JP2008304792A - Optical element and optical scanner - Google Patents

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Kazuharu Kagoshima
一晴 鹿子嶋
Noritaka Otani
典孝 大谷
Hiroki Kinoshita
博喜 木下
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical element composed of a liquid lens capable of eliminating a trouble caused by a rapid temperature rising, and to provide an optical scanner. <P>SOLUTION: The focal length of the liquid lens 14 is varied by deforming the shape of the boundary face S between an electrical conductive liquid 40 and an electrical insulating liquid 42 by the electrowetting phenomenon. Transparent plates 44 and 46 pinch and hold the electrical conductive liquid 40 and the electrical insulating liquid 42. Transparent plates 43 and 45 are arranged at predetermined intervals from the transparent plates 44 and 46. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、光学素子及びこれを備えた光走査装置に関し、より特定的には、液体レンズからなる光学素子及びこれを備えた光走査装置に関する。   The present invention relates to an optical element and an optical scanning device including the optical element, and more particularly to an optical element including a liquid lens and an optical scanning device including the optical element.

オートフォーカス機能や光学ズームを備えた光学モジュールに用いられるレンズにおいて、液体レンズと呼ばれるものが存在する。図9は、液体レンズ101の光軸を含んだ平面における断面構造図である。この液体レンズ101は、導電性液体102と絶縁性液体103とが混ざり合わない状態で接触するように容器104に封入されており、導電性液体102と絶縁性液体103とがレンズを構成しているものである。この液体レンズ101では、導電性液体102に電圧を印加して、エレクトロウエッティング現象により導電性液体102と絶縁性液体103との界面Sの形状を変化させることができる。これにより、液体レンズ101の焦点を調整することができる。   Among lenses used in an optical module having an autofocus function and an optical zoom, there is a so-called liquid lens. FIG. 9 is a cross-sectional structure diagram in a plane including the optical axis of the liquid lens 101. The liquid lens 101 is sealed in a container 104 so that the conductive liquid 102 and the insulating liquid 103 are in contact with each other without being mixed, and the conductive liquid 102 and the insulating liquid 103 constitute a lens. It is what. In the liquid lens 101, a voltage is applied to the conductive liquid 102, and the shape of the interface S between the conductive liquid 102 and the insulating liquid 103 can be changed by an electrowetting phenomenon. Thereby, the focus of the liquid lens 101 can be adjusted.

前記液体レンズ101は、焦点の調整の際にレンズを移動させる機構が不要であるため、近年、様々な用途に利用することが提案されている。例えば、特許文献1ないし特許文献3では、液体レンズ101を光走査装置のコリメータレンズに適用することが提案されている。これらの光走査装置は、液体レンズの焦点距離を制御することにより、より高品位な画像形成を実現することを目的としている。   Since the liquid lens 101 does not require a mechanism for moving the lens when adjusting the focus, it has been proposed in recent years to be used for various purposes. For example, Patent Documents 1 to 3 propose applying the liquid lens 101 to a collimator lens of an optical scanning device. These optical scanning devices are intended to realize higher-quality image formation by controlling the focal length of the liquid lens.

ところで、光走査装置では、ビームが外部に漏れることを防止するために、密閉度の高い構造となるように構成されている。その上、光走査装置には、ポリゴンミラーやレーザダイオード等の熱源が設けられている。そのため、光走査装置内は、高温状態になりやすい。特に、光走査装置の立ち上げ時には、該光走査装置内の温度が急激に上昇する。光走査装置内の温度が急激に上昇すると、液体レンズ14において種々の問題が発生する。具体的には、導電性液体102や絶縁性液体103において気泡が発生したり、導電性液体102や絶縁性液体103の体積が変化して、界面Sの形状が歪んでしまったりする。
特開2006−251343号公報 特開2006−251513号公報 特開2006−258838号公報
By the way, the optical scanning device is configured to have a highly sealed structure in order to prevent the beam from leaking to the outside. In addition, the optical scanning device is provided with a heat source such as a polygon mirror or a laser diode. Therefore, the inside of the optical scanning device tends to be in a high temperature state. In particular, when the optical scanning device is started up, the temperature in the optical scanning device rapidly increases. When the temperature in the optical scanning device rises rapidly, various problems occur in the liquid lens 14. Specifically, bubbles are generated in the conductive liquid 102 or the insulating liquid 103, or the volume of the conductive liquid 102 or the insulating liquid 103 is changed, and the shape of the interface S is distorted.
JP 2006-251343 A JP 2006-251513 A JP 2006-258838 A

そこで、本発明の目的は、急激な温度上昇により発生する不都合を解消することができる光学素子及び光走査装置を提供することである。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an optical element and an optical scanning device that can eliminate the inconvenience caused by a rapid temperature rise.

第1の発明は、第1の液体と第2の液体との界面の形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、焦点距離を変化させる光学素子において、前記第1の液体及び前記第2の液体を挟持する第1の透明板及び第2の透明板と、前記第1の透明板と所定の間隔を空けて配置された第3の透明板と、を備えること、を特徴とする。   According to a first aspect of the present invention, in the optical element that changes the focal length by changing the shape of the interface between the first liquid and the second liquid by an electrowetting phenomenon, the first liquid and the second liquid A first transparent plate and a second transparent plate sandwiching the liquid, and a third transparent plate arranged at a predetermined interval from the first transparent plate.

第1の発明によれば、第1の液体及び第2の液体を狭持する第1の透明板及び第2の透明板の外側に第3の透明板を設けて、第1の液体及び第2の液体の容器を二重構造としている。これにより、容器が断熱構造をとるようになり、光学素子の周囲の温度が急激に上昇しても、第1の液体及び第2の液体の温度が急激に上昇することが抑制される。   According to the first invention, the third transparent plate is provided outside the first transparent plate and the second transparent plate sandwiching the first liquid and the second liquid, and the first liquid and the second liquid are provided. Two liquid containers have a double structure. Accordingly, the container has a heat insulating structure, and even if the temperature around the optical element is rapidly increased, the temperature of the first liquid and the second liquid is suppressed from rapidly increasing.

