JP2009000651A - Film manufacturing method and antireflection substrate - Google Patents

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Takeyuki Yamaki
健之 山木
Yukio Yamaguchi
由岐夫 山口
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a film, which has excellent surface strength and antifouling properties, alkali resistance, and is suitable especially for application for an optical system such as application for antireflection. <P>SOLUTION: The film manufacturing method includes the steps of: hydrolyzing alkoxysilane in a solvent, which does not contain alcohol substantially; coating a coating material containing a resultant product on the surface of the substrate and drying; and forming a film having a thickness of 0.05-1 μm on the surface of the substrate. In a hydrolytic reaction of alkoxysilane, alcohol which inhibits this hydrolytic reaction is eliminated from a reaction system to accelerate the hydrolytic reaction, so as to suppress the remaining of alkoxy groups in the product. As a result, even when a high-temperature treatment cannot be performed, the remaining of the alkoxy groups in the film constituted of a hydrolysis condensate of alkoxysilane is suppressed, thereby enhancing the crosslinking density. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、光学系部材のコーティング等に用いられる被膜の製造方法及び反射防止基板に関する。   The present invention relates to a method for producing a coating film used for coating an optical system member and the like, and an antireflection substrate.

従来、アルコキシシラン、特にテトラエトキシシランに代表される4官能アルコキシシランを部分加水分解したコーティング材は、ガラスに近い高い表面強度を有する被膜を形成することができ、機能性充填剤(微粒子等)やフッ素変性、ビニル変性、アミノ変性等の変性アルコキシシランと組み合わせることで屈折率を調整するなどして、反射防止被膜等の光学系用途に用いられ、また他の分野でも実用化されている(特許文献1参照)。   Conventionally, a coating material obtained by partially hydrolyzing an alkoxysilane, particularly a tetrafunctional alkoxysilane represented by tetraethoxysilane, can form a film having a high surface strength close to that of glass, and a functional filler (fine particles, etc.). It is used for optical system applications such as anti-reflective coatings by adjusting the refractive index in combination with modified alkoxysilanes such as fluorine-modified, vinyl-modified, and amino-modified, and is also put into practical use in other fields ( Patent Document 1).

反射防止用途の中でも、特にディスプレイの最表面に位置する反射防止被膜等は、優れた反射防止性能と共に、傷発生を防止するために表面強度(耐摩擦性)、指紋等の汚れが簡単に除去できる表面撥水・撥油性(防汚染性)も同時に要求されるが、この被膜を多孔質シリカ微粒子と4官能アルコキシシラン部分加水分解物あるいは4官能アルコキシシランとフッ素変性アルコキシシランとの共加水分解物からなる被膜にて形成することで、優れた反射防止性能と共に、優れた表面硬度を付与することができる。   Among anti-reflective applications, especially anti-reflective coatings located on the outermost surface of the display, together with excellent anti-reflective performance, dirt such as surface strength (friction resistance) and fingerprints can be easily removed to prevent scratches. Surface water repellency and oil repellency (contamination resistance) that can be produced are required at the same time, but this film is formed by cohydrolysis of porous silica fine particles and tetrafunctional alkoxysilane partial hydrolyzate or tetrafunctional alkoxysilane and fluorine-modified alkoxysilane. By forming it with a film made of a product, it is possible to impart excellent surface hardness together with excellent antireflection performance.

しかしながら、このような被膜はアルカリ溶液に対する耐性が弱い傾向にあり、特に用途等に応じて膜厚を1μm以下とする必要がある場合、200℃以上の高温熱処理ができない場合、4官能アルコキシシラン比率を高くして高強度化する必要がある場合、機能性充填剤比率を高くする必要がある場合等において、アルカリ耐性の低さが顕著になってくる。このようなアルカリ耐性の低さが顕著となるような具体的な用途としては、酸化チタンに代表される光触媒微粒子を含有したコーティング材被膜を、ガラス等の高硬度基材の表面に形成する用途や、高屈折率・低屈折率微粒子を含有したコーティング材被膜を形成する光学用途が挙げられる。特に光学用途の中でも反射防止用途はその膜厚を0.1〜0.2μm程度の薄膜に形成する必要があり、このためアルカリによって少しでもダメージを受けて屈折率が変化したり膜厚が僅かに減少したりしただけで、反射色に変化を生じてしまう。   However, such a coating tends to have a low resistance to an alkaline solution. Particularly, when the film thickness needs to be 1 μm or less depending on the application, etc., when high-temperature heat treatment at 200 ° C. or higher is not possible, the ratio of tetrafunctional alkoxysilane When it is necessary to increase the strength and increase the strength, or when it is necessary to increase the functional filler ratio, the low alkali resistance becomes prominent. As a specific application in which such low alkali resistance becomes prominent, a coating material film containing photocatalyst fine particles typified by titanium oxide is formed on the surface of a high-hardness substrate such as glass. In addition, an optical application for forming a coating film containing high refractive index / low refractive index fine particles can be mentioned. Especially for optical applications, anti-reflection applications need to be formed into a thin film with a thickness of about 0.1 to 0.2 μm. Even if it decreases, the reflected color changes.

また、ディスプレイ表面の反射防止被膜にはフッ素樹脂からなる被膜も使用されているが、このような被膜は優れた防汚染性と共に強いアルカリ耐性を有しているものの、表面硬度が弱いという問題がある。
特開2003−201443号公報
In addition, a coating made of a fluororesin is also used as an anti-reflection coating on the display surface, but such a coating has a strong alkali resistance as well as excellent antifouling property, but has a problem of low surface hardness. is there.
JP 2003-201443 A

本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、優れた表面強度と防汚染性とを具備すると共に、耐アルカリ性が高く、特に反射防止用途等の光学系用途に対して好適な被膜の製造方法及び反射防止基板を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and has excellent surface strength and antifouling property, and has high alkali resistance and is particularly suitable for optical system applications such as antireflection applications. An object of the present invention is to provide a manufacturing method and an antireflection substrate.

