JP2009096671A - Dielectric ceramic and multi-layer ceramic capacitor - Google Patents

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慎一郎 池見
Noriyuki Chigira
紀之 千輝
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Taiyo Yuden Co Ltd
太陽誘電株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a strontium titanate-based multi-layer ceramic capacitor which has high-temperature accelerated life property comparable to or higher than that of a barium titanate-based multi-layer ceramic capacitor, and has temperature characteristic showing X5R characteristic. <P>SOLUTION: A dielectric ceramic is provided containing SrTiO<SB>3</SB>as a principal phase and containing 0.2-5.0 moles of an Mg component, 0.1-1.0 mole of a metal element selected from among Mn and V, 0.3-5.0 moles of an Re component (Re is one or more metals selected from among Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y), and 0.15-10 moles of SiO<SB>2</SB>or an Si-containing glass component, based on 100 moles of SrTiO<SB>3</SB>, and ceramic particles constituting the dielectric ceramic have a core-shell structure. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、誘電体セラミックス及びその製造方法並びにこの誘電体セラミックスを用いた積層コンデンサに関するものである。   The present invention relates to a dielectric ceramic, a manufacturing method thereof, and a multilayer capacitor using the dielectric ceramic.
積層セラミックコンデンサは、複数の誘電体セラミック層と、該誘電体セラミック層を介して交互に異なる端面に引出されるように形成された複数の内部電極と、で構成されるセラミック積層体を有しており、該セラミック積層体の両端面上に内部電極と電気的に接続するように外部電極が形成されているものである。   The multilayer ceramic capacitor has a ceramic multilayer body composed of a plurality of dielectric ceramic layers and a plurality of internal electrodes formed so as to be alternately drawn to different end faces through the dielectric ceramic layers. The external electrodes are formed on both end faces of the ceramic laminate so as to be electrically connected to the internal electrodes.
このような積層セラミックコンデンサに用いられる誘電体セラミックスとしては、主にチタン酸バリウム(BaTiO)系の材料がある。チタン酸バリウム系の誘電体セラミックスは高い誘電率が得られるので、小型大容量の積層セラミックコンデンサを形成することができる。しかし反面、チタン酸バリウム系の誘電体セラミックスは圧電性を有している。そのため電圧を印加すると積層セラミックコンデンサが厚さ方向または長さ方向に伸縮して変位を起こす。この変位の方向は印加する電圧の方向により変化する。そして例えばパソコンのCPUの入力コンデンサや、液晶あるいはプラズマディスプレイの画像処理回路のように電圧が周期的に変化する条件下においては、変位の方向も連続的に変化して振動するように伸縮する。この変位の方向の連続的な変化は、いわゆる音鳴きの原因となるものである。 As dielectric ceramics used for such a multilayer ceramic capacitor, there are mainly barium titanate (BaTiO 3 ) -based materials. Since barium titanate-based dielectric ceramics have a high dielectric constant, a small-sized and large-capacity multilayer ceramic capacitor can be formed. However, barium titanate-based dielectric ceramics have piezoelectricity. Therefore, when a voltage is applied, the multilayer ceramic capacitor expands and contracts in the thickness direction or the length direction, causing displacement. The direction of this displacement changes depending on the direction of the applied voltage. For example, under conditions where the voltage changes periodically, such as an input capacitor of a CPU of a personal computer or an image processing circuit of a liquid crystal display or a plasma display, the direction of displacement also changes so as to vibrate continuously. This continuous change in the direction of displacement causes so-called noise.
音鳴きの原因となる積層セラミックコンデンサの変位を低減するため、誘電体セラミックスとしてチタン酸ストロンチウム(SrTiO)系材料が用いられる。チタン酸ストロンチウムは、例えば特開2004−292173号公報や特開2000−264729号公報に開示されているように、チタン酸バリウム系材料よりも低歪み率である。よってチタン酸ストロンチウム系材料を用いることで、音鳴きの原因となる積層セラミックコンデンサの変位を低減することができる。 In order to reduce the displacement of the multilayer ceramic capacitor that causes noise, strontium titanate (SrTiO 3 ) -based material is used as the dielectric ceramic. Strontium titanate has a lower strain rate than barium titanate-based materials as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2004-292173 and 2000-264729. Therefore, by using the strontium titanate material, it is possible to reduce the displacement of the multilayer ceramic capacitor that causes noise.
特開2004−292173号公報JP 2004-292173 A 特開2000−264729号公報JP 2000-264729 A
しかしながら、チタン酸ストロンチウム系材料を用いた誘電体セラミックスは、キュリー点が低温側(−60℃以下)にあるため、常温域における誘電率の温度変化が大きく、チタン酸バリウム系材料を用いた誘電体セラミックスに比べてR特性(温度変化率が±15%以内)の温度特性を有する積層セラミックコンデンサを得るのが困難であった。また、高温加速寿命特性についても、チタン酸ストロンチウム系の積層セラミックコンデンサはチタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の特性を得ることが困難であった。 However, dielectric ceramics using strontium titanate-based materials have a Curie point on the low temperature side (−60 ° C. or lower), so that the temperature change of the dielectric constant in the normal temperature region is large, and dielectrics using barium titanate-based materials. It was difficult to obtain a monolithic ceramic capacitor having temperature characteristics of R characteristics (temperature change rate within ± 15%) compared to body ceramics. Further, regarding the high temperature accelerated life characteristics, it was difficult for the strontium titanate multilayer ceramic capacitor to obtain the same characteristics as the barium titanate multilayer ceramic capacitor.
本発明は、チタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の高温加速寿命特性を有し、温度特性がX5R特性(25℃基準で−55℃〜+85℃の温度範囲で±15%以内)を示すチタン酸ストロンチウム系の積層セラミックコンデンサを得ることができるものである。 The present invention has a high temperature accelerated life characteristic equivalent to that of a barium titanate-based multilayer ceramic capacitor, and the temperature characteristic exhibits an X5R characteristic (within ± 15% within a temperature range of −55 ° C. to + 85 ° C. on a 25 ° C. basis). A strontium titanate multilayer ceramic capacitor can be obtained.
