JP2009006710A - Head chip for use in inkjet image forming apparatus and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a head chip for an inkjet image forming apparatus. <P>SOLUTION: This head chip comprises a heater 3 for generating heat formed on a top of a substrate 1, a chamber layer 6 which is formed above the heater 3 and is provided with an ink chamber 6a for storing ink, a nozzle layer 8 which is formed on the chamber layer 6 and is provided with a nozzle 8a corresponding to the ink chamber 6a, and a heat transmission layer 7 for transmitting a part of heat generated by the heater 3 to the nozzle 8a. The ink to be ejected through the nozzle 8a is heated by the heat transmitted via the heat transmission layer 7, thereby decreasing the viscosity thereof. Consequently, the ink ejected from the nozzle 8a can be readily cut so that an ink liquid droplet of a nearly sphere shape can be obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット画像形成機器に使用可能なヘッドチップ及びその製造方法に関し、より詳細には、熱駆動方式で動作するインクジェット画像形成機器に使用できるヘッドチップとその製造方法に関する。   The present invention relates to a head chip that can be used in an inkjet image forming apparatus and a method for manufacturing the head chip, and more particularly to a head chip that can be used in an inkjet image forming apparatus that operates in a thermal drive system and a method for manufacturing the head chip.

一般に、インクジェット画像形成機器とは、用紙のような印刷媒体にインキを噴射して画像を形成する装置のことをいう。従来のインクジェット画像形成機器のヘッドチップとして、例えば、下記の特許文献１のように、基板と、熱を発生させるヒーターと、インキが供給されるインキチャンバーが設けられているチャンバー層と、インキが噴射されるノズルが設けられているノズル層と、を含み、ヒーターから発生する熱によりインキチャンバー中のインキから気泡ができ、気泡の膨張力によりインキがノズルから吐出されるようにする熱駆動方式のインクジェット画像形成機器のヘッドチップがある。   In general, an inkjet image forming apparatus refers to an apparatus that forms an image by ejecting ink onto a printing medium such as paper. As a head chip of a conventional inkjet image forming apparatus, for example, as in Patent Document 1 below, a substrate, a heater that generates heat, a chamber layer provided with an ink chamber to which ink is supplied, and an ink And a nozzle layer provided with a nozzle to be ejected, and a heat-driven system in which bubbles are generated from the ink in the ink chamber by the heat generated from the heater, and the ink is discharged from the nozzle by the expansion force of the bubbles There is a head chip of an inkjet image forming apparatus.

大韓民国特許公開第１０−２００６−１３３１２７号公報Korean Patent Publication No. 10-2006-133127

しかしながら、上記のような従来のインクジェット画像形成機器のヘッドチップに使われるインキは、粘性を持つ液体であるため、ノズルから吐出されるインキ液滴の形状は尻尾がついたかのように伸張された形態で噴射され、このような伸張形態のインキ液滴により形成されるドットは楕円形状となるが、このような楕円形状のドットでは高解像度の印刷物が得難いという問題点があった。   However, since the ink used for the head chip of the conventional inkjet image forming apparatus as described above is a viscous liquid, the shape of the ink droplets ejected from the nozzles is extended as if it had a tail. However, the dots formed by the ink droplets in such a stretched form have an elliptical shape. However, there is a problem that it is difficult to obtain a high-resolution printed matter with such an elliptical dot.

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、より球形に近いインキ液滴を形成することが可能な、新規かつ改良されたインクジェット画像形成機器に使用可能なヘッドチップ及びその製造方法を提供することにある。   Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a novel and improved inkjet image forming apparatus capable of forming ink droplets having a more spherical shape. It is an object to provide a head chip that can be used in the manufacturing process and a manufacturing method thereof.

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、基板の上部に形成され、熱を発生させるヒーターと、前記ヒーターの上部に形成され、インキを収容するインキチャンバーが設けられるチャンバー層と、前記チャンバー層の上部に形成され、前記インキチャンバーと対応してノズルが設けられるノズル層と、前記ヒーターから発生した熱の一部をノズルに伝達する熱伝逹層と、を含むことを特徴とする、インクジェット画像形成機器に使用可能なヘッドチップが提供される。   In order to solve the above-described problems, according to one aspect of the present invention, a chamber layer provided on an upper portion of a substrate and generating heat and an ink chamber formed on the upper portion of the heater and containing ink is provided. And a nozzle layer formed on the chamber layer and provided with a nozzle corresponding to the ink chamber, and a heat transfer layer for transferring a part of heat generated from the heater to the nozzle. A head chip that can be used in an inkjet image forming apparatus is provided.

