JP2008298880A - Photosensitive composition - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、プラズマディスプレイパネルやプリント配線板などの製造に有用な、金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子からなる焼成型パターンを形成用の感光性組成物、並びに、該組成物を用いて形成した導電性回路パターン、抵抗体パターン、遮光性パターンなどの焼成物パターン成形物に関する。 The present invention provides a photosensitive composition for forming a fired pattern comprising metal fine particles and / or metal oxide fine particles, which is useful for the production of plasma display panels and printed wiring boards, and the composition. The present invention relates to a fired product pattern molding such as a conductive circuit pattern, a resistor pattern, and a light shielding pattern.
従来、プラズマディスプレイパネルやプリント配線板における導電性回路の形成やプラズマディスプレイパネルにおける遮光性パターン（ブラックマトリクス）を形成するために、鉛を含んだ低融点ガラスフリットと各種金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子とを含有する焼成型のスクリーンペーストを用いたスクリーン印刷法が利用されてきた（例えば特許文献１、２参照。）。ガラスフリットは、パターン形成後、焼成することにより溶融し、冷却後、再ガラス化することにより、基板と金属微粒子または金属酸化物微粒子からなるパターンとを固着させる役割を果たす。 Conventionally, low melting point glass frit containing lead and various metal fine particles and / or metal oxidation to form conductive circuits in plasma display panels and printed wiring boards and to form light-shielding patterns (black matrix) in plasma display panels. A screen printing method using a baking type screen paste containing fine particles has been used (see, for example, Patent Documents 1 and 2). The glass frit melts by firing after pattern formation, and plays a role of fixing the substrate and the pattern made of metal fine particles or metal oxide fine particles by re-vitrification after cooling.
しかしながら、近年、プラズマディスプレイパネルやプリント配線板の製造においては、より高精細なパターン形成が要求されており、スクリーン印刷法では対応が困難な状況である。また、プラズマディスプレイの遮光性パターンの形成においては、画像のコントラストを向上させるために高い遮光性（高ＯＤ値）を有する材料が必要とされている。この要求を満たすためには、遮光性の金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子を高充填することが必要であるが、高充填した際にも、組成物の分散安定性が良好で、且つ、十分な感度、解像度を有するものが要求されている。 However, in recent years, in the manufacture of plasma display panels and printed wiring boards, higher-definition pattern formation is required, and it is difficult to cope with the screen printing method. In forming a light-shielding pattern of a plasma display, a material having a high light-shielding property (high OD value) is required to improve image contrast. In order to satisfy this requirement, it is necessary to highly fill the light-shielding metal fine particles and / or metal oxide fine particles, but the dispersion stability of the composition is good even when highly filled, and What has sufficient sensitivity and resolution is required.
高精細化に対しては、フォトリソグラフィー法によるパターン形成が可能なカルボキシル基含有感光性ポリマーや光重合性モノマーを配合した組成物が紹介されている（例えば特許文献３、４参照。）。これらの方法においては、ある程度の高精細化、金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子の高充填化が可能であるが、低融点ガラスフリットを配合することが必須で、これらを用いたパターンの形成においては、焼成時に発泡し、パターン形状の品位を低下させるなどの問題があり、近年のより高いレベルでの高精細パターン形成の要求に対しては対応が困難である。また、一般的に、低融点ガラスフリットは鉛を含んでいることから、近年の環境問題の観点からも好ましくない。 For high definition, a composition containing a carboxyl group-containing photosensitive polymer or a photopolymerizable monomer capable of pattern formation by a photolithography method has been introduced (for example, see Patent Documents 3 and 4). In these methods, it is possible to achieve a high degree of definition and a high filling of metal fine particles and / or metal oxide fine particles, but it is essential to blend a low melting point glass frit, and pattern formation using these is necessary. However, it is difficult to respond to the recent demand for high-definition pattern formation at a higher level. In general, the low melting point glass frit contains lead, which is not preferable from the viewpoint of environmental problems in recent years.
ガラスフリットを使用しない方策としては、ガラスフリットの代わりにラダー構造を有するオルガノシルセスキオキサンを配合したペーストを用い、パターン形成後、焼成することにより珪素酸化物へ変換する方法が提案されている（例えば、特許文献５参照。)。 As a measure not to use glass frit, a method has been proposed in which a paste containing an organosilsesquioxane having a ladder structure is used instead of glass frit and is converted into silicon oxide by baking after pattern formation. (For example, refer to Patent Document 5).
しかし、先行技術におけるオルガノシルセスキオキサンを用いる方法では、該オルガノシルセスキオキサン自体は感光性を有していないことから、フォトリソグラフィー法に適用するためには、各種の感光性モノマーを多量に配合する必要があり、焼成時に発生する分解ガスの影響によりパターン形状を乱してしまう可能性がある。さらに、該オルガノシルセスキオキサンは無機微粒子の分散安定化能が低く、無機微粒子を高充填するためには、組成物の分散安定性を向上させるために他の分散用樹脂を配合する必要がある。
本発明は、上述したような従来技術が抱える問題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、焼成して得られる焼成物パターン成形物が鉛を含まず、発泡無く、高精細であり、良好な密着性、寸法安定性を有する焼成物パターン成形物を形成することができる無機微粒子分散安定性に優れた感光性組成物を提供することにある。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems of the prior art, and the main object of the present invention is that a fired product pattern molded product obtained by firing does not contain lead, has no foam, and has high definition. Another object of the present invention is to provide a photosensitive composition excellent in inorganic fine particle dispersion stability, which can form a fired product pattern molding having good adhesion and dimensional stability.
発明者は、上記目的の実現に向け鋭意研究した結果、樹脂成分としてアルカリ可溶型のシルセスキオキサンを含有するシルセスキオキサン含有化合物（Ａ）に着目し、遮光性パターン、導電性回路パターン等、用途に合わせた金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子を樹脂溶液中に均一分散させる方法によって、感光性組成物を完成するに至った。 As a result of diligent research aimed at realizing the above object, the inventor has paid attention to a silsesquioxane-containing compound (A) containing an alkali-soluble silsesquioxane as a resin component, and has a light-shielding pattern and a conductive circuit. The photosensitive composition was completed by a method of uniformly dispersing metal fine particles and / or metal oxide fine particles, such as a pattern, in a resin solution.
本発明は、トリアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル酸エステル（１）から導かれる繰り返し単位を含有し、かつアルカリ可溶性の共重合体（２）に、分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有してもよいトリアルコキシシラン化合物（３）を共縮合してなるシルセスキオキサン含有化合物（Ａ）、
金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）、並びに、
光重合開始剤（Ｃ）
を含有する感光性組成物である。
The present invention contains a repeating unit derived from a (meth) acrylic acid ester (1) having a trialkoxysilyl group, and an alkali-soluble copolymer (2) with an ethylenic carbon-carbon double in the molecule. A silsesquioxane-containing compound (A) obtained by co-condensing a trialkoxysilane compound (3) which may have a bond;
Metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B), and
Photopolymerization initiator (C)
It is a photosensitive composition containing this.
本発明は、また、上記感光性組成物により形成した焼成物パターン成形物、それを有するプラズマディスプレイ用部材およびプリント配線板である。 The present invention also provides a fired product pattern molded product formed from the photosensitive composition, a member for a plasma display having the same, and a printed wiring board.
更に本発明によれば、この様な感光性組成物を用いて、フォトリソグラフィーにより形成したパターンを５００℃以上で焼成し、導電性回路パターン、抵抗体パターン、遮光性パターンなどの焼成物パターン成形物が形成される。 Furthermore, according to the present invention, using such a photosensitive composition, a pattern formed by photolithography is baked at 500 ° C. or higher to form a baked product pattern such as a conductive circuit pattern, a resistor pattern, and a light-shielding pattern. Things are formed.
（１）本発明の感光性組成物（以下、本発明の組成物ともいう）は上述の構成により、無機微粒子分散安定性に優れる。
（２）本発明の感光性組成物及び焼成物パターン成形物は上述の構成により、鉛を含まないパターン成形物を与える。
（３）本発明の感光性組成物及び焼成物パターン成形物は上述の構成により、高精細で発泡がなく、微細なパターニング像を与える。
（４）本発明の焼成物パターン成形物は上述の構成により、密着性、焼成前後の寸法安定性を併せ持ち、成形材料、ディスプレイ材料分野に要求される必要性能をそれぞれ充分な水準で満たすことができる。
(1) The photosensitive composition of the present invention (hereinafter also referred to as the composition of the present invention) is excellent in inorganic fine particle dispersion stability due to the above-described configuration.
(2) The photosensitive composition and the fired product pattern molded product of the present invention give a pattern molded product containing no lead by the above-described configuration.
(3) The photosensitive composition and the baked product pattern molding of the present invention give a fine patterning image with high definition and no foaming due to the above-described configuration.
(4) The fired product pattern molded product of the present invention has both adhesiveness and dimensional stability before and after firing, and satisfies the required performance required in the field of molding materials and display materials, respectively, by the above-described configuration. it can.
本発明における上記シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）は、トリアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル酸エステル（１）から導かれる繰り返し単位を含有し、かつアルカリ可溶性の共重合体（２）に、分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有してもよいトリアルコキシシラン化合物（３）を共縮合して得ることが出来る化合物である。 The silsesquioxane-containing compound (A) in the present invention contains a repeating unit derived from a (meth) acrylic acid ester (1) having a trialkoxysilyl group, and an alkali-soluble copolymer (2). The compound can be obtained by co-condensing a trialkoxysilane compound (3) which may have an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule.
