JP2008303024A - System, method and program for controlling conveyance - Google Patents

System, method and program for controlling conveyance Download PDF

Info

Publication number
JP2008303024A
JP2008303024A JP2007151382A JP2007151382A JP2008303024A JP 2008303024 A JP2008303024 A JP 2008303024A JP 2007151382 A JP2007151382 A JP 2007151382A JP 2007151382 A JP2007151382 A JP 2007151382A JP 2008303024 A JP2008303024 A JP 2008303024A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transport
time
information storage
node
storage means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007151382A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeki Komiya
隆樹 小宮
Yoshinori Kaneda
義典 兼田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mizuho Information and Research Institute Inc
Original Assignee
Mizuho Information and Research Institute Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mizuho Information and Research Institute Inc filed Critical Mizuho Information and Research Institute Inc
Priority to JP2007151382A priority Critical patent/JP2008303024A/en
Publication of JP2008303024A publication Critical patent/JP2008303024A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system, a method and a program for controlling conveyance capable of determining a path suitable for moving an object to be conveyed, and realizing the efficient use of the conveying path. <P>SOLUTION: A control unit 21 of a route control system 20 specifies a candidate route by using a conveying system connection information storage unit 22. For each candidate path, the control unit 21 acquires the mean call time for each conveying origin port from a call time information storage unit 23. In addition, the control unit 21 acquires the presently waiting number for each conveying origin port from a waiting number information storage unit 24. The control unit 21 calculates the total call time. The control unit 21 calculates the total moving time by using a moving time information storage unit 25. The control unit 21 calculates the conveying time, and outputs the conveying path determined based on the conveying time to a conveyance control system 10. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、複数の搬送システムを利用して、搬送対象物を移動させる場合の搬送を支援するための搬送管理システム、搬送管理方法及び搬送管理プログラムに関する。例えば、半導体素子の製造プロセス装置間において、キャリアを積載させた搬送ユニットの搬送を支援する。   The present invention relates to a transport management system, a transport management method, and a transport management program for supporting transport when moving a transport target using a plurality of transport systems. For example, the transfer of a transfer unit loaded with carriers between semiconductor device manufacturing process apparatuses is supported.

例えば、半導体製造プロセスにおいては、各半導体基板(ウェハ)に対して、複数の工程が順番に行なわれて素子や配線層が形成される。例えば、酸化・拡散工程、CVD工程、リソグラフィ工程、エッチング工程、イオン注入工程、検査工程や測定工程等が予め定められた順番に従って行なわれる。この場合、処理すべきウェハは、複数枚毎にキャリアに収容されて処理装置に搬送される。   For example, in a semiconductor manufacturing process, a plurality of processes are sequentially performed on each semiconductor substrate (wafer) to form elements and wiring layers. For example, an oxidation / diffusion process, a CVD process, a lithography process, an etching process, an ion implantation process, an inspection process, a measurement process, and the like are performed in a predetermined order. In this case, a plurality of wafers to be processed are accommodated in a carrier and transferred to a processing apparatus.

また、後工程の処理装置へ搬送すべきキャリアや、前工程から搬送されてきたキャリアを一時的に保管するための搬送棚(ストッカ)が保管場所として併設されている。更に、各装置やストッカは軌道によって結ばれており、この軌道上で搬送台車(搬送ユニット)を移動させる。そして、搬送ユニットは各キャリアを積載して軌道上を走行することによって、搬送元ストッカの出庫ポートから搬送先のストッカの入庫ポートまでキャリアを搬送する。通常、空荷の搬送ユニットは空荷のまま軌道上を巡回または待機しながら、搬送指令を待っている。   Further, a carrier shelf (stocker) for temporarily storing the carrier to be transported to the processing apparatus in the subsequent process and the carrier transported from the previous process is provided as a storage place. Further, each device and stocker are connected by a track, and the transport carriage (transport unit) is moved on the track. And a conveyance unit conveys a carrier from the delivery port of the conveyance origin stocker to the receipt port of the conveyance destination stocker by carrying each track | truck with loading each carrier. Usually, an empty transport unit waits for a transport command while patroling or waiting on an orbit with an empty load.

ここで、搬送時間短縮のニーズに対応して、搬送台車の渋滞を軽減し、搬送能力の向上を図るための搬送装置が検討されている(例えば、特許文献1参照。)。この文献記載の技術では、搬送軌道の外周に、この搬送軌道から独立したループ状の外周搬送軌道を形成する。そして、この外周搬送軌道と搬送軌道との間にストッカを設けて、このストッカに外周搬送軌道と搬送軌道の搬送台車の間でキャリアの移載を行なう受渡し機構を設けている。   Here, in response to the need for shortening the transport time, a transport device for reducing the traffic jam of the transport cart and improving the transport capability has been studied (for example, see Patent Document 1). In the technique described in this document, a loop-shaped outer peripheral transport track independent of the transport track is formed on the outer periphery of the transport track. Then, a stocker is provided between the outer periphery transport track and the transport track, and a delivery mechanism for transferring the carrier between the outer periphery transport track and the transport carriage on the transport track is provided on the stocker.

また、搬送先ストッカでの作業者の待ち時間を低減するための搬送システムの搬送制御についても検討されている(例えば、特許文献2参照。)。この文献記載の技術では、ロットを搬送するための複数の搬送ラインと、これら搬送ライン間を接続するスルーポートと、搬送ラインに隣接し搬送したロットを搬送ラインから移載し保管するためのストッカとから構成される搬送システムを用いる。そして、予め決められたロットの搬送優先順から、ストッカへの到着時刻の早い順にロットがスルーポートを使用するタイミングを時系列に並べる。次に、予め把握しておいた各スルーポートの搬送所要時間、及びストッカからスルーポートあるいはスルーポートからストッカまで搬送するために必要な搬送所要時間を取得する。そして、スルーポートの搬送開始時間から各ライン内の搬送所要時間分を前倒しした時刻にストッカから搬送を開始する。
特開2002−87514号公報(第1頁) 特開平10−203614号公報(第1頁)
Further, conveyance control of a conveyance system for reducing the waiting time of an operator at the conveyance destination stocker has been studied (for example, see Patent Document 2). In the technique described in this document, a plurality of transfer lines for transferring lots, a through port connecting the transfer lines, and a stocker for transferring and storing lots transferred adjacent to the transfer line from the transfer line. Is used. Then, the timing at which the lot uses the through port is arranged in chronological order in the order of arrival time at the stocker from the predetermined transport priority order of the lot. Next, the required transport time of each through port, which has been grasped in advance, and the required transport time required for transport from the stocker to the through port or from the through port to the stocker are acquired. Then, the transfer is started from the stocker at a time when the required transfer time in each line is advanced from the transfer start time of the through port.
JP 2002-87514 A (first page) Japanese Patent Laid-Open No. 10-203614 (first page)

このような搬送システムにおいては、出発する装置から目的の装置まで搬送するための複数の経路が設定できる場合がある。特に半導体工場の拡大に伴い、複数の搬送システムを設けた場合、複数の経路を設定することができることがある。更に、生産ラインが複雑化することにより、この経路も複雑化している。このため、単純に経路を設定した場合、
利用される経路に偏りが発生し、平均の搬送時間が増大することがある。この場合、効率的な搬送には、搬送時間の短い搬送経路を選択することが大切である。
In such a transport system, there are cases where a plurality of routes for transporting from a starting device to a target device can be set. In particular, with the expansion of semiconductor factories, a plurality of routes may be set when a plurality of transfer systems are provided. Furthermore, this route is also complicated due to the complexity of the production line. Therefore, if you simply set the route,
There may be a bias in the route used, increasing the average transport time. In this case, for efficient transport, it is important to select a transport path having a short transport time.

更に、キャリアを移動させるために、搬送ユニットを呼び出しても、搬送経路の混雑や搬送ユニットの利用状況によっては、すぐに搬送ユニットを利用できるとは限らない。また、このような混雑状況等は、キャリア数や製造対象の品種によって変化するものである。また、搬送の順番はプロセス状況によって変わる場合があり、予め搬送手順を定めておくことは困難である。   Furthermore, even if the transport unit is called to move the carrier, the transport unit may not be used immediately depending on the congestion of the transport path and the use status of the transport unit. Moreover, such a congestion situation etc. changes with the number of carriers and the kind of production object. Further, the order of transport may vary depending on the process status, and it is difficult to determine the transport procedure in advance.

