JP2009069339A

JP2009069339A - Actuator, method for manufacturing actuator, optical scanner, and image forming apparatus

Info

Publication number: JP2009069339A
Application number: JP2007236297A
Authority: JP
Inventors: Makiko Nakamura; 真希子中村
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2007-09-12
Filing date: 2007-09-12
Publication date: 2009-04-02

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator demonstrating excellent reliability by simplifying processes in manufacture in an electromagnetic drive (moving coil) system, and to provide a method for manufacturing the actuator, an optical scanner, and to provide an image forming apparatus. SOLUTION: The actuator has: a movable plate 21; a vibration part provided with a pair of shaft members 22, 23 supporting the movable plate 21, and integrally formed of silicon; a coil 212 provided on the vibration part; pieces of wirings 221, 231 for energizing the coil 212; and magnets 41, 42 installed to face the coil 212. The actuator is composed so as to rotate the movable plate 21 arranged in magnetic fields of the magnets 41, 42 together with torsion deformation of each shaft members 22, 23 by energizing the coil 212. The coil 212 and the wirings 221, 231 are installed in grooves formed in the vibration part. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、アクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナ、および画像形成装置に関するものである。 The present invention relates to an actuator, an actuator manufacturing method, an optical scanner, and an image forming apparatus.

例えば、レーザープリンタ等にて光走査により描画を行うための光スキャナとして、捩り振動子を構成する構造体を有するアクチュエータを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示された光スキャナでは、反射面を有する可動板が２つの弾性部材を介して支持体に対し連結されている。そして、コイルが可動板に設けられているとともに、磁石が可動板に対向して設けられている。また、コイルに通電するための配線が弾性部材に設けられており、この配線を介してコイルに通電することにより、弾性部材の捩れ変形を伴って、磁石の磁界中に配された可動板を回動させる。 For example, an optical scanner for performing drawing by optical scanning with a laser printer or the like is known that uses an actuator having a structure constituting a torsional vibrator (see, for example, Patent Document 1).
In the optical scanner disclosed in Patent Document 1, a movable plate having a reflective surface is connected to a support via two elastic members. The coil is provided on the movable plate, and the magnet is provided to face the movable plate. In addition, a wiring for energizing the coil is provided in the elastic member. By energizing the coil through this wiring, a movable plate disposed in the magnetic field of the magnet is accompanied by torsional deformation of the elastic member. Rotate.

特に、特許文献１にかかる光スキャナでは、弾性部材が２つのポリイミド層間に配線を介挿して構成されている。これにより、配線を弾性部材内に埋設し、弾性部材の捩れ変形によって配線に生じる応力を低減することができる。
しかしながら、特許文献１にかかる光スキャナでは、次の（１）〜（５）のような問題点を有している。 In particular, in the optical scanner according to Patent Document 1, the elastic member is configured by interposing a wiring between two polyimide layers. Thereby, the wiring is embedded in the elastic member, and the stress generated in the wiring due to the torsional deformation of the elastic member can be reduced.
However, the optical scanner according to Patent Document 1 has the following problems (1) to (5).

（１）弾性部材が主にポリイミドで構成されているため、弾性部材の熱伝導率が低く、コイルへの通電によって生じる熱や、反射面に照射された光によって生じる熱を弾性部材を通じて外部へ逃がすことができずに、所望の振動特性を維持することが難しい。
（２）可動板にはその変形防止等の理由からシリコン層を設ける必要があるが、ポリイミド層とシリコン層との接合部はその接合強度が低いため、駆動によって生じる応力により、ポリイミド層とシリコン層との接合部が剥離するおそれがある。 (1) Since the elastic member is mainly composed of polyimide, the heat conductivity of the elastic member is low, and heat generated by energizing the coil and light generated by light applied to the reflecting surface is transmitted to the outside through the elastic member. It cannot be escaped and it is difficult to maintain desired vibration characteristics.
(2) Although it is necessary to provide a silicon layer on the movable plate for reasons such as preventing deformation, since the bonding strength between the polyimide layer and the silicon layer is low, the polyimide layer and the silicon are caused by the stress generated by driving. There is a possibility that the joint with the layer may peel off.

（３）ポリイミドとシリコンとでは熱膨張係数が大きく異なるため、駆動によって生じる熱により、可動板や弾性部材に意図しない応力が生じ、この点でも、所望の振動特性を維持することが難しい。
（４）製造において、シリコン層上に多数の層を積層しなければならないため、工程が煩雑となり、その結果、光スキャナの高コスト化を招いてしまう。
（５）シリコン層の片面側にコイルや配線が偏在するため、可動板に反り（静たわみ）が生じたり、弾性部材の非線形性が現われて理想的な捩りバネの特性を得ることが難しいという問題がある。この問題は、シリコン層が薄い場合に、特に顕著である。 (3) Since the thermal expansion coefficient differs greatly between polyimide and silicon, unintentional stress is generated in the movable plate and the elastic member due to heat generated by driving, and it is difficult to maintain desired vibration characteristics in this respect as well.
(4) Since a large number of layers must be laminated on the silicon layer in manufacturing, the process becomes complicated, and as a result, the cost of the optical scanner increases.
(5) Since coils and wirings are unevenly distributed on one side of the silicon layer, it is difficult to obtain ideal torsion spring characteristics due to warping (static deflection) of the movable plate or non-linearity of the elastic member. There's a problem. This problem is particularly noticeable when the silicon layer is thin.

特開平１１−２４２１８０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-242180

本発明の目的は、電磁駆動（ムービングコイル）方式において、製造時における工程を簡略化するとともに、優れた信頼性を発揮することができるアクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナ、および画像形成装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an actuator, an actuator manufacturing method, an optical scanner, and an image forming apparatus capable of simplifying a manufacturing process and exhibiting excellent reliability in an electromagnetic drive (moving coil) system. It is to provide.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備え、シリコンで一体的に形成された振動部と、
前記振動部に設けられたコイルと、
前記コイルに通電するための配線と、
前記コイルに対向して設置された磁石とを有し、
前記磁石の磁界中に配された前記コイルに通電することにより、前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させるように構成され、
前記コイルおよび／または前記配線は、前記振動部に形成された溝内に設置されていることを特徴とする。
これにより、駆動によって配線やコイルに生じる応力を低減して、信頼性を向上させることができる。 Such an object is achieved by the present invention described below.
The actuator of the present invention includes a movable plate and a pair of shaft members that support the movable plate, and a vibration portion integrally formed of silicon,
A coil provided in the vibrating section;
Wiring for energizing the coil;
A magnet installed facing the coil,
By energizing the coil disposed in the magnetic field of the magnet, the movable plate is configured to rotate with torsional deformation of each shaft member,
The coil and / or the wiring is installed in a groove formed in the vibration part.
Thereby, the stress which arises in a wiring or a coil by driving can be reduced, and reliability can be improved.

特に、本発明では、シリコンはポリイミドのような樹脂材料に比し熱伝導率が高いため、コイルへの通電によって生じる熱や、反射面に照射された光によって生じる熱を振動部の外部へ逃がして、長期に亘り所望の振動特性を維持することができる。
また、振動部がシリコンで一体的に形成されているため、駆動によって生じる応力による接合部での剥離を防止することができる。 In particular, in the present invention, since silicon has a higher thermal conductivity than a resin material such as polyimide, the heat generated by energizing the coil and the heat generated by the light applied to the reflecting surface is released to the outside of the vibrating part. Thus, desired vibration characteristics can be maintained over a long period of time.
Moreover, since the vibration part is integrally formed of silicon, it is possible to prevent peeling at the joint due to stress generated by driving.

さらに、振動部がシリコンで一体的に形成されているため、熱膨張による意図しない応力の発生を防止することができる。
また、製造工程の簡略化を図ることができる。
また、シリコンで構成された振動部の中央部側にコイルや配線を配置できる。そのため、可動板に生じる反り（静撓み）や、軸部材の非線形性の発生を防止することができる。
これらのことから、本発明のアクチュエータは、電磁駆動（ムービングコイル）方式において、製造時における工程を簡略化するとともに、優れた信頼性を発揮することができる。 Furthermore, since the vibration part is integrally formed of silicon, it is possible to prevent unintended stress from being generated due to thermal expansion.
In addition, the manufacturing process can be simplified.
Moreover, a coil and wiring can be arrange | positioned at the center part side of the vibration part comprised with the silicon | silicone. Therefore, it is possible to prevent warpage (static deflection) generated in the movable plate and occurrence of nonlinearity of the shaft member.
For these reasons, the actuator of the present invention can exhibit excellent reliability while simplifying the manufacturing process in the electromagnetic drive (moving coil) system.

本発明のアクチュエータでは、前記可動板には、溝が形成されており、前記コイルは、当該溝内に設置されていることが好ましい。
これにより、コイルを可動板の重心付近に設置することができ、その結果、振動特性を向上させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記コイルは、前記可動板の厚さ方向での略中央に位置していることが好ましい。
これにより、コイルを可動板の重心付近に簡単かつ確実に設置することができ、その結果、振動特性を向上させることができる。 In the actuator according to the present invention, it is preferable that a groove is formed in the movable plate, and the coil is installed in the groove.
Thereby, a coil can be installed in the gravity center vicinity of a movable board, As a result, a vibration characteristic can be improved.
In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the coil is positioned substantially at the center in the thickness direction of the movable plate.
As a result, the coil can be easily and reliably installed near the center of gravity of the movable plate, and as a result, the vibration characteristics can be improved.

