JP2009075446A - Resin black matrix, light shielding photosensitive resin composition and liquid crystal display - Google Patents

Resin black matrix, light shielding photosensitive resin composition and liquid crystal display Download PDF

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Yoshihiro Takada
芳宏 高田
Eriko Toshimitsu
恵理子 利光
Masami Kadowaki
雅美 門脇
Takao Hirota
隆男 廣田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin black matrix excellent in light blocking effect and having such a sufficiently high volume resistivity and a sufficiently low relative dielectric constant as not to cause problems such as a short circuit and malfunction even when formed on a TFT element substrate. <P>SOLUTION: The resin black matrix has an optical density of ≥3, a volume resistivity of ≥1×10<SP>13</SP>Ω cm and a relative dielectric constant at 1 kHz of ≤6. The resin black matrix preferably has a crossing angle θ to a substrate of 40-90°. A light shielding photosensitive resin composition for forming the resin black matrix is also provided which contains an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, an ethylenically unsaturated compound and a light shielding pigment, wherein a content of the light shielding pigment is 30-50 wt.% based on a total solid content and a carbon black is contained as the light shielding pigment in an amount of 2-20 wt.% based on the total solid content. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、樹脂ブラックマトリックス及びそれを作製するための遮光性感光性樹脂組成物に関わるものであり、特に薄膜トランジスタ(TFT)からなるスイッチング素子を用いたアクティブマトリックス型液晶表示素子基板に好適な樹脂ブラックマトリックス及びそれを作製するための遮光性感光性樹脂組成物に関する。
本発明はまた、このような樹脂ブラックマトリックスを有する液晶表示装置に関する。
The present invention relates to a resin black matrix and a light-shielding photosensitive resin composition for producing the resin black matrix, and particularly a resin suitable for an active matrix liquid crystal display element substrate using a switching element composed of a thin film transistor (TFT). The present invention relates to a black matrix and a light-shielding photosensitive resin composition for producing the black matrix.
The present invention also relates to a liquid crystal display device having such a resin black matrix.

液晶表示素子用樹脂ブラックマトリックスは、液晶表示素子において駆動電極間からの光のもれを防ぐために用いられる。一般的にはTFT素子基板と対をなすガラス又はプラスティックシートなどの透明基板上にフォトリソグラフィー法を用いて形成されるストライプ状又は格子状の遮光性材料のパターンである。   The resin black matrix for liquid crystal display elements is used to prevent light leakage from the drive electrodes in the liquid crystal display element. Generally, it is a stripe-shaped or lattice-shaped light-shielding material pattern formed on a transparent substrate such as glass or plastic sheet that is paired with the TFT element substrate using a photolithography method.

最近では、カラー液晶表示器のより高精細・高輝度化に対応するために、アクティブマトリックス型液晶ディスプレイにおいて、カラーフィルターをTFT素子基板側に設けたカラーフィルター・オン・アレイ方式(COA方式)やブラックマトリックスだけをTFT素子基板側に設けたブラックマトリックス・オン・アレイ方式(BOA方式)が提案されている。この方式によれば、カラーフィルター側にブラックマトリックスを形成する場合に比べ、アクティブ素子側との位置合わせマージンを取る必要がなくなるため、開口率を高くすることができ、その結果、高輝度化を図ることができる。   Recently, in order to cope with higher definition and higher brightness of color liquid crystal displays, in active matrix liquid crystal displays, a color filter on array method (COA method) in which a color filter is provided on the TFT element substrate side, A black matrix on array method (BOA method) in which only the black matrix is provided on the TFT element substrate side has been proposed. According to this method, compared with the case where a black matrix is formed on the color filter side, it is not necessary to take an alignment margin with the active element side, so that the aperture ratio can be increased. Can be planned.

これに対応すべく、TFT素子の上に直接搭載させても電気回路の短絡を起こさない様に一定以上の体積抵抗率を付与させた樹脂ブラックマトリックスが、特開平10−114873号公報、特開2002−311232号公報、特開2005−215150号公報などに提案されている。しかしながら、体積抵抗率を高めるだけではTFTの作動を安定させるためには不十分であり、比誘電率を一定以下に下げる事が必要となる。   In order to cope with this, a resin black matrix provided with a volume resistivity of a certain level or more so as not to cause a short circuit of an electric circuit even when directly mounted on a TFT element is disclosed in JP-A-10-114873 and JP-A-10-114873. Japanese Patent Laid-Open No. 2002-311232, Japanese Patent Laid-Open No. 2005-215150, and the like. However, simply increasing the volume resistivity is not sufficient to stabilize the operation of the TFT, and it is necessary to lower the relative dielectric constant below a certain level.

樹脂ブラックマトリックスに一定以上の体積抵抗率を付与させるためには、樹脂ブラックマトリックスの遮光用顔料として使用されるカーボンブラックの比率を抑えて、他の顔料を併用する事が知られているが、それだけでは、樹脂ブラックマトリックスの光学濃度が低下し、本来必要な遮光機能を損なうこととなる。また、比誘電率を下げる事も難しい。   In order to give the resin black matrix a certain volume resistivity, it is known that the ratio of carbon black used as a light-shielding pigment of the resin black matrix is suppressed, and other pigments are used in combination. This alone reduces the optical density of the resin black matrix and impairs the originally required light shielding function. It is also difficult to lower the dielectric constant.

樹脂ブラックマトリックスにおいて、一定以上の光学濃度と併せて体積抵抗値を高く且つ、比誘電率を低く維持するための手法としては、従来、次のような方策が知られているが、未だ十分な結果は得られていないのが現状である。   In the resin black matrix, the following measures are conventionally known as methods for maintaining a high volume resistivity value and a low relative dielectric constant in combination with an optical density of a certain level or more. The current situation is that no results have been obtained.

・遮光用顔料濃度を一定以上に保ち、且つ高い体積抵抗値及び低い比誘電率を確保するため、遮光用顔料のうちのカーボンブラック濃度を低く抑える。
・カーボンブラックを多官能性エポキシ樹脂などで被覆したり、表面に特殊な酸化処理を施したりすることにより、カーボンブラックの濃度を高めに設定した上で体積抵抗率を確保し、且つカーボンブラック同士を密に近接させるような分散剤、分散樹脂を使用する。
・カーボンブラックに多孔質なものを用いたり、遮光用顔料以外の成分に比誘電率の低い材料を適用することにより、比誘電率を低く保つ。
-The carbon black concentration in the light-shielding pigment is kept low in order to keep the light-shielding pigment concentration at a certain level or more and to ensure a high volume resistance value and a low relative dielectric constant.
・ By covering the carbon black with a polyfunctional epoxy resin or applying a special oxidation treatment to the surface, the volume resistivity is secured while the carbon black concentration is set high, and the carbon blacks Use a dispersing agent and a dispersing resin that make the two close to each other.
-Keep the relative dielectric constant low by using a porous carbon black or applying a material with a low relative dielectric constant to components other than the light shielding pigment.

樹脂ブラックマトリックスにおいて、カーボンブラック以外の有機顔料のみを遮光用顔料に用いて所望の光学濃度を達成するためには、その含有量を非常に高くする必要があるが、ファインパターンを作製する場合には、それ自体が現像性を有しない遮光材を過剰に混合すると、これらの遮光材が残査等として基板上に残存し、現像性能を低下させる原因となるばかりか、高精細なディスプレーの場合には必要なパターンのエッジ形状のシャープ性を著しく低下させる原因になる。
特開平10−114873号公報 特開2002−311232号公報 特開2005−215150号公報
In the resin black matrix, in order to achieve a desired optical density using only organic pigments other than carbon black as the light-shielding pigment, the content needs to be very high. In the case of a high-definition display, if the light-shielding material that does not have developability itself is excessively mixed, these light-shielding materials remain on the substrate as a residue, etc. Causes the sharpness of the edge shape of the necessary pattern to be significantly reduced.
JP-A-10-114873 JP 2002-311232 A JP-A-2005-215150

本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、遮光性に優れ、しかも、TFT素子基板上に形成されても短絡・誤作動などの問題を起こさないだけの十分に高い体積抵抗率と十分に低い比誘電率を示す樹脂ブラックマトリックスを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described conventional circumstances, has an excellent light shielding property, and has a sufficiently high volume that does not cause problems such as a short circuit and malfunction even when formed on a TFT element substrate. An object is to provide a resin black matrix exhibiting a resistivity and a sufficiently low relative dielectric constant.

本発明者は、上記課題について鋭意検討した結果、以下に示す樹脂ブラックマトリックスを用いることにより、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies on the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by using a resin black matrix shown below, and have completed the present invention.

[1] 光学濃度が3以上であり、体積抵抗率が1×1013Ω・cm以上であり、且つ1KHzでの比誘電率が6以下であることを特徴とする樹脂ブラックマトリックス。 [1] A resin black matrix having an optical density of 3 or more, a volume resistivity of 1 × 10 13 Ω · cm or more, and a relative dielectric constant at 1 KHz of 6 or less.

[2] 基板上に形成された樹脂ブラックマトリックスにおいて、光学濃度が3以上であり、体積抵抗率が1×1013Ω・cm以上で、1KHzでの比誘電率が6以下であり、且つ該基板の板面に垂直な断面における該樹脂ブラックマトリックスの側面と基板の板面との交叉角θが40°〜90°であることを特徴とする樹脂ブラックマトリックス。 [2] In the resin black matrix formed on the substrate, the optical density is 3 or more, the volume resistivity is 1 × 10 13 Ω · cm or more, the relative dielectric constant at 1 KHz is 6 or less, and A resin black matrix characterized in that a crossing angle θ between a side surface of the resin black matrix and a plate surface of the substrate in a cross section perpendicular to the plate surface of the substrate is 40 ° to 90 °.

[3] アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、エチレン性不飽和化合物、及び遮光用顔料を含み、該遮光用顔料の含有量が全固形分に対し30重量%〜50重量%であり且つ、遮光用顔料としてカーボンブラックを全固形分に対して2重量%〜20重量%含むことを特徴とする[1]又は[2]に記載の樹脂ブラックマトリックスを形成するための遮光性感光性樹脂組成物。 [3] An alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, an ethylenically unsaturated compound, and a light-shielding pigment, and the content of the light-shielding pigment is 30% by weight to 50% by weight with respect to the total solid content, and light shielding A light-shielding photosensitive resin composition for forming a resin black matrix according to [1] or [2], wherein carbon black is contained in an amount of 2% to 20% by weight based on the total solid content as a pigment for coatings .

[4] [1]又は[2]に記載の樹脂ブラックマトリックスを有する液晶表示装置。 [4] A liquid crystal display device having the resin black matrix according to [1] or [2].

本発明によれば、十分な遮光性を有し、体積抵抗率が1×1013Ωcm以上且つ1KHzでの比誘電率が6以下という、TFT素子基板上に形成されても短絡・誤作動などの問題を起こさないだけの十分に高い体積抵抗率と十分に低い比誘電率を示す樹脂ブラックマトリックスが提供される。
本発明の樹脂ブラックマトリックスを有する液晶表示装置は、TFT故障や液晶駆動の乱れ等の問題がなく、信頼性に優れる。
According to the present invention, even when formed on a TFT element substrate, it has sufficient light shielding properties, a volume resistivity of 1 × 10 13 Ωcm or more and a relative dielectric constant of 6 or less at 1 KHz, etc., even when formed on a TFT element substrate. Thus, a resin black matrix having a sufficiently high volume resistivity and a sufficiently low relative dielectric constant so as not to cause the above problem is provided.
The liquid crystal display device having the resin black matrix of the present invention is free from problems such as TFT failure and liquid crystal drive disturbance, and is excellent in reliability.

以下に、本発明の実施の形態を詳細に説明するが、以下に記載する構成要件の説明は、本発明の実施態様の一例(代表例)であり、本発明はその要旨を超えない限り、これらの内容には特定されない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. However, the description of the constituent elements described below is an example (representative example) of an embodiment of the present invention, and the present invention does not exceed the gist thereof. These contents are not specified.

なお、本発明において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸とメタクリル酸の双方を含むことを意味し、(メタ)アクリル、(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイル基なども同様の意味であり、「(共)重合体」とは、単一重合体(ホモポリマー)と共重合体(コポリマー)の双方を含むことを意味し、「酸(無水物)」、「(無水)…酸」とは、酸とその無水物の双方を含むことを意味する。また、本発明において「アクリル系樹脂」とは、(メタ)アクリル酸を含む(共)重合体、カルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸エステルを含む(共)重合体を意味する。
また、本発明において「モノマー」とは、いわゆる高分子物質に相対する意味であり、狭義の単量体(モノマー)の外に、二量体、三量体、オリゴマー等も含む意味である。
In the present invention, “(meth) acrylic acid” means that both acrylic acid and methacrylic acid are included, and (meth) acrylic, (meth) acrylate, (meth) acryloyl groups, and the like have the same meaning. The term “(co) polymer” means that both a single polymer (homopolymer) and a copolymer (copolymer) are included, and “acid (anhydride)”, “(anhydrous)… acid "Is meant to include both acids and anhydrides. In the present invention, “acrylic resin” means a (co) polymer containing (meth) acrylic acid and a (co) polymer containing a (meth) acrylic ester having a carboxyl group.
In the present invention, the term “monomer” has a meaning corresponding to a so-called polymer substance, and includes a dimer, a trimer, an oligomer and the like in addition to a monomer (monomer) in a narrow sense.

[樹脂ブラックマトリックス]
本発明の樹脂ブラックマトリックスは、光学濃度が3以上であり、体積抵抗率が1×1013Ω・cm以上であり、且つ1KHzでの比誘電率が6以下であることを特徴とし、好ましくは、これが形成された基板の板面に垂直な断面における該樹脂ブラックマトリックスの側面と基板の板面との交叉角θ(以下「基板交叉角θ」と称す。)が40°〜90°であることを特徴とする。
[Resin black matrix]
The resin black matrix of the present invention is characterized in that the optical density is 3 or more, the volume resistivity is 1 × 10 13 Ω · cm or more, and the relative dielectric constant at 1 KHz is 6 or less, preferably The crossing angle θ (hereinafter referred to as “substrate crossing angle θ”) between the side surface of the resin black matrix and the plate surface of the substrate in a cross section perpendicular to the plate surface of the substrate on which it is formed is 40 ° to 90 °. It is characterized by that.

<光学濃度>
本発明の樹脂ブラックマトリックスの光学濃度は3以上であるが、特に3を超えることが好ましく、より好ましくは3.2以上であり、特に好ましくは3.5以上である。樹脂ブラックマトリックスの光学濃度が3未満では、樹脂ブラックマトリックスを透過した光がコントラストや色度に悪影響を与える。
なお、樹脂ブラックマトリックスの光学濃度は高い程よく、その上限は特に制限はないが、通常6以下である。
樹脂ブラックマトリックスの光学濃度は、後述の実施例の項に示す方法で測定される。
<Optical density>
The optical density of the resin black matrix of the present invention is 3 or more, particularly preferably more than 3, more preferably 3.2 or more, and particularly preferably 3.5 or more. When the optical density of the resin black matrix is less than 3, the light transmitted through the resin black matrix adversely affects contrast and chromaticity.
The higher the optical density of the resin black matrix, the better. The upper limit is not particularly limited, but it is usually 6 or less.
The optical density of the resin black matrix is measured by the method shown in the Examples section described later.

<体積抵抗率>
本発明の樹脂ブラックマトリックスの体積抵抗率は、1×1013Ω・cm以上であり、好ましくは、1×1014Ω・cmである。樹脂ブラックマトリックスの体積抵抗率が1×1013Ω・cm未満では、TFT素子の短絡を起こし易い。
樹脂ブラックマトリックスの体積抵抗率は高い程好ましく、その上限は特に制限はないが、通常1×1016Ω・cm以下である。
樹脂ブラックマトリックスの体積抵抗率は、後述の実施例の項に示す方法で測定される。
<Volume resistivity>
The volume resistivity of the resin black matrix of the present invention is 1 × 10 13 Ω · cm or more, preferably 1 × 10 14 Ω · cm. When the volume resistivity of the resin black matrix is less than 1 × 10 13 Ω · cm, the TFT element is easily short-circuited.
The volume resistivity of the resin black matrix is preferably as high as possible, and the upper limit thereof is not particularly limited, but is usually 1 × 10 16 Ω · cm or less.
The volume resistivity of the resin black matrix is measured by the method shown in the Examples section described later.

<比誘電率>
本発明の樹脂ブラックマトリックスの比誘電率は、1KHzにて6以下であり、好ましくは5以下である。樹脂ブラックマトリックスの比誘電率が6よりも大きいと、TFT素子のスイッチングの正確な伝達が難しくなり、液晶駆動に乱れが生じる恐れがある。
樹脂ブラックマトリックスの比誘電率は小さい程好ましく、その下限は特に制限はないが、通常1KHzにて2.0以上である。
樹脂ブラックマトリックスの比誘電率は、後述の実施例の項に示す方法で測定される。
<Relative permittivity>
The relative dielectric constant of the resin black matrix of the present invention is 6 or less at 1 KHz, preferably 5 or less. If the relative dielectric constant of the resin black matrix is larger than 6, it is difficult to accurately transmit the switching of the TFT element, and the liquid crystal driving may be disturbed.
The relative dielectric constant of the resin black matrix is preferably as small as possible, and the lower limit thereof is not particularly limited, but is usually 2.0 or more at 1 KHz.
The relative dielectric constant of the resin black matrix is measured by the method shown in the Examples section described later.

<基板交叉角θ>
本発明の樹脂ブラックマトリックスの基板交叉角θは、40°〜90°であることが好ましく、さらに好ましくは50°〜90°特に好ましくは60°〜90°である。基板交叉角θがこれより小さくなると、COAやBOAの目的である開口率の拡大に不利であり、これより大きくなると短絡の危険が増大する。
なお、基板交叉角θとは、図1に示す如く、基板1上に形成された樹脂ブラックマトリックス2の、基板1の板面1Aに垂直な断面における、基板1の板面1Aと樹脂ブラックマトリックス2の側面2Aとがなす角度θである。
<Substrate crossing angle θ>
The substrate crossing angle θ of the resin black matrix of the present invention is preferably 40 ° to 90 °, more preferably 50 ° to 90 °, and particularly preferably 60 ° to 90 °. If the substrate crossing angle θ is smaller than this, it is disadvantageous for the enlargement of the aperture ratio, which is the purpose of COA and BOA, and if it is larger than this, the risk of short circuit increases.
As shown in FIG. 1, the substrate crossing angle θ refers to the plate surface 1 </ b> A of the substrate 1 and the resin black matrix in a cross section perpendicular to the plate surface 1 </ b> A of the substrate 1 of the resin black matrix 2 formed on the substrate 1. The angle θ formed by the side surface 2A of the two.

このような本発明の樹脂ブラックマトリックスの形成方法には特に制限はないが、好ましくは、アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、エチレン性不飽和化合物、及び遮光用顔料を含み、該遮光用顔料の含有量が全固形分に対し30重量%〜50重量%であり且つ、遮光用顔料としてカーボンブラックを全固形分に対して2重量%〜20重量%含む本発明の遮光性感光性樹脂組成物により形成される。
なお、ここで、「全固形分」とは、本発明の遮光性感光性樹脂組成物に含まれる溶剤以外のすべての成分の合計を示す。
The method for forming the resin black matrix of the present invention is not particularly limited, but preferably contains an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, an ethylenically unsaturated compound, and a light-shielding pigment. The light-shielding photosensitive resin composition of the present invention having a content of 30% to 50% by weight based on the total solid content and 2% to 20% by weight of carbon black as a light-shielding pigment based on the total solid content It is formed by.
Here, “total solid content” indicates the total of all components other than the solvent contained in the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention.

[遮光性感光性樹脂組成物]
本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、本発明の樹脂ブラックマトリックスを形成するための遮光性感光性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、エチレン性不飽和化合物、及び遮光性顔料を含む。
以下、本発明の感光性樹脂組成物を構成する各成分について説明する。
[Light-shielding photosensitive resin composition]
The light-shielding photosensitive resin composition of the present invention is a light-shielding photosensitive resin composition for forming the resin black matrix of the present invention, comprising an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, an ethylenically unsaturated compound, and Contains light-shielding pigment.
Hereinafter, each component which comprises the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated.

[1]アルカリ可溶性樹脂
本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基又は水酸基を含む樹脂であれば特に限定はなく、例えばエポキシアクリレート系樹脂、ノボラック系樹脂、ポリビニルフェノール系樹脂、アクリル系樹脂、カルボキシル基含有エポキシ樹脂、カルボキシル基含有ウレタン樹脂等が挙げられるが、これらのうち、エポキシアクリレート系樹脂、ノボラック系樹脂、アクリル系樹脂が好ましく、中でも芳香環構造を有する樹脂が好ましい体積抵抗率及び比誘電率を与える点において特に好ましい。
[1] Alkali-soluble resin The alkali-soluble resin used in the present invention is not particularly limited as long as it contains a carboxyl group or a hydroxyl group. For example, an epoxy acrylate resin, a novolac resin, a polyvinylphenol resin, an acrylic resin, Examples include carboxyl group-containing epoxy resins and carboxyl group-containing urethane resins. Among these, epoxy acrylate resins, novolac resins, and acrylic resins are preferable, and resins having an aromatic ring structure are particularly preferable. This is particularly preferable in terms of providing a dielectric constant.

[1−1]エポキシアクリレート系樹脂
上記エポキシアクリレート樹脂は、例えば、エポキシ樹脂に、α,β−不飽和モノカルボン酸又はエステル部分にカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルを付加させ、さらに、多塩基酸無水物を反応させることによりアルカリ可溶性を付与するなどの方法で得られる。かかる反応生成物は化学構造上、実質的にエポキシ基を有さず、かつ「アクリレート」に限定されるものではないが、エポキシ樹脂が原料であり、かつ「アクリレート」が代表例であるので、慣用に従いこのように命名したものである。
[1-1] Epoxy Acrylate Resin For example, the above-mentioned epoxy acrylate resin is obtained by adding an α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an α, β-unsaturated monocarboxylic acid ester having a carboxyl group to the ester moiety to an epoxy resin. Furthermore, it is obtained by a method of imparting alkali solubility by reacting with a polybasic acid anhydride. Such a reaction product has substantially no epoxy group in terms of chemical structure and is not limited to “acrylate”, but epoxy resin is a raw material, and “acrylate” is a representative example. It is named like this according to common usage.

原料となるエポキシ樹脂として、(o,m,p−)クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレンノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンとフェノール又はクレゾールとの重付加反応物と、エピハロヒドリンとの反応生成物であるエポキシ樹脂、下記式(1)で示されるエポキシ樹脂等を好適に用いることができる(特許第2878486号公報参照)。   As the raw material epoxy resin, (o, m, p-) cresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, trisphenol methane type epoxy resin, biphenyl novolac type epoxy Resin, naphthalene novolac type epoxy resin, epoxy resin which is a reaction product of polyaddition reaction product of dicyclopentadiene and phenol or cresol and epihalohydrin, epoxy resin represented by the following formula (1), etc. are preferably used (See Japanese Patent No. 2878486).

Figure 2009075446
Figure 2009075446

また、上記のフェノール系のエポキシ樹脂は、フェノールの水酸基が全てエポキシ基に置換されている必要はなく、一部水酸基が残っていてもよく、ある程度水酸基を残した方が、本発明の様な顔料含有量が多く、遮光性も高い感光性樹脂組成物においては、露光時の表面と底部との重合率の差を軽減しやすく、現像時の底部のえぐれや、逆テーパー形状を回避する上で形状形成に有利であるという効果が得られる場合もある。   Further, the phenolic epoxy resin described above does not require that all of the phenolic hydroxyl groups are substituted with epoxy groups, and some hydroxyl groups may remain, and it is preferable to leave some hydroxyl groups as in the present invention. In photosensitive resin compositions with high pigment content and high light-shielding properties, it is easy to reduce the difference in the polymerization rate between the surface and the bottom during exposure, and avoid the bottoming out and reverse taper shape during development. In some cases, it is possible to obtain an advantageous effect for shape formation.

エポキシ樹脂の分子量は、ゲルパーミエイションクロマトグラフィー(GPC)で測定してポリスチレン換算重量平均分子量(以下「MW」という)として、通常200〜20万、好ましくは300〜100000の範囲である。MWが上記範囲未満であると皮膜形成性に問題を生じる場合が多く、逆に、上記範囲を超えた樹脂ではα,β−不飽和モノカルボン酸の付加反応時にゲル化が起こりやすく製造が困難となるおそれがある。
エポキシ樹脂は1種を単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。
The molecular weight of the epoxy resin is usually in the range of 200 to 200,000, preferably 300 to 100,000 as a weight average molecular weight in terms of polystyrene (hereinafter referred to as “MW”) as measured by gel permeation chromatography (GPC). When the MW is less than the above range, there are many cases where a problem is caused in the film-forming property. Conversely, in the case of a resin exceeding the above range, gelation easily occurs during the addition reaction of α, β-unsaturated monocarboxylic acid, and the production is difficult. There is a risk of becoming.
An epoxy resin may be used individually by 1 type, and may mix and use 2 or more types.

エポキシ樹脂に付加させるα,β−不飽和モノカルボン酸としては、イタコン酸、クロトン酸、桂皮酸、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられ、好ましくは、アクリル酸及びメタクリル酸であり、特にアクリル酸が反応性に富むため好ましい。また、エステル部分にカルボキシル基を有するα,β−不飽和モノカルボン酸エステルとしては、アクリル酸−2−サクシノイルオキシエチル、アクリル酸−2−マレイノイルオキシエチル、アクリル酸−2−フタロイルオキシエチル、アクリル酸−2−ヘキサヒドロフタロイルオキシエチル、メタクリル酸−2−サクシノイルオキシエチル、メタクリル酸−2−マレイノイルオキシエチル、メタクリル酸−2−フタロイルオキシエチル、メタクリル酸−2−ヘキサヒドロフタロイルオキシエチル、クロトン酸−2−サクシノイルオキシエチル等を挙げられ、好ましくは、アクリル酸−2−マレイノイルオキシエチル及びアクリル酸−2−フタロイルオキシエチルであり、特にアクリル酸−2−マレイノイルオキシエチルが好ましい。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。
Examples of the α, β-unsaturated monocarboxylic acid to be added to the epoxy resin include itaconic acid, crotonic acid, cinnamic acid, acrylic acid, methacrylic acid and the like, preferably acrylic acid and methacrylic acid, particularly acrylic acid. Is preferable because of its high reactivity. In addition, α, β-unsaturated monocarboxylic acid esters having a carboxyl group in the ester moiety include acrylic acid-2-succinoyloxyethyl, acrylic acid-2-maleinoyloxyethyl, and acrylic acid-2-phthaloyloxy. Ethyl, acrylic acid-2-hexahydrophthaloyloxyethyl, methacrylic acid-2-succinoyloxyethyl, methacrylic acid-2-malenoyloxyethyl, methacrylic acid-2-phthaloyloxyethyl, methacrylic acid-2-hexa Hydrophthaloyloxyethyl, crotonic acid-2-succinoyloxyethyl, and the like can be mentioned. Preferred are acrylic acid-2-malenoyloxyethyl and 2-phthaloyloxyethyl acrylate, and particularly acrylic acid-2. -Maleoyloxyethyl is preferred.
These may be used alone or in combination of two or more.

α,β−不飽和モノカルボン酸又はそのエステルとエポキシ樹脂との付加反応は、公知の手法を用いることができ、例えば、エステル化触媒存在下、50〜150℃の温度で反応させることができる。
反応に用いるエステル化触媒としては、トリエチルアミン、トリメチルアミン、ベンジルジメチルアミン、ベンジルジエチルアミン等の3級アミン、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩等の1種又は2種以上を用いることができる。
A known method can be used for the addition reaction of α, β-unsaturated monocarboxylic acid or an ester thereof with an epoxy resin, for example, the reaction can be performed at a temperature of 50 to 150 ° C. in the presence of an esterification catalyst. .
Examples of the esterification catalyst used in the reaction include tertiary amines such as triethylamine, trimethylamine, benzyldimethylamine, and benzyldiethylamine, and quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride, and dodecyltrimethylammonium chloride. More than seeds can be used.

α,β−不飽和モノカルボン酸又はそのエステルの使用量は、原料エポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対し0.5〜1.2当量の範囲が好ましく、さらに好ましくは0.7〜1.1当量の範囲である。α,β−不飽和モノカルボン酸又はそのエステルの使用量が少ないと不飽和基の導入量が不足し、引き続く多塩基酸無水物との反応も不十分となる。また、多量のエポキシ基が残存することも有利ではない。一方、該使用量が多いとα,β−不飽和モノカルボン酸又はそのエステルが未反応物として残存する。いずれの場合も硬化特性が悪化する傾向が認められる。   The amount of α, β-unsaturated monocarboxylic acid or ester thereof used is preferably in the range of 0.5 to 1.2 equivalents, more preferably 0.7 to 1.1, relative to 1 equivalent of the epoxy group of the raw material epoxy resin. Equivalent range. If the amount of α, β-unsaturated monocarboxylic acid or ester thereof used is small, the amount of unsaturated groups introduced is insufficient, and the subsequent reaction with the polybasic acid anhydride becomes insufficient. Also, it is not advantageous that a large amount of epoxy groups remain. On the other hand, if the amount used is large, α, β-unsaturated monocarboxylic acid or ester thereof remains as an unreacted product. In either case, there is a tendency for the curing properties to deteriorate.

