST”). −100SX ”), the unexposed portion of the photo-curable film 1 is dissolved and removed, further washed with water and air blown, and then dried at 100 ° C. for 10 minutes, whereby FIG. The core 4 was formed as shown in (e). Further, the surface state of the underclad 3a after the development processing was visually observed, and the appearance of the core 4 was observed with a stereomicroscope. The results are shown in Table 2.

次に、図2(f)のようにコア4の両端から10mmの箇所に、導波光を90°偏向させるためのマイクロミラー19を形成した。すなわち、まず切削刃の頂角が90°の回転ブレード(ディスコ社製「#5000」ブレード)を用い、回転数10000rpm、移動速度0.1mm/sの条件で、コア1の両端からそれぞれ10mmの位置を横切るように移動させることによって、深さ50μmのV溝20を加工し、次に「クラッド実施例組成3」のワニスをトルエン:MEK=3:7の溶剤で50倍に希釈した溶液をV溝20にブラシで薄く塗布し、100℃で30分間乾燥した後に超高圧水銀灯で1J/cmの条件で紫外光を照射して露光し、さらに120℃で10分間熱処理を行なうことによって、V溝20の平滑化を行なった。この後、V溝20の部分のみが開口されたメタルマスクを被せて金を真空蒸着することによって、V溝20の表面に1000Å厚の金薄膜でマイクロミラー19を形成した。 Next, as shown in FIG. 2 (f), micromirrors 19 for deflecting the guided light by 90 ° were formed at 10 mm from both ends of the core 4. That is, first, using a rotating blade with a cutting blade apex angle of 90 ° (“# 5000” blade manufactured by Disco Corporation), the rotational speed is 10000 rpm and the moving speed is 0.1 mm / s. The V-groove 20 having a depth of 50 μm is processed by moving the position across the position, and then a solution obtained by diluting the varnish of “Clad Example Composition 3” 50 times with a solvent of toluene: MEK = 3: 7 is prepared. By thinly applying to the V-groove 20 with a brush, drying at 100 ° C. for 30 minutes, and then exposing to ultra-high pressure mercury lamp by irradiating with ultraviolet light under the condition of 1 J / cm 2 , and further performing heat treatment at 120 ° C. for 10 minutes, The V groove 20 was smoothed. After that, a micromask 19 was formed on the surface of the V groove 20 with a gold thin film having a thickness of 1000 mm by covering the surface of the V groove 20 with a metal mask having only the V groove 20 opened.

次に、厚み50μmのクラッド用硬化性フィルム1として「クラッド実施例組成1」のものを用い、コア4の上からこのクラッド用硬化性フィルム1を、真空ラミネーター「V−130」で80℃、0.3MPaの条件で図2(g)のようにラミネートした。そして120℃で30分間熱処理した後、超高圧水銀灯で2J/cmの条件で紫外光をクラッド用硬化性フィルム1に照射し、さらに離型フィルムを剥した後に150℃で30分間熱処理し、クラッド用硬化性フィルム1を硬化させてオーバークラッド3bを形成した。 Next, the film of “clad example composition 1” was used as the curable film 1 for clad having a thickness of 50 μm, and this curable film for clad 1 from above the core 4 was heated at 80 ° C. with a vacuum laminator “V-130”. Lamination was performed under the condition of 0.3 MPa as shown in FIG. And after heat-treating at 120 ° C. for 30 minutes, ultraviolet light is irradiated onto the curable film for cladding 1 under the condition of 2 J / cm 2 with an ultra-high pressure mercury lamp, and after further removing the release film, heat-treat at 150 ° C. for 30 minutes, The clad curable film 1 was cured to form an overclad 3b.

このようにコア4の上に形成したオーバークラッド3bの表面を酸素プラズマ処理した後、カバーレイフィルム21(松下電工(株)製「ハロゲンフリーカバーレイフィルムR−CAES」:ポリイミド製、厚み125μm、接着層15μm厚)をオーバークラッド3bの表面に、真空ラミネーター「V−130」で120℃、0.3MPaの条件で図2(h)のようにラミネートし、160℃で1時間加熱して硬化させた。   After the surface of the over clad 3b formed on the core 4 in this way was subjected to oxygen plasma treatment, the coverlay film 21 (“Halogen-free coverlay film R-CAES” manufactured by Matsushita Electric Works Co., Ltd .: polyimide, thickness 125 μm, The adhesive layer (15 μm thick) is laminated on the surface of the over clad 3b with a vacuum laminator “V-130” at 120 ° C. and 0.3 MPa as shown in FIG. 2 (h), and heated at 160 ° C. for 1 hour to cure. I let you.

そして、図2(i)のように、両面粘着テープ17の弱粘着面からガラス板16を剥離してルーターで切り出すことによって、アンダークラッド3aとオーバークラッド3bからなるクラッド3内にコア4が埋入されて形成される光導波路Aが、回路11付のフレキシブル基板10の表面に設けられた構成の光電複合フレキシブル配線板Bを得た。尚、この光電複合フレキシブル配線板Bにおいて、光導波路Aに入射して出射される導波光の光路を図2(i)に矢印で示す。   Then, as shown in FIG. 2 (i), the core 4 is embedded in the clad 3 composed of the under clad 3a and the over clad 3b by peeling off the glass plate 16 from the weak adhesive surface of the double-sided adhesive tape 17 and cutting it out with a router. A photoelectric composite flexible wiring board B having a configuration in which the optical waveguide A formed therein is provided on the surface of the flexible substrate 10 with the circuit 11 was obtained. In this photoelectric composite flexible wiring board B, the optical path of the guided light that enters and exits the optical waveguide A is indicated by an arrow in FIG.

(実施例2〜10、比較例1〜3)
クラッド用硬化性フィルム1とコア用光硬化性フィルム2として、表2に示す組み合わせで用いるようにした他は、上記の実施例1と同様にして、光電複合フレキシブル配線板Bを得た。
(Examples 2 to 10, Comparative Examples 1 to 3)
A photoelectric composite flexible wiring board B was obtained in the same manner as in Example 1 except that the clad curable film 1 and the core photocurable film 2 were used in the combinations shown in Table 2.

上記のようにして得た実施例1〜10、比較例1〜3の光電複合フレキシブル配線板Bについて、光損失の測定と耐屈曲性の測定を行なった。結果を表2に示す。   With respect to the photoelectric composite flexible wiring boards B of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 3 obtained as described above, the optical loss was measured and the flex resistance was measured. The results are shown in Table 2.

光損失の測定は次のようにして行なった。光電複合フレキシブル配線板Bのフレキシブル基板10の表面に、コア4の一方の端部のマイクロミラー19に対応する箇所においてコア径10μm、NA0.21の光ファイバーの端部をシリコーンオイルのマッチングオイルを介して接続すると共に、コア4の他方の端部のマイクロミラー19に対応する箇所においてコア径200μm、NA0.4の光ファイバーの端部をマッチングオイルを介して接続し、850nm波長のLED光源からの光をコア径10μm、NA0.21の光ファイバーから光導波路Aに入射させ、コア径200μm、NA0.4の光ファイバーを通して出射される光のパワー(P)をパワーメータで測定した。一方、この両者の光ファイバーの端面同士を突き当てて光導波路Aが介在しない状態での光のパワー(P)をパワーメータで測定した。そして、−10log(P/P)の計算式から、光電複合フレキシブル配線板Bに設けたマイクロミラー19付きの光導波路Aの挿入損失を求めた。結果を表2の「光導波路の挿入損失(1)」の欄に示す。 The optical loss was measured as follows. On the surface of the flexible substrate 10 of the photoelectric composite flexible wiring board B, the end of the optical fiber having a core diameter of 10 μm and NA of 0.21 is passed through silicone oil matching oil at a position corresponding to the micromirror 19 at one end of the core 4. And the end of the optical fiber having a core diameter of 200 μm and NA of 0.4 at the portion corresponding to the micromirror 19 at the other end of the core 4 is connected via matching oil, and the light from the LED light source of 850 nm wavelength Was incident on the optical waveguide A from an optical fiber having a core diameter of 10 μm and NA of 0.21, and the power (P 1 ) of light emitted through the optical fiber having a core diameter of 200 μm and NA of 0.4 was measured with a power meter. On the other hand, the power (P 0 ) of light in a state where the optical waveguide A is not interposed by abutting the end faces of both optical fibers was measured with a power meter. Then, from the equation of -10log (P 1 / P 0) , to determine the insertion loss of the optical waveguide A with micromirrors 19 arranged in the photoelectric composite flexible wiring board B. The results are shown in the column of “Optical waveguide insertion loss (1)” in Table 2.

また、光電複合フレキシブル配線板Bの光導波路Aの部分のみの光損失を測定するために、図3に示すように、光電複合フレキシブル配線板Bの両端部のマイクロミラー19の部分を切り落とし、長さが100mmで、両端部に40μm×40μmのコア4の端面が露出する光導波路Aが形成されるようにし、上記と同様に、コア4の各端面にそれぞれ光ファイバーを接続して、光導波路Aを通して出射される光のパワー(P)と、光導波路Aが介在しない状態での光のパワー(P)を測定し、−10log(P/P)の計算式から、光導波路Aの挿入損失を求めた。結果を表2の「光導波路の挿入損失(2)」の欄に示す。 Further, in order to measure the optical loss only in the portion of the optical waveguide A of the photoelectric composite flexible wiring board B, the micromirrors 19 at both ends of the photoelectric composite flexible wiring board B are cut off as shown in FIG. An optical waveguide A having a length of 100 mm and 40 μm × 40 μm of the end face of the core 4 exposed at both ends is formed, and an optical fiber is connected to each end face of the core 4 in the same manner as described above. The optical power (P 1 ) emitted through the optical waveguide A and the optical power (P 0 ) without the optical waveguide A being measured are measured, and the optical waveguide A is calculated from the calculation formula of −10 log (P 1 / P 0 ). The insertion loss of was determined. The results are shown in the column of “Optical waveguide insertion loss (2)” in Table 2.

耐屈曲性の測定は次のようにして行なった。光電複合フレキシブル配線板Bを曲率半径2mmで、片面ずつ交互に90°の角度で繰り返して折り曲げる屈曲試験を10万回行ない、屈曲試験の前後で上記の「光導波路の挿入損失(1)」と同じ測定を行なって、挿入損失を測定した。そして屈曲試験の前後で損失増分が1dB以下であるものを「○」、1dBを超えるものを「×」と評価した。   The measurement of bending resistance was performed as follows. A bending test in which the photoelectric composite flexible wiring board B is repeatedly bent at a 90 ° angle alternately with a radius of curvature of 2 mm is performed 100,000 times. The same measurement was performed to measure the insertion loss. Then, before and after the bending test, a case where the loss increment was 1 dB or less was evaluated as “◯”, and a case where it exceeded 1 dB was evaluated as “X”.

Figure 2009104083
Figure 2009104083

表2にみられるように、「クラッド実施例組成1」〜「クラッド実施例組成3」のクラッド用硬化性フィルムと、「コア実施例組成1」〜「コア実施例組成4」のコア用光硬化性フィルムを組み合わせて用いた各実施例のものは、光導波路の損失が小さく、耐屈曲性が高いものであった。   As can be seen in Table 2, the curable film for cladding of “Clad Example Composition 1” to “Clad Example Composition 3” and the core light of “Core Example Composition 1” to “Core Example Composition 4” In each example using a combination of curable films, the loss of the optical waveguide was small and the bending resistance was high.

また、「コア実施例組成1」のコア用光硬化性フィルムを用いた実施例1、実施例5、実施例8では、現像時にコアのエッジ部の一部に欠けが発生することがあり、光導波路の損失がわずかながら悪くなっているが、フェノキシ樹脂を含有する「コア実施例組成2」〜「コア実施例組成4」のコア用光硬化性フィルムを用いた実施例2〜実施例4、実施例6、実施例7、実施例9、実施例10では、このようなコアの欠けがなく、光導波路の損失の小さいものであった。さらに実施例4や実施例10では、式(1)のエポキシ樹脂を含有する「コア実施例組成4」のコア用光硬化性フィルムを用いているため、樹脂の相溶性が高まって透明性が向上し、光導波路の損失はさらに優れたものになっている。   Further, in Example 1, Example 5, and Example 8 using the core photocurable film of “Core Example Composition 1”, chipping may occur in part of the edge portion of the core during development. Although the loss of the optical waveguide is slightly worse, Examples 2 to 4 using the core photocurable films of “Core Example Composition 2” to “Core Example Composition 4” containing phenoxy resin. In Examples 6, 7, 9, and 10, there was no such chipping in the core, and the optical waveguide loss was small. Furthermore, in Example 4 and Example 10, since the core photocurable film of “core example composition 4” containing the epoxy resin of formula (1) is used, the compatibility of the resin is increased and the transparency is increased. As a result, the optical waveguide loss is further improved.

また、「クラッド実施例組成1」のクラッド用硬化性フィルムを用いた実施例1〜実施例4では、現像後にアンダークラッドの表面に膨潤が発生することがあり、光導波路の特性に悪影響を与える可能性があるが、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物を含有する「クラッド実施例組成2」、「クラッド実施例組成3」のクラッド用硬化性フィルムを用いた実施例5〜実施例10では、このような膨潤の現象は発生しないものであった。   Further, in Examples 1 to 4 using the curable film for clad of “Clad Example Composition 1”, swelling may occur on the surface of the underclad after development, which adversely affects the characteristics of the optical waveguide. “Clad Example Composition 2”, “Clad Implementation”, which may contain 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol In Examples 5 to 10 using the curable film for cladding of “Example composition 3”, such swelling phenomenon did not occur.

