JP2009056388A - Gas removing filter and gas removing filter unit - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガスを除去する空気清浄用のガス除去フィルタおよびガス除去フィルタユニットに関するものである。 The present invention relates to a gas removal filter for gas cleaning and a gas removal filter unit for removing gas.
近年、空気清浄の分野においては、一般的な生活環境以外にも、半導体製造工場や精密電子製造工場のクリーンルームにおける半導体の製造過程に使用されるケミカルフィルタに代表されるように、極微量のガス状不純物成分(以下ガスと呼ぶ)を除去して高清浄度の空気を保つことができるガス除去フィルタが必要とされている。高清浄度を保つためには、高いガス除去性能に加えて、ガス除去フィルタの下流側を汚染しないこと、すなわちガス除去フィルタ自身からガスが発生しないことが要求される。このようなガス除去フィルタとしては、特許文献1および特許文献2に記載されるような形態のガス除去フィルタが提案されている。特許文献1に記載のガス除去フィルタは、接着剤を用いて三次元網状構造物に粒状吸着剤を担持したものに、表裏貫通孔を設け間隔を空けて積層したものである。また、特許文献2に記載のガス除去フィルタは、粒状吸着剤とプラスチック粉末の混合物をゴムの型を用いてハニカム状に成型したものである。
従来のガス除去フィルタには通気性に優れた基材に吸着剤を担持する形態のものが多く見られる。これらのガス除去フィルタは、基材に吸着剤を接着・担持するために接着力の大きい有機系接着剤を用いることが多い。しかしながら、有機系接着剤は接着力が大きい反面、製造に使用した溶剤や未反応の原料といった揮発性の高い成分が残存しており、使用中に接着剤からこれらの成分が揮発しガス除去フィルタ自身がガスの発生源となるという課題がある。 Many conventional gas removal filters have a form in which an adsorbent is supported on a base having excellent air permeability. These gas removal filters often use an organic adhesive having a high adhesive strength in order to adhere and carry an adsorbent on a substrate. However, organic adhesives have high adhesive strength, but highly volatile components such as the solvent used for production and unreacted raw materials remain, and these components volatilize from the adhesive during use. There is a problem that it becomes a gas generation source.
例えば、特許文献1のガス除去フィルタは三次元網状構造物に接着剤を塗布し乾燥後に吸着剤を担持するため、接着剤中の溶剤や未反応成分が揮発しガス除去フィルタからガスが発生するという課題がある。また、特許文献2のガス除去フィルタは、粒状吸着剤とプラスチック粉末の混合物をハニカム状に成型したものであるが、プラスチック粉末中の低分子量成分が揮発してくるという課題がある。
For example, since the gas removal filter of
特に、クリーンルームで使用されるケミカルフィルタのように数ppbレベルの極低濃度のガス除去性能が求められる場合、ガス除去フィルタ自身からのガスの発生が大きな問題となることがある。そのため、ガス除去フィルタに使用されている接着剤から発生するガスをいかに低減するかが、高性能のガス除去フィルタを作製する時の課題となる。 In particular, when an extremely low concentration gas removal performance of several ppb level is required like a chemical filter used in a clean room, generation of gas from the gas removal filter itself may be a big problem. Therefore, how to reduce the gas generated from the adhesive used in the gas removal filter is a problem when producing a high-performance gas removal filter.
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ガス除去性能が高いとともに、ガス除去フィルタ自身からのガスの発生が少ないガス除去フィルタを提供することを目的としている。 The present invention solves such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a gas removal filter having high gas removal performance and less gas generation from the gas removal filter itself.
上記目的を達成するために本発明のガス除去フィルタは、粒状吸着剤を粉末状ホットメルト樹脂で連結して得られた成型体を加熱し、前記成型体表面に粘着性を持たせた状態で粉末状吸着剤を接触させ、粉末状吸着剤を前記成型体表面に担持することを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, the gas removal filter of the present invention heats a molded body obtained by connecting granular adsorbents with a powdered hot melt resin, and gives the molded body surface an adhesive property. A powdery adsorbent is brought into contact and the powdery adsorbent is supported on the surface of the molded body.
また、請求項1に記載のガス除去フィルタにおいて、粉末状吸着剤が非極性ガスを吸着することを特徴とするものである。
The gas removal filter according to
また、請求項1に記載のガス除去フィルタにおいて、粉末状吸着剤が酸性ガスを吸着することを特徴とするものである。
The gas removal filter according to
また、請求項1に記載のガス除去フィルタにおいて、粉末状吸着剤がアルカリ性ガスを吸着することを特徴とするものである。
The gas removal filter according to
また、請求項1乃至4いずれかに記載のガス除去フィルタにおいて、粉末状吸着剤が成型体表面に存在する粉末状ホットメルト樹脂を均一に被覆していることを特徴とするものである。
The gas removal filter according to any one of
また、請求項1乃至5いずれかに記載のガス除去フィルタにおいて、成型体に担持されていない余剰の粉末状吸着剤を除去することを特徴とするものである。
Further, in the gas removal filter according to any one of
また、請求項1乃至6いずれかに記載のガス除去フィルタにおいて、粉末状ホットメルト樹脂として、酢酸ビニルが6重量%以上配合されたエチレン酢酸ビニル共重合体からなるものを用いることを特徴とするものである。
The gas removal filter according to any one of
また、請求項1乃至7いずれかに記載のガス除去フィルタにおいて、成型体が、通気方向において上流面から下流面まで達する貫通孔を有することを特徴とするものである。
The gas removal filter according to any one of
また、請求項8記載のガス除去フィルタにおいて、成型体に貫通孔を設けるための複数のピンを有する型に粒状吸着剤と粉末状ホットメルト樹脂の混合物を充填した後、加熱後冷却して粒状吸着剤と粉末状ホットメルト樹脂の成型体を作製し、前記成型体を型から取り外すことで貫通孔を設けることを特徴とするものである。
9. The gas removal filter according to
また、請求項9記載のガス除去フィルタにおいて、型の表面が易剥離性を有することを特徴とするものである。 The gas removal filter according to claim 9 is characterized in that the surface of the mold has easy peelability.
