JP2008533531A - 光学的操作システム - Google Patents

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Abstract

この発明は、粒子、微小構成部品、生物細胞、細菌、ナノチューブおよび原子の集合体などのような極微小物体を含む微小物体の、電磁放射力を使用する操作に関するものである。すなわち、この発明は、微小物体操作対象における極微小物体を含む微小物体の操作のために複数の光学トラップを生成する光学的操作システムであって、このシステムは、空間的に変調された強度プロフィールによって、強度変調ずみの第2光ビームおよび第3光ビームを生成するために調節可能な第1空間光変調器へ向かって伝搬される第1光ビームの放出のための空間的に変調された光源を備えてなり、上記の強度変調ずみ第2光ビームは、この第2光ビームを上記微小物体操作対象へ偏向させるための第1偏向器へ向かって伝搬され、かつ、上記の強度変調ずみ第3光ビームは、この第3光ビームを上記微小物体操作対象へ偏向させるための第2偏向器へ向かって伝搬される。

Description

この発明は、粒子、微小構成部品、生物細胞、細菌、ナノチューブおよび原子の集合体などのような極微小物体(nano-object)を含む微小物体(micro-object)の、電磁放射力を使用する操作(manipulation)に関するものである。
ほぼガウス状の強度プロフィール、放射圧、散乱力および勾配力がある強く合焦されたレーザビームでは、構成部品は、レーザビームの焦点の近くに配置された安定平衡の箇所をもたらすために組み合わされることが広く知られている。散乱力は、光強度に比例するものであり、また、入射するレーザ光線の方向において作用する。勾配力は、光強度に比例するものであり、また、強度勾配の方向に向いている。
この効果は、合焦した光ビームにおける光の勾配力がこの光ビームの焦点で小さい微小物体を捕捉するので、いわゆる光学ピンセット(optical tweezer)あるいは光学トラップ(optical trap)において利用される。微小物体は典型的には、屈折率がこの微小物体の屈折率よりも小さい液状媒体の中に浸漬される。光学ピンセット技術は、反射、吸収および低誘電率微小物体の操作を可能にするために一般化されてきた。典型的には、周囲の屈折率よりも高い屈折率を有する微小物体の捕捉のためにはガウス状ビームが使用され、一方、周囲の屈折率よりも低い屈折率を有する微小物体の捕捉のためにはドーナツ状ビームが使用されている。
米国特許第4,893,886号公報には、生物学的微小物体のための光学トラップが開示されており、ここでは、生物学的微小物体は赤外線レーザを使用する単一ビーム勾配力の中に維持される。
米国特許第6,055,106号公報には微小物体を操作するための装置が開示され、この装置には、光ビームを受けるとともに個別の光学トラップあるいは光学ピンセットを形成するために、それぞれが合焦されて複数の個々の光ビームを形成する回折光学素子が備わっている。
この発明の目的は、複数の微小物体の位置および速度を同時制御するとともに個別制御する簡略化された装置および方法を提供することである。
この発明によれば、上記の目的および他の目的は、微小物体操作対象における極微小物体を含む微小物体の操作のために複数の光学トラップを生成する光学的操作システムであって、このシステムが、空間的に変調された強度プロフィールによって、強度変調ずみの第2光ビームおよび第3光ビームを生成するために調節可能な第1空間光変調器へ向かって伝搬される第1光ビームの放出のための空間的に変調された光源を備えてなり、上記の強度変調ずみ第2光ビームが、この第2光ビームを上記微小物体操作対象へ偏向させるための第1偏向器へ向かって伝搬され、かつ、上記の強度変調ずみ第3光ビームが、この第3光ビームを上記微小物体操作対象へ偏向させるための第2偏向器へ向かって伝搬される光学的操作システムによって、満たされる。
