JP2008311374A - めっき/蒸着複合膜及びその製造方法、並びにパワー半導体モジュール装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】めっき膜と蒸着膜との間の密着性に優れためっき/蒸着複合膜及びその製造方法、並びにパワー半導体モジュール装置を提供すること。
【解決手段】めっき/蒸着複合膜1は、めっき膜11上に蒸着膜12を形成してなる。めっき膜11の定常領域における最も組成比が高い第1成分元素の組成比をA1(at%)、2番目に組成比が高い第2成分元素の組成比をA2(at%)とした場合、めっき膜11の成分元素と蒸着膜12の成分元素とが混在する拡散領域における組成比の変化をめっき/蒸着複合膜1の積層方向に見た場合に、めっき膜11の第1成分元素の組成比が0.1A1(at%)となる位置とめっき膜11の第2成分元素の組成比が0.1A2(at%)となる位置との間の距離である拡散差距離は、5nm以下である。
【選択図】図1
【解決手段】めっき/蒸着複合膜1は、めっき膜11上に蒸着膜12を形成してなる。めっき膜11の定常領域における最も組成比が高い第1成分元素の組成比をA1(at%)、2番目に組成比が高い第2成分元素の組成比をA2(at%)とした場合、めっき膜11の成分元素と蒸着膜12の成分元素とが混在する拡散領域における組成比の変化をめっき/蒸着複合膜1の積層方向に見た場合に、めっき膜11の第1成分元素の組成比が0.1A1(at%)となる位置とめっき膜11の第2成分元素の組成比が0.1A2(at%)となる位置との間の距離である拡散差距離は、5nm以下である。
【選択図】図1
Description
本発明は、めっき膜上に蒸着膜を形成してなるめっき/蒸着複合膜及びその製造方法、並びにめっき/蒸着複合膜を用いたパワー半導体モジュール装置に関する。
一般に、金属等の基材に対してめっき膜を形成した後、さらにめっき膜上に表面処理等の加工を施す機会は少ない。しかし、めっき膜上に塗膜等の表面処理を行う場合、金属等の基材に対する表面処理と比較して密着性に劣ることが一般に知られている。そのため、めっき膜表面を化学的、物理的にエッチングしたり、ポリアミド等の接着剤を塗布したりすることにより、密着性を向上させることが知られている。
また、特許文献1には、めっきされた複合材料を半田層等の接合層によって他の物体に接合する場合において、めっき層におけるクラック、めっき層の膨れ・剥離等の発生を抑制するため、めっき層に対して乾燥処理を行うことが示されている。
また、特許文献2には、半田層の濡れ性向上及びボイド率の低減を図るため、NiPめっき層の表面を表面酸化層よりも深く除去して平滑化した上で、NiPめっき層上にNiめっきを施すことが示されている。
また、特許文献2には、半田層の濡れ性向上及びボイド率の低減を図るため、NiPめっき層の表面を表面酸化層よりも深く除去して平滑化した上で、NiPめっき層上にNiめっきを施すことが示されている。
例えば、パワー半導体モジュール装置において、パワー半導体モジュールと冷却器との間を電気的に絶縁すると共に熱交換を行うための電気絶縁性熱伝導膜として、アモルファス膜を適用しようとした場合、高い絶縁耐圧が要求されるため、厚膜化が不可欠である。ここで、パワー半導体モジュールのヒートスプレッダ部には、半導体チップとの半田濡れ性を向上させるためにNiPめっき膜が施されている。このNiPめっき膜上に電気絶縁性伝導性膜としてのアモルファス膜を蒸着により形成した場合、NiPめっき膜との密着性が不足し、成膜後直ちに剥離してしまうという問題がある。
そこで、上記の問題を解決するために、NiPめっき膜表面を化学的、物理的にエッチングしたり、ポリアミド等の接着剤を塗布したりすることにより密着性を向上させる公知の技術を用いることが考えられる。しかしながら、このような手法を用いた場合においても、めっき膜上に形成された蒸着膜の密着性を充分に確保することはできず、また放熱面との接触面積が減少したり、熱伝導性に劣る接着剤が介在したりする等の別の問題も発生する。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、めっき膜と蒸着膜との間の密着性に優れためっき/蒸着複合膜及びその製造方法、並びにめっき/蒸着複合膜を用いたパワー半導体モジュール装置を提供しようとするものである。
第1の発明は、めっき膜上に蒸着膜を形成してなるめっき/蒸着複合膜において、
上記めっき膜の定常領域における最も組成比が高い第1成分元素の組成比をA1(at%)、2番目に組成比が高い第2成分元素の組成比をA2(at%)とした場合、
上記めっき膜の成分元素と上記蒸着膜の成分元素とが混在する拡散領域における組成比の変化を上記めっき/蒸着複合膜の積層方向に見た場合に、上記めっき膜の上記第1成分元素の組成比が0.1A1(at%)となる位置と上記めっき膜の上記第2成分元素の組成比が0.1A2(at%)となる位置との間の距離である拡散距離差は、5nm以下であることを特徴とするめっき/蒸着複合膜にある(請求項1)。
上記めっき膜の定常領域における最も組成比が高い第1成分元素の組成比をA1(at%)、2番目に組成比が高い第2成分元素の組成比をA2(at%)とした場合、