アルカリ可溶性の共重合体（２）としては、例えば、単量体成分中に、分子中にトリアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル酸エステル（１）、及び、分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有し、かつアルカリ可溶性の官能基を含有する単量体（４）を含む、共重合体、すなわち、これら単量体成分を共重合してなる共重合体（以下同様）、であり、所望に応じてその他の単量体成分、例えば分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有する単量体（８）などを単量体成分中に含有するものであってよい。 Examples of the alkali-soluble copolymer (2) include (meth) acrylic acid ester (1) having a trialkoxysilyl group in the molecule in the monomer component, and ethylenic carbon-carbon in the molecule. A copolymer containing a monomer (4) having a double bond and containing an alkali-soluble functional group, that is, a copolymer obtained by copolymerizing these monomer components (hereinafter the same); If desired, other monomer components such as a monomer (8) having an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule may be contained in the monomer component.
上記（メタ）アクリル酸エステル（１）としては、例えば、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。これらは１種を使用してもよく又は２種以上を併用してもよい。 Examples of the (meth) acrylic acid ester (1) include 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-acryloxypropyltriethoxysilane. Etc. These may use 1 type or may use 2 or more types together.
上記単量体（４）としては、アルカリ可溶性の官能基として、カルボキシル基、フェノール系水酸基、スルホ基などを含有するものであり、好ましくはカルボキシル基を含有するものである。上記単量体（４）としては、例えば、カルボキシル基を含有するものとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルフタレート、２−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタレート、β−カルボキシエチルアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、エチレンオキサイド変性コハク酸アクリレート等を挙げることができる。これらは１種を使用してもよく又は２種以上を併用してもよい。 The monomer (4) contains a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, a sulfo group or the like as an alkali-soluble functional group, and preferably contains a carboxyl group. Examples of the monomer (4) include those containing a carboxyl group, for example, (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, 2- (meth) acryloyloxyethylhexa Examples thereof include hydrophthalate, β-carboxyethyl acrylate, ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate, ethylene oxide-modified succinic acid acrylate and the like. These may use 1 type or may use 2 or more types together.
上記単量体（８）としては、各種の（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸エステルなどを挙げることができ、またこれらは所望に応じて１種以上の置換基を有していてもよい。上記置換基としては特に限定されず、シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）に付与したい機能に対応する置換基を有することができる。例えば、金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子の分散性を向上させるための置換基をシルセスキオキサン含有化合物（Ａ）に付与することができる官能基、パターニング特性を向上させるための置換基をシルセスキオキサン含有化合物（Ａ）に付与することができる官能基等を選択することができる。 As said monomer (8), various (meth) acrylate, (meth) acrylic acid ester, etc. can be mentioned, These may have 1 or more types of substituents as needed. . It does not specifically limit as said substituent, It can have a substituent corresponding to the function to give to a silsesquioxane containing compound (A). For example, a functional group capable of imparting to the silsesquioxane-containing compound (A) a substituent for improving the dispersibility of the metal fine particles and / or metal oxide fine particles, and a substituent for improving the patterning characteristics. A functional group or the like that can be imparted to the silsesquioxane-containing compound (A) can be selected.
上記単量体（８）としては、具体的には、例えば、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、９−メタクリロキシメチルフルオレン、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、セチルメタクリレート、エチル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、ヘキサフルオロプロピル（メタ）アクリレート、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、イソブチル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ラウロキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレン（メタ）アクリレート、メチルメタクリレート、ペンタメチルピペリジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ステアリール（メタ）アクリレート、イソステアリール（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、テトラメチルピペリジル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジビニルエーテル、オクタデシルビニルエーテル、（メタ）アクリル酸エステル、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリブロモフェニルアクリレート等を挙げることができる。これらは１種を使用してもよく又は２種以上を併用してもよい。 Specific examples of the monomer (8) include dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 9-methacryloxymethylfluorene, butoxy. Ethyl (meth) acrylate, cetyl methacrylate, ethyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, hexafluoropropyl (meth) acrylate, 3-ethyl-3- (meth) acryloxymethyloxetane, 3-methyl-3- ( (Meth) acryloxymethyloxetane, isobutyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, lauroxypolyethylene glycol (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, methoxypolyethylene (meth) acrylate , Methyl methacrylate, pentamethylpiperidyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, isostearyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, tetramethylpiperidyl (meth) acrylate, Examples include behenyl (meth) acrylate, triethylene glycol divinyl ether, octadecyl vinyl ether, (meth) acrylic acid ester, tribromophenyl (meth) acrylate, and EO-modified tribromophenyl acrylate. These may use 1 type or may use 2 or more types together.
アルカリ可溶性の共重合体（２）としては、また、単量体成分中に、上記（メタ）アクリル酸エステル（１）、並びに、分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有し、かつヒドロキシル基及び／またはグリシジル基を含有する単量体（５）を含有する、共重合体（２´）（所望に応じてその他の単量体成分、例えば上記分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有する単量体（８）などを含有するものであってもよい）に、多塩基性カルボン酸（６）またはその無水物（７）を反応させて得られるものであってもよい。 As the alkali-soluble copolymer (2), the (meth) acrylic acid ester (1) in the monomer component, and an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule, and A copolymer (2 ′) containing a monomer (5) containing a hydroxyl group and / or a glycidyl group (if desired, other monomer components such as ethylenic carbon-carbon It may be obtained by reacting a polybasic carboxylic acid (6) or an anhydride (7) thereof with a monomer (8) having a heavy bond). .
上記単量体（５）としては、例えば、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−２−エチルヘキシルオキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、カプロラクトン（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチルビニル（メタ）アクリル酸エステル、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ブタンジオール（メタ）モノアクリレート、エチル−α−（ヒドロキシメチル）（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−アクリロイロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、１，４−シクロヘキサンジメタノール（メタ）モノアクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。これらは１種を使用してもよく又は２種以上を併用してもよい。これらのうち、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−２−エチルヘキシルオキシプロピル（メタ）アクリレート、ブタンジオール（メタ）モノアクリレート、１，４−シクロヘキサンジメタノール（メタ）モノアクリレート、グリシジル（メタ）アクリレートが好ましい。 Examples of the monomer (5) include tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-2-ethylhexyloxypropyl (meth) acrylate, and 2-hydroxybutyl (meth). Acrylate, caprolactone (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxypolypropylene glycol (meth) acrylate, hydroxyethyl vinyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) Acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, butanediol (meth) monoacrylate, ethyl-α- (H Roxymethyl) (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl (meth) acrylate, 3-chloro-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol (meta ) Monoacrylate, glycidyl (meth) acrylate and the like. These may use 1 type or may use 2 or more types together. Among these, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-2-ethylhexyloxypropyl (meth) acrylate, butanediol (meth) monoacrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol (meth) monoacrylate, glycidyl ( (Meth) acrylate is preferred.
上記多塩基性カルボン酸（６）は、ジカルボン酸、テトラカルボン酸などの複数のカルボキシル基を有するカルボン酸であり、このような多塩基性カルボン酸、あるいはその無水物（７）としては、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、グルタル酸などのジカルボン酸およびそれらの無水物；トリメリット酸またはその無水物；ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸などのテトラカルボン酸およびそれらの酸二無水物等を挙げることができる。これらは１種を使用してもよく又は２種以上を併用してもよい。 The polybasic carboxylic acid (6) is a carboxylic acid having a plurality of carboxyl groups such as dicarboxylic acid and tetracarboxylic acid. Examples of such polybasic carboxylic acid or anhydride (7) thereof include: Dicarboxylic acids such as maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, methylhexahydrophthalic acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, glutaric acid and Examples thereof include trimellitic acid or anhydride thereof; tetracarboxylic acids such as pyromellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyl tetracarboxylic acid, biphenyl ether tetracarboxylic acid, and acid dianhydrides thereof. . These may use 1 type or may use 2 or more types together.
アルカリ可溶性の共重合体（２）の作製に必要な共重合は、常法により行うことができ、溶液重合、懸濁重合法、乳化重合法等の公知の方法が可能であるが、取扱の容易さから溶液重合法が好ましい。アルカリ可溶性の共重合体（２）を溶液重合法により製造する場合、まず、上記（メタ）アクリル酸エステル（１）と上記単量体（４）、必要に応じて、上記単量体（８）を混合し、重合開始剤および必要に応じて連鎖移動剤を溶解させ、均一混合液を所定の重合温度で一定時間保持し、アルカリ可溶性の共重合体（２）を得る。 Copolymerization necessary for the preparation of the alkali-soluble copolymer (2) can be carried out by a conventional method, and known methods such as solution polymerization, suspension polymerization, and emulsion polymerization are possible. The solution polymerization method is preferred because of its ease. When the alkali-soluble copolymer (2) is produced by a solution polymerization method, first, the (meth) acrylic acid ester (1) and the monomer (4), and if necessary, the monomer (8 ), The polymerization initiator and, if necessary, the chain transfer agent are dissolved, and the homogeneous mixed solution is maintained at a predetermined polymerization temperature for a predetermined time to obtain an alkali-soluble copolymer (2).
また、共重合体（２´）の作製に必要な共重合は、常法により行うことができ、溶液重合、懸濁重合法、乳化重合法等の公知の方法が可能であるが、取扱の容易さから溶液重合法が好ましい。共重合体（２´）を溶液重合法により製造する場合、まず、上記（メタ）アクリル酸エステル（１）と、上記単量体（５）、必要に応じて、上記単量体（８）を混合し、重合開始剤および必要に応じて連鎖移動剤を溶解させ、均一混合液を所定の重合温度で一定時間保持し、共重合体（２´）を得る。次いで、その得られた共重合体（２´）に多塩基性カルボン酸（６）またはその無水物（７）を反応させることによりアルカリ可溶性である共重合体（２）得ることができる。 In addition, the copolymerization necessary for the production of the copolymer (2 ′) can be carried out by a conventional method, and a known method such as a solution polymerization, a suspension polymerization method or an emulsion polymerization method is possible. The solution polymerization method is preferred because of its ease. When the copolymer (2 ′) is produced by a solution polymerization method, first, the (meth) acrylic acid ester (1), the monomer (5), and, if necessary, the monomer (8). Are mixed, the polymerization initiator and, if necessary, the chain transfer agent are dissolved, and the homogeneous mixed solution is maintained at a predetermined polymerization temperature for a predetermined time to obtain a copolymer (2 ′). Subsequently, the copolymer (2) which is alkali-soluble can be obtained by making the obtained copolymer (2 ') react with a polybasic carboxylic acid (6) or its anhydride (7).