本発明者らは、鋭意研究の結果、アルコキシシランの加水分解反応時に未反応のアルコキシ基が残留すると、このアルコキシ基が特に被膜形成時に200℃以上の高温で処理することができない場合に分解せずに被膜中にそのまま残留し、架橋密度が低下してこの被膜のアルカリ耐性が低下してしまうことを見出し、この未反応アルコキシ基を極力少なくすることで被膜のアルカリ耐性を向上させることが可能であると考えて、本発明を為すに至った。   As a result of diligent research, the present inventors have found that if an unreacted alkoxy group remains during the hydrolysis reaction of alkoxysilane, the alkoxy group cannot be decomposed when it cannot be treated at a high temperature of 200 ° C. or more particularly during film formation. It is possible to improve the alkali resistance of the film by reducing the number of unreacted alkoxy groups as much as possible. Therefore, the present invention has been made.

すなわち、本発明は、アルコールを実質的に含有しない溶媒中でアルコキシシランを加水分解し、得られた生成物を含むコーティング材を基材表面に塗布した後、乾燥することにより、基材表面に厚み0.05〜1μmの被膜を形成することを特徴とする。従来、溶媒とアルコキシシラン及び水との相溶性を考慮してアルコキシシランの加水分解反応はアルコール溶媒中で行われていたものであるが、このように溶媒中にアルコールが実質的に含有されないようにすることで、アルコキシシランの加水分解反応時にはこの加水分解反応を阻害するアルコールが反応系から排除されて前記加水分解反応が促進され、生成物中におけるアルコキシ基の残留を抑制することができ、この結果、高温処理ができない場合であってもアルコキシシランの加水分解縮合物から構成される被膜中のアルコキシ基の残留を抑制して架橋密度を向上することができる。   That is, the present invention hydrolyzes alkoxysilane in a solvent substantially free of alcohol, and after applying the coating material containing the obtained product to the surface of the substrate, it is dried to form the surface of the substrate. A film having a thickness of 0.05 to 1 μm is formed. Conventionally, the hydrolysis reaction of alkoxysilane has been performed in an alcohol solvent in consideration of the compatibility of the solvent with the alkoxysilane and water, but the alcohol is not substantially contained in the solvent in this way. By making the alkoxysilane hydrolysis reaction, alcohol that inhibits the hydrolysis reaction is excluded from the reaction system and the hydrolysis reaction is promoted, and the residual alkoxy group in the product can be suppressed. As a result, even when high temperature treatment is not possible, it is possible to improve the crosslink density by suppressing the residual alkoxy groups in the coating composed of the hydrolysis condensate of alkoxysilane.

この場合、更に上記アルコールを実質的に含有しない溶媒が、水酸基を有さないものであると、アルコール以外の他の水酸基を有する化合物よっても加水分解反応が阻害されないようにすることができ、アルコキシ基の残留を更に抑制することができる。   In this case, if the solvent which does not substantially contain the alcohol has no hydroxyl group, the hydrolysis reaction can be prevented from being inhibited even by a compound having a hydroxyl group other than the alcohol. Residual groups can be further suppressed.

また、上記アルコキシシランの加水分解時に、加水分解反応で生成するアルコールを反応系から除去しながら反応を進行させるようにすれば、加水分解反応で副生するアルコールによっても加水分解反応が阻害されることを抑制し、アルコキシ基の残留を更に抑制することができる。   In addition, if the reaction is allowed to proceed while removing the alcohol produced by the hydrolysis reaction from the reaction system during the hydrolysis of the alkoxysilane, the hydrolysis reaction is also inhibited by the alcohol by-produced by the hydrolysis reaction. This can suppress the remaining of the alkoxy group.

また、上記コーティング材の調製時には、上記アルコキシシランの加水分解の後、得られた生成物を充填材、溶剤、変性アルコキシシランのうち少なくともいずれかと混合することも好ましい。このように、アルコキシシランを加水分解してマトリクス形成材料を得た後に他の成分を配合することで、これらの成分がマトリクス形成材料に取り込まれることなく、その作用を効果的に発揮するようになる。   In preparing the coating material, it is also preferable to mix the obtained product with at least one of a filler, a solvent, and a modified alkoxysilane after hydrolysis of the alkoxysilane. Thus, by hydrolyzing the alkoxysilane to obtain a matrix forming material, other components are blended so that these components are effectively incorporated without being incorporated into the matrix forming material. Become.

また、本発明に係る反射防止基板は、上記のような被膜の製造方法により基材の表面に被膜を形成して成ることを特徴とする。   In addition, the antireflection substrate according to the present invention is characterized in that a film is formed on the surface of a substrate by the above-described method for producing a film.

本発明によれば、被膜がアルコキシシランの加水分解縮合物にて構成されることで表面強度(耐摩擦性)が高く、また高い撥水性、撥油性を備えることで防汚染性が高いものとなり、しかもこの被膜の架橋密度を向上して耐アルカリ性を向上することができ、薄膜の被膜がアルカリに侵されて厚みが低減したり屈折率が変化したりすることで反射色が変化するなどといった特性変化が生じるような事態を防止することができ、特に高温処理ができない用途や、光学系の用途において好適なものである。   According to the present invention, the coating film is composed of a hydrolyzed condensate of alkoxysilane, so that the surface strength (friction resistance) is high, and the high water and oil repellency provides high antifouling properties. In addition, the crosslink density of the coating can be improved to improve alkali resistance, and the reflective coating changes when the thickness of the coating of the thin film is reduced by alkali and the refractive index is changed. It is possible to prevent a situation in which characteristic changes occur, and is particularly suitable for applications where high-temperature processing cannot be performed and optical system applications.

以下、本発明を実施するための最良の形態について説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described.