尚、本発明においては、製造工程としてエポキシ樹脂を経由しなくても、最終的な樹脂の構造が同じであれば、それもエポキシアクリレート樹脂の範疇であると定義する。その例としては、例えばノボラック樹脂と不飽和基含有エポキシ化合物を反応させる方法が挙げられる。   In the present invention, even if the production process does not go through an epoxy resin, if the final resin structure is the same, it is defined as a category of the epoxy acrylate resin. Examples thereof include a method of reacting, for example, a novolac resin and an unsaturated group-containing epoxy compound.

この場合の不飽和基含有エポキシ化合物としては、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート、グリシジルオキシ(ポリ)アルキレングリコール(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、(3,4−エポキシシクロヘキシル)ビニルなどが挙げられる。
これらのうち、特にグリシジルメタクリレート、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレートが好ましい。
In this case, the unsaturated group-containing epoxy compound includes glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, (3,4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate, glycidyloxy (poly) alkylene glycol (meth) acrylate, and methyl glycidyl (meth) acrylate. , (3,4-epoxycyclohexyl) vinyl and the like.
Of these, glycidyl methacrylate and (3,4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate are particularly preferable.

ノボラック樹脂と不飽和基含有エポキシ化合物の反応には公知の方法を用いることができる。例えばトリエチルアミン、ベンジルメチルアミン等の3級アミン、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、ピリジン、トリフェニルホスフィン等を触媒として、有機溶剤中、反応温度50〜150℃で数〜数十時間反応させることにより、ノボラック樹脂に不飽和基含有エポキシ化合物を付加することができる。   A known method can be used for the reaction of the novolak resin and the unsaturated group-containing epoxy compound. For example, tertiary amines such as triethylamine and benzylmethylamine, quaternary ammonium salts such as dodecyltrimethylammonium chloride, tetramethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride, and benzyltriethylammonium chloride, pyridine, triphenylphosphine, etc. in an organic solvent. By reacting at a reaction temperature of 50 to 150 ° C. for several to several tens of hours, an unsaturated group-containing epoxy compound can be added to the novolak resin.

該触媒の使用量は、反応原料混合物(ノボラック樹脂と不飽和基含有エポキシ化合物との合計)に対して好ましくは0.01〜10重量%、特に好ましくは0.3〜5重量%である。また反応中の重合を防止するために、重合防止剤(例えばメトキノン、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ピロガロール、tert−ブチルカテコール、ジブチルヒドロキシトルエン、フェノチアジン等)を使用することが好ましく、その使用量は、反応原料混合物に対して好ましくは0.01〜10重量%、特に好ましくは0.03〜5重量%である。   The amount of the catalyst used is preferably 0.01 to 10% by weight, particularly preferably 0.3 to 5% by weight, based on the reaction raw material mixture (the total of the novolak resin and the unsaturated group-containing epoxy compound). In order to prevent polymerization during the reaction, it is preferable to use a polymerization inhibitor (for example, methoquinone, hydroquinone, methylhydroquinone, p-methoxyphenol, pyrogallol, tert-butylcatechol, dibutylhydroxytoluene, phenothiazine). The amount used is preferably 0.01 to 10% by weight, particularly preferably 0.03 to 5% by weight, based on the reaction raw material mixture.

尚、この付加反応もノボラックの水酸基に全て不飽和基含有エポキシ化合物を付加させる必要はなく、ある程度水酸基を残した方が、本発明の様な顔料含有量が多く、遮光性も高い感光性樹脂組成物においては、露光時の表面と底部との重合率差を軽減しやすく、現像時の底部のえぐれや、逆テーパー形状を回避する上で形状形成に有利である場合もある。   In addition, it is not necessary to add an unsaturated group-containing epoxy compound to the novolak hydroxyl group, and the addition of the hydroxyl group to a certain extent has a higher pigment content and a light-shielding property as in the present invention. In the composition, it is easy to reduce the difference in polymerization rate between the surface and the bottom during exposure, and there are cases where it is advantageous for forming a shape in order to avoid the bottom of the surface during development and the reverse taper shape.

α,β−不飽和カルボン酸又はそのエステルが付加したエポキシ樹脂、或いはノボラック樹脂に不飽和基含有エポキシ化合物を反応させた上記の様な樹脂に、更に付加させる多塩基酸無水物としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、無水メチルヘキサヒドロフタル酸、無水エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられ、好ましくは、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物であり、特に好ましい化合物は、無水テトラヒドロフタル酸及びビフェニルテトラカルボン酸二無水物である。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。
As a polybasic acid anhydride to be further added to an epoxy resin to which an α, β-unsaturated carboxylic acid or an ester thereof is added, or a resin such as the above obtained by reacting an epoxy compound containing an unsaturated group with a novolak resin, anhydrous Maleic acid, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, methyl hexahydrophthalic anhydride , Endmethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, etc., preferably maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, anhydrous Tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic anhydride, none Water pyromellitic acid, trimellitic anhydride and biphenyltetracarboxylic dianhydride are particularly preferred, and tetrahydrophthalic anhydride and biphenyltetracarboxylic dianhydride are particularly preferred.
These may be used alone or in combination of two or more.

多塩基酸無水物の付加反応に関しても公知の手法を用いることができ、α,β−不飽和カルボン酸又はそのエステルの付加反応と同様な条件下で継続反応させることにより得ることができる。
多塩基酸無水物の付加量は、生成するエポキシアクリレート樹脂の酸価が10〜150mg−KOH/gの範囲となる量であることが好ましく、更に20〜140mg−KOH/gとなる量であることが特に好ましい。樹脂酸価が上記範囲以下であるとアルカリ現像性に乏しくなり、また、上記範囲を超えると硬化性能に劣る傾向が認められる。
A known method can also be used for the addition reaction of polybasic acid anhydride, and it can be obtained by continuing the reaction under the same conditions as in the addition reaction of α, β-unsaturated carboxylic acid or ester thereof.
The addition amount of the polybasic acid anhydride is preferably an amount such that the acid value of the resulting epoxy acrylate resin is in the range of 10 to 150 mg-KOH / g, and more preferably 20 to 140 mg-KOH / g. It is particularly preferred. When the resin acid value is less than or equal to the above range, the alkali developability is poor, and when it exceeds the above range, a tendency to be inferior in curing performance is recognized.

[1−2]ノボラック系樹脂
本発明に用いるノボラック系樹脂は、例えば、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2,5−キシレノール、3,5−キシレノール、o−エチルフェノール、m−エチルフェノール、p−エチルフェノール、プロピルフェノール、n−ブチルフェノール、t−ブチルフェノール、1−ナフトール、2−ナフトール、4,4’−ビフェニルジオール、ビスフェノール−A、ピロカテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、ピロガロール、1,2,4−ベンゼントリオール、安息香酸、4−ヒドロキシフェニル酢酸、サリチル酸、フロログルシノール等のフェノール類の少なくとも1種を、酸触媒下、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、パラアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ベンズアルデヒド、サリチルアルデヒド、フルフラール等のアルデヒド類、又は、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、の少なくとも1種と重縮合させた樹脂である。
[1-2] Novolak-based resin The novolak-based resin used in the present invention includes, for example, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,5-xylenol, 3,5-xylenol, o-ethylphenol, m-ethylphenol, p-ethylphenol, propylphenol, n-butylphenol, t-butylphenol, 1-naphthol, 2-naphthol, 4,4′-biphenyldiol, bisphenol-A, pyrocatechol, resorcinol, hydroquinone, pyrogallol, At least one of phenols such as 1,2,4-benzenetriol, benzoic acid, 4-hydroxyphenylacetic acid, salicylic acid, phloroglucinol and the like is reacted with an acid catalyst, for example, formaldehyde, paraformaldehyde, acetaldehyde, paraalkaline. Hydrate, propionaldehyde, benzaldehyde, salicylaldehyde, aldehyde furfural compound, or ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, a resin having engaged at least one and polycondensation of.

フェノール類とアルデヒド類との反応は、無溶媒下又は溶媒中で行われる。また、ノボラック樹脂の重縮合における酸触媒に代えてアルカリ触媒を用いる以外は同様にして重縮合させたレゾール樹脂も使用可能である。さらに、フェノール類は必要に応じて置換されていてもよいし、例えばフェノール類以外の芳香族化合物を混合して重縮合させてもよい。また、出来上がり骨格が同じであれば、製造法は重縮合に限定されるものではない。   The reaction between phenols and aldehydes is carried out without solvent or in a solvent. A resole resin that has been polycondensed in the same manner except that an alkali catalyst is used in place of the acid catalyst in the polycondensation of the novolak resin can also be used. Furthermore, the phenols may be substituted as necessary, and for example, aromatic compounds other than phenols may be mixed and polycondensed. Further, the production method is not limited to polycondensation as long as the finished skeletons are the same.

ノボラック系樹脂にはアルカリ溶解性を高めるために、フェノール性水酸基の一部に、カルボン酸を付加させてもよく、この場合、付加させるカルボン酸の例としては、琥珀酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸、及びそれらの無水物等の1種又は2種以上が挙げられる。   In order to enhance alkali solubility in the novolak resin, a carboxylic acid may be added to a part of the phenolic hydroxyl group. In this case, examples of the added carboxylic acid include oxalic acid, maleic acid, and itaconic acid. Phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4-ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4 -1 type (s) or 2 or more types, such as methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, and those anhydrides, are mentioned.

ノボラック系樹脂にはこの他にも、様々な機能を持たせるために必要に応じてフェノール基の一部を置換させることが可能であり、例えば一例として、グリシジルメタクリレートを付加させて側鎖に二重結合を持たせることなどが挙げられる。   In addition to this, it is possible to substitute a part of the phenol group for the novolac resin to have various functions. For example, glycidyl methacrylate can be added to the side chain as an example. For example, giving a double bond.

ノボラック系樹脂のMWは、通常1,000〜20,000であり、好ましくは1,000〜10,000であり、更に好ましくは、1,000〜8,000である。MWが1,000未満では感度が低下し、10,000を超えると現像性が低下する。   The MW of the novolac resin is usually 1,000 to 20,000, preferably 1,000 to 10,000, and more preferably 1,000 to 8,000. When the MW is less than 1,000, the sensitivity is lowered, and when it exceeds 10,000, the developability is lowered.

ノボラック系樹脂は、ラジカルをトラップするため感度的には不利であるが、本発明の様な顔料含有量が多く、遮光性も高い感光性樹脂組成物において見られがちな、表面のみ集中的に硬化してしまい、底部がえぐれた形状になったり、熱フローし難いため逆テーパーの形状になったりといった状況を回避するのに効果的である。   The novolak resin is disadvantageous in terms of sensitivity because it traps radicals, but only on the surface, which tends to be found in a photosensitive resin composition having a high pigment content and high light shielding properties as in the present invention. It is effective in avoiding a situation where the base portion is hardened and the bottom portion becomes a hollow shape, or the shape of the taper is reverse because the heat does not easily flow.

[1−3]アクリル系樹脂
アクリル系樹脂としては、アルカリ可溶性を確保するために側鎖又は主鎖にカルボキシル基又はフェノール性水酸基を有する単量体を含む必要がある。中でも好ましいのは、高アルカリ性溶液での現像が可能な、カルボキシル基を有するアクリル系樹脂、例えば、アクリル酸(共)重合体、スチレン−無水マレイン酸樹脂、ノボラックエポキシアクリレートの酸無水物変性樹脂などである。中でも特に好ましいのは、(メタ)アクリル酸を含む(共)重合体又はカルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸エステルを含む(共)重合体であり、電気特性的にはスチレンなどの芳香環を有するモノマーを含む(共)重合体がより好ましい。これらのアクリル系樹脂は、現像性、透明性などに優れ、種々の単量体と組合せて性能の異なる共重合体を得ることができ、かつ、製造方法が制御し易い利点がある。
[1-3] Acrylic Resin The acrylic resin needs to contain a monomer having a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group in the side chain or main chain in order to ensure alkali solubility. Among them, an acrylic resin having a carboxyl group that can be developed with a highly alkaline solution, such as an acrylic acid (co) polymer, a styrene-maleic anhydride resin, an acid anhydride-modified resin of novolak epoxy acrylate, etc. It is. Among them, particularly preferred are (co) polymers containing (meth) acrylic acid or (co) polymers containing (meth) acrylic acid ester having a carboxyl group. A (co) polymer containing a monomer having is more preferable. These acrylic resins are excellent in developability, transparency, and the like, and have advantages in that copolymers having different performances can be obtained in combination with various monomers, and the production method can be easily controlled.

本発明に係るアクリル系樹脂は、例えば、次に挙げる単量体を主成分とする(共)重合体である。   The acrylic resin according to the present invention is, for example, a (co) polymer mainly composed of the following monomers.

即ち、この単量体としては、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートに酸(無水物)を付加させた化合物などが挙げられる。
上記のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとしては、(メタ)アクリル酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、コハク酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、アジピン酸(2−アクリロイロキシエチル)エステル、フタル酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、ヘキサヒドロフタル酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、マレイン酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、コハク酸(2−(メタ)アクリロイロキシプロピル)エステル、アジピン酸(2−(メタ)アクリロイロキシプロピル)エステル、ヘキサヒドロフタル酸(2−(メタ)アクリロイロキシプロピル)エステル、フタル酸(2−(メタ)アクリロイロキシプロピル)エステル、マレイン酸(2−(メタ)アクリロイロキシプロピル)エステル、コハク酸(2−(メタ)アクリロイロキシブチル)エステル、アジピン酸(2−(メタ)アクリロイロキシブチル)エステル、ヘキサヒドロフタル酸(2−(メタ)アクリロイロキシブチル)エステル、フタル酸(2−(メタ)アクリロイロキシブチル)エステル、マレイン酸(2−(メタ)アクリロイロキシブチル)エステル等が挙げられ、酸(無水物)としては、(無水)コハク酸、(無水)フタル酸、(無水)マレイン酸などが挙げられる。
これらヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートも、酸(無水物)も、いずれも1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
That is, examples of the monomer include a compound obtained by adding an acid (anhydride) to hydroxyalkyl (meth) acrylate.
Examples of the hydroxyalkyl (meth) acrylate include (meth) acrylic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ester, succinic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ester, and adipic acid (2-acrylic acid). Leuoxyethyl) ester, phthalic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ester, hexahydrophthalic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ester, maleic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ) Ester, succinic acid (2- (meth) acryloyloxypropyl) ester, adipic acid (2- (meth) acryloyloxypropyl) ester, hexahydrophthalic acid (2- (meth) acryloyloxypropyl) ester, Phthalic acid (2- (meth) acryloyloxypropyl) ester, maleic acid ( -(Meth) acryloyloxypropyl) ester, succinic acid (2- (meth) acryloyloxybutyl) ester, adipic acid (2- (meth) acryloyloxybutyl) ester, hexahydrophthalic acid (2- (meta ) Acryloyloxybutyl) ester, phthalic acid (2- (meth) acryloyloxybutyl) ester, maleic acid (2- (meth) acryloyloxybutyl) ester, etc., and the acid (anhydride) (Anhydrous) succinic acid, (anhydrous) phthalic acid, (anhydrous) maleic acid and the like.
Any of these hydroxyalkyl (meth) acrylates and acids (anhydrides) may be used alone or in combination of two or more.

上記の単量体と共重合させることができる単量体としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン等のスチレン系単量体類、桂皮酸、マレイン酸、フマル酸、無水マレイン酸、イタコン酸などの不飽和基含有カルボン酸類、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、メトキシフェニル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸のエステル類、(メタ)アクリル酸にε−カプロラクトン、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン等のラクトン類を付加させた化合物類、アクリロニトリル、メタアクリロニトリル等のアクリロニトリル類、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メタクリロイルモルホリン、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノエチルアクリルアミド等のアクリルアミド類、酢酸ビニル、バーサチック酸ビニル、プロピオン酸ビニル、桂皮酸ビニル、ピバリン酸ビニル等の酸ビニル類などが挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   Monomers that can be copolymerized with the above monomers include styrene monomers such as styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, cinnamic acid, maleic acid, fumaric acid, maleic anhydride, itacone. Unsaturated group-containing carboxylic acids such as acids, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, hydroxyethyl Esters of (meth) acrylic acid such as (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, hydroxyphenyl (meth) acrylate, methoxyphenyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid Caprolactone, β-propiolac , Γ-butyrolactone, δ-valerolactone and other lactones, acrylonitrile, methacrylonitrile and other acrylonitriles, (meth) acrylamide, N-methylolacrylamide, N, N-dimethylacrylamide, N-methacryloyl Acrylamides such as morpholine, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate and N, N-dimethylaminoethylacrylamide, vinyl acids such as vinyl acetate, vinyl versatate, vinyl propionate, vinyl cinnamate and vinyl pivalate Etc. These may be used alone or in combination of two or more.

特に、基板上の塗布膜の強度を向上させるのに好ましいアクリル系樹脂として、次に挙げる単量体(a)の少なくとも1種と次に挙げる単量体(b)の少なくとも1種とを共重合させたアクリル系樹脂が挙げられる。   In particular, as a preferred acrylic resin for improving the strength of the coating film on the substrate, at least one of the following monomers (a) and at least one of the following monomers (b) are used in combination. A polymerized acrylic resin is exemplified.

単量体(a):スチレン、α−メチルスチレン、ベンジル(メタ)アクリレート、ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、メトキシフェニル(メタ)アクリレート、ヒドロキシフェニル(メタ)アクリルアミド、ヒドロキシフェニル(メタ)アクリルスルホアミドなどのフェニル基を有する単量体
単量体(b):(メタ)アクリル酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、コハク酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、アジピン酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、フタル酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、ヘキサヒドロフタル酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル、マレイン酸(2−(メタ)アクリロイロキシエチル)エステル等のカルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸エステル
Monomer (a): styrene, α-methylstyrene, benzyl (meth) acrylate, hydroxyphenyl (meth) acrylate, methoxyphenyl (meth) acrylate, hydroxyphenyl (meth) acrylamide, hydroxyphenyl (meth) acrylsulfamide, etc. Monomer (b): (meth) acrylic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ester, succinic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ester, adipic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ester, phthalic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ester, hexahydrophthalic acid (2- (meth) acryloyloxyethyl) ester, maleic acid (2- Has a carboxyl group such as (meth) acryloyloxyethyl) ester That (meth) acrylic acid ester

アクリル系樹脂の製造に際して、単量体(a)は、通常10〜98モル%、好ましくは20〜80モル%、更に好ましくは30〜70モル%、単量体(b)は、通常2〜90モル%、好ましくは20〜80モル%、更に好ましくは30〜70モル%の割合で使用される。   In the production of the acrylic resin, the monomer (a) is usually from 10 to 98 mol%, preferably from 20 to 80 mol%, more preferably from 30 to 70 mol%, and the monomer (b) is usually from 2 to 2 mol%. It is used in a proportion of 90 mol%, preferably 20 to 80 mol%, more preferably 30 to 70 mol%.

また、アクリル系樹脂としては、側鎖にエチレン性二重結合を有するアクリル系樹脂を含むことが好ましい。かかるアクリル系樹脂の使用により、本発明の感光性樹脂組成物の光硬化性が向上するので、基板との密着性を一層向上させることができる。   The acrylic resin preferably includes an acrylic resin having an ethylenic double bond in the side chain. By using such an acrylic resin, the photocurability of the photosensitive resin composition of the present invention is improved, so that the adhesion to the substrate can be further improved.

アクリル系樹脂の側鎖にエチレン性二重結合を導入する方法としては、例えば、特公昭50−34443号公報、特公昭50−34444号公報などに記載されている方法、即ち、
(1) アクリル系樹脂が有するカルボキシル基に、グリシジル基やエポキシシクロヘキシル基と(メタ)アクリロイル基とを併せ持つ化合物を反応させる方法
(2) アクリル系樹脂が有する水酸基にアクリル酸クロライド等を反応させる方法
などが挙げられる。
As a method for introducing an ethylenic double bond into the side chain of an acrylic resin, for example, the method described in Japanese Patent Publication No. 50-34443, Japanese Patent Publication No. 50-34444, etc.,
(1) A method of reacting a carboxyl group of an acrylic resin with a compound having both a glycidyl group, an epoxycyclohexyl group and a (meth) acryloyl group
(2) A method of reacting acrylic acid chloride or the like with the hydroxyl group of the acrylic resin may be mentioned.

具体的には、カルボキシル基や水酸基を有するアクリル系樹脂に、(メタ)アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、α−エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、(イソ)クロトン酸グリシジルエーテル、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸クロライド、(メタ)アリルクロライド等の化合物の1種又は2種以上を反応させることにより、側鎖にエチレン性二重結合基を有するアクリル系樹脂を得ることができる。中でも、カルボキシル基や水酸基を有するアクリル系樹脂に、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレートのような脂環式エポキシ化合物を反応させたものが好ましい。   Specifically, an acrylic resin having a carboxyl group or a hydroxyl group is added to glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl α-ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, (iso) crotonic acid glycidyl ether, (3, 4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid chloride, (meth) allyl chloride, etc., by reacting one or more compounds, it has an ethylenic double bond group in the side chain. An acrylic resin can be obtained. Especially, what made the alicyclic epoxy compound like (3,4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate react with acrylic resin which has a carboxyl group and a hydroxyl group is preferable.

上述のように、予めカルボキシル基又は水酸基を有するアクリル系樹脂に、エチレン性二重結合を導入する方法としては、カルボキシル基や水酸基を有するアクリル系樹脂のカルボキシル基や水酸基に対して通常2〜50モル%、好ましくは5〜40モル%のエチレン性二重結合を有する化合物を結合させる方法が好ましい。また、カルボキシル基の含有量は、酸価として5〜200mg−KOH/gの範囲が好ましい。酸価が5mg−KOH/g未満の場合はアルカリ性現像液に不溶となり、また、200mg−KOH/gを超える場合は現像感度が低下することがある。   As described above, the method of introducing an ethylenic double bond into an acrylic resin having a carboxyl group or a hydroxyl group in advance is usually 2 to 50 with respect to the carboxyl group or hydroxyl group of the acrylic resin having a carboxyl group or a hydroxyl group. A method of bonding a compound having an ethylenic double bond of 5 mol%, preferably 5 to 40 mol% is preferable. The carboxyl group content is preferably in the range of 5 to 200 mg-KOH / g as the acid value. When the acid value is less than 5 mg-KOH / g, it becomes insoluble in an alkaline developer, and when it exceeds 200 mg-KOH / g, the development sensitivity may be lowered.

なお、本発明に用いるアクリル系樹脂は、フェノール性水酸基を含有する場合、上記のノボラック系樹脂と近い効果が得られる。特に芳香族性水酸基を側鎖に有するビニル単量体、具体的にはo,m,p−ヒドロキシフェニルメタクリルアミド、o,m,p−ヒドロキシスチレン、o,m,p−ヒドロキシフェニルマレイミド等を共重合成分の一部に用いたアクリル系樹脂を用いることは有効である。このような成分を含む樹脂は、感光性樹脂組成物としては感度的には不利であるものの、本発明の様な遮光性の感光性樹脂組成物においては、表面のみ硬化してしまい現像によって基板に近い部分の感光性樹脂組成物がえぐれた形状になりやすいのをふせぐ効果が得られる。   In addition, when the acrylic resin used for this invention contains a phenolic hydroxyl group, the effect close | similar to said novolak resin is acquired. In particular, vinyl monomers having an aromatic hydroxyl group in the side chain, specifically o, m, p-hydroxyphenylmethacrylamide, o, m, p-hydroxystyrene, o, m, p-hydroxyphenylmaleimide, etc. It is effective to use an acrylic resin used as a part of the copolymer component. Although the resin containing such components is disadvantageous in terms of sensitivity as a photosensitive resin composition, in the light-sensitive photosensitive resin composition as in the present invention, only the surface is cured and the substrate is developed by development. An effect of preventing the photosensitive resin composition in a portion close to that from being easily in a hollow shape can be obtained.

上記のアクリル系樹脂のMWは1,000〜100,000の範囲が好ましい。MWが1,000未満の場合は均一な塗布膜を得るのが難しく、また、100,000を超える場合は現像性が低下する傾向がある。   The MW of the acrylic resin is preferably in the range of 1,000 to 100,000. When the MW is less than 1,000, it is difficult to obtain a uniform coating film, and when it exceeds 100,000, the developability tends to decrease.

[1−4]ポリビニルフェノール系樹脂
ポリビニルフェノール系樹脂としては、例えば、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン、ジヒドロキシスチレン、トリヒドロキシスチレン、テトラヒドロキシスチレン、ペンタヒドロキシスチレン、o−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、m−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、2−(o−ヒドロキシフェニル)プロピレン、2−(m−ヒドロキシフェニル)プロピレン、2−(p−ヒドロキシフェニル)プロピレン等のヒドロキシスチレン類(尚、これらは、ベンゼン環に塩素、臭素、沃素、弗素等のハロゲン原子、或いは炭素数1〜4のアルキル基を置換基として有していてもよい。)の1種或いは2種以上、又は、更に、スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン類、(メタ)アクリル酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.0]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、ヒドロキシフェニル(メタ)アクリルアミド等のアクリル酸誘導体類等の共単量体の1種或いは2種以上を、ラジカル重合開始剤又はカチオン重合開始剤の存在下で重合させたヒドロキシスチレン類の単独重合体或いは共重合体等が挙げられる。
[1-4] Polyvinylphenol resin Examples of the polyvinylphenol resin include o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, p-hydroxystyrene, dihydroxystyrene, trihydroxystyrene, tetrahydroxystyrene, pentahydroxystyrene, o- Hydroxy-α-methylstyrene, m-hydroxy-α-methylstyrene, p-hydroxy-α-methylstyrene, 2- (o-hydroxyphenyl) propylene, 2- (m-hydroxyphenyl) propylene, 2- (p- (Hydroxyphenyl) Hydroxystyrenes such as propylene (note that these may have a halogen atom such as chlorine, bromine, iodine or fluorine, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms as a substituent on the benzene ring. 1) or 2 or more And styrenes such as styrene and α-methylstyrene, (meth) acrylic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2. 1.0] Start radical polymerization of one or more comonomers such as acrylic acid derivatives such as decan-8-yl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, and hydroxyphenyl (meth) acrylamide. And homopolymers or copolymers of hydroxystyrenes polymerized in the presence of an agent or a cationic polymerization initiator.

ポリビニルフェノール系樹脂にはアルカリ溶解性を高めるために、フェノール性水酸基の一部に、カルボン酸を付加させてもよく、この場合、付加させるカルボン酸の例としては、琥珀酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸、及びそれらの無水物等が挙げられる。   In order to increase the alkali solubility in the polyvinyl phenol resin, carboxylic acid may be added to a part of the phenolic hydroxyl group. In this case, examples of the carboxylic acid to be added include oxalic acid, maleic acid, itacone. Acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4-ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, Examples include 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, and anhydrides thereof.

ポリビニルフェノール系樹脂のMWは、通常2,000〜50,000であり、好ましくは2,000〜20,000である。MWが2,000未満では感度が低下し、20,000超過だと現像性が低下する。   The MW of the polyvinylphenol resin is usually 2,000 to 50,000, preferably 2,000 to 20,000. When the MW is less than 2,000, the sensitivity is lowered, and when it exceeds 20,000, the developability is lowered.

上述のアルカリ可溶性樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   The above-mentioned alkali-soluble resins may be used alone or in combination of two or more.

本発明においては、前述の如く、アルカリ可溶性樹脂として、芳香環構造を有する樹脂、中でも、特にフェノール性水酸基を持つ樹脂を用いることが、露光時の表面と底部との重合率差を軽減することができ、良好な形状の樹脂ブラックマトリックスを形成させる上で好ましい。   In the present invention, as described above, as the alkali-soluble resin, use of a resin having an aromatic ring structure, in particular, a resin having a phenolic hydroxyl group reduces the difference in polymerization rate between the surface and the bottom during exposure. It is preferable for forming a resin black matrix having a good shape.

本発明の遮光性感光性樹脂組成物中の全固形分に対するアルカリ可溶性樹脂の割合は、通常10〜70重量%、好ましくは15〜50重量%である。この範囲よりもアルカリ可溶性樹脂の割合が多過ぎると充分な感度が確保されず、また必要な遮光性も確保できず、一方少な過ぎると樹脂ブラックマトリックスの好ましい形状が形成されない。   The ratio of the alkali-soluble resin to the total solid content in the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention is usually 10 to 70% by weight, preferably 15 to 50% by weight. If the proportion of the alkali-soluble resin is too much above this range, sufficient sensitivity cannot be ensured, and the necessary light-shielding property cannot be ensured. On the other hand, if it is too small, the preferred shape of the resin black matrix cannot be formed.

[2]光重合開始剤
本発明に係る光重合開始剤とは、紫外線や熱によりエチレン性不飽和基を重合させるラジカルを発生させることのできる化合物である。
[2] Photopolymerization initiator The photopolymerization initiator according to the present invention is a compound capable of generating radicals that polymerize ethylenically unsaturated groups by ultraviolet rays or heat.

本発明で用いることができる光重合開始剤の具体的な例を以下に列挙する。   Specific examples of the photopolymerization initiator that can be used in the present invention are listed below.