第1の発明において、前記第2の透明板と所定の間隔を空けて配置された第4の透明板を、更に備えていてもよい。   1st invention WHEREIN: You may further provide the 4th transparent plate arrange | positioned at predetermined intervals with the said 2nd transparent plate.

第1の発明において、前記第1の透明板と前記第3の透明板との間には、空気層が存在していてもよい。   In the first invention, an air layer may exist between the first transparent plate and the third transparent plate.

第1の発明において、前記第3の透明板の主面上であって、光軸に対応する位置には、熱線を反射するコーティングが施されていてもよい。   1st invention WHEREIN: The coating which reflects a heat ray may be given to the position corresponding to an optical axis on the main surface of the said 3rd transparent plate.

第1の発明によれば、第3の透明板に熱線を反射するコーティングが施されることにより、より効果的に第1の液体及び第2の液体が加熱されることが抑制される。   According to the first aspect, the coating that reflects the heat rays is applied to the third transparent plate, so that the first liquid and the second liquid are more effectively prevented from being heated.

第1の発明は、光走査装置に対しても適用可能である。具体的には、第1の発明は、光走査装置において、光学素子と、前記光学素子に対して光を出射する光源と、前記光学素子を通過してきた光を偏向する偏向手段と、を備えること、を特徴とする。   The first invention can also be applied to an optical scanning device. Specifically, the first invention includes an optical element, an optical element, a light source that emits light to the optical element, and a deflecting unit that deflects the light that has passed through the optical element. It is characterized by this.

第2の発明は、第1の液体と第2の液体との界面の形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、焦点距離を変化させる光学素子において、前記第1の液体及び前記第2の液体を冷却する冷却手段を、備えること、を特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the optical element that changes the focal length by deforming the shape of the interface between the first liquid and the second liquid by an electrowetting phenomenon, the first liquid and the second liquid And a cooling means for cooling the liquid.

第2の発明によれば、冷却手段が設けられているので、第1の液体及び第2の液体の温度が急激に上昇することが抑制される。   According to the second invention, since the cooling means is provided, it is possible to suppress the temperature of the first liquid and the second liquid from rising rapidly.

第2の発明において、前記第1の液体及び前記第2の液体は、第1の透明板及び第2の透明板により狭持されており、前記冷却手段は、前記第1の透明板及び前記第2の透明板を上面及び下面としたときの側面において、光軸を挟むように複数設けられていてもよい。   In the second invention, the first liquid and the second liquid are sandwiched between a first transparent plate and a second transparent plate, and the cooling means includes the first transparent plate and the second transparent plate. On the side surface when the second transparent plate is the upper surface and the lower surface, a plurality of the transparent plates may be provided so as to sandwich the optical axis.

第2の発明によれば、光軸を挟むように冷却手段が設けられるので、該冷却手段は、第1の液体及び第2の液体を挟むようになる。その結果、第1の液体及び第2の液体をより効果的に冷却することができるようになる。   According to the second invention, since the cooling means is provided so as to sandwich the optical axis, the cooling means sandwiches the first liquid and the second liquid. As a result, the first liquid and the second liquid can be cooled more effectively.

第2の発明は、光走査装置にも適用可能である。具体的には、第2の発明は、光走査装置において、光学素子と、前記光学素子に対して光を出射する光源と、前記光学素子を通過してきた光を偏向する偏向手段と、を備えること、を特徴とする。第2の発明において、光走査装置は、温度を検出する検出手段と、前記検出手段が検出した温度に基づいて、前記冷却手段の動作を制御する制御手段と、を更に備えていてもよい。   The second invention can also be applied to an optical scanning device. Specifically, the second invention includes an optical element, an optical element, a light source that emits light to the optical element, and a deflecting unit that deflects the light that has passed through the optical element. It is characterized by this. In the second invention, the optical scanning device may further include a detecting unit for detecting a temperature, and a control unit for controlling the operation of the cooling unit based on the temperature detected by the detecting unit.

(第1の実施形態)
以下に、本発明の第1の実施形態に係る液体レンズ及びこれを備えた光走査装置の構成について図面を参照しながら説明する。図1は、第1の実施形態に係る液体レンズ14を含んだ光走査装置10の上視図である。
(First embodiment)
Hereinafter, the liquid lens according to the first embodiment of the present invention and the configuration of the optical scanning device including the liquid lens will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a top view of an optical scanning device 10 including a liquid lens 14 according to the first embodiment.

光走査装置10は、図1に示すように、レーザダイオード12、コリメータレンズ13、液体レンズ14、シリンドリカルレンズ18、ポリゴンミラー20、走査レンズ22,24、ミラー26、受光素子28、筐体29及び制御部30を備える。   As shown in FIG. 1, the optical scanning device 10 includes a laser diode 12, a collimator lens 13, a liquid lens 14, a cylindrical lens 18, a polygon mirror 20, scanning lenses 22, 24, a mirror 26, a light receiving element 28, a housing 29, and A control unit 30 is provided.

レーザダイオード12は、ビームを出射する光源としての役割を果たす。レーザダイオード12から出射されたビームは、放射光である。   The laser diode 12 serves as a light source that emits a beam. The beam emitted from the laser diode 12 is emitted light.

コリメータレンズ13は、レーザダイオード12から出射されたビームを平行光となるように集光する役割を果たす。液体レンズ14は、コリメータレンズ13を通過してきたビームを更に集光する役割を果たし、ビームの焦点距離を変化させる機能を有する。なお、液体レンズ14の詳細については後述する。   The collimator lens 13 plays a role of condensing the beam emitted from the laser diode 12 so as to become parallel light. The liquid lens 14 serves to further collect the beam that has passed through the collimator lens 13 and has a function of changing the focal length of the beam. Details of the liquid lens 14 will be described later.

