JP2009034697A

JP2009034697A - Laser machining apparatus

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Publication number: JP2009034697A
Application number: JP2007199347A
Authority: JP
Inventors: Masatoshi Kawai; 正寿河合
Original assignee: Sunx Ltd
Current assignee: Panasonic Industrial Devices SUNX Co Ltd
Priority date: 2007-07-31
Filing date: 2007-07-31
Publication date: 2009-02-19
Anticipated expiration: 2027-07-31
Also published as: JP4971901B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser machining apparatus capable of detecting fuse break at an early stage. <P>SOLUTION: The laser machining apparatus 1 comprises a laser beam source 10 for emitting laser beams 11, mirrors 21X, 21Y for deflecting the laser beams 11, a drive motor with the mirrors mounted on the rotary shaft thereof, a control means 30 for outputting the drive signal V1 corresponding to each position on a workpiece W, and a drive means 42 which has a feedback amplification circuit 44 provided with an operation amplifier 46 where the drive signal V1 is input and applies the drive current I corresponding to the output of the feedback amplification circuit 44 to the drive motor 40. A fuse 52 is provided to the common line L3 of a signal path L1 between the feedback amplification circuit and the drive motor with the feedback path L2 of the feedback amplification circuit. The laser machining apparatus is provided with a detection means 30 which detects the fuse break on the basis of the voltage at the point B between the feedback amplification circuit and the fuse. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガルバノスキャニング方式のレーザ加工装置に関する。 The present invention relates to a galvano scanning laser processing apparatus.

レーザ加工装置には、レーザ光源からのレーザ光を偏向するためのガルバノミラーを備えるガルバノスキャニング方式を採用したものがある。これは、駆動モータの回転軸にミラーを取り付けて構成されたガルバノスキャナと、駆動手段と、制御手段とを備える。制御手段は加工対象物上の各位置に対応した駆動信号を駆動手段に与える。駆動手段は、上記駆動信号を増幅回路にて増幅し、その増幅後の駆動信号に応じた電流を上記駆動モータに流してミラーの回転角度を制御する。
ここで、従来から、上記増幅回路の出力端と駆動モータとの間に回路保護のためのヒューズを設けるとともに、ヒューズの両端電圧差を所定の電圧と比較することによりヒューズの断線を検知する技術がある（特許文献１参照）。
特開平９−３８７８７号公報 Some laser processing apparatuses employ a galvano scanning method including a galvano mirror for deflecting laser light from a laser light source. This includes a galvano scanner configured by attaching a mirror to the rotation shaft of the drive motor, drive means, and control means. The control means gives a drive signal corresponding to each position on the workpiece to the drive means. The drive means amplifies the drive signal by an amplifier circuit, and controls the rotation angle of the mirror by flowing a current corresponding to the amplified drive signal to the drive motor.
Here, conventionally, a fuse for protecting a circuit is provided between the output terminal of the amplifier circuit and the drive motor, and a disconnection of the fuse is detected by comparing a voltage difference between both ends of the fuse with a predetermined voltage. (See Patent Document 1).
JP-A-9-38787

確かに、上記従来の技術では、駆動手段に駆動信号が入力されている間にヒューズが断線した場合には、ヒューズの両端電圧差が所定の電圧を超えるためヒューズの断線を検知することができる。しかし、駆動手段に駆動信号が入力される前に既にヒューズが断線している場合にはヒューズの両端電圧差がほとんど生じない。即ち、加工開始指令をして駆動信号が駆動手段に与えられない限りヒューズの断線を検知することができないという問題があった。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、その目的は、ヒューズの断線を早期に検知することが可能なレーザ加工装置を提供するところにある。 Certainly, in the above conventional technique, if the fuse is disconnected while the drive signal is being input to the driving means, the fuse disconnection can be detected because the voltage difference across the fuse exceeds a predetermined voltage. . However, if the fuse is already disconnected before the drive signal is input to the drive means, there is almost no voltage difference across the fuse. That is, there has been a problem that the disconnection of the fuse cannot be detected unless a machining start command is given and a drive signal is given to the drive means.
The present invention has been completed based on the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a laser processing apparatus capable of detecting a disconnection of a fuse at an early stage.

