JP2009051200A - Method for manufacturing organic electroluminescence exposure head - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光印写ヘッド及びそれを用いた画像形成装置に関し、特に、有機ELアレイ等の発光素子アレイ又は光シャッター素子アレイの個々の素子に対応させてボールレンズを配置して各素子からの光束を感光体上に集光させる光印写ヘッドとそれを用いた画像形成装置に関するものである。 The present invention relates to an optical printing head and an image forming apparatus using the same, and in particular, a ball lens is arranged corresponding to each element of a light emitting element array such as an organic EL array or an optical shutter element array, and each element is arranged. The present invention relates to an optical printing head that collects the luminous flux on a photosensitive member and an image forming apparatus using the same.
従来、有機ELアレイを画像形成装置用の露光ヘッドとして用いるものが種々提案されている。関係するものをあげると次の通りである。 Conventionally, various types using an organic EL array as an exposure head for an image forming apparatus have been proposed. The related items are as follows.
特許文献1においては、ガラス等の絶縁性基板上に有機ELアレイを一括作製し、別体のドライバーICを組み合わせ、有機ELアレイの発光部を感光ドラム上に結像させるのに集光性ロッドレンズアレイを用いている。
In
特許文献2においては、複数列を持つワンチップ有機ELアレイを用いるもので、その発光部を感光ドラム上に結像させる光学系は不明である。なお、有機ELアレイのEL層は蒸着により堆積している。
In
特許文献3においては、基板上面にインオ交換法でマイクロレンズを作成するか、基板裏面にフォトレジストを用いる方法あるいはレプリカ法でマイクロレンズを作成し、そのマイクロレンズに位置合わせて共振器構造を持つ有機ELアレイを蒸着により堆積する。
In
特許文献4はアクティブマトリックス型有機EL表示体の製造方法に関するもので、薄膜トランジスタを有するガラス基板上に有機発光層をインクジェット法により形成するものである。
特許文献5においては、有機EL素子の正孔注入層、有機発光層を隔壁を設けてインクジェット法により塗布して形成するものである。
In
特許文献6においては、感光ドラム内部に発光層とその発光制御を行うTFT層を形成してプリンタを構成するものである。
In
また、有機ELアレイ以外に、LEDアレイあるいは液晶シャッターアレイを画像形成装置用の露光ヘッドとして用いることも種々提案されており、それらの場合も、LEDアレイの発光部あるいは液晶シャッターアレイのシャッター部からの光束を感光ドラム上に集光させるのに集光性ロッドレンズアレイやマイクロレンズアレイを用いるものが多く提案されている。
以上の従来技術において、有機ELアレイ等を電子写真方式等のプリンタの露光ヘッドに用いる場合、有機ELアレイ、LEDアレイの発光部あるいは液晶シャッターアレイのシャッター部からの光束を感光ドラム上に集光させるのに集光性ロッドレンズアレイを用いる場合は、光路長が長くなり大型化してしまい、また、集光性ロッドレンズは各発光部、各シャッター部に対して一対一に配置されないので周期的な光量むらが発生し、さらに、集光性ロッドレンズは製造方法上高度なためコストアップは避けられない。 In the above prior art, when an organic EL array or the like is used for an exposure head of an electrophotographic printer or the like, the light flux from the light emitting portion of the organic EL array, the LED array, or the shutter portion of the liquid crystal shutter array is condensed on the photosensitive drum. When a condensing rod lens array is used, the optical path length becomes long and the size increases, and the condensing rod lens is not arranged one-on-one with respect to each light emitting portion and each shutter portion, so that it is periodic. In addition, unevenness in the amount of light occurs, and the cost of the condensing rod lens is inevitable because of its advanced manufacturing method.
また、マイクロレンズアレイを用いるものの場合は、各マイクロレンズを各発光部、各シャッター部に対して一対一に配置するが、発光部又はシャッター部に対応するマイクロレンズでなくその隣等の対応しないマイクロレンズを経て対応しない画素位置に入射するクロストークが発生しがちで、解像力の低下等に繋がる問題がある。 In the case of using a microlens array, each microlens is arranged one-on-one with respect to each light emitting part and each shutter part. There is a tendency for crosstalk to be incident on pixel positions that do not correspond via the microlens, leading to a decrease in resolution and the like.
本発明は従来技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、有機ELアレイ、LEDアレイ等の発光素子アレイ又は液晶シャッターアレイ等の光シャッター素子アレイの個々の素子に対応させてマイクロレンズを配置する光印写ヘッドのクロストークを低減させて、十分な解像力、コントラストで各素子からの光束を感光体等の像担持体上に集光させるようにした小型の光印写ヘッドとそれを用いた画像形成装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems of the prior art, and the object thereof is to individual elements of a light emitting element array such as an organic EL array and an LED array, or an optical shutter element array such as a liquid crystal shutter array. A small-sized light that reduces the crosstalk of the optical printing head that arranges the microlens and correspondingly concentrates the light flux from each element on the image carrier such as a photoconductor with sufficient resolution and contrast. It is an object to provide a printing head and an image forming apparatus using the same.
