JP2008294409A - フォトニックナノジェットによる光学測定を用いた自動プロセス制御 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 製造クラスタは、光学測定を用いて制御することができる。製造プロセスは、製造クラスタを用いて、ウエハ上で実行されて良い。誘電体ミクロン球の光のあたらない表面で誘起される光強度パターンであるフォトニックナノジェットが生成される。ウエハ上の検査領域はフォトニックナノジェットによって走査される。フォトニックナノジェットが検査領域を走査する際、誘電体ミクロン球からの再帰反射光が測定される。検査領域内での構造の存在は、再帰反射光の測定結果によって決定される。製造クラスタの1種類以上のパラメータは、検査領域内での構造の存在の決定に基づいて調節される。
【選択図】 図3
Description
オーウェン(J.F.Owen)、チャン(R.K.Chang)及びバーバー(P.W.Barber)、光学速報誌(Optics Letters)、第6巻、pp.540-542、1981年 ベニンカサ(D.S.Benincasa)、バーバー(P.W.Barber)、ザン(J.-Z.Zhang)、シー(W.-F.Hsieh)及びチャン(R.K.Chang)、応用光学(Applied Optics)、第26巻、pp.1348-1356、1987年 アドラー(C.L.Adler)、ロック(J.A.Lock)、ストーン(B.R.Stone)及びガルシア(C.J.Garcia)、米国光学会誌、A14巻、pp.1305-1315、1997年 ロック(J.A.Lock)、アドラー(C.L.Adler)及びホベナック(E.A.Hovenac)、米国光学会誌、A17巻、pp.1846-1856、2000年 リュー(Y.-L.Xu)、応用光学(Applied Optics)、第34巻、pp.4573、1995年
「フォトニックナノジェットの生成」
無限の円柱形状の誘電体から放出される平面波で構成される内部及び外部近傍の電磁場の空間分布について複数の計算結果が報告されてきた。これについては非特許文献1及び非特許文献2を参照して欲しい。これらの計算結果は、非共鳴条件でさえも、入射軸に沿って内部電場と外部近傍電場の両方で高強度のピークが存在しうることを示した。これらの近接場ピークの位置及び強度は、円筒とそれを取り囲む媒質との間の屈折率コントラスト、及び円筒のサイズパラメータx=ka=2πa/λに依存する(ここでaは半径で、λは入射波長である)。対角線上に入射する平面波が円筒によって散乱されることによって生成される内部及び外部の火面は、光線理論及び電磁波散乱理論の半古典極限を用いることによって検討された。これについては非特許文献3及び非特許文献4を参照して欲しい。
「フォトニックナノジェット内でのナノ粒子及びナノ構造の検出」
フォトニックナノジェットは、ナノスケールの粒子及び構造と強く相互作用をすることができる。またフォトニックナノジェットは、ナノスケール構造からの後方散乱特性を数桁もの大きさで増大させることができる。フォトニックナノジェットについてのさらに他の計算によって、フォトニックナノジェット内に存在するナノメートルスケールの誘電体粒子による実効的な後方散乱は、フォトニックナノジェットによって顕著に増大することが確かめられた。微小円筒によって生成されたナノジェットと、ミクロン球によって生成されたナノジェットのいずれについてもこのような後方散乱の増大が起こる。唯一の差異は、増大の程度は、微小円筒によって生成されたナノジェットの場合よりも、ミクロン球によって生成されたナノジェットの場合の方がはるかに大きいことである。
|S(180°)|2=|S1(180°)|2=|-S2(180°)|2
GMM理論を用いることによって、ミクロン球-ナノ球系の無次元量である後方散乱強度を計算することができる。ここで屈折率mが1.1であるナノ球が図5のフォトニックナノジェット内に位置している。ミクロン球とナノ球の表面間距離は25nmである。この後方散乱強度は|S|2で表される。|SM|2で表される孤立ミクロン球の後方散乱強度も計算された。従ってナノ球によって導入されたミクロン球の後方散乱強度の摂動は次式のように定義される。
「自動プロセス制御」
図11は、光計測を用いて製造クラスタを制御する典型的プロセス1100を図示している。工程1102では、製造クラスタを用いた製造プロセスが、ウエハ上で実行される。工程1104では、誘電体ミクロン球の光のあたらない表面で誘起される光強度パターンであるフォトニックナノジェットが生成される。工程1106では、ウエハ上の検査領域がフォトニックナノジェットによって走査される。工程1108では、フォトニックナノジェットが検査領域を走査する際に、誘電体ミクロン球からの再帰反射光が測定される。工程1110では、検査領域内の構造の存在は、再帰反射光の測定によって決定される。工程1112では、検査領域内での構造の存在の決定に基づいて、製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータが調節される。
202 光源
204 光学レンズ
206 光サーキュレータ
208 検出器
210 入射光
212 再帰反射光
214 光ファイバ
216 誘電体ミクロン球
218 ウエハ
220 ステージ
222 試料移動装置
224 ステージ位置設定系
226 プロセッサ
228 フォトニックナノジェット
230 範囲探知器