また、請求項8乃至10いずれかに記載のガス除去フィルタにおいて、貫通孔を形成する貫通孔壁の内部に補強材を有することを特徴とするものである。
The gas removal filter according to any one of
また、請求項11記載のガス除去フィルタにおいて、貫通孔壁内部が繊維体を有することを特徴とすることを特徴とするものである。
The gas removal filter according to
また、請求項12に記載のガス除去フィルタにおいて、繊維体がガス吸着能を有することを特徴とするものである。
Further, in the gas removal filter according to
また、請求項1乃至13いずれかに記載のガス除去フィルタにおいて、通気方向における上流面、下流面のうち少なくとも一方の面に、通気性を有し粒状吸着剤の粒径よりも目が小さいシートを設けることを特徴とするものである。
The gas removal filter according to any one of
また、請求項14に記載のガス除去フィルタにおいて、通気方向における上流面、下流面のうち少なくとも一方の面に設けられたシートがガス吸着能を有することを特徴とするものである。 Further, in the gas removal filter according to claim 14, the sheet provided on at least one of the upstream surface and the downstream surface in the ventilation direction has a gas adsorbing ability.
また、請求項14に記載のガス除去フィルタにおいて、通気方向における上流面、下流面のうち少なくとも一方の面に設けられたシートが空気中の粉塵を捕集する機能を有することを特徴とするものである。 The gas removal filter according to claim 14, wherein a sheet provided on at least one of the upstream surface and the downstream surface in the ventilation direction has a function of collecting dust in the air. It is.
また、本発明のガス除去フィルタユニットは、請求項1乃至16いずれかに記載のガス除去フィルタをプリーツ状に配置してなることを特徴とするものである。
A gas removal filter unit according to the present invention is characterized in that the gas removal filter according to any one of
本発明のガス除去フィルタは、粒状吸着剤を粉末状ホットメルト樹脂で連結して得られた成型体を加熱し、前記成型体表面に粘着性を持たせた状態で粉末状吸着剤を接触させ、粉末状吸着剤を前記成型体表面に担持するため、フィルタ自身からのガスの発生がほとんど無いガス除去フィルタを容易に得ることができる。 The gas removal filter of the present invention heats a molded body obtained by connecting granular adsorbents with a powdered hot melt resin, and contacts the powdered adsorbent with the surface of the molded body having adhesiveness. Since the powdery adsorbent is carried on the surface of the molded body, a gas removal filter that hardly generates gas from the filter itself can be easily obtained.
また、粉末状吸着剤が非極性ガスを吸着するため、フィルタ自身から有機ガス等の非極性ガスの発生がほとんど無いガス除去フィルタを得ることができる。 Moreover, since the powdery adsorbent adsorbs nonpolar gas, a gas removal filter that hardly generates nonpolar gas such as organic gas from the filter itself can be obtained.
また、粉末状吸着剤が酸性ガスを吸着するため、フィルタ自身から酸性ガスの発生がほとんど無いガス除去フィルタを得ることができる。 In addition, since the powdery adsorbent adsorbs acidic gas, a gas removal filter that hardly generates acidic gas from the filter itself can be obtained.
また、粉末状吸着剤がアルカリ性ガスを吸着するため、フィルタ自身からアルカリ性ガスの発生がほとんど無いガス除去フィルタを得ることができる。 Moreover, since the powdery adsorbent adsorbs the alkaline gas, a gas removal filter that hardly generates alkaline gas from the filter itself can be obtained.
また、粉末状吸着剤が成型体表面に存在する粉末状ホットメルト樹脂を均一に被覆しているため、フィルタ自身からガスの発生がほとんど無いとともにガス捕集効率に優れたガス除去フィルタを得ることができる。 In addition, since the powdered adsorbent uniformly coats the powdered hot melt resin present on the surface of the molded body, it is possible to obtain a gas removal filter with almost no gas generation from the filter itself and excellent gas collection efficiency. Can do.
また、成型体に担持されていない余剰の粉末状吸着剤を除去するため、使用中に粉末状吸着剤が下流側に流出することのないガス除去フィルタを得ることができる。 Moreover, since the excess powdery adsorbent which is not carry | supported by the molded object is removed, the gas removal filter which a powdery adsorbent does not flow out downstream during use can be obtained.
また、粉末状ホットメルト樹脂として、酢酸ビニルが6重量%以上配合されたエチレン酢酸ビニル共重合体からなるものを用いるため、弾性に富んだガス除去フィルタを得ることができる。 Further, since a powdered hot melt resin made of an ethylene vinyl acetate copolymer in which vinyl acetate is blended in an amount of 6% by weight or more is used, a gas removal filter rich in elasticity can be obtained.
また、成型体が、通気方向において上流面から下流面まで達する貫通孔を有するため、通気性が高く除去性能が高いガス除去フィルタが得られる。 Moreover, since the molded body has a through-hole that reaches from the upstream surface to the downstream surface in the ventilation direction, a gas removal filter with high air permeability and high removal performance can be obtained.
また、成型体に貫通孔を設けるための複数のピンを有する型に粒状吸着剤と粉末状ホットメルト樹脂の混合物を充填した後、加熱後冷却して粒状吸着剤と粉末状ホットメルト樹脂の成型体を作製し、前記成型体を型から取り外すことで貫通孔を設けるため、容易に作製可能なガス除去フィルタを得ることができる。 In addition, a mold having a plurality of pins for providing through holes in a molded body is filled with a mixture of a granular adsorbent and a powdered hot melt resin, and then heated and cooled to mold the granular adsorbent and the powdered hot melt resin. Since a through hole is provided by producing a body and removing the molded body from the mold, a gas removal filter that can be easily produced can be obtained.
また、型の表面が易剥離性を有するため、成型後に容易に型から取り外すことが可能なガス除去フィルタを得ることができる。 Moreover, since the surface of the mold has easy peelability, a gas removal filter that can be easily removed from the mold after molding can be obtained.
また、貫通孔を形成する貫通孔壁の内部に補強材を有するため、強度に優れたガス除去フィルタを得ることができる。 Moreover, since the reinforcing material is provided inside the through hole wall forming the through hole, a gas removal filter having excellent strength can be obtained.
また、貫通孔壁内部が繊維体を有するため、粒状吸着剤の粒落ちが少なく強度に優れたガス除去フィルタを得ることができる。 Moreover, since the inside of a through-hole wall has a fiber body, the particle removal of a granular adsorbent is few and the gas removal filter excellent in intensity | strength can be obtained.
