JP2009098644A - Liquid crystal fresnel lens, and liquid crystal fresnel lens production device - Google Patents

Liquid crystal fresnel lens, and liquid crystal fresnel lens production device Download PDF

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Takanori Oi
孝紀 大井
Kenichi Honda
健一 本多
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal Fresnel lens, even when light is made incident from an oblique direction, which reduces reflection caused by the incident light, and can make concentric stripes characteristic of the Fresnel lens inconspicuous. <P>SOLUTION: The liquid crystal Fresnel lens comprises: a first transparent substrate in which a Fresnel lens is formed on one side; a first transparent electrode formed only at all lens faces in the Fresnel lens; a second transparent substrate having a second transparent electrode on one side, and arranged in such a manner that the face of the second transparent electrode side is confronted with the first transparent electrode; and a liquid crystal arranged between the first and the second transparent substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、凸型あるいは凹型形状かつ球面あるいは非球面状である液晶フレネルレンズ及び液晶フレネルレンズの製造装置に関する。   The present invention relates to a liquid crystal Fresnel lens having a convex or concave shape and a spherical or aspherical shape, and a liquid crystal Fresnel lens manufacturing apparatus.

平面あるいは曲面形状である透明基板上にフレネルレンズを形成し、フレネルレンズ形状に沿って液晶を充填させ、液晶の両端に電圧を印加させることによって液晶の屈折率を変化させる液晶フレネルレンズ方式による焦点可変レンズが考案されている。この方式は液晶の両端面に一定方向にラビングした配向膜及び電極を形成し電圧を印加させることで、液晶の配向の向きが変化し、これにより液晶を透過する光路が変わり、焦点距離を変化させることが可能である。   Focus by liquid crystal Fresnel lens system that forms a Fresnel lens on a flat or curved transparent substrate, fills the liquid crystal along the Fresnel lens shape, and changes the refractive index of the liquid crystal by applying voltage across the liquid crystal A variable lens has been devised. In this method, an alignment film and electrodes rubbed in a certain direction are formed on both end faces of the liquid crystal, and a voltage is applied to change the orientation direction of the liquid crystal, thereby changing the optical path through the liquid crystal and changing the focal length. It is possible to make it.

ラビング配向させた液晶に対して効率良く電圧を印加させるために、光の透過方向に対し垂直面となる液晶の両端に透明導電膜を成膜している。   In order to efficiently apply a voltage to the rubbing-aligned liquid crystal, transparent conductive films are formed on both ends of the liquid crystal that are perpendicular to the light transmission direction.

従来の液晶フレネルレンズは、透明基板であるガラス基板上にSiOxNy膜をスパッタリング法により成膜する。さらにフォトマスクを用いたフォトリゾグラフィにてレジストをパターニングした後、反応性イオンエッチング法によりSiOxNy膜を加工する。加工したSiOxNy膜がフレネルレンズとなり、次にその凹凸部の表面に透明導電膜(ITO膜)を成膜し、これを透明電極としている。(例えば、特許文献1参照)。
特開2006−79669号公報(第21頁、第6図)
In a conventional liquid crystal Fresnel lens, a SiOxNy film is formed by sputtering on a glass substrate that is a transparent substrate. Further, after patterning the resist by photolithography using a photomask, the SiOxNy film is processed by a reactive ion etching method. The processed SiOxNy film becomes a Fresnel lens. Next, a transparent conductive film (ITO film) is formed on the surface of the uneven portion, and this is used as a transparent electrode. (For example, refer to Patent Document 1).
JP 2006-79669 A (page 21, FIG. 6)

しかしながら、前記従来の構成では、図11に示すように、フレネルレンズ44の全ての面(レンズ面や非レンズ面)に透明導電膜(ITO)42aを成膜していた。ITOは可視光領域において高い屈折率(n≒2.1)を持つので、液晶フレネルレンズ40を斜め方向から観察すると、非レンズ面のITO膜が外光による反射を受けてフレネルレンズに白く映りこむ。そのため、フレネルレンズ特有の同心円状の縞が目立ちやすく、外観上好ましくないという課題を有していた。   However, in the conventional configuration, a transparent conductive film (ITO) 42a is formed on all surfaces (lens surface and non-lens surface) of the Fresnel lens 44 as shown in FIG. Since ITO has a high refractive index (n≈2.1) in the visible light region, when the liquid crystal Fresnel lens 40 is observed from an oblique direction, the ITO film on the non-lens surface is reflected by external light and appears white on the Fresnel lens. Come on. For this reason, the concentric fringes peculiar to the Fresnel lens tend to be conspicuous and are unfavorable in appearance.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、外光による反射によるフレネルレンズの同心円状の縞の映り込みを低減出来る液晶フレネルレンズを提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described conventional problems, and an object thereof is to provide a liquid crystal Fresnel lens that can reduce the reflection of concentric fringes of the Fresnel lens due to reflection by external light.

前記従来の課題を解決するために、本発明の液晶フレネルレンズ及び液晶フレネルレンズの製造装置は、片方にフレネルレンズが形成された第1の透明基板と、前記フレネルレンズが形成された全てのレンズ面のみに形成された第1の透明電極と、片方の面に第2の透明電極を有しその第2の透明電極側の面を前記第1の透明電極に対向するように配置された第2の透明基板と、前記第1の透明基板と前記第2の透明基板との間に液晶を配したことを特徴としたものである。   In order to solve the above-described conventional problems, the liquid crystal Fresnel lens and the liquid crystal Fresnel lens manufacturing apparatus of the present invention include a first transparent substrate having a Fresnel lens formed on one side, and all lenses having the Fresnel lens formed thereon. The first transparent electrode formed only on the surface and the second transparent electrode on one surface, and the second transparent electrode side surface is disposed so as to face the first transparent electrode. Liquid crystal is disposed between the two transparent substrates, the first transparent substrate, and the second transparent substrate.