この発明はこれから、この発明の代表的な実施形態が示されている添付図面を参照して、以下においていっそう充分に説明される。しかしながら、この発明は、異なった形態に具体化することができ、また、この明細書に述べられた実施形態に限定されるように解釈すべきではない。それどころか、これらの実施形態は、この開示が、障害のないかつ完全なものであるように、また、当業者にこの発明の範囲を充分に伝えるように、設けられている。類似した参照符号は、全体を通して類似した要素を意味する。
この発明の基本原理は一般に、可視光線、赤外線、紫外線、X線、電波などのような任意の種類の電磁放射線のビームに適用される。
この発明の1つの実施形態では、2本以上のビームが、微小物体の捕捉のために選定された交差角で互いに交差する。微小物体が複数本のビームの交差箇所で捕捉されると、個々のビームの合焦要件は緩和される。
この発明のある実施形態では、この光学的操作システムは、実質的に同じ伝搬軸であるがその反対方向に沿って伝搬するビーム、いわゆる逆伝搬用ビームの複数組を提供し、それによって、微小物体の捕捉のためのビームの上記伝搬軸に沿って顕著な捕捉力を形成する。
この発明のある実施形態では、捕捉された微小物体の制御された動きを、隣接する光ビームの制御された入・切操作によって得ることができる。
充分に近接したいくつかの伝搬用ビームについては、捕捉された微小物体が、現在捕捉中のビームの切操作と隣接ビームの入操作とによって、隣接ビームまで動くことになるが、その理由は、結果として生じる捕捉力がこの微小物体を入操作により生じたビームまで引き寄せるからである。ビームの適切な連続的入・切操作によって、微小物体は要望どおりに動くことができる。個々の微小物体についての運動の経路は、監視システムによる観察に基づいて、例えば血球計算法については例えば目視検査、蛍光発光などに基づいて、決定することができる。
空間的に変調された光源は、それぞれの光源の放射光強度を空間的に変調された強度プロフィールによって第1光ビームを放出するために個々に制御することができる一列の光源からなるものでもよい。
例えば、空間的に変調された光源は、垂直キャビティ面放射レーザ(vertical cavity surface emitting laser)、VCSELからなるものでもよい。典型的には、一列のVCSELは実質的に円形の複数本のレーザビームを放出する。1次元列あるいは2次元列を利用することができ、また、生成されたビームは、モード競合がないために低い発散性と低い相対強度ノイズとが備わった強度プロフィールを有している。
別の実施形態では、空間的に変調された光源は、光ビームを複数の方向へ連続的に偏向させるために制御されたビーム偏向器へ向かって伝搬し、それによって、特定の平均光強度のあるビームの生成のために相異なる方向の間における時間多重化により、強度変調ずみ第1光ビームを形成する、光ビームの放出のための光源からなっている。このビーム偏向器は例えば、入射ビームの偏向のための第1軸の周りでアジマス方向に回転することのできる第1ミラーと、入射ビームの偏向のための上記第1軸に対して垂直である第2軸の周りで高さ方向に回転することのできる第2ミラーとを備えていてもよい。
この発明のさらに別の実施形態では、空間的に変調された光源は、ある光源から上記強度変調ずみ第1光ビームへの光ビームの変調のための調節可能な第2空間光変調器へ向かって伝搬される光ビームの放出のための光源からなっている。
これらの偏向器は、電磁ビームの反射、屈折、吸収、回折、散乱などに基づくものである。
第1および/または第2の調節可能な空間光変調器は、一列の調節可能な微小ミラー、例えばディジタル型微小ミラー装置(Digital Micro-mirror Device)(DMD)のような微小光電子機構システム(Micro-Opto-Electro-Mechanical System)(MOEMS)からなっていてもよい。
このDMDは、ミラーの列にわたって高いスペクトル均一性および空間的均一性を有している。このDMDは、高い変調速度を有しており、それぞれのミラーは、最高の精度でマイクロ秒の間に切り換わることができ、また、新しいページのデータを100マイクロ秒未満の間に処理することができる。現在のDMDは、±20°までの偏向光ビームの角度分離をもたらす。マイクロメートルよりも小さいことによって、隣接するミラーを分離することができる。さらに、このDMDは、入射する光ビームの波長および偏光からはほとんど独立している。