上記の目的を達成するための手段として、第１の発明に係るレーザ加工装置は、レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レーザ光を偏向するミラーと、前記ミラーが回転軸に取り付けられた駆動モータと、加工対象物上の各位置に対応した駆動信号を出力する制御手段と、前記駆動信号が入力されるオペアンプを備えて構成された帰還増幅回路を有し、当該帰還増幅回路の出力に応じた駆動電流を前記駆動モータに流す駆動手段と、を備えるレーザ加工装置であって、前記オペアンプ及び前記駆動モータの間の信号経路と、前記オペアンプの帰還経路との共通ラインにヒューズを設け、前記オペアンプと前記ヒューズとの間の点の電位に基づき前記ヒューズの断線を検知する検知手段を備える。
本発明によれば、帰還増幅回路に駆動信号が入力されている間にヒューズが断線したときには、オペアンプとヒューズとの間の点の電圧がヒューズの断線前に比べて大きく変化するため、この変化に基づきヒューズの断線を検知することができる。また、帰還増幅回路に駆動信号が入力される前に既にヒューズが断線しているときには、オペアンプの入力端子間のオフセット電圧によってオペアンプとヒューズとの間の点の電圧がやはりヒューズの断線前に比べて大きく変化するから、この変化に基づきヒューズの断線を検知することができる。即ち、帰還増幅回路に駆動信号が入力される前であってもヒューズの断線を早期に検知することができる。 As means for achieving the above object, a laser processing apparatus according to a first invention includes a laser light source that emits laser light, a mirror that deflects the laser light, and a drive in which the mirror is attached to a rotating shaft. A feedback amplification circuit configured to include a motor, a control unit that outputs a drive signal corresponding to each position on the workpiece, and an operational amplifier to which the drive signal is input; A laser processing apparatus including a driving unit configured to flow a corresponding driving current to the driving motor, wherein a signal path between the operational amplifier and the driving motor and a feedback line of the operational amplifier are provided with a fuse, Detection means for detecting disconnection of the fuse based on a potential at a point between the operational amplifier and the fuse.
According to the present invention, when the fuse is disconnected while the drive signal is being input to the feedback amplifier circuit, the voltage at the point between the operational amplifier and the fuse greatly changes compared to before the fuse is disconnected. Based on this, it is possible to detect the disconnection of the fuse. In addition, when the fuse is already disconnected before the drive signal is input to the feedback amplifier circuit, the offset voltage between the input terminals of the operational amplifier causes the voltage at the point between the operational amplifier and the fuse to be compared with that before the fuse is disconnected. Therefore, it is possible to detect the disconnection of the fuse based on this change. That is, even before the drive signal is input to the feedback amplifier circuit, the disconnection of the fuse can be detected at an early stage.

第２の発明は、第１の発明のレーザ加工装置であって、前記検知手段は、前記ヒューズの両端電圧差に基づき前記ヒューズの断線を検知する構成である。
本発明によれば、ヒューズの両端電圧差に基づきヒューズの断線を検知する構成であり、ヒューズの断線を直接的に検知することができる。 A second invention is the laser processing apparatus according to the first invention, wherein the detection means detects a disconnection of the fuse based on a voltage difference between both ends of the fuse.
According to the present invention, the fuse disconnection is detected based on the voltage difference between both ends of the fuse, and the fuse disconnection can be directly detected.

本発明によれば、ヒューズの断線を早期に検知することができる。 According to the present invention, the disconnection of the fuse can be detected at an early stage.