本発明では第一の解決手段として、SrTiOを主相とし、SrTiO 100molに対してMg成分を、MgO換算で0.2〜5.0mol、Mn及びVから選ばれる金属元素を、一分子中に金属元素が一原子含まれる酸化物換算で0.1〜1.0mol、Re成分(ReはSm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu及びYから選ばれる1種または2種以上の金属元素)を、一分子に金属元素が一原子含まれる酸化物換算で0.3〜5.0mol、SiOまたはSiを含むガラス成分を、SiO換算で0.15〜10molの割合で含有する誘電体セラミックスであって、前記誘電体セラミックスを構成するセラミック粒子がコアシェル構造を有している誘電体セラミックスを提案する。 In the present invention, as a first solving means, SrTiO 3 is the main phase, Mg component is added to 100 mol of SrTiO 3 , 0.2 to 5.0 mol in terms of MgO, and a metal element selected from Mn and V 0.1 to 1.0 mol in terms of oxide containing one atom of metal element, Re component (Re is selected from Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y 1 type or 2 or more types of metal elements), 0.3 to 5.0 mol in terms of oxide in which one molecule of metal element is contained in one molecule, and a glass component containing SiO 2 or Si in an amount of 0.002 in terms of SiO 2 . Proposed is a dielectric ceramic containing 15 to 10 mol of dielectric ceramic, wherein the ceramic particles constituting the dielectric ceramic have a core-shell structure.
また本発明ではさらに第ニの解決手段として、複数の誘電体セラミック層と、該誘電体セラミック層間に形成された内部電極と、該内部電極に電気的に接続された外部電極とを有する積層セラミックコンデンサにおいて、前記誘電体セラミック層として上記の誘電体セラミックスを用いており、前記内部電極がNiまたはNi合金で形成されている積層セラミックコンデンサを提案する。 Further, in the present invention, as a second solution, a multilayer ceramic having a plurality of dielectric ceramic layers, an internal electrode formed between the dielectric ceramic layers, and an external electrode electrically connected to the internal electrode In the capacitor, a multilayer ceramic capacitor is proposed in which the above dielectric ceramic is used as the dielectric ceramic layer, and the internal electrode is made of Ni or Ni alloy.
上記第一及び第二の解決手段によれば、チタン酸ストロンチウム系の積層セラミックコンデンサは、コアシェル構造を有するセラミック粒子で構成された誘電体セラミックスを用いることによって、チタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の高温寿命特性を得ることが可能となる。また、チタン酸ストロンチウム系の誘電体セラミックスは、これを構成するセラミック粒子がコアシェル構造を有していることにより、コアとなるチタン酸ストロンチウムの結晶の温度特性と、シェルとなるチタン酸ストロンチウムの固溶体の温度特性との温度特性とが合成され、R特性の温度特性が得られるようになる。 According to the first and second solving means, the strontium titanate-based multilayer ceramic capacitor uses a dielectric ceramic composed of ceramic particles having a core-shell structure, whereby a barium titanate-based multilayer ceramic capacitor and It is possible to obtain equivalent high-temperature life characteristics. In addition, strontium titanate-based dielectric ceramics have a core-shell structure for the ceramic particles that form them, so that the temperature characteristics of the core strontium titanate crystals and the solid solution of strontium titanate that forms the shell These temperature characteristics and the temperature characteristics are combined to obtain an R characteristic temperature characteristic.
本発明によれば、チタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の高温加速寿命特性を有し、温度特性がX5R特性を示すチタン酸ストロンチウム系の積層セラミックコンデンサを得ることができる。 According to the present invention, it is possible to obtain a strontium titanate-based multilayer ceramic capacitor having high temperature accelerated life characteristics equivalent to those of a barium titanate-based multilayer ceramic capacitor and having temperature characteristics of X5R characteristics.
本発明の誘電体セラミックスに係る実施形態について説明する。本発明の誘電体セラミックスは、SrTiO+Mg成分+M成分+Re成分+Si成分(Re成分はSm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu及びYから選ばれる1種または2種以上の金属元素、M成分はMn及びVから選ばれる金属元素、Si成分はSiOまたはSiを含むガラス成分)で表される。 An embodiment according to a dielectric ceramic of the present invention will be described. The dielectric ceramic of the present invention has SrTiO 3 + Mg component + M component + Re component + Si component (Re component is one or two selected from Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y) species more metal elements, M component metal element selected from Mn and V, Si component is represented by the glass component) containing SiO 2 or Si.
SrTiOは、SrCOとTiOとを混合して、1200℃〜1300℃で熱処理して合成される。従来のSrTiOは1000℃以下で熱処理して合成していた。そのため結晶性が低く、コアシェル構造を形成することが困難であった。しかし本発明の誘電体セラミックスの主相となるSrTiOは、1200℃〜1300℃という比較的高温で熱処理するので、結晶性が高く、コアシェル構造を容易に形成できる。なお、誘電体セラミックスに耐還元性を持たせるため、Sr/Ti比は0.95〜1.05であることが望ましい。 SrTiO 3 is synthesized by mixing SrCO 3 and TiO 2 and heat-treating at 1200 ° C. to 1300 ° C. Conventional SrTiO 3 was synthesized by heat treatment at 1000 ° C. or lower. Therefore, the crystallinity is low and it is difficult to form a core-shell structure. However, since SrTiO 3 which is the main phase of the dielectric ceramic of the present invention is heat-treated at a relatively high temperature of 1200 ° C. to 1300 ° C., it has high crystallinity and can easily form a core-shell structure. In order to give the dielectric ceramics reduction resistance, the Sr / Ti ratio is preferably 0.95 to 1.05.
Mg成分は、SrTiO 100molに対して0.2〜5.0molである。この場合Mg成分はMgO換算でmol数が特定される。Mg成分が0.2molより少ない、あるいは5.0molより多い場合、誘電体セラミックスの焼結性が低下する。Mg成分としては通常MgOが用いられる。 Mg component is 0.2-5.0 mol with respect to 100 mol of SrTiO 3 . In this case, the number of moles of the Mg component is specified in terms of MgO. When the Mg component is less than 0.2 mol or more than 5.0 mol, the sinterability of the dielectric ceramic is lowered. As the Mg component, MgO is usually used.
