JP2008282907A - Liquid-material feeder and method for supplying liquid material by using it - Google Patents

Liquid-material feeder and method for supplying liquid material by using it Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid-material feeder capable of preventing the mixing of bubbles into a discharged liquid material and a method for supplying the liquid material. <P>SOLUTION: The liquid-material feeder 1 has a vessel 11 for supplying the liquid material filled with the liquid material and a pump 12 supplied with the liquid material from the vessel 11 for supplying the liquid material while connecting a discharge pipe for discharging the liquid material. The liquid-material feeder 1 further has a buffer vessel 13 fitted between the vessel 11 for supplying the liquid material and the pump 12 and filled with the liquid material from the vessel 11 for supplying the liquid material and a bubble discharging section 14 capturing bubbles in the liquid material flowing between the buffer vessel 13 and the pump 12 and discharging bubbles. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、レジスト、洗浄液、接着剤等の液体材料を供給する液体材料供給装置、液体材料供給方法に関する。   The present invention relates to a liquid material supply apparatus and a liquid material supply method for supplying a liquid material such as a resist, a cleaning liquid, and an adhesive.

従来、レジスト等の液体材料を供給する液体材料供給装置として、様々なものが知られている（特許文献１，２参照）。例えば、液体材料供給装置として、図２に示すようなものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
この液体材料供給装置８は、液体材料としてのレジストを入れたレジスト供給ボトル８１と、レジスト吐出ポンプ８２とを配管にて接続したものである。
レジスト吐出ポンプの吐出側には、配管８４を介してレジスト供給ノズルが接続されている。
また、レジスト供給ボトル８１と、レジスト吐出ポンプ８２との間には、レジスト供給ボトル８１から送り出されたレジストを一旦ためるバッファボトル８３が設けられている。
バッファボトル８３内のレジスト量を管理することで、レジスト供給ボトル８１からレジストを連続的に排出することができ、レジスト供給ボトル８１内のレジストを残さずに使用できるとされている。 Conventionally, various devices for supplying a liquid material such as a resist are known (see Patent Documents 1 and 2). For example, a liquid material supply apparatus as shown in FIG. 2 is known (for example, see Patent Document 2).
This liquid material supply device 8 is a device in which a resist supply bottle 81 containing a resist as a liquid material and a resist discharge pump 82 are connected by piping.
A resist supply nozzle is connected to the discharge side of the resist discharge pump via a pipe 84.
In addition, a buffer bottle 83 is provided between the resist supply bottle 81 and the resist discharge pump 82 to temporarily store the resist sent from the resist supply bottle 81.
By managing the resist amount in the buffer bottle 83, the resist can be continuously discharged from the resist supply bottle 81, and can be used without leaving the resist in the resist supply bottle 81.

特開平１０−８５６５３号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-85653 特開２００５−３１１００１号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-311001

しかしながら、特許文献２に記載された液体材料供給装置８では、排出される液体材料に気泡が混入することがある。液体材料供給装置でレジストをウェハ上に供給した場合には、ウェハ上にレジストを均一に塗布することが困難となり、半導体装置の歩留まりの低下を起こすことがある。   However, in the liquid material supply device 8 described in Patent Document 2, bubbles may be mixed into the discharged liquid material. When the resist is supplied onto the wafer by the liquid material supply device, it is difficult to uniformly apply the resist on the wafer, and the yield of the semiconductor device may be reduced.

