JP2009066680A - Spindle device - Google Patents

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Hiroshi Aizawa
浩志 相沢
Atsushi Takahashi
淳 高橋
Naoya Kobayashi
直也 小林
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To surely suppress the generation of the air hammering due to the compressibility of air. <P>SOLUTION: The spindle 14 is rotatably supported by a housing 12 via porous air bearings 26, 28. The spindle 14 is connected to the rotary shaft 44 of an electric motor 38 via a flange 18. Air passages 30, 32 are formed in the housing 12 so as to discharge the air, which is introduced from an inlet port 34, from an outlet port 36 via the porous air bearings 26, 28. The porous air bearings 26, 28 are configured by integrating a radial bearing with a thrust bearing. Air discharging passages 54, 56 for introducing the air flowing through the thrust receiving surfaces 26b, 28b of the porous air bearings 26, 28 and for introducing the air outside the bearing, and throttles 58, 60 for adjusting the flow rate of the air passing through the air discharging passages 54, 56, are formed in the porous air bearings 26, 28. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、静圧気体軸受によって回転自在に支持されたスピンドルを電動モータによって回転駆動し、スピンドルの回転力を精密な計測器や加工機などに伝達するのに好適なスピンドル装置に関する。   The present invention relates to a spindle device suitable for rotating a spindle rotatably supported by a static pressure gas bearing by an electric motor and transmitting the rotational force of the spindle to a precision measuring instrument or processing machine.

スピンドル装置は、切削、研削などの工具を回転駆動する工作機械の一要素として、あるいは磁気ディスクなどを回転駆動する検査機械の一要素として用いられている。この種のスピンドル装置は、円筒状のハウジングに、回転軸であるスピンドル（スピンドルシャフト）が静圧気体軸受を介して支持され、スピンドルには電動モータのモータ回転軸が連結され、電動モータの駆動によってスピンドルが回転駆動されるようになっている。この際、静圧気体軸受は、エアの供給を受けてスピンドルとの間に隙間を形成し、スピンドルを非接触で回転自在に支持し、スピンドルが高速で回転できるようになっている。   The spindle device is used as an element of a machine tool that rotationally drives a tool such as cutting and grinding, or as an element of an inspection machine that rotationally drives a magnetic disk or the like. In this type of spindle device, a spindle (spindle shaft), which is a rotating shaft, is supported by a cylindrical housing via a static pressure gas bearing, and a motor rotating shaft of an electric motor is connected to the spindle to drive the electric motor. Thus, the spindle is driven to rotate. At this time, the static pressure gas bearing is supplied with air to form a gap with the spindle, and supports the spindle in a non-contact manner so that the spindle can rotate at high speed.

一方、精密加工機、精密測定器等に使用されるスピンドル装置は、高い剛性が要求される。そのため、スピンドル装置の静圧気体軸受として、空気軸受の中で最も剛性の高い多孔質空気軸受が採用されている。   On the other hand, high rigidity is required for a spindle device used for precision processing machines, precision measuring instruments, and the like. Therefore, the most rigid porous air bearing among the air bearings is adopted as the static pressure gas bearing of the spindle device.

しかし、静圧気体軸受として、空気軸受を用いた場合、エアの圧縮性に起因するエアハンマーと呼ばれる自励振動が発生することがある。特に、空気軸受に多孔質空気軸受を用いた場合、多孔質自体が空気溜りとなり、エアハンマーがより発生し易くなる。   However, when an air bearing is used as the static pressure gas bearing, self-excited vibration called an air hammer may occur due to air compressibility. In particular, when a porous air bearing is used as the air bearing, the porous itself becomes an air reservoir, and an air hammer is more easily generated.

そこで、この発明の目的は、エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制することができるスピンドル装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a spindle device that can reliably suppress the occurrence of an air hammer due to air compressibility.