また、繊維体がガス吸着能を有するため、強度に優れ、より吸着容量の大きいガス除去フィルタを得ることができる。 Moreover, since the fibrous body has gas adsorption ability, a gas removal filter having excellent strength and a larger adsorption capacity can be obtained.
また、通気方向における上流面、下流面のうち少なくとも一方の面に、通気性を有し粒状吸着剤の粒径よりも目が小さいシートを設けるため、衝撃や振動などの外力を受けても粒状吸着剤がガス除去フィルタから脱落したり、また、粒状吸着剤が下流側に流出したりすることのないガス除去フィルタを得ることができる。 In addition, since at least one of the upstream surface and the downstream surface in the air flow direction is provided with a sheet having air permeability and smaller than the particle size of the granular adsorbent, it is granular even when subjected to external force such as impact or vibration. It is possible to obtain a gas removal filter in which the adsorbent does not fall off from the gas removal filter and the granular adsorbent does not flow downstream.
また、通気方向における上流面、下流面のうち少なくとも一方の面に設けられたシートがガス吸着能を有するため、より多量のガスを吸着できるガス除去フィルタを得ることができる。 Moreover, since the sheet | seat provided in at least one surface among the upstream surface in the ventilation direction and a downstream surface has gas adsorption ability, the gas removal filter which can adsorb | suck a much more gas can be obtained.
また、通気方向における上流面、下流面のうち少なくとも一方の面に設けられたシートが空気中の粉塵を捕集する機能を有するため、ガスのみでなく空気中の粉塵も捕集することができるガス除去フィルタを得ることができる。 Further, since the sheet provided on at least one of the upstream surface and the downstream surface in the ventilation direction has a function of collecting dust in the air, not only gas but also dust in the air can be collected. A gas removal filter can be obtained.
また、本発明のガス除去フィルタユニットは、請求項1乃至16いずれかに記載のガス除去フィルタをプリーツ状に配置してなるため、より高い通気性が得られ、かつガスおよび空気中の粉塵の捕集効率をより高めたガス除去フィルタユニットを得ることができる。
Moreover, since the gas removal filter unit of this invention arrange | positions the gas removal filter in any one of
上記目的を達成するために本発明のガス除去フィルタは、粒状吸着剤を粉末状ホットメルト樹脂で連結して得られた成型体を加熱し、前記成型体表面に粘着性を持たせた状態で粉末状吸着剤を接触させ、粉末状吸着剤を前記成型体表面に担持するという特徴を有する。成型体は粒状吸着剤と粉末状ホットメルト樹脂を混合したものを成型しているため、加熱することにより粉末状ホットメルト樹脂が溶融し成型体表面に粘着性が生じる。この状態で粉末状吸着剤を振り掛ける等して成型体と粉末状吸着剤を接触させることにより、粉末状ホットメルト粉末表面に粉末状吸着剤が接着・担持される。粉末状ホットメルト樹脂表面からは残存している溶剤等由来の多様なガスが発生するため、ガス除去フィルタにおいて自身からのガス発生の主な原因となりうるが、このような処理を施すことにより、新たに接着剤を使用することもなく容易に粉末状ホットメルト樹脂表面は粉末状吸着剤に覆われ、発生するガスが空間に放出される前に吸着・除去することができるという作用を有する。この結果、自身からのガスの発生がほとんど無いガス除去フィルタが得られる。 In order to achieve the above object, the gas removal filter of the present invention heats a molded body obtained by connecting granular adsorbents with a powdered hot melt resin, and gives the molded body surface an adhesive property. The powdery adsorbent is brought into contact, and the powdery adsorbent is supported on the surface of the molded body. Since the molded body is formed by mixing a granular adsorbent and a powdered hot melt resin, the powdered hot melt resin is melted by heating and the surface of the molded body becomes sticky. In this state, the powdered adsorbent is adhered and supported on the surface of the powdered hot melt powder by, for example, sprinkling the powdered adsorbent to bring the molded body into contact with the powdered adsorbent. Since various gases derived from the remaining solvent and the like are generated from the surface of the powdered hot melt resin, it can be a main cause of gas generation from itself in the gas removal filter, but by performing such treatment, The surface of the powdered hot-melt resin is easily covered with a powdery adsorbent without newly using an adhesive, and has an effect that it can be adsorbed and removed before the generated gas is released into the space. As a result, a gas removal filter that hardly generates gas from itself can be obtained.
また、粉末状吸着剤が非極性ガスを吸着することを特徴とするものである。フィルタに使用される粉末状ホットメルト樹脂からは、製造時に使用した溶剤や未反応の原料など残存物由来の非極性ガスが放出されるが、粉末状吸着剤が非極性ガスを吸着するためこれらのガスが放出されないという作用を有する。 Further, the powdery adsorbent adsorbs a nonpolar gas. The powdered hot-melt resin used in the filter releases nonpolar gases derived from residues such as the solvent used during production and unreacted raw materials, but these adsorbents adsorb nonpolar gases. Gas is not released.
また、粉末状吸着剤が酸性ガスを吸着することを特徴とするものである。フィルタに使用される粉末状ホットメルト樹脂の種類によっては、酢酸等の酸性ガスが放出される。また、陽イオン交換樹脂のように粒状吸着剤の種類によってはスルホ基等の酸性官能基が脱離して酸性ガスが放出されることもある。粉末状吸着剤が酸性ガスを吸着するためこれらの酸性ガスが放出されないという作用を有する。 The powdery adsorbent adsorbs acidic gas. Depending on the type of powdered hot-melt resin used in the filter, acidic gas such as acetic acid is released. In addition, depending on the type of particulate adsorbent such as a cation exchange resin, acidic functional groups such as sulfo groups may be eliminated and acidic gas may be released. Since the powdery adsorbent adsorbs acid gases, it has an effect that these acid gases are not released.