多塩基性カルボン酸（６）またはその無水物（７）は、共重合体（２´）のヒドロキシル基及び／またはグリシジル基の合計１当量（モル）に対して、酸無水物基換算で好ましくは０．３〜１当量、より好ましくは０．４〜１当量の割合で反応に供される。多塩基性カルボン酸（６）またはその無水物（７）が酸無水物基換算で、０．３当量未満では、得られたアルカリ可溶性である共重合体（２）に、分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有するトリアルコキシシラン化合物（３）を共縮合してなるシルセスキオキサン含有化合物（Ａ）のアルカリ可溶性が充分得られない場合がある。上記多塩基性カルボン酸（６）またはその無水物（７）が酸無水物基換算で１当量を超える場合には、未反応の酸あるいは酸無水物が残存し、得られたアルカリ可溶性である共重合体（２）と分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有するトリアルコキシシラン化合物（３）を共縮合してなるシルセスキオキサン含有化合物（Ａ）の現像性が劣る場合がある。 The polybasic carboxylic acid (6) or its anhydride (7) is preferably converted into an acid anhydride group with respect to a total of 1 equivalent (mole) of the hydroxyl group and / or glycidyl group of the copolymer (2 ′). Is supplied to the reaction at a ratio of 0.3 to 1 equivalent, more preferably 0.4 to 1 equivalent. If the polybasic carboxylic acid (6) or its anhydride (7) is less than 0.3 equivalents in terms of an acid anhydride group, the resulting alkali-soluble copolymer (2) has an ethylenic nature in the molecule. In some cases, the alkali-solubility of the silsesquioxane-containing compound (A) obtained by co-condensing the trialkoxysilane compound (3) having a carbon-carbon double bond cannot be sufficiently obtained. When the polybasic carboxylic acid (6) or its anhydride (7) exceeds 1 equivalent in terms of an acid anhydride group, unreacted acid or acid anhydride remains, and the resulting alkali-soluble is obtained. The developability of the silsesquioxane-containing compound (A) obtained by co-condensing the copolymer (2) and a trialkoxysilane compound (3) having an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule may be inferior. .
この際に使用することができる重合開始剤としては、１０時間半減期温度が６０〜１２０℃の範囲内であるものが好ましい。このような重合開始剤としては、例えば、２，２′−アゾビスイソブチロニトリル、２，２′−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２′−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、２，２′−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、２，２′−アゾビス（Ｎ−シアノヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２′−アゾビス−Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド等のアゾ類、１，１，３，３−テトラメチルブチルペルオキシ２−エチルヘキサノエート、１−シクロヘキシル−１−メチルエチルペルオキシ２−エチルヘキサノエート、ｔ−ヘキシルペルオキシ２−エチルヘキサノエート、ｔ−アミルペルオキシ２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルペルオキシ２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルペルオキシイソブチレート、ｔ−ブチルペルオキシマレイン酸、ｔ−アミルペルオキシ３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルペルオキシ３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルペルオキシラウレート、ｔ−ヘキシルペルオキシベンゾエート、ｔ−ブチルペルオキシアセテート、ｔ−ブチルペルオキシｍ−トルオイルベンゾエート、ｔ−ブチルペルオキシベンゾエート等のペルオキシエステル類、ｔ−ヘキシルペルオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ−ブチルペルオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ−ブチルペルオキシ２−エチルヘキシルモノカーボネート等のペルオキシモノカーボネート類、ビス−３，５，５−トリメチルヘキサノイルペルオキシド、オクタノイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド、ステアロイルペルオキシド、コハク酸ペルオキシド、ｍ−トルオイルペルオキシド、ベンゾイルペルオキシド、ｐ−クロロベンゾイルペルオキシド等のジアシルペルオキシド類、ジクミルペルオキシド、ｔ−ブチルクミルペルオキシド等のジアルキルペルオキシド類等が挙げられる。これらは１種を使用してもよく又は２種以上を併用してもよい。 As the polymerization initiator that can be used in this case, those having a 10-hour half-life temperature in the range of 60 to 120 ° C are preferable. Examples of such a polymerization initiator include 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis (2-methylbutyrate). Nitrile), 2,2'-azobis (2-methylpropionate), 2,2'-azobis (N-cyanohexyl-2-methylpropionamide), 2,2'-azobis-N- (2- Azos such as propenyl) -2-methylpropionamide, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy 2-ethylhexanoate, 1-cyclohexyl-1-methylethylperoxy 2-ethylhexanoate, t- Hexyl peroxy 2-ethylhexanoate, t-amyl peroxy 2-ethyl hexanoate, t-butyl peroxy 2-ethyl hexanoate, t-butyl Ruperoxyisobutyrate, t-butylperoxymaleic acid, t-amylperoxy3,5,5-trimethylhexanoate, t-butylperoxy3,5,5-trimethylhexanoate, t-butylperoxylaurate, Peroxyesters such as t-hexylperoxybenzoate, t-butylperoxyacetate, t-butylperoxym-toluoylbenzoate, t-butylperoxybenzoate, t-hexylperoxyisopropylmonocarbonate, t-butylperoxyisopropylmonocarbonate, t -Peroxymonocarbonates such as butylperoxy 2-ethylhexyl monocarbonate, bis-3,5,5-trimethylhexanoyl peroxide, octanoyl peroxide, lauroylpe Oxide, stearoyl peroxide, succinic acid peroxide, m- toluoyl peroxide, benzoyl peroxide, p- diacyl peroxides such chlorobenzoyl peroxide and the like, dicumyl peroxide, etc. dialkyl peroxides such as t- butyl cumyl peroxide. These may use 1 type or may use 2 or more types together.
アルカリ可溶性の共重合体（２）中の上記（メタ）アクリル酸エステル（１）の配合量は、５〜９５モル％であることが好ましい。上記（メタ）アクリル酸エステル（１）の配合量が上記範囲であると、シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）の耐熱性、透明性、機械的強度の点で有利である。より好ましくは５〜５０モル％である。 The blending amount of the (meth) acrylic acid ester (1) in the alkali-soluble copolymer (2) is preferably 5 to 95 mol%. When the blending amount of the (meth) acrylic acid ester (1) is in the above range, it is advantageous in terms of heat resistance, transparency, and mechanical strength of the silsesquioxane-containing compound (A). More preferably, it is 5-50 mol%.
また、アルカリ可溶性の共重合体（２）中の上記単量体（４）の配合量は、カルボン酸含有単量体の場合が５〜９５モル％が好ましく、より好ましくは１０〜３０モル％であり、また、フェノール系水酸基、スルホ基などを含有するものの場合が５〜９５モル％が好ましく、より好ましくは１０〜３０モル％である。また、その他の単量体（８）が０〜８０モル％であることが好ましい。 Further, the blending amount of the monomer (4) in the alkali-soluble copolymer (2) is preferably 5 to 95 mol%, more preferably 10 to 30 mol% in the case of the carboxylic acid-containing monomer. Moreover, in the case of what contains a phenolic hydroxyl group, a sulfo group, etc., 5-95 mol% is preferable, More preferably, it is 10-30 mol%. Moreover, it is preferable that another monomer (8) is 0-80 mol%.
アルカリ可溶性の共重合体（２）の重量平均分子量は１０００〜５００００であることが好ましい。重量平均分子量が５００００を超えると、分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有していてもよいトリアルコキシシラン化合物（３）との共縮合反応でゲル化する可能性が大きくなり、逆に１０００より小さいとシルセスキオキサン含有化合物の現像速度が速すぎる等、アルカリ溶解度制御が困難となり、十分な解像度が得られない傾向がある。より好ましくは４０００〜４００００であり、更に好ましくは７０００〜３００００である。なお、重量平均分子量は、ＧＰＣ法（分子量マーカー：ポリスチレンスタンダード）による（以下、同様。）。 The weight average molecular weight of the alkali-soluble copolymer (2) is preferably 1000 to 50000. When the weight average molecular weight exceeds 50,000, the possibility of gelation by a co-condensation reaction with a trialkoxysilane compound (3) which may have an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule increases. On the other hand, if it is less than 1000, the development rate of the silsesquioxane-containing compound is too high, and it becomes difficult to control the alkali solubility, and there is a tendency that sufficient resolution cannot be obtained. More preferably, it is 4000-40000, More preferably, it is 7000-30000. The weight average molecular weight is based on the GPC method (molecular weight marker: polystyrene standard) (the same applies hereinafter).
この得られたアルカリ可溶性である共重合体（２）に、上記分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有してもよいトリアルコキシシラン化合物（３）を溶解させ、所定の縮合温度で一定時間保持して共縮合を完結させ、シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）を得ることができる。 In this obtained alkali-soluble copolymer (2), the trialkoxysilane compound (3), which may have an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule, is dissolved, and at a predetermined condensation temperature. Holding for a certain period of time completes the co-condensation, whereby the silsesquioxane-containing compound (A) can be obtained.
上記トリアルコキシシラン化合物（３）としては、分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有するトリアルコキシシラン化合物及び分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有していないトリアルコキシシラン化合物が含まれる。分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有するトリアルコキシシラン化合物としては、例えば、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の（メタ）アクリロキシトリアルコキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、アリルトリメトキシシラン、ｐ−スチリルトリメトキシシラン等を挙げることができる。これらは１種を使用してもよく又は２種以上を併用してもよい。これらのうち、（メタ）アクリロキシトリアルコキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、又は、ｐ−スチリルトリメトキシシランが好ましい。 The trialkoxysilane compound (3) includes a trialkoxysilane compound having an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule and a trialkoxysilane compound having no ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule. included. Examples of trialkoxysilane compounds having an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule include 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, and 3-acryloxypropyltrimethoxysilane. (Meth) acryloxytrialkoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltriisopropoxysilane, allyltrimethoxysilane, p-styryltrimethoxysilane and the like. These may use 1 type or may use 2 or more types together. Of these, (meth) acryloxytrialkoxysilane, vinyltrimethoxysilane, or p-styryltrimethoxysilane is preferred.