本発明の一実施形態を図１〜図５によって説明する。
（レーザマーキング装置の全体構成）
図１は、本実施形態に係るレーザマーキング装置１（レーザ加工装置の一例）の全体構成図である。同図中、符号１０は、レーザ光源であって、ここから出射されたレーザ光１１は、ガルバノスキャナ２０によって向きが変更されて印字エリアＥ上に照射される。ガルバノスキャナ２０は、一対のガルバノミラー２１Ｘ，２１Ｙ（ミラーの一例）と収束レンズ２２を備えており、一方のガルバノミラー２１Ｘはガルバノ駆動装置２３Ｘによって縦方向に反射角度を変移させることができ、他方のガルバノミラー２１Ｙはガルバノ駆動装置２３Ｙによって横方向に反射角度を変移させることができる。これら両ガルバノミラー２１Ｘ，２１Ｙによりレーザ光１１は直交する２方向において向きが調整可能とされ、その結果、レーザ光１１の照射点が加工対象物Ｗ上の印字エリアＥ内のいずれの位置にも移動可能となる。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
(Whole structure of laser marking device)
FIG. 1 is an overall configuration diagram of a laser marking device 1 (an example of a laser processing device) according to the present embodiment. In the figure, reference numeral 10 denotes a laser light source, and a laser beam 11 emitted from the laser light source 11 is irradiated on the print area E with its direction changed by the galvano scanner 20. The galvano scanner 20 includes a pair of galvanometer mirrors 21X and 21Y (an example of a mirror) and a converging lens 22. One galvanometer mirror 21X can shift a reflection angle in the vertical direction by a galvano driving device 23X, and the other The galvano mirror 21Y can shift the reflection angle in the lateral direction by the galvano driving device 23Y. The direction of the laser beam 11 can be adjusted in two directions orthogonal to each other by these galvanometer mirrors 21X and 21Y. As a result, the irradiation point of the laser beam 11 is located at any position in the print area E on the workpiece W. It becomes movable.

上記ガルバノスキャナ２０の各ガルバノ駆動装置２３Ｘ，２３Ｙは駆動制御部３０（制御手段の一例）により制御される。この駆動制御部３０には図示しないコンソールが接続され、マーキングしたい所望の文字・記号・図形等（以下「文字等」という）をそのコンソールに設定すると、駆動制御部３０がそれに応じた駆動信号Ｖ1 をガルバノスキャナ２０に与える。より詳細には、駆動制御部３０には文字等のフォントデータを記憶したメモリが内蔵され、マーキングすべき文字等が設定されるとそのフォントデータに基づき、その文字等を構成する線分のデータが読み出され、これに基づいて図示しないＣＰＵが印字エリアＥへの照射位置を決定する座標データを生成し、Ｄ／Ａ変換して駆動信号Ｖ1 としてガルバノスキャナ２０の各ガルバノ駆動装置２３Ｘ，２３Ｙに与えるようになっている。 The galvano drive devices 23X and 23Y of the galvano scanner 20 are controlled by a drive control unit 30 (an example of control means). A console (not shown) is connected to the drive control unit 30. When a desired character, symbol, figure or the like (hereinafter referred to as "characters") to be marked is set in the console, the drive control unit 30 drives the drive signal V1 accordingly. To the galvano scanner 20. More specifically, the drive control unit 30 has a built-in memory storing font data such as characters. When a character to be marked is set, the line segment data constituting the character or the like is set based on the font data. Based on this, a CPU (not shown) generates coordinate data for determining the irradiation position on the print area E, and performs D / A conversion to drive each signal as a drive signal V1 for each galvano drive device 23X, 23Y of the galvano scanner 20. To give to.

（ガルバノ駆動装置の電気的構成）
各ガルバノミラー２１Ｘ，２１Ｙ毎に設けられた各ガルバノ駆動装置２３Ｘ，２３Ｙの電気的構成の主要部は共通しており、図２に示したように構成されている。同図において、駆動モータ４０は、その回転軸４０Ａをケーシング４０Ｂに対して回動可能に備え、その回転軸４０Ａには前記したガルバノミラー２１Ｘ（２１Ｙ）が固定されている。 (Electric configuration of galvano drive)
The main parts of the electrical configuration of each galvano drive device 23X, 23Y provided for each galvanometer mirror 21X, 21Y are common, and are configured as shown in FIG. In the figure, the drive motor 40 is provided with a rotating shaft 40A that can rotate with respect to a casing 40B, and the galvanometer mirror 21X (21Y) is fixed to the rotating shaft 40A.