さらに、本発明の液晶フレネルレンズ及び液晶フレネルレンズの製造装置は、片方の面にフレネルレンズが形成された第1の透明基板のレンズ面に透明電極を形成する液晶フレネルレンズの製造装置において、前記第1の透明基板を固定するための基板ホルダと、前記透明電極を形成するための電極材料を入れた蒸発源と、前記第1の透明基板と前記蒸発源との間に配置されたメタルマスクと、前記メタルマスクを保持するためのマスクホルダと、を備えたことを特徴としたものである。   Further, the liquid crystal Fresnel lens and the liquid crystal Fresnel lens manufacturing apparatus of the present invention are the liquid crystal Fresnel lens manufacturing apparatus in which a transparent electrode is formed on the lens surface of the first transparent substrate having the Fresnel lens formed on one surface. A substrate holder for fixing the first transparent substrate, an evaporation source containing an electrode material for forming the transparent electrode, and a metal mask disposed between the first transparent substrate and the evaporation source And a mask holder for holding the metal mask.

本発明の液晶フレネルレンズによれば、レンズに対し斜め方向から光が入射しても、その入射光による映りこみを低減し、フレネルレンズ特有の同心円状の縞を目立たなくすることができる。   According to the liquid crystal Fresnel lens of the present invention, even if light is incident on the lens from an oblique direction, reflection due to the incident light can be reduced and concentric fringes unique to the Fresnel lens can be made inconspicuous.

以下に、本発明における液晶フレネルレンズの実施の形態を図面とともに詳細に説明する。   Embodiments of a liquid crystal Fresnel lens according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1に、本発明の実施の形態1における液晶フレネルレンズの断面構造図を示す。図1において、液晶フレネルレンズ10は、第1の透明基板11aの上に、凸型のフレネルレンズ14が形成され、フレネルレンズ14において、第1の透明基板11aと接する面の反対側の面にレンズ面16が形成されている。本発明でのレンズ面16とは、フレネルレンズの光学特性を満足するように光学的に屈折あるいは回折特性を持たせた面を言う。この全てのレンズ面16に第1の透明電極12aが成膜されている。また、平板の第2の透明基板11bの片方の面に第2の透明電極12bが形成されている。第1の透明基板11aと第2の透明基板11bとには、高屈折ガラス材料あるいはPMMAポリカーポネート等の樹脂材料を用いる。また、第1の透明電極12aと第2の透明電極12bとは、ITOからなり、それぞれの透明基板の表面に蒸着法あるいはスパッタリング法で成膜する。
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows a cross-sectional structure diagram of a liquid crystal Fresnel lens according to Embodiment 1 of the present invention. In FIG. 1, a liquid crystal Fresnel lens 10 has a convex Fresnel lens 14 formed on a first transparent substrate 11a. The Fresnel lens 14 has a surface opposite to the surface in contact with the first transparent substrate 11a. A lens surface 16 is formed. The lens surface 16 in the present invention refers to a surface optically refracted or diffractive so as to satisfy the optical characteristics of the Fresnel lens. The first transparent electrode 12a is formed on all the lens surfaces 16. A second transparent electrode 12b is formed on one surface of the flat second transparent substrate 11b. A resin material such as a high refractive glass material or PMMA polycarbonate is used for the first transparent substrate 11a and the second transparent substrate 11b. The first transparent electrode 12a and the second transparent electrode 12b are made of ITO, and are formed on the surface of each transparent substrate by vapor deposition or sputtering.

その後、第1の透明電極12aに対向するように、第2の透明電極12bを持つ第2の透明基板11bを配置して、第1の透明基板11aと第2の透明基板11bとの間に液晶13を充填する。充填後、第1の透明基板11aと第2の透明基板11bの両端をシール15で封止して液晶レンズ10が完成する。なお、本実施例では、第1の透明基板11aと第2の透明基板11bとは平面で説明したが、球面あるいは非球面でも良い。   After that, a second transparent substrate 11b having a second transparent electrode 12b is disposed so as to face the first transparent electrode 12a, and between the first transparent substrate 11a and the second transparent substrate 11b. The liquid crystal 13 is filled. After filling, the both ends of the first transparent substrate 11a and the second transparent substrate 11b are sealed with the seal 15 to complete the liquid crystal lens 10. In the present embodiment, the first transparent substrate 11a and the second transparent substrate 11b have been described as planes, but they may be spherical or aspherical.

図1に示した液晶レンズ10の第1の透明電極12aと第2の透明電極12bとの間に電圧を印加すると、液晶13の屈折率はフレネルレンズ14の屈折率より低くなる。そのため、フレネルレンズ14の集光効果により、液晶フレネルレンズ10は、凸レンズとなる。反対に、第1の透明電極12aと第2の透明電極12bとの間に電圧を印加しないときには、液晶13の屈折率とフレネルレンズ14の屈折率との差が無くなり焦点距離は無限遠となるので、凸レンズではなくなる。すなわち、第1の透明電極12aと第2の透明電極12bとの間に印加する電圧のON・OFFによって、液晶フレネルレンズ10の焦点距離を可変出来る。   When a voltage is applied between the first transparent electrode 12 a and the second transparent electrode 12 b of the liquid crystal lens 10 shown in FIG. 1, the refractive index of the liquid crystal 13 becomes lower than the refractive index of the Fresnel lens 14. Therefore, the liquid crystal Fresnel lens 10 becomes a convex lens due to the light condensing effect of the Fresnel lens 14. On the contrary, when no voltage is applied between the first transparent electrode 12a and the second transparent electrode 12b, there is no difference between the refractive index of the liquid crystal 13 and the refractive index of the Fresnel lens 14, and the focal length becomes infinity. So it is no longer a convex lens. That is, the focal length of the liquid crystal Fresnel lens 10 can be varied by ON / OFF of the voltage applied between the first transparent electrode 12a and the second transparent electrode 12b.

