JP2008248835A - Pump - Google Patents

Pump Download PDF

Info

Publication number
JP2008248835A
JP2008248835A JP2007092785A JP2007092785A JP2008248835A JP 2008248835 A JP2008248835 A JP 2008248835A JP 2007092785 A JP2007092785 A JP 2007092785A JP 2007092785 A JP2007092785 A JP 2007092785A JP 2008248835 A JP2008248835 A JP 2008248835A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
check valve
diaphragm
shaft
pump chamber
actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2007092785A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takuya Kato
拓也 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Priority to JP2007092785A priority Critical patent/JP2008248835A/en
Priority to CN2008100878773A priority patent/CN101275550B/en
Publication of JP2008248835A publication Critical patent/JP2008248835A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pump, of which the whole length is set to be small and the good fluid suction/discharge performance is secured. <P>SOLUTION: The pump has a diaphragm 9 disposed in a pump chamber 12, and an actuator having a drive member 1b driving the diaphragm 9 and a shaft 1a operating the drive member 1b. Fluid is sucked into the pump chamber 12, and is discharged from the pump chamber 12 by the drive of the diaphragm 9. The pump is constituted of: a suction passage 3a guiding the fluid into the pump chamber 12 and a discharge passage 3b guiding the fluid in the pump chamber 12 to the outside, which are extended in a direction orthogonal to a movement direction of the shaft 1a of the actuator 1; and valve elements disposed to be relative to each of the intake passage 3a and the discharge passage 3b, that is, a first check valve 6 and a second check valve 7. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ポンプ室内に駆動可能なダイアフラムを備え、電子機器用ポンプや燃料供給ポンプに好適なポンプに関する。   The present invention relates to a pump that includes a driveable diaphragm in a pump chamber and is suitable for an electronic device pump or a fuel supply pump.

この種の従来技術として、例えば特許文献1に示されるものがある。この特許文献1に示される従来技術は、ポンプ室と、このポンプ室内に配置され、互いに反対側に位置する2つの端部が保持されるダイアフラムと、このダイアフラムを駆動する駆動部材とを備えている。駆動部材は、磁場駆動機構部を構成するアクチュエータの軸の先端部分に形成されている。また、それぞれアクチュエータの軸の移動方向と同じ方向に延設され、ポンプ室に連通可能な吸入ノズルすなわち吸入路、及び吐出ノズルすなわち排出路を備えるとともに、吸入路とポンプ室との間に設けられ、吸入路からポンプ室への流体の吸入を許容させる第1逆止弁と、ポンプ室と排出路との間に設けられ、ポンプ室から排出路への流体の排出を許容させる第2逆止弁とを備えている。なお、上述したダイアフラムの互いに反対側に位置する2つの端部は、アクチュエータの軸の移動方向と直交する方向において保持されるようになっている。   As this type of prior art, there is one disclosed in Patent Document 1, for example. The prior art disclosed in Patent Document 1 includes a pump chamber, a diaphragm that is disposed in the pump chamber and that has two ends positioned on opposite sides, and a drive member that drives the diaphragm. Yes. The drive member is formed at the tip of the shaft of the actuator that constitutes the magnetic field drive mechanism. Each of the actuators includes a suction nozzle, that is, a suction path, and a discharge nozzle, that is, a discharge path that extends in the same direction as the axis of movement of the actuator and communicates with the pump chamber, and is provided between the suction path and the pump chamber. A first check valve that allows the suction of fluid from the suction path to the pump chamber, and a second check valve that is provided between the pump chamber and the discharge path and allows the discharge of fluid from the pump chamber to the discharge path. And a valve. Note that the two end portions of the above-described diaphragm located on opposite sides are held in a direction perpendicular to the moving direction of the actuator shaft.

この従来技術は、アクチュエータの軸の移動によるダイアフラムの駆動によって、吸入路、第1逆止弁を介してのポンプ室への流体の吸入、及び第2逆止弁、排出路を介してのポンプ室からの流体の排出を行わせることができるようになっている。
特開2005−325780公報
In this prior art, the diaphragm is driven by the movement of the shaft of the actuator, so that the suction path, the suction of fluid into the pump chamber via the first check valve, and the pump via the second check valve and the discharge path are performed. The fluid can be discharged from the chamber.
JP 2005-325780 A

上述した従来技術は、吸入路と、この吸入路に関連して設けられる第1逆止弁とが、また、排出路と、この排出路に関連して設けられる第2逆止弁とが、それぞれアクチュエータの軸の移動方向と同じ方向に延設される構成になっていることから、全体の長さ寸法が大きくなり、昨今要望されている長さ方向の小型化を実現させることが難しい。この全体の長さ寸法を無理に小さく設定しようとすると、ダイアフラムの可動範囲が制約され、流体吸排性能に悪影響を及ぼすことになる。   In the above-described prior art, the suction path and the first check valve provided in relation to the suction path, the discharge path, and the second check valve provided in relation to the discharge path, Since each is configured to extend in the same direction as the movement direction of the axis of the actuator, the overall length dimension becomes large, and it is difficult to realize downsizing in the length direction that has been recently requested. If the overall length dimension is set to be too small, the movable range of the diaphragm is limited, which adversely affects the fluid suction and discharge performance.

本発明は、上述した従来技術における実状からなされたもので、その目的は、全体の長さ寸法を小さく設定できるとともに、良好な流体吸排性能を確保できるポンプを提供することにある。   The present invention has been made from the above-described actual state of the prior art, and an object of the present invention is to provide a pump capable of setting the overall length dimension to be small and ensuring good fluid suction / discharge performance.

上記目的を達成するために、本発明は、ポンプ室と、このポンプ室内に配置されるダイアフラムと、このダイアフラムを駆動する駆動部材と、この駆動部材を作動させる軸を有するアクチュエータとを備え、上記ダイアフラムの駆動によって上記ポンプ室への流体の吸入、及び上記ポンプ室からの上記流体の排出を行なうとともに、上記アクチュエータの上記軸の移動方向と直交する方向に延設され、上記流体を上記ポンプ室に導く吸入路、及び上記ポンプ室の上記流体を外部に導く排出路と、これらの吸入路及び排出路のそれぞれに関連して設けられる弁体とを備えたことを特徴としている。   In order to achieve the above object, the present invention comprises a pump chamber, a diaphragm disposed in the pump chamber, a drive member for driving the diaphragm, and an actuator having a shaft for operating the drive member, The diaphragm is driven to suck the fluid into the pump chamber and discharge the fluid from the pump chamber, and is extended in a direction perpendicular to the moving direction of the shaft of the actuator, and the fluid is supplied to the pump chamber. And a discharge path for guiding the fluid in the pump chamber to the outside, and a valve body provided in association with each of the suction path and the discharge path.

このように構成した本発明は、アクチュエータの軸の移動によって、駆動部材を介してダイアフラムが駆動し、吸入路及びこの吸入路に関連して設けられる弁体を介して流体がポンプ室へ吸入され、また、ポンプ室の流体が排出路に関連して設けられる弁体、及び排出路を介して外部に導かれる。すなわち、流体の吸排を行うことができる。   In the present invention configured as described above, the diaphragm is driven via the drive member by the movement of the shaft of the actuator, and the fluid is sucked into the pump chamber via the suction path and the valve body provided in association with the suction path. In addition, the fluid in the pump chamber is guided to the outside through the valve body provided in association with the discharge path and the discharge path. That is, fluid can be sucked and discharged.