また、粉末状吸着剤がアルカリ性ガスを吸着することを特徴とするものである。陰イオン交換樹脂のように、粒状吸着剤の種類によってはアミノ基等のアルカリ性官能基が脱離してアルカリ性ガスが放出されることもある。粉末状吸着剤がアルカリ性ガスを吸着するためこれらのアルカリ性ガスが放出されないという作用を有する。 The powdery adsorbent adsorbs alkaline gas. Like an anion exchange resin, depending on the type of particulate adsorbent, an alkaline functional group such as an amino group may be eliminated and an alkaline gas may be released. Since the powdery adsorbent adsorbs the alkaline gas, the alkaline gas is not released.
また、粉末状吸着剤が成型体表面に存在する粉末状ホットメルト樹脂を均一に被覆していることを特徴とするものである。粉末状ホットメルト樹脂を隙間無く粉末状吸着剤が覆うので、粉末状ホットメルト樹脂から発生するガスを逃すことなく除去できる作用を有する。また本来粉末状ホットメルト樹脂自身には吸着能はなく、粉末状ホットメルト樹脂が存在する面はガス吸着が起こらないが、粉末状ホットメルト樹脂を粉末状吸着剤が均一に被覆しているため、吸着能を有する面積が増加しガス捕集効率を増大させる作用を有する。 Further, the powdery adsorbent uniformly coats the powdered hot melt resin present on the surface of the molded body. Since the powdery adsorbent covers the powdery hot melt resin without any gaps, it has an effect of removing the gas generated from the powdered hot melt resin without missing it. In addition, the powdery hot melt resin itself has no adsorptive capacity, and gas adsorption does not occur on the surface where the powdered hot melt resin exists, but the powdery hot melt resin is uniformly coated with the powdered hot melt resin. , It has the effect of increasing the gas collection efficiency by increasing the area having adsorption capacity.
また、成型体に担持されていない余剰の粉末状吸着剤を除去することを特徴とするものである。粉末状吸着剤を担持する際に、粉末状ホットメルト樹脂に接触せず成型体に担持されない状態の粉末状吸着剤が生じ、そのままでは使用中に粉落ちの原因となる。余剰の粉末状吸着剤を予め除去することにより、使用中の粉落ちを低減させる作用を有する。 Further, the present invention is characterized by removing excess powdery adsorbent not supported on the molded body. When the powdery adsorbent is supported, a powdery adsorbent that does not come into contact with the powdery hot melt resin and is not supported on the molded product is formed, and if left as it is, it causes powder falling off during use. By removing the excess powdery adsorbent in advance, it has the effect of reducing powder falling off during use.
また、粉末状ホットメルト樹脂として、酢酸ビニルが6重量%以上配合されたエチレン酢酸ビニル共重合体からなるものを用いることを特徴とするものである。柔軟性と接着性に富むエチレン酢酸ビニル共重合体をバインダーとして用いることで、柔軟なつなぎ部分が成型体内部に形成され成型体全体に柔軟性が出るため、ガス除去フィルタに弾性を付与し落下時等の衝撃や振動によるガス除去フィルタの破損や型崩れを防止するという作用を有する。 Further, the powdered hot melt resin is characterized by using an ethylene vinyl acetate copolymer in which vinyl acetate is blended in an amount of 6% by weight or more. By using ethylene vinyl acetate copolymer, which is rich in flexibility and adhesiveness, as a binder, a flexible joint is formed inside the molded body, giving flexibility to the entire molded body, giving the gas removal filter elasticity and falling It has the effect of preventing the gas removal filter from being damaged or lost its shape due to impact or vibration at times.
また、成型体が、通気方向において上流面から下流面まで達する貫通孔を有することを特徴とするものである。貫通孔が存在することにより、空気が通気方向に対して平行に流れることができるため、通気性に優れ圧力損失が低減するという作用を有する。 Further, the molded body has a through-hole reaching from the upstream surface to the downstream surface in the ventilation direction. The presence of the through hole allows air to flow in parallel to the ventilation direction, so that the air permeability is excellent and the pressure loss is reduced.
また、成型体に貫通孔を設けるための複数のピンを有する型に粒状吸着剤と粉末状ホットメルト樹脂の混合物を充填した後、加熱後冷却して粒状吸着剤と粉末状ホットメルト樹脂の成型体を作製し、前記成型体を型から取り外すことで貫通孔を設けることを特徴とするものである。型に入れて加熱・冷却するだけで容易に型の形状を反映した貫通孔が得られ、また型の形状を変化させることにより任意の形状の貫通孔を容易に得ることができるという作用を有する。充填された混合物は型の形状に沿って硬化するため、複数のピンを任意の配列で有する型を用いることにより、成型体に複数の貫通孔を任意の配列で設けることができるという作用を有する。 In addition, a mold having a plurality of pins for providing through holes in a molded body is filled with a mixture of a granular adsorbent and a powdered hot melt resin, and then heated and cooled to mold the granular adsorbent and the powdered hot melt resin. A through-hole is provided by producing a body and removing the molded body from the mold. A through-hole reflecting the shape of the mold can be easily obtained simply by heating and cooling in the mold, and a through-hole of any shape can be easily obtained by changing the shape of the mold. . Since the filled mixture is cured along the shape of the mold, by using a mold having a plurality of pins in an arbitrary arrangement, the molded body can have a plurality of through holes in an arbitrary arrangement. .
また、型の表面が易剥離性を有することを特徴とするものである。粉末状ホットメルト樹脂を用いた場合、加熱時に型に対しても接着性を有するため、取り外す際に型崩れを起こす可能性があるが、型の表面が易剥離性を有することにより型崩れをすることなく取り外すことができるという作用を有する。 Further, the surface of the mold is easily peelable. When powdered hot melt resin is used, it has adhesiveness to the mold when heated, so there is a possibility that it will lose its shape when it is removed. It has the effect | action that it can remove without carrying out.
また、貫通孔を形成する貫通孔壁の内部に補強材を有することを特徴とするものである。補強材を用いることにより、ガス除去フィルタの強度を増加させ運搬時や使用時のガス除去フィルタの型崩れを防ぐ作用を有する。 Moreover, it has a reinforcing material inside the through-hole wall which forms a through-hole. By using the reinforcing material, the strength of the gas removal filter is increased, and the gas removal filter is prevented from being deformed during transportation or use.