この結果、搬送の所要時間が長くなる一方で、一部の搬送システムの稼働率が落ちることがある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、搬送対象物を移動させる場合に適した経路を決定するとともに、搬送経路の効率的な利用を図るための搬送管理システム、搬送管理方法及び搬送管理プログラムを提供することにある。
As a result, while the time required for conveyance becomes long, the operation rate of some conveyance systems may fall.
The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and its object is to determine a route suitable for moving an object to be transported and to perform transport management for efficient use of the transport route. A system, a transport management method, and a transport management program are provided.

上記問題点を解決するために、請求項1に記載の発明は、複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムであって、前記制御手段が、ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう手段と、前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する手段とを備えたことを要旨とする。   In order to solve the above problems, the invention according to claim 1 records node connection information storage means for recording connection relations between a plurality of nodes, and travel time information for the transport source node and transport destination node. A transport management system comprising travel time information storage means, standby time information storage means for recording standby time information at each node, and control means for determining a transport route, wherein the control means moves between nodes Means for obtaining a time, calculating a statistical value of the travel time and recording it in the travel time information storage means; and at each node, from the start of transport of the transport object waiting first, to the next transport object If the means for calculating the waiting time until the start of transporting, calculating the statistical value of the waiting time and recording it in the travel time information storage means, and the starting node and the destination node are obtained, the node connection Means for searching for a route candidate combining the transport source node and the transport destination node recorded in the information storage means, and obtaining the number of waiting for the transport object in the transport source node included in each route candidate for each of the route candidates The standby time is calculated by multiplying the statistical value of the movement time of each transport source node recorded in the standby time information storage means, and the travel time for the transport source node and the transport destination node included in each path candidate. The travel time statistics recorded in the information storage means are summed to calculate the predicted travel time, the required time is calculated using the standby predicted time and the predicted travel time, and the transport route is calculated using the required time. And a means for identifying the above.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の搬送管理システムにおいて、前記統計値として平均値を用いることを要旨とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の搬送管理システムにおいて、前記統計値として平均値に標準偏差を加算した値を用いることを要旨とする。
The gist of the invention described in claim 2 is that, in the transport management system according to claim 1, an average value is used as the statistical value.
The gist of the invention described in claim 3 is that, in the transport management system according to claim 1, a value obtained by adding a standard deviation to the average value is used as the statistical value.

請求項4に記載の発明は、複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムを用いて、搬送対象物の搬送を管理する方法であって、前記制御手段が、ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する段階と、各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する段階と、出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう段階と、前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、
各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する段階とを備えたことを要旨とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there are provided node connection information storage means for recording connection relations of a plurality of nodes, travel time information storage means for recording travel time information for the transport source node and transport destination node, and each node A method for managing the conveyance of a conveyance object using a conveyance management system comprising a standby time information storage unit for recording the standby time information and a control unit for determining a conveyance route, wherein the control unit includes: Obtaining the travel time between the nodes, calculating the statistical value of the travel time and recording it in the travel time information storage means, and at each node, from the start of transport of the transport object waiting first, Calculating the waiting time until the start of conveyance of the object to be conveyed, calculating the statistical value of the waiting time and recording it in the travel time information storage means, and obtaining the starting node and the destination node, A step of searching for a route candidate combining the transfer source node and the transfer destination node recorded in the node connection information storage means, and the waiting number of transfer objects in the transfer source node included in each route candidate for each of the route candidates To obtain a standby predicted time by multiplying the statistics of the movement time of each transport source node recorded in the standby time information storage means,
The estimated movement time is calculated by totaling the statistics of the movement times recorded in the movement time information storage means for the transfer source node and transfer destination node included in each route candidate, and the standby prediction time and the predicted movement time are calculated. And calculating the required time using the required time, and using the required time to specify the transport path.

請求項5に記載の発明は、複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムを用いて、搬送対象物の搬送を管理するプログラムであって、前記制御手段を、ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう手段と、前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する手段として機能させることを要旨とする。   The invention according to claim 5 is a node connection information storage unit that records connection relations of a plurality of nodes, a movement time information storage unit that records movement time information for the transfer source node and transfer destination node, and each node A program for managing the conveyance of the object to be conveyed using a conveyance management system comprising a waiting time information storage means for recording the waiting time information and a control means for determining a conveyance route, the control means comprising: The movement time between the nodes is acquired, the statistical value of the movement time is calculated and recorded in the movement time information storage means, and at each node, from the start of the transfer of the transfer object waiting first, When the waiting time until the start of conveyance of the object to be conveyed is calculated, the statistical value of the waiting time is calculated and recorded in the moving time information storage means, the departure node and the destination node are acquired. , A means for searching for a route candidate that combines a transport source node and a transport destination node recorded in the node connection information storage means, and for each route candidate, a transport object in the transport source node included in each route candidate. Obtains the number of standbys, calculates the standby predicted time by multiplying the statistical value of the movement time of each transfer source node recorded in the standby time information storage means, the transfer source node and transfer destination node included in each path candidate The travel time statistics recorded in the travel time information storage means are totaled to calculate the predicted travel time, the required time is calculated using the standby predicted time and the predicted travel time, and the required time is used. Thus, the gist is to function as a means for specifying the transport path.

(作用)
請求項1、4又は5に記載の発明によれば、制御手段が、ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して移動時間情報記憶手段に記録する。これにより、実績の統計値を用いて移動予測時間を算出することができる。また、各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して移動時間情報記憶手段に記録する。これにより、実績の統計値を用いて待機予測時間を算出することができる。従って、統計的に時間のかからない経路を選択することができる。そして、利用する経路の偏りを解消して、利用経路の分散化を図ることができる。
(Function)
According to the first, fourth, or fifth aspect of the present invention, the control unit acquires the travel time between the nodes, calculates a statistical value of the travel time, and records it in the travel time information storage unit. Thereby, the movement prediction time can be calculated using the statistical value of the results. Further, in each node, a waiting time from the start of the transport of the transport object that has been waiting first to the start of the transport of the next transport object is calculated, and a statistical value of the standby time is calculated to store the travel time information. Record on means. Thereby, standby | standby estimated time is computable using the statistical value of a track record. Therefore, it is possible to select a route that does not statistically take a long time. Then, it is possible to eliminate the bias of the route to be used and to distribute the route to be used.

そして、制御手段が出発ノードと目的ノードとを取得した場合、ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう。そして、経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出する。更に、各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出する。そして、待機予測時間と移動予測時間を用いて所要時間を算出し、所要時間を用いて、搬送経路を特定する。これにより、状況によって変化する待機時間、移動時間や搬送の順番待ちの待機数を考慮して、的確な搬送経路を特定することができる。   When the control unit obtains the departure node and the destination node, it searches for a route candidate that combines the transfer source node and the transfer destination node recorded in the node connection information storage unit. Then, for each path candidate, obtain the number of waiting for the transport object in the transport source node included in each path candidate, and multiply the statistics of the travel time of each transport source node recorded in the standby time information storage means Calculate the standby waiting time. Further, the estimated movement time is calculated by totaling the statistical values of the movement times recorded in the movement time information storage means for the transfer source node and transfer destination node included in each route candidate. Then, the required time is calculated using the estimated standby time and the estimated movement time, and the transport path is specified using the required time. As a result, it is possible to specify an accurate transport path in consideration of the standby time, the travel time, and the number of standbys waiting for the order of transport, which vary depending on the situation.

請求項2に記載の発明によれば、統計値として平均値を用いる。これにより、平均的な状況を考慮して搬送経路を特定することができる。
請求項3に記載の発明によれば、統計値として平均値に標準偏差を加算した値を用いる。これにより、時間のバラツキが大きい搬送経路を避けることができる。
According to invention of Claim 2, an average value is used as a statistical value. Thereby, a conveyance path | route can be specified in consideration of an average condition.
According to invention of Claim 3, the value which added the standard deviation to the average value is used as a statistical value. Thereby, the conveyance path | route with a large time dispersion | variation can be avoided.

本発明によれば、搬送対象物を移動させる場合に適した経路を決定するとともに、搬送経路の効率的な利用を図ることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while determining the path | route suitable when moving a conveyance target object, the efficient utilization of a conveyance path | route can be aimed at.

