JP2009016556A - Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery - Google Patents

Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery Download PDF

Info

Publication number
JP2009016556A
JP2009016556A JP2007176355A JP2007176355A JP2009016556A JP 2009016556 A JP2009016556 A JP 2009016556A JP 2007176355 A JP2007176355 A JP 2007176355A JP 2007176355 A JP2007176355 A JP 2007176355A JP 2009016556 A JP2009016556 A JP 2009016556A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
solar cell
scattering film
light scattering
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2007176355A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsuru Kano
満 加納
Manabu Ito
学 伊藤
Masayuki Kawashima
正行 川島
Taro Noichi
太郎 乃一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP2007176355A priority Critical patent/JP2009016556A/en
Publication of JP2009016556A publication Critical patent/JP2009016556A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light scattering film for a solar battery and an optical member for a solar battery, which have high optical confinement effect, and to provide a solar battery which has high conversion efficiency. <P>SOLUTION: The light scattering film 2 is the light scattering film for a solar battery formed by dispersing scattered particles having a refractive index lower than that of matrix resin in the matrix resin, and is characterized in that the average particle size of the scattered particles is 1.0 to 10.0 μm and the difference in refractive indexes between the matrix resin and scattered particles is 0.05 to 0.30. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、太陽電池用光散乱膜、太陽電池用光学部材及び太陽電池に関する。   The present invention relates to a light scattering film for a solar cell, an optical member for a solar cell, and a solar cell.

近年、石油エネルギーの代替エネルギーとして、およびクリーンエネルギーの必要性の高まりにともない、太陽電池の研究が活発に行われている。
太陽電池には、単結晶シリコン系太陽電池、多結晶シリコン系太陽電池、薄膜シリコン系太陽電池、化合物半導体系太陽電池、色素増感太陽電池などがある。さらに、前記薄膜シリコン系太陽電池には、アモルファスシリコン太陽電池と微結晶シリコン太陽電池がある。さらに、アモルファスシリコン太陽電池と微結晶シリコン太陽電池を積層したタンデム型太陽電池、さらに3つの太陽電池を積層したトリプル型太陽電池などがある。
これらの中で、薄膜シリコン系太陽電池は、その構成材料が地球上に豊富に存在すること、大面積化が容易なこと、構成材料を薄く成膜することができること、構成材料の消費量が少ないこと、技術的な成熟度が高いこと等の優れた特色を持っている。
In recent years, solar cells have been actively researched as an alternative energy to petroleum energy and with the increasing need for clean energy.
Examples of solar cells include single crystal silicon solar cells, polycrystalline silicon solar cells, thin film silicon solar cells, compound semiconductor solar cells, and dye-sensitized solar cells. Further, the thin film silicon solar cell includes an amorphous silicon solar cell and a microcrystalline silicon solar cell. Furthermore, there are a tandem solar cell in which an amorphous silicon solar cell and a microcrystalline silicon solar cell are stacked, and a triple solar cell in which three solar cells are stacked.
Among these, thin-film silicon solar cells have abundant constituent materials on the earth, are easy to increase in area, can be thinly formed, and consume consumption of constituent materials. It has excellent features such as few and high technical maturity.

ところで、薄膜シリコン系太陽電池では、発生させる電流値を高くできないという問題がある。一般に、太陽電池においては光吸収の量に伴って発生する電流が増大するので、光電変換層において光吸収に寄与するi層の膜厚を厚くすれば電流値を高くすることができる。
しかしながら、薄膜シリコン系太陽電池としてアモルファスシリコン太陽電池を用いた場合には、i層の膜厚を厚くすると光劣化率が大きくなり、長期間の使用においてはかえって変換効率が減少することがある。また、薄膜シリコン系太陽電池として微結晶シリコン太陽電池を用いた場合には、i層の膜厚を厚くすると生産時間が長くかかり、生産性が低下するという問題がある。
さらに、アモルファスシリコン太陽電池でも微結晶シリコン太陽電池の場合でも、i層の膜厚を厚くすると内蔵電界がかかりにくくなるので、出力電圧や曲線因子が悪化して変換効率を向上させることが困難となる。
By the way, in the thin film silicon solar cell, there is a problem that the current value to be generated cannot be increased. Generally, in a solar cell, the current generated increases with the amount of light absorption. Therefore, the current value can be increased by increasing the thickness of the i layer that contributes to light absorption in the photoelectric conversion layer.
However, when an amorphous silicon solar cell is used as a thin-film silicon solar cell, increasing the film thickness of the i layer increases the photodegradation rate, and the conversion efficiency may decrease on long-term use. Further, when a microcrystalline silicon solar cell is used as the thin-film silicon solar cell, there is a problem that if the i layer is thickened, it takes a long time to produce and the productivity is lowered.
Furthermore, even in the case of amorphous silicon solar cells and microcrystalline silicon solar cells, if the i layer is thickened, the built-in electric field is less likely to be applied. Become.

そこで、i層の膜厚を厚くすることなく、i層での光の吸収量を増加させる方法が検討されている。特許文献1では、i層の光の受光面側に、凹凸表面構造からなる“テクスチャー構造”と呼ばれる構造を透明導電膜によって設け、入射光をこの“テクスチャー構造”によって散乱させることにより、i層を通過する光の行路長を長くして、i層で吸収される光の量を増加させる方法が開示されている。
しかしながら、上述のテクスチャー構造の凹凸表面構造上に半導体膜を形成した場合、半導体膜に多くの欠陥を誘起して出力電圧や曲線因子を悪化させ、変換効率を悪化させる場合があることが非特許文献1に開示されている。
Therefore, a method of increasing the amount of light absorption in the i layer without increasing the thickness of the i layer has been studied. In Patent Document 1, a structure called “texture structure” having an uneven surface structure is provided on the light-receiving surface side of the i layer by a transparent conductive film, and incident light is scattered by this “texture structure”. A method of increasing the amount of light absorbed by the i layer by increasing the path length of light passing through the layer is disclosed.
However, when a semiconductor film is formed on the uneven surface structure having the texture structure described above, it is not patented that many defects are induced in the semiconductor film to deteriorate the output voltage and the fill factor, thereby deteriorating the conversion efficiency. It is disclosed in Document 1.

一方、特許文献2には、i層の光の受光面側にバインダーに絶縁性微粒子を分散した薄膜を設けた例について開示されている。この薄膜のバインダー表面には、絶縁性微粒子の形状に起因する凹凸形状が形成されるので、上述のテクスチャー構造と同様にその表面で入射光を散乱させ、i層で吸収される光の量を増加させることができる。
しかし、この薄膜の上に半導体膜を成膜した場合には、表面の凹凸形状によって半導体膜の一部に欠陥を生じさせ、その欠陥が反射損失を引き起こして変換効率を悪化させることがある。
そこで、その上に成膜する半導体層に欠陥を生じさせず、かつ光閉じ込め効果の高い光散乱膜が求められている。また、同時に、その光散乱膜を具備した光学部材、およびその光散乱膜あるいは光学部材を具備し、変換効率が高い太陽電池が求められている。
特許第2862174号公報 特許第3706835号公報 Y・ナスノら(Y.Nasuno et al.),ジャパニーズ・ジャーナル・アプライド・フィジックス(Jpn.J.Appl.Phys.Lett.),40,L303(2001)
On the other hand, Patent Document 2 discloses an example in which a thin film in which insulating fine particles are dispersed in a binder is provided on the light receiving surface side of the i layer. Since the uneven surface due to the shape of the insulating fine particles is formed on the binder surface of this thin film, the incident light is scattered on the surface in the same manner as the texture structure described above, and the amount of light absorbed by the i layer is reduced. Can be increased.
However, when a semiconductor film is formed on this thin film, a defect is caused in a part of the semiconductor film due to the uneven shape of the surface, and the defect may cause a reflection loss to deteriorate the conversion efficiency.
Therefore, there is a demand for a light scattering film that does not cause defects in a semiconductor layer formed thereon and has a high light confinement effect. At the same time, an optical member having the light scattering film and a solar cell having the light scattering film or the optical member and having high conversion efficiency are required.
Japanese Patent No. 2862174 Japanese Patent No. 3706835 Y. Nasuno et al., Japanese Journal Applied Physics (Jpn. J. Appl. Phys. Lett.), 40, L303 (2001).

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、光閉じ込め効果の高い太陽電池用光散乱膜および太陽電池用光学部材、および変換効率が高い太陽電池を提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、その上に成膜される半導体層に欠陥が生じにくい太陽電池用光散乱膜を提供することである。
This invention is made | formed in view of the said situation, and aims at providing the solar cell light-scattering film | membrane and solar cell optical member with high light confinement effect, and a solar cell with high conversion efficiency.
Another object of the present invention is to provide a light scattering film for solar cells in which defects are unlikely to occur in a semiconductor layer formed thereon.

本発明の太陽電池用光散乱膜は、マトリックス樹脂中に、前記マトリックス樹脂よりも屈折率が高い散乱粒子が分散された太陽電池用光散乱膜であって、前記散乱粒子の平均粒径が1.0μm以上10.0μm以下であり、前記マトリックス樹脂と前記散乱粒子との屈折率差が0.05以上0.30以下であることを特徴とする。   The light scattering film for solar cells of the present invention is a light scattering film for solar cells in which scattering particles having a refractive index higher than that of the matrix resin are dispersed in a matrix resin, and the average particle size of the scattering particles is 1. It is 0.0 micrometer or more and 10.0 micrometers or less, and the refractive index difference of the said matrix resin and the said scattering particle is 0.05 or more and 0.30 or less.

