JP2008251827A - Method for mounting electronic circuit to substrate - Google Patents

Method for mounting electronic circuit to substrate Download PDF

Info

Publication number
JP2008251827A
JP2008251827A JP2007091154A JP2007091154A JP2008251827A JP 2008251827 A JP2008251827 A JP 2008251827A JP 2007091154 A JP2007091154 A JP 2007091154A JP 2007091154 A JP2007091154 A JP 2007091154A JP 2008251827 A JP2008251827 A JP 2008251827A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electronic circuit
heating
acf
lsi
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007091154A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5144102B2 (en
Inventor
Katsuzo Choji
克蔵 帖地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Display Corp
Original Assignee
Kyocera Display Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Display Corp filed Critical Kyocera Display Corp
Priority to JP2007091154A priority Critical patent/JP5144102B2/en
Publication of JP2008251827A publication Critical patent/JP2008251827A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5144102B2 publication Critical patent/JP5144102B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for mounting an electronic circuit to a substrate capable of hardening an ACF of the periphery of the electronic circuit by keeping electrical connection between the electronic circuit and electrodes on the substrate to alleviate the warpage of the substrate even if an area of the ACF is arranged wider than that of an arrangement position of the electronic circuit. <P>SOLUTION: The ACF 3 and an LSI 4 are arranged on a first substrate 1, and the LSI 4 is depressed to the first substrate 1 by heating the ACF 3 by a first heat tool 5. After that, the first substrate 1 is moved to a glass table 8, and the ACF 3 is heated by infrared light irradiated from a lamp 9. At this time, the LSI 4 is heated and depressed to the first substrate 1 by a second heat tool 7. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板への電子回路の搭載方法に関し、特に異方性導電膜を用いた基板への電子回路の搭載方法に関する。   The present invention relates to a method for mounting an electronic circuit on a substrate, and more particularly to a method for mounting an electronic circuit on a substrate using an anisotropic conductive film.

液晶表示装置等の表示パネルは、ガラス基板上にITO(Indium Tin Oxide)を用いた透明電極が配置されている。その透明電極とLSI(Large Scale Integration )等の電子回路とを接続させるために異方性導電膜を用いる場合がある。異方性導電膜(Anisotropic Conductive Film :ACF)は、樹脂の内部に多量の導電粒子を含み、樹脂によりガラス基板とLSIとを機械的に接続させる。また、導電粒子により透明電極とLSIとを電気的に接続させる。以下、異方性導電膜をACFと記す。ACFを用いてLSIをガラス板に搭載する場合、LSIはACFを介してガラス基板に加熱圧着される。なお、ガラス基板上に電子回路を搭載する技術は、COG(Chip on Glass )と呼ばれる。   In a display panel such as a liquid crystal display device, a transparent electrode using ITO (Indium Tin Oxide) is disposed on a glass substrate. An anisotropic conductive film may be used to connect the transparent electrode and an electronic circuit such as LSI (Large Scale Integration). An anisotropic conductive film (ACF) includes a large amount of conductive particles inside a resin, and mechanically connects the glass substrate and the LSI with the resin. Further, the transparent electrode and the LSI are electrically connected by the conductive particles. Hereinafter, the anisotropic conductive film is referred to as ACF. When an LSI is mounted on a glass plate using ACF, the LSI is heat-pressed to a glass substrate via the ACF. A technique for mounting an electronic circuit on a glass substrate is called COG (Chip on Glass).

特許文献1には、液晶表示パネルを作業テーブルに載置して、その液晶表示パネルの端子部上にACFを介してフレキシブル基板のリード部を配置し、その上から加熱圧着手段であるヒーターバーを押圧する接続方法が記載されている。   In Patent Document 1, a liquid crystal display panel is placed on a work table, a lead portion of a flexible substrate is disposed on a terminal portion of the liquid crystal display panel via an ACF, and a heater bar serving as a thermocompression bonding unit is formed thereon. A connection method for pressing is described.

加熱圧着によってLSIをガラス基板に搭載する従来の搭載方法の具体例について、図面を参照して説明する。図5は、LSIをガラス基板に搭載する従来の搭載方法を示す説明図である。ここでは、液晶表示パネルのガラス基板にLSIを搭載する場合を例にして説明する。図5(a)に示すように、液晶表示パネルは2枚のガラス基板1,2を備えている。ガラス基板1,2間には液晶(図示せず。)が封止され、各ガラス基板1,2の外側の面には偏光板11,12が設けられる。一方のガラス基板(以下、第1基板と記す。)1は、もう一方のガラス基板(以下、第2基板と記す。)2よりも大きく形成される。第1基板1において第2基板2から張り出した部分には、その2枚の基板1,2から透明電極(図示せず。)が引き出されている。そして、その部分にLSIが搭載される。   A specific example of a conventional mounting method for mounting an LSI on a glass substrate by thermocompression bonding will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is an explanatory view showing a conventional mounting method for mounting an LSI on a glass substrate. Here, a case where an LSI is mounted on a glass substrate of a liquid crystal display panel will be described as an example. As shown in FIG. 5A, the liquid crystal display panel includes two glass substrates 1 and 2. A liquid crystal (not shown) is sealed between the glass substrates 1 and 2, and polarizing plates 11 and 12 are provided on the outer surfaces of the glass substrates 1 and 2. One glass substrate (hereinafter referred to as a first substrate) 1 is formed larger than the other glass substrate (hereinafter referred to as a second substrate) 2. A transparent electrode (not shown) is drawn from the two substrates 1 and 2 at a portion of the first substrate 1 that protrudes from the second substrate 2. An LSI is mounted on that portion.

まず、第1基板1において透明電極が引き出されている部分にACF3を転写する(図5(a)参照。)。続いて、そのACF3上にLSI4を配置する(図5(b)参照。)。以上の工程は、例えば80℃以下の温度で行われる。   First, ACF 3 is transferred to a portion of the first substrate 1 where the transparent electrode is drawn (see FIG. 5A). Subsequently, the LSI 4 is arranged on the ACF 3 (see FIG. 5B). The above process is performed at a temperature of 80 ° C. or lower, for example.

LSI配置後、ガラス基板1およびLSI4を、ガラス基板を支える支持テーブル6と加熱を行うヒートツール5との間に配置し、LSI4をヒートツール5で加熱しながら支持テーブル6の方向に押圧する。例えば、ACF3としてAC8033を使用した場合、ヒートツール5の温度を230℃とし、80MPaで5秒間加圧する。このとき、第1基板1のヒートツール5側の面の熱膨張と支持テーブル6側の面の熱膨張との差を少なくするために、第1基板1に対して支持テーブル6側からも例えば50℃で加熱を行う。この処理によって、ACF3の樹脂が硬化し、LSI4は第1基板1に搭載される。なお、AC8033は、ACFの型番であり、ガラス転移温度(以下、Tgと記す。)が140℃の熱硬化型バインダ樹脂に、直径4μmの金めっきしたプラスチック粒子を混入したACFである。   After the placement of the LSI, the glass substrate 1 and the LSI 4 are placed between the support table 6 that supports the glass substrate and the heat tool 5 that performs heating, and the LSI 4 is pressed in the direction of the support table 6 while being heated by the heat tool 5. For example, when AC8033 is used as ACF3, the temperature of the heat tool 5 is set to 230 ° C., and pressure is applied at 80 MPa for 5 seconds. At this time, in order to reduce the difference between the thermal expansion of the surface on the heat tool 5 side of the first substrate 1 and the thermal expansion of the surface on the support table 6 side, for example, from the support table 6 side with respect to the first substrate 1 as well. Heat at 50 ° C. By this processing, the ACF 3 resin is cured, and the LSI 4 is mounted on the first substrate 1. AC8033 is an ACF model number, and is an ACF in which gold-plated plastic particles having a diameter of 4 μm are mixed in a thermosetting binder resin having a glass transition temperature (hereinafter referred to as Tg) of 140 ° C.