また、貫通孔壁内部が繊維体を有することを特徴とするものである。繊維体は、粒状吸着剤の隙間に絡むように存在し、一本の繊維で多数の粒状吸着剤を同時に連結できるため、貫通孔壁の強度を増加させるとともにガス除去フィルタからの粒状吸着剤の粒落ちを低減させる作用を有する。 Further, the inside of the through-hole wall has a fibrous body. The fibrous body exists so as to be entangled in the gap between the granular adsorbents, and a large number of granular adsorbents can be connected simultaneously with one fiber, so that the strength of the through-hole wall is increased and the granular adsorbent from the gas removal filter is removed. Has the effect of reducing grain loss.
また、繊維体がガス吸着能を有することを特徴とするものである。補強材として添加してある繊維体がガスを吸着することにより、ガス除去フィルタの強度を増加させるとともに吸着容量を増加させる作用を有する。 Further, the fibrous body has a gas adsorbing ability. The fibrous body added as a reinforcing material adsorbs gas, thereby increasing the strength of the gas removal filter and increasing the adsorption capacity.
また、通気方向における上流面、下流面のうち少なくとも一方の面に、通気性を有し粒状吸着剤の粒径よりも目が小さいシートを設けることを特徴とするものである。粒状吸着剤がガス除去フィルタから脱落することを防ぎ、また、粒状吸着剤をガス除去フィルタの下流側に流出させないことは空気および使用環境の汚染を防ぐために重要である。通気性を有するが粒状吸着剤の大きさよりも目の細かいシートをガス除去フィルタの上流面もしくは下流面、もしくは両方の面に設けることにより、粒状吸着剤がガス除去フィルタから脱落したり、また、粒状吸着剤がガス除去フィルタの下流側に流出したりすることをほぼ確実になくすことができるという作用を有する。 In addition, a sheet having air permeability and a smaller particle size than the granular adsorbent is provided on at least one of the upstream surface and the downstream surface in the air flow direction. It is important to prevent the particulate adsorbent from falling off the gas removal filter and to prevent the particulate adsorbent from flowing out downstream of the gas removal filter in order to prevent contamination of air and the use environment. By providing a sheet having air permeability but finer than the size of the granular adsorbent on the upstream surface or downstream surface of the gas removal filter, or both surfaces, the granular adsorbent falls off the gas removal filter, It has an effect that the particulate adsorbent can be almost certainly prevented from flowing out to the downstream side of the gas removal filter.
また、通気方向における上流面、下流面のうち少なくとも一方の面に設けられたシートがガス吸着能を有することを特徴とするものである。イオン交換不織布などの吸着能を有する繊維群をシートとして用いることにより、ガス除去フィルタ全体の吸着容量を増加させて寿命を大きくするという作用を有する。 In addition, the sheet provided on at least one of the upstream surface and the downstream surface in the ventilation direction has a gas adsorption capability. By using a fiber group having an adsorbing ability such as an ion exchange nonwoven fabric as a sheet, the adsorption capacity of the entire gas removal filter is increased and the life is increased.
また、通気方向における上流面、下流面のうち少なくとも一方の面に設けられたシートが空気中の粉塵を捕集する機能を有することを特徴とするものである。例えばポリプロピレンをメルトブロー法で繊維状に吹き付けてシート化し、帯電処理を行って作成した静電濾材などをガス除去フィルタの上流面もしくは下流面、もしくは両方の面に設けることにより、ガスのみでなく空気中の粉塵をも捕集することが可能なガス除去フィルタを得ることができるという作用を有する。 In addition, the sheet provided on at least one of the upstream surface and the downstream surface in the ventilation direction has a function of collecting dust in the air. For example, by providing an electrostatic filter material or the like prepared by blowing polypropylene into a fiber form by melt-blowing and performing a charging process on the upstream surface, downstream surface, or both surfaces of the gas removal filter, not only gas but also air It has the effect | action that the gas removal filter which can also collect the inside dust can be obtained.
また、本発明のガス除去フィルタユニットは、請求項1乃至16いずれかに記載のガス除去フィルタをプリーツ状に配置してなることを特徴とするものである。複数のガス除去フィルタをプリーツ状、すなわち蛇腹状に配置して、空気をガス除去フィルタのプリーツ面から通過させることによって濾過面積が増大して空気の通過速度が小さくなり、通気性およびガスや粉塵の捕集効率を高める作用を有する。
A gas removal filter unit according to the present invention is characterized in that the gas removal filter according to any one of
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下に記述する実施の形態は本発明における一例であり、本発明の範囲を限定するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The embodiment described below is an example in the present invention, and does not limit the scope of the present invention.