なお、「平均粒径」とは、散乱粒子が球形の場合はその直径、散乱粒子が回転楕円体の場合はその短径に基づいて算出された径の平均値を指す。   The “average particle diameter” refers to the average value of the diameters calculated based on the diameter when the scattering particles are spherical, and the short diameter when the scattering particles are spheroids.

本発明の太陽電池用光散乱膜に占める前記散乱粒子の比率は、30質量パーセント以下であってもよい。さらに、本発明の太陽電池用光散乱膜の膜厚は、1.0μm以上であってもよい。   30 mass percent or less may be sufficient as the ratio of the said scattering particle to the light-scattering film for solar cells of this invention. Further, the film thickness of the light scattering film for solar cell of the present invention may be 1.0 μm or more.

また、本発明の太陽電池用光学部材は、本発明の太陽電池用光散乱膜と、前記太陽電池用光散乱膜の一方の面に配置された透明基体とを備えることを特徴とする。   Moreover, the optical member for solar cells of this invention is equipped with the light-scattering film for solar cells of this invention, and the transparent base | substrate arrange | positioned at one surface of the said light-scattering film for solar cells, It is characterized by the above-mentioned.

さらに、本発明の太陽電池は、光電変換層を有する太陽電池であって、前記光電変換層の少なくとも光が入射する側の面に本発明の太陽電池用光散乱膜が配置されていることを特徴とする。   Furthermore, the solar cell of the present invention is a solar cell having a photoelectric conversion layer, and the solar cell light-scattering film of the present invention is disposed on at least the light incident side of the photoelectric conversion layer. Features.

本発明の太陽電池用光散乱膜、太陽電池用光学部材、及び太陽電池によれば、光閉じ込め効果の高い太陽電池用光散乱膜及び太陽電池用光学部材、及び変換効率が高い太陽電池を構成することができる。
また、本発明の太陽電池用光散乱膜及び太陽電池用光学部材によれば、その上に成膜される半導体層に欠陥が生じることを抑制することができる。
According to the light scattering film for solar cell, the optical member for solar cell, and the solar cell of the present invention, the light scattering film for solar cell and the optical member for solar cell with high light confinement effect, and the solar cell with high conversion efficiency are configured. can do.
Moreover, according to the light-scattering film for solar cells and the optical member for solar cells of this invention, it can suppress that a defect arises in the semiconductor layer formed into a film on it.

以下、本発明の第1実施形態について、図1を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の実施形態の太陽電池の一例を示す断面模式図である。
本実施形態の太陽電池100は、基板(透明基体)1の一方の面に、光散乱膜(太陽電池用光散乱膜)2、上部電極層3、光電変換層4および下部電極層5が図1に示す順序で積層されて構成されている。
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a solar cell according to an embodiment of the present invention.
In the solar cell 100 of this embodiment, a light scattering film (light scattering film for solar cell) 2, an upper electrode layer 3, a photoelectric conversion layer 4 and a lower electrode layer 5 are illustrated on one surface of a substrate (transparent substrate) 1. 1 are stacked in the order shown in FIG.

基板1は、光取り込み面1aを有し、その反対側の面1bに光散乱膜2の一方の面2aが接合されている。光散乱膜2の他面側は平坦性を有する平坦面2bとして形成されている。このようにして、基板1と光散乱膜2とからなる光学部材(太陽電池用光学部材)10が形成されている。   The substrate 1 has a light capturing surface 1a, and one surface 2a of the light scattering film 2 is bonded to the surface 1b on the opposite side. The other surface side of the light scattering film 2 is formed as a flat surface 2b having flatness. In this way, an optical member (solar cell optical member) 10 composed of the substrate 1 and the light scattering film 2 is formed.

光電変換層4は、p型薄膜シリコン層41、i型薄膜シリコン層42、及びn型薄膜シリコン層43が図1に示す順序で積層されて形成されている。
下部電極層5は、下部透明導電電極51及び金属電極52が図1に示す順序で積層されて形成されている。
このように、基板1、上部電極層3、光電変換層4、下部電極層5がこの順序で積層された構造を、以下の説明において「スーパーストレートタイプ」と称する。
The photoelectric conversion layer 4 is formed by stacking a p-type thin film silicon layer 41, an i-type thin film silicon layer 42, and an n-type thin film silicon layer 43 in the order shown in FIG.
The lower electrode layer 5 is formed by laminating a lower transparent conductive electrode 51 and a metal electrode 52 in the order shown in FIG.
The structure in which the substrate 1, the upper electrode layer 3, the photoelectric conversion layer 4, and the lower electrode layer 5 are laminated in this order is referred to as “super straight type” in the following description.

スーパーストレートタイプにおいては、光は、図1に矢印Aで示すように光取り込み面1aから基板1に入射され、基板1内部を通過した後、光取り込み面1aの反対側の面1bに接合された光散乱膜2に入射される。光散乱膜2に入射された光は、光散乱膜2および上部電極層3を通過して、光電変換層4に入射される。そして、光電変換層4において光起電力が生じ、光が電力へと変換される。   In the super straight type, light is incident on the substrate 1 from the light capturing surface 1a as shown by an arrow A in FIG. 1, and after passing through the inside of the substrate 1, is joined to the surface 1b opposite to the light capturing surface 1a. Incident on the light scattering film 2. The light incident on the light scattering film 2 passes through the light scattering film 2 and the upper electrode layer 3 and enters the photoelectric conversion layer 4. Then, a photovoltaic force is generated in the photoelectric conversion layer 4, and light is converted into electric power.

基板1は、透明な材料からなることが好ましい。透明であれば、基板1において光を損失させることがなく、光電変換層4での変換効率を向上させることができるためである。透明な材料としては、たとえば、ガラス、石英および透明性ポリイミドなどを挙げることができる。   The substrate 1 is preferably made of a transparent material. This is because if it is transparent, light is not lost in the substrate 1 and the conversion efficiency in the photoelectric conversion layer 4 can be improved. Examples of the transparent material include glass, quartz, and transparent polyimide.

また、基板1は、耐熱性材料からなることが望ましい。光電変換層4をアモルファスシリコン層で形成する場合には、製造工程において熱処理が行われるので、耐熱性を有するのが好ましい。
また、太陽電池100を屋外で使用する場合にも、太陽光によって、基板1の表面が熱せられる場合があるので、耐熱性であると有利である。
The substrate 1 is preferably made of a heat resistant material. In the case where the photoelectric conversion layer 4 is formed of an amorphous silicon layer, it is preferable to have heat resistance because heat treatment is performed in the manufacturing process.
In addition, when the solar cell 100 is used outdoors, the surface of the substrate 1 may be heated by sunlight, which is advantageous when it is heat resistant.

光散乱膜2は、マトリックス樹脂中にマトリックス樹脂よりも高い屈折率を有する散乱粒子が分散されて構成されている。
マトリックス樹脂および散乱粒子は、透明な材料からなることが好ましい。光を損失なく光散乱膜2から光電変換層4へ透過させることによって光電変換層4での変換効率を向上させることができるためである。
The light scattering film 2 is configured by dispersing scattering particles having a refractive index higher than that of the matrix resin in the matrix resin.
The matrix resin and the scattering particles are preferably made of a transparent material. This is because the conversion efficiency in the photoelectric conversion layer 4 can be improved by transmitting light from the light scattering film 2 to the photoelectric conversion layer 4 without loss.

マトリックス樹脂と散乱粒子との屈折率差は0.05以上0.30以下であることが好ましく、0.10以上0.13以下がより好ましい。
マトリックス樹脂と散乱粒子との屈折率差が0.05未満の場合には、光を効果的に散乱させることができないため好ましくない。一方、マトリックス樹脂と散乱粒子との屈折率差が0.30を超える場合には、光を十分に光電変換層4に入射させることができないため好ましくない。
「マトリックス樹脂と散乱粒子との屈折率差」とは、紫外領域、可視光領域および赤外領域における屈折率差を意味するが、少なくとも70%以上の透過率となる波長領域において、マトリックス樹脂と散乱粒子との屈折率差が0.05以上0.30以下となればよい。
The difference in refractive index between the matrix resin and the scattering particles is preferably 0.05 or more and 0.30 or less, and more preferably 0.10 or more and 0.13 or less.
A difference in refractive index between the matrix resin and the scattering particles of less than 0.05 is not preferable because light cannot be effectively scattered. On the other hand, when the refractive index difference between the matrix resin and the scattering particles exceeds 0.30, it is not preferable because light cannot be sufficiently incident on the photoelectric conversion layer 4.
“Refractive index difference between matrix resin and scattering particles” means a refractive index difference in the ultraviolet region, visible light region, and infrared region, but in the wavelength region where the transmittance is at least 70% or more, The refractive index difference with the scattering particles may be 0.05 or more and 0.30 or less.

