JP2009093131A - Array type tap photodiode module and its manufacturing method - Google Patents

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Hiroshi Kajioka
博 梶岡
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KITA NIPPON ELECTRIC CABLE CO
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GLOBAL FIBER OPTICS KK
KITA NIPPON ELECTRIC CABLE CO
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a low-cost, compact, array type tap photodiode module for WDM transmission. <P>SOLUTION: Regarding the array type tap photodiode module, the fiber array of a plurality of pairs of input/output optical fibers adjacent to each other is formed at pitches capable of disregarding optical crosstalk. A method for centering the optical fiber array, the lens array 3 and a beam splitter bar 4 is optimized, and the parameter of the lens is optimized so that the beam may be smaller than the photodetecting diameter of a PD on the PD element surface. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明はアレイ型タップフォトダイオードモジュール(以下、ATPDMと略す)およびその製造方法に関し、さらに詳述すれば、WDM伝送用の合分波器や可変光減衰器などに使用される小型で低価格の多チャンネルATPDMおよびその製造方法に関する。  The present invention relates to an array-type tap photodiode module (hereinafter abbreviated as ATPDM) and a manufacturing method thereof. The present invention relates to a multi-channel ATPDM and a manufacturing method thereof.

インターネットの急速な普及が2000年以降継続している。年率増加率はほぼ2倍で今後10年間で約1,000倍の伝送容量が必要になるといわれている。このような将来のトラフィックの増大に対応するためWDM伝送システムの波長チャンネルの高密度化が進められている。高密度WDMすなわちDWDMシステムではAWGという光導波路型合分波器が使用される。DWDMでは多チャンネルを一括して増幅するエルビュームドープ光ファイバアンプ(以下、EDFAと略す)が使われている。EDFAを用いた光伝送システムは既存の光ケーブルを使って少ない中継器数で経済的に大容量化できるので、現在幹線系、海底光伝送系で広く普及している。EDFAは一般にゲインの波長特性がある。WDM伝送で各チャンネルの信号電力の不揃いがあればそれがアンプで増幅され不揃いが増幅される。その結果、受信部でS/Nの不揃いになり十分なシステムマージンを確保できなくなる。従ってWDM信号を分波するAWGにおいては分波後の各波長チャンネルの信号レベルをモニターするデバイス、すなわちタップPD(フォトダイオード)モジュールが多数個必要となる。  The rapid spread of the Internet has continued since 2000. The annual rate of increase is almost twice, and it is said that transmission capacity of about 1,000 times is required in the next 10 years. In order to cope with such an increase in traffic in the future, the wavelength channels of WDM transmission systems are being densified. In a high-density WDM or DWDM system, an optical waveguide type multiplexer / demultiplexer called AWG is used. In DWDM, an erbium-doped optical fiber amplifier (hereinafter abbreviated as EDFA) that amplifies multiple channels at once is used. An optical transmission system using an EDFA can be economically increased in capacity with a small number of repeaters using an existing optical cable, and is now widely used in trunk and submarine optical transmission systems. An EDFA generally has a wavelength characteristic of gain. If there is an irregularity in the signal power of each channel in WDM transmission, it is amplified by an amplifier and the irregularity is amplified. As a result, S / N is not uniform in the receiving unit, and a sufficient system margin cannot be secured. Therefore, an AWG that demultiplexes a WDM signal requires a number of devices that monitor the signal level of each wavelength channel after demultiplexing, that is, a number of tap PD (photodiode) modules.

一般に伝送路中の光をモニターするためには所定の比率だけ信号を分岐(タップという)する必要がある。
従来のタップ方法は主として2芯のフェルールとレンズ、スプリッタ、フォトダイオードを用いたタイプが広く実用化されている。これを図6に示す。図6は1対の入出力光ファイバをレンズの中心に対し対称な位置に設置しビームスプリッタでタップ光と透過光に分岐してタップする2芯オフセット方法である。図6の方式は外径が3mmから5mmと比較的小型にできるので現在はこの方式のタップPDモジュールがDWDMシステムのAWGやEDFAの中で波長チャンネル数だけ使用されている。
In general, in order to monitor light in a transmission line, it is necessary to branch (referred to as a tap) a signal by a predetermined ratio.
Conventional tapping methods mainly use a type using a two-core ferrule, a lens, a splitter, and a photodiode. This is shown in FIG. FIG. 6 shows a two-core offset method in which a pair of input / output optical fibers are installed at positions symmetrical with respect to the center of the lens, and are branched into tap light and transmitted light by a beam splitter. Since the method of FIG. 6 can be made relatively small with an outer diameter of 3 mm to 5 mm, this type of tap PD module is currently used by the number of wavelength channels in the AWG and EDFA of the DWDM system.

