JP2009056600A - Inkjet recording head unit, method of manufacturing the same, and inkjet recording device - Google Patents

Inkjet recording head unit, method of manufacturing the same, and inkjet recording device Download PDF

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賢二 音喜多
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inkjet recording head unit capable of performing high-quality printing at high speed and at a low cost, and to provide a method of manufacturing the inkjet recording head unit, and an inkjet recording device. <P>SOLUTION: The inkjet recording head unit is provided with a plurality of nozzle rows 21A where nozzle openings 21 for discharging ink are lined up and provided. A predetermined pair of nozzle rows 21A having tendencies that the ink discharge amount of ink droplets discharged from the nozzle openings 21, based on the same discharge signal is gradually decreased from one end portion side of the nozzle row 21A to the other end portion side of the nozzle row 21A, are arranged so that tendencies that the ink discharge amount of the nozzle row 21A is gradually decreased are reversed each other. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクを吐出するノズル開口が並設された複数のノズル列から異なる色のインクを吐出させて、印刷を行うインクジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to an ink jet recording head unit that performs printing by ejecting ink of different colors from a plurality of nozzle arrays in which nozzle openings for ejecting ink are arranged in parallel, and a method for manufacturing the same, and an ink jet recording apparatus.

インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニット(以下、ヘッドユニットとも言う)としては、インクを吐出するノズル開口が開口するインク吐出面を有するインクジェット式記録ヘッドと、インクジェット式記録ヘッドのインク吐出面に接着剤を介して接着される固定板等の保持部材とを具備するものがある(例えば、特許文献1参照)。   An ink jet recording head unit (hereinafter also referred to as a head unit) having an ink jet recording head for ejecting ink includes an ink jet recording head having an ink ejection surface in which a nozzle opening for ejecting ink is opened, and ink jet recording. Some have a holding member such as a fixed plate that is bonded to the ink ejection surface of the head via an adhesive (see, for example, Patent Document 1).

また、インクジェット式記録ヘッドに圧力発生室の圧力変動特性を調整するための補正回路を設け、補正回路によって圧力発生室の圧力変動特性のばらつきを防止して印刷品質を向上するものが提案されている(例えば、特許文献2参照)。   In addition, a correction circuit for adjusting the pressure fluctuation characteristic of the pressure generation chamber is provided in the ink jet recording head, and the correction circuit prevents a variation in the pressure fluctuation characteristic of the pressure generation chamber and improves the print quality. (For example, refer to Patent Document 2).

特開2005−096419号公報(第7〜12頁、第1〜3図)Japanese Patent Laying-Open No. 2005-096419 (pages 7 to 12, FIGS. 1 to 3) 特開2000−351209号公報(第6〜10頁、第1〜3図)JP 2000-351209 A (pages 6 to 10, FIGS. 1 to 3)

しかしながら、インクジェット式記録ヘッドは、製造時の成膜ばらつきや圧力発生室の形成時のばらつきなどにより、圧電素子等の圧力発生手段の変位特性や圧力発生室の容積などにばらつきが生じ、1つのノズル列においてノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量が当該ノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向が生じてしまうという問題がある。   However, the ink jet recording head has variations in the displacement characteristics of the pressure generating means such as piezoelectric elements and the volume of the pressure generating chamber due to variations in film formation during manufacturing and variations in the pressure generating chamber. There is a problem that the ink discharge amount of the ink droplets discharged from the nozzle openings in the nozzle row tends to gradually decrease from the one end side to the other end side of the nozzle row.

そして、ノズル列のインク吐出量が漸小する傾向を揃えてインクジェット式記録ヘッドを複数配置したインクジェット式記録ヘッドユニットでは、例えば、インクジェット式記録ヘッドユニットを主走査方向に移動させて印刷を行う1パス印刷を行った後、記録用紙を副走査方向に移動させてさらに1パス印刷を行う、いわゆるマイクロフィードやバインド印刷を行うと、各パスの間で色濃度が急激に変化して、印刷品質が劣化してしまうという問題がある。   In the ink jet recording head unit in which a plurality of ink jet recording heads are arranged so as to gradually decrease the ink discharge amount of the nozzle row, for example, printing is performed by moving the ink jet recording head unit in the main scanning direction. After performing pass printing, if the recording paper is moved in the sub-scanning direction to perform one-pass printing, so-called microfeed or bind printing, the color density changes abruptly between passes, resulting in print quality. There is a problem that will deteriorate.

また、特許文献2のように、補正回路を設けることで、インク吐出特性のばらつきを防止することができるが、補正回路が必要で部品点数が多くなりコストが増大してしまうという問題がある。   In addition, as disclosed in Patent Document 2, it is possible to prevent variations in ink ejection characteristics by providing a correction circuit. However, there is a problem in that the correction circuit is necessary and the number of parts increases, resulting in an increase in cost.

本発明はこのような事情に鑑み、高速で高品質な印刷を低コストで行うことができるインクジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide an ink jet recording head unit that can perform high-speed and high-quality printing at low cost, a manufacturing method thereof, and an ink jet recording apparatus.

上記課題を解決する本発明の態様は、インクを吐出するノズル開口が並設されたノズル列が複数設けられたインクジェット式記録ヘッドユニットであって、同一の吐出信号に基づいて前記ノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量がノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向を有する所定の一対のノズル列が、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニットにある。
かかる態様では、例えば、所定の一対のノズル列のそれぞれから異なる色を吐出させて、各色を重ね合わせて各種色を印刷した際に、色の濃度をノズル列のノズル開口の並設方向で平均化することができる。したがって、マイクロフィード印刷やバインド印刷を行った際にパス間の濃度ムラを防止して、高速で高品質な印刷を行わせることができる。また、ノズル列の配置だけで濃度ムラを防止できるため、駆動波形の補正を行う補正回路等が不要となり、低コストで高速で高品質な印刷を行わせることができる。
An aspect of the present invention that solves the above problem is an ink jet recording head unit provided with a plurality of nozzle rows in which nozzle openings for discharging ink are arranged in parallel, and discharging from the nozzle openings based on the same discharge signal. A predetermined pair of nozzle rows having a tendency that the ink discharge amount of the ink droplets to be gradually reduced from one end side to the other end side of the nozzle row tends to gradually reduce the ink discharge amount of the nozzle row. The ink jet recording head unit is disposed so as to be reversed with respect to each other.
In such an aspect, for example, when different colors are ejected from each of a predetermined pair of nozzle rows and various colors are printed by superimposing the colors, the color density is averaged in the direction in which the nozzle openings of the nozzle rows are arranged side by side. Can be Therefore, density unevenness between passes can be prevented when microfeed printing or bind printing is performed, and high-quality printing can be performed at high speed. Further, since density unevenness can be prevented only by the arrangement of the nozzle rows, a correction circuit or the like for correcting the drive waveform is unnecessary, and high-quality printing can be performed at low cost and at high speed.

ここで、前記一対のノズル列が、色相の異なるインクを吐出するものであることが好ましい。また、前記一対のノズル列が、シアン系インクとマゼンダ系インクとをそれぞれ吐出するものであることが好ましい。これによれば、使用頻度の高い色相の異なるシアン系インクとマゼンダ系インクとを吐出するノズル列のインク吐出量の傾向を互いに反転するように配置することで、高品質な印刷を行わせることができる。   Here, it is preferable that the pair of nozzle rows eject ink having different hues. In addition, it is preferable that the pair of nozzle rows eject cyan ink and magenta ink, respectively. According to this, high-quality printing can be performed by arranging so that the tendency of the ink ejection amount of the nozzle row that ejects cyan ink and magenta ink with different hues that are frequently used is reversed. Can do.

