JP2008293654A - Nonvolatile semiconductor memory device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify designing and manufacturing by requiring only one chip for flash memories with or without a boot block. <P>SOLUTION: Blocks B000 to B007 are boot and parameter blocks of storage capacities smaller than that of a normal block. When no boot block is necessary, a signal BOOTE is set to an L level by a bonding option or the like. When a signal BLKSEL is at an H level during erasure, a control unit 2 simultaneously selects four blocks arrayed in a horizontal direction. In this case, the control unit 2 simultaneously selects two blocks of a longitudinal direction. Thus, eight blocks of B000 to B007 are selected. The boot and parameter blocks are collectively erasable as one block having a capacity equal to that of a normal block. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

この発明は、不揮発性半導体記憶装置に関し、より特定的には、消去単位ブロック構成が変更可能なフラッシュメモリに関する。   The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device, and more particularly to a flash memory whose erasure unit block configuration can be changed.

フラッシュメモリは、機能的には、一括消去型の電気的に書込消去が可能な不揮発性半導体記憶装置である。フラッシュメモリはその低コスト性および電気的消去機能を有することから携帯機器等に大きな需要があり、近年盛んに研究開発が行なわれている。フラッシュメモリは、たとえばフローティングゲートを有し、しきい値電圧を変化させることができるトランジスタ(以下、メモリトランジスタと称する)をメモリセルとして使用する。   Functionally, the flash memory is a batch erasing type electrically erasable nonvolatile semiconductor memory device. Flash memory has a great demand for portable devices because of its low cost and electrical erasing function, and research and development has been actively conducted in recent years. A flash memory uses, for example, a transistor having a floating gate and capable of changing a threshold voltage (hereinafter referred to as a memory transistor) as a memory cell.

図26は、従来のフラッシュメモリのアレイ構成を示した図である。
図26においては、説明を簡単にするために、全体で8Mビットのメモリアレイの場合について説明している。メモリアレイ500は、各々が4kワード(64kビット)に相当するメモリセルで構成されるブロックB000〜B007と、各々が32kワード(512kビット)に相当するメモリセルで構成されるブロックB008〜B022と、ブロックB100とを含む。ブロックB000〜B022は、各々がフラッシュメモリにおける消去動作の基本単位となるブロックである。
FIG. 26 is a diagram showing an array configuration of a conventional flash memory.
In FIG. 26, in order to simplify the description, the case of an 8 Mbit memory array as a whole is described. The memory array 500 includes blocks B000 to B007 each including memory cells corresponding to 4k words (64k bits), and blocks B008 to B022 each including memory cells corresponding to 32k words (512k bits). , Block B100. Each of the blocks B000 to B022 is a block that is a basic unit of an erase operation in the flash memory.

フラッシュメモリでは、4kワードの領域が必要とされることが多く、このため、メモリアレイ500は、通常のデータ格納領域よりも記憶容量の少ないブロックB000〜B007を含んでいる。このような4kワードの領域は、たとえばブートブロックやパラメタブロックと呼ばれる。   A flash memory often requires an area of 4k words. For this reason, the memory array 500 includes blocks B000 to B007 having a smaller storage capacity than a normal data storage area. Such a 4k word region is called, for example, a boot block or a parameter block.

ブートブロックは、電源が投入された直後のシステム立ち上げ時に、フラッシュメモリが搭載されるシステムのCPUがリードする領域である。また、パラメタブロックは、頻繁に書換える可能性の高いデータを仮に書込んでおく領域である。一方、32kワードの記憶容量のブロックは、通常のデータやプログラムを格納する領域として使用される。フラッシュメモリでは、このように、用途により異なるサイズのブロックを備える必要がある。   The boot block is an area that is read by the CPU of the system in which the flash memory is mounted when the system is started up immediately after the power is turned on. The parameter block is an area in which data that is likely to be frequently rewritten is temporarily written. On the other hand, a block with a storage capacity of 32k words is used as an area for storing normal data and programs. Thus, in the flash memory, it is necessary to provide blocks of different sizes depending on applications.

なお、ブロックB100は、アドレス割当上はブロックB000〜B007に相当する領域であり、未使用とされる領域である。未使用であっても、メモリブロックB100はメモリアレイ上の信号の連続性を保つ必要性から、ブロックB008〜B022の各構成と同様な構成を有している。   The block B100 is an area corresponding to the blocks B000 to B007 in terms of address allocation, and is an unused area. Even if it is not used, the memory block B100 has the same configuration as each of the blocks B008 to B022 because it is necessary to maintain continuity of signals on the memory array.

メモリブロックの選択はブロックの縦方向の位置を選択するためのブロック選択信号BAVS0,BAVS1,BAVM0〜BAVM3と、ブロックの横方向の位置を選択をするためのブロック選択信号BAH0〜BAH3とによって行なわれる。縦方向のブロック位置と、横方向のブロック位置とがともに活性化されると、その交点にあたるブロックの選択が行なわれる。たとえば、ブロックB008を選択する場合には、選択信号BAVM0およびBAH1が活性化され、残りの選択信号は非活性化される。   The selection of the memory block is performed by block selection signals BAVS0, BAVS1, BAVM0 to BAVM3 for selecting the vertical position of the block, and block selection signals BAH0 to BAH3 for selecting the horizontal position of the block. . When both the vertical block position and the horizontal block position are activated, the block corresponding to the intersection is selected. For example, when selecting block B008, selection signals BAVM0 and BAH1 are activated and the remaining selection signals are deactivated.

図27は、メモリブロックの選択信号を発生する従来のブロック選択デコーダの構成を示したブロック図である。   FIG. 27 is a block diagram showing a configuration of a conventional block selection decoder for generating a memory block selection signal.

図26、図27を参照して、ブロック選択デコーダ502は、外部から与えられるアドレス信号のアドレスビットA12〜A18を用いてブロック選択信号BAVS0,BAVS1,BAVM0〜BAVM3,BAH0〜BAH3を発生する。ブロック選択デコーダ502は、アドレスビットA15,A16,A17,A18を受けて選択信号BOPを出力する4入力のNOR回路562と、アドレスビットA14,A17,A18および選択信号BOPに応じて縦方向位置の選択信号BAVS0,BAVS1,BAVM0〜BAVM3を出力する縦方向ブロック選択回路564と、アドレスビットA12,A13,A15,A16および選択信号BOPに応じて横方向位置の選択信号BAH0〜BAH3を出力する横方向ブロック選択回路566とを含む。   Referring to FIGS. 26 and 27, block selection decoder 502 generates block selection signals BAVS0, BAVS1, BAVM0-BAVM3, BAH0-BAH3 using address bits A12-A18 of an externally applied address signal. The block selection decoder 502 receives the address bits A15, A16, A17, A18 and outputs a selection signal BOP. The block selection decoder 502 has a vertical position corresponding to the address bits A14, A17, A18 and the selection signal BOP. A vertical block selection circuit 564 that outputs selection signals BAVS0, BAVS1, BAVM0 to BAVM3, and a horizontal direction that outputs selection signals BAH0 to BAH3 in the horizontal direction according to address bits A12, A13, A15, A16 and selection signal BOP. And a block selection circuit 566.

縦方向ブロック選択回路564は、選択信号BOPに応じて活性化されアドレスビットA14をデコードして信号BAVS0,BAVS1を出力するアドレスデコード部582と、選択信号BOPが非活性化時に動作し、選択信号BOPが活性化されると動作を停止するアドレスデコード部584とを含む。アドレスデコード部584は、活性化時にはアドレスビットA17,A18をデコードして信号BAVM0〜BAVM3を出力する。   The vertical block selection circuit 564 is activated in response to the selection signal BOP, decodes the address bit A14 and outputs the signals BAVS0 and BAVS1, and operates when the selection signal BOP is inactive. And an address decode unit 584 that stops its operation when the BOP is activated. Address decoder 584 decodes address bits A17 and A18 and outputs signals BAVM0 to BAVM3 when activated.

横方向ブロック選択回路566は、選択信号BOPが活性化されるとアドレスビットA12,A13を選択アドレスビットSA0,SA1として出力し、選択信号BOPが非活性化時にはアドレスビットA15,A16を選択アドレスビットSA0,SA1として出力するアドレス選択部610と、選択アドレスビットSA0,SA1をデコードして信号BAH0〜BAH3を出力するアドレスデコード部612とを含む。   When the selection signal BOP is activated, the horizontal block selection circuit 566 outputs the address bits A12 and A13 as the selection address bits SA0 and SA1, and when the selection signal BOP is inactivated, the address bits A15 and A16 are output as the selection address bits. An address selection unit 610 that outputs as SA0 and SA1 and an address decoding unit 612 that decodes the selected address bits SA0 and SA1 and outputs signals BAH0 to BAH3 are included.

図26に示した8Mビットのメモリアレイの場合、1ワード16ビット構成をとると32kワードブロックを選択するアドレスビットはA15,A16,A17,A18である。また、4kワードブロックを選択するアドレスビットはA12,A13,A14である。ここに説明する従来例では、図26のとおり横方向に4ブロックのメモリブロックが配置される構成の場合を説明する。   In the case of the 8-Mbit memory array shown in FIG. 26, when a 1-word 16-bit configuration is used, the address bits for selecting a 32k word block are A15, A16, A17, and A18. The address bits for selecting the 4k word block are A12, A13, and A14. In the conventional example described here, a case where four memory blocks are arranged in the horizontal direction as shown in FIG. 26 will be described.

まず、NOR回路562によって4kワード領域を選択する信号BOPの活性/非活性が決定される。   First, the NOR circuit 562 determines whether the signal BOP for selecting the 4k word region is active / inactive.

メモリブロックB008〜B022に相当するアドレスが入力される場合には信号BOPは非活性化されアドレスデコード部582は信号BAVS0,BAVS1を非活性化し、アドレスデコード部584はアドレスビットA17,A18に応じて縦方向のメモリブロックの選択信号BAVM0〜BAVM3のいずれか1つを活性化させる。   When an address corresponding to memory blocks B008 to B022 is input, signal BOP is deactivated, address decoding unit 582 deactivates signals BAVS0 and BAVS1, and address decoding unit 584 responds to address bits A17 and A18. Any one of the selection signals BAVM0 to BAVM3 in the vertical memory block is activated.

この場合、アドレス選択部610はアドレスビットA15,A16を選択アドレスビットSA0,SA1として出力するので、アドレスデコード部612はアドレスビットA15,A16をデコードして選択信号BAH0〜BAH3のいずれか1つを活性化する。   In this case, since the address selection unit 610 outputs the address bits A15 and A16 as the selection address bits SA0 and SA1, the address decoding unit 612 decodes the address bits A15 and A16 and outputs one of the selection signals BAH0 to BAH3. Activate.

一方、アドレスビットA15〜A18がすべてLレベルの場合には、選択信号BOPが活性化される。これは、図26の不使用とされるメモリブロックB100に対応するアドレス入力があったことを示している。この場合には、メモリブロックB100を選択する代わりにメモリブロックB000〜B007のうちの対応する領域を選択している。具体的には、信号BOPの活性化時にはアドレスデコード部584は非活性化され信号BAVM0〜BAVM3は非活性化される。そしてアドレスデコード部582によってアドレスビットA14がデコードされ信号BAVS0,BAVS1のいずれか一方が活性化される。   On the other hand, when all of address bits A15 to A18 are at L level, selection signal BOP is activated. This indicates that there was an address input corresponding to the memory block B100 which is not used in FIG. In this case, instead of selecting the memory block B100, the corresponding area of the memory blocks B000 to B007 is selected. Specifically, when signal BOP is activated, address decode unit 584 is deactivated and signals BAVM0 to BAVM3 are deactivated. The address decoding unit 582 decodes the address bit A14 and activates one of the signals BAVS0 and BAVS1.

また、信号BOPが活性化時には、アドレス選択部610はアドレスビットA12,A13を選択アドレスビットSA0,SA1として出力するので、アドレスデコード部612はアドレスビットA12,A13をデコードし、信号BAH0〜BAH3のいずれか1つを活性化させる。   Further, when the signal BOP is activated, the address selection unit 610 outputs the address bits A12 and A13 as the selection address bits SA0 and SA1, so that the address decoding unit 612 decodes the address bits A12 and A13 and outputs the signals BAH0 to BAH3. Either one is activated.

従来は、ブロック選択デコーダ502によって決定されるブロック分割およびアドレス割当は常に固定されていた。つまり、8Mビット分の領域は、常に4kワードブロックが8ブロック、32kワードブロックがB008〜B022の15ブロックの合計23ブロックとして扱われていた。   Conventionally, block division and address assignment determined by the block selection decoder 502 have always been fixed. That is, the area of 8M bits has always been treated as a total of 23 blocks of 8 blocks of 4k word blocks and 15 blocks of B008 to B022 of 32k word blocks.