以下、本発明を具体化した一実施形態を、図1〜図10を用いて説明する。本実施形態では、図1に示すように、半導体素子の製造ラインにおけるプロセス装置やストッカ間において、搬送対象物であるキャリアの搬送を管理する搬送管理システム10を用いて、搬送経路を決定するための搬送管理システム、搬送管理方法及び搬送管理プログラムとして説明する。ここでは、搬送経路を決定するための搬送管理システムとしてルート管理システム20を用いる。このルート管理システム20は、搬送管理システム10との間でデータの送受信を行なう。この搬送管理システム10は、プロセス装置(加熱装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置等)や保管装置(ストッカ)間におけるキャリアの搬送を管理する。   Hereinafter, an embodiment embodying the present invention will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, a transfer route is determined using a transfer management system 10 that manages transfer of a carrier that is a transfer object between process devices and stockers in a semiconductor element manufacturing line. Will be described as a transport management system, a transport management method, and a transport management program. Here, the route management system 20 is used as a transport management system for determining a transport route. The route management system 20 transmits / receives data to / from the transport management system 10. The transport management system 10 manages the transport of carriers between process devices (heating devices, film forming devices, lithography devices, etching devices, etc.) and storage devices (stockers).

例えば、図9に示すように、装置(EQ1〜EQ4)やストッカ(ST1,ST2)を用いる場合を想定する。そして、装置EQ1にはポートA、装置EQ2にはポートBが設けられており、それぞれ搬送システムC1に接続されている。また、装置EQ3にはポートC、装置EQ4にはポートDが設けられており、それぞれ搬送システムC2に接続されている。本実施形態では、各ポートがノードとして機能する。   For example, as shown in FIG. 9, a case is assumed in which devices (EQ1 to EQ4) and stockers (ST1, ST2) are used. The apparatus EQ1 is provided with a port A, and the apparatus EQ2 is provided with a port B, which are connected to the transfer system C1. Further, the device EQ3 is provided with a port C, and the device EQ4 is provided with a port D, which are connected to the transfer system C2. In this embodiment, each port functions as a node.

この搬送システム(C1,C2)は搬送管理システム10によって制御される。各搬送システム(C1,C2)には、キャリアを積載して移動させる搬送ユニットが設けられている。そして、キャリアを移動させる場合、各ポートに搬送ユニットを呼び出し、搬送ユニットに搭載する。そして、搬送ユニットは目的のポートまで移動して、このポートにおいてキャリアを装置側に引き渡す。   The transport system (C1, C2) is controlled by the transport management system 10. Each transport system (C1, C2) is provided with a transport unit that loads and moves carriers. And when moving a carrier, a conveyance unit is called to each port and it mounts in a conveyance unit. Then, the transport unit moves to the target port, and delivers the carrier to the apparatus side at this port.

また、ストッカST1にはポート(S1,S3)、ストッカST2にはポート(S2,S4)が設けられている。そして、各ポート(S1,S2)は搬送システムC1に接続され、各ポート(S3,S4)は搬送システムC2に接続される。これにより、各ストッカ(ST1,ST2)を経由して、各搬送システム(C1,C2)を利用することができる。   The stocker ST1 is provided with ports (S1, S3), and the stocker ST2 is provided with ports (S2, S4). Each port (S1, S2) is connected to the transport system C1, and each port (S3, S4) is connected to the transport system C2. Thereby, each conveyance system (C1, C2) can be utilized via each stocker (ST1, ST2).

ここで、搬送対象キャリアについて装置EQ1から装置EQ4への移動を想定した場合、ストッカST1を経由する搬送経路と、ストッカST2を経由する搬送経路とがある。ストッカST1を経由する場合、搬送管理システム10は、搬送対象キャリアを「ポートA→ポートS1→ポートS3→ポートD」の順番に移動させる。一方、ストッカST2を経由する場合、搬送管理システム10は、搬送対象キャリアを「ポートA→ポートS2→ポートS4→ポートD」の順番に移動させる。この場合、搬送管理システム10は、装置(EQ1,EQ4)やストッカ(ST1,ST2)間の移動には搬送システム(C1,C2)を用いる。   Here, when it is assumed that the carrier to be transported moves from the device EQ1 to the device EQ4, there are a transport route via the stocker ST1 and a transport route via the stocker ST2. When passing through the stocker ST1, the transfer management system 10 moves the transfer target carriers in the order of “port A → port S1 → port S3 → port D”. On the other hand, when passing through the stocker ST2, the transfer management system 10 moves the transfer target carriers in the order of “port A → port S2 → port S4 → port D”. In this case, the transport management system 10 uses the transport system (C1, C2) for movement between the devices (EQ1, EQ4) and the stockers (ST1, ST2).

この場合、図10に示すように、各ポート(A,S3,S4)において搬送ユニットに移載させるまでの待機時間が必要である。また、ポート間の移動においては移動時間がかかる。本実施形態では、待機時間や移動時間を考慮して、装置EQ1から装置EQ4までの搬送の所要時間を算出し、この所要時間を用いて的確な搬送経路を決定する。   In this case, as shown in FIG. 10, it is necessary to wait for the transfer to the transport unit at each port (A, S3, S4). In addition, movement between ports takes time. In the present embodiment, the time required for transport from the device EQ1 to the device EQ4 is calculated in consideration of the standby time and the travel time, and an accurate transport path is determined using the required time.

本実施形態では、この搬送経路の決定のためにルート管理システム20を用いる。このルート管理システム20は、搬送管理システム10からデータを収集し、搬送経路を決定するコンピュータシステムである。このルート管理システム20は、CPU、RAM、ROM等から構成された制御手段としての制御部21を備える。更に、ルート管理システム20は、搬送システム接続情報記憶部22、呼出時間情報記憶部23、待機個数情報記憶部24及び移動時間情報記憶部25を備える。   In the present embodiment, the route management system 20 is used to determine the transport route. The route management system 20 is a computer system that collects data from the transport management system 10 and determines a transport route. The route management system 20 includes a control unit 21 serving as a control unit including a CPU, a RAM, a ROM, and the like. Further, the route management system 20 includes a transport system connection information storage unit 22, a call time information storage unit 23, a waiting number information storage unit 24, and a travel time information storage unit 25.

この制御部21は、後述する処理(移動時間情報記録段階、待機時間情報記録段階、経路候補の検索段階、待機予測時間の算出段階、移動予測時間の算出段階、搬送経路の特定段階等の各処理)を実行する。そして、制御部21は、搬送経路指示手段211、待機個数監視手段212、ポート監視手段213及び移動時間監視手段214として機能する。   The control unit 21 performs processing (to be described later (movement time information recording stage, standby time information recording stage, path candidate search stage, standby prediction time calculation stage, movement prediction time calculation stage, transport path specifying stage, etc.). Process). The control unit 21 functions as a transport route instruction unit 211, a standby number monitoring unit 212, a port monitoring unit 213, and a movement time monitoring unit 214.

搬送経路指示手段211は、後述するように、搬送経路を決定し、決定した搬送経路を搬送管理システム10に対して指示する。
待機個数監視手段212は、各ポートでの搬送ユニットへの積載を待っているキャリアの個数(待機個数)を管理する。具体的には、待機個数監視手段212は、移動のために待機しているキャリアに関する情報(キャリア情報)を搬送管理システム10から取得する。このキャリア情報には、各キャリアの識別情報(キャリア識別子)と、このキャリアの現在の所在(装置/ストッカ識別子)に関する情報が含まれている。更に、待機個数監視手段212は、搬送システム接続情報記憶部22から搬送経路情報を取得する。そして、待機個数監視手段212は、取得したキャリアの現在の所在情報と搬送経路情報を用いて、次の搬送ユニットへ積載するポートを特定し、ポート毎に積載待機中のキャリア数(待機個数)を算出する。そして、待機個数監視手段212は、この待機個数を待機個数情報記憶部24に記録する。
As will be described later, the transport path instruction unit 211 determines a transport path and instructs the transport management system 10 on the determined transport path.
The standby number monitoring unit 212 manages the number of carriers waiting for loading on the transport unit at each port (standby number). Specifically, the waiting number monitoring unit 212 acquires information (carrier information) related to a carrier waiting for movement from the transfer management system 10. This carrier information includes identification information (carrier identifier) of each carrier and information on the current location (device / stocker identifier) of this carrier. Further, the standby number monitoring unit 212 acquires transport path information from the transport system connection information storage unit 22. Then, the standby number monitoring means 212 identifies the port to be loaded on the next conveyance unit using the acquired current location information and conveyance path information of the carrier, and the number of carriers on standby for each port (standby number). Is calculated. Then, the standby number monitoring unit 212 records this standby number in the standby number information storage unit 24.

