JP2009058880A - 液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】絶縁膜を介して液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置において、電極を引き出すためのコンタクトホールに電極配線層が露出したまま処理が進められることを防止することである。
【解決手段】液晶表示装置は、対向する一対の基板に液晶が挟持される。その一対の基板のうち、素子基板の製造手順は、透光性基板の上に画素TFTであるトランジスタが形成され、以後、層間絶縁膜形成、電極配線の引出、パッシベーション膜(PV膜)形成、平坦化膜形成が行われ、下部電極に対応する電極配線に対応する箇所にのみ第1CHが形成される(S20)。そして下部電極である画素電極が形成され、FFS絶縁膜が形成された後、上部電極に対応する電極配線に対応する箇所に第2CHが形成される(S26)。その後、上部電極である共通電極が配置される。
【選択図】図3
【解決手段】液晶表示装置は、対向する一対の基板に液晶が挟持される。その一対の基板のうち、素子基板の製造手順は、透光性基板の上に画素TFTであるトランジスタが形成され、以後、層間絶縁膜形成、電極配線の引出、パッシベーション膜(PV膜)形成、平坦化膜形成が行われ、下部電極に対応する電極配線に対応する箇所にのみ第1CHが形成される(S20)。そして下部電極である画素電極が形成され、FFS絶縁膜が形成された後、上部電極に対応する電極配線に対応する箇所に第2CHが形成される(S26)。その後、上部電極である共通電極が配置される。
【選択図】図3
Description
本発明は、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置に係り、特に、対向する一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板に絶縁層を介して前記液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置に関する。
液晶表示装置の表示方式としては従来TN(Twisted Nematic)方式が広く用いられてきているが、この方式は表示原理上、視野角に制限がある。これを解決する方法として、同一基板上に画素電極と共通電極とを形成し、この画素電極と共通電極との間に電圧を印加し、基板にほぼ平行な電界を発生させ、液晶分子を基板面に主に平行な面内で駆動する横電界方式が知られている。
横電界方式には、IPS(In Plane Switching)方式と、FFS((Fringe Field Switch)方式が知られている。IPS方式では、櫛歯状の画素電極と櫛歯状の共通電極とを組み合わせて配置される。FFS方式では、絶縁層を介して形成された上部電極と下部電極について、いずれか一方を共通電極に割り当て、他方を画素電極に割り当て、上部電極に電界を通す開口として例えばスリット等が形成される。
上部電極と下部電極との間の絶縁層としては、特許文献1において、画素電極と共通信号電極とを絶縁膜を挟む上下2層のITOで構成する場合について上下ITOの間の絶縁層としてTFTの表面保護絶縁層の一層で構成される例、TFTのゲート絶縁膜で構成される例が開示されている。
横電界方式をとる場合、TFTを形成し、その上に平坦化膜を形成し、その後に、画素電極と共通電極とを絶縁膜を挟んで形成する方法をとることもできる。この場合には、画素電極と共通電極との間の絶縁膜の形成をTFTのゲート膜等の特性の制限を受けずに行うことができる。例えば、この絶縁膜を用いることで、液晶表示のための保持容量の設計自由度を向上させることができる。一方で、この構造は、画素電極と共通電極とが、平坦化膜の下層に配線される電極配線層から引き出すことになるので、配線層から上層側の平坦化膜にコンタクトホールを形成する際に、注意が必要なことがある。
例えば、FFS方式の場合、画素電極と共通電極とが絶縁膜を挟んで配置されるため、画素電極と共通電極のうちの一方側の電極を形成した後に一旦絶縁膜を形成し、その後に他方側の電極を配置することになる。ここで、平坦化膜工程で画素電極の引き出しのためのコンタクトホールと、共通電極の引き出しのためのコンタクトホールとを、同じ工程で形成することになるため、次のような問題が生じ得る。すなわち、このコンタクトホールを介して、一方側の電極と電極配線層とを接続するとき、他方側の電極のためのコンタクトホールはまだ接続がされず、このコンタクトホールの開口において、電極配線層が露出されたままとなる。この露出されたままの電極配線層において、他方側の電極が形成されるまでの工程で腐食が発生する可能性があり、あるいは、開口したままのコンタクトホールの中に他方側の電極が形成されるまでの製造プロセスによる残渣等が堆積し、接続抵抗が上昇することがある。
本発明の目的は、絶縁膜を介して液晶を駆動する一対の電極が設けられる場合に、電極を引き出すためのコンタクトホールに電極配線層が露出したまま処理が進められることを防止できる液晶表示装置の製造方法と、その方法によって製造された液晶表示装置を提供することである。