以上説明したように、図26のメモリアレイ500は、使用するメモリブロックがB000〜B022の23ブロック存在するため、8Mビットのメモリアレイ全体を消去するためには、23回の消去動作をチップ外部より指示する必要がある。   As described above, the memory array 500 of FIG. 26 has 23 memory blocks B000 to B022, and therefore, in order to erase the entire 8-Mbit memory array, 23 erase operations are performed outside the chip. Need to tell more.

また、図26では、4kワードのブロック8ブロックつまりブロックB000〜B007がアドレスの最下位側に割当てられている。これはボトムブートタイプと呼ばれる。しかし、使用されるシステムによっては4kワードのブロックがアドレスの最上位側に割当てられるトップブートタイプのフラッシュメモリが要求される場合もある。従来においては、ボトムブートタイプのメモリをトップブートタイプのメモリに変更して使用するためにアドレス入力バッファにおいて特定のアドレスビットを反転することが行なわれていた。   In FIG. 26, 4k word blocks, 8 blocks, that is, blocks B000 to B007 are assigned to the lowest address. This is called a bottom boot type. However, depending on the system used, a top boot type flash memory in which a block of 4k words is allocated to the highest side of the address may be required. Conventionally, in order to change a bottom boot type memory to a top boot type memory for use, a specific address bit is inverted in an address input buffer.

図28は、従来のアドレス入力バッファ516の構成を示す回路図である。
図28を参照して、アドレス入力バッファ516は、トップブートタイプのメモリに切換えて使用する場合に活性化される信号TOPに応じてアドレスビットA15,A16,A17の正転/反転をそれぞれ切換えるアドレス反転回路520,522,524を含む。
FIG. 28 is a circuit diagram showing a configuration of a conventional address input buffer 516.
Referring to FIG. 28, address input buffer 516 is an address for switching normal rotation / inversion of address bits A15, A16, A17 in accordance with signal TOP activated when switching to a top boot type memory. Inversion circuits 520, 522, and 524 are included.

アドレス反転回路520は、外部から与えられるアドレスビットext.A15を受けて反転するインバータ526と、信号TOPを受けて反転するインバータ528と、インバータ526の出力と信号TOPとを受けるNAND回路530と、アドレスビットext.A15とインバータ528の出力とを受けるNAND回路532と、NAND回路530,532の出力を受けてアドレスビットA15を出力するNAND回路534とを含む。   Address inversion circuit 520 has an address bit ext. Inverter 526 receiving and inverting signal A15, inverter 528 receiving and inverting signal TOP, NAND circuit 530 receiving the output of inverter 526 and signal TOP, address bit ext. NAND circuit 532 that receives A15 and the output of inverter 528, and NAND circuit 534 that receives the outputs of NAND circuits 530 and 532 and outputs address bit A15.

アドレス反転回路522は、アドレスビットext.A16が入力されアドレスビットA16を出力する点が異なるが、内部の構成はアドレス反転回路520と同様であり説明は繰返さない。アドレス反転回路524は、アドレスビットext.A17が入力されアドレスビットA17を出力する点が異なるが、内部の構成はアドレス反転回路520と同様であり説明は繰返さない。   Address inversion circuit 522 has address bits ext. The difference is that A16 is input and address bit A16 is output, but the internal configuration is the same as that of address inverting circuit 520, and description thereof will not be repeated. Address inversion circuit 524 has address bits ext. The difference is that A17 is input and address bit A17 is output, but the internal configuration is the same as that of address inverting circuit 520, and description thereof will not be repeated.

図29は、従来の他のフラッシュメモリのアレイ構成を示す図である。
図29を参照して、ブロックB000〜B015は、各々が32kワード(512kビット)に相当するメモリセルで構成されるメモリブロックである。メモリアレイ700には、4kワード相当のメモリセルで構成されるメモリブロックはなく、すべてが32kワード相当のメモリセルで構成される16ブロックで8Mビット領域が構成されている。図26のメモリアレイ500の場合は、8Mビット領域の消去には23回の消去動作が必要であったが、メモリアレイ700の場合では、8Mビット領域の消去には16回の消去動作で済む。
特開2002−133877号公報
FIG. 29 is a diagram showing an array configuration of another conventional flash memory.
Referring to FIG. 29, blocks B000 to B015 are memory blocks each composed of memory cells corresponding to 32k words (512k bits). In the memory array 700, there is no memory block composed of memory cells corresponding to 4k words, and an 8M bit area is composed of 16 blocks all composed of memory cells corresponding to 32k words. In the case of the memory array 500 of FIG. 26, the erase operation of 23 times is necessary for erasing the 8M bit region, but in the case of the memory array 700, the erase operation of 16 times is sufficient for erasing the 8M bit region. .
JP 2002-133877 A

従来は、ブロック分割および各ブロックへのアドレス割当は常に固定されていた。その結果、たとえば図26で説明したように8Mビットのフラッシュメモリの製品では、4kワードのブロックを有する仕様の製品では、4kワードブロックが8ブロック、32kワードブロックが15ブロックの合計23ブロックが存在する。   Conventionally, block division and address assignment to each block have always been fixed. As a result, for example, as described with reference to FIG. 26, an 8M-bit flash memory product has a specification having 4k word blocks, and there are 23 blocks of 8 blocks of 4k word blocks and 15 blocks of 32k word blocks. To do.

一方、図29で説明したように4kワードのブロックを持たないフラッシュメモリの製品では、32kワードブロック16ブロックで8Mビットを構成していた。すなわち、4kワードの有無で、全く別の製品として設計、製造する必要があった。   On the other hand, as described with reference to FIG. 29, in the flash memory product having no 4k word block, the 32M word block 16 blocks constitute 8M bits. In other words, it is necessary to design and manufacture a completely different product with or without 4k words.

また、フラッシュメモリの容量の拡大に伴い、アドレス割当の最上位側または最下位側だけでなく、アドレス最下位側、最上位側の双方に4kワードブロックのブートブロックを持つチップが開発されている。このようなチップをデュアルブートタイプのチップと呼ぶ。デュアルブートタイプのチップを2チップ組合わせて大きなメモリ空間として用いる場合には、アドレス空間の中央部分に4kワードの細切れのブロックが存在することとなり、使い勝手が悪くなってしまうという問題点もある。   As the capacity of the flash memory is increased, a chip having a 4k word block boot block has been developed on both the lowest address side and the highest address side as well as the highest address side or the lowest address side. . Such a chip is called a dual boot type chip. When a dual-boot type chip is used as a large memory space by combining two chips, there is a problem in that a 4k-word block is present in the center of the address space, resulting in poor usability.

この発明は、以上のような問題点を解決するためになされたものである。この発明は、複数の消去ブロックに分割されそのうちに小さな記憶容量のブロックたとえばブートブロックを含むフラッシュメモリにおいて4kワードブロックを持つフラッシュメモリと4kワードブロックを持たないフラッシュメモリとを1チップで同時に実現し、設計、製造を簡単化することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems. According to the present invention, a flash memory having a 4k word block and a flash memory not having a 4k word block in a flash memory including a block having a small storage capacity, for example, a boot block, which are divided into a plurality of erase blocks, are simultaneously realized on one chip. The purpose is to simplify the design and manufacture.

この発明は、要約すると、不揮発性半導体記憶装置であって、一括消去の単位となる第1の基本メモリブロックと、複数の第2の基本メモリブロックと、消去制御回路とを備える。複数の第2の基本メモリブロックは、各々が第1の基本メモリブロックよりも小さな記憶容量を有し、一括消去の単位となる。消去制御回路は、消去コマンドに応じて複数の第2の基本メモリブロックのうちの1つを消去する第1の動作と、消去コマンドに応じて複数の第2の基本メモリブロックをまとめて消去する第2の動作とを、切換信号に応じて切換える。   In summary, the present invention is a non-volatile semiconductor memory device, and includes a first basic memory block, a plurality of second basic memory blocks, which are a unit for batch erase, and an erase control circuit. Each of the plurality of second basic memory blocks has a smaller storage capacity than the first basic memory block, and serves as a unit for batch erasure. The erase control circuit erases one of the plurality of second basic memory blocks in response to the erase command and the plurality of second basic memory blocks in response to the erase command. The second operation is switched according to the switching signal.

この発明の他の局面に従う不揮発性半導体記憶装置は、一括消去の単位となる第1の基本メモリブロックと、複数の第2の基本メモリブロックと、消去制御回路とを備える。複数の第2の基本メモリブロックは、各々が第1の基本メモリブロックよりも小さな記憶容量を有し、一括消去の単位となる。消去制御回路は、消去コマンドに応じて複数の第2の基本メモリブロックのうちの1つを消去する第1の動作と、消去コマンドに応じて第1の基本メモリブロックを消去する第2の動作とを、切換信号に応じて切換える。   A non-volatile semiconductor memory device according to another aspect of the present invention includes a first basic memory block serving as a unit for batch erase, a plurality of second basic memory blocks, and an erase control circuit. Each of the plurality of second basic memory blocks has a smaller storage capacity than the first basic memory block, and serves as a unit for batch erasure. The erase control circuit erases one of the plurality of second basic memory blocks according to the erase command, and a second operation erases the first basic memory block according to the erase command Are switched according to the switching signal.

本発明によれば、切換信号の与え方を変更すれば小さなブロックを各々消去単位とするものと小さなブロックをまとめて1つとして消去単位とするものとの複数の種類の不揮発性半導体記憶装置が実現でき、複数品種の開発費用および製造管理費用を削減することができる。   According to the present invention, there are a plurality of types of non-volatile semiconductor memory devices, one having a small block as an erasing unit and one having a small block as an erasing unit when the switching signal is applied. This can be realized, and the development costs and manufacturing management costs of multiple products can be reduced.

以下において、本発明の実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.

[実施の形態1]
図1は、本発明の実施の形態1の不揮発性記憶装置の構成を示す概略ブロック図である。
[Embodiment 1]
FIG. 1 is a schematic block diagram showing the configuration of the nonvolatile memory device according to Embodiment 1 of the present invention.

図1を参照して、不揮発性半導体記憶装置1は、入出力データバッファ22と、書込、読出、消去の制御を行なう制御部2と、ロウ・コラムデコーダ20と、Yゲート24と、メモリアレイ26とを含む。   Referring to FIG. 1, nonvolatile semiconductor memory device 1 includes an input / output data buffer 22, a control unit 2 for controlling writing, reading and erasing, a row / column decoder 20, a Y gate 24, a memory Array 26.

入出力データバッファ22は、書込時にはチップの外部から信号DQ0〜DQ15を受け、読出時においてはチップの外部へと信号DQ0〜DQ15を出力する。   Input / output data buffer 22 receives signals DQ0 to DQ15 from the outside of the chip at the time of writing, and outputs signals DQ0 to DQ15 to the outside of the chip at the time of reading.

制御部2は、プログラム&ベリファイ回路4と、センスアンプ6と、内部コントローラ8と、アドレスバッファ16と、プリデコーダ18と、切換信号発生回路10とを含む。内部コントローラ8は、外部から信号CE,WE,OE,RP,WPなどの制御信号を受けて外部から与えられた指示を認識してアドレスバッファ16,プリデコーダ18およびプログラム&ベリファイ回路4の制御を行なう。また内部コントローラ8は、電源がチップに対して投入された際に切換信号発生回路10に出力するパワーオンリセット信号PORを一定期間活性化した後にリセット解除を行なう。   The control unit 2 includes a program & verify circuit 4, a sense amplifier 6, an internal controller 8, an address buffer 16, a predecoder 18, and a switching signal generation circuit 10. The internal controller 8 receives control signals such as signals CE, WE, OE, RP, and WP from the outside and recognizes instructions given from the outside, and controls the address buffer 16, predecoder 18 and program & verify circuit 4. Do. The internal controller 8 releases the reset after activating the power-on reset signal POR output to the switching signal generation circuit 10 when the power is turned on to the chip for a certain period.