本発明におけるコーティング材組成物中のマトリクスを形成するマトリクス形成材料は、アルコキシシランの加水分解物(部分加水分解物を含む)、或いはその加水分解物が縮合して生成するシロキサン結合を有する加水分解縮合物である。   The matrix-forming material for forming the matrix in the coating material composition of the present invention is a hydrolyzate of alkoxysilane (including a partial hydrolyzate) or a hydrolysis having a siloxane bond formed by condensation of the hydrolyzate. It is a condensate.

アルコキシシランは下記式(A)で表される。   Alkoxysilane is represented by the following formula (A).

nSiY4-n …(A)
式(A)中、Rは同一又は異種の置換もしくは非置換の炭素数1〜9の1価炭化水素基又はフェニル基を示し、nは0〜2の整数、Yはアルコキシ基を示す。Rとしては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、へプチル基、オクチル基などのアルキル基;シクロペンチル基、シクロヘキシル基などのシクロアルキル基;2−フェニルエチル基、2−フェニルプロピル基、3−フェニルプロピル基などのアラルキル基;フェニル基、トリル基のようなアリール基;ビニル基、アリル基のようなアルケニル基;クロロメチル基、γ−クロロプロピル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基のようなハロゲン置換炭化水素基;γ−メタクリロキシプロピル基、γ−グリシドキシプロピル基、3,4−エポキシシクロヘキシルエチル基、γ−メルカプトプロピル基等の置換炭化水素基などを例示することができる。これらの中でも、合成の容易さ、あるいは入手の容易さから炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基が好ましい。
R n SiY 4-n (A)
In formula (A), R represents the same or different substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 9 carbon atoms or phenyl group, n represents an integer of 0 to 2, and Y represents an alkoxy group. R is, for example, an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group or an octyl group; a cycloalkyl group such as a cyclopentyl group or a cyclohexyl group; a 2-phenylethyl group Aralkyl groups such as 2-phenylpropyl group and 3-phenylpropyl group; aryl groups such as phenyl group and tolyl group; alkenyl groups such as vinyl group and allyl group; chloromethyl group, γ-chloropropyl group, 3 Halogen substituted hydrocarbon groups such as 1,3,3-trifluoropropyl group; substitutions such as γ-methacryloxypropyl group, γ-glycidoxypropyl group, 3,4-epoxycyclohexylethyl group, γ-mercaptopropyl group, etc. A hydrocarbon group etc. can be illustrated. Among these, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms and a phenyl group are preferable because of easy synthesis or availability.

このようなアルコキシシランとしては、上記一般式(A)中のnが0〜2の整数である、ジ−、トリ−、テトラ−の各官能性のアルコキシシランが挙げられる。特に、n=0のテトラアルコキシシランとしてはテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン等を例示でき、n=1のオルガノトリアルコキシシランとしては、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、3,3,3−トリフルオロプロピルトリメトキシシラン等を例示できる。また、n=2のジオルガノジアルコキシシランとしては、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン等を例示できる。   Examples of such alkoxysilane include di-, tri-, and tetra-functional alkoxysilanes in which n in the general formula (A) is an integer of 0 to 2. Particularly, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane and the like can be exemplified as tetraalkoxysilane of n = 0, and methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltriisopropoxysilane, n = 1 as organotrialkoxysilane, Examples thereof include phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane and the like. Examples of n = 2 diorganodialkoxysilanes include dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, and methylphenyldimethoxysilane.

アルコキシシランの加水分解は溶媒中で行われるが、このときアルコールを実質的に含有しない溶媒を用いる必要がある。ここで、「実質的に含有しない」とは、意図的に配合しないことを意味するものであり、反応副生成物や不純物として含有するものは許容される。また、この溶媒としては、更にアルコール以外の水酸基を含む化合物も含まないものであることが好ましい。   Hydrolysis of the alkoxysilane is carried out in a solvent. At this time, it is necessary to use a solvent which does not substantially contain alcohol. Here, “substantially does not contain” means not intentionally blended, and those contained as reaction by-products or impurities are allowed. Moreover, it is preferable that this solvent does not contain the compound containing hydroxyl groups other than alcohol.

このような溶媒は、水又は水と他の液体との混合物であることが好ましく、他の液体としては、例えばトルエン、キシレン、ヘキサン、ヘプタン酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトオキシム等の一種又は二種以上を使用することができる。   Such a solvent is preferably water or a mixture of water and another liquid. Examples of the other liquid include toluene, xylene, hexane, ethyl heptane acetate, butyl acetate, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl ethyl ketoxime. 1 type, or 2 or more types can be used.

また、この加水分解の際には必要に応じて触媒を使用することができる。この触媒としては、特に限定されないが、酸触媒(或いは酸性触媒)としては、例えば、有機酸(例えば酢酸、クロロ酢酸、クエン酸、安息香酸、ジメチルマロン酸、蟻酸、プロピオン酸、グルタール酸、グリコール酸、マレイン酸、マロン酸、トルエンスルホン酸、シュウ酸等)、無機酸(例えば塩酸、硝酸、ハロゲン化シラン等)、酸性ゾル状フィラー(例えば酸性コロイダルシリカ、酸化チタニアゾル等)を挙げることができる。また塩基触媒(或いは塩基性触媒)としては、水酸化ナトリウム、水酸化カルシウム等のアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属の水酸化物の水溶液、アンモニア水、アミン類の水溶液等を挙げることができる。これらの触媒は一種単独で用いるほか、二種以上を併用しても良い。   In addition, a catalyst can be used as necessary during the hydrolysis. The catalyst is not particularly limited. Examples of the acid catalyst (or acidic catalyst) include organic acids (for example, acetic acid, chloroacetic acid, citric acid, benzoic acid, dimethylmalonic acid, formic acid, propionic acid, glutaric acid, glycol). Acid, maleic acid, malonic acid, toluenesulfonic acid, oxalic acid, etc.), inorganic acid (eg hydrochloric acid, nitric acid, halogenated silane, etc.), acidic sol-like filler (eg, acidic colloidal silica, oxidized titania sol, etc.). . Examples of the basic catalyst (or basic catalyst) include aqueous solutions of hydroxides of alkali metals or alkaline earth metals such as sodium hydroxide and calcium hydroxide, aqueous ammonia, and aqueous solutions of amines. These catalysts may be used alone or in combination of two or more.