本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、対向する一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板の一方の基板上に前記液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置を製造する方法であって、前記一方の基板上に前記一対の電極のそれぞれに接続される画素電極配線及び共通電極配線を形成する電極配線形成工程と、前記画素電極配線及び前記共通電極配線を覆って平坦化膜を形成する平坦化膜形成工程と、前記平坦化膜に第1開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか一方の電極配線を露出させる第1開口部形成工程と、前記第1開口部を介して前記一方の電極配線に接続し、前記平坦化膜上に前記一対の電極の一方の電極を形成する一方側電極形成工程と、前記一方の電極及び前記平坦化膜上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記平坦化膜及び前記絶縁膜に第2開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか他方の電極配線を露出させる第2開口部形成工程と、前記絶縁膜上及び前記第2開口部に、前記一対の電極の他方の電極を形成する他方側電極工程と、を含み、前記第2開口部形成工程は前記一方側電極形成工程より後に行われることを特徴とする。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、対向する一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板の一方の基板上に前記液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置を製造する方法であって、前記一方の基板上に前記一対の電極のそれぞれに接続される画素電極配線及び共通電極配線を形成する電極配線形成工程と、前記画素電極配線及び前記共通電極配線を覆ってパッシベーション膜を形成する工程と、前記パッシベーション膜上に平坦化膜を形成する平坦化形成工程と、前記パッシベーション膜及び前記平坦化膜に第1開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか一方の電極配線を露出させる第1開口部形成工程と、前記第1開口部を介して前記一方の電極配線に接続し、前記平坦化膜上に前記一対の電極の一方の電極を形成する一方側電極形成工程と、前記一方の電極及び前記平坦化膜上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記パッシベーション膜及び絶縁膜に第2開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか他方の電極配線を露出させる第2開口部形成工程と、前記絶縁膜上及び前記第2開口部に、前記一対の電極の他方の電極を形成する他方側電極工程と、を含み、前記第2開口部形成工程は前記一方側電極形成工程より後に行われることを特徴とする。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、対向する一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板の一方の基板上に前記液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置を製造する方法であって、前記一方の基板上に前記一対の電極のそれぞれに接続される画素電極配線及び共通電極配線を形成する電極配線形成工程と、前記画素電極配線及び前記共通電極配線を覆ってパッシベーション膜を形成する工程と、前記パッシベーション膜に開口部を形成し、前記画素電極配線及び前記共通電極配線を露出させる工程と、前記開口部及び前記パッシベーション膜上に平坦化膜を形成する平坦化膜形成工程と、前記開口部の前記平坦化膜に第1開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか一方の電極配線を露出させる第1開口部形成工程と、前記第1開口部を介して前記一方の電極配線に接続し、前記平坦化膜上に前記一対の電極の一方の電極を形成する一方側電極形成工程と、前記一方の電極及び前記平坦化膜上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記開口部の前記平坦化膜及び絶縁膜に第2開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか他方の電極配線を露出させる第2開口部形成工程と、前記絶縁膜上及び前記第2開口部に、前記一対の電極の他方の電極を形成する他方側電極工程と、を含み、前記第2開口部形成工程は前記一方側電極形成工程より後に行われることを特徴とする。
上記構成により、第1開口部形成工程では、一方の電極配線を露出させて、一方の電極に接続するための開口のみが形成され、他方の配線を露出させて、他方の電極に接続するための開口は、第2開口部形成工程で形成される。したがって、この場合、他方の電極を引き出すための開口部に配線層が露出したまま処理が進められることがなく、配線層が露出することによる腐食等を防止できる。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法において、前記一方側電極形成工程の処理温度と、前記絶縁膜形成工程の処理温度と、前記他方側電極形成工程の処理温度は、いずれも150℃以上300℃以下であることが好ましい。処理温度を低く抑えることで、先行して形成された膜の特性変化等を抑制することができる。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法において、前記一方側電極形成工程の処理温度と、前記絶縁膜形成工程の処理温度と、前記他方側電極形成工程の処理温度は、いずれも平坦化膜形成工程の処理温度以下の温度であることが好ましい。これにより、平坦化膜の特性が、それ以後の処理によって変化することを抑制することができる。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法において、前記第1開口部形成工程は、前記第2開口部の平坦化膜を除去する工程を含むことが好ましい。第2開口部の平坦化膜を予め除去することで、第2開口部形成工程が簡単になる。