2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどのハロメチル化トリアジン誘導体;   2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4 Halomethylated triazine derivatives such as -ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine;

ハロメチル化オキサジアゾール誘導体;   Halomethylated oxadiazole derivatives;

2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ビス(3’−メトキシフェニル)イミダゾール2量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体などのイミダゾール誘導体;   2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-bis (3′-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) ) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, etc. An imidazole derivative of

ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどのベンゾイン、ベンゾインアルキルエーテル類;   Benzoin, benzoin alkyl ethers such as benzoin methyl ether, benzoin phenyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin isopropyl ether;

2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどのアントラキノン誘導体;   Anthraquinone derivatives such as 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone;

ベンズアンスロン誘導体;   Benzanthrone derivatives;

ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン誘導体;   Benzophenone derivatives such as benzophenone, Michler's ketone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, 2-carboxybenzophenone;

2,2,−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチル−(4’−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノ−1−プロパノン、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトンなどのアセトフェノン誘導体;   2,2, -dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, 1-hydroxy-1-methylethyl- (p- Isopropylphenyl) ketone, 1-hydroxy-1- (p-dodecylphenyl) ketone, 2-methyl- (4 ′-(methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 1,1,1-trichloromethyl- Acetophenone derivatives such as (p-butylphenyl) ketone;

チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどのチオキサントン誘導体;   Thioxanthone derivatives such as thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone;

p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチルなどの安息香酸エステル誘導体;   benzoic acid ester derivatives such as ethyl p-dimethylaminobenzoate and ethyl p-diethylaminobenzoate;

9−フェニルアクリジン、9−(p−メトキシフェニル)アクリジンなどのアクリジン誘導体;   Acridine derivatives such as 9-phenylacridine, 9- (p-methoxyphenyl) acridine;

9,10−ジメチルベンズフェナジンなどのフェナジン誘導体;   Phenazine derivatives such as 9,10-dimethylbenzphenazine;

ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ジ−クロライド、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−2,6−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−2,4−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−2,6−ジ−フルオロ−3−(ピル−1−イル)−フェニ−1−イルなどのチタノセン誘導体;   Di-cyclopentadienyl-Ti-di-chloride, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-phenyl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6-pentafluoropheny -1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-tri Fluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-2,6-di-fluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-2,4-di-fluorophen-1-yl Di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6-pentafluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-di-fluoro Feni-1-i , Di - cyclopentadienyl -Ti-2,6-di - fluoro-3- (pill-1-yl) - titanocene derivatives such as 1-yl;

2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、4−ジメチルアミノエチルベンゾエ−ト、4−ジメチルアミノイソアミルベンゾエ−ト、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、2−エチルヘキシル−1,4−ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等のα−アミノアルキルフェノン系化合物;   2-Methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2-benzyl 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 4-dimethylaminoethylbenzoate, 4-dimethylaminoisoamylbenzoate, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylamino Propiophenone, 2-ethylhexyl-1,4-dimethylaminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 7-diethylamino-3- (4-diethylaminobenzoyl) coumarin, 4- (diethylamino) chalcone Α-aminoalkylphenone compounds such as

光重合開始剤としては、特に、感度の点でオキシム誘導体類(オキシム系化合物)が有効であり、遮光性を高くしたり、フェノール性水酸基を含むアルカリ可溶性樹脂を用いる場合などは、感度の点で不利になるため、特にこのような感度に優れたオキシム誘導体類(オキシム系化合物)が有用である。   As the photopolymerization initiator, oxime derivatives (oxime compounds) are particularly effective in terms of sensitivity, and in the case of increasing the light shielding property or using an alkali-soluble resin containing a phenolic hydroxyl group, In particular, such oxime derivatives (oxime compounds) having excellent sensitivity are useful.

オキシム系化合物としては、下記一般式(2)で示される構造部分を含む化合物が挙げられ、好ましくは、下記一般式(3)で示されるオキシムエステル系化合物が挙げられる。   Examples of the oxime compound include a compound containing a structural moiety represented by the following general formula (2), and preferably include an oxime ester compound represented by the following general formula (3).

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(式(2)中、Rは、それぞれ置換されていてもよい、炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、炭素数2〜10のアミノカルボニル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基又は炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基を示す。) (In Formula (2), R 2 is a C1-C20 heteroaryl group, a C2-C12 alkanoyl group, a C1-C20 heteroarylalkanoyl group, carbon which may be respectively substituted. C3-C25 alkenoyl group, C3-C8 cycloalkanoyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkanoyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkanoyl group, C3-C20 heteroaryloxyoxy A carbonylalkanoyl group, an aminocarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, a benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, a heteroaryloyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, or a 7 to 20 carbon atom Represents a phenoxycarbonyl group.)

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(式(3)中、R1aは、それぞれ置換されていてもよい、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、炭素数1〜20のアミノアルキル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基、炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基を示す。
1bは芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。
なお、R1aはR1bと共に環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、ポリエチレン基(−(CH=CH)−)、ポリエチニレン基(−(C≡C)−)あるいはこれらを組み合わせてなる基が挙げられる(なお、rは0〜3の整数である。)。
2aは、それぞれ置換されていてもよい、炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、炭素数2〜10のアミノカルボニル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基又は炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基を示す。)
(In formula (3), R 1a is an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, a heteroarylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, Phenoxycarbonylalkyl group having 8 to 20 carbon atoms, heteroaryloxycarbonylalkyl group or heteroarylthioalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, amino group having 0 to 20 carbon atoms, aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, carbon C2-C12 alkanoyl group, C3-C25 alkenoyl group, C3-C8 cycloalkanoyl group, C7-C20 benzoyl group, C1-C20 heteroaryloyl group, C2 -10 alkoxycarbonyl groups and C7-20 phenoxycarbonyl groups.
R 1b represents an arbitrary substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring.
R 1a may form a ring together with R 1b , and the linking group thereof may have an optionally substituted alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, a polyethylene group (— (CH═CH) r. -), A polyethynylene group (-(C≡C) r- ) or a group formed by a combination thereof (where r is an integer of 0 to 3).
R 2a is an optionally substituted heteroaryl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, a heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, and an alkenoyl group having 3 to 25 carbon atoms. C3-C8 cycloalkanoyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkanoyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkanoyl group, C3-C20 heteroaryloxyoxycarbonylalkanoyl group, C2-C2 A C10-20 aminocarbonyl group, a C7-20 benzoyl group, a C1-20 heteroaryloyl group, a C2-10 alkoxycarbonyl group, or a C7-20 phenoxycarbonyl group. )

上記一般式(2)におけるR及び上記一般式(3)におけるR1a,R2aとしては、好ましくは、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基が挙げられる。 R 2 in the general formula (2) and R 1a and R 2a in the general formula (3) are preferably an alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, a heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, and a carbon number. 3-8 cycloalkanoyl groups are mentioned.

また、上記一般式(3)におけるR1bとしては、好ましくは置換されていてもよいカルバゾイル基、置換されていてもよいチオキサントニル基、置換されていてもよいフェニルスルフィド基が挙げられる。 In addition, R 1b in the general formula (3) is preferably a carbazoyl group which may be substituted, a thioxanthonyl group which may be substituted, or a phenyl sulfide group which may be substituted.

本発明に好適なオキシムエステル系化合物として具体的には、以下に例示されるような化合物が挙げられるが、何らこれらの化合物に限定されるものではない。   Specific examples of the oxime ester-based compound suitable for the present invention include the compounds exemplified below, but the oxime ester-based compound is not limited to these compounds.

Figure 2009075446
Figure 2009075446

Figure 2009075446
Figure 2009075446

これらのオキシムエステル系化合物は、それ自体公知の化合物であり、例えば、特開2000−80068号公報や、特開2006−36750号公報に記載されている一連の化合物の一種である。   These oxime ester compounds are known per se, and are, for example, one of a series of compounds described in JP-A No. 2000-80068 and JP-A No. 2006-36750.

上記光重合開始剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   The said photoinitiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

本発明の遮光性感光性樹脂組成物中の光重合開始剤の割合は、全固形分に対して通常0.4〜15重量%、好ましくは0.5〜10重量%である。この範囲よりも光重合開始剤の割合が多すぎると現像速度が遅くなり過ぎ、一方少なすぎると十分な感度が得られず、好ましい樹脂ブラックマトリックス形状も形成されない。   The ratio of the photopolymerization initiator in the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.4 to 15% by weight, preferably 0.5 to 10% by weight, based on the total solid content. If the ratio of the photopolymerization initiator is too much within this range, the developing speed will be too slow, while if it is too low, sufficient sensitivity will not be obtained, and a preferable resin black matrix shape will not be formed.

[3]エチレン性不飽和化合物
上記の光重合開始剤は、エチレン性不飽和化合物と共に用いられる。
ここで使用されるエチレン性不飽和化合物としては、エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物を意味するが、重合性、架橋性、及びそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物であることが好ましく、また、その不飽和結合は(メタ)アクリロイルオキシ基に由来する(メタ)アクリレート化合物が更に好ましい。
更に、エチレン性不飽和結合を分子内に3個以上有する化合物を用いると体積抵抗率や比誘電率などの電気特性的にとって好ましい。
[3] Ethylenically unsaturated compound The photopolymerization initiator is used together with an ethylenically unsaturated compound.
As used herein, an ethylenically unsaturated compound means a compound having at least one ethylenically unsaturated bond in the molecule, but it is polymerizable, crosslinkable, and a developer for exposed and non-exposed areas associated therewith. From the viewpoint that the difference in solubility can be expanded, the compound is preferably a compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, and the unsaturated bond is derived from a (meth) acryloyloxy group (meta ) Acrylate compounds are more preferred.
Furthermore, the use of a compound having three or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule is preferable for electrical characteristics such as volume resistivity and relative dielectric constant.

エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等の不飽和カルボン酸、及びそのアルキルエステル、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、スチレン等が挙げられる。   Examples of the compound having one or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule include unsaturated carboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, itaconic acid, citraconic acid, and alkyl esters thereof. , (Meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, styrene and the like.

エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物としては、代表的には、不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類、(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類、ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリイソシアネート化合物とのウレタン(メタ)アクリレート類、及び、(メタ)アクリル酸又はヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリエポキシ化合物とのエポキシ(メタ)アクリレート類等が挙げられる。   Typically, compounds having two or more ethylenically unsaturated bonds include esters of unsaturated carboxylic acids and polyhydroxy compounds, (meth) acryloyloxy group-containing phosphates, and hydroxy (meth) acrylates. Examples include urethane (meth) acrylates of a compound and a polyisocyanate compound, and epoxy (meth) acrylates of a (meth) acrylic acid or hydroxy (meth) acrylate compound and a polyepoxy compound.

不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類としては、具体的には以下の化合物が挙げられる。
不飽和カルボン酸と糖アルコールとの反応物;糖アルコールは具体的には、エチレングリコール、ポリエチレングリコール(付加数2〜14)、プロピレングリコール、ポリプロピレングリコール(付加数2〜14)、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、トリメチロールプロパン、グリセロール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等が挙げられる。
不飽和カルボン酸と糖アルコールのアルキレンオキサイド付加物との反応物;糖アルコールは上記と同じ。アルキレンオキサイド付加物とは具体的にはエチレンオキサイド付加物、又はプロピレンオキサイド付加物等が挙げられる。
不飽和カルボン酸とアルコールアミンとの反応物;アルコールアミン類とは具体的にはジエタノールアミン、トリエタノールアミン等が挙げられる。
Specific examples of esters of an unsaturated carboxylic acid and a polyhydroxy compound include the following compounds.
Reaction product of unsaturated carboxylic acid and sugar alcohol; specifically, sugar alcohol includes ethylene glycol, polyethylene glycol (addition number 2-14), propylene glycol, polypropylene glycol (addition number 2-14), trimethylene glycol, Examples include tetramethylene glycol, hexamethylene glycol, trimethylolpropane, glycerol, pentaerythritol, dipentaerythritol and the like.
Reaction product of unsaturated carboxylic acid and alkylene oxide adduct of sugar alcohol; sugar alcohol is the same as above. Specific examples of the alkylene oxide adduct include an ethylene oxide adduct and a propylene oxide adduct.
Reaction product of unsaturated carboxylic acid and alcohol amine; specific examples of alcohol amines include diethanolamine and triethanolamine.

具体的な不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類は以下の通りである。
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド付加トリ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、グリセロールプロピレンオキサイド付加トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等、及び同様のクロトネート、イソクロトネート、マレエート、イタコネート、シトラコネート等
Specific esters of unsaturated carboxylic acid and polyhydroxy compound are as follows.
Ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethylene oxide addition tri (meta) ) Acrylate, glycerol di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, glycerol propylene oxide addition tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate , Dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate , And similar crotonate, isobutyl crotonate, maleate, itaconate, citraconate, etc.

その他、不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類としては、不飽和カルボン酸と、ヒドロキノン、レゾルシン、ピロガロール、ビスフェノールF、ビスフェノールA等の芳香族ポリヒドロキシ化合物、或いはそれらのエチレンオキサイド付加物との反応物が挙げられる。具体的には、例えば、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAビス〔オキシエチレン(メタ)アクリレート〕、ビスフェノールAビス〔グリシジルエーテル(メタ)アクリレート〕等、また、前記の如き不飽和カルボン酸と、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の複素環式ポリヒドロキシ化合物との反応物、例えば、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのジ(メタ)アクリレート、トリ(メタ)アクリレート等、また、不飽和カルボン酸と多価カルボン酸とポリヒドロキシ化合物との反応物、例えば、(メタ)アクリル酸とフタル酸とエチレングリコールとの縮合物、(メタ)アクリル酸とマレイン酸とジエチレングリコールとの縮合物、(メタ)アクリル酸とテレフタル酸とペンタエリスリトールとの縮合物、(メタ)アクリル酸とアジピン酸とブタンジオールとグリセリンとの縮合物等が挙げられる。   In addition, as esters of unsaturated carboxylic acid and polyhydroxy compound, unsaturated carboxylic acid and aromatic polyhydroxy compound such as hydroquinone, resorcin, pyrogallol, bisphenol F, bisphenol A, or their ethylene oxide adducts These reactants can be mentioned. Specifically, for example, bisphenol A di (meth) acrylate, bisphenol A bis [oxyethylene (meth) acrylate], bisphenol A bis [glycidyl ether (meth) acrylate], etc., and the unsaturated carboxylic acid as described above A reaction product with a heterocyclic polyhydroxy compound such as tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, for example, di (meth) acrylate, tri (meth) acrylate, etc. of tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, Reaction product of unsaturated carboxylic acid, polyvalent carboxylic acid and polyhydroxy compound, for example, condensate of (meth) acrylic acid, phthalic acid and ethylene glycol, condensate of (meth) acrylic acid, maleic acid and diethylene glycol , (Meth) acrylic acid, terephthalic acid and pentae Condensates of Suritoru include condensates of (meth) acrylic acid and adipic acid and butane diol and glycerol.

(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類としては、下記一般式(4),(5),(6)で表されるものが好ましい。   As the (meth) acryloyloxy group-containing phosphates, those represented by the following general formulas (4), (5) and (6) are preferable.

Figure 2009075446
(式(4),(5)及び(6)中、R10は水素原子又はメチル基を示し、p及びp’は1〜25の整数、qは1、2、又は3である。)
Figure 2009075446
(In the formulas (4), (5) and (6), R 10 represents a hydrogen atom or a methyl group, p and p ′ are integers of 1 to 25, and q is 1, 2 or 3.)

ここで、p及びp’は1〜10、特に1〜4であるのが好ましく、これらの具体例としては、例えば、(メタ)アクリロイルオキシエチルホスフェート、ビス〔(メタ)アクリロイルオキシエチル〕ホスフェート、(メタ)アクリロイルオキシエチレングリコールホスフェート等が挙げられ、これらはそれぞれが単独で用いられても混合物として用いられてもよい。   Here, it is preferable that p and p ′ are 1 to 10, particularly 1 to 4, and specific examples thereof include (meth) acryloyloxyethyl phosphate, bis [(meth) acryloyloxyethyl] phosphate, (Meth) acryloyloxyethylene glycol phosphate and the like may be mentioned, and these may be used alone or as a mixture.

ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリイソシアネート化合物とのウレタン(メタ)アクリレート類としては、例えば、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、テトラメチロールエタントリ(メタ)アクリレート等のヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物と、ヘキサメチレンジイソシアネート、1,8−ジイソシアネート−4−イソシアネートメチルオクタン等の脂肪族ポリイソシアネート、シクロヘキサンジイソシアネート、ジメチルシクロヘキサンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、イソホロンジイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネート、4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート、トリス(イソシアネートフェニル)チオホスフェート等の芳香族ポリイソシアネート、イソシアヌレート等の複素環式ポリイソシアネート、等のポリイソシアネート化合物との反応物等が挙げられる。
このようなものとしては例えば、新中村化学社製商品名「U−4HA」「UA−306A」「UA−MC340H」「UA−MC340H」「U6LPA」等が挙げられる。
Examples of urethane (meth) acrylates of a hydroxy (meth) acrylate compound and a polyisocyanate compound include hydroxy (meth) acrylates such as hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, and tetramethylolethane tri (meth) acrylate. ) Acrylate compound, aliphatic polyisocyanate such as hexamethylene diisocyanate, 1,8-diisocyanate-4-isocyanate methyloctane, cyclohexane diisocyanate, dimethylcyclohexane diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), isophorone diisocyanate, bicycloheptanetri Cycloaliphatic polyisocyanates such as isocyanate, 4,4-diphenylmethane diisocyanate, tris Aromatic polyisocyanates such as isocyanate phenyl) thiophosphate, heterocyclic polyisocyanates such as isocyanurate, a reaction product of a polyisocyanate compounds and the like.
Examples of such products include trade names “U-4HA”, “UA-306A”, “UA-MC340H”, “UA-MC340H”, “U6LPA” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., and the like.

これらの中でも、1分子中に4個以上のウレタン結合〔−NH−CO−O−〕及び4個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する化合物が好ましく、該化合物は、例えば、ペンタエリスリトール、ポリグリセリン等の1分子中に4個以上の水酸基を有する化合物に、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物を反応させて得られた化合物、或いは、エチレングリコール等の1分子中に2個以上の水酸基を有する化合物に、旭化成工業社製「デュラネート24A−100」、同「デュラネート22A−75PX」、同「デュラネート21S−75E」、同「デュラネート18H−70B」等ビウレットタイプ、同「デュラネートP−301−75E」、同「デュラネートE−402−90T」、同「デュラネートE−405−80T」等のアダクトタイプ等の1分子中に3個以上のイソシアネート基を有する化合物を反応させて得られた化合物、或いは、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート等を重合若しくは共重合させて得られた化合物等の、1分子中に4個以上、好ましくは6個以上のイソシアネート基を有する化合物等、例えば、旭化成工業社製「デュラネートME20−100」と、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等の、1分子中に1個以上の水酸基及び2個以上、好ましくは3個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する化合物とを、反応させることにより得ることができる。   Among these, a compound having 4 or more urethane bonds [—NH—CO—O—] and 4 or more (meth) acryloyloxy groups in one molecule is preferable, and examples of the compound include pentaerythritol, poly A compound obtained by reacting a diisocyanate compound such as hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, tolylene diisocyanate with a compound having 4 or more hydroxyl groups in one molecule such as glycerin, or ethylene glycol As a compound having two or more hydroxyl groups in one molecule, “Duranate 24A-100”, “Duranate 22A-75PX”, “Duranate 21S-75E”, “Duranate 18H-70B”, etc. manufactured by Asahi Kasei Corporation Biuret type, same A compound having three or more isocyanate groups in one molecule such as adduct type such as “Duranate P-301-75E”, “Duranate E-402-90T” and “Duranate E-405-80T” is reacted. The compound obtained, or a compound obtained by polymerizing or copolymerizing isocyanate ethyl (meth) acrylate or the like, a compound having 4 or more, preferably 6 or more isocyanate groups in one molecule, such as Asahi Kasei Kogyo “Duranate ME20-100”, pentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, etc. 1 or more hydroxyl groups and 2 in one molecule Above, can preferably be obtained by a compound having three or more (meth) acryloyloxy group, it is reacted.

(メタ)アクリル酸又はヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリエポキシ化合物とのエポキシ(メタ)アクリレート類としては、例えば、(メタ)アクリル酸、又は前記の如きヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物と、(ポリ)エチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)プロピレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)テトラメチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ペンタメチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ネオペンチルグリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ヘキサメチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、(ポリ)グリセロールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ソルビトールポリグリシジルエーテル等の脂肪族ポリエポキシ化合物、フェノールノボラックポリエポキシ化合物、ブロム化フェノールノボラックポリエポキシ化合物、(o−,m−,p−)クレゾールノボラックポリエポキシ化合物、ビスフェノールAポリエポキシ化合物、ビスフェノールFポリエポキシ化合物等の芳香族ポリエポキシ化合物、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の複素環式ポリエポキシ化合物、等のポリエポキシ化合物との反応物等が挙げられる。   Examples of epoxy (meth) acrylates of (meth) acrylic acid or a hydroxy (meth) acrylate compound and a polyepoxy compound include (meth) acrylic acid, or a hydroxy (meth) acrylate compound as described above, and (poly) Ethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) propylene glycol polyglycidyl ether, (poly) tetramethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) pentamethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) neopentyl glycol polyglycidyl ether, (poly) hexamethylene Glycol polyglycidyl ether, (poly) trimethylolpropane polyglycidyl ether, (poly) glycerol polyglycidyl ether, (poly) sorbitol polyglycidyl ether Aliphatic polyepoxy compounds, phenol novolac polyepoxy compounds, brominated phenol novolac polyepoxy compounds, (o-, m-, p-) cresol novolac polyepoxy compounds, bisphenol A polyepoxy compounds, bisphenol F polyepoxy compounds, etc. Aromatic polyepoxy compounds, sorbitan polyglycidyl ether, triglycidyl isocyanurate, heterocyclic polyepoxy compounds such as triglycidyl tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, and reactants with polyepoxy compounds such as .

その他のエチレン性不飽和化合物として、前記以外に、例えば、エチレンビス(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド類、フタル酸ジアリル等のアリルエステル類、ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物類、エーテル結合含有エチレン性不飽和化合物のエーテル結合を5硫化燐等により硫化してチオエーテル結合に変えることにより架橋速度を向上せしめたチオエーテル結合含有化合物類、及び、例えば、特許第3164407号公報及び特開平9−100111号公報等に記載の、多官能(メタ)アクリレート化合物と、粒子径5〜30nmのシリカゾル〔例えば、イソプロパノール分散オルガノシリカゾル(日産化学社製「IPA−ST」)、メチルエチルケトン分散オルガノシリカゾル(日産化学社製「MEK−ST」)、メチルイソブチルケトン分散オルガノシリカゾル(日産化学社製「MIBK−ST」)等〕とを、イソシアネート基或いはメルカプト基含有シランカップリング剤を用いて結合させた化合物等の、エチレン性不飽和化合物にシランカップリング剤を介してシリカゾルを反応させ結合させることにより硬化物としての強度や耐熱性を向上せしめた化合物類、等が挙げられる。   Other ethylenically unsaturated compounds include, for example, (meth) acrylamides such as ethylenebis (meth) acrylamide, allyl esters such as diallyl phthalate, vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate, ether bonds Thioether bond-containing compounds whose crosslinking rate has been improved by sulfurizing the ether bonds of the ethylenically unsaturated compound with phosphorous pentasulfide and changing to thioether bonds, and for example, Japanese Patent No. 3164407 and JP-A-9- The polyfunctional (meth) acrylate compound and silica sol having a particle diameter of 5 to 30 nm (for example, isopropanol-dispersed organosilica sol (“IPA-ST” manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.)), methyl ethyl ketone-dispersed organosilica sol (Nissan Chemical) "MEK-S" ”), Methyl isobutyl ketone-dispersed organosilica sol (“ MIBK-ST ”manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.), etc.] and the like, and the like, and the like, by using an isocyanate group or a mercapto group-containing silane coupling agent. Examples thereof include compounds in which the strength and heat resistance as a cured product are improved by reacting and bonding silica sol through a silane coupling agent.

本発明において、エチレン性不飽和化合物としては、エステル(メタ)アクリレート類、又は、ウレタン(メタ)アクリレート類が好ましく、中でも、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等、5官能以上のものが特に好ましい。   In the present invention, as the ethylenically unsaturated compound, ester (meth) acrylates or urethane (meth) acrylates are preferable, and among them, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate and the like. Those having 5 or more functional groups are particularly preferred.

以上のエチレン性不飽和化合物は、それぞれ単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The above ethylenically unsaturated compounds may be used alone or in combination of two or more.

本発明の遮光性感光性樹脂組成物中のエチレン性不飽和化合物の割合は、全固形分に対して通常1〜20重量%、好ましくは4〜18重量%、特に好ましくは5〜15重量%である。この範囲よりもエチレン性不飽和化合物の割合が多すぎると、露光時の表面と底部との重合率差のために底部がえぐれた形状になりやすく、一方少なすぎると十分な感度が得られないばかりか、体積抵抗率や比誘電率などの電気特性が悪化する。   The ratio of the ethylenically unsaturated compound in the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention is usually 1 to 20% by weight, preferably 4 to 18% by weight, particularly preferably 5 to 15% by weight, based on the total solid content. It is. If the ratio of the ethylenically unsaturated compound is too much above this range, the bottom tends to have a shape due to the difference in polymerization rate between the surface and the bottom during exposure, while if it is too small, sufficient sensitivity cannot be obtained. In addition, electrical characteristics such as volume resistivity and relative dielectric constant are deteriorated.

[4]遮光性成分(色材)
本発明の遮光性感光性樹脂組成物には単独の黒色色材、又は赤、緑、青色等の混合による黒色色材が使用可能である。これら黒色色材は、カーボンブラック、チタンブラックなどの無機又は有機の顔料、染料の中から適宜選択することができ、単独使用もしくは複数種混合して使用することができる。
[4] Light-shielding component (coloring material)
In the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention, a single black color material or a black color material obtained by mixing red, green, blue and the like can be used. These black color materials can be appropriately selected from inorganic or organic pigments and dyes such as carbon black and titanium black, and can be used alone or in combination.

[4−1]カーボンブラック
カーボンブラックの市販品の例としては、以下のような銘柄が挙げられる。
[4-1] Carbon black Examples of commercially available carbon black include the following brands.

三菱化学社製:MA7、MA8、MA11、MA100、MA220、MA230、#52、#50、#47、#45、#2700、#2650、#2200、#1000、#990、#900等。 Mitsubishi Chemical Corporation: MA7, MA8, MA11, MA100, MA220, MA230, # 52, # 50, # 47, # 45, # 2700, # 2650, # 2200, # 1000, # 990, # 900, etc.

デグサ社製:Printex95、Printex90、Printex85、Printex75、Printex55、Printex45、Printex40、Printex30、Printex3、PrintexA、PrintexG、SpecialBlack550、SpecialBlack350、SpecialBlack250、SpecialBlack100等。 Made by Degussa: Printex95, Printex90, Printex85, Printex75, Printex55, Printex45, Printex40, Printex30, Printex3, PrintexA, PrintexG, Sck, 350, S350, 250, 350

キャボット社製:Monarch460、Monarch430、Monarch280、Monarch120、Monarch800、Monarch4630、REGAL99、REGAL99R、REGAL415、REGAL415R、REGAL250、REGAL250R、REGAL330、BLACKPEARLS480、PEARLS130。 Manufactured by Cabot Corporation: Monarch 460, Monarch 430, Monarch 280, Monarch 120, Monarch 800, Monarch 4630, REGAL99, REGAL99R, REGAL415, REGAL415R, REGAL250, REGAL250R, REGAL330, BLACKPEARLS480, PEARLS480.

コロンビヤンカーボン社製:RAVEN11、RAVEN15、RAVEN30、RAVEN35、RAVEN40、RAVEN410、RAVEN420、RAVEN450、RAVEN500、RAVEN780、RAVEN850、RAVEN890H、RAVEN1000、RAVEN1020、RAVEN1040等。 Made by Colombian Carbon: Raven11, Raven15, Raven30, Raven35, Raven40, Raven410, Raven420, Raven450, Raven500, Raven780, Raven850, Raven890H, Raven1000, Raven1020, Raven1040 and the like.

[4−2]チタンブラック
チタンブラックの製造方法としては、二酸化チタンと金属チタンの混合体を還元雰囲気で加熱し還元する方法(特開昭49−5432号公報)、四塩化チタンの高温加水分解で得られた超微細二酸化チタンを水素を含む還元雰囲気中で還元する方法(特開昭57−205322号公報)、二酸化チタン又は水酸化チタンをアンモニア存在下で高温還元する方法(特開昭60−65069号公報、特開昭61−201610号公報)、二酸化チタン又は水酸化チタンにバナジウム化合物を付着させ、アンモニア存在下で高温還元する方法(特開昭61−201610号公報)などがあるが、これらに限定されるものではない。
[4-2] Titanium black Titanium black is produced by heating a mixture of titanium dioxide and titanium metal in a reducing atmosphere and reducing it (Japanese Patent Laid-Open No. 49-5432), high-temperature hydrolysis of titanium tetrachloride. The method of reducing ultrafine titanium dioxide obtained in the above in a reducing atmosphere containing hydrogen (Japanese Patent Laid-Open No. 57-205322), and the method of reducing titanium dioxide or titanium hydroxide at high temperature in the presence of ammonia (Japanese Patent Laid-Open No. 60-60). -65069, JP-A-61-201610), a method of attaching a vanadium compound to titanium dioxide or titanium hydroxide, and performing high-temperature reduction in the presence of ammonia (JP-A-61-201610). However, it is not limited to these.

