JP2009052130A - Method for depositing thin film of metal germanium using electrolysis technique - Google Patents

Method for depositing thin film of metal germanium using electrolysis technique Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for plating the surface of an accessory or a semiconductor with a thin film of an alloy with a metal(s) selected from platinum group metals, gold and silver. <P>SOLUTION: Germanium dioxide is dissolved into an alkaline solution, thereafter, free acid is added thereto, so as to produce an acid germanium solution, and further, a coprecipitating metal(s) selected from platinum group metals, gold and silver is dissolved, so as to be an electrolytic solution. The concentration of germanium in the electrolytic solution is regulated in accordance with use in such a manner that the content of germanium is controlled to 5 to 45 wt.% in an accessory, and the content of germanium is controlled to 80 to 90% in a semiconductor device. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ゲルマニウムを含有する金属薄膜をメッキで形成するために使用される電解液の作成方法に関し、更に当該電解液を使用したメッキ方法、当該メッキ方法によって作成された半導体としての半金属ゲルマニウム薄膜、および装身具(身辺細貨)などの表層を、同薄膜で被服したメッキ製品に関する。   The present invention relates to a method for producing an electrolytic solution used for forming a metal thin film containing germanium by plating, further a plating method using the electrolytic solution, and a semi-metallic germanium as a semiconductor produced by the plating method. The present invention relates to a plated product in which a thin film and a surface layer such as a jewelry (a personal coin) are coated with the thin film.

ゲルマニウムは、ダイオード、トランジスター等、半導体素子として莫大な用途があったが、シリコン素子の登場により、その地位は現在入れ替わっている。   Germanium has an enormous use as a semiconductor element such as a diode or a transistor, but its position has now been changed due to the appearance of a silicon element.

この理由は、ゲルマニウム自体が、溶融状態からインゴット鋳造できるが、ゲルマニウム自体は展延性が全くなく圧延加工が不可能であり、薄膜が得られず、ゲルマニウムのインゴットを機械的に微粉砕するか、二酸化ゲルマニウムを化学的に還元して得られる微粉末を、何らかの媒体と混合して、それを塑性加工により必要形状に成型する方法を採らなければならないと言った加工上の制約があった為である。   The reason for this is that germanium itself can be ingot cast from a molten state, but germanium itself is not malleable and cannot be rolled, a thin film cannot be obtained, and the germanium ingot is mechanically pulverized, This is because there was a processing restriction that a fine powder obtained by chemically reducing germanium dioxide must be mixed with some medium and molded into the required shape by plastic processing. is there.

そこで従前において、ゲルマニウムを含有するメッキを製造するメッキ技術が提案されている。   Therefore, in the past, a plating technique for manufacturing a plating containing germanium has been proposed.

例えば、特許文献1(特開2006−45653号公報)では、表面にGeを必須成分として含有する合金のメッキ皮膜が成膜されているメッキ部材が開示されており、このメッキ皮膜は電気メッキ法で成膜されている。そしてこのメッキ方法は、Ge源;Rh源;クエン酸、スルファミン酸、グリコール酸、酢酸、コハク酸、およびリンゴ酸の1種または2種以上から成る有機酸;水酸化カリウムまたは水酸化ナトリウムから成るアルカリ成分;ならびに硫酸、塩酸、リン酸、またはスルファミン酸から成る遊離酸を含む酸性メッキ浴を用いて、pHは5.5以下、浴温が常温から60℃以下、電流密度0.1〜10A/dmの条件で、被メッキ材にGe−Rh2元系合金を電着して電気メッキ皮膜を成膜するメッキ部材の製造方法として提案されている。
特開2006−45653号公報
For example, Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-45653) discloses a plating member having a plating film formed of an alloy containing Ge as an essential component on its surface. The film is formed. This plating method comprises a Ge source; an Rh source; an organic acid comprising one or more of citric acid, sulfamic acid, glycolic acid, acetic acid, succinic acid, and malic acid; potassium hydroxide or sodium hydroxide. Using an acidic plating bath containing an alkaline component; and a free acid composed of sulfuric acid, hydrochloric acid, phosphoric acid, or sulfamic acid, the pH is 5.5 or less, the bath temperature is from room temperature to 60 ° C., and the current density is 0.1 to 10 A. It has been proposed as a method for producing a plated member in which an electroplated film is formed by electrodeposition of a Ge—Rh binary alloy on a material to be plated under the condition of / dm 2 .
JP 2006-45653 A

半導体として、シリコン素子の薄片のように、ゲルマニウムの薄片を形成することは、その特性である展延性の全くない事から、純度の高い薄片を得ることは不可能とされている。   Forming germanium flakes, such as silicon element flakes, as semiconductors is not possible at all because of the lack of extensibility, which is a characteristic of such thin pieces.

又、装飾品〈身辺細貨〉などの製品の表面にゲルマニウム膜をメッキで形成するには、他の金属との合金メッキを行い、その合金の成分比を所定の範囲に保持しなければならず、またメッキ浴(電解液)のpHを所定の値に管理しなければならなかった。仮にこれらの要件を逸脱すると、装飾品としての美的概観が失われるとともに、耐摩耗性、耐食性も低下する。以上の様に、表面処理の為のメッキ浴組成の合金成分比及び金属の種類の選択に制約があった。例えば、前記特許文献1では、メッキ浴を作成するために、遊離酸の他、有機酸も使用してメッキ浴を作成しており、その結果液管理が難しくなるとの問題もある。   In addition, in order to form a germanium film on the surface of a product such as a decorative item (a personal coin), it is necessary to perform alloy plating with another metal and maintain the alloy component ratio within a predetermined range. In addition, the pH of the plating bath (electrolytic solution) had to be controlled to a predetermined value. If they deviate from these requirements, the aesthetic appearance as a decorative article is lost, and the wear resistance and corrosion resistance also deteriorate. As described above, there are restrictions on the selection of the alloy component ratio and metal type of the plating bath composition for the surface treatment. For example, in Patent Document 1, in order to prepare a plating bath, a plating bath is prepared using an organic acid in addition to a free acid. As a result, there is a problem that liquid management becomes difficult.

