JP2009093131A - Array type tap photodiode module and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明はアレイ型タップフォトダイオードモジュール(以下、ATPDMと略す)およびその製造方法に関し、さらに詳述すれば、WDM伝送用の合分波器や可変光減衰器などに使用される小型で低価格の多チャンネルATPDMおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to an array-type tap photodiode module (hereinafter abbreviated as ATPDM) and a manufacturing method thereof. The present invention relates to a multi-channel ATPDM and a manufacturing method thereof.
インターネットの急速な普及が2000年以降継続している。年率増加率はほぼ2倍で今後10年間で約1,000倍の伝送容量が必要になるといわれている。このような将来のトラフィックの増大に対応するためWDM伝送システムの波長チャンネルの高密度化が進められている。高密度WDMすなわちDWDMシステムではAWGという光導波路型合分波器が使用される。DWDMでは多チャンネルを一括して増幅するエルビュームドープ光ファイバアンプ(以下、EDFAと略す)が使われている。EDFAを用いた光伝送システムは既存の光ケーブルを使って少ない中継器数で経済的に大容量化できるので、現在幹線系、海底光伝送系で広く普及している。EDFAは一般にゲインの波長特性がある。WDM伝送で各チャンネルの信号電力の不揃いがあればそれがアンプで増幅され不揃いが増幅される。その結果、受信部でS/Nの不揃いになり十分なシステムマージンを確保できなくなる。従ってWDM信号を分波するAWGにおいては分波後の各波長チャンネルの信号レベルをモニターするデバイス、すなわちタップPD(フォトダイオード)モジュールが多数個必要となる。 The rapid spread of the Internet has continued since 2000. The annual rate of increase is almost twice, and it is said that transmission capacity of about 1,000 times is required in the next 10 years. In order to cope with such an increase in traffic in the future, the wavelength channels of WDM transmission systems are being densified. In a high-density WDM or DWDM system, an optical waveguide type multiplexer / demultiplexer called AWG is used. In DWDM, an erbium-doped optical fiber amplifier (hereinafter abbreviated as EDFA) that amplifies multiple channels at once is used. An optical transmission system using an EDFA can be economically increased in capacity with a small number of repeaters using an existing optical cable, and is now widely used in trunk and submarine optical transmission systems. An EDFA generally has a wavelength characteristic of gain. If there is an irregularity in the signal power of each channel in WDM transmission, it is amplified by an amplifier and the irregularity is amplified. As a result, S / N is not uniform in the receiving unit, and a sufficient system margin cannot be secured. Therefore, an AWG that demultiplexes a WDM signal requires a number of devices that monitor the signal level of each wavelength channel after demultiplexing, that is, a number of tap PD (photodiode) modules.
一般に伝送路中の光をモニターするためには所定の比率だけ信号を分岐(タップという)する必要がある。
従来のタップ方法は主として2芯のフェルールとレンズ、スプリッタ、フォトダイオードを用いたタイプが広く実用化されている。これを図6に示す。図6は1対の入出力光ファイバをレンズの中心に対し対称な位置に設置しビームスプリッタでタップ光と透過光に分岐してタップする2芯オフセット方法である。図6の方式は外径が3mmから5mmと比較的小型にできるので現在はこの方式のタップPDモジュールがDWDMシステムのAWGやEDFAの中で波長チャンネル数だけ使用されている。In general, in order to monitor light in a transmission line, it is necessary to branch (referred to as a tap) a signal by a predetermined ratio.
Conventional tapping methods mainly use a type using a two-core ferrule, a lens, a splitter, and a photodiode. This is shown in FIG. FIG. 6 shows a two-core offset method in which a pair of input / output optical fibers are installed at positions symmetrical with respect to the center of the lens, and are branched into tap light and transmitted light by a beam splitter. Since the method of FIG. 6 can be made relatively small with an outer diameter of 3 mm to 5 mm, this type of tap PD module is currently used by the number of wavelength channels in the AWG and EDFA of the DWDM system.
