JP2008517574A5 - - Google Patents

Claims (48)

1. 静止した第１の要素（１）と、
   可動かつ非結合の第２の要素（２）と、
   前記第１及び第２の要素（１、２）間に力を生じさせるためのアクチュエータ（３）であって、前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）の両方の温度（Ｔ１、Ｔ２）を制御するように設計されているアクチュエータ（３）と、
   を含むマイクロシステム。
2. 前記アクチュエータ（３）が作動する作動モードにおいて、前記第１の要素（１）と前記第２の要素（２）との間の距離（ｄ）が１００μｍより小さい、請求項１に記載のマイクロシステム。
3. 前記アクチュエータ（３）が作動する作動モードにおいて、前記第１の要素（１）と前記第２の要素（２）との間の距離（ｄ）が１０μｍより小さい、請求項１または２に記載のマイクロシステム。
4. 互いに対面する前記要素（１、２）の表面（ｓ１、ｓ２）が平行に位置合わせされている、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
5. 互いに対面する前記要素（１、２）の前記表面（ｓ１、ｓ２）の一方は、他方の表面（ｓ２）に向かって傾斜した部分（ｓ１４）を少なくとも含む、前記請求項１〜３のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
6. 前記表面（ｓ１）は、前記他方の表面（ｓ２）と平行に位置合わせされた別の部分（ｓ１５）を含む、請求項５に記載のマイクロシステム。
7. 前記表面（ｓ１）は、前記他方の表面（ｓ２）に向かって傾斜したさらに別の部分（ｓ１６）を含む、請求項５又は６に記載のマイクロシステム。
8. 前記さらに別の表面部分（ｓ１６）は、前記傾斜した表面部分（ｓ１４）を前記他方の表面（ｓ２）に垂直な平面で鏡対称にすることによって、対応する前記要素（１、２）に配置される、請求項７に記載のマイクロシステム。
9. 前記第１及び第２の要素（１、２）の一方は、前記要素の他方（２、１）に対面する第１のランプ（１１）を含む、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
10. 前記第１のランプ（１１）に対して１８０度回転させた姿勢で方向付けられた第２のランプ（１２）を前記要素（１、２）上に含む、請求項９に記載のマイクロシステム。
11. 前記第１のランプ（１１）に対して９０度回転させた姿勢で方向付けられた第３のランプ（１３）を前記要素（１、２）上に含む、請求項９又は１０に記載のマイクロシステム。
12. 前記第１のランプ（１１）に対して２７０度回転させた姿勢で方向付けられた第４のランプ（１４）を前記要素（１、２）上に含む、請求項９〜１１のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
13. 前記第１のランプ（１１）と、前記第２のランプ（１２）と、前記第１のランプ（１１）及び前記第２のランプ（１２）の間の中間ゾーン（ｉｚ１）とを含む第１のアライメント（ａ１）を含む、請求項９または１０に記載のマイクロシステム。
14. 前記第３のランプ（１３）と、前記第４のランプ（１４）と、前記第３のランプ（１３）及び前記第４のランプ（１４）の間の中間ゾーン（ｉｚ２）とを含む第２のアライメント（ａ２）を含む、請求項１１または１２に記載のマイクロシステム。
15. 前記第１のアライメント（ａ１）は、前記第１のランプ（１１）と、前記第２のランプ（１２）に応じて方向付けられた別のランプとを含む第１のサブアライメント（ａ１１）、及び、前記第２のランプ（１２）と、前記第１のランプ（１１）に応じて方向付けられた別のランプとを含む第２のサブアライメント（ａ１２）を含み、
    前記中間ゾーン（ｉｚ１）は、前記第１及び第２のサブアライメント（ａ１１、ａ１２）間に配置されている、
    請求項１３に記載のマイクロシステム。
16. 前記第２のアライメント（ａ２）は、前記第３のランプ（１３）と、前記第４のランプ（１４）に応じて方向付けられた別のランプとを含む第３のサブアライメント（ａ２１）、及び、前記第４のランプ（１４）と、前記第３のランプ（１３）に応じて方向付けられた別のランプとを含む第４のサブアライメント（ａ２２）を含み、
    前記中間ゾーン（ｉｚ２）は、前記第３及び第４のサブアライメント（ａ２１、ａ２２）間に配置されている、
    請求項１４に記載のマイクロシステム。
17. 前記第１のアライメント（ａ１）は、前記第１のランプ（１１）と、前記第３のランプ（１３）及び前記第４のランプ（１４）の一方に応じて方向付けられた別のランプとを含む第１のサブアライメント（ａ１１）、並びに、前記第２のランプ（１２）と、前記第３のランプ（１３）及び前記第４のランプ（１４）の一方に応じて方向付けられた別のランプとを含む第２のサブアライメント（ａ１２）を含み、
    前記中間ゾーン（ｉｚ１）は、前記第１及び第２のサブアライメント（ａ１１、ａ１２）間に配置されている、
    請求項１３に記載のマイクロシステム。
18. 前記第２のアライメント（ａ２）は、前記第３のランプ（１３）と、前記第１のランプ（１１）及び前記第２のランプ（１２）の一方に応じて方向付けられた別のランプとを含む第３のサブアライメント（ａ２１）、並びに、前記第４のランプ（１４）と、前記第１のランプ（１１）及び前記第２のランプ（１２）の一方に応じて方向付けられた別のランプとを含む第４のサブアライメント（ａ２２）を含み、
    前記中間ゾーン（ｉｚ２）は、前記第３及び第４のサブアライメント（ａ２１、ａ２２）間に配置されている、
    請求項１４に記載のマイクロシステム。
19. 前記第１及び第２のアライメント（ａ１、ａ２）は、それらの前記中間ゾーン（ｉｚ１、ｉｚ２）が交差するように互いに対して位置合わせされている、請求項１３または１４に記載のマイクロシステム。
20. 前記中間ゾーン（ｉｚ１、ｉｚ２）はランプのないゾーンである、請求項１３又は１４に記載のマイクロシステム。
21. 前記中間ゾーン（ｉｚ１）は、前記第３のランプ（１３）及び前記第４のランプ（１４）の一方を含む、請求項１１〜１３のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
22. 同じアライメント（ａ１、ａ２）のランプが、このアライメント（ａ１、ａ２）の軸に垂直に方向付けられている、請求項１３又は１４に記載のマイクロシステム。
23. 同じアライメント（ａ１、ａ２）のランプが、このアライメント（ａ１、ａ２）の軸に沿って方向付けられている、請求項１３又は１４に記載のマイクロシステム。