そこで本発明は、メッキ浴の液管理をしやすいようにしたメッキ用の電解液を提供することを第一の課題とする。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is a first object of the present invention to provide an electrolytic solution for plating that facilitates liquid management of a plating bath.

また、ゲルマニウムを確実にメッキ浴に溶解させて、装飾品としての美的概観を向上させるとともに、耐摩耗性、耐食性も向上させ、更に純度の高いメッキ膜を形成することのできるメッキ浴(即ち、電解液)と、これを用いたメッキ方法、ならびにこのメッキ方法で製造した半導体膜とメッキ製品を提供することを第二の課題とする。   In addition, germanium is surely dissolved in the plating bath to improve the aesthetic appearance as a decorative product, improve the wear resistance and corrosion resistance, and can form a plating film with higher purity (that is, a plating bath (that is, The second problem is to provide an electrolytic solution), a plating method using the same, and a semiconductor film and a plated product manufactured by the plating method.

さらに、装飾品として使用するメッキ製品の場合には、その表面に現れる色調などを任意に調整できることが望ましい。   Furthermore, in the case of a plated product used as a decorative product, it is desirable that the color tone appearing on the surface thereof can be arbitrarily adjusted.

そこで本発明では、メッキの色調を任意に調整することのできるメッキ方法、ならびにこのメッキ方法で製造した半導体膜とメッキ製品を提供することを第三の課題とする。   Therefore, a third object of the present invention is to provide a plating method capable of arbitrarily adjusting the color tone of plating, and a semiconductor film and a plated product manufactured by this plating method.

前記課題の少なくとも何れかを解決するために、本発明では金属表面処理技術を応用し、ゲルマニウムの薄膜形成し、必要に応じて析出膜厚や色調を調整することができる電気メッキ方法を提供する。また、装飾品(身辺細貨)などの製品の表面に、当該メッキ方法(即ち表面処理技術)を用いて、ゲルマニウムを含有した合金メッキを施工して、ゲルマニウムの特徴を備えた装飾品を提供する。更に、また必要に応じて、当該メッキ方法で形成された薄膜を母材(被メッキ製品)から、剥離して半導体膜などとして使用する素材を提供する。   In order to solve at least one of the above problems, the present invention provides an electroplating method in which a metal surface treatment technique is applied to form a thin film of germanium, and the deposited film thickness and color tone can be adjusted as necessary. . In addition, by using the plating method (ie, surface treatment technology) on the surface of products such as ornaments (personal coins), alloy plating containing germanium is applied to provide ornaments with the characteristics of germanium. To do. Furthermore, if necessary, a material for peeling a thin film formed by the plating method from a base material (product to be plated) and using it as a semiconductor film or the like is provided.

即ち、本発明ではゲルマニウムを含有する金属薄膜をメッキによって形成するために使用される電解液を作成する方法であって、ゲルマニウムをアルカリ性溶液に溶解してゲルマニウム溶解液を作成するゲルマニウムの溶解工程と、ゲルマニウム溶解液に、遊離酸を存在させて酸性ゲルマニウム溶解液を作成する遊離酸の添加工程と、酸性ゲルマニウム溶解液に、白金族金属、金、および銀から選択される、少なくとも何れか1種または2種以上の共析金属を溶解させて電解液を作成する共析金属溶解工程とからなるゲルマニウム含有薄膜形成用の電解液作成方法を提供する。   That is, in the present invention, a method for producing an electrolytic solution used for forming a metal thin film containing germanium by plating, which comprises dissolving germanium in an alkaline solution to produce a germanium solution, A step of adding a free acid in the presence of a free acid in the germanium solution to form an acidic germanium solution; and at least one selected from platinum group metals, gold, and silver in the acidic germanium solution Alternatively, the present invention provides a method for preparing an electrolytic solution for forming a germanium-containing thin film comprising a eutectoid metal dissolving step of dissolving two or more kinds of eutectoid metals to prepare an electrolytic solution.

かかる電解液は、pHを調整するために遊離酸だけを使用し、有機酸などは使用していないことから液管理が容易になる。しかも、ゲルマニウムは、最初にアルカリ性溶液に溶解させていることから、十分にゲルマニウムが溶解したメッキ浴(電解液)を作成することができる。そしてゲルマニウムを溶解させた後に遊離酸を存在させて、共析金属を添加していることから、電解液中のゲルマニウム:共析金属の配合割合を任意に調整することができる。   Such an electrolytic solution uses only a free acid to adjust the pH, and does not use an organic acid or the like, so that the liquid management becomes easy. Moreover, since germanium is first dissolved in an alkaline solution, a plating bath (electrolytic solution) in which germanium is sufficiently dissolved can be prepared. Since germanium is dissolved and free acid is present and the eutectoid metal is added, the mixing ratio of germanium: eutectoid metal in the electrolytic solution can be arbitrarily adjusted.