切換信号発生回路10は、所定の設定に応じて信号BOOTEを出力する。アドレスバッファ16は、外部から与えられるアドレス信号のアドレスビットext.A0〜ext.A18をそれぞれ受けてアドレスビットA0〜A18をプリデコーダ18に出力する。プリデコーダ18は、内部コントローラ8から与えられる信号BLKSELなどの制御信号および切換信号発生回路10から与えられる信号BOOTEによって動作の切換がなされ、アドレスビットA0〜A18のデコードの結果を変化させる。プリデコーダ18は、デコード結果をロウ・コラムデコーダ20に出力する。   The switching signal generation circuit 10 outputs a signal BOOTE according to a predetermined setting. The address buffer 16 is provided with address bits ext. A0-ext. In response to A18, address bits A0 to A18 are output to predecoder 18. The predecoder 18 is switched in operation by a control signal such as the signal BLKSEL supplied from the internal controller 8 and a signal BOOTE supplied from the switching signal generation circuit 10, and changes the decoding result of the address bits A0 to A18. The predecoder 18 outputs the decoding result to the row / column decoder 20.

メモリアレイ26は、4kワードの記憶容量を有するメモリブロックB000〜B007と、各々が32kワードの記憶容量を有するメモリブロックB008〜B022,B100とを含む。ただし、メモリブロックB100は通常は使用されない領域であるが、メモリアレイの製造上の便宜のためパターンの連続性を保つためメモリブロックB008〜B022と同様な構成となっている。   Memory array 26 includes memory blocks B000-B007 having a storage capacity of 4k words and memory blocks B008-B022, B100 each having a storage capacity of 32k words. However, the memory block B100 is an area that is not normally used, but has the same configuration as the memory blocks B008 to B022 in order to maintain the continuity of the pattern for the convenience of manufacturing the memory array.

ブロックB000〜B007は、通常のブロックよりも小さな記憶容量のブートブロックおよびパラメタブロックである。ブートブロックが不要の場合には、ボンディングオプション等で信号BOOTEをLレベルに設定する。消去時において信号BLKSELがHレベルの場合には制御部2は、横方向に並ぶ4ブロックの同時選択を行なう。また、制御部2は、このとき、縦方向の2ブロックの同時選択を行なう。その結果ブロックB000〜B007の8つのブロックの選択が行なわれる。ブートブロックおよびパラメタブロックは、通常ブロックと同様の容量を有する1つのブロックとして一括消去が可能となる。   Blocks B000 to B007 are boot blocks and parameter blocks having a smaller storage capacity than normal blocks. When the boot block is unnecessary, the signal BOOTE is set to L level by a bonding option or the like. When the signal BLKSEL is at the H level at the time of erasing, the control unit 2 performs simultaneous selection of four blocks arranged in the horizontal direction. At this time, the control unit 2 simultaneously selects two blocks in the vertical direction. As a result, eight blocks B000 to B007 are selected. The boot block and the parameter block can be collectively erased as one block having the same capacity as the normal block.

図2は、メモリアレイ26の各々のメモリブロックに行列状に配列されるメモリトランジスタMTの説明をするための断面図である。   FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the memory transistors MT arranged in a matrix in each memory block of the memory array 26.

図2を参照して、メモリトランジスタMTは、基板SUB上に形成される不純物領域であるソースSおよびドレインDと、ソースSとドレインDの間の領域の上部に形成されるフローティングゲートFと、フローティングゲートFのさらに上部に形成されるコントロールゲートGとを含む。   Referring to FIG. 2, memory transistor MT includes a source S and a drain D, which are impurity regions formed on substrate SUB, and a floating gate F formed above a region between source S and drain D, And a control gate G formed above the floating gate F.

コントロールゲートに与える電圧VG,ソースに与える電圧VS,ドレインに与える電圧VDおよび基板部に与える電圧VWELLを所定の条件とすることによりメモリトランジスタMTのフローティングゲートFにチャージされる電荷量を変化させることができ、これによりメモリトランジスタMTのしきい値電圧が変化するので、メモリトランジスタMTはしきい値電圧の値によって与えられた情報を記憶することができる。   By changing the voltage VG applied to the control gate, the voltage VS applied to the source, the voltage VD applied to the drain, and the voltage VWELL applied to the substrate to predetermined conditions, the amount of charge charged in the floating gate F of the memory transistor MT is changed. As a result, the threshold voltage of the memory transistor MT changes, so that the memory transistor MT can store information given by the value of the threshold voltage.

図3は、図1における切換信号発生回路10の構成を示した回路図である。
図3を参照して、切換信号発生回路10は、信号♯NOBOOTが与えられるパッド56とノードN2との間に接続される抵抗32と、信号♯BOOTが与えられるパッド58とノードN1との間に接続される抵抗34と、ノードN1と電源電位VCCが与えられるノードとの間に接続されるキャパシタ36と、ノードN2と接地ノードとの間に接続されるキャパシタ42と、ノードN2に入力が接続されノードN1に出力が接続されるインバータ38と、ノードN1に入力が接続されノードN2に出力が接続されるインバータ40と、ノードN2に入力が接続されるインバータ44と、インバータ44の出力を受けて反転し信号BOOTEを出力するインバータ46とを含む。
FIG. 3 is a circuit diagram showing a configuration of switching signal generation circuit 10 in FIG.
Referring to FIG. 3, switching signal generating circuit 10 includes a resistor 32 connected between pad 56 to which signal #NOBOOT is applied and node N2, and between pad 58 to which signal #BOOT is applied and node N1. Input to node N2, a capacitor 36 connected between node N1 and a node to which power supply potential VCC is applied, a capacitor 42 connected between node N2 and the ground node, and an input to node N2. An inverter 38 connected to the output of the node N1, an inverter 40 having an input connected to the node N1 and an output connected to the node N2, an inverter 44 having an input connected to the node N2, and an output of the inverter 44 And an inverter 46 that receives and inverts and outputs a signal BOOTE.

図4は、図3の切換信号発生回路に対するボンディングオプションの説明をするための図である。   FIG. 4 is a diagram for explaining a bonding option for the switching signal generation circuit of FIG.

図5は、信号♯NOBOOT,♯BOOTの設定状態と切換のための信号BOOTEの関係を説明するための図である。   FIG. 5 is a diagram for explaining the relationship between the setting state of signals #NOBOOT and #BOOT and the signal BOOTE for switching.

図4、図5を参照して、信号♯NOBOOTが与えられるパッド56をLレベルに設定するときには、チップ50の周囲に存在する複数のリードのうち接地電位が与えられているリード52とパッド56とをワイヤ54によって接続する。この場合はパッド58はいずれのリードにも接続されないか、または電源電位が与えられるリードに他のワイヤによって接続される。このように設定すると切換のための信号BOOTEはLレベルに設定される。   Referring to FIGS. 4 and 5, when pad 56 to which signal #NOBOOT is applied is set to L level, lead 52 and pad 56 to which ground potential is applied among a plurality of leads existing around chip 50. Are connected by a wire 54. In this case, the pad 58 is not connected to any lead, or is connected to a lead to which a power supply potential is applied by another wire. With this setting, the signal BOOTE for switching is set to the L level.

信号BOOTEがLレベルに設定されると、図1のメモリブロックB000〜B007は1つの32kワードの記憶容量を有するブロックとして1回の指示で一括消去することができる。ブートブロックが必要でない場合には、消去時間を短くするためこのようにボンディングオプションが選択されて、不揮発性半導体記憶装置の生産が行なわれる。   When the signal BOOTE is set to L level, the memory blocks B000 to B007 in FIG. 1 can be collectively erased as one block having a storage capacity of 32k words by one instruction. When the boot block is not necessary, the bonding option is selected in this way to shorten the erase time, and the nonvolatile semiconductor memory device is produced.

一方、ワイヤ54で接続しないでその代わりにワイヤ55によってリード52とパッド58とを接続した場合には信号♯BOOTがLレベルに設定される。そしてこの場合にはパッド56は電源電位が与えられるリードに他のワイヤを用いて接続してもよいし未接続状態でもよい。このように設定すると切換のための信号BOOTEはHレベルに設定される。   On the other hand, when the lead 52 and the pad 58 are connected by the wire 55 instead of being connected by the wire 54, the signal #BOOT is set to the L level. In this case, the pad 56 may be connected to a lead to which a power supply potential is applied using another wire or may be in an unconnected state. With this setting, the signal BOOTE for switching is set to the H level.

信号BOOTEがHレベルに設定された場合にはブートブロックが必要とされる場合に相当し、メモリブロックB000〜B007は各々が消去単位の基本として取扱われる。   When signal BOOTE is set to H level, this corresponds to the case where a boot block is required, and each of memory blocks B000 to B007 is handled as the basis of the erase unit.

図6は、図1のプリデコーダの構成を説明するためのブロック図である。
図6を参照して、プリデコーダ18は、アドレスビットA15,A16,A17,A18を受け信号BOPを出力する4入力のNOR回路62と、制御信号として信号BOOTE,BLKSELおよびBOPを受けアドレスビットA14,A17,A18に応じて縦方向のブロック位置の選択を行なう信号BAVS0,BAVS1,BAVM0〜BAVM3を出力する縦方向ブロック選択回路64と、制御信号として信号BOOTE,BLKSELおよびBOPを受けアドレスビットA12,A13,A15,A16に基づいて横方向のブロック位置の選択を行なうための信号BAH0〜BAH3を出力する横方向ブロック選択回路66と、アドレスビットA6〜A15を受けて行選択に関するプリデコード信号PDROWを出力するプリデコード回路68と、アドレスビットA0〜A5に基づいて列選択に関するプリデコード信号PDCOLを出力するプリデコード回路70とを含む。
FIG. 6 is a block diagram for explaining the configuration of the predecoder of FIG.
Referring to FIG. 6, predecoder 18 receives address bits A15, A16, A17, A18 and outputs 4-bit NOR circuit 62, and receives signals BOOTE, BLKSEL and BOP as control signals, and address bit A14. , A17, A18 in accordance with vertical block selection circuit 64 for outputting signals BAVS0, BAVS1, BAVM0-BAVM3 for selecting vertical block positions, and signals BOOTE, BLKSEL and BOP as control signals, and address bits A12, A horizontal block selection circuit 66 for outputting signals BAH0 to BAH3 for selecting horizontal block positions based on A13, A15, and A16, and a predecode signal PDROW related to row selection in response to address bits A6 to A15. Prede to output And over de circuit 68, and a predecode circuit 70 which outputs a pre-decode signal PDCOL about columns selected based on the address bits A0-A5.

信号BAVS0,BAVS1,BAVM0〜BAVM3および信号BAH0〜BAH3、プリデコード信号PDROWに基づいてロウデコーダ72は行選択を行なう。また信号BAH0〜BAH3およびプリデコード信号PDCOLに基づいてコラムデコーダ74は列選択を行なう。   Row decoder 72 selects a row based on signals BAVS0, BAVS1, BAVM0-BAVM3, signals BAH0-BAH3, and predecode signal PDROW. Column decoder 74 performs column selection based on signals BAH0 to BAH3 and predecode signal PDCOL.

制御信号として与えられる信号BOOTEは図1の切換信号発生回路10によって発生される信号であり、4kワードのブートブロックが必要な場合にHレベルに設定される。また信号BLKSELは図1の内部コントローラ8の出力信号であり、複数ブロックの同時選択動作をコントロールする信号である。   The signal BOOTE given as a control signal is a signal generated by the switching signal generation circuit 10 of FIG. 1, and is set to the H level when a 4k word boot block is required. The signal BLKSEL is an output signal of the internal controller 8 in FIG. 1, and is a signal for controlling the simultaneous selection operation of a plurality of blocks.

図7は、図6の縦方向ブロック選択回路の構成を説明するための回路図である。
図7を参照して、縦方向ブロック選択回路64は、アドレスビットA14に応じて信号BAVS0,BAVS1を出力するアドレスデコード部82と、アドレスビットA17,A18に応じて信号BAVM0〜BAVM3を出力するアドレスデコード部84とを含む。
FIG. 7 is a circuit diagram for explaining the configuration of the vertical block selection circuit of FIG.
Referring to FIG. 7, vertical block selecting circuit 64 has an address decode unit 82 that outputs signals BAVS0 and BAVS1 in response to address bit A14, and an address that outputs signals BAVM0 to BAVM3 in response to address bits A17 and A18. A decoding unit 84.

アドレスデコード部82は、信号BLKSELがHレベルで、かつ、信号BOOTEがLレベルの場合にHレベルの信号を出力し他の場合にはLレベルの信号を出力するゲート回路86と、信号BOOTEがHレベルで、かつ、アドレスビットA14がLレベルの場合にHレベルの信号を出力し他の場合にはLレベルの信号を出力するゲート回路88と、信号BOOTEおよびアドレスビットA14を受けるAND回路90とを含む。   The address decoding unit 82 outputs a signal at H level when the signal BLKSEL is at H level and the signal BOOTE is at L level, and outputs a signal at L level in other cases, and the signal BOOTE A gate circuit 88 that outputs an H level signal when the address bit A14 is at the H level and outputs an L level signal when the address bit A14 is at the L level, and an AND circuit 90 that receives the signal BOOTE and the address bit A14 Including.