しかしながら図6で示される従来のタップPDモジュールは、外径が3mmないし5mmであるので、チャンネル数が40チャンネルの場合にはそのまま収納すると幅で120mmないし200mmのスペースが必要となる。その上80本の入出力光ファイバをAWGや可変光減衰器とともに基板上に収納し敷設する作業が必要となりその実装コストが無視できない。またAWGなどの導波路型部品は、コアとクラッドの屈折率差を大きくすることで小サイズ化が可能になっているが、併用するタップPDモジュールが小型にならないと分波モジュールとして小型にならないという問題点があった。  However, since the conventional tap PD module shown in FIG. 6 has an outer diameter of 3 mm to 5 mm, a space of 120 mm to 200 mm in width is required if it is stored as it is when the number of channels is 40. In addition, 80 input / output optical fibers together with AWGs and variable optical attenuators need to be stored and laid on the board, and the mounting cost cannot be ignored. In addition, waveguide type parts such as AWG can be reduced in size by increasing the difference in refractive index between the core and the clad. There was a problem.

以上のような背景からアレイ型のタップフォトダイオードモジュールが永らく望まれてきた。しかし、アレイ型の場合にはモジュール内のチャンネル間の光の干渉によるクロストークや多チャンネルを同時に光結合を取る必要があることなどの問題点があり、これまで実用化されていない。  From the above background, an array-type tap photodiode module has long been desired. However, in the case of the array type, there are problems such as crosstalk due to light interference between channels in the module and the need to simultaneously couple multiple channels, and it has not been put into practical use so far.

本発明の目的は、上記の従来技術の問題点を解決し、小型で低コストのWDM伝送用のアレイ型タップフォトダイオードモジュールおよびその製造方法を提供することにある。  An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and provide a small and low-cost array-type tap photodiode module for WDM transmission and a method for manufacturing the same.

上記の目的を達成するために、本発明に係わるアレイ型タップフォトダイオードモジュールでは、複数の隣接させた入出力光ファイバ対を光学的クロストークが無視できるピッチでファイバアレイ化したこと、光ファイバアレイ、レンズアレイ、ビームスプリッタ、PDアレイを調芯固定する方法を最適化し、レンズアレイでコリメートされたビームがPD素子面上でPD受光径より小さくなるようにレンズのパラメータを最適化している。  In order to achieve the above object, in the array-type tap photodiode module according to the present invention, a plurality of adjacent input / output optical fiber pairs are formed into a fiber array at a pitch at which optical crosstalk can be ignored. The lens array, the beam splitter, and the method of aligning and fixing the PD array are optimized, and the lens parameters are optimized so that the beam collimated by the lens array becomes smaller than the PD light receiving diameter on the PD element surface.

以下、本発明をさらに具体的に説明する。
本発明の例としての第1の発明(以下、発明1という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、2本の光ファイバのクラッドの間隔がほぼ零になるように並べられた1対の光ファイバペアが一定の間隔でn対(nは2以上の整数)配列された光ファイバアレイの1対の光ファイバの出射端面をn個のレンズを有するレンズアレイの一つのレンズの中心軸に対し互いに対称の位置に調整し該1対の第1の光ファイバから出射した光を該レンズでコリメートし所定の反射率を持つビームスプリッタバーで反射光と透過光に分岐し透過光をn個のフォトダイオードアレイの一つに導き反射光を該レンズで第2の光ファイバに集光することを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically.
An array type tap photodiode module according to a first invention as an example of the present invention (hereinafter referred to as invention 1) is a pair of optical fibers arranged so that the distance between the clads of the two optical fibers is almost zero. With respect to the central axis of one lens of a lens array having n lenses, the exit end faces of a pair of optical fibers of an optical fiber array in which pairs are arranged at regular intervals with n pairs (n is an integer of 2 or more) The light emitted from the pair of first optical fibers is adjusted to a symmetrical position, collimated by the lens, branched into reflected light and transmitted light by a beam splitter bar having a predetermined reflectance, and the transmitted light is divided into n photo An array-type tap photodiode module characterized in that the reflected light is guided to one of the diode arrays and condensed by the lens onto a second optical fiber.

本発明の例としての前記発明1を展開した第2の発明(以下、発明2という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、発明1に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、レンズでコリメートされる透過光の受光素子上のビームの直径が受光素子の有効受光直径よりも小さくなるようにアレイコリメータのパラメータすなわち、光ファイバ端面とレンズの距離、レンズの焦点距離、レンズの有効直径およびレンズから受光素子までの距離の関係を設定したアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。  An array-type tap photodiode module according to a second invention (hereinafter referred to as invention 2) in which the invention 1 is developed as an example of the present invention is collimated by a lens in the array-type tap photodiode module according to the invention 1. Array collimator parameters, that is, the distance between the optical fiber end face and the lens, the focal length of the lens, the effective diameter of the lens, and the light received from the lens so that the beam diameter of the transmitted light on the light receiving element is smaller than the effective light receiving diameter of the light receiving element. This is an array type tap photodiode module in which the relationship of the distance to the element is set.

