JP2009016355A - 紫外線ランプシステムのための検出器と、マイクロ波エネルギーを監視するための対応する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロ波発生器を有するタイプの紫外線ランプシステムのための検出器であって、マイクロ波発生器から発生したマイクロ波エネルギーを検出すべく構成された第1の回路を含む。第1の回路は過剰な量のマイクロ波エネルギーに晒されると故障することができる少なくとも1つの放射線感受性素子を備える。第2の回路は第1の回路に繋がれており、放射線感受性素子が故障したかどうかを断続的にテストするよう構成される。紫外線ランプシステムは上記検出器を備える。関連する方法は、過剰な量のマイクロ波エネルギーに晒されると故障することができる、少なくとも1つの放射線感受性素子を備える第1の回路を介してマイクロ波エネルギーを監視する段階と、放射線感受性素子をテストしその放射線感受性素子が故障したかどうかを決定する段階とを含む。
【選択図】なし
Description
本発明は、一般には紫外線ランプシステムに関し、より詳細には、マイクロ波で励起された(microwave−excited)紫外線ランプシステムからのマイクロ波エネルギーの検出に関する。
紫外線(UV:ultraviolet)ランプシステムは、接着剤、シーリング剤、インク、そして塗料といった材料の熱処理(heating)や硬化処理(curing)に、広く用いられている。特定の紫外線ランプシステムは無電極の光源を有し、マイクロ波エネルギーを用いて無電極プラズマランプを励起することによって動作する。マイクロ波エネルギーを用いての励起に依存した、ある無電極の紫外線ランプシステムにおいて、その無電極ランプは金属のマイクロ波空洞(microwave cavity)又はチャンバー内部に搭載される。マグネトロンのような1以上のマイクロ波発生器が、導波管を介してマイクロ波チャンバー内部に繋がれる。マグネトロンは、無電極ランプ内に封入されたガス混合物からプラズマを開始し持続させるためのマイクロ波エネルギーを供給する。そのプラズマは、紫外域、そして赤外域の波長を有するスペクトル線、又は光子で強く重みが付けられた、特性スペクトル電磁波放射を放出する。
本発明は、マイクロ波エネルギー発生器と、そのマイクロ波エネルギー発生器によって発生したマイクロ波エネルギーによって励起された時に紫外線を放出するよう構成された無電極のランプとを備える、紫外線ランプシステムを提供する。この紫外線ランプシステムは更に、過剰な量のマイクロ波エネルギーを検出するための検出器を備える。その検出器は、マイクロ波エネルギーを検出するよう構成された第1の回路を含むのであり、その第1の回路は、過剰な量のマイクロ波エネルギーに晒されると故障することができる、少なくとも1つの放射線感受性の素子を備える。第2の回路は第1の回路に繋がれており、そして、その放射線感受性素子が故障したかどうかを断続的にテストするよう、構成されている。
ここにおいて開示されるさまざまな実施形態は、検出回路と繋がれたテスト回路を含む、紫外線ランプシステムのための、マイクロ波エネルギー検出器を提供する。テスト回路は、検出回路における1以上の放射線感受性素子のインテグリティをチェックするよう、そして紫外線ランプシステムの操作者への追加的保護手段を提供するよう、動作可能である。いくつかの実施形態において、テスト回路は、マイクロ波エネルギー検出器の動作を停止させ、既知の信号を検出回路に取り込み、そのマイクロ波エネルギー検出器の出力を既知のテスト信号に基づいた理論値に対して比較することによって、検出回路における放射線感受性素子をテストすることができる。マイクロ波エネルギー検出器から過剰なエネルギーが検出されたときにそうするであろうと同様に、テストの結果が放射線感受性要素の故障を示すものであるならば紫外線ランプシステムをシャットダウンしてよい。この実施形態において回路という用語は、電気回路を形成する電気素子の個々の集合と、特定の機能を果たす電気回路の集合との両方へ言及するのに用いられる。
Claims (26)
- マイクロ波エネルギーを発生させるためのマイクロ波エネルギー発生器、を備えるタイプの紫外線ランプシステム、のための検出器であって、
前記マイクロ波エネルギーを検出するよう構成された、過剰な量のマイクロ波エネルギーに晒されると故障することができる少なくとも1つの放射線感受性素子を備える第1の回路と、
前記第1の回路に繋がれており、前記放射線感受性素子が故障したかどうかを断続的にテストするよう構成された第2の回路と、
を備える検出器。 - 前記第2の回路は、前記放射線感受性素子をテストするために、既知の信号を前記第1の回路に供給するよう構成される、請求項1に記載の検出器。
- 前記既知の信号はRF信号である、請求項2に記載の検出器。
- 前記既知の信号は低周波AC信号である、請求項2の記載の検出器。
- 前記第2の回路は更に、前記放射線感受性素子をテストするために、前記第1の回路による前記マイクロ波エネルギーの検出を一時的に停止させるよう構成される、請求項2に記載の検出器。
- 前記既知の信号はDC信号である、請求項5に記載の検出器。
- 前記放射線感受性素子は検出ダイオードであって、前記第2の回路は該検出ダイオードを隔てての開回路またはショート回路を検出するよう構成される、請求項1に記載の検出器。
- 前記放射線感受性素子は抵抗器であって、前記第2の回路は該抵抗器を隔てての開回路またはショート回路を検出するよう構成される、請求項1に記載の検出器。
- マイクロ波エネルギー発生器と、
前記マイクロ波エネルギー発生器から発生したマイクロ波エネルギーによって励起されたときに紫外線を放出するよう構成された無電極ランプと、
過剰な量のマイクロ波エネルギーを検出するための検出器であって、
i. マイクロ波エネルギーを検出するよう構成された、過剰な量のマイクロ波エネルギーに晒されると故障することができる少なくとも1つの放射線感受性素子を備える第1の回路と、
ii.前記第1の回路に繋がれており、前記放射線感受性素子が故障したかどうかを断続的にテストするよう構成された第2の回路と、