また、本発明に係る液晶表示装置の製造方法において、前記第2開口部形成工程は、前記絶縁膜と前記パッシベーション膜とを一括して開口することが好ましい。これにより、工程が簡単となる。
また、本発明に係る液晶表示装置は、対向する一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板の1つの基板上に絶縁膜を介して前記液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置であって、請求項2に記載の方法で製造され、前記他方側の電極は、前記第2開口部において、前記平坦化膜の開口側壁に直接接触しないように配置されることを特徴とする。
以下に、図面を用いて本発明に係る実施の形態につき、詳細に説明する。以下では、FFS方式の液晶表示装置で、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色で構成される表示を行うものについて説明するが、もちろん、R,G,Bの他に例えばC(シアン)等を含む多色構成であってもよく、端的に白黒表示を行うものであってもよい。また、以下に述べる形状、構造、材質等は、説明のための1例であり、液晶表示装置の用途にあわせ、適宜変更が可能である。また、以下では、横電界駆動方式として、電界を通す開口として上部電極にスリットを有するFFS方式を説明するが、電界を通す開口として上部電極に櫛歯状あるいは柵状の開口を有するFFS方式でもよい。また、FFS方式でなくてもIPS方式であってもよい。ここで、スリットとは、両端が閉じた開口をいい、それぞれのスリットは相互に接続されず離散的に配置されるものをいい、櫛歯状あるいは柵状の開口とは、複数の開口が相互に一方端で接続する形状のものをいう。
図1は、液晶表示装置を構成する素子基板10における画素の平面図である。液晶表示装置は、対向する一対の基板に液晶が挟持され、一対の電極によって液晶を駆動することで表示を行う装置であり、複数の画素を駆動するために画素ごとにトランジスタが配置される。そのトランジスタが配置される方の基板と、これに対向する基板を区別するとき、トランジスタが配置される基板の方を素子基板10と呼ぶことができ、素子基板10に対向するもう1つの基板を対向基板と呼ぶことができる。また、カラー表示を行うときは、1つの画素をR(赤)、G(緑)、B(青)の3つのサブ画素で構成し、それぞれのサブ画素ごとにトランジスタが配置される。
図1は、特に、FFS方式によるアクティブマトリクス型の液晶表示装置の素子基板10において、R、G,Bの3色構成で表示を行う場合の表示領域の1画素分、すなわち、3色に対応する3つのサブ画素についての平面構成を示す図である。図2は、図1に示すA−A線に沿って、厚さ方向を誇張して示す断面図である。なお、図1、図2において、後述するスリット48の図示を一部省略してある。
図1に示されるように、液晶表示装置の素子基板10において、複数のドレインライン34は、それぞれが直線状に延在し(図1の例では縦方向に延在)、その延在方向に交差する方向(ここでは直交する方向であり、図1の例では横方向)に複数のゲートライン36がそれぞれ配列される。ドレインライン34は、図示されていない液晶表示装置の制御回路から映像データ信号が伝送される信号線であり、その意味からデータ線、あるいは単に信号線と呼ばれることがある。ゲートライン36は、各画素ごとに配置されたトランジスタを選択する走査信号が伝送される信号線であり、その意味から走査線と呼ばれることがある。また、ゲートライン36に平行に、すなわちドレインライン34に直交する方向に、共通電極ライン60が配列される。
複数のドレインライン34と、複数のゲートライン36とによって区画される個々の領域が、画素配置領域であり、図1では、R,G,Bの3色構成に対応して3つのサブ画素配置領域が示される。3つのサブ画素の構成は同様であるので、以下において画素の語は、特に断らない限りサブ画素単位として説明し、上記のサブ画素領域を単に画素領域として説明するものとする。各画素領域には画素電極42が配置され、また共通電極46が配置され、これらの電極の間にかけられる電界50(図2参照)によって、各画素ごとに液晶が駆動されることになる。なお、共通電極46は、素子基板10の全面または、複数の画素にまたがって配置されているので、図1においては、後述するスリット48の形状線を除いて、その輪郭線が示されていない。
ドレインライン34とゲートライン36とで区画される各画素配置領域には、画素TFT20がそれぞれ配置される。図1の例では、各画素TFT20について、半導体層が略U字型に延在しており(図面では略U字型が上下反転して示されている)、その略U字型の2本の腕部を横切ってゲートライン36がドレインライン34の配列方向に直交して延在している。この構成では、画素TFT20のソース電極配線32は、ドレインライン34に接続されるドレイン電極配線33とともにゲートライン36に対して同じ側に位置している。これにより、画素TFT20では、ゲートライン36がソースとドレインとの間で半導体層に2回交差する構成、換言すれば半導体層のソースとドレインとの間にゲート電極が2個設けられた構成を有している。