上記めっき膜の成分元素と上記蒸着膜の成分元素とが混在する拡散領域における組成比の変化を上記めっき/蒸着複合膜の積層方向に見た場合に、上記めっき膜の上記第1成分元素の組成比が0.1A1(at%)となる位置と上記めっき膜の上記第2成分元素の組成比が0.1A2(at%)となる位置との間の距離である拡散距離差は、5nm以下であることを特徴とするめっき/蒸着複合膜にある(請求項1)。
本発明のめっき/蒸着複合膜は、上記めっき膜上に上記蒸着膜を形成してなる複合膜であり、上記めっき膜及び上記蒸着膜の成分元素が混在・拡散した状態にある上記拡散領域が存在する。そして、この拡散領域における組成比の変化を上記めっき/蒸着複合膜の積層方向に見た場合に、上記拡散距離差は5nm以下である。すなわち、上記拡散領域において、上記めっき膜の上記第1成分元素の組成比が定常領域の組成比に比べて1/10となる位置と上記めっき膜の上記第2成分元素の組成比が定常領域の組成比に比べて1/10となる位置との間の距離が5nm以下である。
そのため、上記拡散領域において、上記めっき膜の主な成分元素となる上記第1成分元素及び上記第2成分元素の拡散状態にほとんど差がなく、上記めっき膜の成分元素が上記蒸着膜側にほぼ均一に拡散された状態となる。これにより、上記めっき/蒸着複合膜は、上記めっき膜と上記蒸着膜との間の密着性を充分に確保することができ、上記蒸着膜の剥離等の不具合を抑制することができる。
このように、本発明によれば、めっき膜と蒸着膜との間の密着性に優れためっき/蒸着複合膜を提供することができる。
第2の発明は、めっき膜上に蒸着膜を形成してなるめっき/蒸着複合膜を製造する方法であって、
基材上に上記めっき膜を形成するめっき工程と、
上記めっき膜上に上記蒸着膜を形成する蒸着工程とを有し、
該蒸着工程の前工程として、上記めっき膜の酸化を抑制できる雰囲気中において、上記めっき膜をアニールするアニール工程を行い、
該アニール工程におけるアニール温度a(℃)と上記蒸着工程における上記蒸着膜の蒸着温度b(℃)とは、(b−50)≦a≦(b+300)の関係を満たすことを特徴とするめっき/蒸着複合膜の製造方法にある(請求項8)。
基材上に上記めっき膜を形成するめっき工程と、
上記めっき膜上に上記蒸着膜を形成する蒸着工程とを有し、
該蒸着工程の前工程として、上記めっき膜の酸化を抑制できる雰囲気中において、上記めっき膜をアニールするアニール工程を行い、
該アニール工程におけるアニール温度a(℃)と上記蒸着工程における上記蒸着膜の蒸着温度b(℃)とは、(b−50)≦a≦(b+300)の関係を満たすことを特徴とするめっき/蒸着複合膜の製造方法にある(請求項8)。
本発明のめっき/蒸着複合膜の製造方法においては、上記めっき工程と上記蒸着工程とを行い、該蒸着工程の前工程として、上記めっき膜の酸化を抑制できる雰囲気中において、上記めっき膜をアニールするアニール工程を行う。そして、該アニール工程におけるアニール温度a(℃)と上記蒸着工程における上記蒸着膜の蒸着温度b(℃)とは、(b−50)≦a≦(b+300)の関係を満たす。
すなわち、上記蒸着工程前の上記めっき膜に対して、上記特定の雰囲気中、上記特定の温度でアニールを行うことにより、上記めっき膜中の水分等のガスを外部へと発生させて放出することができる。そのため、上記蒸着工程において、上記めっき膜上に上記蒸着膜を蒸着する際に、上記めっき膜表面からのガスの発生(アウトガス)を抑制することができる。これにより、上記めっき膜上に上記蒸着膜を密着性良く成膜することができる。
このように、本発明の製造方法によれば、上記めっき膜と上記蒸着膜との間の密着性に優れた上記めっき/蒸着複合膜を得ることができる。
第3の発明は、パワー半導体モジュールと該パワー半導体モジュールとの熱交換を行うための熱交換器とを有するパワー半導体モジュール装置において、
上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間には、上記第1の発明のめっき/蒸着複合膜が形成されていることを特徴とするパワー半導体モジュール装置にある(請求項14)。
上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間には、上記第1の発明のめっき/蒸着複合膜が形成されていることを特徴とするパワー半導体モジュール装置にある(請求項14)。
本発明のパワー半導体モジュール装置は、上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間に、上記第1の発明のめっき/蒸着複合膜、つまり上記めっき膜と上記蒸着膜との間の密着性に優れためっき/蒸着複合膜が形成されている。そのため、上記パワー半導体モジュール装置は、耐久性・信頼性に優れたものとなる。
また、上記めっき/蒸着複合膜は、上記パワー半導体モジュール側に設けてもよいし、上記熱交換器側に設けてもよい。
例えば、上記パワー半導体モジュール側に設ける構成とした場合、後述のごとく、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性を向上させるための上記めっき膜を形成し、そのめっき膜上に上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間の電気的な絶縁を確保すると共に熱交換を行うための電気絶縁性熱伝導膜としての上記蒸着膜を形成することができる。