これにより、例えば当該電解液を使用してメッキを行う際、電解液中のゲルマニウムと共析金属との含有比率を調整するか、及び/又は電解析出時における電解液の温度を調整することにより、メッキの色調およびゲルマニウムの含有比率を調整することが可能になる。   Thereby, for example, when performing plating using the electrolytic solution, the content ratio of germanium and eutectoid metal in the electrolytic solution is adjusted and / or the temperature of the electrolytic solution at the time of electrolytic deposition is adjusted. This makes it possible to adjust the color tone of the plating and the content ratio of germanium.

前記電解液の作成に使用される共析金属はロジウムである事が望ましい。特にアルカリ性溶液に溶解させるのは、二酸化ゲルマニウムであることが望ましい。他の共析金属では、電解液を強酸にすることができない為である。   It is desirable that the eutectoid metal used for preparing the electrolytic solution is rhodium. In particular, it is desirable to dissolve germanium dioxide in the alkaline solution. This is because other eutectoid metals cannot make the electrolyte into a strong acid.

また前記遊離酸は硫酸およびリン酸の何れか1種以上からなる遊離酸である事が望ましい。遊離酸として塩酸を用いた場合、塩素イオンはゲルマニウムとの結合によりGeCl、GeClの化合物を生じさせ、これがメッキ浴中に存在すると、電解を行った際に陰極析出膜(目的の製品)に、黒色の粗大粒子となって析出してしまい、合金組成を損ねる結果となるためである。 The free acid is preferably a free acid comprising at least one of sulfuric acid and phosphoric acid. When hydrochloric acid is used as the free acid, the chlorine ions generate GeCl 4 and GeCl 2 compounds by bonding with germanium, and when they are present in the plating bath, the cathode deposition film (target product) is obtained when electrolysis is performed. In addition, black coarse particles are precipitated, resulting in a deterioration of the alloy composition.

更に、当該遊離酸の存在により、電解液のpHは0.1〜2の範囲に調整されていることが望ましい。pH2以下であれば、電解析出により確実にゲルマニウムを析出させることができるためである。この電解液のpHに関しては、特に0.4〜0.8の範囲に調整されていることが望ましい。   Furthermore, it is desirable that the pH of the electrolytic solution is adjusted to a range of 0.1 to 2 due to the presence of the free acid. This is because if the pH is 2 or less, germanium can be reliably deposited by electrolytic deposition. Regarding the pH of the electrolytic solution, it is particularly preferable that the pH is adjusted to a range of 0.4 to 0.8.

また、本発明では、前記課題の少なくともいずれかを解決するために、電解液を用いて行うメッキ方法であって、当該電解液として、前述した本発明にかかる方法で作成された電解液を使用してゲルマニウム含有金属薄膜を形成した後、金又はロジウムメッキを形成することを特徴とするメッキ方法を提供する。   Further, in the present invention, in order to solve at least one of the above problems, a plating method performed using an electrolytic solution, wherein the electrolytic solution created by the method according to the present invention described above is used as the electrolytic solution. Then, after forming a germanium-containing metal thin film, gold or rhodium plating is formed.

ゲルマニウム含有メッキ層の上に、更に金属メッキを施すことにより、ゲルマニウムの有する効果を発現させることができながらも、さらに装飾性を高めることが可能になる。   By further metal plating on the germanium-containing plating layer, the effect of germanium can be expressed, but the decorativeness can be further enhanced.

更に、本発明では、前記課題の少なくともいずれかを解決するために、メッキが施された身飾品及び装飾具を含むメッキ製品であって、当該メッキ製品は、前述した本発明にかかるメッキ方法によって形成され、当該メッキ部分におけるゲルマニウムの含有率が、5〜45重量%であるメッキ製品を提供する。   Furthermore, in the present invention, in order to solve at least one of the above-described problems, a plated product including an ornamented article and a decorative device subjected to plating, the plated product is obtained by the above-described plating method according to the present invention. Provided is a plated product that is formed and has a germanium content of 5 to 45% by weight in the plated portion.

かかるメッキ製品は、例えばネックレス、ブレスレット、イヤリング、ベルトのバックル、指輪などの身飾品や、その一部として使用することにより、ゲルマニウムに由来する効果を教授することができる。   Such plated products can teach effects derived from germanium, for example, by using them as accessories such as necklaces, bracelets, earrings, belt buckles, rings, or parts thereof.

かかるゲルマニウムに由来する効果としては、ゲルマニウムは、例えば肩こりや首のこり、腰痛や膝の痛みなどの解消の他、疲労回復や新陳代謝の活発化などの効果があるとされていることから、当該製品を使用することにより、このような効果を期待することができる。なお、かかるゲルマニウムに由来する効果は、ゲルマニウムが光や温度によって電気特性が大きく変わるものであるから、これを皮膚などに触れさせることによって電子の移動が生じて生体電流のバランスを整えてくれものと考えられる。   As an effect derived from such germanium, germanium is said to have effects such as relief of fatigue and activation of metabolism, as well as relief of shoulder stiffness, neck stiffness, low back pain and knee pain. By using this, such an effect can be expected. The effect derived from germanium is that germanium's electrical properties change greatly depending on light and temperature, so touching this with the skin etc. causes the movement of electrons and balances the biocurrent. it is conceivable that.