ポート監視手段213は、後述するように、搬送管理システム10から取得したキャリア管理情報に基づいて、各ポートでの待機状況情報を取得する。この待機状況情報には、装置/ストッカ識別子に対して、次に搬送するキャリアのキャリア識別子に関する情報が含まれている。本実施形態では、ポート監視手段213は、先に待機していたキャリアの搬送が開始されて、次に搬送される順番が到来してから搬送が開始されるまでの所要時間(呼出時間)を算出する。そして、ポート監視手段213は、取得した呼出時間を呼出時間情報記憶部23に記録する。   As will be described later, the port monitoring unit 213 acquires standby status information at each port based on carrier management information acquired from the transport management system 10. This standby status information includes information related to the carrier identifier of the carrier to be transported next to the device / stocker identifier. In the present embodiment, the port monitoring unit 213 calculates a required time (calling time) from the start of the transport of the carrier that has been waiting first to the start of transport after the next transport order has arrived. calculate. Then, the port monitoring unit 213 records the acquired call time in the call time information storage unit 23.

移動時間監視手段214は、後述するように、搬送管理システム10から取得したキャリア管理情報に基づいて、各キャリアの移動状況情報を取得する。この移動状況情報には、搬送が開始されたキャリアのキャリア識別子について搬送元や搬送先の装置/ストッカ識別子に関する情報が含まれている。本実施形態では、移動時間監視手段214は、各ポート間の移動に要する所要時間(移動時間)を管理する。そして、移動時間監視手段214は、算出した移動時間を移動時間情報記憶部25に記録する。   As will be described later, the movement time monitoring unit 214 acquires movement status information of each carrier based on the carrier management information acquired from the conveyance management system 10. This movement status information includes information on the carrier / destination apparatus / stocker identifier of the carrier identifier of the carrier whose conveyance has been started. In the present embodiment, the movement time monitoring unit 214 manages the time required for movement between the ports (movement time). Then, the travel time monitoring unit 214 records the calculated travel time in the travel time information storage unit 25.

搬送システム接続情報記憶部22はノード接続情報記憶手段として機能し、図2に示すように、キャリアの搬送に用いる搬送システム(搬送機)を特定するための搬送システム接続レコード220と搬送経路レコード221が記録されている。この搬送システム接続レコード220は、搬送システムの接続関係を登録した場合に記録される。そして、搬送経路レコード221は、搬送システム接続レコード220を用いて経路を算出した場合に登録される。   The transport system connection information storage unit 22 functions as node connection information storage means, and as shown in FIG. 2, a transport system connection record 220 and a transport route record 221 for specifying a transport system (transport machine) used for transporting carriers. Is recorded. The transport system connection record 220 is recorded when the connection relation of the transport system is registered. The transport route record 221 is registered when a route is calculated using the transport system connection record 220.

この搬送システム接続レコード220は、ポート識別子に対して、装置/ストッカ識別子、接続搬送機識別子に関するデータを含んで構成されている。
ポート識別子データ領域には、装置/ストッカと搬送システムとが接続されるポートを特定するための識別子に関するデータが記録される。このポートを介して、キャリアは、装置やストッカと搬送ユニットとの間で受け渡しが行なわれる。
The transport system connection record 220 is configured to include data related to the device / stocker identifier and the connected transport machine identifier with respect to the port identifier.
In the port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port to which the apparatus / stocker and the transport system are connected is recorded. Through this port, the carrier is transferred between the apparatus or the stocker and the transport unit.

装置/ストッカ識別子データ領域には、このポートが設けられた装置やストッカを特定するための識別子に関するデータが記録されている。
接続搬送機識別子データ領域には、このポートにおいて接続される搬送システムを特定
するためのデータが記録されている。
In the device / stocker identifier data area, data relating to an identifier for specifying the device or stocker provided with this port is recorded.
In the connected carrier identifier data area, data for specifying a carrier system connected to this port is recorded.

搬送経路レコード221は、搬送元ポート識別子、搬送先ポート識別子に対して、経路候補に関するデータを含んで構成されている。
搬送元ポート識別子データ領域には、搬送の出発地となるポート(搬送元ノード)を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
The transport route record 221 includes data related to route candidates for the transport source port identifier and the transport destination port identifier.
In the transport source port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port (transport source node) that is a departure point of transport is recorded.

搬送先ポート識別子データ領域には、搬送の目的地となるポート(搬送先ノード)を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
経路候補データ領域には、搬送元ポートから搬送先ポートまでの経路の候補に関するデータが記録されている。なお、搬送元ポートから搬送先ポートについて複数の経路を設定できる場合には、複数の経路候補が記録される。
In the transfer destination port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port (transfer destination node) serving as a transfer destination is recorded.
In the route candidate data area, data relating to route candidates from the transfer source port to the transfer destination port is recorded. If a plurality of routes can be set for the transfer destination port from the transfer source port, a plurality of route candidates are recorded.

ここで、この経路候補の作成方法を説明する。この経路候補は、制御部21によって搬送システム接続レコード220を用いて予め作成される。具体的には、制御部21が、搬送システム接続情報記憶部22から、作成対象の搬送元ポートや搬送先ポートを順次特定して、これらのポート識別子が記録された搬送システム接続レコード220を取得する。   Here, a method of creating this route candidate will be described. This route candidate is created in advance by the control unit 21 using the transport system connection record 220. Specifically, the control unit 21 sequentially identifies the transfer source port and transfer destination port to be created from the transfer system connection information storage unit 22, and acquires the transfer system connection record 220 in which these port identifiers are recorded. To do.

ここで、搬送元ポート及び搬送先ポートに同じ接続搬送機識別子が関連付けられている場合には、この接続搬送機識別子に関連付けられた搬送元ポート及び搬送先ポートの組み合わせを搬送経路として特定する。例えば、図9において、装置EQ1から装置EQ2に搬送する場合には、搬送元ポート(ここでは「A」)と搬送先ポート(ここでは「B」)とを組み合わせた「(A,B)」が経路候補として特定される。   Here, when the same connected transport machine identifier is associated with the transport source port and the transport destination port, the combination of the transport source port and the transport destination port associated with the connected transport machine identifier is specified as the transport path. For example, in FIG. 9, when transporting from the device EQ1 to the device EQ2, “(A, B)” in which the transport source port (here “A”) and the transport destination port (here “B”) are combined. Is identified as a route candidate.

一方、搬送元ポート及び搬送先ポートに同じ接続搬送機識別子が関連付けられていない場合には、搬送経路指示手段211は、これらの搬送システムに接続されているストッカを、順次特定して、このストッカを介して他の搬送システムへの接続を検討する。そして、搬送システムやストッカを介して出発ポートから目的ポートまでの全部のルートを抽出する。そして、各ルートにおいて接続搬送機識別子に関連付けられた搬送元ポート及び搬送先ポートの組み合わせを経路候補として特定する。例えば、図9において、装置EQ1から装置EQ4に搬送する場合には、「(A,S1)(S3,D)」、「(A,S2)(S4,D)」の2つが経路候補として特定される。   On the other hand, when the same connected transport machine identifier is not associated with the transport source port and the transport destination port, the transport path instruction unit 211 sequentially identifies the stockers connected to these transport systems, and this stocker. Consider connecting to other transport systems. Then, all routes from the departure port to the destination port are extracted via the transport system and stocker. Then, a combination of a transport source port and a transport destination port associated with the connected transport machine identifier in each route is specified as a route candidate. For example, in FIG. 9, when transporting from the device EQ1 to the device EQ4, two of “(A, S1) (S3, D)” and “(A, S2) (S4, D)” are specified as route candidates. Is done.

呼出時間情報記憶部23は待機時間情報記憶手段として機能し、図3に示すように、キャリアを搬送する搬送ユニットを呼び出してから、搬送ユニットが到着するまでの所要時間を算出するためのデータが記録される。本実施形態では、呼出時間情報記憶部23には、呼出時間実績レコード230と平均呼出時間レコード232とが記録される。   The call time information storage unit 23 functions as a standby time information storage unit. As shown in FIG. 3, the call time information storage unit 23 stores data for calculating a required time from when a transport unit that transports a carrier is called until the transport unit arrives. To be recorded. In the present embodiment, a paging time record 230 and an average paging time record 232 are recorded in the paging time information storage unit 23.

呼出時間実績レコード230は、ポート識別子に対して、呼出時間に関するデータを含んで構成される。この呼出時間実績レコード230は、ポート監視手段213が待機時間を算出した場合に逐次、登録される。   The call time record 230 includes data related to the call time for the port identifier. The call time record 230 is sequentially registered when the port monitoring unit 213 calculates the standby time.

ポート識別子データ領域には、装置/ストッカと搬送システムとが接続されるポートを特定するための識別子に関するデータが記録される。
呼出時間データ領域には、このポートにおいて搬送ユニットの呼び出しに要した実際の所要時間に関するデータが記録される。
In the port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port to which the apparatus / stocker and the transport system are connected is recorded.
In the call time data area, data relating to the actual required time required to call the transport unit at this port is recorded.