アドレスデコード部82は、さらに、ゲート回路86,88の出力を受けるOR回路92と、ゲート回路86の出力とAND回路90の出力とを受けるOR回路94と、OR回路92の出力と信号BOPとを受けて信号BAVS0を出力するAND回路96と、OR回路94の出力と信号BOPとを受けて信号BAVS1を出力するAND回路98とを含む。   Address decode unit 82 further includes an OR circuit 92 that receives the outputs of gate circuits 86 and 88, an OR circuit 94 that receives the outputs of gate circuit 86 and AND circuit 90, the output of OR circuit 92, and signal BOP. And an AND circuit 96 that outputs the signal BAVS0 and an AND circuit 98 that receives the output of the OR circuit 94 and the signal BOP and outputs the signal BAVS1.

アドレスデコード部84は、信号BOPとアドレスビットA17,A18とを受けて信号BAVM0を出力する3入力のNOR回路102と、信号BOPがLレベルの場合に活性化されアドレスビットA17がHレベルで、かつ、アドレスビットA18がLレベルである場合に信号BAVM1を活性化するゲート回路104と、アドレスビットA17がLレベルで、かつ、アドレスビットA18がHレベルである場合に信号BAVM2を活性化するゲート回路106と、アドレスビットA17,A18を受けて信号BAVM3を出力するAND回路108とを含む。   Address decoder 84 receives signal BOP and address bits A17 and A18 and outputs signal BAVM0, and is activated when signal BOP is at L level, and address bit A17 is at H level. A gate circuit 104 that activates the signal BAVM1 when the address bit A18 is at the L level, and a gate that activates the signal BAVM2 when the address bit A17 is at the L level and the address bit A18 is at the H level. Circuit 106 and AND circuit 108 which receives address bits A17 and A18 and outputs signal BAVM3.

ゲート回路106およびAND回路108に信号BOPが入力されていないのは、アドレスビットA18がHレベルである場合には図6のNOR回路62によってBOPはLレベルに設定されるため入力する必要がないからである。   The signal BOP is not input to the gate circuit 106 and the AND circuit 108 because when the address bit A18 is at the H level, the BOP is set to the L level by the NOR circuit 62 of FIG. Because.

なお、信号BOOTEがHレベルの場合、縦方向ブロック選択回路64の動作は従来の縦方向ブロック選択回路と全く同じである。信号BOOTEがLレベルで、かつ、信号BLKSELがLレベルの場合についても縦方向ブロック選択回路64の動作は従来の縦方向ブロック選択回路と全く同じである。   When the signal BOOTE is at the H level, the operation of the vertical block selecting circuit 64 is exactly the same as that of the conventional vertical block selecting circuit. Even when the signal BOOTE is at the L level and the signal BLKSEL is at the L level, the operation of the vertical block selecting circuit 64 is exactly the same as that of the conventional vertical block selecting circuit.

信号BOOTEがLレベルで、かつ、信号BLKSELがHレベルの場合には、アドレスビットA14がLレベルであるかHレベルにあるかにかかわらず、信号BAVS0,BAVS1がともにHレベルとなり、縦方向の2ブロックの同時選択が行なわれる。   When the signal BOOTE is at the L level and the signal BLKSEL is at the H level, the signals BAVS0 and BAVS1 are both at the H level regardless of whether the address bit A14 is at the L level or the H level. Two blocks are simultaneously selected.

図8は、図6における横方向ブロック選択回路の構成を示した回路図である。
図8を参照して、横方向ブロック選択回路66は、信号BOPに応じてアドレスビットA12,A13を選択アドレスビットSA0,SA1として選択するかまたはアドレスビットA15,A16を選択アドレスビットSA0,SA1として選択するかを決定するアドレス選択部110と、選択アドレスビットSA0,SA1のデコードを行なうアドレスデコード部112と、アドレスデコード部112の出力を有効にするか否かを決定する出力部114とを含む。
FIG. 8 is a circuit diagram showing a configuration of the horizontal block selection circuit in FIG.
Referring to FIG. 8, horizontal block selecting circuit 66 selects address bits A12 and A13 as selected address bits SA0 and SA1 or address bits A15 and A16 as selected address bits SA0 and SA1 according to signal BOP. Address selection unit 110 that determines whether to select, address decoding unit 112 that decodes selected address bits SA0 and SA1, and output unit 114 that determines whether or not the output of address decoding unit 112 is valid are included. .

アドレス選択部110は、信号BOPを受けて反転するインバータ116と、アドレスビットA12と信号BOPとを受けるNAND回路118と、アドレスビットA15とインバータ116の出力とを受けるNAND回路120と、NAND回路118,120の出力を受けて選択アドレスビットSA0を出力するNAND回路122とを含む。   Address selection unit 110 receives inverter B 116 that receives and inverts signal BOP, NAND circuit 118 that receives address bit A 12 and signal BOP, NAND circuit 120 that receives address bit A 15 and the output of inverter 116, and NAND circuit 118. , 120 and a NAND circuit 122 that outputs a selected address bit SA0.

アドレス選択部110は、さらに、アドレスビットA13と信号BOPとを受けるNAND回路124と、アドレスビットA16とインバータ116の出力とを受けるNAND回路126と、NAND回路124,126の出力を受けて選択アドレスビットSA1を出力するNAND回路128とを含む。   The address selection unit 110 further receives a NAND circuit 124 that receives the address bit A13 and the signal BOP, a NAND circuit 126 that receives the output of the address bit A16 and the inverter 116, and a selection address that receives the outputs of the NAND circuits 124 and 126. NAND circuit 128 that outputs bit SA1.

アドレスデコード部112は、選択アドレスビットSA0,SA1がいずれもLレベルである場合を検出するデコードゲート回路130と、選択アドレスビットSA0がHレベルで、かつ、選択アドレスビットSA1がLレベルである場合を検出するデコードゲート回路132と、選択アドレスビットSA0がLレベルで、かつ、選択アドレスビットSA1がHレベルであることを検出するデコードゲート回路134と、選択アドレスビットSA0,SA1がともにHレベルであることを検出するデコードゲート回路136とを含む。   The address decoding unit 112 detects the case where both of the selected address bits SA0 and SA1 are at the L level, and when the selected address bit SA0 is at the H level and the selected address bit SA1 is at the L level. , A decode gate circuit 132 for detecting that the selected address bit SA0 is at L level and a selected address bit SA1 is at H level, and both of the selected address bits SA0 and SA1 are at H level. And a decode gate circuit 136 for detecting the presence of the data.

出力部114は、信号BLKSEL,BOPがともにHレベルで、かつ信号BOOTEがLレベルであることを検知するゲート回路138と、ゲート回路138の出力とデコードゲート回路130の出力とを受けて信号BAH0を出力するOR回路140と、ゲート回路138の出力とデコードゲート回路132の出力とを受けて信号BAH1を出力するOR回路142と、ゲート回路138の出力とデコードゲート回路134の出力とを受けて信号BAH2を出力するOR回路144と、ゲート回路138の出力とデコードゲート回路136の出力とを受けて信号BAH3を出力するOR回路146とを含む。   The output unit 114 receives the signal BAH0 in response to the gate circuit 138 that detects that the signals BLKSEL and BOP are both at the H level and the signal BOOTE is at the L level, the output of the gate circuit 138, and the output of the decode gate circuit 130. OR circuit 140 that outputs the signal, the OR circuit 142 that receives the output of the gate circuit 138 and the output of the decode gate circuit 132 and outputs the signal BAH1, the output of the gate circuit 138, and the output of the decode gate circuit 134 An OR circuit 144 that outputs signal BAH2 and an OR circuit 146 that receives the output of gate circuit 138 and the output of decode gate circuit 136 and outputs signal BAH3 are included.

信号BOOTEがHレベルの場合には、図8に示した横方向ブロック選択回路66の動作は、従来の横方向ブロック選択回路と全く同じである。信号BOOTEがLレベルで、かつ、信号BLKSELがLレベルの場合についても横方向ブロック選択回路66の動作は、従来の横方向ブロック選択回路と全く同じである。   When the signal BOOTE is at the H level, the operation of the horizontal block selection circuit 66 shown in FIG. 8 is exactly the same as that of the conventional horizontal block selection circuit. Even when the signal BOOTE is at the L level and the signal BLKSEL is at the L level, the operation of the horizontal block selecting circuit 66 is exactly the same as that of the conventional horizontal block selecting circuit.

信号BOOTEがLレベルで、かつ、信号BLKSELがHレベルの場合にはアドレスビットA12,A13がLレベルであるかHレベルにあるかにかかわらず、信号BAH0,BAH1,BAH2,BAH3はともにHレベルとなり、横方向に並ぶ4ブロックの同時選択が行なわれる。このとき、図7の縦方向ブロック選択回路では、アドレスビットA14がLレベルであるかHレベルにあるかにかかわらず、信号BAVS0,BAVS1がともにHレベルとなり、縦方向の2ブロックの同時選択が行なわれるので、その結果ブロックB000〜B007の8つのブロックの選択が行なわれることになる。   When the signal BOOTE is at the L level and the signal BLKSEL is at the H level, the signals BAH0, BAH1, BAH2, and BAH3 are all at the H level regardless of whether the address bits A12 and A13 are at the L level or the H level. Thus, simultaneous selection of four blocks arranged in the horizontal direction is performed. At this time, in the vertical direction block selection circuit of FIG. 7, both the signals BAVS0 and BAVS1 are at the H level regardless of whether the address bit A14 is at the L level or the H level, and simultaneous selection of two vertical blocks is performed. As a result, eight blocks B000 to B007 are selected as a result.

図9は、図1における内部コントローラのブロック消去時の動作フローを説明するためのフローチャートである。   FIG. 9 is a flowchart for explaining an operation flow at the time of block erasing of the internal controller in FIG.

図9を参照して、実施の形態1に係る発明のフラッシュメモリにおいて特徴的なブロック単位の消去動作について説明する。   Referring to FIG. 9, a block-unit erase operation characteristic of the flash memory according to the first embodiment will be described.

消去をブロック一括で実施することによりフラッシュメモリは特徴づけられる。しかしながら、消去動作のフローのうち、ブロック全体のメモリセルに対して一括してパルスを印加するのは、ステップS2におけるブロック一括書込と、ステップS4で実行されるブロック一括消去パルス1の印加と、ステップS5で行なわれるブロック一括ソフト書込と、ステップS7で行なわれるブロック一括消去パルス2の印加である。なお、ブロック一括ソフト書込とは、ステップS2で行なわれた書込よりもパルス印加時間が短くされたり印加するパルスの電圧を低く抑えたりされた弱い一括書込のことである。   Flash memory is characterized by performing block erasing in batches. However, in the flow of the erase operation, the pulse is applied to the memory cells in the entire block at once by the block collective write in step S2 and the application of the block collective erase pulse 1 executed in step S4. The block batch soft writing performed in step S5 and the block batch erase pulse 2 applied in step S7. Note that the block collective soft writing is weak collective writing in which the pulse application time is shortened or the voltage of the pulse to be applied is suppressed to be lower than the writing performed in step S2.

本発明においては、ステップS2,S4,S5,S7の4ステップの実行時において8個の4kワードのブロックB000〜B007を図7に示した縦方向ブロック選択回路64および図8に示した横方向ブロック選択回路66によって同時選択可能としている。これら4つのステップにおいて8個の4kワードブロックを1個のメインブロック(32kワードブロック)として扱うことが可能になる。   In the present invention, during the execution of the four steps S2, S4, S5, and S7, eight 4k word blocks B000 to B007 are converted into the vertical block selection circuit 64 shown in FIG. 7 and the horizontal direction shown in FIG. The block selection circuit 66 allows simultaneous selection. In these four steps, eight 4k word blocks can be handled as one main block (32k word block).

図9の動作フローを順に説明すると、外部から消去コマンドと対応するアドレスが入力されるとステップS1において消去動作が開始される。ステップS2においては消去の対象となるブロックに一括書込が指示される。内部コントローラ8は、ステップS2を実行する場合には信号BLKSELをHレベルに設定する。これにより複数ブロックの同時選択が行なわれるため4kワードが使用されない設定になっている場合には図1のメモリブロックB000〜B007が同時選択され一括して書込パルスが印加される。   The operation flow of FIG. 9 will be described in order. When an address corresponding to the erase command is input from the outside, the erase operation is started in step S1. In step S2, batch writing is instructed to a block to be erased. The internal controller 8 sets the signal BLKSEL to the H level when executing step S2. As a result, a plurality of blocks are simultaneously selected, and when 4k words are set not to be used, memory blocks B000 to B007 in FIG. 1 are simultaneously selected and a write pulse is applied collectively.