また、流体をポンプ室に導く吸入路、及びポンプ室の流体を外部に導く排出路を、アクチュエータの軸の移動方向と直交する方向に延設したことから、アクチュエータの軸の移動方向に沿う全体の長さ方向の寸法、すなわち全体の長さ寸法をダイアフラムの可動範囲に制約を与えることなく、小さく設定することができる。つまり、全体の長さ寸法を小さく設定できるとともに、良好な流体吸排性能を確保できる。   In addition, since the suction path that guides the fluid to the pump chamber and the discharge path that guides the fluid in the pump chamber to the outside extend in the direction perpendicular to the direction of movement of the actuator shaft, the entire path along the direction of movement of the actuator shaft The dimension in the length direction, that is, the entire length dimension can be set small without restricting the movable range of the diaphragm. That is, the overall length dimension can be set small, and good fluid suction / discharge performance can be ensured.

また本発明は、上記発明において、上記駆動部材と、上記ダイアフラムの主要部とを上記アクチュエータの上記軸を中心として、一方の側に偏らせて配置したことを特徴としている。   Further, the present invention is characterized in that, in the above invention, the driving member and the main part of the diaphragm are arranged so as to be biased to one side around the axis of the actuator.

このように構成した本発明は、駆動部材と、ダイアフラムの主要部とをアクチュエータの軸を中心として一方の側に配置したことに伴って、吸入路及び排出路をアクチュエータの軸を中心として他方の側に偏らせて配置させることができる。   In the present invention configured as described above, the drive member and the main part of the diaphragm are arranged on one side with the axis of the actuator as the center, and the suction path and the discharge path are centered on the axis of the actuator. It can be arranged biased to the side.

また本発明は、上記発明において、上記弁体が、上記吸入路を開閉する第1逆止弁と、上記ポンプ室と上記排出路との間に設けられる第2逆止弁とから成ることを特徴としている。   According to the present invention, in the above invention, the valve body includes a first check valve that opens and closes the suction passage, and a second check valve provided between the pump chamber and the discharge passage. It is a feature.

このように構成した本発明は、第1逆止弁によって流体のポンプ室への吸入が許容され、第2逆止弁によってポンプ室の流体の外部への排出が許容される。すなわち、これらの第1逆止弁、第2逆止弁を介して、流体の漏れを生じさせることなくポンプ室に対して精度良く流体を吸排させることができる。   In the present invention configured as above, suction of fluid into the pump chamber is permitted by the first check valve, and discharge of fluid in the pump chamber is permitted by the second check valve. In other words, fluid can be accurately sucked into and discharged from the pump chamber through these first check valve and second check valve without causing fluid leakage.

また本発明は、上記発明において、上記第1逆止弁、及び上記第2逆止弁のそれぞれが、可動可能な傘部と、この傘部の拡開方向と直交する方向に連設される軸部とを有し、上記第1逆止弁の上記軸部を、上記吸入路と平行に上記アクチュエータの上記軸の移動方向と直交する方向に延設させ、上記第2逆止弁の上記軸部を、上記アクチュエータの上記軸の移動方向に対して斜め方向に延設させたことを特徴としている。   According to the present invention, in the above invention, each of the first check valve and the second check valve is connected to a movable umbrella portion and a direction orthogonal to the expanding direction of the umbrella portion. A shaft portion, and the shaft portion of the first check valve extends in a direction perpendicular to the direction of movement of the shaft of the actuator in parallel with the suction path, and the second check valve The shaft portion extends in an oblique direction with respect to the moving direction of the shaft of the actuator.

このように構成した本発明は、第1逆止弁の軸部の長さを例えば吸入路の長さとほぼ等しい長さに設定でき、第1逆止弁の安定した保持を実現できる。また、第2逆止弁の軸部をアクチュエータの軸の移動方向に対して斜め方向に延設させたこと、及びその軸部に対して傘部が直交する方向に延設されることに伴って、第2逆止弁の傘部もアクチュエータの軸の移動方向に対して斜め方向に延設される。これにより、アクチュエータの軸の移動方向と直交する方向である高さ方向における第2逆止弁の高さ寸法を小さく設定することができる。   In the present invention configured as described above, the length of the shaft portion of the first check valve can be set to a length substantially equal to the length of the suction path, for example, and stable holding of the first check valve can be realized. In addition, the shaft portion of the second check valve extends obliquely with respect to the direction of movement of the shaft of the actuator, and the umbrella portion extends in a direction perpendicular to the shaft portion. The umbrella portion of the second check valve is also extended obliquely with respect to the moving direction of the actuator shaft. Thereby, the height dimension of the 2nd non-return valve in the height direction which is a direction orthogonal to the moving direction of the axis | shaft of an actuator can be set small.

また本発明は、上記発明において、上記第2逆止弁を保持し、上記ポンプ室を形成する弁ホルダを備え、この弁ホルダが、上記アクチュエータの上記軸の移動方向と直交する方向に延設され、上記第1逆止弁を介して上記吸入路と上記ポンプ室とを連通させる第1流路と、上記アクチュエータの上記軸の移動方向に対して斜め方向に延設され、上記第2逆止弁を介して上記排出路と上記ポンプ室とを連通させる第2流路とを有し、上記弁ホルダの上記第2流路を開閉可能に上記第2逆止弁を設けたことを特徴としている。   According to the present invention, there is provided a valve holder that holds the second check valve and forms the pump chamber in the above invention, and the valve holder extends in a direction orthogonal to the moving direction of the shaft of the actuator. A first flow path that communicates the suction path and the pump chamber via the first check valve, and extends in an oblique direction with respect to the movement direction of the shaft of the actuator, and the second reverse The second check valve is provided so as to be able to open and close the second flow path of the valve holder, the second flow path communicating the discharge path and the pump chamber via a stop valve. It is said.

このように構成した本発明は、弁ホルダによって第2逆止弁の安定した保持を実現できる。また、吸入路から吸入された流体は、第1逆止弁、弁ホルダの第1流路を介してポンプ室に導かれ、ポンプ室の流体は弁ホルダの第2流路、第2逆止弁、排出路を介して外部に導かれ、流体の吸排を精度良く行うことができる。   The present invention configured as described above can realize stable holding of the second check valve by the valve holder. The fluid sucked from the suction passage is guided to the pump chamber via the first check valve and the first flow path of the valve holder, and the fluid in the pump chamber is the second flow path and the second check flow of the valve holder. It is guided to the outside through a valve and a discharge path, and fluid can be sucked and discharged with high accuracy.

また本発明は、上記発明において、上記弁ホルダが、上記吸入路から離れた位置に配置される第1平板部と、上記吸入路に近い位置であって上記第1平板部から離隔して配置される第2平板部と、上記第2逆止弁の上記軸部が保持され、上記第1平板部と第2平板部とを接続する傾斜部とを有し、上記第1流路を上記第2平板部に形成し、上記第2流路を上記傾斜部に形成するとともに、上記吸入路及び上記排出路が形成され、上記第1逆止弁の上記軸部が保持されるケースを備え、上記第1逆止弁の上記傘部が上記弁ホルダの上記第2平板部に当接する平坦部を有し、上記第2逆止弁の上記傘部が上記ケースに当接する平坦部を有することを特徴としている。   According to the present invention, in the above invention, the valve holder is disposed at a position away from the suction passage and at a position close to the suction passage and spaced from the first flat plate portion. The second flat plate portion, the shaft portion of the second check valve is held, and has an inclined portion that connects the first flat plate portion and the second flat plate portion. A case is formed in the second flat plate portion, the second flow path is formed in the inclined portion, the suction passage and the discharge passage are formed, and the shaft portion of the first check valve is held. The umbrella portion of the first check valve has a flat portion that contacts the second flat plate portion of the valve holder, and the umbrella portion of the second check valve has a flat portion that contacts the case. It is characterized by that.