分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有していないトリアルコキシシラン化合物としては、例えば、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、２−（３，４エポキシ）シクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−２（アミノエチル）３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のアルキル、アリール系官能基からなる単量体等が挙げられ、少なくとも一種類以上選択して用いることが出来る。 Examples of trialkoxysilane compounds having no ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule include phenyltrimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, 2- (3,4 epoxy) cyclohexylethyltrimethoxysilane, 3 -Glycidoxypropyltriethoxysilane, N-2 (aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1 , 3-Dimethyl-butylidene) propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatopropyl G Alkyl, such as silane, aryl systems consist functional group monomer, and the like, can be selected and used at least one or more.
アルカリ可溶の共重合体（２）と上記トリアルコキシシラン化合物（３）との共縮合は、常法により行うことができ、酸性触媒存在下にアルコキシシリル基は加水分解され、シラノール基の脱水縮合反応によりシロキサン結合が形成される。 The co-condensation of the alkali-soluble copolymer (2) and the trialkoxysilane compound (3) can be carried out by a conventional method. The alkoxysilyl group is hydrolyzed in the presence of an acidic catalyst, and the silanol group is dehydrated. Siloxane bonds are formed by the condensation reaction.
上記酸性触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、酢酸、リン酸、ホウ酸、トリフルオロ酢酸、トリフルオロメタンスルフォン酸、Ｐ−トルエンスルホン酸などが挙げられる。また、テトラブチルアンモニウムフルオライド、フッ化カリウム、フッ化ナトリウムなどのフッ素系化合物なども用いることができる。その配合量は、０．０１〜０．１重量％が好ましい。 Examples of the acidic catalyst include hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, acetic acid, phosphoric acid, boric acid, trifluoroacetic acid, trifluoromethanesulfonic acid, P-toluenesulfonic acid, and the like. In addition, fluorine-based compounds such as tetrabutylammonium fluoride, potassium fluoride, and sodium fluoride can also be used. The blending amount is preferably 0.01 to 0.1% by weight.
共縮合反応の反応温度は４０〜８０℃であり、反応時間は３〜１２時間が好ましい。 The reaction temperature of the cocondensation reaction is 40 to 80 ° C., and the reaction time is preferably 3 to 12 hours.
本発明のシルセスキオキサン含有化合物（Ａ）の製造方法は、上述のとおり、初めにアクリル系モノマーの共重合を行い、次に、アルコキシシリル基の加水分解・脱水縮合による共縮合を行うので、（ｉ）目的化合物に炭素−炭素二重結合を容易に導入することができ、（ｉｉ）共重合モノマーに各種置換基を有するものを使用することにより目的化合物に所望の特性を付与することが容易にできることから、目的化合物の設計の自由度が極めて大きい製造方法である。例えば、分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有する単量体（８）としては、金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子の分散安定性をアルカリ可溶性の共重合体（２）に付与することができる官能基を置換基として有する分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有する単量体（８−１）を使用することにより、シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）にアルカリ可溶性と分散安定性を付与することができ、さらに、分子中にエチレン性炭素−炭素二重結合を有するトリアルコキシシラン化合物（３′）を共縮合することにより、光重合性を目的化合物に付与することができる。このようなアルカリ可溶性のシルセスキオキサン含有化合物は、ネガ型感放射線性樹脂組成物として好適に使用することができる。さらにまた、トリアルコキシシラン化合物（３）として、上述したアルキル、アリール系官能基からなる単量体を使用すれば、ポジ型感放射線性樹脂組成物として好適に使用することができる。 As described above, the production method of the silsesquioxane-containing compound (A) of the present invention first performs copolymerization of acrylic monomers, and then performs cocondensation by hydrolysis / dehydration condensation of alkoxysilyl groups. (I) A carbon-carbon double bond can be easily introduced into the target compound, and (ii) a desired property is imparted to the target compound by using a copolymer monomer having various substituents. Therefore, it is a production method with a great degree of freedom in designing the target compound. For example, as the monomer (8) having an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule, the dispersion stability of the metal fine particles and / or metal oxide fine particles is imparted to the alkali-soluble copolymer (2). By using the monomer (8-1) having an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule having a functional group as a substituent, the compound can be alkali-soluble in the silsesquioxane-containing compound (A). Dispersion stability can be imparted, and photopolymerizability is imparted to the target compound by co-condensing a trialkoxysilane compound (3 ′) having an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule. Can do. Such an alkali-soluble silsesquioxane-containing compound can be suitably used as a negative radiation-sensitive resin composition. Furthermore, if the monomer which consists of the alkyl and aryl type functional group mentioned above is used as a trialkoxysilane compound (3), it can be conveniently used as a positive radiation sensitive resin composition.
本発明におけるシルセスキオキサン含有化合物（Ａ）の重量平均分子量は５０００〜２００００であることが好ましい。重量平均分子量が５０００未満であると、薄膜形成後のタックの原因となることがあり、２００００を超えると粘度が高くなり、コーティングすることが困難になる可能性がある。より好ましくは７０００〜１７０００である。 It is preferable that the weight average molecular weights of the silsesquioxane containing compound (A) in this invention are 5000-20000. If the weight average molecular weight is less than 5,000, it may cause a tack after the thin film is formed, and if it exceeds 20,000, the viscosity may be increased and coating may be difficult. More preferably, it is 7000-17000.
本発明において、上記シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）は、光重合開始剤（Ｃ）により光重合して架橋物を形成して硬化するのであるが、この硬化は、例えば、光ラジカル硬化、光カチオン硬化、等であってよく、これらのうち、光ラジカル硬化が好ましい。光ラジカル硬化は、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基等に適用される。なお、本発明において、感光性組成物、というときは、光、電子線、Ｘ線等の活性エネルギー線により硬化する組成物であることを意味するものとする。 In the present invention, the silsesquioxane-containing compound (A) is cured by photopolymerization with a photopolymerization initiator (C) to form a cross-linked product. It may be photocationic curing, etc. Of these, photoradical curing is preferred. Photoradical curing is applied to (meth) acryloyl groups, vinyl groups, and the like, for example. In the present invention, the term “photosensitive composition” means a composition that is cured by active energy rays such as light, electron beam, and X-ray.
上記光ラジカル硬化には、光、電子線、Ｘ線等の活性エネルギー線を照射されることによってラジカル等を発生するラジカル重合開始剤（Ｃ−１）を使用することができる。 For the radical photocuring, a radical polymerization initiator (C-1) that generates radicals and the like when irradiated with active energy rays such as light, electron beam, and X-ray can be used.
ラジカル重合開始剤（Ｃ−１）としては、例えば、アセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノ−プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、ｐ，ｐ−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４′−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、ベンジルジメチルケタール等のケタール類、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン等のアントラキノン類、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、２，４，６−トリス−Ｓ−トリアジン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、１，２−オクタンジオン，１−[４−（フェニルチオ）−２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）]、エタノン、１−[９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−９−イル]−１−（ｏ−アセチルオキシム）等を単独でまた２種以上を組み合わせて使用して行うことができる。 Examples of the radical polymerization initiator (C-1) include acetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio). Acetophenones such as phenyl] -2-morpholino-propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p, p- Benzophenones such as bisdimethylaminobenzophenone, p, p-bisdiethylaminobenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl dimethyl Ketals such as luketal, anthraquinones such as thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4,5-triarylimidazole dimer, 2,4,6-tris-S-triazine, 2 , 4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) -2- (o-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2 -Methylbenzoyl) -9H-carbazol-9-yl] -1- (o-acetyloxime) or the like can be used alone or in combination of two or more.
ラジカル重合開始剤（Ｃ−１）の使用量は、シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）の固形分を１００重量部とした時、好ましくは０．５〜１５重量部であり、更に好ましくは３〜１０重量部である。 The amount of the radical polymerization initiator (C-1) used is preferably 0.5 to 15 parts by weight, more preferably 3 when the solid content of the silsesquioxane-containing compound (A) is 100 parts by weight. -10 parts by weight.
上記光カチオン硬化には、光、電子線、Ｘ線等の活性エネルギー線を照射されることによってカチオン等を発生する光カチオン重合開始剤（Ｃ−２）を使用することができる。 In the photocationic curing, a photocationic polymerization initiator (C-2) that generates cations when irradiated with active energy rays such as light, electron beam, and X-ray can be used.
光カチオン重合開始剤（Ｃ−２）としては、例えば、（９−オキソ９Ｈ−キサンテン−２−イル）フェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス[４−ｎ−アルキル（Ｃ１０〜１３）フェニル]ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビシクロ[２，２，１]ヘプタン−１−メタンスルフォネート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロスルホネート、トリフェニルスルホニウムビシクロ[２，２，１]ヘプタン−１−メタンスルフォネート、(９−オキソ９Ｈ−キサンテン−２−イル)フェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリアリルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート等を単独でまた２種以上を組み合わせて使用して行うことができる。 Examples of the cationic photopolymerization initiator (C-2) include (9-oxo-9H-xanthen-2-yl) phenyliodonium hexafluorophosphate, bis [4-n-alkyl (C10-13) phenyl] iodonium hexafluoro. Phosphate, bicyclo [2,2,1] heptane-1-methanesulfonate, triphenylsulfonium trifluorosulfonate, triphenylsulfonium bicyclo [2,2,1] heptane-1-methanesulfonate, (9-oxo 9H-xanthen-2-yl) phenylsulfonium hexafluorophosphate, triallylsulfonium hexafluorophosphate, etc. can be used alone or in combination of two or more.
光カチオン重合開始剤（Ｃ−２）の使用量は、シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）の固形分を１００重量部とした時、好ましくは０．５〜１５重量部であり、更に好ましくは３〜１０重量部である。 The amount of the photocationic polymerization initiator (C-2) used is preferably 0.5 to 15 parts by weight, more preferably 100 parts by weight based on the solid content of the silsesquioxane-containing compound (A). 3 to 10 parts by weight.
