JP2008276130A - Curable composition for color filter, and color filter, and method for manufacturing same - Google Patents

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裕三 永田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a curable composition for color filters which has high storage stability, ensures high sensitivity (a high cure degree at a small amount of light exposure) even in the case of a small amount of a polymerizable component in the presence of air, and has excellent developability. <P>SOLUTION: The curable composition for color filters comprises a compound having an oxetanyl group, a triarylsulfonium salt having at least one aryl skeleton having an electron withdrawing group as a substituent and/or a diaryliodonium salt having at least one aryl skeleton having an electron donating group as a substituent, an alkali-soluble resin and a colorant. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、固体撮像素子や液晶表示素子に用いられるカラーフィルタを作製するのに好適なカラーフィルタ用硬化性組成物、並びにこれを用いたカラーフィルタ及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a curable composition for a color filter suitable for producing a color filter used for a solid-state imaging device or a liquid crystal display device, a color filter using the same, and a method for producing the same.

固体撮像素子用カラーフィルタにおいては、着色パターンの薄膜化が求められており、従来と同じ色濃度で薄膜化するためには、カラーフィルタの作製に用いられる硬化性組成物中における着色剤の含有率を高くすることが要求されている。   In color filters for solid-state imaging devices, it is required to reduce the thickness of the colored pattern, and in order to reduce the thickness of the color pattern as before, the inclusion of the colorant in the curable composition used for the production of the color filter There is a demand for higher rates.

液晶ディスプレイ用カラーフィルタにおいては、より高画質化が求められており、そのための一手段として、色純度の向上が挙げられる。その色純度向上のため、硬化性組成物の固形分中に占める着色剤の含有率を高くすることが求められている。   In color filters for liquid crystal displays, higher image quality is required, and as one means for that purpose, improvement of color purity can be mentioned. In order to improve the color purity, it is required to increase the content of the colorant in the solid content of the curable composition.

以上のように、固体撮像素子用、液晶ディスプレイ用いずれの場合においても、硬化性組成物中における着色剤の含有率を高くするため、必然的に硬化成分である光重合開始剤、光重合性モノマー、及びアルカリ可溶性樹脂の含有量が制限されてしまい、強度が不十分になる、あるいは、硬化性が不十分で基材となる硬質表面との密着性が充分に得られない、などの問題がある。また、近年、基板サイズの拡大に伴い、現像工程において現像液中でも長時間パターン形状を維持し、パターンに欠けや剥がれがなく、しかも感度の高い硬化性組成物が求められている。特に、薄膜化が求められる固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては、色度を一定に保つために重合成分の比率が低くなっており、空気中で重合させる際、通常一般に用いられるラジカル重合では硬化が難しくなっている。   As described above, in any case for a solid-state imaging device or a liquid crystal display, in order to increase the content of the colorant in the curable composition, the photopolymerization initiator, which is necessarily a curing component, photopolymerizable Problems such as the content of the monomer and the alkali-soluble resin is limited, the strength is insufficient, or the curability is insufficient and the adhesion to the hard surface as the base material cannot be obtained sufficiently. There is. In recent years, there has been a demand for a curable composition that maintains a pattern shape for a long time even in a developing solution in a developing process, has no pattern chipping or peeling, and has a high sensitivity as the substrate size increases. In particular, in color filters for solid-state imaging devices that require thinning, the ratio of the polymerization component is low in order to keep the chromaticity constant, and when polymerizing in air, it is usually cured by radical polymerization that is generally used. Is getting harder.

そこで、近年では、カラーフィルタ用感放射線性組成物について、空気中、低エネルギーの光照射においても十分に硬化することができるより高感度な硬化系の開発が試みられている。その中で、オキセタニル基を有する化合物を利用した硬化系が報告されており、その硬化系に用いられるカラーフィルタ用開始剤として、ビイミダゾール系化合物、アセトフェノン系化合物、トリアジン系化合物(例えば、特許文献1参照)、ベンゾフェノン系過酸化合物(例えば、特許文献2参照)、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン(例えば、特許文献3参照)等が開示されている。   In recent years, therefore, development of a more sensitive curing system that can sufficiently cure the radiation-sensitive composition for color filters even in the air and under irradiation with low energy has been attempted. Among them, a curing system using a compound having an oxetanyl group has been reported. As an initiator for a color filter used in the curing system, a biimidazole compound, an acetophenone compound, a triazine compound (for example, a patent document) 1), benzophenone-based peracid compounds (see, for example, Patent Document 2), 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1 -(4-morpholinophenyl) butan-1-one (for example, refer to Patent Document 3) and the like are disclosed.

また、アルカリ可溶性樹脂にオキセタニル基を反応性基として設け、膜強度の向上及び組成物の溶解性の向上を図っている例が開示されている(例えば、特許文献4参照)。
特開2000−214592号公報 特開2003−255531号公報 特開2003−131374号公報 特開2006−301055号公報
In addition, an example is disclosed in which an oxetanyl group is provided as a reactive group in an alkali-soluble resin to improve the film strength and the solubility of the composition (see, for example, Patent Document 4).
Japanese Patent Laid-Open No. 2000-214592 JP 2003-255531 A JP 2003-131374 A JP 2006-301055 A

しかしながら、これらの感放射線性組成物の場合も、感度が未だ満足できるレベルになく、高エネルギーの放射線を照射する必要があり、照射量が不足すると、前述したパターンの欠落や欠損、残膜率あるいは画素強度の低下、得られる被膜の現像性、パターン形状が悪い等の課題が残る。これらの課題を解消するために新たな光硬化系の開発が望まれている。   However, even in the case of these radiation-sensitive compositions, the sensitivity is still not at a satisfactory level, and it is necessary to irradiate with high energy radiation. Alternatively, problems such as a decrease in pixel intensity, developability of the resulting film, and poor pattern shape remain. In order to solve these problems, development of a new photocuring system is desired.

本発明は、上記に鑑みなされたものであり、保存安定性が高く、空気存在下において少ない重合成分でも高感度(低露光量で高い硬化度)が得られ、優れた現像性を有し、パターンプロファイルが良好(特にパターン表面の法線方向と平行な平面で切断したときの切断面がテーパ形状ないし矩形)で被パターン形成物との密着性に優れたパターンを形成し得るカラーフィルタ用硬化性組成物、並びに、基板密着性に優れ、パターンプロファイルの良好(特に基板の法線方向と平行な平面で切断したときの切断面がテーパ形状ないし矩形)なカラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above, has high storage stability, high sensitivity (high curing degree at low exposure) even with a small amount of polymerization components in the presence of air, and excellent developability, Curing for color filters that can form a pattern with good pattern profile (especially when the cut surface is tapered or rectangular when cut in a plane parallel to the normal direction of the pattern surface) and excellent adhesion to the pattern formation object Provided are a color filter excellent in substrate adhesion and having a good pattern profile (particularly, the cut surface is tapered or rectangular when cut in a plane parallel to the normal direction of the substrate) and a method for producing the same. It is an object to achieve this purpose.

前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
<1> (A)オキセタニル基を有する化合物と、(B)電子求引性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するトリアリールスルホニウム塩、及び/又は電子供与性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するジアリールヨードニウム塩と、(C)アルカリ可溶性樹脂と、(D)着色剤とを少なくとも含有するカラーフィルタ用硬化性組成物である。
<2> 前記(B)トリアリールスルホニウム塩は、アリール骨格に結合する置換基のハメット値の総和が0.46以上であることを特徴とする前記<1>に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物である。
<3> 前記(B)ジアリールヨードニウム塩は、アリール骨格に結合する置換基のハメット値の総和が−0.2以下であることを特徴とする前記<1>又は<2>に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物である。
Specific means for achieving the above object are as follows.
<1> (A) a compound having an oxetanyl group, (B) a triarylsulfonium salt having at least one aryl skeleton having an electron withdrawing group as a substituent, and / or an electron donating group as a substituent A curable composition for a color filter, comprising at least a diaryl iodonium salt having at least one aryl skeleton, (C) an alkali-soluble resin, and (D) a colorant.
<2> The curable composition for a color filter according to <1>, wherein the triarylsulfonium salt (B) has a sum of Hammett values of substituents bonded to the aryl skeleton of 0.46 or more. It is a thing.
<3> The color filter according to <1> or <2>, wherein the diaryl iodonium salt (B) has a sum of Hammett values of substituents bonded to an aryl skeleton of −0.2 or less. It is a curable composition.

<4> (E)ラジカル重合性化合物を更に含有することを特徴とする前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載のカラーフィルタ用硬化性組成物である。
<5> 前記(B)トリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩以外の(F)ラジカル重合開始剤を更に含有することを特徴とする前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載のカラーフィルタ用硬化性組成物である。
<6> 前記(F)ラジカル重合開始剤がオキシム系重合開始剤であることを特徴とする前記<5>に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物である。
<7> 前記<1>〜<6>のいずれか1つに記載のカラーフィルタ用硬化性組成物を用いて形成されたカラーフィルタである。
<8> 前記<1>〜<6>のいずれか1つに記載のカラーフィルタ用硬化性組成物を支持体上に塗布し、塗布形成された硬化性層をマスクを通して露光し、現像してパターンを形成するカラーフィルタの製造方法である。
<4> The curable composition for a color filter according to any one of <1> to <3>, further comprising (E) a radical polymerizable compound.
<5> The color according to any one of <1> to <4>, further comprising (F) a radical polymerization initiator other than (B) the triarylsulfonium salt and the diaryliodonium salt. It is a curable composition for filters.
<6> The curable composition for color filters according to <5>, wherein the (F) radical polymerization initiator is an oxime polymerization initiator.
<7> A color filter formed using the curable composition for a color filter according to any one of <1> to <6>.
<8> The curable composition for a color filter according to any one of <1> to <6> is applied onto a support, and the curable layer thus formed is exposed through a mask and developed. It is a manufacturing method of the color filter which forms a pattern.

本発明によれば、保存安定性が高く、空気存在下において少ない重合成分でも高感度(低露光量で高い硬化度)が得られ、優れた現像性を有し、パターンプロファイルが良好(特にパターン表面の法線方向と平行な平面で切断したときの切断面がテーパ形状ないし矩形)で被パターン形成物との密着性に優れたパターンを形成し得るカラーフィルタ用硬化性組成物を提供することができる。また、
本発明によれば、基板密着性に優れ、パターンプロファイルの良好(特に基板の法線方向と平行な平面で切断したときの切断面が順テーパー形状ないし矩形)なカラーフィルタ及びその製造方法を提供することができる。
According to the present invention, storage stability is high, high sensitivity (low curing amount and high degree of curing) can be obtained even with a small amount of polymerization components in the presence of air, excellent developability, and good pattern profile (especially pattern) To provide a curable composition for a color filter capable of forming a pattern excellent in adhesiveness with a pattern forming object having a cut surface of a taper shape or a rectangular shape when cut in a plane parallel to the normal direction of the surface. Can do. Also,
According to the present invention, a color filter having excellent substrate adhesion and a good pattern profile (particularly when the cut surface is a forward tapered shape or a rectangle when cut in a plane parallel to the normal direction of the substrate) and a method for manufacturing the same are provided. can do.

以下、本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物について詳細に説明し、該説明を通じて、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法についても詳述する。   Hereinafter, the curable composition for a color filter of the present invention will be described in detail, and the color filter of the present invention and the manufacturing method thereof will be described in detail through the description.

<カラーフィルタ用硬化性組成物>
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物(以下、単に「硬化性組成物」ということがある。)は、(A)オキセタニル基を有する化合物、(B)電子求引性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するトリアリールスルホニウム塩、及び/又は電子供与性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するジアリールヨードニウム塩、(C)アルカリ可溶性樹脂、並びに(D)着色剤を少なくとも含有し、好ましくは(E)ラジカル重合性化合物、(F)ラジカル重合開始剤を含有する。また、必要に応じて、更に他の成分を用いて構成することができる。
<Curable composition for color filter>
The curable composition for a color filter of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “curable composition”) has (A) a compound having an oxetanyl group and (B) an electron withdrawing group as a substituent. A triarylsulfonium salt having at least one aryl skeleton, and / or a diaryliodonium salt having at least one aryl skeleton having an electron donating group as a substituent, (C) an alkali-soluble resin, and (D) at least a colorant. Preferably, it contains (E) a radical polymerizable compound and (F) a radical polymerization initiator. Moreover, it can comprise using another component as needed.

本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、特に、トリアリールスルホニウム塩及び/又はジアリールヨードニウム塩と、オキセタニル基を有する化合物と、(好ましくはカルボキシル基を持つ)アルカリ可溶性樹脂とをともに含むことにより、光が照射された際に酸触媒が生成し、オキセタニル基とアルカリ可溶性樹脂(好ましくはカルボキシル基)との間で架橋し、アルカリ可溶性樹脂の高分子量化が進行して膜形成できる。それと共に、アルカリ可溶性樹脂のアルカリ可溶性基(特にカルボキシル基)がアルカリ不溶性のエステル基に変換されることにより、現像性が良好で、良好なパターン形状を有するパターンの形成が可能である。また、着色剤として酸性基を含む染料を用いた場合には、染料がオキセタニル基と架橋するために、高感度が得られ、低露光量でも良好に硬化が行なえ、また、高い現像性が得られるので、形状の良好なパターンを形成することができる。着色剤として顔料を用いた場合には、同時に分散樹脂を用いるため、その分散樹脂の酸性基とオキセタニル基が架橋することで、高感度が得られ、低露光量でも良好に硬化が行なえ、また、高い現像性が得られるので、前記同様に形状の良好なパターンを形成することができる。   The curable composition for a color filter of the present invention particularly includes a triarylsulfonium salt and / or diaryliodonium salt, a compound having an oxetanyl group, and an alkali-soluble resin (preferably having a carboxyl group). When the light is irradiated, an acid catalyst is generated and crosslinked between the oxetanyl group and the alkali-soluble resin (preferably a carboxyl group), and the high molecular weight of the alkali-soluble resin proceeds to form a film. At the same time, an alkali-soluble group (particularly a carboxyl group) of the alkali-soluble resin is converted into an alkali-insoluble ester group, so that a pattern having good developability and a good pattern shape can be formed. In addition, when a dye containing an acidic group is used as a colorant, since the dye is crosslinked with the oxetanyl group, high sensitivity can be obtained, curing can be performed well even at a low exposure amount, and high developability can be obtained. Therefore, a pattern having a good shape can be formed. When a pigment is used as a colorant, a dispersion resin is used at the same time, so that the acidic group and oxetanyl group of the dispersion resin are cross-linked, so that high sensitivity can be obtained, and curing can be performed well even at a low exposure amount. Since high developability is obtained, a pattern having a good shape can be formed as described above.

(D)着色剤としては、染料及び顔料が好適に用いられ、中でも、着色剤の濃度が40質量%以上であるときに本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は好適に用いられ、着色剤の濃度が50質量%以上であるときに更に好適に用いられ、着色剤の濃度が60質量%以上であるときに特に好適に用いられる。   (D) As the colorant, dyes and pigments are preferably used. Above all, when the concentration of the colorant is 40% by mass or more, the curable composition for a color filter of the present invention is preferably used. It is more preferably used when the concentration of is 50% by mass or more, and particularly preferably when the concentration of the colorant is 60% by mass or more.

以下、本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物を構成する各成分について詳細に説明する。
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、パターン状に光照射することにより露光部と非露光部とを形成する態様に好適に構成でき、この場合にはアルカリ現像により、非露光部ではアルカリ可溶性樹脂が比較的低分子のままであってカルボキシル基等のアルカリ可溶性基が多いために溶解除去される。一方、露光部では、酸触媒が生成し、オキセタン同士の重合及び/又はオキセタン基とカルボキシル基などのアルカリ可溶性基との架橋によって、アルカリ可溶性樹脂の高分子化が進行すると共に、カルボキシル基がエステル基に変換されて現像液への溶解性が低下し、良好なパターン形状を有するパターンを構成する膜として残る。また、着色剤として、酸性基を含む染料を用いた場合には、その染料がオキセタニル基と架橋するために、オキセタニル基を有する化合物と酸性染料とアルカリ可溶性樹脂とで高分子量体が生成され、より高感度でかつ高い現像性が得られ、良好なパターン形状を有するパターンを形成することができる。また、着色剤として顔料を用いた場合には、同時に分散樹脂を用いるため、その分散樹脂の酸性基又はアルカリ可溶性基とオキセタニル基とが架橋し、より高感度で高い現像性が得られ、良好なパターン形状をもつパターンを形成することができる。但し、短時間の光照射のみでは架橋密度が充分でなく、アルカリ現像に耐えるが熱、光、各種の溶剤への耐性の点で不充分である場合には、後の加熱処理(ポストベーク)で熱架橋させることによって高度の剥離液耐性及び耐溶剤性を発現させることが可能である。ここで、重合開始剤や重合促進剤等の選択により、光硬化を紫外線の他に可視光線、電子線等を用いて行なえるように構成することができ、また、現像後のポストベークは熱風循環式乾燥機を用いる以外に、遠赤外線加熱、ホットプレート、高周波誘導炉等の加熱装置を用いた加熱により行なうことができる。
Hereinafter, each component which comprises the curable composition for color filters of this invention is demonstrated in detail.
The curable composition for a color filter of the present invention can be suitably configured to form an exposed portion and a non-exposed portion by irradiating light in a pattern. In this case, the alkali is developed in the non-exposed portion. Since the soluble resin remains relatively low in molecular weight and has many alkali-soluble groups such as carboxyl groups, it is dissolved and removed. On the other hand, in the exposed area, an acid catalyst is generated, and polymerization of the oxetane and / or cross-linking of the oxetane group and an alkali-soluble group such as a carboxyl group progresses the polymerization of the alkali-soluble resin, and the carboxyl group becomes an ester. As a result, the solubility in the developer is lowered, and the film remains as a film constituting a pattern having a good pattern shape. In addition, when a dye containing an acidic group is used as the colorant, the dye is cross-linked with the oxetanyl group, so that a high molecular weight product is generated from the compound having the oxetanyl group, the acidic dye, and the alkali-soluble resin. Higher sensitivity and higher developability can be obtained, and a pattern having a good pattern shape can be formed. In addition, when a pigment is used as the colorant, since the dispersion resin is used at the same time, the acidic group or alkali-soluble group of the dispersion resin and the oxetanyl group are cross-linked, and higher sensitivity and higher developability are obtained. A pattern having a simple pattern shape can be formed. However, if only short-time light irradiation is not sufficient, the crosslinking density is insufficient, and it can withstand alkali development but is insufficient in terms of resistance to heat, light, and various solvents. It is possible to develop a high degree of stripping solution resistance and solvent resistance by thermal crosslinking with. Here, by selecting a polymerization initiator, a polymerization accelerator, etc., it can be configured so that photocuring can be performed using visible light, electron beam, etc. in addition to ultraviolet rays. In addition to using a circulation dryer, it can be performed by heating using a heating device such as far-infrared heating, a hot plate, or a high-frequency induction furnace.

−(A)オキセタニル基を有する化合物−
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、硬化性化合物として、オキセタニル基を含有する化合物の少なくとも一種を含有する。この化合物は、酸素原子を有する4員環構造を有するものであればよく、分子内に2つ以上のオキセタニル基を有する化合物が好ましい。例えば、特開2001−220526号、同2001−310937号、同2003−341217号の各公報等に記載の公知のオキセタン化合物を任意に選択して使用できる。
-(A) Compound having oxetanyl group-
The curable composition for a color filter of the present invention contains at least one compound containing an oxetanyl group as the curable compound. This compound should just have a 4-membered ring structure which has an oxygen atom, and the compound which has two or more oxetanyl groups in a molecule | numerator is preferable. For example, known oxetane compounds described in JP-A Nos. 2001-220526, 2001-310937, and 2003-341217 can be arbitrarily selected and used.