チタンブラックの市販品の例としては、三菱マテリアル社製チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M−Cなどが挙げられる。   Examples of commercially available titanium black include Titanium Black 10S, 12S, 13R, 13M, and 13M-C manufactured by Mitsubishi Materials Corporation.

[4−3]有機顔料
有機顔料としては黒色に限らず、青色顔料、緑色顔料、赤色顔料、黄色顔料、紫色顔料、オレンジ顔料、ブラウン顔料等を混ぜ合わせて遮光性を持たせることも色調調整ができて好ましい。また、その構造としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系等の有機顔料等が挙げられる。
以下、使用できる顔料の具体例をピグメントナンバーで示す。以下に挙げる「C.I.ピグメントレッド2」等の用語は、カラーインデックス(C.I.)を意味する。
[4-3] Organic pigments Organic pigments are not limited to black, but can be shaded by mixing blue pigments, green pigments, red pigments, yellow pigments, purple pigments, orange pigments, brown pigments, etc. Is preferable. The structure includes organic pigments such as azo, phthalocyanine, quinacridone, benzimidazolone, isoindolinone, dioxazine, indanthrene, and perylene.
Hereinafter, specific examples of usable pigments are indicated by pigment numbers. Terms such as “CI Pigment Red 2” mentioned below mean the color index (CI).

赤色顔料としては、C.I.ピグメントレッド1、2、3、4、5、6、7、8、9、12、14、15、16、17、21、22、23、31、32、37、38、41、47、48、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、50:1、52:1、52:2、53、53:1、53:2、53:3、57、57:1、57:2、58:4、60、63、63:1、63:2、64、64:1、68、69、81、81:1、81:2、81:3、81:4、83、88、90:1、101、101:1、104、108、108:1、109、112、113、114、122、123、144、146、147、149、151、166、168、169、170、172、173、174、175、176、177、178、179、181、184、185、187、188、190、193、194、200、202、206、207、208、209、210、214、216、220、221、224、230、231、232、233、235、236、237、238、239、242、243、245、247、249、250、251、253、254、255、256、257、258、259、260、262、263、264、265、266、267、268、269、270、271、272、273、274、275、276を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントレッド48:1、122、168、177、202、206、207、209、224、242、254、さらに好ましくはC.I.ピグメントレッド177、209、224、254を挙げることができる。   Examples of red pigments include C.I. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 37, 38, 41, 47, 48, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 52: 2, 53, 53: 1, 53: 2, 53: 3, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 4, 60, 63, 63: 1, 63: 2, 64, 64: 1, 68, 69, 81, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 81: 4, 83, 88, 90: 1, 101, 101: 1, 104, 108, 108: 1, 109, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 147, 149, 151, 166, 168, 169, 170, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 178, 17 , 181, 184, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 214, 216, 220, 221, 224, 230, 231, 232, 233, 235 236, 237, 238, 239, 242, 243, 245, 247, 249, 250, 251, 253, 254, 255, 256, 257, 258, 259, 260, 262, 263, 264, 265, 266, 267 268, 269, 270, 271, 272, 273, 274, 275, 276. Of these, C.I. I. Pigment Red 48: 1, 122, 168, 177, 202, 206, 207, 209, 224, 242, 254, more preferably C.I. I. Pigment red 177, 209, 224, 254.

青色顔料としては、C.I.ピグメントブルー1、1:2、9、14、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、17、19、25、27、28、29、33、35、36、56、56:1、60、61、61:1、62、63、66、67、68、71、72、73、74、75、76、78、79を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、さらに好ましくはC.I.ピグメントブルー15:6を挙げることができる。   Examples of blue pigments include C.I. I. Pigment Blue 1, 1: 2, 9, 14, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56: 1, 60, 61, 61: 1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, 79. Of these, C.I. I. Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, more preferably C.I. I. Pigment blue 15: 6.

緑色顔料としては、C.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントグリーン7、36を挙げることができる。   Examples of green pigments include C.I. I. Pigment green 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 45, 48, 50, 51, 54, 55. Of these, C.I. I. And CI Pigment Green 7 and 36.

黄色顔料としては、C.I.ピグメントイエロー1、1:1、2、3、4、5、6、9、10、12、13、14、16、17、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、41、42、43、48、53、55、61、62、62:1、63、65、73、74、75、81、83、87、93、94、95、97、100、101、104、105、108、109、110、111、116、117、119、120、126、127、127:1、128、129、133、134、136、138、139、142、147、148、150、151、153、154、155、157、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、169、170、172、173、174、175、176、180、181、182、183、184、185、188、189、190、191、191:1、192、193、194、195、196、197、198、199、200、202、203、204、205、206、207、208を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、117、129、138、139、150、154、155、180、185、さらに好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、138、139、150、180を挙げることができる。   Examples of yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1, 1: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 13, 14, 16, 17, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 41, 42, 43, 48, 53, 55, 61, 62, 62: 1, 63, 65, 73, 74, 75, 81, 83, 87, 93, 94, 95, 97, 100, 101, 104, 105, 108, 109, 110, 111, 116, 117, 119, 120, 126, 127, 127: 1, 128, 129, 133, 134, 136, 138, 139, 142, 147, 148, 150, 151, 153, 154, 155, 157, 158, 159, 160, 161, 162, 163, 164, 165, 166, 167, 168, 169, 170, 172, 17 174, 175, 176, 180, 181, 182, 183, 184, 185, 188, 189, 190, 191, 191: 1, 192, 193, 194, 195, 196, 197, 198, 199, 200, 202 , 203, 204, 205, 206, 207, 208. Of these, C.I. I. Pigment yellow 83, 117, 129, 138, 139, 150, 154, 155, 180, 185, more preferably C.I. I. Pigment yellow 83, 138, 139, 150, 180.

オレンジ顔料としては、C.I.ピグメントオレンジ1、2、5、13、16、17、19、20、21、22、23、24、34、36、38、39、43、46、48、49、61、62、64、65、67、68、69、70、71、72、73、74、75、77、78、79を挙げることができる。この中でも、好ましくは、C.I.ピグメントオレンジ38、71を挙げることができる。   Examples of orange pigments include C.I. I. Pigment Orange 1, 2, 5, 13, 16, 17, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 34, 36, 38, 39, 43, 46, 48, 49, 61, 62, 64, 65, 67, 68, 69, 70, 71, 72, 73, 74, 75, 77, 78, 79. Of these, C.I. I. And CI pigment oranges 38 and 71.

紫色顔料としては、C.I.ピグメントバイオレット1、1:1、2、2:2、3、3:1、3:3、5、5:1、14、15、16、19、23、25、27、29、31、32、37、39、42、44、47、49、50を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントバイオレット19、23、さらに好ましくはC.I.ピグメントバイオレット23を挙げることができる。   Examples of purple pigments include C.I. I. Pigment Violet 1, 1: 1, 2, 2: 2, 3, 3: 1, 3: 3, 5, 5: 1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49, 50. Of these, C.I. I. Pigment violet 19, 23, more preferably C.I. I. And CI Pigment Violet 23.

なお、これら遮光性顔料の平均粒径は通常1μm、好ましくは0.5μm以下、例えば、0.01〜0.4μmである。遮光性顔料の粒径は小さいほうが遮光性が大きくなる。   The average particle diameter of these light-shielding pigments is usually 1 μm, preferably 0.5 μm or less, for example, 0.01 to 0.4 μm. The smaller the particle size of the light-shielding pigment, the greater the light-shielding property.

[4−4]顔料配合量
本発明の遮光性感光性樹脂組成物中の遮光性顔料の割合は、全固形分に対して30重量%〜50重量%、好ましくは30重量%〜45重量%であり、更に好ましくは30重量%〜42重量%である。この範囲よりも遮光性顔料が多すぎると、高精細なディスプレーにの場合には必要なパターンのエッジ形状のシャープ性を著しく低下させる原因になる。一方、少なすぎると樹脂ブラックマトリックスとしての十分な遮光性が確保できない。
また、顔料の配合量が少な過ぎると、基板交叉角θも小さくなる傾向にある。即ち、前述の如く、本発明の樹脂ブラックマトリックスは、開口を広く取れるCOAやBOA方式に好適に用いることができるものであるが、基板交叉角θが小さく、だれた形状になるのは開口を広く取る上で不利であり、基板交叉角θは40°〜90°であることが好ましい。この基板交叉角θを確保する上でも遮光性顔料量を上記範囲より少なくすることは好ましくない。
[4-4] Pigment blending amount The ratio of the light-shielding pigment in the light-sensitive photosensitive resin composition of the present invention is 30% to 50% by weight, preferably 30% to 45% by weight, based on the total solid content. More preferably, it is 30 to 42% by weight. If there are too many light-shielding pigments within this range, the sharpness of the edge shape of a necessary pattern will be significantly reduced in the case of a high-definition display. On the other hand, if the amount is too small, sufficient light shielding properties as a resin black matrix cannot be secured.
Further, if the amount of the pigment is too small, the substrate crossing angle θ tends to be small. That is, as described above, the resin black matrix of the present invention can be suitably used for the COA or BOA system which can take a wide opening, but the substrate crossing angle θ is small, and the shape of the slanted shape is the opening. The substrate crossing angle θ is preferably 40 ° to 90 °. In order to secure the substrate crossing angle θ, it is not preferable to reduce the amount of the light-shielding pigment from the above range.

更に、本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、遮光性顔料の中で全固形分に対して2重量%〜20重量%、好ましくは2重量%〜10重量%はカーボンブラックであることを特徴とする。カーボンブラックの含有量がこの範囲より多くなると、形成される樹脂ブラックマトリックスの体積抵抗値が小さくなり、更に比誘電率が大きくなる。一方、少なすぎると樹脂ブラックマトリックスとしての十分な遮光性が確保できなくなり、それを補うために有機顔料の含有量を増加させる事が必要となり、ひいては遮光性顔料全体の割合を多くしなければならなくなり、不利である。   Furthermore, the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention is 2 to 20% by weight, preferably 2 to 10% by weight, of carbon black in the light-shielding pigment, based on the total solid content. Features. When the content of carbon black exceeds this range, the volume resistance value of the resin black matrix to be formed becomes small, and the relative dielectric constant further increases. On the other hand, if the amount is too small, sufficient light-shielding properties as a resin black matrix cannot be secured, and it is necessary to increase the content of organic pigments to compensate for this, and as a result, the proportion of the entire light-shielding pigment must be increased. Disadvantageous and disadvantageous.

本発明において、遮光性感光性樹脂組成物中のカーボンブラック含有量を多くする場合は、比誘電率を下げるために多孔質なカーボンブラックを用いるのが好ましい。また、カーボンブラック含有量を多くした上で体積抵抗値を大きくするために、被覆されたカーボンブラックを使用する事も一つの方策である。被覆されたカーボンブラックについては、特開平9−071733公報、特開平9−095625号公報、特開平09−124969号公報に記載されている。樹脂での被覆方法については、これらに記載された方法を用いることもできる。   In the present invention, when increasing the carbon black content in the light-shielding photosensitive resin composition, it is preferable to use porous carbon black in order to lower the relative dielectric constant. In addition, in order to increase the volume resistance value while increasing the carbon black content, it is also one measure to use coated carbon black. The coated carbon black is described in JP-A-9-071733, JP-A-9-095625, and JP-A-9-124969. Regarding the coating method with the resin, the methods described therein can also be used.

[4−5]顔料誘導体
本発明に用いる遮光性顔料には分散性の向上、分散安定性の向上のために顔料誘導体等を併用してもよい。
顔料誘導体としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、キノフタロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、アントラキノン系、インダンスレン系、ペリレン系、ペリノン系、ジケトピロロピロール系、ジオキサジン系等の誘導体が挙げられるが、中でもキノフタロン系が好ましい。顔料誘導体の置換基としてはスルホン酸基、スルホンアミド基及びその4級塩、フタルイミドメチル基、ジアルキルアミノアルキル基、水酸基、カルボキシル基、アミド基等が顔料骨格に直接又はアルキル基、アリール基、複素環基等を介して結合したものが挙げられ、好ましくはスルホン酸基である。またこれら置換基は一つの顔料骨格に複数置換していてもよい。
[4-5] Pigment derivative A pigment derivative or the like may be used in combination with the light-shielding pigment used in the present invention in order to improve dispersibility and dispersion stability.
As pigment derivatives, azo, phthalocyanine, quinacridone, benzimidazolone, quinophthalone, isoindolinone, dioxazine, anthraquinone, indanthrene, perylene, perinone, diketopyrrolopyrrole, dioxazine Derivatives such as quinophthalone are preferable, among which quinophthalone is preferable. Substituents of pigment derivatives include sulfonic acid groups, sulfonamide groups and quaternary salts thereof, phthalimidomethyl groups, dialkylaminoalkyl groups, hydroxyl groups, carboxyl groups, amide groups, etc. directly on the pigment skeleton or alkyl groups, aryl groups, and complex groups. Examples thereof include those bonded via a ring group and the like, and a sulfonic acid group is preferable. Further, a plurality of these substituents may be substituted on one pigment skeleton.

顔料誘導体の具体例としてはフタロシアニンのスルホン酸誘導体、キノフタロンのスルホン酸誘導体、アントラキノンのスルホン酸誘導体、キナクリドンのスルホン酸誘導体、ジケトピロロピロールのスルホン酸誘導体、ジオキサジンのスルホン酸誘導体等が挙げられる。
これらの顔料誘導体は1種を単独で或いは2種以上を組み合わせて用いることができる。
Specific examples of the pigment derivative include phthalocyanine sulfonic acid derivatives, quinophthalone sulfonic acid derivatives, anthraquinone sulfonic acid derivatives, quinacridone sulfonic acid derivatives, diketopyrrolopyrrole sulfonic acid derivatives, and dioxazine sulfonic acid derivatives.
These pigment derivatives can be used alone or in combination of two or more.

顔料誘導体を用いる場合、その使用量は遮光性顔料に対して通常0.1〜30重量%、好ましくは0.1〜20重量%以下、より好ましくは0.1〜10重量%、さらに好ましくは0.1〜5重量%である。   When a pigment derivative is used, the amount used is usually 0.1 to 30% by weight, preferably 0.1 to 20% by weight, more preferably 0.1 to 10% by weight, still more preferably, based on the light-shielding pigment. 0.1 to 5% by weight.

[5]分散剤・分散助剤
本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、遮光性顔料の分散性の向上、分散安定性の向上のために、顔料分散剤及び/又は分散助剤を併用する事が好ましい。中でも、特に顔料分散剤として高分子分散剤を用いると経時の分散安定性に優れるので好ましい。なお、ここで、分散剤は顔料の分散安定性を確保するための、顔料とは全く構造の異なるポリマーであり、分散助剤とは顔料の分散性を高めるための顔料誘導体をいう。
[5] Dispersant / dispersion aid The light-shielding photosensitive resin composition of the present invention is used in combination with a pigment dispersant and / or a dispersion aid in order to improve the dispersibility and dispersion stability of the light-shielding pigment. It is preferable to do. Among them, it is particularly preferable to use a polymer dispersant as the pigment dispersant because it is excellent in dispersion stability with time. Here, the dispersant is a polymer having a completely different structure from the pigment for ensuring the dispersion stability of the pigment, and the dispersion aid means a pigment derivative for enhancing the dispersibility of the pigment.

高分子分散剤としては、例えば、ウレタン系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレングリコールジエステル系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性ポリエステル系分散剤等を挙げることができる。これら分散剤の具体例としては、商品名で、EFKA(エフカーケミカルズビーブイ(EFKA)社製)、Disperbik(ビックケミー社製)、ディスパロン(楠本化成(株)製)、SOLSPERSE(ゼネカ社製)、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)社製)等を挙げることができる。
これらの分散剤は、1種単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
この中で、体積抵抗率や比誘電率などの電気特性に対しては、ウレタン系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤が好ましい。
Examples of the polymer dispersant include a urethane dispersant, a polyethyleneimine dispersant, a polyoxyethylene alkyl ether dispersant, a polyoxyethylene glycol diester dispersant, a sorbitan aliphatic ester dispersant, and an aliphatic modified polyester. And the like, and the like. Specific examples of these dispersants are trade names of EFKA (manufactured by EFKA Chemicals Beebuy (EFKA)), Disperbik (manufactured by BYK Chemie), Disparon (manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.), SOLPERSE (manufactured by GENECA), Examples thereof include KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), and the like.
These dispersants can be used singly or in combination of two or more.
Among these, urethane-based dispersants and polyethyleneimine-based dispersants are preferable for electrical characteristics such as volume resistivity and relative dielectric constant.

[5−1]ウレタン系分散剤
ウレタン系分散剤としては、ポリイソシアネート化合物と、同一分子内に水酸基を1個
又は2個有する数平均分子量300〜10,000の化合物と、同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物とを反応させることによって得られる分散樹脂等が好ましい。
[5-1] Urethane-based dispersant As the urethane-based dispersant, a polyisocyanate compound, a compound having a number average molecular weight of 300 to 10,000 having one or two hydroxyl groups in the same molecule, and active in the same molecule A dispersion resin obtained by reacting hydrogen with a compound having a tertiary amino group is preferred.

上記のポリイソシアネート化合物の例としては、パラフェニレンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンメチルエステルジイソシアネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、4,4′−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、ω,ω′−ジイソシネートジメチルシクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、α,α,α′,α′−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香環を有する脂肪族ジイソシアネート、リジンエステルトリイソシアネート、1,6,11−ウンデカントリイソシアネート、1,8−ジイソシアネート−4−イソシアネートメチルオクタン、1,3,6−ヘキサメチレントリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート、トリス(イソシアネートフェニルメタン)、トリス(イソシアネートフェニル)チオホスフェート等のトリイソシアネート、及びこれらの3量体、水付加物、及びこれらのポリオール付加物等が挙げられる。ポリイソシアネートとして好ましいのは有機ジイソシアネートの三量体で、最も好ましいのはトリレンジイソシアネートの三量体とイソホロンジイソシアネートの三量体である。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。   Examples of the polyisocyanate compound include paraphenylene diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, and tolidine diisocyanate. Aromatic diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, lysine methyl ester diisocyanate, 2,4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, dimer acid diisocyanate and other aliphatic diisocyanates, isophorone diisocyanate, 4,4'-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), ω, ω Alicyclic diisocyanates such as '-diisocyanate dimethylcyclohexane, xylylene diisocyanate, α, α, α', α'-tetramethyl Aliphatic diisocyanates having aromatic rings such as luxylylene diisocyanate, lysine ester triisocyanate, 1,6,11-undecane triisocyanate, 1,8-diisocyanate-4-isocyanate methyloctane, 1,3,6-hexamethylene triisocyanate , Triisocyanates such as bicycloheptane triisocyanate, tris (isocyanatephenylmethane), tris (isocyanatephenyl) thiophosphate, and trimers thereof, water adducts, and polyol adducts thereof. Preferred as the polyisocyanate are trimers of organic diisocyanate, and most preferred are trimerene of tolylene diisocyanate and trimer of isophorone diisocyanate. These may be used alone or in combination of two or more.

イソシアネートの三量体の製造方法としては、前記ポリイソシアネート類を適当な三量化触媒、例えば第3級アミン類、ホスフィン類、アルコキシド類、金属酸化物、カルボン酸塩類等を用いてイソシアネート基の部分的な三量化を行い、触媒毒の添加により三量化を停止させた後、未反応のポリイソシアネートを溶剤抽出、薄膜蒸留により除去して目的のイソシアヌレート基含有ポリイソシアネートを得る方法が挙げられる。   As a method for producing an isocyanate trimer, the polyisocyanate may be converted into an isocyanate group using an appropriate trimerization catalyst such as tertiary amines, phosphines, alkoxides, metal oxides, carboxylates and the like. And the trimerization is stopped by adding a catalyst poison, and then the unreacted polyisocyanate is removed by solvent extraction and thin-film distillation to obtain the desired isocyanurate group-containing polyisocyanate.

同一分子内に水酸基を1個又は2個有する数平均分子量300〜10,000の化合物としては、ポリエーテルグリコール、ポリエステルグリコール、ポリカーボネートグリコール、ポリオレフィングリコール等、及びこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数1〜25のアルキル基でアルコキシ化されたもの及びこれら2種類以上の混合物が挙げられる。   Examples of the compound having a number average molecular weight of 300 to 10,000 having one or two hydroxyl groups in the same molecule include polyether glycol, polyester glycol, polycarbonate glycol, polyolefin glycol and the like, and one terminal hydroxyl group of these compounds has a carbon number. Examples thereof include those alkoxylated with 1 to 25 alkyl groups and mixtures of two or more thereof.

ポリエーテルグリコールとしては、ポリエーテルジオール、ポリエーテルエステルジオール、及びこれら2種類以上の混合物が挙げられる。ポリエーテルジオールとしては、アルキレンオキシドを単独又は共重合させて得られるもの、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレン−プロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール、ポリオキシヘキサメチレングリコール、ポリオキシオクタメチレングリコール及びそれらの2種以上の混合物が挙げられる。   Polyether glycols include polyether diols, polyether ester diols, and mixtures of two or more of these. Examples of the polyether diol include those obtained by homopolymerizing or copolymerizing alkylene oxide, such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene-propylene glycol, polyoxytetramethylene glycol, polyoxyhexamethylene glycol, polyoxyoctamethylene glycol, and the like. The mixture of 2 or more types of these is mentioned.

ポリエーテルエステルジオールとしては、エーテル基含有ジオールもしくは他のグリコールとの混合物をジカルボン酸又はそれらの無水物と反応させるか、又はポリエステルグリコールにアルキレンオキシドを反応させることによって得られるもの、例えばポリ(ポリオキシテトラメチレン)アジペート等が挙げられる。ポリエーテルグリコールとして最も好ましいのはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール又はこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数1〜25のアルキル基でアルコキシ化された化合物である。   Polyether ester diols include those obtained by reacting a mixture of ether group-containing diols or other glycols with dicarboxylic acids or their anhydrides or reacting polyester glycols with alkylene oxides, such as poly (poly And oxytetramethylene) adipate. Most preferred as the polyether glycol is polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyoxytetramethylene glycol or a compound in which one terminal hydroxyl group of these compounds is alkoxylated with an alkyl group having 1 to 25 carbon atoms.

ポリエステルグリコールとしては、ジカルボン酸(コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、フマル酸、マレイン酸、フタル酸等)又はそれらの無水物とグリコール(エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、2−メチル−1,3−プロパンジオール、2−メチル−2−プロピル−1,3−プロパンジオール、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジーオル、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオール、2,5−ジメチル−2,5−ヘキサンジオール、1,8−オクタメチレングリコール、2−メチル−1,8−オクタメチレングリコール、1,9−ノナンジオール等の脂肪族グリコール、ビスヒドロキシメチルシクロヘキサン等の脂環族グリコール、キシリレングリコール、ビスヒドロキシエトキシベンゼン等の芳香族グリコール、N−メチルジエタノールアミン等のN−アルキルジアルカノールアミン等)とを重縮合させて得られたもの、例えばポリエチレンアジペート、ポリブチレンアジペート、ポリヘキサメチレンアジペート、ポリエチレン/プロピレンアジペート等、又は前記ジオール類又は炭素数1〜25の1価アルコールを開始剤として用いて得られるポリラクトンジオール又はポリラクトンモノオール、例えばポリカプロラクトングリコール、ポリメチルバレロラクトン及びこれらの2種以上の混合物が挙げられる。ポリエステルグリコールとして最も好ましいのはポリカプロラクトングリコール又は炭素数1〜25のアルコールを開始剤としたポリカプロラクトン、より具体的には、モノオールにε−カプロラクトンを開環付加重合して得られる化合物である。   Polyester glycol includes dicarboxylic acid (succinic acid, glutaric acid, adipic acid, sebacic acid, fumaric acid, maleic acid, phthalic acid, etc.) or anhydrides thereof and glycol (ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, Dipropylene glycol, tripropylene glycol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 2,3-butanediol, 3-methyl-1,5-pentanediol, neopentyl glycol 2-methyl-1,3-propanediol, 2-methyl-2-propyl-1,3-propanediol, 2-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 2-methyl-2,4- Nanthanediol, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol, 2-ethyl-1,3-hexanediol, 2,5-dimethyl-2,5-hexanediol, 1,8-octamethylene glycol, Aliphatic glycols such as 2-methyl-1,8-octamethylene glycol and 1,9-nonanediol, alicyclic glycols such as bishydroxymethylcyclohexane, aromatic glycols such as xylylene glycol and bishydroxyethoxybenzene, N -N-alkyl dialkanolamines such as methyldiethanolamine) obtained by polycondensation, such as polyethylene adipate, polybutylene adipate, polyhexamethylene adipate, polyethylene / propylene adipate, etc., or the diol or carbon number 1 to 25 monovalent Polylactone diol or polylactone monool obtained by using an alcohol as an initiator, for example, polycaprolactone glycol, polymethyl valerolactone and mixtures of two or more thereof. Most preferred as the polyester glycol is polycaprolactone glycol or polycaprolactone starting with an alcohol having 1 to 25 carbon atoms, more specifically, a compound obtained by ring-opening addition polymerization of ε-caprolactone to a monool. .

ポリカーボネートグリコールとしては、ポリ(1,6−ヘキシレン)カーボネート、ポリ(3−メチル−1,5−ペンチレン)カーボネート等、ポリオレフィングリコールとしてはポリブタジエングリコール、水素添加型ポリブタジエングリコール、水素添加型ポリイソプレングリコール等が挙げられる。   Examples of polycarbonate glycol include poly (1,6-hexylene) carbonate and poly (3-methyl-1,5-pentylene) carbonate. Examples of polyolefin glycol include polybutadiene glycol, hydrogenated polybutadiene glycol, and hydrogenated polyisoprene glycol. Is mentioned.

これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。   These may be used alone or in combination of two or more.

同一分子内に水酸基を1個又は2個有する化合物の数平均分子量は300〜10,000、好ましくは500〜6,000、更に好ましくは1,000〜4,000である。   The number average molecular weight of the compound having one or two hydroxyl groups in the same molecule is 300 to 10,000, preferably 500 to 6,000, and more preferably 1,000 to 4,000.

本発明に用いられる同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物を説明する。活性水素、即ち、酸素原子、窒素原子又はイオウ原子に直接結合している水素原子としては、水酸基、アミノ基、チオール基等の官能基中の水素原子が挙げられ、中でもアミノ基、特に1級のアミノ基の水素原子が好ましい。
3級アミノ基は特に限定されないが、3級アミノ基としては、炭素数1〜4のアルキル基を有するアミノ基、又はヘテロ環構造、より具体的には、イミダゾール環又はトリアゾール環が挙げられる。
A compound having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule used in the present invention will be described. Examples of the active hydrogen, that is, a hydrogen atom directly bonded to an oxygen atom, a nitrogen atom or a sulfur atom include a hydrogen atom in a functional group such as a hydroxyl group, an amino group, and a thiol group. Of these, the hydrogen atom of the amino group is preferred.
The tertiary amino group is not particularly limited, and examples of the tertiary amino group include an amino group having an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or a heterocyclic structure, more specifically, an imidazole ring or a triazole ring.

このような同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物を例示するならば、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジエチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジプロピル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジブチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジメチルエチレンジアミン、N,N−ジエチルエチレンジアミン、N,N−ジプロピルエチレンジアミン、N,N−ジブチルエチレンジアミン、N,N−ジメチル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジエチル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジプロピル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジブチル−1,4−ブタンジアミン等が挙げられる。   Examples of such compounds having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule include N, N-dimethyl-1,3-propanediamine, N, N-diethyl-1,3-propanediamine, N , N-dipropyl-1,3-propanediamine, N, N-dibutyl-1,3-propanediamine, N, N-dimethylethylenediamine, N, N-diethylethylenediamine, N, N-dipropylethylenediamine, N, N -Dibutylethylenediamine, N, N-dimethyl-1,4-butanediamine, N, N-diethyl-1,4-butanediamine, N, N-dipropyl-1,4-butanediamine, N, N-dibutyl-1 , 4-butanediamine and the like.

また、3級アミノ基が含窒素ヘテロ環であるものとして、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、テトラゾール環、インドール環、カルバゾール環、インダゾール環、ベンズイミダゾール環、ベンゾトリアゾール環、ベンゾオキサゾール環、ベンゾチアゾール環、ベンゾチアジアゾール環等のN含有ヘテロ5員環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、アクリジン環、イソキノリン環等の含窒素ヘテロ6員環が挙げられる。これらの含窒素ヘテロ環として好ましいものはイミダゾール環又はトリアゾール環である。   In addition, the tertiary amino group is a nitrogen-containing heterocycle, such as pyrazole ring, imidazole ring, triazole ring, tetrazole ring, indole ring, carbazole ring, indazole ring, benzimidazole ring, benzotriazole ring, benzoxazole ring, benzo Examples thereof include N-containing hetero 5-membered rings such as thiazole ring and benzothiadiazole ring, nitrogen-containing hetero 6-membered rings such as pyridine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, acridine ring and isoquinoline ring. Preferred as these nitrogen-containing heterocycles are an imidazole ring or a triazole ring.

