JP2009058924A - Lighting system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、主として可視光を利用する照明装置、主として紫外光部分を利用した接着剤硬化用やマスクパターン露光工程等に供せられる照明装置に関するものである。 The present invention relates to an illuminating device mainly using visible light, and an illuminating device mainly used for curing an adhesive using an ultraviolet light portion or a mask pattern exposure process.
メタルハライドランプや超高圧水銀ランプ等いわゆる高輝度ランプは、可視光部分を利用した液晶プロジェクター・背面投射型プロジェクション・店舗照明やファイバー照明として各利用されている。又、紫外光部分を利用した接着剤硬化用や露光工程用等にも利用されている。
特に最近の液晶カラーテレビやプラズマテレビ大型化の要望に対しては、液晶カラーフイルター基板やプラズマデスプレイ基板も又大型化を必要とされ、これら露光工程には高効率で小型光源装置の必要に迫られ、従来光源装置自体の出力を高める事や、複数個以上の光源装置を用いて全体の出力や効率を高める努力がなされている。So-called high-intensity lamps such as metal halide lamps and ultra-high pressure mercury lamps are used as liquid crystal projectors, rear-projection projections, store lighting, and fiber lighting that use the visible light part. Further, it is also used for curing an adhesive using an ultraviolet light portion or for an exposure process.
In particular, in response to the recent demand for larger LCD color TVs and plasma TVs, larger LCD color filter substrates and plasma display substrates are also required, and these exposure processes require the need for highly efficient and compact light source devices. Conventionally, efforts have been made to increase the output of the light source device itself or to increase the overall output and efficiency by using a plurality of light source devices.
以下図5〜図7を参照して、本発明の背景技術について詳細説明する。
図5に示す従来光源ランプ7の構成は、反射鏡7−1a、発光管7−1bに、フイルター兼用飛散防止前面ガラスやリード線付電源入力コネクター等7−1cから構成され、光軸と並行に配置された前記発光管には、所定の電力が前記電源コネクターより勿論供給される。Hereinafter, the background art of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
The configuration of the conventional
前記ランプ7の点灯方式には、交流点灯方式や直流点灯方式があるが、アノード電極とカソード電極(AC点灯の場合は両極)と接続され、前記電源入力コネクタから所定の電力が供給され前記電極両極間で光軸と並行(本図のように水平に設置された場合は水平方向)のアーク放電が電極間に起り点灯する。
尚、前記ランプのアーク放電は水平方向が最も安定・長時間維持でき、その傾き限度は上下10度以内と言われ設置方法が限定されている。The
The arc discharge of the lamp is most stable in the horizontal direction and can be maintained for a long time, and the inclination limit is said to be within 10 degrees up and down, and the installation method is limited.
更に一般的なメタルハライドランプや超高圧水銀ランプとして特徴付けられる点灯中の発光管内部は3000℃、200気圧もの高温・高圧となり常に破損・爆発の危険にさらされている。 Furthermore, the inside of the light-emitting tube, which is characterized as a general metal halide lamp or an ultra-high pressure mercury lamp, has a high temperature and pressure as high as 3000 ° C. and 200 atmospheres, and is constantly in danger of breakage and explosion.
前記ランプ7を安全に点灯維持、破損防止や爆発防止のためには、7−1bA発光管上下部、同前後部7−1bBの最適温度管理を必要とし、前記7−1a反射鏡開放部のへの冷却流の調整や正しい発光管設置角度の選定等が必須条件で、勿論誤れば即破損・爆発の原因となり使用条件に制限が加えられている。 In order to keep the
図5−1は、特に産業界で要望の強い垂直照射方式の概略使用例を示す。
光軸7XFと7XBに並行設置構成の従来ランプでは、破損・爆発の原因を取り除く為に本図のようにランプ7は、光軸7XFと7XBを水平(光軸と並行)に配置、プリズムや反射鏡7−2a用いて、所望の照射面7−2bに垂直照射する方法が取られる。FIG. 5A shows a schematic usage example of the vertical irradiation method which is particularly demanded in the industrial world.
In a conventional lamp having a configuration installed in parallel with the optical axes 7XF and 7XB, in order to eliminate the cause of breakage and explosion, the
多灯式露光用光源装置概略図6及び図6−1では、複数個以上のランプ7を露光用光源装置として利用する目的で、ランプ7を金属筺体に所定の球曲面に沿わせ並置、且つ各々から発せられ、光軸方向が略垂直となるよう配置された支持筐体7−1n、ダクト7−1pを設けた背面カバー7−1eに保持され装着されて構成されている。
一般的には紫外光等の光路7−1d進行方向前方にはフライアイレンズ群7−1gが設けられている。勿論、前記露光用に供する各ランプ7は、反射鏡皮膜処理やランプ反射鏡前面部に、おおよそ450ナノメータ以上の可視光をカットすべく皮膜処理されたフイルター兼飛散防止前面ガラス等を固着されており、前記支持筐体7−1n内部に適宜に装着され配置構成される。6 and 6-1, in order to use a plurality of
In general, a fly-eye lens group 7-1g is provided in front of the light path 7-1d in the traveling direction of ultraviolet light or the like. Of course, each of the
図7は、露光用光源として一般的に採用されている露光装置の概略光路図を表す。
光源装置から発光された紫外光等の光路7−1dは、適宜配置され或いは直接に光路向きを自在に得るための、フライアイレンズ群7−1gを通過し、適宜光路変更用の第一反射鏡7−1h、第二反射鏡7−1j等により、露光面7−1kに到達し、任意に必要な露光照度を得られる構成とされている。FIG. 7 shows a schematic optical path diagram of an exposure apparatus generally employed as an exposure light source.
The optical path 7-1d of ultraviolet light or the like emitted from the light source device is appropriately disposed or directly passes through the fly-eye lens group 7-1g for obtaining the optical path direction freely, and is appropriately reflected as a first reflection for changing the optical path. The mirror 7-1h, the second reflecting mirror 7-1j, and the like reach the exposure surface 7-1k and can arbitrarily obtain necessary exposure illuminance.
