JP2009085820A

JP2009085820A - ミラーの反射特性評価方法

Info

Publication number: JP2009085820A
Application number: JP2007257441A
Authority: JP
Inventors: Kenji Yonei; 健治米井; Taro Itaya; 太郎板谷; Tsuneyuki Takasuga; 庸行高須賀
Original assignee: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST; Shibaura Institute of Technology
Current assignee: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST; Shibaura Institute of Technology
Priority date: 2007-10-01
Filing date: 2007-10-01
Publication date: 2009-04-23

Abstract

【課題】ミラーの光反射率及び光散乱の光強度分布を高精度で測定する。
【解決手段】２枚のミラーを鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラーの鏡面に所定角度で斜め方向からレーザ光を入射してミラー間で光多重反射させた後、入射光の光強度分布の最大値（Ｉｉ）または積分値（Ｉｉｔ）と、出射光の光強度分布の最大値（Ｉｏ）または積分値（Ｉｏｔ）とを測定して下記（１）または（２）式からミラーの光反射率（ρｓ）を算出し、入射光の光強度分布（Ｆｏ）と出射光の光強度分布（Ｆｉ）とを測定して下記（３）式からミラーの光散乱強度分布（Δｇ）を算出する。
（１）：Ｉｏ／Ｉｉ＝ρｓ^ｍ
（２）：Ｉｍｏｔ／Ｉｏｉｔ＝ρｓ^ｍ
（３）：Ｆｏ／Ｆｉ＝Δｇ^ｍ
【選択図】図１

Description

本発明は、ミラーの光反射率及び光散乱の光強度分布を高精度で測定し、それによりミラーの反射特性を評価する方法に関する。

光学機器や光学素子に使用されるミラーでは、設計仕様に対する精度確認のために鏡面の光反射率や光散乱特性を評価することが行なわれている。これまで、キャビティーリングダウンの原理やファブリーペロー共振器を用いた光反射率の測定法が知られているが、測定しようとするミラーとミラーとの間でレーザ光を繰り返し反射させるため、光軸合せが難しいという問題がある。また、より高精度で測定するにはミラー間隔を広くする必要があるため、浮遊している埃の影響も大きく、更には測定装置が大きくなるという問題もある。

また、上記の方法では光屈折率の測定精度は９６〜９９％程度であり、今日開発されている「スーパーミラー」と称される高精度で、高屈折率のミラーの光反射率の正確な測定も期待できない。