前記熱伝逹層は、前記チャンバー層を貫通して形成され、一端が前記ヒーターと隣接して配置される第１熱伝逹部と、前記第１熱伝逹部の他端から前記ノズルに延在して形成される第２熱伝逹部と、を含むことができる。   The heat transfer layer is formed through the chamber layer and has one end disposed adjacent to the heater and the other end of the first heat transfer portion to the nozzle. And a second heat transfer portion formed to extend.

前記ヘッドチップは、前記基板と前記ヒーター間の断熱を行う断熱層と、前記ヒーターを覆って保護するヒーター保護層と、をさらに含むことができる。   The head chip may further include a heat insulating layer that performs heat insulation between the substrate and the heater, and a heater protective layer that covers and protects the heater.

前記ヘッドチップは、前記インキチャンバーの下面を形成し、熱及びインキによる腐食を防止するキャビテーション防止層をさらに含むことができる。   The head chip may further include a cavitation prevention layer that forms a lower surface of the ink chamber and prevents corrosion due to heat and ink.

前記第１熱伝逹部の一端は、前記キャビテーション防止層に当接した状態で形成されることができる。   One end of the first heat transfer portion may be formed in contact with the cavitation prevention layer.

なお、前記チャンバー層の前記インキチャンバー両側には、前記第１熱伝逹部の形成のための熱伝逹溝が前記チャンバー層を貫通して形成されることができる。   In addition, heat transfer grooves for forming the first heat transfer portion may be formed on both sides of the ink chamber of the chamber layer so as to penetrate the chamber layer.

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板の上側にヒーターを形成し；インキを収容するインキチャンバーと前記ヒーターから発生した熱が貫通して伝達されるように形成された熱伝逹溝とが備えられたチャンバー層を形成し；前記熱伝逹溝に、熱が前記チャンバー層を介して伝達されるようにする第１熱伝逹部を形成し；前記インキチャンバー内に犠牲層を形成し；前記第１熱伝逹部及び前記犠牲層の上部に、前記第１熱伝逹部から熱が伝達される第２熱伝逹部を形成し；前記チャンバー層及び第２熱伝逹部の上部に、ノズルが設けられているノズル層を形成し；前記犠牲層を除去することを含むことを特徴とする、インクジェット画像形成機器に使用可能なヘッドチップの製造方法が提供される。   In order to solve the above-mentioned problem, according to another aspect of the present invention, a heater is formed on the upper side of the substrate; the heat generated from the heater and the ink chamber containing the ink is transmitted through the heater. Forming a chamber layer having a heat transfer groove formed thereon; forming a first heat transfer portion in the heat transfer groove to allow heat to be transferred through the chamber layer; Forming a sacrificial layer in the ink chamber; forming a second heat transfer part for transferring heat from the first heat transfer part on the first heat transfer part and the sacrificial layer; A head chip usable for an inkjet image forming apparatus, comprising: forming a nozzle layer provided with a nozzle on the chamber layer and the second heat transfer portion; and removing the sacrificial layer. A manufacturing method is provided.

前記ヒーターは、前記基板の上部に断熱層が形成された後に、前記断熱層の上部に形成される。   The heater is formed on the heat insulation layer after the heat insulation layer is formed on the substrate.

前記チャンバー層は、前記ヒーターの上側に前記ヒーターの保護のためのヒーター保護層が形成され、前記ヒーター保護層の上側に酸化防止のためのキャビテーション防止層が形成された後に、前記キャビテーション防止層の上部に形成される。   The chamber layer is formed with a heater protective layer for protecting the heater on the upper side of the heater, and after forming an anti-oxidation cavitation layer for preventing oxidation on the upper side of the heater protective layer, Formed on top.

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板の上部に形成され、熱を発生させるヒーターと、前記基板の上部に形成され、吐出されるインキを収容するインキ流れ領域と、前記インキ流れ領域の上部に形成され、前記インキ流れ領域と対応してノズルが設けられるノズル層と、前記ヒーターから発生した熱の一部を前記ノズルに伝達する熱伝逹層と、を含むことを特徴とする、インクジェット画像形成機器に使用可能なヘッドチップが提供される。   In order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, a heater that generates heat and is formed on an upper portion of a substrate, and an ink that is formed on the upper portion of the substrate and contains ink to be discharged. A flow region, a nozzle layer formed on the ink flow region and provided with a nozzle corresponding to the ink flow region, and a heat transfer layer for transmitting a part of heat generated from the heater to the nozzle. A head chip that can be used in an inkjet image forming apparatus is provided.