M成分はMn及びVから選ばれる金属元素であって、SrTiO 100molに対して0.1〜1.0molである。この場合M成分は一分子に金属元素が一原子含まれる酸化物換算でmol数が特定される。ここで「一分子に金属元素が一原子含まれる酸化物換算」とは、金属原子1個を1分子中に有している酸化物に換算することで、例えばVであればVO5/2として換算される。M成分が0.1molより少ない、あるいは1.0molより多い場合、誘電体セラミックスの焼結性が低下する。M成分の原料としては、Vの場合はVが用いられる。Mnの場合はMnOの他、MnCO、Mn等が用いられる。 The M component is a metal element selected from Mn and V, and is 0.1 to 1.0 mol with respect to 100 mol of SrTiO 3 . In this case, the M component is specified in terms of mol in terms of an oxide in which one molecule of a metal element is contained in one molecule. Here, “as an oxide equivalent in which one element of a metal element is contained in one molecule” means converting to an oxide having one metal atom in one molecule. For example, if V 2 O 5 is VO, Converted as 5/2 . When the M component is less than 0.1 mol or more than 1.0 mol, the sinterability of the dielectric ceramic is lowered. As a raw material for the M component, V 2 O 5 is used in the case of V. In the case of Mn, MnCO 3 , Mn 3 O 4 or the like is used in addition to MnO.
Re成分は、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu及びYから選ばれる1種類または2種以上の希土類金属元素であって、SrTiO 100molに対して、一分子に金属元素が一原子含まれる酸化物換算で0.3mol〜5.0molである。Re成分が0.3molより少ない、あるいは5.0molより多い場合、誘電体セラミックスの焼結性が低下する。Re成分の原料としては、それぞれの3価の酸化物すなわちReで表される酸化物が用いられる。 The Re component is one or more rare earth metal elements selected from Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, and Y, and is one for each 100 mol of SrTiO 3. It is 0.3 mol to 5.0 mol in terms of oxide in which one atom of a metal element is contained in the molecule. When the Re component is less than 0.3 mol or more than 5.0 mol, the sinterability of the dielectric ceramic is lowered. As a raw material for the Re component, respective trivalent oxides, that is, oxides represented by Re 2 O 3 are used.
Si成分はSiOまたはSiを含むガラス成分であって、SrTiO 100molに対して、SiO換算で0.15mol〜10molである。Si成分が0.15molより少ないと誘電体セラミックスが緻密化しない。またSi成分が10molより多いと、セラミック粒子の粒成長が発生し、温度特性がR特性の範囲からはずれてしまう。Si成分の原料としては、SiOの他、Li−Si系ガラス、B−Si系ガラス等のガラス成分が挙げられる。なお、このようなガラス成分の場合、その添加量はSiのmol数によって特定される。 The Si component is a glass component containing SiO 2 or Si, and is 0.15 mol to 10 mol in terms of SiO 2 with respect to 100 mol of SrTiO 3 . When the Si component is less than 0.15 mol, the dielectric ceramic is not densified. On the other hand, when the Si component is more than 10 mol, the ceramic particles grow and the temperature characteristics deviate from the range of the R characteristics. Examples of the raw material for the Si component include glass components such as Li—Si glass and B—Si glass in addition to SiO 2 . In addition, in the case of such a glass component, the addition amount is specified by the number of moles of Si.
なお、さらにCr、Fe、Co、Ni、Cu、Mo及びWから選ばれる金属元素を一分子に金属元素が一原子含まれる酸化物換算で0.1mol程度添加しても良い。 Further, a metal element selected from Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo and W may be added in an amount of about 0.1 mol in terms of an oxide containing one atom of metal element per molecule.
本発明の誘電体セラミックスは、上記に示すような組成を有するとともに図2に示すようなコアシェル構造を有するセラミック粒子で構成されている。図2に示すセラミック粒子8は、純粋なチタン酸ストロンチウムの結晶相からなるコア9と、チタン酸ストロンチウムとMg等の添加成分との固溶相からなるシェル10と、を有する。セラミック粒子8はコアシェル構造を有していることにより、粒成長が抑制される。そのため、本発明の誘電体セラミックスは、粒成長しやすい固溶粒子で形成された従来のチタン酸ストロンチウム系の誘電体セラミックスと比較して、絶縁抵抗の高い粒界部分が多くなり、チタン酸バリウム系の誘電体セラミックスと同等の高温寿命特性が得られる。 The dielectric ceramic of the present invention is composed of ceramic particles having the above-described composition and having a core-shell structure as shown in FIG. The ceramic particle 8 shown in FIG. 2 has a core 9 made of a pure strontium titanate crystal phase and a shell 10 made of a solid solution phase of strontium titanate and an additive component such as Mg. Since the ceramic particles 8 have a core-shell structure, grain growth is suppressed. Therefore, the dielectric ceramic of the present invention has more grain boundary parts with high insulation resistance compared to the conventional strontium titanate dielectric ceramics formed of solid solution particles that are easy to grow, and barium titanate. High temperature life characteristics equivalent to dielectric ceramics can be obtained.
また、セラミック粒子8のコア9は純粋なチタン酸ストロンチウムの結晶が有する温度特性を示し、シェル10はチタン酸ストロンチウムの固溶体が有する温度特性を示す。セラミック粒子8全体の温度特性は、コア9の温度特性とシェル10の温度特性が合成された温度特性となる。異なる温度特性が合成されることにより、セラミック粒子8はフラットな温度特性を得られるようになる。その結果、本発明の誘電体セラミックスは、X5R特性の温度特性を有することができる。   The core 9 of the ceramic particles 8 shows the temperature characteristics of pure strontium titanate crystals, and the shell 10 shows the temperature characteristics of the solid solution of strontium titanate. The temperature characteristic of the entire ceramic particle 8 is a temperature characteristic obtained by synthesizing the temperature characteristic of the core 9 and the temperature characteristic of the shell 10. By synthesizing different temperature characteristics, the ceramic particles 8 can obtain flat temperature characteristics. As a result, the dielectric ceramic of the present invention can have temperature characteristics of X5R characteristics.
次に本発明の実施形態に係る積層セラミックコンデンサについて説明する。本実施形態による積層セラミックコンデンサ1は、図1に示すように、誘電体セラミックス3と、該誘電体セラミックス3を介して対向しかつ交互に異なる端面へ引出されるように形成された内部電極4とを有する略直方体形状のセラミック積層体2を備え、該セラミック積層体2の両端面上には、内部電極と電気的に接続するように外部電極5が形成されている。その外部電極5上には必要に応じて外部電極5を保護するための第一のメッキ層6、半田ヌレ性を向上させるための第二のメッキ層7が形成される。 Next, a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, the multilayer ceramic capacitor 1 according to the present embodiment includes a dielectric ceramic 3 and internal electrodes 4 formed so as to face each other through the dielectric ceramic 3 and be alternately drawn to different end faces. The outer electrode 5 is formed on both end surfaces of the ceramic laminate 2 so as to be electrically connected to the inner electrode. On the external electrode 5, a first plating layer 6 for protecting the external electrode 5 and a second plating layer 7 for improving the solder wettability are formed as necessary.