以上の構成においても、前記露光用ランプ7を各々点灯、ランプ固定と冷却に供される支持筺体7−1n内部の空冷は勿論、支持筐体7−1n背面部に設けられたダクト7−1pからは、前記発光管7−1bを安全に点灯維持させ発光管上下部7−1bA、同前後部7−1bB各部位の最適温度を得るべく適切な風量を吸引又は吹きつけする送風装置等を適宜配置、更に支持筐体7−1nの一部または全部を水冷とするべく冷却水循環ポンプ等が適宜配置装備されている。 Even in the above configuration, the
光源出力を高め且つ環境保護や省エネルギ政策にも適合し、ハロゲンランプ等の従来光源に比べ10倍以上の輝度を有すると言われているメタルハライド発光管や超高圧水銀発光管を利用し種々の提案が勿論なされているが、かかる現況下、垂直照射等必要な光路を得るためには、少なくとも一個以上のプリズムや反射鏡を装備する必要があり、光路通過の為の特別な空間を必要とし使用上大きな障壁となり且つ非経済的でもあり、前記いずれも光源光線の出射方向は水平のみの限定利用しか出来ず、利用拡大に支障をきたしていた。 Utilizing metal halide arc tubes and ultra-high pressure mercury arc tubes, which are said to increase the light source output, comply with environmental protection and energy saving policies, and have a brightness 10 times higher than that of conventional light sources such as halogen lamps. Proposals have been made, of course, but in order to obtain the necessary optical path such as vertical illumination, it is necessary to equip at least one prism or reflector, and a special space for passing the optical path is required. In both cases, the use of the light source beam is limited only in the horizontal direction, which hinders expansion of use.
更に前記メタルハライド発光管や超高圧水銀発光管は、高圧・高温ランプでもあり個体差も大きく、又それぞれ駆動電源も同じく個体差が大きい光源である。これら光源を照明装置として、単体又は複数個以上で使用するには全体的な照度を一定に保つ必要があり、一定照度品質維持された状態で供せられるべき本照明装置には、効率的な製造手段と効果的な照度基準の統一運用・管理手段の解決も必要である。 Further, the metal halide arc tube and the ultra-high pressure mercury arc tube are high-pressure and high-temperature lamps and have a large individual difference, and each drive power source is a light source having a large individual difference. In order to use these light sources as a lighting device alone or in a plurality or more, it is necessary to keep the overall illuminance constant, and this illuminating device that should be provided in a state where constant illuminance quality is maintained is efficient. There is also a need for solutions for manufacturing operations and effective operation and management measures for effective illumination standards.
更に本発明は以上のかかる課題を解決すると共に、前記高輝度発光管等を使用し、例えば日本国・特開2005−234471等を基本に、効果的な応用方法と搭載技術の新規発明により、照度一定品質維持や光線出射角度自在の照明装置を供給する目的、及び合理的経済価格に添う可視光照明装置や紫外光照明装置等を提供する事にある。 Furthermore, the present invention solves the above-mentioned problems and uses the high-luminance arc tube, etc., for example, based on Japan, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-234471, etc. The object is to provide a lighting device that maintains a constant illuminance quality and provides a light emitting angle freely, and a visible light illumination device, an ultraviolet light illumination device, and the like that meet a reasonable economic price.
少なくともガラス材より放熱効果が大なる素材で形成された反射鏡、一例としていわゆるダイカスト法により形成されたアルミニュム基材で構成した反射鏡と、発光管からなる光源を搭載し、前記発光管と反射鏡からなる放熱効果大なる光源を1単位とし、これら光源を一単位又は複数個以上搭載し構成、所望の領域に任意角度で照射又は所望の領域にレンズやフライアイレンズ群等を配置し、該光源装置から出射する光線で、直射又は該レンズやフライアイレンズ群等の前面を照射するように該光源の各々の出射方向を調整する。 At least a reflector made of a material having a greater heat dissipation effect than a glass material, for example, a reflector made of an aluminum base material formed by a so-called die casting method, and a light source comprising an arc tube, and the arc tube and the reflector A light source with a large heat dissipation effect consisting of a mirror is set as one unit, and one or more of these light sources are mounted, and a desired region is irradiated with an arbitrary angle or a lens or a fly-eye lens group is disposed in a desired region, The emission direction of each of the light sources is adjusted so that the light emitted from the light source device irradiates the front surface of the lens or fly-eye lens group directly.
照明装置の内部に設けられた光源ホルダの一部には複数個以上の凸部が設けられ、反射鏡外周端部には複数個以上の凹部が設けられ、前記凹凸部のそれぞれに整合組合されることにより、あらかじめ組合せ定義した仕様に合致させるものである。 A part of the light source holder provided inside the illumination device is provided with a plurality of convex portions, and a plurality of concave portions are provided at the outer peripheral end of the reflecting mirror, which are aligned and combined with each of the concave and convex portions. By doing so, it matches the specifications defined in advance.
請求項1から6記載の発明によれば、プリズムや反射鏡不要でも、垂直光路且つ直射状態で使用でき、容易に水平、垂直方向で照射や露光が可能となる。
また、一単位又は複数個以上で構成された光源から垂直設置型(略直下光路)で出射された紫外光等光路は(フライアイレンズ群或いは任意の照射面積を得るためのレンズ等を除き)、極めて高価な光路角度変更用第一反射鏡、第二反射鏡等をすくなくとも不要とし、部品点数の削減且つ大幅なコストダウンが可能である。
また、それぞれの光源に発光管電極軸略水平維持機構・光軸位置変更機構や焦点位置変更機構を備える事により、瞬時に照度(光量)増減や照射方向変更ができ、生産効率の増大に結びつき且つ経済的でもある。
また、稼動中の既露光用照明装置や、中古露光用照明装置の光源部代替としても基本的な改造なくして搭載できる。
また、安価なFANにより微風や自然風で単体でも充分な放熱効果が得られ、安定的な照射や露光が可能であり、従来の水冷装置、ダクトや排気装置をも不要とし、部品点数の削減且つ大幅なコストダウン並びに据付角度を自在に設定できる。
また、大きな球曲率もつ支持筺体をも不要とし、勿論大幅なコストダウンが可能である。According to the first to sixth aspects of the present invention, even if a prism or a reflecting mirror is not required, it can be used in a vertical light path and in a direct illumination state, and irradiation and exposure can be easily performed in the horizontal and vertical directions.
In addition, the optical path such as ultraviolet light emitted from a light source composed of one unit or more in a vertical installation type (substantially directly under the optical path) (except for a fly-eye lens group or a lens for obtaining an arbitrary irradiation area) In addition, it is unnecessary to use the extremely expensive first reflecting mirror for changing the optical path angle, the second reflecting mirror, etc., and the number of parts can be reduced and the cost can be greatly reduced.