本発明者が検討した結果、ポンプと、バッファ容器との間でレジスト中に気泡が入り込み、液体材料供給装置から排出される液体材料に気泡が混入していると推測された。
本発明によれば、液体材料が充填された液体材料供給用容器と、前記液体材料供給用容器から前記液体材料が供給されるとともに、前記液体材料を排出するための排出管が接続されたポンプと、前記液体材料供給用容器と前記ポンプとの間に設置され、前記液体材料供給用容器からの液体材料が充填されるバッファ容器と、前記バッファ容器および前記ポンプ間を流れる液体材料中の気泡を捕捉し、排出する気泡排出部とを備え、前記気泡排出部は、前記バッファ容器と、前記ポンプとの間に配置され、前記バッファ容器から排出された液体材料が充填される充填用容器と、前記充填用容器内への気泡の侵入を検出するセンサと、前記液体材料供給用容器中の液体材料を前記充填用容器へと送出する送出部と、前記送出部の駆動を制御する制御部と、前記充填用容器に接続され、前記充填用容器中に侵入した気泡を排出するための配管とを有し、前記気泡排出部では、前記センサにより気泡の侵入を検出した際に、前記制御部により送出部を駆動し、前記充填用容器に液体材料を送り込み、前記充填用容器中に侵入した気泡を前記配管から排出する液体材料供給装置が提供される。 As a result of investigation by the present inventor, it was estimated that bubbles entered the resist between the pump and the buffer container, and bubbles were mixed in the liquid material discharged from the liquid material supply device.
According to the present invention, a liquid material supply container filled with a liquid material, and a pump to which the liquid material is supplied from the liquid material supply container and to which a discharge pipe for discharging the liquid material is connected. A buffer container that is installed between the liquid material supply container and the pump and is filled with the liquid material from the liquid material supply container, and a bubble in the liquid material that flows between the buffer container and the pump A bubble discharge section that is disposed between the buffer container and the pump and is filled with a liquid material discharged from the buffer container. A sensor for detecting the intrusion of bubbles into the filling container, a delivery part for delivering the liquid material in the liquid material supply container to the filling container, and a control for controlling the drive of the delivery part. And a pipe connected to the filling container for discharging bubbles that have entered the filling container, and the bubble discharging unit detects the intrusion of bubbles by the sensor. There is provided a liquid material supply device that drives a delivery unit by a control unit, feeds a liquid material into the filling container, and discharges air bubbles that have entered the filling container from the pipe.

この発明によれば、バッファ容器と、ポンプ間を流れる液体材料中の気泡を捕捉し、排出する気泡排出部を設けている。そして、気泡排出部では、センサにより気泡の侵入を検出した際に、制御部により送出部を駆動し、充填用容器に液体材料を送り込み、充填用容器中に侵入した気泡を配管から排出している。これにより、液体材料供給装置から排出される液体材料中に気泡が混入してしまうことを防止できる。   According to the present invention, the bubble container for capturing and discharging bubbles in the liquid material flowing between the buffer container and the pump is provided. Then, in the bubble discharge unit, when the intrusion of the bubble is detected by the sensor, the control unit drives the sending unit, feeds the liquid material into the filling container, and discharges the bubble that has entered the filling container from the pipe. Yes. Thereby, it can prevent that a bubble mixes in the liquid material discharged | emitted from a liquid material supply apparatus.

また、本発明によれば、上述した液体材料供給装置を使用した液体材料供給方法も提供することができる。
具体的には、前記充填用容器内への気泡の侵入を前記センサで検出するステップと、 前記センサで気泡の侵入を検出した際に、前記制御部により前記送出部を駆動し、前記充填用容器内に侵入した気泡を前記配管から排出するステップと、前記制御部により、前記送出部の駆動を停止するステップとを含む、液体材料供給方法が提供される。 Moreover, according to this invention, the liquid material supply method using the liquid material supply apparatus mentioned above can also be provided.
Specifically, detecting the invasion of bubbles into the filling container by the sensor, and when the sensor detects the invasion of bubbles, the control unit drives the delivery unit to There is provided a liquid material supply method including a step of discharging air bubbles that have entered the container from the pipe, and a step of stopping the driving of the delivery unit by the control unit.