図２において、符号４０Ｃは、駆動モータ４０を回動させるための駆動コイルであって、例えば、駆動コイル４０Ｃに流される駆動電流Ｉの大きさ及び向きに対応して、ガルバノミラー２１Ｘ（２１Ｙ）が所定の角度に回動される。 In FIG. 2, reference numeral 40C denotes a drive coil for rotating the drive motor 40. For example, the galvano mirror 21X (21Y) corresponds to the magnitude and direction of the drive current I flowing through the drive coil 40C. Is rotated to a predetermined angle.

各ガルバノ駆動装置２３Ｘ，２３Ｙに備えられた駆動回路４２（駆動手段の一例）は、主として駆動制御アンプ４３、非反転増幅器４４（帰還増幅回路の一例）を備え、駆動制御部３０から出力されＤ／Ａ変換された駆動信号Ｖ1 を増幅して、前記駆動コイル４０Ｃに与える駆動電流Ｉを生成する。 A drive circuit 42 (an example of drive means) provided in each of the galvano drive devices 23X and 23Y mainly includes a drive control amplifier 43 and a non-inverting amplifier 44 (an example of a feedback amplifier circuit), and is output from the drive control unit 30 as D The / A converted drive signal V1 is amplified to generate a drive current I applied to the drive coil 40C.

具体的には、駆動制御部３０からの駆動信号Ｖ１は駆動制御アンプ４３を介して、非反転増幅器４４に与えられる。非反転増幅器４４はオペアンプ４６を備え、このオペアンプ４６の出力端子と負入力端子との間の負帰還経路Ｌ２に帰還抵抗４７が設けられている。また、このオペアンプ４６の正入力端子に駆動制御アンプ４３からの信号Ｖ２が与えられる。 Specifically, the drive signal V 1 from the drive control unit 30 is given to the non-inverting amplifier 44 via the drive control amplifier 43. The non-inverting amplifier 44 includes an operational amplifier 46, and a feedback resistor 47 is provided in a negative feedback path L2 between the output terminal and the negative input terminal of the operational amplifier 46. The signal V 2 from the drive control amplifier 43 is given to the positive input terminal of the operational amplifier 46.

非反転増幅器４４の出力とグランドラインとの間には、上記駆動モータ４０の駆動コイル４０Ｃ、及び、電流測定回路５０が設けられている。従って、駆動コイル４０Ｃには、非反転増幅器４４の出力電圧に応じた駆動電流Ｉが流れることになる。そして、その駆動電流Ｉが電流測定回路５０にてＩ／Ｖ変換されアンプ５１にて増幅されて、測定信号Ｖ３として上記駆動制御アンプ４３の入力側にフィードバックされる。これにより回転軸４０Ａの回動動作（回動速度）の安定化が図られている。 A drive coil 40C of the drive motor 40 and a current measurement circuit 50 are provided between the output of the non-inverting amplifier 44 and the ground line. Accordingly, the drive current I corresponding to the output voltage of the non-inverting amplifier 44 flows through the drive coil 40C. The drive current I is I / V converted by the current measurement circuit 50, amplified by the amplifier 51, and fed back to the input side of the drive control amplifier 43 as the measurement signal V3. As a result, the rotation operation (rotation speed) of the rotation shaft 40A is stabilized.

さて、本実施形態の駆動回路４２には回路保護（特に駆動コイル４０Ｃの断線保護）のためにヒューズ５２が設けられているが、このヒューズ５２は、非反転増幅器４４と駆動コイル４０Ｃとの間の駆動電流経路Ｌ１（信号経路の一例）と、非反転増幅器４４の負帰還経路Ｌ２との共通ラインＬ３上に設けられている。また、ヒューズ５２の両端電圧差は差動アンプ５３を介して増幅され、検知信号Ｖ４として駆動制御部３０に与えられる。駆動制御部３０は、次に示すように、受けた検知信号Ｖ４に基づきヒューズ５２の断線を検知する。このとき駆動制御部３０は検知手段として機能する。 Now, the drive circuit 42 of this embodiment is provided with a fuse 52 for circuit protection (particularly protection against disconnection of the drive coil 40C). This fuse 52 is provided between the non-inverting amplifier 44 and the drive coil 40C. Drive current path L1 (an example of a signal path) and a negative feedback path L2 of the non-inverting amplifier 44 are provided on a common line L3. Further, the voltage difference between both ends of the fuse 52 is amplified through the differential amplifier 53 and is supplied to the drive control unit 30 as the detection signal V4. The drive control unit 30 detects the disconnection of the fuse 52 based on the received detection signal V4 as shown below. At this time, the drive control unit 30 functions as detection means.