Also, by providing each light source with the arc tube electrode axis approximately horizontal maintenance mechanism, optical axis position changing mechanism and focal position changing mechanism, the illuminance (light quantity) can be increased and decreased and the irradiation direction can be changed instantly, leading to increased production efficiency. It is also economical.
Moreover, it can be mounted without a basic modification as an alternative to the light source unit of an already-exposed illumination device in operation or a used exposure illumination device.
In addition, a low-cost FAN provides sufficient heat dissipation even with a single wind or natural wind, enabling stable irradiation and exposure, eliminating the need for conventional water-cooling devices, ducts and exhaust devices, and reducing the number of parts. In addition, the cost can be significantly reduced and the installation angle can be set freely.
In addition, a support housing having a large spherical curvature is not required, and of course, the cost can be significantly reduced.
反射鏡外周端部の複数個以上の凹部と照明装置内部の光源ホルダの複数個以上の凸部は、凹凸のそれぞれに整合組合されることにより、光源のそれぞれの駆動電源と発光管固体との照度差を整合でき、より簡単に光軸合わせができ、あらかじめ組合せ定義した特殊仕様区分や仕向地別仕様区分が簡単にでき、光源交換時は、本照明装置指定以外の光源を装着不能し、破裂・破損からの危険を回避できる照明装置として供せられる。 A plurality of concave portions at the outer peripheral end of the reflector and a plurality of convex portions of the light source holder inside the illuminating device are aligned and combined with each of the concave and convex portions, so that each driving power source of the light source and the arc tube solid It is possible to match the difference in illuminance, more easily align the optical axis, easily define the special specification category defined in advance and the specification category by destination, and when replacing the light source, it is not possible to attach light sources other than those specified by this lighting device, It can be used as a lighting device that can avoid danger from bursting and breakage.
反射鏡開放面外周端凹部と光線通過用任意貫通穴付き光源ホルダ外周配置の凸部が取り付き接合する構造を有し、一対の回転保持具が装備されたコ字状アングルを備えた光源装置を1単位とし、これら光源を1単位又は複数個以上搭載し構成、略真下向けに並置した光源装置からの出射光は直接所望の領域に照射、又は所望の領域にフライアイレンズ群を配置し、該光源から出射する光線で、該フライアイレンズ群等の前面を照射するように該光源の各々の出射方向を調整することが出来る形態である。 A light source device having a U-shaped angle having a structure in which a concave portion on the outer periphery of the reflecting mirror open surface and a convex portion on the outer periphery of the light source holder with an optional through hole for passing light are attached and joined, and a pair of rotating holders are provided. One unit, one unit or a plurality of these light sources are mounted, the emitted light from the light source device juxtaposed substantially directly below is directly irradiated to a desired region, or a fly-eye lens group is arranged in a desired region, In this configuration, the emission direction of each light source can be adjusted so that the light emitted from the light source irradiates the front surface of the fly-eye lens group or the like.
前記反射鏡外周端部の一部の少なくとも複数個以上の凹部と、照明装置内光源ホルダの一部の少なくとも複数個以上の凸部を構成することにより、複数以上の組み合わせにより、それぞれの照度差整合ができる形態である。 By constructing at least a plurality of concave portions of a part of the outer peripheral end of the reflecting mirror and at least a plurality of convex portions of a part of the light source holder in the lighting device, a difference in illuminance can be obtained by combining a plurality of the concave portions. It is a form that can be matched.
図1から図4までは、本発明における設置角度自在にして照度整合のできる照明装置の実施例を示す概略図である。
本件発明の用途は、主として可視光を利用する店舗照明用、ファイバー照明用光源、夜間作業用光源装置、更に主として紫外光部分を利用した接着剤硬化用や紫外光を露光用に利用する液晶カラーフイルター、プラズマデスプレイ、プリント基板等の産業界用途におけるマスクパターン露光工程等に供せられる。
特に本件発明では前記露光工程用照明装置の構成例について説明する。1 to 4 are schematic views showing an embodiment of an illuminating device capable of matching the illuminance by freely setting the installation angle in the present invention.
Applications of the present invention are mainly for store lighting that uses visible light, light sources for fiber lighting, light sources for night work, and liquid crystal colors that use ultraviolet light for exposure and adhesive curing that uses ultraviolet light. It is used for mask pattern exposure processes in industrial applications such as filters, plasma displays, and printed circuit boards.
Particularly, in the present invention, a configuration example of the illumination device for the exposure process will be described.