(実施の形態1)
粒状吸着剤1を粉末状ホットメルト樹脂7で連結して得られた、通気方向2において上流面4から下流面5まで達する貫通孔3を有する成型体12を加熱し、前記成型体12表面に粘着性を持たせた状態で粉末状吸着剤8を接触させ、粉末状吸着剤8を前記成型体12表面に担持したガス除去フィルタの正面図を図1に、側面断面図を図2に、粒状吸着剤1と粉末状ホットメルト樹脂7の連結部分の拡大図を図3に示す。なお、図1および図2では粉末状ホットメルト樹脂7および粉末状吸着剤8は省略してある。図1、図2および図3に示すように、粒状吸着剤1は粉末状ホットメルト樹脂7によって強固に連結され、粒状吸着剤1自身が貫通孔3を形成する貫通孔壁6を形成している。
(Embodiment 1)
A molded
図3に示すように粉末状吸着剤8は粉末状ホットメルト樹脂7を覆うように担持されている。粉末状ホットメルト樹脂7から発生するガスは非極性ガスであることが多く、ガス除去フィルタに使用されている粒状吸着剤1が酸性ガスのみあるいはアルカリ性ガスのみ吸着するものであった場合、非極性ガスを吸着することはできないので発生したガスは下流に流出してしまうが、本実施の形態において粉末状吸着剤8として例えば無添着活性炭を用いれば、粉末状ホットメルト樹脂7から発生する非極性ガスは表面を覆う粉末状吸着剤8に即座に吸着され、下流側に流出することがない。また、粒状吸着剤1から酸性やアルカリ性のガスが発生する場合においても、後述のように粉末状吸着剤8として酸性やアルカリ性のガスを吸着できるものを選択することにより、下流側へのガスの流出を低減することができる。すなわち、下流側への流出が懸念されるガスの性質に応じた粉末状吸着剤8を選択することにより、ガス除去フィルタ自身からのガスの発生を無くすことができる。
As shown in FIG. 3, the
また、ガス除去フィルタには通気方向2において上流面4から下流面5まで達する貫通孔3が存在しているため、通気方向2に沿って上流面4から流入したガスは貫通孔3の内部を通り抜け、空気中に含まれるガスは貫通孔壁6を形成している粒状吸着剤1に接触・吸着されて除去される。ガスが粒状吸着剤1に吸着されることにより、粒状吸着剤1近傍のガス濃度が小さくなって貫通孔3内でガスの濃度勾配が生じる。そして、ガス濃度が均一になるように貫通孔3内でガスの拡散が起こる。このガスの濃度勾配の発生と拡散が繰り返し連続して起こることによってガスは捕集され空気中から除去される。貫通孔3を全て均一で孔径が小さくて通気方向2における長さをある程度有するものとすることによって、ガスと粒状吸着剤1の距離を小さく、またガスと粒状吸着剤1とが接触する機会を多くすることができる。さらに、粉末状吸着剤8が本来吸着能を持たない粉末状ホットメルト樹脂7表面に存在するため、粉末状吸着剤8として除去対象ガスを吸着できるものを使用した場合、ガス除去フィルタのほぼ全ての表面がガス捕集に使用されるので、よりガス捕集効率が向上する。このように、貫通孔3内部ではガスの濃度勾配の発生と拡散の繰り返しが迅速かつ無数に繰り返されることになることから全ての貫通孔3において高いガス捕集効率が得られる。
Further, since the gas removal filter has a through
ここで、図3に示すように、粒状吸着剤1どうしは粉末状ホットメルト樹脂7により連結しているが、粒状吸着剤1粒子間の隙間を完全には埋めておらず、ガスは粒状吸着剤1の粒子間の隙間を縫って内部まで拡散することができるので、貫通孔壁6の内部にある粒状吸着剤1についても吸着能力を有効に使用することができる。また、ガス除去フィルタの一部分だけにガスの流れが偏ってしまうとその部分だけに多量のガスが流れることになり、その一部分だけガス捕集効率の低下が早くなってガス除去フィルタ全体の寿命の低下を起こしてしまう。本実施の形態では、ガス除去フィルタ全面に同じ孔径の小さな貫通孔3が無数に空いているので、すべての貫通孔3に均一にガスを含む空気が通過する構造となっている。そのため、貫通孔3の一部だけ早くガス捕集効率が低下して寿命が低下してしまうといったことが無い。また、通気方向2において上流面4から下流面5まで達する貫通孔3が多数存在しているため、空気の流れが通気方向2に対して平行流となるので通気抵抗が小さく、粒状吸着剤1が多いにもかかわらず通気性に優れ、低圧力損失を実現している。
Here, as shown in FIG. 3, although the
粒状吸着剤1は球状や破砕状といった粒子状であり、様々な種類のものが挙げられるが主に活性炭やイオン交換樹脂、ゼオライトなどが挙げられ、粒径は0.1mm以上10mm以下程度が望ましい。アンモニアなどのアルカリ性ガスの吸着捕集には燐酸などの酸を添着した酸添着活性炭や陽イオン交換樹脂が用いられる。また、塩酸ガスやSOx、NOxやボロンといった酸性ガスの吸着捕集には炭酸カリウムなどを添着したアルカリ添着活性炭や陰イオン交換樹脂が用いられる。また、ジオクチルフタレート、ジブチルフタレートやトルエンといった非極性ガスの吸着捕集には化学物質の添着を行わない無添着活性炭や、また、芳香族系やアクリル系樹脂から合成され、メソ孔やマクロ孔を有する多孔質体である合成吸着剤がよく用いられる。
The
粉末状吸着剤8としては、粒状吸着剤1と同じく活性炭やイオン交換樹脂が挙げられ、粒径は10μm以上1.0mm以下程度が望ましい。粉末状ホットメルト樹脂7としてエチレン酢酸ビニル共重合体のような多種の非極性ガスを発生する可能性がある場合は、無添着活性炭を用いると多種のガスを吸着できるため好ましい。また、酢酸のような酸性ガスを発生する粉末状ホットメルト樹脂7や、陽イオン交換樹脂のように酸性官能基が脱離して酸性ガスを発生する可能性がある場合は、アルカリ添着活性炭のような酸性ガスを吸着できるものを使用することが好ましい。また、アミン類のようなアルカリ性ガスを発生する粉末状ホットメルト樹脂7や、陰イオン交換樹脂のようにアルカリ性官能基が脱離してアミン類のガスを発生する可能性がある場合は、酸添着活性炭のようなアルカリ性ガスを吸着できるものを使用することが好ましい。また、発生するガスの組み合わせに応じて、これらの粉末状吸着剤8を混合して使用することも効果的である。
Examples of the
粉末状ホットメルト樹脂7の材質としては例えばポリオレフィン系樹脂、ポリビニル系樹脂、ウレタン系樹脂あるいはポリアミド系樹脂等が挙げられる。特にポリオレフィン系樹脂であるポリエチレンホットメルト樹脂は加熱してもガスの発生がほとんどないという利点を有する。また、酢酸ビニルを6重量%以上、好ましくは20%以上配合されたエチレン酢酸ビニル共重合体からなるものを用いるとより低い溶融温度と高い接着性が得られ、低い温度で作製できるとともに接着性が高いため強度の高いガス除去フィルタが得られる。さらにエチレン酢酸ビニル共重合体は柔軟性に優れるため、成型体12に添加した際には粒状吸着剤1を結合させるだけではなく成型体12に弾力を与える作用があり、落下時等の衝撃によるガス除去フィルタの破損を低減させることができる。また、粉末状ホットメルト樹脂7の粒径は好ましくは10μm以上1.0mm以下であるが、粒状吸着剤1の1〜60%程度の粒径であると、粒状吸着剤1の表面を粉末状ホットメルト樹脂7が覆うことなく十分な接着強度を得られるため好ましい。
Examples of the material of the powdered
粒状吸着剤1と粉末状ホットメルト樹脂7の混合比率としては、粉末状ホットメルト樹脂7の重量が全体の重量の5%以上30%以下程度であると粒状吸着剤1の表面を粉末状ホットメルト樹脂7が覆うことなく十分な接着強度を得られるため好ましい。
The mixing ratio of the
貫通孔3の断面形状としては、多角形や円形など、規則的に配列しやすい形状が挙げられる。貫通孔3の大きさは、平均半径が0.5mm以上10mm以下程度であると十分な通気性が得られ好ましい。また、粒状吸着剤1により形成される貫通孔壁6の厚みは、薄いとガス除去フィルタの強度が低下し、厚すぎると貫通孔壁6内部に埋もれる粒状吸着剤1の割合が多くなるため、0.5mm以上10mm以下程度が好ましい。貫通孔3の形状や貫通孔壁6の厚みは、圧力損失、ガス捕集効率、寿命およびガス除去フィルタの強度に大きく影響するため、要求される項目および通気方向2における寸法すなわちガス除去フィルタの厚みを考慮して決定するのが好ましい。