（ヒューズ断線の検知）
以下の説明では、図２において、非反転増幅器４４の入力Ａの電圧を「ＶＡ」、非反転増幅器４４とヒューズ５２との間の点Ｂの電圧（非反転増幅器４４の出力電圧）を「ＶＢ」、ヒューズ５２と駆動コイル４０Ｃとの間の点Ｃの電圧を「ＶＣ」とする。 (Detection of blown fuse)
In the following description, in FIG. 2, the voltage at the input A of the non-inverting amplifier 44 is “VA”, and the voltage at the point B between the non-inverting amplifier 44 and the fuse 52 (the output voltage of the non-inverting amplifier 44) is “VB”. The voltage at the point C between the fuse 52 and the drive coil 40C is “VC”.

（１）駆動信号の入力中のヒューズ断線
レーザマーキング装置１が起動され、作業者によるマーキング指令により駆動制御部３０から駆動信号Ｖ１が駆動回路４２に与えられているときに、図３に示すように、非反転増幅器４４の出力電圧ＶＢは、入力電圧ＶＡの電圧値（Ｖin）を非反転増幅器４４の増幅率ｋに応じて増幅した値（ｋＶin）になっている。このとき点Ｃの電圧は出力電圧ＶＢとほぼ同じ（厳密に言えばヒューズ５２での電圧降下分低下した電圧差があるが、この電圧差はほとんど無視できる）を示す。 (1) Fuse Disconnection During Input of Drive Signal When the laser marking device 1 is activated and the drive signal V1 is given to the drive circuit 42 from the drive control unit 30 by the marking command by the operator, as shown in FIG. In addition, the output voltage VB of the non-inverting amplifier 44 is a value (kVin) obtained by amplifying the voltage value (Vin) of the input voltage VA according to the amplification factor k of the non-inverting amplifier 44. At this time, the voltage at the point C is substantially the same as the output voltage VB (strictly speaking, there is a voltage difference reduced by the voltage drop at the fuse 52, but this voltage difference is almost negligible).

この駆動信号Ｖ１の入力中にヒューズ５２が断線すると、非反転増幅器４４の負帰還経路Ｌ２が開放するため、入力電圧ＶＡがオペアンプ４６の開放ゲインに応じて増幅されることになり、出力電圧ＶＢは、このオペアンプ４６に与えられている電源電圧Ｖ０に達する。一方、点Ｃの電圧Ｖは、ヒューズ５２の断線直後、駆動コイル４０Ｃによる逆起電力によって一時的に上昇し、その後略ゼロＶに低下していく。従って、ヒューズ５２の断線直後、及び、点Ｃの電圧Ｖが略ゼロに低下したときに、ヒューズ５２の両端間電圧（＝｜ＶＢ−ＶＣ｜）が所定値を超えることになり、駆動制御部３０はヒューズ５２の断線と判定し、例えば駆動信号Ｖ１の出力を停止する。 If the fuse 52 is disconnected while the drive signal V1 is being input, the negative feedback path L2 of the non-inverting amplifier 44 is opened, so that the input voltage VA is amplified according to the open gain of the operational amplifier 46, and the output voltage VB Reaches the power supply voltage V0 applied to the operational amplifier 46. On the other hand, immediately after the disconnection of the fuse 52, the voltage V at the point C temporarily increases due to the counter electromotive force generated by the drive coil 40C, and then decreases to substantially zero V. Therefore, immediately after the disconnection of the fuse 52 and when the voltage V at the point C drops to substantially zero, the voltage across the fuse 52 (= | VB−VC |) exceeds a predetermined value, and the drive control unit 30 determines that the fuse 52 is disconnected, and stops the output of the drive signal V1, for example.