本発明のアクチュエータでは、前記コイルは、前記可動板の板面に沿って渦巻状に形成されていることが好ましい。
これにより、コイルの構成を比較的簡単なものとするとともに、駆動電圧を抑えつつ、コイルに生じる磁力を大きくすることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記１対の軸部材のうちの少なくとも一方の軸部材には、溝が形成されており、前記配線は、当該溝内に設置されていることが好ましい。
これにより、軸部材の捩れ変形によって配線に生じる応力を低減することができる。 In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the coil is formed in a spiral shape along the plate surface of the movable plate.
Thereby, while making the structure of a coil comparatively simple, the magnetic force which arises in a coil can be enlarged, suppressing a drive voltage.
In the actuator of the present invention, it is preferable that a groove is formed in at least one of the pair of shaft members, and the wiring is disposed in the groove.
Thereby, the stress which arises in wiring by the torsional deformation of a shaft member can be reduced.

本発明のアクチュエータでは、前記配線は、前記軸部材の軸線方向に配置されていることが好ましい。
これにより、軸部材の捩れ変形によって配線に生じる応力をより確実に低減することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記振動部は、前記溝が形成された本体と、前記コイルおよび／または前記配線の少なくとも一部を覆うように前記本体に接合された蓋部とを有することが好ましい。
これにより、振動部の重心を可動板の回動中心軸に近づけることができる。その結果、振動特性を向上させることができる。 In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the wiring is arranged in an axial direction of the shaft member.
Thereby, the stress which arises in wiring by the torsional deformation of a shaft member can be reduced more reliably.
In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the vibration portion includes a main body in which the groove is formed and a lid portion that is joined to the main body so as to cover at least a part of the coil and / or the wiring.
Thereby, the center of gravity of the vibration part can be brought close to the rotation center axis of the movable plate. As a result, vibration characteristics can be improved.

本発明のアクチュエータでは、前記可動板には、その板面に沿って渦巻状に第１の溝が形成され、当該第１の溝内に前記コイルが設置されているとともに、前記各軸部材には、その軸線方向に沿って第２の溝が形成され、当該第２の溝内に前記配線が設置され、前記可動板の回動中心軸付近で前記コイルと前記配線が接続されるように構成されており、前記蓋部は、前記可動板の回動中心軸付近の少なくとも一部を除くように設けられていることが好ましい。
これにより、コイルが渦巻状であっても、コイルと配線との電気的接続を許容しつつ、振動部の重心を可動板の回動中心軸に近づけることができる。 In the actuator of the present invention, the movable plate is formed with a first groove spirally along the plate surface, the coil is installed in the first groove, and each shaft member is provided with the first groove. The second groove is formed along the axial direction, the wiring is installed in the second groove, and the coil and the wiring are connected in the vicinity of the rotation center axis of the movable plate. Preferably, the lid portion is provided so as to exclude at least a part near the rotation center axis of the movable plate.
Thereby, even if the coil is spiral, the center of gravity of the vibrating portion can be brought close to the rotation center axis of the movable plate while allowing electrical connection between the coil and the wiring.

本発明のアクチュエータでは、前記振動部と前記コイルおよび／または前記配線との間には、絶縁膜が介在していることが好ましい。
これにより、コイルと振動部との間の絶縁性を優れたものとし、信頼性を向上させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記振動部は、１つの基板をエッチングすることにより一体的に形成されたものであることが好ましい。
これにより、シリコンで一体的に形成された振動部を簡単に製造することができる。 In the actuator of the present invention, it is preferable that an insulating film is interposed between the vibrating portion and the coil and / or the wiring.
Thereby, the insulation between a coil and a vibration part can be made excellent, and reliability can be improved.
In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the vibrating portion is integrally formed by etching one substrate.
Thereby, the vibration part integrally formed with silicon can be easily manufactured.

本発明のアクチュエータでは、前記コイルおよび前記配線は、それぞれ、金属で構成されていることが好ましい。
金属は一般に優れた電気伝導性を有するものの変形を繰り返すことにより金属疲労が生じる。したがって、金属で構成されたコイルや配線を用いた場合に、本発明を適用することによる効果が顕著となる。 In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that each of the coil and the wiring is made of metal.
Although metal generally has excellent electrical conductivity, metal fatigue occurs due to repeated deformation. Therefore, when the coil and wiring comprised with the metal are used, the effect by applying this invention becomes remarkable.

本発明のアクチュエータの製造方法は、可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部にコイルおよび配線が設けられたアクチュエータを製造する方法であって、
基板をエッチングして溝を形成する第１の工程と、
前記溝内に前記コイルおよび／または前記配線を形成する第２の工程とを有することを特徴とする。
これにより、得られるアクチュエータは、電磁駆動（ムービングコイル）方式において、製造時における工程を簡略化するとともに、優れた信頼性を発揮することができる。 An actuator manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing an actuator in which a coil and a wiring are provided in a vibration part including a movable plate and a pair of shaft members that support the movable plate,
A first step of etching the substrate to form a groove;
And a second step of forming the coil and / or the wiring in the groove.
Thereby, the obtained actuator can exhibit excellent reliability while simplifying the manufacturing process in an electromagnetic drive (moving coil) system.

本発明の光スキャナは、光反射部が設けられた可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備え、シリコンで一体的に形成された振動部と、
前記振動部に設けられたコイルと、
前記コイルに通電するための配線と、
前記コイルに対向して設置された磁石とを有し、
前記磁石の磁界中に配された前記コイルに通電することにより、前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成され、
前記コイルおよび／または前記配線は、前記振動部に形成された溝内に設置されていることを特徴とする。
これにより、本発明の光スキャナは、電磁駆動（ムービングコイル）方式において、製造時における工程を簡略化するとともに、優れた信頼性を発揮することができる。 An optical scanner of the present invention includes a movable plate provided with a light reflecting portion and a pair of shaft members that support the movable plate, and a vibrating portion integrally formed of silicon,
A coil provided in the vibrating section;
Wiring for energizing the coil;
A magnet installed facing the coil,
By energizing the coil disposed in the magnetic field of the magnet, the movable plate is rotated with torsional deformation of each shaft member, and the light reflected by the light reflecting portion is scanned. ,
The coil and / or the wiring is installed in a groove formed in the vibration part.
As a result, the optical scanner of the present invention can simplify the manufacturing process and exhibit excellent reliability in the electromagnetic drive (moving coil) system.

本発明の画像形成装置は、光反射部が設けられた可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備え、シリコンで一体的に形成された振動部と、
前記振動部に設けられたコイルと、
前記コイルに通電するための配線と、
前記コイルに対向して設置された磁石とを有し、
前記磁石の磁界中に配された前記コイルに通電することにより、前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させ、前記光反射部で反射した光を走査して、画像を形成するように構成され、
前記コイルおよび／または前記配線は、前記振動部に形成された溝内に設置されていることを特徴とする。
これにより、本発明の画像形成装置は、優れた信頼性を発揮することができる。 An image forming apparatus of the present invention includes a movable plate provided with a light reflecting portion and a pair of shaft members that support the movable plate, and a vibrating portion integrally formed of silicon,
A coil provided in the vibrating section;
Wiring for energizing the coil;
A magnet installed facing the coil,
By energizing the coil arranged in the magnetic field of the magnet, the movable plate is rotated with torsional deformation of each shaft member, and the light reflected by the light reflecting portion is scanned to scan the image. Configured to form,
The coil and / or the wiring is installed in a groove formed in the vibration part.
As a result, the image forming apparatus of the present invention can exhibit excellent reliability.

以下、本発明のアクチュエータの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図、図２は、図１に示すアクチュエータの平面図、図３は、図１に示すアクチュエータの断面図（（ａ）は図２中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図２中のＢ−Ｂ線断面図）、図４は、図１に示すアクチュエータに備えられたコイルを説明するための部分拡大斜視図である。
なお、以下では、説明の便宜上、図３および図５中の上側を「上」、下側を「下」と言う。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of an actuator of the invention will be described with reference to the accompanying drawings.
<First Embodiment>
FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the actuator of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the actuator shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view of the actuator shown in FIG. A sectional view taken along the line AA in FIG. 2, (b) is a sectional view taken along the line BB in FIG. 2, and FIG. 4 is a partially enlarged perspective view for explaining the coil provided in the actuator shown in FIG. .
In the following, for convenience of explanation, the upper side in FIGS. 3 and 5 is referred to as “upper” and the lower side is referred to as “lower”.

図１に示すように、本実施形態のアクチュエータ１は、電磁駆動方式（より具体的にはムービングコイル方式）を採用するアクチュエータであって、振動系（振動部）を有する基体２と、この基体２を支持する支持体３と、１対の磁石（永久磁石）４１、４２とを有している。
以下、アクチュエータ１を構成する各部を順次説明する。 As shown in FIG. 1, the actuator 1 of this embodiment is an actuator that employs an electromagnetic drive system (more specifically, a moving coil system), and includes a base body 2 having a vibration system (vibrating part), and the base body. 2, and a pair of magnets (permanent magnets) 41 and 42.
Hereinafter, each part which comprises the actuator 1 is demonstrated sequentially.

基体２は、図１に示すように、可動板２１と、可動板２１を支持する１対の軸部材２２、２３と、これらを囲むように枠状に形成された支持部２４とを有している。
可動板２１は、板状をなし、本実施形態では、平面視形状が長方形をなしている。そして、可動板２１の板面（上面）には、光反射性を有する光反射部２１１が設けられている。これにより、アクチュエータ１を光スキャナ、光アッテネータ、光スイッチ等の光学デバイスに適用することができる。
また、図２に示すように、可動板２１には、コイル２１２が設けられている。このコイル２１２は、後述する１対の磁石４１、４２の磁界中に配され、通電により可動板２１に電磁力を作用させることができる。 As shown in FIG. 1, the base 2 includes a movable plate 21, a pair of shaft members 22 and 23 that support the movable plate 21, and a support portion 24 that is formed in a frame shape so as to surround them. ing.
The movable plate 21 has a plate shape, and in the present embodiment, the planar view shape is a rectangle. A light reflecting portion 211 having light reflectivity is provided on the plate surface (upper surface) of the movable plate 21. Thereby, the actuator 1 can be applied to an optical device such as an optical scanner, an optical attenuator, or an optical switch.
As shown in FIG. 2, the movable plate 21 is provided with a coil 212. The coil 212 is arranged in a magnetic field of a pair of magnets 41 and 42 described later, and can apply an electromagnetic force to the movable plate 21 by energization.