一方、平均呼出時間レコード232は、ポート識別子に対して、平均時間に関するデータを含んで構成される。この平均呼出時間レコード232は、ポート監視手段213が待機時間を算出した場合に更新登録される。   On the other hand, the average call time record 232 includes data regarding the average time for the port identifier. This average call time record 232 is updated and registered when the port monitoring means 213 calculates the standby time.

ポート識別子データ領域には、装置/ストッカと搬送システムとが接続されるポートを特定するための識別子に関するデータが記録される。
平均時間データ領域には、このポートにおいて搬送ユニットの呼び出しに要した所要時間の平均値(統計値)に関するデータが記録される。
In the port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port to which the apparatus / stocker and the transport system are connected is recorded.
In the average time data area, data relating to the average value (statistical value) of the time required to call the transport unit at this port is recorded.

待機個数情報記憶部24には、図4に示すように、搬送の順番待ちをしているキャリアの個数を特定するための待機個数レコード240が記録される。この待機個数レコード240は、待機個数監視手段212が待機個数を取得した場合に、更新記録される。この待機個数レコード240は、ポート識別子に対して、待機個数に関するデータを含んで構成される。   As shown in FIG. 4, the standby number information storage unit 24 records a standby number record 240 for specifying the number of carriers waiting for the conveyance order. The standby number record 240 is updated and recorded when the standby number monitoring unit 212 acquires the standby number. This waiting number record 240 includes data relating to the waiting number with respect to the port identifier.

ポート識別子データ領域には、装置/ストッカと搬送システムとが接続されるポートを特定するための識別子に関するデータが記録される。
待機個数データ領域には、このポートから搬送される順番を待っているキャリアの個数に関するデータが記録される。
In the port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port to which the apparatus / stocker and the transport system are connected is recorded.
In the waiting number data area, data relating to the number of carriers waiting for the order of transport from this port is recorded.

移動時間情報記憶部25は移動時間情報記憶手段として機能し、図5に示すように、ポート間の移動に要する所要時間を算出するためのデータが記録される。本実施形態では、移動時間情報記憶部25には、移動時間実績レコード250と平均移動時間レコード252とが記録される。   The travel time information storage unit 25 functions as travel time information storage means, and records data for calculating the time required for travel between ports as shown in FIG. In the present embodiment, the travel time information storage unit 25 records a travel time record 250 and an average travel time record 252.

この移動時間実績レコード250は、搬送元ポート識別子、搬送先ポート識別子に対して、移動時間に関するデータを含んで構成される。この移動時間実績レコード250は、移動時間監視手段214が移動時間を算出した場合に逐次、登録される。   This travel time record 250 includes data relating to travel time for the transport source port identifier and transport destination port identifier. The travel time record 250 is sequentially registered when the travel time monitoring unit 214 calculates the travel time.

搬送元ポート識別子データ領域には、搬送の出発地となるポート(搬送元ノード)を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
搬送先ポート識別子データ領域には、搬送の目的地となるポート(搬送先ノード)を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
移動時間データ領域には、搬送元ポートから搬送先ポートまでのキャリアの移動に要した実際の所要時間に関するデータが記録される。
In the transport source port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port (transport source node) that is a departure point of transport is recorded.
In the transfer destination port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port (transfer destination node) serving as a transfer destination is recorded.
In the movement time data area, data relating to the actual required time required to move the carrier from the transfer source port to the transfer destination port is recorded.

一方、平均移動時間レコード252は、ポート識別子に対して、平均時間に関するデータを含んで構成されている。この平均移動時間レコード252は、移動時間監視手段214が待機時間を算出した場合に更新登録される。   On the other hand, the average travel time record 252 includes data relating to the average time with respect to the port identifier. The average travel time record 252 is updated and registered when the travel time monitoring unit 214 calculates the standby time.

搬送元ポート識別子データ領域には、搬送の出発地となるポート(搬送元ノード)を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
搬送先ポート識別子データ領域には、搬送の目的地となるポート(搬送先ノード)を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
平均時間データ領域には、搬送元ポートから搬送先ポートまでのキャリアの移動に要した所要時間の平均値(統計値)に関するデータが記録される。
In the transport source port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port (transport source node) that is a departure point of transport is recorded.
In the transfer destination port identifier data area, data relating to an identifier for specifying a port (transfer destination node) serving as a transfer destination is recorded.
In the average time data area, data relating to the average value (statistical value) of the time required for the carrier movement from the transfer source port to the transfer destination port is recorded.

このように構成されたシステムを用いて行なう処理を、図6〜図8に従って説明する。本実施形態では、ルート設定処理(図6)、待機時間登録処理(図7)、移動時間登録処理(図8)の順番に説明する。   Processing performed using the system configured as described above will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, description will be made in the order of route setting processing (FIG. 6), standby time registration processing (FIG. 7), and travel time registration processing (FIG. 8).

(ルート設定処理)
まず、ルート設定処理について、図6を用いて説明する。この処理は、搬送管理システ
ム10からルート設定依頼を受けた場合に実行される。
(Route setting process)
First, the route setting process will be described with reference to FIG. This process is executed when a route setting request is received from the transport management system 10.

まず、搬送管理システム10は、搬送経路決定依頼処理を実行する(ステップS1−1)。具体的には、キャリアの搬送を行なう必要が生じた場合に、搬送管理システム10は、ルート管理システム20に対して搬送経路決定依頼を送信する。この搬送経路決定依頼には、搬送元や搬送先の装置やストッカの識別子に関するデータを含む。   First, the transport management system 10 executes a transport route determination request process (step S1-1). Specifically, when the carrier needs to be transported, the transport management system 10 transmits a transport route determination request to the route management system 20. This transport route determination request includes data relating to the identifiers of the transport source and transport destination devices and stockers.

搬送経路決定依頼を受けたルート管理システム20の制御部21は、経路候補の特定処理を実行する(ステップS2−1)。具体的には、制御部21の搬送経路指示手段211は、搬送システム接続情報記憶部22に記録された搬送経路レコード221を用いて経路候補を特定する。   The control unit 21 of the route management system 20 that has received the transport route determination request executes route candidate identification processing (step S2-1). Specifically, the transport route instruction unit 211 of the control unit 21 specifies a route candidate using the transport route record 221 recorded in the transport system connection information storage unit 22.

次に、経路候補毎に搬送時間の算出処理を実行する。まず、経路候補の中で、搬送時間算出処理の対象となる計算対象候補を特定する。
そして、ルート管理システム20の制御部21は、搬送元ポート毎に平均呼出時間の取得処理を実行する(ステップS2−2)。具体的には、制御部21の搬送経路指示手段211は、計算対象候補に含まれるすべての搬送元ポートを特定する。例えば、経路候補「(A,S1)(S3,D)」が計算対象候補の場合には、「A」、「S3」が搬送元ポートとなる。一方、経路候補「(A,S2)(S4,D)」が計算対象候補の場合には、「A」、「S4」が搬送元ポートとなる。そして、搬送経路指示手段211は、搬送元ポート毎に、呼出時間情報記憶部23から平均呼出時間レコード232を抽出し、各搬送元ポートにおける平均時間を取得する。
Next, a conveyance time calculation process is executed for each route candidate. First, a candidate for calculation that is a target of the transport time calculation process is specified from among the route candidates.
And the control part 21 of the route management system 20 performs the acquisition process of average call time for every conveyance origin port (step S2-2). Specifically, the transport route instruction unit 211 of the control unit 21 specifies all the transport source ports included in the calculation target candidates. For example, when the route candidate “(A, S1) (S3, D)” is a candidate for calculation, “A” and “S3” are the transport source ports. On the other hand, when the route candidate “(A, S2) (S4, D)” is a candidate for calculation, “A” and “S4” are the transport source ports. Then, the transfer route instruction unit 211 extracts the average call time record 232 from the call time information storage unit 23 for each transfer source port, and acquires the average time at each transfer source port.

次に、ルート管理システム20の制御部21は、搬送元ポート毎に現在待機個数の取得処理を実行する(ステップS2−3)。具体的には、制御部21の搬送経路指示手段211は、計算対象候補に含まれるすべての搬送元ポート毎に、待機個数情報記憶部24から待機個数レコード240を抽出し、各搬送元ポートにおける待機個数を取得する。   Next, the control unit 21 of the route management system 20 executes a process for acquiring the current standby number for each transport source port (step S2-3). Specifically, the transport route instructing unit 211 of the control unit 21 extracts the standby number record 240 from the standby number information storage unit 24 for every transport source port included in the calculation target candidate. Get the number of waiting.

