JP2008281348A - 複数のカメラを用いた撮像方法および計測装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のカメラを用いて複数の計測点を撮像する場合に、撮像に要する時間を短縮する。
【解決手段】計測対象である基板２の傾き角度θに基づいて、各カメラ９Ｂ，９Ｃに対応する各計測点２ａ−２，２ａ−３のずれ量を算出し、このずれ量とカメラ９Ｂ，９Ｃの視野サイズに基づいて、３台のカメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃの内、カメラの視野内に各計測点２ａ−１，２ａ−２，２ａ−３が収まって同時に撮像可能なカメラを判定し、同時に撮像可能と判定されたカメラによって、各計測点を同時に撮像するようにしている。
【選択図】図５

Description

本発明は、例えば、基板や部品などの撮像対象を、複数のカメラを用いて撮像する方法、および、複数のカメラで撮像した画像に基づいて、位置や寸法などの計測を行う計測装置に関する。

計測対象を撮像した画像データに基づいて画像処理を行うことにより計測対象を測定・評価する装置がある（例えば、特許文献１参照）。

また、測定時間を短縮するために、複数のカメラを用いて計測対象を撮像して測定する装置も知られている（例えば、特許文献２参照）。
特許３７６５０６１号公報 特開２００６−７８３０３号公報

計測対象を、複数のカメラを用いて撮像する場合、例えば、図６に示される計測対象としての基板２の複数の計測点２ａを、図６のＸ方向に沿って位置する３台のカメラ９Ａ〜９Ｃで撮像する場合に適用して説明する。

基板２には、複数の計測点２ａが、該基板２の各辺に沿って配列形成されており、この基板２は、例えば、Ｙ方向に移動可能な図示しないテーブル上に載置され、３台のカメラ９Ａ〜９Ｂは、例えば、テーブルを跨ぐように架設された架台８に、Ｘ方向に移動可能に設けられる。

基板２が、図６に示すように、テーブル上に傾きなく正規の姿勢で載置されているときには、基板２の縦横の各辺が、Ｙ方向およびＸ方向にそれぞれ沿うように位置する。この状態で、基板２が載置されたテーブルを、Ｙ方向に移動させるとともに、各カメラ９Ａ〜９ＣをＸ方向に移動させて各カメラ９Ａ〜９Ｃの視野内に、各計測点２ａをそれぞれ収めて３台のカメラ９Ａ〜９Ｃで同時に撮像することが可能である。

しかしながら、基板２を、テーブル上に傾きなく載置するのは困難であり、また、テーブルの移動に伴って基板２に傾きが生じる場合もある。

このため、実際の計測では、図７に示すように、基板２の傾きに起因して、基板２上の各計測点２ａが、３台の各カメラ９Ａ〜９Ｃの視野内に同時に収まらない場合が多く、このため、各カメラ９Ａ〜９Ｃ毎に、各計測点２ａを順番に撮像している。すなわち、例えば、第１のカメラ９Ａで対応する計測点２ａを撮像し、基板２が載置されたテーブルを移動させて第２のカメラ９Ｂで対応する計測点２ａを撮像し、更に、テーブルを移動させて第３のカメラ９Ｃで対応する計測点２ａを撮像するものであり、このように、各カメラ９Ａ〜９Ｃ毎に、テーブルを移動させて順番に撮像するために、撮像に長時間を要するという課題がある。

本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、複数のカメラを用いて、複数の撮像点を撮像する場合に、撮像に要する時間を短縮することを目的としている。

（１）本発明の複数のカメラを用いた撮像方法は、複数の撮像点が配列されている撮像対象と、一方向に沿って位置する複数のカメラとが、相対移動可能であって、前記複数の撮像点を、前記複数のカメラを用いて撮像する方法であって、前記一方向に沿って位置する前記複数のカメラの内、各撮像点をそれぞれ同時に撮像可能なカメラがあるときには、同時に撮像可能なカメラによって、各撮像点をそれぞれ撮像し、かつ、各撮像の間には、少なくとも前記一方向以外の方向には前記相対移動させないものである。