上記目的を達成する本発明の第1の光印写ヘッドは、発光素子アレイの発光部からの変調光束あるいは光シャッター素子アレイのシャッター部を透過した変調光束を像担持体上に投射して像担持体に所定のパターンを形成する光印写ヘッドにおいて、前記発光素子アレイの発光部各々あるいは前記光シャッター素子アレイのシャッター部各々に対応した整列位置に所定厚の透明体を介して半球状マイクロレンズが配置されており、前記発光部又は前記シャッター部から対応する位置の半球状マイクロレンズに隣接する半球状マイクロレンズに入射した光がその半球状の屈折面で全反射されるかあるいは屈折されても前記像担持体に向かわないように前記透明体の厚さが設定されていることを特徴とするものである。 The first optical printing head of the present invention that achieves the above object projects a modulated light beam from a light emitting part of a light emitting element array or a modulated light beam transmitted through a shutter part of an optical shutter element array onto an image carrier. In an optical printing head for forming a predetermined pattern on a carrier, a hemispherical micro-transistor is arranged through a transparent body having a predetermined thickness at an alignment position corresponding to each light emitting section of the light emitting element array or each shutter section of the optical shutter element array. A lens is disposed, and light incident on the hemispherical microlens adjacent to the hemispherical microlens at the corresponding position from the light emitting unit or the shutter unit is totally reflected or refracted by the hemispherical refracting surface. However, the thickness of the transparent body is set so as not to face the image carrier.
本発明の第2の光印写ヘッドは、発光素子アレイの発光部からの変調光束あるいは光シャッター素子アレイのシャッター部を透過した変調光束を像担持体上に投射して像担持体に所定のパターンを形成する光印写ヘッドにおいて、前記発光素子アレイの発光部各々あるいは前記光シャッター素子アレイのシャッター部各々に対応した整列位置に所定厚の透明体を介して半球状マイクロレンズが配置されており、前記発光部又は前記シャッター部から対応する位置の半球状マイクロレンズに隣接する半球状マイクロレンズに入射した光の少なくとも一部がその半球状の屈折面で全反射するように前記透明体の厚さが設定され
ていることを特徴とするものである。
The second optical printing head of the present invention projects a modulated light beam from the light emitting part of the light emitting element array or a modulated light beam transmitted through the shutter part of the optical shutter element array onto the image carrier to give a predetermined amount to the image carrier. In the optical printing head for forming a pattern, a hemispherical microlens is arranged through a transparent body having a predetermined thickness at an alignment position corresponding to each light emitting section of the light emitting element array or each shutter section of the optical shutter element array. And at least part of the light incident on the hemispherical microlens adjacent to the hemispherical microlens at the corresponding position from the light emitting unit or the shutter unit is totally reflected by the hemispherical refracting surface. The thickness is set.
この第1、第2の光印写ヘッドにおいて、透明体の厚さは発光素子アレイの発光部の配列ピッチあるいは光シャッター素子アレイのシャッター部の配列ピッチの50%以下に設定されていることが望ましい。 In the first and second optical printing heads, the thickness of the transparent body is set to 50% or less of the arrangement pitch of the light emitting parts of the light emitting element array or the arrangement pitch of the shutter parts of the optical shutter element array. desirable.
本発明の第3の光印写ヘッドは、発光素子アレイの発光部からの変調光束あるいは光シャッター素子アレイのシャッター部を透過した変調光束を像担持体上に投射して像担持体に所定のパターンを形成する光印写ヘッドにおいて、前記発光素子アレイの発光部各々あるいは前記光シャッター素子アレイのシャッター部各々に対応した整列位置に、順に透明体とその透明体の屈折率より低い屈折率の低屈折率層とを介してマイクロレンズが配置されていることを特徴とするものである。 The third optical printing head of the present invention projects a modulated light beam from the light emitting part of the light emitting element array or a modulated light beam transmitted through the shutter part of the optical shutter element array onto the image carrier to give a predetermined amount to the image carrier. In the optical printing head for forming the pattern, the transparent body and the refractive index lower than the refractive index of the transparent body are sequentially arranged at the alignment positions corresponding to the light emitting sections of the light emitting element array or the shutter sections of the optical shutter element array. The microlens is arranged through the low refractive index layer.
この場合、低屈折率層が空気層であるか、あるいは、フッ化マグネシウム、シリカエアロゲル又はフッ素樹脂の何れかからなることが望ましい。 In this case, it is desirable that the low refractive index layer is an air layer, or is made of any one of magnesium fluoride, silica airgel, and fluororesin.
また、以上のマイクロレンズはガラス又はプラスチックから構成することができる。 The above microlenses can be made of glass or plastic.
また、以上のマイクロレンズには反射防止コーティングが施されていることが望ましい。 Moreover, it is desirable that the above microlens is provided with an antireflection coating.
第3の光印写ヘッドにおいて、マイクロレンズは半球レンズあるいはボールレンズから構成することができる。 In the third optical printing head, the microlens can be composed of a hemispherical lens or a ball lens.