本発明の例としての前記発明1を展開した第3の発明(発明3という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールの製造方法は、発明1に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、予め光ファイバアレイとレンズアレイを位置調整してアレイ型ファイバコリメータを製作した後で該n個の出力光ファイバの出力をモニターしながらビームスプリッタの位置を3次元的に調芯した後で固定し、その後にn個のフォトダイオードにn個のビームが結合するようにPDアレイの位置を調芯することを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールの製造方法である。  An array-type tap photodiode module manufacturing method according to a third invention (referred to as invention 3) obtained by developing the invention 1 as an example of the present invention is an optical fiber array in the array-type tap photodiode module according to the invention 1. After aligning the lens array and fabricating the array type fiber collimator, the position of the beam splitter is aligned three-dimensionally while monitoring the outputs of the n output optical fibers, and then n An array-type tap photodiode module manufacturing method characterized in that the position of a PD array is aligned so that n beams are coupled to each photodiode.

本発明の例としての前記発明1または2を展開した第4の発明(発明4という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、発明1または2に記載のアレイ型タップフォトダイオードアレイにおいて、隣接する1対の光ファイバの配列方向がレンズアレイおよびフォトダイオードアレイの配列方向と同じであることを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードアレイである。  An array-type tap photodiode module according to a fourth invention (referred to as invention 4) obtained by developing the invention 1 or 2 as an example of the present invention is an array-type tap photodiode array according to the invention 1 or 2, in which the adjacent one is 1 The array type tap photodiode array is characterized in that the arrangement direction of the pair of optical fibers is the same as the arrangement direction of the lens array and the photodiode array.

本発明の例としての前記発明1または2を展開した第5の発明(発明5という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、発明1または2に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、隣接する1対の光ファイバの配列方向がレンズアレイおよびフォトダイオードアレイの配列方向と直交することを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。  An array-type tap photodiode module according to a fifth invention (referred to as invention 5) obtained by developing the invention 1 or 2 as an example of the present invention is the array-type tap photodiode module according to the invention 1 or 2, wherein the adjacent one 1 The array type tap photodiode module is characterized in that the arrangement direction of the pair of optical fibers is orthogonal to the arrangement direction of the lens array and the photodiode array.

本発明の例としての前記発明1または2を展開した第6の発明(発明6という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、発明1または2に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、隣接する1対の光ファイバペアの周期が概略0.5mm以上であることを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。  An array-type tap photodiode module according to a sixth invention (referred to as invention 6) obtained by developing the invention 1 or 2 as an example of the present invention is the array-type tap photodiode module according to the invention 1 or 2, wherein the adjacent one 1 The array type tap photodiode module is characterized in that the period of the pair of optical fibers is approximately 0.5 mm or more.

本発明の例としての第7の発明(発明7という)によるアレイ型タップフォトダイオードモジュールは、2本の光ファイバのクラッドの間隔がほぼ零になるように並べられた1対の光ファイバペアが一定の間隔でn対(nは2以上の整数)配列された光ファイバアレイにおいて、光ファイバペアを構成する2本の光ファイバの中心線間の距離と隣り合った2つの光ファイバペアの中心線間の距離が異なることを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールである。  An array type tap photodiode module according to a seventh invention (referred to as invention 7) as an example of the present invention has a pair of optical fibers arranged so that the distance between the clads of the two optical fibers is substantially zero. In an optical fiber array in which n pairs (n is an integer of 2 or more) are arranged at regular intervals, the distance between the center lines of two optical fibers constituting the optical fiber pair and the center of two adjacent optical fiber pairs This is an array-type tap photodiode module characterized in that the distance between the lines is different.

以上説明したように、本発明のアレイ型タップフォトダイオードモジュールは小型で低コストであるという特徴を有している。特に多チャンネルになるほどチャンネル当たりの実装コストが下がるという特徴がある。またAWGやEDFA内に実装する際にテープファイバが使用できるため実装コストを大幅に下げることができる。その結果、AWGやEDFAを用いるWDM伝送システムに適用されれば、長距離・大容量伝送や次世代のアクセス系の経済化に貢献できる。  As described above, the array-type tap photodiode module of the present invention is characterized by being small in size and low in cost. In particular, as the number of channels increases, the mounting cost per channel decreases. Further, since the tape fiber can be used when mounting in the AWG or EDFA, the mounting cost can be greatly reduced. As a result, if it is applied to a WDM transmission system using AWG or EDFA, it can contribute to long-distance / large-capacity transmission and economics of next-generation access systems.