しかしながら図6で示される従来のタップPDモジュールは、外径が3mmないし5mmであるので、チャンネル数が40チャンネルの場合にはそのまま収納すると幅で120mmないし200mmのスペースが必要となる。その上80本の入出力光ファイバをAWGや可変光減衰器とともに基板上に収納し敷設する作業が必要となりその実装コストが無視できない。またAWGなどの導波路型部品は、コアとクラッドの屈折率差を大きくすることで小サイズ化が可能になっているが、併用するタップPDモジュールが小型にならないと分波モジュールとして小型にならないという問題点があった。 However, since the conventional tap PD module shown in FIG. 6 has an outer diameter of 3 mm to 5 mm, a space of 120 mm to 200 mm in width is required if it is stored as it is when the number of channels is 40. In addition, 80 input / output optical fibers together with AWGs and variable optical attenuators need to be stored and laid on the board, and the mounting cost cannot be ignored. In addition, waveguide type parts such as AWG can be reduced in size by increasing the difference in refractive index between the core and the clad. There was a problem.
以上のような背景からアレイ型のタップフォトダイオードモジュールが永らく望まれてきた。しかし、アレイ型の場合にはモジュール内のチャンネル間の光の干渉によるクロストークや多チャンネルを同時に光結合を取る必要があることなどの問題点があり、これまで実用化されていない。 From the above background, an array-type tap photodiode module has long been desired. However, in the case of the array type, there are problems such as crosstalk due to light interference between channels in the module and the need to simultaneously couple multiple channels, and it has not been put into practical use so far.
本発明の目的は、上記の従来技術の問題点を解決し、小型で低コストのWDM伝送用のアレイ型タップフォトダイオードモジュールおよびその製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and provide a small and low-cost array-type tap photodiode module for WDM transmission and a method for manufacturing the same.
上記の目的を達成するために、本発明に係わるアレイ型タップフォトダイオードモジュールでは、複数の隣接させた入出力光ファイバ対を光学的クロストークが無視できるピッチでファイバアレイ化したこと、光ファイバアレイ、レンズアレイ、ビームスプリッタ、PDアレイを調芯固定する方法を最適化し、レンズアレイでコリメートされたビームがPD素子面上でPD受光径より小さくなるようにレンズのパラメータを最適化している。 In order to achieve the above object, in the array-type tap photodiode module according to the present invention, a plurality of adjacent input / output optical fiber pairs are formed into a fiber array at a pitch at which optical crosstalk can be ignored. The lens array, the beam splitter, and the method of aligning and fixing the PD array are optimized, and the lens parameters are optimized so that the beam collimated by the lens array becomes smaller than the PD light receiving diameter on the PD element surface.
以下、本発明をさらに具体的に説明する。
本発明の例としての第1の発明(以下、発明1という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、2本の光ファイバのクラッドの間隔がほぼ零になるように並べられた1対の光ファイバペアが一定の間隔でn対(nは2以上の整数)配列された光ファイバアレイの1対の光ファイバの出射端面をn個のレンズを有するレンズアレイの一つのレンズの中心軸に対し互いに対称の位置に調整し該1対の第1の光ファイバから出射した光を該レンズでコリメートし所定の反射率を持つビームスプリッタバーで反射光と透過光に分岐し透過光をn個のフォトダイオードアレイの一つに導き反射光を該レンズで第2の光ファイバに集光することを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。Hereinafter, the present invention will be described more specifically.
An array type tap photodiode module according to a first invention as an example of the present invention (hereinafter referred to as invention 1) is a pair of optical fibers arranged so that the distance between the clads of the two optical fibers is almost zero. With respect to the central axis of one lens of a lens array having n lenses, the exit end faces of a pair of optical fibers of an optical fiber array in which pairs are arranged at regular intervals with n pairs (n is an integer of 2 or more) The light emitted from the pair of first optical fibers is adjusted to a symmetrical position, collimated by the lens, branched into reflected light and transmitted light by a beam splitter bar having a predetermined reflectance, and the transmitted light is divided into n photo An array-type tap photodiode module characterized in that the reflected light is guided to one of the diode arrays and condensed by the lens onto a second optical fiber.