本発明によれば、排出される液体材料中への気泡の混入を防止できる液体材料供給装置およびこの液体材料供給装置を用いた液体材料供給方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the liquid material supply apparatus which can prevent mixing of the bubble into the discharged | emitted liquid material, and the liquid material supply method using this liquid material supply apparatus can be provided.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態の液体材料供給装置の模式図を示す。
はじめに、液体材料供給装置の概要について説明する。
本実施形態の液体材料供給装置１は、レジスト、洗浄液、接着剤等の液体材料を供給する液体材料供給装置である。
液体材料供給装置１は、液体材料が充填された液体材料供給用容器１１と、液体材料供給用容器１１から液体材料が供給されるとともに、液体材料を排出するための排出管が接続されたポンプ１２と、液体材料供給用容器１１とポンプ１２との間に設置され、液体材料供給用容器１１からの液体材料が充填されるバッファ容器１３と、バッファ容器１３およびポンプ１２間を流れる液体材料中の気泡を捕捉し、排出する気泡排出部１４とを備える。
気泡排出部１４は、バッファ容器１３と、ポンプ１２との間に配置され、バッファ容器１３から排出された液体材料が充填される充填用容器１４１と、充填用容器１４１内への気泡の侵入を検出するセンサ１４２と、液体材料供給用容器１１中の液体材料を前記充填用容器１４１へと送出する送出部と、送出部の駆動を制御する制御部１４５と、充填用容器１４１に接続され、充填用容器１４１中に侵入した気泡を排出するための配管１４３とを有する。
気泡排出部１４では、センサ１４２により気泡の侵入を検出した際に、制御部１４５により送出部を駆動し、充填用容器１４１に液体材料を送り込み、充填用容器１４１中に侵入した気泡を配管１４３から排出する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic diagram of a liquid material supply apparatus according to this embodiment.
First, an outline of the liquid material supply device will be described.
The liquid material supply apparatus 1 according to the present embodiment is a liquid material supply apparatus that supplies a liquid material such as a resist, a cleaning liquid, and an adhesive.
The liquid material supply apparatus 1 includes a liquid material supply container 11 filled with a liquid material, a pump to which the liquid material is supplied from the liquid material supply container 11 and a discharge pipe for discharging the liquid material is connected. 12, a liquid container that is installed between the liquid material supply container 11 and the pump 12 and is filled with the liquid material from the liquid material supply container 11, and the liquid material that flows between the buffer container 13 and the pump 12. And a bubble discharging unit 14 for capturing and discharging the bubbles.
The bubble discharge unit 14 is disposed between the buffer container 13 and the pump 12, and fills the filling container 141 filled with the liquid material discharged from the buffer container 13 and prevents bubbles from entering the filling container 141. A sensor 142 for detection, a delivery unit for delivering the liquid material in the liquid material supply container 11 to the filling container 141, a control unit 145 for controlling the drive of the delivery unit, and a filling container 141, And a pipe 143 for discharging air bubbles that have entered the filling container 141.
In the bubble discharge unit 14, when the sensor 142 detects the invasion of bubbles, the control unit 145 drives the delivery unit to send the liquid material into the filling container 141, and the bubbles that have entered the filling container 141 are piped 143. To discharge from.

次に、液体材料供給装置１について詳細に説明する。
液体材料供給用容器１１は、内部に液体材料が充填されている。この液体材料供給用容器１１には、配管１５，１６が接続されている。配管１５は、液体材料供給用容器１１の上部に接続され、配管１５からは空気（気体）が供給される。この空気により液体材料供給用容器１１中の液体材料が配管１６内に押し出される。なお、配管１５には、空気の供給を調整するためのバルブ１５１が設けられている。また、配管１５には空気を供給するためのポンプ２２が接続されている。 Next, the liquid material supply apparatus 1 will be described in detail.
The liquid material supply container 11 is filled with a liquid material. Pipes 15 and 16 are connected to the liquid material supply container 11. The pipe 15 is connected to the upper part of the liquid material supply container 11, and air (gas) is supplied from the pipe 15. This air pushes the liquid material in the liquid material supply container 11 into the pipe 16. The pipe 15 is provided with a valve 151 for adjusting the supply of air. Further, a pump 22 for supplying air is connected to the pipe 15.

配管１６は、液体材料供給用容器１１と、バッファ容器１３とを接続するものである。配管１６は、液体材料供給用容器１１の上部に接続されている。また、配管１６は、バッファ容器１３の上部に接続されている。   The pipe 16 connects the liquid material supply container 11 and the buffer container 13. The pipe 16 is connected to the upper part of the liquid material supply container 11. The pipe 16 is connected to the upper part of the buffer container 13.

バッファ容器１３は液体材料供給用容器１１から供給された液体材料を一旦ためておくものである。このバッファ容器１３には、バッファ容器１３内の液体材料の液位を監視するセンサ１３１が設けられている。また、バッファ容器１３の上部には、バッファ容器１３中の気体を排出するための排出管１７が接続されている。
通常時において、バッファ容器１３は液体材料で満たされている。バッファ容器１３内には配管１６を介して液体材料が供給されるが、このとき液体材料中に気泡が含まれていると、バッファ容器１３内に気体がたまっていくこととなる。そして、センサ１３１によりバッファ容器１３内の液体材料の液位が所定位置よりも低くなったと検出された場合には、制御部１４５により、空気を供給するためのポンプ２２が駆動され、液体材料供給用容器１１に空気が送り込まれる。これにより、液体材料供給用容器１１からバッファ容器１３に液体材料が送り込まれ、バッファ容器１３が液体材料により満たされることとなる。そのため、バッファ容器１３内にあった気体は排出管１７から排出されることとなる。 The buffer container 13 temporarily stores the liquid material supplied from the liquid material supply container 11. The buffer container 13 is provided with a sensor 131 that monitors the liquid level of the liquid material in the buffer container 13. A discharge pipe 17 for discharging the gas in the buffer container 13 is connected to the upper part of the buffer container 13.
In normal times, the buffer container 13 is filled with a liquid material. The liquid material is supplied into the buffer container 13 via the pipe 16. If bubbles are included in the liquid material at this time, the gas is accumulated in the buffer container 13. When the sensor 131 detects that the liquid level of the liquid material in the buffer container 13 has become lower than a predetermined position, the control unit 145 drives the pump 22 for supplying air to supply the liquid material. Air is fed into the container 11. As a result, the liquid material is sent from the liquid material supply container 11 to the buffer container 13, and the buffer container 13 is filled with the liquid material. Therefore, the gas in the buffer container 13 is discharged from the discharge pipe 17.