図2に本発明の実施の形態1におけるフレネルレンズ14の斜視図を、図3にその平面図を示す。図2に示すように、第1の透明電極12aが塗布されるのは、フレネルレンズ14のレンズ面16のみであり、非レンズ面17には塗布されない。そのため、第1の透明電極12aは、フレネルレンズの輪体ごとに電気的に独立している。これらの独立した第1の透明電極12a同士を導通させるために、共通電極12cをフレネルレンズ14の面の形状に沿って形成する。この共通電極12cは、2〜30Åの厚さで、70〜80μmの幅を持ってフレネルレンズ14の面の形状に沿って形成されている。共通電極に用いる材料は、本実施例では、第1の透明電極12aと同じITOとした。   FIG. 2 is a perspective view of the Fresnel lens 14 according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 3 is a plan view thereof. As shown in FIG. 2, the first transparent electrode 12 a is applied only to the lens surface 16 of the Fresnel lens 14 and is not applied to the non-lens surface 17. Therefore, the first transparent electrode 12a is electrically independent for each ring body of the Fresnel lens. The common electrode 12 c is formed along the shape of the surface of the Fresnel lens 14 in order to make these independent first transparent electrodes 12 a conductive. The common electrode 12c has a thickness of 2 to 30 mm, a width of 70 to 80 μm, and is formed along the shape of the surface of the Fresnel lens 14. In this embodiment, the material used for the common electrode is the same ITO as the first transparent electrode 12a.

以下に、本願発明の液晶フレネルレンズ10の製造法について説明する。まず、レンズ用の樹脂をフレネルレンズ金型に充填後硬化させ、フレネルレンズ14を得る。得られたフレネルレンズ14のレンズ面16のみに第1の透明電極12aを形成する方法を、次に説明する。   Below, the manufacturing method of the liquid crystal Fresnel lens 10 of this invention is demonstrated. First, a resin for lens is filled in a Fresnel lens mold and cured to obtain a Fresnel lens 14. Next, a method of forming the first transparent electrode 12a only on the lens surface 16 of the obtained Fresnel lens 14 will be described.

図4にフレネルレンズ14のレンズ面に第1の透明電極12aと共通電極12cとを成膜する様子を示した概略図と、図5に透明電極を成膜するときのフレネルレンズとメタルマスクの平面図を示す。本実施例では、真空蒸着法によってフレネルレンズ14のレンズ面16のみに第1の透明電極12aを形成した。また、第1の透明電極12aの材料には、ITOを用いた。図1で説明した非レンズ面17には、ITOが成膜しないように、図5に示すようにフレネルレンズ14の中心から中心角320degの範囲を囲むように扇型の開口部を持つメタルマスク104(a)で覆う。メタルマスク104(a)は、その開口部をITO蒸発源102の直上に位置するように置き、真空蒸着装置100の内部のマスクホルダ106で固定する。その後、フレネルレンズ14を基板ホルダに斜めに固定して回転させながら、レンズ部にITOを蒸着する(回転斜方蒸着法)。   FIG. 4 is a schematic diagram showing how the first transparent electrode 12a and the common electrode 12c are formed on the lens surface of the Fresnel lens 14, and FIG. 5 shows the Fresnel lens and the metal mask when the transparent electrode is formed. A plan view is shown. In the present embodiment, the first transparent electrode 12a is formed only on the lens surface 16 of the Fresnel lens 14 by vacuum deposition. In addition, ITO was used as the material of the first transparent electrode 12a. On the non-lens surface 17 described with reference to FIG. 1, a metal mask having a fan-shaped opening so as to surround the range of the central angle of 320 deg from the center of the Fresnel lens 14 as shown in FIG. Cover with 104 (a). The metal mask 104 (a) is placed so that its opening is located immediately above the ITO evaporation source 102, and is fixed by the mask holder 106 inside the vacuum evaporation apparatus 100. Thereafter, ITO is vapor-deposited on the lens portion while the Fresnel lens 14 is obliquely fixed to the substrate holder and rotated (rotational oblique vapor deposition method).

ここで、フレネルレンズ14の角度調整を行うが、具体的には、非レンズ面17に蒸着されないように、ITO蒸発源102から見て、非レンズ面17が影になるように、フレネルレンズ14に傾きを持たせることが肝要である。本実施例では、非レンズ面17にITOが蒸着しないように、非レンズ面17が第1の透明基板11aに対して垂直となるようにフレネルレンズ14を基板ホルダ105に1〜2deg程傾斜を持たせて固定した。   Here, the angle of the Fresnel lens 14 is adjusted. Specifically, the Fresnel lens 14 is shaded so that the non-lens surface 17 becomes a shadow when viewed from the ITO evaporation source 102 so as not to be deposited on the non-lens surface 17. It is important to have an inclination in the. In this embodiment, the Fresnel lens 14 is inclined to the substrate holder 105 by about 1 to 2 deg so that the ITO does not deposit on the non-lens surface 17 so that the non-lens surface 17 is perpendicular to the first transparent substrate 11a. I fixed it.

続いて、フレネルレンズ14が固定された基板ホルダ105を回転させ、真空槽の下部にあるヒータ101でITO蒸発源102を加熱すると、ITO103が昇華しフレネルレンズ14のレンズ面16に成膜される。フレネルレンズ14の中心を軸に基板ホルダ105で回転させながら膜の厚さが最適となるように蒸着させることで、フレネルレンズ14個々のレンズ面16に第1の透明電極12aが成膜される。   Subsequently, when the substrate holder 105 to which the Fresnel lens 14 is fixed is rotated and the ITO evaporation source 102 is heated by the heater 101 at the lower part of the vacuum chamber, the ITO 103 is sublimated and formed on the lens surface 16 of the Fresnel lens 14. . The first transparent electrode 12a is formed on the lens surface 16 of each Fresnel lens 14 by performing vapor deposition so that the thickness of the film is optimized while rotating the substrate holder 105 around the center of the Fresnel lens 14. .