また、特許文献2には、TABとアレイ基板との間にACFを挟み、アレイ基板を石英板上に載置し、TAB側から加圧ツールで押圧するとともに石英板側から赤外線を照射してアレイ基板とTABとを電気的に接続させる液晶表示装置の製造方向が記載されている。   In Patent Document 2, an ACF is sandwiched between a TAB and an array substrate, the array substrate is placed on a quartz plate, pressed with a pressure tool from the TAB side, and irradiated with infrared rays from the quartz plate side. The manufacturing direction of the liquid crystal display device that electrically connects the array substrate and the TAB is described.

特開2006−19391号公報(段落0004−0008、図7)JP 2006-19391 A (paragraphs 0004-0008, FIG. 7) 特開2001−21911号公報(段落0015,0016、図1)JP 2001-21911 (paragraphs 0015 and 0016, FIG. 1)

図5に示した従来の搭載方法では、以下のような問題が生じる。図5に示すように第1基板1上にACF3を配置してその上にLSI4を配置する場合、LSI4配置時にLSI4が所望の位置からずれることも考慮し、ACF3はLSI4の配置位置の面積よりも広く配置されることがある。ヒートツール5からの熱は熱伝導によってLSI4を介してACF3に伝わる。この結果、ACF3のうちLSI4との接触部分は硬化しても、LSI4の周囲の部分は未硬化の状態のままとなってしまう。硬化していないACFが残っていると、ACFに残留している水分によって第1基板上の透明電極に電蝕が発生してしまうという問題が生じる。   The conventional mounting method shown in FIG. 5 has the following problems. As shown in FIG. 5, when the ACF 3 is arranged on the first substrate 1 and the LSI 4 is arranged thereon, the ACF 3 is determined from the area of the arrangement position of the LSI 4 in consideration of the LSI 4 being displaced from a desired position when the LSI 4 is arranged. May also be widely arranged. Heat from the heat tool 5 is transmitted to the ACF 3 via the LSI 4 by heat conduction. As a result, even if the portion of the ACF 3 that contacts the LSI 4 is cured, the portion around the LSI 4 remains uncured. If the uncured ACF remains, there is a problem in that electrolytic corrosion occurs on the transparent electrode on the first substrate due to moisture remaining in the ACF.

また、図5で例示した説明では、支持テーブル6側も50℃に加熱する場合を説明したが、支持テーブル6側を加熱したとしても、第1基板1におけるヒートツール5側の面の温度と支持テーブル6側の面の温度差により膨張量の差が生じる。また、ACF3が加熱によって硬化収縮することによっても、第1基板1に対する応力が生じる。このような第1基板1の両面の温度差やACF3の硬化収縮により、第1基板1に反りが生じることがある。すると、第1基板の反りによって表示パネルの表示に色むらが生じてしまうおそれがある。また、第1基板1にかかる応力が何らかの要因によって減少すると、ACF3が第1基板1から浮いてしまったり、断線が生じてしまったりするおそれがある。   In the description illustrated in FIG. 5, the case where the support table 6 side is also heated to 50 ° C. has been described. However, even if the support table 6 side is heated, the temperature of the surface on the heat tool 5 side of the first substrate 1 A difference in expansion occurs due to a temperature difference on the surface on the support table 6 side. Further, stress on the first substrate 1 is also generated when the ACF 3 is cured and contracted by heating. Such a temperature difference between both surfaces of the first substrate 1 and curing shrinkage of the ACF 3 may cause the first substrate 1 to warp. Then, there is a possibility that color unevenness occurs in the display of the display panel due to warpage of the first substrate. Further, if the stress applied to the first substrate 1 decreases due to some factor, the ACF 3 may float from the first substrate 1 or a disconnection may occur.

また、ACF3をLSI4の配置位置の面積よりも広く配置して、特許文献2に記載された方法のように赤外線で加熱した場合、LSI周辺部のACFの温度の方がより高温になり、先に硬化する。LSI周辺部のACFがLSI配置位置のACFよりも先に硬化すると、LSI配置位置のACFがLSI周辺部に流動しなくなる。すると、電導粒子を介してLSIを適切に圧着できなくなるため、LSI4と第1基板1上の電極との電気的接続が困難になるおそれがある。   In addition, when the ACF 3 is arranged wider than the area where the LSI 4 is arranged and heated with infrared rays as in the method described in Patent Document 2, the temperature of the ACF around the LSI becomes higher, so To harden. When the ACF at the LSI peripheral portion is hardened before the ACF at the LSI arrangement position, the ACF at the LSI arrangement position does not flow to the LSI peripheral portion. As a result, the LSI cannot be properly pressure-bonded via the conductive particles, which may make it difficult to electrically connect the LSI 4 and the electrode on the first substrate 1.

また、赤外線による加熱は温度管理が難しく、加熱温度が高すぎたり低すぎたりしてしまうことがある。この現象をオーバシュートという。   In addition, heating with infrared rays is difficult to control the temperature, and the heating temperature may be too high or too low. This phenomenon is called overshoot.

そこで、本発明は、電子回路の配置位置の面積よりACFを広く配置する場合であっても、電子回路と基板上の電極との電気的接続を保ちつつ電子回路周辺のACFを硬化させることができ、基板の反りを緩和することができる基板への電子回路の搭載方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention can cure the ACF around the electronic circuit while maintaining the electrical connection between the electronic circuit and the electrode on the substrate even when the ACF is arranged wider than the area of the electronic circuit. An object of the present invention is to provide a method for mounting an electronic circuit on a substrate that can alleviate the warpage of the substrate.

