JP2009020259A - 透過光量可変素子および投射型表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2枚または3枚の平行に配置された透明基板の対向する面のうちのいずれか一方の面に屈折率の異なる光学薄膜が積層された第1の多層膜部材からなる回折格子を有し、回折格子の凹部に、電圧を印加できる空隙に充填する液晶の常光屈折率よりも高い屈折率となる光学媒質を含み、凹部の屈折率を液晶の常光屈折率よりも高くすることで常光時に凹部と凸部との屈折率差を小さくして透過率を高めるとともに、液晶に電圧を印加することで透過光量の制御性が向上する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る透過光量可変素子の模式的な構成を示す断面図である。図1において透過光量可変素子10は、平行に配置された一対の透明基板11a、11bと、透明基板11aの一対の基板の対向面側に設けられ、多層構造を有する透明部材により周期的な凹凸をなすように配置された第1の多層膜部材13と、周期的な凹凸の溝を浅くするように凹部に設けられた光学媒質として単層光学部材14と、凹凸を埋めるように挟持された液晶15と、液晶15に電圧を印加するための透明電極12a、12bと、シール材16と、透明電極12a、12b間に所定の波形の電圧を印加するための配線17とを含むように構成される。凹部は、この単層光学部材14と液晶15とから構成され、凹部に含まれる液晶の屈折率変化により光路長を変化させる。
図2は、本発明の第2の実施の形態に係る透過光量可変素子の模式的な構成を示す断面図であり、第1の実施の形態に係る構成と同様の部材は図1と同じ符号を付している。第1の実施の形態には、凹部に光学媒質として単層光学部材14を設けたが、第2の実施の形態では、光学媒質として凹部に第2の多層膜部材24を設けたものである。他の構成、機能は同じものであり、第2の多層膜部材24は少なくとも2種類以上の光学部材を積層した構造である。多層膜部材24は液晶15の常光屈折率noに比べて高い屈折率となるように光学部材および膜厚を設計することで第1の多層膜部材13の屈折率に対して実質的に一致するように設計することができる。また、多層膜構造により内部干渉を抑制して最大となる透過率を高く、コントラストの向上を実現できるものである。
図3は、本発明の第3の実施の形態に係る透過光量可変素子の模式的な構成を示す断面図である。これは、第1の実施の形態に係る構成の透過光量可変素子を透明基板11aの裏面側にも同構成を施したものであるが、第1の多層膜部材13と同じ光学薄膜構成となる第1の多層膜部材23の格子の長手方向が互いに直交して配置されている点が異なる。図示しない液晶15、25の配向方向はそれぞれ第1の多層膜部材13、23の長手方向に平行となるよう処理をする。
以下、本発明の実施例1に係る透過光量可変素子10について図1を用いて説明する。透明基板11a、11bとして、厚さ0.6mmの石英ガラス基板を用いる。透明基板11a、11bの表面にスパッタ法を用いて、300Ω/□程度のシート抵抗となるITO膜を成膜し、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により透明電極12a、12bを形成する。
以下、本発明の実施例2に係る透過光量可変素子20について図2を用いて説明する。実施例1において凹部の光学媒質としての単層光学部材14の代わりに第2の多層膜部材24とし、格子ピッチを4μmとする点が異なるが、それ以外の構成は同じであり、使用する他の部材も実施例1に示すものと同一である。透明電極12aを成膜した基板を洗浄、乾燥後、スパッタ法を用いて、透明基板11aの透明電極12aが形成された面上に、表1に示す層構造および膜厚となるようにSiO2膜とTa2O5膜とを交互に成膜して多層膜を形成する。この多層膜に対して、フォトリソグラフィ技術と、多層膜構造を離隔させるようにエッチング加工を実施して周期ピッチが4μmの回折格子を形成する。エッチング加工後、真空蒸着によって表2に示す層構造および膜厚となるようにSiO2膜とTa2O5膜とを交互に成膜して第2の多層膜部材24を形成する。その後、リフトオフ工程によって凸部上のSiO2膜とTa2O5膜とを除去する。これにより、凹部に第2の多層膜部材24に相当する膜厚257nmの膜が形成される。
図4に比較例として、回折格子の凹部には膜を形成せずに液晶15のみが充填されている構成である透過光量可変素子30を示す。第1の多層膜部材13には表1の光学薄膜の材料および膜厚に設定し、液晶15も実施例1および実施例2と同じ物性の材料を用いるものである。