シリンドリカルレンズ18は、液体レンズ14を通過してきたビームを、ポリゴンミラー20のミラー面近傍において副走査方向に集光する。   The cylindrical lens 18 condenses the beam that has passed through the liquid lens 14 in the sub-scanning direction in the vicinity of the mirror surface of the polygon mirror 20.

ポリゴンミラー20は、図示しないモーターにより矢印の方向に回転され、シリンドリカルレンズ18を通過してきたビームを主走査方向に等角速度に偏向する偏向手段としての役割を果たす。走査レンズ22,24は、ポリゴンミラー20により偏向されたビームを等速走査して、該ビームを感光体ドラム32上に結像させる。感光体ドラム32は、所定速度で回転駆動される。これにより、ビームによる主走査と感光体ドラム32の回転による副走査によって2次元の静電潜像が形成される。   The polygon mirror 20 is rotated in the direction of the arrow by a motor (not shown), and serves as a deflecting unit that deflects the beam that has passed through the cylindrical lens 18 at a constant angular velocity in the main scanning direction. The scanning lenses 22 and 24 scan the beam deflected by the polygon mirror 20 at a constant speed and form an image of the beam on the photosensitive drum 32. The photosensitive drum 32 is rotationally driven at a predetermined speed. As a result, a two-dimensional electrostatic latent image is formed by the main scanning by the beam and the sub scanning by the rotation of the photosensitive drum 32.

また、ミラー26は、ポリゴンミラー20により偏向され、走査レンズ22,24を通過したビームを受光素子28側へと反射する役割を果たす。受光素子28は、ミラー26により反射されたビームを受光し、ビーム径を示す電気信号を生成する。制御部30は、受光素子28が生成した電気信号に基づいて、受光素子28が受光しているビームのビーム径が一定となるように、液体レンズ14の焦点距離を制御する制御手段としての役割を果たす。これにより、制御部30は、走査レンズ22,24等が熱の影響により歪んだとしても、感光体ドラム32に照射されるビームのビーム径が変化することを抑制している。   The mirror 26 plays a role of reflecting the beam deflected by the polygon mirror 20 and passing through the scanning lenses 22 and 24 toward the light receiving element 28. The light receiving element 28 receives the beam reflected by the mirror 26 and generates an electric signal indicating the beam diameter. The control unit 30 serves as a control unit that controls the focal length of the liquid lens 14 so that the beam diameter of the beam received by the light receiving element 28 is constant based on the electrical signal generated by the light receiving element 28. Fulfill. Thereby, even if the scanning lenses 22 and 24 are distorted by the influence of heat, the control unit 30 suppresses a change in the beam diameter of the beam irradiated to the photosensitive drum 32.

筐体29は、図1に示すように、レーザダイオード12、コリメータレンズ13、液体レンズ14、シリンドリカルレンズ18、ポリゴンミラー20、走査レンズ22,24、ミラー26及び受光素子28を収納する。   As shown in FIG. 1, the housing 29 houses the laser diode 12, the collimator lens 13, the liquid lens 14, the cylindrical lens 18, the polygon mirror 20, the scanning lenses 22 and 24, the mirror 26, and the light receiving element 28.

次に、図2を参照しながら、液体レンズ14の構成について説明する。図2は、液体レンズ14の光軸を含む面における断面構造図である。なお、図2(a)は、電圧を印加した状態における液体レンズ14の断面構造図であり、図2(b)は、電圧を印加していない状態における液体レンズ14の断面構造図である。   Next, the configuration of the liquid lens 14 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a cross-sectional structure diagram of a surface including the optical axis of the liquid lens 14. 2A is a cross-sectional structure diagram of the liquid lens 14 in a state where a voltage is applied, and FIG. 2B is a cross-sectional structure diagram of the liquid lens 14 in a state where no voltage is applied.

図2に示すように、液体レンズ14は、導電性液体40、絶縁性液体42、透明板43,44,45,46、第1の電極48、絶縁膜50、第2の電極52及び側面53を含む。該液体レンズ14は、導電性液体40と絶縁性液体42との界面Sの形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、該液体レンズ14の焦点距離を変化させることができるものである。具体的には、電圧が印加されると、界面Sは、図2(b)に示す状態から、図2(a)に示す状態へと変化する。   As shown in FIG. 2, the liquid lens 14 includes a conductive liquid 40, an insulating liquid 42, transparent plates 43, 44, 45, 46, a first electrode 48, an insulating film 50, a second electrode 52, and side surfaces 53. including. The liquid lens 14 can change the focal length of the liquid lens 14 by changing the shape of the interface S between the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 by an electrowetting phenomenon. Specifically, when a voltage is applied, the interface S changes from the state shown in FIG. 2B to the state shown in FIG.

透明板44,46は、透明な樹脂又はガラスにより構成され、導電性液体40及び絶縁性液体42を狭持し、該導電性液体40及び絶縁性液体42の容器の上面及び下面としての役割を果たす。より詳細には、透明板44,46は、互いに平行に所定の隙間を残して配置され、該隙間に、導電性液体40と絶縁性液体42とが封入される。   The transparent plates 44 and 46 are made of transparent resin or glass, sandwich the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42, and serve as the upper and lower surfaces of the container of the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42. Fulfill. More specifically, the transparent plates 44 and 46 are arranged in parallel with each other leaving a predetermined gap, and the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 are sealed in the gap.