分子内に2つ以上のオキセタニル基を有する化合物としては、下記式(1)〜(6)で表される化合物が挙げられる。   Examples of the compound having two or more oxetanyl groups in the molecule include compounds represented by the following formulas (1) to (6).

Figure 2008276130
Figure 2008276130

前記式(1)において、Ra1及びRa2は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜24のアルキル基、炭素数1〜24のフルオロアルキル基、アリル基、アラルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アミノ基、炭素数1〜24個のアシル基、炭素数2〜24個のアルコキシカルボニル基、炭素数2〜24個のアリールオキシカルボニル基、炭素数2〜24個のアルキルカルバモイル基、又はカルバモイルオキシ基等を表す。分子内に存在する2つのRa1及びRa2は、同一であっても異なるものであってもよい。 In the formula (1), R a1 and R a2 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 24 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 24 carbon atoms, an allyl group, an aralkyl group, an aryl group, hetero An aryl group, an amino group, an acyl group having 1 to 24 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 24 carbon atoms, an aryloxycarbonyl group having 2 to 24 carbon atoms, an alkylcarbamoyl group having 2 to 24 carbon atoms, Or represents a carbamoyloxy group or the like. Two R a1 and R a2 present in the molecule may be the same or different.

前記炭素数1〜24のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、デカン、シクロデカン等が挙げられる。中でも、炭素数1〜12のアルキル基が好ましく、炭素数1〜6が特に好ましい。   Examples of the alkyl group having 1 to 24 carbon atoms include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, decane, cyclodecane and the like. Especially, a C1-C12 alkyl group is preferable and C1-C6 is especially preferable.

前記炭素数1〜24のフルオロアルキル基は、前記アルキル基の水素の少なくとも1つがフッ素原子で置換されたものであり、例えば、トリフルオロメチル基、ノナフルオロブチル基、ノナフルオロデカニル、ヘキサフルオロイソプロピルが挙げられる。中でも、炭素数1〜12のフルオロアルキル基が好ましく、炭素数1〜6のフルオロアルキル基は特に好ましい。   The fluoroalkyl group having 1 to 24 carbon atoms is one in which at least one hydrogen of the alkyl group is substituted with a fluorine atom. For example, trifluoromethyl group, nonafluorobutyl group, nonafluorodecanyl, hexafluoro Isopropyl is mentioned. Especially, a C1-C12 fluoroalkyl group is preferable and a C1-C6 fluoroalkyl group is especially preferable.

前記アラルキル基としては、炭素数1〜24のアラルキル基が好ましく、例えば、3−フェニルプロピル、2−フェニルブチル、4−ナフチルノニルが挙げられる。中でも、炭素数1〜12のアラルキル基が好ましく、炭素数1〜8のアラルキル基は特に好ましい。   As said aralkyl group, a C1-C24 aralkyl group is preferable, for example, 3-phenylpropyl, 2-phenylbutyl, 4-naphthyl nonyl is mentioned. Especially, a C1-C12 aralkyl group is preferable and a C1-C8 aralkyl group is especially preferable.

前記アリール基としては、炭素数6〜24のアリール基が好ましく、例えば、フェニル、p−フルオロフェニル、ナフチル、アントラセニルが挙げられる。中でも、炭素数6〜12のアリール基が好ましく、炭素数6〜8のアリール基は特に好ましい。   The aryl group is preferably an aryl group having 6 to 24 carbon atoms, and examples thereof include phenyl, p-fluorophenyl, naphthyl, and anthracenyl. Among them, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms is preferable, and an aryl group having 6 to 8 carbon atoms is particularly preferable.

前記ヘテロアリール基としては、炭素数1〜24のヘテロアリール基が好ましく、例えば、ピロリル基、フリル基、チオフェニル基、ベンゾピロリル基、ベンゾフリル基、ベンゾチオフェニル基、ピラゾリル基、イソキサゾリル基、イソチアゾリル基、インダゾリル基、ベンゾイソキサゾリル基、ベンゾイソチアゾリル基、イミダゾリル基、オキサゾリル基、チアゾリル基、ベンゾイミダゾリル基、ベンゾオキサゾリル基、ベンゾチアゾリル基、ピリジル基、キノリニル基、イソキノリニル基、ピリダジニル基、ピリミジニル基、ピラジニル基、シンノリニル基、フタラジニル基、キナゾリニル基、キノキサリニル基、アクリジニル基、フェナンスリジニル基、フタラジニル基、カルバゾリル基、カルボリニル基、プリニル基、トリアゾリル基、オキサジアゾリル基、チアジアゾリル基が挙げられる。中でも、炭素数2〜12のヘテロアリール基が好ましく、炭素数2〜8のヘテロアリール基は特に好ましい。   The heteroaryl group is preferably a heteroaryl group having 1 to 24 carbon atoms, for example, a pyrrolyl group, a furyl group, a thiophenyl group, a benzopyrrolyl group, a benzofuryl group, a benzothiophenyl group, a pyrazolyl group, an isoxazolyl group, an isothiazolyl group, Indazolyl group, benzisoxazolyl group, benzisothiazolyl group, imidazolyl group, oxazolyl group, thiazolyl group, benzimidazolyl group, benzoxazolyl group, benzothiazolyl group, pyridyl group, quinolinyl group, isoquinolinyl group, pyridazinyl group, pyrimidinyl Group, pyrazinyl group, cinnolinyl group, phthalazinyl group, quinazolinyl group, quinoxalinyl group, acridinyl group, phenanthridinyl group, phthalazinyl group, carbazolyl group, carbolinyl group, purinyl group, triazolyl , Oxadiazolyl group, thiadiazolyl group. Especially, a C2-C12 heteroaryl group is preferable and a C2-C8 heteroaryl group is especially preferable.

前記アミノ基としては、例えば、アミノ、メチルアミノ、N , N − ジブチルアミノ、テトラデシルアミノ、2− エチルへキシルアミノ、シクロヘキシルアミノが挙げられる。中でも、炭素数24以下のアミノ基が好ましい。   Examples of the amino group include amino, methylamino, N, N-dibutylamino, tetradecylamino, 2-ethylhexylamino, and cyclohexylamino. Among these, an amino group having 24 or less carbon atoms is preferable.

前記炭素数1〜24個のアシル基としては、炭素数1〜12のアシル基が好ましく、例えば、ホルミル、アセチル、ピバロイル、ベンゾイル、テトラデカノイル、シクロヘキサノイルが挙げられる。中でも、炭素数1〜8のアシル基が好ましく、炭素数2〜6のアシル基は特に好ましい。   The acyl group having 1 to 24 carbon atoms is preferably an acyl group having 1 to 12 carbon atoms, and examples thereof include formyl, acetyl, pivaloyl, benzoyl, tetradecanoyl, and cyclohexanoyl. Among them, an acyl group having 1 to 8 carbon atoms is preferable, and an acyl group having 2 to 6 carbon atoms is particularly preferable.

前記炭素数2〜24個のアルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、オクタデシルオキシカルボニル、シクロヘキシルオキシカルボニルが挙げられる。中でも、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基が好ましく、炭素数2〜8のアルコキシカルボニル基は特に好ましい。   Examples of the alkoxycarbonyl group having 2 to 24 carbon atoms include methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl, octadecyloxycarbonyl, and cyclohexyloxycarbonyl. Among these, an alkoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms is preferable, and an alkoxycarbonyl group having 2 to 8 carbon atoms is particularly preferable.

前記炭素数2〜24個のアリールオキシカルボニル基としては、例えば、フェノキシカルボニル、ナフトキシカルボニルが挙げられる。中でも、炭素数2〜12のアリールオキシカルボニル基が好ましく、炭素数2〜8のアリールオキシカルボニル基は特に好ましい。   Examples of the aryloxycarbonyl group having 2 to 24 carbon atoms include phenoxycarbonyl and naphthoxycarbonyl. Among them, an aryloxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms is preferable, and an aryloxycarbonyl group having 2 to 8 carbon atoms is particularly preferable.

前記炭素数2〜24個のアルキルカルバモイル基としては、例えば、カルバモイル、N,N−ジエチルカルバモイル、N−エチル−N−オクチルカルバモイル、N,N−ジブチルカルバモイル、N−プロピルカルバモイル、N−フェニルカルバモイル、N−メチル−N−フェニルカルバモイル、N,N−ジシクロへキシルカルバモイルが挙げられる。中でも、炭素数2〜12のアルキルカルバモイル基が好ましく、炭素数2〜8のアルキルカルバモイル基は特に好ましい。   Examples of the alkyl carbamoyl group having 2 to 24 carbon atoms include carbamoyl, N, N-diethylcarbamoyl, N-ethyl-N-octylcarbamoyl, N, N-dibutylcarbamoyl, N-propylcarbamoyl, and N-phenylcarbamoyl. N-methyl-N-phenylcarbamoyl and N, N-dicyclohexylcarbamoyl. Among them, an alkylcarbamoyl group having 2 to 12 carbon atoms is preferable, and an alkylcarbamoyl group having 2 to 8 carbon atoms is particularly preferable.

前記カルバモイルオキシ基としては、炭素数2〜24のアルコキシカルバモイル基が好ましく、例えば、N,N−ジメチルカルバモイルオキシ、N−ブチルカルバモイルオキシ、N−フェニルカルバモイルオキシ、N−エチル−N−フェニルカルバモイルオキシ が挙げられる。中でも、炭素数2〜12のアルコキシカルバモイル基が好ましく、炭素数2〜8のアルコキシカルバモイル基は特に好ましい。   The carbamoyloxy group is preferably an alkoxycarbamoyl group having 2 to 24 carbon atoms, such as N, N-dimethylcarbamoyloxy, N-butylcarbamoyloxy, N-phenylcarbamoyloxy, N-ethyl-N-phenylcarbamoyloxy. Is mentioned. Among these, an alkoxycarbamoyl group having 2 to 12 carbon atoms is preferable, and an alkoxycarbamoyl group having 2 to 8 carbon atoms is particularly preferable.

前記式(1)中、Xは、2価の有機基を表す。2価の有機基としては、線状もしくは分枝状アルキレン基、線状もしくは分枝状ポリ(アルキレンオキシ)基、線状もしくは分枝状不飽和炭化水素基、カルボニル基を含むアルキレン基、カルボキシル基を含むアルキレン基、カルバモイル基を含むアルキレン基、又は以下に示す連結基(i)〜(iii)等が挙げられる。   In the formula (1), X represents a divalent organic group. Examples of divalent organic groups include linear or branched alkylene groups, linear or branched poly (alkyleneoxy) groups, linear or branched unsaturated hydrocarbon groups, alkylene groups including carbonyl groups, carboxyl groups Examples thereof include an alkylene group containing a group, an alkylene group containing a carbamoyl group, and the following linking groups (i) to (iii).

Figure 2008276130
Figure 2008276130

線状もしくは分枝状アルキレン基としては、例えば、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、2−エチルプロピレン基、 2−フェニルメチルブチレン基等が挙げられ、炭素数1〜24のアルキレン基が好ましく、炭素数1〜12のアルキレン基がより好ましい。
線状もしくは分枝状ポリ(アルキレンオキシ)基としては、例えば、ポリ(エチレンオキシ)基、ポリ(プロピレンオキシ)基等が挙げられ、炭素数1〜24のポリ(アルキレンオキシ)基が好ましく、炭素数1〜12のポリ(アルキレンオキシ)基がより好ましい。
線状もしくは分枝状不飽和炭化水素基としては、例えば、プロペニレン、メチルプロペニレン、ブテニレン、2−エチルプロペニレン、2−フェニルブチニレン等が挙げられ、炭素数1〜24の不飽和炭化水素基が好ましく、炭素数1〜12の不飽和炭化水素基がより好ましい。
カルボニル基を含むアルキレン基としては、例えば、2−アセチル−プロピレン、3−ベンゾイル−ペンチレン、デカニレン−3−オン等が挙げられ、炭素数1〜24のアルキレン基が好ましく、炭素数1〜12が好ましい。
カルボキシル基を含むアルキレン基としては、例えば、2−カルボキシル−プロピレン、3−カルボキシル−ブチレン、3−カルボキシル−ペンチレン等が挙げられ、炭素数2〜24のアルキレン基が好ましく、炭素数2〜12のアルキレン基がより好ましい。
カルバモイル基を含むアルキレン基としては、例えば、2−カルバモイル−プロピレン、3−カルバモイル−ペンチレン、3−カルバモイル−ペンチレン等が挙げられ、炭素数2〜48のアルキレン基が好ましく、炭素数2〜24のアルキレン基がより好ましい。
Examples of the linear or branched alkylene group include an ethylene group, a propylene group, a butylene group, a 2-ethylpropylene group, and a 2-phenylmethylbutylene group, and an alkylene group having 1 to 24 carbon atoms is preferable. An alkylene group having 1 to 12 carbon atoms is more preferable.
Examples of the linear or branched poly (alkyleneoxy) group include a poly (ethyleneoxy) group and a poly (propyleneoxy) group, and a poly (alkyleneoxy) group having 1 to 24 carbon atoms is preferable. A poly (alkyleneoxy) group having 1 to 12 carbon atoms is more preferred.
Examples of the linear or branched unsaturated hydrocarbon group include propenylene, methylpropenylene, butenylene, 2-ethylpropenylene, 2-phenylbutynylene, and the like, and an unsaturated hydrocarbon having 1 to 24 carbon atoms. Group is preferable, and an unsaturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms is more preferable.
Examples of the alkylene group containing a carbonyl group include 2-acetyl-propylene, 3-benzoyl-pentylene, decanylene-3-one, etc., an alkylene group having 1 to 24 carbon atoms is preferable, and an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms. preferable.
Examples of the alkylene group containing a carboxyl group include 2-carboxyl-propylene, 3-carboxyl-butylene, 3-carboxyl-pentylene, etc., an alkylene group having 2 to 24 carbon atoms is preferable, and an alkylene group having 2 to 12 carbon atoms. An alkylene group is more preferred.
Examples of the alkylene group containing a carbamoyl group include 2-carbamoyl-propylene, 3-carbamoyl-pentylene, 3-carbamoyl-pentylene, etc., preferably an alkylene group having 2 to 48 carbon atoms, and having 2 to 24 carbon atoms. An alkylene group is more preferred.

前記連結基(i)におけるRa3は、水素原子、炭素数1〜24個のアルキル基(例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、シクロヘキシル、ノニル、デカニル)、炭素数1〜24個のアルコキシ基(例えば、メトキシ、エトキシ、ブトキシ)、ハロゲン原子(例えば、塩素原子、臭素原子、フッ素原子)、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、アルキルカルボキシル基(好ましくは、炭素数1〜24のアルキルカルボキシル基、例えば、3−カルボキシルプロピル、2−カルボキシルプロピル、6−カルボキシルノニル)、カルボキシル基、又はカルバモイル基を表す。中でも、高感度化及び現像性の点で、Ra3はアルキルカルボキシル基、又はカルボキシル基が好ましい。 R a3 in the linking group (i) is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 24 carbon atoms (for example, methyl, ethyl, propyl, isopropyl, cyclohexyl, nonyl, decanyl), or an alkoxy group having 1 to 24 carbon atoms. (Eg, methoxy, ethoxy, butoxy), halogen atom (eg, chlorine atom, bromine atom, fluorine atom), nitro group, cyano group, mercapto group, alkyl carboxyl group (preferably an alkyl carboxyl group having 1 to 24 carbon atoms) Represents, for example, 3-carboxylpropyl, 2-carboxylpropyl, 6-carboxylnonyl), a carboxyl group, or a carbamoyl group. Among them, R a3 is preferably an alkyl carboxyl group or a carboxyl group from the viewpoint of high sensitivity and developability.

前記連結基(ii)において、Ra4は、酸素原子、硫黄原子、メチレン基、NH、SO、SO、C(CF、又はC(CH等を表し、酸素原子、硫黄原子、メチレン基が好ましい。
前記連結基(iii)において、Ra5は、炭素数1〜24のアルコキシ基(例えば、メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基)、又はアリール基(好ましくは炭素数6〜24のアリール基、例えば、フェニル基、p−メトキシフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基)を表し、フェニル基、ナフチル基が好ましい。
a6は、炭素数1〜24個のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、イソプロピル基、シクロヘキシル基、ノニル基)、アリール基(好ましくは炭素数6〜24のアリール基、例えば、フェニル基、p−メトキシフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基)、又は下記構造を有する1価の基(iv)を表す。
nは、0〜2,000の整数であり、0〜500が好ましい。
In the linking group (ii), R a4 represents an oxygen atom, a sulfur atom, a methylene group, NH, SO, SO 2 , C (CF 3 ) 2 , C (CH 3 ) 2 or the like, An atom and a methylene group are preferable.
In the linking group (iii), R a5 represents an alkoxy group having 1 to 24 carbon atoms (for example, a methoxy group, an ethoxy group, or a butoxy group), or an aryl group (preferably an aryl group having 6 to 24 carbon atoms, for example, Phenyl group, p-methoxyphenyl group, naphthyl group, anthracenyl group), and phenyl group and naphthyl group are preferable.
R a6 is an alkyl group having 1 to 24 carbon atoms (for example, a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, a cyclohexyl group, or a nonyl group), an aryl group (preferably an aryl group having 6 to 24 carbon atoms, such as a phenyl group). , P-methoxyphenyl group, naphthyl group, anthracenyl group) or a monovalent group (iv) having the following structure.
n is an integer of 0 to 2,000, preferably 0 to 500.

Figure 2008276130
Figure 2008276130

前記1価の基(iv)中、Ra7は、炭素数1〜24個のアルキル基、又は炭素数6〜24のアリール基を表し、mは0〜100の整数を表す。
a7で表される炭素数1〜24個のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、イソプロピル、シクロヘキシル、オクチル等が挙げられ、メチル又はエチルが好ましい。
a7で表される炭素数6〜24のアリール基としては、例えば、フェニル、p−メトキシフェニル、ナフチル、アントラセニル等が挙げられ、炭素数6〜12のアリール基が特に好ましい。
In the monovalent group (iv), R a7 represents an alkyl group having 1 to 24 carbon atoms or an aryl group having 6 to 24 carbon atoms, and m represents an integer of 0 to 100.
Examples of the alkyl group having 1 to 24 carbon atoms represented by R a7 include methyl, ethyl, isopropyl, cyclohexyl, octyl and the like, and methyl or ethyl is preferable.
Examples of the aryl group having 6 to 24 carbon atoms represented by R a7, for example, phenyl, p- methoxyphenyl, naphthyl, anthracenyl and the like, particularly preferably an aryl group having 6 to 12 carbon atoms.

上記のうち、前記式(1)において、高感度化のため分子量を下げモル数を高くするため、Ra1がメチル又はエチル基であって、Ra2が水素原子であって、Xが酸素原子である場合が特に好ましい。 Among the above, in the formula (1), in order to reduce the molecular weight and increase the number of moles for high sensitivity, R a1 is a methyl or ethyl group, R a2 is a hydrogen atom, and X is an oxygen atom Is particularly preferred.

前記式(1)で表される化合物としては、ビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル(OXT−221、東亞合成(株)製)が挙げられる。   Examples of the compound represented by the formula (1) include bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether (OXT-221, manufactured by Toagosei Co., Ltd.).