撮像点とは、カメラによって撮像すべき箇所をいい、例えば、形状や寸法などを計測すべき箇所であるのが好ましい。

撮像対象とは、複数の撮像点を有して、カメラによる撮像の対象となるものをいい、例えば、基板や部品などをいう。

複数の撮像点が配列されるとは、複数の撮像点の少なくとも一部の撮像点が並んで位置していることをいい、例えば、或る配列方向に沿って並んで位置している場合などをいう。

一方向に沿って位置する複数のカメラは、一方向に延びる架台などに配置されるのが好ましく、各カメラは、この一方向に沿って移動可能であるのが好ましい。また、カメラは、３台以上であるのが好ましい。

相対移動可能とは、撮像対象が、複数のカメラに対して移動可能であってもよいし、複数のカメラが、撮像対象に対して移動可能であってもよく、撮像対象および複数のカメラの両者が移動可能であってもよい。

この相対移動は、少なくとも直交する二方向への移動であるのが好ましく、二方向の内の一方が、前記複数のカメラが沿うように位置する前記一方向であるのが好ましい。

同時に撮像可能とは、相対移動させることによって、２台以上のカメラの視野内に撮像点をそれぞれ収めて撮像できることをいう。カメラの視野範囲の内、周辺部を除いた視野範囲内に、撮像点を収められるようにするのが好ましい。

同時に撮像可能であるときには、同時に撮像するのが好ましいが、時間的にずらして撮像してもよく、その期間を利用して、例えば、カメラを前記一方向に相対移動させて、撮像点を視野内に収めるようにしてもよい。

各撮像の間には、少なくとも前記一方向以外の方向には前記相対移動させないとは、前記一方向以外の方向に相対移動させないのは勿論、好ましくは、前記一方向にも相対移動させないことをいう。

本発明の複数のカメラを用いた撮像方法によると、一方向に沿って位置する複数のカメラの内、カメラの視野内に撮像点がそれぞれ収まって同時に撮像可能なカメラあるときには、それらのカメラによって同時に撮像するか、あるいは、時間的にずらして撮像する場合でも、少なくとも一方向以外の方向には相対移動させることなく、各カメラで各撮像点をそれぞれ撮像するので、各カメラ毎に、相対移動させて順番に撮像する構成に比べて、撮像に要する時間を短縮することができる。

（２）本発明の複数のカメラを用いた撮像方法では、前記一方向に対する前記撮像対象の傾きを求め、この傾きに基づいて、前記複数のカメラの内、同時に各撮像点をそれぞれ撮像可能なカメラを判定し、同時に撮像可能であると判定されたカメラによって各撮像点をそれぞれ撮像するものである。

この実施形態によると、複数のカメラの内、同時に各撮像点をそれぞれ撮像可能なカメラがあるか否かを判定し、同時に撮像可能であると判定されたカメラによって各撮像点をそれぞれ撮像するので、同時に撮像できるカメラがあるか否かを判定することなく、各カメラ毎に、順番に撮像する構成に比べて、撮像に要する時間を短縮することができる。

（３）上記（２）の実施形態では、前記撮像対象は、テーブル上に載置され、該テーブルと、前記複数のカメラとが、前記一方向および該一方向に直交する他方向に沿って前記相対移動可能であり、前記一方向に対する前記撮像対象の傾きを求める第１のステップと、前記複数の各カメラに対応する各撮像点の前記傾きに起因するずれ量をそれぞれ求める第２のステップと、前記ずれ量およびカメラの視野に基づいて、前記一方向に沿って位置する前記複数のカメラの内、前記各撮像点をそれぞれ同時に撮像可能なカメラを判定する第３のステップと、同時に撮像可能であると判定されたカメラがあるときに、該判定されたカメラによって対応する各撮像点をそれぞれ同時に撮像する第４のステップとを含んでいる。

複数のカメラは、一方向に沿って位置しているので、この実施形態によると、前記一方向に対する撮像対象の傾きを求めることによって、撮像対象に配列されている複数の撮像点の配列方向の前記一方向に対する傾きを求めることができる。さらに、この傾きに基づいて、各カメラと対応する各撮像点とのずれ量をそれぞれ求め、そのずれ量とカメラの視野のサイズと比較して、各カメラの視野内に、対応する撮像点が収まるか否かを判定できることになり、同時に撮像可能なカメラがあるときには、それらのカメラで各撮像点を同時に撮像するので、各カメラ毎に順番に撮像する構成に比べて、撮像に要する時間を短縮できる。

（４）上記（３）の実施形態では、前記撮像対象が、矩形の基板であって、複数の各撮像点が、格子状の各交点に位置するように配列され、前記第１のステップでは、前記基板の複数の基準マークを撮像して、該基板の前記傾きを求め、前記第２のステップでは、前記傾きおよびカメラ間の距離に基づいて、前記ずれ量を求めるようにしている。