透明板43は、透明板44の反対側において、透明板46と所定の隙間sp1を空けて配置される。また、透明板45は、透明板46の反対側において、透明板44と所定の隙間sp2を空けて配置される。前記隙間sp1,sp2は、共に空気層である。空気層の熱伝導率は透明板43,44,45,46よりも小さいので、液体レンズ14の周囲の温度が急激に変化しても、導電性液体40及び絶縁性液体42の温度は緩やかに変化するようになる。これにより、液体レンズ14の周囲の温度が急激に上昇しても、導電性液体40及び絶縁性液体42に気泡が発生したり界面Sの形状が歪んだりすることが抑制される。   The transparent plate 43 is arranged on the opposite side of the transparent plate 44 with a predetermined gap sp1 from the transparent plate 46. Further, the transparent plate 45 is arranged on the opposite side of the transparent plate 46 with a predetermined gap sp2 from the transparent plate 44. The gaps sp1 and sp2 are both air layers. Since the thermal conductivity of the air layer is smaller than that of the transparent plates 43, 44, 45, 46, the temperatures of the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 are moderate even if the temperature around the liquid lens 14 changes rapidly. To change. Thereby, even if the temperature around the liquid lens 14 rapidly increases, it is possible to prevent bubbles from being generated in the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 and the shape of the interface S from being distorted.

また、透明板43,45の外側の表面であって、光軸に対応する位置を含む領域には、熱線を反射するためのコーティングが施されている。これにより、レーザダイオード12やポリゴンミラー20等の熱源から発生する輻射熱による導電性液体40及び絶縁性液体42の加熱が抑制される。   Moreover, the coating for reflecting a heat ray is given to the area | region which is the outer surface of the transparent plates 43 and 45 and contains the position corresponding to an optical axis. Thereby, heating of the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 due to radiant heat generated from a heat source such as the laser diode 12 or the polygon mirror 20 is suppressed.

側面53は、透明板43,44,45,46と共に導電性液体40及び絶縁性液体42の容器としての役割を果たす。該側面53は、透明板43,44,45,46を上面及び下面としたときにおける側面に該当する部材であって、熱伝導率が小さな樹脂などにより形成される。側面53に用いられる材料としては、例えば、エンジニアリングプラスチックが挙げられる。側面53に特に好ましいエンジニアリングプラスチックとしては、ポリフェニレンサルファイド又はポリエーテルエーテルケトンが挙げられる。このように、側面53の材料に熱伝導率が小さな物質が適用されることにより、導電性液体40及び絶縁性液体42の急激な温度上昇が抑制される。   The side surface 53 serves as a container for the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 together with the transparent plates 43, 44, 45, 46. The side surface 53 is a member corresponding to the side surface when the transparent plates 43, 44, 45, 46 are the upper surface and the lower surface, and is formed of a resin having a low thermal conductivity. Examples of the material used for the side surface 53 include engineering plastics. Particularly preferred engineering plastics for the side surface 53 include polyphenylene sulfide or polyether ether ketone. As described above, by applying a substance having a low thermal conductivity to the material of the side surface 53, a rapid temperature increase of the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 is suppressed.

導電性液体40は、無機塩の水溶液や、有機液体など、それ自身が導電性を有するもの、或いはイオン性成分を付加することによって導電性とされた液体である。絶縁性液体42は、導電性液体40とは異なる屈折率を有し、シリコーンオイルやパラフィンオイルなどのような導電性液体40と混合しない液体である。そのため、導電性液体40と絶縁性液体42とは、互いに分離した状態となっており、界面Sを形成している。これにより、導電性液体40と絶縁性液体42とはレンズを構成している。なお、導電性液体40の屈折率の方が、絶縁性液体42の屈折率よりも小さいことが好ましい。   The conductive liquid 40 is an inorganic salt aqueous solution, an organic liquid, or the like that is conductive by itself, or a liquid made conductive by adding an ionic component. The insulating liquid 42 is a liquid that has a refractive index different from that of the conductive liquid 40 and is not mixed with the conductive liquid 40 such as silicone oil or paraffin oil. Therefore, the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 are separated from each other, and form an interface S. Thus, the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 constitute a lens. Note that the refractive index of the conductive liquid 40 is preferably smaller than the refractive index of the insulating liquid 42.

第1の電極48は、導電性液体40と接触するように、透明板44上に設けられる。第2の電極52は、透明板46と第1の電極48との間に設けられる。絶縁膜50は、第2の電極52を覆うように形成される。具体的には、絶縁膜50は、第1の電極48と第2の電極52との間に形成されて該第1の電極48と第2の電極52とを絶縁すると共に、第2の電極52の内周面に形成されて第2の電極52と導電性液体40及び絶縁性液体42とが接触しないようにしている。第1の電極48と第2の電極52との間には、液体レンズ14の駆動時において、電圧が印加される。   The first electrode 48 is provided on the transparent plate 44 so as to be in contact with the conductive liquid 40. The second electrode 52 is provided between the transparent plate 46 and the first electrode 48. The insulating film 50 is formed so as to cover the second electrode 52. Specifically, the insulating film 50 is formed between the first electrode 48 and the second electrode 52 to insulate the first electrode 48 and the second electrode 52, and The second electrode 52 is formed on the inner peripheral surface of 52 so that the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 do not come into contact with each other. A voltage is applied between the first electrode 48 and the second electrode 52 when the liquid lens 14 is driven.

以上のように構成された液体レンズ14について、以下に、その動作原理について図3を参照しながら説明する。図3は、図2の液体レンズ14のCの部分の拡大図である。図3(a)は、電圧が印加されていない状態での液体レンズ14(図2(b)に対応)のCの部分の拡大図であり、図3(b)は、電圧が印加された状態での液体レンズ14(図2(a)に対応)のCの部分の拡大図である。   The operation principle of the liquid lens 14 configured as described above will be described below with reference to FIG. FIG. 3 is an enlarged view of a portion C of the liquid lens 14 in FIG. 3A is an enlarged view of a portion C of the liquid lens 14 (corresponding to FIG. 2B) in a state where no voltage is applied, and FIG. 3B is a diagram in which voltage is applied. FIG. 3 is an enlarged view of a portion C of the liquid lens 14 (corresponding to FIG. 2A) in a state.