本発明の例としての前記発明1を展開した第2の発明(以下、発明2という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、発明1に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、レンズでコリメートされる透過光の受光素子上のビームの直径が受光素子の有効受光直径よりも小さくなるようにアレイコリメータのパラメータすなわち、光ファイバ端面とレンズの距離、レンズの焦点距離、レンズの有効直径およびレンズから受光素子までの距離の関係を設定したアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。 An array-type tap photodiode module according to a second invention (hereinafter referred to as invention 2) in which the
本発明の例としての前記発明1を展開した第3の発明(発明3という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールの製造方法は、発明1に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、予め光ファイバアレイとレンズアレイを位置調整してアレイ型ファイバコリメータを製作した後で該n個の出力光ファイバの出力をモニターしながらビームスプリッタの位置を3次元的に調芯した後で固定し、その後にn個のフォトダイオードにn個のビームが結合するようにPDアレイの位置を調芯することを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールの製造方法である。 An array-type tap photodiode module manufacturing method according to a third invention (referred to as invention 3) obtained by developing the
本発明の例としての前記発明1または2を展開した第4の発明(発明4という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、発明1または2に記載のアレイ型タップフォトダイオードアレイにおいて、隣接する1対の光ファイバの配列方向がレンズアレイおよびフォトダイオードアレイの配列方向と同じであることを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードアレイである。 An array-type tap photodiode module according to a fourth invention (referred to as invention 4) obtained by developing the
本発明の例としての前記発明1または2を展開した第5の発明(発明5という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、発明1または2に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、隣接する1対の光ファイバの配列方向がレンズアレイおよびフォトダイオードアレイの配列方向と直交することを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。 An array-type tap photodiode module according to a fifth invention (referred to as invention 5) obtained by developing the
本発明の例としての前記発明1または2を展開した第6の発明(発明6という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、発明1または2に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、隣接する1対の光ファイバペアの周期が概略0.5mm以上であることを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。 An array-type tap photodiode module according to a sixth invention (referred to as invention 6) obtained by developing the
本発明の例としての第7の発明(発明7という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、2本の光ファイバのクラッドの間隔がほぼ零になるように並べられた1対の光ファイバペアが一定の間隔でn対(nは2以上の整数)配列された光ファイバアレイにおいて、光ファイバペアを構成する2本の光ファイバの中心線間の距離と隣り合った2つの光ファイバペアの中心線間の距離が異なることを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。 An array type tap photodiode module according to a seventh invention (referred to as invention 7) as an example of the present invention has a pair of optical fibers arranged so that the distance between the clads of the two optical fibers is substantially zero. In an optical fiber array in which n pairs (n is an integer of 2 or more) are arranged at regular intervals, the distance between the center lines of two optical fibers constituting the optical fiber pair and the center of two adjacent optical fiber pairs This is an array-type tap photodiode module characterized in that the distance between the lines is different.
以上説明したように、本発明のアレイ型タップフォトダイオードモジュールは小型で低コストであるという特徴を有している。特に多チャンネルになるほどチャンネル当たりの実装コストが下がるという特徴がある。またAWGやEDFA内に実装する際にテープファイバが使用できるため実装コストを大幅に下げることができる。その結果、AWGやEDFAを用いるWDM伝送システムに適用されれば、長距離・大容量伝送や次世代のアクセス系の経済化に貢献できる。 As described above, the array-type tap photodiode module of the present invention is characterized by being small in size and low in cost. In particular, as the number of channels increases, the mounting cost per channel decreases. Further, since the tape fiber can be used when mounting in the AWG or EDFA, the mounting cost can be greatly reduced. As a result, if it is applied to a WDM transmission system using AWG or EDFA, it can contribute to long-distance / large-capacity transmission and economics of next-generation access systems.