また、前記一対のノズル列が、第1の無彩色インクと前記第1の無彩色インクよりも高明度な第2の無彩色インクとをそれぞれ吐出するものであることが好ましい。これによれば、特に使用頻度の高いインク、すなわち、無彩色であるブラックよりも高明度な第1の無彩色であるライトブラックインクと、第1の無彩色よりも高明度な第2の無彩色であるライトライトブラックインクとを吐出するノズル列のインク吐出量の傾向を互いに反転するように配置することで、高品質な印刷を行わせることができる。   In addition, it is preferable that the pair of nozzle rows eject a first achromatic ink and a second achromatic ink having a higher brightness than the first achromatic ink. According to this, particularly frequently used ink, that is, the light black ink that is the first achromatic color having a higher brightness than the black that is the achromatic color, and the second lightness that is higher in brightness than the first achromatic color. By arranging so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle row that discharges the light light black ink that is the chromatic color is reversed, high-quality printing can be performed.

また、グレーの色を印刷するために使用されるインクを吐出する前記ノズル列に対して、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置されていることが好ましい。これによれば、特に色の濃度ムラが生じ易いグレーの色を印刷するために使用されるインクを吐出するノズル列のインク吐出量の傾向を互いに反転するように配置することで、濃度ムラを確実に防止することができる。   In addition, it is preferable that the nozzle rows that discharge ink used for printing gray colors are arranged so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle rows to be gradually reversed. According to this, the density unevenness can be reduced by arranging the ink discharge amount tendencies of the nozzle rows for discharging the ink used for printing the gray color, which is particularly likely to cause color density unevenness, to be mutually reversed. It can be surely prevented.

本発明の他の態様は、上記態様のインクジェット式記録ヘッドユニットを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。かかる態様では、高速で高品質な印刷を低コストで行わせることができるインクジェット式記録装置を実現できる。   Another aspect of the present invention is an ink jet recording apparatus comprising the ink jet recording head unit of the above aspect. In this aspect, an ink jet recording apparatus that can perform high-speed and high-quality printing at low cost can be realized.

本発明の他の態様は、インクを吐出するノズル開口が並設されたノズル列を具備するインクジェット式記録ヘッドが複数設けられたインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法であって、前記インクジェット式記録ヘッドを製造した際に、同一の吐出信号に基づいて前記ノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量が当該ノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向を有する前記インクジェット式記録ヘッドが形成された場合に、当該インクジェット式記録ヘッドを、所定の一対のノズル列において、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる態様では、インクジェット式記録ヘッドの製造時にノズル列のインク吐出量にばらつき傾向が生じたとしても、例えば、所定の一対のノズル列のそれぞれから異なる色を吐出させて、各色を重ね合わせて各種色を印刷した際に、色の濃度をノズル列のノズル開口の並設方向で平均化することができる。したがって、マイクロフィード印刷やバインド印刷を行った際にパス間の濃度ムラを防止して、高速で高品質な印刷を行わせることができる。また、インクジェット式記録ヘッドの配置だけで濃度ムラを防止できるため、駆動波形の補正を行う補正回路等が不要となり、低コストで高速で高品質な印刷を行わせることができる。
Another aspect of the present invention is a method of manufacturing an ink jet recording head unit provided with a plurality of ink jet recording heads each having a nozzle row in which nozzle openings for discharging ink are arranged in parallel. The ink jet amount of the ink droplets ejected from the nozzle openings based on the same ejection signal when the ink jet is manufactured has a tendency to gradually decrease from one end side to the other end side of the nozzle row When an ink jet recording head is formed, the ink jet recording head is arranged in a predetermined pair of nozzle rows so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle rows to gradually reverse each other. The method is for manufacturing an ink jet recording head unit.
In such an aspect, even if the ink discharge amount of the nozzle row tends to vary during the manufacture of the ink jet recording head, for example, different colors are ejected from each of a predetermined pair of nozzle rows, and the respective colors are overlapped. When colors are printed, the color density can be averaged in the direction in which the nozzle openings of the nozzle row are arranged side by side. Therefore, density unevenness between passes can be prevented when microfeed printing or bind printing is performed, and high-quality printing can be performed at high speed. Further, since density unevenness can be prevented only by the arrangement of the ink jet recording head, a correction circuit or the like for correcting the drive waveform is not required, and high-quality printing can be performed at low cost and at high speed.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図1に示すように、インクジェット式記録装置Iは、インクジェット式記録ヘッドを有するインクジェット式記録ヘッドユニット1(以下、ヘッドユニット1とも言う)を具備する。ヘッドユニット1は、インク供給手段を構成する複数のカートリッジ1Aが着脱可能に設けられ、キャリッジ3に搭載されている。このヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット1の各インクジェット式記録ヘッドは、詳しくは後述するが、本実施形態では、8色のカラーインクを吐出するものとしており、8色のインクをそれぞれ貯留した8つのインクカートリッジ1Aが設けられている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of an ink jet recording apparatus. As shown in FIG. 1, the ink jet recording apparatus I includes an ink jet recording head unit 1 (hereinafter also referred to as a head unit 1) having an ink jet recording head. The head unit 1 is detachably provided with a plurality of cartridges 1A constituting ink supply means, and is mounted on a carriage 3. A carriage 3 on which the head unit 1 is mounted is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus main body 4 so as to be movable in the axial direction. As will be described later in detail, each ink jet recording head of the head unit 1 ejects eight color inks in this embodiment, and eight ink cartridges 1A each storing eight color inks are provided. It has been.

そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、ヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。   Then, the driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and a timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the head unit 1 is mounted is moved along the carriage shaft 5. On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S, which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown), is conveyed on the platen 8. It is like that.

ここで、ヘッドユニット1について詳細に説明する。なお、図2は、ヘッドユニットの概略構成を示す分解斜視図である。   Here, the head unit 1 will be described in detail. FIG. 2 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the head unit.

図2に示すように、ヘッドユニット1のカートリッジケース210は、インク供給手段であるインクカートリッジ1Aがそれぞれ装着されるカートリッジ装着部211を有する。また、カートリッジケース210の底面には、一端が各カートリッジ装着部211に開口し、他端が後述するヘッドケース側に開口する複数のインク連通路(図示なし)が設けられている。さらに、カートリッジ装着部211のインク連通路の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針213が、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路に形成されたフィルタ(図示なし)を介して固定されている。   As shown in FIG. 2, the cartridge case 210 of the head unit 1 has cartridge mounting portions 211 to which ink cartridges 1 </ b> A as ink supply means are respectively mounted. The bottom surface of the cartridge case 210 is provided with a plurality of ink communication paths (not shown) having one end opened to each cartridge mounting portion 211 and the other end opened to the head case side described later. Further, an ink supply needle 213 to be inserted into the ink supply port of the ink cartridge is formed in the ink communication path in the ink communication path of the cartridge mounting portion 211 in order to remove bubbles and foreign matters in the ink. It is fixed via a filter (not shown).

また、このようなカートリッジケース210の底面側には、インクを吐出する複数のインクジェット式記録ヘッド2が固定されている。インクジェット式記録ヘッド2には、詳しくは後述するが、それぞれノズル開口が並設されたノズル列が設けられており、各インクジェット式記録ヘッド2のノズル列からは、ブラック(K)、ライトブラック(LK)、ライトライトブラック(LLK)、シアン(C)、ライトシアン(LC)、マゼンダ(M)、ライトマゼンダ(LM)、イエロー(Y)のインクが吐出される。すなわち、本実施形態では、1つのヘッドユニット1に、8色のインクをそれぞれ吐出するノズル列が設けられた8つのインクジェット式記録ヘッド2が設けられている。なお、ライトブラック(LK)、ライトシアン(LC)及びライトマゼンダ(LM)は、ブラック(K)、シアン(C)及びマゼンダ(M)よりも高明度なものを言い、ライトライトブラック(LLK)、ライトライトシアン(LLC)及びライトライトマゼンダ(LLM)は、ライトブラック(LK)、ライトシアン(LC)及びライトマゼンダ(LM)よりも高明度なものを言う。   A plurality of ink jet recording heads 2 that eject ink are fixed to the bottom surface side of the cartridge case 210. As will be described in detail later, the ink jet recording head 2 is provided with a nozzle array in which nozzle openings are arranged in parallel. From the nozzle array of each ink jet recording head 2, black (K), light black ( LK), light light black (LLK), cyan (C), light cyan (LC), magenta (M), light magenta (LM), and yellow (Y) ink are ejected. That is, in the present embodiment, eight ink jet recording heads 2 each provided with a nozzle array for ejecting eight colors of ink are provided in one head unit 1. Note that light black (LK), light cyan (LC), and light magenta (LM) are lighter than black (K), cyan (C), and magenta (M), and light light black (LLK), Light light cyan (LLC) and light light magenta (LLM) are lighter than light black (LK), light cyan (LC), and light magenta (LM).