前記インキ流れ領域はインキを収容し、前記ヘッドチップを介してノズルにインキを流すことができる。   The ink flow area contains ink and can flow ink to the nozzles via the head chip.

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板の上側にヒーターを形成し；前記ヒーターから発生した熱を伝達する熱伝逹溝が貫通形成されるインキ流れ領域を形成し；前記熱伝逹溝に、熱が前記インキ流れ領域を貫通して伝達されるようにする第１熱伝逹部を形成し；前記インキ流れ領域内に犠牲層を形成し；前記第１熱伝逹部から熱が伝達され、前記犠牲層の一部にまで延在する第２熱伝逹部を形成し；前記犠牲層及び第２熱伝逹部の上側に、ノズルが設けられているノズル層を形成し；前記犠牲層を除去することを含むことを特徴とする、インクジェット画像形成機器に使用可能なヘッドチップの製造方法が提供される。   In order to solve the above problem, according to another aspect of the present invention, a heater is formed on an upper side of a substrate; an ink flow region in which a heat transfer groove for transmitting heat generated from the heater is formed. Forming a first heat transfer portion in the heat transfer groove that allows heat to be transferred through the ink flow region; forming a sacrificial layer in the ink flow region; Heat is transferred from the first heat transfer section to form a second heat transfer section extending to a part of the sacrificial layer; a nozzle is provided above the sacrificial layer and the second heat transfer section A method of manufacturing a head chip that can be used in an inkjet image forming apparatus is provided, comprising: forming a nozzle layer that is formed; and removing the sacrificial layer.

本発明によれば、ヒーターの熱をノズルに伝達する熱伝逹層が形成され、ノズルを通過して噴射されるインキが、熱伝逹層を介して伝達される熱により加熱されて粘度が低くなるようになっているので、ノズルから噴射されるインキが容易に切れ、球形に近い形態のインキ液滴を得ることが可能となる。   According to the present invention, the heat transfer layer for transferring the heat of the heater to the nozzle is formed, and the ink ejected through the nozzle is heated by the heat transferred through the heat transfer layer and has a viscosity. Since it becomes low, the ink ejected from the nozzle is easily cut off, and it is possible to obtain ink droplets having a shape close to a sphere.

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。   Exemplary embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, in this specification and drawing, about the component which has the substantially same function structure, duplication description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same code | symbol.

本発明の一実施形態によるインクジェット画像形成機器に使用可能なヘッドチップは、図１に示すように、シリコンからなる基板１と、電源の印加によって熱を発生するヒーター３と、ヒーター３と基板１との間に形成され、ヒーター３と基板１間の断熱を行う断熱層２と、ヒーター３の上部に形成され、ヒーター３を保護するヒーター保護層４と、タンタルのような金属物質からなり、ヒーター保護層４の上部に形成されて熱やインキによる表面酸化を防止するキャビテーション防止層５と、キャビテーション防止層５の上部に形成され、インキが供給されるインキチャンバー６ａが形成されるチャンバー層６と、チャンバー層６の上部に形成され、インキチャンバー６ａと対応する位置にインキが噴射されるノズル８ａが形成されたノズル層８と、を含む。ここで、キャビテーション防止層５の上部に、インキチャンバー６ａの設けられたチャンバー層６が形成されるので、キャビテーション防止層５がインキチャンバー６ａの下面を形成する。   As shown in FIG. 1, a head chip that can be used in an inkjet image forming apparatus according to an embodiment of the present invention includes a substrate 1 made of silicon, a heater 3 that generates heat by applying power, and the heater 3 and the substrate 1. A heat insulating layer 2 that insulates between the heater 3 and the substrate 1, a heater protective layer 4 that is formed on the heater 3 and protects the heater 3, and a metal material such as tantalum. A cavitation prevention layer 5 formed on the heater protection layer 4 to prevent surface oxidation due to heat and ink, and a chamber layer 6 formed on the cavitation prevention layer 5 to form an ink chamber 6a to which ink is supplied. And a nozzle 8a formed on the chamber layer 6 and ejected with ink at a position corresponding to the ink chamber 6a. It includes a layer 8, the. Here, since the chamber layer 6 provided with the ink chamber 6a is formed on the cavitation prevention layer 5, the cavitation prevention layer 5 forms the lower surface of the ink chamber 6a.