232 ライブラリ
902 大きな構造
904 誘電体ミクロン球
906 フォトニックナノジェット
1200 光計測を用いた製造クラスタ制御系
1202 第1製造系
1204 第1製造クラスタ
1206 計測クラスタ
1208 フォトニックナノジェット計測系
1212 第2製造系
1214 第2製造クラスタ
1216 計測クラスタ
1218 フォトニックナノジェット計測系
1220 計測プロセッサ
1222 計測データ源
1224 計測データ記憶装置
Claims (38)
- 半導体ウエハの検査領域を検査する方法であって:
誘電体ミクロン球の光のあたらない表面で誘起される光強度パターンであるフォトニックナノジェットを生成する手順;
前記フォトニックナノジェットで前記検査領域を走査する手順;
前記検査領域が前記フォトニックナノジェットで走査される際、前記誘電体ミクロン球からの再帰反射光を測定する手順;及び
前記再帰反射光の測定によって前記検査領域内の構造の存在を決定する手順;
を有する方法。 - 前記の検査領域内の構造の位置を決定する手順をさらに有する、請求項1に記載の方法。
- 前記の再帰反射光の測定によって前記の検査領域内の構造の高さ及び幅を決定する手順をさらに有する、請求項1に記載の方法。
- 前記の構造の高さ及び幅を決定する手順が:
前記の再帰反射光の測定によって後方散乱特性を測定する手順;
後方散乱特性並びに対応する構造の高さ及び幅のライブラリから、前記の測定された後方散乱特性と適合する後方散乱特性を決定する手順;並びに
前記ライブラリから前記適合する後方散乱特性に対応する高さ及び幅となるように、前記の検査領域内の構造の高さ及び幅を決定する手順;
を有する、
請求項3に記載の方法。 - 前記フォトニックナノジェットが連続波レーザーによって生成される、請求項1に記載の方法。
- 前記構造が、ゲート、ライン、コンタクトホール、ビア、ドレイン、及び周期構造からなる群から選ばれる、請求項1に記載の方法。
- 前記構造が汚染粒子である、請求項1に記載の方法。
- 前記の検査領域を走査する手順の実行前に第1製造クラスタを用いて前記ウエハ上での製造プロセスを実行する手順であって、前記フォトニックナノジェットによって走査される前記検査領域は前記ウエハ上に位置し、前記検査領域上で前記製造プロセスは実行される、手順;及び
前記の検査領域内の構造の存在の決定に基づいて前記第1製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する手順;
をさらに有する、請求項1に記載の方法。 - 前記の再帰反射光の測定によって前記の検査領域内の構造の高さ及び幅を決定する手順;並びに
前記の検査領域内の構造の決定された高さ及び幅に基づいて前記第1製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する手順;
をさらに有する、請求項8に記載の方法。 - 前記の検査領域内の構造の決定された高さ及び幅に基づいて第2製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する手順をさらに有する、請求項9に記載の方法。
- 前記の検査領域内の構造の存在の決定に基づいて第2製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する手順をさらに有する、請求項8に記載の方法。
- 前記第2製造クラスタが前記第1製造クラスタの前にウエハの処理を行う、請求項10又は11に記載の方法。
- 前記第2製造クラスタが前記第1製造クラスタに続いてウエハの処理を行う、請求項10又は11に記載の方法。
- 半導体ウエハの検査領域をコンピュータに検査させる、コンピュータによる実行が可能な命令を有するコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体であって:
誘電体ミクロン球の光のあたらない表面で誘起される光強度パターンであるフォトニックナノジェットを生成する命令;
前記フォトニックナノジェットで前記検査領域を走査する命令;
前記検査領域が前記フォトニックナノジェットで走査される際、前記誘電体ミクロン球からの再帰反射光を測定する命令;及び
前記再帰反射光の測定によって前記検査領域内の構造の存在を決定する命令;
を有するコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。 - 前記の検査領域内の構造の位置を決定する命令をさらに有する、請求項14に記載のコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。
- 前記の再帰反射光の測定によって前記の検査領域内の構造の高さ及び幅を決定する手順をさらに有する、請求項14に記載のコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。
- 前記の構造の高さ及び幅を決定する命令が:
前記の再帰反射光の測定によって後方散乱特性を測定する命令;
後方散乱特性並びに対応する構造の高さ及び幅のライブラリから、前記の測定された後方散乱特性と適合する後方散乱特性を決定する命令;並びに
前記ライブラリから前記適合する後方散乱特性に対応する高さ及び幅となるように、前記の検査領域内の構造の高さ及び幅を決定する命令;
を有する、