まず、導電性液体40と絶縁性液体42との間の界面張力を界面張力γ12とし、絶縁膜50と導電性液体40との間の界面張力を界面張力γ31とし、絶縁性液体42と絶縁膜50との間の界面張力を界面張力γ23と定義する。図3(a)に示すように、第1の電極48と第2の電極52との間に電圧が印加されていない場合には、界面張力γ12と界面張力γ23と界面張力γ31とは、互いに釣り合っており、界面Sと絶縁膜50とが角θ1の角度をなしている。このとき、角θ1と界面張力γ12と界面張力γ23と界面張力γ31との間には、ヤングの方程式により、式(1)の関係が成立する。   First, the interfacial tension between the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 is set to an interfacial tension γ12, the interfacial tension between the insulating film 50 and the conductive liquid 40 is set to an interfacial tension γ31, and the insulating liquid 42 and the insulating film are set. The interfacial tension between 50 and 50 is defined as interfacial tension γ23. As shown in FIG. 3A, when no voltage is applied between the first electrode 48 and the second electrode 52, the interfacial tension γ12, the interfacial tension γ23, and the interfacial tension γ31 The interface S and the insulating film 50 form an angle θ1. At this time, the relationship of the formula (1) is established among the angle θ1, the interfacial tension γ12, the interfacial tension γ23, and the interfacial tension γ31 by Young's equation.

Figure 2008304792
Figure 2008304792

ここで、第1の電極48及び第2の電極52に電圧を印加すると、例えば、図3(b)に示すように、絶縁膜50と導電性液体40との境界には、プラスの電荷が現れる。一方、絶縁膜50と第2の電極52との境界には、マイナスの電荷が現れる。これにより、電荷による圧力Πが、絶縁性液体42と絶縁膜50との間に、界面張力γ23と同じ方向に発生する。この圧力Πは、式(2)のように示される。   Here, when a voltage is applied to the first electrode 48 and the second electrode 52, for example, as shown in FIG. 3B, positive charges are generated at the boundary between the insulating film 50 and the conductive liquid 40. appear. On the other hand, negative charges appear at the boundary between the insulating film 50 and the second electrode 52. As a result, a pressure drop due to the charge is generated between the insulating liquid 42 and the insulating film 50 in the same direction as the interfacial tension γ23. This pressure Π is expressed as in equation (2).

Figure 2008304792
Figure 2008304792

なお、εは絶縁膜50の誘電率であり、ε0は真空の誘電率であり、eは絶縁膜50の厚さであり、Vは第1の電極48と第2の電極52との間の電圧である。   Here, ε is the dielectric constant of the insulating film 50, ε0 is the vacuum dielectric constant, e is the thickness of the insulating film 50, and V is between the first electrode 48 and the second electrode 52. Voltage.

圧力Πが発生することにより、界面Sと絶縁膜50とは、角θ1よりも大きな角θ2の角度をなすようになる。このとき、液体レンズ14の界面Sは、図2(a)に示すように、湾曲する。この角θ2は、式(3)のように示される。   Due to the occurrence of the pressure drop, the interface S and the insulating film 50 form an angle θ2 larger than the angle θ1. At this time, the interface S of the liquid lens 14 is curved as shown in FIG. This angle θ2 is expressed as in Expression (3).

Figure 2008304792
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以上のように、第1の電極48と第2の電極52との間に印加する電圧を変化させることにより、界面Sと絶縁膜50とのなす角度が変化することがわかる。そして、界面Sと絶縁膜50とのなす角度が変化することにより、電圧が印加された状態では、図2(a)に示すように、界面Sが湾曲して、焦点距離が相対的に短くなる。また、電圧が印加されていない状態では、図2(b)に示すように、界面Sが平坦状になり、焦点距離が相対的に長くなる。図1に示す制御部30は、この電圧の大きさを制御して、液体レンズ14の焦点距離を制御する。   As described above, it can be seen that the angle formed between the interface S and the insulating film 50 is changed by changing the voltage applied between the first electrode 48 and the second electrode 52. Then, as the angle between the interface S and the insulating film 50 changes, the interface S is curved and the focal length is relatively short as shown in FIG. 2A when a voltage is applied. Become. Further, in the state where no voltage is applied, the interface S becomes flat as shown in FIG. 2B, and the focal length becomes relatively long. The control unit 30 shown in FIG. 1 controls the focal length of the liquid lens 14 by controlling the magnitude of this voltage.

本実施形態に係る液体レンズ14によれば、導電性液体40及び絶縁性液体42を収納する容器を二重構造とすることにより、液体レンズ14の周囲の温度が急激に上昇したとしても、導電性液体40及び絶縁性液体42の温度が急激に上昇することが抑制される。その結果、導電性液体40及び絶縁性液体42に気泡が発生したり、界面Sの形状が歪んだりすることが抑制される。   According to the liquid lens 14 according to the present embodiment, the container that stores the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 has a double structure. Rapid increase in temperature of the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 is suppressed. As a result, the generation of bubbles in the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 and the distortion of the shape of the interface S are suppressed.

また、液体レンズ14では、透明板43,45の外側の面に熱線を反射するコーティングが施されているので、レーザダイオード12やポリゴンミラー20等の熱源から発生する輻射熱によって導電性液体40及び絶縁性液体42が加熱されることが抑制される。   Further, since the liquid lens 14 is provided with a coating that reflects heat rays on the outer surfaces of the transparent plates 43 and 45, the conductive liquid 40 and the insulating liquid 40 are insulated by radiant heat generated from a heat source such as the laser diode 12 or the polygon mirror 20. The heating of the ionic liquid 42 is suppressed.