また、本実施形態によるインクジェット画像形成機器のヘッドチップは、ヒーター３から発生した熱をノズル８ａに伝達し、ノズル８ａから噴射されるインキを加熱する熱伝逹層７が形成されている。   Further, the head chip of the ink jet image forming apparatus according to the present embodiment is formed with the heat transfer layer 7 that transfers the heat generated from the heater 3 to the nozzle 8a and heats the ink ejected from the nozzle 8a.

熱伝逹層７は、一端がヒーター３と隣接するように配置され、ヒーター３から発生した熱が伝達されるようになっており、他端はノズル８ａに延在するように形成され、ヒーター３から発生した熱の一部がノズル８ａに伝達されるようにすることによって、ノズル８ａを通過するインキを加熱できるようになっている。本実施形態で、熱伝逹層７は、チャンバー層６を貫通して形成され、一端がキャビテーション防止層５に当接するように形成され、ヒーター３から発生した熱が伝達される第１熱伝逹部７ａと、第１熱伝逹部７ａの他端からノズル８ａに延在する第２熱伝逹部７ｂと、を含む。このため、チャンバー層６のインキチャンバー６ａ両側にはチャンバー層６を貫通して熱伝逹溝６ｂが形成され、この熱伝逹溝６ｂ内に感光性銀（Ａｇ）ペーストを使って第１熱伝逹部７ａを形成することができる。   The heat transfer layer 7 is arranged so that one end is adjacent to the heater 3, heat generated from the heater 3 is transmitted, and the other end is formed to extend to the nozzle 8 a, and the heater By allowing a part of the heat generated from the nozzle 3 to be transmitted to the nozzle 8a, the ink passing through the nozzle 8a can be heated. In this embodiment, the heat transfer layer 7 is formed through the chamber layer 6, is formed so that one end is in contact with the cavitation prevention layer 5, and the first heat transfer to which the heat generated from the heater 3 is transferred. It includes a flange portion 7a and a second heat transfer portion 7b extending from the other end of the first heat transfer portion 7a to the nozzle 8a. Therefore, heat transfer grooves 6b are formed on both sides of the ink chamber 6a of the chamber layer 6 so as to penetrate the chamber layer 6, and the first heat is formed using photosensitive silver (Ag) paste in the heat transfer grooves 6b. The transmission part 7a can be formed.

したがって、ヒーター３から発生した熱の一部は、熱伝逹層７を介してノズル８ａに伝達され、これによりノズル８ａから噴射／吐出されるインキは加熱され、温度が高まる。液体の粘度は液体の温度増加によって減少するので、インキの粘度は低くなり、容易に切れられる状態となる。したがって、ノズル８ａから噴射されたインキは粘度が低く、よって、短い長さで切れる。すなわち、これらインキ液滴は、インキの低粘性によってどのような大きさにも吐出されることができる。したがって、球形に近い形態のインキ液滴が得られ、高解像度の印刷物が得られるのに必要な円形に近い形態のドットが得られる。
このように構成された本発明によるインクジェット画像形成機器に使用可能なヘッドチップ製造方法について説明すると、下記の通りである。 Therefore, a part of the heat generated from the heater 3 is transmitted to the nozzle 8a through the heat transfer layer 7, whereby the ink ejected / discharged from the nozzle 8a is heated and the temperature is increased. Since the viscosity of the liquid decreases with an increase in the temperature of the liquid, the viscosity of the ink becomes low and can be easily cut off. Therefore, the ink ejected from the nozzle 8a has a low viscosity, and thus can be cut with a short length. That is, these ink droplets can be ejected to any size due to the low viscosity of the ink. Accordingly, ink droplets having a shape close to a sphere are obtained, and dots having a shape close to a circle necessary for obtaining a high-resolution printed matter are obtained.
A head chip manufacturing method that can be used in the inkjet image forming apparatus according to the present invention configured as described above will be described as follows.