本発明においては、オキセタニル基を有する化合物としては、その構造内にオキセタニル基を3個以上有する化合物が好ましい。このような化合物を使用することで、高感度で、熱及び光に対する耐性の高い硬化膜を得ることができる。
中でも、3〜12個のオキセタニル基を有する化合物が好ましい。
In the present invention, the compound having an oxetanyl group is preferably a compound having three or more oxetanyl groups in its structure. By using such a compound, a cured film having high sensitivity and high resistance to heat and light can be obtained.
Among these, a compound having 3 to 12 oxetanyl groups is preferable.

3個以上のオキセタニル基を有する化合物としては、下記式(2)で示される化合物が挙げられる。   Examples of the compound having 3 or more oxetanyl groups include compounds represented by the following formula (2).

Figure 2008276130
Figure 2008276130

前記式(2)において、Ra1及びRa2は、前記式(1)におけるRa1及びRa2とそれぞれ同義であり、好ましい態様も同様である。
a8は、多価連結基であり、炭素数1〜24個のアルキレン基(例えば、メチレン、ブチレン、ノニレン)、炭素数1〜24個のアルケニレン基(例えば、プロペニレン、ブレニレン、オクテニレン)、アリーレン基(例えば、フェニレン、ナフチレン、アントラセニレン)、アリールアルキレン基(例えば、フェニル−ジ−プロパン−ジイル、フェニル−プロパン−ブタン−ジイル、ナフタレニル−ジエタン−ブタン−トリイル)、炭素数1〜24個の多価のアシル基を有するアルキレン基(例えば、プロピレン−ジアセチル、ブチレン−ジ−ベンゾイル、プロピレン−アセチル−ベンゾイル、オクチレン−トリアセチル−ベンゾイル)、炭素数1〜24個の多価のアルカンポリイル−オキシカルボニル基(例えば、エチレン−ジ−オキシカルボニル、プロピレン−ジ−オキシカルボニル、ブチレン−ジオキシカルボニル、ノナン−テトライル−テトラオキシカルボニル)、炭素数1〜24個の多価のアルカンポリイル−カルバモイル基(例えば、エチレン−ジ−カルバモイル、プロピレン−ジ−カルバモイル、ブチレン−ジ−カルバモイル、ノナン−テトライル−テトラ−カルバモイル)、炭素数1〜24個の多価のアルカンポリイル−オキシカルバモイル基(例えばエチレン−ジ−オキシカルバモイル、プロピレン−ジ−オキシカルバモイル、ブチレン−ジオキシカルバモイル、ノナン−テトライル−テトラオキシカルバモイル)等が挙げられ、例えば、下記A〜Iで表される基(*は結合手を表す)等が好適に挙げられる。
また、Yは、酸素原子又は硫黄原子を表す。jは、2〜12の整数である。
In the formula (2), R a1 and R a2 are the formula (1) in a R a1 and R a2 are each synonymous, preferable embodiments thereof are also the same.
R a8 is a polyvalent linking group, an alkylene group having 1 to 24 carbon atoms (eg, methylene, butylene, nonylene), an alkenylene group having 1 to 24 carbon atoms (eg, propenylene, blenylene, octenylene), arylene Groups (eg, phenylene, naphthylene, anthracenylene), arylalkylene groups (eg, phenyl-di-propane-diyl, phenyl-propane-butane-diyl, naphthalenyl-dietane-butane-triyl), many having 1 to 24 carbon atoms Alkylene group having a valent acyl group (for example, propylene-diacetyl, butylene-di-benzoyl, propylene-acetyl-benzoyl, octylene-triacetyl-benzoyl), polyvalent alkanepolyyl-oxy having 1 to 24 carbon atoms A carbonyl group (eg ethylene-di-oxy) Cicarbonyl, propylene-di-oxycarbonyl, butylene-dioxycarbonyl, nonane-tetrayl-tetraoxycarbonyl), polyvalent alkanepolyyl-carbamoyl group having 1 to 24 carbon atoms (for example, ethylene-di-carbamoyl, Propylene-di-carbamoyl, butylene-di-carbamoyl, nonane-tetrayl-tetra-carbamoyl), polyvalent alkanepolyyl-oxycarbamoyl groups having 1 to 24 carbon atoms (for example, ethylene-di-oxycarbamoyl, propylene-di) -Oxycarbamoyl, butylene-dioxycarbamoyl, nonane-tetrayl-tetraoxycarbamoyl) and the like, for example, groups represented by the following A to I (* represents a bond) and the like.
Y represents an oxygen atom or a sulfur atom. j is an integer of 2-12.

Figure 2008276130
Figure 2008276130

上記のうち、前記式(2)において、高感度化及び低分子量化の点で、Ra1がメチル基又はエチル基であって、Ra2が水素原子であって、Ra8が前記C、F、H、又はIで表される基であって、Yが酸素原子であって、jが1〜24である場合が特に好ましい。 Among the above, in the formula (2), R a1 is a methyl group or an ethyl group, R a2 is a hydrogen atom, and R a8 is the C, F in terms of high sensitivity and low molecular weight. Particularly preferred is a group represented by H, H or I, wherein Y is an oxygen atom and j is 1 to 24.

前記Bにおいて、Ra9は、メチル基、エチル基、プロピル基等を表す。
また、前記Eにおいて、pは、1〜12の整数等を表す。
In B, R a9 represents a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or the like.
Moreover, in said E, p represents the integer of 1-12.

前記式(2)で表される化合物としては、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン(OXT−121、東亞合成(株)製)が挙げられる。   Examples of the compound represented by the formula (2) include 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene (OXT-121, manufactured by Toagosei Co., Ltd.).

また、複数のオキセタニル基を有する化合物として、下記式(3)で表される化合物が挙げられる。   Moreover, the compound represented by following formula (3) is mentioned as a compound which has a some oxetanyl group.

Figure 2008276130
Figure 2008276130

前記式(3)において、Ra1及びRa2は、前記式(1)におけるRa1及びRa2と同義であり、好ましい態様も同様である。kは、2〜24の整数である。 In the formula (3), R a1 and R a2 are synonymous with R a1 and R a2 in the formula (1), and preferred embodiments are also the same. k is an integer of 2 to 24.

また、オキセタニル基を有する化合物の別の態様として、側鎖にオキセタニル基を有する下記式(4)で表される化合物を挙げることができる。   Moreover, the compound represented by following formula (4) which has an oxetanyl group in a side chain can be mentioned as another aspect of the compound which has an oxetanyl group.

Figure 2008276130
Figure 2008276130

前記式(4)において、Ra1及びRa2、並びにRa7は、前記式(1)におけるRa1及びRa2、並びに前記Ra7と同義であり、好ましい態様も同様である。Ra10は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等の炭素数1〜24のアルキル基、又はトリアルキルシリル基を表す。トリアルキルシリル基は、炭素数1〜24のトリアルキルシリル基が好ましく、例えば、トリメチルシリル、トリエチルシリル、トリノニルシリルが挙げられる。lは、1〜48の整数である。 In the formula (4), R a1 and R a2, and R a7 is, R a1 and R a2 in the above formula (1), and have the same meaning as the R a7, preferable embodiments thereof are also the same. R a10 represents an alkyl group having 1 to 24 carbon atoms such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or a butyl group, or a trialkylsilyl group. The trialkylsilyl group is preferably a C1-C24 trialkylsilyl group, and examples thereof include trimethylsilyl, triethylsilyl, and trinonylsilyl. l is an integer of 1 to 48.

上記のうち、前記式(4)において、低分子量化の点で、Ra1がメチル基又はエチル基であって、Ra2が水素原子であって、Ra7、Ra10がメチル基又はエチル基であって、lが1〜12である場合が特に好ましい。 Among the above, in the formula (4), R a1 is a methyl group or an ethyl group, R a2 is a hydrogen atom, and R a7 and R a10 are a methyl group or an ethyl group in terms of reducing the molecular weight. And the case where l is 1 to 12 is particularly preferable.

さらに、複数のオキセタニル基を有する化合物として、下記式(5)で表される化合物が挙げられる。   Furthermore, examples of the compound having a plurality of oxetanyl groups include compounds represented by the following formula (5).

Figure 2008276130
Figure 2008276130

前記式(5)において、Ra2は、前記式(1)におけるRa2と同義であり、好ましい態様も同様である。
a11及びRa11’は、各々独立に、炭素数1〜24のアルキル基(例えば、メチル、エチル、イソプロピル、シクロヘキシル、3−エチルオクチル)、炭素数1〜24のアルケニル基(例えば、2−プロペニル、2−ブテニル、4,7−ノネニル)、炭素数6〜24のアリール基(例えば、フェニル、p−クロロフェニル、ナフチル)、アラルキル基(例えば、3−フェニルプロピル、4−ナフチルブチル、3−フェニルオクチル)、炭素数1〜24個のアシル基(例えば、ホルミル、アセチル、ベンゾイル、p−メトキシベンゾイル)、炭素数1〜24個のアルコキシカルボニル基(例えば、アセトキシ、エトキシカルボニル、ブトキシカルボニル)、炭素数1〜24個のアルキルカルバモイル基(例えば、N,N−ジメチルカルバモイル、N−ブチルカルバモイル、N−ブチル−N−エチルカルバモイル)、又はアルコキシカルバモイル基(例えば、N,N−ジメトキシカルバモイル、N−ブトキシカルバモイル、N−ブトキシ、N−エトキシカルバモイル)を表し、Ra11とRa11’とは連結基を介して環を形成していてもよい。
中でも、Ra11及びRa11’は好ましくは、各々独立に、メチル基又はエチル基である。
In said Formula (5), R < a2> is synonymous with R <a2> in said Formula (1), and its preferable aspect is also the same.
R a11 and R a11 ′ are each independently an alkyl group having 1 to 24 carbon atoms (for example, methyl, ethyl, isopropyl, cyclohexyl, 3-ethyloctyl), an alkenyl group having 1 to 24 carbon atoms (for example, 2- Propenyl, 2-butenyl, 4,7-nonenyl), aryl groups having 6 to 24 carbon atoms (eg, phenyl, p-chlorophenyl, naphthyl), aralkyl groups (eg, 3-phenylpropyl, 4-naphthylbutyl, 3- Phenyloctyl), an acyl group having 1 to 24 carbon atoms (for example, formyl, acetyl, benzoyl, p-methoxybenzoyl), an alkoxycarbonyl group having 1 to 24 carbon atoms (for example, acetoxy, ethoxycarbonyl, butoxycarbonyl), An alkylcarbamoyl group having 1 to 24 carbon atoms (for example, N, N-dimethylcarba Yl, N- butylcarbamoyl, N- butyl -N- ethylcarbamoyl), or alkoxy carbamoyl group (e.g., N, N- dimethoxy carbamoyl, N- butoxy carbamoyl, N- butoxy, represents N- ethoxy carbamoyl), R a11 And R a11 ′ may form a ring via a linking group.
Among them, R a11 and R a11 ′ are preferably each independently a methyl group or an ethyl group.

前記式(5)中、Yは、酸素原子又は硫黄原子を表す。mは、2〜24の整数である。   In said formula (5), Y represents an oxygen atom or a sulfur atom. m is an integer of 2 to 24.

上記のうち、前記式(5)において、高感度化及び低分子量化の点で、Ra2、Ra11、Ra11’がメチル基又はエチル基であって、mが1〜12である場合が特に好ましい。 Among the above, in the formula (5), R a2 , R a11 and R a11 ′ are methyl groups or ethyl groups and m is 1 to 12 in terms of high sensitivity and low molecular weight. Particularly preferred.

また、オキセタニル基を有する化合物の別の態様として、カリックスアレーン部位を有する下記式(6)で表される化合物が挙げられる。   Another embodiment of the compound having an oxetanyl group includes a compound represented by the following formula (6) having a calixarene moiety.

Figure 2008276130
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前記式(6)において、Ra1及びRa2は前記式(1)におけるRa1及びRa2と同義であり、好ましい態様も同様である。nは、3〜12の整数である。 In the formula (6), R a1 and R a2 have the same meaning as R a1 and R a2 in the formula (1), and preferred embodiments thereof are also the same. n is an integer of 3-12.

このようなオキセタニル基を有する化合物については、特開2003−341217号公報の段落番号[0021]〜[0084]に詳細な記載があり、ここに記載の化合物は本発明においても好適に使用できる。また、特開2004−91556号公報の段落番号[0022]〜[0058]に記載のオキセタニル基を有する化合物も本発明に使用可能である。   The compound having such an oxetanyl group is described in detail in paragraphs [0021] to [0084] of JP-A No. 2003-341217, and the compounds described herein can be suitably used in the present invention. In addition, compounds having an oxetanyl group described in paragraphs [0022] to [0058] of JP-A No. 2004-91556 can also be used in the present invention.

以下、オキセタニル基を有する化合物の具体例(例示化合物[O−1]〜[O−41])を挙げるが、本発明においてはこれらに限定されるものではない。   Hereinafter, specific examples (exemplary compounds [O-1] to [O-41]) of compounds having an oxetanyl group are listed, but the present invention is not limited thereto.

Figure 2008276130
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上記したオキセタニル基を有する化合物の中でも、高感度化のための多官能基化の点で、[O−25]、[O−26]、[O−27]が特に好ましい。   Among the compounds having an oxetanyl group, [O-25], [O-26], and [O-27] are particularly preferable from the viewpoint of polyfunctionalization for increasing sensitivity.

オキセタニル基を有する化合物は、1種単独で用いても2種以上を併用してもよい。
オキセタニル基を有する化合物の硬化性組成物中における含有量は、好ましくは0.1〜70質量%であり、より好ましくは0.5〜60質量%であり、更に好ましくは1〜50質量%である。
The compounds having an oxetanyl group may be used alone or in combination of two or more.
The content of the compound having an oxetanyl group in the curable composition is preferably 0.1 to 70% by mass, more preferably 0.5 to 60% by mass, and further preferably 1 to 50% by mass. is there.

−(B)トリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩−
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、重合開始剤として、電子求引性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するトリアリールスルホニウム塩、及び、電子供与性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するジアリールヨードニウム塩からなる群より選択される少なくとも一種を含有する。
-(B) Triarylsulfonium salt and diaryliodonium salt-
The curable composition for a color filter of the present invention has, as a polymerization initiator, a triarylsulfonium salt having at least one aryl skeleton having an electron withdrawing group as a substituent, and an electron donating group as a substituent. It contains at least one selected from the group consisting of diaryl iodonium salts having at least one aryl skeleton.

(B−1:トリアリールスルホニウム塩)
本発明におけるトリアリールスルホニウム塩は、電子求引性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有する化合物であり、アリール骨格に結合する置換基のハメット値の総和が0.46以上の重合開始剤が好ましい。
(B-1: Triarylsulfonium salt)
The triarylsulfonium salt in the present invention is a compound having at least one aryl skeleton having an electron-withdrawing group as a substituent, and polymerization starts with the sum of Hammett values of substituents bonded to the aryl skeleton being 0.46 or more. Agents are preferred.

トリアリールスルホニウム塩の構造を有する化合物は、例えば、J. Amer. Chem. Soc. 第112巻 (16), 1990年; pp.6004-6015, J. Org. Chem. 1988年; pp.5571-5573, WO02/081439A1パンフレット、あるいは欧州特許(EP)第1,113,005号明細書等に記載の方法により容易に合成することが可能である。   The compound having the structure of triarylsulfonium salt is, for example, J. Amer. Chem. Soc. 112 (16), 1990; pp. 6004-6015, J. Org. Chem. 1988; pp. 5571- 5573, WO02 / 081439A1 pamphlet or European Patent (EP) No. 1,113,005, etc., can be easily synthesized.

本発明におけるトリアリールスルホニウム塩は、電子求引性基を置換基として有するアリール骨格を1つ以上有する。ここで、電子求引性基とは、ハメット値(Hammetの置換基定数σ)が0より大きい置換基を意味する。本発明においては、高感度化の観点から、トリアリールスルホニウム塩のアリール骨格に結合する置換基のハメット値の総和が0.18以上であることが好ましく、0.46以上がより好ましく、0.60以上が更に好ましい。   The triarylsulfonium salt in the present invention has one or more aryl skeletons having an electron withdrawing group as a substituent. Here, the electron withdrawing group means a substituent having a Hammett value (Hammett's substituent constant σ) larger than zero. In the present invention, from the viewpoint of increasing sensitivity, the sum of Hammett values of substituents bonded to the aryl skeleton of the triarylsulfonium salt is preferably 0.18 or more, more preferably 0.46 or more, and 60 or more is more preferable.

また、ハメット値は、トリアリールスルホニウム塩構造を有するカチオンの電子吸引性の程度を表すものであり、高感度化の観点からは、特に上限値はないが、反応性と安定性との観点からは、0.46以上4.0以下であることが好ましく、より好ましくは0.50以上3.5以下であり、特に好ましくは0.60以上3.0以下である。
なお、本発明においては、ハメット値は、稲本直樹編、化学セミナー10 ハメット則−構造と反応性−(1983年、丸善(株)発行)に記載の数値を用いている。
The Hammett value represents the degree of electron withdrawing property of a cation having a triarylsulfonium salt structure, and from the viewpoint of increasing sensitivity, there is no particular upper limit, but from the viewpoint of reactivity and stability. Is preferably 0.46 or more and 4.0 or less, more preferably 0.50 or more and 3.5 or less, and particularly preferably 0.60 or more and 3.0 or less.
In the present invention, the Hammett value uses the numerical value described in Naoki Inamoto, Chemistry Seminar 10 Hammett's Rule-Structure and Reactivity (published by Maruzen Co., Ltd. in 1983).

アリール骨格に導入する電子求引性基としては、例えば、トリフルオロメチル基、ハロゲン原子、エステル基、スルホキシド基、シアノ基、アミド基、カルボキシル基、カルボニル基等が挙げられる。これらの置換基のハメット値を以下に示す。
トリフルオロメチル基(−CF、m:0.43、p:0.54)、ハロゲン原子〔例えば、−F(m:0.34、p:0.06)、−Cl(m:0.37、p:0.23)、−Br(m:0.39、p:0.23)、−I(m:0.35、p:0.18)〕、エステル基(例えば−COCH、o:0.37、p:0.45)、スルホキシド基(例えば−SOCH、m:0.52、p:0.45)、シアノ基(−CN、m:0.56、p:0.66)、アミド基(例えば−NHCOCH、m:0.21、p:0.00)、カルボキシ基(−COOH、m:0.37、p:0.45)、カルボニル基(−CO、m:0.36、p:0.43)である。なお、カッコ内は、その置換基のアリール骨格における導入位置とそのハメット値を表し、例えば「m:0.50」はその置換基がメタ位に導入された時のハメット値が0.50であることを示す。
上記の置換基の中でも、熱安定性向上又はオキセタニル基を有する化合物等の重合性化合物への溶解性向上の観点から、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基等の非イオン性の置換基が好ましく、溶解性向上の観点からは、−F、−CF、−Cl、−Brが好ましく、中でも反応性の観点から−Clが好ましい。
Examples of the electron withdrawing group introduced into the aryl skeleton include a trifluoromethyl group, a halogen atom, an ester group, a sulfoxide group, a cyano group, an amide group, a carboxyl group, and a carbonyl group. The Hammett values of these substituents are shown below.
A trifluoromethyl group (—CF 3 , m: 0.43, p: 0.54), a halogen atom [eg, —F (m: 0.34, p: 0.06), —Cl (m: 0. 37, p: 0.23), - Br (m: 0.39, p: 0.23), - I (m: 0.35, p: 0.18) ], an ester group (e.g., -CO 2 CH 3 , o: 0.37, p: 0.45), a sulfoxide group (for example, —SOCH 3 , m: 0.52, p: 0.45), a cyano group (—CN, m: 0.56, p: 0.66), an amide group (for example, —NHCOCH 3 , m: 0.21, p: 0.00), a carboxy group (—COOH, m: 0.37, p: 0.45), a carbonyl group (—CO M: 0.36, p: 0.43). The parenthesis represents the introduction position of the substituent in the aryl skeleton and the Hammett value. For example, “m: 0.50” indicates that the Hammett value when the substituent is introduced at the meta position is 0.50. Indicates that there is.
Among the above-mentioned substituents, nonionic substituents such as halogen atoms and halogenated alkyl groups are preferred and soluble from the viewpoint of improving thermal stability or solubility in polymerizable compounds such as compounds having an oxetanyl group. from the viewpoint of the tendency, -F, -CF 3, -Cl, -Br are preferred, -Cl is preferable in view of inter alia reactivity.