図1は本発明に供せられる光源の斜視図、図1−1は、図1光源のY−Y断面に光源ホルダ1−3を具備した断面図である。以下図1−1構成による光源を、光源装置1と称す。
光源装置1は、反射鏡1−1a、発光管1−1b、フイルター兼用飛散防止前面ガラスやリード線付電源入力コネクター等1−1cからなり、勿論照射光を得るための所定の電源部や制御部からのコントロールは接続装備されている。
少なくともガラス材より放熱効果が大なる素材で形成された光源装置1は、発光管上下部1−1bA、同前後部1−1bB各部の最適温度を適切な仕様内温度にてコントロールさせるため、反射鏡1−1a内の発光管1−1bの一対の電極部は勿論、発光管1−1bを取り巻く周囲の冷却流風向風量を調整可能な構造とし、更に光源装置1に適宜もうけられたフイン1−1eは自然空冷又は微風程度でも発光管1−1b、1−1bA発光管上下部、1−1bB同前後部各部の最適温度を長時間一定に維持させる温度検知機構と適宜の温度管理風量風向調整をもって供される構造としてある。FIG. 1 is a perspective view of a light source used in the present invention, and FIG. 1-1 is a cross-sectional view including a light source holder 1-3 on a YY cross section of the light source of FIG. Hereinafter, the light source having the configuration shown in FIG. 1-1 is referred to as a
The
The
更に、本発明による図1−1の光源装置1は、1−1a反射鏡基材部に一対の発光管1−1b電極軸が、光軸1XFと1XBに略直角(図1−1では紙面に略垂直)に配置されている。即ち図1及び図1−1は、前記発光管電極軸を略水平に維持した状態で、光線1−1dの出射方向を水平方向に設置した構成例である。 Furthermore, in the
更に図1及び図1−1では、光源装置1の一部の反射鏡1−1aの開放面外周端部の一部に複数個の凹部1−2−1、1−2−2、1−2−3、1−2−4・・・が適宜設けられ、図1−1断面図で示す如く前記凹部に整合組合させるべく適宜大きさの光線通過用任意貫通穴付き光源ホルダ1−3の外周部には複数個の凸部1−3a−1、(以下1−3a−2、1−3a−3、1−3a−4は図示省略)・・・もまた適宜設けられ、前記光源装置1の装備の際にはそれぞれの凹凸部(勘合部)が整合組み合わされ、反射鏡1−1a及び光源ホルダ1−3の共通の中心線上(勿論光源の中心線上)に光軸(1XF−1XB)が設定され且つ前期光源及び前記光源ホルダ1−3は着脱可能に固着装備されている。 Further, in FIGS. 1 and 1-1, a plurality of recesses 1-2-1, 1-2-1, 1-2 are formed in a part of the outer peripheral end of the open surface of a part of the reflecting mirror 1-1 a of the
以上の構成において図1−2及び図1−3には、前述した障壁なく下方(垂直)に照射できる光源装置2の構成例を示してある。
図1−2は、前記光源装置1をコ字状アングル1−4と一対の回転保持具等1−4aにより固着装備し、1−4b矢印に示す如く回転角度自在に設置できる構成とし、本図ではまさに水平照射できる状況の光源装置例を示している。(但し前記光源ホルダ1−3は図示省略)。尚1−4アングル形状は、コ字状に限らず一対のL字上アングル等の任意形状でも良い事は言うまでもない。In the above configuration, FIGS. 1-2 and 1-3 show a configuration example of the
1-2 shows a configuration in which the
更に図1−3は、一対の回転保持具1−3b付き前記光源ホルダ1−3に整合組み合わされた光源をコ字状アングル1−4に搭載し、前記光源装置1と一体構成された状態を示す光源装置2の実施例である。
本図は勿論、図1−2で説明した前記1−4b矢印の回転角度を90度(下方に垂直)とした状態の断面図を示しており、光線1−1dは所望の照射面1−1kに垂直直射到達している。
前記記載の通り光源装置2は該光源発光管電極軸を略水平に維持した状態で、該光源反射鏡開放面を下方に向け垂直に照射することになり、光路変更の為に特別な前記プリズムや反射鏡を装備する必要がなく、課題であった光軸と並行設置上下10度以内の制約になんら規制される事なく必要な光路を得ることができる実施例である。Further, FIG. 1-3 shows a state in which a light source matched and combined with the light source holder 1-3 with a pair of rotating holders 1-3b is mounted on the U-shaped angle 1-4 and is integrated with the
This figure, of course, shows a cross-sectional view in a state where the rotation angle of the 1-4b arrow described in FIG. 1-2 is 90 degrees (vertically downward), and the light ray 1-1d is a desired irradiation surface 1- It reaches 1k vertically.
As described above, the
更に本発明によれば、任意の所望の角度で照射したい場合には、該光源発光管電極軸を略水平に維持した状態で、前述の光源装置2と一体の前記回転保持具等により、例えば前記1−4b矢印に示す如く回転角度を所望の角度に調整することにより、光線1−1d出射角度を自在に任意調整ができる照明装置ともなり前述の課題を解決できる。 Further, according to the present invention, when it is desired to irradiate at an arbitrary desired angle, the light source tube electrode axis is maintained in a substantially horizontal state, for example, by the rotary holder integrated with the
前記構成例における反射鏡開放面外周端の凹部1−2−1、・・・の形状は、貫通穴や切欠き等とし、光源ホルダの凸部1−3a−1・・・の形状もまた、前記貫通穴や切欠き等に適合すべく突起物或いは雌雄ネジ構成の雄ネジ先でも良く、固定又は適宜のねじ込み調整で着脱自在としそれぞれに適宜組み合わせすることもできる。
更に複数個の前記雄ネジ゛構成によれば、それぞれの光源の微妙な光軸調整機構としても応用できる特徴がある。
更に前記構成例における前述の凹凸部(勘合部)設置場所は、前記光源装置反射鏡部と前記光源ホルダの対部が、それぞれに取り付き接合する場所ならどこでも良い。In the configuration example, the shape of the concave portion 1-2-1,... At the outer peripheral end of the reflecting mirror open surface is a through hole, a notch or the like, and the shape of the convex portion 1-3a-1,. In order to adapt to the through hole, the notch, etc., a protrusion or a male screw tip having a male / female screw configuration may be used, and it may be fixed or detachable by appropriate screwing adjustment, and may be combined appropriately.
Further, according to the plurality of male screw configurations, there is a feature that can be applied as a delicate optical axis adjusting mechanism of each light source.
Furthermore, the above-described uneven portion (fitting portion) installation location in the above configuration example may be any location where the pair of the light source device reflecting mirror portion and the light source holder are attached to each other.
前記凹部1−2−1と前記凸部1−3a−1の凹凸(勘合部)組み合わせは、反射鏡外周端部1−2−1を凸部、光源ホルダ1−3a−1を凹部構成とすることも差し支えない。
また、前記凹部1−2−1と前記凸部1−3a−1の凹凸組み合わせでは、使用しない凹部は耐熱性の樹脂やセメントあるいは前記反射鏡と同質の基材で穴埋めし、凸部は適宜追加・削除し、それぞれに整合組み合わせできる事はいうまでもない。
勿論前記凹凸構成は、前記光源装置は勿論、従来ガラス反射鏡や金属・樹脂反射鏡の組み合わせにも応用できる。The concave / convex (fitting portion) combination of the concave portion 1-2-1 and the convex portion 1-3a-1 is configured such that the outer peripheral end portion 1-2-1 of the reflecting mirror is a convex portion and the light source holder 1-3a-1 is a concave portion configuration. You can also do it.
Moreover, in the concave / convex combination of the concave portion 1-2-1 and the convex portion 1-3a-1, the concave portion that is not used is filled with a heat-resistant resin, cement, or the same base material as the reflecting mirror, and the convex portion is appropriately Needless to say, they can be added and deleted, and combined with each other.
Of course, the uneven structure can be applied not only to the light source device but also to a combination of a conventional glass reflector and a metal / resin reflector.