この実施形態によれば、基板の基準マーク、例えば、アライメントマークを撮像して基板の傾きを求め、この傾きとカメラ間の距離とを用いて、撮像点のずれ量を求めて同時に撮像可能なカメラを判定することができる。

（５）上記（３）または（４）の実施形態では、前記ずれ量が、前記複数のカメラの内の一台のカメラの視野内に、対応する撮像点を収めたときに、他のカメラに対して、対応する撮像点がずれる量としてもよい。

一台のカメラは、例えば、一方向に沿って位置する複数のカメラの内の端に位置するカメラとしてもよいし、奇数台のカメラの場合には、中央に位置するカメラとしてもよい。
この実施形態によると、一台のカメラを基準として、このカメラと同時に撮像可能なカメラを判定し、同時に撮像可能であるときには、前記一台のカメラを含む複数台のカメラで各撮像点を同時に撮像できる。

（６）本発明の計測装置は、複数の計測点が配列された計測対象の前記複数の計測点を、複数のカメラで撮像し、撮像した画像を処理して計測を行なう計測装置であって、一方向に沿って位置するとともに、該一方向に移動可能な前記複数のカメラと、前記計測対象が載置されるとともに、前記一方向と直交する他方向に移動可能なテーブルと、前記カメラおよび前記テーブルの移動を制御するとともに、前記複数のカメラによる撮像を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記複数のカメラの内、同時に各計測点をそれぞれ撮像可能なカメラがあるときに、同時に撮像可能なカメラによって、各計測点をそれぞれ撮像し、かつ、各撮像の間には、少なくとも前記テーブルを移動させないように制御するものである。

本発明の計測装置によると、複数のカメラの内、カメラの視野内に計測点がそれぞれ収まって同時に撮像可能なカメラあるときには、それらのカメラによって同時に撮像するか、あるいは、時間的にずらして撮像する場合でも、少なくともテーブルは移動させることなく、各カメラで各計測点をそれぞれ撮像するので、各カメラ毎に、テーブルを移動させて順番に撮像する構成に比べて、撮像に要する時間、したがって、計測に要する時間を短縮することができる。

（７）本発明の計測装置の一つの実施形態では、前記計測対象が、矩形の基板であって、複数の各計測点が、格子状の各交点に位置するように配列され、前記制御手段は、前記一方向に対する前記計測対象の傾きを求めて、前記複数のカメラの内、同時に各計測点をそれぞれ撮像可能なカメラを判定し、同時に撮像可能であると判定されたカメラによって各計測点をそれぞれ同時に撮像するように制御している。

この実施形態によると、一方向に沿って位置する複数のカメラの前記一方向に対する計測対象の傾きを求め、この傾きに基づいて、複数の各カメラに対応する各計測点のずれ量を求めて、同時に撮像可能であるか否かを判定し、同時に撮像可能なカメラがあるときには、同時に撮像するので、各カメラ毎に順番に撮像する場合に比べて、計測時間を短縮できる。

本発明によれば、一方向に沿って位置する複数のカメラの内、カメラの視野内に撮像点がそれぞれ収まって同時に撮像可能なカメラがあるときには、それらのカメラで各撮像点を同時に撮像するか、あるいは、各カメラで各撮像点を時間的にずらして撮像するときには、そのずらした期間内に、少なくとも一方向以外の方向には相対移動させることなく、それぞれ撮像を行うので、各カメラ毎に、相対移動させて順番に撮像する構成に比べて、撮像に要する時間を短縮することができる。

以下、図面によって本発明の実施の形態について詳細に説明する。

（実施の形態１）
以下、図面によって本発明の実施の形態について詳細に説明する。

図１は、本発明に係る撮像方法を実施する計測装置の概略構成を示す斜視図である。

この実施形態の計測装置１は、計測対象である基板２の各計測点を撮像して画像を取り込むための画像取り込み装置３と、この画像取り込み装置３に相互に情報伝送可能に接続されて、取り込んだ画像を処理して計測を行なうととともに、各部の制御を行なう制御手段としての制御装置４とを備えており、制御装置４は、画像取り込み装置３を制御する制御プログラムを実行するコンピュータを内蔵している。