また、光散乱膜2は、電極層等が積層される面が平坦であることが好ましい。すなわち、図1における平坦面2bの表面粗さは、50〜300Åであることが好ましく、50〜150Åがより好ましく、50〜100Åが更に好ましい。ここで、表面粗さとは、いわゆる算術平均粗さRaをいう。
表面粗さRaが300Å以下であれば、その上に成膜する上部電極層3、光電変換層4および下部電極層5を平坦に形成することができる。
前記平坦面2bの表面粗さRaが300Åを超える場合には、この平坦面2b上に積層する上部電極層3、光電変換層4および下部電極層5の平坦性を高くすることができず、光電変換層4を構成する薄膜シリコン層41〜43内の欠陥が増加するおそれがあるので好ましくない。
一方前記平坦面2bの表面粗さRaが50Å未満とすると、かえって膜の形成が困難となり、生産効率が低下するので好ましくない。
なお、表面粗さRaは、たとえば、接触式膜厚計(株式会社アルバック社製 商品名「Dektak 16000」)で測定できる。
The light scattering film 2 preferably has a flat surface on which electrode layers and the like are laminated. That is, the surface roughness of the flat surface 2b in FIG. 1 is preferably 50 to 300 mm, more preferably 50 to 150 mm, and still more preferably 50 to 100 mm. Here, the surface roughness refers to a so-called arithmetic average roughness Ra.
If the surface roughness Ra is 300 mm or less, the upper electrode layer 3, the photoelectric conversion layer 4 and the lower electrode layer 5 formed thereon can be formed flat.
When the surface roughness Ra of the flat surface 2b exceeds 300 mm, the flatness of the upper electrode layer 3, the photoelectric conversion layer 4 and the lower electrode layer 5 laminated on the flat surface 2b cannot be increased. This is not preferable because defects in the thin film silicon layers 41 to 43 constituting the photoelectric conversion layer 4 may increase.
On the other hand, if the surface roughness Ra of the flat surface 2b is less than 50 mm, formation of a film becomes difficult and production efficiency is lowered, which is not preferable.
The surface roughness Ra can be measured, for example, with a contact-type film thickness meter (trade name “Dektak 16000” manufactured by ULVAC, Inc.).

さらに、光散乱膜2の透過率は70%以上であることが好ましく、88%以上がより好ましく、90%以上が更に好ましい。
光散乱膜2の透過率が70%未満の場合には、光を十分に光電変換層4へ入射させることができず、光電変換層4での変換効率を向上させることができないため好ましくない。
光散乱膜2の「透過率」とは、紫外領域、可視光領域および赤外領域の光に対する透過率を意味するが、紫外から赤外まですべての領域で透過率が70%以上である必要は必ずしもなく、特定の一部の領域、たとえば、波長が400nmから800nmの可視光領域のみで透過率が70%であってもよい。
なお、光散乱膜2の透過率は、たとえば、分光測定装置(日立製作所製 商品名「U4000」)で空気をレファレンスとして透過率を測定し、積分球で透過光を集める方法で測定できる。
Furthermore, the transmittance of the light scattering film 2 is preferably 70% or more, more preferably 88% or more, and still more preferably 90% or more.
When the transmittance of the light scattering film 2 is less than 70%, it is not preferable because light cannot be sufficiently incident on the photoelectric conversion layer 4 and conversion efficiency in the photoelectric conversion layer 4 cannot be improved.
The “transmittance” of the light scattering film 2 means the transmittance for light in the ultraviolet region, visible light region, and infrared region, but the transmittance must be 70% or more in all regions from ultraviolet to infrared. However, the transmittance may be 70% only in a specific part of the region, for example, a visible light region having a wavelength of 400 nm to 800 nm.
The transmittance of the light scattering film 2 can be measured, for example, by measuring the transmittance with air as a reference with a spectrometer (trade name “U4000” manufactured by Hitachi, Ltd.) and collecting the transmitted light with an integrating sphere.

加えて、光散乱膜2のヘイズ率は、58〜90%であることが好ましく、65〜79%がより好ましい。
光散乱膜2のヘイズ率が58%未満の場合には、光散乱性が低下して、光を効果的に閉じ込めることができないため好ましくない。一方、光散乱膜2のヘイズ率が90%を超えると、透過率が低下するおそれがあるので好ましくない。
光散乱膜2の「ヘイズ率」とは、紫外領域、可視光領域および赤外領域の光に対するヘイズ率を意味するが、少なくとも70%以上の透過率となる波長領域でヘイズ率が58〜90%となればよい。
なお、光散乱膜2のヘイズ率は、たとえば、ヘイズメーター(株式会社村上色彩研究所社製 商品名「HM-150」)で測定できる。
In addition, the haze ratio of the light scattering film 2 is preferably 58 to 90%, and more preferably 65 to 79%.
When the haze ratio of the light-scattering film 2 is less than 58%, the light-scattering property is lowered and light cannot be effectively confined, which is not preferable. On the other hand, if the haze ratio of the light scattering film 2 exceeds 90%, the transmittance may be lowered, which is not preferable.
The “haze ratio” of the light scattering film 2 means a haze ratio with respect to light in the ultraviolet region, visible light region, and infrared region, and the haze ratio is 58 to 90 in a wavelength region where the transmittance is at least 70% or more. %.
The haze ratio of the light scattering film 2 can be measured by, for example, a haze meter (trade name “HM-150” manufactured by Murakami Color Research Co., Ltd.).

光散乱膜2の透過率が70%以上であり、かつヘイズ率が58〜90%である場合に、優れた光閉じ込め効果が得られる。「光閉じ込め効果」とは、太陽電池100の内部に入射された光が太陽電池100の内部から外部に放射されない効果のことをいう。
図1に示すように、太陽電池100は光取り込み面1aを一面側に有し、他面側は金属電極52で構成されている。そのため、太陽電池100において光散乱膜2を設けない場合には、光取り込み面1aから入射された光のうち光電変換層4で電気エネルギーに変換されなかった光は金属電極52の一面52aで反射されて外部に放出される場合がある。
しかしながら、光閉じ込め効果を有する光散乱膜2を光電変換層4の光取り込み面1a側に設けることによって、光取り込み面1a側から入射されて金属電極52の一面52aで反射された光の外部への放出を防止することができる。
An excellent light confinement effect can be obtained when the transmittance of the light scattering film 2 is 70% or more and the haze ratio is 58 to 90%. The “light confinement effect” refers to an effect in which light incident inside the solar cell 100 is not radiated from the inside of the solar cell 100 to the outside.
As shown in FIG. 1, the solar cell 100 has a light capturing surface 1 a on one surface side, and the other surface side is constituted by a metal electrode 52. Therefore, when the light scattering film 2 is not provided in the solar cell 100, the light that has not been converted into electrical energy by the photoelectric conversion layer 4 among the light incident from the light capturing surface 1 a is reflected by the one surface 52 a of the metal electrode 52. May be released to the outside.
However, by providing the light scattering film 2 having a light confinement effect on the light capturing surface 1 a side of the photoelectric conversion layer 4, the light incident from the light capturing surface 1 a side and reflected by the one surface 52 a of the metal electrode 52 is exposed to the outside. Can be prevented.

光散乱膜2を構成するマトリックス樹脂の材料としては、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシアクリレート樹脂、及びフルオレン樹脂等を用いることができる。アクリル樹脂をハロゲン化すると、屈折率をより低下させることができるので、例えばフッ化アクリル樹脂等も好適に使用することができる。   As a material of the matrix resin constituting the light scattering film 2, acrylic resin, silicone resin, epoxy acrylate resin, fluorene resin, or the like can be used. When the acrylic resin is halogenated, the refractive index can be further lowered. For example, a fluorinated acrylic resin can be preferably used.

次に、光散乱膜2を構成する散乱粒子の材料としては、例えばアクリル粒子やスチレンアクリル粒子及びその架橋体、メラミン樹脂粒子(メラミン−ホルマリン縮合物の粒子、ベンゾグアナミン−メラミン−ホルムアルデヒド縮合物の粒子)、ベンゾグアナミン−ホルムアルデヒド縮合物の粒子、シリコーン樹脂粒子が挙げられる。また、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)、PFA(ペルフルオロアルコキシ樹脂)、FEP(テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体)、PVDF(ポリフルオロビニリデン)、及びETFE(エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体)等の含フッ素ポリマー粒子を用いることができる。メラミン樹脂に、TiO、SiO等の無機材料等を添加すると、良好な散乱特性が得られるので、このような混合物も好適に使用することができる。
マトリックス樹脂及び散乱粒子の材料選択にあたっては、散乱粒子がマトリックス樹脂よりも高い屈折率を有し、かつ上記の範囲の屈折率差を有するように選択されるのが好ましい。
Next, as the material of the scattering particles constituting the light scattering film 2, for example, acrylic particles, styrene acrylic particles and cross-linked products thereof, melamine resin particles (melamine-formalin condensate particles, benzoguanamine-melamine-formaldehyde condensate particles) ), Benzoguanamine-formaldehyde condensate particles, and silicone resin particles. PTFE (polytetrafluoroethylene), PFA (perfluoroalkoxy resin), FEP (tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer), PVDF (polyfluorovinylidene), and ETFE (ethylene-tetrafluoroethylene copolymer) Fluorine-containing polymer particles such as can be used. When an inorganic material such as TiO 2 or SiO 2 is added to the melamine resin, good scattering characteristics can be obtained, and such a mixture can also be preferably used.
In selecting materials for the matrix resin and the scattering particles, it is preferable to select the scattering particles so that the scattering particles have a higher refractive index than the matrix resin and have a refractive index difference in the above range.