さて前述で、いわゆる発光効率の高いメタルハラドランプや超高圧水銀ランプの性能、特に照度的には個体差も大きくバラツキが生じていると説明したが、この種のランプ製造業者では、一般的に照度は上下10%以内の出荷基準が妥当であり限界でもある。一方、駆動電源についても、特にランプ電圧とランプ電流とで制御するいわゆる電力制御方式の駆動電源でも、その出力バラツキも又10%以内の出荷基準が妥当であり限界でもある。 As described above, it has been explained that the performance of so-called high-efficiency metal harad lamps and ultra-high pressure mercury lamps, especially in terms of illuminance, has great variations in individual differences. As for the illuminance, the shipping standard within 10% up and down is reasonable and is also the limit. On the other hand, with regard to the drive power supply, in particular, even in the so-called power control type drive power supply that is controlled by the lamp voltage and the lamp current, the output variation is also reasonable and the limit is 10%.
以上の開発製造技術背景の中で、特に複数個以上の光源を照明装置として照度一定品質を得るためには、いわゆる光源の照度ランク付けと、いわゆる照明装置(特に駆動電源側)の照度ランク付け・整合を必要とする。 In the above development and manufacturing technology background, in particular, in order to obtain a certain illuminance quality by using a plurality of light sources as lighting devices, so-called illuminance ranking of light sources and so-called illuminance ranking of lighting devices (particularly on the drive power source side). • Requires alignment.
例えば、中間照度を100とし、上限照度110、下限照度を90として得られた光原、及び中間照度をえられる照明装置を100、上限照度を得られる照明装置を110、下限照度を得られる照明装置を90とする。
更に前記凹部1−2−3を中間照度を100の光源に適合、更に前記凹部1−2−4を上限照度を110の光源に適合、更に前記凹部1−2−2を下限照度を90の光源にそれぞれ適合させるべく分類するとして、以下の使用配列例となる。
以上の通り、前記反射鏡外周端凹部1−2−1・・・と前記光源ホルダ凸部1−3a−1・・・の構成による整合組み合わせは、それぞれの個体差バラツキを解消し、製造管理上も、更には出荷後の運営・管理にも有効に機能し、市場には照度一定の品質で供せられる実施例である。For example, a light source obtained with an intermediate illuminance of 100, an upper limit illuminance of 110, a lower limit illuminance of 90, and an illumination device that can obtain the intermediate illuminance of 100, an illumination device that can obtain the upper limit of illuminance of 110, and an illumination that can obtain the lower limit of illuminance The device is 90.
Further, the concave portion 1-2-3 is adapted to a light source having an intermediate illuminance of 100, the concave portion 1-2-4 is adapted to a light source having an upper limit illuminance of 110, and the concave portion 1-2-2 is adapted to a lower limit illuminance of 90. As an example of the arrangement of use, the classification is made to suit each light source.
As described above, the matching combination according to the configuration of the outer peripheral edge concave portion 1-2-1... And the light source holder convex portion 1-3a-1. Further, the embodiment functions effectively for operation and management after shipment, and is provided in the market with a constant illuminance quality.
従来は、光源、いわゆるランプの最外周部と、通常一組の凹凸部構成で光軸と位置合わせをしてきたが、寸法精度も充分に取れず光軸ズレの原因にもなっていた。
本発明によれば、勿論全ての前記光源の光軸は、前記光源の複数の凹部1−2−1・・・、前記光源ホルダの複数の凸部1−3a−1・・・いずれをそれぞれに整合しても光軸は変わらぬよう構成されているので、複数のそれぞれの凹凸部を利用する事により、寸法精度も充分に取れ、ズレが少なく簡単に光軸合わせ及び固定位置決めも行う事もできる。Conventionally, a light source, that is, an outermost peripheral part of a so-called lamp, and a set of concave and convex portions are usually aligned with the optical axis. However, the dimensional accuracy is not sufficiently obtained, and the optical axis is shifted.
According to the present invention, of course, the optical axes of all the light sources are the plurality of concave portions 1-2-1... Of the light source and the plurality of convex portions 1-3a-1. The optical axis does not change even if it is aligned with each other, so by using a plurality of concave and convex portions, sufficient dimensional accuracy can be obtained, optical axis alignment and fixed positioning can be easily performed with little deviation. You can also.
更に本考案の照明装置は、顧客特殊仕様(カスタム仕様)区分や、いわゆる100ボルト地域や200ボルト地域等区分して出荷要求される場合には、前記複数の凹部と前記複数の凸部を活用、あらかじめ組合せ定義しておくことにより、製造・運用・安全管理に便宜を与えるものである。 Furthermore, the lighting device of the present invention utilizes the plurality of concave portions and the plurality of convex portions when a customer special specification (custom specification) classification, a so-called 100-volt region or a 200-volt region, etc. are requested for shipment. By defining combinations in advance, convenience is provided for manufacturing, operation, and safety management.
本件照明装置においても、光源寿命(いわゆるランプ寿命)や・破損が生じ、本照明装置指定光源(いわゆる指定交換ランプ)と取替え点灯することになるが、指定光源以外の類似の形状を持つ光源が市場に出回まわる事にもなる。
これらの光源が間違って装着された場合、照度バラツキや、不整合により破裂・破損の原因ともなり重大な支障をきたす。
然るに本発発明によれば、本照明装置指定以外の光源においては、前記光源ホルダの凸部が整合されず装着不能となる事は言うまでもなく、破裂・破損の危険を回避する安全面からも有意義な設置角度自在にして照度整合のできる照明装置である。Even in the present lighting device, the light source life (so-called lamp life) or damage occurs, and the lighting device is designated as a replacement light source (so-called designated replacement lamp), but there is a light source with a similar shape other than the designated light source. It will also be on the market.
If these light sources are installed incorrectly, they can cause rupture and damage due to illuminance variations and inconsistencies, resulting in serious problems.
However, according to the present invention, in light sources other than those designated by the present lighting device, the convex portions of the light source holder are not aligned and cannot be mounted, and it is significant from the viewpoint of safety to avoid the risk of rupture and breakage. It is an illuminating device that can adjust the illuminance by adjusting the installation angle freely.