このように構成した本発明は、ケースに保持された第1逆止弁の平坦部に、弁ホルダの第2平板部が当接するように弁ホルダを配置させることにより、弁ホルダの第2平板部とケースとによって第1逆止弁を挟持させ、この第1逆止弁の安定した保持を実現できる。また、弁ホルダの傾斜部に保持された第2逆止弁の平坦部がケースに当接するように弁ホルダを配置させることにより、弁ホルダの傾斜部とケースとによって第2逆止弁を挟持させ、この第2逆止弁の安定した保持を実現できる。すなわち、弁ホルダとケースを介して第1逆止弁及び第2逆止弁の安定した保持を実現できる。   In the present invention configured as above, the second flat plate of the valve holder is arranged by arranging the valve holder so that the second flat plate portion of the valve holder abuts on the flat portion of the first check valve held by the case. The first check valve can be held between the portion and the case, and stable holding of the first check valve can be realized. Further, the second check valve is sandwiched between the inclined portion of the valve holder and the case by arranging the valve holder so that the flat portion of the second check valve held by the inclined portion of the valve holder contacts the case. Thus, stable holding of the second check valve can be realized. That is, stable holding of the first check valve and the second check valve can be realized via the valve holder and the case.

また本発明は、上記発明において、上記ダイアフラムは、上記ポンプ室内に配置された際に保持される互いに反対側に位置する2つの端部を有し、これらの2つの端部のうちの一方の端部である第1端部と、他方の端部である第2端部とを結ぶ仮想線が、上記アクチュエータの上記軸の移動方向に対して傾くように、上記ダイアフラムを設けたことを特徴としている。   Further, the present invention is the above invention, wherein the diaphragm has two end portions located on opposite sides, which are held when the diaphragm is disposed in the pump chamber, and one of these two end portions is provided. The diaphragm is provided so that an imaginary line connecting a first end which is an end and a second end which is the other end is inclined with respect to the moving direction of the shaft of the actuator. It is said.

このように構成した本発明は、ダイアフラムの第1端部と第2端部を結ぶ仮想線の長さを例えば、従来のダイアフラムの保持端である第1端部と第2端部を結ぶ仮想線の長さに等しく設定することにより、上述した従来のダイアフラムと同等の表面積を確保できる。また、本発明のダイアフラムの第1端部と第2端部を結ぶ仮想線は、アクチュエータの軸の移動方向に対して傾く状態を形成するので、これらの第1端部と第2端部を結ぶ仮想線の長さを、上述した従来のダイアフラムの第1端部と第2端部を結ぶ仮想線の長さと同じにした場合でも、アクチュエータの軸の移動方向と直交する方向の寸法である高さ寸法を小さくすることができる。このように本発明は、ダイアフラムの高さ寸法を小さく設定でき、しかもこのダイアフラムの表面積と可動範囲を大きくすることができる。これにより、高さ寸法を小さく設定できるにもかかわらず、ポンプ室の容量変化を大きくすることができる。   In the present invention configured as described above, the length of the imaginary line connecting the first end and the second end of the diaphragm is set, for example, the virtual end connecting the first end and the second end which are the holding ends of the conventional diaphragm. By setting it equal to the length of the line, a surface area equivalent to that of the conventional diaphragm described above can be secured. Further, the imaginary line connecting the first end portion and the second end portion of the diaphragm of the present invention forms a state inclined with respect to the moving direction of the axis of the actuator, so that the first end portion and the second end portion are connected to each other. Even when the length of the connecting virtual line is the same as the length of the virtual line connecting the first end and the second end of the conventional diaphragm described above, it is a dimension in a direction orthogonal to the moving direction of the axis of the actuator. The height dimension can be reduced. Thus, according to the present invention, the height dimension of the diaphragm can be set small, and the surface area and movable range of the diaphragm can be increased. Thereby, although a height dimension can be set small, the capacity | capacitance change of a pump chamber can be enlarged.

また本発明は、上記発明において、上記駆動部材を上記アクチュエータの上記軸に一体に形成したことを特徴としている。このように構成した本発明は、アクチュエータの軸と駆動部材とが一部材から成るので、部品数を少なくすることができる。   According to the present invention, in the above invention, the drive member is formed integrally with the shaft of the actuator. In the present invention configured as described above, the number of parts can be reduced because the shaft of the actuator and the drive member are formed of a single member.

また本発明は、上記発明において、上記ポンプ室を形成し上記ダイアフラムが収納されるダイアフラムホルダを備え、このダイアフラムホルダに上記駆動部材が移動可能に挿入される穴部を設けたことを特徴としている。このように構成した本発明は、ダイアフラムホルダによってダイアフラムを安定に保持できるとともに、このダイアフラムホルダの穴部を介して駆動部材を移動させることによって、ダイアフラムを確実に駆動させることができる。   Further, the present invention is characterized in that, in the above invention, the pump chamber is formed and a diaphragm holder in which the diaphragm is accommodated is provided, and a hole portion in which the driving member is movably inserted is provided in the diaphragm holder. . According to the present invention configured as described above, the diaphragm can be stably held by the diaphragm holder, and the diaphragm can be reliably driven by moving the driving member through the hole of the diaphragm holder.

本発明は、アクチュエータの上記軸の移動方向と直交する方向に延設され、流体をポンプ室に導く吸入路、及びポンプ室の流体を外部に導く排出路と、これらの吸入路及び排出路のそれぞれに関連して設けられる弁体とを備えたことから、アクチュエータの軸の移動方向に沿う全体の長さ寸法をダイアフラムの可動範囲に制約を与えることなく小さく設定できる。すなわち、全体の長さ寸法を小さく設定できるとともに、良好な流体吸排性能を確保でき、従来からの要望である全体の小型化を、流体吸排性能を低下させることなく実現できる。   The present invention extends in a direction perpendicular to the direction of movement of the axis of the actuator, and draws a fluid into the pump chamber, a discharge channel that leads the fluid in the pump chamber to the outside, and the suction channel and the discharge channel. Since the valve body provided in association with each is provided, the overall length dimension along the moving direction of the shaft of the actuator can be set small without restricting the movable range of the diaphragm. That is, the overall length dimension can be set small, good fluid suction / discharge performance can be ensured, and overall downsizing, which has been a request from the past, can be realized without reducing the fluid suction / discharge performance.

以下,本発明に係るポンプを実施するための最良の形態を図に基づいて説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out a pump according to the present invention will be described with reference to the drawings.

[本実施形態の構成]
図1は本発明に係るポンプの一実施形態を示す分解斜視図、図2は本実施形態の組立図を示し、(a)図は平面図、(b)図は(a)図のA−A断面図である。
[Configuration of this embodiment]
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a pump according to the present invention, FIG. 2 is an assembly view of this embodiment, (a) is a plan view, (b) is an A- in FIG. It is A sectional drawing.

本実施形態に係るポンプは、磁場駆動機構部を構成するアクチュエータ1と、このアクチュエータ1に連設されるポンプ本体2とから成っている。アクチュエータ1は、図1,2に示すように、通電により移動可能な軸1aと、この軸1aに例えば一体に形成された駆動部材1bとを備えている。駆動部材1bは、軸1aの軸心、すなわち図2の(b)図に示す中心線14から図示上側に偏心させて設けてある。   The pump according to the present embodiment includes an actuator 1 that constitutes a magnetic field drive mechanism unit, and a pump body 2 that is connected to the actuator 1. As shown in FIGS. 1 and 2, the actuator 1 includes a shaft 1 a that can be moved by energization, and a drive member 1 b that is formed integrally with the shaft 1 a, for example. The drive member 1b is provided to be eccentric from the axis of the shaft 1a, that is, from the center line 14 shown in FIG. 2B.