誘電体セラミックス3は本発明の誘電体セラミックスで形成されている。よって本発明の積層セラミックコンデンサ1は、誘電体セラミックス3がコアシェル構造を有するチタン酸ストロンチウム系のセラミック粒子で構成されており、X5R特性の温度特性を有しかつチタン酸バリウム系の誘電体セラミックスと同等の高温寿命特性を有している。また、チタン酸ストロンチウムは常誘電体であるので、本発明の積層セラミックコンデンサ1はチタン酸バリウム系の誘電体セラミックスを用いた積層セラミックコンデンサよりも低歪み率となり、音鳴きの原因となる積層セラミックコンデンサの伸縮が低減される。   The dielectric ceramic 3 is formed of the dielectric ceramic of the present invention. Therefore, in the multilayer ceramic capacitor 1 of the present invention, the dielectric ceramic 3 is composed of strontium titanate ceramic particles having a core-shell structure, has temperature characteristics of X5R characteristics, and has a barium titanate dielectric ceramic. Has the same high temperature life characteristics. In addition, since strontium titanate is a paraelectric material, the multilayer ceramic capacitor 1 of the present invention has a lower distortion rate than a multilayer ceramic capacitor using a barium titanate dielectric ceramic, and causes multilayer noise. The expansion and contraction of the capacitor is reduced.
内部電極4はNiまたはNi−Cu合金等のNi合金で形成される。NiまたはNi合金は融点が誘電体セラミックスの焼結温度(1100℃〜1400℃)よりも高いので、誘電体セラミックスの焼成と同時に焼成が可能である。また、Pd等に比べて安価であるので、内部電極の枚数が多くなる大容量の積層セラミックコンデンサを低コストで得ることができる。 The internal electrode 4 is made of Ni or a Ni alloy such as a Ni—Cu alloy. Since Ni or Ni alloy has a melting point higher than the sintering temperature (1100 ° C. to 1400 ° C.) of the dielectric ceramic, it can be fired simultaneously with the firing of the dielectric ceramic. Further, since it is cheaper than Pd or the like, a large-capacity multilayer ceramic capacitor having a large number of internal electrodes can be obtained at low cost.
外部電極5は、内部電極4と電気的に接続する。外部電極5は、融点が誘電体セラミックスの焼結温度よりも高いNi等のペーストを用いて誘電体セラミックスの焼成と同時に焼成するか、セラミック積層体2の焼結後、AgペーストやCuペーストを用いて焼付けるなどの方法で形成される。この外部電極5の上には、外部電極5を保護するための第一のメッキ層6が形成され、さらに第一のメッキ層6の上に第二のメッキ層7が形成される。第一のメッキ層6には、Ni、Cu等の金属が用いられ、第二のメッキ層にはSnまたはSn合金等の半田ヌレ性の良好な金属が用いられる。 The external electrode 5 is electrically connected to the internal electrode 4. The external electrode 5 is fired simultaneously with the firing of the dielectric ceramics using a paste such as Ni whose melting point is higher than the sintering temperature of the dielectric ceramics, or after the ceramic laminate 2 is sintered, Ag paste or Cu paste is used. It is formed by a method such as baking. A first plating layer 6 for protecting the external electrode 5 is formed on the external electrode 5, and a second plating layer 7 is further formed on the first plating layer 6. The first plating layer 6 is made of a metal such as Ni or Cu, and the second plating layer is made of a metal having good soldering properties such as Sn or Sn alloy.
次に、本発明の誘電体セラミックス及び積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。なお、以下のプロセスの説明においては、記載された組成比を焼結体となった時の組成比として説明する。配合については、例えば湿式混合でイオン溶出する分や焼成時に蒸発する分を考慮した分量で行い、記載された組成比で焼結体が形成されるように配合されるものとする。   Next, a method for manufacturing the dielectric ceramic and the multilayer ceramic capacitor of the present invention will be described. In the following description of the process, the described composition ratio will be described as the composition ratio when the sintered body is formed. The blending is performed, for example, in an amount taking into account the amount of ions eluted by wet mixing and the amount of evaporation during firing, and blended so that a sintered body is formed at the described composition ratio.
まず、SrCOとTiOを、Sr:Tiがモル比で95:100〜105:100になるように用意する。用意したSrCO及びTiOに水を加えてボールミル、ビーズミル、ディスパミル等を用いて15〜24時間程度湿式混合する。得られた混合物を乾燥させ、これを1200℃〜1300℃で2時間程度熱処理を行い、チタン酸ストロンチウムを合成する。 First, SrCO 3 and TiO 2 are prepared so that Sr: Ti is in a molar ratio of 95: 100 to 105: 100. Water is added to the prepared SrCO 3 and TiO 2 and wet-mixed for about 15 to 24 hours using a ball mill, bead mill, dispa mill or the like. The obtained mixture is dried and subjected to heat treatment at 1200 ° C. to 1300 ° C. for about 2 hours to synthesize strontium titanate.
一方、SrTiO 100molに対して、MgOを0.2〜5.0mol、M成分としてMnOまたはV(VO5/2換算)を0.1〜1.0mol、Re成分として例えばHoをHoO3/2換算で0.3〜5.0mol、Si成分として例えばSiOを0.15〜10molの割合になるように混合し、水を加えてボールミル、ビーズミル、ディスパミル等を用いて15〜24時間程度湿式混合する。その後乾燥させ、添加材料を得る。 On the other hand, with respect to 100 mol of SrTiO 3 , MgO is 0.2 to 5.0 mol, M component is MnO or V 2 O 5 (VO 5/2 conversion) is 0.1 to 1.0 mol, and Re component is, for example, Ho 2. O 3 is mixed in an amount of 0.3 to 5.0 mol in terms of HoO 3/2 , and, for example, SiO 2 is mixed as a Si component at a ratio of 0.15 to 10 mol, water is added, and a ball mill, a bead mill, a dispar mill, etc. are used For about 15 to 24 hours. Thereafter, drying is performed to obtain an additive material.