以下、図を用いて本発明の例としてのアレイ型タップフォトダイオードモジュールの基本構造および製造方法の実施例を説明する。
図1は本発明のの例としてのアレイ型タップフォトダイオードモジュール20の全体構成を示す図である。図1の16芯の光ファイバ1は光ファイバアレイ2に装着されている。光ファイバアレイ2の端面は8度研磨されており、端面には空気に対するARコートが施されている。
光ファイバアレイ2の光ファイバ端面側から見た正面図を後述の図4に示す。光ファイバアレイ2はモジュールのベース8に固定する。レンズアレイ3は光ファイバアレイ2の8芯の入射光ファイバからのビームアレイが所定の方向に向くように相対位置が調芯される。その結果アレイ型のコリメータ9が構成される。
その後、レンズアレイ3もモジュールのベース8に固定される。レンズアレイ3の両面にも空気に対するARコートが施されている。
Embodiments of a basic structure and manufacturing method of an array-type tap photodiode module as an example of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of an array-type tap photodiode module 20 as an example of the present invention. A 16-core optical fiber 1 in FIG. 1 is attached to an optical fiber array 2. The end face of the optical fiber array 2 is polished 8 degrees, and the end face is subjected to an AR coating for air.
A front view of the optical fiber array 2 viewed from the end face side of the optical fiber is shown in FIG. The optical fiber array 2 is fixed to the base 8 of the module. The relative position of the lens array 3 is aligned so that the beam array from the eight-core incident optical fibers of the optical fiber array 2 is directed in a predetermined direction. As a result, an array type collimator 9 is formed.
Thereafter, the lens array 3 is also fixed to the base 8 of the module. AR coating for air is also applied to both surfaces of the lens array 3.

次に、ビームスプリッタバー4の向きと位置を8芯の出射光ファイバの出力パワーをモニターしながら挿入損失が低くかつばらつきが少なくなるように調芯しモジュールのベース8に固定する。ここで、ビームスプリッタバーは透過率が10%のタイプを用いた。入射光ファイバの出力を基準とした場合の出射光ファイバの挿入損失は1.1dBから1.3dBであった。  Next, the beam splitter bar 4 is aligned and fixed to the module base 8 so that the insertion loss is low and the variation is small while monitoring the output power of the eight-core outgoing optical fiber. Here, the beam splitter bar is a type having a transmittance of 10%. The insertion loss of the outgoing optical fiber with respect to the output of the incident optical fiber was 1.1 dB to 1.3 dB.

その後、予めPD搭載基板6にダイボンディング、ワイヤボンディングされたPDアレイ5に該ビームスプリッタを透過した8チャンネルのビームが8チャンネルのPDに結合するようにPDアレイ5の位置を調整しモジュールのベース8に固定する。ここでPD搭載基板6は、リードフレームつきのモールドパッケージであり、8個のPDの電極はリードフレームつきのモールドパッケージで、1.27mmのピッチで並ぶ電気端子7の所定の端子に接続されている。なお本実施例に用いたPDアレイは電極の周りにリング状の溝が設けられPDアレイ内部のInP基板層を漏れこむビームを抑圧したいわゆる電気的クロストーク対策型PDアレイである。  Thereafter, the position of the PD array 5 is adjusted so that the 8-channel beam transmitted through the beam splitter is coupled to the 8-channel PD in the PD array 5 which has been die-bonded and wire-bonded to the PD mounting substrate 6 in advance. Fix to 8. Here, the PD mounting substrate 6 is a mold package with a lead frame, and the electrodes of the eight PDs are connected to predetermined terminals of the electrical terminals 7 arranged at a pitch of 1.27 mm. The PD array used in this example is a so-called electric crosstalk countermeasure type PD array in which a ring-shaped groove is provided around an electrode to suppress a beam leaking through an InP substrate layer inside the PD array.

図2に本発明の例としてのアレイ型タップフォトダイオードモジュールに使用した光ファイバアレイとレンズの断面図を示す。符号1−1〜1−16は光ファイバアレイ2を構成する光ファイバで、光ファイバ1−1と1−2,1−3と1−4,1−5と1−6,1−7と1−8,1−9と1−10,1−11と1−12,1−13と1−14,1−15と1−16はそれぞれ該2本の光ファイバのクラッドの間隔がほぼ零あるいは零に近い間隔の光ファイバペアを形成しており、各光ファイバペア同志は光ファイバペアを形成している2本の光ファイバの中心線の距離とは異なりこれより広い間隔(ピッチ)で配置されている。  FIG. 2 shows a cross-sectional view of an optical fiber array and a lens used in an array type tap photodiode module as an example of the present invention. Reference numerals 1-1 to 1-16 denote optical fibers constituting the optical fiber array 2, and optical fibers 1-1, 1-2, 1-3, 1-4, 1-5, 1-6, 1-7, and 1-8, 1-9 and 1-10, 1-11 and 1-12, 1-13 and 1-14, and 1-15 and 1-16, respectively, have almost zero clad spacing between the two optical fibers. Alternatively, optical fiber pairs with a distance close to zero are formed, and each optical fiber pair is different from the distance between the center lines of the two optical fibers forming the optical fiber pair with a wider distance (pitch). Has been placed.