続いて、共通電極12cの成膜を行う。   Subsequently, the common electrode 12c is formed.

図6に示すように、共通電極12cの形成には、第1の透明電極12aの成膜時とは異なる100μm幅のスリットが設けられたメタルマスク104(b)を用いる。このメタルマスク104(b)をマスクホルダ106に固定し、フレネルレンズ14の角度調整を行う。今回の角度調整は、レンズ面と非レンズ面の双方にITOがむらなく成膜されるような角度にする。その後、第1の透明電極12aの成膜時と同様に真空蒸着法でITOを成膜する。なお、共通電極12cの形成について、スパッタリング法でも可能ではあるが、肉眼で観察したときに目立たないように共通電極を形成するには、真空蒸着法の方が好ましい。   As shown in FIG. 6, the common electrode 12c is formed using a metal mask 104 (b) provided with a slit having a width of 100 μm, which is different from that used when forming the first transparent electrode 12a. The metal mask 104 (b) is fixed to the mask holder 106, and the angle of the Fresnel lens 14 is adjusted. In this angle adjustment, the angle is adjusted so that ITO is uniformly formed on both the lens surface and the non-lens surface. Thereafter, an ITO film is formed by a vacuum evaporation method in the same manner as when forming the first transparent electrode 12a. In addition, although formation of the common electrode 12c is possible also by sputtering method, in order to form a common electrode so that it may not stand out when observing with the naked eye, the vacuum evaporation method is more preferable.

共通電極12cを成膜した後、フレネルレンズ14の凹凸形状に充填するように常光屈折率no、異常光屈折率neを有するネマティック液晶を塗布し、その上に第1の透明電極12aを成膜した第1の透明基板11aを、第1の透明電極12aが成膜された面を液晶側に接するようにして挟み込む。そして液晶フレネルレンズ10を構成する各素子の位置ずれを起こさないよう第1の透明基板11a、第2の透明基板11b及び液晶13の縁をシール15で封をする。   After forming the common electrode 12c, a nematic liquid crystal having an ordinary light refractive index no and an extraordinary light refractive index ne is applied so as to fill the uneven shape of the Fresnel lens 14, and a first transparent electrode 12a is formed thereon. The first transparent substrate 11a is sandwiched so that the surface on which the first transparent electrode 12a is formed is in contact with the liquid crystal side. Then, the edges of the first transparent substrate 11 a, the second transparent substrate 11 b, and the liquid crystal 13 are sealed with a seal 15 so as not to cause displacement of each element constituting the liquid crystal Fresnel lens 10.

液晶13について、塗布したネマティック液晶分子が一定方向に揃うようにするために、第1の透明電極12a、第2の透明電極12bの表面に配向膜が形成されている。配向膜はポリイミド等が用いられ、特定方向にラビング処理を行っている。第1の透明基板11a、第2の透明基板11bとフレネルレンズ14で内部保持されている液晶13を第1の透明電極12a、第2の透明電極12bに電位差を与えることによって液晶分子の配向が変わり、偏光の向きに対して屈折率が変化する。   With respect to the liquid crystal 13, an alignment film is formed on the surfaces of the first transparent electrode 12a and the second transparent electrode 12b so that the applied nematic liquid crystal molecules are aligned in a certain direction. The alignment film is made of polyimide or the like and is rubbed in a specific direction. The liquid crystal 13 internally held by the first transparent substrate 11a, the second transparent substrate 11b, and the Fresnel lens 14 is given a potential difference to the first transparent electrode 12a and the second transparent electrode 12b, thereby aligning the liquid crystal molecules. The refractive index changes with the direction of polarization.

以下に、本実施例で作製した液晶フレネルレンズ10の寸法を示す。液晶フレネルレンズ10の厚さを1.6mm、液晶フレネルレンズ10内のフレネル形成部(凹凸が形成されている部分)の有効径は40mmとした。液晶フレネルレンズ10を構成している第1の透明基板11a、第2の透明基板11bの厚さはそれぞれ0.7mm、フレネルレンズ14の底面から中心に位置する頂部までの厚さを0.12mm、フレネルレンズ14の中心位置での頂部から第1の透明基板11aまでの距離を0.08mmとした。また、フレネルレンズ14の曲率は中心部付近で35mm、フレネルレンズ凹凸のピッチ長を0.1mmとした。第1の透明電極12aの厚さは400Åであった。形成された共通電極12cの抵抗値は、20mmの長さで6Ωであった。   Below, the dimension of the liquid crystal Fresnel lens 10 produced in the present Example is shown. The thickness of the liquid crystal Fresnel lens 10 was 1.6 mm, and the effective diameter of the Fresnel forming portion (portion where the irregularities were formed) in the liquid crystal Fresnel lens 10 was 40 mm. The first transparent substrate 11a and the second transparent substrate 11b constituting the liquid crystal Fresnel lens 10 each have a thickness of 0.7 mm, and the thickness from the bottom surface of the Fresnel lens 14 to the top located at the center is 0.12 mm. The distance from the top of the Fresnel lens 14 at the center position to the first transparent substrate 11a was 0.08 mm. The curvature of the Fresnel lens 14 was 35 mm near the center, and the pitch length of the Fresnel lens irregularities was 0.1 mm. The thickness of the first transparent electrode 12a was 400 mm. The resistance value of the formed common electrode 12c was 20Ω with a length of 20 mm.