ポンプ本体2は、図1に示すように、筐体を構成する下ケース3、及びこの下ケース3に嵌入される上ケース4と、下ケース3内に配置されるパッキン5と、このパッキン5上に配置される弁ホルダ8と、この弁ホルダ8と下ケース3との間に配置される第1逆止弁6及び第2逆止弁7と、弁ホルダ8上に配置されるダイアフラムホルダ10と、このダイアフラムホルダ10内に収納されるゴム等の弾性部材から成るダイアフラム9とを備えている。   As shown in FIG. 1, the pump main body 2 includes a lower case 3 constituting a housing, an upper case 4 fitted into the lower case 3, a packing 5 disposed in the lower case 3, and the packing 5 A valve holder 8 disposed above, a first check valve 6 and a second check valve 7 disposed between the valve holder 8 and the lower case 3, and a diaphragm holder disposed on the valve holder 8 10 and a diaphragm 9 made of an elastic member such as rubber housed in the diaphragm holder 10.

下ケース3には、図2の(b)図に示すように、アクチュエータ1の軸1aの移動方向と直交する方向に延設され、流体をポンプ室12に導く吸入路3aと、ポンプ室12の流体を外部に導く排出路3bとを形成してある。また図1に示すように、上ケース4の複数の取付部4aに適合する取付部3dを備えている。これらの取付部3d,4aには、ねじ等が挿入され、これによって下ケース3及び上ケース4を含むポンプ本体2が図示しない所定の設置箇所に固定されるようになっている。   As shown in FIG. 2B, the lower case 3 extends in a direction orthogonal to the moving direction of the shaft 1 a of the actuator 1, and draws a fluid into the pump chamber 12, and the pump chamber 12 And a discharge passage 3b for guiding the fluid to the outside. Moreover, as shown in FIG. 1, the attachment part 3d which adapts to the some attachment part 4a of the upper case 4 is provided. Screws or the like are inserted into these attachment portions 3d and 4a, whereby the pump body 2 including the lower case 3 and the upper case 4 is fixed at a predetermined installation location (not shown).

図3は本実施形態に備えられる弁ホルダを示す図で、(a)図は斜視図、(b)図は平面図、(c)図は側面図、図4は本実施形態に備えられる第1逆止弁及び第2逆止弁を示す図で、(a)図は上方から見た斜視図、(b)図は下方から見た斜視図、(c)図は平面図、(d)図は側面図である。   3A and 3B are views showing a valve holder provided in the present embodiment. FIG. 3A is a perspective view, FIG. 3B is a plan view, FIG. 3C is a side view, and FIG. 1A and 1B are views showing a first check valve and a second check valve, wherein FIG. 1A is a perspective view seen from above, FIG. 2B is a perspective view seen from below, FIG. 1C is a plan view, and FIG. The figure is a side view.

図3及び上述の図2の(b)図に示すように、弁ホルダ8は、アクチュエータ1の軸1aの移動方向と直交する方向に延設され、第1逆止弁6を介して吸入路3aとポンプ室12とを連通させる第1流路8dと、アクチュエータ1の軸1aの移動方向に対して斜め方向に延設され、第2逆止弁7を介して排出路3bとポンプ室12とを連通させる第2流路8eとを有している。第2逆止弁7は弁ホルダ8の第2流路8eを開閉可能に設けてある。なお、第1逆止弁6は下ケース3の吸入路3aを開閉可能に設けてある。   As shown in FIG. 3 and FIG. 2B, the valve holder 8 extends in a direction orthogonal to the moving direction of the shaft 1a of the actuator 1 and is connected to the suction passage through the first check valve 6. The first flow path 8d that communicates the 3a and the pump chamber 12 and extends obliquely with respect to the moving direction of the shaft 1a of the actuator 1, and the discharge passage 3b and the pump chamber 12 via the second check valve 7. And a second flow path 8e that communicates with each other. The second check valve 7 is provided so that the second flow path 8e of the valve holder 8 can be opened and closed. The first check valve 6 is provided so that the suction passage 3a of the lower case 3 can be opened and closed.

図4及び上述の図2の(b)図に示すように、第1逆止弁6及び第2逆止弁7は、例えば同じ形状寸法のゴム等の弾性部材によって形成され、吸入路3a及び排出路3bのそれぞれに関連して設けられる弁体を構成している。第1逆止弁6及び第2逆止弁7は、可動可能、すなわち弾性変形可能な傘部6a,7aと、これらの傘部6a,7aの拡開方向と直交する方向に連設される軸部6b,7bとを有している。図2の(b)図に示すように、第1逆止弁6の軸部6bは、下ケース3に形成した孔部3cに挿入され、吸入路3aと平行にアクチュエータ1の軸1aの移動方向と直交する方向に延設させてある。この第1逆止弁6の軸部6bは、例えば孔部3cとほぼ同じ長さに設定され、この孔部3cによって保持されている。第2逆止弁7の軸部7bは、アクチュエータ1の軸部1aの移動方向に対して斜め方向に延設させてある。   As shown in FIG. 4 and FIG. 2B, the first check valve 6 and the second check valve 7 are formed of an elastic member such as rubber having the same shape and dimension, and the suction passage 3a and The valve body provided in relation to each of the discharge path 3b is comprised. The first check valve 6 and the second check valve 7 are movable, that is, elastically deformable umbrella parts 6a and 7a, and are connected in a direction orthogonal to the expanding direction of these umbrella parts 6a and 7a. It has shaft parts 6b and 7b. As shown in FIG. 2 (b), the shaft portion 6b of the first check valve 6 is inserted into a hole 3c formed in the lower case 3, and the shaft 1a of the actuator 1 moves in parallel with the suction passage 3a. It extends in a direction orthogonal to the direction. The shaft portion 6b of the first check valve 6 is set to, for example, substantially the same length as the hole portion 3c and is held by the hole portion 3c. The shaft portion 7 b of the second check valve 7 extends in an oblique direction with respect to the moving direction of the shaft portion 1 a of the actuator 1.

図3にも示すように、上述した弁ホルダ8は、吸入路3aから離れた位置、すなわち排出路3bの近傍に配置される第1平板部8aと、吸入路3aに近い位置であって、第1平板部8aから離隔して配置される第2平板部8bと、第2逆止弁7の軸部7bが挿入されて保持される孔部8fを有し、第1平板部8aと第2平板部8bとを接続する傾斜部8cとを備えている。吸入路3aとポンプ室12とを連通させる第1流路8dは、第2平板部8bに形成してあり、排出路3bとポンプ室12とを連通させる第2流路8eは、傾斜部8cに形成してある。なお、第2逆止弁7の軸部7bは、第2流路8eと平行に設けられる孔部8fに挿入されるが、例えばこの孔部8fとほぼ同じ長さに設定され、この孔部3fによって保持される。   As shown also in FIG. 3, the valve holder 8 described above is located at a position away from the suction path 3a, that is, a first flat plate portion 8a disposed in the vicinity of the discharge path 3b, and a position near the suction path 3a. The first flat plate portion 8a has a second flat plate portion 8b spaced apart from the first flat plate portion 8a and a hole portion 8f into which the shaft portion 7b of the second check valve 7 is inserted and held. 2 is provided with an inclined portion 8c connecting the flat plate portion 8b. The first flow path 8d that connects the suction passage 3a and the pump chamber 12 is formed in the second flat plate portion 8b, and the second flow path 8e that connects the discharge passage 3b and the pump chamber 12 is the inclined portion 8c. Is formed. The shaft portion 7b of the second check valve 7 is inserted into a hole portion 8f provided in parallel with the second flow path 8e. For example, the shaft portion 7b is set to have substantially the same length as the hole portion 8f. Held by 3f.