前記目的を達成するために、本発明は、筒状のハウジングに、スピンドルが静圧気体軸受を介して回転自在に支持され、前記ハウジングに電動モータが並設され、前記スピンドルの長手方向一端側に、前記電動モータのモータ回転軸が連結され、前記ハウジングには、給気口から導入したエアを前記静圧気体軸受を介して排気口から排出するエア通路が形成されてなるスピンドル装置において、前記静圧気体軸受は、前記スピンドルからラジアル方向の荷重を受けるラジアル軸受と前記スピンドルのフランジからスラスト方向の荷重を受けるスラスト軸受とが一体化されて構成され、前記静圧気体軸受には、前記静圧気体軸受と前記スピンドルとの間隙に生じるエアを導入して軸受外部に導くエア排出路と、前記エア排出路を通過するエアの流量を調整する絞りが形成されてなることを特徴とするものである。   In order to achieve the above object, according to the present invention, a spindle is rotatably supported by a cylindrical housing via a static pressure gas bearing, and an electric motor is provided in parallel in the housing, and one end side in the longitudinal direction of the spindle. In addition, in the spindle device, the motor rotating shaft of the electric motor is connected, and the housing is formed with an air passage for discharging the air introduced from the air supply port from the exhaust port through the static pressure gas bearing. The static pressure gas bearing is configured by integrating a radial bearing that receives a radial load from the spindle and a thrust bearing that receives a thrust load from a flange of the spindle. An air discharge path that introduces air generated in a gap between the static pressure gas bearing and the spindle and leads the outside of the bearing, and an air discharge path that passes through the air discharge path It is characterized in that the aperture to adjust the amount is formed.

係る構成によれば、軸受隙間を流れるエアや静圧気体軸受を通過したエアがエア排出路に導入されると、導入されたエアは、エア排出路を流れる過程で、絞りによってその流量が制御される。その際、絞りによるエアの減衰作用が高まり、エアの圧縮性に起因するエアハンマー（自励振動）が発生するのを確実に抑制することができる。   According to this configuration, when air flowing through the bearing gap or air passing through the static pressure gas bearing is introduced into the air discharge path, the flow rate of the introduced air is controlled by the throttle in the process of flowing through the air discharge path. Is done. At that time, the air attenuation action by the throttle is enhanced, and the occurrence of an air hammer (self-excited vibration) due to the compressibility of the air can be reliably suppressed.

前記スピンドル装置を構成するに際しては、以下の要素を付加することができる。好適には、前記エア排出路のエア導入口は、前記静圧気体軸受のスラスト受面に形成されてなる。   In configuring the spindle device, the following elements can be added. Preferably, the air inlet of the air discharge path is formed on a thrust receiving surface of the static pressure gas bearing.

係る構成によれば、エア排出路のエア導入口は、静圧気体軸受のスラスト受面に相対向して形成されているので、軸受隙間を流れるエアや静圧気体軸受を通過したエアのうち静圧気体軸受のスラスト受面を流れるエアをエア排出路に円滑に導入することができる。   According to such a configuration, the air inlet of the air discharge passage is formed opposite to the thrust receiving surface of the static pressure gas bearing, so that the air flowing through the bearing gap or the air passing through the static pressure gas bearing Air flowing through the thrust receiving surface of the static pressure gas bearing can be smoothly introduced into the air discharge path.

好適には、前記スピンドルの長手方向両端側にはそれぞれフランジが形成され、前記各フランジに隣接して前記スピンドル外周には静圧気体軸受がそれぞれ配設されてなる。   Preferably, flanges are formed on both ends of the spindle in the longitudinal direction, and static pressure gas bearings are disposed on the outer periphery of the spindle adjacent to the flanges.

係る構成によれば、各フランジに隣接して静圧気体軸受をそれぞれ配設することで、各静圧気体軸受でスピンドルを円滑に支持することができる。   According to such a configuration, the static pressure gas bearing is disposed adjacent to each flange, so that the spindle can be smoothly supported by each static pressure gas bearing.