特に、このコイル２１２は、図３および図４に示すように、可動板２１の下面に形成された溝２１３内に設置されている。すなわち、コイル２１２は、可動板２１内に埋設されている。これにより、コイル２１２を可動板２１の重心付近に設置することができ、その結果、振動特性を向上させることができる。また、シリコンで構成された可動板２１の中央部側にコイル２１２やその配線を配置できるため、可動板２１の厚さが薄い場合など、可動板２１に生じる反り（静撓み）を防止することができる。さらに、可動板２１が回動時の慣性力により若干変形する（動撓み）場合でも、その変形によってコイル２１２に生じる応力を低減して、アクチュエータ１の信頼性を向上させることができる。 In particular, this coil 212 is installed in a groove 213 formed on the lower surface of the movable plate 21 as shown in FIGS. That is, the coil 212 is embedded in the movable plate 21. Thereby, the coil 212 can be installed near the center of gravity of the movable plate 21, and as a result, the vibration characteristics can be improved. In addition, since the coil 212 and its wiring can be arranged on the center side of the movable plate 21 made of silicon, it is possible to prevent warping (static deflection) that occurs in the movable plate 21 when the thickness of the movable plate 21 is thin. Can do. Further, even when the movable plate 21 is slightly deformed (dynamic deflection) due to the inertial force at the time of rotation, the stress generated in the coil 212 due to the deformation can be reduced and the reliability of the actuator 1 can be improved.

本実施形態では、溝２１３の底部が可動板２１の厚さ方向での中央部まで達するように形成され、コイル２１２は、溝２１３の深さよりも薄い厚さで形成されている。
そのため、コイル２１２は、可動板２１の厚さ方向での略中央に位置している。これにより、コイル２１２を可動板２１の重心付近に簡単かつ確実に設置することができ、その結果、振動特性を向上させることができる。 In the present embodiment, the bottom of the groove 213 is formed so as to reach the center of the movable plate 21 in the thickness direction, and the coil 212 is formed with a thickness smaller than the depth of the groove 213.
For this reason, the coil 212 is positioned substantially at the center of the movable plate 21 in the thickness direction. Thereby, the coil 212 can be installed easily and reliably near the center of gravity of the movable plate 21, and as a result, the vibration characteristics can be improved.

また、溝２１３の深さがコイル２１２の厚さよりも深いため、可動板２１の下面には、溝２１３による凹凸が形成されている。これにより、可動板２１の表面積を大きくすることができるため、可動板２１の放熱性を向上させることができる。その結果、駆動によって生じる熱による影響を抑制することができる。
また、コイル２１２は、可動板２１の光反射部２１１とは反対側の面に設けられているため、光反射部２１１の設計の自由度が低下することもない。 In addition, since the depth of the groove 213 is deeper than the thickness of the coil 212, unevenness due to the groove 213 is formed on the lower surface of the movable plate 21. Thereby, since the surface area of the movable plate 21 can be increased, the heat dissipation of the movable plate 21 can be improved. As a result, the influence of heat generated by driving can be suppressed.
Further, since the coil 212 is provided on the surface of the movable plate 21 opposite to the light reflecting portion 211, the degree of freedom in designing the light reflecting portion 211 is not reduced.

また、本実施形態では、可動板２１の板面に沿って渦巻状に溝（第１の溝）２１３が形成され、当該溝２１３内にコイル２１２が設置されている。したがって、コイル２１２は、可動板２１の板面に沿って渦巻状に形成されている。このような渦巻状のコイル２１２は、単に環状に形成したコイルに比し大きな磁力を発生させることができ、また、可動板２１の厚さ方向に積層して形成したコイルに比し構成が簡単で製造も容易である。すなわち、コイル２１２の構成を比較的簡単なものとするとともに、駆動電圧を抑えつつ、コイル２１２に生じる磁力を大きくすることができる。 In this embodiment, a groove (first groove) 213 is formed in a spiral shape along the plate surface of the movable plate 21, and the coil 212 is installed in the groove 213. Therefore, the coil 212 is formed in a spiral shape along the plate surface of the movable plate 21. Such a spiral coil 212 can generate a larger magnetic force than a coil formed in an annular shape, and has a simpler structure than a coil formed by stacking in the thickness direction of the movable plate 21. It is easy to manufacture. That is, the configuration of the coil 212 can be made relatively simple, and the magnetic force generated in the coil 212 can be increased while suppressing the drive voltage.

また、コイル２１２を構成する素線の一端（渦巻きの外周側の端）は、可動板２１と軸部材２３との境界部付近に位置し、後述する配線２３１に電気的に接続されている。また、コイル２１２を構成する素線の他端（渦巻きの中心側の端）は、可動板２１の板面の中心付近に位置しているが、ワイヤーボンディングで構成された配線２１４を介して、可動板２１と軸部材２２との境界部付近で、後述する配線２２１に電気的に接続されている。
なお、コイル２１２を構成する素線の他端（渦巻きの中心側の端）と配線２２１との接続は、ワイヤーボンディングに限定されず、例えば、振動部上に絶縁膜を介して配線パターンを成膜するとともに、その絶縁膜に配線パターンに導通する貫通電極を設けた構成でもよい。 In addition, one end of the wire constituting the coil 212 (end on the outer peripheral side of the spiral) is located near the boundary between the movable plate 21 and the shaft member 23 and is electrically connected to a wiring 231 described later. In addition, the other end (end on the center side of the spiral) of the wire constituting the coil 212 is located near the center of the plate surface of the movable plate 21, but via the wiring 214 configured by wire bonding, Near the boundary between the movable plate 21 and the shaft member 22, it is electrically connected to a wiring 221 described later.
The connection between the other end of the wire constituting the coil 212 (the end on the center side of the spiral) and the wiring 221 is not limited to wire bonding, and for example, a wiring pattern is formed on the vibrating portion via an insulating film. In addition to the film, the insulating film may be provided with a through electrode that conducts to the wiring pattern.

また、可動板２１（振動部）とコイル２１２との間には、絶縁膜が介在しているのが好ましい。これにより、コイル２１２と可動板２１と間の絶縁性を優れたものとし、信頼性を向上させることができる。この場合、コイル２１２を構成する素線の外周に絶縁膜を形成してもよいし、可動板２１の下面や溝２２２の壁面に絶縁膜を形成してもよい。また、この絶縁膜の構成材料としては、絶縁性を有していれば特に限定されないが、樹脂、金属酸化物等が挙げられる。 In addition, an insulating film is preferably interposed between the movable plate 21 (vibrating portion) and the coil 212. Thereby, the insulation between the coil 212 and the movable plate 21 is excellent, and the reliability can be improved. In this case, an insulating film may be formed on the outer periphery of the wire constituting the coil 212, or an insulating film may be formed on the lower surface of the movable plate 21 and the wall surface of the groove 222. The constituent material of the insulating film is not particularly limited as long as it has insulating properties, and examples thereof include resins and metal oxides.

また、コイル２１２の構成材料としては、導電性を有するものであれば、特に限定されないが、アルミニウム等の金属が好適に用いられる。
金属は一般に優れた電気伝導性を有するものの変形を繰り返すことにより金属疲労が生じる。したがって、金属で構成されたコイル２１２を用いた場合に、本発明を適用することによる効果が顕著となる。 The constituent material of the coil 212 is not particularly limited as long as it has conductivity, but a metal such as aluminum is preferably used.
Although metal generally has excellent electrical conductivity, metal fatigue is caused by repeated deformation. Therefore, when the coil 212 made of metal is used, the effect of applying the present invention becomes remarkable.

このような可動板２１は、１対の軸部材２２、２３によって支持（両持ち支持）されている。
１対の軸部材２２、２３は、それぞれ、弾性変形可能であるとともに、可動板２１と支持部２４とを連結している。
また、１対の軸部材２２、２３は、互いに同軸的に設けられており、これらを回動中心軸（回転軸）Ｘとして、可動板２１が各軸部材２２、２３の捩れ変形を伴って支持部２４に対して回動可能となっている。 Such a movable plate 21 is supported (both supported) by a pair of shaft members 22 and 23.
Each of the pair of shaft members 22 and 23 can be elastically deformed, and connects the movable plate 21 and the support portion 24.
In addition, the pair of shaft members 22 and 23 are provided coaxially with each other, and the movable plate 21 is accompanied by torsional deformation of the shaft members 22 and 23 using these as rotation center axes (rotation shafts) X. The support part 24 can be rotated.

また、軸部材２２には配線２２１、図３および図４に示すように、軸部材２３には配線２３１が埋設されており、これらの配線２２１、２３１はそれぞれコイル２１２に電気的に接続されている。そして、配線２２１は、支持部２４の下面から露出する端子２４１に電気的に接続され、また、配線２３１は、支持部２４の下面から露出する端子２４２に電気的に接続されている。これにより、配線２２１、２３１を介してコイル２１２に通電することができる。 Further, as shown in FIGS. 3 and 4, the shaft member 22 has a wiring 221, and the shaft member 23 has a wiring 231 embedded therein. These wirings 221 and 231 are electrically connected to the coil 212, respectively. Yes. The wiring 221 is electrically connected to the terminal 241 exposed from the lower surface of the support portion 24, and the wiring 231 is electrically connected to the terminal 242 exposed from the lower surface of the support portion 24. As a result, the coil 212 can be energized via the wirings 221 and 231.