また、インクジェット式記録ヘッド2のノズル開口が開口するインク吐出面側には、複数のインクジェット式記録ヘッド2のインク吐出面側を保護するカバーヘッド240が設けられている。なお、インクジェット式記録ヘッド2のインク吐出面は、詳しくは後述するが、インクを吐出するノズル開口が開口する面のことであり、カバーヘッド240は、各インクジェット式記録ヘッド2のインク吐出面のノズル列21Aをそれぞれ開口する露出開口部241が設けられている。   Further, a cover head 240 that protects the ink ejection surface side of the plurality of ink jet recording heads 2 is provided on the ink ejection surface side where the nozzle openings of the ink jet recording head 2 are opened. The ink discharge surface of the ink jet recording head 2 is a surface where nozzle openings for discharging ink are opened, as will be described in detail later. The cover head 240 is a surface of the ink discharge surface of each ink jet recording head 2. Exposed openings 241 that respectively open the nozzle rows 21A are provided.

具体的には、カバーヘッド240は、ノズル開口21を露出する露出開口部241と、露出開口部241を画成すると共にインクジェット式記録ヘッド2のインク吐出面Aに接合される接合部242とを具備する。   Specifically, the cover head 240 includes an exposed opening 241 that exposes the nozzle opening 21, and a joint 242 that defines the exposed opening 241 and is joined to the ink ejection surface A of the ink jet recording head 2. It has.

接合部242は、本実施形態では、複数のインクジェット式記録ヘッド2に亘ってインク吐出面Aの外周に沿って設けられた固定用枠部243と、隣接するインクジェット式記録ヘッド2の間に延設されて露出開口部241を分割する固定用梁部244とで構成されている。そして、固定用枠部243及び固定用梁部244からなる接合部242が複数のインクジェット式記録ヘッド2のインク吐出面Aに同時に接合されている。   In the present embodiment, the joint portion 242 extends between the fixing frame portion 243 provided along the outer periphery of the ink ejection surface A across the plurality of ink jet recording heads 2 and the adjacent ink jet recording head 2. And a fixing beam portion 244 that is provided and divides the exposed opening 241. A joint portion 242 including the fixing frame portion 243 and the fixing beam portion 244 is simultaneously joined to the ink discharge surfaces A of the plurality of ink jet recording heads 2.

ここで、インクジェット式記録ヘッド2の一例について説明する。なお、図3は、インクジェット式記録ヘッドの平面図及びそのA−A′断面図である。   Here, an example of the ink jet recording head 2 will be described. FIG. 3 is a plan view of the ink jet recording head and a sectional view taken along line AA ′.

図示するように、インクジェット式記録ヘッド2を構成する流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。   As shown in the drawing, the flow path forming substrate 10 constituting the ink jet recording head 2 is made of a silicon single crystal substrate having a plane orientation (110) in this embodiment, and one surface thereof is made of silicon dioxide with a thickness of 0. An elastic film 50 having a thickness of 5 to 2 μm is formed.

流路形成基板10には、他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁11によって区画された圧力発生室12がその幅方向(短手方向)に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向一端部側には、インク供給路14と連通路15とが隔壁によって区画されている。また、連通路15の一端には、各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100の一部を構成する連通部13が形成されている。すなわち、流路形成基板10には、圧力発生室12、連通部13、インク供給路14及び連通路15からなるインク流路が設けられている。なお、インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。   In the flow path forming substrate 10, pressure generating chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls 11 are arranged in parallel in the width direction (short direction) by anisotropic etching from the other surface side. Further, an ink supply path 14 and a communication path 15 are partitioned by a partition wall on one end side in the longitudinal direction of the pressure generating chamber 12 of the flow path forming substrate 10. Further, at one end of the communication passage 15, a communication portion 13 that forms a part of the reservoir 100 that is a common ink chamber of each pressure generation chamber 12 is formed. That is, the flow path forming substrate 10 is provided with an ink flow path including a pressure generation chamber 12, a communication portion 13, an ink supply path 14, and a communication path 15. The ink supply path 14 is formed with a narrower width than the pressure generation chamber 12, and maintains a constant flow path resistance of ink flowing into the pressure generation chamber 12 from the communication portion 13.

また、流路形成基板10の開口面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート20のノズル開口21は、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態では、流路形成基板10に圧力発生室12が並設された列を1列設けたため、1つのインクジェット式記録ヘッド2にはノズル開口21の並設されたノズル列21Aが1列設けられている(図8参照)。そして、本実施形態では、このノズルプレート20のノズル開口21が開口する面がインク吐出面Aとなっている。このようなノズルプレート20としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼(SUS)等の金属基板などが挙げられる。   Further, on the opening surface side of the flow path forming substrate 10, a nozzle plate 20 having a nozzle opening 21 communicating with the vicinity of the end of each pressure generating chamber 12 on the side opposite to the ink supply path 14 is provided with an adhesive. Or a heat-welded film or the like. The nozzle opening 21 of the nozzle plate 20 is formed at a position communicating with the pressure generation chamber 12 on the side opposite to the ink supply path 14. In the present embodiment, since one row in which the pressure generation chambers 12 are arranged in parallel is provided on the flow path forming substrate 10, one nozzle row 21A in which nozzle openings 21 are arranged in parallel is provided in one ink jet recording head 2. (See FIG. 8). In the present embodiment, the surface of the nozzle plate 20 where the nozzle openings 21 are opened is the ink discharge surface A. Examples of such a nozzle plate 20 include a silicon single crystal substrate and a metal substrate such as stainless steel (SUS).

また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド2は、ノズル開口21の並設方向が、ヘッドユニット1の主走査方向(キャリッジ3の移動方向)とは交差する方向、すなわち、副走査方向(記録シートSの搬送方向)となるようにヘッドユニット1に搭載される。すなわち、複数のインクジェット式記録ヘッド2は、ノズル列21Aが、ヘッドユニット1の主走査方向に並列されるように搭載される。   Further, in the ink jet recording head 2 of the present embodiment, the direction in which the nozzle openings 21 are juxtaposed with each other intersects the main scanning direction (movement direction of the carriage 3) of the head unit 1, that is, the sub-scanning direction (recording sheet). It is mounted on the head unit 1 so as to be in the (S transport direction). That is, the plurality of ink jet recording heads 2 are mounted such that the nozzle rows 21 </ b> A are arranged in parallel in the main scanning direction of the head unit 1.

さらに、インクジェット式記録ヘッド2には、それぞれノズルプレート20が設けられており、当該ノズルプレート20はカバーヘッド240の露出開口部241よりも若干広い面積を有してカバーヘッド240と重畳する領域で接着剤によって固定されている。   Further, each of the inkjet recording heads 2 is provided with a nozzle plate 20. The nozzle plate 20 has a slightly larger area than the exposed opening 241 of the cover head 240 and overlaps the cover head 240. It is fixed with an adhesive.