2 反射鏡
3 照明光学系
4 偏光子
5 液晶パネル
6 検光子
7 投射レンズ系
8、20、30、40 透過光量可変素子
11a、11b、21b 透明基板
12a、12b、22a、22b 透明電極
13、23 第1の多層膜部材
14 単層光学部材
15、25 液晶
16、26 シール材
17、27 配線
24 第2の多層膜部材
50 液晶投射型表示装置
111、112、113、121、122、123 透明電極
Claims (11)
- 平行に配置された少なくとも2枚の透明基板と、
前記透明基板の対向する一対の前記透明基板のいずれか一方の面に設けられた断面形状が周期的な凹凸状の回折格子となる第1の多層膜部材と、
前記回折格子の凹部の一部に設けられる光学媒質と、
一対の前記透明基板間に前記回折格子および前記光学媒質を埋めるように挟持された液晶と、
前記液晶に電圧を印加するための透明電極と、を備え、
前記第1の多層膜部材は、屈折率が異なる複数種の光学薄膜が基板と垂直方向に積層された多層構造を有し、
前記光学媒質の屈折率は、前記液晶の常光屈折率より高い透過光量可変素子。 - 前記第1の多層膜部材は、第1の高屈折率材料と第1の低屈折率材料との2種類の光学材料から形成される請求項1に記載の透過光量可変素子。
- 前記第1の高屈折率材料がTa2O5であり、前記第1の低屈折率材料がSiO2である請求項2に記載の透過光量可変素子。
- 前記光学媒質は、前記基板に垂直方向に積層された第2の多層膜部材から形成され、
前記第2の多層膜部材の平均屈折率は前記液晶の常光屈折率より高い屈折率を有する請求項1〜3いずれか1項に記載の透過光量可変素子。 - 前記第2の多層膜部材は、第2の高屈折率材料と第2の低屈折率材料との2種類の光学材料から形成される請求項4に記載の透過光量可変素子。
- 前記第2の高屈折率材料がTa2O5であり、前記第2の低屈折率材料がSiO2である請求項5に記載の透過光量可変素子。
- 平行に配置された前記透明基板を3枚とし、一対の前記透明基板に挟持された前記液晶の配向方向と、他の一対の前記透明基板に挟持された液晶の配向方向とが略直交となる請求項1〜6いずれか1項に記載の透過光量可変素子。
- 前記透明電極が複数の領域に分割され、前記複数の領域ごと電圧を印加することができる請求項1〜7いずれか1項に記載の透過光量可変素子。
- 前記回折格子の格子ピッチが10μm以下である請求項1〜8いずれか1項に記載の透過光量可変素子。
- 前記透過光量可変素子に460nm〜660nmの波長帯域の光を前記透明基板に対して垂直に入射するとき、該波長帯域における透過率の最大値と最小値との差が20%以内となる請求項1〜9いずれか1項に記載の透過光量可変素子。
- 所定の光源と、
入射光の映像信号に応じて変調して出射させる画像表示用空間変調素子と、
複数のレンズからなり、前記光源が出射した光を前記画像表示用空間光変調素子に集光照明する照明光学系と、
前記画像表示用空間変調素子から出射した光を投射する投射レンズ系と、
前記光源を出射した光が前記投射レンズ系を通過するまでの光路中に1つ以上配置された、請求項1〜10いずれか1項に記載の透過光量可変素子と、を備えた投射型表示装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10345675B2 (en) | 2015-05-21 | 2019-07-09 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical device |
WO2023184341A1 (zh) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0720418A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-24 | Hitachi Maxell Ltd | 光学フィルタ |
WO2006082901A1 (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-10 | Asahi Glass Co., Ltd. | 透過光量可変素子および投射型表示装置 |
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- 2007-07-11 JP JP2007182040A patent/JP4952415B2/ja not_active Expired - Fee Related
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