図4に示すように、第1逆止弁6の傘部6aは、弁ホルダ8の第2平板部8bに当接する平坦部6cを有し、第2逆止弁7の傘部7aは、図2の(b)図に示す下ケース3の傾斜面3fに当接する平坦部7cを有している。すなわち、下ケース3に保持された第1逆止弁6の平坦部6cに弁ホルダ8の第2平板部8bが当接するように、また、弁ホルダ8の傾斜部8cに保持された第2逆止弁7の平坦部7cが下ケース3の傾斜面3fに当接するように、弁ホルダ8を配置してある。なお、図2の(b)図に示すように、第1逆止弁6の傘部6aの裾部分は下ケース3の平坦面3eに当接され、第2逆止弁7の傘部7aの裾部分は弁ホルダ8の傾斜部8cに当接されている。   As shown in FIG. 4, the umbrella portion 6 a of the first check valve 6 has a flat portion 6 c that contacts the second flat plate portion 8 b of the valve holder 8, and the umbrella portion 7 a of the second check valve 7 is It has the flat part 7c contact | abutted to the inclined surface 3f of the lower case 3 shown to the (b) figure of FIG. That is, the second flat plate portion 8b of the valve holder 8 is in contact with the flat portion 6c of the first check valve 6 held by the lower case 3, and the second flat portion held by the inclined portion 8c of the valve holder 8 is used. The valve holder 8 is arranged so that the flat portion 7 c of the check valve 7 contacts the inclined surface 3 f of the lower case 3. As shown in FIG. 2B, the skirt portion of the umbrella portion 6a of the first check valve 6 is brought into contact with the flat surface 3e of the lower case 3, and the umbrella portion 7a of the second check valve 7 is contacted. Is in contact with the inclined portion 8 c of the valve holder 8.

本実施形態に備えられるダイアフラム9は、図2の(b)図に示すように、ポンプ室12内に配置され、互いに反対側に位置する2つの端部のうちの第1端部9dと、この第1端部9dから離隔して設けられる第2端部9eとを結ぶ仮想線13が、アクチュエータ1の軸部1aの移動方向に対して傾くように設けてある。   As shown in FIG. 2B, the diaphragm 9 provided in the present embodiment is disposed in the pump chamber 12 and has a first end 9d out of two ends located on opposite sides of each other, An imaginary line 13 that connects the second end portion 9e that is provided apart from the first end portion 9d is provided so as to be inclined with respect to the moving direction of the shaft portion 1a of the actuator 1.

図5は本実施形態に備えられるダイアフラムを示す図で、(a)図は上方から見た斜視図、(b)図は下方から見た斜視図、(c)図は平面図、(d)図は側面図、(e)図は(c)図のB−B断面図、図6は本実施形態に備えられるダイアフラムホルダを示す図で、(a)図は上方から見た斜視図、(b)図は下方から見た斜視図、(c)図は平面図(d)図は側面図、(e)図は正面図である。   5A and 5B are diagrams showing a diaphragm provided in the present embodiment, wherein FIG. 5A is a perspective view seen from above, FIG. 5B is a perspective view seen from below, FIG. 5C is a plan view, and FIG. The figure is a side view, (e) is a sectional view taken along line BB in (c), FIG. 6 is a diagram showing a diaphragm holder provided in the present embodiment, (a) is a perspective view seen from above, ( (b) The figure is the perspective view seen from the lower part, (c) The figure is a top view (d) The figure is a side view, (e) The figure is a front view.

ダイアフラム9は、図5の(b)(d)(e)図に示すように、アクチュエータ1の駆動部材1bと係合する例えば穴部から成る係合部9f6と、この係合部9f6が含まれる弾性変形部とを有している。このダイアフラム9は、図5の(e)図に示すように、中心線14を通る係合部9f6を挟む弾性変形部の一方部分すなわち図示上側部分の形状と、他方部分すなわち下側部分の形状とを互いに異ならせた全体形状に形成してある。   As shown in FIGS. 5B, 5D, and 5E, the diaphragm 9 includes an engaging portion 9f6 that engages with the driving member 1b of the actuator 1, for example, a hole portion, and the engaging portion 9f6. And an elastically deformable portion. As shown in FIG. 5 (e), the diaphragm 9 has a shape of one portion of the elastically deforming portion sandwiching the engaging portion 9f6 passing through the center line 14, that is, the shape of the upper portion in the drawing, and the shape of the other portion, that is, the lower portion. Are formed in different overall shapes.

また、図5に示すように、このダイアフラム9は、上述した第1端部9dを形成する第1平板部9aと、第2端部9eを形成する第2平板部9bと、これらの第1平板部9aと第2平板部9bとを接続させる傾斜部9cと、この傾斜部9cに形成され、上述の係合部9f6が含まれる箱状部9fとを有している。   Further, as shown in FIG. 5, the diaphragm 9 includes a first flat plate portion 9a that forms the first end portion 9d, a second flat plate portion 9b that forms the second end portion 9e, and the first of these. It has an inclined portion 9c that connects the flat plate portion 9a and the second flat plate portion 9b, and a box-shaped portion 9f that is formed in the inclined portion 9c and includes the engaging portion 9f6 described above.

上述した弾性変形部は、傾斜部9c及びこの傾斜部9cに形成された箱状部9fと、第1平板部9aの一部と、第2平板部9bの一部とから成っている。上述した第1端部9dは、第1平板部9aのうちの上述の一部を除いた部分から成り、上述した第2端部9eは、第2平板部9bのうちの上述の一部を除いた部分から成っている。   The elastic deformation part mentioned above consists of the inclined part 9c, the box-shaped part 9f formed in this inclined part 9c, a part of 1st flat plate part 9a, and a part of 2nd flat plate part 9b. The first end portion 9d described above is composed of a portion excluding the above-mentioned part of the first flat plate portion 9a, and the above-described second end portion 9e is the above-mentioned part of the second flat plate portion 9b. Consists of the removed parts.

また、上述の傾斜部9cは、図5の(b)(c)(d)図に示すように、箱状部9fの両側部のそれぞれに配置され、互いに同等の幅寸法に設定される第1傾斜部9c1と第2傾斜部9c2とから成っている。   Further, as shown in FIGS. 5B, 5C, and 5D, the inclined portions 9c described above are arranged on both side portions of the box-shaped portion 9f, and are set to have the same width dimension. It consists of a first inclined portion 9c1 and a second inclined portion 9c2.