好適には、前記各静圧気体軸受には、前記エア排出路及び絞りが形成され、前記各静圧気体軸受のエア排出路のエア導入口は、前記各静圧気体軸受のスラスト受面に形成されてなる。   Preferably, each of the static pressure gas bearings is formed with the air discharge path and a throttle, and an air inlet of the air discharge path of each of the static pressure gas bearings is formed on a thrust receiving surface of each of the static pressure gas bearings. Formed.

係る構成によれば、エア排出路及び絞りは、固定部材としての各静圧気体軸受に形成されているので、エアの排出を円滑にすることができる。また、各静圧気体軸受のエア排出路のエア導入口は、各静圧気体軸受のスラスト受面に形成されているので、軸受隙間を流れるエアや各静圧気体軸受を通過したエアのうち静圧気体軸受のスラスト受面を流れるエアをエア排出路に円滑に導入することができる。   According to such a configuration, since the air discharge path and the throttle are formed in each static pressure gas bearing as a fixed member, air can be discharged smoothly. In addition, since the air inlet of the air discharge path of each static pressure gas bearing is formed in the thrust receiving surface of each static pressure gas bearing, the air flowing through the bearing gap and the air passing through each static pressure gas bearing Air flowing through the thrust receiving surface of the static pressure gas bearing can be smoothly introduced into the air discharge path.

好適には、前記静圧気体軸受は、多孔質空気軸受で構成されてなる。   Suitably, the said static pressure gas bearing is comprised with the porous air bearing.

係る構成によれば、エアの通気性を高めることができる。   According to such a configuration, air permeability can be improved.

本発明によれば、エアハンマーの発生を確実に抑制することができる。   According to the present invention, the occurrence of an air hammer can be reliably suppressed.

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明の一実施例を示すスピンドル装置の断面図である。図1において、スピンドル装置１０は、ほぼ円筒状に形成された金属製（ステンレス製）ハウジング１２を備えており、ハウジング１２内には円筒状のスピンドル（スピンドルシャフト）１４が回転軸として回転自在に収納されている。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a spindle apparatus showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a spindle device 10 includes a metal (stainless steel) housing 12 formed in a substantially cylindrical shape, and a cylindrical spindle (spindle shaft) 14 is rotatable in the housing 12 as a rotation axis. It is stored.

スピンドル１４の長手方向両端部には円筒状のフランジ１６、１８が配置されており、各フランジ１６、１８はスピンドル１４の長手方向両端部にそれぞれボルト（図示せず）を介して連結されている。フランジ１６、１８には、スピンドル１４の貫通孔２０に連なる貫通孔２２、２４がそれぞれ形成されており、貫通孔２０または貫通孔２２は、例えば、チャック機構として機能し、貫通孔２０または貫通孔２２には、切削、研磨などの工具、あるいは磁気ディスクなどが連結されるようになっている。なお、フランジ１６、１８は、スピンドル１４の長手方向両端部に一体に形成することもできる。   Cylindrical flanges 16 and 18 are disposed at both ends in the longitudinal direction of the spindle 14, and the flanges 16 and 18 are respectively connected to both ends in the longitudinal direction of the spindle 14 via bolts (not shown). . The flanges 16 and 18 are respectively formed with through holes 22 and 24 connected to the through hole 20 of the spindle 14. The through hole 20 or the through hole 22 functions as, for example, a chuck mechanism, and the through hole 20 or the through hole 22 is connected to a tool such as cutting and polishing, or a magnetic disk. Note that the flanges 16 and 18 can be integrally formed at both ends in the longitudinal direction of the spindle 14.