次に、ルート管理システム20の制御部21は、総呼出時間の算出処理を実行する(ステップS2−4)。具体的には、制御部21の搬送経路指示手段211は、計算対象候補に含まれる搬送元ポート毎に平均呼出時間と現在待機個数とを乗算し、計算対象候補に含まれるすべての搬送元ポートについて乗算結果を総和する。   Next, the control unit 21 of the route management system 20 executes a total call time calculation process (step S2-4). Specifically, the transport path instruction unit 211 of the control unit 21 multiplies the average call time and the current waiting number for each transport source port included in the calculation target candidate, and all the transport source ports included in the calculation target candidate. Sum the multiplication results for.

次に、ルート管理システム20の制御部21は、総移動時間の算出処理を実行する(ステップS2−5)。具体的には、制御部21の搬送経路指示手段211は、移動時間情報記憶部25から、計算対象候補に含まれる搬送元ポートと搬送先ポートについての平均移動時間レコード252を抽出する。例えば、経路候補「(A,S1)(S3,D)」が計算対象候補の場合には、(A,S1)及び(S3,D)の平均移動時間を抽出する。一方、経路候補「(A,S2)(S4,D)」が計算対象候補の場合には、(A,S2)(S4,D)の平均移動時間を抽出する。そして、搬送経路指示手段211は、抽出した平均移動時間レコード252の平均移動時間を総和する。   Next, the control part 21 of the route management system 20 performs the calculation process of total movement time (step S2-5). Specifically, the transport path instruction unit 211 of the control unit 21 extracts an average travel time record 252 for the transport source port and the transport destination port included in the calculation target candidate from the travel time information storage unit 25. For example, when the route candidate “(A, S1) (S3, D)” is a candidate for calculation, the average travel time of (A, S1) and (S3, D) is extracted. On the other hand, when the route candidate “(A, S2) (S4, D)” is a candidate for calculation, the average travel time of (A, S2) (S4, D) is extracted. Then, the transport route instruction unit 211 sums up the average travel times of the extracted average travel time records 252.

そして、ルート管理システム20の制御部21は、搬送時間の算出処理を実行する(ステップS2−6)。具体的には、制御部21の搬送経路指示手段211は、総呼出時間と総移動時間とを加算して搬送時間を算出する。以上の処理を、経路候補について繰り返す。   And the control part 21 of the route management system 20 performs the calculation process of conveyance time (step S2-6). Specifically, the transport route instruction unit 211 of the control unit 21 calculates the transport time by adding the total call time and the total movement time. The above processing is repeated for route candidates.

そして、ルート管理システム20の制御部21は、各経路候補の搬送時間を比較して搬送経路の決定処理を実行する(ステップS2−7)。具体的には、制御部21の搬送経路指示手段211は、算出した搬送時間を比較して、所要時間の最も短い経路候補を搬送経
路として特定する。
And the control part 21 of the route management system 20 compares the conveyance time of each path | route candidate, and performs the determination process of a conveyance path | route (step S2-7). Specifically, the conveyance path instruction unit 211 of the control unit 21 compares the calculated conveyance times and identifies the candidate route having the shortest required time as the conveyance path.

次に、ルート管理システム20の制御部21は、搬送経路の出力処理を実行する(ステップS2−8)。具体的には、制御部21の搬送経路指示手段211は、搬送管理システム10に対して、特定した搬送経路を含む経路情報を提供する。
そして、搬送管理システム10は、搬送処理を実行する(ステップS1−2)。具体的には、搬送管理システム10は、搬送経路情報を用いて各搬送システムを制御する。
Next, the control part 21 of the route management system 20 performs the output process of a conveyance path | route (step S2-8). Specifically, the transport route instruction unit 211 of the control unit 21 provides route information including the specified transport route to the transport management system 10.
And the conveyance management system 10 performs a conveyance process (step S1-2). Specifically, the transport management system 10 controls each transport system using the transport path information.

(待機時間登録処理)
次に、各ポートでの待機時間登録処理について、図7を用いて説明する。
(Standby time registration process)
Next, the standby time registration process at each port will be described with reference to FIG.

まず、ルート管理システム20の制御部21は、次の搬送順番になったかどうかを判断する(ステップS3−1)。具体的には、制御部21のポート監視手段213は、各ポートにおいて搬送の順番待ちのキャリアを検出する。そして、先のキャリアが搬送システムの搬送ユニットに積載されることにより、次の搬送順番になった場合(ステップS3−1において「YES」の場合)、ルート管理システム20の制御部21は、呼出時間の測定を開始する(ステップS3−2)。具体的には、制御部21のポート監視手段213は、計時手段を用いて呼出時間の測定を開始する。この測定は、ポート監視手段213が、このキャリアが搬送ユニットへの積載を検知するまで継続される(ステップS3−3)。   First, the control unit 21 of the route management system 20 determines whether or not the next transport order has been reached (step S3-1). Specifically, the port monitoring unit 213 of the control unit 21 detects a carrier waiting for the order of conveyance at each port. Then, when the next carrier is placed in the transport unit of the transport system and the next transport order is reached (“YES” in step S3-1), the control unit 21 of the route management system 20 calls the call Time measurement is started (step S3-2). Specifically, the port monitoring unit 213 of the control unit 21 starts measuring the ringing time using a time measuring unit. This measurement is continued until the port monitoring unit 213 detects the loading of the carrier on the transport unit (step S3-3).

このキャリアについて搬送ユニットへの積載を検知した場合(ステップS3−3において「YES」の場合)、制御部21のポート監視手段213は、呼出時間の測定を終了する(ステップS3−4)。   When the loading of the carrier on the transport unit is detected (in the case of “YES” in step S3-3), the port monitoring unit 213 of the control unit 21 ends the measurement of the calling time (step S3-4).

そして、ルート管理システム20の制御部21は、呼出時間の記録処理を実行する(ステップS3−5)。具体的には、制御部21のポート監視手段213は、このキャリアが待機していたポートのポート識別子に対して呼出時間を関連付けた呼出時間実績レコード230を生成し、呼出時間情報記憶部23に記録する。   And the control part 21 of the route management system 20 performs the recording process of call time (step S3-5). Specifically, the port monitoring unit 213 of the control unit 21 generates a paging time record 230 that associates the paging time with the port identifier of the port on which the carrier is waiting, and stores it in the paging time information storage unit 23. Record.

次に、ルート管理システム20の制御部21は、平均呼出時間の算出処理を実行する(ステップS3−6)。具体的には、制御部21のポート監視手段213は、呼出時間情報記憶部23から、このキャリアが待機していたポートのポート識別子に関連付けられて記憶された呼出時間実績レコード230を抽出する。そして、ポート監視手段213は、呼出時間実績レコード230に記録された呼出時間を用いて平均値を算出する。次に、ポート監視手段213は、平均呼出時間レコード232の平均時間を更新記録する。   Next, the control unit 21 of the route management system 20 executes an average call time calculation process (step S3-6). Specifically, the port monitoring unit 213 of the control unit 21 extracts the call time record 230 stored in association with the port identifier of the port on which the carrier is waiting from the call time information storage unit 23. Then, the port monitoring unit 213 calculates an average value using the call time recorded in the call time result record 230. Next, the port monitoring unit 213 updates and records the average time of the average call time record 232.

(移動時間登録処理)
次に、搬送システムにおける移動時間登録処理について、図8を用いて説明する。
ルート管理システム20の制御部21は、キャリアが搬送ユニットに積載されたかどうかを判断する(ステップS4−1)。具体的には、制御部21の移動時間監視手段214は、各キャリアの移動を検出する。キャリアが搬送ユニットに積載されて、移動が開始された場合(ステップS4−1において「YES」の場合)、ルート管理システム20の制御部21は、移動時間の測定を開始する(ステップS4−2)。具体的には、制御部21の移動時間監視手段214は、計時手段を用いて移動時間の測定を開始する。この測定は、制御部21の移動時間監視手段214が、このキャリアが搬送先ポートへの到着を検知するまで継続される(ステップS4−3)。
(Travel time registration process)
Next, the travel time registration process in the transport system will be described with reference to FIG.
The control unit 21 of the route management system 20 determines whether the carrier is loaded on the transport unit (step S4-1). Specifically, the movement time monitoring unit 214 of the control unit 21 detects the movement of each carrier. When the carrier is loaded on the transport unit and the movement is started (in the case of “YES” in step S4-1), the control unit 21 of the route management system 20 starts measuring the movement time (step S4-2). ). Specifically, the moving time monitoring unit 214 of the control unit 21 starts measuring the moving time using the time measuring unit. This measurement is continued until the movement time monitoring unit 214 of the control unit 21 detects the arrival of this carrier at the transport destination port (step S4-3).