本発明の基板への電子回路の搭載方法は、電極が設けられた基板上に電子回路を配置して基板上の電極と電子回路を電気的に接続させる基板への電子回路の搭載方法であって、基板(例えば、第1基板1)の電極が設けられた部分に異方性導電膜を配置する異方性導電膜配置ステップ(例えばステップS1)と、異方性導電膜上に電子回路(例えばLSI4)を配置する電子回路配置ステップ(例えばステップS2)と、基板を支える第1のテーブル(例えば支持テーブル6)と、電子回路および基板と電子回路の間に介在する異方性導電膜を加熱しながら押圧する第1の加熱押圧手段(例えば第1のヒートツール5)との間に、電子回路を第1の加熱押圧手段側に向けて基板を配置し、第1の加熱押圧手段が電子回路を介して異方性導電膜を加熱しながら電子回路を基板側に押圧する第1加熱ステップ(例えばステップS3)と、赤外線が透過可能なテーブルである第2のテーブル(例えばガラステーブル8)と電子回路を加熱しながら押圧する第2の加熱押圧手段(例えば第2のヒートツール7)との間に、電子回路を第2の加熱押圧手段側に向けて基板を配置し、第2の加熱押圧手段が電子回路を加熱しながら電子回路を基板側に押圧するとともに、第2のテーブルの背面側から赤外線を照射する赤外線照射手段(例えばランプ9)から赤外線を照射して異方性導電膜を加熱する第2加熱ステップ(例えばステップS4)とを含むことを特徴とする。   The method for mounting an electronic circuit on a substrate according to the present invention is a method for mounting an electronic circuit on a substrate in which the electronic circuit is arranged on a substrate provided with electrodes and the electrodes on the substrate and the electronic circuit are electrically connected. An anisotropic conductive film disposing step (for example, step S1) for disposing an anisotropic conductive film on a portion of the substrate (for example, the first substrate 1) where an electrode is provided, and an electronic circuit on the anisotropic conductive film An electronic circuit placement step (eg, step S2) for placing (eg, LSI 4), a first table (eg, support table 6) that supports the substrate, and an anisotropic conductive film interposed between the electronic circuit and the substrate and the electronic circuit Between the first heating and pressing means (for example, the first heat tool 5) that presses while heating the substrate, the electronic circuit is arranged facing the first heating and pressing means, and the first heating and pressing means is provided. Is an anisotropic conductive film through an electronic circuit A first heating step (for example, step S3) that presses the electronic circuit toward the substrate side while heating, a second table (for example, a glass table 8) that is a table that can transmit infrared rays, and a second step that presses the electronic circuit while heating. A substrate is placed between the two heating and pressing means (for example, the second heat tool 7) with the electronic circuit facing the second heating and pressing means, and the second heating and pressing means heats the electronic circuit. A second heating step (for example, heating the anisotropic conductive film by irradiating infrared rays from an infrared irradiation means (for example, lamp 9) that irradiates infrared rays from the back side of the second table while pressing the electronic circuit toward the substrate side. Step S4).

第2のテーブルと赤外線照射手段との間に赤外線を遮断するシャッタ(例えばシャッタ25)を設け、赤外線照射手段に赤外線の照射を継続させておき、第2加熱ステップで赤外線による加熱を開始するときにシャッタを開き、赤外線による加熱を終了するときにシャッタを閉じることが好ましい。   When a shutter (for example, shutter 25) that blocks infrared rays is provided between the second table and the infrared irradiation means, and infrared irradiation is continued in the infrared irradiation means, and heating by infrared rays is started in the second heating step. It is preferable to open the shutter and close the shutter when heating by infrared rays is finished.

また、異方性導電膜配置ステップで、異方性導電膜を電子回路の配置位置の面積より広く配置し、第2加熱ステップで、第1加熱ステップ後に未硬化となっている電子回路の周辺よりはみ出した異方性導電膜を、赤外線を照射して加熱することが好ましい。   Further, in the anisotropic conductive film arranging step, the anisotropic conductive film is arranged wider than the area of the arrangement position of the electronic circuit, and in the second heating step, the periphery of the electronic circuit that is uncured after the first heating step. It is preferable to heat the protruding anisotropic conductive film by irradiating infrared rays.

本発明によれば、電子回路の配置位置の面積よりACFを広く配置する場合であっても、電子回路と基板上の電極との電気的接続を保ちつつ電子回路周辺のACFを硬化させることができ、基板の反りを緩和することができる。   According to the present invention, even when the ACF is arranged wider than the area where the electronic circuit is arranged, the ACF around the electronic circuit can be cured while maintaining the electrical connection between the electronic circuit and the electrode on the substrate. And warpage of the substrate can be reduced.

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1は、本発明の基板への電子回路の搭載方法を示す説明図である。また、図2は、本発明の基板への電子回路の搭載方法を示すフローチャートである。以下の説明では、液晶表示パネルが備えるガラス基板に電子回路であるLSIを搭載する場合を例にして説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory view showing a method of mounting an electronic circuit on a substrate according to the present invention. FIG. 2 is a flowchart showing a method for mounting an electronic circuit on a substrate according to the present invention. In the following description, a case where an LSI, which is an electronic circuit, is mounted on a glass substrate included in a liquid crystal display panel will be described as an example.

既に説明したように、液晶表示パネルは2枚のガラス基板1,2を備え、ガラス基板1,2間には液晶(図示せず。)が封止され、各ガラス基板1,2の外側の面には偏光板11,12が設けられる。以下、既に説明した場合と同様に、大きく形成されている方のガラス基板1を第1基板1と記し、もう一方のガラス基板2を第2基板2と記す。第1基板1において液晶が存在する領域の透明電極(図示せず。)は、第1基板1が第2基板2から張り出している部分21(以下、張り出し部分21と記す。)に引き出されている。同様に、第2基板2に設けられた透明電極(図示せず。)も張り出し部分21に引き出されている。すなわち、張り出し部分21には、各ガラス基板1,2から引き出された透明電極(図示せず。)が配置されている。本発明では、ACF(異方性導電膜)を介して、電子回路(本例ではLSI)を透明電極に接続させる。   As already described, the liquid crystal display panel includes two glass substrates 1 and 2, and a liquid crystal (not shown) is sealed between the glass substrates 1 and 2. Polarizers 11 and 12 are provided on the surface. Hereinafter, similarly to the case described above, the larger glass substrate 1 is referred to as a first substrate 1, and the other glass substrate 2 is referred to as a second substrate 2. A transparent electrode (not shown) in a region where the liquid crystal exists in the first substrate 1 is drawn out to a portion 21 (hereinafter referred to as a protruding portion 21) where the first substrate 1 extends from the second substrate 2. Yes. Similarly, a transparent electrode (not shown) provided on the second substrate 2 is also drawn out to the protruding portion 21. That is, a transparent electrode (not shown) drawn from the glass substrates 1 and 2 is disposed on the overhanging portion 21. In the present invention, an electronic circuit (LSI in this example) is connected to a transparent electrode via an ACF (anisotropic conductive film).

最初に、第1基板1の張り出し部分21の透明電極が設けられている部分にACF3を配置する(ステップS1)。図1(a)は、ステップS1後の液晶表示パネルの状態を示している。ステップS1では、例えば、転写によってACF3を配置する。また、ACF3は、LSIが配置される位置の面積(換言すれば、LSIの第1基板側の面の面積)よりも広く設けられる。   First, the ACF 3 is disposed in a portion where the transparent electrode of the protruding portion 21 of the first substrate 1 is provided (step S1). FIG. 1A shows the state of the liquid crystal display panel after step S1. In step S1, for example, the ACF 3 is arranged by transfer. The ACF 3 is provided wider than the area where the LSI is arranged (in other words, the area of the surface of the LSI on the first substrate side).

ステップS1の後、第1基板1に配置されたACF3上にLSI4を配置する(ステップS2)。図1(b)は、ステップS2後の液晶表示パネルの状態を示している。ACF3はLSI4の配置位置の面積よりも広く設けられているので、LSI4の配置位置が所望の位置からずれたとしてもACF3を介して第1基板1上の電極にLSI4を接続することができる。また、LSI4の周囲にもACF3が存在している。   After step S1, the LSI 4 is placed on the ACF 3 placed on the first substrate 1 (step S2). FIG. 1B shows the state of the liquid crystal display panel after step S2. Since the ACF 3 is provided wider than the area where the LSI 4 is arranged, the LSI 4 can be connected to the electrode on the first substrate 1 via the ACF 3 even if the arrangement position of the LSI 4 is deviated from a desired position. An ACF 3 is also present around the LSI 4.