散乱粒子の平均粒径は、1.0〜10.0μmであることが好ましく、1.2〜2.0μmが更に好ましい。
散乱粒子の平均粒径が1.0μm未満の場合には、十分な散乱が得られないため好ましくない。一方、散乱粒子の平均粒径が10.0μmを超える場合には、粒径が大きくすぐに液中で沈下してしまうため好ましくない。
なお、散乱粒子の平均粒径は、粒度分布計(シスメックス株式会社製 商品名「SD-2000」)で測定したものであって、散乱粒子が球状の場合には、散乱粒子の直径の平均値であり、散乱粒子が回転楕円体の場合には、短径の平均値である。
The average particle diameter of the scattering particles is preferably 1.0 to 10.0 μm, and more preferably 1.2 to 2.0 μm.
When the average particle diameter of the scattering particles is less than 1.0 μm, it is not preferable because sufficient scattering cannot be obtained. On the other hand, when the average particle diameter of the scattering particles exceeds 10.0 μm, it is not preferable because the particle diameter is large and immediately sinks in the liquid.
The average particle diameter of the scattering particles is measured with a particle size distribution meter (trade name “SD-2000” manufactured by Sysmex Corporation). When the scattering particles are spherical, the average value of the diameters of the scattering particles When the scattering particles are spheroids, the average value of the minor axis.

光散乱膜2の膜厚は、1.0μm以上であることが好ましく、分散させる散乱粒子の平均粒径より大きくすることがより好ましい。薄膜シリコン系太陽電池に適用する場合には膜厚が薄いほどよいが、膜厚を1.0μm未満とすると、良好な散乱特性を得ることが困難となる。また、光散乱膜2の膜厚が散乱粒子の平均粒径より小さい場合には、光散乱膜2の表面に、散乱粒子に起因する凹凸形状が形成され、平坦面2bの表面粗さを300Å以下にすることが困難になる。   The film thickness of the light scattering film 2 is preferably 1.0 μm or more, and more preferably larger than the average particle diameter of the scattering particles to be dispersed. When applied to a thin-film silicon solar cell, the thinner the film, the better. However, when the film thickness is less than 1.0 μm, it is difficult to obtain good scattering characteristics. When the film thickness of the light scattering film 2 is smaller than the average particle diameter of the scattering particles, an uneven shape caused by the scattering particles is formed on the surface of the light scattering film 2, and the surface roughness of the flat surface 2b is set to 300 mm. It becomes difficult to make it below.

マトリックス樹脂に分散させる散乱粒子の含有量は、光散乱膜に占める散乱粒子の比率として30質量%以下に設定されるのが好ましく、20質量%以下に設定されるのがより好ましい。
光散乱膜に占める散乱粒子の比率が30質量%を超える場合には、散乱粒子を均一に分散させることができなくなり、光散乱膜2の透過率やヘイズ率など特性が面内でばらつくおそれが発生するため好ましくない。
散乱粒子の含有率が高いほどヘイズ率の値は大きくなり、表面粗さRaの数値も大きくなるので、含有率は、作成する光散乱膜の設計ヘイズ率値を基にして決定される。
The content of the scattering particles dispersed in the matrix resin is preferably set to 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less as the ratio of the scattering particles in the light scattering film.
When the ratio of the scattering particles in the light scattering film exceeds 30% by mass, the scattering particles cannot be uniformly dispersed, and the characteristics such as the transmittance and haze ratio of the light scattering film 2 may vary in the plane. Since it occurs, it is not preferable.
The higher the scattering particle content, the higher the haze value and the larger the surface roughness Ra. Therefore, the content is determined based on the design haze value of the light scattering film to be created.

光散乱膜2は、まず、未硬化のマトリックス樹脂中に散乱粒子を分散させた溶液を調製し、この溶液をスピンコーティング法、ロールコート法、スプレー法、バーコート法、ダイコート法、フローコート法あるいはデッピング法などのウエットプロセスを用いて、基板表面に成膜して形成する。なお、この溶液には、有機溶剤、分散助剤、レベリング剤、及びカップリング剤のような添加剤を含有させることができる。   The light scattering film 2 is prepared by first preparing a solution in which scattering particles are dispersed in an uncured matrix resin, and applying this solution to a spin coating method, a roll coating method, a spray method, a bar coating method, a die coating method, and a flow coating method. Alternatively, a wet process such as a dipping method is used to form a film on the substrate surface. The solution can contain additives such as an organic solvent, a dispersion aid, a leveling agent, and a coupling agent.

また、光散乱膜2は、耐熱性材料からなることが望ましい。光電変換層4をアモルファスシリコン層で形成する場合には製造工程において熱処理が行われるので、耐熱性であることが望ましい。また、太陽電池を屋外で使用する場合にも、太陽光によって基板表面が熱せられる場合があるので、耐熱性を有するのが望ましい。少なくとも230〜250℃で3時間の耐熱性があることが望ましい。   The light scattering film 2 is preferably made of a heat resistant material. In the case where the photoelectric conversion layer 4 is formed of an amorphous silicon layer, heat treatment is performed in the manufacturing process, and thus heat resistance is desirable. Also, when the solar cell is used outdoors, the substrate surface may be heated by sunlight, so that it is desirable to have heat resistance. It is desirable to have a heat resistance of at least 230 to 250 ° C. for 3 hours.

また、光散乱膜2は、熱膨張係数がSiに近いことが望ましく、60ppm/℃よりも小であることが望ましい。
さらにまた、光散乱膜2は、紫外線吸収剤を添加するもしくは紫外線吸収機能層を含むことによって、耐紫外線性を具備させることが望ましい。太陽電池を屋外で使用する場合には、太陽光によって基板表面は紫外線に曝されるためである。なお、光散乱膜2の外側に紫外線吸収機能層が設けられていてもよい。例えば光散乱膜2と基板との間に紫外線吸収機能層が設けられていてもよい。
The light scattering film 2 preferably has a thermal expansion coefficient close to that of Si, and is preferably less than 60 ppm / ° C.
Furthermore, it is desirable for the light scattering film 2 to have ultraviolet resistance by adding an ultraviolet absorber or including an ultraviolet absorbing functional layer. This is because when the solar cell is used outdoors, the substrate surface is exposed to ultraviolet rays by sunlight. An ultraviolet absorption functional layer may be provided outside the light scattering film 2. For example, an ultraviolet absorption functional layer may be provided between the light scattering film 2 and the substrate.

上部電極層3の材料としては、透明導電性酸化物が好ましい。
たとえば、酸化インジウム(In)、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化カドミウム(CdO)、酸化インジウムカドミウム(CdIn)、酸化カドミウムスズ(CdSnO)、酸化亜鉛スズ(ZnSnO)、酸化インジウム亜鉛(In−Zn−O)などを挙げることができる。
また、透明導電性酸化物に不純物を添加(ドープ)してもよい。たとえば、酸化インジウムにスズ(Sn)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)をドープしたり、酸化スズにアンチモン(Sb)、フッ素(F)をドープしたり、酸化亜鉛にインジウム、アルミニウム、ガリウム(Ga)をドープしたりすることができる。
特に、酸化スズにフッ素をドープしたものと、酸化亜鉛にガリウムまたはアルミニウムをドープしたものが好ましい。次の光電変換層4の形成工程において、上部電極層3が水素プラズマに曝されるので、FドープしたSnOあるいはGaドープもしくはAlドープしたZnOなどのような還元雰囲気に強い材料が好ましいためである。
As a material of the upper electrode layer 3, a transparent conductive oxide is preferable.
For example, indium oxide (In 2 O 3 ), tin oxide (SnO 2 ), zinc oxide (ZnO), cadmium oxide (CdO), indium cadmium oxide (CdIn 2 O 4 ), cadmium tin oxide (Cd 2 SnO 4 ), Examples include zinc tin oxide (Zn 2 SnO 4 ) and indium zinc oxide (In—Zn—O).
Further, impurities may be added (dope) to the transparent conductive oxide. For example, indium oxide is doped with tin (Sn), molybdenum (Mo), titanium (Ti), tin oxide is doped with antimony (Sb) and fluorine (F), zinc oxide is doped with indium, aluminum, gallium ( Ga) can be doped.
In particular, tin oxide doped with fluorine and zinc oxide doped with gallium or aluminum are preferred. Since the upper electrode layer 3 is exposed to hydrogen plasma in the next step of forming the photoelectric conversion layer 4, a material resistant to a reducing atmosphere such as F-doped SnO 2 or Ga-doped or Al-doped ZnO is preferable. is there.

上部電極層3の作成方法は、スパッタリング法、蒸着法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、ゾルーゲル法などを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。   Examples of the method for forming the upper electrode layer 3 include, but are not limited to, a sputtering method, a vapor deposition method, a CVD (Chemical Vapor Deposition) method, and a sol-gel method.

光電変換層4は、p型薄膜シリコン層41、i型薄膜シリコン層42、n型薄膜シリコン層43を積層して形成する。
光電変換層4を構成する材料は、結晶質および非結晶質シリコンのどちらを用いてもよい。また、結晶質および非結晶質のシリコンカーバイドあるいはシリコンゲルマニウムなどのシリコンを30%以上含有する材料を用いてもよい。
The photoelectric conversion layer 4 is formed by stacking a p-type thin film silicon layer 41, an i-type thin film silicon layer 42, and an n-type thin film silicon layer 43.
The material constituting the photoelectric conversion layer 4 may be either crystalline or amorphous silicon. Alternatively, a material containing 30% or more of silicon such as crystalline and amorphous silicon carbide or silicon germanium may be used.