本発明は、以上のような光印写ヘッドを像担持体に像を書き込むための露光ヘッドとして備えている画像形成装置を含むものであり、その1つとして、例えば、像担持体の周囲に帯電手段、露光ヘッド、現像手段、転写手段を配した画像形成ステーションを少なくとも2つ以上設け、転写媒体が各ステーションを通過することにより、カラー画像形成を行うタンデム方式のカラー画像形成装置がある。 The present invention includes an image forming apparatus provided with the above-described optical printing head as an exposure head for writing an image on the image carrier, and one of them is, for example, around the image carrier. There is a tandem type color image forming apparatus in which at least two image forming stations including a charging unit, an exposure head, a developing unit, and a transfer unit are provided, and a transfer medium passes through each station to form a color image.
本発明においては、発光部又はシャッター部から対応する位置の半球状マイクロレンズに隣接する半球状マイクロレンズに入射した光がその半球状の屈折面で全反射されるかあるいは屈折されても像担持体に向かわないように透明体の厚さが設定されているか、発光部又はシャッター部から対応する位置の半球状マイクロレンズに隣接する半球状マイクロレンズに入射した光の少なくとも一部がその半球状の屈折面で全反射するように透明体の厚さが設定されているか、あるいは、発光素子アレイの発光部各々あるいは光シャッター素子アレイのシャッター部各々に対応した整列位置に、順に透明体とその透明体の屈折率より低い屈折率の低屈折率層とを介してマイクロレンズが配置されているので、クロストーク光、迷光を減少させることができる。また、低屈折率層を介在させる場合には、クロストークを発生させないで、マイクロレンズと発光部あるいはシャッター部と間の距離を大きくすることができ、それによってマイクロレンズ倍率を下げることができるため、像担持体上のエネルギー密度が上がり、かつ、集光スポット径も小さくできるため、十分な解像力、コントラストを得ることができる。 In the present invention, even if light incident on the hemispherical microlens adjacent to the hemispherical microlens at the corresponding position from the light emitting unit or the shutter unit is totally reflected or refracted by the hemispherical refracting surface, the image is held. The thickness of the transparent body is set so as not to face the body, or at least part of the light incident on the hemispherical microlens adjacent to the hemispherical microlens at the corresponding position from the light emitting part or the shutter part is the hemispherical The thickness of the transparent body is set so as to be totally reflected by the refracting surface of the transparent body, or the transparent body and the transparent body in order at the alignment position corresponding to each light emitting section of the light emitting element array or each shutter section of the optical shutter element array. Since the microlens is arranged through a low refractive index layer having a refractive index lower than that of the transparent body, the crosstalk light and stray light can be reduced. It can be. In addition, when a low refractive index layer is interposed, it is possible to increase the distance between the microlens and the light emitting unit or the shutter unit without causing crosstalk, thereby reducing the microlens magnification. Since the energy density on the image carrier is increased and the diameter of the focused spot can be reduced, sufficient resolution and contrast can be obtained.
以下、本発明の光印写ヘッドとそれを用いた画像形成装置を実施例に基づいて説明する。 Hereinafter, an optical printing head of the present invention and an image forming apparatus using the same will be described based on embodiments.
図1は、本発明の第1の実施例の光印写ヘッドの構成を示す模式的な断面図であり、表面に一定周期で有機EL、LED等の発光部2あるいは液晶シャッター等のシャッター部
2が配置されて発光素子アレイ1又は光シャッター素子アレイ1が構成されている。光シャッター素子アレイ1の場合は、シャッター部2自体は発光しないが、背後に照明光源(バックライト)を配置することにより、シャッター部2は2次光源となるので、以下の説明では、特に断らない限り、光シャッター部2も発光部2と呼び、また、発光素子アレイ1、光シャッター素子アレイ1を共に含めて光変調素子アレイ1と呼ぶ。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of an optical printing head according to a first embodiment of the present invention, and a
本実施例においては、保護機能を有する透明体3を介して透明体3の反対側表面に、光変調素子アレイ1の各発光部2に一対一に対応した整列位置に半球レンズからなるマイクロレンズ4が接着固定配置されている。そして、各発光部2からの光束が透明体3を経てマイクロレンズ4により被投影体を構成する感光体(電子写真の場合)等の像担持体5上に所定の倍率で集光するように配置されている。
In the present embodiment, a microlens made of a hemispherical lens is arranged on the opposite surface of the
そして、透明体3の厚さを後記のように適当に選択することにより、発光部2に対応したマイクロレンズ4の屈折面(半球面)に入射する光○1はその対応するマイクロレンズ4によって像担持体5上に集光される。この集光光束によって像担持体5上に光変調素子アレイ1により発光された所定のラインパターンを書き込むことができる。
Then, by appropriately selecting the thickness of the
一方、発光部2から発光されて隣のマイクロレンズ4に入射する光の中、その発光部2に対応するマイクロレンズ4に近い光○2は隣のマイクロレンズ4の屈折面(半球面)に臨界角以上の入射角で入射して全反射され像担持体5には達しない。そのため、この光○2はクロストーク光にはならない。
On the other hand, among the light emitted from the
また、発光部2から発光されて隣のマイクロレンズ4に入射する光の中、その発光部2に対応するマイクロレンズ4と反対側に入射する光○3は隣のマイクロレンズ4の屈折面(半球面)で屈折されてさらにその隣のマイクロレンズ4に入射するため、像担持体5に達しない。したがって、この光○3もクロストーク光にはならない。
Of the light emitted from the
このような条件を満たすように、透明体3の厚さを選ぶことにより、画素間のクロストークが少ない印写が可能となる。
By selecting the thickness of the
以下、この実施例の具体的数値例を示す。 Hereinafter, specific numerical examples of this embodiment will be shown.