例えば、ACF3としてAC8033(ACFの型番)を使用した場合、ステップS1,S2は、例えば80℃以下の温度で行われる。ただし、ここで示した「80℃以下」は例示であり、ACF3の種類に応じた温度であればよい。   For example, when AC8033 (ACF model number) is used as ACF3, steps S1 and S2 are performed at a temperature of 80 ° C. or less, for example. However, “80 ° C. or lower” shown here is an example, and any temperature corresponding to the type of ACF 3 may be used.

続いて、支持テーブル6とヒートツール5の間に第1基板1を配置し、ヒートツール5によってACF3を加熱しながら、LSI4を第1基板1側に押圧する(ステップS3)。図1(c)は、ステップS3における液晶表示パネルの状態を示している。   Subsequently, the first substrate 1 is disposed between the support table 6 and the heat tool 5, and the LSI 4 is pressed toward the first substrate 1 while the ACF 3 is heated by the heat tool 5 (step S3). FIG. 1C shows the state of the liquid crystal display panel in step S3.

支持テーブル6は、ヒートツール5との間に配置される第1基板1を下から支える。また、ヒートツール5は、電子回路および第1基板と電子回路の間に介在するACFをを加熱しながら押圧する装置である。以下、後述するステップS4で用いるヒートツールと区別して、ステップS3で用いるヒートツールを第1のヒートツールと記す。支持テーブル6と第1のヒートツール5の間に第1基板1を配置する場合、LSI4を第1のヒートツール5側に向け第1基板1を支持テーブル6側に向けて配置する。ステップS3では、このように支持テーブル6と第1のヒートツール5の間に第1基板1を配置し、第1のヒートツール5がACF3を加熱しながら、LSI4を第1基板1側に押圧する。   The support table 6 supports the 1st board | substrate 1 arrange | positioned between the heat tools 5 from the bottom. The heat tool 5 is a device that presses the electronic circuit and the ACF interposed between the first substrate and the electronic circuit while heating. Hereinafter, the heat tool used in step S3 is referred to as a first heat tool, as distinguished from the heat tool used in step S4 described later. When the first substrate 1 is disposed between the support table 6 and the first heat tool 5, the LSI 4 is disposed toward the first heat tool 5 and the first substrate 1 is disposed toward the support table 6. In step S3, the first substrate 1 is thus arranged between the support table 6 and the first heat tool 5, and the first heat tool 5 presses the LSI 4 toward the first substrate 1 while heating the ACF 3. To do.

また、支持テーブル6は、ヒータ等の加熱手段(図示せず。)を備え、その加熱手段により支持テーブル6自身も発熱する。支持テーブル6は、発熱することにより第1基板1のLSI4とは反対側の面を加熱する。   Further, the support table 6 includes heating means (not shown) such as a heater, and the support table 6 itself generates heat by the heating means. The support table 6 heats the surface of the first substrate 1 opposite to the LSI 4 by generating heat.

また、第1のヒートツール5は、ヒータ等の加熱手段(図示せず。)により発熱し、その熱がLSI4を介して伝導によってACF3に伝わる。すなわち、第1のヒートツール5は、LSI4を介して伝導によってACF3を加熱する。この結果、ステップS3では、LSI4に接触しているACF3が第1のヒートツール5によって加熱されて硬化する。   The first heat tool 5 generates heat by a heating means (not shown) such as a heater, and the heat is transmitted to the ACF 3 through the LSI 4 by conduction. That is, the first heat tool 5 heats the ACF 3 by conduction through the LSI 4. As a result, in step S3, the ACF 3 that is in contact with the LSI 4 is heated by the first heat tool 5 and cured.

例えば、ACF3としてAC8033を使用した場合、ステップS3において第1のヒートツール5の温度を230℃とし、80MPaで5秒間加圧すればよい。また、支持テーブル6の温度は50℃とすればよい。   For example, when AC8033 is used as ACF3, the temperature of the first heat tool 5 may be set to 230 ° C. in step S3 and pressurized at 80 MPa for 5 seconds. Moreover, the temperature of the support table 6 should just be 50 degreeC.

なお、本発明で用いるACFは上記のACF(AC8033)に限定されない。また、ステップS3における第1のヒートツール5の温度、圧力および押圧時間、支持テーブル6の発熱温度も、上記の例に限定されない。ただし、支持テーブル6の発熱温度は、第1のヒートツール5の温度よりも低い。   The ACF used in the present invention is not limited to the above ACF (AC8033). Further, the temperature, pressure and pressing time of the first heat tool 5 and the heat generation temperature of the support table 6 in step S3 are not limited to the above example. However, the heat generation temperature of the support table 6 is lower than the temperature of the first heat tool 5.

ステップS3では、LSI4に接触しているACF3は第1のヒートツール5によって加熱されて硬化するが、LSI4の周囲のACF3は未硬化のままである。また、支持テーブル6の発熱温度は第1のヒートツール5の温度よりも低く、第1基板1におけるLSI4の配置位置の温度は第1基板1の反対側の面の温度よりも高い。また、ACF3の硬化収縮により第1基板1への応力が生じる。この結果、ステップS3終了時には、第1基板1の反りの要因となる応力が残留している。   In step S3, the ACF 3 in contact with the LSI 4 is heated and cured by the first heat tool 5, but the ACF 3 around the LSI 4 remains uncured. Further, the heat generation temperature of the support table 6 is lower than the temperature of the first heat tool 5, and the temperature of the arrangement position of the LSI 4 on the first substrate 1 is higher than the temperature of the opposite surface of the first substrate 1. In addition, stress on the first substrate 1 is generated due to cure shrinkage of the ACF 3. As a result, at the end of step S3, the stress that causes the warp of the first substrate 1 remains.

ステップS3の直後、液晶表示パネルを支持テーブル6からガラステーブルに移動し、ガラステーブル上で再度加熱する(ステップS4)。図1(d)は、ステップS4における液晶表示パネルの状態を示している。   Immediately after step S3, the liquid crystal display panel is moved from the support table 6 to the glass table and heated again on the glass table (step S4). FIG. 1D shows the state of the liquid crystal display panel in step S4.

また、図3は、ステップS3からステップS4における液晶表示パネルの移動を示す説明図である。なお、図3は、各テーブル上に配置された液晶表示パネルの上面図であり、ステップS3,S4で用いる各ヒートツールの図示を省略している。図3(a)に示すようにステップS3で支持テーブル6上に配置されていた液晶表示装置の第1基板1を、ステップS4ではガラステーブル8上に移動させる(図3(b)参照。)。   FIG. 3 is an explanatory diagram showing movement of the liquid crystal display panel from step S3 to step S4. FIG. 3 is a top view of the liquid crystal display panel arranged on each table, and illustration of each heat tool used in steps S3 and S4 is omitted. As shown in FIG. 3A, the first substrate 1 of the liquid crystal display device that has been placed on the support table 6 in step S3 is moved onto the glass table 8 in step S4 (see FIG. 3B). .