気泡排出部１４は、バッファ容器１３とポンプ１２との間を流れる液体材料中の気泡を捕捉し、排出するものである。
気泡排出部１４は、バッファ容器１３と、ポンプ１２との間に配置され、バッファ容器１３から排出された液体材料が充填される充填用容器１４１と、充填用容器１４１内への気泡の侵入を検出するセンサ１４２と、液体材料供給用容器１１中の液体材料を前記充填用容器１４１へと送出する送出部と、送出部の駆動を制御する制御部１４５と、充填用容器１４１に接続され、前記充填用容器１４１中に侵入した気体を排出するための配管１４３とを有する。 The bubble discharge unit 14 captures and discharges bubbles in the liquid material flowing between the buffer container 13 and the pump 12.
The bubble discharge unit 14 is disposed between the buffer container 13 and the pump 12, and fills the filling container 141 filled with the liquid material discharged from the buffer container 13 and prevents bubbles from entering the filling container 141. A sensor 142 for detection, a delivery unit for delivering the liquid material in the liquid material supply container 11 to the filling container 141, a control unit 145 for controlling the drive of the delivery unit, and a filling container 141, And a pipe 143 for discharging the gas that has entered the filling container 141.

充填用容器１４１は、配管１８によりバッファ容器１３と接続されている。配管１８は、一端がバッファ容器１３の下部に接続され、他端が充填用容器１４１の上部に接続されている。配管１８にはバルブ１８１が設けられている。   The filling container 141 is connected to the buffer container 13 by a pipe 18. One end of the pipe 18 is connected to the lower part of the buffer container 13, and the other end is connected to the upper part of the filling container 141. The pipe 18 is provided with a valve 181.

センサ１４２は、充填用容器１４１に取り付けられており、充填用容器１４１内の液体材料の液位を監視する。具体的にはセンサ１４２は液体材料の液面が所定位置以下であるか否かを検出する。
送出部は、液体材料供給用容器１１中の液体材料を前記充填用容器１４１へと圧送するものであり、本実施形態では、前述した配管１５、配管１５に空気を送り込むポンプ２２、バルブ１５１が送出部に該当する。
制御部１４５は、センサ１４２により、充填用容器１４１中の液体材料の液面が所定位置以下であると検出した場合に、前述した送出部のポンプ２２を駆動する。 The sensor 142 is attached to the filling container 141 and monitors the liquid level of the liquid material in the filling container 141. Specifically, the sensor 142 detects whether or not the liquid surface of the liquid material is below a predetermined position.
The delivery unit is configured to pump the liquid material in the liquid material supply container 11 to the filling container 141. In the present embodiment, the above-described pipe 15, the pump 22 for feeding air into the pipe 15, and the valve 151 are provided. Corresponds to the sending section.
The control unit 145 drives the pump 22 of the delivery unit described above when the sensor 142 detects that the liquid level of the liquid material in the filling container 141 is equal to or lower than a predetermined position.