この発明の重要な利点は、好ましい実施形態の操作が光源の干渉特性あるいは偏光特性に依存しないことである。従って、例えばレーザ光放射あるいはメーザ放射のような電磁放射は、空間的にかつ/または一時的に干渉性のものあるいは非干渉性のものであるが、しかしながら、超連続光源のような白色光源もまた利用することができる。
調節可能な空間光変調器は、時間多重化偏向を利用して入射光ビームを2本の発散ビームに分離することができる。例えば、この調節可能な空間光変調器がディジタル型微小ミラー装置であって、それぞれのミラーが2つの角度位置の間で移動することができるときには、それぞれのミラーはこれら2つの位置の間において選定周波数および選定デューティサイクルで切り換わることができる。このデューティサイクルが50%であるときには、入射光ビームは、完全な光偏向が予測される入射光ビームの強度の平均強度の半分がある、偏向された2本の光ビームに分離される。このデューティサイクルが変更されると、対応して、偏向された光ビームの一方の平均強度が増大するとともに、偏向された光ビームの他方の平均強度が減少するであろう。
時間多重化偏向によって、微小物体操作対象(micro-object manipulation volume)における干渉を回避することができるが、その理由は、第2および第3の強度変調ずみ光ビームが同じ対象において同時に存在することが決してないからである。
さらに、第1および第2のDMDを正確に位置合わせする必要がまったくないことに留意すべきである。
第2および第3の光ビームは、交差している光ビームの中へさらに偏向させることができる。
第2および第3の光ビームは、逆伝搬用光ビームの中へ偏向させることができる。
この光学的操作システムは、偏向された光ビームを微小物体操作対象の上に合焦させるための顕微鏡対物レンズをさらに備えていてもよい。
この発明による、逆伝搬用ビームを使用する光学的操作システムの重要な利点は、微小物体の位置決めを、大きい距離、逆伝搬用ビームの伝搬の方向に沿った例えば50μmよりも大きい距離、また、逆伝搬用ビームの伝搬の方向に対して垂直な方向に沿った例えば100μmよりも大きい距離の範囲内で制御できることである。従って、微小物体は顕微鏡対物レンズの焦点面の外側で充分に移動させることができる。焦点が合っていない微小物体はほとんど見ることができず、また、粒子位置および速度ベクトルの測定は従来の光学ピンセットシステムではきわめて困難であろう。さらに、従来の光学ピンセットシステムでは、球面収差によっていくつかの問題が引き起こされるであろう。これらの問題は、以下に説明するように、この発明によって解決される。
逆伝搬用ビームを使用する光学的操作システムの緩和された合焦条件によって、このシステムのある好ましい実施形態では、極微小物体を含む微小物体を3次元でかつリアルタイムで制御的に捕捉するための、低い開口数(NA)であって液浸が不要である対物レンズが備わっている。この実施形態では、このシステムは、長い作動距離、例えば、光学部品と操作対象(manipulation volume)との間で数ミリメートルよりも大きい距離をもたらすことができる。さらに、このシステムは、特に逆伝搬用ビームの伝搬の方向に沿って、幅の広い操作対象をもたらすことができる。またさらに、このシステムは、例えば2つの対向状対物レンズのそれぞれを通る、結像のための大きい視野をもたらすことができる。従って、微小物体操作対象の形状および寸法に関する制限は、従来の光学ピンセットについてのものよりもきわめて少ない。これによって、コンパクトディスクリーダーの挿入・排出システムに類似している試料挿入・排出システムが可能になる。
この発明によって可能になった上記の大きい作動距離のさらに別の結果として、さまざまな任意の立体角から観察されたような捕捉ずみ粒子の同時監視が可能である。例えば、捕捉ずみ微小物体を上記対物レンズの一方を通してX−Y平面において観察することは別として、微小物体は、逆伝搬用ビームに対して垂直である方向から観察することもできる。
3次元における捕捉ずみ微小物体の位置に関する改善された情報は、この操作の改善された精度について、かつ/または、捕捉ずみ微小物体の位置および/または速度に関する改善された情報について、この光学的操作システムへフィードバックするために使用することができる。