ステップS4では、液晶表示パネルの第1基板1をガラステーブル8と第2のヒートツール7の間に配置し、第2のヒートツール7によってLSI4を加熱しながらLSI4を第1基板1に押圧する。また、ガラステーブル8の背面側からランプ9により赤外線(infra-red :IR)を照射し、ガラステーブル8側から赤外線によってACF3に対する加熱を行う。   In step S4, the first substrate 1 of the liquid crystal display panel is disposed between the glass table 8 and the second heat tool 7, and the LSI 4 is pressed against the first substrate 1 while the LSI 4 is heated by the second heat tool 7. . Moreover, infrared rays (infra-red: IR) are irradiated from the back side of the glass table 8 by the lamp 9, and the ACF 3 is heated by infrared rays from the glass table 8 side.

ガラステーブル8は、赤外線が透過可能なテーブルであり、第2のヒートツール7との間に配置される第1基板1を下から支える。ガラステーブル8は、例えば石英ガラス、耐熱ガラスを材料に形成されるが、赤外線が透過可能な材料で形成されていてば他の材料であってもよい。   The glass table 8 is a table capable of transmitting infrared rays, and supports the first substrate 1 disposed between the second heat tool 7 from below. The glass table 8 is made of, for example, quartz glass or heat-resistant glass, but may be other materials as long as it is made of a material that can transmit infrared rays.

第2のヒートツール7は、第1のヒートツール5と同様のヒートツールであり、第1基板1上に搭載されたLSI等の電子回路を加熱しながら押圧する。   The second heat tool 7 is the same heat tool as the first heat tool 5 and presses an electronic circuit such as an LSI mounted on the first substrate 1 while heating.

ガラステーブル8と第2のヒートツール7との間に第1基板1を配置する場合、LSI4を第2のヒートツール7側に向け第1基板1をガラステーブル8側に向けて配置する(図1(d)参照。)。   When the first substrate 1 is disposed between the glass table 8 and the second heat tool 7, the LSI 4 is disposed on the second heat tool 7 side, and the first substrate 1 is disposed on the glass table 8 side (FIG. 1 (d).)

また、図1(d)に示すように、ガラステーブル8の背面側(換言すれば、ガラステーブル8を中心にして液晶表示パネルとは反対側)には、赤外線を照射するランプ9が設置されている。ステップS4では、ガラステーブル8と第2のヒートツール7との間に第1基板1を配置した状態で、ランプ9が照射する赤外線をガラステーブル8および第1基板1を介してACF3に照射してACF3を加熱する。   Further, as shown in FIG. 1 (d), a lamp 9 for irradiating infrared rays is installed on the back side of the glass table 8 (in other words, on the opposite side of the glass table 8 from the liquid crystal display panel). ing. In step S <b> 4, with the first substrate 1 disposed between the glass table 8 and the second heat tool 7, the infrared rays irradiated by the lamp 9 are irradiated to the ACF 3 through the glass table 8 and the first substrate 1. To heat ACF3.

ここで、赤外線によるACF3の加熱開始および終了について説明する。図4は、ランプが照射する赤外線による加熱開始および終了を示す説明図である。図4に示すようにガラステーブル8とランプ9との間には開閉可能なシャッタ(遮蔽板)25が設けられている。図4(a)はシャッタ25が閉じた状態を表し、図4(b)はシャッタ25が開いた状態を表している。シャッタ25は、閉じた状態においてランプ9が照射する赤外線を遮断し、赤外線はガラステーブル8に到達しない。一方、シャッタ25が開いた状態ではランプ9が照射する赤外線はガラステーブル8に到達する。   Here, the heating start and end of the ACF 3 by infrared rays will be described. FIG. 4 is an explanatory diagram showing the start and end of heating by infrared rays irradiated by the lamp. As shown in FIG. 4, an openable / closable shutter (shielding plate) 25 is provided between the glass table 8 and the lamp 9. 4A shows a state where the shutter 25 is closed, and FIG. 4B shows a state where the shutter 25 is opened. When the shutter 25 is closed, the infrared rays emitted from the lamp 9 are blocked, and the infrared rays do not reach the glass table 8. On the other hand, in the state where the shutter 25 is opened, the infrared rays emitted from the lamp 9 reach the glass table 8.

ランプ9は、ステップS4においてガラステーブル8に第1基板1(図4において図示せず。)が配置される前から、ガラステーブル8上の第1基板1を移動させた後まで赤外線の照射を継続する。   The lamp 9 emits infrared light from before the first substrate 1 (not shown in FIG. 4) is arranged on the glass table 8 in step S4 to after the first substrate 1 on the glass table 8 is moved. continue.

ガラステーブル8に第1基板1が配置される前の時点では、シャッタ25は閉じた状態(図4(a)参照。)となっている。すなわち、ランプ9が照射する赤外線をランプ9およびガラステーブル8の間で遮断している。この結果、赤外線はガラステーブル8に到達しない。第1基板1がガラステーブル8上に配置された後、シャッタ25を開くことで第1基板1上のACF3(図4において図示せず。図1(d)参照。)への赤外線照射による加熱を開始する。また、ACF3への赤外線照射による加熱を停止する場合は、シャッタ25を閉じることによって停止する。その後も、ランプ9は赤外線の照射を継続する。   Before the first substrate 1 is placed on the glass table 8, the shutter 25 is in a closed state (see FIG. 4A). That is, the infrared rays irradiated by the lamp 9 are blocked between the lamp 9 and the glass table 8. As a result, infrared rays do not reach the glass table 8. After the first substrate 1 is placed on the glass table 8, the shutter 25 is opened to heat the ACF 3 (not shown in FIG. 4; see FIG. 1 (d)) on the first substrate 1 by infrared irradiation. To start. Further, when the heating of the ACF 3 by the infrared irradiation is stopped, the heating is stopped by closing the shutter 25. Thereafter, the lamp 9 continues to be irradiated with infrared rays.

ステップS4では、ACF3の温度が、ACF3に含まれる樹脂のガラス転移温度Tg以上になるように赤外線による加熱を行う。   In step S4, heating with infrared rays is performed so that the temperature of ACF3 is equal to or higher than the glass transition temperature Tg of the resin contained in ACF3.

ACF3に対して赤外線照射による加熱を行う際に、第2のヒートツール7によるLSI4への加熱も行いながらLSI4を第1基板1側に押圧する。   When the ACF 3 is heated by infrared irradiation, the LSI 4 is pressed toward the first substrate 1 while the LSI 4 is heated by the second heat tool 7.

このように、ステップS4では、赤外線照射によるACF3への加熱と、第2のヒートツール7によるLSI4への加熱および押圧とを同時に行う。ステップS4における第2のヒートツール7の温度は、赤外線が照射されている第1基板1のガラステーブル側の面の温度よりも低く設定する。また、第1基板1の反りが最も小さくなる第2のヒートツール7の温度を実験的に求め、その温度に設定してもよい。   As described above, in step S4, heating of the ACF 3 by infrared irradiation and heating and pressing of the LSI 4 by the second heat tool 7 are performed simultaneously. The temperature of the 2nd heat tool 7 in step S4 is set lower than the temperature of the surface at the side of the glass table of the 1st board | substrate 1 with which infrared rays are irradiated. Alternatively, the temperature of the second heat tool 7 that minimizes the warp of the first substrate 1 may be obtained experimentally and set to that temperature.