特に、配線２２１は、軸部材２２の下面に軸線方向に沿って形成された溝（第２の溝）２２２内に設置されている。また、配線２３１は、軸部材２３の下面に軸線方向に沿って形成された溝（第２の溝）２３２内に設置されている。
すなわち、配線２２１は軸部材２２内に埋設され、また、配線２３１は軸部材２３内に埋設されている。 In particular, the wiring 221 is installed in a groove (second groove) 222 formed in the lower surface of the shaft member 22 along the axial direction. The wiring 231 is installed in a groove (second groove) 232 formed on the lower surface of the shaft member 23 along the axial direction.
That is, the wiring 221 is embedded in the shaft member 22, and the wiring 231 is embedded in the shaft member 23.

これにより、軸部材２２の捩れ変形によって配線２２１に生じる応力や、軸部材２３の捩れ変形によって配線２３１に生じる応力を低減することができる。その結果、アクチュエータの信頼性を向上させることができる。
また、シリコンで構成された軸部材２２、２３の中央部側に配線２２１、２３１を配置できる。そのため、軸部材２２、２３の非線形性の発生を防止することができる。 Thereby, the stress generated in the wiring 221 due to the torsional deformation of the shaft member 22 and the stress generated in the wiring 231 due to the torsional deformation of the shaft member 23 can be reduced. As a result, the reliability of the actuator can be improved.
Further, the wirings 221 and 231 can be arranged on the center side of the shaft members 22 and 23 made of silicon. Therefore, the occurrence of nonlinearity of the shaft members 22 and 23 can be prevented.

本実施形態では、溝２２２の底部が軸部材２２の厚さ方向（上下方向）での中央部まで達するように形成され、配線２２１は、溝２２２の深さよりも薄い厚さで形成されている。
そのため、配線２２１は、軸部材２２の軸線方向に（軸部材２２の軸線に沿って）配置されている。これにより、軸部材２２の捩れ変形によって配線２２１に生じる応力をより確実に低減することができる。 In the present embodiment, the bottom portion of the groove 222 is formed so as to reach the central portion in the thickness direction (vertical direction) of the shaft member 22, and the wiring 221 is formed with a thickness smaller than the depth of the groove 222. .
Therefore, the wiring 221 is disposed in the axial direction of the shaft member 22 (along the axis of the shaft member 22). Thereby, the stress which arises in the wiring 221 by the torsional deformation of the shaft member 22 can be reduced more reliably.

同様に、溝２３２の底部が軸部材２３の厚さ方向（上下方向）での中央部まで達するように形成され、配線２３１は、溝２３２の深さよりも薄い厚さで形成されている。
そのため、配線２３１は、軸部材２３の軸線方向に（軸部材２３の軸線に沿って）配置されている。これにより、軸部材２３の捩れ変形によって配線２２１に生じる応力をより確実に低減することができる。 Similarly, the bottom of the groove 232 is formed so as to reach the center in the thickness direction (vertical direction) of the shaft member 23, and the wiring 231 is formed with a thickness smaller than the depth of the groove 232.
Therefore, the wiring 231 is disposed in the axial direction of the shaft member 23 (along the axis of the shaft member 23). Thereby, the stress which arises in the wiring 221 by the torsional deformation of the shaft member 23 can be reduced more reliably.

このような各配線２２１、２３１についても、前述したコイル２１２と同様に、軸部材２２（振動部）と配線２２１との間や、軸部材２３（振動部）と配線２３１との間には、絶縁膜が介在しているのが好ましい。これにより、配線２２１、２３１と振動部と間の絶縁性を優れたものとし、信頼性を向上させることができる。
また、各配線２２１、２３１の構成材料としては、導電性を有するものであれば、特に限定されないが、アルミニウム等の金属が好適に用いられる。特に、配線２２１、２３１は、コイル２１２と同種の材料で構成され、かつ、後述するように一体で（一括して）形成するのが好ましい。 For each of these wirings 221, 231 as well as the coil 212 described above, between the shaft member 22 (vibrating part) and the wiring 221, or between the shaft member 23 (vibrating part) and the wiring 231, An insulating film is preferably interposed. Thereby, the insulation between the wirings 221 and 231 and the vibration part can be made excellent, and the reliability can be improved.
In addition, the constituent material of each of the wirings 221 and 231 is not particularly limited as long as it has conductivity, but a metal such as aluminum is preferably used. In particular, it is preferable that the wirings 221 and 231 are made of the same material as that of the coil 212 and are integrally (collectively) formed as described later.

前述したように金属は一般に優れた電気伝導性を有するものの変形を繰り返すことにより金属疲労が生じる。したがって、金属で構成された配線を用いた場合、本発明を適用することによる効果が顕著となる。
このような可動板２１および１対の軸部材２２、２３は、振動系（振動部）を構成している。すなわち、本実施形態では、振動部が可動板２１および１対の軸部材２２、２３からなる１つの振動系（すなわち１自由度振動系）を有するものである。 As described above, metals generally have excellent electrical conductivity, but metal fatigue is caused by repeated deformation. Therefore, when the wiring comprised with the metal is used, the effect by applying this invention becomes remarkable.
Such a movable plate 21 and the pair of shaft members 22 and 23 constitute a vibration system (vibration unit). That is, in the present embodiment, the vibration unit has one vibration system (that is, a one-degree-of-freedom vibration system) including the movable plate 21 and the pair of shaft members 22 and 23.

このような振動系を有する基体２は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、可動板２１と１対の軸部材２２、２３と支持部２４が一体的に形成されている。
また、このような振動部は、後述するように１つの基板をエッチングすることにより一体的に形成されたものである。これにより、シリコンで一体的に形成された振動部を簡単に製造することができる。 The base body 2 having such a vibration system is made of, for example, silicon as a main material, and a movable plate 21, a pair of shaft members 22, 23, and a support portion 24 are integrally formed.
Moreover, such a vibration part is integrally formed by etching one substrate as will be described later. Thereby, the vibration part integrally formed with silicon can be easily manufactured.

この基板の平均厚さ（すなわち可動板２１や軸部材２２、２３の厚さ）は、それぞれ、特に限定されないが、１〜１５００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
また、前述したような振動系（振動部）を支持するための支持部２４は、可動板２１の外周を囲むように枠状をなしている。そして、この支持部２４の下面に、支持体３が接合されている。 The average thickness of the substrate (that is, the thickness of the movable plate 21 and the shaft members 22 and 23) is not particularly limited, but is preferably 1 to 1500 μm, and more preferably 10 to 300 μm.
Further, the support portion 24 for supporting the vibration system (vibration portion) as described above has a frame shape so as to surround the outer periphery of the movable plate 21. The support 3 is joined to the lower surface of the support 24.

支持体３は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。そして、基体２と支持体３とは直接接合または陽極接合により接合されている。なお、基体２と支持体３とは、例えば、ガラス、シリコン、またはＳｉＯ_２を主材料として構成された接合層を介して接合されていてもよいし、接着剤を介して接合されていてもよい。
支持体３は、前述した支持部２４に沿って枠状をなしている。なお、支持体３の形状は、前述したものに限定されない。 The support 3 is made of, for example, glass or silicon as a main material. The base body 2 and the support 3 are bonded by direct bonding or anodic bonding. The base 2 and the support 3 may be bonded via, for example, a bonding layer made of glass, silicon, or SiO ₂ as a main material, or may be bonded via an adhesive. Good.
The support 3 has a frame shape along the support portion 24 described above. In addition, the shape of the support body 3 is not limited to what was mentioned above.

このような支持体３にあっては、その内側の空間が、基体２の振動系の振動、すなわち可動板２１が回動（振動）する際に、支持体３に接触するのを防止する逃げ部を構成する。このような逃げ部を設けることにより、アクチュエータ１全体の大型化を防止しつつ、可動板２１の振れ角（振幅）をより大きく設定することができる。
このような支持体３の側面には、１対の磁石４１、４２が接合・固定されている。 In such a support 3, the space inside thereof prevents the contact with the support 3 when the vibration of the vibration system of the base 2, that is, when the movable plate 21 rotates (vibrates). Parts. By providing such an escape portion, the deflection angle (amplitude) of the movable plate 21 can be set larger while preventing the actuator 1 from being enlarged.
A pair of magnets 41 and 42 are joined and fixed to the side surface of the support 3.

この１対の磁石４１、４２は、可動板２１の回動中心軸Ｘを介して互いに対向するとともに、それぞれ非回動時の可動板２１の端面に対向するように設けられている。このようにして各磁石４１、４２は、コイル２１２に対向している。
また、磁石４１は、可動板２１側をＳ極とするように設置され、磁石４２は、可動板２１側をＮ極とするように設置されている。したがって、１対の磁石４１、４２は、可動板２１付近に、非回動時の可動板２１の板面に平行で、かつ、可動板２１の回動中心軸Ｘに直角な方向の磁界を発生させる。 The pair of magnets 41 and 42 are provided so as to face each other via the rotation center axis X of the movable plate 21 and to face the end surface of the movable plate 21 when not rotating. In this way, each magnet 41, 42 faces the coil 212.
Further, the magnet 41 is installed so that the movable plate 21 side is an S pole, and the magnet 42 is installed so that the movable plate 21 side is an N pole. Therefore, the pair of magnets 41, 42 generate a magnetic field in the vicinity of the movable plate 21 in a direction parallel to the plate surface of the movable plate 21 when not rotated and perpendicular to the rotation center axis X of the movable plate 21. generate.