このキャリアについて搬送先ポートへの到着を検知した場合(ステップS4−3において「YES」の場合)、ルート管理システム20の制御部21の移動時間監視手段214は、移動時間の測定を終了する(ステップS4−4)。   When the arrival of the carrier at the transport destination port is detected (in the case of “YES” in step S4-3), the travel time monitoring unit 214 of the control unit 21 of the route management system 20 ends the travel time measurement ( Step S4-4).

そして、ルート管理システム20の制御部21は、移動時間の記録処理を実行する(ステップS4−5)。具体的には、制御部21の移動時間監視手段214は、この移動についての搬送元ポート、搬送先ポートのポート識別子に対して移動時間を関連付けた移動時間実績レコード250を生成し、移動時間情報記憶部25に記録する。   And the control part 21 of the route management system 20 performs the recording process of movement time (step S4-5). Specifically, the movement time monitoring unit 214 of the control unit 21 generates a movement time result record 250 in which the movement time is associated with the port identifier of the transfer source port and transfer destination port for this movement, and the transfer time information Record in the storage unit 25.

次に、ルート管理システム20の制御部21は、平均移動時間の算出処理を実行する(ステップS4−6)。具体的には、制御部21の移動時間監視手段214は、移動時間情報記憶部25から、この移動についての搬送元ポート、搬送先ポートのポート識別子に関連付けられて記憶された移動時間実績レコード250を抽出する。そして、移動時間監視手段214は、移動時間実績レコード250に記録された移動時間を用いて平均値を算出する。次に、移動時間監視手段214は、平均移動時間レコード252の平均時間を更新記録する。   Next, the control part 21 of the route management system 20 performs the calculation process of average moving time (step S4-6). Specifically, the movement time monitoring unit 214 of the control unit 21 stores the movement time record 250 stored in the movement time information storage unit 25 in association with the port identifiers of the transfer source port and transfer destination port for this transfer. To extract. Then, the travel time monitoring unit 214 calculates an average value using the travel time recorded in the travel time result record 250. Next, the travel time monitoring unit 214 updates and records the average time of the average travel time record 252.

以上、本実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
・ 上記実施形態では、搬送システム接続情報記憶部22は、キャリアの搬送に用いる搬送システム(搬送機)を特定するための搬送システム接続レコード220が記録される。この搬送システム接続レコード220は、ポート識別子に対して、装置/ストッカ識別子、接続搬送機識別子に関するデータを含んで構成されている。これにより、搬送のための経路候補を特定することができる。
As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
In the above embodiment, the transport system connection information storage unit 22 records a transport system connection record 220 for specifying a transport system (transport machine) used for transporting carriers. The transport system connection record 220 is configured to include data related to the device / stocker identifier and the connected transport machine identifier with respect to the port identifier. Thereby, the route candidate for conveyance can be specified.

・ 上記実施形態では、ルート管理システム20は、搬送システム接続情報記憶部22、呼出時間情報記憶部23及び待機個数情報記憶部24、移動時間情報記憶部25を備える。呼出時間情報記憶部23には、平均呼出時間レコード232が記録されている。平均呼出時間レコード232は、ポート識別子に対して、平均時間に関するデータを含んで構成されている。また、待機個数情報記憶部24には、搬送システムによる搬送の順番待ちをしているキャリアの個数を特定するための待機個数レコード240が記録される。この待機個数レコード240は、ポート識別子に対して、待機個数に関するデータを含んで構成される。移動時間情報記憶部25には、平均移動時間レコード252が記録されている。平均移動時間レコード252は、ポート識別子に対して、平均時間に関するデータを含んで構成されている。この平均呼出時間レコード232、待機個数レコード240、平均移動時間レコード252を用いることにより、各経路候補の所要時間を算出することができる。そして、この所要時間を用いて、効率的な搬送を行なうための搬送経路を特定することができる。   In the above embodiment, the route management system 20 includes the transport system connection information storage unit 22, the calling time information storage unit 23, the waiting number information storage unit 24, and the travel time information storage unit 25. In the call time information storage unit 23, an average call time record 232 is recorded. The average call time record 232 includes data regarding the average time for the port identifier. The standby number information storage unit 24 records a standby number record 240 for specifying the number of carriers waiting for the transfer order by the transfer system. This waiting number record 240 includes data relating to the waiting number with respect to the port identifier. In the travel time information storage unit 25, an average travel time record 252 is recorded. The average travel time record 252 includes data regarding the average time for the port identifier. By using the average call time record 232, the waiting number record 240, and the average movement time record 252, the required time of each route candidate can be calculated. And the conveyance path | route for performing efficient conveyance can be specified using this required time.

なお、上記実施形態は、以下の態様に変更してもよい。
○ 上記実施形態では、呼出時間情報記憶部23には、平均呼出時間レコード232が記録されている。搬送時間の算出に用いる時間は平均値に限定されるものではなく、呼出に要する所要時間を代表する統計値を用いることができる。例えば、平均値に対して標準偏差を加算した値(偏差値)を用いることも可能である。これにより、所要時間のバラツキが大きい経路候補の選択を回避することができる。
In addition, you may change the said embodiment into the following aspects.
In the above embodiment, the average call time record 232 is recorded in the call time information storage unit 23. The time used for calculating the transport time is not limited to the average value, and a statistical value representative of the time required for the call can be used. For example, a value obtained by adding a standard deviation to the average value (deviation value) can be used. Thereby, it is possible to avoid selection of a route candidate having a large variation in required time.

また、呼出時間実績レコード230に実績日を記録しておき、最近の所定期間の呼出時間実績レコード230を抽出して、平均呼出時間を計算するように構成することも可能である。これにより、直近の状況に応じて、より確からしい呼出時間を予測することができる。   It is also possible to record the actual date in the call time result record 230, extract the call time result record 230 of the latest predetermined period, and calculate the average call time. As a result, a more probable call time can be predicted according to the latest situation.

○ 上記実施形態では、移動時間情報記憶部25には、平均移動時間レコード252が記録されている。搬送時間の算出に用いる時間は平均値に限定されるものではなく、移動に要する所要時間を代表する統計値を用いることができる。例えば、平均値に対して標準
偏差を加算した値(偏差値)を用いることも可能である。これにより、所要時間のバラツキが大きい経路候補の選択を回避することができる。
In the above embodiment, the average travel time record 252 is recorded in the travel time information storage unit 25. The time used for calculating the transport time is not limited to the average value, and a statistical value representative of the time required for movement can be used. For example, a value obtained by adding a standard deviation to the average value (deviation value) can be used. Thereby, it is possible to avoid selection of a route candidate having a large variation in required time.

また移動時間実績レコード250に実績日を記録しておき、最近の所定期間の移動時間実績レコード250を抽出して、平均移動時間を計算するように構成することも可能である。これにより、直近の状況に応じて、より確からしい移動時間を予測することができる。   It is also possible to record the actual date in the actual travel time record 250, extract the actual travel time record 250 for the most recent predetermined period, and calculate the average travel time. Thereby, more probable travel time can be predicted according to the latest situation.

○ 上記実施形態では、待機個数情報記憶部24には、搬送システムによる搬送の順番待ちをしているキャリアの個数を特定するための待機個数レコード240が記録される。これに代えて、待機個数として所定期間の平均値を用いることも可能である。   In the above embodiment, the standby number information storage unit 24 records the standby number record 240 for specifying the number of carriers waiting for the transfer order by the transfer system. Alternatively, an average value for a predetermined period can be used as the waiting number.

本発明の一実施形態のシステムの概略図。1 is a schematic diagram of a system according to an embodiment of the present invention. 搬送システム接続情報記憶部に記録されたデータの説明図。Explanatory drawing of the data recorded on the conveyance system connection information storage part. 呼出時間情報記憶部に記録されたデータの説明図。Explanatory drawing of the data recorded on the calling time information storage part. 待機個数情報記憶部に記録されたデータの説明図。Explanatory drawing of the data recorded on the waiting | standby number information storage part. 移動時間情報記憶部に記録されたデータの説明図。Explanatory drawing of the data recorded on the movement time information storage part. 本実施形態の処理手順の説明図。Explanatory drawing of the process sequence of this embodiment. 本実施形態の処理手順の説明図。Explanatory drawing of the process sequence of this embodiment. 本実施形態の処理手順の説明図。Explanatory drawing of the process sequence of this embodiment. 搬送システムの接続関係の説明図。Explanatory drawing of the connection relation of a conveyance system. 搬送時間を構成する要素の説明図。Explanatory drawing of the element which comprises conveyance time.