ステップS4での赤外線照射による加熱は伝導ではなく、輻射によって行われる。従って、ACF3全体を加熱するので、LSI4の周囲の未硬化のACFも加熱する。よって、ACF3全体を硬化させることができる。   The heating by the infrared irradiation in step S4 is performed not by conduction but by radiation. Accordingly, since the entire ACF 3 is heated, the uncured ACF around the LSI 4 is also heated. Therefore, the entire ACF 3 can be cured.

特に、LSI4が配置された面とは反対側から赤外線を照射することで、LSI4の配置位置におけるACF3の温度よりも、LSI4の周囲のACF3の温度を高くすることができる。LSI4の周囲のACF3の温度が、LSI4の配置位置のACF3の温度より高くなる理由は以下のように推測される。LSI4の配置位置のACF3の厚さは15μm程度に薄くなっている。その結果、ガラステーブル8および第1基板1を透過した赤外線はACF3も透過してLSI4に到達し散乱する。そして、LSI4の外周の端部で散乱した赤外線はLSI4の周辺部のACF3に到達する。従って、LSI4の周辺部にはガラステーブル8および第1基板1を透過して直接入射する赤外線と、LSI4で散乱した赤外線とがそれぞれ到達し、その結果、LSI4周辺部のACF3はより高温になると推測される。   In particular, by irradiating infrared rays from the side opposite to the surface on which the LSI 4 is disposed, the temperature of the ACF 3 around the LSI 4 can be made higher than the temperature of the ACF 3 at the position where the LSI 4 is disposed. The reason why the temperature of the ACF 3 around the LSI 4 is higher than the temperature of the ACF 3 at the position where the LSI 4 is arranged is estimated as follows. The thickness of the ACF 3 at the position where the LSI 4 is arranged is as thin as about 15 μm. As a result, the infrared light transmitted through the glass table 8 and the first substrate 1 also passes through the ACF 3 and reaches the LSI 4 and is scattered. The infrared light scattered at the outer peripheral edge of the LSI 4 reaches the ACF 3 in the peripheral part of the LSI 4. Therefore, the infrared rays that are directly incident through the glass table 8 and the first substrate 1 and the infrared rays scattered by the LSI 4 reach the peripheral portion of the LSI 4, and as a result, the ACF 3 in the peripheral portion of the LSI 4 becomes higher in temperature. Guessed.

また、ステップS3の後には、ステップS3におけるACF3の硬化収縮で生じた応力が残っている。しかし、ステップS4で赤外線を照射してACF3に対する再加熱を行い、ACF3をガラス転移温度Tg以上の温度にすることで、ステップS3で生じた応力を解放することができる。このとき、LSI4は第2のヒートツール7によって第1基板1側に押圧されている。従って、LSI4と第1基板1との接続に寄与しているACF3をガラス転移温度Tg以上に再加熱しても、LSI4と第1基板1との接続状態が不安定になることを防止できる。さらに、上述のように、LSI4の周囲のACF3の温度はLSI4配置位置のACF3の温度より高くなるので、LSI周辺部の基板の歪みを緩和して、基板全体の歪みを緩和することができる。   Further, after step S3, the stress generated by the hardening shrinkage of ACF3 in step S3 remains. However, the stress generated in step S3 can be released by irradiating infrared rays in step S4 to reheat ACF3 and setting ACF3 to a temperature equal to or higher than the glass transition temperature Tg. At this time, the LSI 4 is pressed toward the first substrate 1 by the second heat tool 7. Therefore, even if the ACF 3 contributing to the connection between the LSI 4 and the first substrate 1 is reheated to the glass transition temperature Tg or higher, the connection state between the LSI 4 and the first substrate 1 can be prevented from becoming unstable. Further, as described above, since the temperature of the ACF 3 around the LSI 4 is higher than the temperature of the ACF 3 at the position where the LSI 4 is arranged, the distortion of the substrate around the LSI can be alleviated and the distortion of the entire substrate can be alleviated.

また、ステップS4では、赤外線照射を行うとともに第2のヒートツール7による加熱も行う。従って、第1基板1の両面の熱膨張差を低減し、第1基板の反りの発生を抑えることができる。さらに、赤外線照射で加熱されたACF3の熱がLSI4を介して外部に逃げてしまいACF3の温度が低下してしまうことを防止できる。   In step S4, infrared irradiation is performed and heating by the second heat tool 7 is also performed. Therefore, the difference in thermal expansion between both surfaces of the first substrate 1 can be reduced, and the occurrence of warpage of the first substrate can be suppressed. Furthermore, it is possible to prevent the heat of ACF 3 heated by infrared irradiation from escaping to the outside through LSI 4 and the temperature of ACF 3 from being lowered.

また、赤外線照射による加熱は、ステップS3の直後に行う。よって、LSI4の配置位置のACF3を周辺部に流動させつつ、LSI4の配置位置のACF3を硬化し、その後ステップS4で周辺部のACF3を硬化させることができ、伝導粒子を介したLSI4の第1基板への圧着を適切に行うことができる。ステップ3の処理を行わずにステップS4を行うとすると、より高温になるLSI4の周辺部が先に硬化し、LSI4の配置位置のACF3の流動が妨げられ、LSI4を適切に圧着できずLSI4と第1基板1上の電極との電気的接続が困難になるおそれがある。しかし、本発明では、ステップS3の後にステップS4を行うので、LSI4と第1基板1上の電極との電気的接続を確実に行うことができる。   Moreover, the heating by infrared irradiation is performed immediately after step S3. Therefore, the ACF 3 at the position where the LSI 4 is disposed can be cured while the ACF 3 at the position where the LSI 4 is disposed is flowed to the peripheral portion, and then the ACF 3 at the peripheral portion can be cured at step S4. Pressure bonding to the substrate can be performed appropriately. If step S4 is performed without performing the process of step 3, the peripheral portion of the LSI 4 that is at a higher temperature is hardened first, the flow of the ACF 3 at the position where the LSI 4 is disposed is hindered, and the LSI 4 cannot be properly crimped. There is a possibility that electrical connection with the electrode on the first substrate 1 becomes difficult. However, in the present invention, since step S4 is performed after step S3, electrical connection between the LSI 4 and the electrode on the first substrate 1 can be reliably performed.

以上のように、ステップS4では、LSI4の周辺部のACF3が硬化し、第1基板1の反りが緩和される。   As described above, in step S4, the ACF 3 in the peripheral portion of the LSI 4 is cured, and the warp of the first substrate 1 is alleviated.

ステップS4の結果、ACF3全体が硬化した状態の液晶表示パネルが得られる。   As a result of step S4, a liquid crystal display panel in which the entire ACF 3 is cured is obtained.

ステップS4を終了するときには、図4(a)に示すようにシャッタ25を閉じた状態とすることによって、ACF3への赤外線照射を停止する。また、第2のヒートツール7による押圧も停止して、液晶表示パネルをガラステーブル8から取り外す。赤外線照射はシャッタ25を閉じることで停止させるが、ランプ9は赤外線照射を継続する。   When step S4 is completed, infrared irradiation to the ACF 3 is stopped by closing the shutter 25 as shown in FIG. Further, the pressing by the second heat tool 7 is also stopped, and the liquid crystal display panel is removed from the glass table 8. Although the infrared irradiation is stopped by closing the shutter 25, the lamp 9 continues the infrared irradiation.