なお、メッキ浴(電解液)として共析金属を含まないものを使用した場合、ゲルマニウム単体からなるメッキを作成することができ、その上に当該方法により他のメッキ層を形成することにより、ゲルマニウムの含有量を多くし、当該ゲルマニウムに基づく効果をより高めることができる。このようなゲルマニウム単体の析出層を形成するには、ゲルマニウムの硫酸酸性溶液を用い、陰極電流密度を5Amp/dm以上にして電解を行うことにより陰極にゲルマニウム単独の析出物(層)を得ることができる。その際、陰極電流密度を5Amp/dm以上にしていることからメッキ加工品としてクオリティーは低くなってしまうが、この点は、当該ゲルマニウム層の上に更に金属層を形成することで解決することができる。 When a plating bath (electrolyte) that does not contain a eutectoid metal is used, a plating made of germanium alone can be prepared, and another plating layer is formed thereon by the above method, so that germanium is formed. The content based on the germanium can be further increased. In order to form such a deposited layer of germanium alone, a germanium sulfate acidic solution is used, and electrolysis is performed with a cathode current density of 5 Amp / dm 2 or more to obtain a deposit (layer) of germanium alone on the cathode. be able to. At that time, since the cathode current density is set to 5 Amp / dm 2 or more, the quality as a plated product is lowered, but this point can be solved by forming a metal layer further on the germanium layer. Can do.

更に、本発明では、前記課題の少なくともいずれかを解決するために、ゲルマニウムを含有する半導体素子であって、当該半導体素子は、前述した本発明にかかるメッキ方法によって形成され、かつゲルマニウムの含有率が、80〜90重量%である半導体素子を提供する。具体的には、前記したメッキ処理に際して、任意の金属母材の上にメッキ(すなわち、表面処理技術)によって薄膜(ゲルマニウム被膜)を形成し、その後、化学的にゲルマニウム被膜を損なう事無く、母材から剥離して、要求される膜厚の薄片を得るものである。特にメッキ浴(電解液)として共析金属を配合しない場合には、ゲルマニウム単独の薄膜を形成することができる。   Furthermore, in the present invention, in order to solve at least one of the above-mentioned problems, a germanium-containing semiconductor element is formed by the above-described plating method according to the present invention, and the germanium content rate Provides a semiconductor device having a weight ratio of 80 to 90% by weight. Specifically, in the above-described plating process, a thin film (germanium film) is formed on an arbitrary metal base material by plating (that is, surface treatment technology), and then the base film is chemically damaged without damaging the germanium film. It peels from a material and obtains the thin film of the required film thickness. In particular, when a eutectoid metal is not blended as a plating bath (electrolytic solution), a thin film of germanium alone can be formed.

上記した本発明にかかる電解液をメッキ浴として使用することにより、液管理の困難さを解消することができる。   By using the above-described electrolytic solution according to the present invention as a plating bath, it is possible to eliminate the difficulty of liquid management.

また、本発明にかかる電解液を使用したメッキ方法を実施することにより、ゲルマニウムと共析金属の含有率を任意に調整することができ、色調などを自在に調整することのできるメッキ方法が提供される。   In addition, by carrying out the plating method using the electrolytic solution according to the present invention, it is possible to arbitrarily adjust the content of germanium and the eutectoid metal, and to provide a plating method capable of freely adjusting the color tone and the like. Is done.

更に、このメッキ方法によって作成された身飾品や装飾品などのメッキ製品では、その表層に形成されるゲルマニウム被膜は、使用者の体温により32℃以上に達すると、半導体の特徴である(−)電子を発生させ、身体の血流を順調にし、肩こり等の支障を癒すことが期待できる。   Furthermore, in plated products such as jewelry and ornaments created by this plating method, the germanium film formed on the surface layer is characteristic of a semiconductor when it reaches 32 ° C. or more due to the user's body temperature (−). It is expected to generate electrons, smooth the blood flow of the body, and heal troubles such as stiff shoulders.

そして、かかるメッキ方法によって半導体薄膜片を形成する場合には、その用途に応じた形状・面積・膜厚を得る事により、シリコン素子に対応する半導体素子の薄片をこの分野に提供することが可能になる。   When a semiconductor thin film piece is formed by such a plating method, it is possible to provide a thin piece of a semiconductor element corresponding to a silicon element in this field by obtaining a shape, area, and film thickness according to the application. become.

以下、本発明にかかる電解浴、これを用いたメッキ方法、およびこのメッキ方法で作成した、電解析出による薄膜の製法について実施例により、具体的に説明をする。
〈実験例1〉
Hereinafter, an electrolytic bath according to the present invention, a plating method using the same, and a method for producing a thin film by electrolytic deposition created by the plating method will be specifically described with reference to examples.
<Experimental example 1>

純度99.9%以上の、高純度二酸化ゲルマニウムを、之に対応する当量の水酸化ナトリュウムの水溶液に溶解し、更に、此れに1:1硫酸溶液を加え、ゲルマニウムの水和物が完全に溶解した清澄液とする。清澄液のpHは、この時6.0以下に調整する。   A high-purity germanium dioxide having a purity of 99.9% or more is dissolved in an equivalent amount of an aqueous solution of sodium hydroxide, and a 1: 1 sulfuric acid solution is further added thereto, so that the germanium hydrate is completely dissolved. Dissolve clarified liquid. The pH of the clarified liquid is adjusted to 6.0 or less at this time.

ゲルマニウムの半導体薄膜を得るには、その特性を損なう、次の様な元素、すなわち、燐(P)・砒素(As)・アルミニウム(Al)・ガリュウム(Ga)の混入は絶対に避けねばならない。建浴時には、この点に特に留意して高純度の試薬を用いた。   In order to obtain a germanium semiconductor thin film, the following elements which impair the characteristics, namely, phosphorus (P), arsenic (As), aluminum (Al), and gallium (Ga) must be avoided. At the time of bathing, a high purity reagent was used with particular attention to this point.