これらのイミダゾール環と一級アミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、1−(3−アミノプロピル)イミダゾール、ヒスチジン、2−アミノイミダゾール、1−(2−アミノエチル)イミダゾール等が挙げられる。また、トリアゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、5−(2−アミノ−5−クロロフェニル)−3−フェニル−1H−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−4H−1,2,4−トリアゾール−3,5−ジオール、3−アミノ−5−フェニル−1H−1,3,4−トリアゾール、5−アミノ−1,4−ジフェニル−1,2,3−トリアゾール、3−アミノ−1−ベンジル−1H−2,4−トリアゾール等が挙げられる。中でも、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジエチル−1,3−プロパンジアミン、1−(3−アミノプロピル)イミダゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾールが好ましい。   Specific examples of these compounds having an imidazole ring and a primary amino group include 1- (3-aminopropyl) imidazole, histidine, 2-aminoimidazole, 1- (2-aminoethyl) imidazole and the like. . Further, specific examples of the compound having a triazole ring and an amino group include 3-amino-1,2,4-triazole, 5- (2-amino-5-chlorophenyl) -3-phenyl-1H-1 , 2,4-triazole, 4-amino-4H-1,2,4-triazole-3,5-diol, 3-amino-5-phenyl-1H-1,3,4-triazole, 5-amino-1 , 4-diphenyl-1,2,3-triazole, 3-amino-1-benzyl-1H-2,4-triazole and the like. Among them, N, N-dimethyl-1,3-propanediamine, N, N-diethyl-1,3-propanediamine, 1- (3-aminopropyl) imidazole, 3-amino-1,2,4-triazole preferable.

これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。   These may be used alone or in combination of two or more.

ウレタン系分散剤を製造する際の原料の好ましい配合比率は、ポリイソシアネート化合物100重量部に対し、同一分子内に水酸基を1個又は2個有する数平均分子量300〜10,000の化合物が10〜200重量部、好ましくは20〜190重量部、更に好ましくは30〜180重量部、同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物が0.2〜25重量部、好ましくは0.3〜24重量部である。   The preferable blending ratio of the raw materials when producing the urethane-based dispersant is 10 to 10 compounds having a number average molecular weight of 300 to 10,000 having one or two hydroxyl groups in the same molecule with respect to 100 parts by weight of the polyisocyanate compound. 200 parts by weight, preferably 20 to 190 parts by weight, more preferably 30 to 180 parts by weight, 0.2 to 25 parts by weight of a compound having an active hydrogen and a tertiary amino group in the same molecule, preferably 0.3 to 24 parts by weight.

このようなウレタン系分散剤の製造は、ポリウレタン樹脂製造の公知の方法に従って行われる。製造する際の溶媒としては、通常、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸セロソルブ等のエステル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類、ダイアセトンアルコール、イソプロパノール、第二ブタノール、第三ブタノール等一部のアルコール類、塩化メチレン、クロロホルム等の塩化物、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル等のエーテル類、ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキサイド等の非プロトン性極性溶媒等の1種又は2種以上が用いられる。   Production of such a urethane-based dispersant is performed according to a known method for producing a polyurethane resin. As a solvent for production, usually, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, isophorone, esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, benzene, toluene, xylene, hexane Hydrocarbons such as diacetone alcohol, isopropanol, sec-butanol, tert-butanol, etc., chlorides such as methylene chloride and chloroform, ethers such as tetrahydrofuran and diethyl ether, dimethylformamide, N-methyl One or more of aprotic polar solvents such as pyrrolidone and dimethyl sulfoxide are used.

上記製造に際して、通常のウレタン化反応触媒が用いられる。この触媒としては、例えば、ジブチルチンジラウレート、ジオクチルチンジラウレート、ジブチルチンジオクトエート、スタナスオクトエート等の錫系、鉄アセチルアセトナート、塩化第二鉄等の鉄系、トリエチルアミン、トリエチレンジアミン等の3級アミン系等の1種又は2種以上が挙げられる。   In the production, a usual urethanization reaction catalyst is used. Examples of the catalyst include tin-based compounds such as dibutyltin dilaurate, dioctyltin dilaurate, dibutyltin dioctate, and stannous octoate, iron-based compounds such as iron acetylacetonate and ferric chloride, triethylamine, and triethylenediamine. 1 type, or 2 or more types, such as a secondary amine type | system | group, are mentioned.

同一分子内に活性水素と3級アミノ基を有する化合物の導入量は、反応後のアミン価で1〜100mg−KOH/gの範囲に制御するのが好ましい。より好ましくは5〜95mg−KOH/gの範囲である。アミン価は、塩基性基を酸により中和滴定し、酸価に対応させてKOHのmg数で表した値である。アミン価が上記範囲より低いと分散能力が低下する傾向があり、また、上記範囲を超えると現像性が低下しやすくなる。   The introduction amount of the compound having active hydrogen and tertiary amino group in the same molecule is preferably controlled in the range of 1 to 100 mg-KOH / g in terms of the amine value after the reaction. More preferably, it is the range of 5-95 mg-KOH / g. The amine value is a value obtained by neutralizing and titrating a basic group with an acid and representing the acid value in mg of KOH. When the amine value is lower than the above range, the dispersing ability tends to be lowered, and when it exceeds the above range, the developability tends to be lowered.

なお、以上の反応で得られた分散樹脂にイソシアネート基が残存する場合には更に、アルコールやアミノ化合物でイソシアネート基を潰すと生成物の経時安定性が高くなるので好ましい。   In addition, when an isocyanate group remains in the dispersion resin obtained by the above reaction, it is preferable to crush the isocyanate group with an alcohol or an amino compound because the stability with time of the product becomes high.

このようなウレタン系分散剤のMWは通常1,000〜200,000、好ましくは2,000〜100,000、より好ましくは3,000〜50,000の範囲である。この分子量が1,000未満では分散性及び分散安定性が劣り、200,000を超えると溶解性が低下し分散性が劣ると同時に反応の制御が困難となる。   The MW of such a urethane-based dispersant is usually in the range of 1,000 to 200,000, preferably 2,000 to 100,000, more preferably 3,000 to 50,000. If the molecular weight is less than 1,000, the dispersibility and dispersion stability are poor.

[5−2]アクリル系分散剤
アクリル系分散剤としては、窒素原子を含有するグラフト重合体、アクリル系ブロック共重合体が挙げられる。アクリル系分散剤としては、また、後述の特定の化合物を必須とする単量体成分を重合してなるポリマーを用いることもできる。
[5-2] Acrylic dispersant Examples of the acrylic dispersant include a graft polymer containing a nitrogen atom and an acrylic block copolymer. As the acrylic dispersant, a polymer obtained by polymerizing a monomer component having a specific compound described below as an essential component can also be used.

本発明に用いられる窒素原子を含有するグラフト重合体、アクリル系ブロック共重合体は、これに含まれる窒素原子が顔料表面に対して親和性を持ち、窒素原子以外の部分が媒質に対する親和性を高めることにより、全体として分散安定性の向上に寄与するものと推定される。   In the graft polymer and acrylic block copolymer containing nitrogen atoms used in the present invention, the nitrogen atoms contained therein have an affinity for the pigment surface, and portions other than the nitrogen atoms have an affinity for the medium. By increasing it, it is estimated that it contributes to the improvement of dispersion stability as a whole.

分散剤の性能は、その固体表面に対する吸着挙動である。分子のアーキテクチャーと吸着挙動の関係については、同じユニットを用いた場合は、ランダム共重合<グラフト共重合体<ブロック共重合体、の順で吸着挙動が優れていることが知られている。(例えば、Jones and Richards,“Polymers at Surfaces and Interfaces”p281)。詳しいメカニズムは不明だが、以下のことが推察される。
即ち、通常のランダム共重合体の場合、共重合体を構成するモノマーは、共重合時において、立体的に、及び/又は電気的に共重合体中に安定的に配置される確立が高くなる。モノマーが安定的に配置された部分(分子)は、立体的に、及び/又は電気的に安定しているため、顔料に吸着するとき、かえって障害となる場合がある。これに対し、グラフトあるいはブロック共重合体のように分子配列が制御された樹脂は、分散剤の吸着を妨げる部分を、顔料と分散剤との吸着部から離れた位置に配置することができる。つまり、顔料と分散剤との吸着部には吸着に最適な部分を、溶媒親和性が必要な部分にはそれに適した部分を配置することができる。特に結晶子サイズの小さい顔料を含有する色材の分散は、この分子配置が良好な分散性に影響するものと推察される。
The performance of a dispersant is its adsorption behavior on the solid surface. Regarding the relationship between the molecular architecture and the adsorption behavior, it is known that when the same unit is used, the adsorption behavior is excellent in the order of random copolymerization <graft copolymer <block copolymer. (For example, Jones and Richards, “Polymers at Surfaces and Interfaces” p281). Although the detailed mechanism is unknown, the following can be inferred.
That is, in the case of a normal random copolymer, it is highly likely that the monomer constituting the copolymer is stably arranged in the copolymer sterically and / or electrically during the copolymerization. . The portion (molecule) in which the monomer is stably arranged is sterically and / or electrically stable, and therefore may be an obstacle when adsorbed on the pigment. On the other hand, in a resin whose molecular arrangement is controlled, such as a graft or block copolymer, a portion that prevents adsorption of the dispersant can be disposed at a position away from the adsorption portion of the pigment and the dispersant. That is, an optimum portion for adsorption can be arranged in the adsorption portion between the pigment and the dispersant, and a portion suitable for it can be arranged in the portion requiring solvent affinity. In particular, the dispersion of a coloring material containing a pigment having a small crystallite size is presumed that this molecular arrangement affects the good dispersibility.

[5−2−1]窒素原子を含有するグラフト共重合体
窒素原子を含有するグラフト共重合体は、本発明に用いられる遮光性顔料を極めて効率よく分散しうる点で好ましい。その理由は明らかではないが、顔料と分散剤との吸着の障害となる部分(分子)が、顔料への吸着部周辺に、配置することを積極的に排斥し得る構造を有しているであるためと推察される。
さらに本分散剤はブラックマトリックスの基板に対する基板交叉角θ=40〜90°を達成するために好ましい。
[5-2-1] Graft copolymer containing a nitrogen atom A graft copolymer containing a nitrogen atom is preferred in that the light-shielding pigment used in the present invention can be dispersed extremely efficiently. The reason for this is not clear, but the part (molecule) that obstructs the adsorption of the pigment and the dispersant has a structure that can be positively excluded from the arrangement around the adsorption part to the pigment. It is assumed that there is.
Furthermore, the present dispersant is preferable for achieving a substrate crossing angle θ = 40 to 90 ° with respect to the substrate of the black matrix.

窒素原子を含有するグラフト共重合体としては、主鎖に窒素原子を含有する繰り返し単位を有するものが好ましい。中でも、下記式(I)で表される繰り返し単位及び/又は下記式(II)で表される繰り返し単位を有することが好ましい。   As the graft copolymer containing a nitrogen atom, those having a repeating unit containing a nitrogen atom in the main chain are preferred. Especially, it is preferable to have a repeating unit represented by the following formula (I) and / or a repeating unit represented by the following formula (II).

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(上記式(I)中、R11は、メチレン、エチレン、プロピレン等の直鎖状又は分岐状の炭素数1〜5のアルキレン基を表し、好ましくは炭素数2〜3であり、更に好ましくはエチレン基である。Aは水素原子又は下記式(III)〜(V)のいずれかを表すが、好ましくは式(III)である。) (In the above formula (I), R 11 represents a linear or branched alkylene group having 1 to 5 carbon atoms such as methylene, ethylene or propylene, preferably 2 to 3 carbon atoms, more preferably. An ethylene group, A represents a hydrogen atom or any one of the following formulas (III) to (V), preferably formula (III).

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(上記式(II)中、R11、Aは、式(I)のR11、Aと同義である。) (In the formula (II), R 11, A has the same meaning as R 11, A of formula (I).)

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(上記式(III)中、Wは炭素数2〜10の直鎖状又は分岐状のアルキレン基を表し、中でもブチレン、ペンチレン、ヘキシレン等の炭素数4〜7のアルキレン基が好ましい。sは1〜20の整数を表し、好ましくは5〜10の整数である。) (In the above formula (III), W 1 represents a linear or branched alkylene group having 2 to 10 carbon atoms, and among them, an alkylene group having 4 to 7 carbon atoms such as butylene, pentylene, hexylene and the like is preferable. Represents an integer of 1 to 20, preferably an integer of 5 to 10.)

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(上記式(IV)中、Yは2価の連結基を表し、中でもエチレン、プロピレン等の炭素数1〜4のアルキレン基とエチレンオキシ、プロピレンオキシ等の炭素数1〜4のアルキレンオキシ基が好ましい。Wはエチレン、プロピレン、ブチレン等の直鎖状又は分岐状の炭素数2〜10のアルキレン基を表し、中でもエチレン、プロピレン等の炭素数2〜3のアルキレン基が好ましい。Yは水素原子又はCO−R12(R12はエチル、プロピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル等の炭素数1〜10のアルキル基を表し、中でもエチル、プロピル、ブチル、ペンチル等の炭素数2〜5のアルキル基が好ましい)を表す。tは、1〜20の整数を表し、好ましくは5〜10の整数である。) (In the above formula (IV), Y 1 represents a divalent linking group, among which an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms such as ethylene and propylene and an alkyleneoxy group having 1 to 4 carbon atoms such as ethyleneoxy and propyleneoxy. preferably .W 2 represents ethylene, propylene, a linear or branched alkylene group having 2 to 10 carbon atoms butylene, among which ethylene, an alkylene group having 2 to 3 carbon atoms such as propylene preferred .Y 2 Represents a hydrogen atom or CO-R 12 (R 12 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms such as ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, etc., among them, those having 2 to 5 carbon atoms such as ethyl, propyl, butyl, pentyl, etc. An alkyl group is preferred.) T represents an integer of 1 to 20, preferably an integer of 5 to 10.)

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(上記式(V)中、Wは炭素数1〜50のアルキル基又は水酸基を1〜5有する炭素数1〜50のヒドロキシアルキル基を表し、中でもステアリル等の炭素数10〜20のアルキル基、モノヒドロキシステアリル等の水酸基を1〜2個有する炭素数10〜20のヒドロキシアルキル基が好ましい。) (In the above formula (V), W 3 represents an alkyl group having 1 to 50 carbon atoms or a hydroxyalkyl group having 1 to 50 carbon atoms having 1 to 5 hydroxyl groups, and in particular, an alkyl group having 10 to 20 carbon atoms such as stearyl. C1-C20 hydroxyalkyl groups having 1-2 hydroxyl groups such as monohydroxystearyl are preferred.)

本発明で用いる窒素原子を含有するグラフト共重合体における式(I)及び/又は(II)で表される繰り返し単位の含有率は、高い方が好ましく、通常50モル%以上であり、好ましくは70モル%以上である。式(I)で表される繰り返し単位と、式(II)で表される繰り返し単位の、両方を併有してもよく、その含有量に特に制限は無いが、好ましくは式(I)の繰り返し単位の方を多く含有していた方が好ましい。
式(I)及び/又は式(II)で表される繰り返し単位の一分子中の合計数は、通常1〜100、好ましくは10〜70、更に好ましくは20〜50である。
また、式(I)及び式(II)以外の繰り返し単位を含んでいてもよく、他の繰り返し単位としては、例えばアルキレン基、アルキレンオキシ基などが例示できる。
このグラフト共重合体は、その末端が−NH及び−R11−NH(R11は、前記式(I)におけるR11と同義)のものが好ましい。
The content of the repeating unit represented by the formula (I) and / or (II) in the graft copolymer containing a nitrogen atom used in the present invention is preferably higher, usually 50 mol% or more, preferably It is 70 mol% or more. The repeating unit represented by the formula (I) and the repeating unit represented by the formula (II) may both be present, and the content thereof is not particularly limited. It is preferable to contain a larger number of repeating units.
The total number of repeating units represented by the formula (I) and / or the formula (II) in one molecule is usually 1 to 100, preferably 10 to 70, more preferably 20 to 50.
Moreover, repeating units other than formula (I) and formula (II) may be included, and examples of other repeating units include an alkylene group and an alkyleneoxy group.
The graft copolymer, the end -NH 2 and -R 11 -NH 2 (R 11 is, R 11 as defined in the formula (I)) that are preferred.

尚、この窒素原子を含有するグラフト共重合体は、グラフト共重合体であれば、主鎖が直鎖状であっても分岐していてもよい。   In addition, if the graft copolymer containing this nitrogen atom is a graft copolymer, the main chain may be linear or branched.

本発明に係る窒素原子を含有するグラフト共重合体のアミン価は、通常5〜100mg−KOH/gであり、好ましくは10〜70mg−KOH/gであり、更に好ましくは15〜40mg−KOH/g以下である。アミン価が低すぎると分散安定性が低下し、粘度が不安定になることがあり、逆に高すぎると残渣が増加したり、液晶パネルを形成した後の電気特性が低下することがある。   The amine value of the graft copolymer containing a nitrogen atom according to the present invention is usually 5 to 100 mg-KOH / g, preferably 10 to 70 mg-KOH / g, and more preferably 15 to 40 mg-KOH / g. g or less. If the amine value is too low, the dispersion stability may decrease and the viscosity may become unstable. Conversely, if the amine value is too high, the residue may increase or the electrical characteristics after the liquid crystal panel is formed may deteriorate.

また、上記窒素原子を含有するグラフト共重合体のMWは、3000〜100000が好ましく、5000〜50000が特に好ましい。MWが3000未満であると、顔料の凝集を防ぐことができず、高粘度化ないしはゲル化してしまうことがあり、100000を超えるとそれ自体が高粘度となり、また有機溶媒への溶解性が不足するため好ましくない。   In addition, the MW of the graft copolymer containing a nitrogen atom is preferably 3000 to 100,000, particularly preferably 5000 to 50000. If the MW is less than 3000, the aggregation of the pigment cannot be prevented and the viscosity or gelation may occur. If it exceeds 100,000, the viscosity itself becomes high and the solubility in an organic solvent is insufficient. Therefore, it is not preferable.

上記窒素原子を含有するグラフト共重合体の合成方法は、公知の方法が採用でき、例えば特公昭63−30057号公報に記載の方法を用いることができる。
本発明においては、上述のものと同様の構造を有する市販のグラフト共重合体を適用することもできる。
As a method for synthesizing the graft copolymer containing a nitrogen atom, a known method can be adopted, and for example, a method described in JP-B-63-30057 can be used.
In the present invention, a commercially available graft copolymer having the same structure as described above can also be applied.

[5−2−2]アクリル系ブロック共重合体
アクリル系ブロック共重合体は、本発明に用いられる遮光性顔料を極めて効率よく分散しうる点で好ましい。その理由は明らかではないが、分子配列が制御されていることにより、分散剤が顔料に吸着する際に障害となる構造が少ないためと推察される。アクリル系ブロック共重合体としては、側鎖に4級アンモニウム塩基及び/又はアミノ基を有するAブロックと、4級アンモニウム塩基及び/又はアミノ基を有さないBブロックとからなる、A−Bブロック共重合体及び/又はB−A−Bブロック共重合体が好ましい。
[5-2-2] Acrylic Block Copolymer An acrylic block copolymer is preferable in that it can disperse the light-shielding pigment used in the present invention very efficiently. The reason is not clear, but it is presumed that because the molecular arrangement is controlled, there are few structures that obstruct the dispersing agent when adsorbed on the pigment. As an acrylic block copolymer, an AB block comprising an A block having a quaternary ammonium base and / or amino group in a side chain and a B block having no quaternary ammonium base and / or amino group. Copolymers and / or B-A-B block copolymers are preferred.

アクリル系ブロック共重合体のブロック共重合体を構成するAブロックは、4級アンモニウム塩基及び/又はアミノ基を有する。   The A block constituting the block copolymer of the acrylic block copolymer has a quaternary ammonium base and / or an amino group.

4級アンモニウム塩基は、好ましくは−N212223・M(但し、R21、R22及びR23は、各々独立に、水素原子、又は置換されていてもよい環状若しくは鎖状の炭化水素基を表す。或いは、R21、R22及びR23のうち2つ以上が互いに結合して、環状構造を形成していてもよい。Mは、対アニオンを表す。)で表される4級アンモニウム塩基を有する。この4級アンモニウム塩基は、直接主鎖に結合していてもよいが、2価の連結基を介して主鎖に結合していてもよい。 The quaternary ammonium base is preferably —N + R 21 R 22 R 23 .M (wherein R 21 , R 22 and R 23 are each independently a hydrogen atom, or an optionally substituted cyclic or chain) Or two or more of R 21 , R 22 and R 23 may be bonded to each other to form a cyclic structure, and M represents a counter anion). It has the quaternary ammonium base represented. The quaternary ammonium base may be directly bonded to the main chain, but may be bonded to the main chain via a divalent linking group.

−N212223において、R21、R22及びR23のうち2つ以上が互いに結合して形成する環状構造としては、例えば5〜7員環の含窒素複素環単環又はこれらが2個縮合してなる縮合環が挙げられる。該含窒素複素環は芳香性を有さないものが好ましく、飽和環であればより好ましい。具体的には、例えば下記のものが挙げられる。これらの環状構造は、更に置換基を有していてもよい。 In -N + R 21 R 22 R 23 , as a cyclic structure formed by combining two or more of R 21 , R 22 and R 23 with each other, for example, a 5- to 7-membered nitrogen-containing heterocyclic monocycle or A condensed ring formed by condensing two of these may be mentioned. The nitrogen-containing heterocycle preferably has no aromaticity, more preferably a saturated ring. Specific examples include the following. These cyclic structures may further have a substituent.

Figure 2009075446
(上記式中、RはR21〜R23のうち何れかの基を表す。)
Figure 2009075446
(In the above formula, R represents any group of R 21 to R 23. )

−N212223におけるR21〜R23として、より好ましいのは、置換基を有していてもよい炭素数1〜3のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基、又は置換基を有していてもよいベンジル基である。 As R 21 to R 23 in -N + R 21 R 22 R 23 , more preferably it may have an alkyl group, or a substituent having carbon atoms of 1 to 3 may have a substituent It is a phenyl group or a benzyl group which may have a substituent.

Aブロックとしては、特に、下記一般式(VI)で表される部分構造を含有するものが好ましい。   As the A block, those containing a partial structure represented by the following general formula (VI) are particularly preferable.

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(上記式(VI)中、R21、R22、R23は各々独立に、水素原子、又は置換されていてもよい環状若しくは鎖状の炭化水素基を表す。或いは、R21、R22及びR23のうち2つ以上が互いに結合して、環状構造を形成していてもよい。R24は、水素原子又はメチル基を表す。Xは、2価の連結基を表し、Mは、対アニオンを表す。) (In the above formula (VI), R 21 , R 22 and R 23 each independently represents a hydrogen atom or an optionally substituted cyclic or chain hydrocarbon group. Alternatively, R 21 , R 22 and Two or more of R 23 may be bonded to each other to form a cyclic structure, R 24 represents a hydrogen atom or a methyl group, X represents a divalent linking group, and M represents Represents a counter anion.)

上記一般式(VI)において、R21、R22、R23の炭化水素基は、それぞれ独立して、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基を有する置換基が好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ベンジル基、フェニル基等を挙げることができる。中でもメチル基、エチル基、プロピル基、ベンジル基が好ましい。 In the general formula (VI), the hydrocarbon groups of R 21 , R 22 and R 23 are each independently a substituent having an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms. preferable. Specific examples include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a benzyl group, and a phenyl group. Of these, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a benzyl group are preferable.

上記一般式(VI)において、2価の連結基Xとしては、例えば、炭素数1〜10のアルキレン基、アリーレン基、−CONH−R25−、−COO−R26−(但し、R25及びR26は、直接結合、炭素数1〜10のアルキレン基、又は炭素数1〜10のエーテル基(−R27−O−R28−:R27及びR28は、各々独立にアルキレン基)を表す。)等が挙げられ、好ましくは−COO−R26−である。 In the general formula (VI), examples of the divalent linking group X include, for example, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, an arylene group, —CONH—R 25 —, —COO—R 26 — (provided that R 25 and R 26 represents a direct bond, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, or an ether group having 1 to 10 carbon atoms (—R 27 —O—R 28 —: R 27 and R 28 are each independently an alkylene group). And the like, and preferably —COO—R 26 —.

また、対アニオンのMとしては、Cl、Br、I、ClO 、BF 、CHCOO、PF 等が挙げられる。 Examples of the counter anion M include Cl , Br , I , ClO 4 , BF 4 , CH 3 COO , and PF 6 .

アミノ基は、好ましくは−NR3132(但し、R31及びR32は、各々独立に、置換基を有していてもよい環状又は鎖状のアルキル基、置換基を有していてもよいアリル基、又は置換基を有していてもよいアラルキル基を表す。)で表され、更に好ましくは、下記式(VII)で表されるアミノ基が挙げられる。 The amino group is preferably —NR 31 R 32 (wherein R 31 and R 32 each independently have a cyclic or chain-like alkyl group which may have a substituent, or a substituent. A preferable allyl group or an aralkyl group which may have a substituent.), And an amino group represented by the following formula (VII) is more preferable.

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(但し、R31及びR32は、上記のR31及びR32と同義であり、R33は炭素数1以上のアルキレン基を表し、R34は水素原子又はメチル基を表す。) (However, R 31 and R 32 has the same meaning as above R 31 and R 32, R 33 represents one or more alkylene groups having a carbon number, R 34 represents a hydrogen atom or a methyl group.)

中でも、R31及びR32はメチル基が好ましく、R33はメチレン基、エチレン基が好ましく、R34は水素原子であるのが好ましい。このような化合物として下記式(VII-a)で表される置換基が挙げられる。 Among them, R 31 and R 32 are preferably methyl groups, R 33 is preferably a methylene group and an ethylene group, and R 34 is preferably a hydrogen atom. Examples of such a compound include a substituent represented by the following formula (VII-a).

Figure 2009075446
Figure 2009075446

上記の如き特定の4級アンモニウム塩基及び/又はアミノ基を含有する部分構造は、1つのAブロック中に2種以上含有されていてもよい。その場合、2種以上の4級アンモニウム塩基及び/又はアミノ基含有部分構造は、該Aブロック中においてランダム共重合又はブロック共重合の何れの態様で含有されていてもよい。また、該4級アンモニウム塩基及び/又はアミノ基を含有しない部分構造が、Aブロック中に含まれていてもよく、該部分構造の例としては、後述の(メタ)アクリル酸エステル系モノマー由来の部分構造等が挙げられる。   Two or more kinds of partial structures containing the specific quaternary ammonium base and / or amino group as described above may be contained in one A block. In that case, two or more quaternary ammonium bases and / or amino group-containing partial structures may be contained in the A block in any form of random copolymerization or block copolymerization. Moreover, the partial structure which does not contain this quaternary ammonium base and / or amino group may be contained in A block, As an example of this partial structure, it is derived from the below-mentioned (meth) acrylic acid ester monomer. Examples include partial structures.

かかる4級アンモニウム塩基及び/又はアミノ基を含まない部分構造の、Aブロック中の含有量は、好ましくは0〜50重量%、より好ましくは0〜20重量%であるが、かかる4級アンモニウム塩基及び/又はアミノ基非含有部分構造はAブロック中に含まれないことが最も好ましい。   The content of such a quaternary ammonium base and / or a partial structure not containing an amino group in the A block is preferably 0 to 50% by weight, more preferably 0 to 20% by weight. Most preferably, the amino group-free partial structure is not contained in the A block.

一方、アクリル系ブロック共重合体を構成するBブロックとしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン系モノマー;(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、グリシジル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、エチルアクリル酸グリシジル、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸エステル系モノマー;(メタ)アクリル酸クロライドなどの(メタ)アクリル酸塩系モノマー;(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノエチルアクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド系モノマー;酢酸ビニル;アクリロニトリル;アリルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジルエーテル;N−メタクリロイルモルホリン、などのコモノマーを共重合させたポリマー構造が挙げられる。   On the other hand, as the B block constituting the acrylic block copolymer, for example, styrene monomers such as styrene and α-methylstyrene; methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate (propyl) (meth) acrylate, Isopropyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, ethyl (Meth) acrylic acid ester monomers such as glycidyl acrylate and N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate; (meth) acrylate monomers such as (meth) acrylic acid chloride; (meth) acrylamide, N- Methylolacrylamide, , N-dimethylacrylamide, (meth) acrylamide monomers such as N, N-dimethylaminoethylacrylamide; vinyl acetate; acrylonitrile; allyl glycidyl ether, crotonic acid glycidyl ether; and N-methacryloylmorpholine Examples include polymer structures.

Bブロックは、特に下記式(VIII)で表される、(メタ)アクリル酸エステル系モノマー由来の部分構造であることが好ましい。   The B block is preferably a partial structure derived from a (meth) acrylate monomer represented by the following formula (VIII).

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(上記式(VIII)中、R41は、水素原子又はメチル基を表す。R42は、置換基を有していてもよい環状又は鎖状のアルキル基、置換基を有していてもよいアリル基、又は置換基を有していてもよいアラルキル基を表す。) (In the above formula (VIII), R 41 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 42 may have a cyclic or chain alkyl group which may have a substituent, or a substituent. Represents an allyl group or an aralkyl group which may have a substituent.)