(変形例)
なお、本実施形態に係る液体レンズ14の側面53は、一重構造であるが、これを図4に示す側面53'のように二重構造としてもよい。図4は、変形例に係る液体レンズ14の光軸を含む面における断面構造図である。側面53'を二重構造とすることにより、より効果的に、導電性液体40及び絶縁性液体42の急激な温度上昇が抑制される。
(Modification)
In addition, although the side surface 53 of the liquid lens 14 according to the present embodiment has a single structure, it may have a double structure like a side surface 53 ′ shown in FIG. FIG. 4 is a cross-sectional structure diagram of a surface including the optical axis of the liquid lens 14 according to the modification. By making the side surface 53 ′ have a double structure, a rapid increase in temperature of the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 is more effectively suppressed.

また、本実施形態に係る液体レンズ14の隙間sp1,sp2は、空気層であるとしたが、熱伝導率が透明板43,44,45,46よりも小さな物質で充填されていてもよい。この物質は、液体、気体、固体のいずれであってもよい。   Moreover, although the gaps sp1 and sp2 of the liquid lens 14 according to the present embodiment are air layers, they may be filled with a material having a thermal conductivity smaller than that of the transparent plates 43, 44, 45, and 46. This substance may be liquid, gas, or solid.

また、本実施形態に係る液体レンズ14は、光走査装置10に適用するものとしたが、別の装置に適用されてもよい。該液体レンズ14は、例えば、光ピックアップ装置に対しても適用可能である。   In addition, the liquid lens 14 according to the present embodiment is applied to the optical scanning device 10, but may be applied to another device. The liquid lens 14 can be applied to, for example, an optical pickup device.

(第2の実施形態)
以下に、第2の実施形態に係る液体レンズ及びこれを備えた光走査装置について図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態に係る光走査装置10は、第1の実施形態と同様に図1に示される。図5は、本実施形態に係る液体レンズ14の光軸を含む面における断面構造図である。また、図6は、該液体レンズ14の外観斜視図である。なお、本実施形態に係る液体レンズ14において、第1の実施形態に係る液体レンズ14と同じ構成については、同じ参照符号を付してある。
(Second Embodiment)
Hereinafter, a liquid lens according to a second embodiment and an optical scanning device including the liquid lens will be described with reference to the drawings. The optical scanning device 10 according to the present embodiment is shown in FIG. 1 as in the first embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional structure diagram of a surface including the optical axis of the liquid lens 14 according to the present embodiment. FIG. 6 is an external perspective view of the liquid lens 14. In addition, in the liquid lens 14 which concerns on this embodiment, the same referential mark is attached | subjected about the same structure as the liquid lens 14 which concerns on 1st Embodiment.

本実施形態に係る液体レンズ14では、図5及び図6に示すように、第1の実施形態に係る液体レンズ14のように透明板43,45を設けて断熱する代わりに、冷却手段としてのペルチェ素子64a,64bを設けて導電性液体40及び絶縁性液体42を冷却している。本実施形態に係る液体レンズ14のその他の構成については、第1の実施形態に係る液体レンズ14のその他の構成と基本的には同じである。そこで、以下に、本実施形態に係る液体レンズ14と第1の実施形態に係る液体レンズ14との相違点を中心に説明する。   In the liquid lens 14 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 5 and 6, instead of providing transparent plates 43 and 45 to insulate the liquid lens 14 according to the first embodiment, Peltier elements 64 a and 64 b are provided to cool the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42. The other configuration of the liquid lens 14 according to the present embodiment is basically the same as the other configuration of the liquid lens 14 according to the first embodiment. Therefore, the following description focuses on the differences between the liquid lens 14 according to the present embodiment and the liquid lens 14 according to the first embodiment.

本実施形態に係る液体レンズ14では、側面63は、例えば、アルミニウム等のような熱伝導率が高い材料により形成される。この側面63には、ペルチェ素子64a,64bが設けられている。該ペルチェ素子64a,64bは、光軸を挟むように配置され、冷却手段としての役割を果たす。なお、ペルチェ素子64a,64bの詳細については後述する。   In the liquid lens 14 according to the present embodiment, the side surface 63 is formed of a material having high thermal conductivity, such as aluminum. The side surface 63 is provided with Peltier elements 64a and 64b. The Peltier elements 64a and 64b are arranged so as to sandwich the optical axis and serve as cooling means. Details of the Peltier elements 64a and 64b will be described later.

また、ペルチェ素子64a,64bが設けられていない側面63には、図6に示すように、温度センサ65a,65bが設けられている。該温度センサ65a,65bは、液体レンズ14の温度を検出する検出手段としての役割を果たす。ペルチェ素子64a,64b及び温度センサ65a,65bは、図1の制御部30に接続されている。   Further, as shown in FIG. 6, temperature sensors 65a and 65b are provided on the side surface 63 where the Peltier elements 64a and 64b are not provided. The temperature sensors 65 a and 65 b serve as detection means for detecting the temperature of the liquid lens 14. The Peltier elements 64a and 64b and the temperature sensors 65a and 65b are connected to the control unit 30 in FIG.

制御部30は、温度センサ65a,65bから出力されてくる温度情報に基づいて、ペルチェ素子64a,64bの動作を制御する制御手段としての役割を果たす。具体的には、温度センサ65a,65bが所定温度以上の温度を検出した場合には、ペルチェ素子64a,64bに電流を流して、液体レンズ14の熱をペルチェ素子64a,64bに吸収させる。この所定温度の一例としては、25℃±5℃である。   The controller 30 serves as a control unit that controls the operation of the Peltier elements 64a and 64b based on the temperature information output from the temperature sensors 65a and 65b. Specifically, when the temperature sensors 65a and 65b detect a temperature equal to or higher than a predetermined temperature, a current is supplied to the Peltier elements 64a and 64b, and the heat of the liquid lens 14 is absorbed by the Peltier elements 64a and 64b. An example of the predetermined temperature is 25 ° C. ± 5 ° C.