これらの置換基は、トリアリールスルホニウム塩構造中の3つのアリール骨格のいずれか一つに導入されていてもよく、2以上のアリール骨格に導入されていてもよい。また、3つのアリール骨格のそれぞれに置換基が導入される場合、導入される置換基は1つでも複数でもよい。導入される置換基の数は、任意である。例えば、トリアリールスルホニウム塩構造のアリール骨格のうち、1ヶ所に特にハメット値の大きい(例えば、ハメット値が単独で0.46以上)置換基を1つだけ導入していてもよい。また、例えば、複数の置換基が導入され、それぞれのハメット値の合計が0.46以上となるように導入されてもよい。   These substituents may be introduced into any one of the three aryl skeletons in the triarylsulfonium salt structure, or may be introduced into two or more aryl skeletons. When a substituent is introduced into each of the three aryl skeletons, one or more substituents may be introduced. The number of substituents to be introduced is arbitrary. For example, in the aryl skeleton having a triarylsulfonium salt structure, only one substituent having a particularly large Hammett value (for example, a Hammett value of 0.46 or more alone) may be introduced at one position. Further, for example, a plurality of substituents may be introduced and the sum of the Hammett values may be 0.46 or more.

上記のように、置換基のハメット値は導入される位置によって異なるため、本発明に係
るトリアリールスルホニウム塩におけるハメット値の総和は、置換基の種類、導入位置、導入数により確定されることになる。
なお、ハメット則は、通常、m位、p位で表されるが、本発明においては、電子求引性
の指標として、o位での置換基効果はp位と同値として計算する。好ましい置換位置とし
ては、合成上の観点から、m位、p位が好ましく、p位が最も好ましい。
As described above, since the Hammett value of the substituent varies depending on the position of introduction, the sum of Hammett values in the triarylsulfonium salt according to the present invention is determined by the type of substituent, the introduction position, and the number of introductions. Become.
The Hammett's rule is usually expressed by the m-position and the p-position, but in the present invention, the substituent effect at the o-position is calculated as the same value as the p-position as an index of electron withdrawing property. Preferred substitution positions are preferably the m-position and the p-position, and most preferably the p-position, from the viewpoint of synthesis.

本発明における「電子吸引性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するトリアリールスルホニウム塩」としては、ハロゲン原子により3置換以上されているスルホニウム塩であることが好ましく、各アリール骨格がハロゲン原子又はハロゲン原子を含む基を置換基として有するスルホニウム塩であることがより好ましく、各アリール骨格がハロゲン原子により置換されているスルホニウム塩であることがさらに好ましく、クロロ基により3置換されているスルホニウム塩であることが最も好ましい。具体的には、3つのアリール骨格のそれぞれにハロゲン原子、最も好ましくは−Clが導入されたトリアリールスルホニウム塩構造を有するものが好ましく、−Clがp位に置換されているものがより好ましい。   The “triarylsulfonium salt having at least one aryl skeleton having an electron-withdrawing group as a substituent” in the present invention is preferably a sulfonium salt having three or more substitutions by a halogen atom. More preferably, it is a sulfonium salt having an atom or a group containing a halogen atom as a substituent, more preferably a sulfonium salt in which each aryl skeleton is substituted by a halogen atom, and a sulfonium that is trisubstituted by a chloro group Most preferred is a salt. Specifically, those having a triarylsulfonium salt structure in which a halogen atom, most preferably —Cl is introduced into each of the three aryl skeletons are preferred, and those in which —Cl is substituted at the p-position are more preferred.

トリアリールスルホニウム塩のカウンターアニオンは、安定性の面から、スルホン酸アニオン、ベンゾイルギ酸アニオン、カルボン酸アニオン、スルフィン酸アニオン、硫酸アニオン、ボレートアニオン、ハロゲンアニオン、ポリマー型スルホン酸アニオン、ポリマー型カルボン酸アニオンが挙げられるが、反応性及び安定性の面から、スルホン酸アニオン又はそのポリマー体、ベンゾイルギ酸アニオン又はそのポリマー体が好ましく、最も好ましくは、スルホン酸アニオン又はそのポリマー体、B(C 、PF 、AsF 、SbF 、BF が好ましい。 The counter anion of the triarylsulfonium salt is sulfonate anion, benzoylformate anion, carboxylate anion, sulfinate anion, sulfate anion, borate anion, halogen anion, polymer sulfonate anion, polymer carboxylic acid in terms of stability. An anion may be mentioned, but in view of reactivity and stability, a sulfonate anion or a polymer thereof, a benzoylformate anion or a polymer thereof is preferable, and most preferably, a sulfonate anion or a polymer thereof, B (C 6 F 5) 4 -, PF 6 - , AsF 6 -, SbF 6 -, BF 4 - are preferable.

以下、本発明における(B)トリアリールスルホニウム塩の好ましい具体例〔例示化合物(OS−A1)〜(OS−H7)〕を挙げるが、これらに限定されるものではない。   Hereinafter, although the preferable specific example [Exemplary compound (OS-A1)-(OS-H7)] of the (B) triarylsulfonium salt in this invention is given, it is not limited to these.

Figure 2008276130
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(B−2:ジアリールヨードニウム塩)
本発明におけるジアリールヨードニウム塩は、電子供与性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有する化合物であり、アリール骨格に結合する置換基のハメット値の総和が−0.2以下の重合開始剤が好ましい。
(B-2: Diaryliodonium salt)
The diaryl iodonium salt in the present invention is a compound having at least one aryl skeleton having an electron donating group as a substituent, and a polymerization initiator having a sum of Hammett values of substituents bonded to the aryl skeleton of -0.2 or less. Is preferred.

本発明におけるジアリールヨードニウム塩は、安定性の観点から、ジアリールヨードニウム骨格を有し、かつアリール環上に電子供与性基を3個以上有するヨードニウム塩化合物が好ましい。このジアリールヨードニウム塩の電子供与性基は、ジアリールヨードニウム塩構造の2つのアリール骨格のいずれか1つに導入されていてもよく、2つのアリール骨格の両方に導入されていてもよい。
また、このヨードニウム塩のアリール環上の基は、可能であるなら結合して環を形成していてもよい。
The diaryl iodonium salt in the present invention is preferably an iodonium salt compound having a diaryl iodonium skeleton and having three or more electron donating groups on the aryl ring from the viewpoint of stability. The electron donating group of the diaryl iodonium salt may be introduced into any one of the two aryl skeletons of the diaryl iodonium salt structure, or may be introduced into both of the two aryl skeletons.
In addition, groups on the aryl ring of the iodonium salt may be bonded to form a ring if possible.

電子供与性基としては、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基、ウレア基、アルコキシアルキル基、アシロキシアミノ基、シクロアルキル基、アリル基であることが好ましく、これらの基は電子供与性を失わない範囲で、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、水酸基、アルコキシ基、チオール基、チオアルコキシ基、アミノ基、ハロゲン原子等で置換されていてもよい。また、これら置換基は、更にこれら置換基で置換されていてもよく、また、可能であるなら結合して環を形成していてもよい。   The electron donating group is preferably an alkyl group, an alkoxy group, an amino group, a urea group, an alkoxyalkyl group, an acyloxyamino group, a cycloalkyl group, or an allyl group, and these groups do not lose the electron donating property. In the range, an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, a thiol group, a thioalkoxy group, an amino group, a halogen atom and the like may be substituted. Further, these substituents may be further substituted with these substituents, and if possible, may be bonded to form a ring.

電子供与性基の好ましい置換位置としては、アリール環上のヨードニウム基に対し、パラ位又はオルト位であることが好ましい。
好ましい電子供与性基は、アルキル基又はアルコキシ基であり、最も好ましい置換基はアルコキシ基である。
電子供与性基の置換数は、3置換以上であることが好ましく、より好ましくはアルコキシ基で4置換以上である。
すなわち、本発明におけるジアリールヨードニウム塩は、3置換以上されたものが好ましく、アルコキシ基で3置換以上されたものがより好ましい。
A preferred substitution position of the electron donating group is preferably a para position or an ortho position with respect to the iodonium group on the aryl ring.
The preferred electron donating group is an alkyl group or an alkoxy group, and the most preferred substituent is an alkoxy group.
The number of substitution of the electron donating group is preferably 3 substitutions or more, more preferably 4 substitutions or more with an alkoxy group.
That is, the diaryl iodonium salt in the present invention is preferably one having three or more substitutions, more preferably one having three or more substitutions with an alkoxy group.

アリール環上に電子供与性基を合計3つ以上有するジアリールヨードニウム塩は、その2つのアリール骨格において、ヨードニウム基に対する全置換基のハメット値の総和が、好ましくは0.33以下であり、より好ましくは−0.2以下であり、さらに好ましくは−0.3以下である。ここで、「ヨードニウム基に対する全置換基」とは、ジアリールヨードニウム塩構造におけるアリール骨格に結合した全ての置換基をさす。但し、ヨードニウム基は除く。また、置換基のハメット値は、それぞれのアリール骨格におけるヨードニウム基を基準とする。   In the diaryl iodonium salt having three or more electron donating groups on the aryl ring, the sum of the Hammett values of all substituents with respect to the iodonium group in the two aryl skeletons is preferably 0.33 or less, more preferably Is -0.2 or less, more preferably -0.3 or less. Here, the “total substituents for the iodonium group” refers to all substituents bonded to the aryl skeleton in the diaryl iodonium salt structure. However, iodonium group is excluded. The Hammett value of the substituent is based on the iodonium group in each aryl skeleton.

本発明におけるジアリールヨードニウム塩のカウンターアニオンは、アニオン構造を有するものであれば制限なく使用することが可能である。カウンターアニオンとしては、カルボン酸アニオン、スルホン酸アニオン、スルホンアミドアニオン、ボレートアニオン、リン酸アニオン、スルフィン酸アニオン、硫酸アニオン、PF 、BF 、SbF 、ハロゲンアニオンなどが例示できる。これらの中で、安定性、感度の観点から、B(C 、PF 、BF 、SbF が好ましい。 The counter anion of the diaryl iodonium salt in the present invention can be used without limitation as long as it has an anion structure. Examples of the counter anion include a carboxylate anion, a sulfonate anion, a sulfonamide anion, a borate anion, a phosphate anion, a sulfinate anion, a sulfate anion, PF 6 , BF 4 , SbF 6 and a halogen anion. Among these, B (C 6 F 5 ) 4 , PF 6 , BF 4 and SbF 6 are preferable from the viewpoints of stability and sensitivity.

また、本発明におけるジアリールヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩構造を有し、そのアリール骨格に特定の条件で置換基が導入されていれば、低分子量化合物でもよく、また、ポリマー型アニオンにその対カチオンとして複数のジアリールヨードニウム塩構造を有するものであってもよい。   In addition, the diaryl iodonium salt in the present invention may be a low molecular weight compound as long as it has a diaryl iodonium salt structure and a substituent is introduced into the aryl skeleton under specific conditions. As described above, it may have a plurality of diaryliodonium salt structures.

以下、本発明におけるジアリールヨードニウム塩の好ましい具体例〔例示化合物(OI−1)〜(OI−39)〕を以下に挙げるが、これらに限定されるものではない。   Hereinafter, preferred specific examples of the diaryliodonium salt in the present invention [Exemplary compounds (OI-1) to (OI-39)] are listed below, but are not limited thereto.

Figure 2008276130
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また、上記(OI−1)〜(OI−39)の化合物におけるカチオンと、下記に示すアニオン((OI−A1)〜(OI−A16))とを組み合わせた化合物も好ましく例示できる。なお、上記と重複する化合物については上記の記載を優先する。   Moreover, the compound which combined the cation in the compound of said (OI-1)-(OI-39) and the anion ((OI-A1)-(OI-A16)) shown below can also be illustrated preferably. Note that the above description is given priority for compounds overlapping with the above.

Figure 2008276130
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電子求引性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するトリアリールスルホニウム塩、あるいは電子供与性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するジアリールヨードニウム塩は、オキセタニル基同士の反応、及び/又は、オキセタニル基とカルボキシル基との反応、及び/又は、酸性染料の酸性基とオキセタニル基と反応、及び/又は、顔料分散樹脂の酸性基及び/又はアルカリ可溶性基とオキセタニル基との反応を加速しうる酸を発生するものであれば使用することができる。本発明において、これらのトリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩は分解し、酸発生剤として機能するだけでなく、ラジカル重合の開始剤としても機能する。   A triarylsulfonium salt having at least one aryl skeleton having an electron withdrawing group as a substituent, or a diaryl iodonium salt having at least one aryl skeleton having an electron donating group as a substituent is a reaction between oxetanyl groups, And / or reaction of oxetanyl group and carboxyl group, and / or reaction of acidic group of acidic dye and oxetanyl group, and / or reaction of acidic group and / or alkali soluble group of pigment dispersion resin and oxetanyl group Any acid can be used as long as it generates an acid capable of accelerating the reaction. In the present invention, these triarylsulfonium salts and diaryliodonium salts decompose and function not only as an acid generator but also as an initiator for radical polymerization.

本発明における(B−1)トリアリールスルホニウム塩及び/又は(B−2)ジアリールヨードニウム塩の硬化性組成物中における含有量としては、組成物の全質量に対して、0.1〜50質量%が好ましく、より好ましくは0.5〜30質量%であり、さらに好ましくは1〜20質量%である。含有量が前記範囲内であると、感度が高く、経時安定性を損なわないので好ましい。
(B−1)トリアリールスルホニウム塩及び(B−2)ジアリールヨードニウム塩は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。また、トリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩は、分解時に酸と共にラジカルを発生することができ、ラジカル重合性の化合物と併用する場合にはラジカル重合開始剤として使用することが可能である。
The content of the (B-1) triarylsulfonium salt and / or (B-2) diaryliodonium salt in the present invention in the curable composition is 0.1 to 50 mass with respect to the total mass of the composition. % Is preferable, More preferably, it is 0.5-30 mass%, More preferably, it is 1-20 mass%. It is preferable for the content to be in the above-mentioned range since sensitivity is high and stability over time is not impaired.
(B-1) Triarylsulfonium salt and (B-2) diaryliodonium salt may be used alone or in combination of two or more. Triarylsulfonium salts and diaryliodonium salts can generate radicals together with acids during decomposition, and can be used as radical polymerization initiators when used in combination with radically polymerizable compounds.

本発明においては、高感度化の点で、(A)オキセタニル基を有する化合物と(B)トリアリールスルホニウム塩及び/又はジアリールヨードニウム塩との組み合わせとしては、(A)(OS−B4)と(B)(OI−16)との組み合わせ、(A)(OS−A4)と(B)(OI−23)との組み合わせ、(A)(OS−B4)と(B)(OI−3)との組み合わせが好ましく、更には、上記組み合わせに更に(F)オキシム系重合開始剤を組み合わせた場合がさらに好ましい。   In the present invention, the combination of (A) a compound having an oxetanyl group and (B) a triarylsulfonium salt and / or a diaryliodonium salt is (A) (OS-B4) and ( B) Combination with (OI-16), (A) (OS-A4) and (B) (OI-23), (A) (OS-B4) and (B) (OI-3) A combination of (F) and an oxime polymerization initiator is further more preferable.

−増感剤−
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、本発明における(B)トリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩の酸、ラジカルの発生効率の向上の目的で、増感剤を含有していてもよい。
-Sensitizer-
The curable composition for a color filter of the present invention may contain a sensitizer for the purpose of improving the generation efficiency of acid and radical of the (B) triarylsulfonium salt and diaryliodonium salt in the present invention.

増感剤としては、以下の化合物類に属し、かつ330nm〜450nm域に吸収波長を有するものが挙げられる。
例えば、多核芳香族類(例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、9,10−ジアルコキシアントラセン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、チオキサントン類(イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン)、シアニン類(例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、フタロシアニン類、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、アントラキノン類(例えば、アントラキノン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、アクリジンオレンジ、クマリン類(例えば、7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン)、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、N−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
Examples of the sensitizer include those belonging to the following compounds and having an absorption wavelength in the range of 330 nm to 450 nm.
For example, polynuclear aromatics (for example, phenanthrene, anthracene, pyrene, perylene, triphenylene, 9,10-dialkoxyanthracene), xanthenes (for example, fluorescein, eosin, erythrosine, rhodamine B, rose bengal), thioxanthones (Isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, chlorothioxanthone), cyanines (eg thiacarbocyanine, oxacarbocyanine), merocyanines (eg merocyanine, carbomerocyanine), phthalocyanines, thiazines (eg thionine, methylene blue, toluidine blue) , Acridines (eg, acridine orange, chloroflavin, acriflavine), anthraquinones (eg, anthraquinone), squariums (eg Squalium), acridine orange, coumarins (eg 7-diethylamino-4-methylcoumarin), ketocoumarin, phenothiazines, phenazines, styrylbenzenes, azo compounds, diphenylmethane, triphenylmethane, distyrylbenzenes, carbazole , Porphyrins, spiro compounds, quinacridone, indigo, styryl, pyrylium compounds, pyromethene compounds, pyrazolotriazole compounds, benzothiazole compounds, barbituric acid derivatives, thiobarbituric acid derivatives, acetophenone, benzophenone, thioxanthone, Michler's ketone and other aromatics Examples include ketone compounds and heterocyclic compounds such as N-aryloxazolidinones.

増感剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
本発明の硬化性組成物中における増感剤の含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で、0.1〜20質量%であることが好ましく、0.5〜15質量%がより好ましい。
A sensitizer may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
The content of the sensitizer in the curable composition of the present invention is preferably 0.1 to 20% by mass in terms of solid content from the viewpoint of light absorption efficiency to the deep part and initiation decomposition efficiency, and is 0. More preferably, the content is 5 to 15% by mass.

−(C)アルカリ可溶性樹脂−
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、アルカリ可溶性樹脂の少なくとも一種を含有する。アルカリ可溶性樹脂としては、(好ましくはカルボキシル基を有する)線状有機ポリマーを用いることが好ましい。
-(C) Alkali-soluble resin-
The curable composition for color filters of the present invention contains at least one alkali-soluble resin. As the alkali-soluble resin, a linear organic polymer (preferably having a carboxyl group) is preferably used.


「線状有機ポリマー」としては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは、水現像あるいは弱アルカリ水現像を可能とするために、水あるいは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、オキセタニル基との架橋反応による硬化機能だけではなく、水、弱アルカリ水あるいは有機溶剤現像剤としての用途に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。
"
As the “linear organic polymer”, a known one can be arbitrarily used. Preferably, a linear organic polymer that is soluble or swellable in water or weak alkaline water is selected to enable water development or weak alkaline water development. The linear organic polymer is selected and used in accordance with not only a curing function by a crosslinking reaction with an oxetanyl group but also a use as a developer of water, weak alkaline water or an organic solvent. For example, when a water-soluble organic polymer is used, water development becomes possible.

このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭54−92723号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号等の公報に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ、酸無水物ユニットを加水分解もしくはハーフエステル化もしくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸および酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4−カルボキシルスチレン等が挙げられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また同様に、側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。
Examples of such linear organic polymers include radical polymers having a carboxylic acid group in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, and JP-B-54-25957. , JP-A-54-92723, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, or the like, that is, a resin obtained by homogenizing or copolymerizing a monomer having a carboxyl group Resins in which monomers having acid anhydrides are singly or copolymerized and the acid anhydride units are hydrolyzed, half-esterified or half-amidated, and epoxy resins in which epoxy resins are modified with unsaturated monocarboxylic acids and acid anhydrides An acrylate etc. are mentioned. Examples of the monomer having a carboxyl group include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, 4-carboxylstyrene, and the monomer having an acid anhydride includes maleic anhydride. It is done.
Similarly, there is an acidic cellulose derivative having a carboxylic acid group in the side chain. In addition, those obtained by adding a cyclic acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group are useful.

共重合してアルカリ可溶性樹脂を共重合体として用いる場合、共重合させる化合物として、上記したモノマー以外の他のモノマーを用いることもできる。他のモノマーの例としては、下記(1)〜(12)の化合物が挙げられる。
(1)2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類。
(2)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルアクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、2−フェニルビニルアクリレート、1−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、2−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
(3)メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルメタクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、ビニルメタクリレート、2−フェニルビニルメタクリレート、1−プロペニルメタクリレート、アリルメタクリレート、2−アリロキシエチルメタクリレート、プロパルギルメタクリレート等のアルキルメタクリレート。
(4)アクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−ヘキシルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−フェニルアクリルアミド、N−ニトロフェニルアクリルアミド、N−エチル−N−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、N,N−ジアリルアクリルアミド、N,N−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
(5)エチルビニルエーテル、2−クロロエチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類。
(6)ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
(7)スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、p−アセトキシスチレン等のスチレン類。
(8)メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
(9)エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
(10)N−ビニルピロリドン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等。
(11)マレイミド、N−アクリロイルアクリルアミド、N−アセチルメタクリルアミド、N−プロピオニルメタクリルアミド、N−(p−クロロベンゾイル)メタクリルアミド等の不飽和イミド。
(12)α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー。例えば、特願2001−115595、特願2001−115598等に記載の化合物を挙げることができる。
When copolymerizing and using an alkali-soluble resin as a copolymer, monomers other than the above-described monomers can also be used as a compound to be copolymerized. Examples of other monomers include the following compounds (1) to (12).
(1) 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate Acrylic esters having an aliphatic hydroxyl group such as methacrylic esters.
(2) Methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, butyl acrylate, isobutyl acrylate, amyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, octyl acrylate, benzyl acrylate, acrylic acid-2- Alkyl acrylates such as chloroethyl, glycidyl acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate, vinyl acrylate, 2-phenylvinyl acrylate, 1-propenyl acrylate, allyl acrylate, 2-allyloxyethyl acrylate, propargyl acrylate;
(3) Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, amyl methacrylate, hexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, methacrylic acid-2- Alkyl methacrylates such as chloroethyl, glycidyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate, vinyl methacrylate, 2-phenylvinyl methacrylate, 1-propenyl methacrylate, allyl methacrylate, 2-allyloxyethyl methacrylate, and propargyl methacrylate.
(4) Acrylamide, methacrylamide, N-methylolacrylamide, N-ethylacrylamide, N-hexylmethacrylamide, N-cyclohexylacrylamide, N-hydroxyethylacrylamide, N-phenylacrylamide, N-nitrophenylacrylamide, N-ethyl- Acrylamide or methacrylamide such as N-phenylacrylamide, vinylacrylamide, vinylmethacrylamide, N, N-diallylacrylamide, N, N-diallylmethacrylamide, allylacrylamide, allylmethacrylamide.
(5) Vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, 2-chloroethyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, butyl vinyl ether, octyl vinyl ether, and phenyl vinyl ether.
(6) Vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl chloroacetate, vinyl butyrate and vinyl benzoate.
(7) Styrenes such as styrene, α-methylstyrene, methylstyrene, chloromethylstyrene, and p-acetoxystyrene.
(8) Vinyl ketones such as methyl vinyl ketone, ethyl vinyl ketone, propyl vinyl ketone, and phenyl vinyl ketone.
(9) Olefins such as ethylene, propylene, isobutylene, butadiene, and isoprene.
(10) N-vinylpyrrolidone, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like.
(11) Unsaturated imides such as maleimide, N-acryloylacrylamide, N-acetylmethacrylamide, N-propionylmethacrylamide, N- (p-chlorobenzoyl) methacrylamide.
(12) A methacrylic acid monomer having a hetero atom bonded to the α-position. Examples thereof include compounds described in Japanese Patent Application Nos. 2001-115595 and 2001-115598.

これらの中で、側鎖にアリル基やビニルエステル基とカルボキシル基を有する(メタ)アクリル樹脂、及び特開2000−187322号公報、特開2002−62698号公報に記載の、側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂や、特開2001−242612号公報に記載の、側鎖にアミド基を有するアルカリ可溶性樹脂が、膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。
また、特公平7−12004号、特公平7−120041号、特公平7−120042号、特公平8−12424号、特開昭63−287944号、特開昭63−287947号、特開平1−271741号、特願平10−116232号の各公報に記載の酸基を含有するウレタン系バインダーポリマーや、特開2002−107918号公報に記載の酸基と二重結合とを側鎖に有するウレタン系バインダーポリマーは、非常に強度に優れるので、耐刷性・低露光適性の点で有利である。
また、EP993966号明細書、EP1204000号明細書、特開2001−318463号公報等に記載の、酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
さらに、水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また、硬化皮膜の強度を上げるために、アルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。
Among these, (meth) acrylic resins having an allyl group, a vinyl ester group, and a carboxyl group in the side chain, and double in the side chain described in JP-A Nos. 2000-187322 and 2002-62698 are disclosed. An alkali-soluble resin having a bond and an alkali-soluble resin having an amide group in the side chain described in JP-A No. 2001-242612 are preferable because of excellent balance of film strength, sensitivity, and developability.
In addition, Japanese Patent Publication No. 7-2004, Japanese Patent Publication No. 7-120041, Japanese Patent Publication No. 7-120042, Japanese Patent Publication No. 8-12424, Japanese Patent Laid-Open No. 63-287944, Japanese Patent Laid-Open No. 63-287947, Japanese Patent Laid-Open No. No. 271741 and Japanese Patent Application No. 10-116232, a urethane-based binder polymer containing an acid group, and a urethane having an acid group and a double bond in the side chain described in JP-A No. 2002-107918. Since the binder polymer is very excellent in strength, it is advantageous in terms of printing durability and suitability for low exposure.
In addition, the acetal-modified polyvinyl alcohol-based binder polymer having an acid group described in EP999666, EP1204000, JP-A-2001-318463, etc. is excellent in balance between film strength and developability, and is suitable. It is.
Furthermore, polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide and the like are useful as the water-soluble linear organic polymer. In order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, polyether of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) propane and epichlorohydrin are also useful.

アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量については、カラーレジストを塗布等の工程上使用しやすい粘度範囲を実現するため、また膜強度を確保するために、好ましくは5、000以上であり、さらに好ましくは1万〜30万の範囲であり、数平均分子量については、好ましくは1、000以上であり、さらに好ましくは2、000〜25万の範囲である。
多分散度(重量平均分子量/数平均分子量)は1以上が好ましく、さらに好ましくは1.1〜10の範囲である。
The weight-average molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably 5,000 or more, more preferably 1 in order to realize a viscosity range that is easy to use in the process such as coating a color resist, and to secure film strength. The number average molecular weight is preferably 1,000 or more, and more preferably 2,000 to 250,000.
The polydispersity (weight average molecular weight / number average molecular weight) is preferably 1 or more, and more preferably 1.1 to 10.

本発明で使用されるアルカリ可溶性樹脂としては、(A)オキセタニル基を有する化合物のオキセタニル基との反応性の観点から、酸価の大きなポリマーが望ましい。一方で、あまりに酸価が大きすぎると、アルカリに対する溶解性が大きくなりすぎて現像適正範囲(現像ラチチュード)が狭くなる。よって、好ましいポリマー酸価としては、20〜300(mgKOH/gポリマー)の範囲好ましく、より好ましくは30〜150(mgKOH/gポリマー)の範囲であり、さらに好ましくは35〜120(mgKOH/gポリマー)の範囲である。   The alkali-soluble resin used in the present invention is preferably a polymer having a large acid value from the viewpoint of reactivity with the oxetanyl group of the compound (A) having an oxetanyl group. On the other hand, if the acid value is too large, the solubility in alkali becomes too large and the appropriate development range (development latitude) becomes narrow. Accordingly, the preferred polymer acid value is preferably in the range of 20 to 300 (mg KOH / g polymer), more preferably in the range of 30 to 150 (mg KOH / g polymer), and even more preferably 35 to 120 (mg KOH / g polymer). ).

アルカリ可溶性樹脂は、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。
アルカリ可溶性樹脂は、従来公知の方法により合成できる。合成する際に使用可能な溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、ジメチルスルホキシド、水等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で又は2種以上混合して用いられる。
アルカリ可溶性樹脂を合成する際に使用可能なラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が使用できる。
The alkali-soluble resin may be a random polymer, a block polymer, a graft polymer, or the like.
The alkali-soluble resin can be synthesized by a conventionally known method. Solvents that can be used in the synthesis include, for example, tetrahydrofuran, ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, methanol, ethanol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, 1- Examples include methoxy-2-propanol, 1-methoxy-2-propyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, toluene, ethyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, dimethyl sulfoxide, water and the like. These solvents are used alone or in combination of two or more.
As the radical polymerization initiator that can be used when synthesizing the alkali-soluble resin, known compounds such as azo initiators and peroxide initiators can be used.

−(D)着色剤−
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、着色剤の少なくとも一種を含有する。着色剤を用いることで、硬化性組成物からなる有色の硬化体を形成することができ、画像形成材料やカラーフィルタの着色パターン形成に適用することができる。
-(D) Colorant-
The curable composition for a color filter of the present invention contains at least one colorant. By using a colorant, a colored cured body made of a curable composition can be formed and applied to the formation of a colored pattern of an image forming material or a color filter.

本発明の硬化性組成物に所望により添加される着色剤には、特に制限はなく、従来公知の種々の染料や顔料を1種単独で又は2種以上混合して用いることができる。着色剤としては、耐熱性、耐光性等の耐久性の観点から、顔料であることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular in the coloring agent added by necessity to the curable composition of this invention, A conventionally well-known various dye and pigment can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types. The colorant is preferably a pigment from the viewpoint of durability such as heat resistance and light resistance.

顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができる。また、無機顔料及び有機顔料のいずれにおいても、高透過率が得られることが好ましいことを考慮すると、なるべく細かいものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると顔料の平均粒子径が0.01〜0.1μmであることが好ましく、0.01〜0.05μmであることがより好ましい。   Various conventionally known inorganic pigments or organic pigments can be used as the pigment. Further, considering that it is preferable to obtain a high transmittance in both inorganic pigments and organic pigments, it is preferable to use a finer one as much as possible, and considering the handling properties, the average particle diameter of the pigment is 0.01 to 0. .1 μm is preferable, and 0.01 to 0.05 μm is more preferable.

前記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等の金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物を挙げることができる。   Examples of the inorganic pigment include metal compounds such as metal oxides and metal complex salts. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony, and the like. A metal oxide and the complex oxide of the said metal can be mentioned.

前記有機顔料としては、例えば、
C.I.ヒ゜ク゛メント イエロー 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;
C.I.ヒ゜ク゛メント オレンシ゛ 36, 38, 43, 71;
C.I.ヒ゜ク゛メント レット゛ 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I.ヒ゜ク゛メント ハ゛イオレット 19, 23, 32, 39;
C.I.ヒ゜ク゛メント フ゛ルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;
C.I.ヒ゜ク゛メント ク゛リーン 7, 36, 37;
C.I.ヒ゜ク゛メント フ゛ラウン 25, 28;
C.I.ヒ゜ク゛メント フ゛ラック 1, 7;
カーホ゛ンフ゛ラック、等を挙げることができる。
Examples of the organic pigment include:
CI pigment yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199,;
CI pigment orange 36, 38, 43, 71;
CI pigment letter 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
CI pigment violet 19, 23, 32, 39;
CI pigment blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
CI Pigment Green 7, 36, 37;
CI pigment brown 25, 28;
CI pigment black 1, 7;
And carbon black.

本願発明において好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し、本発明はこれらに限定されるものではない。
C.I.ヒ゜ク゛メント イエロー 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C.I.ヒ゜ク゛メント オレンシ゛ 36, 71,
C.I.ヒ゜ク゛メント レット゛ 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C.I.ヒ゜ク゛メント ハ゛イオレット 19, 23, 32,
C.I.ヒ゜ク゛メント フ゛ルー 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66,
C.I.ヒ゜ク゛メント フ゛ラック 1
Examples of pigments that can be preferably used in the present invention include the following. However, the present invention is not limited to these.
CI pigment yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
CI pigment orange 36, 71,
CI pigment leads 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
CI pigment violet 19, 23, 32,
CI pigment blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66,
CI pigment black 1

これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。組合せの具体例を以下に示す。
例えば、赤色用の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独またはそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料またはペリレン系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメントイエロー139との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:50が好ましい。100:5以上であると、400nm〜500nmの光透過率を抑えることができ、色純度を上げることができ、100:50以下であるとNTSC目標色相からのズレが抑えられる。特に前記質量比としては、100:10〜100:30の範囲が好ましい。なお、赤色顔料同士の組み合わせは、色度に合わせて調整することができる。
These organic pigments can be used alone or in various combinations in order to increase color purity. Specific examples of combinations are shown below.
For example, as red pigments, anthraquinone pigments, perylene pigments, diketopyrrolopyrrole pigments alone or at least one of them, disazo yellow pigments, isoindoline yellow pigments, quinophthalone yellow pigments or perylene red pigments And the like can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment Red 177, and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224, and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment red 254, and C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 139 is preferred. The mass ratio of the red pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 50. When it is 100: 5 or more, the light transmittance of 400 nm to 500 nm can be suppressed, and the color purity can be increased. When it is 100: 50 or less, deviation from the NTSC target hue is suppressed. In particular, the mass ratio is preferably in the range of 100: 10 to 100: 30. In addition, the combination of red pigments can be adjusted according to chromaticity.

緑色用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又はこれとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、C.I.ピグメントグリーン7、36、37とC.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180又はC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。緑色顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:150が好ましい。前記質量比は、100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。   As the green pigment, a halogenated phthalocyanine pigment alone or a mixture thereof with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment or an isoindoline yellow pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37 and C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred. The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 150. The mass ratio is particularly preferably in the range of 100: 30 to 100: 120.

青色用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、又はこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、C.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:30が好ましく、より好ましくは100:10以下である。   As the blue pigment, a phthalocyanine pigment alone or a mixture of this with a dioxazine purple pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred. The mass ratio of the blue pigment to the violet pigment is preferably 100: 0 to 100: 30, more preferably 100: 10 or less.

また、ブラックマトリックス用の顔料としては、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン単独または混合が用いられ、カーボンとチタンカーボンとの組合せが好ましい。また、カーボンとチタンカーボンとの質量比は、100:0〜100:60の範囲が好ましい。   Further, as the pigment for the black matrix, carbon, titanium carbon, iron oxide, titanium oxide alone or a mixture thereof is used, and a combination of carbon and titanium carbon is preferable. The mass ratio of carbon to titanium carbon is preferably in the range of 100: 0 to 100: 60.

本発明の組成物をカラーフィルタ用として用いる場合には、色むらやコントラストの観点から、顔料の一次粒子径は10〜100nmが好ましく、10〜70nmがより好ましく、10〜50nmが更に好ましく、10〜40nmが最も好ましい。   When the composition of the present invention is used for a color filter, the primary particle diameter of the pigment is preferably 10 to 100 nm, more preferably 10 to 70 nm, still more preferably 10 to 50 nm, from the viewpoint of color unevenness and contrast. Most preferred is ˜40 nm.

また、色ムラやコントラストの観点では、組成物中に均一に溶解する染料を用いることが好ましい。着色剤として使用できる染料は、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に記載の色素が使用できる。   From the viewpoint of color unevenness and contrast, it is preferable to use a dye that dissolves uniformly in the composition. The dye that can be used as the colorant is not particularly limited, and conventionally known dyes for color filters can be used. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-90403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-91102, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-94301, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-11614, No. 2592207, US Pat. No. 4,808,501. Specification, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 JP-A-6-194828, JP-A-8-21599, JP-A-4-249549, JP-A-10-123316, JP-A-11-302283, JP-A-7-286107, JP 2001-4823, JP-A-8-15522, JP-A-8-29771, JP-A-8-146215, JP-A-11-3434. 7, JP-A-8-62416, JP-A-2002-14220, JP-A-2002-14221, JP-A-2002-14222, JP-A-2002-14223, JP-A-8-302224 The dyes described in JP-A-8-73758, JP-A-8-179120, JP-A-8-151531, and the like can be used.

化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。   The chemical structure includes pyrazole azo, anilino azo, triphenyl methane, anthraquinone, anthrapyridone, benzylidene, oxonol, pyrazolotriazole azo, pyridone azo, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, Xanthene-based, phthalocyanine-based, benzopyran-based and indigo-based dyes can be used.

染料を含有する硬化性組成物に構成した場合、露光された際に酸が発生し、その酸によってオキセタニル基と染料に含まれる酸性官能基が架橋することによって、より効率的に膜を硬化することができると共に、優れた現像性及び良好なパターン形状を有するパターンを形成することができるので、酸性染料及び/又はその誘導体を好適に用いることができる。また、水又はアルカリで現像を行なうレジスト系の場合、現像により未照射部の樹脂成分及び/又は染料を完全に除去するという観点からも、酸性染料及び/又はその誘導体が好適に使用できる。
染料としては、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び/又は、これらの誘導体等も有用である。
When configured to be a curable composition containing a dye, an acid is generated upon exposure, and the oxetanyl group and the acidic functional group contained in the dye are cross-linked by the acid, thereby curing the film more efficiently. In addition, since a pattern having excellent developability and a good pattern shape can be formed, an acid dye and / or a derivative thereof can be preferably used. In the case of a resist system developed with water or alkali, an acidic dye and / or a derivative thereof can be preferably used from the viewpoint of completely removing the resin component and / or dye in the unirradiated part by development.
As the dye, direct dyes, basic dyes, mordant dyes, acid mordant dyes, azoic dyes, disperse dyes, oil-soluble dyes, food dyes, and / or derivatives thereof are also useful.

酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有するものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。   The acidic dye is not particularly limited as long as it has an acidic group such as sulfonic acid or carboxylic acid, but is soluble in an organic solvent or a developer, salt-forming with a basic compound, absorbance, and other components in the composition. It is selected in consideration of all required performance such as interaction with components, light resistance, heat resistance and the like.