上述の箱状部9fは、第1平板部9aに連設される第1面部9f1と、この第1面部9f1に連設されるとともに第1傾斜部9c1に連設される第2面部9f2と、第1面部9f1に連設されるとともに第2傾斜部9c2に連設される第3面部9f3と、第1面部9f1、第2面部9f2、第3面部9f3、及び第2平板部9bに連設される第4面部9f4とを備えている。また、この箱状部9fは、図5の(b)(e)図に示すように、第1面部9f1、第2面部9f2、第3面部9f3、及び第4面部9f4とによって囲まれる空間部9f5を備えている。   The box-shaped portion 9f described above includes a first surface portion 9f1 that is continuous with the first flat plate portion 9a, and a second surface portion 9f2 that is continuous with the first surface portion 9f1 and is continuous with the first inclined portion 9c1. The third surface portion 9f3 connected to the first surface portion 9f1 and connected to the second inclined portion 9c2, and the first surface portion 9f1, the second surface portion 9f2, the third surface portion 9f3, and the second flat plate portion 9b. And a fourth surface portion 9f4 provided. Further, as shown in FIGS. 5B and 5E, the box-shaped portion 9f is a space portion surrounded by the first surface portion 9f1, the second surface portion 9f2, the third surface portion 9f3, and the fourth surface portion 9f4. 9f5.

ダイアフラム9が収納されるダイアフラムホルダ10は、図6に示すように、基本形状が、基部10aと、この基部10aの両側にそれぞれ延設される側壁10b,10cとを有する枠状に形成され、基部10aにアクチュエータ1の駆動部材1bが移動可能に挿入される穴部10a1を形成してある。また、基部10aに連設させてアクチュエータ1が取り付けられる取付部10dを設けてある。また、同図6の(b)図に示すように、基部10a及び側壁10b,10cのそれぞれの下端には、ダイアフラム9の第2平板部9bに形成される第2端部9eが収容される空隙部を形成する段差部10a2,10b1,10c1を形成してある。   As shown in FIG. 6, the diaphragm holder 10 in which the diaphragm 9 is accommodated is formed in a frame shape having a basic shape having a base portion 10a and side walls 10b and 10c extending on both sides of the base portion 10a. A hole 10a1 into which the drive member 1b of the actuator 1 is movably inserted is formed in the base 10a. Further, an attachment portion 10d is provided that is connected to the base portion 10a and to which the actuator 1 is attached. Further, as shown in FIG. 6B, the second end 9e formed on the second flat plate portion 9b of the diaphragm 9 is accommodated at the lower ends of the base portion 10a and the side walls 10b, 10c. Step portions 10a2, 10b1, and 10c1 that form void portions are formed.

図7は本実施形態に備えられるパッキンを示す図で(a)図は斜視図、(b)図は平面図、(c)図は正面図である。この図7に示すように、上述したパッキン5は、下ケース3に形成された排出路3bの近傍に配置される第1枠部5aと、下ケース3に形成された吸入路3aの近傍に配置される第2枠部5bと、これらの第1枠部5aと第2枠部5bとを接続する傾斜部5cとを備えている。上述した第1枠部5aに囲まれる空間部が、下ケース3に形成した排出路3bと、弁ホルダ8の第2流路8eとを連通させる部屋5a1を形成し、第2枠部5bに囲まれる空間部が、下ケース3に形成した吸入路3aと、弁ホルダ8の第1流路8dとを連通させる部屋5b1を形成している。   7A and 7B are views showing the packing provided in the present embodiment, wherein FIG. 7A is a perspective view, FIG. 7B is a plan view, and FIG. 7C is a front view. As shown in FIG. 7, the packing 5 described above is provided in the vicinity of the first frame portion 5 a disposed in the vicinity of the discharge path 3 b formed in the lower case 3 and the suction path 3 a formed in the lower case 3. A second frame portion 5b to be arranged and an inclined portion 5c connecting the first frame portion 5a and the second frame portion 5b are provided. The space surrounded by the first frame portion 5a described above forms a chamber 5a1 for communicating the discharge passage 3b formed in the lower case 3 and the second flow passage 8e of the valve holder 8, and the second frame portion 5b The enclosed space forms a room 5b1 that allows the suction passage 3a formed in the lower case 3 and the first flow passage 8d of the valve holder 8 to communicate with each other.

また、図2の(b)図に示すように、駆動部材1bはダイアフラム9の穴部から成る係合部9f6に挿入され、ねじ部を有する先端部1b1を有している。この駆動部材1bの先端部1b1が、ダイアフラム9の係合部9f6に挿入された状態で、この先端部1b1に係止具11が螺合され、この係止具11と駆動部材1bの先端部1b1とによってダイアフラム9が挟持される。これにより、ダイアフラム9と駆動部材1bとが一体的に固定される。   Further, as shown in FIG. 2B, the drive member 1b is inserted into an engaging portion 9f6 formed of a hole portion of the diaphragm 9, and has a tip portion 1b1 having a screw portion. With the leading end 1b1 of the driving member 1b inserted into the engaging portion 9f6 of the diaphragm 9, the locking tool 11 is screwed into the leading end 1b1, and the locking tool 11 and the leading end of the driving member 1b The diaphragm 9 is clamped by 1b1. Thereby, the diaphragm 9 and the drive member 1b are fixed integrally.

また本実施形態は、図2の(b)図に示すように、駆動部材1bと、ダイアフラム9の主要部とをアクチュエータ1の軸部1aを通る中心線14を境として、一方の側すなわち図示上側に偏らせて配置してある。また、これに伴って、下ケース3に装着される第1逆止弁6と、下ケース3に形成される吸入路3a及び排出路3bの主要部とを、アクチュエータ1の軸1aを通る中心線14を境として、他方の側すなわち図示下側に偏らせて配置してある。   Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 2B, the drive member 1b and the main part of the diaphragm 9 are on one side, that is, illustrated with a center line 14 passing through the shaft part 1a of the actuator 1 as a boundary. It is arranged so as to be biased upward. Accordingly, the first check valve 6 attached to the lower case 3 and the main portions of the suction path 3a and the discharge path 3b formed in the lower case 3 are passed through the axis 1a of the actuator 1. The line 14 is deviated toward the other side, ie, the lower side in the figure, with the line 14 as a boundary.

さらに、図2の(b)図等に示すように、本実施形態は、下ケース3内に第1逆止弁6が装着された状態でパッキン5が最下段に配置され、このパッキン5の上に、第2逆止弁7が装着された状態で弁ホルダ8が配置され、この弁ホルダ8の上にダイアフラム9を収納したダイアフラムホルダ10が配置され、その上に上ケース4が配置され、この上ケース4が下ケース3に嵌合されるようになっている。   Further, as shown in FIG. 2B and the like, in the present embodiment, the packing 5 is disposed at the lowermost stage with the first check valve 6 mounted in the lower case 3. A valve holder 8 is arranged with the second check valve 7 mounted thereon, a diaphragm holder 10 containing a diaphragm 9 is arranged on the valve holder 8, and an upper case 4 is arranged thereon. The upper case 4 is fitted to the lower case 3.

上述のように下ケース3に第1逆止弁6が装着された状態で、第2逆止弁7が装着された弁ホルダ8を下ケース3に配置した際、弁ホルダ8の第2平板部8bが第1逆止弁6の平坦部6cに押し付けられることにより、第1逆止弁6は下ケース3と弁ホルダ8とによって挟持された状態で保持される。また、この際、弁ホルダ8の傾斜部8cに保持された第2逆止弁7の平坦部7cが下ケース3の傾斜面3fに押し付けられることにより、第2逆止弁7は下ケース3と弁ホルダ8とによって挟持された状態で保持される。すなわち、第1逆止弁6と第2逆止弁7は、下ケース3と弁ホルダ8とによって挟持された安定した状態で保持される。   When the valve holder 8 to which the second check valve 7 is attached is disposed in the lower case 3 with the first check valve 6 attached to the lower case 3 as described above, the second flat plate of the valve holder 8 is arranged. By pressing the portion 8 b against the flat portion 6 c of the first check valve 6, the first check valve 6 is held while being sandwiched between the lower case 3 and the valve holder 8. At this time, the flat portion 7 c of the second check valve 7 held by the inclined portion 8 c of the valve holder 8 is pressed against the inclined surface 3 f of the lower case 3, so that the second check valve 7 is moved to the lower case 3. And the valve holder 8. That is, the first check valve 6 and the second check valve 7 are held in a stable state sandwiched between the lower case 3 and the valve holder 8.