このように、画素TFT20のドレインはドレイン電極配線33を介して直近のドレインライン34に接続され、一方、ソースは、ソース電極配線32を介して、画素電極42に接続される。画素電極42は、上記のように、各画素ごとに設けられ、その画素の画素TFT20のソースに接続される平板状の電極である。図1では、矩形形状の画素電極42が示されている。
画素電極42は、ソース電極配線32から引き出されるが、図1では、ソース電極配線32と画素電極42との間の膜に開口されるコンタクトホールが示されている。このコンタクトホールを、後述の共通電極配線62と共通電極46との間の膜に開口されるコンタクトホールと区別するため、第1開口部、または第1CH64として示すことにする。第1CH64の形成の詳細については後述する。
共通電極46は、上記のように、素子基板10の上に配置される。共通電極46は、透明電極膜層に、開口部であるスリット48が設けられたものである。このスリット48は、画素電極42と共通電極46との間に後述するFFS絶縁膜44を介して電圧を印加したときに、電界50(図2参照)を通し、基板面に対し主に平行な横電界を発生させる機能を有する。
また、図1の例では、素子基板10について1つの共通電極46とし、各画素ごとに、共通電極ライン60から電気的接続を取る例が示されている。すなわち、共通電極ライン60から各画素ごとに共通電極配線62が接続され、この各共通電極配線62からそれぞれコンタクトホールを介して共通電極46に接続される。このコンタクトホールを上記の第1CH64と区別して、第2開口部または第2CH66として示す。このように各画素ごとに第2CH66を設けることで、共通電極ライン60の電位を各画素の共通電極46に均等に伝達することができる。勿論、液晶表示装置の仕様によっては、このように各画素において共通電極配線62等を設けることなく、例えば、素子基板10の周辺部で、共通電極ラインと共通電極46とを接続するものとしてもよい。この場合には、第2CH66は、素子基板10の周辺部において設けられることになる。第2CH66の形成の詳細については後述する。
共通電極46の上には、配向膜が配置され、配向処理としてラビング処理が行われる。ラビング方向は、例えば、図1において、ゲートライン36に平行な方向に行うことができる。共通電極46のスリット48は、その長辺の延びる方向が、このラビング方向に対し僅かに傾いて形成される。例えば、角度で5°程度、ラビング方向に対し傾くように形成することができる。共通電極46の上に配向膜を形成し、ラビング処理を行うことで、素子基板10が出来上がる。
次に、図2の断面図を用いて、FFS方式の液晶表示装置における素子基板10の構造を説明する。図2は、上記のように、図1のA−A線に沿った断面図で、1つの画素についての各要素が示されている。
素子基板10は、透光性基板18と、その上に適当なバッファ層を介して形成された画素TFT20と、層間絶縁膜30と、ソース電極配線32と、ドレイン電極配線33と、共通電極配線62と、パッシベーション膜(PV膜)38と、平坦化膜40と、画素電極42と、FFS絶縁膜44と、共通電極46とを含んで構成される。ソース電極配線32と画素電極42とを接続するために第1CH64が設けられ、共通電極配線62と共通電極46とを接続されるために第2CH66が設けられる。
図3は、素子基板10の詳細な製造手順を含む液晶表示装置の製造方法の手順を示すフローチャートである。図4から図9は、図3のフローチャートの各工程の様子を説明する素子基板の断面図である。以下では、図1、図の符号を用いて説明する。
最初に透光性基板18を準備し、その上にトランジスタである画素TFT20を形成する(S10)。透光性基板18は、例えばガラス板によって構成される。画素TFT20は、透光性基板18の上に適当なバッファ層を介して配置され、ここでは、低温ポリシリコンを半導体層として用い、その上にゲート絶縁膜、ゲートライン36が順次配置されて形成される。ゲート絶縁膜は、例えば酸化シリコン、窒化シリコン等で構成され、半導体層を覆って透光性基板18上に配置されている。ゲートライン36は、例えばMo、Al等の金属で構成され、半導体層に対向してゲート絶縁膜上に配置される。このように、ゲートライン36は、素子基板10において、半導体層の上層の側に配置される。また、ゲートライン36の形成と同時に、共通電極ライン60が形成される。すなわち、共通電極ライン60は、ゲートライン36と同じ材料で形成され、ゲート絶縁膜上に配置される。
トランジスタである画素TFT20の形成の後、層間絶縁膜30が形成される(S12)。層間絶縁膜30は、例えば酸化シリコン、窒化シリコン等で構成され、ゲートライン36、共通電極ライン60等を覆って配置される。
次に、層間絶縁膜にソース用とドレイン用と共通電極ライン60用のコンタクトホールをそれぞれ形成し、ソース電極配線32とドレイン電極配線33と共通電極配線62が引き出される(S14)。
ドレイン電極配線33は、例えばMo、Al、Ti等の金属で構成され、層間絶縁膜30上に配置されているとともに、上記コンタクトホールの1つであるドレイン用のコンタクトホールを介して画素TFT20のドレインに接続している。なお、ドレイン電極配線33はそのまま延伸してドレインライン34となる。