図1−4には、いわゆる複数個の光源を用い水平・垂直の出射角度を考慮して設計した光源装置の斜視図を示し、1−5多灯式固定フレーム例1に具備される。
即ち前記光源は、前記光源ホルダ1−3と類似装着方法により複数個以上を装着できる構成とし、それぞれの光源の光線通過用任意貫通穴1−3t周辺部に設けられた前記凸部1−3a−1・・・には、勿論それぞれの前記光源装置1の凹部1−2−1・・・に適合され着脱自在に装着され点灯する。
図1−5は図1−4に前記光源装置1又は前記光源装置2等を装着した断面図を示している。
本図に示す通り該光源装置の発光管電極軸を略水平に維持した状態で照射、2−1k照射面には水平に照射している。
勿論垂直照射が必用な場合は、1−5多灯式固定フレーム例1開放面を下方(垂直)に傾け照射するだけで、該光源装置の発光管電極軸を略水平に維持した状態で下方(垂直直射)照射できる事は言うもでもない。1-4 shows a perspective view of a light source device designed in consideration of horizontal and vertical emission angles using so-called plural light sources, and is provided in 1-5 multi-lamp type fixed frame example 1. FIG.
That is, the light source has a configuration in which a plurality of light sources can be mounted by a mounting method similar to that of the light source holder 1-3, and the convex portion 1-3a provided in the peripheral portion of the light-transmitting through hole 1-3t for each light source. Of course, -1... Is adapted to the recesses 1-2-1.
FIG. 1-5 is a cross-sectional view in which the
As shown in the figure, irradiation is performed with the arc tube electrode axis of the light source device maintained substantially horizontal, and the 2-1k irradiation surface is irradiated horizontally.
Of course, when vertical illumination is necessary, the 1-5 multi-lamp type fixed frame example 1 is tilted downward (vertically) to illuminate downward, and the arc tube electrode axis of the light source device is maintained in a substantially horizontal state. Needless to say, it can be irradiated (vertical direct).
前述してきた超高圧水銀ランプ等を利用した従来の照明装置の全部又は光源部は、全て固定方式であるといっても過言ではなく、水平・垂直自在の照明装置への切望は大なるものがあった。
本発明によれば、図1−2及び図1−3で詳細説明した如く、1−5多灯式固定フレーム例1の開放面を下方(垂直)に傾けるだけで所望の領域に照射でき、前述のプリズムや反射鏡7−2aは全く不要で、しかも前記照射光は直射状態で光量減衰の生じない高効率直射方法の実施例ともなる。
勿論本発明は前記多灯式固定フレーム例1の開放面を他の装置と兼用、或いは不要とし、前記複数の光源装置を装着するだけでも良く、更に前述の光源装置2の複数個の組み合わせによれば、任意の出射角度をそれぞれ自在にえられ且つ照度整合のできる照明装置ともなる。It is no exaggeration to say that all of the conventional lighting devices using the ultra-high pressure mercury lamp or the like described above or the light source unit are all fixed, and there is a great desire for horizontal and vertical lighting devices. there were.
According to the present invention, as described in detail in FIGS. 1-2 and 1-3, a desired area can be irradiated simply by tilting the open surface of the 1-5 multi-lamp type fixed frame example 1 downward (vertical), The prism and the reflecting mirror 7-2a are not required at all, and the irradiation light is also an embodiment of a high-efficiency direct irradiation method in which the amount of light is not attenuated in a direct irradiation state.
Of course, in the present invention, the open surface of the multi-lamp type fixed frame example 1 may be combined with or unnecessary for other devices, and only the plurality of light source devices may be mounted. According to this, it becomes an illuminating device that can freely obtain an arbitrary emission angle and can perform illuminance matching.
図2は、前述の露光等高エネルギを要する紫外光照明装置用としての実施例断面図である。
本実施例は複数個の光源を用い所望の領域に照射又は集光する目的で、1−6t多灯光源ホルダ例1に固着、多灯光源ホルダ例1は更に1−7多灯固定フレーム例2に固着され光源装置一体構成としある。
前記複数個の光源は、それぞれ予め所望の領域に照射すべく任意形状に傾斜加工された前記光源ホルダ1−6tに装着され、それぞれの光線1−1dは前方のレンズやフライアイレンズ群1−6gに照射又は集光する。
図3は、いわゆる野球場や競技場用等照明用としての実施例断面図である。
本実施例は複数個の光源を、所望の領域に照射すべく任意形状に加工された1−6t−1他の多灯光源ホルダ例2に固着、他の多灯光源ホルダ例2は更に1−7−1他の多灯固定フレーム例3に固着され光源装置一体構成としてある。
前記複数個の光源は、それぞれ予め所望の領域に照射すべく任意形状の前記1−6t−1他の多灯光源ホルダ例2に装着され、それぞれの光線1−1dは前方フレネルレンズ等1−6g−1に広域照射している。
勿論上記光源装置の構成例は、全ての光源装置を同一方向に照射する目的であるが、更に任意方向に光線出射可能な前記光源装置2を用いる事により、一部又はランダムに又は全部をそれぞれの方向に自在設置できる構成となり、便宜でもあり、微妙な照度差調整や偏光解消もまた可能となり更なる用途別展開ができる事も言うまでもない。FIG. 2 is a cross-sectional view of an embodiment for an ultraviolet illumination apparatus that requires high energy such as exposure as described above.
This embodiment is fixed to a 1-6t multi-lamp light source holder example 1 for the purpose of irradiating or condensing a desired area using a plurality of light sources, and the multi-lamp light source holder example 1 is further an example of a 1-7 multi-lamp fixed frame. 2 is fixed to the light source device.
The plurality of light sources are respectively mounted on the light source holder 1-6t that has been previously processed to have an arbitrary shape so as to irradiate a desired region, and each light beam 1-1d is transmitted through a front lens or a fly-eye lens group 1-. Irradiate or collect 6g.
FIG. 3 is a cross-sectional view of an embodiment for lighting such as a so-called baseball field or stadium.
In this embodiment, a plurality of light sources are fixed to 1-6t-1 other multi-lamp light source holder example 2 processed into an arbitrary shape so as to irradiate a desired area. -7-1 It is fixed to another multi-lamp fixed frame example 3 and has a light source device integrated configuration.
The plurality of light sources are respectively mounted on the 1-6t-1 other multi-lamp light source holder example 2 having an arbitrary shape so as to irradiate a desired area in advance, and each light beam 1-1d is a front Fresnel lens or the like 1- Wide range irradiation is performed on 6g-1.
Of course, the configuration example of the light source device is for the purpose of irradiating all the light source devices in the same direction. Needless to say, it can be freely installed in any direction, and it is convenient, and it is possible to adjust the difference in illuminance and depolarize it.