配管１４３は、充填用容器１４１の上部に接続されている。この配管１４３は充填用容器１４１内にたまった気体を排出するためのものである。配管１４３には、センサ１４４が設けられており、センサ１４４で配管１４３内の液体材料の液位を検出する。
また、配管１４３にはバルブ１４３Ａが設けられている。バルブ１４３Ａはセンサ１４４よりも上方に配置されている。
なお、図１の充填用容器１４１に設けられたセンサ１４６は、液体材料の液面を検出するセンサである。このセンサ１４６では、液体材料の液面が一定位置（センサ１４２で検出される所定位置よりも低い位置）以下であるか否かを検出する。つまり、センサ１４６は装置故障等による液面低下を検出する。センサ１４６で液体材料の液面が一定位置以下であると判断した場合には、制御部１４５でポンプ１２の駆動を停止し、液体材料供給装置１の駆動を停止する。 The pipe 143 is connected to the upper part of the filling container 141. This pipe 143 is for discharging the gas accumulated in the filling container 141. A sensor 144 is provided in the pipe 143, and the sensor 144 detects the liquid level of the liquid material in the pipe 143.
Further, the pipe 143 is provided with a valve 143A. The valve 143A is disposed above the sensor 144.
The sensor 146 provided in the filling container 141 in FIG. 1 is a sensor that detects the liquid level of the liquid material. This sensor 146 detects whether or not the liquid surface of the liquid material is below a certain position (a position lower than a predetermined position detected by the sensor 142). That is, the sensor 146 detects a decrease in liquid level due to a device failure or the like. When the sensor 146 determines that the liquid level of the liquid material is below a certain position, the control unit 145 stops driving the pump 12 and stops driving the liquid material supply apparatus 1.

以上のような気泡排出部１４の充填用容器１４１と、ポンプ１２とは配管１９により接続されている。配管１９は、充填用容器１４１の下部に接続され、充填用容器１４１の下部から排出される液体材料をポンプ１２へと導く。
ポンプ１２の吐出側には、配管２０が接続され、配管２０と液体材料供給ノズル（図示略）との間にはフィルタ２１が配置されている。 The filling container 141 of the bubble discharging unit 14 as described above and the pump 12 are connected by a pipe 19. The pipe 19 is connected to the lower part of the filling container 141 and guides the liquid material discharged from the lower part of the filling container 141 to the pump 12.
A pipe 20 is connected to the discharge side of the pump 12, and a filter 21 is disposed between the pipe 20 and a liquid material supply nozzle (not shown).

次に、液体材料供給装置１による液体材料の供給方法について説明する。
液体材料供給用容器１１中の液体材料はポンプ１２により吸引されるとともに、配管１５からの空気による圧力により、液体材料供給用容器１１から押し出され、配管１６を介してバッファ容器１３に送り込まれる。
バッファ容器１３に充填された液体材料は、ポンプ１２により吸引され、配管１８を介して充填用容器１４１に供給される。
なお、バッファ容器１３、充填用容器１４１が液体材料により満たされた場合には、空気による液体材料供給用容器１１からの液体材料の押し出しを停止する。
充填用容器１４１に充填された液体材料はポンプ１２により吸引され、配管１９を介し、ポンプ１２から吐き出される。ポンプ１２から吐き出された液体材料は、配管２０，フィルタ２１を介し、液体材料供給ノズル（図示略）から排出される。なお、図１の矢印は、液体材料の経路を示している。
ここで、配管１８内において液体材料中に気泡が発生することがある。配管１８中で発生した気泡は充填用容器１４１に送り込まれる。
通常時（液体材料中に気泡が含まれていない場合）、充填用容器１４１は液体材料で満たされている。そのため、気泡を含む液体材料が充填用容器１４１に供給されると、液体材料よりも比重の軽い気泡が充填用容器１４１の上部に集まるため、充填用容器１４１内の液体材料の液面の位置が下がることとなる。
充填用容器１４１内に気泡が侵入し、センサ１４２により充填用容器１４１中の液体材料の液面が所定位置以下であると検出すると、制御部１４５は、ポンプ２２を駆動するとともに、バルブ１５１を開く。また、制御部１４５は、配管１４３に設けられたバルブ１４３Ａを開く。
ポンプ２２が駆動することにより、配管１５からの空気による圧力により、液体材料が液体材料供給用容器１１から押し出され、充填用容器１４１中に液体材料が充填される。充填用容器１４１中の液体材料の液面は徐々に上がっていき、配管１４３内にまで達する。
センサ１４４により、配管１４３内の液体材料の液面が所定位置以上となったと検出されたら、制御部１４５によりポンプ２２の駆動を停止するとともに、バルブ１５１を閉じる。また、制御部１４５は、バルブ１４３Ａを閉じる。
これにより、充填用容器１４１中の気体が配管１４３を介して排出されることとなる。 Next, a liquid material supply method by the liquid material supply apparatus 1 will be described.
The liquid material in the liquid material supply container 11 is sucked by the pump 12, pushed out of the liquid material supply container 11 by the pressure of air from the pipe 15, and sent into the buffer container 13 through the pipe 16.
The liquid material filled in the buffer container 13 is sucked by the pump 12 and supplied to the filling container 141 via the pipe 18.
When the buffer container 13 and the filling container 141 are filled with the liquid material, the extrusion of the liquid material from the liquid material supply container 11 by air is stopped.
The liquid material filled in the filling container 141 is sucked by the pump 12 and discharged from the pump 12 through the pipe 19. The liquid material discharged from the pump 12 is discharged from a liquid material supply nozzle (not shown) through the pipe 20 and the filter 21. In addition, the arrow of FIG. 1 has shown the path | route of the liquid material.
Here, bubbles may be generated in the liquid material in the pipe 18. Bubbles generated in the pipe 18 are fed into the filling container 141.
At normal times (when bubbles are not included in the liquid material), the filling container 141 is filled with the liquid material. Therefore, when a liquid material containing bubbles is supplied to the filling container 141, bubbles having a specific gravity lower than that of the liquid material gather on the filling container 141. Therefore, the position of the liquid surface of the liquid material in the filling container 141 Will go down.
When air bubbles enter the filling container 141 and the sensor 142 detects that the liquid level of the liquid material in the filling container 141 is below a predetermined position, the control unit 145 drives the pump 22 and turns the valve 151 on. open. Further, the control unit 145 opens the valve 143A provided in the pipe 143.
When the pump 22 is driven, the liquid material is pushed out of the liquid material supply container 11 by the pressure of the air from the pipe 15, and the liquid material is filled into the filling container 141. The liquid level of the liquid material in the filling container 141 gradually rises and reaches the pipe 143.
When the sensor 144 detects that the level of the liquid material in the pipe 143 has reached a predetermined position or more, the control unit 145 stops driving the pump 22 and closes the valve 151. Further, the control unit 145 closes the valve 143A.
As a result, the gas in the filling container 141 is discharged through the pipe 143.