一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約1.0μmの弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、厚さが例えば、約0.4μmの絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、厚さが例えば、約0.2μmの下電極膜60と、厚さが例えば、約1.1μmの圧電体層70と、厚さが例えば、約0.05μmの上電極膜80とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子300を構成している。ここで、圧電素子300は、下電極膜60、圧電体層70及び上電極膜80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層70から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部320という。本実施形態では、詳しくは後述するが、下電極膜60を圧電素子300の共通電極とし、上電極膜80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子300と当該圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエータ装置と称する。なお、上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び下電極膜60が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜50及び絶縁体膜55を設けずに、下電極膜60のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電素子300自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。   On the other hand, as described above, the elastic film 50 having a thickness of, for example, about 1.0 μm is formed on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10. For example, an insulator film 55 having a thickness of about 0.4 μm is formed. Further, on the insulator film 55, a lower electrode film 60 having a thickness of, for example, about 0.2 μm, a piezoelectric layer 70 having a thickness of, for example, about 1.1 μm, and a thickness of, for example, about 0 The upper electrode film 80 having a thickness of 0.05 μm is laminated by a process described later to constitute the piezoelectric element 300. Here, the piezoelectric element 300 refers to a portion including the lower electrode film 60, the piezoelectric layer 70, and the upper electrode film 80. In general, one electrode of the piezoelectric element 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer 70 are patterned for each pressure generating chamber 12. In this case, a portion that is configured by any one of the patterned electrodes and the piezoelectric layer 70 and in which piezoelectric distortion is generated by applying a voltage to both electrodes is referred to as a piezoelectric active portion 320. In this embodiment, as will be described in detail later, the lower electrode film 60 is used as a common electrode of the piezoelectric element 300, and the upper electrode film 80 is used as an individual electrode of the piezoelectric element 300. There is no problem. In addition, here, the piezoelectric element 300 and the diaphragm that is displaced by driving the piezoelectric element 300 are collectively referred to as an actuator device. In the above-described example, the elastic film 50, the insulator film 55, and the lower electrode film 60 function as a diaphragm. However, the present invention is not limited to this, and for example, the elastic film 50 and the insulator film 55 are provided. Instead, only the lower electrode film 60 may act as a diaphragm. Further, the piezoelectric element 300 itself may substantially serve as a diaphragm.

圧電体層70は、下電極膜60上に形成されるペロブスカイト構造の結晶膜である。圧電体層70としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の強誘電体材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケル又は酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したもの等が好適である。圧電体層70の厚さについては、製造工程でクラックが発生しない程度に厚さを抑え、且つ十分な変位特性を呈する程度に厚く形成する。例えば、本実施形態では、圧電体層70を1〜2μm前後の厚さで形成した。   The piezoelectric layer 70 is a crystal film having a perovskite structure formed on the lower electrode film 60. As the piezoelectric layer 70, for example, a ferroelectric material such as lead zirconate titanate (PZT) or a material obtained by adding a metal oxide such as niobium oxide, nickel oxide, or magnesium oxide to the ferroelectric material is suitable. The piezoelectric layer 70 is formed thick enough to suppress the thickness so as not to generate cracks in the manufacturing process and to exhibit sufficient displacement characteristics. For example, in this embodiment, the piezoelectric layer 70 is formed with a thickness of about 1 to 2 μm.

また、圧電素子300の個別電極である各上電極膜80には、インク供給路14側の端部近傍から引き出された引き出し配線として、例えば、金(Au)等からなるリード電極90が設けられている。そして、このリード電極90は、詳しくは後述する貫通孔33で駆動回路120と接続配線121を介して電気的に接続されている。   Further, each upper electrode film 80 that is an individual electrode of the piezoelectric element 300 is provided with a lead electrode 90 made of, for example, gold (Au) or the like as a lead-out wiring drawn out from the vicinity of the end on the ink supply path 14 side. ing. The lead electrode 90 is electrically connected to the drive circuit 120 via the connection wiring 121 through a through hole 33 described later in detail.

さらに、圧電素子300が形成された流路形成基板10上には、連通部13に対向する領域にリザーバ部31が設けられた保護基板30が接着剤35を介して接合されている。このリザーバ部31は、上述したように、流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成している。また、流路形成基板10の連通部13を圧力発生室12毎に複数に分割して、リザーバ部31のみをリザーバとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板10に圧力発生室12のみを設け、流路形成基板10と保護基板30との間に介在する部材(例えば、弾性膜50、絶縁体膜55等)にリザーバと各圧力発生室12とを連通するインク供給路14を設けるようにしてもよい。   Further, on the flow path forming substrate 10 on which the piezoelectric element 300 is formed, a protective substrate 30 provided with a reservoir portion 31 in a region facing the communication portion 13 is bonded via an adhesive 35. As described above, the reservoir unit 31 communicates with the communication unit 13 of the flow path forming substrate 10 and constitutes the reservoir 100 serving as a common ink chamber for the pressure generation chambers 12. Alternatively, the communication portion 13 of the flow path forming substrate 10 may be divided into a plurality of pressure generation chambers 12 and only the reservoir portion 31 may be used as the reservoir. Further, for example, only the pressure generation chamber 12 is provided in the flow path forming substrate 10, and a reservoir and a member interposed between the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 (for example, the elastic film 50, the insulator film 55, etc.) An ink supply path 14 that communicates with each pressure generating chamber 12 may be provided.

また、保護基板30の圧電素子300に対向する領域には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部32が設けられている。圧電素子保持部32は、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。   A piezoelectric element holding portion 32 having a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300 is provided in a region of the protective substrate 30 that faces the piezoelectric element 300. The piezoelectric element holding part 32 only needs to have a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300, and the space may be sealed or unsealed.

このような保護基板30としては、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。   As such a protective substrate 30, it is preferable to use substantially the same material as the coefficient of thermal expansion of the flow path forming substrate 10, for example, glass, ceramic material, etc. In this embodiment, the same material as the flow path forming substrate 10 is used. The silicon single crystal substrate was used.

また、保護基板30には、保護基板30を厚さ方向に貫通する貫通孔33が設けられている。そして、各圧電素子300から引き出されたリード電極90の端部近傍(接続層301)は、貫通孔33内に露出するように設けられている。   The protective substrate 30 is provided with a through hole 33 that penetrates the protective substrate 30 in the thickness direction. The vicinity of the end of the lead electrode 90 (connection layer 301) drawn from each piezoelectric element 300 is provided so as to be exposed in the through hole 33.

また、保護基板30上には、並設された圧電素子300を駆動するための駆動回路120が固定されている。この駆動回路120としては、例えば、回路基板や半導体集積回路(IC)等を用いることができる。そして、駆動回路120とリード電極90とは、ボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線121を介して電気的に接続されている。なお、接続配線121は、上述のように接続層301上のリード電極90に電気的に接続されている。また、接続配線121とリード電極90との接続は、例えば、ワイヤボンディング等が挙げられる。   A drive circuit 120 for driving the piezoelectric elements 300 arranged in parallel is fixed on the protective substrate 30. For example, a circuit board or a semiconductor integrated circuit (IC) can be used as the drive circuit 120. The drive circuit 120 and the lead electrode 90 are electrically connected via a connection wiring 121 made of a conductive wire such as a bonding wire. Note that the connection wiring 121 is electrically connected to the lead electrode 90 on the connection layer 301 as described above. The connection between the connection wiring 121 and the lead electrode 90 includes, for example, wire bonding.

また、このような保護基板30上には、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40が接合されている。ここで、封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、厚さが6μmのポリフェニレンサルファイド(PPS)フィルム)からなり、この封止膜41によってリザーバ部31の一方面が封止されている。また、固定板42は、金属等の硬質の材料(例えば、厚さが30μmのステンレス鋼(SUS)等)で形成される。この固定板42のリザーバ100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、リザーバ100の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。   In addition, a compliance substrate 40 including a sealing film 41 and a fixing plate 42 is bonded onto the protective substrate 30. Here, the sealing film 41 is made of a material having low rigidity and flexibility (for example, a polyphenylene sulfide (PPS) film having a thickness of 6 μm), and the sealing film 41 seals one surface of the reservoir portion 31. It has been stopped. The fixing plate 42 is made of a hard material such as metal (for example, stainless steel (SUS) having a thickness of 30 μm). Since the region of the fixing plate 42 facing the reservoir 100 is an opening 43 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the reservoir 100 is sealed only with a flexible sealing film 41. Has been.

このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド2では、図2に示すインクカートリッジとカートリッジケース210のインク連通路を介して接続されたインク導入口からインクを取り込み、リザーバ100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路120からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの下電極膜60と上電極膜80との間に電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、下電極膜60及び圧電体層70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。   In the ink jet recording head 2 of this embodiment, ink is taken in from the ink introduction port connected to the ink cartridge shown in FIG. 2 via the ink communication path of the cartridge case 210 and reaches from the reservoir 100 to the nozzle opening 21. After the inside is filled with ink, a voltage is applied between the lower electrode film 60 and the upper electrode film 80 corresponding to the pressure generating chamber 12 in accordance with a recording signal from the drive circuit 120, and the elastic film 50 is insulated. By flexing and deforming the body film 55, the lower electrode film 60, and the piezoelectric layer 70, the pressure in each pressure generating chamber 12 is increased and ink droplets are ejected from the nozzle openings 21.

以下、このようなインクジェット式記録ヘッド2の製造方法について、図4〜図7を参照して説明する。なお、図4〜図7は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す圧力発生室の長手方向の断面図である。まず、図4(a)に示すように、シリコンウェハである流路形成基板用ウェハ110の表面に弾性膜50を構成する二酸化シリコン(SiO2)からなる二酸化シリコン膜51を形成する。次いで、図4(b)に示すように、弾性膜50(二酸化シリコン膜51)上に、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜55を形成する。 Hereinafter, a method for manufacturing such an ink jet recording head 2 will be described with reference to FIGS. 4 to 7 are cross-sectional views in the longitudinal direction of the pressure generating chamber showing the method of manufacturing the ink jet recording head according to the first embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 4A, a silicon dioxide film 51 made of silicon dioxide (SiO 2 ) constituting the elastic film 50 is formed on the surface of a flow path forming substrate wafer 110 that is a silicon wafer. Next, as shown in FIG. 4B, an insulator film 55 made of zirconium oxide is formed on the elastic film 50 (silicon dioxide film 51).

次に、図4(c)に示すように、流路形成基板用ウェハ110の絶縁体膜55上の全面に亘って白金(Pt)とイリジウム(Ir)とからなる下電極膜60を形成すると共に所定形状にパターニングする。   Next, as shown in FIG. 4C, a lower electrode film 60 made of platinum (Pt) and iridium (Ir) is formed over the entire surface of the insulator film 55 of the flow path forming substrate wafer 110. At the same time, it is patterned into a predetermined shape.

次に、図5(a)に示すように、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等からなる圧電体層70と、例えば、イリジウムからなる上電極膜80とを流路形成基板用ウェハ110の全面に形成した後、図5(b)に示すように、各圧力発生室12に対向する領域にパターニングして圧電素子300を形成する。圧電素子300を構成する圧電体層70の材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の強誘電性圧電性材料や、これにニオブ、ニッケル、マグネシウム、ビスマス又はイットリウム等の金属を添加したリラクサ強誘電体等が用いられる。また、圧電体層70の形成方法は、本実施形態では、金属有機物を溶媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体層70を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いて圧電体層70を形成した。なお、圧電体層70の形成方法は、特に限定されず、例えば、MOD法やスパッタリング法等を用いるようにしてもよい。   Next, as shown in FIG. 5A, for example, a piezoelectric layer 70 made of lead zirconate titanate (PZT) or the like and an upper electrode film 80 made of iridium, for example, are formed on the wafer 110 for flow path forming substrate. Then, as shown in FIG. 5B, patterning is performed in a region facing each pressure generating chamber 12 to form a piezoelectric element 300. As a material of the piezoelectric layer 70 constituting the piezoelectric element 300, for example, a ferroelectric piezoelectric material such as lead zirconate titanate (PZT) or a metal such as niobium, nickel, magnesium, bismuth or yttrium is used. An added relaxor ferroelectric or the like is used. In the present embodiment, the piezoelectric layer 70 is formed by applying a so-called sol in which a metal organic material is dissolved and dispersed in a solvent, drying it to gel, and baking it at a high temperature to form a piezoelectric layer made of a metal oxide. The piezoelectric layer 70 was formed using a so-called sol-gel method for obtaining 70. The method for forming the piezoelectric layer 70 is not particularly limited, and for example, a MOD method or a sputtering method may be used.

次に、図5(c)に示すように、流路形成基板用ウェハ110の全面に亘って金(Auからなるリード電極90を形成後、各圧電素子300毎にパターニングする。   Next, as shown in FIG. 5C, a lead electrode 90 made of gold (Au) is formed over the entire surface of the flow path forming substrate wafer 110, and then patterned for each piezoelectric element 300.

次に、図6(a)に示すように、保護基板用ウェハ130を、流路形成基板用ウェハ110上に接着剤35を介して接着する。ここで、この保護基板用ウェハ130は、保護基板30が複数一体的に形成されたものであり、保護基板用ウェハ130には、リザーバ部31及び圧電素子保持部32が予め形成されている。   Next, as illustrated in FIG. 6A, the protective substrate wafer 130 is bonded to the flow path forming substrate wafer 110 via the adhesive 35. Here, the protective substrate wafer 130 is formed by integrally forming a plurality of protective substrates 30, and a reservoir portion 31 and a piezoelectric element holding portion 32 are formed in advance on the protective substrate wafer 130.

次いで、図6(b)に示すように、流路形成基板用ウェハ110を所定の厚みに薄くする。次いで、図6(c)に示すように、流路形成基板用ウェハ110上にマスク膜52を新たに形成し、所定形状にパターニングする。そして、図7に示すように、流路形成基板用ウェハ110をマスク膜52を介してKOH等のアルカリ溶液を用いた異方性エッチング(ウェットエッチング)することにより、圧電素子300に対応する圧力発生室12、連通部13、インク供給路14及び連通路15等を形成する。   Next, as shown in FIG. 6B, the flow path forming substrate wafer 110 is thinned to a predetermined thickness. Next, as shown in FIG. 6C, a mask film 52 is newly formed on the flow path forming substrate wafer 110 and patterned into a predetermined shape. Then, as shown in FIG. 7, the pressure corresponding to the piezoelectric element 300 is obtained by performing anisotropic etching (wet etching) using an alkaline solution such as KOH on the flow path forming substrate wafer 110 through the mask film 52. A generation chamber 12, a communication portion 13, an ink supply path 14, a communication path 15 and the like are formed.

そして、流路形成基板用ウェハ110及び保護基板用ウェハ130の外周縁部の不要部分を、例えば、ダイシング等により切断することによって除去する。そして、流路形成基板用ウェハ110の保護基板用ウェハ130とは反対側の面にノズル開口21が穿設されたノズルプレート20を接合すると共に、保護基板用ウェハ130にコンプライアンス基板40を接合し、流路形成基板用ウェハ110等を図3に示すような一つのチップサイズの流路形成基板10等に分割することによって、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド2とする。   Then, unnecessary portions of the outer peripheral edge portions of the flow path forming substrate wafer 110 and the protective substrate wafer 130 are removed by cutting, for example, by dicing. The nozzle plate 20 having the nozzle openings 21 formed on the surface of the flow path forming substrate wafer 110 opposite to the protective substrate wafer 130 is bonded, and the compliance substrate 40 is bonded to the protective substrate wafer 130. Then, the flow path forming substrate wafer 110 and the like are divided into a single chip size flow path forming substrate 10 as shown in FIG.