透明体3の屈折率:1.73
透明体3の厚さ:20μm
マイクロレンズ4の形状:半球で、直径80μm
マイクロレンズ4の屈折率:1.95
発光部2のピッチ:80μm
発光部2の大きさ:10μm角
マイクロレンズ4と像担持体5との距離:300μm
このような具体例における光路追跡図を図2に、その光量分布図を図3に示す。図2、図3からこの具体的数値例においては、クロストークがほとんどないことが明らかである。
Refractive index of the transparent body 3: 1.73
Thickness of the transparent body 3: 20 μm
Refractive index of the microlens 4: 1.95
Size of light emitting unit 2: 10 μm square Distance between
An optical path tracking diagram in such a specific example is shown in FIG. 2, and a light amount distribution diagram thereof is shown in FIG. It is clear from FIGS. 2 and 3 that there is almost no crosstalk in this specific numerical example.
この数値例において、透明体3の厚さが厚すぎて40μm以上になると、図4に示すようにクロストークが発生して解像力、コントラストが低下してしまう。そのため、透明体3の厚さは、発光部2の配列ピッチの50%以下、より好ましくは30%以下が望ましい。
In this numerical example, if the thickness of the
図5は、本発明の第2の実施例の光印写ヘッドの構成を示す模式的な断面図であり、本実施例においては、光変調素子アレイ1の表面に設けた透明体3と、光変調素子アレイ1
の各発光部2に対応して整列配置されたマイクロレンズ4との間に空気層6を介在させている。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the optical printing head according to the second embodiment of the present invention. In this embodiment, the
An
このように構成すると、発光部2に対応したマイクロレンズ4の屈折面(凸面)に入射しようとする光○1は空気層6を透過し、その対応するマイクロレンズ4によって像担持体5上に集光される。この集光光束によって像担持体5上に光変調素子アレイ1により発光された所定のラインパターンを書き込むことができる。
With this configuration, the light ○ 1 that is about to enter the refracting surface (convex surface) of the
一方、発光部2から発光されて隣のマイクロレンズ4に入射しようとする光の中、その発光部2に対応するマイクロレンズ4に近い光○2は隣のマイクロレンズ4の屈折面(凸面)に臨界角以上の入射角で入射して全反射され像担持体5には達しない。そのため、この光○2はクロストーク光にはならない。
On the other hand, among the light emitted from the
また、発光部2から発光されて隣のマイクロレンズ4に入射しようとする光の中、その発光部2に対応するマイクロレンズ4から離れる側に入射する光○3は、空気層6に臨界角以上の入射角で入射するため空気層6との境界で全反射されるため、像担持体5に達しない。したがって、この光○3もクロストーク光にはならない。
Of the light emitted from the
このように、発光部2とマイクロレンズ4の間の適当な位置に屈折率が透明体3より低い空気層6を介在させることにより、画素間のクロストークが少ない印写が可能となる。なお、空気層6を透明体3とマイクロレンズ4の間に設けるには、外枠で透明体3とマイクロレンズ4の間に空隙を設けるように固定してもよいし、液晶セルの基板間に空隙を設けるスペーサと同様のビーズ等を透明体3とマイクロレンズ4の基板との間に介在させるようにしてもよい。
Thus, by interposing the
以下、この実施例の具体的数値例を示す。 Hereinafter, specific numerical examples of this embodiment will be shown.
透明体3の屈折率:1.73
透明体3の厚さ:50μm
空気層6の厚さ:5μm
マイクロレンズ4の形状:半球で、直径80μm
マイクロレンズ4の屈折率:1.52
発光部2のピッチ:80μm
発光部2の大きさ:10μm角
マイクロレンズ4と像担持体5との距離:300μm
このような具体例における光路追跡図を図6に、その光量分布図を図7に示す。図6、図7からこの具体的数値例においては、クロストークがほとんどないことが明らかである。
Refractive index of the transparent body 3: 1.73
Refractive index of the microlens 4: 1.52
Size of light emitting unit 2: 10 μm square Distance between
FIG. 6 shows an optical path tracking diagram in such a specific example, and FIG. 7 shows a light amount distribution diagram thereof. It is clear from FIGS. 6 and 7 that there is almost no crosstalk in this specific numerical example.
比較例として、低屈折率層の空気層を用いずに、代わりに屈折率1.52の接着剤を用いた場合の光路追跡図を図8に示す。この場合は、クロストークが発生している。 As a comparative example, FIG. 8 shows an optical path tracking diagram in the case where an adhesive having a refractive index of 1.52 is used instead of an air layer of a low refractive index layer. In this case, crosstalk has occurred.