光電変換層4の形成には、プラズマCVD法、光CVD法、Hot−wire CVD法などの作成方法を用いる。特に、プラズマCVD法を用いることが好ましい。プラズマCVD装法は、膜質の良い膜を高い生産性で形成することができるためである。   For the formation of the photoelectric conversion layer 4, a production method such as a plasma CVD method, a photo CVD method, or a hot-wire CVD method is used. In particular, it is preferable to use a plasma CVD method. This is because the plasma CVD method can form a film with good film quality with high productivity.

p型薄膜シリコン層41は、光電変換層4を形成する過程において、まずp型ドーパントであるボロン、ガリウム、アルミニウムなどをドーピングして形成する。
p型ドーピングに用いる原料は、ボロン源はジボラン、B(CH、BFなどを挙げることができ、ガリウム源はトリメチルガリウム、トリエチルガリウムなどを挙げることができ、アルミニウム源は、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウムなどを挙げることができるが、これらの材料に限定されるものではない。
In the process of forming the photoelectric conversion layer 4, the p-type thin film silicon layer 41 is first formed by doping p-type dopants such as boron, gallium, and aluminum.
Examples of the raw material used for the p-type doping include a boron source such as diborane, B (CH 3 ) 3 , and BF 3 , a gallium source such as trimethyl gallium and triethyl gallium, and an aluminum source such as trimethylaluminum. Examples thereof include triethylaluminum, but are not limited to these materials.

また、p型薄膜シリコン層41の形成の際に、炭素をドーピングすることにより、p型薄膜シリコン層のバンドギャップを大きくして、より多くの光をi層内に導くことができ、多くのキャリアを生成できる構成としてもよい。この場合の原料の炭素源は、例えばメタンを挙げることができる。   In addition, by doping carbon when forming the p-type thin film silicon layer 41, the band gap of the p-type thin film silicon layer can be increased, and more light can be guided into the i layer. It is good also as a structure which can produce | generate a carrier. The raw material carbon source in this case can be exemplified by methane.

i型薄膜シリコン層42は、p型薄膜シリコン層41が形成された後、ドーパントをドーピングせずに形成される。
n型薄膜シリコン層43は、i型薄膜シリコン層42を形成された後、n型ドーパントであるリンなどをドーピングして形成される。
The i-type thin film silicon layer 42 is formed without doping with a dopant after the p-type thin film silicon layer 41 is formed.
The n-type thin film silicon layer 43 is formed by forming an i-type thin film silicon layer 42 and then doping phosphorus or the like as an n-type dopant.

下部電極層5は、下部透明導電電極51と金属電極52を順次積層して形成する。
下部電極層5の作成方法は、スパッタリング法、蒸着法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、ゾルーゲル法などを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
The lower electrode layer 5 is formed by sequentially laminating a lower transparent conductive electrode 51 and a metal electrode 52.
Examples of the method for creating the lower electrode layer 5 include, but are not limited to, a sputtering method, a vapor deposition method, a CVD (Chemical Vapor Deposition) method, and a sol-gel method.

下部透明導電電極51の材料は、導電性があり、透明な酸化物からなる材料であればよい。
たとえば、酸化インジウム(In)、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化カドミウム(CdO)、酸化インジウムカドミウム(CdIn)、酸化カドミウムスズ(CdSnO)、酸化亜鉛スズ(ZnSnO)、酸化インジウム亜鉛(In−Zn−O)などを挙げることができる。
また、上記の酸化物に不純物を添加(ドープ)してもよい。たとえば、酸化インジウムにスズ(Sn)、モリブデン(Mo)、チタン(Ti)をドープしたり、酸化スズにアンチモン(Sb)、フッ素(F)をドープしたり、酸化亜鉛にインジウム、アルミニウム、ガリウム(Ga)をドープしたりすることができる。
The material of the lower transparent conductive electrode 51 may be any material that is conductive and made of a transparent oxide.
For example, indium oxide (In 2 O 3 ), tin oxide (SnO 2 ), zinc oxide (ZnO), cadmium oxide (CdO), indium cadmium oxide (CdIn 2 O 4 ), cadmium tin oxide (Cd 2 SnO 4 ), Examples include zinc tin oxide (Zn 2 SnO 4 ) and indium zinc oxide (In—Zn—O).
Further, an impurity may be added (doped) to the above oxide. For example, indium oxide is doped with tin (Sn), molybdenum (Mo), titanium (Ti), tin oxide is doped with antimony (Sb) and fluorine (F), zinc oxide is doped with indium, aluminum, gallium ( Ga) can be doped.

金属電極52の材料は、Al、Au、Ag、Cu、Pt、Crなどの金属が好ましく、Alが特に好ましい。Alは、鏡面反射性を有しており、光を素子内に閉じ込めることができるとともに、光電変換層4で生じたキャリアを効率よく取り出すことができるためである。また、上述した金属を含有する合金であってもよい。   The material of the metal electrode 52 is preferably a metal such as Al, Au, Ag, Cu, Pt, or Cr, and particularly preferably Al. This is because Al has specular reflectivity and can confine light in the device and can efficiently extract carriers generated in the photoelectric conversion layer 4. Moreover, the alloy containing the metal mentioned above may be sufficient.

次に、本発明の第2実施形態について、図1を参照して説明する。本実施形態の太陽電池101と上述の第1実施形態の太陽電池100との異なる点は、光電変換層4と下部電極層5との間に下部光電変換層6が積層されている点である。
なお、上述の第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The difference between the solar cell 101 of the present embodiment and the solar cell 100 of the first embodiment described above is that the lower photoelectric conversion layer 6 is laminated between the photoelectric conversion layer 4 and the lower electrode layer 5. .
In addition, about the structure similar to the above-mentioned 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the overlapping description is abbreviate | omitted.

(第2実施形態)
図2は、本実施形態の太陽電池101を示す断面模式図である。
本実施形態の太陽電池101は、基板1上に、光散乱膜2、上部電極層3、光電変換層4、下部光電変換層6、及び下部電極層5が図2に示す順番に積層されて構成されている。
(Second Embodiment)
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the solar cell 101 of the present embodiment.
In the solar cell 101 of the present embodiment, a light scattering film 2, an upper electrode layer 3, a photoelectric conversion layer 4, a lower photoelectric conversion layer 6, and a lower electrode layer 5 are laminated on a substrate 1 in the order shown in FIG. It is configured.

光電変換層4と下部電極層5との間に積層された下部光電変換層6は、p型薄膜シリコン層61、i型薄膜シリコン層62、n型薄膜シリコン層63が図2に示す順序で積層されて形成されている。
上述のように、基板1、光散乱膜2、上部電極層3、光電変換層4、下部光電変換層6、下部電極層5が積層された構造を、以下の説明において、「タンデムタイプ」と称する。
The lower photoelectric conversion layer 6 laminated between the photoelectric conversion layer 4 and the lower electrode layer 5 has a p-type thin film silicon layer 61, an i-type thin film silicon layer 62, and an n-type thin film silicon layer 63 in the order shown in FIG. It is formed by stacking.
As described above, the structure in which the substrate 1, the light scattering film 2, the upper electrode layer 3, the photoelectric conversion layer 4, the lower photoelectric conversion layer 6, and the lower electrode layer 5 are stacked is referred to as “tandem type” in the following description. Called.

タンデムタイプにおいては、光は、第1実施形態と同様に、基板1の光取り込み面1aから基板1に入射し、基板1内部を通過した後、光取り込み面1aの反対側の面1bに接合された光散乱膜2に入射する。入射した光は、光散乱膜2および上部電極層3を通過して、光電変換層4および下部光電変換層6に入射する。この光電変換層4および下部光電変換層6において光起電力を生じることで、光が電力へと変換される。   In the tandem type, light enters the substrate 1 from the light capturing surface 1a of the substrate 1 and passes through the inside of the substrate 1 and then joins to the surface 1b opposite to the light capturing surface 1a, as in the first embodiment. The incident light enters the light scattering film 2. The incident light passes through the light scattering film 2 and the upper electrode layer 3 and enters the photoelectric conversion layer 4 and the lower photoelectric conversion layer 6. Light is converted into electric power by generating a photovoltaic force in the photoelectric conversion layer 4 and the lower photoelectric conversion layer 6.

図2に示すように、タンデムタイプは光電変換層4と下部光電変換層6の2つの光電変換層を直列につなげた構造である。2つの光電変換層を有するため、1つの光電変換層しか有しない太陽電池よりも、光起電力を大きくすることができる。
なお、タンデムタイプにおいては、バンドギャップの大きい太陽電池素子が光入射側に設置された方が、有効に光を利用できるため光電変換層4がアモルファスシリコン太陽電池、下部光電変換層6が微結晶シリコン太陽電池またはシリコンゲルマニウム太陽電池等であることが好ましい。
As shown in FIG. 2, the tandem type has a structure in which two photoelectric conversion layers of a photoelectric conversion layer 4 and a lower photoelectric conversion layer 6 are connected in series. Since it has two photoelectric conversion layers, it can make a photovoltaic power larger than the solar cell which has only one photoelectric conversion layer.
In the tandem type, when a solar cell element having a large band gap is installed on the light incident side, light can be used more effectively, so that the photoelectric conversion layer 4 is an amorphous silicon solar cell and the lower photoelectric conversion layer 6 is a microcrystal. A silicon solar cell or a silicon germanium solar cell is preferred.