次に、合成したチタン酸ストロンチウムと添加材料とを混合し、水を加えてボールミル、ビーズミル、ディスパミル等を用いて15〜24時間程度湿式混合する。その後この混合物を乾燥させ、1000℃で仮焼きする。このようにして誘電体セラミック組成物を得る。 Next, the synthesized strontium titanate and the additive material are mixed, water is added, and wet mixing is performed for about 15 to 24 hours using a ball mill, a bead mill, a dispa mill or the like. The mixture is then dried and calcined at 1000 ° C. In this way, a dielectric ceramic composition is obtained.
得られた誘電体セラミック組成物と、ブチラール系またはアクリル系の有機バインダー、溶剤及びその他添加剤とを混合してセラミックスラリーを形成する。このセラミックスラリーをロールコータ等の塗布装置を用いてシート化し、誘電体セラミック層3となる所定の厚みのセラミックグリーンシートを形成する。このセラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷によって所定のパターン形状にNiまたはNi合金の導電ペーストを塗布して内部電極4となる導電体層を形成する。 The obtained dielectric ceramic composition is mixed with a butyral or acrylic organic binder, a solvent and other additives to form a ceramic slurry. This ceramic slurry is formed into a sheet using a coating device such as a roll coater, and a ceramic green sheet having a predetermined thickness to be the dielectric ceramic layer 3 is formed. On this ceramic green sheet, a conductive layer of Ni or Ni alloy is applied in a predetermined pattern shape by screen printing to form a conductor layer that becomes the internal electrode 4.
導電体層を形成したセラミックグリーンシートを必要枚数積層した後、圧着し、生の積層体を形成する。これを個別チップに切断分割した後、大気中または窒素等の非酸化性ガス中で脱バインダーする。脱バインダー後、個別チップの内部電極露出面に導電ペーストを塗布して外部電極5となる導電体膜を形成する。この導電体膜を形成した個別チップを所定の温度の窒素―水素雰囲気中(酸素分圧10−10atm程度)で焼成する。なお、外部電極5は、個別チップを焼成してセラミック積層体2を形成した後、内部電極露出面にガラスフリットを含有する導電ペーストを塗布して焼付けても良い。外部電極5は、内部電極と同じ金属を使用できる他、Ag、Pd、AgPd、Cu、Cu合金などが使用できる。さらに外部電極5上にNi、Cu等で第一のメッキ層6、その上にSnまたはSn合金等で第二のメッキ層7を形成し、積層セラミックコンデンサ1が得られる。 After stacking the required number of ceramic green sheets on which the conductor layers are formed, they are pressure bonded to form a raw laminate. After this is cut and divided into individual chips, the binder is removed in the air or in a non-oxidizing gas such as nitrogen. After debinding, a conductive paste is applied to the exposed surface of the internal electrode of the individual chip to form a conductive film that becomes the external electrode 5. The individual chip on which the conductor film is formed is fired in a nitrogen-hydrogen atmosphere at a predetermined temperature (oxygen partial pressure of about 10 −10 atm). The external electrode 5 may be baked by applying a conductive paste containing glass frit to the exposed surface of the internal electrode after firing the individual chip to form the ceramic laminate 2. The external electrode 5 can use the same metal as the internal electrode, and can also use Ag, Pd, AgPd, Cu, Cu alloy, or the like. Further, the first plated layer 6 made of Ni, Cu or the like is formed on the external electrode 5, and the second plated layer 7 made of Sn or Sn alloy or the like is formed thereon, whereby the multilayer ceramic capacitor 1 is obtained.
(主相の合成)
主相A:出発原料として、SrCOを101mol、TiOを100molの割合になるようにそれぞれ秤量して準備した。次に準備した出発原料をボールミルにて15時間湿式混合し、乾燥後1300℃で2時間熱処理して主相Aの粉末を得た。
(Synthesis of main phase)
Main phase A: As starting materials, SrCO 3 was prepared by weighing it to a ratio of 101 mol and TiO 2 of 100 mol. Next, the prepared starting materials were wet mixed in a ball mill for 15 hours, dried and then heat-treated at 1300 ° C. for 2 hours to obtain a main phase A powder.
主相B:出発原料として、SrCOを101mol、TiOを100molの割合になるようにそれぞれ秤量して準備した。次に準備した出発原料をボールミルにて15時間湿式混合し、乾燥後1000℃で2時間熱処理して主相Bの粉末を得た。 Main phase B: As starting materials, SrCO 3 was prepared by weighing out at a ratio of 101 mol and TiO 2 at a ratio of 100 mol. Next, the prepared starting materials were wet mixed in a ball mill for 15 hours, dried, and heat-treated at 1000 ° C. for 2 hours to obtain a main phase B powder.
主相C:出発原料として、SrCOを101mol、TiOを100mol、MgOを2.0mol、MnOを0.4mol、YbをYbO3/2換算で3.0molの割合になるようにそれぞれ秤量して準備した。次に準備した出発原料をボールミルにて15時間湿式混合し、乾燥後1000℃で2時間熱処理して主相Cの粉末を得た。主相A、B及びCの組成を表1に示す。 Main phase C: 101 mol of SrCO 3 , 100 mol of TiO 2 , 2.0 mol of MgO, 0.4 mol of MnO, and 3.0 mol of Yb 2 O 3 in terms of YbO 3/2 as starting materials Each was prepared by weighing. Next, the prepared starting materials were wet mixed in a ball mill for 15 hours, dried, and then heat-treated at 1000 ° C. for 2 hours to obtain main phase C powder. The compositions of the main phases A, B and C are shown in Table 1.
(実施例1)
表2に示すように、主相A100molに対して、MgOを2.0mol、MnOを0.4mol、YbをYbO3/2換算で3.0mol、SiOを1.5molの割合になるようにそれぞれ秤量して準備した。準備したMgO、MnO、Yb及びSiOを混合し、水を加えてボールミルを用いて15〜24時間程度湿式混合して添加材料を得た。得られた添加材料と主相Aとを混合し、水を加えてボールミルを用いて15〜24時間程度湿式混合した。その後この混合物を乾燥させ、1000℃で仮焼きして誘電体セラミック組成物の粉末を得た。
Example 1
As shown in Table 2, with respect to 100 mol of the main phase A, MgO is 2.0 mol, MnO is 0.4 mol, Yb 2 O 3 is 3.0 mol in terms of YbO 3/2 , and SiO 2 is 1.5 mol. Each was prepared by weighing. The prepared MgO, MnO, Yb 2 O 3 and SiO 2 were mixed, water was added, and wet mixing was performed for about 15 to 24 hours using a ball mill to obtain an additive material. The obtained additive material and the main phase A were mixed, water was added, and wet-mixed for about 15 to 24 hours using a ball mill. The mixture was then dried and calcined at 1000 ° C. to obtain a dielectric ceramic composition powder.