同時に、塩素(Cl)イオンの混入も、絶対に回避することが必要条件であった。   At the same time, it was a necessary condition to avoid contamination with chlorine (Cl) ions.

塩素イオンとゲルマニウムとの反応生成物であるGeCl,GeCl,の化合物がメッキ浴中に生成してしまうと、これを用いて電解を行った場合には陰極析出膜〈目的の製品〉に、黒色の粗大粒子となって析出し、合金組成を損ねる結果となることが判明した。 If a compound of GeCl 4 , GeCl 2 , which is a reaction product of chlorine ions and germanium, is generated in the plating bath, when electrolysis is performed using this compound, it becomes a cathode deposition film (target product). As a result, it was found that black coarse particles were deposited and the alloy composition was impaired.

またゲルマニウムの硫酸酸性溶液(共析金属を配合しない電解液)を用いて、電解によって陰極に析出物を得るには、ゲルマニウム単体での析出は、陰極電流密度を、5Amp/dm以上にしなければ析出が得られなかった。 In addition, in order to obtain a deposit on the cathode by electrolysis using an acidic solution of germanium sulfate (electrolyte containing no eutectoid metal), the deposition of germanium alone must have a cathode current density of 5 Amp / dm 2 or more. No precipitation was obtained.

高電流密度での析出は、ゲルマニウムの析出粒子が粗大化して不完全な析出となり、僅かな外力で、例えば,毛筆等でこすっても粉末として脱落してしまった。   Precipitation at a high current density resulted in incomplete precipitation due to the coarse particles of germanium, and even with a slight external force, for example, rubbed with a brush or the like, the powder fell off as a powder.

粗大化したゲルマニウムの析出は純粋な金属析出でなく、析出と同時に水素イオンと結合した化合物の状態で陰極に析出するものらしく、析出と同時に、一酸化物(GeO)
の状態で、黒色を呈する脱落しやすい被膜となり、本来の銀白色にはならなかった。
The coarse germanium deposit is not a pure metal deposit but appears to be deposited on the cathode in the form of a compound combined with hydrogen ions at the same time as the deposit. At the same time as the deposit, the oxide (GeO)
In this state, the film was black and easy to come off, and did not become the original silver-white color.

そこで本実施例では、低電流密度で、完全な銀白色のゲルマニウム被膜を得るために、半導体効果を阻害する元素を除く金属を添加して、共析被膜を析出させる方法を用いた。   Therefore, in this example, in order to obtain a complete silver-white germanium film at a low current density, a method of depositing a eutectoid film by adding a metal excluding an element inhibiting the semiconductor effect was used.

添加する金属としては、出来る限りゲルマニウム析出電位に近い電位を呈する金属が望ましい。この点で、白金・ロジュウム・パラジュム・金・銀等の貴金属が好ましい。   As the metal to be added, a metal exhibiting a potential as close to the germanium deposition potential as possible is desirable. In this respect, noble metals such as platinum, rhodium, palladium, gold and silver are preferable.

ゲルマニウムの電解液は、硫酸酸性液であるので、ロジュウムが最も適していると判断し、硫酸ロジュウムの形で添加した。電解液中の、Ge:Rhの比率は、(2:1)から(100:1)までの変化で、析出状態を観察した。   Since the germanium electrolyte was an acidic sulfuric acid solution, it was judged that rhodium was most suitable, and was added in the form of rhodium sulfate. The ratio of Ge: Rh in the electrolytic solution was changed from (2: 1) to (100: 1), and the precipitation state was observed.

ゲルマニウムの半導体素子としての特性を維持するには、添加する共析金属は最小限に抑えるのが理想的であるので、Ge:Rhの比(重量比)を、液組成で10:1〜0.5として、電流密度を0.2〜0.5Amp/dmとした場合に良好な被膜がえられた。 In order to maintain the characteristics of germanium as a semiconductor element, it is ideal to keep the eutectoid metal added to a minimum. Therefore, the Ge: Rh ratio (weight ratio) is 10: 1 to 0 in terms of liquid composition. A good film was obtained when the current density was 0.2 to 0.5 Amp / dm 2 .

この析出した被膜は、ゲルマニウム85〜95%、ロジュウム15〜5%の青味を帯びた灰白色の被膜であり、0.5〜3.0μの膜厚で、半光沢を呈していた。またこの被膜の合金組成は、ゲルマニウム含有率88.98%(重量比率)のゲルマニウム合金の被膜である事が、エネルギー分散型X線分析装置で確認された。結果は図1に示した。
〈実験例2〉
The deposited film was a grayish white film having a bluish color of germanium of 85 to 95% and rhodium of 15 to 5%, and was semi-glossy with a film thickness of 0.5 to 3.0 μm. Further, it was confirmed by an energy dispersive X-ray analyzer that the alloy composition of this film was a germanium alloy film having a germanium content of 88.98% (weight ratio). The results are shown in FIG.
<Experimental example 2>

電気伝導度の良好な薄膜を得る為に、共析金属としてAu(金)を選択した。前記実施例1の合金メッキ浴はpH2.0以下の強酸性で安定性があり、pH2.0以上になるとGeのラスな析出となる。また金をロジュウムに置き換えるにはpH2.0以下で安定なAu化合物が絶対条件となる。   In order to obtain a thin film with good electrical conductivity, Au (gold) was selected as the eutectoid metal. The alloy plating bath of Example 1 is strongly acidic and stable at a pH of 2.0 or less, and when the pH is 2.0 or more, a lath precipitation of Ge occurs. In order to replace gold with rhodium, an Au compound that is stable at pH 2.0 or lower is an absolute condition.