符号の説明Explanation of symbols

10…搬送管理システム、20…ルート管理システム、21…制御部、211…搬送経路指示手段、212…待機個数監視手段、213…ポート監視手段、214…移動時間監視手段、22…搬送システム接続情報記憶部、23…呼出時間情報記憶部、24…待機個数情報記憶部、25…移動時間情報記憶部、10…搬送管理システム、EQ1〜EQ4…装置、ST1,ST2…ストッカ、A,B,C,D,S1〜S4…ポート、C1,C2…搬送システム。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Conveyance management system, 20 ... Route management system, 21 ... Control part, 211 ... Conveyance route instruction means, 212 ... Standby number monitoring means, 213 ... Port monitoring means, 214 ... Movement time monitoring means, 22 ... Conveyance system connection information Storage unit, 23 ... Calling time information storage unit, 24 ... Standby number information storage unit, 25 ... Movement time information storage unit, 10 ... Transport management system, EQ1 to EQ4 ... Device, ST1, ST2 ... Stocker, A, B, C , D, S1 to S4... Port, C1, C2.

Claims (5)

複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、
搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、
各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、
搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムであって、
前記制御手段が、
ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、
各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、
出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう手段と、
前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、
各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、
前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する手段と
を備えたことを特徴とする搬送管理システム。
Node connection information storage means for recording a connection relation of a plurality of nodes;
Travel time information storage means for recording travel time information for the transport source node and transport destination node;
Standby time information storage means for recording standby time information in each node;
A transport management system comprising a control means for determining a transport path,
The control means is
Means for obtaining a movement time between nodes, calculating a statistical value of the movement time, and recording it in the movement time information storage means;
In each node, the waiting time from the start of the transport of the transport object that is waiting first to the start of the transport of the next transport object is calculated, and a statistical value of this standby time is calculated to calculate the travel time information storage means Means for recording,
Means for retrieving a route candidate combining a transport source node and a transport destination node recorded in the node connection information storage means when acquiring a departure node and a destination node;
For each route candidate, obtain the number of standbys of the transport object in the transport source node included in each route candidate, and multiply the statistics of the travel time of each transport source node recorded in the standby time information storage means Calculate the waiting time,
Calculate the movement predicted time by summing the statistics of the movement time recorded in the movement time information storage means for the transfer source node and transfer destination node included in each route candidate,
A transport management system comprising: means for calculating a required time using the estimated standby time and the predicted movement time, and specifying a transport path using the required time.
前記統計値として平均値を用いることを特徴とする請求項1に記載の搬送管理システム。   The transport management system according to claim 1, wherein an average value is used as the statistical value. 前記統計値として平均値に標準偏差を加算した値を用いることを特徴とする請求項1に記載の搬送管理システム。   The transport management system according to claim 1, wherein a value obtained by adding a standard deviation to an average value is used as the statistical value. 複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、
搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、
各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、
搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムを用いて、搬送対象物の搬送を管理する方法であって、
前記制御手段が、
ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する段階と、
各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する段階と、
出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう段階と、
前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、
各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、
前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用い
て、搬送経路を特定する段階と
を備えたことを特徴とする搬送管理方法。
Node connection information storage means for recording a connection relation of a plurality of nodes;
Travel time information storage means for recording travel time information for the transport source node and transport destination node;
Standby time information storage means for recording standby time information in each node;
A method for managing the conveyance of a conveyance object using a conveyance management system including a control means for determining a conveyance path,
The control means is
Obtaining a travel time between nodes, calculating a statistical value of this travel time and recording it in the travel time information storage means;
In each node, the waiting time from the start of the transport of the transport object that is waiting first to the start of the transport of the next transport object is calculated, and a statistical value of this standby time is calculated to calculate the travel time information storage means And recording stage,
When obtaining the departure node and the destination node, searching for route candidates combining the transportation source node and the transportation destination node recorded in the node connection information storage unit;
For each route candidate, obtain the number of standbys of the transport object in the transport source node included in each route candidate, and multiply the statistics of the travel time of each transport source node recorded in the standby time information storage means Calculate the waiting time,
Calculate the movement predicted time by summing the statistics of the movement time recorded in the movement time information storage means for the transfer source node and transfer destination node included in each route candidate,
A transfer management method comprising: calculating a required time using the estimated standby time and the estimated movement time, and specifying a transfer path using the required time.
複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、
搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、
各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、
搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムを用いて、搬送対象物の搬送を管理するプログラムであって、
前記制御手段を、
ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、
各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、
出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう手段と、
前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、
各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、
前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する手段
として機能させることを特徴とする搬送管理プログラム。
Node connection information storage means for recording a connection relation of a plurality of nodes;
Travel time information storage means for recording travel time information for the transport source node and transport destination node;
Standby time information storage means for recording standby time information in each node;
A program for managing the conveyance of a conveyance object using a conveyance management system including a control unit that determines a conveyance path,
The control means;
Means for obtaining a movement time between nodes, calculating a statistical value of the movement time, and recording it in the movement time information storage means;
In each node, the waiting time from the start of the transport of the transport object that is waiting first to the start of the transport of the next transport object is calculated, and a statistical value of this standby time is calculated to calculate the travel time information storage means Means for recording,
Means for retrieving a route candidate combining a transport source node and a transport destination node recorded in the node connection information storage means when acquiring a departure node and a destination node;
For each route candidate, obtain the number of standbys of the transport object in the transport source node included in each route candidate, and multiply the statistics of the travel time of each transport source node recorded in the standby time information storage means Calculate the waiting time,
Calculate the movement predicted time by summing the statistics of the movement time recorded in the movement time information storage means for the transfer source node and transfer destination node included in each route candidate,
A transport management program characterized in that a required time is calculated using the standby predicted time and the predicted travel time and functions as means for specifying a transport path using the required time.
JP2007151382A 2007-06-07 2007-06-07 System, method and program for controlling conveyance Pending JP2008303024A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007151382A JP2008303024A (en) 2007-06-07 2007-06-07 System, method and program for controlling conveyance

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007151382A JP2008303024A (en) 2007-06-07 2007-06-07 System, method and program for controlling conveyance

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008303024A true JP2008303024A (en) 2008-12-18

Family

ID=40232078

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007151382A Pending JP2008303024A (en) 2007-06-07 2007-06-07 System, method and program for controlling conveyance

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008303024A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020208835A1 (en) * 2019-04-09 2020-10-15 清水建設株式会社 Integrated management system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020208835A1 (en) * 2019-04-09 2020-10-15 清水建設株式会社 Integrated management system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6351686B1 (en) Semiconductor device manufacturing apparatus and control method thereof
KR101930981B1 (en) Processing device group controller, manufacturing process system, processing device group control method, manufacturing optimization system, manufacturing optimization device, and manufacturing optimization method
US8160736B2 (en) Methods and apparatus for white space reduction in a production facility
KR101522742B1 (en) Substrate processing apparatus, substrate processing method and storage medium
JP6017134B2 (en) Production efficiency system, production efficiency device, and production efficiency method
JP2009215032A (en) Automated transportation system, and carrier waiting position setting method in automated transportation system
US20070185604A1 (en) Transportation system and transportation method
TW202020763A (en) Distribution system and distribution method
US8521406B2 (en) Traveling vehicle system
JP2008303024A (en) System, method and program for controlling conveyance
JP2004207335A (en) Control device of carrying system
CN116313961A (en) Wafer transfer box carrying method, system, equipment and medium
JP2001296922A (en) Automated guided vehicle system
JP2008250826A (en) Process management system, method, and program
JP2010128907A (en) Transportation management system and transportation management method
KR102243966B1 (en) Coating and developing apparatus, operating method of coating and developing apparatus, and storage medium
JP2003347388A (en) Conveyance system
JPH11309650A (en) Automatic carrying facility
CN116934207B (en) Semiconductor transfer waybill task processing method and device and computer equipment
JP2020083554A (en) Transport-information generating apparatus, transport system, control method, program, and recording medium
JP2000317778A (en) Carry destination control method
JP2008077496A (en) Transport controller, transport control method, transport control program and production system provided with transport controller
JP2001236107A (en) Automatic carrying device and its method
JPH1142536A (en) System and method for conveyance indication accelerating
JP6294427B2 (en) Production processing system and production efficiency improvement method