これにより、上記パワー半導体モジュール装置は、上記めっき/蒸着複合膜によって、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性を向上させ、上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間の電気的な絶縁を充分に確保することができると共に熱交換を効率よく行うことができる。
例えば、上記パワー半導体モジュール側に設ける構成とした場合、後述のごとく、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性を向上させるための上記めっき膜を形成し、そのめっき膜上に上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間の電気的な絶縁を確保すると共に熱交換を行うための電気絶縁性熱伝導膜としての上記蒸着膜を形成することができる。
これにより、上記パワー半導体モジュール装置は、上記めっき/蒸着複合膜によって、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性を向上させ、上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間の電気的な絶縁を充分に確保することができると共に熱交換を効率よく行うことができる。
上記第1の発明において、上記めっき膜の定常領域とは、上記蒸着膜の成分元素が拡散等によって混在することなく、上記めっき膜の成分元素のみで構成された領域のことをいう。
また、上記拡散距離差が5nmを超える場合には、上記めっき膜と上記蒸着膜との間の密着性を充分に確保することができず、上記蒸着膜の剥離等の不具合が発生するおそれがある。
また、上記拡散距離差は、1nm以下であることがより好ましい(請求項2)。
この場合には、上記めっき膜と上記蒸着膜との間の密着性をより一層充分に確保することができる。
この場合には、上記めっき膜と上記蒸着膜との間の密着性をより一層充分に確保することができる。
また、上記めっき/蒸着複合膜は、パワー半導体モジュールと該パワー半導体モジュールとの熱交換を行うための熱交換器との間に形成されていることが好ましい(請求項3)。
例えば、上記めっき/蒸着複合膜を上記パワー半導体モジュール側に設ける場合、後述のごとく、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性を向上させるための上記めっき膜を形成し、そのめっき膜上に上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間の電気的な絶縁を確保すると共に熱交換を行うための電気絶縁性熱伝導膜としての上記蒸着膜を形成した構成とすることができる。
なお、上記めっき/蒸着複合膜は、上記熱交換器側に設けてもよい。
例えば、上記めっき/蒸着複合膜を上記パワー半導体モジュール側に設ける場合、後述のごとく、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性を向上させるための上記めっき膜を形成し、そのめっき膜上に上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間の電気的な絶縁を確保すると共に熱交換を行うための電気絶縁性熱伝導膜としての上記蒸着膜を形成した構成とすることができる。
なお、上記めっき/蒸着複合膜は、上記熱交換器側に設けてもよい。
また、上記めっき膜は、Ni系めっき膜であることが好ましい(請求項4)。
この場合には、例えば、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性を向上させることができる。
この場合には、例えば、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性を向上させることができる。
また、上記めっき膜は、NiPめっき膜であることがより好ましい(請求項5)。
この場合には、例えば、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性をさらに向上させることができる。
この場合には、例えば、上記パワー半導体モジュールに内蔵される半導体チップとの半田濡れ性をさらに向上させることができる。
また、上記蒸着膜は、アモルファス炭素−窒素−珪素膜であることが好ましい(請求項6)。
この場合には、上記蒸着膜は、優れた電気絶縁性・熱伝導性を有するものとなる。そのため、例えば、上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間の電気的な絶縁を確保すると共に熱交換を行うための電気絶縁性熱伝導膜として性能を発揮することができる。
この場合には、上記蒸着膜は、優れた電気絶縁性・熱伝導性を有するものとなる。そのため、例えば、上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間の電気的な絶縁を確保すると共に熱交換を行うための電気絶縁性熱伝導膜として性能を発揮することができる。
ここで、上記アモルファス炭素−窒素−珪素膜とは、炭素(C)、窒素(N)及び珪素(Si)を含有する非晶質の膜のことをいう。
上記アモルファス炭素−窒素−珪素膜としては、例えば炭素(C)を27〜39at%、窒素(N)を8〜22at%、珪素(Si)を20〜22at%含有した組成のものを用いることができる。さらに、炭素、窒素及び珪素に加えて水素(H)を29〜33at%含有した組成のものを用いることもできる。もちろん、これ以外の組成のものを用いることもできる。