以下、酸性染料の具体例を挙げる。但し、本発明はこれらに限定されるものではない。 例えば、acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95107,108,169,173;
Specific examples of acid dyes are given below. However, the present invention is not limited to these. For example, acid alizarin violet N;
acid black 1, 2, 24, 48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 150, 158, 171, 182, 192, 210, 242, 243, 256, 259, 267, 278, 280, 285, 290, 296, 315, 324: 1, 335, 340;
acid chroma violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95107, 108, 169, 173;

acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,182,183,198,206,211,215,216,217,227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349,382,383,394,401,412,417,418,422,426;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349, 382, 383, 394, 401, 412, 417, 418, 422, 426;
acid violet 6B, 7, 9, 17, 19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169, 172, 177, 178, 179, 184 190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;

Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129,136,138,141;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129, 136, 138, 141;
Direct Orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107;
Direct Red 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250;
Direct Violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104;

Direct Blue 57,77,80,81,84,85,86,90,93,94,95,97,98,99,100,101,106,107,108,109,113,114,115,117,119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,163,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252,256,257,259,260,268,274,275,293;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Direct Blue 57, 77, 80, 81, 84, 85, 86, 90, 93, 94, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 106, 107, 108, 109, 113, 114, 115, 117, 119, 137, 149, 150, 153, 155, 156, 158, 159, 160, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 170, 171, 172, 173, 188, 189, 190, 192, 193 194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252, 256, 257, 259, 260, 268, 274, 275, 293;
Direct Green 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, 82;

Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
、及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
Modern Yellow 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 50, 61, 62, 65;
Modern Orange 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47, 48;
Modern Red 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41, 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95;
Modern Violet 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53, 58;
Modern Blue 2, 3, 7, 8, 9, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 26, 30, 31, 32, 39, 40, 41, 43, 44, 48, 49, 53, 61, 74, 77, 83, 84;
Modern Green 1, 3, 4, 5, 10, 15, 19, 26, 29, 33, 34, 35, 41, 43, 53;
Food Yellow 3;
And derivatives of these dyes.

上記の酸性染料の中でも、
acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
acid green 25;
などの染料及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
Among the above acid dyes,
acid black 24;
acid blue 23, 25, 29, 62, 80, 86, 87, 92, 138, 158, 182, 243, 324: 1;
acid orange 8, 51, 56, 74, 63;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17, 25, 29, 34, 42, 72, 76, 99, 111, 112, 114, 116, 134, 155, 169, 172, 184, 220, 228, 230, 232, 243;
acid green 25;
Dyes such as these and derivatives of these dyes are preferred.

酸性染料の誘導体としては、スルホ基あるいはカルボキシ基を有する酸性染料の無機塩、含窒素化合物との塩及び/又はアミド化合物が使用でき、本発明の組成物中に溶解させることができるものであれば特に限定されない。酸性染料の誘導体は、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、本発明の組成物中における他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。   As the acid dye derivative, an inorganic salt of an acid dye having a sulfo group or a carboxy group, a salt with a nitrogen-containing compound, and / or an amide compound can be used, and the acid dye derivative can be dissolved in the composition of the present invention. If it does not specifically limit. Derivatives of acid dyes are selected in consideration of all the required performance such as solubility in organic solvents and developer, absorbance, interaction with other components in the composition of the present invention, light resistance, heat resistance, etc. Is done.

その他の酸性染料及びその誘導体としては、特開2006−126649号、特開2006−126651号、特開2006−133508号、特開2006−330717号、特開2006−330718号の各公報に記載の酸性染料及び酸性染料の誘導体を好適に用いることができる。   Other acid dyes and derivatives thereof are described in JP-A Nos. 2006-126649, 2006-126651, 2006-133508, JP-A 2006-330717, and JP-A-2006-330718. Acid dyes and acid dye derivatives can be preferably used.

着色剤の硬化性組成物中における含有量としては、組成物の全固形分に対して、5〜80質量%が好ましく、10〜70質量%がより好ましく、20〜70質量%が更に好ましい。
特に、本発明の硬化性組成物をカラーフィルタの着色パターン形成に使用する場合には、着色剤の含有量は前記含有量の範囲のうち、40質量%以上であることが好ましく、さらに好ましくは、50質量%以上である。着色剤が少なすぎると、本発明の硬化性組成物を用いてカラーフィルタを作製した際に、適度な色度が得られなくなる傾向がある。一方、多すぎると光硬化が充分に進まず膜としての強度が低下したり、アルカリ現像の際の現像ラチチュードが狭くなる傾向がある。
As content in the curable composition of a coloring agent, 5-80 mass% is preferable with respect to the total solid of a composition, 10-70 mass% is more preferable, 20-70 mass% is still more preferable.
In particular, when the curable composition of the present invention is used for forming a colored pattern of a color filter, the content of the colorant is preferably 40% by mass or more, more preferably within the range of the content. , 50% by mass or more. If the amount of the colorant is too small, there is a tendency that an appropriate chromaticity cannot be obtained when a color filter is produced using the curable composition of the present invention. On the other hand, if the amount is too large, the photocuring does not proceed sufficiently and the strength as a film tends to decrease, or the development latitude during alkali development tends to be narrow.

−(E)ラジカル重合性化合物−
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物では、(E)ラジカル重合性化合物を用いて構成することが好ましい。
本発明においては、酸発生機能だけでなくラジカル発生機能を有するオニウム塩型の開始剤である(B)トリアリールスルホニウム塩及び/又はジアリールヨードニウム塩を用いるため、更に(E)ラジカル重合性化合物を組み合わせて用いることが可能である。これより、膜硬化させた際の膜強度をより向上させることができる。
-(E) Radical polymerizable compound-
In the curable composition for color filters of this invention, it is preferable to comprise using (E) radically polymerizable compound.
In the present invention, since (B) triarylsulfonium salt and / or diaryliodonium salt which is an onium salt type initiator having not only an acid generating function but also a radical generating function is used, (E) a radical polymerizable compound is further used. It can be used in combination. Thus, the film strength when the film is cured can be further improved.

(E)ラジカル重合性化合物としては、カラーフィルタ関連産業分野においてエチレン性不飽和二重結合を有する化合物として広く知られる化合物を、特に制限なく用いることができる。例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物、並びにそれらの共重合体などの化学的形態を有する化合物が挙げられる。   (E) As the radically polymerizable compound, a compound widely known as a compound having an ethylenically unsaturated double bond in the color filter-related industrial field can be used without particular limitation. For example, the compound which has chemical forms, such as a monomer, a prepolymer, ie, a dimer, a trimer, an oligomer, or mixtures thereof, and those copolymers is mentioned.

モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)やそのエステル類、アミド類が挙げられる。好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいはアミド類と、単官能もしくは多官能イソシアネート類あるいはエポキシ類との付加反応物、及び単官能もしくは多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステルあるいはアミド類と単官能もしくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。   Examples of monomers and copolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), esters thereof, and amides. Preferably, an ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound, or an amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound is used. In addition, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxyl group, amino group or mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and a monofunctional or polyfunctional compound. A dehydration condensation reaction product with a functional carboxylic acid is also preferably used. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having an electrophilic substituent such as an epoxy group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol, a halogen group or In addition, a substitution reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a leaving substituent such as a tosyloxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol is also suitable. As another example, it is also possible to use a group of compounds substituted with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like instead of the unsaturated carboxylic acid.

脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、等がある。また、これらの化合物のEO変性体、または、PO変性体も挙げられる。   Specific examples of the monomer of an ester of an aliphatic polyhydric alcohol compound and an unsaturated carboxylic acid include acrylic acid esters such as ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, and tetramethylene glycol. Diacrylate, propylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate , Tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate , Pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester acrylate oligomer, etc. . Moreover, the EO modified body of these compounds, or PO modified body is also mentioned.

メタクリル酸エステルとして、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔p−(メタクリルオキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタン等、およびこれらのEO変性体、PO変性体が挙げられる。   Methacrylic acid esters include tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, hexane Diol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy-2 -Hydroxypropo ) Phenyl] dimethyl methane, bis - [p- (methacryloxyethoxy) phenyl] dimethyl methane, and their EO-modified product, PO-modified products thereof.

イタコン酸エステルとして、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。   As itaconic acid ester, ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate, There is sorbitol tetritaconate. Examples of crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, and sorbitol tetradicrotonate. Examples of isocrotonic acid esters include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, and sorbitol tetraisocrotonate. Examples of maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.

その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334、特開昭57−196231記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240、特開昭59−5241、特開平2−226149記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。   Examples of other esters include aliphatic alcohol esters described in JP-B-51-47334 and JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, JP-A-59-5241, and JP-A-2-226149. Those having the aromatic skeleton described above and those having an amino group described in JP-A-1-165613 are also preferably used. Furthermore, the ester monomers described above can also be used as a mixture.

また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。   Specific examples of amide monomers of aliphatic polyvalent amine compounds and unsaturated carboxylic acids include methylene bis-acrylamide, methylene bis-methacrylamide, 1,6-hexamethylene bis-acrylamide, 1,6-hexamethylene bis. -Methacrylamide, diethylenetriamine trisacrylamide, xylylene bisacrylamide, xylylene bismethacrylamide and the like. Examples of other preferable amide monomers include those having a cyclohexylene structure described in JP-B-54-21726.

また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報中に記載の、1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に下記一般式(E)で表される水酸基を有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。   Further, urethane-based addition polymerizable compounds produced by using an addition reaction of isocyanate and hydroxyl group are also suitable. Specific examples thereof include, for example, one molecule described in JP-B-48-41708. A vinyl urethane compound containing two or more polymerizable vinyl groups in one molecule obtained by adding a vinyl monomer having a hydroxyl group represented by the following general formula (E) to a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups Is mentioned.

CH=C(R)COOCHCH(R)OH ・・・(E)
(但し、R及びRは、各々独立に、水素原子又はメチル基を示す。)
CH 2 = C (R 4 ) COOCH 2 CH (R 5 ) OH (E)
(However, R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group.)

また、特開昭51−37193号、特公平2−32293号、特公平2−16765号の各公報に記載のウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号、特公昭56−17654号、特公昭62−39417号、特公昭62−39418号の各公報に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号、特開昭63−260909号、特開平1−105238号の各公報に記載の、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた硬化性組成物を得ることができる。   Further, urethane acrylates described in JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, and JP-B-2-16765, JP-B 58-49860, JP-B 56-17654, JP-B Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP-B-62-39417 and JP-B-62-39418 are also suitable. Further, by using addition polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238. Can obtain a curable composition having a very high photosensitive speed.

その他の例としては、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号の各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号、特公平1−40337号、特公平1−40336号の各公報に記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号公報に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、場合により、特開昭61−22048号公報に記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に、日本接着協会誌vol.20、No.7(300〜308頁、1984年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。   Other examples include polyester acrylates, epoxy resins and (meth) acrylic acid as described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, JP-B-52-30490. Mention may be made of polyfunctional acrylates and methacrylates such as reacted epoxy acrylates. Further, specific unsaturated compounds described in JP-B-46-43946, JP-B-1-40337 and JP-B-1-40336, and vinylphosphonic acid compounds described in JP-A-2-25493 Etc. can also be mentioned. In some cases, a structure containing a perfluoroalkyl group described in JP-A-61-22048 is preferably used. Furthermore, the Japan Adhesion Association magazine vol. 20, no. 7 (300-308, 1984), those introduced as photocurable monomers and oligomers can also be used.

本発明において、(E)ラジカル重合性化合物を添加する場合、硬化感度の観点から、2個以上のエチレン性不飽和結合を含有することが好ましく、3個以上の含有することが更に好ましい。中でも(メタ)アクリル酸エステル構造を2個以上含有することが好ましく、3個以上含有することがより好ましく、4個以上含有することが最も好ましい。更に、硬化感度、及び未露光部の現像性の観点では、EO変性体を含有することが好ましい。また、硬化感度、及び露光部強度の観点では、ウレタン結合を含有することが好ましい。   In the present invention, when (E) a radical polymerizable compound is added, it preferably contains two or more ethylenically unsaturated bonds, and more preferably contains three or more, from the viewpoint of curing sensitivity. Especially, it is preferable to contain 2 or more (meth) acrylic acid ester structures, it is more preferable to contain 3 or more, and it is most preferable to contain 4 or more. Furthermore, it is preferable to contain an EO modified body from the viewpoint of curing sensitivity and developability of the unexposed area. Moreover, it is preferable to contain a urethane bond from a viewpoint of hardening sensitivity and exposure part intensity | strength.

以上の観点より、ビスフェノールAジアクリレート、ビスフェノールAジアクリレートEO変性体、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが好ましいものとして挙げられ、また、市販品として、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社化学社製)が好ましい。   From the above viewpoints, bisphenol A diacrylate, modified bisphenol A diacrylate EO, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate Acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxy D (I) Isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified product, dipentaerythritol hexaacrylate EO modified product and the like are preferable, and as a commercial product, urethane oligomer UAS-10, UAB-140 (manufactured by Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.) ), DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, and AI-600 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) are preferred.

中でも、ビスフェノールAジアクリレートEO変性体、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが、市販品としては、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社化学社製)がより好ましい。   Among them, bisphenol A diacrylate EO modified, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified, di Examples of commercially available modified products such as pentaerythritol hexaacrylate EO include DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600 ( Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) is more preferable.

(E)ラジカル重合性化合物は、酸素に対する重合阻害の大小、解像度、カブリ性、屈折率変化、表面粘着性等の観点から、適切な構造、配合、添加量を任意に選択できる。   (E) The radically polymerizable compound can be arbitrarily selected from an appropriate structure, blending, and addition amount from the viewpoints of polymerization inhibition with respect to oxygen, resolution, fogging, refractive index change, surface tackiness, and the like.

−ラジカル重合開始剤−
本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、ラジカル重合開始剤を含有してもよい。ラジカル重合開始剤は、光により分解し、少なくとも前記(A)オキセタニル基を有する化合物の重合を開始、促進する化合物であり、波長300〜500nmの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、ラジカル重合開始剤は、1種単独で又は2種以上を混合して用いることができる。
-Radical polymerization initiator-
The curable composition for a color filter of the present invention may contain a radical polymerization initiator. The radical polymerization initiator is a compound that is decomposed by light and starts and accelerates the polymerization of the compound having at least the (A) oxetanyl group, and preferably has absorption in a wavelength region of 300 to 500 nm. Moreover, a radical polymerization initiator can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types.

ラジカル重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸塩化合物、ジスルホン化合物、オキシム系化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物が挙げられる。   Examples of the radical polymerization initiator include organic halogenated compounds, oxydiazole compounds, carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peracid compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, hexaaryes. Examples thereof include a rubiimidazole compound, an organic borate compound, a disulfone compound, an oxime compound, and an acylphosphine (oxide) compound.

本発明においては、高感度化及び良好なパターン形状を形成する点で、オキシム系の重合開始剤が好ましい。
オキシム系化合物としては、J. C. S. Perkin II (1979) 1653-1660, J. C. S. Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232、特開2000−66385号公報に記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報に記載の化合物等が挙げられる。
オキシム系の光重合開始剤としては、高い保存安定性及び高感度の点で、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンが最も好ましい。このようなオキシム系光重合性開始剤の市販品としては、CGI−124、CGI−242(以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)が挙げられる。
In the present invention, an oxime polymerization initiator is preferred in terms of increasing sensitivity and forming a good pattern shape.
Examples of the oxime compounds include compounds described in JCS Perkin II (1979) 1653-1660, JCS Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232, JP 2000-66385 A. And compounds described in JP-A No. 2000-80068 and JP-T No. 2004-534797.
As the oxime-based photopolymerization initiator, in terms of high storage stability and high sensitivity, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione, 1- (O-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone is most preferred. Examples of such commercially available oxime photopolymerization initiators include CGI-124 and CGI-242 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、感度が高く低露光量で良好に硬化し、かつ保存安定性も良好である。また、基板などの硬質材料の表面に付与(例えば塗布)したときには、基板等との間で高い密着性を示し、精細で形状の良好なパターンを形成することができる。したがって、本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物は、3次元光造形、ホログラフィー、カラーフィルタなどの画像形成材料や、インク、塗料、接着剤、コーティング剤等の分野において好ましく使用することができる。   The curable composition for a color filter of the present invention has high sensitivity, is cured well at a low exposure amount, and has good storage stability. Moreover, when it is applied (for example, applied) to the surface of a hard material such as a substrate, it exhibits high adhesion with the substrate or the like, and a fine and well-shaped pattern can be formed. Therefore, the curable composition for a color filter of the present invention can be preferably used in the fields of image forming materials such as three-dimensional stereolithography, holography, and color filters, and inks, paints, adhesives, and coating agents.

<カラーフィルタ及びその製造方法>
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、(好ましくは支持体上に)既述の本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物を用いて形成された着色パターンを設けて構成されたものである。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法(本発明のカラーフィルタの製造方法)を通じて詳述する。
<Color filter and manufacturing method thereof>
Next, the color filter of the present invention and the manufacturing method thereof will be described.
The color filter of the present invention is configured by providing a color pattern formed using the curable composition for a color filter of the present invention described above (preferably on a support).
Hereinafter, the color filter of the present invention will be described in detail through its manufacturing method (color filter manufacturing method of the present invention).

本発明のカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタ用硬化性組成物を支持体上に塗布して硬化性層を形成する工程(以下、「硬化性層形成工程」ということがある。)と、塗布形成された硬化性層をマスクを通して露光する工程(以下、「露光工程」ということがある。)と、露光後の硬化性層を現像してパターンを形成する工程(以下、「現像工程」ということがある。)とを設けて構成され、必要に応じて、形成されたパターンを加熱及び/又は露光により硬化する硬化工程や高温で加熱処理するポストベーク工程等の他の工程を更に設けて構成することができる。   The method for producing a color filter of the present invention includes a step of applying a curable composition for a color filter on a support to form a curable layer (hereinafter sometimes referred to as “curable layer forming step”), and A step of exposing the coated curable layer through a mask (hereinafter, also referred to as “exposure step”), and a step of developing the curable layer after exposure to form a pattern (hereinafter, “development step”) If necessary, other processes such as a curing process for curing the formed pattern by heating and / or exposure and a post-baking process for heat treatment at a high temperature are further provided. Can be configured.

以下、本発明の製造方法における各工程について説明する。
(硬化性層形成工程)
硬化性層形成工程では、支持体上に、本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物を塗布して硬化性層を形成する。
Hereafter, each process in the manufacturing method of this invention is demonstrated.
(Curable layer forming step)
In the curable layer forming step, the curable composition for a color filter of the present invention is applied on a support to form a curable layer.

支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
支持体上には、必要により、形成される層と間の密着改良、物質の拡散防止、あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
As the support, for example, soda glass used for liquid crystal display elements, Pyrex (registered trademark) glass, quartz glass, and those obtained by attaching a transparent conductive film to these, photoelectric conversion element substrates used for imaging elements, For example, a silicon substrate, a complementary metal oxide semiconductor (CMOS), or the like can be given. These substrates may have black stripes that separate pixels.
If necessary, an undercoat layer may be provided on the support for improving adhesion between the formed layers, preventing diffusion of substances, or flattening the substrate surface.

塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。   As the coating method, various coating methods such as slit coating, ink jet method, spin coating, cast coating, roll coating, and screen printing can be applied.

カラーフィルタ用硬化性組成物の塗布厚としては、0.1〜10μmが好ましく、0.2〜5μmがより好ましく、0.2〜3μmがさらに好ましい。   The coating thickness of the color filter curable composition is preferably 0.1 to 10 μm, more preferably 0.2 to 5 μm, and still more preferably 0.2 to 3 μm.

支持体上に塗布された硬化性組成物は、通常70〜110℃で2〜4分程度の条件下で乾燥され、硬化性層が形成される。   The curable composition applied on the support is usually dried at 70 to 110 ° C. for about 2 to 4 minutes to form a curable layer.