この信号BLKSELは、消去ブロックのメモリセルに一括してパルスを与えるステップにおいてのみHレベルに設定される。つまりステップS2の実行時の他にもステップS4,S5,S7の実行時にHレベルに設定され、他の場合にはLレベルに設定されている。   This signal BLKSEL is set to H level only in the step of applying a pulse to the memory cells in the erase block at once. That is, in addition to the execution of step S2, it is set to the H level when executing steps S4, S5 and S7, and is set to the L level in other cases.

続いてステップS3に進み消去ベリファイ1が行なわれる。消去ベリファイ1は指定されたメモリブロックのメモリトランジスタのしきい値電圧が所定の消去状態に対応するしきい値電圧になっているか否かを確認する動作である。一定の消去状態に達していない場合には消去ベリファイはフェイルとなりステップS4に進み、ブロック一括消去パルスが消去対象ブロックに印加される。ステップS4における消去パルスの印加が終了すると再びステップS3に進み消去ベリファイ1が実行される。   In step S3, erase verify 1 is performed. Erase verify 1 is an operation for confirming whether or not the threshold voltage of the memory transistor of the specified memory block is a threshold voltage corresponding to a predetermined erase state. If the predetermined erase state has not been reached, the erase verify is failed and the process proceeds to step S4, where a block batch erase pulse is applied to the erase target block. When the application of the erase pulse in step S4 is completed, the process proceeds to step S3 again and erase verify 1 is executed.

ステップS3において消去ベリファイ1がパスするとステップS5に進みブロック一括ソフト書込が実行される。そしてステップS6に進み消去ベリファイ2が実行される。消去ベリファイ2が完了していない場合にはステップS7に進みブロック一括消去パルス2が選択ブロックに与えられる。そしてステップS6に進み再び消去ベリファイ2が実行される。   When the erase verify 1 is passed in step S3, the process proceeds to step S5 and block batch software writing is executed. In step S6, erase verify 2 is executed. If the erase verify 2 has not been completed, the process proceeds to step S7 where the block collective erase pulse 2 is applied to the selected block. In step S6, erase verify 2 is executed again.

ステップS6において消去ベリファイ2がパスすると、ステップS8において過消去状態を検出するオーバーイレースベリファイが行なわれる。過消去とは、消去パルスを加えることにより、メモリトランジスタのしきい値電圧が所定の範囲を超えて変化してしまうことである。   If erase verify 2 passes in step S6, over erase verify for detecting an over erase state is performed in step S8. Over-erasing is that the threshold voltage of the memory transistor changes beyond a predetermined range by applying an erase pulse.

過消去が検出されオーバーイレースベリファイがフェイルするとステップS9においてオーバーイレースリカバー動作が行なわれる。そしてステップS10においてしきい値電圧Vthの下限値の検証すなわちベリファイが行なわれ、その結果がフェイルであればステップS9に戻る。ステップS10においてベリファイ結果がパスであればステップS8で再びオーバーイレースベリファイが行なわれる。ステップS8において結果がパスであればステップS11に進みブロック消去の動作が完了する。   When overerasure is detected and overerase verify fails, an overerase recovery operation is performed in step S9. In step S10, the lower limit value of the threshold voltage Vth is verified, that is, verified. If the result is a failure, the process returns to step S9. If the verify result is a pass in step S10, over-erase verification is performed again in step S8. If the result is “pass” in step S8, the process proceeds to step S11 to complete the block erase operation.

[切換信号発生回路の変形例]
図10は、図3で説明した切換信号発生回路の第1の変形例を説明するための回路図である。
[Modification of switching signal generation circuit]
FIG. 10 is a circuit diagram for explaining a first modification of the switching signal generating circuit explained in FIG.

図10を参照して、切換信号発生回路10Aは、信号♯BOOTが与えられるパッド152とノードN3との間に接続される抵抗156と、パワーオンリセット信号PORを受けて反転するインバータ154と、電源ノードとノードN3との間に接続されゲートにインバータ154の出力を受けるPチャネルMOSトランジスタ158と、電源ノードとノードN3との間に接続されるキャパシタ160とを含む。   Referring to FIG. 10, switching signal generating circuit 10A includes a resistor 156 connected between pad 152 to which signal #BOOT is applied and node N3, an inverter 154 which receives and inverts power-on reset signal POR, P channel MOS transistor 158 connected between the power supply node and node N3 and receiving the output of inverter 154 at the gate, and capacitor 160 connected between the power supply node and node N3 are included.

切換信号発生回路10Aは、さらに、ノードN3に入力が接続されノードN4に出力が接続されるインバータ164と、電源ノードとノードN3との間に接続されゲートがノードN4に接続されるPチャネルMOSトランジスタ162と、ノードN4と接地ノードとの間に接続されるキャパシタ166と、ノードN4に入力が接続されるインバータ168と、インバータ168の出力を受けて反転し信号BOOTEを出力するインバータ170とを含む。   Switch signal generating circuit 10A further includes an inverter 164 having an input connected to node N3 and an output connected to node N4, and a P-channel MOS connected between a power supply node and node N3 and having a gate connected to node N4. Transistor 162, capacitor 166 connected between node N4 and the ground node, inverter 168 whose input is connected to node N4, and inverter 170 which receives and inverts the output of inverter 168 and outputs signal BOOTE Including.

図11は、図10に示した切換信号発生回路の設定と出力を説明する図である。
図11を参照して、ワイヤボンディングオプションによって接地電位が与えられるリードにパッド152が接続される場合には信号♯BOOTはLレベルに設定されこれに応じて信号BOOTEはHレベルに設定される。
FIG. 11 is a diagram for explaining setting and output of the switching signal generating circuit shown in FIG.
Referring to FIG. 11, when pad 152 is connected to a lead to which a ground potential is applied by the wire bonding option, signal #BOOT is set to L level, and signal BOOTE is set to H level accordingly.

一方、パッド152が電源電位を受けるリードにワイヤで接続される場合または開放状態にされリードとは接続されない状態においては、信号BOOTEはLレベルに設定される。このように切換信号発生回路10を変形してもよい。   On the other hand, when pad 152 is connected to a lead receiving a power supply potential by a wire, or in a state where it is opened and not connected to the lead, signal BOOTE is set to L level. In this way, the switching signal generation circuit 10 may be modified.

図12は、切換信号発生回路の第2の変形例を示す回路図である。
図12を参照して、切換信号発生回路10Bは、パワーオンリセット信号PORを受けて反転するインバータ172と、電源ノードとノードN5との間に接続されゲートにインバータ172の出力を受けるPチャネルMOSトランジスタ174と、ノードN5とノードN6との間に接続されレーザ光線により切断可能なヒューズ素子176と、ノードN6と接地ノードとの間に接続されゲートにインバータ172の出力を受けるNチャネルMOSトランジスタ178とを含む。
FIG. 12 is a circuit diagram showing a second modification of the switching signal generating circuit.
Referring to FIG. 12, switching signal generating circuit 10B includes an inverter 172 that receives and inverts power-on reset signal POR, and a P-channel MOS that is connected between a power supply node and node N5 and receives the output of inverter 172 at its gate. Transistor 174, fuse element 176 connected between nodes N5 and N6, which can be cut by a laser beam, and N-channel MOS transistor 178 connected between node N6 and the ground node and receiving the output of inverter 172 at its gate Including.

切換信号発生回路10Bは、さらに、ノードN5に入力が接続されノードN7に出力が接続されるインバータ182と、電源ノードとノードN5との間に接続されゲートがノードN7に接続されるPチャネルMOSトランジスタ174と、インバータ172の出力を受けて反転するインバータ184と、インバータ182の出力とインバータ184の出力とを受けるNOR回路186と、NOR回路186の出力を受けて反転するインバータ188と、インバータ188の出力を受けて反転し信号BOOTEを出力するインバータ190とを含む。   Switch signal generating circuit 10B further includes an inverter 182 having an input connected to node N5 and an output connected to node N7, and a P-channel MOS connected between a power supply node and node N5 and having a gate connected to node N7. Transistor 174, inverter 184 that receives and inverts the output of inverter 172, NOR circuit 186 that receives the output of inverter 182 and the output of inverter 184, inverter 188 that receives and inverts the output of NOR circuit 186, and inverter 188 And an inverter 190 that inverts and outputs a signal BOOTE.

図13は、ヒューズ素子の状態と切換を制御する信号BOOTEとの関係を説明するための図である。   FIG. 13 is a diagram for explaining the relationship between the state of the fuse element and the signal BOOTE that controls switching.

図12、図13を参照して、ヒューズ素子176がレーザ光線によりカットされた場合にはノードN5はHレベルに保持されノードN7はLレベルになる。そして、パワーオンリセットが解除された後にはインバータ184の出力もLレベルになる。すると切換制御のための信号BOOTEはHレベルに設定される。   Referring to FIGS. 12 and 13, when fuse element 176 is cut by a laser beam, node N5 is held at H level and node N7 is at L level. Then, after the power-on reset is released, the output of the inverter 184 also becomes L level. Then, signal BOOTE for switching control is set to H level.

一方、ヒューズ素子176が導通状態にある場合には、パワーオンリセットが解除されるとノードN5はLレベルに設定されその結果ノードN7はHレベルに設定される。するとNOR回路186の出力がLレベルとなるので、切換のための信号BOOTEはLレベルに設定されることになる。   On the other hand, when fuse element 176 is in a conductive state, node N5 is set to L level and node N7 is set to H level when the power-on reset is released. Then, since the output of NOR circuit 186 becomes L level, signal BOOTE for switching is set to L level.

不揮発性半導体記憶装置のような半導体記憶装置は不良メモリセルが存在する場合に冗長メモリセルと置換を行なうためヒューズ素子を切断する工程を有する場合が多い。したがってこの切断工程において切換信号発生回路のヒューズ素子を切断すれば特別な装置を用意しなくても切換信号の設定を変えることができる。   A semiconductor memory device such as a nonvolatile semiconductor memory device often has a step of cutting a fuse element in order to replace a redundant memory cell when a defective memory cell exists. Accordingly, if the fuse element of the switching signal generating circuit is cut in this cutting step, the setting of the switching signal can be changed without preparing a special device.

図14は、切換信号発生回路の第3の変形例を示す回路図である。
図14を参照して、切換信号発生回路10Cは、パワーオンリセット信号PORを受けて反転するインバータ192と、電源ノードとノードN8との間に接続されゲートにインバータ192の出力を受けるPチャネルMOSトランジスタ196と、ノードN8と通常の電源電位よりも高い電源電位HVCCとを選択的にのN9に結合するスイッチ198と、ノードN9とノードN10との間に接続されるメモリトランジスタ200と、ノードN10と接地ノードとの間に接続されるスイッチ202と、メモリトランジスタ200のコントロールゲートを制御するためのスイッチ194とを含む。
FIG. 14 is a circuit diagram showing a third modification of the switching signal generating circuit.
Referring to FIG. 14, switching signal generation circuit 10C includes an inverter 192 that receives and inverts power-on reset signal POR, and a P-channel MOS that is connected between the power supply node and node N8 and receives the output of inverter 192 at its gate. A transistor 196, a switch 198 that selectively couples node N8 and power supply potential HVCC higher than the normal power supply potential to N9, a memory transistor 200 connected between nodes N9 and N10, and node N10 And a switch 202 connected between the memory node 200 and the ground node, and a switch 194 for controlling the control gate of the memory transistor 200.

メモリトランジスタ200は、本発明の不揮発性半導体記憶装置のメモリアレイに含まれているメモリトランジスタと同様な構成を有している。したがって新たな工程を追加しなくてもパターン設計を変更することで切換信号発生回路10Cの内部にメモリトランジスタ200を設けることが可能である。スイッチ198、194、202は、所定のテストモードにおいてイレースコマンドやプログラムコマンドに応じてノードN9、ノードN10およびメモリトランジスタ200のコントロールゲートを制御するために設けられる。この所定のテストモードにおいてメモリトランジスタ200のフローティングゲートの保持内容を設定する。   The memory transistor 200 has the same configuration as the memory transistor included in the memory array of the nonvolatile semiconductor memory device of the present invention. Therefore, it is possible to provide the memory transistor 200 in the switching signal generation circuit 10C by changing the pattern design without adding a new process. Switches 198, 194 and 202 are provided for controlling the control gates of node N9, node N10 and memory transistor 200 in accordance with an erase command or a program command in a predetermined test mode. In this predetermined test mode, the contents held in the floating gate of the memory transistor 200 are set.