上記アモルファス炭素−窒素−珪素膜としては、例えば炭素(C)を27〜39at%、窒素(N)を8〜22at%、珪素(Si)を20〜22at%含有した組成のものを用いることができる。さらに、炭素、窒素及び珪素に加えて水素(H)を29〜33at%含有した組成のものを用いることもできる。もちろん、これ以外の組成のものを用いることもできる。
また、上記アモルファス炭素−窒素−珪素膜は、プラズマCVD法により形成されてなることが好ましい(請求項7)。
この場合には、上記蒸着膜としての上記アモルファス炭素−窒素−珪素膜を厚膜化することができ、絶縁耐圧を向上させることができる。そのため、上記蒸着膜は、電気絶縁性熱伝導膜としての性能を向上させることができる。
この場合には、上記蒸着膜としての上記アモルファス炭素−窒素−珪素膜を厚膜化することができ、絶縁耐圧を向上させることができる。そのため、上記蒸着膜は、電気絶縁性熱伝導膜としての性能を向上させることができる。
なお、上記めっき膜としては、上記以外にも、Niめっき膜、NiBめっき膜、Cuめっき膜、Agめっき膜、Auめっき膜、Rhめっき膜、Snめっき膜、Sn−Agめっき膜、Sn−Cuめっき膜、Si−Biめっき膜等を用いることができる。
また、上記蒸着膜としては、上記以外にも、SiN膜、AlN膜、Al2O3膜、アモルファス炭素膜、アモルファス炭素−珪素膜等を用いることができる。
また、上記蒸着膜としては、上記以外にも、SiN膜、AlN膜、Al2O3膜、アモルファス炭素膜、アモルファス炭素−珪素膜等を用いることができる。
上記第2の発明において、上記アニール工程では、上記めっき膜の酸化を充分に抑制することができない雰囲気中で上記めっき膜をアニールした場合には、例えば、上記めっき膜の半田濡れ性が低下するおそれがある。
また、上記アニール工程では、1000Pa以下の低圧雰囲気中、水素雰囲気中又は窒素雰囲気中において、上記めっき膜をアニールすることが好ましい(請求項9)。
この場合には、上記めっき膜表面の酸化を防止することができる。そのため、上記蒸着工程において、上記めっき膜上に上記蒸着膜をさらに密着性良く成膜することができる。
この場合には、上記めっき膜表面の酸化を防止することができる。そのため、上記蒸着工程において、上記めっき膜上に上記蒸着膜をさらに密着性良く成膜することができる。
また、上記アニール温度a(℃)と上記蒸着温度b(℃)との関係において、a<(b−50)の場合には、上記めっき膜と上記蒸着膜との間の密着性が低下するおそれがある。一方、a>(b+300)の場合には、例えば、上記めっき膜の半田濡れ性が低下するおそれがある。
また、上記アニール工程では、できる限り上記めっき膜中の水分等のガスを外部へと発生させて放出し、上記蒸着工程において上記めっき膜表面からのガスの発生(アウトガス)がなくなるように、上記めっき膜に対してアニールする時間を設定することが好ましい。
(実施例1)
以下、本発明のめっき/蒸着複合膜におけるめっき膜と蒸着膜との間の密着性を検証した実験について説明する。
本例において作製するめっき/蒸着複合膜1は、図1に示すごとく、所望の基材2に形成された複合膜であり、めっきすることによって形成されためっき膜11と蒸着することによって形成された蒸着膜12とにより構成されている。
以下、本発明のめっき/蒸着複合膜におけるめっき膜と蒸着膜との間の密着性を検証した実験について説明する。
本例において作製するめっき/蒸着複合膜1は、図1に示すごとく、所望の基材2に形成された複合膜であり、めっきすることによって形成されためっき膜11と蒸着することによって形成された蒸着膜12とにより構成されている。
なお、本例では、めっき/蒸着複合膜1を形成する基材2として、Cu板(JIS規格名:C1020)を用いる。また、めっき膜11は、NiP合金めっき膜(以下、適宜、単にNiPめっき膜という)である。また、蒸着膜12は、アモルファス窒素−炭素−珪素膜(以下、適宜、単にアモルファス膜という)である。
<めっき膜の形成>
まず、基材となるCu板上に、めっき膜としてのNiPめっき膜(上村工業製、ニムデンDX)を無電解めっき法により形成した(以下、これを基準試料とする)。本例では、NiPめっき膜の膜厚を7μmとした。
まず、基材となるCu板上に、めっき膜としてのNiPめっき膜(上村工業製、ニムデンDX)を無電解めっき法により形成した(以下、これを基準試料とする)。本例では、NiPめっき膜の膜厚を7μmとした。
<アニール時間の決定>
次いで、上記基準試料について、ヘリウム雰囲気下において室温から350℃まで昇温(昇温速度:10℃/min)した後、350℃で1時間保持する条件で加熱(アニール)した。そして、このときのNiPめっき膜表面からの発生気体を昇温脱離質量分析(TPD−MS:Temperature Trogrammed Desorption−Mass Spectrometry)法により測定した。
次いで、上記基準試料について、ヘリウム雰囲気下において室温から350℃まで昇温(昇温速度:10℃/min)した後、350℃で1時間保持する条件で加熱(アニール)した。そして、このときのNiPめっき膜表面からの発生気体を昇温脱離質量分析(TPD−MS:Temperature Trogrammed Desorption−Mass Spectrometry)法により測定した。