本発明において、金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）は、感光性組成物に、例えば、導電性、遮光性、絶縁性（抵抗性）等を付与する。本発明の組成物が導電性の感光性組成物である場合の金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）としては、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム（Ｐｄ）錫（Ｓｎ）、ビスマス（Ｂｉ）、亜鉛（Ｚｎ）酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）、酸化アンチモン錫（ＡＴＯ）、酸化銅（ＣｕＯ）、酸化銀（Ａｇ２Ｏ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ニッケル（ＮｉＯ２）、及び、酸化錫（ＳｎＯ２）からなる群から選択される少なくとも１種の金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子でありうる。 In the present invention, the metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B) impart, for example, conductivity, light shielding properties, insulation properties (resistance) and the like to the photosensitive composition. As the metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B) when the composition of the present invention is a conductive photosensitive composition, gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), copper (Cu ), Nickel (Ni), palladium (Pd) tin (Sn), bismuth (Bi), zinc (Zn) indium tin oxide (ITO), indium oxide (In 2 O 3 ), antimony tin oxide (ATO), copper oxide (CuO), silver oxide (Ag 2 O), zinc oxide (ZnO), nickel oxide (NiO 2 ), and at least one metal fine particle and / or metal selected from the group consisting of tin oxide (SnO 2 ) It may be oxide fine particles.
また、本発明の組成物が遮光性の感光性組成物である場合の金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）としては、酸化鉄（Ｆｅ３Ｏ４）、酸化コバルト（Ｃｏ３Ｏ４）、酸化銅（ＣｕＯ）、酸化クロム（ＣｒＯ２）、酸化マンガン（Ｍｎ３Ｏ４）及び酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）からなる群から選択される少なくとも１種の金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子でありうる。 Further, when the composition of the present invention is a light-shielding photosensitive composition, the metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B) include iron oxide (Fe 3 O 4 ) and cobalt oxide (Co 3 O 4). ), Copper oxide (CuO), chromium oxide (CrO 2 ), manganese oxide (Mn 3 O 4 ), and aluminum oxide (Al 2 O 3 ), at least one metal fine particle and / or metal oxide It can be a fine particle.
また、本発明の組成物が絶縁性の感光性組成物である場合の金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）としては、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、及びシリカ（ＳｉＯ２）からなる群から選択される少なくとも１種の金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子でありうる。 Further, when the composition of the present invention is an insulating photosensitive composition, the metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B) include zirconium oxide (ZrO 2 ), hafnium oxide (HfO 2 ), yttrium oxide. It may be at least one metal fine particle and / or metal oxide fine particle selected from the group consisting of (Y 2 O 3 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), and silica (SiO 2 ).
上記金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）の態様としては特に限定されず、例えば、微粒子粉体、ペースト又はゾルであってよい。好ましくはゾルである。 The embodiment of the metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B) is not particularly limited, and may be fine particle powder, paste, or sol, for example. A sol is preferable.
また、上記金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）は、本発明の組成物中において均一に分散しているのであるが、その平均一次粒子径は、３００ｎｍ以下であることが好ましく、更に好ましくは１００ｎｍ以下である。 The metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B) are uniformly dispersed in the composition of the present invention, and the average primary particle diameter is preferably 300 nm or less. Preferably it is 100 nm or less.
本発明の組成物においては、上記シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）１００重量部に対して上記金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）を３０〜２００重量部含有することが好ましい。金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）の配合量が３０重量部未満であると、例えば導電性の感光性組成物である場合は、焼成して得られる導電性パターン成形物の導電性が充分でない可能性があり、例えば遮光性の感光性組成物である場合は、焼成して得られるパターン成形物の遮光性が充分でない可能性がある。また、２００重量部を超えると、高精細な焼成物パターン成形物が得られない可能性がある。より好ましくは５０〜１８０重量部であり、更に好ましくは８０〜１５０重量部である。 The composition of the present invention preferably contains 30 to 200 parts by weight of the metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B) with respect to 100 parts by weight of the silsesquioxane-containing compound (A). When the compounding amount of the metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B) is less than 30 parts by weight, for example, in the case of a conductive photosensitive composition, the conductivity of the conductive pattern molded product obtained by firing. For example, in the case of a light-shielding photosensitive composition, the light-shielding property of the pattern molded product obtained by baking may not be sufficient. Moreover, when it exceeds 200 weight part, there is a possibility that a high-definition fired product pattern molding cannot be obtained. More preferably, it is 50-180 weight part, More preferably, it is 80-150 weight part.
本発明の組成物は、上記シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）、金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）等の成分を添加して得ることができる。また、本発明の組成物には、本発明の目的を阻害しないかぎり、その他の各種の添加剤を配合することができ、例えば、組成物の粘度を調整するための希釈剤、固形分濃度を調整する有機溶剤、密着性を更に向上させるためのシランカップリング剤、金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子の分散安定性を更に向上させるために分散安定剤等が挙げられる。 The composition of the present invention can be obtained by adding components such as the silsesquioxane-containing compound (A), metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B), and photopolymerization initiator (C). In addition, various other additives can be added to the composition of the present invention as long as the object of the present invention is not impaired. For example, a diluent for adjusting the viscosity of the composition, a solid content concentration Examples thereof include an organic solvent to be adjusted, a silane coupling agent for further improving adhesion, and a dispersion stabilizer for further improving the dispersion stability of metal fine particles and / or metal oxide fine particles.
上記希釈剤としては、光ラジカル重合性モノマー等の反応希釈剤が挙げられる。上記光ラジカル重合性モノマーとしては、（メタ）アクリロイル、ビニル基等のラジカル重合可能な官能基を少なくとも一種類以上含む化合物を使用すること出来る。例えば、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンテニルジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性燐酸ジ（メタ）アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、イソシアヌレートジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これら反応性希釈剤は単独で使用できる他、２種以上を混合しても使用することができる。 As said diluent, reaction diluents, such as radical photopolymerizable monomer, are mentioned. As the photoradical polymerizable monomer, a compound containing at least one functional group capable of radical polymerization such as (meth) acryloyl and vinyl groups can be used. For example, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol adipate di (meta) ) Acrylate, hydroxypivalate neopentyl glycol di (meth) acrylate, dicyclopentanyl di (meth) acrylate, caprolactone-modified dicyclopentenyl di (meth) acrylate, ethylene oxide-modified phosphoric acid di (meth) acrylate, allylated cyclohexyldi (Meth) acrylate, isocyanurate di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, propionic acid modified Pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, propylene oxide modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (acryloxyethyl) isocyanurate, propionic acid modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate, di Examples include pentaerythritol hexa (meth) acrylate and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. These reactive diluents can be used alone or in admixture of two or more.
上記反応性希釈の配合量は、シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）と上記光重合開始剤（Ｃ）との合計１００重量部に対して、通常５〜６０重量部、好ましくは１０〜３０重量部である。６０重量部を超えると、硬化速度は大幅に低下する。 The compounding amount of the reactive dilution is usually 5 to 60 parts by weight, preferably 10 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the silsesquioxane-containing compound (A) and the photopolymerization initiator (C). Part. If it exceeds 60 parts by weight, the curing rate is significantly reduced.
上記有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノールなどのアルコール類；テトラヒドロフランなどのエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルなどのグリコールエーテル類；メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、３−メトキシブチル−１−アセテートなどのアルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノンなどのケトン類；ならびに２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルブタン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチルなどのエステル類を挙げることができる。これらの溶剤は１種を単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。 Examples of the organic solvent include alcohols such as methanol and ethanol; ethers such as tetrahydrofuran; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, and diethylene glycol monoethyl ether. Glycol ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether; alkylene glycols such as methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, propylene glycol methyl ether acetate, 3-methoxybutyl-1-acetate Monoalkyl ether acetates; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; ketones such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl amyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone; and 2-hydroxypropion Ethyl acetate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, methyl 2-hydroxy-2-methylbutanoate, methyl 3-methoxypropionate, Mention may be made of esters such as ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl acetate, butyl acetate, methyl lactate and ethyl lactate. These solvents may be used alone or in a combination of two or more.
上記分散安定剤としては、金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子との錯体化あるいは塩形成などの効果のある化合物を、安定化剤として添加することが好ましい。上記安定化剤としては、例えば、マロン酸、アジピン酸、ギ酸、酢酸、アセト酢酸、クエン酸、ステアリン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸等の各種有機酸やリン酸、亜リン酸、次亜リン酸、リン酸メチル、リン酸エチル、リン酸ブチル、リン酸フェニル、亜リン酸エチル、亜リン酸ジフェニル、モノ（２−メタクリロイルオキシエチル）アシッドホスフェート等の各種リン酸化合物（無機リン酸、有機リン酸）、ほう酸などの酸が挙げることができる。これらの分散安定剤は１種を単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。上記分散安定剤は、金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）１００重量部当り０．１〜１０重量部の割合で添加することが好ましい。また、上記分散安定剤の配合量は、シルセスキオキサン含有化合物（Ａ）１００重量部に対して、通常０．５〜２０重量部、より好ましくは１〜１０重量部である。２０重量部を超えると、解像度は大幅に低下する。 As the dispersion stabilizer, it is preferable to add a compound having an effect of complexing with metal fine particles and / or metal oxide fine particles or forming a salt as a stabilizer. Examples of the stabilizing agent include various organic acids such as malonic acid, adipic acid, formic acid, acetic acid, acetoacetic acid, citric acid, stearic acid, maleic acid, fumaric acid, and phthalic acid, phosphoric acid, phosphorous acid, and the following. Various phosphoric acid compounds (inorganic phosphoric acid) such as phosphorous acid, methyl phosphate, ethyl phosphate, butyl phosphate, phenyl phosphate, ethyl phosphite, diphenyl phosphite, mono (2-methacryloyloxyethyl) acid phosphate , Organic phosphoric acid), and acids such as boric acid. These dispersion stabilizers may be used alone or in a combination of two or more. The dispersion stabilizer is preferably added at a ratio of 0.1 to 10 parts by weight per 100 parts by weight of the metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B). Moreover, the compounding quantity of the said dispersion stabilizer is 0.5-20 weight part normally with respect to 100 weight part of silsesquioxane containing compounds (A), More preferably, it is 1-10 weight part. If it exceeds 20 parts by weight, the resolution is greatly reduced.