この実施例では、第1の実施例よりも透明体3の厚さを厚くしてもクロストークが発生しない。したがって、マイクロレンズ4による発光部2の像担持体5上での像の倍率を下げることが可能となり、集光性能が向上する。また、マイクロレンズ4の屈折率を下げることができ、マイクロレンズ4としてプラスチックレンズが使用できるようになる。
In this embodiment, crosstalk does not occur even if the thickness of the
空気層6の代わりにシリカエアロゲル(屈折率:1.03)等の低屈折率層を用いても同様の効果を得ることができる。
The same effect can be obtained by using a low refractive index layer such as silica airgel (refractive index: 1.03) instead of the
また、フッ化マグネシウム(MgF2 。屈折率:1.38)、フッ素樹脂(屈折率:1.34)等の屈折率1.3前後の物質を空気層6の代わりに用いた場合は、低屈折率層でクロストーク光を全反射させる効果は低下するが、角度の大きな光は全反射するため、迷光を減少させる効果がある。
In addition, when a substance having a refractive index of around 1.3 such as magnesium fluoride (MgF 2, refractive index: 1.38) or fluororesin (refractive index: 1.34) is used instead of the
図9は、本発明の第3の実施例の光印写ヘッドの構成を示す模式的な断面図であり、本実施例においては、ガラス製のボールレンズ7を光変調素子アレイ1の各発光部2に対応して整列配置しており、発光部2からの光束を対応する位置のボールレンズ7によって像担持体5上に所定の倍率で集光するようにしている。そして、クロストーク光を全反射させる作用の低屈折率層として、透明体3の表面に屈折率が1.34のフッ素樹脂のコート層8を設け、その上にボールレンズ7を透明接着剤9によって接着固定している。透明体3の屈折率は1.52、ボールレンズ7のガラスの屈折率は1.78である。図9に示すように、発光部2の正面のボールレンズ7に入射した光は像担持体5上に集光され、発光部2から大きな角度で出た光線はフッ素樹脂コート層8の界面で全反射されボールレンズ7に入らず、像担持体5に至らない。したがって、迷光が減少し印字品質が向上する。
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the optical printing head according to the third embodiment of the present invention. In this embodiment, a
ここで、ボールレンズ7とは、透明球体からなる単一正レンズであり、その透明体の屈折率、周囲の屈折率、半径で定まる焦点距離を持つものである。
Here, the
図10は、クロストーク光を全反射させのに空気層6、発光部2からの光束を像担持体5上に集光するマイクロレンズ10として透明基板11の両面に半球状のマイクロレンズ4をインクジェット法等で表裏で整列させて作成したものを用いる実施例を示している。透明体3と透明基板11の間にスペーサ12を介して空気層6を形成している。そのクロストーク、迷光減少作用は前記の実施例から明らかである。
FIG. 10 shows a
なお、以上の何れの実施例においても、マイクロレンズ4、7、10の表面に反射防止コーティング、帯電防止コーティングを施してもよい。
In any of the above embodiments, the surface of the
ここで、光変調素子アレイ1として使用可能な有機ELアレイの例を説明する。
Here, an example of an organic EL array that can be used as the light
この例の有機ELアレイ20は、図11の平面図に示すように、2列のアレイ31、31’が平行で相互の画素が千鳥状になるように配列されたもので、各アレイ31、31’は直線状に配置された多数の画素32からなり、各画素32の構成は同じで、有機EL発光部22とその有機EL発光部22の発光を制御するTFT33とからなる。
As shown in the plan view of FIG. 11, the
図12に1画素32の有機EL発光部22とTFT33とを含む断面図を示すが、その作製順に説明する。ガラス基板21上にまずTFT33を作製する。TFT33の作製方法を種々知られているが。例えば、ガラス基板21上に最初にシリコン酸化膜を堆積し、さらにアモルファスシリコン膜を堆積する。次に、このアモルファスシリコン膜に対してエキシマレーザ光を照射して結晶化を行い、チャネルとなるポリシリコン膜を形成する。このポリシリコン膜をパタニング後、ゲート絶縁膜を堆積し、さらに窒化タンタルからなるゲート電極を形成する。続いて、NチャンネルTFTのソース・ドレイン部をリンのイオン注入により、PチャンネルTFTのソース・ドレイン部をボロンのイオン注入によりそれぞれ形成する。イオン注入した不純物を活性化後、第1層間絶縁膜の堆積、第1コンタクトホールの開口、ソース線の形成、第2層間絶縁膜の堆積、第2コンタクトホールの開口、金属画素電極の形成を順次行い、TFT33のアレイが完成する(例えば、第8回電子ディスプレイ・フォーラム(2001.4.18)「高分子型有機ELディスプレイ」参照。)。ここで、この金属画素電極は、有機EL発光部22の陰極34となるもので、有機EL発光部22の反射層を兼用するものであり、Mg、Ag、Al、Li等の金属薄膜電極で形成される。
FIG. 12 shows a cross-sectional view including the organic EL