アルコキシシランの加水分解は必要に応じて(例えば、それほど大きな機械的強度を必要としない場合)加温して行ってもよく、例えば30〜80℃の範囲で10分間〜24時間かけて加水分解反応を進行させることができる。   The alkoxysilane may be hydrolyzed as necessary (for example, when not so high mechanical strength is required), for example, in the range of 30 to 80 ° C. for 10 minutes to 24 hours. The reaction can proceed.

ここで、アルコキシシランの加水分解は、例えばテトラエトキシシランの場合は下記のような反応式で進行する。   Here, hydrolysis of alkoxysilane proceeds in the following reaction formula in the case of tetraethoxysilane, for example.

Si(OC254+2H2O → SiO2+4C25OH
この反応ではアルコールが副生するため、反応系中のアルコールの存在は逆反応の反応速度の増大を促して上記加水分解反応を阻害する要因となり、未反応のアルコキシ基の残留を引き起こす原因となる。特に4官能のテトラアルコキシシランの加水分解の場合には、その傾向が顕著である。
Si (OC 2 H 5 ) 4 + 2H 2 O → SiO 2 + 4C 2 H 5 OH
In this reaction, alcohol is produced as a by-product, so the presence of alcohol in the reaction system promotes an increase in the reaction rate of the reverse reaction and inhibits the hydrolysis reaction, causing unreacted alkoxy groups to remain. . This tendency is particularly remarkable in the case of hydrolysis of tetrafunctional tetraalkoxysilane.

しかし、上記のように加水分解の反応系中の溶媒が上記加水分解反応の阻害要因となるアルコールを実質的に含まないようにすると、加水分解物中のアルコキシ基の残留を抑制して、加水分解重縮合物の架橋密度を向上し、被膜の耐アルカリ性を向上することができるものである。   However, if the solvent in the hydrolysis reaction system does not substantially contain the alcohol that inhibits the hydrolysis reaction as described above, the residual alkoxy group in the hydrolyzate is suppressed, and The crosslink density of the decomposition polycondensate can be improved, and the alkali resistance of the coating can be improved.

また、アルコール以外にも、フェノール性水酸基を有する化合物等のような他の水酸基を有する化合物も、アルコールと同様に加水分解反応を阻害するおそれがあるが、このような他の水酸化物を有する化合物も反応系中の溶媒に含有させないようにすれば、加水分解物中のアルコキシ基の残留を更に抑制することができる。   In addition to alcohols, compounds having other hydroxyl groups such as compounds having phenolic hydroxyl groups may also inhibit the hydrolysis reaction in the same manner as alcohols, but have such other hydroxides. If the compound is not contained in the solvent in the reaction system, the remaining alkoxy group in the hydrolyzate can be further suppressed.

また、上記加水分解を減圧下で行うなどして、アルコールを留去しながら加水分解反応を進行させることも好ましい。この場合、上記のような加水分解反応で副生するアルコールを反応系から除去することができて、加水分解反応を更に促進することができ、これによりアルコキシ基の残留を更に抑制することができる。   Moreover, it is also preferable to advance the hydrolysis reaction while distilling off the alcohol by performing the hydrolysis under reduced pressure. In this case, the alcohol by-produced by the hydrolysis reaction as described above can be removed from the reaction system, and the hydrolysis reaction can be further promoted, whereby the alkoxy group residue can be further suppressed. .

このようにして得られるマトリクス形成材料の、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)にて標準ポリスチレン換算値として測定される重量平均分子量は、800〜2000の範囲であることが好ましい。   The weight-average molecular weight of the matrix-forming material thus obtained, measured as a standard polystyrene equivalent value by GPC (gel permeation chromatography), is preferably in the range of 800 to 2000.

上記加水分解によりマトリクス形成材料を生成した後、このマトリクス形成材料に必要に応じて充填剤、溶剤、変性アルコキシシラン等を配合することにより、コーティング材を調製することができる。このように加水分解によるマトリクス形成材料の生成後の他の成分を加えることで、前記他の成分がマトリクス形成材料に取り込まれることなく、その作用を効果的に発揮するようになる。   After generating the matrix forming material by the hydrolysis, a coating material can be prepared by blending the matrix forming material with a filler, a solvent, a modified alkoxysilane, or the like as necessary. By adding the other components after the formation of the matrix forming material by hydrolysis in this way, the other components are not taken into the matrix forming material, and the action is effectively exhibited.

充填材としては適宜のもの、例えばエアロゲル微粒子、中空シリカ微粒子、ポリマー製中空微粒子、有機ポリマー微粒子、金属酸化物微粒子等を用いることができる。このような充填材を含有させることにより、被膜の各種特性の調整、例えば屈折率の調整等を行うことができる。   As the filler, appropriate ones such as airgel fine particles, hollow silica fine particles, polymer hollow fine particles, organic polymer fine particles, metal oxide fine particles and the like can be used. By including such a filler, it is possible to adjust various properties of the coating, for example, to adjust the refractive index.

上記エアロゲル微粒子としては、例えばシリカエアロゲル微粒子、シリカ/アルミナエアロゲル等の複合エアロゲル微粒子、メラミンエアロゲル等の有機エアロゲル微粒子等を用いることができる。   Examples of the airgel fine particles include silica airgel fine particles, composite airgel fine particles such as silica / alumina airgel, and organic airgel fine particles such as melamine airgel.