本発明は、上記の状況に鑑みてなされたものであり、ミラーの光反射率及び光散乱強度分布を高精度で測定できる方法を提供することを目的とする。

本発明は、係る課題を解決するために下記のミラーの反射特性評価方法を提供する。
（ｉ）同一条件で製造された２枚のミラーを鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラーの鏡面に所定角度で斜め方向からレーザ光を入射してミラー間で光多重反射させた後、他方のミラーの鏡面で最後の反射をさせるともに、
一方のミラーに入射した入射光の光強度分布の最大値（Ｉｉ）または積分値（Ｉｉｔ）と、多重反射後に他方のミラーから出射した出射光の光強度分布の最大値（Ｉｏ）または積分値（Ｉｏｔ）とを測定して下記（１）または（２）式からミラーの光反射率（ρｓ）を算出し、入射光の光強度分布（Ｆｏ）と出射光の光強度分布（Ｆｉ）とを測定して下記（３）式からミラーの光散乱強度分布（Δｇ）を算出することを特徴とするミラーの反射特性評価方法。
（１）：Ｉｏ／Ｉｉ＝ρｓ^ｍ
（２）：Ｉｏｔ／Ｉｉｔ＝ρｓ^ｍ
（３）：Ｆｏ／Ｆｉ＝Δｇ^ｍ
（式中、ｍは総反射回数である）
（ii）同一条件で製造された２枚のミラーを鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラーの鏡面に所定角度で斜め方向からレーザ光を入射してミラー間で光多重反射させた後、他方のミラーの鏡面で最後の反射をさせるとともに、
一方のミラーに入射した入射光の該ミラーからの透過光の光強度分布の最大値（Ａｉ）と、光多重反射後に他方のミラーから出射した出射光の該ミラーからの透過光の光強度分布の最大値（Ａｏ）とを測定して下記（１）式からミラーの光反射率（ρｓ）を算出し、入射光の透過光の光強度分布（Ｐｉ）と出射光の透過光の光強度分布（Ｐｏ）とを測定して下記（２）式からミラーの光散乱強度分布（Δｇ）を算出することを特徴とするミラーの反射特性評価方法。
（１）：ρｓ・Ａｏ／Ａｉ＝ρｓ^ｍ
（２）：Δｇ・Ｐｏ／Ｐｉ＝Δｇ^ｍ
（式中、ｍは総反射回数である）
（iii）光反射率（ρｓ１）及び光強度分布（Δｇ１）が既知のミラーと、被測定ミラーとを鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラーの鏡面に所定角度で斜め方向からレーザ光を入射してミラー間で光多重反射させた後、他方のミラーの鏡面で最後の反射をさせるとともに、
一方のミラーに入射した入射光の光強度分布の最大値（Ｉｉ）または積分値（Ｉｉｔ）と、光多重反射後に他方のミラーから出射した出射光の光強度分布の最大値（Ｉｏ）または積分値（Ｉｏｔ）とを測定して下記（１）式または（２）式から被測定ミラーの光反射率（ρｓ２）を算出し、入射光の光強度分布（Ｆｏ）と出射光の光強度分布（Ｆｉ）とを測定して下記（３）式から被測定ミラーの光散乱強度分布（Δｇ２）を算出することを特徴とするミラーの反射特性評価方法。
（１）：Ｉｏ／（Ｉｉ・ρｓ１^ｋ）＝ρｓ２^ｋ
（２）：Ｉｏｔ／（Ｉｉｔ・ρｓ１^ｋ）＝ρｓ２^ｋ
（３）：Ｆｏ／（Ｆｉ・Δｇ１^ｋ）＝Δｇ２^ｋ
（式中、ｍは総反射回数であり、ｋ＝ｍ／２である）
（iv）光反射率（ρｓ１）及び光強度分布（Δｇ１）が既知のミラーと、被測定ミラーとを鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラーの鏡面に所定角度で斜め方向からレーザ光を入射してミラー間で光多重反射させた後、他方のミラーの鏡面で最後の反射をさせるとともに、
一方のミラーに入射した入射光の該ミラーからの透過光の光強度分布の最大値（Ａｉ）と、光多重反射後に他方のミラーから出射した出射光の該ミラーからの透過光の光強度分布の最大値（Ａｏ）とを測定して下記（１）式から被測定ミラーの光反射率（ρｓ２）を算出し、入射光の透過光の光強度分布（Ｐｉ）と出射光の透過光の光強度分布（Ｐｏ）とを測定して下記（２）式から被測定ミラーの光散乱強度分布（Δｇ２）を算出することを特徴とするミラーの反射特性評価方法。
（１）：〔ρｓ１／（１−ρｓ１）〕・〔Ａｏ／（Ａｉ・ρｓ１^ｋ）〕＝
〔１／（１−ρｓ２）〕・ρｓ２^ｋ
（２）：〔Δｇ１／（１−Δｇ１）〕・〔Ｐｏ／（Ｐｉ・Δｇ１^ｋ）〕＝
〔１／（１−Δｇ２）〕・Δｇ２^ｋ
（式中、ｍは総反射回数であり、ｋ＝ｍ／２である）

本発明によれば、従来のように光軸合わせを正確に行う必要がなく、簡易な方法及び装置構成でありながら、ミラーの光反射率を正確に測定することができる。また、光散乱の強度分布も測定でき、ミラーの鏡面の微視的状態、例えば結晶の劣化や偏析等を評価することもできる。

以下、本発明に関して図面を参照して詳細に説明する。

（第１実施形態）
図1は、本発明の測定原理を説明する模式図である。図示されるように、２枚のミラーＡとミラーＢとを、鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラー（ここではミラーＢ）の鏡面に、レーザ光を所定角度で斜め方向から入射させる。尚、ミラーの配置に合わせてｘ軸（紙面と垂直）、ｙ軸（紙面の上下方向）及びｚ軸（紙面の左右方向）を図示のように規定すると、ミラーＡ，Ｂの各鏡面はｘｙ軸平面に平行であり、レーザ光はｙｚ軸平面に平行となるように入射する。そして、ミラーＢに入射したレーザ光は、ミラーＡ，Ｂ間で多重反射した後、ミラーＡで最後の反射を行い、出射する。以下、入射するレーザ光を「入射光」、出射するレーザ光を「出射光」と呼ぶ。