次に、本実施形態の作用効果について説明する。
バッファ容器１３と、ポンプ１２との間を流れる液体材料中の気泡を捕捉し、排出する気泡排出部１４を設けたため、液体材料供給装置１から排出される液体材料中に気泡が混入してしまうことを防止できる。 Next, the effect of this embodiment is demonstrated.
Since the bubble discharge unit 14 that captures and discharges bubbles in the liquid material flowing between the buffer container 13 and the pump 12 is provided, the bubbles are mixed into the liquid material discharged from the liquid material supply apparatus 1. Can be prevented.

また、本実施形態では気泡排出部１４のセンサ１４２は充填用容器１４１の液体材料の液面を監視し、液体材料の液面が所定位置以下となった場合に、配管１４３から気体を排出している。そのため、液体材料中の気泡を一定量捕捉し、充填用容器１４１中にためてから排出させることができる。これにより、頻繁に液体材料中の気泡を排出させる必要がなく、液体材料供給装置１を取り扱いやすいものとすることができる。   In the present embodiment, the sensor 142 of the bubble discharge unit 14 monitors the liquid level of the liquid material in the filling container 141, and discharges the gas from the pipe 143 when the liquid level of the liquid material falls below a predetermined position. ing. Therefore, a certain amount of bubbles in the liquid material can be captured and discharged after being stored in the filling container 141. Thereby, it is not necessary to frequently discharge bubbles in the liquid material, and the liquid material supply apparatus 1 can be easily handled.

液体材料供給装置１は、液体材料供給用容器１１と、ポンプ１２との間に、液体材料をためておくバッファ容器１３を有している。そのため、液体材料を液体材料供給ノズルから排出しながら、液体材料供給用容器１１が空になった時点で液体材料供給用容器１１を交換することができる。これにより、液体材料を連続的に供給することができる。   The liquid material supply apparatus 1 has a buffer container 13 for storing the liquid material between the liquid material supply container 11 and the pump 12. Therefore, the liquid material supply container 11 can be exchanged when the liquid material supply container 11 becomes empty while discharging the liquid material from the liquid material supply nozzle. Thereby, a liquid material can be supplied continuously.

また、本実施形態では、バッファ容器１３の上部に、バッファ容器１３中の気体を排出するための排出管１７を接続し、バッファ容器１３の下部に充填用容器１４１に接続される配管１８を設けている。
このようにすることで、バッファ容器１３中の気体がバッファ容器１３中の液体材料に気泡として混入してしまうことを防止できる。
同様に、充填用容器１４１の上部に充填用容器１４１中の気体を排出する配管１４３を接続しており、充填用容器１４１の下部に液体材料を排出する配管１９を接続している。これにより、充填用容器１４１中の気体が充填用容器１４１中の液体材料に気泡として混入してしまうことを防止できる。 In this embodiment, a discharge pipe 17 for discharging the gas in the buffer container 13 is connected to the upper part of the buffer container 13, and a pipe 18 connected to the filling container 141 is provided in the lower part of the buffer container 13. ing.
By doing in this way, it can prevent that the gas in the buffer container 13 mixes in the liquid material in the buffer container 13 as a bubble.
Similarly, a pipe 143 for discharging the gas in the filling container 141 is connected to the upper part of the filling container 141, and a pipe 19 for discharging the liquid material is connected to the lower part of the filling container 141. Thereby, it can prevent that the gas in the container 141 for filling mixes in the liquid material in the container 141 for filling as a bubble.