以上の構成で作製したフレネルレンズ10について、同心円状の映り込みを目視で確認したところ、従来の構成では映り込みが観察されたが、本実施の形態では移り込みがほとんど目立たなくなった。また、第1の透明電極と第2の透明電極との間に印加する電圧の有無に従って、凸レンズと非凸レンズの動作が出来、設計意図通りの特性が得られた。なお、本実施例では透明導電膜で共通電極を構成したが、透明導電膜にこだわる必要はない。   When the concentric reflection was visually confirmed for the Fresnel lens 10 manufactured with the above configuration, reflection was observed in the conventional configuration, but the transfer was hardly noticeable in the present embodiment. Further, the convex lens and the non-convex lens can be operated according to the presence / absence of a voltage applied between the first transparent electrode and the second transparent electrode, and characteristics as intended are obtained. In this embodiment, the common electrode is composed of the transparent conductive film, but it is not necessary to stick to the transparent conductive film.

従来の構成では液晶13あるいはフレネルレンズ14とITO等の透明電極との屈折率差Δnは0.4〜0.6であったが、フレネルレンズ14の凹凸の非レンズ面に第2の透明電極12bを成膜しないようにすることで、液晶13とフレネルレンズ14との屈折率差Δnは0〜0.2と小さくなり、フレネルレンズ14の非レンズ部17に入射する光について反射を大幅に低減させることが可能となる。 In the conventional configuration, the refractive index difference Δn between the liquid crystal 13 or the Fresnel lens 14 and a transparent electrode such as ITO is 0.4 to 0.6. By not forming the film 12b, the refractive index difference Δn between the liquid crystal 13 and the Fresnel lens 14 is reduced to 0 to 0.2, and the reflection of light incident on the non-lens portion 17 of the Fresnel lens 14 is greatly increased. It is possible to reduce it.

また、本実施の形態では、フレネルレンズ14の凹凸の非レンズ面による反射を抑えるために、液晶13よりフレネルレンズ14の屈折率を大きく設定することがより好ましい。   In the present embodiment, it is more preferable to set the refractive index of the Fresnel lens 14 to be larger than that of the liquid crystal 13 in order to suppress reflection of the irregularities of the Fresnel lens 14 by the non-lens surface.

(実施の形態2)
図7に、本発明の実施の形態2における液晶フレネルレンズの断面構造図を示す。実施の形態1との違いは、フレネルレンズの断面形状にあり、本実施例では凹型である。
(Embodiment 2)
FIG. 7 shows a cross-sectional structure diagram of a liquid crystal Fresnel lens according to Embodiment 2 of the present invention. The difference from the first embodiment is the cross-sectional shape of the Fresnel lens, which is a concave shape in this embodiment.

図7において、液晶フレネルレンズ20は、第1の透明基板21aの上に、凹型のフレネルレンズ24が形成され、フレネルレンズ24において、第1の透明基板21aと接する面の反対側の面にレンズ面26が形成されている。レンズ面26の定義は、実施の形態1と同様である。また、非レンズ面27の定義は、実施の形態1と同様である。図7には、示されていないが、本実施例でも実施の形態1と同様な共通電極が設けられている。図その他の構造および使用する材料は、実施の形態1と同様なので省略する。   In FIG. 7, the liquid crystal Fresnel lens 20 has a concave Fresnel lens 24 formed on a first transparent substrate 21a, and the lens is arranged on the surface opposite to the surface in contact with the first transparent substrate 21a in the Fresnel lens 24. A surface 26 is formed. The definition of the lens surface 26 is the same as in the first embodiment. The definition of the non-lens surface 27 is the same as that in the first embodiment. Although not shown in FIG. 7, a common electrode similar to that of the first embodiment is also provided in this example. Other structures and materials to be used are the same as those in the first embodiment, and will be omitted.

図7に示した液晶レンズ20の第1の透明電極22aと第2の透明電極22bとの間に電圧を印加すると、液晶23の屈折率はフレネルレンズ24の屈折率より低くなる。そのため、フレネルレンズ24の発散効果により、液晶フレネルレンズ20は、凹レンズとなる。反対に、第1の透明電極22aと第2の透明電極22bとの間に電圧を印加しないときには、液晶23の屈折率とフレネルレンズ24の屈折率との差が無くなり焦点距離は無限遠となるので、凹レンズではなくなる。すなわち、第1の透明電極22aと第2の透明電極22bとの間に印加する電圧のON・OFFによって、液晶フレネルレンズ20の焦点距離を可変出来る。   When a voltage is applied between the first transparent electrode 22 a and the second transparent electrode 22 b of the liquid crystal lens 20 shown in FIG. 7, the refractive index of the liquid crystal 23 becomes lower than the refractive index of the Fresnel lens 24. Therefore, the liquid crystal Fresnel lens 20 becomes a concave lens due to the divergence effect of the Fresnel lens 24. On the other hand, when no voltage is applied between the first transparent electrode 22a and the second transparent electrode 22b, there is no difference between the refractive index of the liquid crystal 23 and the refractive index of the Fresnel lens 24, and the focal length becomes infinity. So it is no longer a concave lens. That is, the focal length of the liquid crystal Fresnel lens 20 can be varied by ON / OFF of the voltage applied between the first transparent electrode 22a and the second transparent electrode 22b.

実施の形態2の液晶フレネルレンズ20の製造方法は、実施の形態1で説明した製造方法と同一なので省略する。以下に、作製した液晶フレネルレンズ20の寸法を示す。   Since the manufacturing method of the liquid crystal Fresnel lens 20 of the second embodiment is the same as the manufacturing method described in the first embodiment, the description thereof is omitted. Below, the dimension of the produced liquid crystal Fresnel lens 20 is shown.