ここで、ミラーＡ，Ｂは、共に同一条件で製造されたものを用いる。例えば、同一ロット品、あるいは１枚のミラーから切り出した２枚を用いることにより、両ミラーＡ，Ｂの反射特性は実質的に同一であるとみなすことができる。本発明では、ミラーＡの光反射率とミラーＢの光反射率との平均値が求められるため、ミラーＡ，Ｂの反射特性が大きく異なると、測定誤差が大きくなる。

また、図示の例では、レーザ光を入射させる側のミラーＢを他方のミラーＡよりも突出させているが、レーザ光を入射させることができればミラーＡ，Ｂは同一高さであってもよい。

レーザ光は一般に、光軸と垂直な断面が略円形で、光強度が光軸で最大となり外周に向かうほど弱くなる光強度分布を有する。そこで、例えばｘ軸方向でみると、入射光のｘ軸方向の光強度分布Ｉｉ（ｘ）は、入射光の光強度分布の最大値をＩｉ、ｘ軸方向の規格化した光強度分布をＦｉ（ｘ）とすると、Ｉｉ（ｘ）＝Ｉｉ・Ｆｉ（ｘ）で表すことができる。また、出射光についても、光強度分布の最大値をＩｏ、ｘ軸方向の規格化した光強度分布をＦｏ（ｘ）とすると、Ｉｏ（ｘ）＝Ｉｏ・Ｆｏ（ｘ）で表すことができる。

また、ミラーＡ，Ｂの光反射率を実質的に同一であると見做し、ρｓとすると、入射光の光強度は反射の度にρｓを乗じた値に順次減衰するため、ミラー間での総反射回数をｍ（図の例ではｍ＝４である）とすると、下記（１）式の関係が成り立つ。
（１）：Ｉｏ／Ｉｉ＝ρｓ^ｍ

また、反射の度に、入射光の光強度分布（例えは、ピーク高さや半値幅）も順次変化する。そこで、一回の反射によるｘ軸方向における光強度分布の変化率、即ち光散乱の光強度分布をΔｇ（ｘ）とすると、下記（２）式が成り立つ。光の反射は、ミラーＡ，Ｂの鏡面の状態（例えば、構成元素の配列状態）に影響を受けるため、定期的にΔｇ（ｘ）を測定することにより、ミラーＡ，Ｂの鏡面の経時劣化を知ることができる。
（２）：Ｆｏ（ｘ）／Ｆｉ（ｘ）＝Δｇ（ｘ）^ｍ

尚、総反射回数ｍは光学的に求めることもできるが、図１において、ミラーの面間隔をｄ、レーザ光の入射点（最初の反射位置）ａと出射点（最後の反射位置）ｂとの距離Ｌ、入射光のｘｚ軸平面とのなす角をθとすると、下記（３）式から幾何学的に算出することもできる。
（３）：ｍ＝Ｌ／（ｄ・ｔａｎθ）

また、（１）式及び（２）式においてｍが大きいほど、（Ｉｏ／Ｉｉ）または（Ｆｏ（ｘ）／Ｆｉ（ｘ））が大きくなるため、ρｓ及びΔｇ（ｘ）の測定精度が高まる。一方で、ｍが大きくなるほどｍを光学的に測定するのが困難になるため、（３）式からｍを求めることが好ましい。

図２は、Ｌ＝２ｃｍを共通とし、θ＝５°、ｄ＝４．５７ｍｍ、ｍ＝５０回とした場合Ａと、θ＝１０°、ｄ＝２．８４ｍｍ、ｍ＝４０回とした場合Ｂにおける、ρｓと（Ｉｏ／Ｉｉ）との関係を、上記（１）式〜（３）式を基にシミュレーションした結果を示す図である。また、図３は、Ｌ＝１ｃｍ、θ＝３０°、ｄ＝１．７３ｍｍ、ｍ＝１０回とした場合Ｃにおける、上記（１）式〜（３）式を基にシミュレーションしたρｓと（Ｉｏ／Ｉｉ）との関係を示す図である。従って、例えば図１から、上記場合Ａの条件で測定し、Ｉｏ／Ｉｉとして０．９６が得られたとすると、ミラーＡ，Ｂの光反射率ρｓは０．９９９５０であることがわかる。このように、０．９９９オーダ以上でのミラーの光反射率の測定が可能である。