この発明の上記特徴、他の特徴および利点は、添付された図面を参照して代表的な実施形態を詳細に説明することによって、当業者にいっそう明らかになる。
図1は、光学的操作システム10の好ましい第1の実施形態を模式的に示しており、この光学的操作システム10は、微小物体操作対象14の中における微小物体(図示略)の操作のために複数の光学トラップを生成する。このシステム10には空間的に変調された光源16があり、この光源16には、調節可能な空間光変調器22へ向かって伝搬される光ビーム20を放出させるための光源18が備わっているが、変調器22は、図示された実施形態では、光ビーム20を強度変調ずみ第1ビーム24に変調するためのディジタル型微小ミラー装置(DMD)22である。この強度変調は図4を参照してさらに説明される。
空間的に変調された強度プロフィールによって、第1光ビーム24はさらに調節可能な空間光変調器26へ向かって伝搬されるが、変調器26は、図示された実施形態では、強度変調ずみ第1光ビーム24を相異なる方向に伝搬される第2および第3の強度変調ずみ光ビーム28,30に分離するためのDMD26でもある。強度変調ずみ第2光ビーム28は、微小物体操作対象14への第2光ビーム28の偏向のための第1偏向器32、例えばミラーへ向かって伝搬され、強度変調ずみ第3光ビーム30は、微小物体操作対象14への第3光ビーム30の偏向のための第2偏向器34へ向かって伝搬される。
DMD26は、時間多重化偏向を利用して入射光ビーム24を2本の発散ビームに分離する。それぞれのミラー40,42は、ミラー40およびミラー42について模式的に表示されたような2つの角度位置の間で移動することができる。それぞれのミラー40,42はこれら2つの位置の間において選定周波数および選定デューティサイクルで切り換わることができる。このデューティサイクルが50%であるときには、入射光ビーム24は、入射光ビーム24の強度の平均強度の半分がある、偏向された2本の光ビーム28,30に分離される。このデューティサイクルが変更されると、対応して、偏向された光ビーム28,30の一方の平均強度が増大するとともに、偏向された光ビーム28,30の他方の平均強度が減少するであろう。
従って、図示されたこの実施形態では、光学的操作システム10によって、伝搬の軸と実質的に同一であるが反対方向に沿って伝搬され、それによって、微小物体の捕捉のためのビームの上記伝搬軸に沿って顕著な平均捕捉力が形成される、一組のビーム12がもたらされる。
逆伝搬用光照射野によって、ブラウン粒子についての静止した光学電位が良好にもたらされる。逆伝搬用ビームの相対強度に変動性を導入することによって、微小物体が安定した平衡位置を得る電位が最小である軸方向箇所の動的制御がもたらされる。
粒子の上への入射光学野が高程度に合焦されないときには、発散力が支配的になる。この状況では、上記粒子はポインティング(Poynting)ベクトルの方向に正味軸力を受ける。1970年に、アスキン(Ashkin)は、光軸に沿ってわずかに隔てられた腰部がある等しい2本の対向状TEM00ビームの間において光指数の球体が対称点で捕捉されることを示した。この捕捉位置では、物体における正味軸力はゼロであって元に戻されている。それゆえ、一対の非平行ビームが、誘電性粒子のための3次元光学電位を良好に形成し、また、これは、上記文献において、逆伝搬用ビームあるいは2重ビームトラップとして知られている。
逆伝搬用ビームを使用するこの発明の好ましい実施形態では、光学的に捕捉された複数の微小物体の調整可能な軸安定平衡の位置決めがもたらされる。光軸に沿った粒子変位のための機構は、光学電位が良好に最小である軸方向箇所の変動を伴う、引き起こされた微分平均力による。捕捉された物体の軸方向位置の動的かつ非機構的な制御は、微生物のような微小物体と機能的に変調表面との間における相互作用力の研究のために、また、光学ガイドおよび搬送を通して仕分けられる粒子のために、適用することができる。
図示された実施形態によれば、粒子、生体細胞などのような複数の微小物体の同時3次元捕捉および独立操作のための、3次元かつリアルタイムでの制御的微小物体位置決め性能がある光学トラップの列が提供される。