図4は、露光用用途として前記図5、図6で示した装置構成に代わる本発明実施例を示す。
即ち本発明実施例では、例えば図2で説明した如く1−7多灯固定フレーム例2を1単位とした1ユニット又は複数ユニット以上で構成した光源部筺体3を構成してある。
前記光源部筺体3は、露光照明装置等の一部に具備され、所定の位置から所望の領域に傾け照射、即ち本図のように垂直に照射させ、紫外光等の光路1−1dをレンズやフライアイレンズ群1−6gに集光させれば照射面2−1kに到達し露光する。
前記は本発明の特徴である垂直設置型(略直下光路)の典型的な実施例ともなり、大きな課題であった水平設置型の従来使用方法や、光軸と並行配置のいわゆる水平方向(光軸)上下10度以内に限定制約される事がなく、本発明の意図するいわゆる設置角度自在にして照度整合のできる照明装置として供する事ができ、少単位でのユニット化することにより量産化も図られコストダウンに結びつき、且つ軽量化も図られることにより寿命到達光源や破裂・破損時の交換作業をも簡単にできる便宜さもある。
勿論、前述の1−7多灯固定フレーム例2のユニット化に限らずとも、複数個以上の前記光源装置の一体構成(例えば図5及び図6並の使用個数でも良い)で、充分な目的を達する事は言うまでもない。FIG. 4 shows an embodiment of the present invention that replaces the apparatus configuration shown in FIGS. 5 and 6 as an application for exposure.
That is, in the embodiment of the present invention, for example, as described with reference to FIG. 2, the light
The light
The above is also a typical embodiment of the vertical installation type (substantially directly below optical path), which is a feature of the present invention, and the conventional method of horizontal installation type, which has been a major problem, and the so-called horizontal direction (light Axis) There is no limit restriction within 10 degrees above and below, and it can be used as a lighting device that can adjust the illuminance by freely adjusting the so-called installation angle intended by the present invention, and mass production is also possible by unitizing in small units The reduction in cost and the reduction in weight are also convenient because the life-expanding light source and replacement work at the time of rupture / breakage can be simplified.
Needless to say, the present invention is not limited to the unitization of the 1-7 multi-lamp fixed frame example 2 described above, and a plurality of the light source devices can be integrated into one unit (for example, the same number of used light sources as in FIGS. 5 and 6). Needless to say,
又、超高圧水銀ランプ等は初期点灯時から寿命末期である約2000時間経経過後ではおおよそ40%光量(照度)減衰があるのが一般的であり、通常は80%前後の一定光量(照度)にすべく設定調整しながら露光装置等の運営管理がなされている。
然るに本発明にかかる超小型にして照度整合及び据付角自在型の照明装置を用いることにより、一部の光源装置を初期不点灯として配置し、点灯時間経過と共に点灯数を増やし、総合的に照度一定を保つ事も、また照度増減も自在に構成できるものである。In addition, ultra-high pressure mercury lamps and the like generally have a light intensity (illuminance) attenuation of about 40% after about 2000 hours from the initial lighting to the end of life, and usually a constant light intensity (illuminance) of about 80%. The operation and management of the exposure apparatus and the like are performed while adjusting and setting as necessary.
However, by using the illuminance matching and installation angle adjustable type illuminating device according to the present invention, some light source devices are arranged as initial non-lighting, the number of lighting is increased with the passage of lighting time, and the overall illuminance It can be configured to keep constant or increase / decrease illumination.
更に、露光すべき素材の種類により照射強度や照射方向を変える必要がある場合には、従来は別々の露光装置に素材を移動、又は別途工程を追加するなど露光装置も複雑化・大型化し非効率的で非経済的でもあった。
然るに本発明によれば、短時間での照度増減や照射方向変更には前述光源装置2や或いは光源装置の一部のそれぞれに、前記発光管の電極軸を略水平に維持できる機構並びに光軸位置変更機構や焦点位置変更機構を任意追加構成する事により照度減とし或いは照度増し又は照射方向変更等、瞬時に照度増減機能と照射方向変更機能を併せ持つ照明装置として供せられ生産効率の増大に結びつき且つ経済的でもある。Furthermore, when it is necessary to change the irradiation intensity or irradiation direction depending on the type of material to be exposed, the exposure apparatus has become complicated, large and non-conventional, such as moving the material to a separate exposure apparatus or adding a separate process. It was both efficient and uneconomical.
However, according to the present invention, in order to increase or decrease the illuminance and change the irradiation direction in a short time, the
以上の説明の通り本発明による照明装置は、前述のように稼動中の既露光用光源装置や、中古露光用光源装置代替としても大きな改造なくして安価に搭載できる事も大きな特徴である。 As described above, the illuminating device according to the present invention is also characterized in that it can be mounted at low cost without any major modification as a substitute for an already-exposed light source device or a used exposure light source device as described above.
更に、垂直設置型(略直下光路)の利点を、図4を用いて説明すれば、垂直設置型(略直下光路)で発光された紫外光等の光路1−1dは、レンズやフライアイレンズ群1−6gを除き、少なくとも極めて高価な第一反射鏡、第二反射鏡等不要として、露光面2−1kに到達し、任意に必要な露光照度を得られ、部品点数の削減且つ大幅なコストダウンは言うまでもない据付角度自在型証明装置である。 Further, the advantages of the vertical installation type (substantially directly under the optical path) will be described with reference to FIG. 4. The optical path 1-1d such as ultraviolet light emitted by the vertical installation type (substantially directly under the optical path) is a lens or fly-eye lens. Except for the group 1-6g, at least the extremely expensive first reflecting mirror, the second reflecting mirror, etc. are unnecessary, reach the exposure surface 2-1k, and the necessary exposure illuminance can be obtained arbitrarily. Needless to say, cost reduction is a universal installation angle proving device.