本発明に従いρｓ及びΔｇ（ｘ）を求めるには、例えば図４に示す測定装置を用いる。図示される測定装置は、２枚のミラーＡ，Ｂを鏡面同士が対向するように平行に配置し、レーザ発振器からレーザ光をミラーＢの鏡面に所定角度で斜めに入射し、ミラーＡ，Ｂの間で多重反射させた後、ミラーＡから出射させる構成となっている。

また、ミラーＢのレーザ発振器とは反対側に、レーザ光の光強度及び光強度分布を測定するためのＣＣＤカメラが配置されている。このＣＣＤカメラは垂直方向（図中上下方向）に移動可能であり、最初に、ミラーＢを配置することなくレーザ発振器からレーザ光を発振しつつ受光強度が最も高くなる位置（図中の入射光用ＣＣＤカメラの位置）を見つけ、その位置にて測定する。測定された光強度分布の最大値が上記のＩｉとなり、光強度分布をｘ軸方向で規格化することにより上記のＦｉ（ｘ）が求められる。

次いで、ミラーＢを設置し、レーザ光を発振させた状態でＣＣＤカメラを下方に垂直移動させ、受光位置を見つける。受光した光が、多重反射後の出射光である。尚、この受光位置（図中の出射光用ＣＣＤの位置）は、必ずしも受光強度が最大である必要はなく、出射光を受光できればよい。従って、ＣＣＤカメラの光軸合わせは、キャビティーリングダウンの原理やファブリーペロー共振器を用いる従来の測定方法に比べて大幅に簡易化される。そして、受光位置にて測定された光強度分布の最大値が上記のＩｏとなり、光強度分布をｘ軸方向で規格することにより上記のＦｏ（ｘ）が求められる。

尚、入射用ＣＣＤカメラの光軸とミラーＢの鏡面との交点が入射点ａとなり、出射用ＣＣＤカメラの光軸とミラーＡの鏡面との交点が出射点ｂとなる。ｄ及びθは任意に設定でき、また既知であるから、上記（３）式からｍを算出できる。

また、ＣＣＤカメラの前には、受光量を調整するための半透明ガラス板を介挿してもよい。更に、ミラーＡのミラーＢとは反対側の適所に、入射光の入射角（ｘｚ軸平面とのなす角θ）を調整するための入射角度調整器が配置されている。

（第２実施形態）
第１の実施形態では、２枚のミラーＡ，Ｂが共にそれぞれのρｓ及びΔｇ（ｘ）が不明であったが、一方のミラーのρｓ及びΔｇ（ｘ）が既知である場合にも、他方のミラーのρｓ及びΔｇ（ｘ）を求めることができる。即ち、ミラーＡの光反射率をρｓ１、光散乱の光強度分布をΔｇ１（ｘ）、ミラーＢの光反射率をρｓ２、光散乱の光強度分布をΔｇ２（ｘ）とし、ミラーＡのρｓ１及びΔｇ１（ｘ）が既知であるとすると、ミラーＢのρｓ２及びΔｇ２（ｘ）を下記（４）式及び（５）式から求めることができる。
（４）：Ｉｏ／（Ｉｉ・ρｓ１^ｋ）＝ρｓ２^ｋ
（５）：Ｆｏ（ｘ）／〔Ｆｉ（ｘ）・Δｇ１（ｘ）^ｋ〕＝Δｇ２（ｘ）^ｋ

ここで、ｋはミラーＢにおける反射回数であり、総反射回数ｍの半分（ｍ／２）であるが、上記（３）式と同様にして幾何学的に下記（６）式から求めることもできる。
（６）：ｋ＝ｍ／２＝Ｌ／（２・ｄ・ｔａｎθ）

（第３実施形態）
第１実施形態において、ミラーの光透過率からもρｓを求めることができる。即ち、入射光のミラーからの透過光の光強度分布の最大値をＡｉ、ｘ軸方向で規格化した光強度分布をＰｉ（ｘ）とすると、入射光の透過光のｘ軸方向における光強度分布Ａｉ（ｘ）はＡｉ・Ｐｉ（ｘ）となり、一方出射光のミラーからの透過光の光強度分布の最大値をＡｏ、ｘ軸方向で規格化した光強度分布をＰｏ（ｘ）とすると、出射光の透過光のｘ軸方向における光強度分布Ａｏ（ｘ）はＡｏ・Ｐｏ（ｘ）となる。従って、上記（１）式〜（３）式に対応して、下記（７）式〜（９）式が導かれる。
（７）：ρｓ・Ａｏ／Ａｉ＝ρｓ^ｍ
（８）：Δｇ（ｘ）・Ｐｏ（ｘ））／Ｐｉ（ｘ）＝Δｇ（ｘ）^ｍ
（９）：ｍ＝Ｌ／（ｄ・ｔａｎθ）