好適な実施例を説明する。光ファイバアレイ2として127μmピッチで隣接した2芯の光ファイバペアが500μmのピッチで8対アレイ化されたものを用いた。1対の光ファイバペアを構成する光ファイバ1−1と1−2はそれぞれの中心線間距離が127μm、その隣の1対の光ファイバペアを構成する光ファイバ1−3と1−4もそれぞれの中心線間距離が127μmで対を構成しており、その隣の1対の光ファイバペアを構成する光ファイバ1−5と1−6もそれぞれの中心線間距離が127μmで対を構成しているというように、各対の光ファイバペアを構成する1対の光ファイバは127μmピッチで隣接して配置されている。そして、対を構成する光ファイバペア1−1,1−2の中心線と同じ位置になるレンズ3−1の中心線10−1とその隣の光ファイバペア1−3,1−4の中心線と同じ位置になるレンズ3−2の中心線10−2の間の距離は500μmで、光ファイバペア1−3,1−4の中心線と同じ位置になるレンズ3−2の中心線10−2とその隣の光ファイバペア1−5,1−6の中心線と同じ位置になるレンズ3−3の中心線10−3の間の距離も500μmというように、各光ファイバペアの中心線の間隔とレンズ3−1〜3−8の中心線10−1〜10−8の間隔がいずれも500μmになるように各光ファイバペアが配置されている。レンズアレイの各レンズ3−1〜3−8のピッチはそれぞれ500μmになっている。このように、光ファイバアレイとしては不等ピッチ型になっている。  A preferred embodiment will be described. As the optical fiber array 2, an optical fiber array 2 in which two pairs of optical fiber pairs adjacent to each other at a pitch of 127 μm were arrayed at a pitch of 500 μm was used. The optical fibers 1-1 and 1-2 constituting one optical fiber pair have a distance between center lines of 127 μm, and the optical fibers 1-3 and 1-4 constituting one adjacent optical fiber pair are also included. Each centerline distance is 127 μm to form a pair, and optical fibers 1-5 and 1-6 constituting the next pair of optical fibers are also paired with each centerline distance being 127 μm. As described above, a pair of optical fibers constituting each pair of optical fiber pairs are arranged adjacent to each other at a pitch of 127 μm. Then, the center line 10-1 of the lens 3-1 and the center of the adjacent optical fiber pairs 1-3, 1-4 are located at the same positions as the center lines of the optical fiber pairs 1-1, 1-2 constituting the pair. The distance between the center line 10-2 of the lens 3-2 that is at the same position as the line is 500 μm, and the center line 10 of the lens 3-2 that is at the same position as the center line of the optical fiber pairs 1-3 and 1-4 -2 and the center line 10-3 of the lens 3-3 at the same position as the center line of the adjacent optical fiber pairs 1-5 and 1-6, the distance between the center of each optical fiber pair is 500 μm. Each optical fiber pair is arranged so that the distance between the lines and the distance between the center lines 10-1 to 10-8 of the lenses 3-1 to 3-8 are 500 μm. The pitch of each lens 3-1 to 3-8 of the lens array is 500 μm. Thus, the optical fiber array is of unequal pitch type.

図3に等ピッチ光ファイバアレイ2aとレンズアレイ3aを用いた場合の断面図を示す。光ファイバ1−21と1−22,1−23と1−24,・・・1−35と1−36はそれぞれ光ファイバペアを構成しており、各光ファイバペアは図示のようにレンズ3−11,3−12,・・・3−18と対応して配置されている。
この場合にはレンズのピッチは0.25mmである。本発明の前に本構造を実施したが、0.25mmピッチで並ぶPDに他のチャンネルからの光が漏れこむ光学的クロストークが−25dB程度しかとれないという結果になった。この実験で0.5mm以上離れたPDへの光学的クロストークは認められないことから、本発明の実施の形態例におけるアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいては、レンズアレイ、PDアレイのピッチを0.5mmとした。なおPDの受光直径は暗電流も考慮し80μmとした。
実験の結果クロストーク−40dBという良好な値が得られた。
FIG. 3 shows a cross-sectional view when the equal pitch optical fiber array 2a and the lens array 3a are used. Optical fibers 1-21 and 1-22, 1-23 and 1-24,... 1-35 and 1-36 each constitute an optical fiber pair, and each optical fiber pair has a lens 3 as shown in the figure. -11, 3-12, ... 3-18.
In this case, the lens pitch is 0.25 mm. Although the present structure was implemented before the present invention, the result was that optical crosstalk in which light from other channels leaked into PDs arranged at a pitch of 0.25 mm could be only about −25 dB. In this experiment, optical crosstalk to PDs separated by 0.5 mm or more is not recognized. Therefore, in the array-type tap photodiode module in the embodiment of the present invention, the pitch of the lens array and PD array is set to 0. 0. It was 5 mm. The light receiving diameter of the PD was set to 80 μm in consideration of dark current.
As a result of the experiment, a good value of crosstalk −40 dB was obtained.