上記の粉末に、ポリビニルブチラール、有機溶剤、可塑剤を加えて混合し、セラミックスラリーを形成した。このセラミックスラリーをロールコータにてシート化し、厚みが7μmのセラミックグリーンシートを得た。このセラミックグリーンシート上にスクリーン印刷でNi内部電極ペーストを塗布して、内部電極パターンを形成した。内部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを、11枚積み重ね、さらにこの上下に内部電極パターンが形成されていないセラミックグリーンシートを重ねて圧着し、4.0×2.0×1.0mmの大きさに切断分割して生チップを形成した。この生チップを窒素雰囲気中で脱バインダーし、Ni外部電極ペーストを塗布して、還元雰囲気中(窒素−水素雰囲気、酸素分圧10−10atm)にて1330℃で1時間保持して焼成し、その後室温まで750℃/hrの降温速度で温度を下げた。このようにして3.2×1.6×0.8mmの大きさの試料1の積層セラミックコンデンサを得た。また、試料2として、主相Bを用いて以後の工程を試料1の場合と同様に行った。このようにして試料2の積層セラミックコンデンサを得た。 To the above powder, polyvinyl butyral, an organic solvent, and a plasticizer were added and mixed to form a ceramic slurry. This ceramic slurry was made into a sheet by a roll coater to obtain a ceramic green sheet having a thickness of 7 μm. Ni internal electrode paste was applied on the ceramic green sheet by screen printing to form an internal electrode pattern. 11 ceramic green sheets on which internal electrode patterns are formed are stacked, and ceramic green sheets on which no internal electrode patterns are formed are stacked on top and bottom of the ceramic green sheets, and pressure-bonded by 4.0 × 2.0 × 1.0 mm. The raw chip was formed by cutting and dividing into pieces. This raw chip was debindered in a nitrogen atmosphere, coated with a Ni external electrode paste, and fired in a reducing atmosphere (nitrogen-hydrogen atmosphere, oxygen partial pressure 10 −10 atm) at 1330 ° C. for 1 hour. Thereafter, the temperature was lowered to room temperature at a temperature decrease rate of 750 ° C./hr. In this way, a multilayer ceramic capacitor of Sample 1 having a size of 3.2 × 1.6 × 0.8 mm was obtained. Further, as Sample 2, the subsequent steps were performed in the same manner as in Sample 1 using main phase B. In this way, a multilayer ceramic capacitor of Sample 2 was obtained.
また、主相Cを用い、主相Cと主相C100molに対してSiOを1.5molの割合になるように秤量して混合し、水を加えてボールミルを用いて15〜24時間程度湿式混合した。その後この混合物を乾燥させ、1000℃で仮焼きして誘電体セラミック組成物の粉末を得た。この誘電体セラミック組成物の粉末を用いて以後の工程を試料1の場合と同様に行い、試料3の積層セラミックコンデンサを得た。 Also, using the main phase C, main phase C and the main phase C100mol were weighed so that the SiO 2 in the ratio of 1.5mol mixed respect, 15-24 hour or so wet by using a ball mill with the addition of water Mixed. The mixture was then dried and calcined at 1000 ° C. to obtain a dielectric ceramic composition powder. Using the dielectric ceramic composition powder, the subsequent steps were performed in the same manner as in the case of Sample 1 to obtain a multilayer ceramic capacitor of Sample 3.
こうして得られた3.2×1.6×0.8mmサイズで誘電体セラミック層の厚み4μmの積層セラミックコンデンサについて、誘電率(ε)、tanδ、温度特性及び高温寿命特性の測定並びにコアシェル構造の有無を観察した。誘電率は、試料となる積層セラミックコンデンサを10個用意し、それぞれの静電容量をヒューレットパッカード社のLCRメータ4284Aにて測定して、この測定値と、試料となる積層セラミックコンデンサの内部電極の交差面積、誘電体セラミック層厚み及び積層枚数から計算して、試料10個の平均値を算出したものとした。tanδはヒューレットパッカード社のLCRメータ4284Aにて測定して試料10個分の測定値を求め、その平均値とした。   With respect to the obtained multilayer ceramic capacitor having a size of 3.2 × 1.6 × 0.8 mm and a dielectric ceramic layer of 4 μm, measurement of dielectric constant (ε), tan δ, temperature characteristics and high-temperature life characteristics, and core-shell structure The presence or absence was observed. For the dielectric constant, ten multilayer ceramic capacitors as samples were prepared, and their respective capacitances were measured with an LCR meter 4284A manufactured by Hewlett-Packard Company. The measured values and the internal electrode of the multilayer ceramic capacitor as a sample were measured. The average value of 10 samples was calculated from the intersection area, the dielectric ceramic layer thickness, and the number of laminated layers. tan δ was measured with an LCR meter 4284A manufactured by Hewlett-Packard Co., and the measured value for 10 samples was obtained and used as the average value.
温度特性については、各試料10個にて、−55℃〜+85℃の範囲で5℃間隔で静電容量をサンプリングし、10個の試料全部が25℃の時の静電容量から±15%以内にあれば○とした。高温寿命特性については、各試料20個にて、加速条件を150℃,70Vとし、リーク電流をモニタして、電流が500nA以上流れた所で破壊したものとし、その時の秒数から次の計算式
log(平均寿命)−50×log(EXP(1))×(0.25−1/層厚)
で寿命レベルを算出した。この寿命レベルが4以上のものを、チタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の寿命レベルとして合格とした。
Regarding the temperature characteristics, the capacitance was sampled at intervals of 5 ° C. in the range of −55 ° C. to + 85 ° C. for each of 10 samples, and ± 10% from the capacitance when all 10 samples were at 25 ° C. If it was within, it was rated as ○. Regarding the high-temperature life characteristics, the acceleration conditions were set to 150 ° C. and 70 V for each sample, the leakage current was monitored, and it was broken when the current flowed 500 nA or more. Formula log (average life) −50 × log (EXP (1)) × (0.25−1 / layer thickness)
The life level was calculated with Those having a life level of 4 or more were accepted as a life level equivalent to that of a barium titanate-based multilayer ceramic capacitor.