Examples of the cross-sectional shape of the through
製造方法としては、図4に示すような複数のピン9を有し、表面が易剥離性を有する型に粒状吸着剤1と粉末状ホットメルト樹脂7の混合物を充填した後、加熱後冷却して粒状吸着剤1と粉末状ホットメルト樹脂7の成型体12を作製し、前記成型体12を型から取り外すことで貫通孔3を設ける方法が挙げられる。この方法では、粒状吸着剤1と粉末状ホットメルト樹脂7の混合物を型に充填して加熱冷却するだけで、型の形状を反映した貫通孔3が設けることができ、多様なガス除去フィルタ設計に対しても対応し易いという利点がある。さらに、成型体12作製時、粒状吸着剤1と粉末状ホットメルト樹脂7の混合物を充填した後に加圧する工程を加えることにより、より密で強固な成型体12が得られる。
As a manufacturing method, a plurality of pins 9 as shown in FIG. 4 are provided, and a mold having a surface that is easily peelable is filled with a mixture of the
ピン9の断面形状がガス除去フィルタの貫通孔3の断面形状に反映される。そのため、ピン9の断面形状は得ようとする貫通孔3の断面形状と同じにすればよい。また、ピン9の先端が徐々に細くなっていると、成型体12を型から取り外すのが容易になる。また、ピン9の長さはガス除去フィルタの厚みを考慮して決定することが好ましいが、一般的には5mm以上200mm以下程度である。
The cross-sectional shape of the pin 9 is reflected in the cross-sectional shape of the through
易剥離性は、型と成型体12の接着性を弱め成型体12を型から外し易くするために重要である。しかしながら、液体の離型剤を用いると粒状吸着剤1の表面が離型剤によって覆われてガス捕集効率に悪影響を及ぼす可能性がある。そのため、型に易剥離性を付与するには、フッ素樹脂系の離型剤を型に噴霧し、溶剤を揮発させて型の表面をフッ素樹脂でコーティングしたり、フッ素樹脂コーティング剤に含浸乾燥してフッ素樹脂の膜を形成して表面を被覆したりして型の表面に易剥離性をもたせる方法が好ましい。
Easy peelability is important in order to weaken the adhesiveness between the mold and the molded
加熱温度は、粉末状ホットメルト樹脂7が溶融する温度で十分であるが、粒状吸着剤1としてイオン交換樹脂等の吸着に寄与する官能基が高温で脱離し易いものを用いる場合、その脱離温度以下で加熱することが好ましい。例えばトリメチルアンモニウム基を有する陰イオン交換樹脂なら60℃以下、スルホ基を有する陽イオン交換樹脂なら120℃以下で溶融する粉末状ホットメルト樹脂7を用いて、官能基の脱離温度以下で加熱することが好ましい。
The heating temperature is sufficient at the temperature at which the powdered
成型体12に粉末状吸着剤8を担持する方法としては、成型体12を加熱し成型体12表面に粘着性を持たせた状態で粉末状吸着剤8を接触させた後、冷却して担持する方法がある。加熱温度は、粉末状ホットメルト樹脂7の溶融する温度以上が必要であるが、あまりに高温であると担持作業時に成型体12が型崩れする可能性があるため、溶融温度に近い温度が好ましい。また、粉末状吸着剤8を成型体12表面に接触させる方法としては、加熱した成型体12に粉末状吸着剤8を振り掛ける、噴霧する、あるいは多量の粉末状吸着剤8中に加熱した成型体12を沈める等の方法がある。これらの方法を用いると、成型体12表面に均一に粉末状吸着剤8が接触できるため、粉末状ホットメルト樹脂7に均一に粉末状吸着剤8を担持することが可能である。また、これらの方法で余剰の粉末状吸着剤8が成型体12に付着するが、使用時にこれらがフィルタから脱落したりしないように、予め除去しておく必要がある。その方法としては、成型体12を冷却後に振動を与えて振り落とす、あるいは実使用条件を上回る高風速で通風して吹き飛ばす等の方法がある。
As a method of supporting the
クリーンルーム等に使用される高性能のガス除去フィルタに求められる要求事項としては、特に自身からガスを出さないことが要求され、その他にもコンパクト、低圧力損失、長寿命が挙げられるが、これら4つの要求事項は得てして相反するため全てを満たすことが難しい。しかしながら、本発明に従って作製したガス除去フィルタは粉末状吸着剤8が成型体12表面を覆っており自身から発生するガスを下流側に流出させない特徴がある。また、小さな空間により多くの粒状吸着剤1を充填しており、コンパクトで長寿命であるにもかかわらず、貫通孔3の存在により高い通気性を確保している。本発明に従って作成したガス除去フィルタは、成型体12表面が粉末状吸着剤8に覆われていること、体積あたりの粒状吸着剤1の充填量が大きいこと、通気性の高い貫通孔3が設けられているといった理由から相反する要求事項である自身からガスを出さない、コンパクト、低圧力損失、長寿命を実現している。
The requirements for high-performance gas removal filters used in clean rooms and the like are particularly required not to emit gas from themselves, and besides these, compactness, low pressure loss, and long life can be mentioned. It is difficult to satisfy all the requirements because they are in conflict with each other. However, the gas removal filter produced according to the present invention has a feature that the
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2を図5を参照しながら説明する。なお、実施の形態1と同一部分は同一符号を附し詳細な説明は省略する。
(Embodiment 2)
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
貫通孔壁6内部がガス吸着能を有する繊維体10を有しているガス除去フィルタの拡大図を図5に示す。図5に示すように、長い繊維体10が粒状吸着剤1の隙間を縫うように、また絡み合って存在しているため、繊維体10と粒状吸着剤1間の接着によりさらにガス除去フィルタの強度が増加している。また、繊維体10自身がガス吸着能を有するため、より多くのガスを吸着することが可能となっている。
FIG. 5 shows an enlarged view of the gas removal filter in which the inside of the through-
繊維体10としては一般的な有機繊維や無機繊維が使用できるが、特にガラス繊維や炭素繊維、セラミック繊維等の強度に優れた繊維体10を用いるとより強度に優れたガス除去フィルタとなり、またイオン交換繊維や活性炭素繊維等のガス吸着能を有する繊維体10を用いるとより吸着容量に優れたガス除去フィルタとなる。繊維長は短すぎるとガス除去フィルタから脱落し易くなるため2mm以上50mm以下程度であることが好ましい。このような繊維体10を成型前の粒状吸着剤1および粉末状ホットメルト樹脂7の混合物に添加することにより、成型後の貫通孔壁6の内部に繊維体10が補強材として存在するガス除去フィルタが得られる。繊維体10の配合量としては、繊維体10の重量が全体の重量の1%以上20%以下程度であると粒状吸着剤1の量を保ちつつガス除去フィルタ強度を増加することができるため好ましい。