なお、磁石４１、４２は、永久磁石ではなく、電磁石であってもよい。また、磁石４１、４２の極性は、図示のものに限定されないことは言うまでもない。
以上のような構成を有するアクチュエータ１は、次のようにして作動する。
図示しない電源回路が配線２２１、２３１を介してコイル２１２に交番電圧を印加することにより、コイル２１２に生じる磁界の方向が上方向と下方向とで交互に切り換わる。 Magnets 41 and 42 may be electromagnets instead of permanent magnets. Needless to say, the polarities of the magnets 41 and 42 are not limited to those shown in the drawing.
The actuator 1 having the above configuration operates as follows.
When a power supply circuit (not shown) applies an alternating voltage to the coil 212 via the wirings 221 and 231, the direction of the magnetic field generated in the coil 212 is switched alternately between the upward direction and the downward direction.

そのため、１対の磁石４１、４２の磁界中に配された可動板２１は、各軸部材２２、２３の捩れ変形を伴いながら、可動板２１が支持部２４に対し回動（振動）する。
ここで、可動板２１と１対の軸部材２２、２３とからなる振動系の固有振動数ω_１は、可動板２１の慣性モーメントＪ_１と、１対の軸部材２２、２３のばね定数ｋ_１とにより、ω_１＝（ｋ_１／Ｊ_１）^１／２によって与えられる。コイル２１２に印加する交番電圧の周波数は、固有振動数ω１と同じであっても異なっていてもよいが、固有振動数ω１と同じである場合、効率よくアクチュエータ１を作動させることができる。 Therefore, the movable plate 21 arranged in the magnetic field of the pair of magnets 41 and 42 rotates (vibrates) with respect to the support portion 24 while the shaft members 22 and 23 are twisted and deformed.
Here, the natural frequency ω ₁ of the vibration system composed of the movable plate 21 and the pair of shaft members 22 and 23 is the inertia moment J ₁ of the movable plate 21 and the spring constant k of the pair of shaft members 22 and 23. the ₁ and given by _{_{_{^{ω 1 = (k 1 / J}}}} 1) 1/2. The frequency of the alternating voltage applied to the coil 212 may be the same as or different from the natural frequency ω1, but when it is the same as the natural frequency ω1, the actuator 1 can be operated efficiently.

以上説明したように構成されたアクチュエータ１によれば、コイル２１２および配線２２１、２３１が振動部（振動系）に形成された溝内に設置されているため、駆動によって配線２２１、２３１やコイル２１２に生じる応力を低減して、信頼性を向上させることができる。
特に、本発明では、（１）シリコンはポリイミドのような樹脂材料に比し熱伝導率が高いため、コイル２１２への通電によって生じる熱や、光反射部２１１に照射された光によって生じる熱を振動部の外部へ逃がして、長期に亘り所望の振動特性を維持することができる。 According to the actuator 1 configured as described above, since the coil 212 and the wirings 221 and 231 are installed in the groove formed in the vibration part (vibration system), the wirings 221 and 231 and the coil 212 are driven by driving. Thus, the stress generated in the substrate can be reduced and the reliability can be improved.
In particular, in the present invention, (1) since silicon has a higher thermal conductivity than a resin material such as polyimide, heat generated by energizing the coil 212 or heat generated by light applied to the light reflecting portion 211 is used. The desired vibration characteristics can be maintained for a long time by escaping to the outside of the vibration part.

また、（２）振動部がシリコンで一体的に形成されているため、駆動によって生じる応力による接合部での剥離を防止することができる。
さらに、（３）振動部がシリコンで一体的に形成されているため、熱膨張による意図しない応力の発生を防止することができる。
また、（４）製造工程の簡略化を図ることができる。 Further, (2) since the vibration part is integrally formed of silicon, it is possible to prevent peeling at the joint due to stress generated by driving.
Furthermore, (3) since the vibration part is integrally formed of silicon, it is possible to prevent unintended stress from being generated due to thermal expansion.
In addition, (4) the manufacturing process can be simplified.

また、（５）シリコンで構成された振動部の中央部側にコイル２１２や配線２２１、２３１を配置できる。そのため、可動板２１に生じる反り（静撓み）や、軸部材２２、２３の非線形性の発生を防止することができる。
このような（１）〜（５）の効果により、本発明のアクチュエータ１は、電磁駆動（ムービングコイル）方式において、製造時における工程を簡略化するとともに、優れた信頼性を発揮することができる。 Further, (5) the coil 212 and the wirings 221 and 231 can be arranged on the center side of the vibrating part made of silicon. Therefore, it is possible to prevent the warp (static deflection) generated in the movable plate 21 and the nonlinearity of the shaft members 22 and 23 from occurring.
Due to the effects (1) to (5), the actuator 1 of the present invention can exhibit excellent reliability while simplifying the manufacturing process in the electromagnetic drive (moving coil) system. .

このようなアクチュエータ１は、例えば、次のようにして製造することができる。
図５は、図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図５中の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図５では、図２中のＢ−Ｂ線断面に対応する断面を示している。
アクチュエータ１の製造方法は、［１］基板をエッチングして溝２１３、２２２、２３２を形成する第１の工程と、［２］溝２１３内にコイル２１２、溝２２２内に配線２２１、溝２３２内に配線２３１を形成する第２の工程と、基板をエッチングして可動板２１、１対の軸部材２２、２３、および支持部２４を形成する第３の工程と、［４］基板に支持体３および磁石４１、４２を接合する第４の工程とを有する。 Such an actuator 1 can be manufactured as follows, for example.
FIG. 5 is a view (longitudinal sectional view) for explaining the manufacturing method of the actuator shown in FIG. Hereinafter, for convenience of explanation, the upper side in FIG. 5 is referred to as “upper” and the lower side is referred to as “lower”. FIG. 5 shows a cross section corresponding to the cross section taken along the line BB in FIG.
The manufacturing method of the actuator 1 includes: [1] a first step of etching the substrate to form grooves 213, 222, and 232; [2] a coil 212 in the groove 213, a wiring 221 in the groove 222, and a groove 232. A second step of forming the wiring 231 on the substrate, a third step of etching the substrate to form the movable plate 21, the pair of shaft members 22, 23, and the support 24, and [4] a support on the substrate. 3 and a fourth step of joining the magnets 41 and 42.

以下、各工程を順次説明する。
［１］まず、図５（ａ）に示すように、シリコンで構成された基板２Ａを用意する。
そして、図５（ｂ）に示すように、所定のマスクを介して基板２Ａの一方の面をエッチングして、溝２１３、を形成する。その際、溝２２２、２３２も溝２１３と同時に一括して形成する。
エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。 Hereinafter, each process is demonstrated one by one.
[1] First, as shown in FIG. 5A, a substrate 2A made of silicon is prepared.
Then, as shown in FIG. 5B, one surface of the substrate 2A is etched through a predetermined mask to form a groove 213. At this time, the grooves 222 and 232 are also formed at the same time as the grooves 213.
As an etching method, for example, one or more of physical etching methods such as plasma etching, reactive ion etching, beam etching, and light-assisted etching, and chemical etching methods such as wet etching are used in combination. be able to.

［２］次に、図５（ｃ）に示すように、形成された溝２１３の底面上に、コイル２１２を形成する。その際、配線２２１、２３１も、コイル２１２と同時に一括して形成する。
なお、配線２２１、２３１やコイル２１２の絶縁のための絶縁膜を形成する場合には、前述した本工程［２］の前に行う。
コイル２１２の形成方法としては、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、金属箔の接合等が挙げられる。 [2] Next, as shown in FIG. 5C, the coil 212 is formed on the bottom surface of the formed groove 213. At this time, the wirings 221 and 231 are also formed at the same time as the coil 212.
In addition, when forming the insulating film for the insulation of the wirings 221, 231 and the coil 212, it is performed before the above-described step [2].
Examples of the method of forming the coil 212 include vacuum plating, sputtering (low temperature sputtering), dry plating methods such as ion plating, wet plating methods such as electrolytic plating and electroless plating, thermal spraying methods, joining metal foils, and the like.

［３］次に、図５（ｄ）に示すように、所定のマスクを介して基板２Ａをエッチングして、可動板２１、１対の軸部材２２、２３、および支持部２４を形成する。これにより、基体２が得られる。
なお、本工程は、第１の工程の前や、第１の工程と第２の工程との間に行うことも可能である。 [3] Next, as shown in FIG. 5D, the substrate 2 A is etched through a predetermined mask to form the movable plate 21, the pair of shaft members 22, 23, and the support portion 24. Thereby, the base 2 is obtained.
Note that this step can be performed before the first step or between the first step and the second step.

［４］次に、図５（ｅ）に示すように、得られた基体２に支持体３および磁石４１、４２を直接性合や陽極接合により接合して、アクチュエータ１を得る。
以上説明したような製造方法によれば、基板２Ａをエッチングして溝を形成する第１の工程と、溝内にコイルおよび配線を形成する第２の工程とを有しているため、前述したようなアクチュエータ１を得ることができる。すなわち、得られるアクチュエータ１は、電磁駆動（ムービングコイル）方式において、製造時における工程を簡略化するとともに、優れた信頼性を発揮することができる。 [4] Next, as shown in FIG. 5 (e), the support 3 and the magnets 41 and 42 are joined to the obtained base 2 by direct bonding or anodic bonding to obtain the actuator 1.
The manufacturing method as described above includes the first step of etching the substrate 2A to form a groove and the second step of forming a coil and a wiring in the groove. Such an actuator 1 can be obtained. That is, the obtained actuator 1 can exhibit excellent reliability while simplifying the manufacturing process in the electromagnetic driving (moving coil) system.

＜第２実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図６は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す部分拡大斜視図である。
以下、第２実施形態について説明するが、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。 Second Embodiment
Next, a second embodiment of the actuator of the present invention will be described.
FIG. 6 is a partially enlarged perspective view showing a second embodiment of the actuator of the present invention.
In the following, the second embodiment will be described, but the description will focus on the differences from the first embodiment described above, and description of similar matters will be omitted.