尚、各透過光の光強度分布の最大値及び光強度分布は、ミラーＢの入射点ａの背面及びミラーＡの出射点ｂの背面にてＣＣＤカメラにより測定することにより求められる。

（第４実施形態）
第３実施形態のように、ミラーの光透過率から光反射率を求める方法は、第２実施形態のように一方のミラーのρｓ１及びΔｇ１（ｘ）が既知の場合にも応用できる。即ち、ρｓ１及びΔｇ１（ｘ）が既知であり、入射光のミラーからの透過光の光強度の最大値をＡｉ、ｘ軸方向で規格化した光強度分布をＰｉ（ｘ）、また出射光のミラーからの透過光の光強度分布の最大値をＡｏ、ｘ軸方向で規格化した光強度分布をＰｏ（ｘ）とすると、上記（４）式〜（６）式に対応する（10）式〜（12）式が導かれ、測定されるミラーのρｓ２及びΔｇ２（ｘ）を求めることができる。
（10）：〔ρｓ１／（１−ρｓ１）〕・〔Ａｏ／（Ａｉ・ρｓ１^ｋ）〕＝
〔１／（１−ρｓ２）〕・ρｓ２^ｋ
（11）：［Δｇ１（ｘ）／〔１−Δｇ１（ｘ）〕］・［Ｐｏ（ｘ）／〔Ｐｉ（ｘ）・
Δｇ１（ｘ）^ｋ〕］＝［１／〔１−Δｇ２（ｘ）〕］・Δｇ２（ｘ）^ｋ
（12）：ｋ＝ｍ／２＝Ｌ／（２・ｄ・ｔａｎθ）

（第５実施形態）
上記第１〜４実施形態では、入射光及び出射光の各光強度分布の最大値からミラーのρｓを求めているが、入射光及び出射光の各光強度分布の積分値からもミラーのρｓを求めることができる。そのためには、図４に示す測定装置において、ＣＣＤカメラの出力を積分器計算機にて積分するか、ＣＣＤに変えてフォトダイオードを用いる。

そして、入射光の光強度分布の積分値をＩｉｔ、出射光の光強度分布の積分値をＩｏｔとすると、第１実施形態については、（１）式に相当する（13）式からρｓが求められる。
（13）：Ｉｏｔ／Ｉｉｔ＝ρｓ^ｍ
尚、積分値は、例えばｘ軸方向及びｙ軸方向について求めると、以下の通りである。

同様に、第３実施形態については、（７）式に相当する（15）式からρｓ２が求められる。
（15）：Ｉｏｔ／（Ｉｉｔ・ρｓ１^ｋ）＝ρｓ２^ｋ

尚、上記の各実施形態では、光強度分布をｘ軸方向で規格化したが、ｙ軸方向またはｚ軸方向で規格化してもよい。

本発明の測定原理を説明するための模式図である。光反射率ρｓと、入射光及び出射光の各光強度分布の最大値の比（Ｉｏ／Ｉｉ）との関係を求めた計算例である。光反射率ρsと、入射光及び出射光の各光強度分布の最大値の比(Ｉｏ／Ｉｉ)との関係を求めた他の計算例である。本発明の測定方法を実施するための測定装置を示す模式図である。