上記シランカップリング剤としては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等が挙げられる。 Examples of the silane coupling agent include γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, β- (3, 4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane and the like.
本発明の組成物は、固形分濃度が２０〜７０重量％となるように上記有機溶剤を用いて調製することが、塗布性の観点から好ましい。 It is preferable from the viewpoint of applicability that the composition of the present invention is prepared using the organic solvent so that the solid content concentration is 20 to 70% by weight.
本発明の組成物を適用する基材としては、例えば、ガラス、樹脂等の素材からなる各種形状の基材が挙げられる。本発明の組成物を、これらの基材に公知の各種の方法（例えば、ロールコート、カーテンフローコート、グラビアコート、ブレードコート、ディップコート等）により、乾燥膜厚を、例えば、０．１〜１０μｍ程度になるように塗布し、必要に応じて、溶剤を乾燥除去し、次いで、塗膜を硬化させてコーティング膜を形成させる。 Examples of the substrate to which the composition of the present invention is applied include substrates of various shapes made of materials such as glass and resin. The composition according to the present invention can be applied to these substrates by various known methods (for example, roll coating, curtain flow coating, gravure coating, blade coating, dip coating, etc.), and the dry film thickness can be set to The coating is applied to a thickness of about 10 μm, and if necessary, the solvent is removed by drying. Then, the coating film is cured to form a coating film.
本発明の組成物は、フォトリソグラフィーによりパターン形成を行うことができる。フォトリソグラフィーにおける露光工程としては、所定の露光パターンを有するネガマスクを用いたコンタクト露光及びプロキシ露光が可能である。露光光源としては、紫外線（高圧水銀灯、超高圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、ブラックライト、メタルハライドランプ、レーザー光等）、電子線等の電離放射線を照射（照射光量は、例えば、１００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２；照射時間は、例えば、数秒〜数時間程度；照射時の温度は、例えば、室温〜１００℃程度。）することが通常行われている。 The composition of the present invention can be patterned by photolithography. As an exposure process in photolithography, contact exposure and proxy exposure using a negative mask having a predetermined exposure pattern are possible. As an exposure light source, ultraviolet rays (high-pressure mercury lamp, ultra-high pressure mercury lamp, low-pressure mercury lamp, carbon arc, black light, metal halide lamp, laser light, etc.), irradiation with ionizing radiation such as an electron beam (irradiation light quantity is, for example, 100 to 2000 mJ / cm 2 ; Irradiation time is usually, for example, about several seconds to several hours; the temperature during irradiation is, for example, about room temperature to about 100 ° C.).
フォトリソグラフィーにおける現像工程としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法などが用いられる。現像液としては、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどの無機アルカリ類、及びテトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシドなどの有機アルカリ類などの水溶液を挙げることができる。また、上記アルカリ水溶液にメタノール、エタノール、界面活性剤などを適当量添加して用いることもできる。現像時間は通常３０〜２４０秒であり、現像後、流水でリンスし、乾燥させることによりパターンを形成することができる。 As a developing step in photolithography, a dipping method, a shower method, a spray method, or the like is used. Examples of the developer include aqueous solutions of inorganic alkalis such as sodium carbonate, sodium hydroxide, and potassium hydroxide, and organic alkalis such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide. Further, an appropriate amount of methanol, ethanol, surfactant or the like can be added to the alkaline aqueous solution. The development time is usually 30 to 240 seconds. After development, the pattern can be formed by rinsing with running water and drying.
本発明の組成物は、フォトリソグラフィーによりパターン形成をした後、焼成して焼成物パターン成形物を得ることができる。焼成工程においては、現像後の基板を空気中又は窒素雰囲気下で５００℃以上、例えば、約５００〜７００℃の加熱処理を行ない、所望の焼成物パターン成形物を形成する。 The composition of the present invention can be baked after pattern formation by photolithography to obtain a fired product pattern molding. In the baking step, the substrate after development is subjected to a heat treatment at 500 ° C. or higher, for example, about 500 to 700 ° C. in air or in a nitrogen atmosphere to form a desired fired product pattern molding.
かくして本発明の組成物により作成した焼成物パターン成形物を有するプラズマパネルディスプレイ用部材、プリント配線板などを得ることができる。 Thus, it is possible to obtain a member for a plasma panel display, a printed wiring board and the like having a fired product pattern molded product prepared from the composition of the present invention.
上記プラズマパネルディスプレイ用部材としては、例えば、導電性の焼成物パターン成形物であればディスプレイ全面基板の透明電極、バス電極、背面基板のアドレス電極等を、遮光性のパターン成形物であればブラックマトリックス等を挙げることができる。 Examples of the member for the plasma panel display include a transparent electrode, a bus electrode, and an address electrode on the rear substrate of the display full surface substrate in the case of a conductive fired pattern molded product, and black in the case of a light shielding pattern molded product. A matrix etc. can be mentioned.
上記プリント配線板としては、例えば、絶縁性の焼成物パターン成形物であれば抵抗器、絶縁性保護皮膜等を挙げることができる。 As said printed wiring board, a resistor, an insulating protective film, etc. can be mentioned, for example, if it is an insulating baked product pattern molding.
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、以下の記載は専ら説明のためであって、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further more concretely, the following description is only for description and the present invention is not limited to these Examples.
合成例１
アルカリ可溶性シルセスキオキサン含有化合物Ａ−１の合成
２−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタレート６．１ｇ、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン４．７ｇ、ベンジルメタクリレート２０．０ｇ、２，２′−アゾビスイソブチロニトリル１．３ｇ、トルエン１３７ｇを攪拌機、冷却管、窒素導入管及び温度計付きフラスコに仕込み、３０分間窒素パージした後、フラスコを油浴に浸し、内温８０℃で５時間重合反応を行った。その後、室温まで冷却し、共重合体溶液を得た。さらに、得られた共重合体溶液１００ｇ、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン１２．９ｇ、メチルトリメトキシシラン７．１ｇ、イソプロピルアルコール３０ｇを攪拌機、冷却管、滴下漏斗及び温度計付きフラスコに仕込み、蒸留水５ｇ、３６％塩酸０．３ｇ、イソプロピルアルコール５ｇを合わせた水溶液を内温７０℃で３０分間滴下し、反応を３時間行った。室温まで冷却後、希炭酸水素ナトリウム水溶液を５０ｇ仕込み、１５分間攪拌して中和した。これを濃縮し、アルカリ可溶性シルセスキオキサン含有化合物Ａ−１の４６．４ｇを得た。得られた樹脂の重量平均分子量（以下Ｍｗ）は１２３００であった。
Synthesis example 1
Synthesis of alkali-soluble silsesquioxane-containing compound A-1 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalate 6.1 g, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 4.7 g, benzyl methacrylate 20.0 g, 2,2'-azo Charge 1.3 g of bisisobutyronitrile and 137 g of toluene into a flask equipped with a stirrer, cooling tube, nitrogen inlet tube and thermometer, purge with nitrogen for 30 minutes, then immerse the flask in an oil bath and polymerize at an internal temperature of 80 ° C. for 5 hours. Reaction was performed. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution. Further, 100 g of the obtained copolymer solution, 12.9 g of 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 7.1 g of methyltrimethoxysilane, and 30 g of isopropyl alcohol were charged into a stirrer, a condenser, a dropping funnel and a flask with a thermometer, An aqueous solution containing 5 g of distilled water, 0.3 g of 36% hydrochloric acid and 5 g of isopropyl alcohol was added dropwise at an internal temperature of 70 ° C. for 30 minutes, and the reaction was carried out for 3 hours. After cooling to room temperature, 50 g of dilute aqueous sodium hydrogen carbonate solution was charged and neutralized by stirring for 15 minutes. This was concentrated to obtain 46.4 g of alkali-soluble silsesquioxane-containing compound A-1. The weight average molecular weight (hereinafter referred to as Mw) of the obtained resin was 12300.
比較合成例１
シルセスキオキサン化合物（ＳＱ−１）の合成
攪拌器および温度計を備えた反応器に、メチルイソブチルケトン２，３００ｇ、水酸化テトラメチルアンモニウム（以下、「Ｍｅ４ＮＯＨ」とも表す）の２０％水溶液１６４ｇ（Ｈ２Ｏ；７．３ｍｏｌ、Ｍｅ４ＮＯＨ；０．３６ｍｏｌ）、脱イオン水３０４ｇ（２４ｍｏｌ）を仕込んだ後、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン６５６ｇ（２．８ｍｏｌ）とフェニルトリメトキシシラン１，６５１ｇ（８．３ｍｏｌ）との混合物を滴下漏斗にて約１時間かけて徐々に加え、５０〜５５℃で攪拌した。反応の進行をゲルパーミエーションクロマトグラフィにより追跡し、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランがほぼ消滅した時点（滴下終了後約２．５時間）で反応を終了させた。反応終了後系内にメチルイソブチルケトン２，３００ｇを加え、水で水層が中性になるまで洗浄した。その後、減圧下でメチルイソブチルケトンを留去させ、目的のシルセスキオキサン化合物（ＳＱ−１）１，４８９ｇ（透明粘ちょう液体、重量平均分子量約５，０００、エポキシ当量５，０００）を得た。
Comparative Synthesis Example 1
Synthesis of Silsesquioxane Compound (SQ-1) In a reactor equipped with a stirrer and a thermometer, 2,300 g of methyl isobutyl ketone, 20% of tetramethylammonium hydroxide (hereinafter also referred to as “Me 4 NOH”) After charging 164 g of aqueous solution (H 2 O; 7.3 mol, Me 4 NOH; 0.36 mol) and 304 g (24 mol) of deionized water, 656 g (2.8 mol) of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane and phenyltri A mixture of 1,651 g (8.3 mol) of methoxysilane was gradually added with a dropping funnel over about 1 hour, and the mixture was stirred at 50 to 55 ° C. The progress of the reaction was followed by gel permeation chromatography, and the reaction was terminated when 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane almost disappeared (about 2.5 hours after the completion of dropping). After completion of the reaction, 2,300 g of methyl isobutyl ketone was added to the system and washed with water until the aqueous layer became neutral. Thereafter, methyl isobutyl ketone was distilled off under reduced pressure to obtain 1,489 g of the desired silsesquioxane compound (SQ-1) (transparent viscous liquid, weight average molecular weight of about 5,000, epoxy equivalent of 5,000). It was.