図示された実施形態では、捕捉された微小物体は、逆伝搬用光ビームを操作対象14へ向けて出力する光学部品44,46の視野の内部で捕捉用光ビーム36,38に対して横断状に独立して操作することができるとともに、例えば100μmの距離にわたって光ビーム36,38の軸方向に沿って同時に操作することができる。
DMDのいくつかの特徴構成は、この発明の図示された実施形態において有利に利用される。DMDは波長から独立したものであるので、広い出力スペクトルが備わった光源は、例えば多レーザ波長をこのシステムにおいて同時に利用することができ、あるいは超連続光源のような白色光源を利用することができる。DMDは偏光から独立したものであるので、例えばファイバーレーザをこのシステムに利用することができる。さらにまた、DMDは、高い精度、高い充填比、高い反射率、および高い変調速度、例えば8000フレーム/秒までのような変調速度を有している。
図示された光学的操作システム10には、偏向された光ビーム36,38を微小物体操作対象14の上へ合焦させるための顕微鏡対物レンズ48,50がさらに備わっている。
図2に示された実施形態10は、図2の実施形態には顕微鏡対物レンズがないという事実を除けば、図1の実施形態と同一である。これによって、大きい視野が得られており、すなわち、微小物体操作対象14の断面積が増大している。
図3に示された実施形態10は、図3の実施形態には強度変調ずみ第1光ビーム24の伝搬路においてだけ単一の結像レンズがあるという事実を除けば、図1の実施形態と同一である。
図4は、DMDによって実行された光ビームの空間強度変調を示している。DMD22のミラー列の一部52が図4の左部に示されている。その位置の1つではミラー54が光を強度変調ずみ光ビーム24の伝搬路の中へ反射させ、他の位置ではミラー56が光を光ビーム24の伝搬路から離れるように反射させる。従って、光ビーム24の断面の対応部分が強度プロフィール58を得る。同様に、DMD26のミラー列の一部60が図4の中央部に示されている。すでに言及したように、その位置の1つではミラー40,42が入射ビームを強度変調ずみ第2光ビーム28の中へ反射させ、他の位置では強度変調ずみ第3光ビーム30の中へ反射させ、このようにして、2つのビーム28,30が時間多重化偏向によって生成される。例として、40および50%のデューティサイクルがいくつかのミラーについて表示され、これは逆伝搬用光ビーム36,38の強度プロフィールにつながる。デューティサイクルの調節は、微小物体の一方側面に作用する平均放射力が結果的に増大することと微小物体の反対側面に作用する平均放射力が結果的に減少することとによって、光ビーム36,38の伝搬の方向に沿う捕捉微小物体の移動につながる。
図5に示された実施形態10は、図5の実施形態には、微小物体操作対象14における微小物体の観察のための、例えば血球計算については例えば目視検査、蛍光発光などに基づいて、例えば個々の微小物体の移動路を監視するための光学的監視システム52,54があるという事実を除けば、図1の実施形態と同一である。
図1、図2、図3および図5に示された光学的操作システム10は、コンピュータ70(図5においてだけ示されている)によって制御されるが、このコンピュータ70には、このコンピュータがDMD22,26の中におけるそれぞれのミラー40,42の個々の位置決めを制御するように、DMD22,26のそれぞれのミラー40,42を取り扱うためのインターフェイス72が備わっている。さらに、このコンピュータは、光源を、例えば光源の出力強度を制御することができる。コンピュータ70には、ユーザーのコマンド、ソフトウェア更新処理などを受けるためのキーボード、マウス、ディスケット駆動装置、光ディスク駆動装置、ネットワークインターフェイス、モデムなども備わっている。図5に示されたような監視システム52,54が備わった実施形態では、コンピュータ70は、例えば微小物体操作対象14の中における微小物体を表示する画像捕捉のために、さらに監視システム52,54に接続されている。監視システム52については、逆伝搬用ビームに対して垂直な方向から操作対象14を観察することは従来のピンセットシステムではきわめて困難である、ということに留意すべきである。従来のピンセットシステムでは強く合焦したビームが必要であり、このことによって、高い開口数の顕微鏡対物レンズを油あるいは水の中へ浸漬することが必要であり、それゆえ、上記操作対象に近接して配置された上記対物レンズによって、側方からの観察、すなわち光学ピンセットに対して垂直な方向からの観察は、きわめて困難になる。