次いで、有機EL発光部22に対応する穴35を有し所定の高さの隔壁(バンク)29を形成する。この隔壁29は、特許文献7に開示されているように、フォトリソグラフィ法や印刷法等、任意の方法で作成することができる。例えば、リソグラフィ法を使用する場合は、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート等所定の方法でバンクの高さに合わせて有機材料を塗布し、その上にレジスト層を塗布する。そして、隔壁29形状に合わせてマスクを施し、レジストを露光・現像することにより隔壁29形状に合わせたレジストを残す。最後に隔壁材料をエッチングしてマスク以外の部分の隔壁材料を除去する。また、下層が無機物で上層が有機物で構成された2層以上でバンク(凸部)を形成してもよい。また、特許文献8に開示されているように、隔壁29を構成する材料としては、EL材料の溶媒に対し耐久性を有するものえあれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によりテフロン化できることから、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミド等の有機材料が好ましい。液状ガラス等の無機材料を下層にした積層隔壁であってもよい。また、隔壁29は、上記材料にカーボンブラック等を混入してブラックあるいは不透明にすることが望ましい。
Next, a partition wall (bank) 29 having a
次いで、有機ELの発光層用インク組成物を塗布する直前に、隔壁29を設けた基板を酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う。これにより例えば隔壁29を構成するポリイミド表面は撥水化、陰極34表面は親水化され、インクジェット液滴を微細にパターニングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。
Next, immediately before the organic EL light-emitting layer ink composition is applied, the substrate provided with the
次に、隔壁29の穴35内に発光層用のインク組成物をインクジェット方式プリント装置70のヘッド71から吐き出し、各画素の陰極34上にパターニング塗布を行う。塗布後、溶媒を除去し、熱処理して発光層36を形成する。
Next, the ink composition for the light emitting layer is discharged from the
なお、本発明で言うインクジェット方式とは、圧電素子等の機械的エネルギーを利用してインク組成物を吐き出すピエゾジェット方式、ヒータの熱エネルギーを利用して気泡を発生させ、その気泡の生成に基づいてインク組成物を吐き出すサーマル方式の何れでもよい((社)日本写真学会・日本画像学会合同出版委員会編「ファインイメージングとハードコピー」1999.1.7発行((株)コロナ社)p.43)。図13に、ピエゾジェット方式のヘッドの構成例を示す。インクジェット用ヘッド71は、例えばステンレス製のノズルプレート72と振動板73とを備え、両者は仕切部材(リザーバープレート)74を介して接合されている。ノズルプレート72と振動板73との間には、仕切部材74によって複数のインク室75と液溜り(不図示)とが形成されている。インク室75及び液溜りの内部はインク組成物で満たされており、インク室75と液溜りとは供給口を介して連通している。さらに、ノズルプレート72には、インク室75からインク組成物をジェト状に噴射するためのノズル孔76が設けられている。一方、インクジェット用ヘッド71には、液溜りにインク組成物を供給するためのインク導入孔が形成されている。また、振動板73のインク室75に対向する面と反対側の面上には、インク室75の位置に対応させて圧電素子78が接合されている。この圧電素子78は一対の電極79の間に位置し、通電すると圧電素子78が外側に突出するように撓曲する。これによってインク室75の容積が増大する。したがって、インク室75内に増大した容積分に相当するインク組成物が液溜りから供給口を介して流入する。次に、圧電素子78への通電を解除すると、圧電素子78と振動板73は共に元の形状に戻る。これにより空間75も元の容積に戻るためインク室75内部のインク組成物の圧力が上昇し、ノズル孔76から隔壁29を設けた基板に向けてインク組成物が噴出するものである。
The ink jet system referred to in the present invention is based on a piezo jet system that ejects an ink composition using mechanical energy of a piezoelectric element or the like, and bubbles are generated using the thermal energy of a heater, and the generation of the bubbles Any of the thermal methods for discharging the ink composition may be used (“Fine Imaging and Hard Copy” 1999.1.7 (Corona Co., Ltd.), edited by the Japan Photography Society and the Imaging Society of Japan Joint Publishing Committee). 43). FIG. 13 shows a configuration example of a piezo jet head. The
穴35内に発光層36を形成した後、正孔注入層用インク組成物を穴35内の発光層3
6上にインクジェットプリント装置70のヘッド71から吐き出し、各画素の発光層36上にパターニング塗布を行う。塗布後、溶媒を除去し、熱処理して正孔注入層37を形成する。
After forming the
6 is discharged from the
なお、以上の発光層36と正孔注入層37の順番は反対であってもよい。水分に対してより耐性のある層を表面側(基板21からより離れた側)に配置するようにすることが望ましい。
The order of the
また、発光層36と正孔注入層37は、上記のようにインクジェット方式でインク組成物を塗布することにより作成する代わりに、公知のスピンコート法、ディップ法あるいは蒸着法で作成することもできる。