（２）駆動信号の入力前のヒューズ断線
次に、レーザマーキング装置１を起動できたが、作業者による上記マーキング指令前にヒューズ５２が断線している。或いは、上記（１）の駆動信号Ｖ１の入力中にヒューズ５２が断線し、一旦駆動信号Ｖ１の出力が停止された後に、作業者がレーザマーキング装置１を再起動することもある。 (2) Fuse disconnection before input of drive signal Next, the laser marking device 1 was activated, but the fuse 52 was disconnected before the marking command by the operator. Alternatively, the operator may restart the laser marking device 1 after the fuse 52 is disconnected during the input of the drive signal V1 of (1) and the output of the drive signal V1 is once stopped.

ここで、仮に、従来構成と同様、ヒューズ５２を、共通ラインＬ３ではない駆動電流経路Ｌ１上（オペアンプ４６の出力端）に設けた場合、図４に示すように、マーキング指令がされ駆動信号Ｖ１が駆動制御部３０から出力されない限り、入力電圧ＶＡ、出力電圧ＶＢ及びＣ点電圧ＶＣはともにゼロであり、駆動制御部３０はヒューズ５２の断線を検出できない。その後、マーキング指令により駆動信号Ｖ１が駆動制御部３０から出力されると、出力電圧ＶＢが非反転増幅器４４によって増幅された値となり、これによりヒューズ５２の両端間電圧が所定値を超えることになるから駆動制御部３０はヒューズ５２の断線を検知できるようになる。即ち、従来の構成ではレーザマーキング装置１に電源が投入されてもマーキング指令がされない限りヒューズ５２の断線を検知することができない。 Here, if the fuse 52 is provided on the drive current path L1 (the output terminal of the operational amplifier 46) that is not the common line L3 as in the conventional configuration, a marking command is issued and the drive signal V1 as shown in FIG. Is not output from the drive control unit 30, the input voltage VA, the output voltage VB, and the C point voltage VC are all zero, and the drive control unit 30 cannot detect disconnection of the fuse 52. Thereafter, when the drive signal V1 is output from the drive control unit 30 according to the marking command, the output voltage VB becomes a value amplified by the non-inverting amplifier 44, and thereby the voltage across the fuse 52 exceeds a predetermined value. Therefore, the drive control unit 30 can detect the disconnection of the fuse 52. That is, in the conventional configuration, even if the laser marking device 1 is turned on, the disconnection of the fuse 52 cannot be detected unless a marking command is issued.

これに対して、本実施形態では、上述したようにヒューズ５２は共通ラインＬ３上に設けられている。この場合、入力電圧ＶＡ及びＣ点電圧ＶＣは略ゼロのままである。しかし、ヒューズ５２が断線すると非反転増幅器４４の負帰還経路Ｌ２が開放となるため、オペアンプ４６の入力端子間のオフセット電圧が開放ゲインに応じて増幅されることになり、出力電圧ＶＢは、このオペアンプ４６に与えられている電源電圧Ｖ０に達する。従って、ヒューズ５２の両端間電圧（＝｜ＶＢ−ＶＣ｜）が所定値を超えることになり、駆動制御部３０はヒューズ５２の断線として検知することができる。そして、駆動制御部３０はこのヒューズ５２の断線検知状態が解消されない限り、マーキング指令がされても駆動信号Ｖ１を出力しない強制停止を維持する。 On the other hand, in the present embodiment, as described above, the fuse 52 is provided on the common line L3. In this case, the input voltage VA and the point C voltage VC remain substantially zero. However, since the negative feedback path L2 of the non-inverting amplifier 44 is opened when the fuse 52 is disconnected, the offset voltage between the input terminals of the operational amplifier 46 is amplified according to the open gain, and the output voltage VB is The power supply voltage V0 applied to the operational amplifier 46 is reached. Therefore, the voltage across the fuse 52 (= | VB−VC |) exceeds a predetermined value, and the drive control unit 30 can detect that the fuse 52 is disconnected. Then, unless the disconnection detection state of the fuse 52 is eliminated, the drive control unit 30 maintains the forced stop that does not output the drive signal V1 even if a marking command is issued.