このシステムでは、ビームを強く合焦させる必要がないので、長い作動距離、例えば、光学部品と上記操作対象との間で数ミリメートルよりも大きい距離をもたらすことができ、また、特に逆伝搬用ビームの伝搬の方向に沿って、幅の広い操作対象をもたらすことができ、さらに、例えば顕微鏡対物レンズ48,50の一方を通して、画像形成のための大きい視野ももたらすことができる。このシステム52は、上記操作対象を側方から観察するように図示されているが、任意のさまざまな立体角から観察されたような捕捉ずみ粒子の同時監視が可能である。
このシステムのユーザーはマウスを使用して、例えば、移動されるこの微小物体の画像の上にカーソルを動かすとともにマウスクリックによってその微小物体を選択することで、個々の微小物体を方々に移動させることができる。選択された微小物体は、マウスの左ボタンを押しながらマウスをドラッグさせることで、例えば逆伝搬用ビーム36,38の伝搬方向に対して垂直な平面で移動させることができ、また、選択された微小物体は、マウスの右ボタンを押しながらマウスをドラッグさせることで、逆伝搬用ビーム36,38の伝搬方向に移動させることができる。
図6は、微小物体操作対象14の中における微小物体(図示略)の操作のために複数の光学トラップを生成する光学的操作システム10のさらに別の実施形態を模式的に示している。このシステム10は、調節可能な空間光変調器26へ向かって伝搬される光ビーム24の放出のための空間的に変調された光源16を備えてなり、この空間光変調器26は、図示されたこの実施形態では、第2および第3の強度変調ずみ光ビーム28,30を生成するためのディジタル型微小ミラー装置(DMD)26であり、強度変調ずみ第2光ビーム28は、この第2光ビーム28を微小物体操作対象14へ偏向させるための第1偏向器31,32、例えばミラーへ向かって伝搬され、かつ、強度変調ずみ第3光ビーム30は、この第3光ビーム30を第2光ビーム28の反対方向にある微小物体操作対象14へ偏向させるための第2偏向器33,34へ向かって伝搬される。従って、強度変調ずみ第2光ビーム28はDMD26の一方の半体60によって形成され、強度変調ずみ第3光ビーム30はDMD26の他方の半体61によって形成され、その結果、図1〜図3に示された実施形態の対応ビームの解像度がDMD26の解像度に等しいのに対し、強度変調ずみ光ビーム28,30の解像度はDMD26の解像度の半分である。これに代えて、さらに別の実施形態では、図6のDMD26は2つのDMDによって置き換えることができ、その一方によって強度変調ずみ第2光ビーム28が形成され、他方によって強度変調ずみ第3光ビーム30が形成され、その結果、これらのビームの解像度はそれぞれのDMDの解像度に等しい。
図6のDMD26によって行われる強度変調は、図4を参照してさらに説明される。
図4はまた、図6のDMD26によって行われた光ビームの空間強度変調を模式的に示している。DMD26の上記ミラー列の2つの半体60,61は図4の中央部に示されている。DMD26の一方の半体60は強度変調ずみ第2光ビーム28を変調し、DMD26の他方の半体61は強度変調ずみ第3光ビーム30を変調する。ミラー40,42が、その位置の一方において、入射ビーム24を強度変調ずみ第2光ビーム28の中へ反射させ、他方の位置における、強度変調ずみ第2光ビーム28から遠ざける。同様に、DMD26の他方の半体61については、ミラーが、その位置の一方において、入射ビーム24を強度変調ずみ第3光ビーム30の中へ反射させ、他方の位置において、強度変調ずみ第3光ビーム30から遠ざける。従って、これら2つのビーム28,30は時間多重化偏向によって生成される。例として、40、50および60%のデューティサイクルがいくつかのミラーについて表示され、これは逆伝搬用光ビーム36,38の強度プロフィール62,64につながる。2つの半体60,61のミラーにおけるデューティサイクルの協同的調節は、微小物体の一方側面に作用する平均放射力が結果的に増大することと微小物体の反対側面に作用する平均放射力が結果的に減少することとによって、光ビーム36,38の伝搬の方向に沿う捕捉微小物体の移動につながる。