まず、図２に示すように、シリコンからなる基板１の上側に、酸化シリコン（ＳｉＯｘ）からなる断熱層２を形成し、断熱層２の上側にヒーター３を形成し、ヒーター３の上側にシリコン窒化膜（ＳｉＮｘ）からなるヒーター保護層４を形成し、ヒーター保護層４の上側に酸化防止のためにタンタル（Ｔａ）からなるキャビテーション防止層５を形成し、インキチャンバー６ａと熱伝逹溝６ｂがそれぞれ設けられたチャンバー層６を形成した後、図３に示すように、感光性銀（Ａｇ）ペーストを熱伝逹溝６ｂに埋め込み、熱伝逹層７の第１熱伝逹部７ａを形成する。続いて、図４に示すように、インキチャンバー６ａに、インクジェット画像形成機器のヘッドチップ製造が完了した後に除去される犠牲層９を埋め込んだ後、第１熱伝逹部７ａと犠牲層９の上側に熱伝逹層７の第２熱伝逹部７ｂを形成した後、図５に示すように、チャンバー層６及び第２熱伝逹部７ｂの上部に、ノズル８ａが設けられているノズル層８を形成し、最終的に犠牲層９をインキチャンバー６ａから除去することで、図１に示すようなインクジェット画像形成機器のヘッドチップの製造を完了する。   First, as shown in FIG. 2, a heat insulating layer 2 made of silicon oxide (SiOx) is formed on the upper side of a substrate 1 made of silicon, a heater 3 is formed on the upper side of the heat insulating layer 2, and silicon is formed on the upper side of the heater 3. A heater protection layer 4 made of a nitride film (SiNx) is formed, and a cavitation prevention layer 5 made of tantalum (Ta) is formed on the heater protection layer 4 to prevent oxidation, and an ink chamber 6a and a heat transfer groove 6b are formed. After forming the chamber layer 6 provided with each, as shown in FIG. 3, a photosensitive silver (Ag) paste is embedded in the heat transfer groove 6b, and the first heat transfer portion 7a of the heat transfer layer 7 is formed. Form. Subsequently, as shown in FIG. 4, after the sacrificial layer 9 to be removed after the head chip manufacturing of the ink jet image forming apparatus is completed in the ink chamber 6a, the first heat transfer portion 7a and the sacrificial layer 9 are formed. After the second heat transfer portion 7b of the heat transfer layer 7 is formed on the upper side, as shown in FIG. 5, a nozzle in which a nozzle 8a is provided above the chamber layer 6 and the second heat transfer portion 7b. By forming the layer 8 and finally removing the sacrificial layer 9 from the ink chamber 6a, the manufacture of the head chip of the inkjet image forming apparatus as shown in FIG. 1 is completed.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the example which concerns. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Understood.

本発明の一実施形態によるインクジェット画像形成機器のヘッドチップを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the head chip of the inkjet image forming apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるインクジェット画像形成機器のヘッドチップ製造過程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the head chip manufacturing process of the inkjet image forming apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるインクジェット画像形成機器のヘッドチップ製造過程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the head chip manufacturing process of the inkjet image forming apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるインクジェット画像形成機器のヘッドチップ製造過程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the head chip manufacturing process of the inkjet image forming apparatus by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるインクジェット画像形成機器のヘッドチップ製造過程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the head chip manufacturing process of the inkjet image forming apparatus by one Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 基板
２ 断熱層
３ ヒーター
４ ヒーター保護層
５ キャビテーション防止層
６ チャンバー層
６ａ インキチャンバー
６ｂ 熱伝逹溝
７ 熱伝逹層
７ａ 第１熱伝逹部
７ｂ 第２熱伝逹部
８ ノズル層
８ａ ノズル
９ 犠牲層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Heat insulation layer 3 Heater 4 Heater protective layer 5 Cavitation prevention layer 6 Chamber layer 6a Ink chamber 6b Heat transfer groove 7 Heat transfer layer 7a First heat transfer portion 7b Second heat transfer portion 8 Nozzle layer 8a Nozzle 9 Sacrificial layer

Claims (9)