メモリトランジスタ200の記憶内容が設定された後にはスイッチ194はインバータ192の出力をメモリトランジスタ200の制御ゲートに与えスイッチ198はノードN8とノードN9とを接続し、スイッチ202はノードN10を接地ノードに接続する。   After the storage contents of the memory transistor 200 are set, the switch 194 applies the output of the inverter 192 to the control gate of the memory transistor 200, the switch 198 connects the node N8 and the node N9, and the switch 202 connects the node N10 to the ground node. Connecting.

切換信号発生回路10Cは、さらに、ノードN8に入力が接続されノードN10に出力が接続されるインバータ206と、電源ノードとノードN8との間に接続されゲートがノードN10に接続されるPチャネルMOSトランジスタ204と、インバータ192の出力を受けて反転するインバータ208と、インバータ206の出力とインバータ208の出力とを受けるNOR回路210と、NOR回路210の出力を受けて反転するインバータ212と、インバータ212の出力を受けて反転し信号BOOTEを出力するインバータ214とを含む。   Switch signal generating circuit 10C further includes an inverter 206 having an input connected to node N8 and an output connected to node N10, and a P-channel MOS connected between a power supply node and node N8 and having a gate connected to node N10. Transistor 204, inverter 208 that receives and inverts the output of inverter 192, NOR circuit 210 that receives the output of inverter 206 and the output of inverter 208, inverter 212 that receives and inverts the output of NOR circuit 210, and inverter 212 And an inverter 214 that inverts and outputs a signal BOOTE.

図15は、図14の切換信号発生回路のメモリトランジスタに設定されたしきい値電圧と信号BOOTEとの関係を示した図である。   FIG. 15 is a diagram showing the relationship between the threshold voltage set in the memory transistor of the switching signal generation circuit of FIG. 14 and the signal BOOTE.

図14、図15を参照して、メモリトランジスタ200のしきい値電圧Vthが所定の電圧より高い場合には、インバータ192の出力が活性化されてもメモリトランジスタ200は非導通状態となる。したがって、図12においてヒューズ素子176がカットされている状態と同様となり信号BOOTEはこれに応じてHレベルに設定される。   Referring to FIGS. 14 and 15, when threshold voltage Vth of memory transistor 200 is higher than a predetermined voltage, memory transistor 200 is rendered non-conductive even when the output of inverter 192 is activated. Accordingly, in FIG. 12, the state is the same as the state in which fuse element 176 is cut, and signal BOOTE is set to the H level accordingly.

一方、メモリトランジスタ200のしきい値電圧Vthが所定の値より低い場合には、インバータ192の出力がHレベルとなるとメモリトランジスタ200は導通しノードN9がノードN10に接続される。したがって、図12の回路においてヒューズ素子176が導通している場合と同様となり信号BOOTEはLレベルに設定される。   On the other hand, when threshold voltage Vth of memory transistor 200 is lower than a predetermined value, when the output of inverter 192 becomes H level, memory transistor 200 becomes conductive and node N9 is connected to node N10. Therefore, the signal BOOTE is set to the L level as in the case where the fuse element 176 is conductive in the circuit of FIG.

このように、本発明においては不揮発性メモリセルを製造するプロセスフローが適用されているため、信号BOOTEを設定するために不揮発性メモリセルと同様なメモリトランジスタを使用しても製造工程が追加されることもなく好適に切換信号の発生をさせることができる。   As described above, since the process flow for manufacturing the nonvolatile memory cell is applied in the present invention, a manufacturing process is added even if a memory transistor similar to the nonvolatile memory cell is used to set the signal BOOTE. The switching signal can be suitably generated without any problem.

[実施の形態1の変形例]
以上の実施の形態においては、図1のプリデコーダ18においてブロック選択を複数同時にある一定のパルス印加時に選択することによって複数ブロックを1回の指示で同時に消去する構成について説明したが、内部コントローラにおいて1回の外部からの指示に応じてシーケンシャルに複数ブロックの消去を行なわせることによっても外部から見ると同様な動作を実行させることができる。
[Modification of Embodiment 1]
In the above embodiment, the configuration in which a plurality of blocks are simultaneously erased by one instruction by selecting a plurality of block selections simultaneously when a certain pulse is applied in the predecoder 18 of FIG. 1 has been described. A similar operation can be executed when viewed from the outside by sequentially erasing a plurality of blocks in response to a single external instruction.

図16は、実施の形態1の変形例に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を説明するためのブロック図である。   FIG. 16 is a block diagram for explaining a configuration of a nonvolatile semiconductor memory device according to a modification of the first embodiment.

図16を参照して、不揮発性半導体記憶装置221は、図1で説明した不揮発性半導体記憶装置1の構成において制御部2に代えて制御部2Aを含む。制御部2Aは、図1の制御部2の構成において内部コントローラ8とプリデコーダ18にそれぞれ代えて内部コントローラ8Aとプリデコーダ18Aとを含む。他の部分の不揮発性半導体記憶装置221の構成は図1に示した不揮発性半導体記憶装置1と同様であるので説明は繰返さない。   Referring to FIG. 16, nonvolatile semiconductor memory device 221 includes a control unit 2 </ b> A instead of control unit 2 in the configuration of nonvolatile semiconductor memory device 1 described with reference to FIG. 1. The control unit 2A includes an internal controller 8A and a predecoder 18A in place of the internal controller 8 and the predecoder 18 in the configuration of the control unit 2 of FIG. The configuration of the other part of nonvolatile semiconductor memory device 221 is similar to that of nonvolatile semiconductor memory device 1 shown in FIG. 1, and therefore description thereof will not be repeated.

プリデコーダ18Aは、図27で説明した従来のブロック選択動作と同様な動作を行なう。   Predecoder 18A performs the same operation as the conventional block selection operation described in FIG.

図17は、図16における内部コントローラの消去動作を説明するためのフローチャートである。   FIG. 17 is a flow chart for explaining the erase operation of the internal controller in FIG.

図17を参照して、内部コントローラ8Aは、外部から制御信号により所定ブロックの消去指示を受けるとステップS21において消去動作を開始する。   Referring to FIG. 17, internal controller 8A starts an erasing operation in step S21 when it receives an erasing instruction for a predetermined block by a control signal from the outside.

ステップS22においては消去の対象となるブロックに一括書込が指示される。続いてステップS23に進み消去ベリファイ1が行なわれる。消去ベリファイ1は指定されたメモリブロックのメモリトランジスタのしきい値電圧が所定の消去状態に対応するしきい値電圧になっているか否かを確認する動作である。一定の消去状態に達していない場合には消去ベリファイはフェイルとなりステップS24に進み、ブロック一括消去パルスが消去対象ブロックに印加される。ステップS24における消去パルスの印加が終了すると再びステップS23に進み消去ベリファイ1が実行される。   In step S22, batch writing is instructed to the block to be erased. In step S23, erase verify 1 is performed. Erase verify 1 is an operation for confirming whether or not the threshold voltage of the memory transistor of the specified memory block is a threshold voltage corresponding to a predetermined erase state. If the predetermined erase state has not been reached, the erase verify is failed and the process proceeds to step S24, where a block batch erase pulse is applied to the erase target block. When the application of the erase pulse in step S24 is completed, the process proceeds to step S23 again and erase verify 1 is executed.

ステップS23において消去ベリファイ1がパスすると、ステップS25に進みブロック一括ソフト書込が実行される。そしてステップS26に進み消去ベリファイ2が実行される。消去ベリファイ2が完了していない場合にはステップS27に進みブロック一括消去パルス2が選択ブロックに与えられる。そしてステップS26に進み再び消去ベリファイ2が実行される。   When the erase verify 1 is passed in step S23, the process proceeds to step S25, and block batch software writing is executed. In step S26, erase verify 2 is executed. If the erase verify 2 has not been completed, the process proceeds to step S27 where the block collective erase pulse 2 is applied to the selected block. In step S26, erase verify 2 is executed again.

ステップS26において消去ベリファイ2がパスすると、ステップS28において過消去状態を検出するオーバーイレースベリファイが行なわれる。   When erase verify 2 passes in step S26, over erase verify for detecting an overerased state is performed in step S28.

過消去が検出されオーバーイレースベリファイがフェイルするとステップS29においてオーバーイレースリカバー動作が行なわれる。そしてステップS30においてしきい値電圧Vthの下限値の検証すなわちベリファイが行なわれ、その結果がフェイルであればステップS29に戻る。   When overerasure is detected and overerase verify fails, overerase recovery operation is performed in step S29. In step S30, the lower limit value of the threshold voltage Vth is verified, that is, verified. If the result is a failure, the process returns to step S29.

ステップS30においてベリファイ結果がパスであればステップS28で再びオーバーイレースベリファイが行なわれる。ステップS28において結果がパスであればステップS31に進む。   If the verification result is pass in step S30, over-erase verification is performed again in step S28. If the result is a pass in step S28, the process proceeds to step S31.

ステップS31では、切換信号発生部で発生される信号BOOTEがチェックされる。信号BOOTEがHレベルであればブートブロックが必要であるということを意味するので、最初に指定されたブロックのみを消去してステップS34に進み消去動作が終了する。   In step S31, the signal BOOTE generated by the switching signal generator is checked. If the signal BOOTE is at the H level, it means that a boot block is necessary. Therefore, only the first designated block is erased, and the process proceeds to step S34, where the erase operation is terminated.

一方、信号BOOTEがLレベルであればブートブロックが不要であるということを意味するので4kワードのブロックB000〜B007は一括消去の対象となる。したがってステップS32へ進み、現在消去が完了したブロックが一括消去の対象となるブロックのうちの最終ブロックであるか否かが判断される。   On the other hand, if the signal BOOTE is at the L level, it means that a boot block is not necessary, so that the blocks B000 to B007 of 4k words are to be erased collectively. Therefore, the process proceeds to step S32, and it is determined whether or not the block that has been erased is the last block among the blocks to be erased at once.

最終ブロックでない場合にはステップS33に進み、次のブロックに消去対象が変更される。たとえば今消去したブロックがブロックB000である場合には次のブロックB001に消去対象が変更される。そして再びステップS22に進み対象となったブロックの一括消去が実行される。   If it is not the last block, the process proceeds to step S33, and the erase target is changed to the next block. For example, if the block that has been erased is block B000, the erase target is changed to the next block B001. Then, the process proceeds to step S22 again, and the batch erasure of the target block is executed.

ステップS32においてブロックが最終ブロックであることが検出される場合つまりブロックB000から順番に消去が進み現在消去が完了したブロックがB007である場合にはステップS34に進む。また現在消去しているブロックが4kワードのブロックでない場合つまりブロックB008〜B022であった場合には同様にステップS34に進み消去動作が完了する。   If it is detected in step S32 that the block is the last block, that is, if erasure proceeds sequentially from block B000 and the block that has been erased is B007, the process proceeds to step S34. If the currently erased block is not a 4k word block, that is, if it is a block B008 to B022, the process similarly proceeds to step S34 and the erase operation is completed.

このように複数のブロックを同時に選択することを行なわなくても、1回の消去指示に応じて複数ブロックを1ブロックずつ消去していくシーケンスをコントローラに組込んでおいてもよい。   A sequence for erasing a plurality of blocks one block at a time in response to one erasure instruction may be incorporated in the controller without selecting a plurality of blocks at the same time.

[実施の形態2]
実施の形態1では、図1の4kワードのメモリブロックB000〜B007を個別に消去する場合と一括して消去する場合とを所定の設定によって切換えることができる不揮発性メモリについて説明した。この場合メモリブロックB100はメモリアレイの連続性のためには設ける必要があったが常に不使用とされる領域であった。4kワードブロックが必要とされない場合には、メモリブロックB000〜B007に代えて従来不使用とされてきたメモリブロックB100を選択するようにプリデコーダを構成すればよい。
[Embodiment 2]
In the first embodiment, the nonvolatile memory capable of switching between the case of individually erasing the 4k word memory blocks B000 to B007 of FIG. In this case, the memory block B100 was an area that was always used, although it was necessary to provide it for the continuity of the memory array. When the 4k word block is not required, the predecoder may be configured to select the memory block B100 that has been conventionally unused instead of the memory blocks B000 to B007.

図18は、実施の形態2におけるプリデコーダ18Bの構成を示したブロック図である。   FIG. 18 is a block diagram showing a configuration of predecoder 18B in the second embodiment.