画像取り込み装置３は、基台５と、その上に設置された一対のガイドレール６に沿って移動可能なテーブル７と、このテーブル７を跨ぐ形で基台５上の固定位置に架設された門型の架台８と、この架台８内に設けられた図示しないカメラ移動機構と、カメラ移動機構に支持された３台のカメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃとを備えている。

矩形板状のテーブル７は、図示しないリニアモータなどの駆動機構によって図のＹ方向に移動可能である。各カメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃは、Ｙ方向に直交する図のＸ方向を可動方向とするカメラ移動機構によって、Ｘ方向に移動可能である。

基台５上には、テーブル７の移動方向であるＹ方向に沿って延びるリニアスケール１０が設けられる一方、テーブル７には、該テーブル７と一体的に移動する図示しないエンコーダヘッドが設置されており、リニアスケール１０とエンコーダヘッドとによって、テーブル７のＹ方向の移動量を測定するリニアエンコーダが構成される。

各エンコーダヘッドには、投光部と受光部とが備えられ、投光部から出射されてリニアスケール１０で変調された反射光を受光部で受けることにより、テーブルの移動量に応じた数のパルス信号を得ることができる。また、各リニアスケール１０の１箇所には原点パターンが設けられていることにより、テーブル位置の原点信号を得ることもできる。

架台８に内蔵されるカメラ移動機構は、テーブル７上に載置された基板２を撮像する各カメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃを、Ｘ方向に移動させるものである。このカメラ移動機構は、リニアエンコーダを備えており、このリニアエンコーダで各カメラ９Ａ，９Ｂ，９ＣのＸ方向の移動量を測定しながら、制御装置４から指令されたＸ座標に各カメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃを移動させる。

各カメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃは、顕微鏡のように対物レンズを有する構成となっており、２次元ＣＣＤ撮像素子を備える。対物レンズの交換により撮像倍率を変更できるようになっている。

制御装置４は、キーボードやマウスなどの入力装置と、ディスプレイなどの表示装置とを備えており、画像取り込み装置３に対してリアルタイムに指令を送ったり、画像取り込み装置３で撮像した画像を観察したり、画像取り込み装置３を制御するプログラムを入力したりできるようになっている。画像取り込み装置３を制御するプログラムは、ネットワークを経由して、外部からダウンロードすることもできる。

図２は、基板２の各計測点２ａを示す平面図であり、この図２では、基板２が、テーブル７上に、傾きなく正規の姿勢で載置されたとした場合の前記Ｘ方向および前記Ｙ方向を併せて示している。

複数の計測点２ａは、矩形の基板２の仮想線で示される格子状の各交点に位置するように配列されている。矩形の基板２は、テーブル７上に、傾きなく載置された状態では、テーブル７の移動方向である前記Ｙ方向およびカメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃの移動方向である前記Ｘ方向に、縦横の各辺がそれぞれ沿うように位置する。この基板２の各辺の長さ、および、基板２における各計測点の位置は、既知である。

また、基板２には、図３に示すように、４箇所の隅部に、十字状のアライメントマーク２ｂ−１〜２ｂ−４が形成されている。基板２おけるアライメントマーク２ｂ−１〜２ｂ−４の位置は、既知であるので、テーブル７に載置された基板２のアライメントマーク２ｂ−１〜２ｂ−４を撮像してその座標を求めることによって、テーブル７における基板２の位置を求めることができる。

図２に示される基板２上には、図示しないパターンが形成されており、各計測点２ａは、例えば、前記パターンの線幅を計測すべき箇所であり、各計測点２ａを、各カメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃによって後述のようにして撮像し、撮像画像を処理して、例えば、従来公知のパターンマッチングなどの手法を用いて各計測点２ａにおけるパターンの線幅などを計測するものである。

この実施形態では、３台のカメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃによって、複数の計測点２ａを効率的に撮像して計測に要する時間の短縮を図るものである。

次に、この実施形態の計測の手順を、図４のフローチャートに基づいて説明する。

先ず、基板２が、テーブル７上に載置され、基板２上のアライメントマーク２ｂ−１〜２ｂ−４の計測が行われる（ステップｎ１）。このとき、図３の２点のアライメントマーク、例えば、アライメントマーク２ｂ−１，２ｂ−２の座標から基板２のテーブル７に対する傾き角度θを求めることができる。