比較合成例２
アルカリ可溶型放射線重合性不飽和樹脂（ＡＣ−１）の合成
１０００ｍｌ四つ口フラスコ中に、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂ＥＯＣＮ-１０２Ｓ（日本化薬株式会社 製）２１５ｇ（エポキシ当量２１５ｇ／ｅｑ）、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド５００ｍｇ、２，６−ジイソブチルフェノール５０ｍｇ、およびアクリル酸７２ｇを仕込み、これに１０ｍＬ／分の速度で空気を吹き込みながら９０〜１００℃で加熱溶解した。次に、これを徐々に１２０℃まで昇温させた。溶液は透明粘稠となったがそのまま攪拌を継続した。この間、酸価を測定し、１．０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満になるまで加熱攪拌を続けた。酸価が目標に達するまで１７時間を要した。酸価が目標値に達した時点で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を３８０ｇ仕込み、反応物を完全に溶解した後、テトラヒドロ無水フタル酸（ＴＨＰＡ）１０６ｇおよび臭化テトラエチルアンモニウム０．１ｇを混合した。これに１０ｍＬ／分の速度で空気を吹き込みながら徐々に昇温して１１０〜１１５℃で６時間反応させた。このようにして、アルカリ可溶型放射線重合性不飽和樹脂（ＡＣ−１）のＰＧＭＥＡ溶液を得た。酸無水物の消失はＩＲスペクトルにより確認した。得られた樹脂溶液の酸価は５４．１ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
Comparative Synthesis Example 2
Synthesis of alkali-soluble radiation-polymerizable unsaturated resin (AC-1) In a 1000 ml four-necked flask, 215 g of cresol novolac type epoxy resin EOCN-102S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) (epoxy equivalent 215 g / eq), Triethylbenzylammonium chloride (500 mg), 2,6-diisobutylphenol (50 mg), and acrylic acid (72 g) were charged, and dissolved by heating at 90 to 100 ° C. while blowing air at a rate of 10 mL / min. Next, the temperature was gradually raised to 120 ° C. Although the solution became clear and viscous, stirring was continued as it was. During this time, the acid value was measured, and heating and stirring were continued until the acid value was less than 1.0 mgKOH / g. It took 17 hours for the acid value to reach the target. When the acid value reached the target value, 380 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) was charged and the reaction product was completely dissolved, and then mixed with 106 g of tetrahydrophthalic anhydride (THPA) and 0.1 g of tetraethylammonium bromide. did. The temperature was gradually raised while blowing air at a rate of 10 mL / min, and the mixture was reacted at 110 to 115 ° C. for 6 hours. Thus, a PGMEA solution of an alkali-soluble radiation-polymerizable unsaturated resin (AC-1) was obtained. The disappearance of the acid anhydride was confirmed by IR spectrum. The acid value of the obtained resin solution was 54.1 mgKOH / g.
実施例１
合成例１で得られたアルカリ可溶性シルセスキオキサン含有化合物（Ａ−１）７５重量部、酸化コバルト（大日精化工業（株）製）７５重量部、酸基を含む分散剤（ビックケミー（株）製；製品名「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１１」）１．５重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３５０重量部配合品を、ビーズミルにて１時間分散して、酸化コバルトのサスペンジョンを得た。このサスペンジョン１０ｇにオキシム・エステル系の光重合開始剤（チバスペシャリティーケミカルズ（株）社製；製品名「ＯＸＥ０１」）を５重量部加えて、感光性組成物を得た。
Example 1
75 parts by weight of the alkali-soluble silsesquioxane-containing compound (A-1) obtained in Synthesis Example 1, 75 parts by weight of cobalt oxide (manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.), a dispersant containing an acid group (BIC Chemie Corp. Product name “Disperbyk-111”) 1.5 parts by weight and propylene glycol monomethyl ether acetate 350 parts by weight were dispersed in a bead mill for 1 hour to obtain a cobalt oxide suspension. 5 parts by weight of an oxime ester photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, Inc .; product name “OXE01”) was added to 10 g of this suspension to obtain a photosensitive composition.
実施例２
合成例１で得られたアルカリ可溶性シルセスキオキサン含有化合物（Ａ−１）７５重量部、酸化インジュウム錫（ＩＴＯ）（共立マテリアル（株）製；製品名「ＳＧ−ＩＴ５０Ｙ」）７５重量部、酸基を含む分散剤（ビックケミー（株）製；製品名「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１１」）１．５重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３５０重量部配合品を、ビーズミルにて１時間分散して、酸化インジュウム錫（ＩＴＯ）のサスペンジョンを得た。このサスペンジョン１０ｇにアセトフェノン系の光重合開始剤（チバスペシャリティーケミカルズ（株）社製；製品名「イルガキュア９０７」）を５重量部加えて、感光性組成物を得た。
Example 2
75 parts by weight of the alkali-soluble silsesquioxane-containing compound (A-1) obtained in Synthesis Example 1, 75 parts by weight of indium tin oxide (ITO) (manufactured by Kyoritsu Material Co., Ltd .; product name “SG-IT50Y”), Dispersant containing an acid group (Bic Chemie Co., Ltd .; product name “Disperbyk-111”) 1.5 parts by weight and propylene glycol monomethyl ether acetate 350 parts by weight was dispersed in a bead mill for 1 hour to produce indium oxide. A suspension of tin (ITO) was obtained. 5 parts by weight of an acetophenone photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd .; product name “Irgacure 907”) was added to 10 g of this suspension to obtain a photosensitive composition.
比較例１
比較合成例１で得られたシルセスキオキサン化合物（ＳＱ−１）７５重量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート２５重量部、酸化コバルト（大日精化工業（株）製）７５重量部、酸基を含む分散剤（ビックケミー（株）製；製品名「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１１」）１．５重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３２５重量部配合品を、ビーズミルにて１時間分散して、酸化コバルトのサスペンジョンを得た。このサスペンジョン１０ｇにオキシム・エステル系の光重合開始剤（チバスペシャリティーケミカルズ（株）社製；製品名「ＯＸＥ０１」）を５重量部加えて、感光性組成物を得た。
Comparative Example 1
75 parts by weight of the silsesquioxane compound (SQ-1) obtained in Comparative Synthesis Example 1, 25 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate, 75 parts by weight of cobalt oxide (manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.), acid group Dispersing agent (by Big Chemie Co., Ltd .; product name “Disperbyk-111”) 1.5 parts by weight and propylene glycol monomethyl ether acetate 325 parts by weight is dispersed in a bead mill for 1 hour to give a cobalt oxide suspension. Obtained. 5 parts by weight of an oxime ester photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, Inc .; product name “OXE01”) was added to 10 g of this suspension to obtain a photosensitive composition.
比較例２
比較合成例２で得られたアルカリ可溶型放射線重合性不飽和樹脂（ＡＣ−１）１００重量部、粉末ガラス（旭硝子（株）製；製品名「ＩＷＦ−Ｔ０７７」）２０重量部、酸基を含む分散剤（ビックケミー（株）製；製品名「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１１」）０．４重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１８５重量部配合品を、ビーズミルにて１時間分散して、ガラスフリットのサスペンジョンを得た。このサスペンジョン１０ｇにアセトフェノン系の光重合開始剤（チバスペシャリティーケミカルズ（株）社製；製品名「イルガキュア９０７」を５重量部加えて、感光性組成物を得た。
Comparative Example 2
100 parts by weight of the alkali-soluble radiation-polymerizable unsaturated resin (AC-1) obtained in Comparative Synthesis Example 2, 20 parts by weight of powdered glass (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd .; product name “IWF-T077”), acid group A dispersion containing 0.4 parts by weight of a dispersing agent (manufactured by Big Chemie Co., Ltd .; product name “Disperbyk-111”) and 185 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate is dispersed in a bead mill for 1 hour to suspend a glass frit. Got. To 10 g of this suspension, 5 parts by weight of an acetophenone photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd .; product name “Irgacure 907”) was added to obtain a photosensitive composition.
この様にして得られた実施例１、２、及び、比較例１、２の感光性組成物について、無機微粒子分散安定性を評価した。これら感光性組成物を用いて薄膜を作製し、フォトリソグラフィーより形成したパターンを焼成した物について解像度、発泡の有無、密着性、パターン形状、寸法安定性、鉛筆硬度を評価し、結果を表１に示した。その評価方法は以下のとおりである。 With respect to the photosensitive compositions of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 thus obtained, the inorganic fine particle dispersion stability was evaluated. Thin films were prepared using these photosensitive compositions, and the resolution, presence / absence of foaming, adhesion, pattern shape, dimensional stability, and pencil hardness were evaluated on the products obtained by baking a pattern formed by photolithography. It was shown to. The evaluation method is as follows.