ハウジング１２とスピンドル１４との間には、静圧気体軸受として、一対の多孔質空気軸受２６、２８がスピンドル１４の長手方向（軸方向）に沿って配置されている。多孔質空気軸受２６、２８は、スピンドル１４からラジアル荷重（ラジアル方向の荷重）を受けるラジアル軸受と、スピンドル１４からスラスト荷重を受けるスラスト軸受（スラスト方向の荷重）とが一体化されて構成されている。多孔質空気軸受２６、２８のうちスピンドル１４外周との対向面は、ラジアル荷重を受けるラジアル受面２６ａ、２８ａとして構成され、多孔質軸受２６、２８のうちフランジ１６、１８との対向面は、スラスト荷重を受けるスラスト受面２６ｂ、２８ｂとして構成されている。   A pair of porous air bearings 26 and 28 are disposed between the housing 12 and the spindle 14 along the longitudinal direction (axial direction) of the spindle 14 as a static pressure gas bearing. The porous air bearings 26 and 28 are configured by integrating a radial bearing that receives a radial load (a load in the radial direction) from the spindle 14 and a thrust bearing (a load in the thrust direction) that receives a thrust load from the spindle 14. Yes. The opposed surfaces of the porous air bearings 26, 28 to the outer periphery of the spindle 14 are configured as radial receiving surfaces 26a, 28a for receiving a radial load, and the opposed surfaces of the porous bearings 26, 28 to the flanges 16, 18 are The thrust receiving surfaces 26b and 28b are configured to receive a thrust load.

またハウジング１２には、多孔質空気軸受２６、２８にエアを供給するためのエア通路３０、供給したエアを排気するためのエア通路３２が形成されており、エア通路３０の給気口３４にはエア供給源からのエアが供給されるようになっている。給気口３４に導入されたエアは、エア通路３０を介して多孔質空気軸受２６、２８に供給され、多孔質空気軸受２６、２８を通過したエアは、エア通路３２を介して排気口３６から排出されるようになっている。エア供給源からのエアがエア通路３０と多孔質空気軸受２６、２８およびエア通路３２を介して排気口３６から排気される過程では、エアの一部がスピンドル１４外周と各多孔質空気軸受２６、２８との間の軸受隙間から排出されるとともに、多孔質空気軸受２６とフランジ１６との軸受隙間および多孔質空気軸受２８とフランジ１８との間の軸受隙間から排出される。   The housing 12 is formed with an air passage 30 for supplying air to the porous air bearings 26 and 28 and an air passage 32 for exhausting the supplied air. The air is supplied from an air supply source. The air introduced into the air supply port 34 is supplied to the porous air bearings 26, 28 through the air passage 30, and the air that has passed through the porous air bearings 26, 28 passes through the air passage 32 to the exhaust port 36. It comes to be discharged from. In the process in which the air from the air supply source is exhausted from the exhaust port 36 through the air passage 30, the porous air bearings 26, 28 and the air passage 32, a part of the air is outside the spindle 14 and each porous air bearing 26. , 28 and the bearing gap between the porous air bearing 26 and the flange 16 and the bearing gap between the porous air bearing 28 and the flange 18.

この際、多孔質空気軸受２６、２８は、ハウジング１２に支持された状態で、スピンドル１４との対向面が、ラジアル荷重を受けるラジアル受面２６ａ、２８ａとして機能し、フランジ１６、１８との対向面が、スラスト荷重を受けるスラスト受面２６ｂ、２８ｂとして機能し、スピンドル１４とフランジ１６、１８を非接触状態で回転自在に支持することができる。   At this time, the porous air bearings 26, 28 are supported by the housing 12, and the surfaces facing the spindle 14 function as radial receiving surfaces 26 a, 28 a for receiving a radial load, and facing the flanges 16, 18. The surfaces function as thrust receiving surfaces 26b and 28b for receiving a thrust load, and the spindle 14 and the flanges 16 and 18 can be rotatably supported in a non-contact state.