その結果を図2に示す。同図から、水分(H2O)については、加熱開始直後から発生が認められ、350℃で等温保持してから約25分経過後に発生が収束することがわかった。また、二酸化炭素(CO2)については、50℃付近から発生が認められ、350℃で等温保持してから約35分経過後に発生が収束することがわかった。
次いで、上記基準試料について、SEM装置内真空下において室温から350℃まで昇温(昇温速度10℃/min)した後、350℃で1時間保持する条件で加熱(アニール)した。そして、加熱前後のNiPめっき膜について、電子後方散乱回折(EBSD:Electron Backscattered Diffraction)法により結晶性を評価した。
加熱前後におけるNiPめっき膜のSEM像及び回折パターンを図3に示す。同図から、NiPめっき膜は、加熱前にはアモルファス構造を有し、加熱後には結晶性を有することがわかった。
加熱前後におけるNiPめっき膜のSEM像及び回折パターンを図3に示す。同図から、NiPめっき膜は、加熱前にはアモルファス構造を有し、加熱後には結晶性を有することがわかった。
以上の結果から、上記基準試料を350℃で1時間保持することにより、NiPめっき膜からの気体の発生が収束することが確認された(実験結果1)。また、NiPめっき膜は、結晶化した状態で安定化することが確認された(実験結果2)。
次いで、上記基準試料について、ヘリウム雰囲気下において室温から200℃まで昇温(昇温速度:10℃/min)した後、200℃で6時間保持する条件で加熱(アニール)した。そして、このときのNiPめっき膜表面からの発生気体をTPD−MS法により測定した。
その結果を図4に示す。同図から、気体(水分(H2O)、二酸化炭素(CO2))の発生は、200℃で等温保持してから約5時間30分経過後に収束することがわかった。
その結果を図4に示す。同図から、気体(水分(H2O)、二酸化炭素(CO2))の発生は、200℃で等温保持してから約5時間30分経過後に収束することがわかった。
次いで、上記基準試料について、SEM装置内真空下において室温から200℃まで昇温(昇温速度10℃/min)した後、200℃で5時間30分保持する条件で加熱(アニール)した。そして、加熱前後のNiPめっき膜について、EBSD法により結晶性を評価した。
加熱前後におけるNiPめっき膜のSEM像及び回折パターンを図5に示す。同図から、NiPめっき膜は、加熱前及び加熱後共にアモルファス構造を有することがわかった。
加熱前後におけるNiPめっき膜のSEM像及び回折パターンを図5に示す。同図から、NiPめっき膜は、加熱前及び加熱後共にアモルファス構造を有することがわかった。
以上の結果から、上記基準試料を200℃で6時間保持することにより、NiPめっき膜からの気体の発生が収束することが確認された(実験結果3)。また、NiPめっき膜は、アモルファス構造を維持することが確認された(実験結果4)。
なお、NiPめっき膜表面からの発生気体の測定に用いたTPD−MS法とは、温度コントローラ付の特殊加熱装置(メーカ:東レリサーチセンター、型式:Small−4)にMS(Mass Spectrometry)装置(メーカ:島津製作所、型式:GC/MS QP5050A)を直結して、加熱時に試料から発生する気体の質量数ごとの濃度変化を温度の関数として追跡する手法である。
また、加熱前後におけるNiPめっき膜の結晶性評価に用いたEBSD法には、熱電界放射型走査電子顕微鏡(TFE−SEM)(メーカ:日本電子、型式:JSM−6500F)、OIM方位解析装置(メーカ:TSL、型式:DigiViewII(DVC 1412M)スロースキャンCCDカメラ、OIM Data Collection ver.4.6x、OIM Analysis ver.4.6x)を使用した。分析条件は、加速電圧15.0kV、照射電流1.5nA、試料傾斜70deg.で実施した。
<蒸着膜の形成>
次いで、NiPめっき膜表面に、蒸着膜としてのアモルファス炭素−窒素−珪素膜をバイポーラ型パルスプラズマCVD法により形成した。
本例では、上記基準試料に対してアニールを行ったサンプル(試料E1〜E3)を準備し、NiPめっき膜表面にアモルファス膜を形成した。また、比較として、基準試料に対してアニールを行わなかったサンプル(試料C1〜C3)を準備し、同様にNiPめっき膜表面にアモルファス膜を形成した。なお、各サンプルのアニール条件(雰囲気、圧力、温度・時間)、蒸着膜の成膜条件(膜厚、成膜温度)については、表1に示すとおりである。
次いで、NiPめっき膜表面に、蒸着膜としてのアモルファス炭素−窒素−珪素膜をバイポーラ型パルスプラズマCVD法により形成した。
本例では、上記基準試料に対してアニールを行ったサンプル(試料E1〜E3)を準備し、NiPめっき膜表面にアモルファス膜を形成した。また、比較として、基準試料に対してアニールを行わなかったサンプル(試料C1〜C3)を準備し、同様にNiPめっき膜表面にアモルファス膜を形成した。なお、各サンプルのアニール条件(雰囲気、圧力、温度・時間)、蒸着膜の成膜条件(膜厚、成膜温度)については、表1に示すとおりである。
ここで、バイポーラ型パルスプラズマとは、負印加による負グロー放電とわずかな正印加とをパルス状に繰り返すことにより発生させるプラズマのことである。バイポーラ型パルスプラズマを用いることにより、高い絶縁性を持つアモルファス膜についても、アーク放電による膜の損傷や破壊を防止しつつ、良好な膜を形成することが可能である。なぜなら、負印加のみの直流プラズマにおいては、絶縁膜が形成されると放電維持電流が流れなくなり、放電が不安定になってしまう。しかし、バイポーラ型パルスプラズマにおいては、わずかな正印加が絶縁膜への帯電を防止し、厚膜時においても良好な放電が維持できるからである。