図18を参照して、プリデコーダ18Bは、図6において説明したプリデコーダ18の構成において、NOR回路62に代えてBOP発生回路62Bを含み、縦方向ブロック選択回路64に代えて縦方向ブロック選択回路64Bを含み、横方向ブロック選択回路66に代えて横方向ブロック選択回路66Bを含む。他の部分のプリデコーダ18Bの構成は、図6において説明したプリデコーダ18と同様であり説明は繰返さない。   Referring to FIG. 18, predecoder 18B includes a BOP generation circuit 62B in place of NOR circuit 62 in the configuration of predecoder 18 described in FIG. 6, and a vertical block selection in place of vertical block selection circuit 64. A circuit 64B is included, and a horizontal block selection circuit 66B is included instead of the horizontal block selection circuit 66. The configuration of predecoder 18B in the other part is similar to that of predecoder 18 described in FIG. 6, and description thereof will not be repeated.

BOP発生回路62Bは、アドレスビットA15,A16,A17,A18を受ける4入力のNOR回路222と、NOR回路222の出力と信号BOOTEとを受けて信号BOPを出力するAND回路223とを含む。   BOP generation circuit 62B includes a 4-input NOR circuit 222 that receives address bits A15, A16, A17, and A18, and an AND circuit 223 that receives an output from NOR circuit 222 and a signal BOOTE and outputs a signal BOP.

実施の形態1ではこの信号BOPは不使用であったメモリブロックB100に対応するアドレスが入力された場合にその代わりにブロックB000〜B007を選択する動作にプリデコーダの動作切換を行なうための信号であった。図18に示した構成では、信号BOOTEがLレベルの場合には常にこの信号BOPがLレベルに非活性化されてブロックB000〜B007は選択されなくなり、その代わりに32kワードのブロックB100が選択されることになる。したがって外部から与える消去の指示は図30で説明したメモリアレイ700と同様16回ですむことになる。   In the first embodiment, this signal BOP is a signal for switching the operation of the predecoder to the operation of selecting the blocks B000 to B007 instead when the address corresponding to the memory block B100 which has not been used is input. there were. In the configuration shown in FIG. 18, whenever the signal BOOTE is at the L level, the signal BOP is deactivated to the L level and the blocks B000 to B007 are not selected. Instead, the block B100 of 32k words is selected. Will be. Therefore, the erase instruction given from the outside is only required 16 times as in the memory array 700 described with reference to FIG.

図19は図18における縦方向ブロック選択回路の構成を示す回路図である。
図19を参照して、縦方向ブロック選択回路64Bは、図7で説明した縦方向ブロック選択回路64の構成においてアドレスデコード部82に代えてアドレスデコード部82Aを含む。他の部分の縦方向ブロック選択回路64Bの構成は図7で説明した縦方向ブロック選択回路64と同様であり説明は繰返さない。
FIG. 19 is a circuit diagram showing a configuration of the vertical block selection circuit in FIG.
Referring to FIG. 19, vertical block selecting circuit 64B includes an address decoding unit 82A in place of address decoding unit 82 in the configuration of vertical block selecting circuit 64 described with reference to FIG. The configuration of the vertical block selection circuit 64B in other parts is the same as that of the vertical block selection circuit 64 described with reference to FIG. 7, and description thereof will not be repeated.

アドレスデコード部82Aは、信号BOPがHレベルに活性化されたときにアドレスビットA14を反転して信号BAVS0を出力するゲート回路224と、信号BOPとアドレスビットA14とを受けて信号BAVS1を出力するAND回路226とを含む。   Address decode unit 82A receives gate circuit 224 that inverts address bit A14 and outputs signal BAVS0 when signal BOP is activated to H level, and receives signal BOP and address bit A14, and outputs signal BAVS1. And an AND circuit 226.

信号BOPがLレベルに非活性化された場合には縦方向ブロックを選択する信号BAVS0,BAVS1はともにLレベルに非活性化されメモリブロックB000〜B007が選択されない状態となる。一方、信号BOPがHレベルに活性化されたときにはアドレスビットA14に応じて信号BAVS0,BAVS1のいずれか一方がHレベルに活性化されメモリブロックB000〜B007のいずれかが選択可能となる。   When signal BOP is deactivated to L level, signals BAVS0 and BAVS1 for selecting the vertical block are both deactivated to L level, and memory blocks B000 to B007 are not selected. On the other hand, when signal BOP is activated to H level, one of signals BAVS0 and BAVS1 is activated to H level according to address bit A14, and any of memory blocks B000 to B007 can be selected.

図20は、図18における横方向ブロック選択回路の構成を示した回路図である。
図20を参照して、横方向ブロック選択回路66Bは、アドレス選択部110とアドレスデコード部112とを含む。アドレス選択部110およびアドレスデコード部112の構成は図8において既に説明しているので説明は繰返さない。なお、横方向ブロック選択回路66Bにおいては、アドレスデコード部112のデコードゲート回路130,132,134,136からそれぞれ信号BAH0,BAH1,BAH2,BAH3が出力される点が図8と異なっている。
FIG. 20 is a circuit diagram showing a configuration of the horizontal block selection circuit in FIG.
Referring to FIG. 20, horizontal block selection circuit 66B includes an address selection unit 110 and an address decoding unit 112. Since configurations of address selection unit 110 and address decoding unit 112 have already been described with reference to FIG. 8, description thereof will not be repeated. The horizontal block selection circuit 66B is different from FIG. 8 in that signals BAH0, BAH1, BAH2, and BAH3 are output from the decode gate circuits 130, 132, 134, and 136 of the address decoding unit 112, respectively.

図18の信号BOOTEは実施の形態1と同様4kワード領域を持つか持たないかを決定する信号である。実施の形態2においても実施の形態1で説明したような切換信号発生回路10,10A,10B,10Cを用いて発生することが可能である。図18のBOP発生回路62Bにおいて信号BOPを信号BOOTEによって直接コントロールすることにより信号BOPがHレベルのときにメモリブロックB000〜B007を選択し、信号BOPがLレベルのときにメモリブロックB100を選択することが可能となる。このことにより1品種にて4kワードのメモリブロックを持つフラッシュメモリと4kワードのメモリブロックを持たないフラッシュメモリとを同時に実現可能となる。   The signal BOOTE in FIG. 18 is a signal for determining whether or not it has a 4k word area as in the first embodiment. In the second embodiment, the switching signal generating circuits 10, 10A, 10B, and 10C as described in the first embodiment can be used. In the BOP generation circuit 62B of FIG. 18, the signal BOP is directly controlled by the signal BOOTE to select the memory blocks B000 to B007 when the signal BOP is at the H level, and the memory block B100 is selected when the signal BOP is at the L level. It becomes possible. This makes it possible to simultaneously realize a flash memory having a 4k word memory block and a flash memory not having a 4k word memory block in one type.

以上説明した実施例では、4kワード領域8ブロックはアドレスの小さい側(ボトム側)にのみ位置しているが、これはアドレスの大きい側(トップ側)に位置していても同様な切換動作が可能である。また、ボトム側とトップ側の両方に4kワード領域のメモリブロック8ブロックずつが位置していてもよい。   In the embodiment described above, 8 blocks of the 4k word area are located only on the smaller address side (bottom side). However, even if this is located on the larger address side (top side), the same switching operation is performed. Is possible. Further, 8 blocks of 4k word area memory blocks may be located on both the bottom side and the top side.

[応用例]
図21は、本発明を適用してアドレス領域のボトム側とトップ側の双方に4kワードのメモリブロックが配置されたいわゆるデュアルブートタイプのメモリアレイを説明するための図である。
[Application example]
FIG. 21 is a diagram for explaining a so-called dual boot type memory array in which 4k word memory blocks are arranged on both the bottom side and the top side of the address area by applying the present invention.

図21を参照して、メモリアレイ300は、ボトムブートに対応するメモリブロックB000〜B007と、メインブロックに対応するメモリブロックB008〜B021と、トップブートに対応するメモリブロックB022〜B029とを含む。   Referring to FIG. 21, memory array 300 includes memory blocks B000-B007 corresponding to the bottom boot, memory blocks B008-B021 corresponding to the main block, and memory blocks B022-B029 corresponding to the top boot.

トップブートとボトムブートとが要求されるのは、不揮発性半導体記憶装置が使用されるシステムに搭載されるCPUがどの領域を最初にアクセスするかはCPUのタイプによって二通りが存在するからである。   The reason why the top boot and the bottom boot are required is because there are two types of areas depending on the type of the CPU that is accessed first by the CPU mounted in the system in which the nonvolatile semiconductor memory device is used. .

使用されるシステムがボトムブートに対応するものであればメモリブロックB000〜B007は個別に消去可能な構成としておき実施の形態1で説明したようにメモリブロックB022〜B029を1つの消去指示で一括して消去可能にするかもしくはメモリブロックB022〜B029の選択に代えてメモリブロックB200を選択するように切換えればよい。   If the system to be used is compatible with bottom boot, the memory blocks B000 to B007 are configured to be individually erasable, and the memory blocks B022 to B029 are collectively displayed with one erasure instruction as described in the first embodiment. The memory block B200 may be selected instead of the memory block B022 to B029.

使用されるシステムがトップブートに対応するものであればメモリブロックB022〜B029は個別に消去可能な構成としておき、実施の形態1で説明したようにメモリブロックB000〜B007を1つの消去指示で一括して消去可能にするかもしくはメモリブロックB000〜B007の選択に代えてメモリブロックB100を選択するように切換えればよい。   If the system to be used is compatible with the top boot, the memory blocks B022 to B029 are configured to be individually erasable, and as described in the first embodiment, the memory blocks B000 to B007 are batched with one erasure instruction. Then, the memory block B100 may be switched to select the memory block B100 instead of selecting the memory blocks B000 to B007.

このようにデュアルブートが可能なメモリアレイに本発明のブロック選択構成を適用すればシステムがボトムブートの場合であってもトップブートの場合でもブートなしのタイプであっても1品種のチップを生産しておけば必要に応じてワイヤボンディングの変更やヒューズの切断や所定の不揮発性メモリセルの記憶内容の変更を行なうことによりさまざまな構成に対応することが可能となる。   If the block selection configuration of the present invention is applied to a memory array capable of dual boot in this way, one type of chip can be produced regardless of whether the system is a bottom boot, top boot, or no boot type. If necessary, it is possible to cope with various configurations by changing the wire bonding, cutting the fuse, or changing the stored contents of a predetermined nonvolatile memory cell as required.

ところで、このようなデュアルブートに対応する不揮発性メモリを2チップ組合せて用いる場合には、従来はアドレスの中央部分に4kワードという細切れのブロックが存在することにより使い勝手が悪くなるという問題点があったが、本発明の不揮発性メモリをトップブート品種、ボトムブート品種、ブートなし品種に切換えて組合せて使用することにより2チップ構成の場合でもさまざまなタイプの不揮発性メモリが実現できる。   By the way, in the case of using such a non-volatile memory corresponding to dual boot in combination with two chips, there has been a problem that the conventional method is inconvenient due to the existence of a block of 4k words at the center of the address. However, various types of nonvolatile memories can be realized even in the case of a two-chip configuration by using the nonvolatile memory of the present invention by switching to the top boot type, the bottom boot type and the non-boot type.

図22は、2チップを組合せた場合のデュアルブートを実現する構成を説明する図である。   FIG. 22 is a diagram illustrating a configuration for realizing dual boot when two chips are combined.

図22を参照して、メモリ302は、メモリアレイ304とメモリアレイ306とを組合せて実現される。メモリアレイ304は図21で説明したデュアルブート品のメモリアレイ300をボトムブートに対応させて実現したものであり、メモリアレイ306はメモリアレイ300をトップブートに対応させて使用したものである。これにより、アドレスの中央部分に細切れの4kワードのブロックはユーザから見れば存在しないことになり使い勝手がよくなる。   Referring to FIG. 22, memory 302 is implemented by combining memory array 304 and memory array 306. The memory array 304 is realized by making the dual boot memory array 300 described in FIG. 21 correspond to the bottom boot, and the memory array 306 is used using the memory array 300 corresponding to the top boot. As a result, a 4k-word block that is cut into pieces at the center of the address does not exist from the user's point of view, which improves usability.

図23は、2チップを組合せた場合のボトムブートを実現する構成を説明する図である。   FIG. 23 is a diagram for explaining a configuration for realizing bottom boot when two chips are combined.

図23を参照して、メモリ308は、メモリアレイ310とメモリアレイ312とを組合せて実現される。メモリアレイ310は図21で説明したデュアルブート品のメモリアレイ300をボトムブートに対応させて実現したものであり、メモリアレイ312はメモリアレイ300をブートなしタイプに対応させて使用したものである。この場合にも、アドレスの中央部分やトップ部分には、細切れの4kワードのブロックはユーザから見れば存在しないことになり使い勝手がよくなる。   Referring to FIG. 23, memory 308 is realized by combining memory array 310 and memory array 312. The memory array 310 is realized by making the dual boot product memory array 300 described with reference to FIG. 21 correspond to the bottom boot, and the memory array 312 is used by making the memory array 300 correspond to the non-boot type. Also in this case, a 4k word block is not present at the center or top of the address from the user's point of view, which improves usability.