このような工程により製造されたインクジェット式記録ヘッド2には、1つのノズル列21A(図8参照)において、同一駆動信号に基づいてノズル開口21から吐出されるインク滴のインク吐出量が、当該ノズル列21Aの一端部側に設けられたノズル開口21から他端部側に設けられたノズル開口21に向かって漸小する傾向を有するインクジェット式記録ヘッド2が製造される場合がある。これは、例えば、上述した製造方法によりインクジェット式記録ヘッド2を製造した際の圧電素子300の成膜時の膜厚や焼成温度等のばらつきや、流路形成基板10を異方性エッチングする際のエッチング量のばらつきなどによって発生する。なお、ノズル列21Aにおけるインク吐出量のばらつき傾向は、ノズル開口21の開口面積のばらつきなど他の要因によっても発生するため、これらの製造方法に限定されるものではない。   The ink jet recording head 2 manufactured by such a process has an ink discharge amount of ink droplets discharged from the nozzle openings 21 based on the same drive signal in one nozzle row 21A (see FIG. 8). There is a case where the ink jet recording head 2 having a tendency to gradually decrease from the nozzle opening 21 provided on one end side of the nozzle row 21A toward the nozzle opening 21 provided on the other end side may be manufactured. This is because, for example, when the inkjet recording head 2 is manufactured by the above-described manufacturing method, the thickness of the piezoelectric element 300 during film formation, the firing temperature, or the like, or when the flow path forming substrate 10 is anisotropically etched. This occurs due to variations in the amount of etching. Note that the tendency of variation in the ink discharge amount in the nozzle row 21A is also caused by other factors such as variation in the opening area of the nozzle openings 21, and is not limited to these manufacturing methods.

このように、1つのノズル列21Aにおいて、ノズル開口21から吐出されるインク吐出量が漸小する傾向を有するインクジェット式記録ヘッド2は、所定の一対のノズル列21A、本実施形態では、使用頻度の高いインクを吐出する一対のノズル列21Aで、ノズル列21Aのインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置されている。   Thus, in one nozzle row 21A, the ink jet recording head 2 having a tendency to gradually reduce the amount of ink discharged from the nozzle openings 21 is a predetermined pair of nozzle rows 21A, in this embodiment, the frequency of use. In the pair of nozzle rows 21A that discharge high-quality ink, the ink discharge amount of the nozzle rows 21A is arranged so as to be reversed with respect to each other.

なお、インクジェット式記録ヘッド2の各ノズル開口21から吐出されるインク吐出量は、例えば、ノズル開口21に対応する圧電素子300(圧電体層70)の静電容量を測定し、圧電素子300の変位量を把握することで圧電素子300に対応するインク吐出量を把握することができる。また、圧力発生室12の共振周波数を測定することでも、インク吐出量を把握することができる。このようなノズル列21Aにおけるインク吐出量の傾向の測定は、複数個に1つの割合でノズル開口21に対応する圧電素子300を測定することで把握することができる。   Note that the amount of ink discharged from each nozzle opening 21 of the ink jet recording head 2 is determined by measuring the capacitance of the piezoelectric element 300 (piezoelectric layer 70) corresponding to the nozzle opening 21, for example. By grasping the displacement amount, the ink discharge amount corresponding to the piezoelectric element 300 can be grasped. Further, the ink discharge amount can also be grasped by measuring the resonance frequency of the pressure generating chamber 12. Such a tendency of the ink discharge amount in the nozzle row 21A can be grasped by measuring the piezoelectric elements 300 corresponding to the nozzle openings 21 at a ratio of one to a plurality.

このようにインクジェット式記録ヘッド2のインク吐出量を測定することで、インクジェット式記録ヘッド2のインク吐出量の傾向を取得し、インク吐出量の傾向に基づいてインクジェット式記録ヘッド2を分類する。ちなみに、インクジェット式記録ヘッド2のインク吐出量の傾向に基づく分類は、複数のインクジェット式記録ヘッド2を組み合わせてヘッドユニット1を製造する際に、インクジェット式記録ヘッド2のカートリッジケース210等への取り付け向き(ノズル列21Aの向き)はその形状により規定されるため、インクジェット式記録ヘッド2自体の形状とインク吐出量の傾向とに基づいて行われる。なお、ヘッドユニット1を製造する際には、インク吐出量の傾向が詳しくは後述する配置となるように、インクジェット式記録ヘッド2を配置する。このため、予めインクジェット式記録ヘッド2をインク吐出量の傾向に基づいて分類しておくことで、ヘッドユニット1の製造工程を簡略化することができる。   Thus, by measuring the ink discharge amount of the ink jet recording head 2, the tendency of the ink discharge amount of the ink jet recording head 2 is acquired, and the ink jet recording head 2 is classified based on the tendency of the ink discharge amount. Incidentally, the classification based on the tendency of the ink discharge amount of the ink jet recording head 2 is performed by attaching the ink jet recording head 2 to the cartridge case 210 or the like when the head unit 1 is manufactured by combining a plurality of ink jet recording heads 2. Since the direction (the direction of the nozzle row 21A) is defined by its shape, the direction is determined based on the shape of the ink jet recording head 2 itself and the tendency of the ink discharge amount. Note that when the head unit 1 is manufactured, the ink jet recording head 2 is arranged so that the tendency of the ink discharge amount is arranged in detail later. For this reason, the manufacturing process of the head unit 1 can be simplified by classifying the ink jet recording head 2 in advance based on the tendency of the ink discharge amount.

ここで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニット2における複数のインクジェット式記録ヘッド2の配置について詳細に説明する。なお、図8は、ヘッドユニットのインクジェット式記録ヘッドの配置を示す平面図である。   Here, the arrangement of the plurality of ink jet recording heads 2 in the ink jet recording head unit 2 of the present embodiment will be described in detail. FIG. 8 is a plan view showing the arrangement of the ink jet recording head of the head unit.

図8に示すように、本実施形態では、1つのヘッドユニット1に8個のインクジェット式記録ヘッド2A〜2Hが設けられ、各インクジェット式記録ヘッド2A〜2Hのノズル列21Aからはそれぞれ異なる色、すなわち、ブラック(K)、ライトブラック(LK)、ライトライトブラック(LLK)、イエロー(Y)、シアン(C)、ライトシアン(LC)、マゼンダ(M)、ライトマゼンダ(LM)が吐出される。   As shown in FIG. 8, in this embodiment, eight ink jet recording heads 2 </ b> A to 2 </ b> H are provided in one head unit 1, and different colors from the nozzle rows 21 </ b> A of the ink jet recording heads 2 </ b> A to 2 </ b> H, That is, black (K), light black (LK), light light black (LLK), yellow (Y), cyan (C), light cyan (LC), magenta (M), and light magenta (LM) are ejected.

このようなヘッドユニット1では、使用頻度の最も高いインクは、ライトシアン(LC)、ライトマゼンダ(LM)であり、これらのインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド2F、2Hは、ノズル列21Aのインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置されている。   In such a head unit 1, the most frequently used inks are light cyan (LC) and light magenta (LM). The ink jet recording heads 2F and 2H that eject these inks eject ink from the nozzle row 21A. They are arranged so that the quantity trends are reversed.

すなわち、ライトシアン(LC)インクを吐出するインクジェット式記録ヘッド2Fは、ノズル列21Aのインク吐出量が図8中下側に向かって漸小するように配置され、ライトマゼンダ(LM)インクを吐出するインクジェット式記録ヘッド2Hは、ノズル列21Aのインク吐出量がインクジェット式記録ヘッド2Fとは逆の図8中上側に向かって漸小するように配置されている。   That is, the ink jet recording head 2F that discharges light cyan (LC) ink is arranged so that the ink discharge amount of the nozzle row 21A gradually decreases toward the lower side in FIG. 8, and discharges light magenta (LM) ink. The ink jet recording head 2H is arranged so that the ink discharge amount of the nozzle row 21A gradually decreases toward the upper side in FIG. 8 opposite to the ink jet recording head 2F.