Further, the
また、発光層36に用いる材料、正孔注入層37に用いる材料については、例えば、特許文献9、特許文献10等で公知の種々のものが利用でき、詳細は省く。
As materials used for the
隔壁29の穴35内に発光層36と正孔注入層37を順に形成した後、基板の表面全面に真空蒸着法により有機ELの陽極となる透明電極38を被着させ、正孔注入層37上に透明電極38が接続されるようにする。この透明電極38の材料としては、酸化すず膜、ITO膜、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物膜等があり、真空蒸着法以外に、フォトリソグラフィ法やスパッタ法、パイロゾル法等が採用できる。
A
このようにして、光変調素子アレイ1として使用可能な有機ELアレイ20が作製される。
In this way, the
さて、以上のような本発明のクロストークを低減させた光印写ヘッド101(この実施例は、光変調素子アレイ1として図11、図12の有機ELアレイ20を用い、図9の構成を採用している。)は、図14に側面図を示すように、光印写ヘッド101から作動距離WDだけ離れた面S上に、その画素配列と同じ配列パターンで各有機EL発光部22(光変調素子アレイ1の発光部2に対応する。)からの発光光束を集光する。したがって、光印写ヘッド101の長手方向に直交する方向にこの面Sを相対的に移動させ、かつ、光印写ヘッド101の各有機EL発光部22の発光をTFT33により制御することで、面S上に所定のパターンを記録することができる。
Now, the
そこで、本発明においては、上記のような有機ELアレイを用いた光印写ヘッド101を例えば電子写真方式のカラー画像形成装置の露光ヘッドに用いることにする。図15は、本発明の同様な4個の光印写ヘッド101K、101C、101M、101Yを対応する同様の4個の感光体ドラム41K、41C、41M、41Yの露光位置にそれぞれ配置したタンデム方式のカラー画像形成装置の1例の全体の概略構成を示す正面図である。図15に示すように、この画像形成装置は、駆動ローラ51と従動ローラ52とテンションローラ53とでテンションを加えて張架されて、図示矢印方向(反時計方向)へ循環駆動される中間転写ベルト50を備え、この中間転写ベルト50に対して所定間隔で配置された4個の像担持体としての外周面に感光層を有する感光体41K、41C、41M、41Yが配置される。符号の後に付加されたK、C、M、Yはそれぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエローを意味し、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエロー用の感光体であることを示す。他の部材についても同様である。感光体41K、41C、41M、41Yは中間転写ベルト50の駆動と同期して図示矢印方向(時計方向)へ回転駆動されるが、各感光体41(K、C、M、Y)の周囲には、それぞれ感光体41(K、C、M、Y)の外周面を一様に帯電させる帯電手段(コロナ帯電器)42(K、C、M、Y)と、この帯電手段42(K、C、M、Y)により一様に帯電させられた外周面を感光体41(K、C、M、Y)の回転に同期して順次ライン走査する本発明の上記のような有機ELアレイを用いた光
印写ヘッド101(K、C、M、Y)と、この光印写ヘッド101(K、C、M、Y)で形成された静電潜像に現像剤であるトナーを付与して可視像(トナー像)とする現像装置44(K、C、M、Y)と、この現像装置44(K、C、M、Y)で現像されたトナー像を一次転写対象である中間転写ベルト50に順次転写する転写手段としての一次転写ローラ45(K、C、M、Y)と、転写された後に感光体41(K、C、M、Y)の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニング装置46(K、C、M、Y)とを有している。
Therefore, in the present invention, the
ここで、各光印写ヘッド101(K、C、M、Y)は、対応する感光体41(K、C、M、Y)の表面から作動距離WDだけ離れて、各光印写ヘッド101(K、C、M、Y)のアレイ方向が感光体ドラム41(K、C、M、Y)の母線に沿うように設置される。そして、各光印写ヘッド101(K、C、M、Y)の発光エネルギーピーク波長と感光体41(K、C、M、Y)の感度ピーク波長とは略一致するように設定されている。
Here, each optical printing head 101 (K, C, M, Y) is separated from the surface of the corresponding photosensitive member 41 (K, C, M, Y) by the working distance WD, and each
現像装置44(K、C、M、Y)は、例えば、現像剤として非磁性一成分トナーを用いるもので、その一成分現像剤を例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に付着した現像剤の膜厚を規制ブレードで規制し、その現像ローラを感光体41(K、C、M、Y)に接触あるいは押厚させて感光体41(K、C、M、Y)の電位レベルに応じて現像剤を付着させることによりトナー像として現像するものである。 The developing device 44 (K, C, M, Y) uses, for example, a non-magnetic one-component toner as a developer. The film thickness of the developed developer is regulated by a regulation blade, and the potential of the photoreceptor 41 (K, C, M, Y) is adjusted by bringing the developing roller into contact with or pushing the photoreceptor 41 (K, C, M, Y). The toner image is developed by attaching a developer according to the level.