本実施形態のアクチュエータは、振動部の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。
本実施形態にかかるアクチュエータでは、図６に示すように、可動板２１Ａと１対の軸部材２２Ａ、２３Ａとで振動部（振動系）が構成されている。
可動板２１Ａには溝２１３Ａが形成され、この溝２１３Ａ内にコイル２１２が設置されている。また、軸部材２２Ａには溝２２２Ａが形成され、この溝２２２Ａ内に配線２２１が設置されている。また、軸部材２３Ａには溝２３２Ａが形成され、この溝２３２Ａ内に配線２３１が設置されている。 The actuator of this embodiment is the same as that of 1st Embodiment mentioned above except the structures of a vibration part differing.
In the actuator according to the present embodiment, as shown in FIG. 6, the movable plate 21 A and the pair of shaft members 22 A and 23 A constitute a vibration part (vibration system).
A groove 213A is formed in the movable plate 21A, and a coil 212 is installed in the groove 213A. Further, a groove 222A is formed in the shaft member 22A, and a wiring 221 is installed in the groove 222A. Further, a groove 232A is formed in the shaft member 23A, and a wiring 231 is installed in the groove 232A.

このような可動板２１Ａおよび１対の軸部材２２、２３で構成された振動部は、溝２１３Ａ、２２２Ａ、２３２Ａが形成された本体２５と、コイル２１２および配線２２１、２３１の一部を覆うように本体２５に接合された蓋部２６とを有する。
これにより、振動部の重心を可動板２１の回動中心軸Ｘに近づけることができる。その結果、振動特性を向上させることができる。 The vibrating part composed of the movable plate 21A and the pair of shaft members 22 and 23 covers the main body 25 in which the grooves 213A, 222A and 232A are formed, and a part of the coil 212 and the wirings 221 and 231. And a lid portion 26 joined to the main body 25.
Thereby, the center of gravity of the vibration part can be brought close to the rotation center axis X of the movable plate 21. As a result, vibration characteristics can be improved.

特に、蓋部２６は、可動板２１の回動中心軸Ｘ付近の少なくとも一部２６１を除くように設けられている。これにより、コイル２１２が渦巻状であっても、コイル２１２と配線２２１、２３１との電気的接続を許容しつつ、振動部の重心を可動板２１の回動中心軸Ｘに近づけることができる。
ここで、本体２５は、シリコンで構成されている。 In particular, the lid portion 26 is provided so as to exclude at least a portion 261 near the rotation center axis X of the movable plate 21. As a result, even if the coil 212 is spiral, the center of gravity of the vibrating part can be brought close to the rotation center axis X of the movable plate 21 while allowing electrical connection between the coil 212 and the wirings 221 and 231.
Here, the main body 25 is made of silicon.

また、本体２５に形成された溝２１３Ａ、２２２Ａ、２３２Ａの深さは、コイル２１２や配線２２１、２３１の厚さとほぼ等しくなっている。
また、蓋部２６の構成材料は、特に限定されないが、ポリシリコンが好適に用いられる。
また、このような蓋部２６の形成方法としては、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、金属箔の接合等が挙げられる。また、蓋部２６を構成する層の形成は、前述した第１実施形態におけるアクチュエータ１の製造方法において、工程［２］と工程［３］との間、または、工程［３］と工程［４］との間に行うことができる。 Further, the depths of the grooves 213A, 222A, 232A formed in the main body 25 are substantially equal to the thicknesses of the coil 212 and the wirings 221, 231.
Further, the constituent material of the lid portion 26 is not particularly limited, but polysilicon is preferably used.
In addition, as a method of forming such a lid portion 26, vacuum deposition, sputtering (low temperature sputtering), dry plating methods such as ion plating, wet plating methods such as electrolytic plating and electroless plating, thermal spraying methods, metal foils, etc. Joining etc. are mentioned. The formation of the layers constituting the lid portion 26 is performed between the step [2] and the step [3] or between the step [3] and the step [4] in the manufacturing method of the actuator 1 according to the first embodiment described above. ] Can be performed.

以上説明したようなアクチュエータ１、１Ａは、例えば、光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどに適用することができる。
アクチュエータ１、１Ａを光スキャナとして用いた場合、アクチュエータ１（本発明にかかる光スキャナ）は、光反射部２１１で反射した光を走査する。このような本発明にかかる光スキャナは、優れた信頼性を発揮することができる。
このような光スキャナは、例えば、レーザープリンタ、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。 The actuators 1 and 1A described above can be applied to, for example, an optical scanner, an optical switch, and an optical attenuator.
When the actuators 1 and 1A are used as an optical scanner, the actuator 1 (the optical scanner according to the present invention) scans the light reflected by the light reflecting unit 211. Such an optical scanner according to the present invention can exhibit excellent reliability.
Such an optical scanner can be suitably applied to an image forming apparatus such as a laser printer, an imaging display, a barcode reader, or a scanning confocal microscope.

以下、本発明の光スキャナを備えた画像形成装置の具体例を説明する。
まず、電子写真方式を採用するプリンタに本発明を適用した例を説明する。
図７は、本発明の光スキャナを備える画像形成装置（プリンタ）の一例を示す全体構成の模式的断面図、図８は、図７に示す画像形成装置に備えられた露光ユニットの概略構成を示す図である。 Hereinafter, a specific example of an image forming apparatus provided with the optical scanner of the present invention will be described.
First, an example in which the present invention is applied to a printer that employs an electrophotographic system will be described.
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the overall configuration showing an example of an image forming apparatus (printer) including the optical scanner of the present invention, and FIG. 8 is a schematic configuration of an exposure unit provided in the image forming apparatus shown in FIG. FIG.

図７に示す画像形成装置１１０（プリンタ）は、露光・現像・転写・定着を含む一連の画像形成プロセスによって、トナーからなる画像を紙やＯＨＰシートなどの記録媒体に記録するものである。このような画像形成装置１１０は、図７に示すように、図示矢印方向に回転する感光体１１１を有し、その回転方向に沿って順次、帯電ユニット１１２、露光ユニット１１３、現像ユニット１１４、転写ユニット１１５、クリーニングユニット１１６が配設されている。また、画像形成装置１１０は、図７にて、下部に、紙などの記録媒体Ｐを収容する給紙トレイ１１７が設けられ、上部に、定着装置１１８が設けられている。
このような画像形成装置１１０にあっては、まず、図示しないホストコンピュータからの指令により、感光体１１１、現像ユニット１１４に設けられた現像ローラ（図示せず）、および中間転写ベルト１５１が回転を開始する。そして、感光体１１１は、回転しながら、帯電ユニット１１２により順次帯電される。 An image forming apparatus 110 (printer) shown in FIG. 7 records an image made of toner on a recording medium such as paper or an OHP sheet by a series of image forming processes including exposure, development, transfer, and fixing. As shown in FIG. 7, such an image forming apparatus 110 has a photoconductor 111 that rotates in the direction of the arrow shown in the figure. A unit 115 and a cleaning unit 116 are provided. In FIG. 7, the image forming apparatus 110 is provided with a paper feed tray 117 that accommodates a recording medium P such as paper at the bottom, and a fixing device 118 at the top.
In such an image forming apparatus 110, first, in response to a command from a host computer (not shown), the photosensitive member 111, the developing roller (not shown) provided in the developing unit 114, and the intermediate transfer belt 151 rotate. Start. The photosensitive member 111 is sequentially charged by the charging unit 112 while rotating.

感光体１１１の帯電された領域は、感光体１１１の回転に伴って露光位置に至り、露光ユニット１１３によって、第１色目、例えばイエローＹの画像情報に応じた潜像が前記領域に形成される。
感光体１１１上に形成された潜像は、感光体１１１の回転に伴って現像位置に至り、イエロー現像のための現像装置１４４によってイエロートナーで現像される。これにより、感光体１１１上にイエロートナー像が形成される。このとき、現像ユニット１１４は、現像装置１４４が選択的に前記現像位置にて感光体１１１と対向している。なお、この選択は、保持体１４５の軸１４６まわりの回転により、現像装置１４１〜１４４の相対位置関係を維持しつつそれぞれの位置を変えることで行う。 The charged region of the photoconductor 111 reaches an exposure position as the photoconductor 111 rotates, and a latent image corresponding to image information of the first color, for example, yellow Y, is formed in the region by the exposure unit 113. .
The latent image formed on the photoconductor 111 reaches the development position as the photoconductor 111 rotates, and is developed with yellow toner by the developing device 144 for yellow development. As a result, a yellow toner image is formed on the photoreceptor 111. At this time, in the developing unit 114, the developing device 144 selectively faces the photoconductor 111 at the developing position. This selection is performed by changing the respective positions while maintaining the relative positional relationship of the developing devices 141 to 144 by the rotation of the holding body 145 around the axis 146.

感光体１１１上に形成されたイエロートナー像は、感光体１１１の回転に伴って一次転写位置（すなわち、感光体１１１と一次転写ローラ１５２との対向部）に至り、一次転写ローラ１５２によって、中間転写ベルト１５１に転写（一次転写）される。このとき、一次転写ローラ１５２には、トナーの帯電極性とは逆の極性の一次転写電圧（一次転写バイアス）が印加される。なお、この間、二次転写ローラ１５５は、中間転写ベルト１５１から離間している。
前述の処理と同様の処理が、第２色目、第３色目および第４色目について繰り返して実行されることにより、各画像信号に対応した各色のトナー像が、中間転写ベルト１５１に重なり合って転写される。これにより、中間転写ベルト１５１上にはフルカラートナー像が形成される。 The yellow toner image formed on the photoconductor 111 reaches a primary transfer position (that is, a portion where the photoconductor 111 and the primary transfer roller 152 face each other) as the photoconductor 111 rotates, and is intermediated by the primary transfer roller 152. Transfer (primary transfer) is performed on the transfer belt 151. At this time, a primary transfer voltage (primary transfer bias) having a polarity opposite to the charging polarity of the toner is applied to the primary transfer roller 152. During this time, the secondary transfer roller 155 is separated from the intermediate transfer belt 151.
The same processing as described above is repeatedly executed for the second color, the third color, and the fourth color, so that the toner images of the respective colors corresponding to the respective image signals are transferred onto the intermediate transfer belt 151 in an overlapping manner. The As a result, a full color toner image is formed on the intermediate transfer belt 151.