ソース電極配線32は、例えばドレイン電極配線33と同じ材料で構成され、層間絶縁膜30上に配置されているとともに、上記コンタクトホールの1つであるソース用のコンタクトホールを介して画素TFT20のソースに接続している。ソース電極配線32は、後述するように、第1CH64を介して透明電極膜である画素電極42と接続される。
なお、ここでは、画素TFT20において、ドレイン電極配線33およびデータ線であるドレインライン34が接続する部分を画素TFT20のドレインとし、ソース電極配線32および画素電極42が接続する部分を画素TFT20のソースとするが、画素TFT20のドレインとソースとは互換性があるので、上記とは逆に、データ線側に接続される方をソース、画素電極42の側に接続される方をドレインと呼ぶことも可能である。
共通電極配線62も、例えばドレイン電極配線33と同じ材料で構成され、層間絶縁膜30上に配置されているとともに、上記コンタクトホールの1つである共通電極ライン60用のコンタクトホールを介して共通電極ライン60に接続している。共通電極配線62は、後述するように、第2CH66を介して透明電極膜である共通電極46と接続される。
ソース電極配線32、ドレイン電極配線33が引き出された後、パッシベーション(PV)膜38が形成される(S16)。パッシベーション膜38は、ソース電極配線32、ドレイン電極配線33を含んで画素TFT20全体、及び共通電極配線62等を外部環境から保護する機能を有する絶縁膜である。パッシベーション膜38は、上記の層間絶縁膜30と同様に、例えば酸化シリコン、窒化シリコン等で構成することができる。パッシベーション膜38と層間絶縁膜30とを互いに異なる膜質とすることもできる。
次に、平坦化膜40が形成される(S18)。平坦化膜40は、ドレイン電極配線33及びドレインライン34、ソース電極配線32、ゲートライン36、共通電極配線62及び共通電極ライン60等を覆ってパッシベーション膜38上にさらに配置される膜で、これまでの膜形成工程、コンタクトホール工程等で凹凸が生じている表面を平坦化するために設けられる。
平坦化膜40として、例えば、窒化シリコン(SiNx)膜、酸化シリコン(SiOx)膜、窒化酸化シリコン(SiOxNy)膜等の無機絶縁膜を用いることができるほか、アクリル系感光樹脂等の有機透明絶縁膜を用いることができる。例えば、約1.5μmの厚さでアクリル系感光樹脂をコーティングし、素子基板10に対して予め定めた領域に残すために適当なマスクを用いて露光し、現像し、ベーキングのために加熱処理し、その後適当な表面処理を行うことで、所望の領域に平坦化膜40を形成することができる。ベーキングのための加熱処理の条件としては、例えば、220℃1時間等とすることができる。ベーキングの後の表面処理としては、例えば酸素プラズマ処理を行うものとすることができる。
平坦化膜形成の後、平坦化膜40とパッシベーション膜38とに、ソース電極配線32と画素電極42とを接続するためのコンタクトホールとして、第1CH64が形成される(S20)。この工程は、第1CHが第1開口部であることから、第1開口部形成工程に相当する。第1CH64は、平坦化膜40の開口処理とパッシベーション膜38の開口処理とが行われると共に、平坦化膜40の開口処理のときに、第2CH66の形成のための前工程としての処理も行われるので、やや複雑な処理手順となる。その様子を図4、図5を用いて説明する。
第1CH64の形成は、2つの工程に分けて行われる。最初の工程は、図4に示されるように、平坦化膜40に、ソース電極配線32と画素電極42とを接続するための開口部63と、第2CH66の形成のための前工程としての開口部65とを開ける工程である。この工程を平坦化膜CH工程と呼ぶことができる。次の工程は、図5に示されるように、開口部63に対応する箇所にのみ、パッシベーション膜38を開口し、第1CH64を形成する工程である。この工程では、開口部65に対応する箇所のパッシベーション膜38は、開口処理が行われない。
つまり、平坦化膜40には、開口部63と開口部65とが開けられ、パッシベーション膜38には、開口部63に対応する箇所のみ開口処理が行われ、開口部65に対応する箇所にはパッシベーション膜38が残される。
この工程においては、以後の工程において、下部電極となる電極に接続される電極配線に対応する箇所に第1CH64を開け、上部電極となる電極に接続される電極配線に対応する箇所には、開口を設けないことに特徴がある。したがって、上記で説明した工程と異なる方法を用いてもよい。例えば、平坦化膜40の形成の前に、パッシベーション膜38において、ソース電極配線32の箇所に開口し、共通電極配線62の箇所には開口しないようにし、その後平坦化膜40を形成し、平坦化膜40においては、ソース電極配線32の箇所と共通電極配線62の箇所とに開口部を設けることとしてもよい。すなわち、図4と図5の工程の順序を逆にしてもよい。
また、パッシベーション膜38に、ソース電極配線32と共通電極配線62の双方に対応して開口し、その後の平坦化膜40の形成においては、ソース電極配線32に対応する箇所にのみ開口して、これを第1CH64とすることもできる。また、パッシベーション膜を用いない構成においては、平坦化膜40の形成において、共通電極配線62に対応する箇所には開口せず、ソース電極配線32に対応する箇所にのみ開口してこれを第1CH64としてもよい。
換言すれば、画素電極配線であるソース電極配線32または共通電極配線62のうちいずれか他方側の電極配線上には開口部を設けずに、一方側の電極配線を引き出すための開口部のみを形成し、これを第1CHとする。