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、センサ１４２により充填用容器１４１の液体材料の液面を監視し、充填用容器１４１への気泡の侵入を検出していたが、充填用容器１４１への気泡の侵入を検出する方法はこれに限られるものではない。
例えば、配管１８にセンサを取り付け、液体があるときとないときとの屈折率の違いを検出し、配管１８を流れる液体材料中の気泡を検出してもよい。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.
For example, in the above embodiment, the liquid level of the liquid material in the filling container 141 is monitored by the sensor 142 and the intrusion of bubbles into the filling container 141 is detected. However, the intrusion of bubbles into the filling container 141 is detected. The detection method is not limited to this.
For example, a sensor may be attached to the pipe 18 to detect a difference in refractive index between when the liquid is present and when there is no liquid, and to detect bubbles in the liquid material flowing through the pipe 18.

また、前記実施形態では、液体材料供給用容器１１に充填された液体材料を排出する際に液体材料供給用容器１１に空気を供給し、空気により液体材料供給用容器１１中の液体材料を押し出したが、液体材料供給用容器１１からの液体材料の供給方法はこれに限られるものではない。例えば、液体材料供給用容器１１に外圧をかけて液体材料を液体材料供給用容器１１から押し出してもよい。
さらに、充填用容器１４１は、バッファ容器１３とポンプ１２との間に複数設けてもよい。 In the embodiment, when the liquid material filled in the liquid material supply container 11 is discharged, air is supplied to the liquid material supply container 11 and the liquid material in the liquid material supply container 11 is pushed out by the air. However, the method of supplying the liquid material from the liquid material supply container 11 is not limited to this. For example, the liquid material may be pushed out from the liquid material supply container 11 by applying an external pressure to the liquid material supply container 11.
Furthermore, a plurality of filling containers 141 may be provided between the buffer container 13 and the pump 12.

本発明の実施形態にかかる液体材料供給装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the liquid material supply apparatus concerning embodiment of this invention. 従来の液体材料供給装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the conventional liquid material supply apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１ 液体材料供給装置
８ 液体材料供給装置
１１ 液体材料供給用容器
１２ ポンプ
１３ バッファ容器
１４ 気泡排出部
１５ 配管
１６ 配管
１７ 排出管
１８ 配管
１９ 配管
２０ 配管
２１ フィルタ
２２ ポンプ
８１ レジスト供給ボトル
８２ レジスト吐出ポンプ
８３ バッファボトル
８４ 配管
１３１ センサ
１４１ 充填用容器
１４２ センサ
１４３Ａ バルブ
１４３ 配管
１４４ センサ
１４５ 制御部
１４６ センサ
１５１ バルブ
１８１ バルブ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid material supply apparatus 8 Liquid material supply apparatus 11 Liquid material supply container 12 Pump 13 Buffer container 14 Bubble discharge part 15 Pipe 16 Pipe 17 Discharge pipe 18 Pipe 19 Pipe 20 Pipe 21 Filter 22 Pump 81 Resist supply bottle 82 Resist discharge pump 83 Buffer bottle 84 Piping 131 Sensor 141 Filling container 142 Sensor 143A Valve 143 Piping 144 Sensor 145 Control unit 146 Sensor 151 Valve 181 Valve

Claims (7)