以下、図を用いて本発明の例としてのアレイ型タップフォトダイオードモジュールの基本構造および製造方法の実施例を説明する。
図1は本発明のの例としてのアレイ型タップフォトダイオードモジュール20の全体構成を示す図である。図1の16芯の光ファイバ1は光ファイバアレイ2に装着されている。光ファイバアレイ2の端面は8度研磨されており、端面には空気に対するARコートが施されている。
光ファイバアレイ2の光ファイバ端面側から見た正面図を後述の図4に示す。光ファイバアレイ2はモジュールのベース8に固定する。レンズアレイ3は光ファイバアレイ2の8芯の入射光ファイバからのビームアレイが所定の方向に向くように相対位置が調芯される。その結果アレイ型のコリメータ9が構成される。
その後、レンズアレイ3もモジュールのベース8に固定される。レンズアレイ3の両面にも空気に対するARコートが施されている。Embodiments of a basic structure and manufacturing method of an array-type tap photodiode module as an example of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of an array-type
A front view of the
Thereafter, the
次に、ビームスプリッタバー4の向きと位置を8芯の出射光ファイバの出力パワーをモニターしながら挿入損失が低くかつばらつきが少なくなるように調芯しモジュールのベース8に固定する。ここで、ビームスプリッタバーは透過率が10%のタイプを用いた。入射光ファイバの出力を基準とした場合の出射光ファイバの挿入損失は1.1dBから1.3dBであった。 Next, the
その後、予めPD搭載基板6にダイボンディング、ワイヤボンディングされたPDアレイ5に該ビームスプリッタを透過した8チャンネルのビームが8チャンネルのPDに結合するようにPDアレイ5の位置を調整しモジュールのベース8に固定する。ここでPD搭載基板6は、リードフレームつきのモールドパッケージであり、8個のPDの電極はリードフレームつきのモールドパッケージで、1.27mmのピッチで並ぶ電気端子7の所定の端子に接続されている。なお本実施例に用いたPDアレイは電極の周りにリング状の溝が設けられPDアレイ内部のInP基板層を漏れこむビームを抑圧したいわゆる電気的クロストーク対策型PDアレイである。 Thereafter, the position of the
図2に本発明の例としてのアレイ型タップフォトダイオードモジュールに使用した光ファイバアレイとレンズの断面図を示す。符号1−1〜1−16は光ファイバアレイ2を構成する光ファイバで、光ファイバ1−1と1−2,1−3と1−4,1−5と1−6,1−7と1−8,1−9と1−10,1−11と1−12,1−13と1−14,1−15と1−16はそれぞれ該2本の光ファイバのクラッドの間隔がほぼ零あるいは零に近い間隔の光ファイバペアを形成しており、各光ファイバペア同志は光ファイバペアを形成している2本の光ファイバの中心線の距離とは異なりこれより広い間隔(ピッチ)で配置されている。 FIG. 2 shows a cross-sectional view of an optical fiber array and a lens used in an array type tap photodiode module as an example of the present invention. Reference numerals 1-1 to 1-16 denote optical fibers constituting the
好適な実施例を説明する。光ファイバアレイ2として127μmピッチで隣接した2芯の光ファイバペアが500μmのピッチで8対アレイ化されたものを用いた。1対の光ファイバペアを構成する光ファイバ1−1と1−2はそれぞれの中心線間距離が127μm、その隣の1対の光ファイバペアを構成する光ファイバ1−3と1−4もそれぞれの中心線間距離が127μmで対を構成しており、その隣の1対の光ファイバペアを構成する光ファイバ1−5と1−6もそれぞれの中心線間距離が127μmで対を構成しているというように、各対の光ファイバペアを構成する1対の光ファイバは127μmピッチで隣接して配置されている。そして、対を構成する光ファイバペア1−1,1−2の中心線と同じ位置になるレンズ3−1の中心線10−1とその隣の光ファイバペア1−3,1−4の中心線と同じ位置になるレンズ3−2の中心線10−2の間の距離は500μmで、光ファイバペア1−3,1−4の中心線と同じ位置になるレンズ3−2の中心線10−2とその隣の光ファイバペア1−5,1−6の中心線と同じ位置になるレンズ3−3の中心線10−3の間の距離も500μmというように、各光ファイバペアの中心線の間隔とレンズ3−1〜3−8の中心線10−1〜10−8の間隔がいずれも500μmになるように各光ファイバペアが配置されている。レンズアレイの各レンズ3−1〜3−8のピッチはそれぞれ500μmになっている。このように、光ファイバアレイとしては不等ピッチ型になっている。 A preferred embodiment will be described. As the
図3に等ピッチ光ファイバアレイ2aとレンズアレイ3aを用いた場合の断面図を示す。光ファイバ1−21と1−22,1−23と1−24,・・・1−35と1−36はそれぞれ光ファイバペアを構成しており、各光ファイバペアは図示のようにレンズ3−11,3−12,・・・3−18と対応して配置されている。