図4に本発明に用いた光ファイバアレイ2の正面図を示す。図2で説明した光ファイバアレイ2は、図4に示すように、光ファイバ1−1〜1−16を各V溝に保持したガラス製V溝ブロック12とそれに対向配置された基板13を有している。光ファイバ1−1〜1−16はそれぞれV溝ブロック12に形成されているV溝12−1〜12−16に1本ずつ収納され、V溝ブロック12とそれに対向配置された基板13とによって挟持され、各光ファイバの位置を確認され、図示していない接着剤によって固定される。  FIG. 4 shows a front view of the optical fiber array 2 used in the present invention. As shown in FIG. 4, the optical fiber array 2 described with reference to FIG. 2 has a glass V-groove block 12 holding optical fibers 1-1 to 1-16 in each V-groove and a substrate 13 disposed so as to oppose it. is doing. Each of the optical fibers 1-1 to 1-16 is housed one by one in each of the V-grooves 12-1 to 12-16 formed in the V-groove block 12, and is formed by the V-groove block 12 and the substrate 13 disposed opposite thereto. It is clamped, the position of each optical fiber is confirmed, and it fixes with the adhesive agent which is not shown in figure.

各光ファイバは、その収納されているV溝の2つの辺と光ファイバに当接する基板13とによって、3点支持の状態で保持され、位置決めされて固定される。  Each optical fiber is held, positioned and fixed in a three-point support state by the two sides of the V-groove accommodated therein and the substrate 13 in contact with the optical fiber.

図4の光ファイバのピッチは、各光ファイバペアを構成する各2本の光ファイバの中心線間の距離と隣り合った光ファイバペア同志の中心線間の距離が異なっている不等ピッチ型ファイバアレイである。  4 is an unequal pitch type in which the distance between the center lines of each of the two optical fibers constituting each optical fiber pair is different from the distance between the center lines of adjacent optical fiber pairs. It is a fiber array.

本発明の実施例に用いたレンズの仕様は以下のごとくである。
材料:シリコン
レンズの外径:0.36mm
有効レンズ径:0.29mm
焦点距離:0.32mm
アレイピッチ:0.5±0.0005mm
基板厚さ:1mm
この結果コリメートされたビームの外径はおよそ60μmとなり現行タップモジュールで使用されているPDへの集光用レンズアレイが不要となった。これにより材料費の削減を計ることができた。
The specifications of the lenses used in the examples of the present invention are as follows.
Material: Silicon Lens outer diameter: 0.36mm
Effective lens diameter: 0.29mm
Focal length: 0.32mm
Array pitch: 0.5 ± 0.0005mm
Substrate thickness: 1mm
As a result, the outer diameter of the collimated beam is approximately 60 μm, and a condensing lens array for the PD used in the current tap module becomes unnecessary. As a result, material costs could be reduced.

図5に本発明のアレイ型タップフォトダイオードモジュールに使用した他の例としての光ファイバアレイ2bの正面図を示す。光ファイバアレイ2bでは、光ファイバを1本保持することができるV溝12a−1〜12a−8を有するガラス製のV溝ブロック12aと光ファイバを1本保持することができるV溝12b−1〜12b−8を有するガラス製のV溝ブロック12bとを、V溝12a−1と12b−1,12a−2と12b−2,12a−3と12b−3,・・・12a−8と12b−8がそれぞれ対向して、該対向した2つのV溝に光ファイバペアの2本の光ファイバを対向するV溝の頂点方向に密着して配列させ保持するように対向配置している。図からわかるように、V溝12a−1と12b−1には光ファイバ1−42と1−41が、V溝12a−2と12b−2には光ファイバ1−44と1−43が、V溝12a−3と12b−3には光ファイバ1−46と1−45が、・・・V溝12a−8と12b−8には光ファイバ1−46と1−45がそれぞれ互いに密着して保持されている。  FIG. 5 shows a front view of an optical fiber array 2b as another example used in the array-type tap photodiode module of the present invention. In the optical fiber array 2b, a glass V-groove block 12a having V-grooves 12a-1 to 12a-8 that can hold one optical fiber and a V-groove 12b-1 that can hold one optical fiber. -12b-8 glass V-groove block 12b, V-grooves 12a-1, 12b-1, 12a-2, 12b-2, 12a-3, 12b-3, ... 12a-8, 12b -8 is opposed to each other, and the two optical fibers of the optical fiber pair are arranged so as to be in close contact with each other in the two V-grooves facing each other in the apex direction of the opposed V-grooves. As can be seen, optical fibers 1-42 and 1-41 are provided in the V grooves 12a-1 and 12b-1, and optical fibers 1-44 and 1-43 are provided in the V grooves 12a-2 and 12b-2. The optical fibers 1-46 and 1-45 are in close contact with the V grooves 12a-3 and 12b-3, and the optical fibers 1-46 and 1-45 are in close contact with the V grooves 12a-8 and 12b-8, respectively. Is held.