このように本実施形態によれば、マーキング指令前にヒューズ５２の断線を検知することができる。 Thus, according to the present embodiment, it is possible to detect disconnection of the fuse 52 before the marking command.

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）「レーザ加工装置」は、ドットマーキング方式や、ヘッドユニット自体が移動して走査するものであってもよい。 <Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention.
(1) The “laser processing device” may be a dot marking method or a device in which the head unit itself moves and scans.

（２）上記実施形態では、駆動回路４２（駆動手段の一例）が、非反転増幅器４４（帰還増幅回路の一例）を備える構成であったが、図６に示すように、非反転増幅器４４に加えて反転増幅器４５（帰還増幅回路の一例）を備える構成であってもよい。具体的には、駆動制御部３０からの駆動信号Ｖ１は駆動制御アンプ４３を介して、非反転増幅器４４及び反転増幅器４５にそれぞれ与えられる。反転増幅器４５はオペアンプ４８を備え、このオペアンプ４８の出力端子と負入力端子との間の負帰還経路に帰還抵抗４９が設けられている。また、このオペアンプ４８の負入力端子に駆動制御アンプ４３からの信号Ｖ２が与えられる。非反転増幅器４４の出力と反転増幅器４５の出力との間には、上記駆動モータ４０の駆動コイル４０Ｃ、及び、電流測定回路５０が設けられている。従って、駆動コイル４０Ｃには、非反転増幅器４４と反転増幅器４５との出力電圧差に応じた駆動電流Ｉが流れることになる。そして、その駆動電流Ｉが電流測定回路５０にてＩ／Ｖ変換されアンプ５１にて増幅されて、測定信号Ｖ３として上記駆動制御アンプ４３の入力側にフィードバックされる。これにより回転軸４０Ａの回動動作（回動速度）の安定化が図られている。
この構成において、ヒューズ５２を、反転増幅器４５に対して駆動電流経路Ｌ１と負帰還経路Ｌ４との共通ラインＬ５上に設ける構成であってもよい。 (2) In the above embodiment, the drive circuit 42 (an example of the drive means) is configured to include the non-inverting amplifier 44 (an example of the feedback amplifier circuit). However, as illustrated in FIG. In addition, an inverting amplifier 45 (an example of a feedback amplifier circuit) may be provided. Specifically, the drive signal V <b> 1 from the drive control unit 30 is given to the non-inverting amplifier 44 and the inverting amplifier 45 through the drive control amplifier 43. The inverting amplifier 45 includes an operational amplifier 48, and a feedback resistor 49 is provided in a negative feedback path between the output terminal and the negative input terminal of the operational amplifier 48. The signal V2 from the drive control amplifier 43 is given to the negative input terminal of the operational amplifier 48. Between the output of the non-inverting amplifier 44 and the output of the inverting amplifier 45, a driving coil 40C of the driving motor 40 and a current measuring circuit 50 are provided. Therefore, the drive current I corresponding to the output voltage difference between the non-inverting amplifier 44 and the inverting amplifier 45 flows through the drive coil 40C. The drive current I is I / V converted by the current measurement circuit 50, amplified by the amplifier 51, and fed back to the input side of the drive control amplifier 43 as the measurement signal V3. As a result, the rotation operation (rotation speed) of the rotation shaft 40A is stabilized.
In this configuration, the fuse 52 may be provided on the common line L5 of the drive current path L1 and the negative feedback path L4 with respect to the inverting amplifier 45.

（３）上記実施形態では、ヒューズ５２の両端間電圧に基づきその断線を検知する構成であったが、これに限らず、上記出力電圧ＶＢと所定電圧との比較に基づき検知する構成であっても勿論よい。但し、上記実施形態の構成であれば、ヒューズ５２の断線に直接影響を受けるヒューズ５２の両端電圧差に基づき検知するため、その検知精度をより向上させることができる。 (3) In the above embodiment, the disconnection is detected based on the voltage across the fuse 52. However, the configuration is not limited to this, and the detection is based on the comparison between the output voltage VB and a predetermined voltage. Of course. However, with the configuration of the above-described embodiment, detection is performed based on the voltage difference between both ends of the fuse 52 that is directly affected by the disconnection of the fuse 52, so that the detection accuracy can be further improved.