一方、記録媒体Ｐは、給紙トレイ１１７から、給紙ローラ１７１、レジローラ１７２によって二次転写位置（すなわち、二次転写ローラ１５５と駆動ローラ１５４との対向部）へ搬送される。
中間転写ベルト１５１上に形成されたフルカラートナー像は、中間転写ベルト１５１の回転に伴って二次転写位置に至り、二次転写ローラ１５５によって記録媒体Ｐに転写（二次転写）される。このとき、二次転写ローラ１５５は中間転写ベルト１５１に押圧されるとともに二次転写電圧（二次転写バイアス）が印加される。また、中間転写ベルト１５１は、駆動ローラ１５４を回転させることで一次転写ローラ１５２および従動ローラ１５３を従動回転させながら回転する。
記録媒体Ｐに転写されたフルカラートナー像は、定着装置１１８によって加熱および加圧されて記録媒体Ｐに融着される。その後、片面プリントの場合には、記録媒体Ｐは、排紙ローラ対１７３によって画像形成装置１１０の外部へ排出される。 On the other hand, the recording medium P is conveyed from the paper feed tray 117 to the secondary transfer position (that is, the portion where the secondary transfer roller 155 and the driving roller 154 face each other) by the paper feed roller 171 and the registration roller 172.
The full color toner image formed on the intermediate transfer belt 151 reaches the secondary transfer position as the intermediate transfer belt 151 rotates, and is transferred (secondary transfer) to the recording medium P by the secondary transfer roller 155. At this time, the secondary transfer roller 155 is pressed against the intermediate transfer belt 151 and a secondary transfer voltage (secondary transfer bias) is applied. Further, the intermediate transfer belt 151 rotates while the driving roller 154 is rotated and the primary transfer roller 152 and the driven roller 153 are driven to rotate.
The full-color toner image transferred to the recording medium P is heated and pressurized by the fixing device 118 and fused to the recording medium P. Thereafter, in the case of single-sided printing, the recording medium P is discharged to the outside of the image forming apparatus 110 by the discharge roller pair 173.

一方、感光体１１１は一次転写位置を経過した後に、クリーニングユニット１１６のクリーニングブレード１６１によって、その表面に付着しているトナーが掻き落とされ、次の潜像を形成するための帯電に備える。掻き落とされたトナーは、クリーニングユニット１１６内の残存トナー回収部に回収される。
両面プリントの場合には、定着装置１１８によって一方の面に定着処理された記録媒体Ｐを一旦排紙ローラ対１７３により挟持した後に、排紙ローラ対１７３を反転駆動するとともに、搬送ローラ対１７４、１７６を駆動して、当該記録媒体Ｐを搬送路１７５を通じて表裏反転して二次転写位置へ帰還させ、前述と同様の動作により、記録媒体Ｐの他方の面に画像を形成する。 On the other hand, after the primary transfer position has elapsed, the toner adhering to the surface of the photoconductor 111 is scraped off by the cleaning blade 161 of the cleaning unit 116 to prepare for charging to form the next latent image. The toner scraped off is collected by a residual toner collecting unit in the cleaning unit 116.
In the case of double-sided printing, after the recording medium P fixed on one surface by the fixing device 118 is once sandwiched by the paper discharge roller pair 173, the paper discharge roller pair 173 is driven in reverse and the conveyance roller pair 174, 176 is driven, the recording medium P is turned upside down through the transport path 175 and returned to the secondary transfer position, and an image is formed on the other surface of the recording medium P by the same operation as described above.

このような画像形成装置に備えられた露光ユニット１１３は、図示しないパーソナルコンピュータなどのホストコンピュータから画像情報を受けこれに応じて、一様に帯電された感光体１１１上に、レーザーを選択的に照射することによって、静電的な潜像を形成する装置である。
より具体的に説明すると、露光ユニット１１３は、図８に示すように、光スキャナであるアクチュエータ１と、レーザー光源１３１と、コリメータレンズ１３２と、ｆθレンズ１３３とを有している。 The exposure unit 113 provided in such an image forming apparatus receives image information from a host computer such as a personal computer (not shown) and selectively applies a laser on the uniformly charged photoreceptor 111 in accordance with the image information. It is an apparatus that forms an electrostatic latent image by irradiation.
More specifically, as shown in FIG. 8, the exposure unit 113 includes an actuator 1 that is an optical scanner, a laser light source 131, a collimator lens 132, and an fθ lens 133.

露光ユニット１１３にあっては、レーザー光源１３１からコリメータレンズ１３２を介してアクチュエータ１（光反射部２１１）にレーザー光Ｌが照射される。そして、光反射部２１１で反射したレーザー光Ｌがｆθレンズを介して感光体１１１上に照射される。
その際、アクチュエータ１の駆動（可動板２１の回動中心軸Ｘまわりの回動）により、光反射部２１１で反射した光（レーザーＬ）は、感光体１１１の軸線方向に走査（主走査）される。一方、感光体１１１の回転により、光反射部２１１で反射した光（レーザーＬ）は、感光体１１１の周方向に走査（副走査）される。また、レーザー光源１３１から出力されるレーザー光Ｌの強度は、図示しないホストコンピュータから受けた画像情報に応じて変化する。
このようにして露光ユニット１１３は、感光体１１１上を選択的に露光して画像形成（描画）を行う。 In the exposure unit 113, the laser light L is irradiated from the laser light source 131 to the actuator 1 (light reflecting portion 211) via the collimator lens 132. Then, the laser beam L reflected by the light reflecting portion 211 is irradiated onto the photosensitive member 111 through the fθ lens.
At that time, the light (laser L) reflected by the light reflecting portion 211 by the drive of the actuator 1 (rotation about the rotation center axis X of the movable plate 21) scans in the axial direction of the photoconductor 111 (main scanning). Is done. On the other hand, the light (laser L) reflected by the light reflecting portion 211 due to the rotation of the photoconductor 111 is scanned (sub-scanned) in the circumferential direction of the photoconductor 111. Further, the intensity of the laser light L output from the laser light source 131 changes in accordance with image information received from a host computer (not shown).
In this way, the exposure unit 113 selectively exposes the surface of the photoconductor 111 to form an image (drawing).

次に、イメージングディスプレイ（表示装置）に本発明を適用した例を説明する。
図９は、本発明の画像形成装置（イメージングディスプレイ）の一例を示す概略図である。
図９に示す画像形成装置１１９は、光スキャナであるアクチュエータ１と、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の光源１９１、１９２、１９３と、クロスダイクロイックプリズム（Ｘプリズム）１９４と、ガルバノミラー１９５と、固定ミラー１９６と、スクリーン１９７とを備えている。 Next, an example in which the present invention is applied to an imaging display (display device) will be described.
FIG. 9 is a schematic view showing an example of an image forming apparatus (imaging display) of the present invention.
An image forming apparatus 119 shown in FIG. 9 includes an actuator 1 that is an optical scanner, light sources 191, 192, and 193 of three colors R (red), G (green), and B (blue), and a cross dichroic prism (X prism). 194, a galvanometer mirror 195, a fixed mirror 196, and a screen 197.

このような画像形成装置１１９にあっては、光源１９１、１９２、１９３からクロスダイクロイックプリズム１９４を介してアクチュエータ１（光反射部２１１）に各色の光が照射される。このとき、光源１９１からの赤色の光と、光源１９２からの緑色の光と、光源１９３からの青色の光とが、クロスダイクロイックプリズム１９４にて合成される。 In such an image forming apparatus 119, light of each color is irradiated from the light sources 191, 192, 193 to the actuator 1 (light reflecting portion 211) via the cross dichroic prism 194. At this time, the red light from the light source 191, the green light from the light source 192, and the blue light from the light source 193 are combined by the cross dichroic prism 194.

そして、光反射部２１１で反射した光（３色の合成光）は、ガルバノミラー１９５で反射した後に、固定ミラー１９６で反射し、スクリーン１９７上に照射される。
その際、アクチュエータ１の駆動（可動板２１の回動中心軸Ｘまわりの回動）により、光反射部２１１で反射した光は、スクリーン１９７の横方向に走査（主走査）される。一方、ガルバノミラー１９５の軸線Ｙまわりの回転により、光反射部２１１で反射した光は、スクリーン１９７の縦方向に走査（副走査）される。また、各色の光源１９１、１９２、１９３から出力される光の強度は、図示しないホストコンピュータから受けた画像情報に応じて変化する。 Then, the light (three colors of combined light) reflected by the light reflecting portion 211 is reflected by the galvanometer mirror 195, then by the fixed mirror 196, and irradiated on the screen 197.
At that time, the light reflected by the light reflecting portion 211 by the drive of the actuator 1 (rotation about the rotation center axis X of the movable plate 21) is scanned (main scan) in the horizontal direction of the screen 197. On the other hand, the light reflected by the light reflecting portion 211 due to the rotation of the galvano mirror 195 around the axis Y is scanned (sub-scanned) in the vertical direction of the screen 197. In addition, the intensity of light output from the light sources 191, 192, and 193 of each color changes according to image information received from a host computer (not shown).