また、その他に使用頻度の高いインクは、無彩色インクであるブラックよりも高明度な第1の無彩色インクであるライトブラック(LK)と、第1の無彩色インクよりも高明度な第2の無彩色インクであるライトライトブラック(LLK)であり、これらのインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド2B、2Cも、ノズル列のインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置されている。   Other frequently used inks are light black (LK), which is a first achromatic ink having a higher brightness than black, which is an achromatic ink, and a second, which has a higher brightness than the first achromatic ink. Ink-jet recording heads 2B and 2C that discharge light ink (light light black (LLK)), which are non-achromatic inks, are also arranged so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle row is reversed.

すなわち、ライトブラック(LK)インクを吐出するインクジェット式記録ヘッド2Bは、ノズル列21Aのインク吐出量が図8中下側に向かってが漸小するように配置され、ライトライトブラック(LLK)インクを吐出するインクジェット式記録ヘッド2Cは、ノズル列21Aのインク吐出量が、インクジェット式記録ヘッド2Bとは逆の図8中上側に向かって漸小するように配置されている。   That is, the ink jet recording head 2B that discharges light black (LK) ink is arranged so that the ink discharge amount of the nozzle row 21A gradually decreases toward the lower side in FIG. 8, and the light light black (LLK) ink is arranged. The ink jet recording head 2C is arranged so that the ink discharge amount of the nozzle row 21A gradually decreases toward the upper side in FIG. 8 opposite to the ink jet recording head 2B.

このように、使用頻度の高いインク、すなわち、ライトシアン(LC)とライトマゼンダ(LM)とや、ライトブラック(LK)とライトライトブラック(LLK)とのインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド2F、2H及び2B及び2Cを、ノズル列21Aのインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置することで、これらのインクを用いて重ねることで、各種の色を印刷させた際に、色濃度をノズル列21Aのノズル開口21が並設された方向で平均化させることができる。   As described above, ink jet recording heads 2F and 2H that discharge inks that are frequently used, that is, light cyan (LC) and light magenta (LM), light black (LK), and light light black (LLK). , 2B and 2C are arranged so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle row 21A is reversed with each other, and when these various colors are printed, the color density is changed to the nozzle. It is possible to average in the direction in which the nozzle openings 21 of the row 21A are arranged in parallel.

すなわち、図9(a)に示すように、ヘッドユニット1を主走査方向に移動させながら、複数のノズル列21Aからインクを吐出させて印刷を行う1パス印刷を行い、記録シートSを副走査方向に1パス分移動し、その後、ヘッドユニット1を主走査方向に移動させながら印刷を行う1パス印刷を行う、いわゆるマイクロフィード印刷やバインド印刷を行った際に、色濃度をノズル列21Aのノズル開口21が並設された方向で平均化することができるため、1パス印刷と1パス印刷との間200に濃度ムラが生じるのを防止することができる。ちなみに、ライトシアン(LC)とライトマゼンダ(LM)とや、ライトブラック(LK)とライトライトブラック(LLK)となどを吐出するインクジェット式記録ヘッド2F、2H、2B、2Cで、ノズル列21Aのインク吐出量の傾向が同一となるように配置した場合、図9(b)に示すように、各1パス印刷で、色濃度がノズル列21Aのノズル開口21が並設された方向で同一方向となるため、1パス印刷と1パス印刷との間201で、濃淡ムラが生じてしまう。   That is, as shown in FIG. 9A, while the head unit 1 is moved in the main scanning direction, one-pass printing is performed in which printing is performed by ejecting ink from the plurality of nozzle rows 21A, and the recording sheet S is sub-scanned. When the so-called microfeed printing or bind printing is performed, in which the head unit 1 is moved by one pass in the direction and then the head unit 1 is moved in the main scanning direction. Since averaging can be performed in the direction in which the nozzle openings 21 are arranged side by side, it is possible to prevent density unevenness from occurring between the one-pass printing and the one-pass printing 200. By the way, the ink in the nozzle row 21A is ejected by the ink jet recording heads 2F, 2H, 2B, and 2C that eject light cyan (LC) and light magenta (LM), light black (LK), and light light black (LLK). When arranged so that the tendency of the discharge amount is the same, as shown in FIG. 9B, the color density is the same direction in the direction in which the nozzle openings 21 of the nozzle row 21A are arranged in parallel in each one-pass printing. Therefore, density unevenness occurs between 201 between 1-pass printing and 1-pass printing.

このように、使用頻度の高いインク、特に使用頻度の高い淡いインク(LC、LMやLK、LLK)を吐出する一対のノズル列21Aをインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置することで、マイクロフィード印刷やバインド印刷という高速な印刷方向で印刷したとしても、パス間の濃度ムラが生じるのを防止して、印刷品質を向上することができる。   In this way, by arranging the pair of nozzle rows 21A that discharge frequently used ink, particularly light ink that is frequently used (LC, LM, LK, LLK), so that the tendency of the ink discharge amount is reversed. Even when printing is performed in a high-speed printing direction such as microfeed printing or bind printing, it is possible to prevent density unevenness between passes and improve print quality.

なお、本実施形態では、ライトシアン(LC)及びライトマゼンダ(LM)と、ライトブラック(LK)及びライトライトブラック(LLK)とのインク吐出量の傾向が互いに反転するようにしたため、これらのインクを使用してパス間で特に濃度ムラが生じ易いグレーの印刷を行った際に、濃度ムラを確実に防止することができる。   In the present embodiment, since the ink discharge amount tendencies of light cyan (LC) and light magenta (LM), light black (LK) and light light black (LLK) are reversed, these inks are used. It is possible to reliably prevent density unevenness when printing is performed and gray printing is particularly likely to generate density unevenness between passes.

また、本実施形態では、さらに、淡いインク以外の色相の異なるインク、すなわち、シアン(C)、マゼンダ(M)のインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド2E、2Gを、ノズル列21Aのインク吐出量の傾向が互いに反転するように配置した。これにより、シアン(C)とマゼンダ(M)とを用いた色についても、パス間での濃度ムラが生じるのを防止することができる。   Further, in the present embodiment, the ink jet recording heads 2E and 2G that discharge inks of different hues other than light ink, that is, cyan (C) and magenta (M) inks, are used as the ink discharge amount of the nozzle row 21A. They were arranged so that their tendencies were reversed. As a result, it is possible to prevent density unevenness between passes for colors using cyan (C) and magenta (M).

さらに、本実施形態では、ブラック(K)とイエロー(Y)とのインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド2A、2Dを図8に示すようなインク吐出量の傾向となるように配置した。すなわち、図8に示すように、ノズル列21Aの並列方向に向かって、ノズル列21Aのインク吐出量の傾向が、2列ずつ同じ傾向となるように配置した。これにより、例えば、1つのインクジェット式記録ヘッド2に2列のノズル列21Aを設けた場合、2列のノズル列21Aのインク吐出量の傾向はほぼ同じ傾向となるが、このような配置とすることで、ライトシアン(LC)及びライトマゼンダ(LM)、ライトブラック(LK)及びライトライトブラック(LLK)、シアン(C)及びマゼンダ(M)のそれぞれのインク吐出量の傾向を互いに反転させることができる。   Further, in this embodiment, the ink jet recording heads 2A and 2D that discharge black (K) and yellow (Y) inks are arranged so as to have a tendency of the ink discharge amount as shown in FIG. That is, as shown in FIG. 8, the nozzle rows 21A are arranged so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle rows 21A is the same for every two rows in the parallel direction of the nozzle rows 21A. Thereby, for example, when two nozzle rows 21A are provided in one ink jet recording head 2, the tendency of the ink discharge amount of the two nozzle rows 21A becomes almost the same, but such an arrangement is adopted. Thus, the tendency of the ink discharge amounts of light cyan (LC) and light magenta (LM), light black (LK) and light light black (LLK), cyan (C) and magenta (M) can be reversed. it can.