(露光工程)
露光工程では、前記硬化性層形成工程で形成された硬化性層を、マスクを介してパターン様に露光する。
露光は、所定のマスクパターンを介して光照射Wし、光照射された部分だけを硬化させる。後述の現像処理により硬化した部分がパターン状に残って(好ましくは3色もしくは4色以上の)着色画素からなる着色膜が得られる。
(Exposure process)
In the exposure step, the curable layer formed in the curable layer forming step is exposed in a pattern manner through a mask.
In the exposure, light irradiation W is performed through a predetermined mask pattern, and only the irradiated portion is cured. A colored film composed of colored pixels (preferably having three colors or four colors or more) remains in a pattern shape after being cured by development processing described later.

露光に用いられる放射線としては、g線、i線等の紫外線が好ましく、高圧水銀灯がより好ましい。照射強度は、5mJ〜1500mJが好ましく、10mJ〜1000mJがより好ましく、10mJ〜800mJが最も好ましい。   As radiation used for exposure, ultraviolet rays such as g-line and i-line are preferable, and a high-pressure mercury lamp is more preferable. The irradiation intensity is preferably 5 mJ to 1500 mJ, more preferably 10 mJ to 1000 mJ, and most preferably 10 mJ to 800 mJ.

(現像工程)
現像工程では、露光後の硬化性層を現像処理することにより、未露光部(未硬化部)を現像液(例えばアルカリ水溶液)に溶出し、露光部(硬化部)だけが残る。
現像液としては、支持体に設けられた回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては、通常20℃〜30℃であり、現像時間は20〜90秒である。
(Development process)
In the development step, the exposed curable layer is developed to elute the unexposed portion (uncured portion) into the developer (for example, an alkaline aqueous solution), leaving only the exposed portion (cured portion).
As the developer, an organic alkali developer that does not cause damage to a circuit or the like provided on the support is desirable. The development temperature is usually 20 ° C. to 30 ° C., and the development time is 20 to 90 seconds.

前記アルカリとしては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5、4、0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が好適に用いられる。なお、アルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に純水で洗浄(リンス)する。   Examples of the alkali include ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5,4,0] -7. An alkaline aqueous solution obtained by diluting an organic alkaline compound such as undecene with pure water so as to have a concentration of 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass is suitably used. When a developer composed of an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed (rinsed) with pure water after development.

現像後、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施した後には、さらに加熱処理(ポストベーク)を行なうことができる。   After the development, the excess developer is washed away and dried, followed by further heat treatment (post-bake).

上記した硬化性層形成工程、露光工程、及び現像工程(更に必要により硬化工程やポストベーク工程)を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタを作製できる。   By repeating the above-described curable layer forming step, exposing step, and developing step (further, if necessary, a curing step and a post-bake step), a color filter having a desired hue can be produced.

本発明のカラーフィルタは、既述の本発明のカラーフィルタ用硬化性組成物を用いているため、形成された着色パターンは支持体との間で高い密着性を示し、硬化した組成物部分は耐現像性に優れるため、露光感度が高く、かつ所望の断面形状を与える高解像度のパターンを形成することができる。
これより、本発明のカラーフィルタは、CCD等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
Since the color filter of the present invention uses the above-described curable composition for a color filter of the present invention, the formed colored pattern exhibits high adhesion with the support, and the cured composition portion is Since the development resistance is excellent, it is possible to form a high-resolution pattern having high exposure sensitivity and giving a desired cross-sectional shape.
Accordingly, the color filter of the present invention can be suitably used for a solid-state imaging device such as a CCD, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device, CMOS, or the like exceeding 1 million pixels. The color filter of the present invention can be used as, for example, a color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” is based on mass.

<オキセタニル基を有する化合物の合成>
下記合成例に示すようにして、硬化性化合物である「オキセタニル基を有する化合物」を合成した。
<Synthesis of a compound having an oxetanyl group>
As shown in the following synthesis example, a “compound having an oxetanyl group” as a curable compound was synthesized.

(合成例1)
500ml三口フラスコに3−エチルオキセタンメタノール(66mmol、3.3eq)、テトラヒドロフラン(THF)(100ml)を加え氷浴上で撹拌した。そこへトリエチルアミン(66mmol、3.3eq)/THF(20ml)を添加し、添加終了後、氷浴上で15分間撹拌し、そこへトリメシル酸クロリド(20mmol、1.0eq)を加え、1時間室温で撹拌した。その後、氷水に投入したところ固体が析出し、ろ過を行ない、さらに再結晶化(酢酸エチル/ヘキサン)を行なうことで下記化合物1を得た(収率90%)。
(Synthesis Example 1)
To a 500 ml three-necked flask, 3-ethyloxetanemethanol (66 mmol, 3.3 eq) and tetrahydrofuran (THF) (100 ml) were added and stirred on an ice bath. Triethylamine (66 mmol, 3.3 eq) / THF (20 ml) was added thereto, and after the addition was completed, the mixture was stirred for 15 minutes on an ice bath, to which was added trimesyl chloride (20 mmol, 1.0 eq) for 1 hour at room temperature. Stir with. Then, when it put into ice water, solid precipitated, it filtered, and also the following compound 1 was obtained by recrystallizing (ethyl acetate / hexane) (yield 90%).

Figure 2008276130
Figure 2008276130

(合成例2)
500ml三口フラスコにペンタエリスリトール テトラ(メルカプトアセテート)(20mmol,1.0eq)、N−メチルピロリジノン(NMP)(100ml)を加え撹拌した。そこへ水酸化ナトリウム(84mmol, 4.2eq)を添加し、添加終了後、15分間撹拌し、そこへオキセタン3−エチル−3−メタンスルホニルオキシメチルオキセタン(84mmol,4.2eq)を加え、4時間加熱還流させた。その後、水に投入し、その混合物を酢酸エチルで抽出し、その有機層を濃縮した後に、カラム精製(酢酸エチル/ヘキサン)を行なうことで下記化合物2を得た(収率50%)。
(Synthesis Example 2)
Pentaerythritol tetra (mercaptoacetate) (20 mmol, 1.0 eq) and N-methylpyrrolidinone (NMP) (100 ml) were added to a 500 ml three-necked flask and stirred. Sodium hydroxide (84 mmol, 4.2 eq) was added thereto, and after completion of the addition, the mixture was stirred for 15 minutes, and oxetane 3-ethyl-3-methanesulfonyloxymethyl oxetane (84 mmol, 4.2 eq) was added thereto. Heated to reflux for hours. Thereafter, the mixture was poured into water, the mixture was extracted with ethyl acetate, the organic layer was concentrated, and column purification (ethyl acetate / hexane) was performed to obtain the following compound 2 (yield 50%).

Figure 2008276130
Figure 2008276130

(合成例3)
500ml三口フラスコにジペンタエリスリトール ヘキサキス(メルカプトプロピオネート)(20mmol,1.0eq)、N−メチルピロリジノン(NMP)(100ml)を加え撹拌した。そこへ水酸化ナトリウム(168mmol, 8.4eq)を添加し、添加終了後、15分間撹拌し、そこへオキセタン3−エチル−3−メタンスルホニルオキシメチルオキセタン(168mmol,8.4eq)を加え、4時間加熱還流させた。その後、水に投入し、その混合物を酢酸エチルで抽出し、その有機層を濃縮した後に、カラム精製(酢酸エチル/ヘキサン)を行なうことで下記化合物3を得た(収率20%)。
(Synthesis Example 3)
Dipentaerythritol hexakis (mercaptopropionate) (20 mmol, 1.0 eq) and N-methylpyrrolidinone (NMP) (100 ml) were added to a 500 ml three-necked flask and stirred. Sodium hydroxide (168 mmol, 8.4 eq) was added thereto, and after completion of the addition, the mixture was stirred for 15 minutes, and oxetane 3-ethyl-3-methanesulfonyloxymethyl oxetane (168 mmol, 8.4 eq) was added thereto. Heated to reflux for hours. Thereafter, the mixture was poured into water, the mixture was extracted with ethyl acetate, the organic layer was concentrated, and column purification (ethyl acetate / hexane) was performed to obtain the following compound 3 (yield 20%).

Figure 2008276130
Figure 2008276130

まず、固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用組成物として、顔料(着色剤)を含有する硬化性組成物を用いる例を挙げて説明する。   First, an example using a curable composition containing a pigment (colorant) will be described as a color filter forming composition for use in a solid-state imaging device.

(実施例1〜12、比較例1〜4)
〔1−1.レジスト液の調製〕
下記組成の成分を混合して溶解し、レジスト液を調製した。
〈組成〉
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …19.20部
(PGMEA:溶剤)
・乳酸エチル …36.67部
・バインダーポリマー …30.51部
〔メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60/22/18)の40%PGMEA溶液〕
・KAYARAD DPHA(日本化薬(株)製、光重合性化合物) …12.20部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) …0.0061部
・フッ素系界面活性剤 …0.83部
(F−475、大日本インキ化学工業(株)製)
・光重合開始剤 …0.586部
(TAZ−107(トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤)、みどり化学社製)
(Examples 1-12, Comparative Examples 1-4)
[1-1. Preparation of resist solution
Components of the following composition were mixed and dissolved to prepare a resist solution.
<composition>
Propylene glycol monomethyl ether acetate ... 19.20 parts (PGMEA: solvent)
-Ethyl lactate ... 36.67 parts-Binder polymer ... 30.51 parts [40% PGMEA solution of benzyl methacrylate / methacrylic acid / methacrylic acid-2-hydroxyethyl copolymer (molar ratio = 60/22/18)]
-KAYARAD DPHA (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., photopolymerizable compound) ... 12.20 parts-Polymerization inhibitor (p-methoxyphenol)-0.0061 parts-Fluorosurfactant ... 0.83 parts (F -475, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
-Photopolymerization initiator: 0.586 parts (TAZ-107 (trihalomethyltriazine photopolymerization initiator), manufactured by Midori Chemical Co., Ltd.)

〔1−2.下塗り層付シリコンウエハーの作製〕
6inchシリコンウエハーをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に前記レジスト液を乾燥膜厚が2μmになるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハーを得た。
[1-2. Production of silicon wafer with undercoat layer]
A 6 inch silicon wafer was heat-treated in an oven at 200 ° C. for 30 minutes. Next, the resist solution was applied onto the silicon wafer so that the dry film thickness was 2 μm, and further heated and dried in an oven at 220 ° C. for 1 hour to form an undercoat layer, whereby a silicon wafer with an undercoat layer was obtained. .

〔1−3.硬化性組成物溶液の調製〕
まず、下記各成分を2本ロールで混練分散処理し、分散物を得た。
〈組成〉
・C.I.ピグメント レッド 254 …22部
・C.I.ピグメント イエロー 139 …8部
・樹脂溶液 …40部
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体(モル比=80/10/10)、重量平均分子量Mw:10000、溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート60%、樹脂固形分濃度:40%)
・溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート …20部
・分散剤:(商品名:Disperbyk-161、BYK chemie社) …2部
[1-3. Preparation of curable composition solution]
First, the following components were kneaded and dispersed with two rolls to obtain a dispersion.
<composition>
・ C. I. Pigment Red 254… 22 parts ・ C.I. I. Pigment Yellow 139 ... 8 parts Resin solution ... 40 parts (Benzyl methacrylate / methacrylic acid / hydroxyethyl methacrylate copolymer (molar ratio = 80/10/10), weight average molecular weight Mw: 10,000, solvent: propylene glycol methyl ether acetate (60%, resin solid content concentration: 40%)
・ Solvent: Propylene glycol methyl ether acetate 20 parts ・ Dispersant: (Product name: Disperbyk-161, BYK chemie) 2 parts

続いて、得られた分散物にプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA;溶剤)200部を加え、サンドミルで一昼夜、微分散処理を行なった。   Subsequently, 200 parts of propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA; solvent) was added to the obtained dispersion, and fine dispersion treatment was performed with a sand mill all day and night.

次に、微分散処理後の分散物に、さらに下記成分を加え、撹拌して硬化性組成物溶液を調製した。
〈組成〉
・下記表1に記載の硬化性化合物 …12部
・下記表1に記載の重合開始剤 …0.5部
・9,10−ジブトキシアントラセン(川崎化成社製;増感剤) …0.2部
・アルカリ可溶性樹脂 …8.0部
(ベンジルメタクリレートとメタクリル酸(=7:3[モル比])との共重合体、重量平均分子量Mw:10000、溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート60%、樹脂固形分濃度:40%)
・プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA;溶剤) …100部
Next, the following components were further added to the dispersion after the fine dispersion treatment and stirred to prepare a curable composition solution.
<composition>
-Curable compounds listed in Table 1 below-12 parts-Polymerization initiators listed in Table 1 below-0.5 parts-9,10-dibutoxyanthracene (manufactured by Kawasaki Kasei Co., Ltd .; sensitizer) ... 0.2 Parts Alkali soluble resin 8.0 parts (copolymer of benzyl methacrylate and methacrylic acid (= 7: 3 [molar ratio]), weight average molecular weight Mw: 10,000, solvent: 60% propylene glycol methyl ether acetate, resin (Solid content concentration: 40%)
・ Propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA; solvent): 100 parts

〔1−4.カラーフィルタの作製〕
上記より得た硬化性組成物溶液をレジスト溶液として、550mm×650mmのガラス基板に下記条件でスリット塗布後、10分間そのままの状態で待機させた後、前記1−2で作製した下塗り層付シリコンウエハーの下塗り層上に塗布し、真空乾燥とプリベーク(prebake;100℃、80秒)を施して、硬化性組成物層を形成した。
〈スリット塗布条件〉
・塗布ヘッド先端の開口部の間隙:50μm
・塗布速度:100mm/秒
・基板と塗布ヘッドとのクリアランス:150μm
・塗布厚(乾燥厚):2μm
・塗布温度:23℃
[1-4. (Production of color filter)
Using the curable composition solution obtained above as a resist solution, after applying slits to a glass substrate of 550 mm × 650 mm under the following conditions, waiting for 10 minutes as it is, and then applying the silicon with undercoat layer prepared in 1-2 above It apply | coated on the undercoat layer of the wafer, and vacuum-dried and prebaked (prebake; 100 degreeC, 80 second), and formed the curable composition layer.
<Slit application conditions>
・ Gap of the opening at the tip of the coating head: 50 μm
Application speed: 100 mm / sec Clearance between substrate and application head: 150 μm
-Application thickness (dry thickness): 2 μm
・ Application temperature: 23 ℃

その後、2.5kwの超高圧水銀灯によりテスト用フォトマスクを用いて硬化性組成物層をパターン状に露光し、露光後、硬化性組成物層の全面を有機系現像液(商品名:CD、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の10%水溶液で被い、60秒間静止して現像した。静止後、純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、露光及び現像処理を施した硬化性組成物層を220℃のオーブンにて1時間加熱した(ポストベーク)。これにより、カラーフィルタを作製した。   Thereafter, the curable composition layer was exposed in a pattern using a test photomask with a 2.5 kw ultra-high pressure mercury lamp. After the exposure, the entire surface of the curable composition layer was exposed to an organic developer (trade name: CD, The film was covered with a 10% aqueous solution of FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd., and developed after standing still for 60 seconds. After stationary, pure water was sprayed in a shower to wash away the developer, and the curable composition layer that had been exposed and developed was heated in an oven at 220 ° C. for 1 hour (post-baking). This produced the color filter.

〔1−5.性能評価〕
上記で得られた硬化性組成物溶液の保存安定性、並びに硬化性組成物層(着色層)の露光感度、基板密着性、現像性、及びカラーフィルタのパターン断面の形状を下記のようにして評価した。評価結果は下記表1に示す。
[1-5. (Performance evaluation)
The storage stability of the curable composition solution obtained above, the exposure sensitivity of the curable composition layer (colored layer), the substrate adhesion, the developability, and the shape of the color filter pattern cross section are as follows. evaluated. The evaluation results are shown in Table 1 below.

−1.保存安定性−
硬化性組成物溶液を室温で1ヶ月保存した後、異物の析出度合いを目視により下記判定基準にしたがって評価した。
〈評価基準〉
○:析出は認められなかった。
△:僅かに析出が認められた。
×:析出が認められた。
-1. Storage stability
After storing the curable composition solution at room temperature for 1 month, the degree of precipitation of foreign matters was visually evaluated according to the following criteria.
<Evaluation criteria>
○: No precipitation was observed.
Δ: Slight precipitation was observed.
X: Precipitation was recognized.

−2.露光感度−
硬化性組成物溶液を前記1−2で作製した下塗り層付シリコンウエハーの下塗り層上に塗布し、硬化性組成物層(塗布膜)を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.9μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長でパターンが2μm四方のIslandパターンマスクを通して100〜1600mJ/cmの種々の露光量で露光した。その後、露光後の塗布膜が形成されているシリコンウエハーをスピン・シャワー現像機(DW−30型、(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハーに着色パターンを形成した。
-2. Exposure sensitivity
The curable composition solution was applied onto the undercoat layer of the silicon wafer with the undercoat layer prepared in 1-2 above to form a curable composition layer (coating film). Then, a heat treatment (pre-baking) was performed for 120 seconds using a hot plate at 100 ° C. so that the dry film thickness of the coating film became 0.9 μm. Next, using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon, Inc.), exposure was performed at various exposure doses of 100 to 1600 mJ / cm 2 through an Island pattern mask having a pattern of 2 μm square at a wavelength of 365 nm. Thereafter, the silicon wafer on which the coating film after exposure is formed is placed on a horizontal rotating table of a spin shower developing machine (DW-30 type, manufactured by Chemitronics), and CD-2000 (FUJIFILM Electronics). Paddle development was performed at 23 ° C. for 60 seconds using Materials Co., Ltd. to form a colored pattern on the silicon wafer.

着色パターンが形成されたシリコンウエハーを真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハーを回転数50r.p.m.で回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。その後、測長SEM「S−9260A」(日立ハイテクノロジーズ(株)製)を用いて、着色パターンのサイズを測定した。パターン線幅が2μmとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度は、露光量の値が小さいほど感度が高いことを示す。   A silicon wafer on which a colored pattern is formed is fixed to the horizontal rotary table by a vacuum chuck method, and pure water is supplied from above the rotation center while rotating the silicon wafer at a rotation speed of 50 rpm by a rotating device. A rinsing process was performed by supplying a shower from a jet nozzle, followed by spray drying. Thereafter, the size of the colored pattern was measured using a length measuring SEM “S-9260A” (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). The exposure dose at which the pattern line width was 2 μm was evaluated as the exposure sensitivity. The exposure sensitivity indicates that the smaller the exposure value, the higher the sensitivity.

−3.現像性−
上記より得られたカラーフィルタを光学顕微鏡及び走査型電子顕微鏡(SEM)写真を用いて、露光されなかった領域(未露光部)の残渣の有無を観察し、下記の評価基準にしたがって現像性を評価した。
〈評価基準〉
○:未露光部には、残渣が全く確認されなかった。
△:未露光部に、残渣が僅かに確認されたが、実用上問題のない程度であった。
×:未露光部に、残渣が著しく確認された。
-3. Developability
The color filter obtained above was observed for the presence or absence of residues in unexposed areas (unexposed areas) using an optical microscope and a scanning electron microscope (SEM) photograph, and developed according to the following evaluation criteria. evaluated.
<Evaluation criteria>
○: No residue was observed in the unexposed area.
Δ: A slight residue was confirmed in the unexposed area, but there was no practical problem.
X: Residue was remarkably confirmed in the unexposed part.