１．分散安定性の評価
実施例１、２、及び、比較例１で得られた感光性組成物をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで１００倍に希釈し、希薄な感光性組成物を得た。１０分攪拌後の希薄な分散体を、直径１ｃｍの試験管に液面が底から４．５ｃｍとなるように移し、タービスキャン「ＭＡ２０００（英弘精機株式会社）」で観察した。
分散安定性評価方法：液面から２．５ｃｍ下方の波長８５０ｎｍの透過率を１０分攪拌後の希薄な分散体を試験管に移した直後から２４時間後まで観察した。評価基準は以下のとおりである。
○：２４時間後の透過率が５％未満である
△：２４時間後の透過率が５％以上１０％未満である
×：２４時間後の透過率が１０％以上である
1. Evaluation of Dispersion Stability The photosensitive compositions obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 were diluted 100 times with propylene glycol monomethyl ether acetate to obtain a diluted photosensitive composition. The diluted dispersion after stirring for 10 minutes was transferred to a test tube having a diameter of 1 cm so that the liquid level was 4.5 cm from the bottom, and observed with a Turbscan “MA2000 (Eihiro Seiki Co., Ltd.)”.
Dispersion stability evaluation method: The transmittance at a wavelength of 850 nm 2.5 cm below the liquid surface was observed from immediately after transferring the diluted dispersion after stirring for 10 minutes to the test tube until 24 hours later. The evaluation criteria are as follows.
○: Transmittance after 24 hours is less than 5% Δ: Transmittance after 24 hours is 5% or more and less than 10% ×: Transmittance after 24 hours is 10% or more
２．解像度の評価
実施例１、２、及び、比較例１、２で得られた感光性組成物をスピンナーを用いてガラス基板上に塗布した後、９０℃のホットプレート上で１２０秒間プリベークして、膜厚約２．０μｍの塗膜を得た。次いで、塗膜を有するガラス基板上に所定のパターンを有するマスクをセットし、２５０Ｗの高圧水銀ランプを用いて、波長４０５ｎｍにて光強度５．０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を５００ｍＪ／ｃｍ２のエネルギー量となるように照射した。次いで、現像処理を行ない、塗膜の未露光部を除去し、残存した薄膜からなるパターンを得た。これを予め５５０℃に昇温したマッフル炉に入れ、３０分焼成し、焼成物パターン成形物を有する基板を得た。焼成物パターン成形物の評価は以下の基準で示した。ガラス基板は「コーニング１７３７（コーニング社製）」を用いた。
解像度の評価：５〜３０μｍの等間隔のラインアンドスペースで、鮮明なパターンが形成できる最も細線により評価した。
2. Evaluation of resolution After applying the photosensitive compositions obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 on a glass substrate using a spinner, pre-baked on a hot plate at 90 ° C. for 120 seconds, A coating film having a thickness of about 2.0 μm was obtained. Next, a mask having a predetermined pattern is set on a glass substrate having a coating film, and an ultraviolet ray having a light intensity of 5.0 mW / cm 2 and an energy of 500 mJ / cm 2 at a wavelength of 405 nm using a 250 W high-pressure mercury lamp. Irradiated to an amount. Next, development was performed to remove the unexposed portion of the coating film, and a pattern consisting of the remaining thin film was obtained. This was put in a muffle furnace preheated to 550 ° C. and baked for 30 minutes to obtain a substrate having a baked product pattern molded product. Evaluation of the fired product pattern molded product was shown by the following criteria. As the glass substrate, “Corning 1737 (manufactured by Corning)” was used.
Evaluation of resolution: Evaluation was performed with the finest line capable of forming a clear pattern with a line-and-space at equal intervals of 5 to 30 μm.
３．発泡の有無
上記２で得られた焼成物パターン成形物につき、発泡の有無について顕微鏡カメラ「ＶＨＸ−５００（ＫＥＹＥＮＣＥ）」で観察した。評価基準は以下のとおりである。
無し：発泡無し
有り：発泡有り
3. Presence or absence of foaming The fired product pattern molded product obtained in 2 above was observed with a microscope camera “VHX-500 (KEYENCE)” for the presence or absence of foaming. The evaluation criteria are as follows.
None: No foaming: Foaming
４．密着性
上記２のプリベークにより得られた塗膜を、２５０Ｗの高圧水銀ランプを用いて、波長４０５ｎｍにて光強度５．０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を５００ｍＪ／ｃｍ２のエネルギー量となるように照射した。次いで、２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて２３℃で６０秒間の現像処理を行ない、薄膜を得た。これを予め５５０℃に昇温したマッフル炉に入れ、３０分焼成し、焼成物薄膜を有する基板を得た。得られた薄膜の基材への密着性は、ＪＩＳ Ｋ５４００の碁盤目剥離試験に従って評価した。評価基準は以下のとおりである。
○：１０点
△：１〜９点
×：０点
4). Adhesiveness Using a 250 W high-pressure mercury lamp, the coating film obtained by the pre-baking of 2 is irradiated with ultraviolet light having a light intensity of 5.0 mW / cm 2 at a wavelength of 405 nm so as to have an energy amount of 500 mJ / cm 2. did. Next, development processing was performed at 23 ° C. for 60 seconds using a 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution to obtain a thin film. This was put in a muffle furnace preheated to 550 ° C. and baked for 30 minutes to obtain a substrate having a fired product thin film. The adhesion of the obtained thin film to the substrate was evaluated according to a cross-cut peel test of JIS K5400. The evaluation criteria are as follows.
○: 10 points Δ: 1 to 9 points ×: 0 points
５．パターン形状
上記２で得られた焼成物パターン成形物の解像度３０μｍのラインアンドスペース部分につき、顕微鏡カメラ「ＶＨＸ−５００（ＫＥＹＥＮＣＥ）」で観察し、ラインに不規則なバラツキ、よれ等がないかどうかで評価した。評価基準は以下のとおりである。
○：ラインにバラツキ、よれがない
△：ラインにバラツキ、よれのいずれかがある
×：ラインにバラツキ、よれのどちらもある
5. Pattern shape The line-and-space part with a resolution of 30 μm of the fired product pattern molded product obtained in 2 above is observed with a microscope camera “VHX-500 (KEYENCE)”, and whether there are irregular irregularities or kinks in the line. It was evaluated with. The evaluation criteria are as follows.
○: There is no variation in the line and there is no twist. △: There is either variation in the line or twist. ×: There is either variation in the line or twist.
６．寸法安定性
まず、上記２で得られた現像後のパターン成形物の解像度３０μｍのラインアンドスペース部分の線幅（Ｗ１）を求めた。次に当該パターン成形物を上記２の手順で焼成し、焼成物パターン成形物を得、同じく解像度３０μｍのラインアンドスペース部分の線幅（Ｗ２）を求めた。これらの線幅（Ｗ１、Ｗ２）は触針型の表面形状測定装置「Ｄｅｋｔａｋ６Ｍ（ＵＬＶＡＣ）」で測定した。下記の式（６）：
Ｒ＝｛（Ｗ１）−（Ｗ２）｝／（Ｗ１） （６）
に従って、焼成による線幅の収縮率Ｒを求めた。Ｒの値が大きいものは焼成後の線幅の収縮率が大きく、逆にＲの値が小さいものは焼成後の線幅の収縮率が小さいことを示す。評価基準は以下のとおりである。
○：Ｒが０．１未満
△：Ｒが０．１以上、０．２未満
×：Ｒが０．２以上
6). Dimensional stability First, the line width (W1) of the line-and-space portion with a resolution of 30 μm of the developed pattern product obtained in 2 above was determined. Next, the pattern molded product was baked in the above-described procedure 2 to obtain a baked product pattern molded product, and the line width (W2) of the line and space portion having a resolution of 30 μm was obtained. These line widths (W1, W2) were measured with a stylus type surface shape measuring device “Dektak6M (ULVAC)”. Equation (6) below:
R = {(W1)-(W2)} / (W1) (6)
Thus, the shrinkage ratio R of the line width due to firing was determined. A large R value indicates that the shrinkage ratio of the line width after firing is large, while a small R value indicates that the shrinkage ratio of the line width after firing is small. The evaluation criteria are as follows.
○: R is less than 0.1 Δ: R is 0.1 or more and less than 0.2 ×: R is 0.2 or more
７．鉛筆硬度
上記４で得られた薄膜について鉛筆硬度をＪＩＳ−Ｋ ５４００の試験法に準じて測定した。鉛筆硬度試験機を用いて荷重９．８Ｎをかけた際の硬化膜にキズが付かない最も高い硬度を鉛筆硬度とした。評価基準は以下のとおりである。
○：硬度が５Ｈ以上
△：硬度がＨ以上５Ｈ未満
×：硬度がＨ未満である
7). Pencil Hardness The pencil hardness of the thin film obtained in 4 above was measured according to the test method of JIS-K 5400. The highest hardness at which the cured film was not scratched when a load of 9.8 N was applied using a pencil hardness tester was defined as the pencil hardness. The evaluation criteria are as follows.
○: Hardness is 5H or more Δ: Hardness is H or more and less than 5H ×: Hardness is less than H
実施例の結果から、本発明の組成物を使用した実施例１、２は、分散安定性、解像度、薄膜の発泡、寸法安定性、焼成前後のパターン形状の維持、硬度のいずれにおいても、比較例１、２に比べ有意に優れており、バランスの良い特性を発揮していることが判った。 From the results of Examples, Examples 1 and 2 using the composition of the present invention were compared in any of dispersion stability, resolution, thin film foaming, dimensional stability, pattern shape maintenance before and after firing, and hardness. It was found to be significantly superior to Examples 1 and 2 and exhibit well-balanced characteristics.
Claims (13)
金属微粒子及び／又は金属酸化物微粒子（Ｂ）、並びに、
光重合開始剤（Ｃ）
を含有することを特徴とする感光性組成物。 The copolymer (2) containing a repeating unit derived from a (meth) acrylic acid ester (1) having a trialkoxysilyl group and having an ethylenic carbon-carbon double bond in the molecule (2) A silsesquioxane-containing compound (A) obtained by co-condensing a trialkoxysilane compound (3) which may be
Metal fine particles and / or metal oxide fine particles (B), and
Photopolymerization initiator (C)
A photosensitive composition comprising:
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