As the
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3を図6を参照しながら説明する。なお、実施の形態1または2と同一部分は同一符号を附し詳細な説明は省略する。
(Embodiment 3)
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those in the first or second embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
実施の形態1に記載されたガス除去フィルタの両方の面に、通気性を有し粒状吸着剤1の粒径よりも目が小さいシート11が設けられ、そのシート11が粉塵を捕集する機能を有するガス除去フィルタの斜視図を図6に示す。本来は、成型体12およびシート11は一体化しているが、構造をわかり易くするため少し離して示してある。粒状吸着剤1がガス除去フィルタから絶対に脱落しないとは限らず、使用時に粒状吸着剤1が下流側に流出して空気を汚染したり、取り扱い時に粒状吸着剤1がガス除去フィルタから脱落して使用環境を汚染する可能性が万が一でもありうる。シート11をガス除去フィルタの上流面4および下流面5に設けることにより粒状吸着剤1のガス除去フィルタからの脱落をほぼ確実になくすことができる。シート11としては、スパンボンド法やサーマルボンド法により製造される繊維径1μm以上50μm以下の不織布で、通気口径5μm以上100μm以下のものを、使用する粒状吸着剤1等の粒径に合わせて適時用いると下流側の汚染を漏れなく防止でき好ましい。また、シート11として粉塵を捕集する機能を有する集塵濾材、例えばポリプロピレンをメルトブロー法で繊維状に吹き付けてシート化し帯電処理を行って作成した静電濾材や、ガラス繊維をすきこみバインダーで結合したガラス繊維濾材などを用いることにより、ガスのみでなく空気中の粉塵をも効率よく捕集することができ、家庭や事務所などの室内環境における空気清浄フィルタとして用いることができる。また、シート11作製時にイオン交換繊維や活性炭繊維等を添加して吸着能を持たせたり、グラフト重合等によりシート11に吸着官能基を付加したりすると、ガス除去フィルタの総吸着容量が増加し寿命を延ばすことができる。
A
(実施の形態4)
本発明の実施の形態4を図7を参照しながら説明する。なお、実施の形態1乃至3のいずれかと同一部分は同一符号を附し詳細な説明は省略する。
(Embodiment 4)
A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those in any of
実施の形態1に記載されたガス除去フィルタをプリーツ状に配置してなるガス除去フィルタユニットの上面図を図7に示す。 FIG. 7 shows a top view of a gas removal filter unit in which the gas removal filter described in the first embodiment is arranged in a pleat shape.
ガス除去フィルタをプリーツ状に配置すると、プリーツ状に配置していない平面状のものと比較して濾過面積が増大して空気を通過させたときの流速が小さくなり、ガスのガス捕集効率が向上するとともに圧力損失が低減して通気性が向上するという効果が得られる。ガス除去フィルタをプリーツ状に配置する場合、プリーツ深さが20mm以上でプリーツ間隔が10mm以上であるとプリーツの山と山の間に空気が通りやすくなり通気性とガス捕集効率が向上するため好ましい。 If the gas removal filter is arranged in a pleated shape, the filtration area increases compared to a flat type not arranged in a pleated shape, the flow velocity when passing air is reduced, and the gas gas collection efficiency is increased. While improving, the effect that a pressure loss reduces and air permeability improves is acquired. When the gas removal filter is arranged in a pleat shape, if the pleat depth is 20 mm or more and the pleat interval is 10 mm or more, air can easily pass between the pleat ridges, improving air permeability and gas collection efficiency. preferable.
本発明のガス除去フィルタおよびガス除去フィルタユニットは自身からのガス発生が少なく、コンパクト、低圧力損失でありながら長寿命であり、クリーンルームのような高清浄度が要求される環境で用いられるガス除去フィルタおよびガス除去フィルタユニットとして利用可能である。 The gas removal filter and the gas removal filter unit of the present invention generate less gas from themselves, are compact, have a low pressure loss and a long life, and are used in environments where high cleanliness is required such as in clean rooms. It can be used as a filter and a gas removal filter unit.
1 粒状吸着剤
2 通気方向
3 貫通孔
4 上流面
5 下流面
6 貫通孔壁
7 粉末状ホットメルト樹脂
8 粉末状吸着剤
9 ピン
10 繊維体
11 シート
12 成型体
DESCRIPTION OF
Claims (17)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007225557A JP2009056388A (en) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | Gas removing filter and gas removing filter unit |
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
JP2010227830A (en) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Panasonic Corp | Gas adsorbing filter, and method for manufacturing the same |
JP2013521105A (en) * | 2010-02-26 | 2013-06-10 | クラーコア インコーポレーテッド | Compressed nanofiber composite filter media |
JP2014100452A (en) * | 2012-11-21 | 2014-06-05 | Tornex Inc | Air cleaning machine |
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2007
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