以上のように、本発明によれば、ステップS3の後にステップS4で赤外線照射を行うので、輻射によりACF3全体を加熱し、ACF3全体を硬化させることができる。よって、未硬化のACFに起因する第1基板1上の透明電極の電蝕を防止できる。   As described above, according to the present invention, since infrared irradiation is performed in step S4 after step S3, the entire ACF 3 can be heated by radiation to cure the entire ACF 3. Therefore, the electrolytic corrosion of the transparent electrode on the first substrate 1 due to the uncured ACF can be prevented.

また、ステップS4ではACF3をガラス転移温度Tg以上の温度にするので、ステップS3で生じた応力を解放することができ、反りを緩和することができる。従って、反りによる液晶表示パネルの色むらの発生や、LSI4の搭載後に応力が解放されて生じる断線を防止することができる。   In step S4, since ACF3 is set to a temperature equal to or higher than the glass transition temperature Tg, the stress generated in step S3 can be released and the warpage can be reduced. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of color unevenness of the liquid crystal display panel due to warping and the disconnection caused by the release of stress after the LSI 4 is mounted.

また、ステップS3においてLSI4の配置位置のACF3を硬化させてから、ステップS3でLSI4の周辺部のACF3を硬化させるので、LSI4と第1基板1上の電極との電気的接続を確実に行うことができる。   Further, since the ACF 3 at the position where the LSI 4 is arranged is cured in step S3, and the ACF 3 in the peripheral portion of the LSI 4 is cured in step S3, the electrical connection between the LSI 4 and the electrode on the first substrate 1 is ensured. Can do.

また、本発明では、ランプ9は赤外線の照射を継続し、シャッタ25を開くことでACF3に対する赤外線照射を開始し、シャッタ25を閉じることでACF3に対する赤外線照射を停止する。従って、ランプ9の状態は変化しないので、ACF3の温度管理が容易になり、オーバシュートを防止することができる。シャッタ25を用いずにランプ9自体を消灯状態から点灯状態に変化させることで赤外線照射を開始し、ランプ9自体を点灯状態から消灯状態に変化させることで赤外線照射を停止すると、ACF3の温度管理が難しく、オーバシュートが発生しやすくなってしまう。よって、上述のように、ランプ9は赤外線の照射を継続して、シャッタ25を開くことでACF3に対する赤外線照射を開始し、シャッタ25を閉じることでACF3に対する赤外線照射を停止することが好ましい。   In the present invention, the lamp 9 continues to irradiate infrared rays, opens the shutter 25, starts infrared irradiation to the ACF3, and closes the shutter 25 to stop infrared irradiation to the ACF3. Accordingly, since the state of the lamp 9 does not change, the temperature management of the ACF 3 is facilitated and overshoot can be prevented. When the infrared irradiation is started by changing the lamp 9 itself from the unlit state to the lit state without using the shutter 25 and the infrared irradiation is stopped by changing the lamp 9 itself from the lit state to the unlit state, the temperature control of the ACF 3 is performed. Is difficult and overshoot is likely to occur. Therefore, as described above, it is preferable that the lamp 9 continues the infrared irradiation, starts the infrared irradiation on the ACF 3 by opening the shutter 25, and stops the infrared irradiation on the ACF 3 by closing the shutter 25.

また、ステップS3の工程とステップS4の工程とを別々のテーブルで行うので、複数の液晶表示パネルに対するLSIの搭載を連続して行うことができ、タクト(液晶表示パネル1個にLSIを搭載する時間)の悪化を防止することができる。   Further, since the process of step S3 and the process of step S4 are performed on separate tables, it is possible to continuously mount LSIs on a plurality of liquid crystal display panels, and tact (mounting LSIs on one liquid crystal display panel) Time) can be prevented.

また、本発明ではステップS3の後ステップS4でACF3を再加熱するが、この再加熱は赤外線の照射によって行っている。よって、ステップS4で用いるテーブル(ガラステーブル8)の歪みの発生を抑えることができる。   In the present invention, the ACF 3 is reheated in step S4 after step S3. This reheating is performed by irradiation with infrared rays. Therefore, generation | occurrence | production of the distortion of the table (glass table 8) used by step S4 can be suppressed.

仮にACFのガラス転移温度が高い(例えば140℃)であるとする。赤外線照射によらずに、ACFを140℃以上にするとすると、第1基板1の透明電極側を160℃に加熱する必要が生じる。赤外線照射ではなく熱伝導でACFを加熱するとすると、伝導過程での熱の放射を考慮しステップS4で用いるテーブル側の熱源温度は200℃以上にしなければならない。すると、ステップS4で用いるテーブルが備える熱源近辺と熱源から離れた箇所での温度差によって、テーブルに歪みが生じ、テーブルとステップS4で用いる第2のヒートツール7との平衡度を維持しにくくなる。本発明では、ステップS4において、ガラステーブル8および第1基板1を介して赤外線を照射し、輻射によってACF3を加熱する。よって、上記のようなテーブルの変形を防止することができる。   Suppose that the glass transition temperature of ACF is high (for example, 140 ° C.). If the ACF is 140 ° C. or higher regardless of infrared irradiation, the transparent electrode side of the first substrate 1 needs to be heated to 160 ° C. When the ACF is heated not by infrared irradiation but by heat conduction, the heat source temperature on the table side used in step S4 must be 200 ° C. or higher in consideration of heat radiation in the conduction process. Then, the table is distorted due to the temperature difference between the vicinity of the heat source included in the table used in step S4 and the location away from the heat source, and it is difficult to maintain the balance between the table and the second heat tool 7 used in step S4. . In the present invention, in step S4, infrared rays are irradiated through the glass table 8 and the first substrate 1, and the ACF 3 is heated by radiation. Therefore, the above-described table deformation can be prevented.

本発明は、表示パネルが備える基板上への電子回路の搭載に好適に適用可能である。   The present invention can be suitably applied to mounting an electronic circuit on a substrate included in a display panel.

本発明の基板への電子回路の搭載方法を示す説明図。Explanatory drawing which shows the mounting method of the electronic circuit to the board | substrate of this invention. 本発明の基板への電子回路の搭載方法を示すフローチャート。4 is a flowchart showing a method for mounting an electronic circuit on a substrate according to the present invention. ステップS3からステップS4における液晶表示パネルの移動を示す説明図。Explanatory drawing which shows the movement of the liquid crystal display panel in step S3 to step S4. ランプが照射する赤外線による加熱開始および終了を示す説明図。Explanatory drawing which shows the heating start and completion | finish by the infrared rays which a lamp irradiates. LSIをガラス基板に搭載する従来の搭載方法を示す説明図。Explanatory drawing which shows the conventional mounting method which mounts LSI on a glass substrate.