そこで我々は、Au化合物として、青化第二金カリが硫酸浴中でpH2.0以下0.1迄自己還元する事無く安定である事を実験によって確認し、さらに実験を重ねてGe−Au合金の組織の電解液を確立した。   Therefore, as an Au compound, we confirmed by experiment that bromide potash was stable without self-reduction to pH 2.0 or less in a sulfuric acid bath, and further experimented with Ge-Au. The electrolyte of the alloy structure was established.

ゲルマニウム酸化物をmol比で1:2に調整したアルカリ塩(NaOHあるいは KOH)に溶解した後、この溶液に硫酸をくわえてpHを1.1〜2.0の溶液とした。この液に青化第二金カリを添加し、Ge: Auの金属比を5〜10:1.0〜0.05の範囲として電解を行った。電解条件は、電流密度が0.1〜2.0Amp/dm で、浴温度を30〜50℃に調整した。 Germanium oxide was dissolved in an alkali salt (NaOH or KOH) adjusted to a molar ratio of 1: 2, and sulfuric acid was added to this solution to make a solution having a pH of 1.1 to 2.0. Electrolysis was performed by adding bluish gold potash to this solution and setting the Ge: Au metal ratio in the range of 5-10: 1.0-0.05. The electrolysis conditions were a current density of 0.1 to 2.0 Amp / dm 2 and a bath temperature of 30 to 50 ° C.

その結果、黄緑色から茶褐色を呈する硬い合金で、光沢のある、3μmまでの膜厚の皮膜が得られた。この被膜の合金組成は、5.74%(重量比率)の、ゲルマニウムを含有する金合金の被膜である事が、エネルギー分散型X線分析装置で確認された。結果は図2に示した。
〈実験例3〉
As a result, a glossy film having a thickness of up to 3 μm was obtained from a hard alloy exhibiting yellowish green to brown. It was confirmed with an energy dispersive X-ray analyzer that the alloy composition of this film was a gold alloy film containing germanium at 5.74% (weight ratio). The results are shown in FIG.
<Experimental example 3>

実施例2と同様にGe−Agの合金薄膜を得るべく電解液を作成して電解を試みた。二酸化ゲルマニウムの粉末を、対応する当量の青化カリ溶液に溶解し、此れに、Ge:Ag=10:1〜5の割合で青化銀カリを加えて電解液とした。
電流密度は0.1〜1.0Amp/dmの範囲で、且つ室温で電解をおこなった。
In the same manner as in Example 2, an electrolytic solution was prepared in order to obtain a Ge—Ag alloy thin film, and electrolysis was attempted. Germanium dioxide powder was dissolved in a corresponding equivalent amount of potassium cyanide solution, and silver potassium potassium was added thereto at a ratio of Ge: Ag = 10: 1 to 5 to obtain an electrolytic solution.
The current density was in the range of 0.1 to 1.0 Amp / dm 2 and electrolysis was performed at room temperature.

その結果、Ag(銀)の析出電位が低く、Ge:Agの比(重量比)が2:1では、殆ど、銀のみの析出のようになり、ラフな析出であった。このGe:Agの比(重量比)が5:1でようやく半光沢の被膜がえられた。   As a result, when the deposition potential of Ag (silver) was low and the ratio of Ge: Ag (weight ratio) was 2: 1, almost only the deposition of silver was observed, resulting in rough deposition. A semi-glossy film was finally obtained at a Ge: Ag ratio (weight ratio) of 5: 1.

析出被膜の合金成分比は、電解液中の金属の配合比に比例したものが得られるが、同時に電解の際の電流密度を制御することで、皮膜におけるロジウムの含有比率や色を調整する事ができた。
〈実験例4〉
The alloy component ratio of the deposited film can be obtained in proportion to the mixing ratio of the metal in the electrolytic solution. At the same time, the rhodium content ratio and color in the film can be adjusted by controlling the current density during electrolysis. I was able to.
<Experimental example 4>

ゲルマニウムの特性である(−)電子の発生を以って肩こり等を癒すことができるメッキ製品を得ることを目的として、直接、肌に触れる装身具(身辺細貨)、例えばネックレス、ブレスレット、指輪等の表層に、ゲルマニウム含有の合金メッキを施工した。   In order to obtain a plated product that can heal stiff shoulders due to the generation of (-) electrons, which is a characteristic of germanium, jewelry that touches the skin directly (such as necklaces, bracelets, rings, etc.) An alloy plating containing germanium was applied to the surface layer.

メッキ液(電解液)は、実験例1と同様に硫酸酸性浴を用いた。但し、液中の金属の組成比は、Ge:Rh=5:1に設定し、析出被膜の合金組成をGe=15〜50%(重量比率)とし、残部をRhになる様に電解条件で調整した。   As the plating solution (electrolytic solution), a sulfuric acid acidic bath was used as in Experimental Example 1. However, the composition ratio of the metal in the liquid is set to Ge: Rh = 5: 1, the alloy composition of the deposited film is Ge = 15 to 50% (weight ratio), and the balance is Rh so that the balance is Rh. It was adjusted.

析出されたメッキ被膜は、青味を帯びた灰白色の美麗な表層となった。被膜の合金組成は、43.83%(重量比率)のゲルマニウムを含有するロジュウム等の合金の被膜である事が、X線強度測定で確認された。結果を図3に示す。   The deposited plating film became a beautiful grayish white surface with a bluish tinge. It was confirmed by X-ray intensity measurement that the alloy composition of the coating was a coating of an alloy such as rhodium containing 43.83% (weight ratio) of germanium. The results are shown in FIG.