ここで、図4、図5の例では、一方側電極配線がソース電極配線32である。これは、ソース電極配線32に下部電極である画素電極42が接続されるためである。これを、下部電極を共通電極とする場合には、一方側電極配線が共通電極配線62となり、開口部65に対応する箇所に第1CH64が開口されることになる。つまり、下部電極となる側の電極配線について、第1CH64が開口されることになる。
再び図3に戻り、第1CH64の開口処理の後は、画素電極42が形成される(S22)。この工程は、前処理としての洗浄工程と、素子基板10の全面に透明導電膜が成膜される成膜工程と、その後、画素ごとに分離した画素電極42の形状にパターニングされるパターン化工程とを含む。
洗浄工程としては、例えば、水洗浄処理、あるいは希弗酸洗浄処理とすることができる。成膜工程としては、透明導電膜としてインジウム錫オキサイド(ITO)またはインジウム亜鉛オキサイド(IZO)をPVD(Physical Vaper Deposition)法によって成膜するものとできる。膜厚は、例えば、約100nm程度とすることができる。成膜工程の処理温度は、常温とすることができる。
パターン化工程は、適当なレジストコーティングの後、画素ごとに分離されたパターンを有するマスクを用いて露光され、現像後、パターン化されたレジストマスクを用いてエッチングを行い、レジスト剥離、洗浄、アニールの手順で行うものとできる。エッチング液としては、例えばシュウ酸を用いることができる。エッチング後の洗浄は、超音波エネルギを用いない水洗浄が好ましい。アニールは、約200℃から約300℃の範囲の処理温度で行われることが好ましく、さらに好ましくは、平坦化膜40の処理温度以下の温度で行うことが好ましい。例えば、約220℃2時間の条件でアニールを行うことができる。
図6は、画素電極42形成後の様子を示す図である。図6には、ソース電極配線32と画素電極42とが、図5で説明した第1CH64を介して電気的に接続される様子が示されている。そして、共通電極配線62の上には、パッシベーション膜38が残されているので、画素電極形成のための洗浄、エッチング等に共通電極配線62がさらされることがない。つまりパッシベーション膜38によって、共通電極配線62は保護されており、腐食等を生じない。
再び図3に戻り、画素電極形成の後、FFS絶縁膜44が形成される(S24)。FFS絶縁膜44は、下部電極である画素電極42と、次に形成される上部電極である共通電極46との間を離隔するために配置される絶縁膜であり、また、FFS方式の液晶表示装置を構成する各画素において保持容量を形成するためにも用いられる絶縁膜である。
FFS絶縁膜形成工程は、前処理としての洗浄工程と、無機絶縁膜の成膜工程と、素子基板10に対して予め定めた領域に無機絶縁膜を残すために適当なレジストを塗布し、適当なマスクを用いて露光し、現像するフォトリソ工程と、レジストマスクを用いてドライエッチングを行い、その後レジストをアッシングして剥離するドライエッチング工程を含む。
洗浄工程としては、平坦化膜40の形成後は平坦化膜表面を変質させて膜の密着性に影響を与えるエキシマUV照射等を避けることが好ましい。
成膜工程では、無機絶縁膜として、窒化シリコン膜または酸化シリコン膜または窒化酸化シリコン膜の中の少なくとも1つを含む膜を、PE-CVD(Plasma Enhanced-Chemical Vaper Deposition)によって、例えば約200nmの膜厚で成膜する。CVDにおける処理温度は、約150℃から約300℃の範囲とすることが好ましく、さらに好ましくは、平坦化膜40の処理温度以下の温度が好ましい。例えば、公称温度で約200℃、膜表面温度で約180℃の処理温度とすることができる。
ドライエッチング工程においては、例えばSF6+O2のプラズマによるエッチングを用いることができる。このときの処理温度としては、膜表面温度で約100℃前後とすることができる。
図7は、FFS絶縁膜44が形成された様子を示す図である。図7は画素領域を示す図であるので、ここではFFS絶縁膜44は全面に形成されている。すなわち、FFS絶縁膜44は、画素電極42を覆うほか、図4等で説明した開口部65を埋めて形成される。
再び図3に戻り、FFS絶縁膜44を形成した後、FFS絶縁膜44とパッシベーション膜38とに、共通電極配線62と共通電極46とを接続するためのコンタクトホールとして、第2CH66が形成される(S26)。この工程は、第2CHが第2開口部であることから、第2開口部形成工程に相当する。第2CH66は、図4の平坦化膜CH工程において、開口部65が形成された箇所に開口することで形成される。
既に説明したように、第1CH形成工程では、下部電極となる電極に接続される電極配線に対応する箇所に第1CH64を開け、上部電極となる電極に接続される電極配線に対応する箇所には、開口を設けない。換言すれば、画素電極配線であるソース電極配線32または共通電極配線62のうちいずれか他方側の電極配線上には開口部を設けずに、一方側の電極配線を引き出すための開口部のみを形成し、これを第1CHとした。第2CH形成工程では、下部電極となる電極に接続される電極配線に対応する箇所に、初めて開口を設ける。その様子が図8に示される。
既に説明したように、図4、図5、図6の例では、一方側電極配線がソース電極配線32であり、下部電極は画素電極42である。これを、下部電極を共通電極とする場合には、一方側電極配線が共通電極配線62であり、他方側電極配線がソース電極配線32となるので、開口部63に対応する箇所に第2CH66が開口されることになる。つまり、上部電極となる側の電極配線について、第2CH66が開口されることになる。