バイポーラ型パルスプラズマCVD法によるアモルファス膜の形成は、まず、密閉容器内に母材となるNiPめっき膜を施したCu板(試料C1〜C3、E1〜E3)を配置し、0.001Pa以下まで真空排気を行った。
次いで、ヒーターとプラズマエネルギーとを用いてNiPめっき膜を施したCu板を昇温させた。そして、H2とArとの混合ガスをグロー放電させイオン衝撃によりNiPめっき膜表面をクリーニングした。なお、このクリーニングは、NiPめっき膜表面の汚れを除去しNiPめっき膜表面に均一な膜を形成することを目的とする。これにより、形成するアモルファス膜の密着性をさらに向上させることができる。
次いで、ヒーターとプラズマエネルギーとを用いてNiPめっき膜を施したCu板を昇温させた。そして、H2とArとの混合ガスをグロー放電させイオン衝撃によりNiPめっき膜表面をクリーニングした。なお、このクリーニングは、NiPめっき膜表面の汚れを除去しNiPめっき膜表面に均一な膜を形成することを目的とする。これにより、形成するアモルファス膜の密着性をさらに向上させることができる。
さらに、密閉容器内に蒸着膜形成ガスを導入し、グロー放電させた。これにより、NiPめっき膜表面にアモルファス膜を形成させた。形成後、大気中に取り出せる温度まで真空容器とサンプルとを冷却した。最後に、サンプルを真空容器内から取り出した。
なお、蒸着膜形成ガスは、原料ガスと雰囲気ガスとからなる。本例では、原料ガスとして、CH4と((CH3)3Si)2NHとからなる混合ガスを用いた。また、雰囲気ガスとして、H2とN2とからなる混合ガスを用いた。
なお、蒸着膜形成ガスは、原料ガスと雰囲気ガスとからなる。本例では、原料ガスとして、CH4と((CH3)3Si)2NHとからなる混合ガスを用いた。また、雰囲気ガスとして、H2とN2とからなる混合ガスを用いた。
次に、各サンプル(試料C1〜C3、E1〜E3)について、めっき膜(NiPめっき膜)と蒸着膜(アモルファス炭素−窒素−珪素膜)との間の密着性を評価した。
密着性は、まず成膜後炉外に取り出した段階での剥離の有無を目視にて観察した。この段階で全面剥離を生じたサンプルは、密着力評価として×とした。また、部分剥離を生じたサンプルについては、密着力評価として△とした。
また、剥離を生じなかったサンプルについては、次のような密着力評価を実施し、2kg/mm2以上の密着力がある場合は○、ない場合は×とした。具体的には、図6に示すごとく、蒸着膜12に対してM4ナット32をエポキシ接着剤31により接着し(接着面積12mm2)、M4ナット32に対して所定の引張荷重を加えて引張試験を行った。
密着性は、まず成膜後炉外に取り出した段階での剥離の有無を目視にて観察した。この段階で全面剥離を生じたサンプルは、密着力評価として×とした。また、部分剥離を生じたサンプルについては、密着力評価として△とした。
また、剥離を生じなかったサンプルについては、次のような密着力評価を実施し、2kg/mm2以上の密着力がある場合は○、ない場合は×とした。具体的には、図6に示すごとく、蒸着膜12に対してM4ナット32をエポキシ接着剤31により接着し(接着面積12mm2)、M4ナット32に対して所定の引張荷重を加えて引張試験を行った。
各サンプル(試料C1〜C3、E1〜E3)の密着力評価結果を表2に示す。
アニールを行わなかった試料C1、C3は、成膜直後に蒸着膜の剥離が生じ、密着力が低いことがわかった。また、試料C2は、蒸着膜の膜厚が薄いために剥離を生じなかったが、試料C1、C3と同様に密着力が低いことがわかった。
一方、アニールを行った試料E1〜E3は、蒸着膜の剥離が見られず、密着力を充分に確保しており、めっき膜上に蒸着膜を密着性良く成膜することが可能であることがわかった。
アニールを行わなかった試料C1、C3は、成膜直後に蒸着膜の剥離が生じ、密着力が低いことがわかった。また、試料C2は、蒸着膜の膜厚が薄いために剥離を生じなかったが、試料C1、C3と同様に密着力が低いことがわかった。
一方、アニールを行った試料E1〜E3は、蒸着膜の剥離が見られず、密着力を充分に確保しており、めっき膜上に蒸着膜を密着性良く成膜することが可能であることがわかった。
また、上述の実験結果1、2及び試料C1、試料E1の結果から、めっき膜表面からのアウトガスと、NiPめっき膜のアモルファスから結晶への構造変化の相乗作用は、著しい密着性の低下をもたらすことがわかった。
一方、上述の実験結果3、4及び試料C3、試料E1の結果から、NiPめっき膜表面からのアウトガスの作用のみであっても、密着性の低下をもたらすことがわかった。
以上の結果から、必要とされる密着力をアニール温度と蒸着膜の成膜温度で制御できることがわかった。
一方、上述の実験結果3、4及び試料C3、試料E1の結果から、NiPめっき膜表面からのアウトガスの作用のみであっても、密着性の低下をもたらすことがわかった。
以上の結果から、必要とされる密着力をアニール温度と蒸着膜の成膜温度で制御できることがわかった。
また、試料E1〜3におけるアニール雰囲気の比較から、少なくともめっき膜表面の酸化を防止できる雰囲気下でアニールをすれば、蒸着膜の密着性を確保できることがわかった。