次に、この傾き角度θから各カメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃに対応する各計測点２ａの視野のずれ量を算出する（ステップｎ２）。

図５は、この視野のずれ量を説明するための図であり、Ｘ方向に沿って位置している３台のカメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃに対する基板２を示す図である。

各カメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃは、基板２に傾きがない場合に、基板２の横方向の複数の計測点２ａを、一つおきに撮像できる位置にある状態を示している。

基板２は、Ｘ方向に対して傾き角度θだけ傾いており、Ｘ方向に沿って位置する３台のカメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃに対して、各計測点２ａのずれが生じており、この例では、右側に位置するカメラ９Ｂ，９Ｃほどずれ量が大きくなる。

この実施形態では、左端の第１のカメラ９Ａを、その視野の有効範囲内に、計測点２ａ−１が収まるように位置させたとした場合に、第２のカメラ９Ｂおよび第３のカメラ９Ｃに対する各計測点２ａ−２，２ａ−３の視野のずれ量を算出する。

例えば、第３のカメラ９Ｃの撮像対象となる計測点２ａ−３の視野のずれ量Ｌは、上記傾き角度をθ、既知である第１のカメラ９Ａとの距離をａとすると、Ｌ＝ａ・ｔａｎθで与えられる。

同様に、第２のカメラ９Ｂの撮像対象となる計測点２ａ−２の視野のずれ量を算出する。

次に、カメラの矩形の視野のサイズと、各計測点２ａ−２，２ａ−３の視野のずれ量とを比較して、第２，第３のカメラ９Ｂ，９Ｃの視野の有効範囲内に、各計測点２ａ−２，２ａ−３が収まるか否か、すなわち、撮像可能であるか否かを判定する。すなわち、第１のカメラ９Ａによる計測点２ａ−１と同時に、第２，第３のカメラ９Ｂ，９Ｃによって、各計測点２ａ−２，２ａ−３を撮像可能であるか否かを判定する。

同時に撮像できないと判定したときには、何回で撮像できるかを決定する。例えば、第１のカメラ９Ａと同時に、第２，第３のカメラ９Ｂ，９Ｃのいずれでも撮像できないときには、第２のカメラ９Ｂの視野の有効範囲内に、計測点２ａ−２が収まるように位置させたとした場合に、第３のカメラ９Ｃに対する計測点２ａ−３の視野のずれ量を算出し、上記と同様に、第２のカメラ９Ｂと同時に第３のカメラ９Ｃで撮像可能か否かを判定する。同時に撮像可能であるときには、第１のカメラ９Ａで計測点２ａ−１を撮像し、テーブル７を移動させて第２，第３のカメラ９Ｂ，９Ｃによって、計測点２ａ−２，２ａ−３を同時撮像することを決定する。したがって、この場合は、２回で撮像することになる。

また、第２のカメラと同時に第３のカメラで撮像できないときには、第１のカメラ９Ａで計測点２ａ−１を撮像し、テーブル７を移動させて第２のカメラ９Ｂで計測点２ａ−２を撮像し、テーブル７を移動させて第３のカメラ９Ｃで計測点２ａ−３を撮像することを決定する。したがって、この場合は、３回で撮像することになる。

また、第１，第２，第３のカメラ９Ａ，９Ｂ，９Ｃで各計測点２ａ−１，２ａ−２，２ａ−３をそれぞれ同時に撮像可能であるときには、同時に撮像することを決定する。

なお、図５では、基板２の最も上の行の計測点２ａについてのずれ量を示したけれども、テーブル７をＹ方向に沿って移動させることにより、他の行の計測点２ａについても同じずれ量となるので、同様にして撮像の回数を決定できる。

次に、実際に、テーブル７およびカメラ９Ａ〜９Ｃを同時に撮像できる位置に移動させ（ステップｎ４）、同時に撮像可能な計測点２ａを撮像し（ステップｎ５）、撮像が終了していない計測点２ａが残っているか否かを判断し（ステップｎ６）、残っているときには、ステップｎ４に戻り、残っていないときには、終了する。

以上のように、基板２の傾きに基づいて、各カメラ９Ａ〜９Ｃに対する視野のずれ量を算出し、同時に撮像可能か否かを判定し、同時で撮像可能であるときには、複数のカメラで同時に撮像するので、各カメラ毎に相対移動させて順番に撮像する場合に比べて、撮像に要する時間を短縮し、計測時間を短縮することができる。