図24は、2チップを組合せた場合のトップブートを実現する構成を説明する図である。   FIG. 24 is a diagram for explaining a configuration for realizing a top boot when two chips are combined.

図24を参照して、メモリ314は、メモリアレイ316とメモリアレイ318とを組合せて実現される。メモリアレイ316は図21で説明したデュアルブート品のメモリアレイ300をブートなしタイプに対応させて実現したものであり、メモリアレイ318はメモリアレイ300をトップブートに対応させて使用したものである。この場合にも、アドレスの中央部分やボトム部分には、細切れの4kワードのブロックはユーザから見れば存在しないことになり使い勝手がよくなる。   Referring to FIG. 24, memory 314 is implemented by combining memory array 316 and memory array 318. The memory array 316 is realized by making the dual boot product memory array 300 described in FIG. 21 correspond to the non-boot type, and the memory array 318 is used by making the memory array 300 correspond to the top boot. In this case as well, the 4k word block is not present at the center or bottom of the address from the user's point of view, improving usability.

図25は、2チップを組合せた場合のブートなしタイプを実現する構成を説明する図である。   FIG. 25 is a diagram for explaining a configuration for realizing a non-boot type when two chips are combined.

図25を参照して、メモリ320は、メモリアレイ322とメモリアレイ324とを組合せて実現される。メモリアレイ322,324は図21で説明したデュアルブート品のメモリアレイ300をブートなしタイプに対応させて実現したものである。この場合にも、アドレスのトップ部分、中央部分、ボトム部分には、細切れの4kワードのブロックはユーザから見れば存在しないことになり使い勝手がよくなる。   Referring to FIG. 25, memory 320 is implemented by combining memory array 322 and memory array 324. The memory arrays 322 and 324 are realized by corresponding to the non-boot type memory array 300 of the dual boot product described in FIG. In this case as well, the 4k word block is not present in the top, middle, and bottom portions of the address from the user's point of view, improving usability.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明の実施の形態1の不揮発性記憶装置の構成を示す概略ブロック図である。1 is a schematic block diagram illustrating a configuration of a nonvolatile memory device according to a first embodiment of the present invention. メモリアレイ26の各々のメモリブロックに行列状に配列されるメモリトランジスタMTの説明をするための断面図である。4 is a cross-sectional view for explaining memory transistors MT arranged in a matrix in each memory block of the memory array 26. FIG. 図1における切換信号発生回路10の構成を示した回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of a switching signal generation circuit 10 in FIG. 1. 図3の切換信号発生回路に対するボンディングオプションの説明をするための図である。It is a figure for demonstrating the bonding option with respect to the switching signal generation circuit of FIG. 信号♯NOBOOT,♯BOOTの設定状態と切換のための信号BOOTEの関係を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the relationship between setting states of signals #NOBOOT and #BOOT and a signal BOOTE for switching. 図1のプリデコーダの構成を説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the structure of the predecoder of FIG. 図6の縦方向ブロック選択回路の構成を説明するための回路図である。It is a circuit diagram for demonstrating the structure of the vertical direction block selection circuit of FIG. 図6における横方向ブロック選択回路の構成を示した回路図である。FIG. 7 is a circuit diagram showing a configuration of a horizontal block selection circuit in FIG. 6. 図1における内部コントローラのブロック消去時の動作フローを説明するためのフローチャートである。2 is a flowchart for explaining an operation flow at the time of block erasing of an internal controller in FIG. 1. 図3で説明した切換信号発生回路の第1の変形例を説明するための回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram for explaining a first modification of the switching signal generation circuit explained in FIG. 3. 図10に示した切換信号発生回路の設定と出力を説明する図である。It is a figure explaining the setting and output of the switching signal generation circuit shown in FIG. 切換信号発生回路の第2の変形例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the 2nd modification of a switching signal generation circuit. ヒューズ素子の状態と切換を制御する信号BOOTEとの関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the relationship between the signal BOOTE which controls the state of a fuse element, and switching. 切換信号発生回路の第3の変形例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the 3rd modification of a switching signal generation circuit. 図14の切換信号発生回路のメモリトランジスタに設定されたしきい値電圧と信号BOOTEとの関係を示した図である。FIG. 15 is a diagram showing a relationship between a threshold voltage set in a memory transistor of the switching signal generation circuit of FIG. 14 and a signal BOOTE. 実施の形態1の変形例に係る不揮発性半導体記憶装置の構成を説明するためのブロック図である。FIG. 6 is a block diagram for explaining a configuration of a nonvolatile semiconductor memory device according to a modification of the first embodiment. 図16における内部コントローラの消去動作を説明するためのフローチャートである。FIG. 17 is a flowchart for explaining an erase operation of the internal controller in FIG. 16. FIG. 実施の形態2におけるプリデコーダ18Bの構成を示したブロック図である。FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of a predecoder 18B in the second embodiment. 図18における縦方向ブロック選択回路の構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the vertical direction block selection circuit in FIG. 図18における横方向ブロック選択回路の構成を示した回路図である。It is the circuit diagram which showed the structure of the horizontal direction block selection circuit in FIG. 本発明を適用してアドレス領域のボトム側とトップ側の双方に4kワードのメモリブロックが配置されたいわゆるデュアルブートタイプのメモリアレイを説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a so-called dual boot type memory array in which 4k word memory blocks are arranged on both the bottom side and the top side of an address area by applying the present invention. 2チップを組合せた場合のデュアルブートを実現する構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure which implement | achieves the dual boot at the time of combining 2 chips | tips. 2チップを組合せた場合のボトムブートを実現する構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure which implement | achieves bottom boot at the time of combining 2 chips | tips. 2チップを組合せた場合のトップブートを実現する構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure which implement | achieves the top boot at the time of combining 2 chips | tips. 2チップを組合せた場合のブートなしタイプを実現する構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure which implement | achieves the type without a boot at the time of combining 2 chips | tips. 従来のフラッシュメモリのアレイ構成を示した図である。It is the figure which showed the array structure of the conventional flash memory. メモリブロックの選択信号を発生する従来のブロック選択デコーダの構成を示したブロック図である。It is a block diagram showing a configuration of a conventional block selection decoder that generates a memory block selection signal. 従来のアドレス入力バッファ516の構成を示す回路図である。FIG. 10 is a circuit diagram showing a configuration of a conventional address input buffer 516. 従来の他のフラッシュメモリのアレイ構成を示す図である。It is a figure which shows the array structure of the other conventional flash memory.

符号の説明Explanation of symbols

1,221 不揮発性半導体記憶装置、2,2A 制御部、4 プログラム&ベリファイ回路、6 センスアンプ、8,8A 内部コントローラ、10,10A〜10C 切換信号発生回路、16 アドレスバッファ、18,18A,18B プリデコーダ、20 ロウ・コラムデコーダ、22 入出力データバッファ、24 Yゲート、26,300,304,306,310,312,316,318,322,324 メモリアレイ、36,42,160,166 キャパシタ、50 チップ、52 リード、54,55 ワイヤ、56,58,152 パッド、62 NOR回路、62B BOP発生回路、64,64B 縦方向ブロック選択回路、66,66B 横方向ブロック選択回路、68,70 プリデコード回路、72 ロウデコーダ、74 コラムデコーダ、82,82A,84,112 アドレスデコード部、86,88,138,224 ゲート回路、110 アドレス選択部、114 出力部、130,132,134,136 デコードゲート回路、176 ヒューズ素子、194,198,202 スイッチ、200 メモリトランジスタ、302,308,314,320 メモリ。   1,221 Nonvolatile semiconductor memory device, 2,2A control unit, 4 program & verify circuit, 6 sense amplifier, 8,8A internal controller, 10, 10A to 10C switching signal generation circuit, 16 address buffer, 18, 18A, 18B Predecoder, 20 row / column decoder, 22 input / output data buffer, 24 Y gate, 26, 300, 304, 306, 310, 312, 316, 318, 322, 324 memory array, 36, 42, 160, 166 capacitor, 50 chips, 52 leads, 54, 55 wires, 56, 58, 152 pads, 62 NOR circuit, 62B BOP generation circuit, 64, 64B vertical block selection circuit, 66, 66B horizontal block selection circuit, 68, 70 predecode Circuit, 72 row decoder, 7 4 column decoder, 82, 82A, 84, 112 address decode unit, 86, 88, 138, 224 gate circuit, 110 address selection unit, 114 output unit, 130, 132, 134, 136 decode gate circuit, 176 fuse element, 194 , 198, 202 switch, 200 memory transistor, 302, 308, 314, 320 memory.

Claims (3)

一括消去の単位となる第1の基本メモリブロックと、
各々が前記第1の基本メモリブロックよりも小さな記憶容量を有し、一括消去の単位となる複数の第2の基本メモリブロックと、
消去コマンドに応じて前記複数の第2の基本メモリブロックのうちの1つを消去する第1の動作と、前記消去コマンドに応じて前記複数の第2の基本メモリブロックを同時選択して消去する第2の動作とを、切換信号に応じて切換える消去制御回路とを備え、
前記同時選択して消去する複数の前記第2の基本メモリブロックの容量は、前記第1の基本メモリブロックの容量と等しい、不揮発性半導体記憶装置。
A first basic memory block as a unit of batch erasure;
A plurality of second basic memory blocks each having a smaller storage capacity than the first basic memory block and serving as a unit of batch erasure;
A first operation for erasing one of the plurality of second basic memory blocks in response to an erase command and a plurality of the second basic memory blocks in accordance with the erase command are simultaneously selected and erased. An erasing control circuit for switching the second operation according to the switching signal,
The non-volatile semiconductor memory device, wherein the capacity of the plurality of second basic memory blocks to be simultaneously selected and erased is equal to the capacity of the first basic memory block.
一括消去の単位となる第1の基本メモリブロックと、
各々が前記第1の基本メモリブロックよりも小さな記憶容量を有し、一括消去の単位となる複数の第2の基本メモリブロックと、
消去コマンドに応じて前記複数の第2の基本メモリブロックを同時選択して消去する消去制御回路とを備え
前記同時選択して消去する複数の前記第2の基本メモリブロックの容量は、前記第1の基本メモリブロックの容量と等しい、不揮発性半導体記憶装置。
A first basic memory block as a unit of batch erasure;
A plurality of second basic memory blocks each having a smaller storage capacity than the first basic memory block and serving as a unit of batch erasure;
An erase control circuit for simultaneously selecting and erasing the plurality of second basic memory blocks in response to an erase command, wherein the capacity of the plurality of second basic memory blocks to be simultaneously selected and erased is the first A nonvolatile semiconductor memory device having the same capacity as the basic memory block.
不揮発性半導体装置であって、
前記不揮発性半導体装置は、
一括消去の単位となる第1の基本メモリブロックと、
各々が前記第1の基本メモリブロックよりも小さな記憶容量を有し、一括消去の単位となる複数の第2の基本メモリブロックと、
消去コマンドに応じて前記複数の第2の基本メモリブロックのうちの1つを消去する第1の動作と、前記消去コマンドに応じて前記複数の第2の基本メモリブロックを同時選択して消去する第2の動作とを行う消去制御回路とを備え、
前記不揮発性半導体装置は、前記第1の動作と前記第2の動作を切換えることにより、ブートブロックおよびパラメタブロックの少なくとも1つを有する品種と、ブートブロックおよびパラメタブロックを持たない品種との切換を行い、
前記同時選択して消去する複数の前記第2の基本メモリブロックの容量は、前記第1の基本メモリブロックの容量と等しい、不揮発性半導体記憶装置。
A non-volatile semiconductor device,
The nonvolatile semiconductor device is
A first basic memory block as a unit of batch erasure;
A plurality of second basic memory blocks each having a smaller storage capacity than the first basic memory block and serving as a unit of batch erasure;
A first operation for erasing one of the plurality of second basic memory blocks in response to an erase command and a plurality of the second basic memory blocks in accordance with the erase command are simultaneously selected and erased. An erasing control circuit for performing the second operation,
The non-volatile semiconductor device switches between a type having at least one of a boot block and a parameter block and a type having no boot block and a parameter block by switching the first operation and the second operation. Done
The non-volatile semiconductor memory device, wherein the capacity of the plurality of second basic memory blocks to be simultaneously selected and erased is equal to the capacity of the first basic memory block.
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