Claims

同一条件で製造された２枚のミラーを鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラーの鏡面に所定角度で斜め方向からレーザ光を入射してミラー間で光多重反射させた後、他方のミラーの鏡面で最後の反射をさせるともに、
一方のミラーに入射した入射光の光強度分布の最大値（Ｉｉ）または積分値（Ｉｉｔ）と、多重反射後に他方のミラーから出射した出射光の光強度分布の最大値（Ｉｏ）または積分値（Ｉｏｔ）とを測定して下記（１）または（２）式からミラーの光反射率（ρｓ）を算出し、入射光の光強度分布（Ｆｏ）と出射光の光強度分布（Ｆｉ）とを測定して下記（３）式からミラーの光散乱強度分布（Δｇ）を算出することを特徴とするミラーの反射特性評価方法。
（１）：Ｉｏ／Ｉｉ＝ρｓ^ｍ
（２）：Ｉｏｔ／Ｉｉｔ＝ρｓ^ｍ
（３）：Ｆｏ／Ｆｉ＝Δｇ^ｍ
（式中、ｍは総反射回数である）
同一条件で製造された２枚のミラーを鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラーの鏡面に所定角度で斜め方向からレーザ光を入射してミラー間で光多重反射させた後、他方のミラーの鏡面で最後の反射をさせるとともに、
一方のミラーに入射した入射光の該ミラーからの透過光の光強度分布の最大値（Ａｉ）と、光多重反射後に他方のミラーから出射した出射光の該ミラーからの透過光の光強度分布の最大値（Ａｏ）とを測定して下記（１）式からミラーの光反射率（ρｓ）を算出し、入射光の透過光の光強度分布（Ｐｉ）と出射光の透過光の光強度分布（Ｐｏ）とを測定して下記（２）式からミラーの光散乱強度分布（Δｇ）を算出することを特徴とするミラーの反射特性評価方法。
（１）：ρｓ・Ａｏ／Ａｉ＝ρｓ^ｍ
（２）：Δｇ・Ｐｏ／Ｐｉ＝Δｇ^ｍ
（式中、ｍは総反射回数である）
光反射率（ρｓ１）及び光強度分布（Δｇ１）が既知のミラーと、被測定ミラーとを鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラーの鏡面に所定角度で斜め方向からレーザ光を入射してミラー間で光多重反射させた後、他方のミラーの鏡面で最後の反射をさせるとともに、
一方のミラーに入射した入射光の光強度分布の最大値（Ｉｉ）または積分値（Ｉｉｔ）と、光多重反射後に他方のミラーから出射した出射光の光強度分布の最大値（Ｉｏ）または積分値（Ｉｏｔ）とを測定して下記（１）式または（２）式から被測定ミラーの光反射率（ρｓ２）を算出し、入射光の光強度分布（Ｆｏ）と出射光の光強度分布（Ｆｉ）とを測定して下記（３）式から被測定ミラーの光散乱強度分布（Δｇ２）を算出することを特徴とするミラーの反射特性評価方法。
（１）：Ｉｏ／（Ｉｉ・ρｓ１^ｋ）＝ρｓ２^ｋ
（２）：Ｉｏｔ／（Ｉｉｔ・ρｓ１^ｋ）＝ρｓ２^ｋ
（３）：Ｆｏ／（Ｆｉ・Δｇ１^ｋ）＝Δｇ２^ｋ
（式中、ｍは総反射回数であり、ｋ＝ｍ／２である）
光反射率（ρｓ１）及び光強度分布（Δｇ１）が既知のミラーと、被測定ミラーとを鏡面同士が対向するように平行に配置し、一方のミラーの鏡面に所定角度で斜め方向からレーザ光を入射してミラー間で光多重反射させた後、他方のミラーの鏡面で最後の反射をさせるとともに、
一方のミラーに入射した入射光の該ミラーからの透過光の光強度分布の最大値（Ａｉ）と、光多重反射後に他方のミラーから出射した出射光の該ミラーからの透過光の光強度分布の最大値（Ａｏ）とを測定して下記（１）式から被測定ミラーの光反射率（ρｓ２）を算出し、入射光の透過光の光強度分布（Ｐｉ）と出射光の透過光の光強度分布（Ｐｏ）とを測定して下記（２）式から被測定ミラーの光散乱強度分布（Δｇ２）を算出することを特徴とするミラーの反射特性評価方法。
（１）：〔ρｓ１／（１−ρｓ１）〕・〔Ａｏ／（Ａｉ・ρｓ１^ｋ）〕＝
〔１／（１−ρｓ２）〕・ρｓ２^ｋ
（２）：〔Δｇ１／（１−Δｇ１）〕・〔Ｐｏ／（Ｐｉ・Δｇ１^ｋ）〕＝
〔１／（１−Δｇ２）〕・Δｇ２^ｋ
（式中、ｍは総反射回数であり、ｋ＝ｍ／２である）