(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、ヘッドユニット1に8色のインクを吐出する8つのインクジェット式記録ヘッド2A〜2Hを設けた例を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドユニットに4色のインク、すなわち、ブラック(K)、シアン(C)、マゼンダ(M)、イエロー(Y)のインクを吐出する4つのインクジェット式記録ヘッドを設けた場合には、使用頻度の最も高いインクであるシアン(C)とマゼンダ(M)とのインクを吐出するノズル列において、インク吐出量の傾向が互いに反転するように配置すればよい。
(Other embodiments)
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above. For example, in the first embodiment described above, the example in which the eight ink jet recording heads 2A to 2H for ejecting eight colors of ink are provided in the head unit 1 is illustrated, but the present invention is not particularly limited thereto. When four ink jet recording heads for ejecting four color inks, that is, black (K), cyan (C), magenta (M), and yellow (Y) inks are provided, the ink that is used most frequently In the nozzle row for discharging cyan (C) and magenta (M) inks, the ink discharge amount may be arranged so as to be reversed with respect to each other.

また、上述した実施形態1では、インク流路である圧力発生室12に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子300を有するアクチュエータ装置を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエータ装置や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のアクチュエータ装置などを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエータなどを使用することができる。すなわち、本発明は、ノズル列の一端部側から他端部側に向かってインク吐出量が漸小する傾向を有するインクジェット式記録ヘッドであれば、何れの圧力発生手段を用いたものであってもよい。   In the first embodiment described above, the actuator device having the thin film type piezoelectric element 300 has been described as the pressure generating means for generating the pressure change in the pressure generating chamber 12 that is the ink flow path. For example, a thick film type actuator device formed by a method such as affixing a green sheet, or a longitudinal vibration type actuator device in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked to expand and contract in the axial direction, etc. Can be used. Also, as a pressure generating means, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are discharged from the nozzle opening by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. Thus, it is possible to use a so-called electrostatic actuator that deforms the diaphragm by electrostatic force and ejects droplets from the nozzle openings. That is, the present invention uses any pressure generating means as long as the ink jet recording head has a tendency that the ink discharge amount gradually decreases from one end side to the other end side of the nozzle row. Also good.

さらに、上述した実施形態1では、ヘッドユニット2を保持したキャリッジ3が、主走査方向に移動するインクジェット式記録装置Iを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドユニット1を移動させることなく、複数のヘッドユニット1を主走査方向に亘って配置して、記録シートSを副走査方向に移動させて印刷する所謂ライン式のインクジェット式記録装置に用いられるヘッドユニットであっても、本発明を適用することができる。   Further, in the above-described first embodiment, the ink jet recording apparatus I in which the carriage 3 holding the head unit 2 moves in the main scanning direction is exemplified, but the invention is not particularly limited thereto, for example, the head unit 1 is moved. Even if it is a head unit used for what is called a line type ink jet recording device which arranges a plurality of head units 1 over the main scanning direction, and moves the recording sheet S in the sub scanning direction for printing. The present invention can be applied.

本発明の実施形態1に係る記録装置の一例を示す概略図である。1 is a schematic diagram illustrating an example of a recording apparatus according to a first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the head unit according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。2A and 2B are a plan view and a cross-sectional view of the recording head according to Embodiment 1 of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの平面図である。It is a top view of the head unit concerning Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施形態1に係る印刷時の濃度ムラを示す図である。It is a figure which shows the density nonuniformity at the time of the printing which concerns on Embodiment 1 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

I インクジェット式記録装置、 1 インクジェット式記録ヘッドユニット、 2、2A〜2H インクジェット式記録ヘッド、 10 流路形成基板、 12 圧力発生室。 13 インク供給路、 14 連通路、 15 連通部、 20 ノズルプレート、 21 ノズル開口、 21A ノズル列、 30 保護基板、 40 コンプライアンス基板、 50 弾性膜、 55 絶縁体膜、 60 下電極膜、 70 圧電体層、 80 上電極膜、 90 リード電極、 300 圧電素子   I ink jet recording apparatus, 1 ink jet recording head unit, 2, 2A to 2H ink jet recording head, 10 flow path forming substrate, 12 pressure generating chamber. DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 Ink supply path, 14 Communication path, 15 Communication part, 20 Nozzle plate, 21 Nozzle opening, 21A Nozzle row, 30 Protection board, 40 Compliance board, 50 Elastic film, 55 Insulator film, 60 Lower electrode film, 70 Piezoelectric body Layer, 80 upper electrode film, 90 lead electrode, 300 piezoelectric element

Claims (7)

インクを吐出するノズル開口が並設されたノズル列が複数設けられたインクジェット式記録ヘッドユニットであって、
同一の吐出信号に基づいて前記ノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量がノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向を有する所定の一対のノズル列が、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニット。
An ink jet recording head unit provided with a plurality of nozzle rows in which nozzle openings for discharging ink are arranged in parallel,
A predetermined pair of nozzle rows having a tendency that the ink discharge amount of ink droplets discharged from the nozzle openings based on the same discharge signal gradually decreases from one end side to the other end side of the nozzle row, An ink jet recording head unit, wherein the ink discharge amounts of the nozzle rows are arranged so as to reverse each other.
前記一対のノズル列が、色相の異なるインクを吐出するものであることを特徴とする請求項1記載のインクジェット式記録ヘッドユニット。   2. The ink jet recording head unit according to claim 1, wherein the pair of nozzle rows ejects inks having different hues. 前記一対のノズル列が、シアン系インクとマゼンダ系インクとをそれぞれ吐出するものであることを特徴とする請求項2記載のインクジェット式記録ヘッドユニット。   3. The ink jet recording head unit according to claim 2, wherein the pair of nozzle rows ejects cyan ink and magenta ink, respectively. 前記一対のノズル列が、第1の無彩色インクと前記第1の無彩色インクよりも高明度な第2の無彩色インクとをそれぞれ吐出するものであることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のインクジェット式記録ヘッドユニット。   The pair of nozzle rows ejects a first achromatic ink and a second achromatic ink having a higher brightness than the first achromatic ink, respectively. An ink jet recording head unit according to any one of the above. グレーの色を印刷するために使用されるインクを吐出する前記ノズル列に対して、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のインクジェット式記録ヘッドユニット。   The nozzle array for discharging ink used for printing a gray color is arranged so that the decreasing tendency of the ink discharge amount of the nozzle array is reversed with respect to each other. Item 5. The ink jet recording head unit according to any one of Items 1 to 4. 請求項1〜5の何れか一項に記載のインクジェット式記録ヘッドユニットを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。   An ink jet recording apparatus comprising the ink jet recording head unit according to claim 1. インクを吐出するノズル開口が並設されたノズル列を具備するインクジェット式記録ヘッドが複数設けられたインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法であって、
前記インクジェット式記録ヘッドを製造した際に、同一の吐出信号に基づいて前記ノズル開口から吐出されるインク滴のインク吐出量が当該ノズル列の一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向を有する前記インクジェット式記録ヘッドが形成された場合に、当該インクジェット式記録ヘッドを、所定の一対のノズル列において、前記ノズル列のインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように配置することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法。
A method of manufacturing an ink jet recording head unit provided with a plurality of ink jet recording heads each including a nozzle row in which nozzle openings for discharging ink are arranged in parallel,
When the ink jet recording head is manufactured, the ink discharge amount of the ink droplets discharged from the nozzle openings is gradually reduced from the one end side to the other end side of the nozzle row based on the same discharge signal. When the ink-jet recording head having a tendency is formed, the ink-jet recording head is arranged in a predetermined pair of nozzle rows so that the tendency of the ink discharge amount of the nozzle rows to gradually reverse each other. A method for manufacturing an ink jet recording head unit.
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