上記(メタ)アクリル酸エステル系モノマー由来の部分構造は、1つのBブロック中に2種以上含有されていてもよい。もちろん該Bブロックは、更にこれら以外の部分構造を含有していてもよい。2種以上のモノマー由来の部分構造が、4級アンモニウム塩基を含有しないBブロック中に存在する場合、各部分構造は該Bブロック中においてランダム共重合又はブロック共重合の何れの態様で含有されていてもよい。   Two or more kinds of the partial structure derived from the (meth) acrylic acid ester monomer may be contained in one B block. Of course, the B block may further contain a partial structure other than these. When a partial structure derived from two or more monomers is present in a B block that does not contain a quaternary ammonium base, each partial structure is contained in the B block in any form of random copolymerization or block copolymerization. May be.

Bブロック中に上記(メタ)アクリル酸エステル系モノマー由来の部分構造以外の部分構成を含有する場合、当該(メタ)アクリル酸エステル系モノマー以外の部分構造の、Bブロック中の含有量は、好ましくは0〜99重量%、より好ましくは0〜85重量%である。   When the B block contains a partial structure other than the partial structure derived from the (meth) acrylate monomer, the content in the B block of the partial structure other than the (meth) acrylate monomer is preferably Is 0 to 99% by weight, more preferably 0 to 85% by weight.

本発明で用いるアクリル系分散剤は、このようなAブロックとBブロックとからなる、A−Bブロック又はB−A−Bブロック共重合型高分子化合物であるが、このようなブロック共重合体は、例えば以下に示すリビング重合法にて調製される。   The acrylic dispersant used in the present invention is an AB block or a B-A-B block copolymer type polymer compound composed of such an A block and a B block, and such a block copolymer. Is prepared, for example, by the living polymerization method shown below.

リビング重合法にはアニオンリビング重合法、カチオンリビング重合法、ラジカルリビング重合法がある。アニオンリビング重合法は、重合活性種がアニオンであり、例えば下記スキームで示される。   The living polymerization method includes an anion living polymerization method, a cation living polymerization method, and a radical living polymerization method. In the anion living polymerization method, the polymerization active species is an anion, for example, shown in the following scheme.

Figure 2009075446
Figure 2009075446

ラジカルリビング重合法は重合活性種がラジカルであり、例えば下記スキームで示される。   In the radical living polymerization method, the polymerization active species is a radical, and is represented by the following scheme, for example.

Figure 2009075446
Figure 2009075446

Figure 2009075446
Figure 2009075446

このようなアクリル系ブロック共重合体を合成するに際しては、特開昭60−89452号公報や、特開平9−62002号公報、P.Lutz,P.Masson et al,Polym.Bull.12,79(1984),B.C.Anderson,G.D.Andrews et al,Macromolecules,14,1601(1981),K.Hatada,K.Ute,et al,Polym.J.17,977(1985),18,1037(1986),右手浩一、畑田耕一、高分子加工、36、366(1987),東村敏延、沢本光男、高分子論文集、46、189(1989),M.Kuroki,T.Aida,J.Am.Chem.Sic,109,4737 (1987),相田卓三、井上祥平、有機合成化学、43,300(1985),D.Y.Sogoh,W.R.Hertler et al,Macromolecules,20,1473(1987)、,K.Matyaszewski et al,Chem.Rev.2001,101,2921-2990などに記載の公知の方法を採用することができる。   In synthesizing such an acrylic block copolymer, JP-A-60-89452, JP-A-9-62002, p. Lutz, P.A. Masson et al, Polym. Bull. 12, 79 (1984), B.R. C. Anderson, G. D. Andrews et al, Macromolecules, 14, 1601 (1981), K.A. Hatada, K. Ute, et al, Polym. J. 17, 977 (1985), 18, 1037 (1986), Koichi Right-hand, Koichi Hatada, Polymer Processing, 36, 366 (1987), Toshinobu Higashimura, Mitsuo Sawamoto, Polymer Journal, 46, 189 (1989), M. Kuroki, T. Aida, J.A. Am. Chem. Sic, 109, 4737 (1987), Takuzo Aida, Shohei Inoue, Synthetic Organic Chemistry, 43, 300 (1985), D.C. Y. Sogoh, W. R. Hertler et al, Macromolecules, 20, 1473 (1987), K. Matyaszewski et al, Chem. Known methods described in Rev. 2001, 101, 2921-2990, etc. can be employed.

また、本発明に係るA−Bブロック共重合体、B−A−Bブロック共重合体1g中の4級アンモニウム塩基の量は、通常0.1〜10mmolであることが好ましく、この範囲外では、良好な耐熱性と分散性を兼備することができない場合がある。
なお、このようなブロック共重合体中には、通常、製造過程で生じたアミノ基が含有さ
れる場合があるが、そのアミン価は1〜100mg−KOH/g程度である。なお、アミ
ン価は、塩基性アミノ基を酸により中和滴定し、酸価に対応させてKOHのmg数で表した値である。
In addition, the amount of the quaternary ammonium base in 1 g of the AB block copolymer and the BAB block copolymer according to the present invention is preferably 0.1 to 10 mmol, and outside this range. In some cases, good heat resistance and dispersibility cannot be combined.
Such a block copolymer usually contains an amino group produced in the production process, but its amine value is about 1 to 100 mg-KOH / g. The amine value is a value expressed in mg of KOH corresponding to the acid value after neutralization titration of a basic amino group with an acid.

このようなアクリル系ブロック共重合体の酸価は、該酸価の元となる酸性基の有無及び種類にもよるが、一般に低い方が好ましく、通常100mg−KOH/g以下である。
また、アクリル系ブロック共重合体のMWは、通常1000以上、100,000以下の範囲である。アクリル系ブロック共重合体の分子量が小さすぎると分散安定性が低下し、大きすぎると現像性、解像性が低下する傾向にある。
The acid value of such an acrylic block copolymer depends on the presence and type of the acid group that is the basis of the acid value, but is generally preferably lower and is usually 100 mg-KOH / g or less.
The MW of the acrylic block copolymer is usually in the range of 1000 or more and 100,000 or less. When the molecular weight of the acrylic block copolymer is too small, the dispersion stability decreases, and when it is too large, the developability and resolution tend to decrease.

本発明においては、上述のものと同様の構造を有する市販のアクリル系ブロック共重合体を適用することもできる。   In the present invention, a commercially available acrylic block copolymer having the same structure as described above can also be applied.

[5−2−3]特定の化合物を必須とする単量体成分を重合してなるポリマー
特定の化合物を必須とする単量体成分を重合してなるポリマーとは、下記式(X)で表される化合物を必須とする単量体成分を重合してなるポリマー(以下「ポリマー(X)」と称す。)をいう。
以下、このポリマー(X)について説明する。
[5-2-3] Polymer formed by polymerizing monomer component essential to specific compound The polymer formed by polymerizing monomer component essential to a specific compound is represented by the following formula (X). It refers to a polymer obtained by polymerizing a monomer component essentially comprising the represented compound (hereinafter referred to as “polymer (X)”).
Hereinafter, the polymer (X) will be described.

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(式(X)中、R51及びR52は、それぞれ独立して、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基を表す。) (In formula (X), R 51 and R 52 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms which may have a substituent.)

上記エーテルダイマーを示す一般式(X)中、R51及びR52で表される置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基としては、特に制限はないが、例えば、メチル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、n−ブチル、イソブチル、t−ブチル、t−アミル、ステアリル、ラウリル、2−エチルヘキシル等の直鎖状又は分岐状のアルキル基;フェニル等のアリール基;シクロヘキシル、t−ブチルシクロヘキシル、ジシクロペンタジエニル、トリシクロデカニル、イソボルニル、アダマンチル、2−メチル−2−アダマンチル等の脂環式基;1−メトキシエチル、1−エトキシエチル等のアルコキシで置換されたアルキル基;ベンジル等のアリール基で置換されたアルキル基;等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル、エチル、シクロヘキシル、ベンジル等のような酸や熱で脱離しにくい1級又は2級炭素の置換基が耐熱性の点で好ましい。なお、R51及びR52は、同種の置換基であってもよいし、異なる置換基であってもよい。 In the general formula (X) showing the ether dimer, the hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms which may have a substituent represented by R 51 and R 52 is not particularly limited. Linear or branched alkyl groups such as methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, t-butyl, t-amyl, stearyl, lauryl, 2-ethylhexyl; aryl groups such as phenyl; cyclohexyl , Alicyclic groups such as t-butylcyclohexyl, dicyclopentadienyl, tricyclodecanyl, isobornyl, adamantyl and 2-methyl-2-adamantyl; substituted with alkoxy such as 1-methoxyethyl and 1-ethoxyethyl An alkyl group substituted with an aryl group such as benzyl; and the like. Among these, an acid such as methyl, ethyl, cyclohexyl, benzyl or the like, or a primary or secondary carbon substituent which is difficult to be removed by heat is preferable from the viewpoint of heat resistance. R 51 and R 52 may be the same type of substituent or different substituents.

前記エーテルダイマーの具体例としては、例えば、ジメチル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジエチル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(n−プロピル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(イソプロピル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(n−ブチル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(イソブチル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(t−ブチル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(t−アミル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(ステアリル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(ラウリル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(2−エチルヘキシル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(1−メトキシエチル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(1−エトキシエチル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジベンジル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジフェニル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジシクロヘキシル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(t−ブチルシクロヘキシル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(ジシクロペンタジエニル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(トリシクロデカニル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(イソボルニル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジアダマンチル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(2−メチル−2−アダマンチル)−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート等が挙げられる。これらの中でも特に、ジメチル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジエチル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジシクロヘキシル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジベンジル−2,2′−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエートが好ましい。これらエーテルダイマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。   Specific examples of the ether dimer include, for example, dimethyl-2,2 ′-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, diethyl-2,2 ′-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, (N-propyl) -2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (isopropyl) -2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (n-butyl) ) -2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (isobutyl) -2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (t-butyl) -2, 2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (t-amyl) -2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propeno , Di (stearyl) -2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (lauryl) -2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (2 -Ethylhexyl) -2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (1-methoxyethyl) -2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (1- Ethoxyethyl) -2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, dibenzyl-2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, diphenyl-2,2 '-[oxybis ( Methylene)] bis-2-propenoate, dicyclohexyl-2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (t- Tilcyclohexyl) -2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (dicyclopentadienyl) -2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (tri Cyclodecanyl) -2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (isobornyl) -2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, diadamantyl-2,2 Examples include '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, di (2-methyl-2-adamantyl) -2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, and the like. Among these, dimethyl-2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, diethyl-2,2'-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate, dicyclohexyl-2,2'- [Oxybis (methylene)] bis-2-propenoate and dibenzyl-2,2 ′-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate are preferred. These ether dimers may be only one kind or two or more kinds.

前記ポリマー(X)を得る際の単量体成分中における前記エーテルダイマーの割合は、特に制限されないが、全単量体成分中2〜60重量%、好ましくは5〜55重量%、さらに好ましくは5〜50重量%であるのがよい。エーテルダイマーの量が多すぎると、重合の際、低分子量のものを得ることが困難になったり、あるいはゲル化し易くなったりするおそれがあり、一方、少なすぎると、透明性や耐熱性などの塗膜性能が不充分となるおそれがある。   The proportion of the ether dimer in the monomer component in obtaining the polymer (X) is not particularly limited, but is 2 to 60% by weight, preferably 5 to 55% by weight, more preferably, in all monomer components. It should be 5 to 50% by weight. If the amount of the ether dimer is too large, it may be difficult to obtain a low molecular weight product during polymerization, or may be easily gelled. On the other hand, if the amount is too small, the transparency, heat resistance, etc. There is a possibility that the performance of the coating film becomes insufficient.

前記ポリマー(X)は、酸基を有するポリマーであることが好ましい。これにより、得られる感光性樹脂組成物は、酸基とエポキシ基が反応してエステル結合が生じることを利用した架橋反応(以下、「酸−エポキシ硬化」と略する)が可能な硬化性樹脂組成物、あるいは未硬化部をアルカリ現像液で顕像可能な組成物、とすることができる。前記酸基としては、特に制限されないが、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、カルボン酸無水物基等が挙げられる。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。   The polymer (X) is preferably a polymer having an acid group. Thus, the resulting photosensitive resin composition is a curable resin capable of a crosslinking reaction (hereinafter abbreviated as “acid-epoxy curing”) utilizing the fact that an ester bond is formed by the reaction of an acid group and an epoxy group. A composition or a composition in which an uncured part can be visualized with an alkali developer can be used. The acid group is not particularly limited, and examples thereof include a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, and a carboxylic anhydride group. These acid groups may be used alone or in combination of two or more.

前記ポリマー(X)に酸基を導入するには、例えば、酸基を有するモノマー及び/又は重合後に酸基を付与しうるモノマー(以下「酸基を導入するための単量体」と称することもある。)を、単量体成分として重合するようにすればよい。なお、重合後に酸基を付与しうるモノマーを単量体成分として酸基を導入する場合には、重合後に例えば後述するような酸基を付与するための処理が必要となる。   In order to introduce an acid group into the polymer (X), for example, a monomer having an acid group and / or a monomer capable of imparting an acid group after polymerization (hereinafter referred to as “monomer for introducing an acid group”). May be polymerized as a monomer component. In addition, when introducing an acid group using a monomer capable of imparting an acid group after polymerization as a monomer component, for example, a treatment for imparting an acid group as described later is required after the polymerization.

前記酸基を有するモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー、N−ヒドロキシフェニルマレイミド等のフェノール性水酸基を有するモノマー、無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられるが、これらの中でも特に、(メタ)アクリル酸が好ましい。
前記重合後に酸基を付与しうるモノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、2−イソシアナートエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。
これら酸基を導入するための単量体は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
Examples of the monomer having an acid group include a monomer having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid and itaconic acid, a monomer having a phenolic hydroxyl group such as N-hydroxyphenylmaleimide, maleic anhydride, and itaconic anhydride. Although the monomer etc. which have a carboxylic anhydride group are mentioned, Especially, (meth) acrylic acid is preferable among these.
Examples of the monomer capable of imparting an acid group after the polymerization include a monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, a monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, and 2-isocyanatoethyl (meta ) Monomers having an isocyanate group such as acrylate.
These monomers for introducing an acid group may be only one type or two or more types.

前記ポリマー(X)を得る際の単量体成分が前記酸基を導入するための単量体をも含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中5〜70重量%、好ましくは10〜60重量%であるのがよい。
前記ポリマー(X)は、ラジカル重合性二重結合を有するポリマーであってもよい。
When the monomer component for obtaining the polymer (X) also includes a monomer for introducing the acid group, the content ratio is not particularly limited, but is 5 to 70% by weight in the total monomer components. %, Preferably 10 to 60% by weight.
The polymer (X) may be a polymer having a radical polymerizable double bond.

前記ポリマー(X)にラジカル重合性二重結合を導入するには、例えば、重合後にラジカル重合性二重結合を付与しうるモノマー(以下「ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体」と称することもある。)を、単量体成分として重合した後に、後述するようなラジカル重合性二重結合を付与するための処理を行えばよい。
前記ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体としては、例えば、(メタ)アクリル酸、イタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー;グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−(又はm−、又はp−)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマー;等が挙げられる。これらラジカル重合性二重結合を導入するための単量体は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
In order to introduce a radical polymerizable double bond into the polymer (X), for example, a monomer capable of imparting a radical polymerizable double bond after polymerization (hereinafter referred to as “monomer for introducing a radical polymerizable double bond”). )) As a monomer component, and then a treatment for imparting a radical polymerizable double bond as described later may be performed.
Examples of the monomer for introducing the radical polymerizable double bond include a monomer having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid and itaconic acid; and a carboxylic acid anhydride group such as maleic anhydride and itaconic anhydride. A monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m-, or p-) vinylbenzyl glycidyl ether, and the like. The monomer for introducing these radical polymerizable double bonds may be only one kind or two or more kinds.

前記ポリマー(X)を得る際の単量体成分が前記ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体をも含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中5〜70重量%、好ましくは10〜60重量%であるのがよい。   When the monomer component in obtaining the polymer (X) also includes a monomer for introducing the radical polymerizable double bond, the content ratio is not particularly limited, 5 to 70% by weight, preferably 10 to 60% by weight.

ポリマー(X)は、エポキシ基を有するポリマーであることが好ましい。
前記ポリマー(X)にエポキシ基を導入するには、例えば、エポキシ基を有するモノマー(以下「エポキシ基を導入するための単量体」と称することもある。)を、単量体成分として重合すればよい。
The polymer (X) is preferably a polymer having an epoxy group.
In order to introduce an epoxy group into the polymer (X), for example, a monomer having an epoxy group (hereinafter also referred to as “monomer for introducing an epoxy group”) is polymerized as a monomer component. do it.

前記エポキシ基を導入するための単量体としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−(又はm−、又はp−)ビニルベンジルグリシジルエーテル等が挙げられる。これらエポキシ基を導入するための単量体は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
前記ポリマー(X)を得る際の単量体成分が前記エポキシ基を導入するための単量体をも含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中5〜70重量%、好ましくは10〜60重量%であるのがよい。
Examples of the monomer for introducing the epoxy group include glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m-, or p-) vinylbenzyl glycidyl ether, and the like. Is mentioned. These monomers for introducing an epoxy group may be only one kind or two or more kinds.
When the monomer component for obtaining the polymer (X) also includes a monomer for introducing the epoxy group, the content ratio is not particularly limited, but is 5 to 70% by weight in the total monomer components. %, Preferably 10 to 60% by weight.

前記ポリマー(X)を得る際の単量体成分は、必須成分である前記一般式(X)で表されるエーテルダイマーと、前述した酸基を導入するための単量体、ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体、エポキシ基を導入するための単量体とのほかに、必要に応じて、他の共重合可能なモノマーを含んでいてもよい。
前記他の共重合可能なモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸メチル2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル等の(メタ)アクリル酸エステル類;スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物;N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等のN−置換マレイミド類;ブタジエン、イソプレン等のブタジエン又は置換ブタジエン化合物;エチレン、プロピレン、塩化ビニル、アクリロニトリル等のエチレン又は置換エチレン化合物;酢酸ビニル等のビニルエステル類;等が挙げられる。これらの中でも、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ベンジル、スチレンが、透明性が良好で、耐熱性を損ないにくい点で好ましい。これら共重合可能な他のモノマーは、1種のみ用いても2種以上を併用してもよい。
The monomer component for obtaining the polymer (X) includes the ether dimer represented by the general formula (X), which is an essential component, the monomer for introducing the acid group described above, and a radically polymerizable monomer. In addition to the monomer for introducing a heavy bond and the monomer for introducing an epoxy group, other copolymerizable monomers may be included as required.
Examples of the other copolymerizable monomers include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, and n- (meth) acrylate. Butyl, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, methyl 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-hydroxy (meth) acrylate (Meth) acrylic acid esters such as ethyl; aromatic vinyl compounds such as styrene, vinyltoluene and α-methylstyrene; N-substituted maleimides such as N-phenylmaleimide and N-cyclohexylmaleimide; butadienes such as butadiene and isoprene Or substituted butadiene compounds; ethylene, propylene, vinyl chloride Le, ethylene or substituted ethylene compound such as acrylonitrile, vinyl esters such as vinyl acetate; and the like. Among these, methyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, and styrene are preferable in terms of good transparency and resistance to heat resistance. These other copolymerizable monomers may be used alone or in combination of two or more.

また、特にポリマー(X)を分散剤として用いる場合は、他のモノマーとして(メタ)アクリル酸ベンジルを用いることが好ましく、その場合、(メタ)アクリル酸ベンジルの割合は前記ポリマー(X)を得るための全単量体成分中1〜70重量%、好ましくは5〜60重量%であるのがよい。   In particular, when the polymer (X) is used as a dispersant, it is preferable to use benzyl (meth) acrylate as another monomer. In this case, the proportion of benzyl (meth) acrylate gives the polymer (X). 1 to 70% by weight, preferably 5 to 60% by weight, based on all monomer components.

前記ポリマー(X)を得る際の単量体成分が前記共重合可能な他のモノマーを含む場合、その含有割合は特に制限されないが、全単量体成分中95重量%以下が好ましく、85重量%以下であるのがより好ましい。
前記ポリマー(X)は、少なくとも前記一般式(X)で表されるエーテルダイマーを必須とする前記単量体成分を重合することにより、容易に得ることができる。このとき、重合と同時にエーテルダイマーの環化反応が進行してテトラヒドロフラン環構造が形成されることとなる。
When the monomer component for obtaining the polymer (X) includes the other copolymerizable monomer, the content ratio is not particularly limited, but is preferably 95% by weight or less in the total monomer component, and 85% by weight. % Or less is more preferable.
The polymer (X) can be easily obtained by polymerizing the monomer component having at least the ether dimer represented by the general formula (X). At this time, the cyclization reaction of the ether dimer proceeds simultaneously with the polymerization to form a tetrahydrofuran ring structure.

前記ポリマー(X)を得る際の前記単量体成分の重合反応の方法としては、特に制限はなく、従来公知の各種重合方法を採用することができるが、特に、溶液重合法によることが好ましい。なお、重合温度や重合濃度(重合濃度=[単量体成分の全重量/(単量体成分の全重量+溶媒重量)]×100とする)は、使用する単量体成分の種類や比率、目標とするポリマーの分子量によって異なるが、好ましくは、重合温度40〜150℃、重合濃度5〜50%とするのがよく、さらに好ましくは、重合温度60〜130℃、重合濃度10〜40%とするのがよい。   The method for the polymerization reaction of the monomer component in obtaining the polymer (X) is not particularly limited, and various conventionally known polymerization methods can be adopted, but it is particularly preferable to use a solution polymerization method. . The polymerization temperature and polymerization concentration (polymerization concentration = [total weight of monomer components / (total weight of monomer components + solvent weight)] × 100) are the types and ratios of the monomer components used. Depending on the molecular weight of the target polymer, the polymerization temperature is preferably 40 to 150 ° C. and the polymerization concentration is 5 to 50%, and more preferably, the polymerization temperature is 60 to 130 ° C. and the polymerization concentration is 10 to 40%. It is good to do.

前記ポリマー(X)を得る際の前記単量体成分の重合において溶媒を用いる場合には、溶媒として通常のラジカル重合反応で使用される溶媒を用いるようにすればよい。具体的には、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム;ジメチルスルホキシド;等が挙げられる。これら溶媒は、1種のみを用いても2種以上を併用してもよい。   When a solvent is used in the polymerization of the monomer component when obtaining the polymer (X), a solvent used in a normal radical polymerization reaction may be used as the solvent. Specifically, for example, ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, 3- Esters such as methoxybutyl acetate; alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and ethylbenzene; chloroform; dimethyl sulfoxide; Etc. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

前記ポリマー(X)を得る際の前記単量体成分を重合する際には、必要に応じて、通常用いられる重合開始剤を添加してもよい。重合開始剤としては特に限定されないが、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2′−アゾビス(イソブチロニトリル)、1,1′−アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、2,2′−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル2,2′−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等のアゾ化合物;が挙げられる。これら重合開始剤は、1種のみを用いても2種以上を併用してもよい。なお、開始剤の使用量は、用いる単量体の組み合わせや、反応条件、目標とするポリマーの分子量等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、ゲル化することなく重量平均分子量が数千〜数万のポリマーを得ることができる点で、全単量体成分に対して0.1〜15重量%、より好ましくは0.5〜10重量%とするのがよい。   When the monomer component for obtaining the polymer (X) is polymerized, a commonly used polymerization initiator may be added as necessary. Although it does not specifically limit as a polymerization initiator, For example, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, lauroyl peroxide, benzoyl peroxide, t-butylperoxyisopropyl carbonate, t-amyl Organic peroxides such as peroxy-2-ethylhexanoate and t-butylperoxy-2-ethylhexanoate; 2,2'-azobis (isobutyronitrile), 1,1'-azobis (cyclohexane Carbonitrile), 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), azo compounds such as dimethyl 2,2′-azobis (2-methylpropionate), and the like. These polymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. The amount of initiator used may be appropriately set according to the combination of monomers used, reaction conditions, target polymer molecular weight, etc., and is not particularly limited, but the weight average molecular weight without gelation. From the standpoint that several thousand to several tens of thousands of polymers can be obtained, the content is 0.1 to 15% by weight, more preferably 0.5 to 10% by weight, based on all monomer components.

また、前記ポリマー(X)を得る際の前記単量体成分を重合する際には、分子量調整のために、必要に応じて、通常用いられる連鎖移動剤を添加してもよい。連鎖移動剤としては、例えば、n−ドデシルメルカプタン、メルカプト酢酸、メルカプト酢酸メチル等のメルカプタン系連鎖移動剤、α−メチルスチレンダイマー等が挙げられるが、好ましくは、連鎖移動効果が高く、残存モノマーを低減でき、入手も容易な、n−ドデシルメルカプタン、メルカプト酢酸がよい。連鎖移動剤を使用する場合、その使用量は、用いる単量体の組み合わせや、反応条件、目標とするポリマーの分子量等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、ゲル化することなく重量平均分子量が数千〜数万のポリマーを得ることができる点で、全単量体成分に対して0.1〜15重量%、より好ましくは0.5〜10重量%とするのが好ましい。   Moreover, when polymerizing the monomer component for obtaining the polymer (X), a chain transfer agent that is usually used may be added as necessary for adjusting the molecular weight. Examples of the chain transfer agent include mercaptan chain transfer agents such as n-dodecyl mercaptan, mercaptoacetic acid and methyl mercaptoacetate, and α-methylstyrene dimer. Preferred are n-dodecyl mercaptan and mercaptoacetic acid, which can be reduced and easily obtained. When a chain transfer agent is used, the amount used may be appropriately set according to the combination of monomers used, reaction conditions, the molecular weight of the target polymer, etc., and is not particularly limited, but without gelation In terms of being able to obtain a polymer having a weight average molecular weight of several thousand to several tens of thousands, it is preferably 0.1 to 15% by weight, more preferably 0.5 to 10% by weight based on all monomer components. .

前記重合反応においては、エーテルダイマーの環化反応が同時に進行するものと考えられるが、このときのエーテルダイマーの環化率は必ずしも100モル%である必要はない。   In the polymerization reaction, it is considered that the cyclization reaction of the ether dimer proceeds simultaneously, but the cyclization rate of the ether dimer does not necessarily need to be 100 mol%.

前記ポリマー(X)を得る際に、単量体成分として、前述した重合後に酸基を付与しうるモノマーを用い、これによって酸基を導入する場合、重合後に酸基を付与するための処理を行う必要がある。
酸基を付与するための処理は、用いる酸基を付与しうるモノマーの種類によって異なるが、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのような水酸基を有するモノマーを用いた場合には、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させるようにすればよく、グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有するモノマーを用いた場合には、例えば、N−メチルアミノ安息香酸、N−メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加させるようにするか、もしくは、例えば(メタ)アクリル酸のような酸を付加させた後に生じた水酸基に、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させるようにすればよく、2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマーを用いた場合には、例えば、2−ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させるようにすればよい。
When obtaining the polymer (X), as a monomer component, the monomer that can give an acid group after polymerization described above is used, and when an acid group is introduced thereby, a treatment for adding an acid group after polymerization is performed. There is a need to do.
The treatment for imparting an acid group varies depending on the type of monomer that can impart an acid group to be used. For example, when a monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is used, for example, What is necessary is just to make it add acid anhydrides, such as a succinic anhydride, a tetrahydrophthalic anhydride, and a maleic anhydride, When using the monomer which has epoxy groups, such as glycidyl (meth) acrylate, Hydroxyl group formed after adding a compound having an amino group and an acid group such as N-methylaminobenzoic acid or N-methylaminophenol, or after adding an acid such as (meth) acrylic acid For example, an acid anhydride such as succinic acid anhydride, tetrahydrophthalic acid anhydride, maleic acid anhydride may be added. , In the case of using a monomer having an isocyanate group such as 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate may be, for example, so as to be added with a compound having a hydroxyl group and an acid group such as 2-hydroxybutyric acid.

前記ポリマー(X)を得る際に、単量体成分として、前述した重合後にラジカル重合性二重結合を付与しうるモノマーを用い、これによってラジカル重合性二重結合を導入する場合、重合後にラジカル重合性二重結合を付与するための処理を行う必要がある。
ラジカル重合性二重結合を付与するための処理は、用いるラジカル重合性二重結合を付与しうるモノマーの種類によって異なるが、例えば、(メタ)アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマーを用いた場合には、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−(又はm−、又はp−)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させるようにすればよく、無水マレイン酸や無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマーを用いた場合には、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させるようにすればよく、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−(又はm−、又はp−)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマーを用いた場合には、(メタ)アクリル酸等の酸基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させるようにすればよい。
When the polymer (X) is obtained, a monomer capable of imparting a radical polymerizable double bond after the above-described polymerization is used as a monomer component. It is necessary to perform a treatment for imparting a polymerizable double bond.
The treatment for imparting the radical polymerizable double bond varies depending on the type of monomer that can impart the radical polymerizable double bond to be used. For example, a monomer having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid or itaconic acid is used. When used, epoxy groups such as glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m-, or p-) vinylbenzyl glycidyl ether and radical polymerizable double bonds In the case of using a monomer having a carboxylic acid anhydride group such as maleic anhydride or itaconic anhydride, a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and a radical are added. A compound having a polymerizable double bond may be added, and glycidyl (meth) a When a monomer having an epoxy group such as relate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m-, or p-) vinylbenzylglycidyl ether is used, (meth) acrylic acid, etc. A compound having an acid group and a radical polymerizable double bond may be added.