（４）上記実施形態では、駆動制御部３０は、ヒューズ５２の断線直後のタイミング、及び、点Ｃの電圧Ｖが略ゼロに低下したときのタイミングにヒューズ５２の断線検知（ヒューズ５２の両端間電圧（＝｜ＶＢ−ＶＣ｜）と所定値との比較）を試みる構成であったが、これに限らず、上記２つのタイミングのいずれか一方のみでヒューズ５２の断線検知を試みる構成であってもよい。 (4) In the above embodiment, the drive control unit 30 detects the disconnection of the fuse 52 (between both ends of the fuse 52 at the timing immediately after the disconnection of the fuse 52 and the timing when the voltage V at the point C decreases to substantially zero. The configuration is such that the voltage (= | VB−VC |) is compared with a predetermined value). However, the configuration is not limited to this, and the configuration is such that the disconnection detection of the fuse 52 is attempted only at one of the two timings. Also good.

本発明の一実施形態に係るレーザマーキング装置の全体構成図1 is an overall configuration diagram of a laser marking device according to an embodiment of the present invention. ガルバノ駆動装置の回路図Circuit diagram of galvano drive 点Ａ，Ｂ，Ｃの電圧変位を示すタイムチャート（駆動信号入力中にヒューズが断線したとき）Time chart showing the voltage displacement at points A, B, and C (when the fuse is broken during drive signal input) 従来構成の点Ａ，Ｂ，Ｃの電圧変位を示すタイムチャート（駆動信号入力前にヒューズが断線しているとき）Time chart showing voltage displacement at points A, B, and C in the conventional configuration (when the fuse is disconnected before the drive signal is input) 本実施形態の点Ａ，Ｂ，Ｃの電圧変位を示すタイムチャート（駆動信号入力前にヒューズが断線しているとき）Time chart showing voltage displacement at points A, B, and C in this embodiment (when the fuse is disconnected before the drive signal is input) 変形例のガルバノ駆動装置の回路図Circuit diagram of modified galvano drive device

Explanation of symbols

１…レーザマーキング装置（レーザ加工装置）
１０…レーザ光源
１１…レーザ光
２１Ｘ，２１Ｙ…ガルバノミラー（ミラー）
３０…駆動制御部（制御手段、検知手段）
４０…駆動モータ
４２…駆動回路（駆動手段）
４４…非反転増幅器（帰還増幅回路）
４５…反転増幅器（帰還増幅回路）
５２…ヒューズ
４６，４８…オペアンプ
Ｉ…駆動電流
Ｌ３…共通ライン
Ｖ１…駆動信号
Ｗ…加工対象物 1. Laser marking device (laser processing device)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Laser light source 11 ... Laser light 21X, 21Y ... Galvano mirror (mirror)
30: Drive control unit (control means, detection means)
40 ... Drive motor 42 ... Drive circuit (drive means)
44. Non-inverting amplifier (feedback amplifier circuit)
45. Inverting amplifier (feedback amplification circuit)
52 ... Fuse 46, 48 ... Operational amplifier I ... Drive current L3 ... Common line V1 ... Drive signal W ... Processing object

Claims

A laser light source for emitting laser light;
A mirror for deflecting the laser beam;
A drive motor having the mirror attached to a rotating shaft;
Control means for outputting a drive signal corresponding to each position on the workpiece;
A laser processing apparatus comprising: a feedback amplifier circuit configured to include an operational amplifier to which the drive signal is input; and a drive unit that causes a drive current corresponding to the output of the feedback amplifier circuit to flow to the drive motor. ,
A fuse is provided in a common line between a signal path between the operational amplifier and the drive motor and a feedback path of the feedback amplifier circuit,
A laser processing apparatus comprising a detecting means for detecting disconnection of the fuse based on a potential at a point between the operational amplifier and the fuse.

The laser processing apparatus according to claim 1,
The detection means is configured to detect disconnection of the fuse based on a voltage difference between both ends of the fuse.