中空シリカ微粒子は、外殻がシリカ系無機酸化物によって構成されるものであり、例えば外殻が、シリカ単一層、シリカとシリカ以外の無機酸化物とからなる複合酸化物の単一層、これらが積層した二重以上の層となっているもの等を挙げることができる。このとき、外殻の厚みは例えば1〜50nm、好ましくは5〜20nmの範囲のものを用いることができ、またこの厚みが中空微粒子の平均粒子径の1/50〜1/5の範囲にあるものを用いることができる。また中空シリカ微粒子の平均粒子径は例えば5nm〜2μmの範囲とすることができる。   The hollow silica fine particles have an outer shell composed of a silica-based inorganic oxide. For example, the outer shell has a silica single layer, a single layer of a composite oxide composed of silica and an inorganic oxide other than silica, Examples thereof include a laminated layer having two or more layers. At this time, the thickness of the outer shell can be, for example, in the range of 1 to 50 nm, preferably 5 to 20 nm, and this thickness is in the range of 1/50 to 1/5 of the average particle diameter of the hollow fine particles. Things can be used. The average particle diameter of the hollow silica fine particles can be set in the range of 5 nm to 2 μm, for example.

ポリマー製中空微粒子としては、例えば外殻がフッ素系ポリマーのようなポリマー材料により構成されているものを用いることができる。   As the polymer hollow fine particles, for example, those having an outer shell made of a polymer material such as a fluorine-based polymer can be used.

有機ポリマー微粒子としては、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、スチレン樹脂等の微粒子を例示できる。   Examples of the organic polymer fine particles include fine particles such as silicone resin, acrylic resin, and styrene resin.

金属酸化物の微粒子としては、チタニア微粒子、酸化インジウム錫微粒子、シリカ微粒子、アルミナ微粒子等を例示できる。これらは、予め分散ゾルとして市販されたゾルを用いてコーティング材組成物に混合することができる。   Examples of the metal oxide fine particles include titania fine particles, indium tin oxide fine particles, silica fine particles, and alumina fine particles. These can be mixed with the coating material composition using a sol that is commercially available as a dispersion sol in advance.

これらの充填材はコーティング材中に目的に応じた適宜の割合で含有させることができるが、例えばマトリクス形成材料100重量部に対して、10〜500重量部の範囲で含有させることが好ましい。   These fillers can be contained in the coating material in an appropriate ratio according to the purpose, but for example, it is preferably contained in the range of 10 to 500 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the matrix forming material.

また、溶剤としては、上記マトリクス形成材料の合成に用いた溶剤をそのまま用いることができ、或いは更に他の溶剤を配合することができる。このとき、既に加水分解反応を終了させているため、アルコール等のような水酸基を有する溶剤を加えることも可能である。このような溶剤としては、水や適宜の親水性溶媒を挙げることができる。親水性溶媒としては、例えばメタノール、エタノール、イソプロパノール(IPA)、n−ブタノール、イソブタノール等の低級脂肪族アルコール類、エチレングリコール、エチレングリコールモノブチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノエチルエーテル等のエチレングリコール誘導体、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレングリコール誘導体、ジアセトンアルコール等が挙げられ、これらは一種単独で用いるほか、二種以上を併用することもできる。また、これらの親水性有機溶媒と併用して、トルエン、キシレン、ヘキサン、ヘプタン酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトオキシム等を用いることもでき、これらも一種単独で用いるほか、二種以上を併用することもできる。溶剤の含有量は、コーティング材の組成、成膜法、被膜の所望の厚み等に応じて適宜調整されるが、コーティング材全量に対して80〜99重量%の範囲であることが好ましい。   Moreover, as a solvent, the solvent used for the synthesis | combination of the said matrix formation material can be used as it is, or another solvent can be mix | blended further. At this time, since the hydrolysis reaction has already been completed, a solvent having a hydroxyl group such as alcohol can be added. Examples of such a solvent include water and an appropriate hydrophilic solvent. Examples of the hydrophilic solvent include lower aliphatic alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol (IPA), n-butanol and isobutanol, ethylene glycol derivatives such as ethylene glycol, ethylene glycol monobutyl ether and ethylene glycol monoethyl ether, Examples include diethylene glycol derivatives such as diethylene glycol and diethylene glycol monobutyl ether, and diacetone alcohol. These may be used alone or in combination of two or more. Further, in combination with these hydrophilic organic solvents, toluene, xylene, hexane, ethyl heptane acetate, butyl acetate, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl ethyl ketoxime, etc. can be used. More than one species can be used in combination. The content of the solvent is appropriately adjusted according to the composition of the coating material, the film formation method, the desired thickness of the film, etc., but is preferably in the range of 80 to 99% by weight with respect to the total amount of the coating material.

また、上記変性アルコキシシランは、上記マトリクス形成材料を得るためのアルコキシシランとは別途に種々の目的で使用されるものであり、例えばフッ素変性アルコキシシラン、ビニル変性アルコキシシラン、アミノ変性アルコキシシラン等の適宜のものを挙げることができる。このような変性アルコキシシランを、アルコキシシランの加水分解によるマトリクス形成材料の生成後に混合してマトリクス形成材料中に取り込まれないようにすると、コーティング材中では前記変性アルコキシシランはフリーなモノマー状態で存在し、被膜形成時には被膜の表面に変性アルコキシシランがブリードアウトして被膜の表面に固定されやすくなり、被膜の表面に変性アルコキシシランを偏在化させることができるようになる。これにより変性アルコキシシランによる作用が効果的に発揮されるようになり、例えばフッ素変性アルコキシシランを用いる場合には被膜に高い撥水性を付与することができる。   The modified alkoxysilane is used for various purposes separately from the alkoxysilane for obtaining the matrix forming material, such as fluorine-modified alkoxysilane, vinyl-modified alkoxysilane, amino-modified alkoxysilane, etc. Appropriate ones can be mentioned. If such a modified alkoxysilane is mixed after the formation of the matrix forming material by hydrolysis of the alkoxysilane so that it is not taken into the matrix forming material, the modified alkoxysilane is present in a free monomer state in the coating material. When the coating is formed, the modified alkoxysilane bleeds out on the surface of the coating and is easily fixed to the surface of the coating, so that the modified alkoxysilane can be unevenly distributed on the surface of the coating. As a result, the action of the modified alkoxysilane is effectively exhibited. For example, when fluorine-modified alkoxysilane is used, high water repellency can be imparted to the coating.