この場合には光ファイバの間隔が必然的に光ファイバの外径になる。図5の光ファイバアレイ2bは図4に示す光ファイバアレイ2に対し入射ビームのビームスプリッタにおける反射方向がPDアレイの方向と直交するので光学的クロストークが低減できるというメリットはあるが上段と下段の各8芯の光ファイバアレイ同志のアラインメント工数が増えるためコストアップとなる難点もある。  In this case, the distance between the optical fibers inevitably becomes the outer diameter of the optical fiber. The optical fiber array 2b in FIG. 5 has the merit that the optical crosstalk can be reduced because the reflection direction of the incident beam in the beam splitter is orthogonal to the direction of the PD array, but the upper and lower stages are lower than the optical fiber array 2 shown in FIG. However, since the number of alignment man-hours for each of the eight-core optical fiber arrays increases, there is a problem that the cost increases.

本発明アレイ型タップフォトダイオードモジュールの組み立てにおいて光ファイバアレイ、レンズアレイ、ビームスプリッタはモジュールベース8に調芯後固定されているが固定方法としては接着剤あるいはYAGレーザによる溶着固定の2通りがある。これらは要求される信頼性によってどちらの方法で固定するかが選択できる。なお本発明アレイ型タップフォトダイオードモジュールの実施例ではモジュールのベースにプラスティックのカバーを被せエポキシ樹脂で封止した。  In the assembly of the array type tap photodiode module of the present invention, the optical fiber array, the lens array, and the beam splitter are fixed to the module base 8 after alignment. . Depending on the required reliability, either method can be selected. In the embodiment of the array type tap photodiode module of the present invention, a plastic cover was put on the base of the module and sealed with an epoxy resin.

以上図を用いて本発明の実施の形態例を説明したが、本発明はこれに狭く限定されるものではなく、以上の説明から明かな本発明の技術思想に基づいて多くのバリエーションを可能としているものである。たとえば、光ファイバを保持するV溝の変わりにV溝の一部分をとった凹部や穴などを用いて光ファイバを保持することができる。  Although the embodiment of the present invention has been described with reference to the drawings, the present invention is not limited to this, and many variations can be made based on the technical idea of the present invention apparent from the above description. It is what. For example, the optical fiber can be held using a concave portion or a hole obtained by taking a part of the V groove instead of the V groove holding the optical fiber.

以上説明したように本発明のアレイ型タップフォトダイオードモジュールは小型、低コストで、特に多チャンネルになるほどチャンネル当たりの実装コストが下がるという特徴があり、長距離・大容量伝送や次世代のアクセス系の経済化にも貢献できるなど、光通信に広く用いることができる。  As described above, the array-type tap photodiode module of the present invention is small in size and low in cost. In particular, as the number of channels increases, the mounting cost per channel decreases, and long-distance / large-capacity transmission and next-generation access systems. It can also be used widely in optical communications, such as contributing to the economics of

本発明のアレイ型タップフォトダイオードモジュールの全体構成図である。  1 is an overall configuration diagram of an array-type tap photodiode module of the present invention. 本発明の不等ピッチ光ファイバアレイとレンズの断面図である。  It is sectional drawing of the unequal pitch optical fiber array and lens of this invention. 等ピッチ光ファイバアレイとレンズを説明する断面図である。  It is sectional drawing explaining an equal pitch optical fiber array and a lens. 本発明の不等ピッチ光ファイバアレイの実施例の正面図である。  It is a front view of the Example of the unequal pitch optical fiber array of this invention. 本発明の不等ピッチ光ファイバアレイのもう一つの実施例の正面図である。  It is a front view of another Example of the unequal pitch optical fiber array of this invention. 従来の単チャンネル用タップモジュールの構成図である。  It is a block diagram of the conventional tap module for single channels.

符号の説明Explanation of symbols

1,1−1〜1−16,1−21〜1−36,1−41〜1−56,1a,1b:光ファイバ
2:光ファイバアレイ
3:レンズアレイ
3−1〜3−8,3−11〜3−18:レンズ
4:ビームスプリッターバー
5:PDアレイ
6:PD搭載基板
7:電気配線
8:モジュールベース
9:光ファイバアレイコリメータ
10−1〜10−8:レンズの中心線
11−1〜11−16:光ファイバのコア中心
12:ガラス製V溝ブロック
12a−1〜12a−8,12b−1〜12b−8:V溝
13:V溝ブロックのカバー
14:2芯フェルール
15−1,15−2:レンズ
16:ビームスプリッタ
17:フォトダイオード
1, 1-1 to 1-16, 1-21 to 1-36, 1-41 to 1-56, 1a, 1b: optical fiber 2: optical fiber array 3: lens array 3-1 to 3-8, 3 -11 to 3-18: Lens 4: Beam splitter bar 5: PD array 6: PD mounting substrate 7: Electrical wiring 8: Module base 9: Optical fiber array collimator 10-1 to 10-8: Lens center line 11- 1-11-16: Core center of optical fiber 12: Glass V groove block 12a-1 to 12a-8, 12b-1 to 12b-8: V groove 13: Cover of V groove block 14: 2-core ferrule 15- 1, 15-2: Lens 16: Beam splitter 17: Photodiode