基板の上部に形成され、熱を発生させるヒーターと；
前記ヒーターの上部に形成され、インキを収容するインキチャンバーが設けられるチャンバー層と；
前記チャンバー層の上部に形成され、前記インキチャンバーと対応してノズルが設けられるノズル層と；
前記ヒーターから発生した熱の一部をノズルに伝達する熱伝逹層と；
を含むことを特徴とする、インクジェット画像形成機器に使用可能なヘッドチップ。 A heater formed on the substrate and generating heat;
A chamber layer formed on the heater and provided with an ink chamber for containing ink;
A nozzle layer formed on the chamber layer and provided with a nozzle corresponding to the ink chamber;
A heat transfer layer for transferring a portion of the heat generated from the heater to the nozzle;
A head chip that can be used in an inkjet image forming apparatus. 前記熱伝逹層は：
前記チャンバー層を貫通して形成され、一端が前記ヒーターと隣接して配置される第１熱伝逹部と；
前記第１熱伝逹部の他端から前記ノズルに延在して形成される第２熱伝逹部と；
を含むことを特徴とする、請求項１に記載のヘッドチップ。 The heat transfer layer is:
A first heat transfer portion formed through the chamber layer and having one end disposed adjacent to the heater;
A second heat transfer portion formed extending from the other end of the first heat transfer portion to the nozzle;
The head chip according to claim 1, comprising: 前記基板と前記ヒーター間の断熱を行う断熱層と；
前記ヒーターを覆って保護するヒーター保護層と；
をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のヘッドチップ。 A heat insulating layer for performing heat insulation between the substrate and the heater;
A heater protective layer covering and protecting the heater;
The head chip according to claim 1, further comprising: 前記インキチャンバーの下面を形成し、熱及びインキによる腐食を防止するキャビテーション防止層をさらに含むことを特徴とする、請求項２に記載のヘッドチップ。   The head chip according to claim 2, further comprising an anti-cavitation layer that forms a lower surface of the ink chamber and prevents corrosion caused by heat and ink. 前記第１熱伝逹部の一端は、前記キャビテーション防止層に当接した状態で形成されることを特徴とする、請求項４に記載のヘッドチップ。   The head chip according to claim 4, wherein one end of the first heat transfer portion is formed in contact with the cavitation prevention layer. 前記チャンバー層の前記インキチャンバー両側には、前記第１熱伝逹部の形成のための熱伝逹溝が前記チャンバー層を貫通して形成されることを特徴とする、請求項２に記載のヘッドチップ。   The heat transfer groove for forming the first heat transfer part is formed on both sides of the ink chamber of the chamber layer so as to penetrate the chamber layer. Head chip. 基板の上側にヒーターを形成し；
インキを収容するインキチャンバーと前記ヒーターから発生した熱が貫通して伝達されるように形成された熱伝逹溝とが備えられたチャンバー層を形成し；
前記熱伝逹溝に、熱が前記チャンバー層を貫通して伝達されるように第１熱伝逹部を形成し；
前記インキチャンバー内に犠牲層を形成し；
前記第１熱伝逹部及び前記犠牲層の上部に、前記第１熱伝逹部から熱が伝達される第２熱伝逹部を形成し；
前記チャンバー層及び第２熱伝逹部の上部に、ノズルが設けられているノズル層を形成し；
前記犠牲層を除去すること；
を含むことを特徴とする、インクジェット画像形成機器用ヘッドチップの製造方法。 Forming a heater on the upper side of the substrate;
Forming a chamber layer comprising an ink chamber for containing ink and a heat transfer groove formed so that heat generated from the heater is transmitted therethrough;
Forming a first heat transfer portion in the heat transfer groove such that heat is transferred through the chamber layer;
Forming a sacrificial layer in the ink chamber;
Forming a second heat transfer portion to which heat is transferred from the first heat transfer portion on the first heat transfer portion and the sacrificial layer;
Forming a nozzle layer provided with a nozzle on the chamber layer and the second heat transfer section;
Removing the sacrificial layer;
The manufacturing method of the head chip for inkjet image forming apparatuses characterized by including these. 前記ヒーターは、前記基板の上部に断熱層が形成された後に、前記断熱層の上部に形成されることを特徴とする、請求項７に記載のヘッドチップの製造方法。   The method of manufacturing a head chip according to claim 7, wherein the heater is formed on the heat insulation layer after the heat insulation layer is formed on the substrate. 前記チャンバー層は、前記ヒーターの上側に前記ヒーターの保護のためのヒーター保護層が形成され、前記ヒーター保護層の上側に酸化防止のためのキャビテーション防止層が形成された後に、前記キャビテーション防止層の上部に形成されることを特徴とする、請求項７に記載のヘッドチップの製造方法。   The chamber layer is formed with a heater protective layer for protecting the heater on the upper side of the heater, and after forming an anti-oxidation cavitation layer for preventing oxidation on the upper side of the heater protective layer, The head chip manufacturing method according to claim 7, wherein the head chip is formed on an upper portion.
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