この場合にはレンズのピッチは0.25mmである。本発明の前に本構造を実施したが、0.25mmピッチで並ぶPDに他のチャンネルからの光が漏れこむ光学的クロストークが−25dB程度しかとれないという結果になった。この実験で0.5mm以上離れたPDへの光学的クロストークは認められないことから、本発明の実施の形態例におけるアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいては、レンズアレイ、PDアレイのピッチを0.5mmとした。なおPDの受光直径は暗電流も考慮し80μmとした。
実験の結果クロストーク−40dBという良好な値が得られた。FIG. 3 shows a cross-sectional view when the equal pitch optical fiber array 2a and the lens array 3a are used. Optical fibers 1-21 and 1-22, 1-23 and 1-24,... 1-35 and 1-36 each constitute an optical fiber pair, and each optical fiber pair has a
In this case, the lens pitch is 0.25 mm. Although the present structure was implemented before the present invention, the result was that optical crosstalk in which light from other channels leaked into PDs arranged at a pitch of 0.25 mm could be only about −25 dB. In this experiment, optical crosstalk to PDs separated by 0.5 mm or more is not recognized. Therefore, in the array-type tap photodiode module in the embodiment of the present invention, the pitch of the lens array and PD array is set to 0. 0. It was 5 mm. The light receiving diameter of the PD was set to 80 μm in consideration of dark current.
As a result of the experiment, a good value of crosstalk −40 dB was obtained.
図4に本発明に用いた光ファイバアレイ2の正面図を示す。図2で説明した光ファイバアレイ2は、図4に示すように、光ファイバ1−1〜1−16を各V溝に保持したガラス製V溝ブロック12とそれに対向配置された基板13を有している。光ファイバ1−1〜1−16はそれぞれV溝ブロック12に形成されているV溝12−1〜12−16に1本ずつ収納され、V溝ブロック12とそれに対向配置された基板13とによって挟持され、各光ファイバの位置を確認され、図示していない接着剤によって固定される。 FIG. 4 shows a front view of the
各光ファイバは、その収納されているV溝の2つの辺と光ファイバに当接する基板13とによって、3点支持の状態で保持され、位置決めされて固定される。 Each optical fiber is held, positioned and fixed in a three-point support state by the two sides of the V-groove accommodated therein and the
図4の光ファイバのピッチは、各光ファイバペアを構成する各2本の光ファイバの中心線間の距離と隣り合った光ファイバペア同志の中心線間の距離が異なっている不等ピッチ型ファイバアレイである。 4 is an unequal pitch type in which the distance between the center lines of each of the two optical fibers constituting each optical fiber pair is different from the distance between the center lines of adjacent optical fiber pairs. It is a fiber array.
本発明の実施例に用いたレンズの仕様は以下のごとくである。
材料:シリコン
レンズの外径:0.36mm
有効レンズ径:0.29mm
焦点距離:0.32mm
アレイピッチ:0.5±0.0005mm
基板厚さ:1mm
この結果コリメートされたビームの外径はおよそ60μmとなり現行タップモジュールで使用されているPDへの集光用レンズアレイが不要となった。これにより材料費の削減を計ることができた。The specifications of the lenses used in the examples of the present invention are as follows.
Material: Silicon Lens outer diameter: 0.36mm
Effective lens diameter: 0.29mm
Focal length: 0.32mm
Array pitch: 0.5 ± 0.0005mm
Substrate thickness: 1mm
As a result, the outer diameter of the collimated beam is approximately 60 μm, and a condensing lens array for the PD used in the current tap module becomes unnecessary. As a result, material costs could be reduced.