次に、本発明の第3実施形態について、図3を参照して説明する。本実施形態の太陽電池102と上述の第1実施形態の太陽電池100との異なる点は、光散乱膜と基板とが離間して積層されている点である。
なお、上述の第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The difference between the solar cell 102 of the present embodiment and the solar cell 100 of the first embodiment described above is that the light scattering film and the substrate are stacked apart.
In addition, about the structure similar to the above-mentioned 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the overlapping description is abbreviate | omitted.

(第3実施形態)
図3は、本実施形態の太陽電池102を示す断面模式図である。
本実施形態の太陽電池102は、基板11上に下部電極層5、光電変換層4、上部電極層3、光散乱膜2が図3に示す順序で積層されて構成されており、基板11と光散乱膜2とが離間して積層されている。
さらに、上部電極層3の一面は、第1実施形態の太陽電池100と同様に、光散乱膜2の平坦面2bに接合されている。そのため、上部電極層3、光電変換層4および下部電極層5の平坦性が確保される構成となっている。
光散乱膜2の平坦面2bの他面側には、光取り込み面2aが設けられ、光を太陽電池102の内部に取り込むことができる構成となっている。
以下の説明において、上述のように光散乱膜と基板とが離間して積層された構造を「サブストレートタイプ」と称する。
(Third embodiment)
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the solar cell 102 of the present embodiment.
The solar cell 102 of the present embodiment is configured by laminating the lower electrode layer 5, the photoelectric conversion layer 4, the upper electrode layer 3, and the light scattering film 2 on the substrate 11 in the order shown in FIG. The light scattering film 2 is laminated so as to be spaced apart.
Furthermore, one surface of the upper electrode layer 3 is bonded to the flat surface 2b of the light scattering film 2 in the same manner as the solar cell 100 of the first embodiment. Therefore, the flatness of the upper electrode layer 3, the photoelectric conversion layer 4, and the lower electrode layer 5 is ensured.
A light capturing surface 2 a is provided on the other surface side of the flat surface 2 b of the light scattering film 2 so that light can be captured inside the solar cell 102.
In the following description, the structure in which the light scattering film and the substrate are stacked apart as described above is referred to as a “substrate type”.

サブストレートタイプにおいては、光は、図3に矢印Aで示すように、光取り込み面2aから光散乱膜2に入射される。入射された光は、光散乱膜2内部を通過した後、光取り込み面2aの反対側の平坦面2bに接合された上部電極層3に入射される。光はさらに上部電極層3を通過して、光電変換層4に入射される。そして、光電変換層4において光起電力が生じ、光が電力へと変換される。   In the substrate type, light is incident on the light scattering film 2 from the light capturing surface 2a as indicated by an arrow A in FIG. The incident light passes through the inside of the light scattering film 2 and then enters the upper electrode layer 3 bonded to the flat surface 2b opposite to the light capturing surface 2a. The light further passes through the upper electrode layer 3 and enters the photoelectric conversion layer 4. Then, a photovoltaic force is generated in the photoelectric conversion layer 4, and light is converted into electric power.

従って、サブストレートタイプの場合は基板11から光が入射しないので、基板11は不透明な材料で形成されてもよい。すなわち、基板11を形成する材料としては、第1実施形態における基板1と同様に、ガラス、石英および透明性ポリイミドなどの透明な材料を用いることもできるが、これに加えて、不透明性ポリイミド、ステンレス薄板などを用いることもできる。   Therefore, in the case of the substrate type, no light enters from the substrate 11, and therefore the substrate 11 may be formed of an opaque material. That is, as a material for forming the substrate 11, a transparent material such as glass, quartz, and transparent polyimide can be used as in the substrate 1 in the first embodiment, but in addition to this, an opaque polyimide, A stainless steel plate or the like can also be used.

上述した本発明の光散乱膜2によれば、マトリックス樹脂中に、前記マトリックス樹脂よりも屈折率が高い散乱粒子が分散されているので、効果的に光が散乱される。そして、散乱粒子の平均粒径が1.0μm以上10.0μm以下であり、マトリックス樹脂と散乱粒子との屈折率差が0.05以上0.30以下であるので、光散乱膜2において、高い透過率と高いヘイズ率を同時に実現することができる。従って、太陽電池に適用することによって光閉じ込め効果を向上させることができ、太陽電池の変換効率を向上させることができる。   According to the light scattering film 2 of the present invention described above, since scattering particles having a refractive index higher than that of the matrix resin are dispersed in the matrix resin, light is effectively scattered. In addition, since the average particle diameter of the scattering particles is 1.0 μm or more and 10.0 μm or less and the refractive index difference between the matrix resin and the scattering particles is 0.05 or more and 0.30 or less, it is high in the light scattering film 2. A transmittance and a high haze ratio can be realized at the same time. Therefore, by applying to a solar cell, the light confinement effect can be improved and the conversion efficiency of the solar cell can be improved.

また、光散乱膜2に占める散乱粒子の比率が30質量パーセント以下であるので、半導体層等が積層される面を平坦に形成することができ、成膜される半導体層に欠陥が生じにくくなる。従って、太陽電池に適用することによって、半導体膜の欠陥に起因する出力電圧や曲線因子の悪化がなく、変換効率のよい太陽電池を構成することができる。   In addition, since the ratio of the scattering particles in the light scattering film 2 is 30 mass percent or less, the surface on which the semiconductor layers and the like are stacked can be formed flat, and defects are less likely to occur in the formed semiconductor layer. . Therefore, by applying to a solar cell, it is possible to configure a solar cell with good conversion efficiency without deterioration of output voltage and curve factor due to defects in the semiconductor film.

さらに、光散乱膜の膜厚が1.0μm以上であるので、薄膜シリコン系太陽電池に充分適用可能な厚さでありながら、半導体等の積層面が平坦に形成された光散乱膜を構成することができる。   Furthermore, since the film thickness of the light scattering film is 1.0 μm or more, it constitutes a light scattering film in which the laminated surface of a semiconductor or the like is formed flat while having a thickness sufficiently applicable to a thin film silicon solar cell. be able to.

さらに、本発明の光学部材10によれば、光散乱膜2と、光散乱膜2の一方の面に配置された透明な基板1とを備えているので、太陽電池に適用することによって、光閉じ込め効果を向上させ、太陽電池の変換効率を向上させることができる。   Furthermore, according to the optical member 10 of the present invention, the optical member 10 includes the light scattering film 2 and the transparent substrate 1 disposed on one surface of the light scattering film 2. The confinement effect can be improved and the conversion efficiency of the solar cell can be improved.

加えて、本発明の太陽電池は、光電変換層4の少なくとも光取り込み側に光散乱膜2又は光学部材10が配置されているので、光閉じ込め効果が高く、変換効率の高い太陽電池とすることができる。   In addition, since the light scattering film 2 or the optical member 10 is disposed at least on the light capturing side of the photoelectric conversion layer 4, the solar cell of the present invention has a high light confinement effect and a high conversion efficiency. Can do.

以下、本発明を実施例に基づいてさらに具体的に説明する。しかし、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically based on examples. However, the present invention is not limited only to these examples.

(実施例1)
まず、メラミン・ホルムアルデヒド縮合粒子((株)日本触媒製、商品名「エポスターS12」)を5質量部と、アルカリ可溶アクリル樹脂を20質量部と、多官能アクリルモノマー(東亞合成(株)製、商品名「アロニックスM−400」)を10質量部と、光重合開始剤(チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名「イルガキュアー907」)を0.5質量部と、有機溶媒(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を120質量部とを充分に混合して、光散乱膜を形成する塗布液を調整した。
なお、メラミン・ホルムアルデヒド縮合粒子は、平均粒径1〜2μmのものを用いた。
Example 1
First, 5 parts by mass of melamine / formaldehyde condensation particles (trade name “Eposter S12” manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), 20 parts by mass of alkali-soluble acrylic resin, and polyfunctional acrylic monomer (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) , Trade name “Aronix M-400”), 10 parts by weight, photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, trade name “Irgacure 907”), 0.5 part by weight, and organic solvent (propylene glycol monomethyl ether) A coating solution for forming a light scattering film was prepared by sufficiently mixing 120 parts by mass of acetate).
Melamine / formaldehyde condensation particles having an average particle diameter of 1 to 2 μm were used.

次に、上述の塗布液を所定量コーニング1737ガラス基板上に滴下し、このガラス基板を毎分800回転の回転速度で5秒間回転させることにより、塗膜を形成した。この塗膜を乾燥させた後、230℃で60分間焼成することにより、コーニング1737ガラス基板上に厚さ2.5μmの光散乱膜を形成し、ガラス基板と光散乱膜からなる光学部材を作製した。
作製された光散乱膜の表面はきわめて平坦であり、表面粗さRaは230Åであった。また、光散乱膜のヘイズ値は58.2%であった。
Next, a predetermined amount of the above coating solution was dropped onto a Corning 1737 glass substrate, and this glass substrate was rotated at a rotation speed of 800 rpm for 5 seconds to form a coating film. After drying this coating film, baking is performed at 230 ° C. for 60 minutes to form a 2.5 μm thick light scattering film on a Corning 1737 glass substrate, and an optical member composed of the glass substrate and the light scattering film is produced. did.
The surface of the produced light scattering film was extremely flat, and the surface roughness Ra was 230 mm. The haze value of the light scattering film was 58.2%.