メッキ製品が特に装飾品である場合には、その用途を考慮して、仕上がりは、Ge−Rh合金の色調の他に、其の上に更に金メッキ、又は、ロジュウムメッキを重ねることも、施工上は問題無く出来る事も確認された。
〈実験例5〉
If the plated product is a decorative product, considering the application, the finish can be applied with gold or rhodium plating in addition to the color of the Ge-Rh alloy. It was confirmed that the above can be done without any problems.
<Experimental example 5>

この実験例では、本発明に係る電解浴、メッキ方法、およびメッキ製品の構成を検証するべく、他の化合物を用いて電解浴、メッキ方法、およびメッキ製品の作成を行ない、その結果を確認した。   In this experimental example, in order to verify the configuration of the electrolytic bath, plating method, and plated product according to the present invention, an electrolytic bath, a plating method, and a plated product were prepared using other compounds, and the results were confirmed. .

(1)硫酸およびリン酸の何れか1種以上からなる遊離酸に代えて、有機酸であるクエン酸を用いて二酸化ゲルマニウムを溶解した場合、二酸化ゲルマニウムの溶けが悪いことを確認した。また、この電解液では、1日放置すると二酸化ゲルマニウムが一部沈殿し、分離してしまう事も確認されて。その結果、遊離酸に変えて有機酸を用いた場合は、二酸化ゲルマニウムは十分に溶解しないばかりか、液管理が困難な事を確認した。
なお、有機酸(クエン酸)を用いる場合には、共析金属としてAu(金)を選択し、実施例1で作成したゲルマニウムのアルカリ溶液にクエン酸を徐々にくわえ、pH4.0〜5.8として得られた清澄溶液に、Au(金)を、青化金カリ・KAu(CN)として添加し、混合比(重量比)をGe:Au=5〜10:1.0とした電解液とする。この電解液を用いて、電解条件を電流密度0.5〜1.5Amp/dm、浴温度を30〜40℃として電解を行うことにより、鏡面光沢で、黄緑色の硬い合金被膜(析出被膜は3μまで)を得ることができる。
(1) When germanium dioxide was dissolved using citric acid, which is an organic acid, instead of a free acid composed of one or more of sulfuric acid and phosphoric acid, it was confirmed that germanium dioxide was poorly dissolved. In addition, it has been confirmed that when this electrolyte is left for one day, germanium dioxide partially precipitates and is separated. As a result, it was confirmed that when an organic acid was used instead of the free acid, germanium dioxide was not sufficiently dissolved and liquid management was difficult.
When organic acid (citric acid) is used, Au (gold) is selected as the eutectoid metal, and citric acid is gradually added to the alkali solution of germanium prepared in Example 1 to adjust the pH to 4.0 to 5. Electrolysis with Au (gold) added to the clarified solution obtained as No. 8 as gold-plated gold potash / KAu (CN) 2 and a mixing ratio (weight ratio) of Ge: Au = 5 to 10: 1.0 Use liquid. Using this electrolytic solution, electrolysis is performed at an electrolysis condition of current density of 0.5 to 1.5 Amp / dm 2 and a bath temperature of 30 to 40 ° C., so that a mirror-gloss and yellow-green hard alloy film (deposition film) Can be obtained up to 3μ).

(2)硫酸およびリン酸の何れか1種以上からなる遊離酸に代えて、有機酸であるスルファミン酸を用いて二酸化ゲルマニウムを溶解した場合、二酸化ゲルマニウムは溶けないことを確認した。更に、この場合には、常温でも50℃でも二酸化ゲルマニウムを溶解させることができなかった。 (2) When germanium dioxide was dissolved using sulfamic acid, which is an organic acid, instead of a free acid composed of one or more of sulfuric acid and phosphoric acid, it was confirmed that germanium dioxide did not dissolve. Furthermore, in this case, germanium dioxide could not be dissolved at room temperature or 50 ° C.

(3)硫酸およびリン酸の何れか1種以上からなる遊離酸に代えて、有機酸であるグリコール酸を用いて二酸化ゲルマニウムを溶解した場合も、二酸化ゲルマニウムは溶けないことを確認した。この場合も、常温でも50℃でも二酸化ゲルマニウムを溶解させることができなかった。 (3) It was confirmed that germanium dioxide was not dissolved even when germanium dioxide was dissolved using glycolic acid, which is an organic acid, instead of a free acid composed of at least one of sulfuric acid and phosphoric acid. Also in this case, germanium dioxide could not be dissolved at room temperature or 50 ° C.

(4)電解液のpHを確認する為に、実験例1で作成した電解液に対して水酸化ナトリウムを添加し、pHを調整した。その結果、
pH5の電解液で電気メッキを行った場合、ゲルマニウムの析出はなかった。
pH4の電解液で電気メッキを行った場合、ゲルマニウムの析出はなかった。
pH3の電解液で電気メッキを行った場合、ゲルマニウムの析出はなかった。
pH2以下の電解液で電気メッキを行った場合、ゲルマニウムの析出が確認された。
(4) To confirm the pH of the electrolytic solution, sodium hydroxide was added to the electrolytic solution prepared in Experimental Example 1 to adjust the pH. as a result,
When electroplating was performed with an electrolyte solution having a pH of 5, no germanium was deposited.
When electroplating was performed with an electrolyte solution of pH 4, no germanium was deposited.
When electroplating was performed with an electrolyte solution having a pH of 3, no germanium was deposited.
When electroplating was performed with an electrolytic solution having a pH of 2 or less, germanium deposition was confirmed.