−4.基板密着性−
上記より得られたカラーフィルタを光学顕微鏡及び走査型電子顕微鏡(SEM)写真を用いて、パターンの欠けの発生(パターン欠損)の有無を観察し、下記の評価基準にしたがって基板密着性を評価した。
〈評価基準〉
○:パターン欠損がまったく観察されなかった。
△:パターン欠損がほとんど観察されなかったが、一部分欠損が観察された。
×:パターン欠損が著しく観察された。
-4. Substrate adhesion
Using the optical filter and scanning electron microscope (SEM) photograph of the color filter obtained above, the presence or absence of pattern chipping (pattern defect) was observed, and the substrate adhesion was evaluated according to the following evaluation criteria. .
<Evaluation criteria>
○: No pattern defect was observed.
(Triangle | delta): Although the pattern defect | defect was hardly observed, the defect | deletion was partially observed.
X: A pattern defect was remarkably observed.

−5.パターン形状−
上記より得られたカラーフィルタを光学顕微鏡及び走査型電子顕微鏡(SEM)写真を用いて観察し、下記の評価基準にしたがって基板密着性を評価した。
〈評価基準〉
◎:形状が整った矩形或いは順テーパーであった。
○:形状がやや崩れた矩形或いは順テーパーであった。
△:形状が崩れた矩形或いは順テーパーであった。
×:逆テーパーであった。
-5. Pattern shape
The color filter obtained above was observed using an optical microscope and a scanning electron microscope (SEM) photograph, and substrate adhesion was evaluated according to the following evaluation criteria.
<Evaluation criteria>
(Double-circle): It was a rectangle with a uniform shape or a forward taper.
○: The shape was a slightly broken rectangle or a forward taper.
(Triangle | delta): It was the rectangle or forward taper which the shape collapsed.
X: It was reverse taper.

Figure 2008276130
Figure 2008276130

前記表1中の各成分の詳細は、下記の通りである。
・O−4:(A)オキセタニル基を有する化合物の前記例示化合物
・O−16:(A)オキセタニル基を有する化合物の前記例示化合物
・O−6:(A)オキセタニル基を有する化合物の前記例示化合物
・O−8:(A)オキセタニル基を有する化合物の前記例示化合物
・OS−B1:(B−1)トリアリールスルホニウム塩の前記例示化合物
・OS−B4:(B−1)トリアリールスルホニウム塩の前記例示化合物
・OI−1:(B−2)ジアリールヨードニウム塩の前記例示化合物
・OI−2:(B−2)ジアリールヨードニウム塩の前記例示化合物
・KAYARAD DPHA:日本化薬(株)製
・Irgacure OXE01:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製
・比較化合物1:イソシアヌル酸トリグリシジル
・比較化合物2:2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン
Details of each component in Table 1 are as follows.
-O-4: (A) the above-mentioned exemplified compounds having a oxetanyl group-O-16: (A) the above-mentioned exemplified compounds having a oxetanyl group-O-6: (A) the above-mentioned examples of compounds having an oxetanyl group Compound · O-8: (A) the exemplified compound of a compound having an oxetanyl group · OS-B1: the exemplified compound of (B-1) triarylsulfonium salt · OS-B4: (B-1) triarylsulfonium salt The exemplified compound of OI-1: (B-2) the exemplified compound of diaryliodonium salt, OI-2: the exemplified compound of (B-2) diaryliodonium salt, KAYARAD DPHA: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Irgacure OXE01: manufactured by Ciba Specialty Chemicals, comparative compound 1: triglycidyl isocyanurate, comparative compound 2 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine

次に、固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用組成物として、染料(着色剤)を含有する硬化性組成物を用いる例を挙げて説明する。   Next, an example of using a curable composition containing a dye (colorant) as a composition for forming a color filter for use in a solid-state imaging device will be described.

(実施例13〜17、比較例5〜7)
〔2−1.着色感光性組成物の調製(染料系)〕
下記組成の成分を混合して溶解し、着色感光性組成物を調製した。
〈組成〉
・Valifast Yellow 1101(染料) …5.0部
・Acid Red 57(染料) …5.0部
・下記表2に記載の硬化性化合物 …10.0部
・下記表2に記載の重合開始剤 …2.5部
・9,10−ジブトキシアントラセン(川崎化成社製;増感剤) …0.2部
・シクロヘキサノン(溶剤) …80部
・アルカリ可溶性樹脂 …20部
(ベンジルメタクリレートとメタクリル酸と(=7:3[モル比])の共重合体、重量平均分子量Mw:10000、溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート60%、樹脂固形分濃度:40%)
(Examples 13-17, Comparative Examples 5-7)
[2-1. Preparation of colored photosensitive composition (dye system)]
Components of the following composition were mixed and dissolved to prepare a colored photosensitive composition.
<composition>
・ Valifast Yellow 1101 (dye): 5.0 parts ・ Acid Red 57 (dye): 5.0 parts ・ Curable compounds listed in Table 2 below: 10.0 parts ・ Polymerization initiators listed in Table 2 below: 2.5 parts ・ 9,10-Dibutoxyanthracene (manufactured by Kawasaki Kasei Co., Ltd .; sensitizer)… 0.2
Cyclohexanone (solvent) 80 parts Alkali-soluble resin 20 parts copolymer (benzyl methacrylate and methacrylic acid (= 7: 3 [molar ratio]), weight average molecular weight Mw: 10,000, solvent: propylene glycol methyl ether (Acetate 60%, resin solid concentration: 40%)

〔2−2.カラーフィルタの作製及び評価〕
−パターン形成と感度の評価−
前記2−1で調製した着色感光性組成物を、前記1−2で作製した下塗り層付シリコンウエハーの下塗り層上に前記同様の条件でスリット塗布し、硬化性組成物層(塗布膜)を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.9μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して、形成された硬化性組成物層を365nmの波長光でパターンが2μm四方のIslandパターンマスクを通して、100〜1600mJ/cmの種々の露光量で露光した。その後、露光後の硬化性組成物層が形成されているシリコンウエハーをスピン・シャワー現像機(DW−30型、(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハーに着色パターンを形成した。
[2-2. (Production and evaluation of color filter)
-Evaluation of pattern formation and sensitivity-
The colored photosensitive composition prepared in 2-1 is slit-coated on the undercoat layer of the silicon wafer with an undercoat layer prepared in 1-2 under the same conditions as described above to form a curable composition layer (coating film). Formed. Then, a heat treatment (pre-baking) was performed for 120 seconds using a hot plate at 100 ° C. so that the dry film thickness of the coating film became 0.9 μm. Next, using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), the formed curable composition layer was passed through an Island pattern mask having a pattern of 2 μm square with a wavelength of 365 nm, and 100 to 1600 mJ / It exposed with various exposure amount of cm 2. Thereafter, the silicon wafer on which the curable composition layer after exposure was formed was placed on a horizontal rotary table of a spin shower developing machine (DW-30 type, manufactured by Chemitronics), and CD-2000 ( Paddle development was performed at 23 ° C. for 60 seconds using FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd. to form a colored pattern on the silicon wafer.

着色パターンが形成されたシリコンウエハーを真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハーを回転数50r.p.m.で回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。その後、測長SEM「S−9260A」(日立ハイテクノロジーズ(株)製)を用いて、着色パターンのサイズを測定した。パターン線幅が2μmとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度は、露光量の値が小さいほど感度が高いことを示す。   A silicon wafer on which a colored pattern is formed is fixed to the horizontal rotary table by a vacuum chuck method, and pure water is supplied from above the rotation center while rotating the silicon wafer at a rotation speed of 50 rpm by a rotating device. A rinsing process was performed by supplying a shower from a jet nozzle, followed by spray drying. Thereafter, the size of the colored pattern was measured using a length measuring SEM “S-9260A” (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). The exposure dose at which the pattern line width was 2 μm was evaluated as the exposure sensitivity. The exposure sensitivity indicates that the smaller the exposure value, the higher the sensitivity.

上記で得られた着色感光性組成物の保存安定性、並びに硬化性組成物層(着色層)の基板密着性、現像性、及びカラーフィルタのパターン断面の形状を、前記〔1−5.性能評価〕と同様の方法で評価した。評価結果は下記表2に示す。
なお、下記表2中の各成分の詳細は、上記の通りである。
The storage stability of the colored photosensitive composition obtained above, the substrate adhesion of the curable composition layer (colored layer), the developability, and the shape of the pattern cross section of the color filter are described in [1-5. Evaluation was performed in the same manner as in [Performance evaluation]. The evaluation results are shown in Table 2 below.
In addition, the detail of each component in following Table 2 is as above-mentioned.

Figure 2008276130
Figure 2008276130

次に、液晶表示素子用途のカラーフィルタ形成用組成物として、顔料(着色剤)を含有する硬化性組成物を用いる例を挙げて説明する。   Next, an example of using a curable composition containing a pigment (colorant) as a composition for forming a color filter for liquid crystal display elements will be described.

(実施例18〜22、比較例8〜11)
〔3−1.硬化性組成物溶液の調製〕
まず、下記各成分を2本ロールで混練分散処理をし、分散物を得た。
〈組成〉
・C.I.ピグメント レッド 254 …22部
・C.I.ピグメント イエロー 139 …8部
・樹脂溶液 …40部
(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体(モル比=80/10/10)、メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体(モル比=80/10/10)、重量平均分子量Mw:10000、溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート60%、樹脂固形分濃度:40%)
・溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート …20部
・分散剤:(商品名:BY−161、BYK社) …2部
(Examples 18-22, Comparative Examples 8-11)
[3-1. Preparation of curable composition solution]
First, the following components were kneaded and dispersed with two rolls to obtain a dispersion.
<composition>
・ C. I. Pigment Red 254… 22 parts ・ C.I. I. Pigment Yellow 139 ... 8 parts Resin solution ... 40 parts (Benzyl methacrylate / methacrylic acid / hydroxyethyl methacrylate copolymer (molar ratio = 80/10/10), methacrylic acid / hydroxyethyl methacrylate copolymer (molar ratio = 80) / 10/10), weight average molecular weight Mw: 10,000, solvent: propylene glycol methyl ether acetate 60%, resin solid content concentration: 40%)
・ Solvent: Propylene glycol methyl ether acetate: 20 parts ・ Dispersant: (trade name: BY-161, BYK) ... 2 parts

続いて、得られた分散物にプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA;溶剤)200部を加え、サンドミルで一昼夜、微分散処理を行なった。   Subsequently, 200 parts of propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA; solvent) was added to the obtained dispersion, and fine dispersion treatment was performed with a sand mill all day and night.

次に、微分散処理後の分散物に、さらに下記成分を加え、撹拌して硬化性組成物溶液を調製した。
〈組成〉
・下記表3に記載の硬化性化合物 …12部
・下記表3に記載の重合開始剤 …0.5部
・9,10−ジブトキシアントラセン(川崎化成社製;増感剤) …0.2部
・アルカリ可溶性樹脂 …20部
(ベンジルメタクリレートとメタクリル酸と(=7:3[モル比])の共重合体、重量平均分子量Mw:10000、溶剤:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート60%、樹脂固形分濃度:40%)
・溶剤:PGMEA …100部
Next, the following components were further added to the dispersion after the fine dispersion treatment and stirred to prepare a curable composition solution.
<composition>
-Curable compounds listed in Table 3 below-12 parts-Polymerization initiators listed in Table 3 below-0.5 parts-9,10-dibutoxyanthracene (manufactured by Kawasaki Kasei Co., Ltd .; sensitizer) ... 0.2 Part alkali-soluble resin: 20 parts (benzyl methacrylate and methacrylic acid (= 7: 3 [molar ratio]) copolymer, weight average molecular weight Mw: 10,000, solvent: propylene glycol methyl ether acetate 60%, resin solid content Concentration: 40%)
・ Solvent: PGMEA ... 100 parts

〔3−2.カラーフィルタの作製〕
得られた硬化性組成物溶液をレジスト溶液として、550mm×650mmのガラス基板に下記条件でスリット塗布後、10分間そのままの状態で待機させた後、前記1−2で作製した下塗り層付シリコンウエハーの下塗り層上に塗布し、真空乾燥とプレベーク(prebake;100℃、80秒)を施して、硬化性組成物層を形成した。
〈スリット塗布条件〉
・塗布ヘッド先端の開口部の間隙:50μm
・塗布速度:100mm/秒
・基板と塗布ヘッドとのクリヤランス:150μm
・塗布厚(乾燥厚):2μm
・塗布温度:23℃
[3-2. (Production of color filter)
Using the obtained curable composition solution as a resist solution, slit coating is performed on a glass substrate of 550 mm × 650 mm under the following conditions, and after waiting for 10 minutes as it is, a silicon wafer with an undercoat layer prepared in 1-2 above The curable composition layer was formed by coating on the undercoat layer and vacuum drying and pre-baking (prebake; 100 ° C., 80 seconds).
<Slit application conditions>
・ Gap of the opening at the tip of the coating head: 50 μm
・ Application speed: 100 mm / second ・ Clearance between substrate and application head: 150 μm
-Application thickness (dry thickness): 2 μm
・ Application temperature: 23 ℃

その後、2.5kwの超高圧水銀灯を用いて硬化性組成物層を、線幅20μmのテスト用フォトマスクを用いてパターン状に露光し、露光後の硬化性組成物層の全面を有機系現像液(商品名:CD、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の10%水溶液で被い、60秒間静止して現像した。静止後、純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、露光及び現像処理を施した硬化性組成物層を220℃のオーブンにて1時間加熱した(ポストベーク)。これにより、カラーフィルタを作製した。   Then, the curable composition layer is exposed in a pattern using a test photomask having a line width of 20 μm using a 2.5 kw ultra-high pressure mercury lamp, and the entire surface of the curable composition layer after the exposure is organically developed. The sample was covered with a 10% aqueous solution of a liquid (trade name: CD, manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.) and developed by resting for 60 seconds. After stationary, pure water was sprayed in a shower to wash away the developer, and the curable composition layer that had been exposed and developed was heated in an oven at 220 ° C. for 1 hour (post-baking). This produced the color filter.

〔3−3.性能評価〕
上記で得られた硬化性組成物溶液の保存安定性、並びに硬化性組成物層(着色層)の露光感度、基板密着性、現像性、及びカラーフィルタのパターン断面の形状を、前記〔1−5.性能評価〕と同様の方法により評価した。評価結果は下記表3に示す。
なお、露光感度の評価については、露光量を10〜100mJ/cmの範囲で種々変更して露光を行ない、ポストベーク後のパターン線幅が20μmとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度は、露光量の値が小さいほど感度が高いことを示す。
[3-3. (Performance evaluation)
The storage stability of the curable composition solution obtained above, the exposure sensitivity of the curable composition layer (colored layer), the substrate adhesion, the developability, and the shape of the pattern cross section of the color filter are described in [1- 5. Performance evaluation] was performed by the same method. The evaluation results are shown in Table 3 below.
In addition, about evaluation of exposure sensitivity, it exposed by changing various exposure amounts in the range of 10-100 mJ / cm < 2 >, and evaluated the exposure amount from which the pattern line width after post-baking will be 20 micrometers as exposure sensitivity. The exposure sensitivity indicates that the sensitivity is higher as the exposure value is smaller.

Figure 2008276130
Figure 2008276130

前記表3中の各成分の詳細は、下記の通りである。なお、前記同様の成分の詳細については上記の通りである。
・比較化合物3:2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール+2−メルカプトベンゾイミダゾール
Details of each component in Table 3 are as follows. The details of the same components as described above are as described above.
Comparative compound 3: 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole + 2-mercaptobenzimidazole

上記の表1〜表3に示すように、実施例では、組成物調製後の保存安定性が高く、また、空気存在下でも少ない重合成分でありながら高感度が得られ、現像性も良好であった。また、形成されたパターンの基板との密着も高く、欠け欠陥の発生が抑えられ、断面形状がテーパ形状ないし矩形である形状良好なパターンを得ることができた。   As shown in Tables 1 to 3 above, in the examples, the storage stability after preparation of the composition is high, and high sensitivity is obtained while the polymerization component is small even in the presence of air, and the developability is also good. there were. Further, the formed pattern was highly adhered to the substrate, the generation of chip defects was suppressed, and a good shape pattern having a tapered or rectangular cross-sectional shape could be obtained.

上記の実施例では、既述の本発明における(A)オキセタニル基を有する化合物、並びに(B)トリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩のうち、前者は化合物1〜3、後者は表中の開始剤を使用した場合の例を中心に説明したが、本発明における(A)オキセタニル基を有する化合物、並びに(B)トリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩に包含される既述の他の化合物を用いた場合についても、上記と同様の効果を得ることができる。   In the above-mentioned examples, among (A) the compound having an oxetanyl group and (B) the triarylsulfonium salt and the diaryliodonium salt in the present invention described above, the former is a compound 1 to 3, and the latter is an initiator in the table. However, (A) the compound having an oxetanyl group in the present invention, and (B) the other compounds described above included in the triarylsulfonium salt and diaryliodonium salt were used. Even in this case, the same effect as described above can be obtained.

Claims (8)

(A)オキセタニル基を有する化合物と、(B)電子求引性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するトリアリールスルホニウム塩、及び/又は電子供与性基を置換基として有するアリール骨格を少なくとも1つ有するジアリールヨードニウム塩と、(C)アルカリ可溶性樹脂と、(D)着色剤とを少なくとも含有するカラーフィルタ用硬化性組成物。   (A) a compound having an oxetanyl group, (B) a triarylsulfonium salt having at least one aryl skeleton having an electron withdrawing group as a substituent, and / or an aryl skeleton having an electron donating group as a substituent. A curable composition for a color filter, comprising at least one diaryl iodonium salt, (C) an alkali-soluble resin, and (D) a colorant. 前記(B)トリアリールスルホニウム塩は、アリール骨格に結合する置換基のハメット値の総和が0.46以上であることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物。   2. The curable composition for a color filter according to claim 1, wherein the triarylsulfonium salt (B) has a sum of Hammett values of substituents bonded to an aryl skeleton of 0.46 or more. 前記(B)ジアリールヨードニウム塩は、アリール骨格に結合する置換基のハメット値の総和が−0.2以下であることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物。   2. The curable composition for a color filter according to claim 1, wherein the diaryl iodonium salt (B) has a sum of Hammett values of substituents bonded to the aryl skeleton of −0.2 or less. (E)ラジカル重合性化合物を更に含有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物。   (E) The curable composition for color filters of any one of Claims 1-3 which further contains a radically polymerizable compound. 前記(B)トリアリールスルホニウム塩及びジアリールヨードニウム塩以外の(F)ラジカル重合開始剤を更に含有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物。   The curability for a color filter according to any one of claims 1 to 4, further comprising (F) a radical polymerization initiator other than the (B) triarylsulfonium salt and the diaryliodonium salt. Composition. 前記(F)ラジカル重合開始剤がオキシム系重合開始剤であることを特徴とする請求項5に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物。   6. The curable composition for a color filter according to claim 5, wherein the radical polymerization initiator (F) is an oxime polymerization initiator. 請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物を用いて形成されたカラーフィルタ。   The color filter formed using the curable composition for color filters of any one of Claims 1-6. 請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のカラーフィルタ用硬化性組成物を支持体上に塗布し、塗布形成された硬化性層をマスクを通して露光し、現像してパターンを形成するカラーフィルタの製造方法。   The curable composition for a color filter according to any one of claims 1 to 6 is applied onto a support, the formed curable layer is exposed through a mask, and developed to form a pattern. A method for producing a color filter.
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