一方、ハウジング１２には、ハウジング１２に隣接して電動モータ３８が並設されており、電動モータ３８は円筒状のモータブラケット４０内に収納されて固定されている。モータブラケット４０は、その長手方向一端部がハウジング１２に連結され、長手方向他端部がカバー４２によって閉塞されている。   On the other hand, an electric motor 38 is juxtaposed to the housing 12 adjacent to the housing 12, and the electric motor 38 is housed and fixed in a cylindrical motor bracket 40. One end of the motor bracket 40 in the longitudinal direction is connected to the housing 12, and the other end in the longitudinal direction is closed by a cover 42.

電動モータ３８は、モータ回転軸４４、ロータ４６、ステータ４８を備え、モータ回転軸４４の長手方向（軸方向）一端側がフランジ１８にボルト（図示せず）を介して連結され、モータ回転軸４４の外周にはロータ４６が圧入されて固定されている。ロータ４６の外側には回転磁界を発生するステータ４８が配置されており、ステータ４８は、モータブラケット４０内壁面に固定されている。この電動モータ３８は、ロータ４６の回転に伴う回転力をモータ回転軸４４を介してフランジ１８に伝達し、スピンドル１４を回転駆動するようになっている。   The electric motor 38 includes a motor rotating shaft 44, a rotor 46, and a stator 48, and one end side in the longitudinal direction (axial direction) of the motor rotating shaft 44 is connected to the flange 18 via a bolt (not shown). A rotor 46 is press-fitted and fixed to the outer periphery. A stator 48 that generates a rotating magnetic field is disposed outside the rotor 46, and the stator 48 is fixed to the inner wall surface of the motor bracket 40. The electric motor 38 transmits the rotational force accompanying the rotation of the rotor 46 to the flange 18 via the motor rotation shaft 44, and rotationally drives the spindle 14.

上記構成によるスピンドル装置１０において、エア供給源からのエアを多孔質空気軸受２６、２８に供給し、多孔質空気軸受２６、２８でスピンドル１４とフランジ１６、１８を非接触状態で回転自在に支持するとともに、電動モータ３８でスピンドル１４を回転駆動するに際して、エア供給源からのエアがエア通路３０と多孔質空気軸受２６、２８およびエア通路３２を介して排気口３６から排気される過程で、フランジ１６と多孔質空気軸受２６との交差部やフランジ１８と多孔質空気軸受１８との交差部に、多孔質空気軸受１６、１８の面取り等に伴う微小ポケットが形成されていると、エアの圧縮性に起因するエアハンマー（自励振動）が発生することがある。エアハンマーが発生すると、高い給気圧力では使用できず、高い剛性が得られなくなる。   In the spindle device 10 having the above-described configuration, air from an air supply source is supplied to the porous air bearings 26 and 28, and the spindle 14 and the flanges 16 and 18 are rotatably supported by the porous air bearings 26 and 28 in a non-contact state. In addition, when the spindle 14 is rotationally driven by the electric motor 38, the air from the air supply source is exhausted from the exhaust port 36 through the air passage 30, the porous air bearings 26 and 28, and the air passage 32. If micro pockets associated with chamfering of the porous air bearings 16 and 18 are formed at the intersection between the flange 16 and the porous air bearing 26 or at the intersection between the flange 18 and the porous air bearing 18, An air hammer (self-excited vibration) may occur due to compressibility. If an air hammer is generated, it cannot be used at a high supply pressure and high rigidity cannot be obtained.

そこで、本実施例においては、多孔質空気軸受２６、２８を通過したエアを外部に速やかに排出するために、スピンドル装置１０の固定部材、例えば、ハウジング１２や多孔質空気軸受２６、２８のうち多孔質空気軸受２６、２８に、図２に示すように、軸受隙間に排出されたエアや多孔質空気軸受２６、２８を通過したエアを導入して軸受外部に導くエア排出路５４、５６と、エア排出路５４、５６を通過するエアの流量を調整する絞り５８、６０を設けることとしている。   Therefore, in the present embodiment, in order to quickly discharge the air that has passed through the porous air bearings 26 and 28 to the outside, among the fixing members of the spindle device 10 such as the housing 12 and the porous air bearings 26 and 28. As shown in FIG. 2, air discharge passages 54 and 56 that introduce air discharged into the bearing gap or air that has passed through the porous air bearings 26 and 28 to the porous air bearings 26 and 28 and lead them to the outside of the bearings. The throttles 58 and 60 for adjusting the flow rate of the air passing through the air discharge paths 54 and 56 are provided.