請求項16に記載のコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。 - 第1製造クラスタを用いて前記ウエハ上での製造プロセスが実行されるコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体であって、前記の検査領域内の構造の存在の決定に基づいて前記第1製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する命令をさらに有する、請求項14に記載のコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。
- 前記の再帰反射光の測定によって前記の検査領域内の構造の高さ及び幅を決定する手順;並びに
前記の検査領域内の構造の決定された高さ及び幅に基づいて前記第1製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する手順;
をさらに有する、請求項18に記載のコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。 - 前記の検査領域内の構造の決定された高さ及び幅に基づいて第2製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する手順をさらに有する、請求項19に記載のコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。
- 前記の検査領域内の構造の存在の決定に基づいて第2製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する手順をさらに有する、請求項18に記載のコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。
- 前記第2製造クラスタが前記第1製造クラスタの前にウエハの処理を行う、請求項20又は21に記載のコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。
- 前記第2製造クラスタが前記第1製造クラスタに続いてウエハの処理を行う、請求項20又は21に記載のコンピュータによる読み取り可能な記憶媒体。
- 構造の存在を決定するために半導体ウエハの検査領域を検査するシステムであって:
光源;
光ファイバ;
該光ファイバの先端部と結合する光学レンズ;
前記光ファイバの先端部と結合する誘電体ミクロン球;
前記光ファイバと接続して、前記誘電体ミクロン球からの再帰反射光を測定するように備えられた検出器;及び
該検出器と接続して、前記の再帰反射光の測定によって前記検査領域内での構造の存在を決定するように備えられたプロセッサ;
を有するシステムであって、
前記誘電体ミクロン球の光の当たらない表面で誘起されるフォトニックナノジェットが光強度パターンとして生成される、
システム。 - 前記光ファイバと接続する光サーキュレータをさらに有するシステムであって、
前記検出器は前記光サーキュレータを介して前記光ファイバと接続し、かつ
前記光サーキュレータは、前記光ファイバを介して透過する前記再帰反射光を、前記誘電体ミクロン球から前記検出器へ送るように備えられている、
請求項24に記載のシステム。 - 前記誘電体ミクロン球に隣接して設けられる範囲探知器をさらに有するシステムであって、前記範囲探知器は、前記ウエハと前記フォトニックナノジェットとの間の距離を測定するように備えられている、請求項24に記載のシステム。
- 前記プロセッサがさらに、前記の検査領域内の構造の高さ及び幅を決定するように備えられている、請求項24に記載のシステム。
- 後方散乱特性並びに対応する構造の高さ及び幅のライブラリをさらに有する、請求項27に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、
前記の再帰反射光の測定によって後方散乱特性を測定し、
前記ライブラリから、前記の測定された後方散乱特性と適合する後方散乱特性を決定し、並びに、
前記ライブラリから前記適合する後方散乱特性に対応する高さ及び幅となるように、前記の検査領域内の構造の高さ及び幅を決定する、
ように備えられた、請求項28に記載のシステム。 - 前記光源が連続波レーザーである、請求項24に記載のシステム。
- 前記構造が、ゲート、ライン、コンタクトホール、ビア、ドレイン、及び周期構造からなる群から選ばれる、請求項24に記載のシステム。
- 前記構造が汚染粒子である、請求項24に記載のシステム。
- 前記ウエハ上で製造プロセスを実行するように備えられた第1製造クラスタ;及び
該第1製造クラスタと接続して、前記の検査領域内の構造の存在の決定に基づいて前記第1製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する計測プロセッサ;
をさらに有する、請求項24に記載のシステム。 - 前記計測プロセッサが、
前記の再帰反射光の測定によって前記の検査領域内の構造の高さ及び幅を決定、並びに
前記の検査領域内の構造の決定された高さ及び幅に基づいて前記第1製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節する、
ように備えられている、請求項33に記載のシステム。 - 第2製造クラスタをさらに有するシステムであって、前記計測プロセッサは、前記の検査領域内の構造の決定された高さ及び幅に基づいて前記第2製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節するように備えられている、請求項34に記載のシステム。