前記ポリマー(X)のMWは、特に制限されないが、好ましくは2000〜200000、より好ましくは5000〜100000である。MWが200000を超える場合、高粘度となりすぎ塗膜を形成しにくくなり、一方、2000未満であると十分な耐熱性を発現しにくくなる傾向がある。   The MW of the polymer (X) is not particularly limited, but is preferably 2,000 to 200,000, more preferably 5,000 to 100,000. When the MW exceeds 200,000, the viscosity becomes too high to form a coating film, and when it is less than 2000, sufficient heat resistance tends to be hardly exhibited.

また、前記ポリマー(X)が酸基を有する場合には、酸価が、好ましくは30〜500mg−KOH/g、より好ましくは50〜400mg−KOH/gであるのがよい。ポリマー(X)の酸価が30mg−KOH/g未満の場合、アルカリ現像に適用することが難しくなり、500mg−KOH/gを超える場合、高粘度となりすぎ塗膜を形成しにくくなる傾向がある。   When the polymer (X) has an acid group, the acid value is preferably 30 to 500 mg-KOH / g, more preferably 50 to 400 mg-KOH / g. When the acid value of the polymer (X) is less than 30 mg-KOH / g, it becomes difficult to apply to alkali development, and when it exceeds 500 mg-KOH / g, the viscosity tends to be too high to form a coating film. .

尚、ポリマー(X)はそれ自体公知の化合物であり、例えば、特開2004−300203号公報及び特開2004−300204号公報に記載の化合物を挙げることができる。   The polymer (X) is a compound known per se, and examples thereof include compounds described in JP-A-2004-300203 and JP-A-2004-300204.

[5−3]分散剤及び/又は分散助剤の含有量
本発明において、分散剤及び/又は分散助剤の含有量は、遮光性感光性樹脂組成物の全固形分中の合計含有量として、通常1〜30重量%、好ましくは2〜25重量%である。分散剤及び/又は分散助剤の含有量が少な過ぎると、十分な分散性が得られず、多過ぎると相対的に他の成分の割合が減って光学濃度、感度、成膜性等が低下する。
[5-3] Content of dispersant and / or dispersion aid In the present invention, the content of the dispersant and / or dispersion aid is the total content in the total solid content of the light-sensitive photosensitive resin composition. The amount is usually 1 to 30% by weight, preferably 2 to 25% by weight. If the content of the dispersing agent and / or dispersing aid is too small, sufficient dispersibility cannot be obtained, and if it is too large, the proportion of other components is relatively reduced and the optical density, sensitivity, film formability, etc. are decreased. To do.

[6]その他の成分
本発明の遮光性感光性樹脂組成物には、上に挙げてきた成分の他に、さらに重合加速剤、増感色素、界面活性剤、光酸発生剤、架橋剤、密着性向上剤、可塑剤、保存安定剤、表面保護剤、有機カルボン酸、有機カルボン酸無水物、現像改良剤、熱重合防止剤等を含んでいてもよい。
[6] Other components In addition to the components listed above, the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention further includes a polymerization accelerator, a sensitizing dye, a surfactant, a photoacid generator, a crosslinking agent, An adhesion improver, a plasticizer, a storage stabilizer, a surface protective agent, an organic carboxylic acid, an organic carboxylic acid anhydride, a development improver, a thermal polymerization inhibitor and the like may be included.

[6−1]光酸発生剤
光酸発生剤とは、紫外線により酸を発生することができる化合物であり、露光を行った際に発生する酸の作用により、例えばメラミン化合物等架橋剤があることで架橋反応を進行させることとなる。係る光酸発生剤の中でも、溶解性、特に溶剤に対する溶解性が大きいものが好ましいものであり、例えば、ジフェニルヨードニウム、ジトリルヨードニウム、フェニル(p−アニシル)ヨードニウム、ビス(m−ニトロフェニル)ヨードニウム、ビス(p−tert−ブチルフェニル)ヨードニウム、ビス(p−クロロフェニル)ヨードニウム、ビス(n−ドデシル)ヨードニウム、p−イソブチルフェニル(p−トリル)ヨードニウム、p−イソプロピルフェニル(p−トリル)ヨードニウムなどのジアリールヨードニウム、あるいはトリフェニルスルホニウムなどのトリアリールスルホニウムのクロリド、ブロミド、あるいはホウフッ化塩、ヘキサフルオロフォスフェート塩、ヘキサフルオロアルセネート塩、芳香族スルホン酸塩、テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート塩等や、ジフェニルフェナシルスルホニウム(n−ブチル)トリフェニルボレート等のスルホニウム有機ホウ素錯体類、あるいは、2−メチル−4,6−ビストリクロロメチルトリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビストリクロロメチルトリアジンなどのトリアジン化合物等を挙げることができるがこの限りではない。
[6-1] Photoacid generator The photoacid generator is a compound capable of generating an acid by ultraviolet rays, and there is a crosslinking agent such as a melamine compound by the action of the acid generated upon exposure. As a result, the crosslinking reaction proceeds. Among such photoacid generators, those having high solubility, particularly solubility in a solvent are preferable. For example, diphenyliodonium, ditolyliodonium, phenyl (p-anisyl) iodonium, bis (m-nitrophenyl) iodonium. Bis (p-tert-butylphenyl) iodonium, bis (p-chlorophenyl) iodonium, bis (n-dodecyl) iodonium, p-isobutylphenyl (p-tolyl) iodonium, p-isopropylphenyl (p-tolyl) iodonium, etc. Diaryliodonium or triarylsulfonium chloride, bromide, borofluoride, hexafluorophosphate salt, hexafluoroarsenate salt, aromatic sulfonate salt, Sulfonium organic boron complexes such as kiss (pentafluorophenyl) borate salt, diphenylphenacylsulfonium (n-butyl) triphenyl borate, 2-methyl-4,6-bistrichloromethyltriazine, 2- (4 Examples include triazine compounds such as -methoxyphenyl) -4,6-bistrichloromethyltriazine, but are not limited thereto.

[6−2]架橋剤
本発明の遮光性感光性樹脂組成物には、さらに架橋剤を加えることができ、例えばメラミン又はグアナミン系の化合物を用いることができる。これら架橋剤としては、例えば、下記一般式(XI)で示されるメラミン又はグアナミン系の化合物を挙げることができる。
[6-2] Crosslinking agent A crosslinking agent can be further added to the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention. For example, a melamine or guanamine-based compound can be used. Examples of these crosslinking agents include melamine or guanamine compounds represented by the following general formula (XI).

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(式中、R61は基−NR6667又はアリールを表し、R61が基−NR6667の場合はR62、R63、R64、R65、R66及びR67の一つ、そしてR61がアリールの場合はR62、R63、R64及びR65の一つが基−CHOR68を表し、R62、R63、R64、R65、R66及びR67の残りは互いに独立に、水素又は基−CHOR68を表し、ここにR68は水素又はアルキルを表す。) (Wherein R 61 represents a group —NR 66 R 67 or aryl, and when R 61 is a group —NR 66 R 67 , one of R 62 , R 63 , R 64 , R 65 , R 66 and R 67 ). And when R 61 is aryl, one of R 62 , R 63 , R 64 and R 65 represents the group —CH 2 OR 68 , and R 62 , R 63 , R 64 , R 65 , R 66 and R 67 The rest, independently of one another, represent hydrogen or the group —CH 2 OR 68 , where R 68 represents hydrogen or alkyl.)

ここで、アリールは典型的にはフェニル、1−ナフチル又は2−ナフチルであり、これらのフェニルやナフチルには、アルキル、アルコキシ、ハロゲンなどの置換基が結合していてもよい。アルキル及びアルコキシは、それぞれ炭素数1〜6程度であることができる。R68で表されるアルキルは、上記のなかでも、メチル又はエチル、とりわけメチルであるのが一般的である。 Here, the aryl is typically phenyl, 1-naphthyl or 2-naphthyl, and a substituent such as alkyl, alkoxy or halogen may be bonded to the phenyl or naphthyl. Alkyl and alkoxy can each have about 1 to 6 carbon atoms. Among the above, alkyl represented by R 68 is generally methyl or ethyl, especially methyl.

一般式(XI)に相当するメラミン系化合物、すなわち下記一般式(XI-1)の化合物には、ヘキサメチロールメラミン、ペンタメチロールメラミン、テトラメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ペンタメトキシメチルメラミン、テトラメトキシメチルメラミン、ヘキサエトキシメチルメラミンなどが包含される。   Melamine compounds corresponding to the general formula (XI), that is, compounds of the following general formula (XI-1) include hexamethylol melamine, pentamethylol melamine, tetramethylol melamine, hexamethoxymethyl melamine, pentamethoxymethyl melamine, tetramethoxy Methyl melamine, hexaethoxymethyl melamine and the like are included.

Figure 2009075446
Figure 2009075446

(式中、R62、R63、R64、R65、R66及びR67の一つがアリールの場合はR62、R63、R64及びR65の一つが基−CHOR68を表し、R62、R63、R64、R65、R66及びR67の残りは互いに独立に、水素又は基−CHOR68を表し、ここにR68は水素又はアルキルを表す。) (Wherein one of R 62 , R 63 , R 64 , R 65 , R 66 and R 67 is aryl, one of R 62 , R 63 , R 64 and R 65 represents the group —CH 2 OR 68 . , R 62 , R 63 , R 64 , R 65 , R 66 and the rest of R 67 independently of one another represent hydrogen or the group —CH 2 OR 68 , where R 68 represents hydrogen or alkyl.)

また、一般式(XI)に相当するグアナミン系化合物、すなわち一般式(XI)中のR61がアリールである化合物には、テトラメチロールベンゾグアナミン、テトラメトキシメチルベンゾグアナミン、トリメトキシメチルベンゾグアナミン、テトラエトキシメチルベンゾグアナミンなどが包含される。 Further, guanamine compounds corresponding to the general formula (XI), that is, compounds in which R 61 in the general formula (XI) is aryl include tetramethylol benzoguanamine, tetramethoxymethyl benzoguanamine, trimethoxymethyl benzoguanamine, tetraethoxymethyl benzoguanamine. Etc. are included.

さらに、メチロール基又はメチロールアルキルエーテル基を有する架橋剤には次のような化合物も包含され、これらを用いることもできる。以下に例を挙げる。
2,6−ビス(ヒドロキシメチル)−4−メチルフェノール、4−tert−ブチル−2,6−ビス(ヒドロキシメチル)フェノール、5−エチル−1,3−ビス(ヒドロキシメチル)ペルヒドロ−1,3,5−トリアジン−2−オン(通称N−エチルジメチロールトリアゾン)又はそのジメチルエーテル体、ジメチロールトリメチレン尿素又はそのジメチルエーテル体、3,5−ビス(ヒドロキシメチル)ペルヒドロ−1,3,5−オキサジアジン−4−オン(通称ジメチロールウロン)又はそのジメチルエーテル体、テトラメチロールグリオキザールジウレイン又はそのテトラメチルエーテル体。
Furthermore, the following compounds are also included in the crosslinking agent having a methylol group or a methylol alkyl ether group, and these can also be used. Examples are given below.
2,6-bis (hydroxymethyl) -4-methylphenol, 4-tert-butyl-2,6-bis (hydroxymethyl) phenol, 5-ethyl-1,3-bis (hydroxymethyl) perhydro-1,3 , 5-triazin-2-one (commonly known as N-ethyldimethyloltriazone) or its dimethyl ether, dimethylol trimethylene urea or its dimethyl ether, 3,5-bis (hydroxymethyl) perhydro-1,3,5- Oxadiazin-4-one (commonly called dimethyloluron) or a dimethyl ether thereof, tetramethylol glyoxal diurein or a tetramethyl ether thereof.

尚、これら架橋剤は1種を単独で用いても、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
架橋剤を用いる際の量は、遮光性感光性樹脂組成物の全固形分に対して0.1〜15重量%が好ましく、特に好ましくは0.5〜10重量%である。
In addition, these crosslinking agents may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.
The amount of the crosslinking agent used is preferably 0.1 to 15% by weight, particularly preferably 0.5 to 10% by weight, based on the total solid content of the light-shielding photosensitive resin composition.

[5−3]密着向上剤
本発明の遮光性感光性樹脂組成物には細い線やドットを充分密着させるために、密着向上剤を含有させてもよい。
[5-3] Adhesion improver The light-shielding photosensitive resin composition of the present invention may contain an adhesion improver in order to sufficiently adhere fine lines and dots.

密着向上剤としては、窒素原子を含有する化合物や燐酸基含有化合物、シランカップリング剤などが好ましく、窒素原子を含有する化合物としては、例えば、ジアミン類(特開平11−184080記載の密着増強剤、他)やアゾール類が好ましい。なかでもアゾール類が好ましく、特にイミダゾール類(特開平9−236923記載の密着向上剤、他)、ベンゾイミダゾール類、ベンゾトリアゾール類(特開2000−171968記載の密着向上剤、他)が好ましく、イミダゾール類とベンゾイミダゾール類が最も好ましい。これらのなかで、カブリが生じにくく、密着性を大きく向上させることができる点から2−ヒドロキシベンゾイミダゾール、2−ヒドロキシエチルベンゾイミダゾール、ベンゾイミダゾール、2−ヒドロキシイミダゾール、イミダゾール、2−メルカプトイミダゾール、2−アミノイミダゾールが好ましく、2−ヒドロキシベンゾイミダゾール、ベンゾイミダゾール、2−ヒドロキシイミダゾール、イミダゾールが特に好ましい。シランカップリング剤の種類としては、エポキシ系、メタクリル系、アミノ系等種々の物が使用できるが、特にエポキシ系のシランカップリング剤が好ましい。
これらは1種を単独で或いは2種以上を組み合わせて用いることができる。
As the adhesion improver, a compound containing a nitrogen atom, a phosphoric acid group-containing compound, a silane coupling agent or the like is preferable. Examples of the compound containing a nitrogen atom include diamines (adhesion enhancers described in JP-A No. 11-184080) And others) and azoles are preferred. Of these, azoles are preferred, and imidazoles (adhesion improvers described in JP-A-9-236923, etc.), benzimidazoles, and benzotriazoles (adhesion improvers described in JP-A 2000-171968, etc.) are particularly preferred. And benzimidazoles are most preferred. Among these, 2-hydroxybenzimidazole, 2-hydroxyethylbenzimidazole, benzimidazole, 2-hydroxyimidazole, imidazole, 2-mercaptoimidazole, 2 are less likely to cause fogging and greatly improve adhesion. -Aminoimidazole is preferable, and 2-hydroxybenzimidazole, benzimidazole, 2-hydroxyimidazole, and imidazole are particularly preferable. Various types of silane coupling agents such as epoxy, methacrylic, amino and the like can be used, and epoxy silane coupling agents are particularly preferable.
These can be used alone or in combination of two or more.

これらの密着向上剤を配合する場合、その配合割合は、用いる密着向上剤の種類によっても異なるが、遮光性感光性樹脂組成物の全固形分に対して0.01〜5重量%、特に0.05〜3重量%とすることが好ましい。これよりも少ないと十分な密着性の向上効果が得られず、多すぎると現像性を下げる。   When blending these adhesion improvers, the blending ratio varies depending on the type of the adhesion improver used, but is 0.01 to 5% by weight, particularly 0, based on the total solid content of the light-shielding photosensitive resin composition. It is preferable to set it as 0.05 to 3 weight%. If it is less than this, sufficient adhesion improving effect cannot be obtained, and if it is too much, developability is lowered.

[6−4]増感色素
増感色素としては、例えば特開平4−221958号、特開平4−219756号公報に記載のキサンテン色素、特開平3−239703号、特開平5−289335号公報に記載の複素環を有するクマリン色素、特開平3−239703号、特開平5−289335号公報に記載の3−ケトクマリン化合物、特開平6−19240号公報に記載のピロメテン色素、その他、特開昭47−2528号、特開昭54−155292号、特公昭45−37377号、特開昭48−84183号、特開昭52−112681号、特開昭58−15503号、特開昭60−88005号、特開昭59−56403号、特開平2−69号、特開昭57−168088号、特開平5−107761号、特開平5−210240号、特開平4−288818号公報に記載のジアルキルアミノベンゼン骨格を有する色素等を挙げることができる。
これらは1種を単独で或いは2種以上を組み合わせて用いることができる。
[6-4] Sensitizing dye Examples of the sensitizing dye include xanthene dyes described in JP-A-4-221958 and JP-A-4-219756, JP-A-3-239703, and JP-A-5-289335. Coumarin dyes having the heterocyclic ring described above, 3-ketocoumarin compounds described in JP-A-3-239703, JP-A-5-289335, pyromethene dyes described in JP-A-6-19240, and others, JP-A-47. -2528, JP 54-155292, JP-B 45-37377, JP 48-84183, JP 52-112681, JP 58-15503, JP 60-88005 JP, 59-56403, JP, 2-69, JP, 57-168088, JP, 5-107761, JP, 5-210240, JP, Examples thereof include a dye having a dialkylaminobenzene skeleton described in JP-A-4-288818.
These can be used alone or in combination of two or more.

増感色素を配合する場合、遮光性感光性樹脂組成物中の全固形分中における増感色素の含有率は、0.01〜5重量%、好ましくは0.05〜3重量%である。これより少ないと増感効果が出ず、多すぎると現像性を下げる。   When blending the sensitizing dye, the content of the sensitizing dye in the total solid content in the light-shielding photosensitive resin composition is 0.01 to 5% by weight, preferably 0.05 to 3% by weight. If it is less than this, the sensitizing effect will not be obtained, and if it is too much, the developability will be lowered.

[6−5]界面活性剤
界面活性剤としてはアニオン系、カチオン系、非イオン系、両性界面活性剤等各種のものの1種又は2種以上を用いることができるが、諸特性に悪影響を及ぼす可能性が低い点で、非イオン系界面活性剤を用いるのが好ましい。また、フッ素系やシリコン系のものは、塗布性の面で効果的である。
[6-5] Surfactant As the surfactant, one or more of anionic, cationic, nonionic, amphoteric surfactants and the like can be used, but they adversely affect various properties. In view of low possibility, it is preferable to use a nonionic surfactant. In addition, fluorine-based and silicon-based materials are effective in terms of coating properties.

界面活性剤の配合割合としては、遮光性感光性樹脂組成物中の全固形分に対して通常0.001〜10重量%、好ましくは0.005〜1重量%、さらに好ましくは0.01〜0.5重量%、最も好ましくは0.03〜0.3重量%の範囲である。界面活性剤の添加量が上記範囲よりも少ないと塗布膜の平滑性、均一性が発現できず、多いと塗布膜の平滑性、均一性が発現できない他、他の特性が悪化する場合がある。   The blending ratio of the surfactant is usually 0.001 to 10% by weight, preferably 0.005 to 1% by weight, and more preferably 0.01 to 10% by weight based on the total solid content in the light-shielding photosensitive resin composition. It is in the range of 0.5% by weight, most preferably 0.03-0.3% by weight. If the addition amount of the surfactant is less than the above range, the smoothness and uniformity of the coating film cannot be expressed, and if it is too large, the smoothness and uniformity of the coating film cannot be expressed and other characteristics may be deteriorated. .

[6−6]有機カルボン酸、有機カルボン酸無水物
本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、現像性の向上や地汚れ改善の目的で有機カルボン酸及び/又は有機カルボン酸無水物を含んでいてもよい。
有機カルボン酸としては、脂肪族カルボン酸及び/又は芳香族カルボン酸が挙げられる。
脂肪族カルボン酸としては、具体的には、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸、グリコール酸、アクリル酸、メタクリル酸などのモノカルボン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シクロヘキサンジカルボン酸、シクロヘキセンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸などのジカルボン酸、トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などのトリカルボン酸などが挙げられる。また、芳香族カルボン酸としては、具体的には、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸、フタル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸、フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸などのフェニル基に直接カルボキシル基が結合したカルボン酸、及びフェニル基から炭素結合を介してカルボキシル基が結合したカルボン酸類等が挙げられる。
[6-6] Organic Carboxylic Acid, Organic Carboxylic Anhydride The light-shielding photosensitive resin composition of the present invention contains an organic carboxylic acid and / or an organic carboxylic anhydride for the purpose of improving developability and improving background stains. You may go out.
Examples of the organic carboxylic acid include aliphatic carboxylic acids and / or aromatic carboxylic acids.
Specific examples of the aliphatic carboxylic acid include monoacids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid, glycolic acid, acrylic acid, and methacrylic acid. Carboxylic acid, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethyl Examples thereof include dicarboxylic acids such as succinic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, cyclohexenedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, and fumaric acid, and tricarboxylic acids such as tricarbaryl acid, aconitic acid, and camphoric acid. Specific examples of the aromatic carboxylic acid include benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelic acid, mesitylene acid, phthalic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, trimesic acid, and merophanic acid. , Pyromellitic acid, phenylacetic acid, hydroatropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atropic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidenacetic acid, coumaric acid, umbelic acid, etc. Examples thereof include carboxylic acids in which a carboxyl group is directly bonded to a group, and carboxylic acids in which a carboxyl group is bonded to a phenyl group via a carbon bond.

上記有機カルボン酸の中では、モノカルボン酸、ジカルボン酸が好ましく、中でもマロン酸、グルタル酸、グリコール酸が更に好ましく、マロン酸が特に好ましい。
上記有機カルボン酸の分子量は、1000以下であり、通常50以上である。上記有機カルボン酸の分子量が大きすぎると地汚れ改善効果が不十分であり、少なすぎると昇華、揮発などにより、添加量の減少やプロセス汚染を起こす恐れがある。
Among the organic carboxylic acids, monocarboxylic acids and dicarboxylic acids are preferable, and malonic acid, glutaric acid, and glycolic acid are more preferable, and malonic acid is particularly preferable.
The molecular weight of the organic carboxylic acid is 1000 or less, and usually 50 or more. If the molecular weight of the organic carboxylic acid is too large, the effect of improving the soiling is insufficient, and if it is too small, the addition amount may be reduced or process contamination may occur due to sublimation or volatilization.

有機カルボン酸無水物としては、脂肪族カルボン酸無水物及び/又は芳香族カルボン酸無水物が挙げられ、脂肪族カルボン酸無水物としては、具体的には無水酢酸、無水トリクロロ酢酸、無水トリフルオロ酢酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水グルタル酸、無水1,2−シクロヘキセンジカルボン酸、無水n−オクタデシルコハク酸、無水5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸などの脂肪族カルボン酸無水物が挙げられる。芳香族カルボン酸無水物としては、具体的には無水フタル酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、無水ナフタル酸などが挙げられる。   Examples of organic carboxylic acid anhydrides include aliphatic carboxylic acid anhydrides and / or aromatic carboxylic acid anhydrides, and specific examples of aliphatic carboxylic acid anhydrides include acetic anhydride, trichloroacetic anhydride, and trifluoro anhydride. Acetic acid, tetrahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, glutaric anhydride, 1,2-cyclohexene dicarboxylic anhydride, n-octadecyl succinic anhydride, 5-norbornene-2, Examples include aliphatic carboxylic acid anhydrides such as 3-dicarboxylic acid. Specific examples of the aromatic carboxylic acid anhydride include phthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, and naphthalic anhydride.

上記有機カルボン酸無水物の中では、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸が好ましく、無水マレイン酸が更に好ましい。
上記有機カルボン酸無水物の分子量は、通常800以下、好ましくは600以下、更に好ましくは500以下であり、通常50以上である。上記有機カルボン酸無水物の分子量が大きすぎると地汚れ改善効果が不十分であり、少なすぎると昇華、揮発などにより、添加量の減少やプロセス汚染を起こす恐れがある。
Among the organic carboxylic acid anhydrides, maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, and citraconic anhydride are preferable, and maleic anhydride is more preferable.
The molecular weight of the organic carboxylic acid anhydride is usually 800 or less, preferably 600 or less, more preferably 500 or less, and usually 50 or more. If the molecular weight of the organic carboxylic acid anhydride is too large, the effect of improving background stains is insufficient. If the molecular weight is too small, there is a possibility that the amount added may be reduced or process contamination may occur due to sublimation or volatilization.

これらの有機カルボン酸及び有機カルボン酸無水物は、それぞれ1種を単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。   One of these organic carboxylic acids and organic carboxylic acid anhydrides may be used alone, or two or more thereof may be mixed and used.

これらの有機カルボン酸及び有機カルボン酸無水物の添加量は、それぞれ、本発明の遮光性感光性樹脂組成物の全固形分中、通常0.01重量%〜5重量%、好ましくは0.03重量%〜3重量%である。その添加量が少なすぎると十分な添加効果が得られず、多すぎると表面平滑性や感度が悪化し、未溶解剥離片が発生する場合がある。   The amount of these organic carboxylic acid and organic carboxylic acid anhydride added is usually 0.01% by weight to 5% by weight, preferably 0.03% in the total solid content of the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention. % By weight to 3% by weight. If the addition amount is too small, a sufficient addition effect cannot be obtained. If the addition amount is too large, surface smoothness and sensitivity are deteriorated, and undissolved peeling pieces may be generated.

[6−7]熱重合防止剤
熱重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ピロガロール、カテコール、2,6−t−ブチル−p−クレゾール、β−ナフトール等の1種又は2種以上が用いられる。
熱重合防止剤の配合割合は、遮光性感光性樹脂組成物中の全固形分に対し0〜2重量%の範囲であることが好ましく、これよりも多いと遮光性、感光性樹脂組成物の感度を低下させる。
[6-7] Thermal polymerization inhibitor Examples of the thermal polymerization inhibitor include one or two of hydroquinone, p-methoxyphenol, pyrogallol, catechol, 2,6-t-butyl-p-cresol, β-naphthol, and the like. More than seeds are used.
The blending ratio of the thermal polymerization inhibitor is preferably in the range of 0 to 2% by weight with respect to the total solid content in the light-shielding photosensitive resin composition. Reduce sensitivity.

[6−8]可塑剤
可塑剤としては、例えば、ジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等の1種又は2種以上が用いられる。
これら可塑剤の配合割合は、遮光性感光性樹脂組成物中の全固形分に対し5重量%以下の範囲であることが好ましく、これよりも多いと樹脂ブラックマトリックスの硬化点が低下する。
[6-8] Plasticizer Examples of the plasticizer include 1 such as dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, and triacetyl glycerin. Species or two or more are used.
The blending ratio of these plasticizers is preferably in the range of 5% by weight or less with respect to the total solid content in the light-shielding photosensitive resin composition, and if it is more than this, the curing point of the resin black matrix is lowered.

[7]溶剤
以上に示した本発明の遮光性感光性樹脂組成物に含まれる各成分は、通常、溶剤に溶解又は分散させ、遮光性感光性樹脂組成物溶液として用いられる。
[7] Solvent Each component contained in the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention described above is usually dissolved or dispersed in a solvent and used as a light-shielding photosensitive resin composition solution.

ここで用いられる溶剤としては、例えば、ジイソプロピルエーテル、ミネラルスピリット、n−ペンタン、アミルエーテル、エチルカプリレート、n−ヘキサン、ジエチルエーテル、イソプレン、エチルイソブチルエーテル、ブチルステアレート、n−オクタン、バルソル#2、アプコ#18ソルベント、ジイソブチレン、アミルアセテート、ブチルアセテート、アプコシンナー、ブチルエーテル、ジイソブチルケトン、メチルシクロヘキセン、メチルノニルケトン、プロピルエーテル、ドデカン、ソーカルソルベントNo.1及びNo.2、アミルホルメート、ジヘキシルエーテル、ジイソプロピルケトン、ソルベッソ#150、(n,sec,t−)酢酸ブチル、ヘキセン、シェルTS28 ソルベント、ブチルクロライド、エチルアミルケトン、エチルベンゾエート、アミルクロライド、エチレングリコールジエチルエーテル、エチルオルソホルメート、メトキシメチルペンタノン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルイソブチレート、ベンゾニトリル、エチルプロピオネート、メチルセロソルブアセテート、メチルイソアミルケトン、メチルイソブチルケトン、プロピルアセテート、アミルアセテート、アミルホルメート、ビシクロヘキシル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジペンテン、メトキシメチルペンタノール、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、プロピルプロピオネート、プロピレングリコール−t−ブチルエーテル、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、カルビトール、シクロヘキサノン、酢酸エチル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸、3−エトキシプロピオン酸、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、ジグライム、エチレングリコールアセテート、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコール−t−ブチルエーテル、3−メトキシブタノール、3−メチル−3−メトキシブタノール、トリプロピレングリコールメチルエーテル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート等が挙げられる。これらの溶剤は、1種を単独で使用しても、2種以上を混合して使用してもよい。   Examples of the solvent used here include diisopropyl ether, mineral spirit, n-pentane, amyl ether, ethyl caprylate, n-hexane, diethyl ether, isoprene, ethyl isobutyl ether, butyl stearate, n-octane, valsol # 2, Apco # 18 solvent, diisobutylene, amyl acetate, butyl acetate, apcocinner, butyl ether, diisobutyl ketone, methylcyclohexene, methyl nonyl ketone, propyl ether, dodecane, soak solvent no. 1 and no. 2, amyl formate, dihexyl ether, diisopropyl ketone, Solvesso # 150, (n, sec, t-) butyl acetate, hexene, shell TS28 solvent, butyl chloride, ethyl amyl ketone, ethyl benzoate, amyl chloride, ethylene glycol diethyl ether , Ethyl orthoformate, methoxymethylpentanone, methyl butyl ketone, methyl hexyl ketone, methyl isobutyrate, benzonitrile, ethyl propionate, methyl cellosolve acetate, methyl isoamyl ketone, methyl isobutyl ketone, propyl acetate, amyl acetate, Amyl formate, bicyclohexyl, diethylene glycol monoethyl ether acetate, dipentene, methoxymethylpentanol, methyl Ketone, methyl isopropyl ketone, propyl propionate, propylene glycol-t-butyl ether, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, carbitol, cyclohexanone, ethyl acetate, propylene glycol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether Acetate, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxypropionic acid, 3-ethoxypropion Acid, 3-e Methyl toxipropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, diglyme, ethylene glycol acetate, ethyl carbitol, Examples include butyl carbitol, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol-t-butyl ether, 3-methoxybutanol, 3-methyl-3-methoxybutanol, tripropylene glycol methyl ether, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明の遮光性感光性樹脂組成物において、溶剤の含有量は、塗膜形成時の塗布のし易さや膜厚制御の観点からの90重量%以下で、60重量%以上、特に70重量%以上であることが好ましい。即ち、本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、通常全固形分濃度が10重量%以上、40重量%以下、特に30重量%以下となるように調製される。   In the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention, the solvent content is 90% by weight or less, 60% by weight or more, particularly 70% by weight, from the viewpoint of ease of coating during coating film formation and film thickness control. The above is preferable. That is, the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention is usually prepared so that the total solid content concentration is 10% by weight or more and 40% by weight or less, particularly 30% by weight or less.