また、更にコーティング材中にシリコーンジオールを含有させても良い。この場合、被膜にシリコーンジオールが導入されることで、被膜の表面摩擦抵抗を小さくすることができ、被膜の表面への引っ掛かりを低減して、傷が入り難くなるようにすることができ、被膜の耐擦傷性を向上することができる。このシリコーンジオールはジメチル型のシリコーンジオール(HO[Si(CH32O]nH)であることが好ましく、このときシリコーンジオール中のジメチルシロキサン単位の繰り返し数(n)は特に限定されるものではないが、摩擦抵抗の低減の効果を十分に発揮すると共にマトリクス形成材料との相溶性を確保して被膜の透明性の維持や外観ムラを防止するためには、n=20〜100の範囲が好ましい。シリコーンジオールの含有量は特に制限されないが、コーティング材の全固形分に対して1〜10重量%の範囲が好ましい。 Further, a silicone diol may be contained in the coating material. In this case, by introducing silicone diol into the coating, it is possible to reduce the surface frictional resistance of the coating, reduce the catch on the surface of the coating, and make it difficult for scratches to enter. It is possible to improve the scratch resistance. The silicone diol is preferably a dimethyl type silicone diol (HO [Si (CH 3 ) 2 O] n H). At this time, the number of repeating dimethylsiloxane units (n) in the silicone diol is particularly limited. However, in order to sufficiently exhibit the effect of reducing the frictional resistance and ensure compatibility with the matrix forming material to prevent the transparency of the coating and uneven appearance, n = 20 to 100. Is preferred. The content of the silicone diol is not particularly limited, but is preferably in the range of 1 to 10% by weight with respect to the total solid content of the coating material.

このようにして得られるコーティング材を適宜の基材の表面に塗布し、必要に応じて加熱しながら乾燥し、或いは更に縮重合反応を進行させることにより、厚み0.05〜1μmの被膜を形成するものである。加熱処理を施す場合には、60〜200℃で1分間〜2時間加熱することが好ましい。   A coating material having a thickness of 0.05 to 1 μm is formed by applying the coating material thus obtained to the surface of an appropriate base material and drying it while heating, if necessary, or by further proceeding a condensation polymerization reaction. To do. When performing heat processing, it is preferable to heat at 60-200 degreeC for 1 minute-2 hours.

このような被膜はガラス基材やプラスチック基材等の透明基材に塗布することで、例えば低屈折率の被膜を形成することで反射防止基板を製造し、この反射防止基板を透過する光の透過率あるいは反射率を向上させることができる。そのような用途には、例えば、タッチパネル用基板、バックライトユニット部品(例えば導光板、冷陰極管、反射シート等)液晶輝度向上フィルム(例えばプリズム、半透過フィルム等)、太陽電池最表面部材、照明ランプ、反射レンズ、LCDカラーフィルター、各種反射板、増幅レーザー光源等がある。   Such a coating is applied to a transparent substrate such as a glass substrate or a plastic substrate to produce an antireflection substrate by, for example, forming a low refractive index coating, and the light transmitted through the antireflection substrate The transmittance or reflectance can be improved. Such applications include, for example, touch panel substrates, backlight unit components (for example, light guide plates, cold cathode tubes, reflective sheets, etc.), liquid crystal brightness enhancement films (for example, prisms, transflective films, etc.), solar cell outermost surface members, There are illumination lamps, reflective lenses, LCD color filters, various reflectors, amplified laser light sources, and the like.

このように形成される被膜はシリコンアルコキシドの加水分解縮合物から構成されることで、表面強度(耐摩擦性)が高く、また高い撥水性、撥油性を備えることで防汚染性が高いものとなる。   The film formed in this way is composed of a hydrolyzed condensate of silicon alkoxide, which has high surface strength (friction resistance) and high water repellency and oil repellency, thereby providing high antifouling properties. Become.

また、この被膜は内部のアルコキシ基の残留が低減されて架橋密度が高く、耐アルカリ性が高いものとなる。薄膜の被膜にこのような高い耐アルカリ性が付与されることで、この被膜の特性がアルカリによるダメージによって劣化したり変動したりすることを防止することができる。すなわち、例えば被膜をディスプレイ表面の反射防止被膜等のような光学用途に用いる場合には、薄膜の被膜がアルカリによりダメージを受けると、それが僅かなダメージであっても厚みの低減や屈折率の変化により反射色に変化が生じるなどの光学特性の変化が生じてしまうが、上記のように被膜の耐アルカリ性が向上することによりこのような光学特性の変化を防止することができるものである。   In addition, the coating has a reduced cross-linking of the alkoxy groups therein, a high crosslinking density, and a high alkali resistance. By imparting such high alkali resistance to the thin film, it is possible to prevent the characteristics of the film from being deteriorated or fluctuated due to damage caused by alkali. That is, for example, when the film is used for an optical application such as an antireflection film on the display surface, if the thin film is damaged by alkali, the thickness can be reduced or the refractive index can be reduced even if the film is slightly damaged. Changes in the optical properties such as changes in the reflected color occur due to the change, but such changes in the optical properties can be prevented by improving the alkali resistance of the coating as described above.

更に、被膜形成時に高温処理を施すことなく、加水分解時のアルコキシ基の残留を抑制することで架橋密度の向上を図ることができることから、プラスチック等の高温処理が困難な基材に対して被膜を形成する場合であっても、この被膜に高い耐アルカリ性を付与することが可能となるものである。   Furthermore, since it is possible to improve the cross-linking density by suppressing the residual alkoxy groups during hydrolysis without applying high-temperature treatment during the formation of the coating, it is possible to coat a substrate such as plastic that is difficult to perform at a high temperature. Even when the film is formed, it is possible to impart high alkali resistance to the coating.