また、図2の(b)図に示すように、下ケース3と弁ホルダ8との間に配置されるパッキン5は、主にその第1枠部5aが下ケース3と弁ホルダ8の第1平板部8aとの接合部をシールし、その第2枠部5bが下ケース3と弁ホルダ8の第2平板部8bとの接合部をシールする。   Further, as shown in FIG. 2B, the packing 5 disposed between the lower case 3 and the valve holder 8 mainly has the first frame portion 5 a of the lower case 3 and the valve holder 8. The joint portion between the first flat plate portion 8 a is sealed, and the second frame portion 5 b seals the joint portion between the lower case 3 and the second flat plate portion 8 b of the valve holder 8.

なお、ダイアフラム9もシール機能を有しており、図2の(b)図に示すように、このダイアフラム9の第1平板部9aに形成される第1端部9dが、下ケース3と上ケース4との接合部、及び下ケース3と弁ホルダ8の第1平板部8aとの接合部をシールし、このダイアフラム9の第2平板部9bに形成される第2端部9eが、下ケース3と弁ホルダ8の第2平板部8bとの接合部、及び下ケース3とダイアフラムホルダ10との接合部をシールする。   The diaphragm 9 also has a sealing function. As shown in FIG. 2B, the first end portion 9d formed on the first flat plate portion 9a of the diaphragm 9 is connected to the lower case 3 and the upper case 3. The joint between the case 4 and the joint between the lower case 3 and the first flat plate portion 8a of the valve holder 8 are sealed, and the second end 9e formed on the second flat plate portion 9b of the diaphragm 9 is The joint between the case 3 and the second flat plate portion 8b of the valve holder 8 and the joint between the lower case 3 and the diaphragm holder 10 are sealed.

[本実施形態の動作]
図8は本実施形態で実施される吸入工程を示す図で、(a)図は平面図、(b)図は(a)図のC−C断面図、図9は本実施形態で実施される排出工程を示す図で、(a)図は平面図(b)図は(a)図のD−D断面図である。
[Operation of this embodiment]
FIG. 8 is a diagram showing an inhalation process performed in the present embodiment, where FIG. 8A is a plan view, FIG. 8B is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG. 9A, and FIG. 9 is performed in the present embodiment. (A) is a plan view, (b) is a sectional view taken on line DD in FIG.

上述した図2の(b)図は中立状態を示しているが、この中立状態において、アクチュエータ1に通電すると、例えば図8に示すように、このアクチュエータ1の軸部1aが図8の矢印20で示す同図の右方向に移動する。これに伴って駆動部材1bも矢印20方向に移動し、この駆動部材1bによってダイアフラム9は、ポンプ室12の容量を大きく変化させるように駆動する。すなわち、図2の(b)図に示した仮想線13を中心にして拡張するように弾性変形する。このポンプ室12の容量の増加によって下ケース3の吸入路3a内の圧力よりもポンプ室12内の圧力が低くなり、吸入路3aに流入する流体が第1逆止弁6の傘部6aを押し開き、パッキン5の第2枠部5bによって形成される部屋5b1に導かれる。さらに、この部屋5b1から弁ホルダ8の第1流路8dを介してポンプ室12内に吸入される。このようにしてポンプの吸入工程が実施される。   2B shows the neutral state. When the actuator 1 is energized in this neutral state, for example, as shown in FIG. 8, the shaft portion 1a of the actuator 1 is moved to the arrow 20 in FIG. Move to the right in the figure. Along with this, the drive member 1b also moves in the direction of the arrow 20, and the diaphragm 9 is driven by this drive member 1b so as to greatly change the capacity of the pump chamber 12. That is, it is elastically deformed so as to expand around the virtual line 13 shown in FIG. Due to the increase in the capacity of the pump chamber 12, the pressure in the pump chamber 12 becomes lower than the pressure in the suction passage 3 a of the lower case 3, and the fluid flowing into the suction passage 3 a passes through the umbrella portion 6 a of the first check valve 6. It pushes open and is guided to the chamber 5b1 formed by the second frame portion 5b of the packing 5. Further, the air is sucked from the chamber 5 b 1 into the pump chamber 12 through the first flow path 8 d of the valve holder 8. In this manner, the pump suction process is performed.

また、このように実施される吸入工程の終了後、アクチュエータ1に上述とは逆の電流を流すと、図9に示すように、このアクチュエータ1の軸1aが図9の矢印21で示す同図の左方向に移動する。これに伴って駆動部材1bも矢印21方向に移動し、この駆動部材1bによってダイアフラム9は、ポンプ室12の容量を小さく変化させるように駆動する。すなわち、図2の(b)図に示した仮想線13を中心にして収縮するように弾性変形する。このポンプ室12の容量の減少によってポンプ室12内の圧力が排出路3b内の圧力よりも高くなり、ポンプ室12内の流体が弁ホルダ8の第2流路8eを介して第2逆止弁7の傘部7aを押し開き、パッキン5の第1枠部5aによって形成される部屋5a1に導かれる。さらに、この部屋5a1から下ケース3に形成された排出路3bに導かれ、この排出路3bから下ケース3の外部に排出される。このようにしてポンプの排出工程が実施される。   Further, when a current opposite to that described above is passed through the actuator 1 after the suction step thus performed is completed, the shaft 1a of the actuator 1 is shown by an arrow 21 in FIG. 9 as shown in FIG. Move to the left. Along with this, the drive member 1b also moves in the direction of the arrow 21, and the diaphragm 9 is driven by this drive member 1b so as to change the capacity of the pump chamber 12 small. That is, it is elastically deformed so that it contracts around the virtual line 13 shown in FIG. Due to the decrease in the capacity of the pump chamber 12, the pressure in the pump chamber 12 becomes higher than the pressure in the discharge passage 3 b, and the fluid in the pump chamber 12 passes through the second flow path 8 e of the valve holder 8 to the second check. The umbrella portion 7 a of the valve 7 is pushed open and guided to the chamber 5 a 1 formed by the first frame portion 5 a of the packing 5. Further, it is led from the room 5a1 to a discharge path 3b formed in the lower case 3, and discharged from the discharge path 3b to the outside of the lower case 3. In this way, the pump discharge process is performed.

本実施形態は、上述したポンプの吸入工程と排出工程が繰り返されて、吸入側から吸入された流体は排出側に排出される。すなわち良好な流体吸排性能が確保される。   In the present embodiment, the above-described pump suction and discharge steps are repeated, and the fluid sucked from the suction side is discharged to the discharge side. That is, good fluid suction / discharge performance is ensured.