- 第2製造クラスタをさらに有するシステムであって、前記計測プロセッサは、前記の検査領域内の構造の存在の決定に基づいて前記第2製造クラスタの1種類以上のプロセスパラメータを調節するように備えられている、請求項33に記載のシステム。
- 前記第2製造クラスタが前記第1製造クラスタの前にウエハの処理を行う、請求項35又は36に記載の方法。
- 前記第2製造クラスタが前記第1製造クラスタに続いてウエハの処理を行う、請求項35又は36に記載の方法。
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---|---|---|---|
US11/726,083 US7394535B1 (en) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | Optical metrology using a photonic nanojet |
US11/726,076 US7639351B2 (en) | 2007-03-20 | 2007-03-20 | Automated process control using optical metrology with a photonic nanojet |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013507625A (ja) * | 2009-10-13 | 2013-03-04 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 検査方法及び装置 |
JP2018537695A (ja) * | 2015-12-11 | 2018-12-20 | ユニバーシティ オブ ヘルシンキ | 表面構造及び表面下構造の特性を決定する装置及び方法 |
CN110987731A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-10 | 江苏集萃深度感知技术研究所有限公司 | 纳米颗粒检测装置及方法 |
JP2021036239A (ja) * | 2020-10-30 | 2021-03-04 | ナノフォーム フィンランド オサケユイチアユルキネン | 表面構造及び表面下構造の特性を決定する装置及び方法 |
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2008
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Non-Patent Citations (2)
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JPN6012015124; Zhigang Chen and Allen Taflove: 'Photonic nanojet enhancement of background of backscattering of light by nanoparticles:a potential n' Optics Express Vol. 12, Issue 7, 20040405, pp.1214-1220, Optical Society of America * |
JPN6012015125; Xu Li, Zhigang Chen, Allen Taflove, Vadim Backman: 'Optical analysis of nanoparticles via enhanced backscattering facilitated by 3-D photonic nanojets' Optics Express Vol.13, No.2, 20050124, p. 526-533, Optical Society of America * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013507625A (ja) * | 2009-10-13 | 2013-03-04 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 検査方法及び装置 |
JP2018537695A (ja) * | 2015-12-11 | 2018-12-20 | ユニバーシティ オブ ヘルシンキ | 表面構造及び表面下構造の特性を決定する装置及び方法 |
CN110987731A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-10 | 江苏集萃深度感知技术研究所有限公司 | 纳米颗粒检测装置及方法 |
JP2021036239A (ja) * | 2020-10-30 | 2021-03-04 | ナノフォーム フィンランド オサケユイチアユルキネン | 表面構造及び表面下構造の特性を決定する装置及び方法 |
JP7159260B2 (ja) | 2020-10-30 | 2022-10-24 | ナノフォーム フィンランド オサケユイチアユルキネン | 表面構造及び表面下構造の特性を決定する装置及び方法 |
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