実施の形態2で作製した液晶フレネルレンズ20の厚さは、1.6mm、液晶フレネルレンズ20内のフレネル形成部(凹凸が形成されている部分)の有効径は40mmとした。液晶フレネルレンズ20を構成している第1の透明基板21a、第2の透明基板21bの厚さはそれぞれ0.7mm、フレネルレンズ24の底面から中心に位置する頂部までの厚さを0.12mm、フレネルレンズ24の中心位置での頂部から第1の透明基板21aまでの距離を0.08mmとした。また、フレネルレンズ24の曲率は中心部付近で35mm、フレネルレンズ凹凸のピッチ長を0.1mmとした。第1の透明電極22aの厚さは400Åだった。形成された共通電極22cの抵抗値は、20mmの長さで6Ωであり、実施の形態1と同じ値を示した。   The thickness of the liquid crystal Fresnel lens 20 manufactured in the second embodiment was 1.6 mm, and the effective diameter of the Fresnel forming portion (portion where the irregularities were formed) in the liquid crystal Fresnel lens 20 was 40 mm. The first transparent substrate 21a and the second transparent substrate 21b constituting the liquid crystal Fresnel lens 20 each have a thickness of 0.7 mm, and the thickness from the bottom of the Fresnel lens 24 to the top located at the center is 0.12 mm. The distance from the top of the Fresnel lens 24 at the center position to the first transparent substrate 21a was 0.08 mm. The curvature of the Fresnel lens 24 was 35 mm near the center, and the pitch length of the Fresnel lens irregularities was 0.1 mm. The thickness of the first transparent electrode 22a was 400 mm. The formed common electrode 22c has a resistance value of 6Ω with a length of 20 mm, which is the same value as in the first embodiment.

以上の構成で作製したフレネルレンズ20について、同心円状の映り込みを目視で確認したところ、従来の構成では映り込みが観察されたが、本実施の形態では移り込みがほとんど目立たなくなった。また、第1の透明電極と第2の透明電極との間に液晶制御用の電圧を印加した所、設計通りの動作が確認された。   When the concentric reflection was visually confirmed for the Fresnel lens 20 manufactured with the above configuration, reflection was observed in the conventional configuration, but the transfer was hardly noticeable in the present embodiment. Further, when a voltage for controlling the liquid crystal was applied between the first transparent electrode and the second transparent electrode, the operation as designed was confirmed.

従来の構成では液晶23あるいはフレネルレンズ24とITO等の透明電極との屈折率差Δnは0.4〜0.6であったが、フレネルレンズ24の凹凸の非レンズ面に第2の透明電極22bを成膜しないようにすることで、液晶23とフレネルレンズ24との屈折率差Δnは0〜0.2と小さくなり、フレネルレンズ24の非レンズ部27に入射する光についての反射を大幅に低減させることが可能となる。   In the conventional configuration, the refractive index difference Δn between the liquid crystal 23 or the Fresnel lens 24 and a transparent electrode such as ITO is 0.4 to 0.6. However, the second transparent electrode is formed on the uneven lens surface of the Fresnel lens 24. By not forming the film 22b, the refractive index difference Δn between the liquid crystal 23 and the Fresnel lens 24 is reduced to 0 to 0.2, and the reflection of the light incident on the non-lens portion 27 of the Fresnel lens 24 is greatly increased. It is possible to reduce it.

また、本実施の形態では、フレネルレンズ24の凹凸の非レンズ面による反射を抑えるために、液晶23よりフレネルレンズ24の屈折率を大きく設定することがより好ましい。   In the present embodiment, it is more preferable to set the refractive index of the Fresnel lens 24 to be larger than that of the liquid crystal 23 in order to suppress reflection of the irregularities of the Fresnel lens 24 by the non-lens surface.

(実施の形態3)
図8に、本発明の実施の形態3におけるフレネルレンズの平面図を示す。実施の形態1及び実施の形態2との相異は、複数の共通電極を備えたことにある。このように、共通電極を複数にして、フレネルレンズの中心から外周部にかけて放射状に配置することで、液晶分子の応答速度を高めることが出来る。
(Embodiment 3)
FIG. 8 shows a plan view of a Fresnel lens according to Embodiment 3 of the present invention. The difference from Embodiment 1 and Embodiment 2 is that a plurality of common electrodes are provided. Thus, the response speed of the liquid crystal molecules can be increased by arranging a plurality of common electrodes and arranging them radially from the center to the outer periphery of the Fresnel lens.

図8に示した液晶フレネルレンズ34の基本構造は実施の形態1と同様である。すなわち、図1に示したように、液晶フレネルレンズ34は、第1の透明基板11a、第2の透明基板11b、第1の透明電極32a(図1では12aで示している。)、第2の透明電極12b、液晶13、凸レンズ型のフレネルレンズ14、シール15とで構成される。共通電極32cは、フレネルレンズの中心から放射状に4本あり、それぞれ複数フレネルレンズを4分割する位置にある。これらの共通電極32cにより、第1の透明電極32aは、互いに接続される。   The basic structure of the liquid crystal Fresnel lens 34 shown in FIG. 8 is the same as that of the first embodiment. That is, as shown in FIG. 1, the liquid crystal Fresnel lens 34 includes a first transparent substrate 11a, a second transparent substrate 11b, a first transparent electrode 32a (indicated by 12a in FIG. 1), and a second. Transparent electrode 12b, liquid crystal 13, convex lens type Fresnel lens 14, and seal 15. There are four common electrodes 32c radially from the center of the Fresnel lens, and each is located at a position where the plurality of Fresnel lenses are divided into four. The first transparent electrodes 32a are connected to each other by these common electrodes 32c.

図9に、実施の形態3に示す共通電極の作製方法を示す。実施の形態1で使用した共通電極用作製用のメタルマスク104(b)を使用し、一つの共通電極を作製する毎にこのメタルマスク104(b)回転させることで、複数の共通電極が作製できる。   FIG. 9 illustrates a method for manufacturing the common electrode described in Embodiment 3. A plurality of common electrodes are manufactured by rotating the metal mask 104 (b) each time one common electrode is manufactured using the metal mask 104 (b) for manufacturing the common electrode used in the first embodiment. it can.

最初に、図6で示した100μmの幅のスリットを形成したメタルマスク104(b)を図9のマスクホルダ306に設置する。   First, the metal mask 104 (b) having a slit having a width of 100 μm shown in FIG. 6 is placed on the mask holder 306 in FIG.