この際、各エア排出路５４、５６のエア導入口５４ａ、５６ａは、多孔質空気軸受２６、２８のスラスト受面２６ｂ、２８ｂに形成されている。すなわち、各エア排出路５４、５６のエア導入口５４ａ、５６ａは、軸受隙間を流れるエアや多孔質空気軸受２６、２８を通過したエアのうち多孔質空気軸受２６、２８のスラスト受面２６ｂ、２８ｂを流れるエアを円滑に導入できる位置に形成されている。   At this time, the air inlets 54a and 56a of the air discharge passages 54 and 56 are formed in the thrust receiving surfaces 26b and 28b of the porous air bearings 26 and 28, respectively. That is, the air introduction ports 54a and 56a of the air discharge passages 54 and 56 are respectively the thrust receiving surfaces 26b of the porous air bearings 26 and 28 among the air flowing through the bearing gap and the air passing through the porous air bearings 26 and 28. It is formed at a position where air flowing through 28b can be smoothly introduced.

一方、軸受隙間を流れるエアや多孔質空気軸受２６、２８を通過したエアのうちスラスト受面２６ｂ、２８ｂを流れるエアがエア排出路５４、５６に導入されると、このエアは、エア排出路５４、５６を流れる過程で、絞り５８、６０によってその流量が制御される。その際、絞り５８、６０によるエアの減衰作用が高まり、エアの圧縮性に起因するエアハンマー（自励振動）が発生するのを確実に抑制することができる。   On the other hand, when the air flowing through the thrust clearances 26b and 28b out of the air flowing through the bearing gap and the air passing through the porous air bearings 26 and 28 is introduced into the air discharge passages 54 and 56, the air is discharged into the air discharge passage. In the process of flowing through 54 and 56, the flow rate is controlled by the throttles 58 and 60. At this time, the air attenuation action by the throttles 58 and 60 is enhanced, and the occurrence of an air hammer (self-excited vibration) due to the compressibility of the air can be reliably suppressed.

本実施例によれば、エア排出路５４、５６に導入されたエアがエア排出路５４、５６を流れる過程で、絞り５８、６０によってその流量を制御するようにしたため、絞り５８、６０によるエアの減衰作用が高まり、エアの圧縮性に起因するエアハンマー（自励振動）が発生するのを確実に抑制することができる。   According to the present embodiment, the flow rate is controlled by the throttles 58 and 60 in the process in which the air introduced into the air discharge paths 54 and 56 flows through the air discharge paths 54 and 56. Therefore, the occurrence of an air hammer (self-excited vibration) due to air compressibility can be reliably suppressed.

また、本実施例によれば、エア排出路５４、５６及び絞り５８、６０を、固定部材としての多孔質空気軸受２６、２８に形成し、エア排出路５４、５６をエア通路３２に連通させるようにしたため、エアの排出を円滑にすることができる。   Further, according to the present embodiment, the air discharge passages 54 and 56 and the throttles 58 and 60 are formed in the porous air bearings 26 and 28 as the fixing members, and the air discharge passages 54 and 56 are communicated with the air passage 32. As a result, air can be discharged smoothly.

本発明の一実施例を示すスピンドル装置の断面図である。It is sectional drawing of the spindle apparatus which shows one Example of this invention. エア排出路の断面図である。It is sectional drawing of an air discharge path.