更に、昨今の露光装置全体に対する産業界の要望は、安価で、小型・高効率光量・照度を得られる露光用光源装置である事、従って図5、6を用いて説明したランプ7を金属筺体に所定の曲面に沿わせ並置、且つ各々から発せられ、光軸方向が略垂直となるよう配置された支持筐体7−1n内部の高熱を放熱するための循環ポンプを含む水冷装置や・送風機等付帯設備を必要とするダクト7−1pを設けた背面カバー7−1eや排気装置が必要であった。
従来ランプ7に代わる前述の光源装置2は単体でも、小型は勿論微風や自然風で充分な放熱効果が得られ、且つ高効率光量・照度を得られるよう構成されている為、垂直設置(略直下光路)可能に並置された1単位又は複数個以上の前記光源装置の構成は、前述した高価な付帯設備が不要となり、部品点数の削減且つ大幅なコストダウンは言うまでもない照明装置である。Further, the industry demand for the entire exposure apparatus is that it is an inexpensive light source apparatus for exposure that can obtain a small amount of light with high efficiency and illuminance. Therefore, the
The
更に、図5、6を用いて説明したランプ7を金属筺体に所定の曲面に沿わせ並置され、放熱効果を引き出す為には、各ランプの光軸をフライアイレンズ群に集光する為に、大きな球曲率をもったアルミニュム材などでの構成を余儀なくされているが、加工には大型工作機械等を必要とし、その加工代も極めて高価であった。
本発明による前記光源装置は、単独での小型は勿論微風や自然風でも高効率の光量・照度を得られるよう構成されているので、特に複数個以上の光源装置を使用する場合は、前述の光源ホルダや多灯固定フレームを所望所定の傾斜角度を持たせる簡単な構造だけで光軸は任意に所望の位置に調整でき、それぞれの光源装置をフライアイレンズ群に任意に傾け集光させる簡単な構造だけで良く、部品点数の削減且つ大幅なコストダウンは言うまでもない設置角度自在にして照度整合のできる照明装置である。5 and 6 are arranged side by side along a predetermined curved surface on a metal housing, and in order to extract the heat radiation effect, the optical axis of each lamp is collected on a fly-eye lens group. However, it is forced to be made of an aluminum material having a large spherical curvature, but it requires a large machine tool or the like for processing, and its processing cost is extremely expensive.
The light source device according to the present invention is configured so as to obtain a high-efficiency light amount and illuminance even in a small wind or natural wind as well as a small size, and particularly when a plurality of light source devices are used. The light axis can be arbitrarily adjusted to a desired position with a simple structure that gives the light source holder and the multi-lamp fixed frame the desired predetermined tilt angle, and each light source device can be arbitrarily tilted and condensed on the fly-eye lens group. It is an illumination device capable of matching the illuminance by freely adjusting the installation angle as well as reducing the number of parts and significantly reducing the cost.
〔図1〕〔図1−1〕〔図1−2〕〔図1−3〕〔図1−4〕〔図1−5〕
1 光源装置1
1−1a 反射鏡
1−1b 発光管
1−1bA 同上・上下部
1−1bB 同上・前後部
1−1c リード線付電力入力コネクタ等
1−1d 紫外光等の光路
1−1e フイン
1−1k 照射面
1XF 光軸
1XB 光軸
1X 水平方向線
1Y 垂直方向線
1−2−1 反射鏡凹部1
1−2−2 反射鏡凹部2
1−2−3 反射鏡凹部3
1−2−4 反射鏡凹部4
1−3 光源ホルダ例1
1−3a−1 反射鏡固定具凸部1
1−3a−2 反射鏡固定具凸部2
1−3a−3 反射鏡固定具凸部3
1−3a−4 反射鏡固定具凸部4
1−3b 一対の回転保持具等
1−3t 光線通過用任意貫通穴
1−4 コ字状アングル
1−4a 一対の回転保持具等
1−4b 回転方向を示す矢印
1−5 多灯式固定フレーム例1
〔図2〕〔図3〕
1−6t 多灯光源ホルダ例1
1−6t−1 他の多灯光源ホルダ例2
1−6g レンズやフライアイレンズ群
1−6g−1 フレネルレンズ等
1−7 多灯固定フレーム例2
1−7−1 他の多灯固定フレーム例3
〔図1−3〕〔図4〕
2 光源装置2
2−1k 照射面
3 光源部筺体
〔図5〕〔図5−1〕〔図6〕〔図6−1〕〔図7〕
7 従来ランプ
7−1a 反射鏡
7−1b 発光管
7−1bA 同上・上下部
7−1bB 同上・前後部
7−1c リード線付電力入力コネクタ等
7−1d 紫外光等の光路
7−1e 背面カバー
7−1g フライアイレンズ群
7−1h 第一反射鏡
7−1j 第二反射鏡
7−1k 露光面
7−1n 支持筐体
7−1p ダクト
7XF 光軸
7XB 光軸
7−2a プリズムや反射鏡
7−2b 照射面[FIG. 1] [FIG. 1-1] [FIG. 1-2] [FIG. 1-3] [FIG. 1-4] [FIG. 1-5]
1
1-1a Reflector 1-1b Arc tube 1-1bA Same as above / upper part 1-1bB Same as above / front and rear part 1-1c Power input connector with lead wire, etc. 1-1d Optical path such as ultraviolet light 1-1e Fin 1-1k irradiation Surface 1XF Optical axis 1XB Optical axis 1X Horizontal line 1Y Vertical line 1-2-1
1-2-2
1-2-3
1-2-4 Reflector recess 4
1-3 Light source holder example 1
1-3a-1 Reflector fixture
1-3a-2 Reflector mirror fixture
1-3a-3 Reflective mirror fixture
1-3a-4 Reflector mirror fixture convex part 4
1-3b A pair of rotating holders, etc. 1-3t Arbitrary through-holes for passing light 1-4 U-shaped angle 1-4a A pair of rotating holders 1-4b, etc. Arrows indicating the direction of rotation 1-5 Multi-lamp type fixed frame Example 1
[Fig. 2] [Fig. 3]
1-6t multiple light source holder example 1
1-6t-1 Other multiple lamp light source holder example 2
1-6g lens and fly-eye lens group 1-6g-1 Fresnel lens, etc. 1-7 Multi-lamp fixed frame example 2
1-7-1 Other multi-lamp fixed frame example 3
[Fig. 1-3] [Fig. 4]
2
2-
7 Conventional lamp 7-1a Reflector 7-1b Arc tube 7-1bA Same as above / upper / lower part 7-1bB Same as above / front / rear part 7-1c Power input connector with lead wire, etc. 7-1d Optical path such as ultraviolet light 7-1e Back cover 7-1g Fly-eye lens group 7-1h First reflecting mirror 7-1j Second reflecting mirror 7-1k Exposure surface 7-1n Support housing 7-1p Duct 7XF Optical axis 7XB Optical axis 7-2a Prism and reflecting mirror 7 -2b Irradiation surface
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