符号の説明Explanation of symbols

1 第1基板(ガラス基板)
3 ACF(異方性導電膜)
4 LSI
5 第1のヒートツール
6 支持テーブル
7 第2のヒートツール
8 ガラステーブル
1 First substrate (glass substrate)
3 ACF (anisotropic conductive film)
4 LSI
5 First Heat Tool 6 Support Table 7 Second Heat Tool 8 Glass Table

Claims (3)

電極が設けられた基板上に電子回路を配置して基板上の電極と電子回路を電気的に接続させる基板への電子回路の搭載方法であって、
基板の電極が設けられた部分に異方性導電膜を配置する異方性導電膜配置ステップと、
異方性導電膜上に電子回路を配置する電子回路配置ステップと、
基板を支える第1のテーブルと、電子回路および基板と電子回路の間に介在する異方性導電膜を加熱しながら押圧する第1の加熱押圧手段との間に、電子回路を第1の加熱押圧手段側に向けて基板を配置し、第1の加熱押圧手段が電子回路を介して異方性導電膜を加熱しながら電子回路を基板側に押圧する第1加熱ステップと、
赤外線が透過可能なテーブルである第2のテーブルと電子回路を加熱しながら押圧する第2の加熱押圧手段との間に、電子回路を第2の加熱押圧手段側に向けて基板を配置し、第2の加熱押圧手段が電子回路を加熱しながら電子回路を基板側に押圧するとともに、第2のテーブルの背面側から赤外線を照射する赤外線照射手段から赤外線を照射して異方性導電膜を加熱する第2加熱ステップとを含む
ことを特徴とする基板への電子回路の搭載方法。
A method of mounting an electronic circuit on a substrate, wherein the electronic circuit is disposed on a substrate provided with an electrode, and the electrode on the substrate and the electronic circuit are electrically connected to each other.
An anisotropic conductive film disposing step of disposing an anisotropic conductive film in a portion of the substrate where the electrode is provided;
An electronic circuit placement step of placing an electronic circuit on the anisotropic conductive film;
Between the first table that supports the substrate and the first heating and pressing means that presses the electronic circuit and the anisotropic conductive film interposed between the substrate and the electronic circuit while heating the first heating of the electronic circuit. A first heating step in which the substrate is arranged toward the pressing means side, and the first heating pressing means presses the electronic circuit to the substrate side while heating the anisotropic conductive film via the electronic circuit;
Between the second table, which is a table through which infrared rays can be transmitted, and the second heating and pressing means that presses the electronic circuit while heating, the substrate is disposed with the electronic circuit facing the second heating and pressing means, The second heating and pressing means presses the electronic circuit to the substrate side while heating the electronic circuit, and the infrared conductive film is irradiated with infrared rays from the infrared irradiation means that irradiates infrared rays from the back side of the second table. And a second heating step of heating. A method of mounting an electronic circuit on a substrate.
第2のテーブルと赤外線照射手段との間に赤外線を遮断するシャッタを設け、赤外線照射手段に赤外線の照射を継続させておき、第2加熱ステップで赤外線による加熱を開始するときにシャッタを開き、赤外線による加熱を終了するときにシャッタを閉じる
請求項1に記載の基板への電子回路の搭載方法。
A shutter for blocking infrared rays is provided between the second table and the infrared irradiation means, the infrared irradiation means is continuously irradiated with infrared rays, and the shutter is opened when heating by infrared rays is started in the second heating step, The method for mounting an electronic circuit on a substrate according to claim 1, wherein the shutter is closed when heating by infrared rays is finished.
異方性導電膜配置ステップで、異方性導電膜を電子回路の配置位置の面積より広く配置し、
第2加熱ステップで、第1加熱ステップ後に未硬化となっている電子回路の周辺よりはみ出した異方性導電膜を、赤外線を照射して加熱する
請求項1または請求項2に記載の基板への電子回路の搭載方法。
In the anisotropic conductive film placement step, the anisotropic conductive film is placed wider than the area of the placement position of the electronic circuit,
The substrate according to claim 1 or 2, wherein in the second heating step, the anisotropic conductive film protruding from the periphery of the uncured electronic circuit after the first heating step is heated by irradiation with infrared rays. Mounting method of electronic circuit.
JP2007091154A 2007-03-30 2007-03-30 Method of mounting electronic circuit on substrate Expired - Fee Related JP5144102B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007091154A JP5144102B2 (en) 2007-03-30 2007-03-30 Method of mounting electronic circuit on substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007091154A JP5144102B2 (en) 2007-03-30 2007-03-30 Method of mounting electronic circuit on substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008251827A true JP2008251827A (en) 2008-10-16
JP5144102B2 JP5144102B2 (en) 2013-02-13

Family

ID=39976429

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007091154A Expired - Fee Related JP5144102B2 (en) 2007-03-30 2007-03-30 Method of mounting electronic circuit on substrate

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5144102B2 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62245640A (en) * 1986-04-18 1987-10-26 Hitachi Ltd Manufacture of semiconductor device and equipment thereof
JPH05144878A (en) * 1991-11-22 1993-06-11 Seiko Epson Corp Joining method, device, and structure
JP2002249751A (en) * 2001-02-13 2002-09-06 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Joining method and joining device
WO2007015367A1 (en) * 2005-08-04 2007-02-08 Hitachi Chemical Co., Ltd. Process for producing junction structure

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62245640A (en) * 1986-04-18 1987-10-26 Hitachi Ltd Manufacture of semiconductor device and equipment thereof
JPH05144878A (en) * 1991-11-22 1993-06-11 Seiko Epson Corp Joining method, device, and structure
JP2002249751A (en) * 2001-02-13 2002-09-06 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Joining method and joining device
WO2007015367A1 (en) * 2005-08-04 2007-02-08 Hitachi Chemical Co., Ltd. Process for producing junction structure

Also Published As

Publication number Publication date
JP5144102B2 (en) 2013-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6654278B2 (en) Equipment and manufacturing method thereof
US20110012873A1 (en) Display modules
JP2002249751A (en) Joining method and joining device
TWI540591B (en) A connection method, a method of manufacturing a connector, and a linker
JP6679320B2 (en) Connection body manufacturing method, electronic component connection method
US10276592B2 (en) Display substrate, method of fabricating the same, display panel and pressure welding device
TW201535052A (en) Anisotropic conductive adhesive, method for producing connector and method for connecting electronic component
KR101189290B1 (en) Bonding method and apparatus
WO2013121858A1 (en) Method for manufacturing connector, and connection method
JP5144102B2 (en) Method of mounting electronic circuit on substrate
JP2015142120A (en) Method of manufacturing connection body, and connection method and connection device of electronic component
JPH0541091U (en) Anisotropic conductive crimping device
JP3645067B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
TW201345724A (en) Method for manufacturing connecting body, and method for connecting electronic component
KR101882233B1 (en) An apparatus for removing thermal deformation of a polarizing film of a flexible display in laser bonding
JP3733202B2 (en) Manufacturing method and manufacturing apparatus for liquid crystal display device
JP3651471B2 (en) Liquid crystal display manufacturing equipment
JP3925535B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
CN218413136U (en) Laminating device
JP3968322B2 (en) Manufacturing method and manufacturing apparatus for liquid crystal display device
JP2012079807A (en) Semiconductor device manufacturing method
JP6829219B2 (en) Laminating method and laminating device
JP2006229106A (en) Semiconductor device and method and apparatus for mounting the same
WO2015068433A1 (en) Press-bonding device and method for producing display device
JP2004086010A (en) Device and method for manufacturing display element

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100319

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110304

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120117

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120223

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121030

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121122

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151130

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5144102

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees