JP2009103919A - Method for manufacturing electrophoretic apparatus , and electronic equipment - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電気泳動装置及びこれを備える電子機器に関する。 The present invention relates to an electrophoresis apparatus and an electronic apparatus including the same.
本願の出願人は、ガラス基板等の表面に半導体回路が形成されてなる回路基板と対向電極が形成された対向基板との間に電気泳動層(例えば、マイクロカプセル層)を挟み、更に回路基板の裏面側に、外部回路等と回路基板の半導体回路とを接続するための配線基板(例えば、ガラスエポキシ配線基板やポリイミド配線基板など)を貼り合わせた構造を有する電気泳動装置を開発している。このような電気泳動装置を製造する際には、例えば、回路基板の上に電気泳動層や対向基板を配置し、回路基板の裏面に配線基板を配置し、これらに加圧処理を行うによって各々を貼り合わせるという過程を経る。しかし、このような過程を経る製造方法においては、加圧処理を行う際、回路基板の端部(特に、四隅)に圧力がより多く加わることにより、回路基板に割れを生じる場合がある。このため、製造工程の改良が望まれている。なお、本願に関連する従来技術としては、例えば特開平5−158062号公報(特許文献1)が挙げられる。この文献には、ガラスエポキシ基板を裏面に備える液晶表示装置が開示されている。 The applicant of the present application sandwiches an electrophoretic layer (for example, a microcapsule layer) between a circuit board in which a semiconductor circuit is formed on the surface of a glass substrate or the like and a counter substrate on which a counter electrode is formed. Has developed an electrophoretic device having a structure in which a wiring board (for example, a glass epoxy wiring board or a polyimide wiring board) for connecting an external circuit or the like to a semiconductor circuit of a circuit board is bonded to the back side of the substrate. . When manufacturing such an electrophoretic device, for example, an electrophoretic layer and a counter substrate are arranged on a circuit board, a wiring board is arranged on the back surface of the circuit board, and pressure treatment is performed on each of them. The process of pasting together. However, in the manufacturing method that undergoes such a process, when the pressure treatment is performed, the circuit board may be cracked by applying more pressure to the end portions (particularly, the four corners) of the circuit board. For this reason, improvement of a manufacturing process is desired. In addition, as a prior art relevant to this application, Unexamined-Japanese-Patent No. 5-158062 (patent document 1) is mentioned, for example. This document discloses a liquid crystal display device having a glass epoxy substrate on the back surface.
本発明に係る具体的態様は、配線基板を裏面に貼り合わせた構造を有する電気泳動装置を製造する際における基板の端部の割れを防止することを目的の一つとする。 A specific aspect of the present invention has an object of preventing cracks at the end of a substrate when manufacturing an electrophoresis apparatus having a structure in which a wiring substrate is bonded to the back surface.
本発明に係る電気泳動装置の製造方法は、矩形状の第1基板と、第2基板と、当該第1基板の一面と第2基板の一面との間に配置された電気泳動層と、少なくとも一面に配線膜を有し、上記第1基板の他面に貼り合わされた第3基板と、を備える電気泳動装置の製造方法であって、(a)上記第1基板の一面側に上記電気泳動層及び上記第2基板を配置する第1工程と、(b)上記第1基板の他面側に接着層を介して上記第3基板を配置する第2工程と、(c)上記第1基板、上記第2基板、上記電気泳動層及び上記第3基板に対して、上記第2基板側及び上記第3基板側の双方から加圧することにより、上記第3基板と上記第1基板とを貼り合わせる第3工程と、を含み、上記第3基板は、上記一面の所定位置に、上記配線膜によって生じる段差(配線膜に起因して生じる段差)と略等しい厚さを有する複数の凸部が予め設けられており、上記第2工程において、上記複数の凸部の各々が上記第1基板の外縁部の少なくとも一部と重なる位置に配置される。 The method for manufacturing an electrophoretic device according to the present invention includes a rectangular first substrate, a second substrate, an electrophoretic layer disposed between one surface of the first substrate and one surface of the second substrate, and at least And a third substrate bonded to the other surface of the first substrate, wherein: (a) the electrophoresis is performed on one surface side of the first substrate. A first step of disposing a layer and the second substrate; (b) a second step of disposing the third substrate on the other surface side of the first substrate via an adhesive layer; and (c) the first substrate. The third substrate and the first substrate are bonded to each other by pressurizing the second substrate, the electrophoretic layer, and the third substrate from both the second substrate side and the third substrate side. And the third substrate is formed by the wiring film at a predetermined position on the one surface. A plurality of protrusions having a thickness substantially equal to a step (a step generated due to the wiring film) is provided in advance, and in the second step, each of the plurality of protrusions is an outer edge portion of the first substrate. Is disposed at a position overlapping at least a part of.
上記の製造方法によれば、第1基板の外縁部の少なくとも一部と重なる位置に配置された複数の凸部の存在により、第1基板と、電気泳動層、第2基板及び第3基板を貼り合わせる際に加圧を行っても、第1基板の外縁部が各凸部によって支持され、第3基板との間でほとんど隙間を生じないようにできる。従って、第1基板の外縁部に圧力がより多く加わることによる第1基板の割れを防止することが可能となる。 According to the above manufacturing method, the first substrate, the electrophoretic layer, the second substrate, and the third substrate are formed by the presence of the plurality of convex portions arranged at positions overlapping at least a part of the outer edge portion of the first substrate. Even when pressure is applied during bonding, the outer edge portion of the first substrate is supported by each convex portion, so that almost no gap is generated between the third substrate and the third substrate. Therefore, it is possible to prevent cracking of the first substrate due to more pressure applied to the outer edge portion of the first substrate.
上記の電気泳動装置において、好ましくは、上記第3基板は、上記一面上に設けられた複数のダミー配線膜を備え、当該複数のダミー配線膜が上記複数の凸部として用いられる。ここで、ダミー配線膜とは、本来的な用途とは別に設けられた配線膜をいい、例えば上記の配線膜とは電気的に分離した状態に形成される。 In the electrophoresis apparatus, preferably, the third substrate includes a plurality of dummy wiring films provided on the one surface, and the plurality of dummy wiring films are used as the plurality of convex portions. Here, the dummy wiring film refers to a wiring film that is provided separately from the original use. For example, the dummy wiring film is formed in a state of being electrically separated from the wiring film.
これにより、第3基板上に配線膜を形成する際に併せて各ダミー配線膜を形成することが可能となるため、複数の凸部の形成がより容易になる。 Thereby, since it becomes possible to form each dummy wiring film together with the formation of the wiring film on the third substrate, the formation of the plurality of convex portions becomes easier.
上記の電気泳動装置において、上記第3基板は、上記配線膜及び上記複数のダミー配線膜を覆う保護膜を備えてもよい。この場合における上記段差とは、上記保護膜のうち上記配線膜と重なる部分と上記配線膜と重ならない部分との間に生じる高低差である。そして、上記複数の凸部の各々は、上記複数のダミー配線膜のいずれかと上記保護膜とを含んで構成される。 In the electrophoretic device, the third substrate may include a protective film that covers the wiring film and the plurality of dummy wiring films. The level difference in this case is a height difference generated between a portion of the protective film that overlaps the wiring film and a portion that does not overlap the wiring film. Each of the plurality of convex portions includes one of the plurality of dummy wiring films and the protective film.
これによれば、保護膜を有する第3基板においても本発明に係る製造方法を適用することができる。 According to this, the manufacturing method according to the present invention can also be applied to the third substrate having the protective film.
好ましくは、上記複数の凸部は、上記第1基板の四隅のそれぞれに配置される。また、上記複数の凸部は、上記第1基板の互いに略平行な第1辺及び第2辺のそれぞれに沿って配置されてもよい。 Preferably, the plurality of convex portions are arranged at each of the four corners of the first substrate. The plurality of convex portions may be disposed along each of a first side and a second side that are substantially parallel to each other of the first substrate.
このような各凸部の配置態様によれば、第1基板の外縁部をより効果的に支持し、第1基板の割れを防ぐことができる。 According to such an arrangement mode of the respective convex portions, the outer edge portion of the first substrate can be more effectively supported, and cracking of the first substrate can be prevented.
また、電気泳動装置は、上記第2基板の他面に貼り合わされた第4基板を更に備えていてもよい。この場合において、上記の製造方法は、更に、(d)上記第2基板の上記他面に接着層を介して上記第4基板を配置する第4工程と、(e)上記第1基板、上記第2基板、上記電気泳動層、上記第3基板及び上記第4基板に対し、上記第4基板側及び上記第3基板側の双方から加圧することにより、上記第2基板と上記第4基板とを貼り合わせる第5工程と、を含むことが好ましい。 The electrophoresis apparatus may further include a fourth substrate bonded to the other surface of the second substrate. In this case, the manufacturing method further includes: (d) a fourth step of disposing the fourth substrate on the other surface of the second substrate via an adhesive layer; (e) the first substrate; By pressing the second substrate, the electrophoretic layer, the third substrate, and the fourth substrate from both the fourth substrate side and the third substrate side, the second substrate, the fourth substrate, It is preferable to include the 5th process which bonds together.
それにより、第4基板を貼り合わせる際においても、加圧による第1基板の割れを防ぐことが可能となる。 Thereby, also when bonding a 4th board | substrate, it becomes possible to prevent the crack of a 1st board | substrate by pressurization.
本発明に係る電子機器は、上述した製造方法によって製造される電気泳動装置を表示部として備える。ここで、「電子機器」は、電気泳動層による表示を利用する表示部を備えるあらゆる機器を含むもので、ディスプレイ装置、テレビジョン装置、電子ペーパ、時計、電卓、携帯電話、携帯情報端末等を含む。また、本発明における「機器」の概念には、例えば可撓性のある紙状/フィルム状の物体や、これら物体が貼り付けられた壁面等の不動産に属するもの、車両、飛行体、船舶等の移動体に属するものも含むものとする。 An electronic apparatus according to the present invention includes an electrophoretic device manufactured by the above-described manufacturing method as a display unit. Here, the “electronic device” includes all devices including a display unit that uses display by an electrophoretic layer, and includes a display device, a television device, an electronic paper, a clock, a calculator, a mobile phone, a portable information terminal, and the like. Including. Further, the concept of “equipment” in the present invention includes, for example, flexible paper / film-like objects, those belonging to real estate such as wall surfaces to which these objects are attached, vehicles, flying objects, ships, etc. Including those belonging to the moving body.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本実施形態に係る電気泳動装置の構造を示す模式断面図である。また、図2は、図1に示す電気泳動装置の一部を拡大して示した模式断面図である。各図に示した本実施形態の電気泳動装置1は、回路基板10、電気泳動層12、対向基板14、配線基板16、カバー基板18、封止部材20、を含んで構成されている。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the electrophoresis apparatus according to this embodiment. FIG. 2 is an enlarged schematic cross-sectional view showing a part of the electrophoresis apparatus shown in FIG. The
回路基板10は、ガラス基板等の表面に複数の個別電極(画素電極)、配線膜(走査線、信号線等)、薄膜トランジスタ(TFT)などを含む駆動回路部22が設けられてなる基板である。
The
電気泳動層12は、電気泳動粒子を含む層であり、回路基板10の駆動回路部22上に配置されている。この電気泳動層12は、例えば、複数のマイクロカプセルを含んでいる。各マイクロカプセルには、例えば正に帯電した複数の黒色粒子と負に帯電した複数の白色粒子とが含まれる。なお、採用し得る電気泳動層12の形態は上記のマイクロカプセル型に限定されない。更に、各粒子に施される色調は黒色および白色の組み合わせに限定されず、各粒子の帯電の状態についても上記に限定されない。
The
対向基板14は、電気泳動層12を挟んで回路基板10と対向配置されている。この対向基板14としては、例えばガラス基板、プラスチック基板(シート状のものを含む)などが用いられる。対向基板14の表面には、上記した個別電極の各々と対向する共通電極が形成される。各個別電極と共通電極との間に印加される電圧を制御することにより、電気泳動層12に含まれる各電気泳動粒子の分布状態を変化させることができる。それにより、画像表示が実現される。
The
配線基板16は、図示しない外部回路等と回路基板10の駆動回路部22とを接続するためのものであり、コア材30と、このコア材30の表面又は裏面の少なくとも一方(図示の例では両方)に設けられた配線膜32と、この配線膜32を覆う保護膜34、36と、を含む。この配線基板16としては、例えばガラスエポキシ配線基板又はポリイミド配線基板と称されるものを用いることができる。配線膜32は、例えば銅などの導電体が所定パターンに整形されたものである。保護膜34、36は、例えばレジスト膜などの絶縁体膜である。この配線基板16は、図2に示すように接着層24を介して回路基板10の裏面側に貼り合わされている。
The
カバー基板18は、電気泳動層12及び対向基板14を挟んで回路基板10と対向配置されている。このカバー基板18としては、例えばガラス基板が用いられる。図2に示したように、カバー基板18は、接着層26を介して対向基板14の他面と貼り合わされている。
The
封止部材(遮断層)20は、エポキシ系、アクリル系などの樹脂材料からなり、回路基板10と配線基板16との間に、電気泳動層12及び対向基板14を囲んで配置されている。この封止部材20は、防湿性を有するものであり、電気泳動層12への水分等の異物の侵入を抑制する。
The sealing member (blocking layer) 20 is made of an epoxy or acrylic resin material, and is disposed between the
本実施形態に係る電気泳動装置1はこのような構成を有しており、次にその製造方法について詳細に説明する。本実施形態では、複数の電気泳動装置1を一括して製造する方法について説明する。
The
図3は、電気泳動装置の製造方法を説明するための模式斜視図である。以下、この図3に沿って本実施形態に係る電気泳動装置の製造方法の大まかな流れを説明する。また、後述する図4〜図7を適宜参照しながら製造方法の詳細について説明する。 FIG. 3 is a schematic perspective view for explaining the method for manufacturing the electrophoresis apparatus. The general flow of the method for manufacturing the electrophoresis apparatus according to this embodiment will be described below with reference to FIG. Details of the manufacturing method will be described with reference to FIGS.
図3(A)に示すように、複数の回路基板10の各々の母材となる第1基板110の表面(第1面)、より具体的には各駆動回路部22が設けられた側の面(能動面)に、各駆動回路部22に対応して、電気泳動層12及び対向基板(第2基板)14を一体化してなる電気泳動シート28をそれぞれ貼り合わせる。本実施形態では、図3(B)に示すように、複数の駆動回路部22の各々に対して1つずつの電気泳動シート28が貼り付けられる。
As shown in FIG. 3A, the surface (first surface) of the
また、図3(C)に示すように、上記の電気泳動シート28の貼り付けと並行し、あるいは前後して、第1基板110の裏面(第2面)に、複数の配線基板16の各々の母材となる第3基板116を貼り合わせる。図4は、本工程をより詳細に示した模式斜視図である。図4に示すように、第3基板116の表面には、第1基板110の外縁部と重なる位置に複数の凸部44が設けられている。図5は、各凸部の構成態様を説明する模式平面図である。例えば、図5(A)には、第3基板116の少なくとも一面(表面)であって、第1基板110の外縁部の一部である四隅と重なる位置にそれぞれ設けられた4つの凸部44が示されている。なお、図5(A)では、各凸部44が三角形の形状を有しているが、形状は特にこれだけに限定されない。矩形(四角形)などの多角形でもよく、円形や楕円形などでもよい。また、図5(B)には、凸部の変形態様として、第3基板116の表面であって、第1基板110の外縁部の一部である2つの辺(互いに略並行な第1辺及び第2辺)に沿って設けられた直線状の2つの凸部44aが示されている。また、図5(C)には、凸部の変形態様として、第3基板116の表面であって、第1基板110の外縁部の一部である2つの辺(互いに略並行な第1辺及び第2辺)に沿って間欠的に設けられた複数の凸部44bが示されている。このように、凸部の構成態様は、第1基板110の外縁部の少なくとも一部(より好ましくは四隅を含む一部)に設けられる限りにおいて、多様な構成態様を採用し得る。各凸部は、第1基板110の外縁部と重なる位置であっても、第3基板116の電極端子42と接続される配線部とは重ならない位置であることが好ましい。図5に示す各構成態様のいずれにおいてもその条件が実現されている。
Further, as shown in FIG. 3C, each of the plurality of
図6は、図3(C)に示す工程をより詳細に説明するための模式断面図である。上述した図2と共通する構成については同じ符号が付されており、それらの詳細な説明は省略する。図6に示すように、本実施形態においては、凸部44(或いは凸部44a、44b)は、第3基板116において他の配線膜32とは電気的に接続されずに分離した配線膜(ダミー配線膜)38と、このダミー配線膜38を覆う保護膜(皮膜)34と、を含んで構成されている。また、図6に示す態様では、第3基板116の裏面側にも、ダミー配線膜38と保護膜(皮膜)36とを含んで構成された凸部45が設けられている。凸部44は、配線膜32と保護膜34によって第3基板116の表面に形成される段差と同じ厚さに形成されている。詳細には、ここでいう「段差」とは、保護膜34のうち、配線膜32と重なる部分と重ならない部分との間に生じる高低差であり、「厚さ」とは、保護膜34のうち、ダミー配線膜38と重なる部分と重ならない部分との間に生じる高低差である。同様に、凸部45は、配線膜32と保護膜36によって第3基板116の裏面に形成される段差と同じ厚さに形成されている。詳細には、ここでいう「段差」とは、保護膜36のうち、配線膜32と重なる部分と重ならない部分との間に生じる高低差であり、「厚さ」とは、保護膜36のうち、ダミー配線膜38と重なる部分と重ならない部分との間に生じる高低差である。これらの凸部44、凸部45の存在により、第1基板110と、電気泳動層12、対向基板14及び第3基板116を貼り合わせる際に加圧を行っても、第1基板110の外縁部110aが凸部44、凸部45によって支持される。従って、当該外縁部110aに圧力がより多く集まることによる第1基板110の割れを防止することが可能となる。更に、接着層24をある程度厚くすることによって段差を緩和してもよい。それにより、凸部44又は凸部45だけでは緩和しきれない段差が生じた場合にも第1基板110の割れをより確実に防ぐことが可能となる。接着層24としては、例えば両面テープまたは流動性のある両面テープを用いることができる。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view for explaining the process shown in FIG. 3C in more detail. The components common to those in FIG. 2 described above are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. As shown in FIG. 6, in the present embodiment, the protrusion 44 (or the
次に、図3(D)に示すように、第1基板110の各駆動回路部22の電極端子(電極パッド)40と第3回路116の各電極端子(電極パッド)42との間をワイヤーボンディングによって電気的に接続する。
Next, as shown in FIG. 3D, a wire is provided between the electrode terminal (electrode pad) 40 of each
次に、図3(E)に示すように、第1基板110上、より詳細には電気泳動シート28上に、複数のカバー基板18の各々の母材となる第4基板118を貼り合わせる。本実施形態では、2枚の第4基板118を貼り合わせる。本工程においては、第1基板110と第4基板118とは、ロールラミネータまたは真空ラミネータで加圧することによって貼り合わされる。真空ラミネートする際の条件は、例えば、0.1〜0.9Mpaの圧力、温度50℃〜150℃とすることができる。
Next, as shown in FIG. 3E, a
図7は、図3(E)に示す工程をより詳細に説明するための模式断面図である。上記した第3基板116等の貼り合わせの場合(図6参照)と同様に、凸部44又は凸部45によって第1基板110と第3基板116との段差が緩和されるので、第4基板118を貼り合わせる際においても第1基板110の外縁部110aの割れを防止することができる。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view for explaining the process shown in FIG. 3E in more detail. As in the case of bonding the
次に、図3(F)に示すように、第1基板110と第4基板118との間隙およびその周囲に、上記した封止部材20の各々の母材となる封止部材120を形成する。例えば、熱硬化樹脂または紫外線硬化樹脂をディスペンサまたはシリンジで塗布し、その後に熱処理又は紫外線照射処理を行うことにより、封止部材120を形成することができる。
Next, as shown in FIG. 3F, a sealing
その後、例えば本実施形態の電気泳動装置1は腕時計の表示板として用いることを想定しているため、図3(G)に示すように、各第1基板110等にそれらを貫通する針穴50を形成する。さらに、図3(H)に示すように、各第1基板110等の相互間を切断する。それにより、複数の電気泳動装置1(図示の例では8つの電気泳動装置1)が得られる。
Thereafter, for example, since the
次に、上述した実施形態に係る電気泳動装置を表示部として備える電子機器の一例について説明する。図8は、電気泳動装置を適用した電子機器の具体例を説明する斜視図である。図8(A)は、電子機器の一例である電子ブックを示す斜視図である。この電子ブック1000は、ブック形状のフレーム1001と、このフレーム1001に対して回動自在に設けられた(開閉可能な)カバー1002と、操作部1003と、本実施形態に係る電気泳動装置によって構成された表示部1004と、を備えている。図8(B)は、電子機器の一例である腕時計を示す斜視図である。この腕時計1100は、本実施形態に係る電気泳動装置によって構成された表示部1101を備えている。なお、電気泳動装置を適用可能な電子機器の範囲はこれに限定されず、帯電粒子の移動に伴う視覚上の色調の変化を利用した装置を広く含むものである。
Next, an example of an electronic apparatus including the electrophoresis device according to the above-described embodiment as a display unit will be described. FIG. 8 is a perspective view illustrating a specific example of an electronic apparatus to which the electrophoresis apparatus is applied. FIG. 8A is a perspective view illustrating an electronic book which is an example of the electronic apparatus. The
なお、本発明の適用範囲は上述した各実施形態の内容に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において更に種々の変形を加えて実施することが可能である。例えば、上記した実施形態においては複数個の電気泳動装置1を一括して製造する場合について説明したが、1つの電気泳動装置を製造する場合についても本発明を適用することができる。その場合には、上記した実施形態において、第1基板上に1つの駆動回路を設け、電気泳動層、第2基板も1つずつ設け、更に1つの第4基板を設けるようにし、かつ図3(G)、図3(H)などの工程を省略すればよいことは当業者にとって明らかである。また、上記した実施形態においては、ダミー配線膜を用いて各凸部を形成していたが、配線膜を用いないで各凸部を形成してもよい。
The scope of application of the present invention is not limited to the contents of the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the case where a plurality of
10…回路基板、12…電気泳動層、14…対向基板(第2基板)、16…配線基板、18…カバー基板、20…封止部材、22…駆動回路部、24…接着層、26…接着層、28…電気泳動シート、30…コア材、32…配線膜、34…保護膜、36…保護膜、38…ダミー配線膜、42…電極端子、44、44a、44b…凸部、50…針穴、110a…外縁部、110…第1基板、116…第3基板、118…第4基板、120…封止部材
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記第1基板の一面側に前記電気泳動層及び前記第2基板を配置する第1工程と、
前記第1基板の他面側に接着層を介して前記第3基板を配置する第2工程と、
前記第1基板、前記第2基板、前記電気泳動層及び前記第3基板に対して、前記第2基板側及び前記第3基板側の双方から加圧することにより、前記第3基板と前記第1基板とを貼り合わせる第3工程と、
を含み、
前記第3基板は、前記一面の所定位置に、前記配線膜によって生じる段差と略等しい厚さを有する複数の凸部が予め設けられており、前記第2工程において、前記複数の凸部の各々が前記第1基板の外縁部の少なくとも一部と重なる位置に配置される、
電気泳動装置の製造方法。 A first substrate having a rectangular shape; a second substrate; an electrophoretic layer disposed between one surface of the first substrate and one surface of the second substrate; and a wiring film on at least one surface; A third substrate bonded to the other surface of the electrophoretic device, comprising:
A first step of disposing the electrophoretic layer and the second substrate on one side of the first substrate;
A second step of disposing the third substrate via an adhesive layer on the other surface side of the first substrate;
By pressing the first substrate, the second substrate, the electrophoretic layer, and the third substrate from both the second substrate side and the third substrate side, the third substrate and the first substrate are pressed. A third step of bonding the substrate;