また、「クラッド実施例組成2」と「クラッド実施例組成3」の違いは、前者が光カチオン硬化開始剤と熱カチオン硬化開始剤を併用し、後者が光カチオン硬化開始剤を単独使用する点であるが、これらのクラッド用硬化性フィルムを用いた実施例5〜実施例10ではいずれも、同様の光導波路の損失特性が得られており、加熱によって硬化させる必要がある場合や、光照射の前に加熱で硬化が開始しないことが必要である場合など、加工工程の必要に応じて使い分けできることが確認される。   The difference between “Clad Example Composition 2” and “Clad Example Composition 3” is that the former uses a photocationic curing initiator and a thermal cationic curing initiator together, and the latter uses a photocationic curing initiator alone. However, in all of Examples 5 to 10 using these curable films for cladding, the same loss characteristics of the optical waveguide are obtained, and it is necessary to cure by heating or light irradiation. It is confirmed that it can be properly used as needed for the processing step, for example, when it is necessary that the curing does not start by heating before.

本発明の実施の形態の一例における、光導波路の製造の工程を示すものであり、(a)乃至(f)はそれぞれ断面図である。FIG. 1 shows a process of manufacturing an optical waveguide in an example of an embodiment of the present invention, and (a) to (f) are sectional views. 実施例での製造の工程を示すものであり、(a)乃至(i)はそれぞれ断面図である。The manufacturing process in an Example is shown, (a) thru | or (i) are sectional drawings, respectively. 光導波路の挿入損失(2)を測定するための、光導波路の断面図である。It is sectional drawing of an optical waveguide for measuring the insertion loss (2) of an optical waveguide.

符号の説明Explanation of symbols

1 クラッド用硬化性フィルム
2 コア用光硬化性フィルム
3 クラッド
4 コア
1 Curable curable film 2 Core photocurable film 3 Clad 4 Core

Claims (4)

クラッドと、クラッド内のコアとから形成される光導波路において、クラッドは、ポリアルキレングリコールジグリシジルエーテル、水添ビスフェノール型エポキシ樹脂、固形ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、及びカチオン硬化開始剤を含有するエポキシ樹脂組成物で形成される硬化性フィルムをラミネートした後に硬化することによって作製されるものであり、コアは、3,4−エポキシシクロヘキセニル骨格を有するエポキシ樹脂、液状ビスフェノール型エポキシ樹脂、固形ビスフェノール型エポキシ樹脂、及び光カチオン硬化剤を含有するエポキシ樹脂組成物で形成される光硬化性フィルムをラミネートした後に、パターン露光及び現像することによって作製されるものであることを特徴とする光導波路。   In an optical waveguide formed from a clad and a core in the clad, the clad contains polyalkylene glycol diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol-type epoxy resin, solid bisphenol-type epoxy resin, phenoxy resin, and cationic curing initiator. It is produced by laminating a curable film formed of an epoxy resin composition and then curing, and the core is an epoxy resin having a 3,4-epoxycyclohexenyl skeleton, a liquid bisphenol type epoxy resin, a solid bisphenol An optical waveguide, which is produced by laminating a photocurable film formed of an epoxy resin composition containing a type epoxy resin and a photocationic curing agent, followed by pattern exposure and development. コア用の光硬化性フィルムを形成するエポキシ樹脂組成物には、フェノキシ樹脂をも含有することを特徴とする請求項1に記載の光導波路。   The optical waveguide according to claim 1, wherein the epoxy resin composition forming the core photocurable film also contains a phenoxy resin. コア用の光硬化性フィルムを形成するエポキシ樹脂組成物には、式(1)の化学構造を有するエポキシ樹脂をも含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路。
Figure 2009104083
The optical waveguide according to claim 1 or 2, wherein the epoxy resin composition forming the photocurable film for the core also contains an epoxy resin having a chemical structure of the formula (1).
Figure 2009104083
クラッド用の硬化性フィルムを形成するエポキシ樹脂組成物には、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物をも含有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光導波路。   The epoxy resin composition forming the curable film for cladding also contains a 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol. The optical waveguide according to any one of claims 1 to 3, wherein
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