次に、試料C2及び試料E1について、高分解能透過型電子顕微鏡(メーカ:日立製作所、型式:H−9000UHR)による断面観察を実施した。断面観察の測定条件は、加速電圧300kVとした。
その結果を図7に示す。低密着性の試料C2においては、断面観察で界面にコントラストの薄い異常層が認められた。この異常層は、蒸着膜成膜中に界面に溜まった水分等の抜けた後である可能性がある。一方、高密着性の試料E1においては、そうした層は界面に認められなかった。よって、アニールを適切に実施しないと、界面にこのような異常層ができてしまい、蒸着膜の密着性を低下する原因となっているものと考えられる。
次に、試料C2及び試料E1について、電界放出型電子顕微鏡(メーカ:日本電子、型式:JEM2100F)とEDX(Energy Dispersive X−ray spectroscopy)(メーカ:JEOL、型式:JED−2300T)による断面組成分析を実施した。試料作製は機械研磨+イオンミリング、断面組成分析の測定条件は、加速電圧200kV、ビームスポットサイズ1.0nmφとした。
そして、断面組成分析結果より、めっき膜の定常領域における組成比を求めた。n数は5とした。試料E1のめっき膜は、表3に示すごとく、最も組成比が高い第1成分元素がNi(ニッケル)であり、その組成比は88.5at%であった。また、2番目に組成比が高い第2成分元素がP(リン)であり、その組成比は9.0at%であった。
次いで、めっき膜と蒸着膜との界面、つまりめっき膜の成分元素と蒸着膜の成分元素とが互いに拡散した拡散領域について断面組成分析を実施し、図8に示すごとく、組成比に関するプロファイルを得た。なお、図8(a)は試料C2、図8(b)は試料E1の断面組成分析結果である。また、プロファイルした成分元素は、めっき膜に含まれるNi、P、蒸着膜に含まれるC、N、Siである。また、横軸の距離(nm)は、任意で設定した位置から蒸着膜側への距離を表している。
次いで、得られたプロファイルから、めっき膜の第1成分元素(Ni)の組成比が定常領域に比べて1/10(=8.85at%)となる距離と、めっき膜の第2成分元素(P)の組成比が定常領域に比べて1/10(=0.9at%)となる距離とを求めた。そして、双方の距離の差(これを拡散距離差という)を求めた。その結果を表4に示す。
表4からわかるように、めっき膜と蒸着膜との密着性の低い試料C2は、拡散距離差が10nmであり、めっき膜の第1成分元素(Ni)と第2成分元素(P)との拡散状態に差が生じている。これは、図7(a)の断面観察における異常層に相当するものと考えられ、これが密着性に悪影響を与えている可能性がある。一方、密着性に優れる試料E1は、拡散距離差が1nmであり、めっき膜の第1成分元素(Ni)と第2成分元素(P)との拡散状態に差がほとんど認められなかった。
このように、アニールの有無が水分等のガスの発生や、めっき膜の結晶化等をもたらし、その結果として界面での拡散へ影響を与え、それが大きくなると密着性の低下をもたらすことが明らかとなった。
(実施例2)
本例は、本発明のめっき/蒸着複合膜をパワー半導体モジュール装置に適用した例である。
本例のめっき/蒸着複合膜は、実施例1と同様に、NiPめっき膜よりなるめっき膜と、アモルファス炭素−窒素−珪素膜よりなる蒸着膜とにより構成された複合膜であり、アモルファス炭素−窒素−珪素膜は、優れた電気絶縁性・熱伝導性を有する電気絶縁性熱伝導膜である。このめっき/蒸着複合膜をEHV(Electric and Hybrid Vehicle)の高電圧系に用いられるパワー半導体モジュール装置に適用した。
以下、その構成について簡単に説明する。
本例は、本発明のめっき/蒸着複合膜をパワー半導体モジュール装置に適用した例である。
本例のめっき/蒸着複合膜は、実施例1と同様に、NiPめっき膜よりなるめっき膜と、アモルファス炭素−窒素−珪素膜よりなる蒸着膜とにより構成された複合膜であり、アモルファス炭素−窒素−珪素膜は、優れた電気絶縁性・熱伝導性を有する電気絶縁性熱伝導膜である。このめっき/蒸着複合膜をEHV(Electric and Hybrid Vehicle)の高電圧系に用いられるパワー半導体モジュール装置に適用した。
以下、その構成について簡単に説明する。
パワー半導体モジュール装置5は、図9、図10に示すごとく、パワー半導体モジュール51と内部に冷却流体が流れるアルミ合金板により形成された略管状の液冷器(熱交換器)52とを有している。液冷器52の内部には、LLC(Long Life Coolant)が矢印方向に循環して流れている。また、パワー半導体モジュール51と液冷器52との間には、めっき/蒸着複合膜1が配置されている。本例では、めっき/蒸着複合膜1は、パワー半導体モジュール51側に形成されている。また、その製造方法は、実施例1の試料E1の場合と同様とした。
また、パワー半導体モジュール装置5において、パワー半導体モジュール51から発生した熱は、めっき/蒸着複合膜1を介して液冷器52に伝わる。その熱は、液冷器52から液冷器52内を循環するLLCに伝わり、さらに放熱部53へと伝わる。そして、放熱部53において、LLCの熱は放熱される。放熱されたLLCは再び液冷器52の内部を循環する。このようにして、パワー半導体モジュール51と液冷器52との間において熱交換を行うことができるよう構成されている。