24. 前記第１のランプ（１１）は、前記第１のランプ（１１）に応じて方向付けられた、鋸歯形状を形成する多数のランプの組の一部である、請求項９に記載のマイクロシステム。
25. 前記第２のランプ（１２）は、前記第２のランプ（１２）に応じて方向付けられた、鋸歯形状を形成する多数のランプの組の一部である、請求項１０に記載のマイクロシステム。
26. 前記第３のランプ（１３）は、前記第３のランプ（１３）に応じて方向付けられた、鋸歯形状を形成する多数のランプの組の一部である、請求項１１に記載のマイクロシステム。
27. 前記第４のランプ（１４）は、前記第４のランプ（１４）に応じて方向付けられた、鋸歯形状を形成する多数のランプの組の一部である、請求項１２に記載のマイクロシステム。
28. 前記アクチュエータ（３）は、前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）を前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）より高い温度に制御するように設計されている、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
29. 前記アクチュエータ（３）は、前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）を前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）より低い温度に制御するように設計されている、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
30. 前記アクチュエータ（３）は、前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）を前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）より低い温度に制御するように設計されている、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
31. 前記アクチュエータ（３）は、前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）を前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）より高い温度に制御するように設計されている、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
32. 前記アクチュエータ（３）は、前記第１の要素（１）に取り付けられている、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
33. 前記アクチュエータ（３）は、前記第１及び第２の要素（１、２）の一方の温度制御ゾーン（ｔｃｚ）の温度を制御するように設計されている、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステム。
34. 前記要素の他方（２、１）は、前記温度制御ゾーン（ｔｃｚ）と相互作用するための作動ゾーンを含む、請求項３３に記載のマイクロシステム。
35. 前記作動ゾーン及び前記温度制御ゾーン（ｔｃｚ）の一方の表面は、他方のゾーンの対面する表面に向かって傾斜している、請求項３４に記載のマイクロシステム。
36. 複数の作動ゾーン−温度制御ゾーンの組み合わせを含む、請求項３４又は３５に記載のマイクロシステム。
37. 前記第１の要素（１）に対して前記第２の要素（２）を位置決めするための、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステムを含むマイクロポジショナ。
38. 前記第１の要素（１）に対して前記第２の要素（２）を持ち上げるための、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステムを含むマイクロリフタ。
39. 前記第１の要素（１）に対して前記第２の要素（２）を横方向に移動させるための、前記請求項のいずれか１つの請求項に記載のマイクロシステムを含むマイクロスキャナ。
40. マイクロシステムにおいて第１の要素に対して第２の要素を位置決めするための方法であって、
    前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）の両方の温度（Ｔ１、Ｔ２）を制御するステップであって、前記第１の要素（１）は静止した要素であり、前記第２の要素（２）は可動かつ非結合の要素である、ステップと、それにより、前記第１の要素（１）に対して前記第２の要素（２）を位置決めするために前記第１の要素（１）と前記第２の要素（２）との間に力を生じさせるステップと、
    を含む方法。
41. 前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）を前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）より高い温度に制御するステップを含む、請求項４０に記載の方法。
42. 前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）を前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）より低い温度に制御するステップを含む、請求項４０に記載の方法。
43. 前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）を前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）より低い温度に制御するステップを含む、請求項４０に記載の方法。
44. 前記第１の要素（１）の温度（Ｔ１）を前記第２の要素（２）の温度（Ｔ２）より高い温度に制御するステップを含む、請求項４０に記載の方法。
45. 前記第１及び第２の要素（１、２）の一方の温度制御ゾーン（ｔｃｚ）の温度を制御するステップを含む、前記請求項４０〜４４のいずれか１つの請求項に記載の方法。
46. 前記第１及び第２の要素（１、２）の一方の多数の温度制御ゾーン（ｔｃｚ）の温度を制御するステップを含む、請求項４５の請求項に記載の方法。
47. 処理ユニット上で実行されたときに、請求項４０〜４６のいずれか１つの請求項に記載の方法のステップを実行させるためのプログラム・コードを含むコンピュータ・プログラム。
48. 請求項４０〜４６のいずれか１つの請求項に記載の方法のステップのすべてを処理ユニットに実行させるためのコンピュータ可読プログラム・コードを含む、コンピュータ使用可能媒体に格納されたコンピュータ・プログラム製品。