液体材料が充填された液体材料供給用容器と、
前記液体材料供給用容器から前記液体材料が供給されるとともに、前記液体材料を排出するための排出管が接続されたポンプと、
前記液体材料供給用容器と前記ポンプとの間に設置され、前記液体材料供給用容器からの液体材料が充填されるバッファ容器と、
前記バッファ容器および前記ポンプ間を流れる液体材料中の気泡を捕捉し、排出する気泡排出部とを備え、
前記気泡排出部は、前記バッファ容器と、前記ポンプとの間に配置され、前記バッファ容器から排出された液体材料が充填される充填用容器と、
前記充填用容器内への気泡の侵入を検出するセンサと、
前記液体材料供給用容器中の液体材料を前記充填用容器へと送出する送出部と、
前記送出部の駆動を制御する制御部と、
前記充填用容器に接続され、前記充填用容器中に侵入した気泡を排出するための配管とを有し、
前記気泡排出部では、前記センサにより気泡の侵入を検出した際に、前記制御部により前記送出部を駆動し、前記充填用容器に液体材料を送り込み、前記充填用容器中に侵入した気泡を前記配管から排出する液体材料供給装置。 A liquid material supply container filled with the liquid material;
The liquid material is supplied from the liquid material supply container, and a pump connected to a discharge pipe for discharging the liquid material;
A buffer container installed between the liquid material supply container and the pump and filled with the liquid material from the liquid material supply container;
A bubble discharging unit for capturing and discharging bubbles in the liquid material flowing between the buffer container and the pump;
The bubble discharging unit is disposed between the buffer container and the pump, and a filling container filled with a liquid material discharged from the buffer container;
A sensor for detecting intrusion of bubbles into the filling container;
A delivery section for delivering the liquid material in the liquid material supply container to the filling container;
A control unit for controlling the driving of the sending unit;
A pipe connected to the filling container and for discharging air bubbles that have entered the filling container;
In the bubble discharge unit, when the sensor detects the invasion of bubbles, the control unit drives the delivery unit to send the liquid material into the filling container, and the bubbles that have entered the filling container Liquid material supply device that discharges from piping. 請求項１に記載の液体材料供給装置において、
前記気泡排出部の前記センサは、前記充填用容器中の液体材料の液面の位置が所定位置以下であるか否かを検出するものであり、
前記制御部は、前記センサにより、前記充填用容器中の液体材料の液面が所定位置以下であると検出した場合に、前記送出部を駆動する液体材料供給装置。 The liquid material supply apparatus according to claim 1,
The sensor of the bubble discharge unit detects whether the position of the liquid surface of the liquid material in the filling container is equal to or less than a predetermined position,
The said control part is a liquid material supply apparatus which drives the said delivery part, when the said sensor detects that the liquid level of the liquid material in the said container for filling is below a predetermined position. 請求項１または２に記載の液体材料供給装置において、
前記送出部は、前記液体材料供給用容器中の液体材料を前記充填用容器へと圧送するものである液体材料供給装置。 In the liquid material supply device according to claim 1 or 2,
The delivery unit is a liquid material supply apparatus that pumps the liquid material in the liquid material supply container to the filling container. 請求項３に記載の液体材料供給装置において、
前記送出部は、前記液体材料供給用容器中の液体材料に対し気体を供給することにより、前記液体材料供給用容器中の液体材料を前記充填用容器へと圧送する液体材料供給装置。 In the liquid material supply device according to claim 3,
The delivery unit is a liquid material supply device that pumps the liquid material in the liquid material supply container to the filling container by supplying gas to the liquid material in the liquid material supply container. 請求項１乃至４のいずれかに記載の液体材料供給装置において、
前記気泡排出部の前記配管は、前記気泡排出部の充填用容器の上部に接続されている液体材料供給装置。 In the liquid material supply device according to any one of claims 1 to 4,
The liquid material supply device, wherein the pipe of the bubble discharge unit is connected to an upper portion of a filling container of the bubble discharge unit. 請求項１乃至５のいずれかに記載の液体材料供給装置において、
前記気泡排出部の充填用容器と、前記ポンプとは、前記気泡排出部の充填用容器の下部に設けられた配管により接続される液体材料供給装置。 The liquid material supply apparatus according to any one of claims 1 to 5,
The liquid material supply device in which the filling container of the bubble discharging unit and the pump are connected by a pipe provided in a lower part of the filling container of the bubble discharging unit. 請求項１乃至６いずれかに記載の液体材料供給装置を用いた液体材料供給方法であって、
前記充填用容器内への気泡の侵入を前記センサで検出するステップと、
前記センサで気泡の侵入を検出した際に、前記制御部により前記送出部を駆動し、前記充填用容器内に侵入した気泡を前記配管から排出するステップと、
前記制御部により、前記送出部の駆動を停止するステップとを含む、液体材料供給方法。 A liquid material supply method using the liquid material supply device according to claim 1,
Detecting intrusion of bubbles into the filling container with the sensor;
When the sensor detects the intrusion of bubbles, the control unit drives the delivery unit to discharge the bubbles that have entered the filling container from the pipe; and
And a step of stopping driving of the delivery unit by the control unit.
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