図5に本発明のアレイ型タップフォトダイオードモジュールに使用した他の例としての光ファイバアレイ2bの正面図を示す。光ファイバアレイ2bでは、光ファイバを1本保持することができるV溝12a−1〜12a−8を有するガラス製のV溝ブロック12aと光ファイバを1本保持することができるV溝12b−1〜12b−8を有するガラス製のV溝ブロック12bとを、V溝12a−1と12b−1,12a−2と12b−2,12a−3と12b−3,・・・12a−8と12b−8がそれぞれ対向して、該対向した2つのV溝に光ファイバペアの2本の光ファイバを対向するV溝の頂点方向に密着して配列させ保持するように対向配置している。図からわかるように、V溝12a−1と12b−1には光ファイバ1−42と1−41が、V溝12a−2と12b−2には光ファイバ1−44と1−43が、V溝12a−3と12b−3には光ファイバ1−46と1−45が、・・・V溝12a−8と12b−8には光ファイバ1−46と1−45がそれぞれ互いに密着して保持されている。 FIG. 5 shows a front view of an
この場合には光ファイバの間隔が必然的に光ファイバの外径になる。図5の光ファイバアレイ2bは図4に示す光ファイバアレイ2に対し入射ビームのビームスプリッタにおける反射方向がPDアレイの方向と直交するので光学的クロストークが低減できるというメリットはあるが上段と下段の各8芯の光ファイバアレイ同志のアラインメント工数が増えるためコストアップとなる難点もある。 In this case, the distance between the optical fibers inevitably becomes the outer diameter of the optical fiber. The
本発明アレイ型タップフォトダイオードモジュールの組み立てにおいて光ファイバアレイ、レンズアレイ、ビームスプリッタはモジュールベース8に調芯後固定されているが固定方法としては接着剤あるいはYAGレーザによる溶着固定の2通りがある。これらは要求される信頼性によってどちらの方法で固定するかが選択できる。なお本発明アレイ型タップフォトダイオードモジュールの実施例ではモジュールのベースにプラスティックのカバーを被せエポキシ樹脂で封止した。 In the assembly of the array type tap photodiode module of the present invention, the optical fiber array, the lens array, and the beam splitter are fixed to the
以上図を用いて本発明の実施の形態例を説明したが、本発明はこれに狭く限定されるものではなく、以上の説明から明かな本発明の技術思想に基づいて多くのバリエーションを可能としているものである。たとえば、光ファイバを保持するV溝の変わりにV溝の一部分をとった凹部や穴などを用いて光ファイバを保持することができる。 Although the embodiment of the present invention has been described with reference to the drawings, the present invention is not limited to this, and many variations can be made based on the technical idea of the present invention apparent from the above description. It is what. For example, the optical fiber can be held using a concave portion or a hole obtained by taking a part of the V groove instead of the V groove holding the optical fiber.
以上説明したように本発明のアレイ型タップフォトダイオードモジュールは小型、低コストで、特に多チャンネルになるほどチャンネル当たりの実装コストが下がるという特徴があり、長距離・大容量伝送や次世代のアクセス系の経済化にも貢献できるなど、光通信に広く用いることができる。 As described above, the array-type tap photodiode module of the present invention is small in size and low in cost. In particular, as the number of channels increases, the mounting cost per channel decreases, and long-distance / large-capacity transmission and next-generation access systems. It can also be used widely in optical communications, such as contributing to the economics of
1,1−1〜1−16,1−21〜1−36,1−41〜1−56,1a,1b:光ファイバ
2:光ファイバアレイ
3:レンズアレイ
3−1〜3−8,3−11〜3−18:レンズ
4:ビームスプリッターバー
5:PDアレイ
6:PD搭載基板
7:電気配線
8:モジュールベース
9:光ファイバアレイコリメータ
10−1〜10−8:レンズの中心線
11−1〜11−16:光ファイバのコア中心
12:ガラス製V溝ブロック
12a−1〜12a−8,12b−1〜12b−8:V溝
13:V溝ブロックのカバー
14:2芯フェルール
15−1,15−2:レンズ
16:ビームスプリッタ
17:フォトダイオード1, 1-1 to 1-16, 1-21 to 1-36, 1-41 to 1-56, 1a, 1b: optical fiber 2: optical fiber array 3: lens array 3-1 to 3-8, 3 -11 to 3-18: Lens 4: Beam splitter bar 5: PD array 6: PD mounting substrate 7: Electrical wiring 8: Module base 9: Optical fiber array collimator 10-1 to 10-8: Lens center line 11- 1-11-16: Core center of optical fiber 12: Glass V groove block 12a-1 to 12a-8, 12b-1 to 12b-8: V groove 13: Cover of V groove block 14: 2-core ferrule 15- 1, 15-2: Lens 16: Beam splitter 17: Photodiode
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