従って、図示されたこの実施形態では、光学的操作システム10によって、伝搬の軸と実質的に同一であるが反対方向に沿って伝搬され、それによって、微小物体の捕捉のためのビームの上記伝搬軸に沿って顕著な平均捕捉力が形成される、一組のビーム12がもたらされる。
図1は、この発明の第1実施形態を模式的に示している。 図2は、この発明の第2実施形態を模式的に示している。 図3は、この発明の第3実施形態を模式的に示している。 図4は、この発明の操作を模式的に示している。 図5は、監視システムが含まれているこの発明の第4実施形態を模式的に示している。 図6は、この発明の第5実施形態を模式的に示している。

Claims (12)

  1. 微小物体操作対象における極微小物体を含む微小物体の操作のために複数の光学トラップを生成する光学的操作システムであって、このシステムは、
    空間的に変調された強度プロフィールによって、強度変調ずみの第2光ビームおよび第3光ビームを生成するために調節可能な第1空間光変調器へ向かって伝搬される第1光ビームの放出のための空間的に変調された光源を備えてなり、
    前記の強度変調ずみ第2光ビームは、この第2光ビームを前記微小物体操作対象へ偏向させるための第1偏向器へ向かって伝搬され、かつ、
    前記の強度変調ずみ第3光ビームは、この第3光ビームを前記微小物体操作対象へ偏向させるための第2偏向器へ向かって伝搬される
    光学的操作システム。
  2. 前記空間光変調器は、時間多重化偏向を実行する、請求項1に記載の光学的操作システム。
  3. 前記の空間的に変調された光源は、空間的に変調された強度プロフィールによって前記第1光ビームを放出するための調節可能な強度がある一列の光源からなっている、請求項1または2に記載の光学的操作システム。
  4. 前記の空間的に変調された光源は、一列の垂直キャビティ面放射レーザ、VCSELからなっている、請求項3に記載の光学的操作システム。
  5. 前記の空間的に変調された光源は、ある光源から上記の強度変調ずみ第1光ビームへの光ビームの変調のための調節可能な第2空間光変調器へ伝搬される光ビームの放出のための光源からなっている、請求項1または2に記載の光学的操作システム。
  6. 前記空間光変調器は、ディジタル型微小ミラー装置(DMD)のような微小光電子機構システム(MOEMS)からなっている、請求項5に記載の光学的操作システム。
  7. 前記の空間的に変調された光源は、光ビームを複数の方向へ連続的に偏向させるために制御されたビーム偏向器へ向かって伝搬し、それによって、前記の強度変調ずみ第1光ビームを形成する、光ビームの放出のための光源からなっている、請求項1または2に記載の光学的操作システム。
  8. 前記の第2光ビームおよび第3光ビームは、交差している光ビームの中へ偏向される、請求項1〜7のいずれか1つに記載の光学的操作システム。
  9. 前記の第2光ビームおよび第3光ビームは、逆伝搬用光ビームの中へ偏向される、請求項1〜8のいずれか1つに記載の光学的操作システム。
  10. 前記の偏向された光ビームを前記微小物体操作対象の上に合焦させるための顕微鏡対物レンズをさらに備えている、請求項1〜9のいずれか1つに記載の光学的操作システム。
  11. 前記微小物体操作対象を複数の方向から同時に観察するための観察システムをさらに備えている、請求項1〜10のいずれか1つに記載の光学的操作システム。
  12. 前記微小物体操作対象における極微小物体を含む微小物体の操作のユーザー制御および前記微小物体操作対象における極微小物体を含む微小物体の同時表示のために適合されたコンピュータをさらに備えている、請求項1〜11のいずれか1つに記載の光学的操作システム。
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