コアシェル構造の有無については、各試料ともTEM(透過電子顕微鏡)によって観察し、コアシェル構造を有するセラミック粒子があれば○とした。これらの結果を表3に示した。   The presence or absence of the core-shell structure was observed for each sample with a TEM (transmission electron microscope). These results are shown in Table 3.
以上の結果から、主相Aを用いた誘電体セラミックスおよび積層セラミックコンデンサであれば、温度特性がX5R特性であり、高温加速寿命特性がチタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の寿命レベルであることがわかった。また、主相Aを用いた誘電体セラミックスでは、コアシェル構造を有するセラミック粒子が観察された。   From the above results, if the dielectric ceramic and the multilayer ceramic capacitor using the main phase A, the temperature characteristics are X5R characteristics, and the high-temperature accelerated lifetime characteristics are equivalent to those of the barium titanate-based multilayer ceramic capacitors. I understood it. In the dielectric ceramics using the main phase A, ceramic particles having a core-shell structure were observed.
(実施例2)
表4の組成の焼結体が得られるように、実施例1の本発明例1と同様にして、誘電体セラミック粉末を形成した。ここではMgの添加量及び種類を変化させてその効果を検証した。
(Example 2)
A dielectric ceramic powder was formed in the same manner as in Example 1 of the present invention in Example 1 so that a sintered body having the composition shown in Table 4 was obtained. Here, the effect was verified by changing the amount and type of Mg added.
上記の誘電体セラミック粉末を、実施例1と同様にして積層セラミックコンデンサを形成し、誘電率、tanδ、温度特性及び高温寿命特性の測定並びにコアシェル構造の有無を観察し、表5にまとめた。   A multilayer ceramic capacitor was formed from the above dielectric ceramic powder in the same manner as in Example 1. The dielectric constant, tan δ, temperature characteristics and high-temperature life characteristics were measured, and the presence or absence of a core-shell structure was observed.
以上の結果から、Mgの範囲が0.2〜5.0molの範囲であれば、温度特性がX5R特性であり、高温加速寿命特性がチタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の寿命レベルであることがわかった。   From the above results, if the Mg range is 0.2 to 5.0 mol, the temperature characteristics are X5R characteristics, and the high-temperature accelerated lifetime characteristics are the same as those of barium titanate-based multilayer ceramic capacitors. I understood it.
(実施例3)
表6の組成の焼結体が得られるように、実施例1と同様にして、誘電体セラミック粉末を形成した。ここではMnまたはVの添加量を変化させてその効果を検証した。
(Example 3)
A dielectric ceramic powder was formed in the same manner as in Example 1 so that a sintered body having the composition shown in Table 6 was obtained. Here, the effect was verified by changing the amount of Mn or V added.
上記の誘電体セラミック粉末を、実施例1と同様にして積層セラミックコンデンサを形成し、誘電率、tanδ、温度特性及び高温寿命特性の測定並びにコアシェル構造の有無を観察し、表7にまとめた。   A multilayer ceramic capacitor was formed from the above dielectric ceramic powder in the same manner as in Example 1. The dielectric constant, tan δ, temperature characteristics and high-temperature life characteristics were measured, and the presence or absence of a core-shell structure was observed.
以上の結果から、MnまたはVの範囲が0.1〜1.0molの範囲であれば、温度特性がX5R特性であり、高温加速寿命特性がチタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の寿命レベルであることがわかった。また、本発明の範囲内であればMnとVを混合しても良いことがわかった。   From the above results, if the range of Mn or V is in the range of 0.1 to 1.0 mol, the temperature characteristics are X5R characteristics, and the high temperature accelerated life characteristics are the same life level as the barium titanate-based multilayer ceramic capacitor. I found out that It was also found that Mn and V may be mixed within the scope of the present invention.
(実施例4)
表8の組成の焼結体が得られるように、実施例1と同様にして、誘電体セラミック粉末を形成した。ここでは希土類成分の添加量及び種類を変化させてその効果を検証した。
Example 4
A dielectric ceramic powder was formed in the same manner as in Example 1 so that a sintered body having the composition shown in Table 8 was obtained. Here, the effect was verified by changing the addition amount and type of rare earth components.
上記の誘電体セラミック粉末を、実施例1と同様にして積層セラミックコンデンサを形成し、誘電率、tanδ、温度特性及び高温寿命特性の測定並びにコアシェル構造の有無を観察し、表9にまとめた。   A multilayer ceramic capacitor was formed from the above dielectric ceramic powder in the same manner as in Example 1. The dielectric constant, tan δ, temperature characteristics and high temperature life characteristics were measured, and the presence or absence of a core-shell structure was observed.
以上の結果から、希土類成分の範囲が0.3〜5.0molの範囲であれば、温度特性がX5R特性であり、高温加速寿命特性がチタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の寿命レベルであることがわかった。なお、試料24の結果から、本発明で規定した以外の希土類成分(La)を用いた場合は固溶状態が変化してコアシェル構造を形成しないことがわかった。また、本発明の規定した希土類成分であれば本発明の効果が得られることがわかった。   From the above results, if the range of the rare earth component is in the range of 0.3 to 5.0 mol, the temperature characteristics are X5R characteristics, and the high temperature accelerated life characteristics are at the same life level as the barium titanate multilayer ceramic capacitor. I found out. From the results of Sample 24, it was found that when a rare earth component (La) other than that defined in the present invention was used, the solid solution state changed and a core-shell structure was not formed. Further, it was found that the effects of the present invention can be obtained with the rare earth component defined by the present invention.
(実施例5)
表10の組成の焼結体が得られるように、実施例1と同様にして、誘電体セラミック粉末を形成した。ここではSiOの添加量を変化させてその効果を検証した。
(Example 5)
A dielectric ceramic powder was formed in the same manner as in Example 1 so that a sintered body having the composition shown in Table 10 was obtained. Here, the effect was verified by changing the addition amount of SiO 2 .
上記の誘電体セラミック粉末を、実施例1と同様にして積層セラミックコンデンサを形成し、誘電率、tanδ、温度特性及び高温寿命特性の測定並びにコアシェル構造の有無を観察し、表11にまとめた。   A multilayer ceramic capacitor was formed from the above dielectric ceramic powder in the same manner as in Example 1. The dielectric constant, tan δ, temperature characteristics and high-temperature life characteristics were measured, and the presence or absence of a core-shell structure was observed.