以下に、ペルチェ素子64a,64bについて図面を参照しながら説明する。図7は、ペルチェ素子の基本構成を示した図である。なお、実際には、図7のペルチェ素子が複数個直列に接続されて用いられる。   The Peltier elements 64a and 64b will be described below with reference to the drawings. FIG. 7 is a diagram showing a basic configuration of the Peltier element. In practice, a plurality of Peltier elements shown in FIG. 7 are connected in series.

ペルチェ素子は、電流が流れることにより、一方の面が発熱し、他方の面が吸熱する素子であり、図7に示すように、電極70a,70b、P型半導体72、N型半導体74及び電極76を備える。電極70aの一端は、P型半導体72に接続されると共に、電極70aの他端は、直流電源78の正極に接続される。電極70bの一端は、N型半導体74に接続されると共に、電極70bの他端は、直流電源78の負極に接続される。電極76の一端は、P型半導体72に接続されると共に、電極76の他端は、N型半導体74に接続される。   The Peltier element is an element that generates heat on one side and absorbs heat on the other side when an electric current flows. As shown in FIG. 7, the electrodes 70a and 70b, the P-type semiconductor 72, the N-type semiconductor 74, and the electrode 76. One end of the electrode 70 a is connected to the P-type semiconductor 72, and the other end of the electrode 70 a is connected to the positive electrode of the DC power supply 78. One end of the electrode 70 b is connected to the N-type semiconductor 74, and the other end of the electrode 70 b is connected to the negative electrode of the DC power supply 78. One end of the electrode 76 is connected to the P-type semiconductor 72, and the other end of the electrode 76 is connected to the N-type semiconductor 74.

以上のように構成されたペルチェ素子において、P型半導体72からN型半導体74へと電流を流すと、電極76では吸熱が生じ、電極70a,70bでは発熱が生じる。すなわち、電極76から電極70a,70bへと熱が移動する。そこで、電極76を図5の側面63に接触するようにペルチェ素子を配置することにより、液体レンズ14内の熱が液体レンズ14外へと放出されるようになる。その結果、導電性液体40及び絶縁性液体42の温度が急激に上昇することが抑制される。   In the Peltier element configured as described above, when a current is passed from the P-type semiconductor 72 to the N-type semiconductor 74, the electrode 76 generates heat and the electrodes 70a and 70b generate heat. That is, heat moves from the electrode 76 to the electrodes 70a and 70b. Therefore, by disposing the Peltier element so that the electrode 76 is in contact with the side surface 63 of FIG. 5, the heat in the liquid lens 14 is released to the outside of the liquid lens 14. As a result, the temperature of the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 is suppressed from rising rapidly.

特に、ペルチェ素子64a,64bが光軸を挟むように配置されることにより、該ペルチェ素子64a,64bの間に導電性液体40及び絶縁性液体42が位置するようになる。その結果、より効果的に導電性液体40及び絶縁性液体42を冷却することが可能となる。   In particular, when the Peltier elements 64a and 64b are arranged so as to sandwich the optical axis, the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 are positioned between the Peltier elements 64a and 64b. As a result, the conductive liquid 40 and the insulating liquid 42 can be cooled more effectively.

(変形例)
なお、図8に示すように、全ての側面63にペルチェ素子64a,64b,64c,64dが設けられてもよい。図8は、変形例に係る液体レンズ14の外観斜視図である。この場合、温度センサ65a,65b,65c,65dは、透明板44の四隅に設けられることが好ましい。
(Modification)
As shown in FIG. 8, Peltier elements 64a, 64b, 64c, and 64d may be provided on all side surfaces 63. FIG. 8 is an external perspective view of a liquid lens 14 according to a modification. In this case, the temperature sensors 65 a, 65 b, 65 c, and 65 d are preferably provided at the four corners of the transparent plate 44.

また、温度センサ65a,65b,65c,65dは、液体レンズ14に取り付けられるものとしたが、該温度センサ65a,65b,65c,65dの取り付け位置はこれに限らない。温度センサ65a,65b,65c,65dは、液体レンズ14の周囲に設けられればよく、例えば、光走査装置10側に取り付けられていてもよい。   In addition, the temperature sensors 65a, 65b, 65c, and 65d are attached to the liquid lens 14, but the attachment positions of the temperature sensors 65a, 65b, 65c, and 65d are not limited thereto. The temperature sensors 65a, 65b, 65c, and 65d may be provided around the liquid lens 14, and may be attached to the optical scanning device 10 side, for example.

また、本実施形態に係る液体レンズ14は、光走査装置10に適用するものとしたが、別の装置に適用されてもよい。該液体レンズ14は、例えば、光ピックアップ装置に対しても適用可能である。   In addition, the liquid lens 14 according to the present embodiment is applied to the optical scanning device 10, but may be applied to another device. The liquid lens 14 can be applied to, for example, an optical pickup device.

また、本実施形態に係る液体レンズ14において、第1の実施形態に係る液体レンズ14のように容器を二重構造にしてもよい。   Further, in the liquid lens 14 according to the present embodiment, the container may have a double structure like the liquid lens 14 according to the first embodiment.

また、ポリゴンミラー20により偏向されたビームは、走査レンズ22,24を通過した後、直接に感光体ドラム32を照射しているが、該ビームは、ミラーにより進行方向が変えられた後に、感光体ドラム32を照射してもよい。   Further, the beam deflected by the polygon mirror 20 passes through the scanning lenses 22 and 24 and then directly irradiates the photosensitive drum 32. However, the beam is sensitized after the traveling direction is changed by the mirror. The body drum 32 may be irradiated.