このような4色の単色トナー像形成ステーションにより形成された黒、シアン、マゼンタ、イエローの各トナー像は、一次転写ローラ45(K、C、M、Y)に印加される一次転写バイアスにより中間転写ベルト50上に順次一次転写され、中間転写ベルト50上で順次重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二次転写ローラ66において用紙等の記録媒体Pに二次転写され、定着部である定着ローラ対61を通ることで記録媒体P上に定着され、排紙ローラ対62によって、装置上部に形成された排紙トレイ68上へ排出される。
The black, cyan, magenta, and yellow toner images formed by the four-color single-color toner image forming station are intermediated by the primary transfer bias applied to the primary transfer roller 45 (K, C, M, Y). The toner image, which is sequentially primary transferred onto the
なお、図15中、63は多数枚の記録媒体Pが積層保持されている給紙カセット、64は給紙カセット63から記録媒体Pを一枚ずつ給送するピックアップローラ、65は二次転写ローラ66の二次転写部への記録媒体Pの供給タイミングを規定するゲートローラ対、66は中間転写ベルト50との間で二次転写部を形成する二次転写手段としての二次転写ローラ、67は二次転写後に中間転写ベルト50の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニングブレードである。
In FIG. 15,
以上、本発明の光印写ヘッドとそれを用いた画像形成装置を実施例に基づいて説明したが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能である。 The optical printing head of the present invention and the image forming apparatus using the same have been described based on the embodiments. However, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications can be made.
以上の説明から明らかなように、本発明の光印写ヘッドとそれを用いた画像形成装置によると、発光部又はシャッター部から対応する位置の半球状マイクロレンズに隣接する半球状マイクロレンズに入射した光がその半球状の屈折面で全反射されるかあるいは屈折されても像担持体に向かわないように透明体の厚さが設定されているか、発光部又はシャッター部から対応する位置の半球状マイクロレンズに隣接する半球状マイクロレンズに入射した光の少なくとも一部がその半球状の屈折面で全反射するように透明体の厚さが設定されているか、あるいは、発光素子アレイの発光部各々あるいは光シャッター素子アレイのシャッター部各々に対応した整列位置に、順に透明体とその透明体の屈折率より低い屈折率の低屈折率層とを介してマイクロレンズが配置されているので、クロストーク光、迷光を減少させることができる。また、低屈折率層を介在させる場合には、クロストークを発生させないで、マイクロレンズと発光部あるいはシャッター部と間の距離を大きくすることができ、それによってマイクロレンズ倍率を下げることができるため、像担持体上のエ
ネルギー密度が上がり、かつ、集光スポット径も小さくできるため、十分な解像力、コントラストを得ることができる。
As is apparent from the above description, according to the optical printing head of the present invention and the image forming apparatus using the same, the light is incident on the hemispherical microlens adjacent to the hemispherical microlens at the corresponding position from the light emitting unit or the shutter unit. The thickness of the transparent body is set so that the reflected light is totally reflected by the hemispherical refracting surface or is not refracted toward the image carrier, or the hemisphere at the corresponding position from the light emitting part or the shutter part. The thickness of the transparent body is set so that at least part of the light incident on the hemispherical microlens adjacent to the cylindrical microlens is totally reflected by the hemispherical refractive surface, or the light emitting part of the light emitting element array At each of the alignment positions corresponding to each of the shutter portions of the optical shutter element array, the transparent body and a low refractive index layer having a refractive index lower than the refractive index of the transparent body are sequentially provided. Since Rorenzu is arranged, it can be reduced crosstalk light, stray light. In addition, when a low refractive index layer is interposed, it is possible to increase the distance between the microlens and the light emitting unit or the shutter unit without causing crosstalk, thereby reducing the microlens magnification. Since the energy density on the image carrier is increased and the diameter of the focused spot can be reduced, sufficient resolution and contrast can be obtained.
1…光変調素子アレイ(発光素子アレイ、光シャッター素子アレイ)
2…発光部(シャッター部)
3…透明体
4…マイクロレンズ
5…像担持体
6…空気層
7…ボールレンズ
8…フッ素樹脂コート層
9…透明接着剤
10…マイクロレンズ
11…透明基板
12…スペーサ
20…有機ELアレイ
21…ガラス基板
22…有機EL発光部
23…透明部材
24…透明接着剤(紫外線硬化型、熱硬化型)
25…遮光パターン層
29…隔壁(バンク)
31、31’…アレイ
32…画素
33…TFT
34…陰極
35…穴
36…発光層
37…正孔注入層
38…透明電極
41(K、C、M、Y)…感光体ドラム
42(K、C、M、Y)…帯電手段(コロナ帯電器)
44(K、C、M、Y)…現像装置
45(K、C、M、Y)…一次転写ローラ
46(K、C、M、Y)…クリーニング装置
50…中間転写ベルト
51…駆動ローラ
52…従動ローラ
53…テンションローラ
61…定着ローラ対
62…排紙ローラ対
63…給紙カセット
64…ピックアップローラ
65…ゲートローラ対
66…二次転写ローラ
67…クリーニングブレード
68…排紙トレイ
70…インクジェット方式プリント装置
71…ヘッド
72…ノズルプレート
73…振動板
74…仕切部材(リザーバープレート)
75…インク室
76…ノズル孔
78…圧電素子
79…電極
101(K、C、M、Y)…有機ELアレイを用いた光印写ヘッド
S…面
P…記録媒体
1. Light modulation element array (light emitting element array, optical shutter element array)
2. Light emitting part (shutter part)
DESCRIPTION OF
25 ... Light-shielding
31, 31 '...
34 ...
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