[8]遮光性感光性樹脂組成物の製造方法
次に本発明の遮光性感光性樹脂組成物の製造方法について説明する。
[8] Manufacturing method of light-shielding photosensitive resin composition Next, the manufacturing method of the light-shielding photosensitive resin composition of this invention is demonstrated.

本発明の遮光性感光性樹脂組成物の製造方法としては特に制限はないが、遮光性顔料、溶剤及び分散剤を用いて顔料分散液を調製し、この顔料分散液に他の成分を添加して遮光性感光性樹脂組成物を調製する方法が好ましい。   The method for producing the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but a pigment dispersion is prepared using a light-shielding pigment, a solvent and a dispersant, and other components are added to the pigment dispersion. A method for preparing a light-shielding photosensitive resin composition is preferred.

[8−1]顔料分散液の製造方法
本発明に係る顔料分散液の製造方法としては種々の方法を採用することができる。以下にその一例を示す。
[8-1] Method for Producing Pigment Dispersion Various methods can be adopted as a method for producing a pigment dispersion according to the present invention. An example is shown below.

まず、遮光性顔料、溶剤、及び分散剤を各々所定量秤量し、分散処理工程において、顔料を分散させて液状の顔料分散液とする。この分散処理工程では、ペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザーなどを使用することができる。サンドグラインダーを用いて分散処理を行う場合は、0.1〜数mm径のガラスビーズ、又はジルコニアビーズを用いるのが好ましい。
この分散処理を行うことによって顔料が微粒子化されるため、この顔料分散液を用いた遮光性感光性樹脂組成物は塗布特性が向上する。
First, a predetermined amount of each of the light-shielding pigment, the solvent, and the dispersant is weighed, and in the dispersion treatment step, the pigment is dispersed to obtain a liquid pigment dispersion. In this dispersion treatment step, a paint conditioner, a sand grinder, a ball mill, a roll mill, a stone mill, a jet mill, a homogenizer, or the like can be used. When the dispersion treatment is performed using a sand grinder, it is preferable to use glass beads having a diameter of 0.1 to several mm or zirconia beads.
Since the pigment is formed into fine particles by this dispersion treatment, the light-shielding photosensitive resin composition using the pigment dispersion has improved coating properties.

顔料を分散処理する際には、前記のアルカリ可溶性樹脂、又は分散助剤などを適宜併用してもよい。   When dispersing the pigment, the alkali-soluble resin or the dispersion aid may be used in combination as appropriate.

分散処理する際の温度は通常、0℃〜100℃の範囲、好ましくは室温〜80℃の範囲に設定する。なお、分散時間は、顔料分散液の組成(顔料、溶剤、分散剤等)、及びサンドグラインダーの装置の大きさなどにより適正時間が異なるため、適宜調整する必要がある。   The temperature for the dispersion treatment is usually set in the range of 0 ° C to 100 ° C, preferably in the range of room temperature to 80 ° C. The dispersion time varies depending on the composition of the pigment dispersion (pigment, solvent, dispersant, etc.), the size of the sand grinder apparatus, and the like.

[8−2]遮光性感光性樹脂組成物の製造方法
次に上記分散処理により得られた顔料分散液(インキ)と遮光性感光性樹脂組成物成分として必要な前記の他の分を添加、攪拌混合して均一な遮光性感光性樹脂組成物溶液とする。この製造工程においては微細なゴミが液中に混じることが多いため、得られた遮光性感光性樹脂組成物溶液はフィルター等により濾過処理するのが望ましい。
[8-2] Method for Producing Light-Sensitive Photosensitive Resin Composition Next, the pigment dispersion (ink) obtained by the above dispersion treatment and the above-described other components necessary as a light-shielding photosensitive resin composition component are added, Stir and mix to obtain a uniform light-shielding photosensitive resin composition solution. In this manufacturing process, fine dust is often mixed in the liquid, and thus the obtained light-shielding photosensitive resin composition solution is preferably filtered through a filter or the like.

[樹脂ブラックマトリックスの形成方法]
上述の本発明の遮光性感光性樹脂組成物により、本発明の樹脂ブラックマトリックスを形成するには、透明基板上に本発明の遮光性感光性樹脂組成物溶液を塗布して乾燥した後、該試料の上にフォトマスクを置き、該フォトマスクを介して画像露光、現像、必要に応じて熱硬化或いは光硬化することにより樹脂ブラックマトリックスを形成させる。
尚、本発明の樹脂ブラックマトリックスはTFT素子基板上に形成させるのに有効であるが、その構成はCOA、BOAそれぞれの方式において特に限定されるものではなく、種々の構成への対応が可能である。
[Method of forming resin black matrix]
In order to form the resin black matrix of the present invention by the light-shielding photosensitive resin composition of the present invention described above, the light-shielding photosensitive resin composition solution of the present invention is applied on a transparent substrate and dried, A photomask is placed on the sample, and a resin black matrix is formed through image exposure, development, and thermosetting or photocuring as necessary through the photomask.
The resin black matrix of the present invention is effective for forming on the TFT element substrate, but its configuration is not particularly limited in each of the COA and BOA systems, and can be applied to various configurations. is there.

透明基板上に本発明の遮光性感光性樹脂組成物溶液を塗布する方法としては、スピナー法、ワイヤーバー法、フローコート法、ダイコート法、ロールコート法、スプレーコート法などが挙げられるが、特に、ダイコート法によれば、塗布液使用量が大幅に削減され、かつ、スピンコート法によった際に付着するミスト等の影響が全くない、異物発生が抑制される等、総合的な観点から好ましい。   Examples of the method for applying the light-shielding photosensitive resin composition solution of the present invention on a transparent substrate include a spinner method, a wire bar method, a flow coating method, a die coating method, a roll coating method, and a spray coating method. According to the die coating method, the amount of coating solution used is greatly reduced, and there is no influence of mist adhering when using the spin coating method. preferable.

塗布、乾燥後の塗膜の膜厚は通常0.5〜5μm、好ましくは1〜4μmとするのがよい。
塗膜の乾燥には、ホットプレート、IRオーブン、コンベクションオーブン等を用いることができ、好ましい乾燥条件は40〜150℃、乾燥時間は10秒〜60分の範囲である。
The film thickness of the coating after application and drying is usually 0.5 to 5 μm, preferably 1 to 4 μm.
A hot plate, IR oven, convection oven, or the like can be used for drying the coating film. Preferred drying conditions are 40 to 150 ° C., and drying time is in the range of 10 seconds to 60 minutes.

また、露光に用いる光源としては、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、蛍光ランプ等のランプ光源やアルゴンイオンレーザー、YAGレーザー、エキシマーレーザー、窒素レーザー、ヘリウムカドミニウムレーザー、半導体レーザー等のレーザー光源等が挙げられる。特定の照射光の波長のみを使用する場合には光学フィルターを利用することもできる。   As a light source used for exposure, for example, a xenon lamp, a halogen lamp, a tungsten lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a medium-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a carbon arc, a fluorescent lamp, or a lamp light source or an argon ion laser And laser light sources such as YAG laser, excimer laser, nitrogen laser, helium cadmium laser, and semiconductor laser. In the case where only the wavelength of specific irradiation light is used, an optical filter can also be used.

現像処理は、未露光部のレジスト膜を溶解させる能力のある溶剤であれば特に制限は受けない。例えばアセトン、塩化メチレン、トリクレン、シクロヘキサノン等の有機溶剤を使用することができる。しかしながら、有機溶剤は環境汚染、人体に対する有害性、火災危険性などをもつものが多いため、このような危険性の無いアルカリ現像液を使用するの方が好ましい。このようなアルカリ現像液として、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機のアルカリ剤、或いはジエタノールアミン、トリエタノールアミン、水酸化テトラアルキルアンモニウム塩等の有機のアルカリ剤を含有した水溶液が挙げられる。アルカリ現像液には、必要に応じ、界面活性剤、水溶性の有機溶剤、水酸基又はカルボキシル基を有する低分子化合物等を含有させることもできる。特に、界面活性剤は現像性、解像性、地汚れなどに対して改良効果をもつものが多いため添加するのは好ましい。   The development treatment is not particularly limited as long as it is a solvent capable of dissolving the resist film in the unexposed area. For example, an organic solvent such as acetone, methylene chloride, trichlene, and cyclohexanone can be used. However, since many organic solvents have environmental pollution, harmfulness to human body, fire risk, etc., it is preferable to use an alkaline developer without such danger. Examples of such an alkaline developer include inorganic alkali agents such as sodium carbonate, potassium carbonate, sodium silicate, potassium silicate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, or diethanolamine, triethanolamine, tetraalkylammonium hydroxide salt, etc. And an aqueous solution containing an organic alkali agent. If necessary, the alkaline developer may contain a surfactant, a water-soluble organic solvent, a low molecular compound having a hydroxyl group or a carboxyl group, and the like. In particular, it is preferable to add a surfactant since many surfactants have an improving effect on developability, resolution, and background stains.

例えば、現像液用の界面活性剤としては、ナフタレンスルホン酸ナトリウム基、ベンゼンスルホン酸ナトリウム基を有するアニオン性界面活性剤、ポリアルキレンオキシ基を有するノニオン性界面活性剤、テトラアルキルアンモニウム基を有するカチオン性界面活性剤等を挙げることができる。   For example, as a surfactant for a developer, an anionic surfactant having a sodium naphthalenesulfonate group, a sodium benzenesulfonate group, a nonionic surfactant having a polyalkyleneoxy group, a cation having a tetraalkylammonium group Can be mentioned.

現像処理方法については特に制限は無いが、通常、15〜40℃、好ましくは20〜30℃の現像温度で、浸漬現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等の方法により行われる。   Although there is no restriction | limiting in particular about the image development processing method, Usually, it is carried out by methods, such as immersion image development, spray image development, brush image development, and ultrasonic image development, at the image development temperature of 15-40 degreeC, Preferably it is 20-30 degreeC.

現像後、通常熱硬化処理又は光硬化処理、好ましくは熱硬化処理を施す。
熱硬化処理条件は、温度は100〜280℃の範囲、好ましくは150〜250℃の範囲で選ばれ、時間は5〜60分間の範囲で選ばれる。
熱硬化処理の温度は高い方が、また時間が長い方が、高い体積抵抗率及び低い比誘電率などの電気特性には有利である。
After the development, usually a heat curing treatment or a light curing treatment, preferably a heat curing treatment is performed.
As for the thermosetting treatment conditions, the temperature is selected in the range of 100 to 280 ° C, preferably in the range of 150 to 250 ° C, and the time is selected in the range of 5 to 60 minutes.
A higher temperature of the thermosetting treatment and a longer time are advantageous for electrical characteristics such as a high volume resistivity and a low relative dielectric constant.

以上のようにして形成させた樹脂ブラックマトリックスは底部の幅は通常3〜50μm、好ましくは5〜30μm、高さは通常0.5〜5μm、好ましくは1〜4μmであり、基板交叉角θは前述の如く、通常40゜〜90°、好ましくは50゜〜90°特に好ましくは60゜〜90°である。また、体積低効率は1×1013Ω・cm以上、好ましくは1×1014Ω・cm以上であり、比誘電率は6以下、好ましくは5以下である。
さらに、光学濃度が3以上、好ましくは3.2以上、より好ましくは3.5以上である。
The resin black matrix formed as described above has a bottom width of usually 3 to 50 μm, preferably 5 to 30 μm, a height of usually 0.5 to 5 μm, preferably 1 to 4 μm, and a substrate crossing angle θ is As mentioned above, it is usually 40 ° to 90 °, preferably 50 ° to 90 °, particularly preferably 60 ° to 90 °. Further, the low volume efficiency is 1 × 10 13 Ω · cm or more, preferably 1 × 10 14 Ω · cm or more, and the relative dielectric constant is 6 or less, preferably 5 or less.
Furthermore, the optical density is 3 or more, preferably 3.2 or more, more preferably 3.5 or more.

[液晶表示装置]
本発明の液晶表示装置は上述のような本発明の樹脂ブラックマトリックスを有するものであり、例えば、TFT素子基板上に、本発明の樹脂ブラックマトリックスを設け、赤色、緑色、青色の画素画像を形成し、更にその上に配向膜を形成し、この配向膜上にスペーサーを散布した後、対向基板と貼り合わせて液晶セルを形成し、形成した液晶セルに液晶を注入し、対向電極に結線して製造される。
[Liquid Crystal Display]
The liquid crystal display device of the present invention has the resin black matrix of the present invention as described above. For example, the resin black matrix of the present invention is provided on a TFT element substrate to form red, green, and blue pixel images. Further, after forming an alignment film on the alignment film and spraying spacers on the alignment film, a liquid crystal cell is formed by bonding to the counter substrate, liquid crystal is injected into the formed liquid crystal cell, and the counter electrode is connected. Manufactured.

次に、実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以下において「部」は「重量部」を表す。
EXAMPLES Next, although an Example and a comparative example are given and this invention is demonstrated more concretely, this invention is not limited to a following example, unless the summary is exceeded.
In the following, “part” represents “part by weight”.

<アルカリ可溶性樹脂−1の合成>
日本化薬(株)製「XD1000」(ジシクロペンタジエン・フェノール重合物のポリグリシジルエーテル、MW700、エポキシ当量252)300部、アクリル酸87部、p−メトキシフェノール0.2部、トリフェニルホスフィン5部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート255部を反応容器に仕込み、100℃で酸価が3.0mg−KOH/gになるまで攪拌した。酸価が目標に達するまで9時間を要した(酸価2.5mg−KOH/g)。次いで更にテトラヒドロ無水フタル酸145部を添加し、120℃で4時間反応させ、酸価100mg−KOH/g、MW2600のアルカリ可溶性樹脂−1溶液を得た。
<Synthesis of alkali-soluble resin-1>
"XD1000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (polyglycidyl ether of dicyclopentadiene / phenol polymer, MW 700, epoxy equivalent 252) 300 parts, 87 parts of acrylic acid, 0.2 parts of p-methoxyphenol, triphenylphosphine 5 Part and 255 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate were charged in a reaction vessel and stirred at 100 ° C. until the acid value became 3.0 mg-KOH / g. It took 9 hours for the acid value to reach the target (acid value 2.5 mg-KOH / g). Subsequently, 145 parts of tetrahydrophthalic anhydride was further added and reacted at 120 ° C. for 4 hours to obtain an alkali-soluble resin-1 solution having an acid value of 100 mg-KOH / g and MW 2600.

<アルカリ可溶性樹脂−2の合成>
MW4000のメタクレゾールノボラック樹脂120部とグリシジルメタクリレート71部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート191部に溶解し、p−メトキシフェノール0.19部及びテトラエチルアンモニウムクロライド1.9部を加え、90℃で13時間反応させた。ガスクロマトグラフィー分析でグリシジルメタクリレートが1%以下になったことを確認し、テトラヒドロフタル酸無水物45.6部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.6部を加え、95℃で更に5時間反応させた。IRで酸無水物がなくなったことを確認し、MW7500のアルカリ可溶性樹脂−2溶液を得た。
<Synthesis of alkali-soluble resin-2>
120 parts of MW4000 metacresol novolak resin and 71 parts of glycidyl methacrylate are dissolved in 191 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate, 0.19 parts of p-methoxyphenol and 1.9 parts of tetraethylammonium chloride are added, and the reaction is carried out at 90 ° C. for 13 hours. I let you. It was confirmed by gas chromatography analysis that glycidyl methacrylate was 1% or less, 45.6 parts of tetrahydrophthalic anhydride and 45.6 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate were added, and the mixture was further reacted at 95 ° C. for 5 hours. . After confirming the absence of acid anhydride by IR, an alkali-soluble resin-2 solution of MW7500 was obtained.

<アルカリ可溶性樹脂−3の合成>
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート145部を、反応容器内を窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。ここに、スチレン20部、グリシジルメタクリレート57部及びトリシクロデカン骨格を有するモノアクリレート(日立化成社製「FA−513M」)82部を滴下し、更に、120℃で2時間攪拌し続けた。
次いで、反応容器内を空気置換し、アクリル酸27.0部、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.7部及びハイドロキノン0.12部を投入し、120℃で6時間反応を続けた。その後、テトラヒドロ無水フタル酸(THPA)52.0部、トリエチルアミン0.7部を加え、120℃で3.5時間反応させてアルカリ可溶性樹脂−3溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂−3のMWは約15000、酸価は100mg−KOH/gであった。
<Synthesis of alkali-soluble resin-3>
145 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was stirred while the inside of the reaction vessel was purged with nitrogen, and the temperature was raised to 120 ° C. To this, 20 parts of styrene, 57 parts of glycidyl methacrylate and 82 parts of monoacrylate having a tricyclodecane skeleton ("FA-513M" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) were added dropwise, and stirring was continued at 120 ° C for 2 hours.
Next, the inside of the reaction vessel was purged with air, 27.0 parts of acrylic acid, 0.7 part of trisdimethylaminomethylphenol and 0.12 part of hydroquinone were added, and the reaction was continued at 120 ° C. for 6 hours. Thereafter, 52.0 parts of tetrahydrophthalic anhydride (THPA) and 0.7 part of triethylamine were added and reacted at 120 ° C. for 3.5 hours to obtain an alkali-soluble resin-3 solution. The obtained alkali-soluble resin-3 had a MW of about 15000 and an acid value of 100 mg-KOH / g.

<アルカリ可溶性樹脂−4>
日本化薬(株)製「ZCR−1569H」(MW=4000〜5000、酸価=100
mg−KOH/g)
<Alkali-soluble resin-4>
“ZCR-1569H” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (MW = 4000 to 5000, acid value = 100
mg-KOH / g)

<分散剤−1の合成>
分子量約5000を有するポリエチレンイミン50重量部、及びn=5のポリカプロラクトン40重量部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300重量部と混合し、150℃で3時間、窒素雰囲気下にて攪拌した。得られた分散剤−1のMWは9000であった。
<Synthesis of Dispersant-1>
50 parts by weight of polyethyleneimine having a molecular weight of about 5000 and 40 parts by weight of polycaprolactone with n = 5 were mixed with 300 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate and stirred at 150 ° C. for 3 hours in a nitrogen atmosphere. MW of the obtained Dispersant-1 was 9000.

<分散剤−2>
ビックケミー社製「DisperBYT−161」
<Dispersant-2>
"DisperBYT-161" manufactured by Big Chemie

<分散助剤>
ループリゾール社製「S12000」
<Dispersing aid>
“S12000” manufactured by Loop Resor Co., Ltd.

<溶剤>
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
MBA:3−メトキシジブチルアセテート
<Solvent>
PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate MBA: 3-methoxydibutyl acetate

<光重合開始剤−1>

Figure 2009075446
<Photopolymerization initiator-1>
Figure 2009075446

<エチレン性不飽和化合物>
DPHA:日本化薬(株)製ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
U−6LPA:新中村化学社製
PM−21:日本化薬社製
<Ethylenically unsaturated compound>
DPHA: Nippon Kayaku Co., Ltd. dipentaerythritol hexaacrylate U-6LPA: Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. PM-21: Nippon Kayaku Co., Ltd.

<顔料分散液−1〜4の調製>
表1に記載の顔料、分散剤、分散助剤、アルカリ可溶性樹脂、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を、表1に記載の重量比で混合した。ここに、これら総重量の3倍量のジリコニアビーズ(平均粒径0.5mm)を混合した後、ステンレス容器に充填し、ペイントシェーカーにて6時間分散させて、各顔料分散液を調製した。
<Preparation of pigment dispersions-1 to 4>
A pigment, a dispersant, a dispersion aid, an alkali-soluble resin, and propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) as a solvent described in Table 1 were mixed at a weight ratio described in Table 1. Here, 3 times the total weight of these zirconia beads (average particle size 0.5 mm) was mixed, filled in a stainless steel container, and dispersed for 6 hours in a paint shaker to prepare each pigment dispersion. .

Figure 2009075446
Figure 2009075446

[実施例1〜3、比較例1〜5]
上記で調製された顔料分散液と、表2に示す成分とを表2に示す割合で配合、攪拌してそれぞれ遮光性感光性樹脂組成物塗布液を調製した。
[Examples 1 to 3, Comparative Examples 1 to 5]
The pigment dispersion prepared above and the components shown in Table 2 were blended in the proportions shown in Table 2 and stirred to prepare respective light-shielding photosensitive resin composition coating solutions.

<サンプル(1)の製造>
10cm角のTFT素子基板を信越化学社製シランカップリング剤「KBM−603」の1重量%希釈液に3分間浸漬し、10秒水洗し、エアーガンで水切り後、110℃のオーブンで5分間乾燥した。このTFT素子基板上に、表2に従って調製した各遮光性感光性樹脂組成物塗布液をスピンコーターを用いて塗布し、1分間真空乾燥後、ホットプレート上で90℃にて90秒間プリベークし、乾燥膜厚3.5μmの塗布膜を得た。その後、塗布膜側から、15μm幅の細線パターンマスクを介して、3kW高圧水銀を用い、50mJ/cmの露光条件にて画像露光を施した。次いで、0.05重量%の水酸化カリウムと0.08重量%のノニオン性界面活性剤(花王(株)製「A−60」)を含有する水溶液よりなる現像液を用い、23℃において水圧0.15MPaのシャワー現像を施した後、純水にて現像を停止し、水洗スプレーにてリンスした。シャワー現像時間は、10〜120秒間の間で調整し、感光層が溶解除去される時間(ブレーク時間)の1.5倍とした。
こうして画像形成されたTFT素子基板を230℃で30分間ポストベークし、TFT素子基板上に樹脂ブラックマトリックスのラインを形成させたサンプル(1)を得た。尚、この段階でのレジスト膜厚は3μm程度であった。
<Manufacture of sample (1)>
A 10 cm square TFT element substrate is immersed in a 1% by weight diluted solution of silane coupling agent “KBM-603” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. for 3 minutes, washed with water for 10 seconds, drained with an air gun, and dried in an oven at 110 ° C. for 5 minutes. did. On this TFT element substrate, each light-shielding photosensitive resin composition coating solution prepared according to Table 2 was applied using a spin coater, vacuum-dried for 1 minute, and prebaked at 90 ° C. for 90 seconds on a hot plate, A coating film having a dry film thickness of 3.5 μm was obtained. Thereafter, image exposure was performed from the coating film side through a fine line pattern mask having a width of 15 μm using 3 kW high-pressure mercury under an exposure condition of 50 mJ / cm 2 . Subsequently, using a developer composed of an aqueous solution containing 0.05% by weight of potassium hydroxide and 0.08% by weight of a nonionic surfactant (“A-60” manufactured by Kao Corporation), the water pressure at 23 ° C. After performing shower development at 0.15 MPa, development was stopped with pure water and rinsed with a water spray. The shower development time was adjusted between 10 and 120 seconds, and was 1.5 times as long as the photosensitive layer was dissolved and removed (break time).
The TFT element substrate thus imaged was post-baked at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a sample (1) in which a resin black matrix line was formed on the TFT element substrate. The resist film thickness at this stage was about 3 μm.

<サンプル(2)の製造>
TFT素子基板の代りに、150nm厚のITO膜をスパッタ法により成膜したガラス基板(旭硝子社製カラーフィルター用ガラス板「AN100」)を用い、露光に際し、マスクを介さずに全面露光を行ったこと以外は、サンプル(1)の製造と同様にして、ITO基板の全面に樹脂ブラックマトリックスが形成されたサンプル(2)を得た。
<Manufacture of sample (2)>
Instead of the TFT element substrate, a glass substrate (Asahi Glass Co., Ltd. color filter glass plate “AN100”) on which a 150 nm thick ITO film was formed by sputtering was used, and the entire surface was exposed without using a mask. Except for this, a sample (2) in which a resin black matrix was formed on the entire surface of the ITO substrate was obtained in the same manner as in the production of the sample (1).

得られたサンプル(1)又はサンプル(2)について、以下の評価を行い、結果を表2に示した。   The obtained sample (1) or sample (2) was evaluated as follows, and the results are shown in Table 2.

<光学濃度の測定>
サンプル(1)について、マクベス反射濃度計(サカタインクス社製「RD−914」を使用して測定した。
<Measurement of optical density>
The sample (1) was measured using a Macbeth reflection densitometer (“RD-914” manufactured by Sakata Inx Corporation).

<基板交叉角θの測定>
サンプル(1)について、樹脂ブラックマトリックスのラインの断面形状をSEM(日立製作所「S−4500」)で観察し、TFT素子基板と接触する部分の基板交叉角θを測定した。
<Measurement of substrate crossing angle θ>
For sample (1), the cross-sectional shape of the resin black matrix line was observed with an SEM (Hitachi, Ltd. “S-4500”), and the substrate crossing angle θ in contact with the TFT element substrate was measured.

<直線性の評価>
サンプル(1)の樹脂ブラックマトリックスのラインを光学顕微鏡にて観察し、ラインエッジにガタツキが無く直線性が良好なものを○、エッジにガタツキがあるものを×とした。
<Evaluation of linearity>
The resin black matrix line of sample (1) was observed with an optical microscope. The line edge with no shakiness and good linearity was marked with ◯, and the edge with shaky edges was marked with x.

<体積抵抗率・比誘電率の測定>
サンプル(2)に対して、HP(現Agilent)社製「LCRメーター4284A」を用いて、比誘電率、体積抵抗率を測定した。尚、比誘電率測定は1KHz・1Vにて、体積抵抗率測定はDC5Vにて実施した。
<Measurement of volume resistivity / dielectric constant>
The relative permittivity and volume resistivity of the sample (2) were measured using “LCR meter 4284A” manufactured by HP (current Agilent). The relative dielectric constant was measured at 1 KHz · 1 V, and the volume resistivity was measured at DC 5 V.

Figure 2009075446
Figure 2009075446

表2より、本発明によれば、遮光性に優れ、体積抵抗率が高く、比誘電率が低く、しかも良好な形状を有する樹脂ブラックマトリックスが提供されることが分かる。   From Table 2, it can be seen that according to the present invention, a resin black matrix having excellent light shielding properties, high volume resistivity, low relative dielectric constant, and good shape is provided.

基板交叉角θを示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows board | substrate crossing angle (theta).

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 樹脂ブラックマトリックス
1 Substrate 2 Resin black matrix

Claims (4)

光学濃度が3以上であり、体積抵抗率が1×1013Ω・cm以上であり、且つ1KHzでの比誘電率が6以下であることを特徴とする樹脂ブラックマトリックス。 A resin black matrix having an optical density of 3 or more, a volume resistivity of 1 × 10 13 Ω · cm or more, and a relative dielectric constant at 1 KHz of 6 or less. 基板上に形成された樹脂ブラックマトリックスにおいて、光学濃度が3以上であり、体積抵抗率が1×1013Ω・cm以上で、1KHzでの比誘電率が6以下であり、且つ該基板の板面に垂直な断面における該樹脂ブラックマトリックスの側面と基板の板面との交叉角θが40°〜90°であることを特徴とする樹脂ブラックマトリックス。 In the resin black matrix formed on the substrate, the optical density is 3 or more, the volume resistivity is 1 × 10 13 Ω · cm or more, the relative dielectric constant at 1 KHz is 6 or less, and the plate of the substrate A resin black matrix, wherein a crossing angle θ between a side surface of the resin black matrix and a plate surface of the substrate in a cross section perpendicular to the surface is 40 ° to 90 °. アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、エチレン性不飽和化合物、及び遮光用顔料を含み、該遮光用顔料の含有量が全固形分に対し30重量%〜50重量%であり且つ、遮光用顔料としてカーボンブラックを全固形分に対して2重量%〜20重量%含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂ブラックマトリックスを形成するための遮光性感光性樹脂組成物。   An alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, an ethylenically unsaturated compound, and a light-shielding pigment, wherein the content of the light-shielding pigment is 30% by weight to 50% by weight with respect to the total solid content; The light-shielding photosensitive resin composition for forming a resin black matrix according to claim 1 or 2, wherein carbon black is contained in an amount of 2 to 20% by weight based on the total solid content. 請求項1又は2に記載の樹脂ブラックマトリックスを有する液晶表示装置。   A liquid crystal display device comprising the resin black matrix according to claim 1.
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