続いて、1本目の共通電極を形成するために、第1の透明基板を基板ホルダ305に設置し、共通電極を形成する場所に合わせるために、基板ホルダを回転させ、この状態を保持したまま、蒸着法でITOを成膜する。続いて、2本目の共通電極を形成するために、今度は先程の基板ホルダ305を軸に90deg回転させ、先程と同様にITOを成膜する。続いて、3本目と4本目の共通電極を形成するために、それぞれ基板ホルダ305を90deg回転させ、ITOを成膜する。   Subsequently, in order to form the first common electrode, the first transparent substrate is placed on the substrate holder 305, and the substrate holder is rotated to match the place where the common electrode is formed, and this state is maintained. Then, an ITO film is formed by vapor deposition. Subsequently, in order to form the second common electrode, this time, the substrate holder 305 is rotated 90 degrees around the axis, and ITO is deposited in the same manner as before. Subsequently, in order to form the third and fourth common electrodes, the substrate holder 305 is rotated by 90 degrees to form an ITO film.

上記では、メタルマスク304(a)を固定して、基板ホルダ305を回転させることで共通電極32cを4本形成したが、基板ホルダ305を固定し、図10に示すように、円状のメタルマスク304(b)をフレネルレンズに貼付し、共通電極32cを形成する毎にメタルマスク304(b)を回転させる方法でもよい。   In the above description, four common electrodes 32c are formed by fixing the metal mask 304 (a) and rotating the substrate holder 305. However, as shown in FIG. Alternatively, the mask 304 (b) may be attached to the Fresnel lens and the metal mask 304 (b) may be rotated each time the common electrode 32c is formed.

具体的には、1本目の共通電極を形成するためにメタルマスク304(b)を図10(a)のように設置する。この状態を保持したまま、蒸着法あるいはスパッタリング法でITOを成膜する。続いて、2本目の共通電極を形成するために、図10(b)のように、先程の図10(a)の状態からメタルマスク304(b)を90deg回転させ、先程と同様にITOを成膜する。この際、共通電極がレンズ面と非レンズ面に形成されるようフレネルレンズの向きも調節する。続いて、3本目、4本目の共通電極を形成するために、図10(c)、図10(d)のようにそれぞれメタルマスク304(b)を90deg回転させ、フレネルレンズの向きを調節してITOを成膜する。共通電極を成膜した後の工程については、実施の形態1と同様であるので省略する。   Specifically, a metal mask 304 (b) is provided as shown in FIG. 10 (a) in order to form the first common electrode. While maintaining this state, an ITO film is formed by vapor deposition or sputtering. Subsequently, in order to form the second common electrode, as shown in FIG. 10B, the metal mask 304 (b) is rotated 90 degrees from the state of FIG. Form a film. At this time, the orientation of the Fresnel lens is also adjusted so that the common electrode is formed on the lens surface and the non-lens surface. Subsequently, in order to form the third and fourth common electrodes, the metal mask 304 (b) is rotated by 90 degrees as shown in FIGS. 10C and 10D, and the orientation of the Fresnel lens is adjusted. An ITO film is formed. Since the process after forming the common electrode is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted.

以上の構成により、実施の形態1で作製した液晶フレネルレンズと比較し、液晶の応答性が良い液晶フレネルレンズを得ることができる。   With the above configuration, it is possible to obtain a liquid crystal Fresnel lens having better liquid crystal response than the liquid crystal Fresnel lens manufactured in the first embodiment.

本発明にかかる液晶フレネルレンズは、外光による映りこみを低減することを有し、電子制御式眼鏡等として有用である。また、印加電圧によって焦点距離を可変させる液晶フレネルレンズを用いた電子制御式眼鏡に好適に利用できるものである。   The liquid crystal Fresnel lens according to the present invention has reduced reflection due to external light, and is useful as electronically controlled glasses. Further, the present invention can be suitably used for electronically controlled glasses using a liquid crystal Fresnel lens whose focal length is varied by an applied voltage.

本発明の実施の形態1における液晶フレネルレンズの断面構造図1 is a cross-sectional structure diagram of a liquid crystal Fresnel lens in Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態1におけるフレネルレンズの斜視図The perspective view of the Fresnel lens in Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態1におけるフレネルレンズの平面図The top view of the Fresnel lens in Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態1におけるフレネルレンズのレンズ面に透明電極を成膜する様子を示した概略図Schematic showing how a transparent electrode is formed on the lens surface of a Fresnel lens according to Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施の形態1における透明電極を成膜するときのフレネルレンズとメタルマスクの平面図Plan view of Fresnel lens and metal mask when forming transparent electrode in Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態1における共通電極を成膜するときのフレネルレンズとメタルマスクの平面図Plan view of Fresnel lens and metal mask when forming a common electrode in Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態2における液晶フレネルレンズの断面構造図Cross-sectional structure diagram of a liquid crystal Fresnel lens according to Embodiment 2 of the present invention 本発明の実施の形態3における共通電極を複数本設置したフレネルレンズの平面図Plan view of a Fresnel lens provided with a plurality of common electrodes in Embodiment 3 of the present invention 本発明の実施の形態3におけるフレネルレンズのレンズ面及び非レンズ面に共通電極を成膜する様子を示した概略図Schematic showing how a common electrode is formed on the lens surface and non-lens surface of a Fresnel lens according to Embodiment 3 of the present invention. 本発明の実施の形態3における共通電極を成膜するときのフレネルレンズとメタルマスクの平面図Plan view of Fresnel lens and metal mask when forming a common electrode in Embodiment 3 of the present invention 従来の液晶フレネルレンズの断面構造図Cross-sectional structure of a conventional liquid crystal Fresnel lens