を含む検出器と、
を備える、基材へ照射するための紫外線ランプシステム。 - 前記マイクロ波エネルギー発生器はマグネトロンである、請求項9に記載の紫外線ランプシステム。
- 前記第2の回路は、前記放射線感受性素子をテストするために既知の信号を前記第1の回路へ供給するよう構成される、請求項9に記載の紫外線ランプシステム。
- 前記既知の信号はRF信号である、請求項11に記載の紫外線ランプシステム。
- 前記既知の信号は低周波AC信号である、請求項11に記載の紫外線ランプシステム。
- 前記第2の回路は更に、前記放射線感受性素子をテストするため、前記第1の回路による前記マイクロ波エネルギーの検出を一時的に停止させるよう構成される、請求項11に記載の紫外線ランプシステム。
- 前記既知の信号はDC信号である、請求項14に記載の紫外線ランプシステム。
- 前記放射線感受性素子は検出ダイオードであり、前記第2の回路は該検出ダイオードを隔てての開回路またはショート回路を検出するよう構成される、請求項9に記載の紫外線ランプシステム。
- 前記放射線感受性素子は抵抗器であって、前記第2の回路は該抵抗器を隔てての開回路またはショート回路を検出するよう構成される、請求項9に記載の紫外線ランプシステム。
- 紫外線ランプシステムから放出されるマイクロ波エネルギーを監視するための方法であって、
過剰な量のマイクロ波エネルギーに晒されると故障することができる少なくとも1つの放射線感受性素子を備える第1の回路を介してマイクロ波エネルギーを監視する段階と、
前記放射線感受性素子をテストして、前記放射線感受性素子が故障したかどうかを決定する段階と、
を含む、方法。 - 前記放射線感受性素子のテストは、前記放射線感受性素子の故障を検出するために既知の信号を前記第1の回路へ断続的に供給する段階を含む、請求項18に記載の方法。
- 前記既知の信号の断続的な供給は、RF信号を断続的に供給する段階を更に含む、請求項19に記載の方法。
- 前記放射線感受性素子のテストは、
前記第1の回路による前記マイクロ波エネルギーの監視を断続的に停止させる段階と、
前記マイクロ波エネルギーの監視が停止されている間に前記既知の信号を供給する段階と、
を更に含む、請求項19に記載の方法。 - 前記既知の信号の断続的な供給は、DC信号を断続的に供給する段階を更に含む、請求項21に記載の方法。
- 前記放射線感受性素子のテストは、検出ダイオードを隔てて開回路またはショート回路を検出する段階を含む、請求項18に記載の方法。
- 前記放射線感受性素子のテストは、抵抗器を隔てて開回路またはショート回路を検出する段階を含む、請求項18に記載の方法。
- マイクロ波エネルギーが存在しないときに前記放射線感受性素子の較正テスト値を記憶する段階を更に含む、請求項18に記載の方法。
- 前記放射線感受性素子のテストは、
前記マイクロ波エネルギーの存在を検出する段階と、
前記マイクロ波エネルギーの存在に応答して、前記放射線感受性素子の故障を検出するために、前記第1の回路に既知の信号を断続的に供給する段階と、
前記マイクロ波エネルギーの不在に応答して、前記放射線感受性素子からの信号を前記較正テスト値と比較して較正におけるドリフトを検出する段階と、
を含む、請求項25に記載の方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61181379U (ja) * | 1984-12-11 | 1986-11-12 | ||
JPH10233606A (ja) * | 1996-10-08 | 1998-09-02 | Fujitsu Ltd | Eh整合器、マイクロ波自動整合器、マイクロ波自動整合方法、半導体製造装置及び記録媒体 |
JP2003123997A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-25 | Lg Electronics Inc | 照明装置内のマイクロ波の漏出を遮断する装置及びその方法 |
Family Cites Families (8)
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---|---|---|---|---|
US4324965A (en) * | 1979-07-25 | 1982-04-13 | Hermann Berstorff Maschinenbau Gmbh | Microwave heating method and apparatus including adjustable tuning members |
US4354153A (en) * | 1979-11-19 | 1982-10-12 | Litton Systems, Inc. | Microwave oven leakage detector and method of using same to test door seal leakage |
US5111210A (en) * | 1990-06-22 | 1992-05-05 | Survival Safety Engineering, Inc. | Collision avoidance radar detector system |
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JPS61181379U (ja) * | 1984-12-11 | 1986-11-12 | ||
JPH10233606A (ja) * | 1996-10-08 | 1998-09-02 | Fujitsu Ltd | Eh整合器、マイクロ波自動整合器、マイクロ波自動整合方法、半導体製造装置及び記録媒体 |
JP2003123997A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-25 | Lg Electronics Inc | 照明装置内のマイクロ波の漏出を遮断する装置及びその方法 |
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