以上の結果から、SiOの範囲が0.15〜10molの範囲であれば、温度特性がX5R特性であり、高温加速寿命特性がチタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の寿命レベルであることがわかった。なお、SiOの添加量が少ないと、試料27に示すように、緻密化せず、SiOの添加量が多いと、試料28に示すように、コアシェル構造が形成されずに所望の温度特性及び寿命特性が得られないことがわかった。 From the above results, if the SiO 2 range is in the range of 0.15 to 10 mol, the temperature characteristic is the X5R characteristic, and the high temperature accelerated life characteristic is the same life level as the barium titanate-based multilayer ceramic capacitor. I understood. In addition, when the addition amount of SiO 2 is small, as shown in the sample 27, densification is not performed, and when the addition amount of SiO 2 is large, the core-shell structure is not formed as shown in the sample 28, and desired temperature characteristics are obtained. And it was found that the life characteristics could not be obtained.
(実施例6)
表12の組成の焼結体が得られるように、実施例1と同様にして、誘電体セラミック粉末を形成した。ここでは試料1の組成にCr、Fe、Co、Ni、Cu、Mo及びWから選ばれる金属元素を添加させてその効果を検証した。
(Example 6)
A dielectric ceramic powder was formed in the same manner as in Example 1 so that a sintered body having the composition shown in Table 12 was obtained. Here, a metal element selected from Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, and W was added to the composition of Sample 1, and the effect was verified.
上記の誘電体セラミック粉末を、実施例1と同様にして積層セラミックコンデンサを形成し、誘電率、tanδ、温度特性及び高温寿命特性の測定並びにコアシェル構造の有無を観察し、表13にまとめた。 A multilayer ceramic capacitor was formed from the above dielectric ceramic powder in the same manner as in Example 1. The dielectric constant, tan δ, temperature characteristics and high-temperature life characteristics were measured, and the presence or absence of the core-shell structure was observed.
以上の結果から、Cr、Fe、Co、Ni、Cu、Mo及びWから選ばれる金属元素をさらに添加しても、温度特性がX5R特性であり、高温加速寿命特性がチタン酸バリウム系の積層セラミックコンデンサと同等の寿命レベルであることがわかった。   From the above results, even when a metal element selected from Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo and W is further added, the temperature characteristics are X5R characteristics, and the high temperature accelerated life characteristics are barium titanate-based multilayer ceramics. It was found that the lifetime was equivalent to the capacitor.
積層セラミックコンデンサの断面を模式的に表した図である。It is the figure which represented the cross section of the multilayer ceramic capacitor typically. コアシェル構造を有するセラミック粒子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the ceramic particle which has a core-shell structure.
符号の説明Explanation of symbols
1 積層セラミックコンデンサ
2 セラミック積層体
3 誘電体セラミックス
4 内部電極
5 外部電極
6 第一のメッキ層
7 第ニのメッキ層
8 セラミック粒子
9 コア
10 シェル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Multilayer ceramic capacitor 2 Ceramic multilayer body 3 Dielectric ceramics 4 Internal electrode 5 External electrode 6 1st plating layer 7 2nd plating layer 8 Ceramic particle 9 Core 10 Shell

Claims (2)

  1. SrTiOを主相とし、
    SrTiO 100molに対して
    Mg成分を、MgO換算で0.2〜5.0mol
    Mn及びVから選ばれる金属元素を、一分子中に金属元素が一原子含まれる酸化物換算で0.1〜1.0mol
    Re成分(ReはSm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu及びYから選ばれる1種または2種以上の金属元素)を、一分子に金属元素が一原子含まれる酸化物換算で0.3〜5.0mol
    SiOまたはSiを含むガラス成分を、SiO換算で0.15〜10mol
    の割合で含有する誘電体セラミックスであって、
    前記誘電体セラミックスを構成するセラミック粒子がコアシェル構造を有している。
    ことを特徴とする誘電体セラミックス。
    SrTiO 3 as the main phase,
    Mg component is 0.2-5.0 mol in terms of MgO with respect to 100 mol of SrTiO 3.
    A metal element selected from Mn and V is 0.1 to 1.0 mol in terms of oxide containing one atom of metal element in one molecule.
    Re component (Re is one or more metal elements selected from Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y), and one molecule contains one atom of metal element 0.3-5.0 mol in terms of oxide
    The glass component containing SiO 2 or Si is 0.15 to 10 mol in terms of SiO 2
    Dielectric ceramics containing at a ratio of
    Ceramic particles constituting the dielectric ceramic have a core-shell structure.
    Dielectric ceramics characterized by that.
  2. 複数の誘電体セラミック層と、該誘電体セラミック層間に形成された内部電極と、該内部電極に電気的に接続された外部電極とを有する積層セラミックコンデンサにおいて、
    前記誘電体セラミック層が
    SrTiOを主相とし、
    SrTiO 100molに対して
    Mg成分を、MgO換算で0.2〜5.0mol
    Mn及びVから選ばれる金属元素を、一分子中に金属元素が一原子含まれる酸化物換算で0.1〜1.0mol
    Re成分(ReはSm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu及びYから選ばれる1種または2種以上の金属元素)を、一分子に金属元素が一原子含まれる酸化物換算で0.3〜5.0mol
    SiOまたはSiを含むガラス成分を、SiO換算で0.15〜10mol
    の割合で含有する誘電体セラミックスであり、
    前記誘電体セラミックスを構成するセラミック粒子がコアシェル構造を有しており、前記内部電極がNiまたはNi合金で形成されている
    ことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。


    In a multilayer ceramic capacitor having a plurality of dielectric ceramic layers, internal electrodes formed between the dielectric ceramic layers, and external electrodes electrically connected to the internal electrodes,
    The dielectric ceramic layer has SrTiO 3 as a main phase,
    Mg component is 0.2-5.0 mol in terms of MgO with respect to 100 mol of SrTiO 3.
    A metal element selected from Mn and V is 0.1 to 1.0 mol in terms of oxide containing one atom of metal element in one molecule.
    Re component (Re is one or more metal elements selected from Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y), and one molecule contains one atom of metal element 0.3-5.0 mol in terms of oxide
    The glass component containing SiO 2 or Si is 0.15 to 10 mol in terms of SiO 2
    Is a dielectric ceramic containing at a ratio of
    A multilayer ceramic capacitor characterized in that the ceramic particles constituting the dielectric ceramic have a core-shell structure, and the internal electrodes are formed of Ni or Ni alloy.


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