再び図3に戻り、第2CH66が形成された後、上部電極である共通電極46が形成される(S28)。具体的には、FFS絶縁膜44の上に、透明導電膜としてインジウム錫オキサイド(ITO)またはインジウム亜鉛オキサイド(IZO)が全面に成膜され、この透明導電膜が共通電極46として、複数のスリット48を有するようにパターニングによって開口される。これにより、共通電極46は、第2CH66を介して、共通電極配線62と電気的に接続される。
透明導電膜の形成工程の内容は、S22で説明したものと同様であるので、詳細な説明を省略する。この工程においても、処理温度は、約200℃から約300℃の範囲であることが好ましく、さらに好ましくは、平坦化膜40の処理温度以下であることが好ましい。
図9に、共通電極46が形成された様子が示される。ここでは、共通電極46が、FFS絶縁膜44およびパッシベーション膜38に設けられた第2CH66を埋めるように形成される様子が示される。共通電極46は、第2CH66において、前記平坦化膜開口側壁に直接接触しないように配置されていることが分かる。
スリット48は、下部電極である画素電極42と上部電極である共通電極46との間に液晶を駆動するための電界50を通すための開口である。スリット48は、図1に示すように、ゲートライン36の延在する方向よりやや傾いた方向に長軸を有する細長く閉じた形状の開口である。この傾き角度は、次の工程における配向処理のラビング角度を考慮して設定される。
上部電極である共通電極46が形成されると、配向膜がその上に配置される(S30)。配向膜は、液晶分子を初期配向させる機能を有する膜で、例えばポリイミド等の有機膜に、ラビング処理を施して用いられる。このようにして、素子基板10が出来上がる(S32)。そしてここでは説明しないが、カラーフィルタ、配向膜等が配置された対向基板が別途製作され、この対向基板と素子基板10とが組み合わされ、液晶をその間に挟持し(S34)、液晶表示装置が出来上がる(S36)。
このように、同一基板である透光性基板18上に、平坦化膜40の上層部に、絶縁層であるFFS絶縁膜44を介して上部電極である共通電極46と下部電極である画素電極42とが形成される。なお、この構造をオーバーレイヤー構造と呼ぶことができる。そして、上部電極である共通電極46にスリット48を形成して、下部電極である画素電極42との間に電圧を印加し、スリット48に電界50を通し、基板面に対し主に平行な横電界を発生させ、配向膜を介して液晶を駆動することができる。このときに、共通電極46と画素電極42とその間のFFS絶縁膜44で形成される容量を、液晶表示の保持容量として用いることができる。このようにして、FFS方式によるアクティブマトリクス型の液晶表示装置が構成される。
このように、同一基板である透光性基板18上に、平坦化膜40の上層部に、絶縁層であるFFS絶縁膜44を介して上部電極である共通電極46と下部電極である画素電極42とが形成される。なお、この構造をオーバーレイヤー構造と呼ぶことができる。そして、上部電極である共通電極46にスリット48を形成して、下部電極である画素電極42との間に電圧を印加し、スリット48に電界50を通し、基板面に対し主に平行な横電界を発生させ、配向膜を介して液晶を駆動することができる。このときに、共通電極46と画素電極42とその間のFFS絶縁膜44で形成される容量を、液晶表示の保持容量として用いることができる。このようにして、FFS方式によるアクティブマトリクス型の液晶表示装置が構成される。
図3から図9においては、主に、FFS絶縁膜を介し、下部電極を画素電極とし、上部電極を共通電極として、共通電極にスリットが設けられるものとして説明した。既に第1CH形成工程と第2CH形成工程で説明したように、下部電極を共通電極とし、上部電極を画素電極とすることもできる。この場合でも、下部電極とする方に第1CHを形成し、上部電極とする方に第2CHを形成するものとして、図3から図9と同様の作用効果を得ることができる。
10 素子基板、18 透光性基板、20 画素TFT、30 層間絶縁膜、32 ソース電極配線、33 ドレイン電極配線、34 ドレインライン、36 ゲートライン、38 パッシベーション膜(PV膜)、40 平坦化膜、42 画素電極、44 FFS絶縁層、46 共通電極、48 スリット、50 電界、60 共通電極ライン、62 共通電極配線、63,65 開口部、64 第1CH、66 第2CH。
Claims (8)
- 対向する一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板の一方の基板上に前記液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置を製造する方法であって、
前記一方の基板上に前記一対の電極のそれぞれに接続される画素電極配線及び共通電極配線を形成する電極配線形成工程と、
前記画素電極配線及び前記共通電極配線を覆って平坦化膜を形成する平坦化膜形成工程と、
前記平坦化膜に第1開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか一方の電極配線を露出させる第1開口部形成工程と、
前記第1開口部を介して前記一方の電極配線に接続し、前記平坦化膜上に前記一対の電極の一方の電極を形成する一方側電極形成工程と、
前記一方の電極及び前記平坦化膜上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記平坦化膜及び前記絶縁膜に第2開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか他方の電極配線を露出させる第2開口部形成工程と、
前記絶縁膜上及び前記第2開口部に、前記一対の電極の他方の電極を形成する他方側電極工程と、
を含み、
前記第2開口部形成工程は前記一方側電極形成工程より後に行われることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 対向する一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板の一方の基板上に前記液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置を製造する方法であって、
前記一方の基板上に前記一対の電極のそれぞれに接続される画素電極配線及び共通電極配線を形成する電極配線形成工程と、
前記画素電極配線及び前記共通電極配線を覆ってパッシベーション膜を形成する工程と、前記パッシベーション膜上に平坦化膜を形成する平坦化形成工程と、
前記パッシベーション膜及び前記平坦化膜に第1開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか一方の電極配線を露出させる第1開口部形成工程と、
前記第1開口部を介して前記一方の電極配線に接続し、前記平坦化膜上に前記一対の電極の一方の電極を形成する一方側電極形成工程と、
前記一方の電極及び前記平坦化膜上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記パッシベーション膜及び絶縁膜に第2開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか他方の電極配線を露出させる第2開口部形成工程と、
前記絶縁膜上及び前記第2開口部に、前記一対の電極の他方の電極を形成する他方側電極工程と、
を含み、
前記第2開口部形成工程は前記一方側電極形成工程より後に行われることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 対向する一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板の一方の基板上に前記液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置を製造する方法であって、
前記一方の基板上に前記一対の電極のそれぞれに接続される画素電極配線及び共通電極配線を形成する電極配線形成工程と、
前記画素電極配線及び前記共通電極配線を覆ってパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜に開口部を形成し、前記画素電極配線及び前記共通電極配線を露出させる工程と、
前記開口部及び前記パッシベーション膜上に平坦化膜を形成する平坦化膜形成工程と、
前記開口部の前記平坦化膜に第1開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか一方の電極配線を露出させる第1開口部形成工程と、
前記第1開口部を介して前記一方の電極配線に接続し、前記平坦化膜上に前記一対の電極の一方の電極を形成する一方側電極形成工程と、
前記一方の電極及び前記平坦化膜上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記開口部の前記平坦化膜及び絶縁膜に第2開口部を形成し、前記画素電極配線または前記共通電極配線のうちいずれか他方の電極配線を露出させる第2開口部形成工程と、
前記絶縁膜上及び前記第2開口部に、前記一対の電極の他方の電極を形成する他方側電極工程と、
を含み、
前記第2開口部形成工程は前記一方側電極形成工程より後に行われることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記一方側電極形成工程の処理温度と、前記絶縁膜形成工程の処理温度と、前記他方側電極形成工程の処理温度は、いずれも150℃以上300℃以下であることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記一方側電極形成工程の処理温度と、前記絶縁膜形成工程の処理温度と、前記他方側電極形成工程の処理温度は、いずれも平坦化膜形成工程の処理温度以下の温度であることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項2に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記第1開口部形成工程は、前記第2開口部の平坦化膜を除去する工程を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項2に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記第2開口部形成工程は、前記絶縁膜と前記パッシベーション膜とを一括して開口することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 対向する一対の基板に液晶が挟持され、前記一対の基板の1つの基板上に絶縁膜を介して前記液晶を駆動する一対の電極が設けられる液晶表示装置であって、
請求項2に記載の方法で製造され、
前記他方側の電極は、前記第2開口部において、前記平坦化膜の開口側壁に直接接触しないように配置されることを特徴とする液晶表示装置。
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