Claims (7)

2本の光ファイバのクラッドの間隔がほぼ零になるように並べられた1対の光ファイバペアが一定の間隔でn対(nは2以上の整数)配列された光ファイバアレイの1対の光ファイバの出射端面をn個のレンズを有するレンズアレイの一つのレンズの中心軸に対し互いに対称の位置に調整し該1対の第1の光ファイバから出射した光を該レンズでコリメートし所定の反射率を持つビームスプリッタで反射光と透過光に分岐し透過光をn個のフォトダイオードアレイの一つに導き反射光を該レンズで第2の光ファイバに集光することを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュール。  A pair of optical fiber arrays in which a pair of optical fiber pairs arranged so that the distance between the clads of the two optical fibers is almost zero is arranged at a constant interval (n is an integer of 2 or more). The exit end face of the optical fiber is adjusted to a position symmetrical to each other with respect to the central axis of one lens of the lens array having n lenses, and the light emitted from the pair of first optical fibers is collimated by the lens and predetermined. The beam splitter having a reflectivity of 1 is divided into reflected light and transmitted light, the transmitted light is guided to one of n photodiode arrays, and the reflected light is condensed on the second optical fiber by the lens. Array type tap photodiode module. 請求項1に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、レンズでコリメートされる透過光の受光素子上のビームの直径が受光素子の有効受光直径よりも小さくなるようにアレイコリメータのパラメータすなわち、光ファイバ端面とレンズの距離、レンズの焦点距離、レンズの有効直径およびレンズから受光素子までの距離の関係を設定したアレイ型タップフォトダイオードモジュール。  2. The array-type tap photodiode module according to claim 1, wherein the parameters of the array collimator, that is, the optical fiber are set so that the diameter of the beam on the light receiving element of the transmitted light collimated by the lens is smaller than the effective light receiving diameter of the light receiving element. An array-type tap photodiode module that sets the relationship between the distance between the end face and the lens, the focal length of the lens, the effective diameter of the lens, and the distance from the lens to the light receiving element. 請求項1に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、予め光ファイバアレイとレンズアレイを位置調整してアレイ型ファイバコリメータを製作した後で該n個の出力光ファイバの出力をモニターしながらビームスプリッタの位置を3次元的に調芯した後で固定し、その後にn個のフォトダイオードにn個のビームが結合するようにPDアレイの位置を調芯することを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュールの製造方法。  2. The array-type tap photodiode module according to claim 1, wherein the position of the optical fiber array and the lens array is adjusted in advance to manufacture an array-type fiber collimator, and then the beam splitter is monitored while monitoring the outputs of the n output optical fibers. The array type tap photodiode is characterized in that the position of the PD array is fixed after being three-dimensionally aligned, and then the position of the PD array is aligned so that n beams are coupled to the n photodiodes. Module manufacturing method. 請求項1または2に記載のアレイ型タップフォトダイオードアレイにおいて、隣接する1対の光ファイバの配列方向がレンズアレイおよびフォトダイオードアレイの配列方向と同じであることを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードアレイ。  3. The array-type tap photodiode array according to claim 1, wherein an arrangement direction of a pair of adjacent optical fibers is the same as an arrangement direction of the lens array and the photodiode array. array. 請求項1または2に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、隣接する1対の光ファイバの配列方向がレンズアレイおよびフォトダイオードアレイの配列方向と直交することを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュール。  3. The array type tap photodiode module according to claim 1, wherein an arrangement direction of a pair of adjacent optical fibers is orthogonal to an arrangement direction of the lens array and the photodiode array. . 請求項1または2に記載のアレイ型タップフォトダイオードモジュールにおいて、隣接する1対の光ファイバペアの周期が概略0.5mm以上であることを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュール。  3. The array-type tap photodiode module according to claim 1, wherein a period of a pair of adjacent optical fibers is approximately 0.5 mm or more. 2本の光ファイバのクラッドの間隔がほぼ零になるように並べられた1対の光ファイバペアが一定の間隔でn対(nは2以上の整数)配列された光ファイバアレイにおいて、光ファイバペアを構成する2本の光ファイバの中心線間の距離と隣り合った2つの光ファイバペアの中心線間の距離が異なることを特徴とするアレイ型タップフォトダイオードモジュール。  In an optical fiber array in which a pair of optical fiber pairs arranged so that the interval between the clads of two optical fibers is almost zero is arranged at a constant interval, n pairs (n is an integer of 2 or more), an optical fiber An array-type tap photodiode module, wherein a distance between center lines of two optical fibers constituting a pair is different from a distance between center lines of two adjacent optical fiber pairs.
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