これらの効果は、特にマトリクス形成材料がテトラアルコキシシランの加水分解物で得られたものである場合に、顕著に現れる。   These effects are particularly prominent when the matrix forming material is obtained from a hydrolyzate of tetraalkoxysilane.

以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。尚、特に断りのない限り、「部」は全て「重量部」を、「%」は後述する反射率及びヘーズ率を除き、全て「重量%」を表す。また、重量分子量はGPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)により、測定機として東ソー株式会社製の型番「HLC8220」を用いて測定し、このとき標準ポリスチレンで検量線を作成してその換算値として測定した。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples. Unless otherwise specified, all “parts” represent “parts by weight”, and “%” represents “% by weight” except for reflectance and haze ratio described later. The weight molecular weight was measured by GPC (Gel Permeation Chromatography) using a model number “HLC8220” manufactured by Tosoh Corporation as a measuring instrument. At this time, a calibration curve was prepared with standard polystyrene and measured as a converted value. .

(実施例1)
テトラメトキシシラン152部に酢酸ブチル250部を加え、更に水54部及び0.4Nの塩酸水溶液18部([H2O]/[OR]=1.0)を加え、これをディスパーを用いてよく混合して混合液を得た。この混合液を30℃恒温槽中で2時間攪拌して重量平均分子量を1250に調整したシリコーン加水分解物をマトリクス形成材料として得た。
(Example 1)
Add 152 parts of butyl acetate to 152 parts of tetramethoxysilane, and then add 54 parts of water and 18 parts of 0.4N hydrochloric acid aqueous solution ([H 2 O] / [OR] = 1.0). Mix well to obtain a mixture. This mixture was stirred in a 30 ° C. constant temperature bath for 2 hours to obtain a silicone hydrolyzate having a weight average molecular weight adjusted to 1250 as a matrix-forming material.

次に、中空シリカ微粒子として中空シリカIPA(イソプロパノール)分散ゾル(触媒化成工業製、商品名「スルーリアCS60−IPA」、固形分20重量%、平均一次粒子径約60nm、外殻厚み約10nm)を用い、これをシリコーン加水分解物に200部加え、(中空シリカ微粒子)/(シリコーン加水分解物(縮合化合物換算))が固形分基準で重量比が40/60となるように配合し、その後、IPA/ブチルセロソルブ混合液を混合して、全固形分が2%、ブチルセロソルブ含有量が2%、酢酸ブチル含有量が5%となるように調製した。   Next, hollow silica IPA (isopropanol) dispersion sol (manufactured by Catalyst Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name “Thruria CS60-IPA”, solid content 20% by weight, average primary particle diameter of about 60 nm, outer shell thickness of about 10 nm) as hollow silica fine particles. Used, 200 parts of this is added to the silicone hydrolyzate, and (hollow silica fine particles) / (silicone hydrolyzate (condensation compound equivalent)) is blended so that the weight ratio is 40/60 based on the solid content, An IPA / butyl cellosolve mixture was mixed to prepare a total solid content of 2%, a butyl cellosolve content of 2%, and a butyl acetate content of 5%.

さらに、ジメチルシリコーンジオール(n≒40)を酢酸エチルで固形分5%になるように希釈した溶液を、中空シリカ微粒子とシリコーンレジン(縮合化合物換算)の固形分の和に対して、ジメチルシリコーンジオールの固形分が2重量%となるように添加することによって、コーティング材組成物を調製した。   Further, a solution obtained by diluting dimethyl silicone diol (n≈40) with ethyl acetate so as to have a solid content of 5% is obtained by adding dimethyl silicone diol to the sum of the solid content of hollow silica fine particles and silicone resin (condensation compound). The coating material composition was prepared by adding so that the solid content was 2 wt%.

このコーティング材組成物を1時間放置した後、予めUV−オゾン洗浄機(エキシマランプ、ウシオ電機製、型式「H0011」)で表面洗浄したアクリル板(商品名「デラグラスHA」、両面ハードコート処理、ハードコート屈折率1.52、ヘーズ0.10)のハードコート表面にワイヤーバーコータによって塗布して厚さ約100nmの塗膜を形成し、被膜を80℃で1時間酸素雰囲気下で熱処理して被膜を得た。   After leaving this coating material composition for 1 hour, an acrylic plate (trade name “Delagrass HA”, double-sided hard coat treatment, surface-cleaned in advance with a UV-ozone cleaner (excimer lamp, manufactured by USHIO, model “H0011”), A hard bar having a refractive index of 1.52 and a haze of 0.10) is applied to the surface of the hard coat by a wire bar coater to form a film having a thickness of about 100 nm, and the film is heat-treated at 80 ° C. for 1 hour in an oxygen atmosphere. A coating was obtained.

(実施例2)
テトラエトキシシラン152部に酢酸ブチル250部を加え、更に水54部及び0.4Nの塩酸水溶液18部([H2O]/[OR]=1.0)を加え、これをディスパーを用いてよく混合した混合液を得た。この混合液を30℃の恒温槽内で、反応により発生するメタノールをエバポレータにて除去しながら2時間攪拌した後、除去したメタノールを系内に戻して、重量平均分子量を1300に調整したシリコーン加水分解物をマトリックス形成材料として得た。
(Example 2)
Add 152 parts of butyl acetate to 152 parts of tetraethoxysilane, add 54 parts of water and 18 parts of 0.4N aqueous hydrochloric acid ([H 2 O] / [OR] = 1.0), and use a disper. A well mixed solution was obtained. The mixture was stirred in a thermostat at 30 ° C. for 2 hours while removing methanol generated by the reaction with an evaporator, and then the removed methanol was returned to the system to adjust the weight average molecular weight to 1300. The degradation product was obtained as a matrix forming material.

このシリコーン加水分解物を用いて、実施例1と同一の手法によりコーティング材組成物を調製し、更に実施例1と同一の手法により被膜を得た。   Using this silicone hydrolyzate, a coating material composition was prepared in the same manner as in Example 1, and a film was obtained in the same manner as in Example 1.