次に、DCマグネトロンスパッタ装置を用いて、ZnO:Ga(Ga:5wt%)セラミックターゲットをスパッタし、光散乱膜上にガリウムドープ酸化亜鉛透明導電膜を200nm成膜し、上部電極層を形成した。
次に、プラズマCVD装置を用いて、ガリウムドープ酸化亜鉛透明導電膜上に、膜厚20nmのp型アモルファスシリコンカーバイド層、膜厚300nmのi型アモルファスシリコン層、膜厚25nmのn型アモルファスシリコン層をこの順序で成膜し、光電変換層を形成した。
引き続き、DCマグネトロンスパッタ装置を用いて、ZnO:Ga(Ga:5wt%)セラミックターゲットをスパッタし、膜厚15nmのガリウムドープ酸化亜鉛透明導電膜を成膜し、下部透明電極を形成した。
最後に、真空蒸着装置により、n型アモルファスシリコン層の上に膜厚100nmのアルミニウムからなる金属電極を成膜して、下部透明電極と金属電極とからなる下部電極を形成して、スーパーストレートタイプの太陽電池サンプルを作製した。
Next, a ZnO: Ga (Ga: 5 wt%) ceramic target was sputtered using a DC magnetron sputtering apparatus, and a gallium-doped zinc oxide transparent conductive film was formed to a thickness of 200 nm on the light scattering film to form an upper electrode layer. .
Next, using a plasma CVD apparatus, a p-type amorphous silicon carbide layer having a thickness of 20 nm, an i-type amorphous silicon layer having a thickness of 300 nm, and an n-type amorphous silicon layer having a thickness of 25 nm are formed on the gallium-doped zinc oxide transparent conductive film. Were formed in this order to form a photoelectric conversion layer.
Subsequently, using a DC magnetron sputtering apparatus, a ZnO: Ga (Ga: 5 wt%) ceramic target was sputtered to form a gallium-doped zinc oxide transparent conductive film having a thickness of 15 nm to form a lower transparent electrode.
Finally, a metal electrode made of aluminum having a film thickness of 100 nm is formed on the n-type amorphous silicon layer by a vacuum deposition apparatus, and a lower electrode made of a lower transparent electrode and a metal electrode is formed. A solar cell sample was prepared.

(実施例2)
まず、実施例1で用いた塗布液の材料において、メラミン・ホルムアルデヒド縮合粒子の含量を10質量部とし、さらにコロイダルシリカ(日産化学社製 商品名「PMA-ST」)を2質量部加えたこと以外は実施例1と同様にして、光散乱膜を形成する塗布液を調整した。
(Example 2)
First, in the coating liquid material used in Example 1, the content of melamine / formaldehyde condensation particles was 10 parts by mass, and further 2 parts by mass of colloidal silica (trade name “PMA-ST” manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.) was added. Except for this, a coating solution for forming a light scattering film was prepared in the same manner as in Example 1.

次に、実施例1と同様の方法で、厚さ2.5μmの光散乱膜を形成し、ガラス基板と光散乱膜とからなる光学部材を作製した。
作製された光散乱膜の表面はきわめて平坦であり、表面粗さRaは200Åであった。また、この光散乱膜のヘイズ値は71.2%であった。
Next, a light scattering film having a thickness of 2.5 μm was formed by the same method as in Example 1, and an optical member composed of a glass substrate and a light scattering film was produced.
The surface of the produced light scattering film was extremely flat, and the surface roughness Ra was 200 mm. The haze value of this light scattering film was 71.2%.

さらに、実施例1と同様の方法で、上部電極層、光電変換層、下部透明電極と金属電極とからなる下部電極を順次積層し、スーパーストレートタイプの太陽電池サンプルを作製した。   Furthermore, the upper electrode layer, the photoelectric conversion layer, the lower electrode composed of the lower transparent electrode and the metal electrode were sequentially laminated in the same manner as in Example 1 to produce a super straight type solar cell sample.

(実施例3)
まず、メラミン/シリカ複合粒子(日産化学工業社製、商品名「オプトビーズ」)を10質量部と、アルカリ可溶アクリル樹脂を20質量部と、多官能アクリルモノマー(東亞合成(株)製、商品名「アロニックスM−400」)を10質量部と、光重合開始剤(チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名「イルガキュアー907」)を0.5質量部と、コロイダルシリカ(日産化学社製 商品名「PMA-ST」)を2質量部と、有機溶媒(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を120質量部とを充分に混合して、光散乱膜を形成する塗布液を調整した。
なお、メラミン/シリカ複合粒子は、平均粒径2.0μmのものを用いた。
(Example 3)
First, 10 parts by mass of melamine / silica composite particles (manufactured by Nissan Chemical Industries, trade name “Optobeads”), 20 parts by mass of alkali-soluble acrylic resin, and polyfunctional acrylic monomer (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) 10 parts by mass of trade name “Aronix M-400”, 0.5 parts by mass of photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, trade name “Irgacure 907”), and colloidal silica (manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.) 2 parts by mass of the name “PMA-ST”) and 120 parts by mass of an organic solvent (propylene glycol monomethyl ether acetate) were sufficiently mixed to prepare a coating solution for forming a light scattering film.
The melamine / silica composite particles used had an average particle size of 2.0 μm.

次に、実施例1と同様の方法で、厚さ3.0μmの光散乱膜を形成し、ガラス基板と光散乱膜とからなる光学部材を作製した。
作製された光散乱膜の表面はきわめて平坦であり、表面粗さRaは215Åであった。また、この光散乱膜のヘイズ値は80.5%であった。
Next, a light scattering film having a thickness of 3.0 μm was formed in the same manner as in Example 1, and an optical member composed of a glass substrate and a light scattering film was produced.
The surface of the produced light scattering film was extremely flat, and the surface roughness Ra was 215 mm. Further, the haze value of this light scattering film was 80.5%.

さらに、実施例1と同様の方法で、上部電極層、光電変換層、下部透明電極と金属電極とからなる下部電極を順次積層し、スーパーストレートタイプの太陽電池サンプルを作製した。   Furthermore, the upper electrode layer, the photoelectric conversion layer, the lower electrode composed of the lower transparent electrode and the metal electrode were sequentially laminated in the same manner as in Example 1 to produce a super straight type solar cell sample.

(比較例1)
ヘイズ率が10%のAsahi−Type−U基板(旭硝子(株)製)を用意し、DCマグネトロンスパッタ装置のチャンバー内の所定の位置にセットした。このDCマグネトロンスパッタ装置を用いて、ZnO:Ga(Ga:5wt%)セラミックターゲットをスパッタし、Asahi−Type−U基板上にガリウムドープ酸化亜鉛透明導電膜を200nm成膜し、上部電極層を形成した。
次に、プラズマCVD装置を用いて、ガリウムドープ酸化亜鉛透明導電膜上に、膜厚20nmのp型アモルファスシリコンカーバイド層、膜厚300nmのi型アモルファスシリコン層、膜厚25nmのn型アモルファスシリコン層をこの順序で成膜し、光電変換層を形成した。
引き続き、DCマグネトロンスパッタ装置を用いて、ZnO:Ga(Ga:5wt%)セラミックターゲットをスパッタし、膜厚15nmのガリウムドープ酸化亜鉛透明導電膜を成膜し、下部透明電極を形成した。
最後に、真空蒸着装置により、n型アモルファスシリコン層の上に膜厚100nmのアルミニウムからなる金属電極を成膜して、下部透明電極と金属電極とからなる下部電極を形成して、スーパーストレートタイプの太陽電池サンプルを作製した。
(Comparative Example 1)
An Asahi-Type-U substrate (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having a haze ratio of 10% was prepared and set at a predetermined position in the chamber of the DC magnetron sputtering apparatus. Using this DC magnetron sputtering apparatus, a ZnO: Ga (Ga: 5 wt%) ceramic target is sputtered, a 200 nm gallium-doped zinc oxide transparent conductive film is formed on an Asahi-Type-U substrate, and an upper electrode layer is formed. did.
Next, using a plasma CVD apparatus, a p-type amorphous silicon carbide layer having a thickness of 20 nm, an i-type amorphous silicon layer having a thickness of 300 nm, and an n-type amorphous silicon layer having a thickness of 25 nm are formed on the gallium-doped zinc oxide transparent conductive film. Were formed in this order to form a photoelectric conversion layer.
Subsequently, using a DC magnetron sputtering apparatus, a ZnO: Ga (Ga: 5 wt%) ceramic target was sputtered to form a gallium-doped zinc oxide transparent conductive film having a thickness of 15 nm to form a lower transparent electrode.
Finally, a metal electrode made of aluminum having a film thickness of 100 nm is formed on the n-type amorphous silicon layer by a vacuum deposition apparatus, and a lower electrode made of a lower transparent electrode and a metal electrode is formed. A solar cell sample was prepared.