以上の結果から、本発明に係る電解液は、pH0.4〜0.8であることが好ましいことが確認された。   From the above results, it was confirmed that the electrolytic solution according to the present invention preferably has a pH of 0.4 to 0.8.

本発明の電解方式により得られたゲルマニウム合金薄膜は、膜厚・平面形状を、任意に作成できることから、現在まで、ゲルマニウムの粉末を、何らかの媒材を加えて成型加工した半導体に代わって、多種多様の半導体素子として提供できる。   Since the germanium alloy thin film obtained by the electrolysis method of the present invention can be arbitrarily formed with a film thickness and a planar shape, up to now, instead of a semiconductor formed by adding some kind of medium material to germanium powder, It can be provided as various semiconductor elements.

更に身飾品に対して本発明により、メッキを施す事により、ゲルマニウム自体が有する効果を発揮できる身飾品も提供される。   Furthermore, the jewelry which can exhibit the effect which germanium itself has is also provided by plating by this invention with respect to jewelry.

実験例1の走査型電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析装置のチャート。The chart of the scanning electron microscope and energy dispersive X-ray analyzer of Experimental Example 1. 実験例2の走査型電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析装置のチャート。The chart of the scanning electron microscope and energy dispersive X-ray analyzer of Experimental Example 2. 実験例4の走査型電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析装置のチャート。10 is a chart of a scanning electron microscope and an energy dispersive X-ray analyzer of Experimental Example 4.

Claims (6)

ゲルマニウムを含有する金属薄膜をメッキによって形成するために使用される電解液を作成する方法であって、
二酸化ゲルマニウムをアルカリ性溶液に溶解してゲルマニウム溶解液を作成するゲルマニウムの溶解工程と、
ゲルマニウム溶解液に、遊離酸を存在させて酸性ゲルマニウム溶解液を作成する遊離酸の添加工程と、
酸性ゲルマニウム溶解液に、白金族金属、金、および銀から選択される、少なくとも何れか1種または2種以上の共析金属を溶解させて電解液を作成する共析金属溶解工程と、
からなることを特徴とする、ゲルマニウム含有薄膜形成用の電解液作成方法。
A method for producing an electrolytic solution used for forming a metal thin film containing germanium by plating,
A germanium dissolution process in which germanium dioxide is dissolved in an alkaline solution to create a germanium solution;
In the germanium solution, a free acid is added to create an acidic germanium solution in the presence of a free acid,
A eutectoid metal dissolving step in which at least any one or two or more eutectoid metals selected from platinum group metals, gold, and silver are dissolved in the acidic germanium solution to create an electrolyte solution;
A method for producing an electrolytic solution for forming a germanium-containing thin film, comprising:
前記共析金属はロジウムであり、
前記遊離酸は硫酸およびリン酸の何れか1種以上からなる遊離酸であり、
当該遊離酸の存在により、電解液のpHは0.1〜2の範囲に調整されている、請求項1に記載の電解液作成方法。
The eutectoid metal is rhodium;
The free acid is a free acid composed of one or more of sulfuric acid and phosphoric acid,
The electrolytic solution preparation method according to claim 1, wherein the pH of the electrolytic solution is adjusted to a range of 0.1 to 2 due to the presence of the free acid.
電解液を用いて行うメッキ方法であって、
当該電解液として、請求項1又は2に記載の方法で作成された電解液が使用され、
メッキの色調およびゲルマニウムの含有比率を調整する為に、電解液中のゲルマニウムと共析金属との含有比率を調整するか、及び/又は電解析出時における電解液の温度を調整することを特徴とするメッキ方法。
A plating method using an electrolytic solution,
As the electrolytic solution, an electrolytic solution prepared by the method according to claim 1 or 2 is used,
In order to adjust the color of the plating and the content ratio of germanium, the content ratio of germanium and the eutectoid metal in the electrolytic solution is adjusted and / or the temperature of the electrolytic solution at the time of electrolytic deposition is adjusted. And plating method.
電解液を用いて行うメッキ方法であって、
当該電解液として、請求項1又は2に記載の方法で作成された電解液を使用してゲルマニウム含有金属薄膜を形成した後、金、ロジウム又はその他の金属メッキを形成することを特徴とするメッキ方法。
A plating method using an electrolytic solution,
A plating characterized by forming gold, rhodium or other metal plating after forming a germanium-containing metal thin film using the electrolyte prepared by the method according to claim 1 or 2 as the electrolyte. Method.
メッキが施された身飾品及び装飾具を含むメッキ製品であって、
当該メッキ製品は、請求項3又は4に記載のメッキ方法によって形成されて、
当該メッキ部分におけるゲルマニウムの含有率が、5〜45重量%であることを特徴とする、メッキ製品。
A plated product including plated ornaments and ornaments,
The plated product is formed by the plating method according to claim 3 or 4,
A plated product, wherein the content of germanium in the plated portion is 5 to 45% by weight.
ゲルマニウムを含有する半導体素子であって、
当該半導体素子は、請求項3又は4に記載のメッキ方法によって形成され、かつ
ゲルマニウムの含有率が、80〜90重量%であることを特徴とする、半導体素子。
A semiconductor element containing germanium,
The said semiconductor element is formed by the plating method of Claim 3 or 4, and the content rate of germanium is 80 to 90 weight%, The semiconductor element characterized by the above-mentioned.
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