Including
The third substrate is provided in advance with a plurality of convex portions having a thickness substantially equal to a step generated by the wiring film at a predetermined position on the one surface. In the second step, each of the plurality of convex portions is provided. Is disposed at a position overlapping at least a part of the outer edge of the first substrate,
A method for manufacturing an electrophoresis apparatus.
請求項1に記載の電気泳動装置の製造方法。 The third substrate includes a plurality of dummy wiring films provided on the one surface, and the plurality of dummy wiring films are used as the plurality of convex portions.
The manufacturing method of the electrophoresis apparatus of Claim 1.
前記段差は、前記保護膜のうち前記配線膜と重なる部分と前記配線膜と重ならない部分との間に生じる高低差であり、
前記複数の凸部の各々は、前記複数のダミー配線膜のいずれかと前記保護膜とを含む、
請求項1に記載の電気泳動装置の製造方法。 The third substrate includes a protective film that covers the wiring film and the plurality of dummy wiring films,
The step is a height difference generated between a portion of the protective film that overlaps the wiring film and a portion that does not overlap the wiring film,
Each of the plurality of convex portions includes one of the plurality of dummy wiring films and the protective film.
The manufacturing method of the electrophoresis apparatus of Claim 1.
請求項1に記載の電気泳動装置の製造方法。 The plurality of convex portions are respectively disposed at four corners of the first substrate.
The manufacturing method of the electrophoresis apparatus of Claim 1.
請求項1に記載の電気泳動装置の製造方法。 The plurality of convex portions are disposed along each of a first side and a second side that are substantially parallel to each other of the first substrate.
The manufacturing method of the electrophoresis apparatus of Claim 1.
前記第2基板の前記他面に接着層を介して前記第4基板を配置する第4工程と、
前記第1基板、前記第2基板、前記電気泳動層、前記第3基板及び前記第4基板に対し、前記第4基板側及び前記第3基板側の双方から加圧することにより、前記第2基板と前記第4基板とを貼り合わせる第5工程と、
を更に含む、請求項1乃至5の何れか1項に記載の電気泳動装置の製造方法。 The electrophoresis apparatus further includes a fourth substrate bonded to the other surface of the second substrate,
A fourth step of disposing the fourth substrate on the other surface of the second substrate via an adhesive layer;
By pressing the first substrate, the second substrate, the electrophoretic layer, the third substrate, and the fourth substrate from both the fourth substrate side and the third substrate side, the second substrate And a fifth step of bonding the fourth substrate to the fourth substrate;
The method for producing an electrophoretic device according to claim 1, further comprising:
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