符号の説明Explanation of symbols

10、20、40 液晶レンズ
11a、21a、41a 第1の透明基板
11b、21b、41b 第2の透明基板
12a、22a、42a 第1の透明電極
12b、22b、32b、42b 第2の透明電極
12c、32c 共通電極
13、23、43 液晶
14、34、44 フレネルレンズ(凸レンズ型)
15、25、45 シール
16、26 レンズ面
17、27 非レンズ面
24 フレネルレンズ(凹レンズ型)
100、300 真空蒸着装置
101、301 ヒータ
102、302 ITO蒸発源
103、303 ITO
104(a)、104(b)、304(a)、304(b)メタルマスク
105、305 基板ホルダ
106、306 マスクホルダ
10, 20, 40 Liquid crystal lens 11a, 21a, 41a First transparent substrate 11b, 21b, 41b Second transparent substrate 12a, 22a, 42a First transparent electrode 12b, 22b, 32b, 42b Second transparent electrode 12c 32c Common electrode 13, 23, 43 Liquid crystal 14, 34, 44 Fresnel lens (convex lens type)
15, 25, 45 Seal 16, 26 Lens surface 17, 27 Non-lens surface 24 Fresnel lens (concave lens type)
100, 300 Vacuum evaporation apparatus 101, 301 Heater 102, 302 ITO evaporation source 103, 303 ITO
104 (a), 104 (b), 304 (a), 304 (b) Metal mask 105, 305 Substrate holder 106, 306 Mask holder

Claims (11)

片方にフレネルレンズが形成された第1の透明基板と、
前記フレネルレンズが形成された全てのレンズ面のみに形成された第1の透明電極と、
片方の面に第2の透明電極を有しその第2の透明電極側の面を前記第1の透明電極に対向するように配置された第2の透明基板と、
前記第1の透明基板と前記第2の透明基板との間に液晶を配した液晶フレネルレンズ。
A first transparent substrate having a Fresnel lens formed on one side;
A first transparent electrode formed only on all lens surfaces on which the Fresnel lens is formed;
A second transparent substrate having a second transparent electrode on one surface and disposed so that the surface on the second transparent electrode side faces the first transparent electrode;
A liquid crystal Fresnel lens in which liquid crystal is disposed between the first transparent substrate and the second transparent substrate.
全ての前記第1の透明電極を電気的に接続するための共通電極を備えた請求項1記載の液晶フレネルレンズ。 The liquid crystal Fresnel lens according to claim 1, further comprising a common electrode for electrically connecting all the first transparent electrodes. 前記フレネルレンズの断面形状は、凸型又は凹型のいずれか一方である請求項1に記載の液晶フレネルレンズ。 The liquid crystal Fresnel lens according to claim 1, wherein a cross-sectional shape of the Fresnel lens is one of a convex type and a concave type. 前記フレネルレンズの断面形状は、球面又は非球面のいずれか一方である請求項1に記載の液晶フレネルレンズ。 The liquid crystal Fresnel lens according to claim 1, wherein a cross-sectional shape of the Fresnel lens is one of a spherical surface and an aspherical surface. 前記共通電極が、少なくとも1つ以上形成されている請求項2に記載の液晶フレネルレンズ。 The liquid crystal Fresnel lens according to claim 2, wherein at least one common electrode is formed. 片方の面にフレネルレンズが形成された第1の透明基板のレンズ面に透明電極を形成する液晶フレネルレンズの製造装置において、
前記第1の透明基板を固定するための基板ホルダと、
前記透明電極を形成するための電極材料を入れた蒸発源と、
前記第1の透明基板と前記蒸発源との間に配置されたメタルマスクと、
前記メタルマスクを保持するためのマスクホルダと、
を備えた液晶フレネルレンズの製造装置。
In a liquid crystal Fresnel lens manufacturing apparatus for forming a transparent electrode on a lens surface of a first transparent substrate having a Fresnel lens formed on one surface,
A substrate holder for fixing the first transparent substrate;
An evaporation source containing an electrode material for forming the transparent electrode;
A metal mask disposed between the first transparent substrate and the evaporation source;
A mask holder for holding the metal mask;
A liquid crystal fresnel lens manufacturing apparatus.
前記基板ホルダは、前記第1の透明基板と前記蒸発源との角度を可変できる請求項6に記載の液晶フレネルレンズの製造装置。 The apparatus for manufacturing a liquid crystal Fresnel lens according to claim 6, wherein the substrate holder is capable of varying an angle between the first transparent substrate and the evaporation source. 前記基板ホルダは、前記第1の透明基板を自在に回転できる請求項6に記載の液晶フレネルレンズの製造装置。 The liquid crystal Fresnel lens manufacturing apparatus according to claim 6, wherein the substrate holder can freely rotate the first transparent substrate. 前記メタルマスクは、中心から外側に向けて扇形の切れ込みを持ち、その中心を前記第1の透明基板の中心と同一にするように配置されたときに前記第1の透明基板を覆う大きさを持つ請求項6に記載の液晶フレネルレンズの製造装置。 The metal mask has a fan-shaped notch from the center to the outside, and has a size that covers the first transparent substrate when the center is arranged to be the same as the center of the first transparent substrate. An apparatus for manufacturing a liquid crystal Fresnel lens according to claim 6. 前記メタルマスクは、中心から外側に向けて矩形の切れ込みを持ち、その中心を前記第1の透明基板の中心と同一にするように配置されたときに前記第1の透明基板を覆う大きさを持つ請求項6に記載の液晶フレネルレンズの製造装置。 The metal mask has a rectangular cut from the center to the outside, and has a size that covers the first transparent substrate when the center is arranged to be the same as the center of the first transparent substrate. An apparatus for manufacturing a liquid crystal Fresnel lens according to claim 6. 前記マスクホルダは、前記メタルマスクの中心を前記第1の透明基板の中心と同一にするように規定する請求項6に記載の液晶フレネルレンズの製造装置。 The liquid crystal Fresnel lens manufacturing apparatus according to claim 6, wherein the mask holder defines the center of the metal mask to be the same as the center of the first transparent substrate.
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