(比較例1)
テトラメトキシシラン152部にIPA(イソプロパノール)250部を加え、更に水54部及び0.4Nの塩酸水溶液18部([H2O]/[OR]=1.0)を加え、これをディスパーを用いてよく混合して混合液を得た。この混合液を30℃恒温槽内で2時間攪拌して、重量平均分子量を1250に調整したシリコーン加水分解物をマトリックス形成材料として得た。
(Comparative Example 1)
Add 152 parts of IPA (isopropanol) to 152 parts of tetramethoxysilane, add 54 parts of water and 18 parts of 0.4N hydrochloric acid aqueous solution ([H 2 O] / [OR] = 1.0). Mix well to obtain a mixture. This mixture was stirred for 2 hours in a 30 ° C. constant temperature bath to obtain a silicone hydrolyzate having a weight average molecular weight adjusted to 1250 as a matrix-forming material.

このシリコーン加水分解物を用いて、実施例1と同一の手法によりコーティング材組成物を調製し、更に実施例1と同一の手法により被膜を得た。   Using this silicone hydrolyzate, a coating material composition was prepared in the same manner as in Example 1, and a film was obtained in the same manner as in Example 1.

上記の実施例1,2及び比較例1で得た被膜について、反射率、ヘーズ率、屈折率、機械的強度、耐アルカリ性、及び指紋除去性を測定し、被膜の性能評価を行った。   The coatings obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 were measured for reflectivity, haze rate, refractive index, mechanical strength, alkali resistance, and fingerprint removability, and the performance of the coating was evaluated.

(5°相対反射率)
分光光度計(日立製作所製「U−3400」)を使用して、最小反射率を測定した。
(5 ° relative reflectance)
The minimum reflectance was measured using a spectrophotometer (“U-3400” manufactured by Hitachi, Ltd.).

(ヘーズ率)
ヘーズメータ(日本電色工業製「NDH2000」)を使用して測定した。
(Haze rate)
It measured using the haze meter (Nippon Denshoku Industries "NDH2000").

(屈折率)
簡易エリプソメータ(FILMETRICS社製、品番「F20」)を用いて屈折率を測定した。
(Refractive index)
The refractive index was measured using a simple ellipsometer (manufactured by FILMETRICS, product number “F20”).

(機械的強度)
摩耗試験器(新東科学製、品番「HEIDON−14DR」、スチールウール#0000を使用、250g加重、10往復)で被膜を擦り、被膜に発生するキズの本数を測定した。
(Mechanical strength)
The film was rubbed with an abrasion tester (manufactured by Shinto Kagaku, product number “HEIDON-14DR”, steel wool # 0000, 250 g load, 10 reciprocations), and the number of scratches generated on the film was measured.

(耐アルカリ性)
1%NaOH水溶液を被膜表面に滴下し、室温下で30分間放置した後、水洗・風乾し、試験前後での被膜の反射色変化を目視により比較した。
(Alkali resistance)
A 1% NaOH aqueous solution was dropped on the surface of the coating, left at room temperature for 30 minutes, then washed with water and air-dried, and the reflected color change of the coating before and after the test was compared visually.

(指紋除去性)
被膜表面に指の指紋を付着させ、トレシー(登録商標、東レ株式会社製)で拭き取る際の指紋除去に要する拭き取り回数で評価した。
(Fingerprint removal)
Fingerprints were attached to the surface of the coating, and the number of wipings required for removing the fingerprint when wiping with Toraysee (registered trademark, manufactured by Toray Industries, Inc.) was evaluated.

以上の結果を表1に示す。   The results are shown in Table 1.

この結果、実施例1及び実施例2では、比較例1と同等の反射率、ヘーズ率、屈折率機械的強度及び指紋除去性を有しつつ、比較例1と比べて高い耐アルカリ性を有し、特に実施例2では耐アルカリ性の向上が著しいことを確認することができた。   As a result, Example 1 and Example 2 have high alkali resistance compared to Comparative Example 1 while having the same reflectance, haze ratio, refractive index mechanical strength and fingerprint removability as Comparative Example 1. In particular, it was confirmed that the alkali resistance was remarkably improved in Example 2.

Claims (5)

アルコールを実質的に含有しない溶媒中でアルコキシシランを加水分解し、得られた生成物を含むコーティング材を基材表面に塗布した後、乾燥することにより、基材表面に厚み0.05〜1μmの被膜を形成することを特徴とする被膜の製造方法。   The alkoxysilane is hydrolyzed in a solvent substantially free of alcohol, the coating material containing the obtained product is applied to the surface of the base material, and then dried to obtain a thickness of 0.05 to 1 μm on the surface of the base material. A method for producing a coating, comprising: 上記アルコールを実質的に含有しない溶媒が、水酸基を有さないものであることを特徴とする請求項1に記載の被膜の製造方法。   The method for producing a coating film according to claim 1, wherein the solvent substantially not containing an alcohol has no hydroxyl group. 上記アルコキシシランの加水分解時に、加水分解反応で生成するアルコールを反応系から除去しながら反応を進行させることを特徴とする請求項1又は2に記載の被膜の製造方法。   The method for producing a coating film according to claim 1 or 2, wherein the reaction is allowed to proceed while removing the alcohol produced by the hydrolysis reaction from the reaction system during the hydrolysis of the alkoxysilane. 上記コーティング材の調製時に、上記アルコキシシランの加水分解の後、得られた生成物を充填材、溶剤、変性アルコキシシランのうち少なくともいずれかと混合することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の被膜の製造方法。   At the time of preparation of the coating material, after hydrolysis of the alkoxysilane, the obtained product is mixed with at least one of a filler, a solvent, and a modified alkoxysilane. The manufacturing method of the film as described in one term. 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の被膜の製造方法により基材の表面に被膜を形成して成ることを特徴とする反射防止基板。   An antireflection substrate comprising a film formed on the surface of a base material by the method for producing a film according to any one of claims 1 to 4.
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