本例では、パワー半導体モジュール51と液冷器52との間に、本発明のめっき/蒸着複合膜1を配置している。そして、めっき/蒸着複合膜1をパワー半導体モジュール51側に設けた構成としている。これにより、パワー半導体モジュール装置5は、めっき/蒸着複合膜1におけるめっき膜(NiPめっき膜)によって、パワー半導体モジュール51に内蔵される半導体チップとの半田濡れ性を向上させることができる。また、めっき/蒸着複合膜1における蒸着膜(アモルファス炭素−窒素−珪素膜)によって、パワー半導体モジュール51と液冷器52との間の電気的な絶縁を充分に確保することができると共に熱交換を効率よく行うことができる。
なお、本例では、めっき/蒸着複合膜1と液冷器52とは、放熱ゲルを介在させて両者を互いに密着させる構成としたが、これに代えて、例えば高熱伝導性接着剤等を介在させる構成とすることもできる。
1 めっき/蒸着複合膜
11 めっき膜
12 蒸着膜
5 パワー半導体モジュール装置
11 めっき膜
12 蒸着膜
5 パワー半導体モジュール装置
Claims (10)
- めっき膜上に蒸着膜を形成してなるめっき/蒸着複合膜において、
上記めっき膜の定常領域における最も組成比が高い第1成分元素の組成比をA1(at%)、2番目に組成比が高い第2成分元素の組成比をA2(at%)とした場合、
上記めっき膜の成分元素と上記蒸着膜の成分元素とが混在する拡散領域における組成比の変化を上記めっき/蒸着複合膜の積層方向に見た場合に、上記めっき膜の上記第1成分元素の組成比が0.1A1(at%)となる位置と上記めっき膜の上記第2成分元素の組成比が0.1A2(at%)となる位置との間の距離である拡散距離差は、5nm以下であることを特徴とするめっき/蒸着複合膜。 - 請求項1において、上記拡散距離差は、1nm以下であることを特徴とするめっき/蒸着複合膜。
- 請求項1又は2において、上記めっき/蒸着複合膜は、パワー半導体モジュールと該パワー半導体モジュールとの熱交換を行うための熱交換器との間に形成されていることを特徴とするめっき/蒸着複合膜。
- 請求項1〜3のいずれか1項において、上記めっき膜は、Ni系めっき膜であることを特徴とするめっき/蒸着複合膜。
- 請求項1〜4のいずれか1項において、上記めっき膜は、NiPめっき膜であることを特徴とするめっき/蒸着複合膜。
- 請求項1〜5のいずれか1項において、上記蒸着膜は、アモルファス炭素−窒素−珪素膜であることを特徴とするめっき/蒸着複合膜。
- 請求項6において、上記アモルファス炭素−窒素−珪素膜は、プラズマCVD法により形成されてなることを特徴とするめっき/蒸着複合膜。
- めっき膜上に蒸着膜を形成してなるめっき/蒸着複合膜を製造する方法であって、
基材上に上記めっき膜を形成するめっき工程と、
上記めっき膜上に上記蒸着膜を形成する蒸着工程とを有し、
該蒸着工程の前工程として、上記めっき膜の酸化を抑制できる雰囲気中において、上記めっき膜をアニールするアニール工程を行い、
該アニール工程におけるアニール温度a(℃)と上記蒸着工程における上記蒸着膜の蒸着温度b(℃)とは、(b−50)≦a≦(b+300)の関係を満たすことを特徴とするめっき/蒸着複合膜の製造方法。 - 請求項8において、上記アニール工程では、1000Pa以下の低圧雰囲気中、水素雰囲気中又は窒素雰囲気中において、上記めっき膜をアニールすることを特徴とするめっき/蒸着複合膜の製造方法。
- パワー半導体モジュールと該パワー半導体モジュールとの熱交換を行うための熱交換器とを有するパワー半導体モジュール装置において、
上記パワー半導体モジュールと上記熱交換器との間には、請求項1〜7のいずれか1項に記載のめっき/蒸着複合膜が形成されていることを特徴とするパワー半導体モジュール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007156891A JP2008311374A (ja) | 2007-06-13 | 2007-06-13 | めっき/蒸着複合膜及びその製造方法、並びにパワー半導体モジュール装置 |
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WO2012173276A1 (ja) * | 2011-06-17 | 2012-12-20 | 太陽化学工業株式会社 | 硬質膜によって被覆された硬質膜被覆部材及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-06-13 JP JP2007156891A patent/JP2008311374A/ja active Pending
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WO2012173276A1 (ja) * | 2011-06-17 | 2012-12-20 | 太陽化学工業株式会社 | 硬質膜によって被覆された硬質膜被覆部材及びその製造方法 |
CN103597118A (zh) * | 2011-06-17 | 2014-02-19 | 太阳化学工业株式会社 | 利用硬质膜被覆而成的硬质膜被覆构件及其制造方法 |
JPWO2012173276A1 (ja) * | 2011-06-17 | 2015-02-23 | 太陽化学工業株式会社 | 硬質膜によって被覆された硬質膜被覆部材及びその製造方法 |
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