実施例1〜3および比較例1で作製した太陽電池サンプルの特性測定実験を行った。
25℃の雰囲気中で、ソーラーシミュレーターによってAM1.5、100mW/cmの擬似太陽光を作り出し、これを太陽電池サンプルに照射して、開放電圧、曲線因子、短絡電流および変換効率の4つの特性を測定した。
実施例1〜3および比較例1の光散乱膜の特性を表1にまとめて示すとともに、実施例1〜3および比較例1の太陽電池の特性を表2および図4に示す。ここで透過率とは波長400nm〜800nmでの積分球による透過率測定値(空気をレファレンスとして測定)の平均値で表している。
表2および図4から分かるように、実施例1〜3の太陽電池サンプルの開放電圧、曲線因子、短絡電流および変換効率の値は、比較例1の太陽電池サンプルよりも高くなり、優れた発電特性を示すことがわかる。
The characteristic measurement experiment of the solar cell sample produced in Examples 1-3 and Comparative Example 1 was conducted.
In a 25 ° C. atmosphere, a solar simulator creates AM1.5, 100 mW / cm 2 simulated sunlight and irradiates the solar cell sample with four characteristics: open-circuit voltage, fill factor, short-circuit current, and conversion efficiency. Was measured.
The characteristics of the light scattering films of Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 are shown together in Table 1, and the characteristics of the solar cells of Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 are shown in Table 2 and FIG. Here, the transmittance is represented by an average value of transmittance measured values (measured with air as a reference) using an integrating sphere at wavelengths of 400 nm to 800 nm.
As can be seen from Table 2 and FIG. 4, the open-circuit voltage, the fill factor, the short-circuit current, and the conversion efficiency of the solar cell samples of Examples 1 to 3 are higher than those of the solar cell sample of Comparative Example 1 and have excellent power generation. It can be seen that the characteristics are shown.

Figure 2009016556
Figure 2009016556

Figure 2009016556
Figure 2009016556

本発明の実施形態である太陽電池の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the solar cell which is embodiment of this invention. 本発明の実施形態である太陽電池の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the solar cell which is embodiment of this invention. 本発明の実施形態である太陽電池の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the solar cell which is embodiment of this invention. 本発明の実施例および比較例の光散乱膜のヘイズ率と開放電圧、曲線因子、短絡電流および変換効率との関係を表したグラフである。It is the graph showing the relationship between the haze rate of the light-scattering film of the Example of this invention, and an open circuit voltage, a fill factor, a short circuit current, and conversion efficiency.

符号の説明Explanation of symbols

1…基板(透明基体)、1a…光取り出し面、2…光散乱膜(太陽電池用光散乱膜)、2a…光取り出し面、2b…平坦面、3…上部電極層、4…光電変換層、10…光学部材(太陽電池用光学部材)、41…p型薄膜シリコン層、42…i型薄膜シリコン層、43…n型薄膜シリコン層、5…下部電極層、51…下部透明導電電極、52…金属電極、6…下部光電変換層、61…p型薄膜シリコン層、62…i型薄膜シリコン層、63…n型薄膜シリコン層、100、101、102…太陽電池 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate (transparent substrate), 1a ... Light extraction surface, 2 ... Light scattering film (light scattering film for solar cell), 2a ... Light extraction surface, 2b ... Flat surface, 3 ... Upper electrode layer, 4 ... Photoelectric conversion layer DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Optical member (optical member for solar cells), 41 ... p-type thin film silicon layer, 42 ... i-type thin film silicon layer, 43 ... n-type thin film silicon layer, 5 ... lower electrode layer, 51 ... lower transparent conductive electrode, 52 ... Metal electrode, 6 ... Lower photoelectric conversion layer, 61 ... P-type thin film silicon layer, 62 ... i-type thin film silicon layer, 63 ... N-type thin film silicon layer, 100, 101, 102 ... Solar cell

Claims (5)

マトリックス樹脂中に、前記マトリックス樹脂よりも屈折率が高い散乱粒子が分散された太陽電池用光散乱膜であって、
前記散乱粒子の平均粒径が1.0μm以上10.0μm以下であり、前記マトリックス樹脂と前記散乱粒子との屈折率差が0.05以上0.30以下であることを特徴とする太陽電池用光散乱膜。
A light scattering film for solar cells in which scattering particles having a refractive index higher than that of the matrix resin are dispersed in the matrix resin,
The average particle diameter of the scattering particles is 1.0 μm or more and 10.0 μm or less, and the refractive index difference between the matrix resin and the scattering particles is 0.05 or more and 0.30 or less. Light scattering film.
前記太陽電池用光散乱膜に占める前記散乱粒子の比率は、30質量パーセント以下であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用光散乱膜。   2. The solar cell light scattering film according to claim 1, wherein a ratio of the scattering particles in the solar cell light scattering film is 30 mass percent or less. 前記太陽電池用光散乱膜の膜厚は、1.0μm以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の太陽電池用光散乱膜。   3. The solar cell light scattering film according to claim 1, wherein the solar cell light scattering film has a thickness of 1.0 μm or more. 4. 請求項1から3のいずれか1項に記載の太陽電池用光散乱膜と、
前記太陽電池用光散乱膜の一方の面に配置された透明基体と、
を備えることを特徴とする太陽電池用光学部材。
The light-scattering film for solar cells according to any one of claims 1 to 3,
A transparent substrate disposed on one surface of the solar cell light scattering film;
An optical member for solar cells, comprising:
光電変換層を有する太陽電池であって、
前記光電変換層の少なくとも光が入射する側の面に請求項1から3のいずれか1項に記載の太陽電池用光散乱膜が配置されていることを特徴とする太陽電池。
A solar cell having a photoelectric conversion layer,
The solar cell light-scattering film of any one of Claim 1 to 3 is arrange | positioned at the surface at the side into which light injects at least of the said photoelectric converting layer, The solar cell characterized by the above-mentioned.
JP2007176355A 2007-07-04 2007-07-04 Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery Withdrawn JP2009016556A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007176355A JP2009016556A (en) 2007-07-04 2007-07-04 Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007176355A JP2009016556A (en) 2007-07-04 2007-07-04 Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009016556A true JP2009016556A (en) 2009-01-22

Family

ID=40357111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007176355A Withdrawn JP2009016556A (en) 2007-07-04 2007-07-04 Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009016556A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010199418A (en) * 2009-02-26 2010-09-09 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology Substrate for thin film solar cell and thin film solar cell using the same
JP2011040525A (en) * 2009-08-10 2011-02-24 Konica Minolta Opto Inc Light scattering film for solar cell and solar cell using the same
KR101203917B1 (en) * 2009-03-04 2012-11-22 주성엔지니어링(주) Flexible thin film type Solar Cell and Method for manufacturing the same
WO2012165848A2 (en) * 2011-05-30 2012-12-06 Lg Innotek Co., Ltd. Solar cell and method of preparing the same
JP2013516778A (en) * 2010-01-08 2013-05-13 サン−ゴバン アドフォル Light collector

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010199418A (en) * 2009-02-26 2010-09-09 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology Substrate for thin film solar cell and thin film solar cell using the same
KR101203917B1 (en) * 2009-03-04 2012-11-22 주성엔지니어링(주) Flexible thin film type Solar Cell and Method for manufacturing the same
JP2011040525A (en) * 2009-08-10 2011-02-24 Konica Minolta Opto Inc Light scattering film for solar cell and solar cell using the same
JP2013516778A (en) * 2010-01-08 2013-05-13 サン−ゴバン アドフォル Light collector
WO2012165848A2 (en) * 2011-05-30 2012-12-06 Lg Innotek Co., Ltd. Solar cell and method of preparing the same
WO2012165848A3 (en) * 2011-05-30 2013-03-28 Lg Innotek Co., Ltd. Solar cell and method of preparing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5147818B2 (en) Substrate for photoelectric conversion device
Morawiec et al. Broadband photocurrent enhancement in a-Si: H solar cells with plasmonic back reflectors
Leem et al. Broadband wide-angle antireflection enhancement in AZO/Si shell/core subwavelength grating structures with hydrophobic surface for Si-based solar cells
Tan et al. Highly transparent modulated surface textured front electrodes for high‐efficiency multijunction thin‐film silicon solar cells
Liu et al. Broadband antireflection and absorption enhancement by forming nano-patterned Si structures for solar cells
Leem et al. Broadband antireflective germanium surfaces based on subwavelength structures for photovoltaic cell applications
US8354586B2 (en) Transparent conductor film stack with cadmium stannate, corresponding photovoltaic device, and method of making same
JP2007288043A (en) Transparent conductive film for photoelectric converter and manufacturing method thereof
WO2012055302A1 (en) Electrode and manufacturing method thereof
JP2003243676A (en) Thin-film photoelectric converting device
Sreejith et al. A comprehensive review on thin film amorphous silicon solar cells
JP2009016556A (en) Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery
Du et al. Surface passivation of ITO on heterojunction solar cells with enhanced cell performance and module reliability
Boccard et al. Low‐refractive‐index nanoparticle interlayers to reduce parasitic absorption in metallic rear reflectors of solar cells
JP2009212507A (en) Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery
Chen et al. Nano-patterned glass superstrates with different aspect ratios for enhanced light harvesting in a-Si: H thin film solar cells
JP2005347444A (en) Photovoltaic element
JP2009016555A (en) Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery
Ateto et al. Triple Layer Antireflection Design Concept for the Front Side of c‐Si Heterojunction Solar Cell Based on the Antireflective Effect of nc‐3C‐SiC: H Emitter Layer
JP2009016554A (en) Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery
JP2009016553A (en) Light scattering film for solar battery, optical member for solar battery and solar battery
JP5357632B2 (en) Photoelectric conversion device
Liu et al. Fabrication and photovoltaic properties of silicon solar cells with different diameters and heights of nanopillars
Chung et al. Hybrid dielectric light trapping designs for thin-film CdZnTe/Si tandem cells
Frantz et al. Microstructured ZnO coatings combined with antireflective layers for light management in photovoltaic devices

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20100907