第1の実施形態に係る液体レンズを含んだ光走査装置の上視図である。1 is a top view of an optical scanning device including a liquid lens according to a first embodiment. 前記液体レンズの光軸を含む面における断面構造図である。It is a cross-sectional structure figure in the surface containing the optical axis of the said liquid lens. 図2の液体レンズのCの部分の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a portion C of the liquid lens in FIG. 2. 変形例に係る液体レンズの光軸を含む面における断面構造図である。It is a cross-sectional structure figure in the surface containing the optical axis of the liquid lens which concerns on a modification. 第2の実施形態に係る液体レンズの光軸を含む面における断面構造図である。It is a cross-sectional structure figure in the surface containing the optical axis of the liquid lens which concerns on 2nd Embodiment. 前記液体レンズの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the liquid lens. ペルチェ素子の基本構成を示した図である。It is the figure which showed the basic composition of the Peltier device. 変形例に係る液体レンズの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the liquid lens which concerns on a modification. 液体レンズの断面構造図である。It is a cross-section figure of a liquid lens.

符号の説明Explanation of symbols

10 光走査装置
12 レーザダイオード
13 コリメータレンズ
14 液体レンズ
18 シリンドリカルレンズ
20 ポリゴンミラー
22,24 走査レンズ
26 ミラー
28 受光素子
29 筐体
30 制御部
32 感光体ドラム
40 導電性液体
42 絶縁性液体
43,44,45,46 透明板
48 第1の電極
50 絶縁膜
52 第2の電極
53,53',63 側面
64a,64b,64c,64d ペルチェ素子
65a,65b,65c,65d 温度センサ
S 界面
sp1,sp2 隙間
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Optical scanning device 12 Laser diode 13 Collimator lens 14 Liquid lens 18 Cylindrical lens 20 Polygon mirror 22, 24 Scan lens 26 Mirror 28 Light receiving element 29 Housing | casing 30 Control part 32 Photosensitive drum 40 Conductive liquid 42 Insulating liquid 43,44 , 45, 46 Transparent plate 48 First electrode 50 Insulating film 52 Second electrode 53, 53 ', 63 Side surface 64a, 64b, 64c, 64d Peltier element 65a, 65b, 65c, 65d Temperature sensor S interface sp1, sp2 gap

Claims (9)

第1の液体と第2の液体との界面の形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、焦点距離を変化させる光学素子において、
前記第1の液体及び前記第2の液体を挟持する第1の透明板及び第2の透明板と、
前記第1の透明板と所定の間隔を空けて配置された第3の透明板と、
を備えること、
を特徴とする光学素子。
In the optical element that changes the focal length by deforming the shape of the interface between the first liquid and the second liquid by an electrowetting phenomenon,
A first transparent plate and a second transparent plate that sandwich the first liquid and the second liquid;
A third transparent plate disposed at a predetermined interval from the first transparent plate;
Providing
An optical element characterized by the above.
前記第2の透明板と所定の間隔を空けて配置された第4の透明板を、
更に備えること、
を特徴とする請求項1に記載の光学素子。
A fourth transparent plate disposed at a predetermined interval from the second transparent plate,
To provide further,
The optical element according to claim 1.
前記第1の透明板と前記第3の透明板との間には、空気層が存在すること、
を特徴とする請求項1に記載の光学素子。
An air layer exists between the first transparent plate and the third transparent plate;
The optical element according to claim 1.
前記第3の透明板の主面上であって、光軸に対応する位置には、熱線を反射するコーティングが施されていること、
を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の光学素子。
On the main surface of the third transparent plate, at a position corresponding to the optical axis, a coating that reflects heat rays is applied,
The optical element according to any one of claims 1 to 3, wherein:
請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の光学素子と、
前記光学素子に対して光を出射する光源と、
前記光学素子を通過してきた光を偏向する偏向手段と、
を備えること、
を特徴とする光走査装置。
An optical element according to any one of claims 1 to 4,
A light source that emits light to the optical element;
Deflecting means for deflecting light that has passed through the optical element;
Providing
An optical scanning device characterized by the above.
第1の液体と第2の液体との界面の形状を、エレクトロウエッティング現象により変形させることによって、焦点距離を変化させる光学素子において、
前記第1の液体及び前記第2の液体を冷却する冷却手段を、
備えること、
を特徴とする光学素子。
In the optical element that changes the focal length by deforming the shape of the interface between the first liquid and the second liquid by an electrowetting phenomenon,
A cooling means for cooling the first liquid and the second liquid;
Preparing,
An optical element characterized by the above.
前記第1の液体及び前記第2の液体は、第1の透明板及び第2の透明板により狭持されており、
前記冷却手段は、前記第1の透明板及び前記第2の透明板を上面及び下面としたときの側面において、光軸を挟むように複数設けられていること、
を特徴とする請求項6に記載の光学素子。
The first liquid and the second liquid are sandwiched between a first transparent plate and a second transparent plate,
A plurality of the cooling means are provided so as to sandwich the optical axis on the side surface when the first transparent plate and the second transparent plate are the upper surface and the lower surface,
The optical element according to claim 6.
請求項6又は請求項7のいずれかに記載の光学素子と、
前記光学素子に対して光を出射する光源と、
前記光学素子を通過してきた光を偏向する偏向手段と、
を備えること、
を特徴とする光走査装置。
An optical element according to claim 6 or 7,
A light source that emits light to the optical element;
Deflecting means for deflecting light that has passed through the optical element;
Providing
An optical scanning device characterized by the above.
温度を検出する検出手段と、
前記検出手段が検出した温度に基づいて、前記冷却手段の動作を制御する制御手段と、
を更に備えること、
を特徴とする請求項8に記載の光走査装置。
Detecting means for detecting temperature;
Control means for controlling the operation of the cooling means based on the temperature detected by the detecting means;
Further comprising,
The optical scanning device according to claim 8.
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