上述の実施形態では、撮像画像を処理して計測を行なったけれども、本発明の撮像方法は、計測に限らず、撮像画像を表示したり、撮像画像からデータを読み取るといった他の用途にも適用することができる。

本発明は、撮像した画像を処理して、位置や寸法などを計測する計測装置などに有用である。

本発明の実施形態に係る計測装置の概略構成を示す斜視図である。 図１の基板の計測点を示す平面図である。 基板のアライメントマークを示す図である。 計測の手順を示すフローチャートである。 基板の傾きによるずれを示す図である。 基板の傾きがない状態を示す図である。 基板が傾いている状態を示す図である。

符号の説明

１ 計測装置
２ 基板
４ 制御装置
７ テーブル
８ 架台
９Ａ，９Ｂ，９Ｃ カメラ

Claims (7)

1. 複数の撮像点が配列されている撮像対象と、一方向に沿って位置する複数のカメラとが、相対移動可能であって、前記複数の撮像点を、前記複数のカメラを用いて撮像する方法であって、
   前記一方向に沿って位置する前記複数のカメラの内、各撮像点をそれぞれ同時に撮像可能なカメラがあるときには、同時に撮像可能なカメラによって、各撮像点をそれぞれ撮像し、かつ、各撮像の間には、少なくとも前記一方向以外の方向には前記相対移動させないことを特徴とする複数のカメラを用いた撮像方法。
2. 前記一方向に対する前記撮像対象の傾きを求め、この傾きに基づいて、前記複数のカメラの内、同時に各撮像点をそれぞれ撮像可能なカメラを判定し、同時に撮像可能であると判定されたカメラによって各撮像点をそれぞれ撮像する請求項１に記載の複数のカメラを用いた撮像方法。
3. 前記撮像対象は、テーブル上に載置され、該テーブルと、前記複数のカメラとが、前記一方向および該一方向に直交する他方向に沿って前記相対移動可能であり、
   前記一方向に対する前記撮像対象の傾きを求める第１のステップと、
   前記複数の各カメラに対応する各撮像点の前記傾きに起因するずれ量をそれぞれ求める第２のステップと、
   前記ずれ量およびカメラの視野に基づいて、前記一方向に沿って位置する前記複数のカメラの内、前記各撮像点をそれぞれ同時に撮像可能なカメラを判定する第３のステップと、
   同時に撮像可能であると判定されたカメラがあるときに、該判定されたカメラによって対応する各撮像点をそれぞれ同時に撮像する第４のステップと、
   を含む請求項２に記載の複数のカメラを用いた撮像方法。
4. 前記撮像対象が、矩形の基板であって、複数の各撮像点が、格子状の各交点に位置するように配列され、
   前記第１のステップでは、前記基板の複数の基準マークを撮像して、該基板の前記傾きを求め、
   前記第２のステップでは、前記傾きおよびカメラ間の距離に基づいて、前記ずれ量を求める請求項３に記載の複数のカメラを用いた撮像方法。
5. 前記ずれ量が、前記複数のカメラの内の一台のカメラの視野内に、対応する撮像点を収めたときに、他のカメラに対して、対応する撮像点がずれる量である請求項３または４に記載の複数のカメラを用いた撮像方法。
6. 複数の計測点が配列された計測対象の前記複数の計測点を、複数のカメラで撮像し、撮像した画像を処理して計測を行なう計測装置であって、
   一方向に沿って位置するとともに、該一方向に移動可能な前記複数のカメラと、
   前記計測対象が載置されるとともに、前記一方向と直交する他方向に移動可能なテーブルと、
   前記カメラおよび前記テーブルの移動を制御するとともに、前記複数のカメラによる撮像を制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記複数のカメラの内、同時に各計測点をそれぞれ撮像可能なカメラがあるときに、同時に撮像可能なカメラによって、各計測点をそれぞれ撮像し、かつ、各撮像の間には、少なくともテーブルを移動させないように制御することを特徴とする計測装置。
7. 前記計測対象が、矩形の基板であって、複数の各計測点が、格子状の各交点に位置するように配列され、
   前記制御手段は、前記一方向に対する前記計測対象の傾きを求めて、前記複数のカメラの内、同時に各計測点をそれぞれ撮像可能なカメラを判定し、同時に撮像可能であると判定されたカメラによって各計測点をそれぞれ同時に撮像するように制御する請求項６に記載の計測装置。

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