このようにして画像形成装置１１９は、スクリーン１９７上に画像形成（描画）を行う。
以上、本発明のアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータ等では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。 In this way, the image forming apparatus 119 performs image formation (drawing) on the screen 197.
The actuator, the optical scanner, and the image forming apparatus of the present invention have been described based on the illustrated embodiment. However, the present invention is not limited to this. For example, in the actuator of the present invention, the configuration of each part can be replaced with an arbitrary configuration that exhibits the same function, and an arbitrary configuration can be added.

前述した実施形態では、コイル２１２および配線２２１、２３１を振動部内に埋設した構成を説明したが、コイル２１２または配線２２１、２３１のいずれかのみを振動部内に埋設してもよい。
また、前述した実施形態では、振動部が１自由度振動系を構成するものについて説明したが、振動部が２次自由度以上の振動系を構成していてもよい。例えば、振動部が２自由度振動系を構成する場合、振動部は、各軸部材の途中に駆動部材（質量部）を設けることにより構成する。これにより、振動部が２自由度振動系を構成し、駆動電圧を低減しつつ、可動板の振れ角を大きくすることができる。この場合、電磁駆動用のコイルは、１つまたは１対の駆動部材に設ける。この場合でも、電磁駆動（ムービングコイル）方式において、製造時における工程を簡略化するとともに、優れた信頼性を発揮することができる。 In the above-described embodiment, the configuration in which the coil 212 and the wirings 221 and 231 are embedded in the vibration unit has been described. However, only the coil 212 or the wirings 221 and 231 may be embedded in the vibration unit.
In the above-described embodiment, the description has been given of the vibration unit constituting the one-degree-of-freedom vibration system. However, the vibration unit may constitute the vibration system having the second degree of freedom or more. For example, when a vibration part comprises a 2 degree-of-freedom vibration system, a vibration part is comprised by providing a drive member (mass part) in the middle of each shaft member. Thereby, the vibration part constitutes a two-degree-of-freedom vibration system, and the deflection angle of the movable plate can be increased while reducing the drive voltage. In this case, the coil for electromagnetic drive is provided in one or a pair of drive members. Even in this case, in the electromagnetic drive (moving coil) system, the manufacturing process can be simplified and excellent reliability can be exhibited.

本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1st Embodiment of the actuator of this invention. 図１に示すアクチュエータの平面図である。It is a top view of the actuator shown in FIG. 図１に示すアクチュエータの断面図（（ａ）は図２中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図２中のＢ−Ｂ線断面図）である。1 is a cross-sectional view of the actuator shown in FIG. 1 ((a) is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 2, and (b) is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 2). 図１に示すアクチュエータに備えられたコイルを説明するための部分拡大斜視図である。FIG. 2 is a partially enlarged perspective view for explaining a coil provided in the actuator shown in FIG. 1. 図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。It is a figure (longitudinal sectional drawing) for demonstrating the manufacturing method of the actuator shown in FIG. 本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す部分拡大斜視図である。It is a partial expansion perspective view which shows 2nd Embodiment of the actuator of this invention. 本発明の光スキャナを備える画像形成装置（プリンタ）の一例を示す模式的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of an image forming apparatus (printer) including an optical scanner of the present invention. 図７の画像形成装置に備えられた露光ユニットの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the exposure unit with which the image forming apparatus of FIG. 7 was equipped. 本発明の光スキャナを備える画像形成装置（イメージングディスプレイ）の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of an image forming apparatus (imaging display) provided with the optical scanner of this invention.

Explanation of symbols

１‥‥‥アクチュエータ２‥‥‥基体２Ａ‥‥‥基板２１、２１Ａ‥‥‥可動板２２、２２Ａ、２３、２３Ａ‥‥‥軸部材２４‥‥‥支持部２１１‥‥‥光反射部２１２‥‥‥コイル２１３、２１３Ａ‥‥‥溝２２１、２３１‥‥‥配線２２２、２２２Ａ、２３２、２３２Ａ‥‥‥溝２４１、２４２‥‥‥端子２１４‥‥‥配線２５‥‥‥本体２６‥‥‥蓋部４１、４２‥‥‥磁石３‥‥‥支持体１１０‥‥‥画像形成装置１１１‥‥‥感光体１１２‥‥‥帯電ユニット１１３‥‥‥露光ユニット１１４‥‥‥現像ユニット１１５‥‥‥転写ユニット１１６‥‥‥クリーニングユニット１１７‥‥‥給紙トレイ１１８‥‥‥定着装置１１９‥‥‥画像形成装置１３１‥‥‥レーザー光源１３２‥‥‥コリメータレンズ１３３‥‥‥ｆθレンズ１４１〜１４４‥‥‥現像装置１４５‥‥‥保持体１４６‥‥‥軸１５１‥‥‥中間転写ベルト１５２‥‥‥一次転写ローラ１５３‥‥‥従動ローラ１５４‥‥‥駆動ローラ１５５‥‥‥二次転写ローラ１６１‥‥‥クリーニングブレード１７１‥‥‥給紙ローラ１７２‥‥‥レジローラ１７３‥‥‥排紙ローラ対１７４、１７６‥‥‥搬送ローラ対１７５‥‥‥搬送路１９１〜１９３‥‥‥光源１９４‥‥‥クロスダイクロイックプリズム１９５‥‥‥ガルバノミラー１９６‥‥‥固定ミラー１９７‥‥‥スクリーン２６１‥‥‥一部Ｐ‥‥‥記録媒体Ｘ‥‥‥回動中心軸 1 ... Actuator 2 ... Base 2A ... Substrate 21, 21A ... Movable plate 22, 22A, 23, 23A ... Shaft member 24 ... Support part 211 ... Light reflection part 212 ... ·············································· grooves 221, 231... Part 41, 42 ... Magnet 3 ... Support 110 ... Image forming device 111 ... Photoreceptor 112 ... Charge unit 113 ... Exposure unit 114 ... Development unit 115 ... Transfer Unit 116 ... Cleaning unit 117 ... Paper feed tray 118 ... Fixing device 119 ... Image forming device 131 ... Laser light source 132 ... Rimeter lens 133 ... fθ lens 141 to 144 ... Development device 145 ... Holding body 146 ... Shaft 151 ... Intermediate transfer belt 152 ... Primary transfer roller 153 ... Follower roller 154 ... Drive roller 155 ... Secondary transfer roller 161 ... Cleaning blade 171 ... Feed roller 172 ... Registration roller 173 ... Discharge roller pair 174, 176 ... Conveyance roller pair 175 ... Transport path 191-193 ... Light source 194 ... Cross dichroic prism 195 ... Galvano mirror 196 ... Fixed mirror 197 ... Screen 261 ... Some P ... Recording medium X ... Times Dynamic axis

Claims

A vibration part that includes a movable plate and a pair of shaft members that support the movable plate, and is integrally formed of silicon;
A coil provided in the vibrating section;
Wiring for energizing the coil;
A magnet installed facing the coil,
By energizing the coil disposed in the magnetic field of the magnet, the movable plate is configured to rotate with torsional deformation of each shaft member,
The actuator according to claim 1, wherein the coil and / or the wiring is installed in a groove formed in the vibrating portion.

The actuator according to claim 1, wherein a groove is formed in the movable plate, and the coil is installed in the groove.

The actuator according to claim 2, wherein the coil is located substantially at the center in the thickness direction of the movable plate.

The actuator according to claim 2, wherein the coil is formed in a spiral shape along a plate surface of the movable plate.

The actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein a groove is formed in at least one of the pair of shaft members, and the wiring is installed in the groove.

The actuator according to claim 5, wherein the wiring is arranged in an axial direction of the shaft member.

The said vibration part has a main body in which the said groove | channel was formed, and the cover part joined to the said main body so that at least one part of the said coil and / or the said wiring might be covered. Actuator.

In the movable plate, a first groove is formed in a spiral shape along the plate surface, the coil is installed in the first groove, and each axial member has an axial direction. A second groove is formed, the wiring is installed in the second groove, and the coil and the wiring are connected in the vicinity of the rotation center axis of the movable plate, The actuator according to claim 7, wherein the lid portion is provided so as to exclude at least a part near a rotation center axis of the movable plate.

The actuator according to claim 1, wherein an insulating film is interposed between the vibrating portion and the coil and / or the wiring.

The actuator according to claim 1, wherein the vibration part is formed integrally by etching one substrate.

The actuator according to claim 1, wherein each of the coil and the wiring is made of metal.

A method of manufacturing an actuator in which a coil and a wiring are provided in a vibration part including a movable plate and a pair of shaft members that support the movable plate,
A first step of etching the substrate to form a groove;
And a second step of forming the coil and / or the wiring in the groove.

A movable portion provided with a light reflecting portion and a pair of shaft members that support the movable plate, and a vibrating portion integrally formed of silicon;
A coil provided in the vibrating section;
Wiring for energizing the coil;
A magnet installed facing the coil,
By energizing the coil disposed in the magnetic field of the magnet, the movable plate is rotated with torsional deformation of each shaft member, and the light reflected by the light reflecting portion is scanned. ,
The optical scanner, wherein the coil and / or the wiring is installed in a groove formed in the vibrating portion.

A movable portion provided with a light reflecting portion and a pair of shaft members that support the movable plate, and a vibrating portion integrally formed of silicon;
A coil provided in the vibrating section;
Wiring for energizing the coil;
A magnet installed facing the coil,
By energizing the coil arranged in the magnetic field of the magnet, the movable plate is rotated with torsional deformation of each shaft member, and the light reflected by the light reflecting portion is scanned to scan the image. Configured to form,
The image forming apparatus, wherein the coil and / or the wiring is installed in a groove formed in the vibrating portion.