符号の説明Explanation of symbols

１０ スピンドル装置、１２ ハウジング、１４ スピンドル、１６、１８ フランジ、２６、２８ 多孔質空気軸受、３０、３２ エア通路、３８ 電動モータ、４４ モータ回転軸、４６ ロータ、４８ ステータ、５４、５６ エア排出路 、５８、６０ 絞り   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Spindle apparatus, 12 Housing, 14 Spindle, 16, 18 Flange, 26, 28 Porous air bearing, 30, 32 Air passage, 38 Electric motor, 44 Motor rotating shaft, 46 Rotor, 48 Stator, 54, 56 Air discharge passage , 58, 60 aperture

Claims (5)

筒状のハウジングに、スピンドルが静圧気体軸受を介して回転自在に支持され、前記ハウジングに電動モータが並設され、前記スピンドルの長手方向一端側に、前記電動モータのモータ回転軸が連結され、前記ハウジングには、給気口から導入したエアを前記静圧気体軸受を介して排気口から排出するエア通路が形成されてなるスピンドル装置において、
前記静圧気体軸受は、前記スピンドルからラジアル方向の荷重を受けるラジアル軸受と前記スピンドルのフランジからスラスト方向の荷重を受けるスラスト軸受とが一体化されて構成され、前記静圧気体軸受には、前記静圧気体軸受と前記スピンドルとの間隙に生じるエアを導入して軸受外部に導くエア排出路と、前記エア排出路を通過するエアの流量を調整する絞りが形成されてなる、ことを特徴とするスピンドル装置。 A spindle is rotatably supported by a cylindrical housing via a static pressure gas bearing, an electric motor is arranged in parallel with the housing, and a motor rotation shaft of the electric motor is connected to one end side in the longitudinal direction of the spindle. In the spindle device in which the housing is formed with an air passage for discharging air introduced from the air supply port from the exhaust port through the static pressure gas bearing,
The static pressure gas bearing is configured by integrating a radial bearing that receives a radial load from the spindle and a thrust bearing that receives a thrust load from a flange of the spindle. An air discharge path that introduces air generated in a gap between the static pressure gas bearing and the spindle and introduces the air to the outside of the bearing, and a throttle that adjusts the flow rate of the air passing through the air discharge path are formed. Spindle device to do. 前記エア排出路のエア導入口は、前記静圧気体軸受のスラスト受面に形成されてなる、ことを特徴とする請求項１に記載のスピンドル装置。   The spindle apparatus according to claim 1, wherein an air introduction port of the air discharge path is formed on a thrust receiving surface of the static pressure gas bearing. 前記スピンドルの長手方向両端側にはそれぞれフランジが形成され、前記各フランジに隣接して前記スピンドル外周には静圧気体軸受がそれぞれ配設されてなる、ことを特徴とする請求項１に記載のスピンドル装置。   2. The spindle according to claim 1, wherein flanges are formed at both ends in the longitudinal direction of the spindle, and static pressure gas bearings are respectively disposed on the outer periphery of the spindle adjacent to the flanges. Spindle device. 前記各静圧気体軸受には、前記エア排出路及び絞りが形成され、前記各静圧気体軸受のエア排出路のエア導入口は、前記各静圧気体軸受のスラスト受面に形成されてなる、ことを特徴とする請求項３に記載のスピンドル装置。   Each of the static pressure gas bearings is formed with the air discharge path and the throttle, and an air inlet of the air discharge path of each of the static pressure gas bearings is formed on a thrust receiving surface of each of the static pressure gas bearings. The spindle device according to claim 3, wherein 前記静圧気体軸受は、多孔質空気軸受で構成されてなる、ことを特徴とする請求項１、２、３または４のうちいずれか１項に記載のスピンドル装置。   5. The spindle device according to claim 1, wherein the static pressure gas bearing is formed of a porous air bearing. 6.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116877577A (en) * 2023-07-10 2023-10-13 通用技术集团机床工程研究院有限公司 Annular thin-sheet porous throttling air bearing

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