[本実施形態の効果]
以上のように構成した本実施形態によれば、ダイアフラム9の第1端部9dと第2端部9eを結ぶ仮想線13の長さを例えば、従来のダイアフラムの保持端である第1端部と第2端部を結ぶ仮想線の長さに等しく設定することにより、従来のダイアフラムと同等以上の表面積を確保できる。また、本実施形態のダイアフラム9の第1端部9dと第2端部9eを結ぶ仮想線13は、アクチュエータ1の軸部1aの移動方向に対して傾く状態を形成するので、これらの第1端部9dと第2端部9eを結ぶ仮想線13の長さを、従来のダイアフラムの第1端部と第2端部を結ぶ仮想線の長さと同じにした場合でも、アクチュエータ1の軸1aの移動方向と直交する方向の寸法である高さ寸法を小さくすることができる。このように本実施形態は、ダイアフラム9の高さ寸法を小さく設定でき、しかもこのダイアフラム9の表面積と可動範囲を大きくすることができる。これにより、高さ寸法を小さくできるにもかかわらず、ポンプ室12の容量変化を大きくすることができる。すなわち、良好な流体吸排性能を確保できるとともに、全体の小型化を実現できる。
[Effect of this embodiment]
According to the present embodiment configured as described above, the length of the imaginary line 13 connecting the first end 9d and the second end 9e of the diaphragm 9 is set to, for example, the first end that is the holding end of the conventional diaphragm. By setting it equal to the length of the imaginary line connecting the second end portion, a surface area equal to or greater than that of the conventional diaphragm can be secured. In addition, since the imaginary line 13 connecting the first end 9d and the second end 9e of the diaphragm 9 of the present embodiment forms a state inclined with respect to the moving direction of the shaft 1a of the actuator 1, these first lines Even when the length of the imaginary line 13 connecting the end portion 9d and the second end portion 9e is the same as the length of the imaginary line connecting the first end portion and the second end portion of the conventional diaphragm, the axis 1a of the actuator 1 is used. The height dimension, which is the dimension in the direction orthogonal to the moving direction, can be reduced. Thus, in this embodiment, the height dimension of the diaphragm 9 can be set small, and the surface area and the movable range of the diaphragm 9 can be increased. Thereby, although the height dimension can be reduced, the capacity change of the pump chamber 12 can be increased. That is, it is possible to ensure good fluid suction / discharge performance and to realize a reduction in the overall size.

また、図5の(e)図に示すように、ダイアフラム9の係合部9f6を挟む箱状部9fを含む弾性変形部の一方部分の形状と、他方部分の形状を互いに異ならせたことから、アクチュエータ1の軸1aの移動方向に追従させて係合部9f6を介して、また互いに形状の異なる弾性変形部の一方部分と他方部分を介して、ダイアフラム9の箱状部9fを含む弾性変形部を確実に変形させることができる。   Further, as shown in FIG. 5 (e), the shape of one part of the elastically deforming part including the box-like part 9f sandwiching the engaging part 9f6 of the diaphragm 9 is different from the shape of the other part. Elastic deformation including the box-shaped portion 9f of the diaphragm 9 via the engaging portion 9f6 following the moving direction of the shaft 1a of the actuator 1 and via one and other portions of the elastic deforming portions having different shapes. The part can be reliably deformed.

また、ダイアフラム9が、第1面部9f1、第2面部9f2、第3面部9f3、第4面部9f4、及び空間部9f5を有する箱状部9fを備えていることから、この箱状部9fによってダイアフラム9の表面積と可動範囲をさらに大きくすることができ、ポンプ室12の容量変化を従来のダイアフラムと同等に設定する場合に、さらに高さ寸法を小さくすることが可能になり、さらなる小型化の実現に貢献する。   In addition, the diaphragm 9 includes a box-shaped portion 9f having a first surface portion 9f1, a second surface portion 9f2, a third surface portion 9f3, a fourth surface portion 9f4, and a space portion 9f5. The surface area of 9 and the movable range can be further increased, and when the capacity change of the pump chamber 12 is set to be equal to that of the conventional diaphragm, the height dimension can be further reduced, thereby realizing further miniaturization. To contribute.

また、ダイアフラム9の傾斜部9cが、箱状部9fの両側部のそれぞれに配置され、互いに同等の幅寸法に設定された第1傾斜部9c1と第2傾斜部9c2とから成る構成にしてあることから、アクチュエータ1の軸1aの移動に伴って駆動部材1bからダイアフラム9の箱状部9f及び傾斜部9cに与えられる力が平均化され、これによって第1傾斜部9c1、箱状部9f、第2傾斜部9c2をねじれを生じさせることなく弾性変形させることができ、精度の高い流体吸排性能の確保に貢献する。   In addition, the inclined portions 9c of the diaphragm 9 are arranged on both side portions of the box-shaped portion 9f, and are configured of a first inclined portion 9c1 and a second inclined portion 9c2 that are set to have the same width dimension. Therefore, the force applied from the driving member 1b to the box-like portion 9f and the inclined portion 9c of the diaphragm 9 with the movement of the shaft 1a of the actuator 1 is averaged, whereby the first inclined portion 9c1, the box-like portion 9f, The second inclined portion 9c2 can be elastically deformed without causing torsion, which contributes to ensuring highly accurate fluid suction and discharge performance.

また、ダイアフラム9の箱状部9fが第1面部9f1〜9f4とともに、空間部9f5を有することから、この空間部9f5を介して箱状部9fを容易に変形させることができ、この点でも精度の高い流体吸排性能の確保に貢献する。   In addition, since the box-shaped portion 9f of the diaphragm 9 has the space portion 9f5 together with the first surface portions 9f1 to 9f4, the box-shaped portion 9f can be easily deformed via the space portion 9f5, and also in this respect Contributes to securing high fluid suction and discharge performance.

また、本実施形態によれば、アクチュエータ1の軸1aの移動方向と直交する方向に延設され、流体をポンプ室12に導く吸入路3a、及びポンプ室12内の流体を外部に導く排出路3bと、これらの吸入路3a及び排出路3bのそれぞれに関連して設けられる第1逆止弁6、第2逆止弁7から成る弁体を備えたことから、アクチュエータ1の軸1aの移動方向に沿う全体の長さ方向の寸法、すなわち全体の長さ寸法をダイアフラム9の可動範囲に制約を与えることなく小さく設定することができる。つまり、全体の長さ寸法を小さく設定できるとともに、良好な流体吸排性能を確保でき、全体の小型化を流体吸排性能を低下させることなく実現できる。   Further, according to the present embodiment, the suction path 3a that extends in a direction orthogonal to the moving direction of the shaft 1a of the actuator 1 and guides the fluid to the pump chamber 12, and the discharge path that guides the fluid in the pump chamber 12 to the outside. 3b, and a valve body including a first check valve 6 and a second check valve 7 provided in association with each of the suction passage 3a and the discharge passage 3b, the movement of the shaft 1a of the actuator 1 is provided. The overall length dimension along the direction, that is, the overall length dimension can be set small without restricting the movable range of the diaphragm 9. That is, the overall length dimension can be set small, good fluid suction / discharge performance can be ensured, and the entire size can be reduced without reducing the fluid suction / discharge performance.

また、図2の(b)図に示すように、アクチュエータ1の軸部1aに一体に設けられた駆動部材1bと、ダイアフラム9の主要部とをアクチュエータ1の軸部1aを中心として、すなわち同図2の(b)図に示す中心線14を中心として、一方の側に偏らせて配置したことから、上述のように吸入路3a及び排出路3bを中心線14を中心として、他方の側に偏らせて配置させることができ、これによりコンパクトな全体構造を実現できる。   Further, as shown in FIG. 2B, the driving member 1b provided integrally with the shaft portion 1a of the actuator 1 and the main portion of the diaphragm 9 are centered on the shaft portion 1a of the actuator 1, that is, the same. Since the center line 14 shown in FIG. 2B is centered on one side, the suction path 3a and the discharge path 3b are centered on the center line 14 and the other side as described above. Can be arranged so as to be biased to each other, thereby realizing a compact overall structure.

また、吸入路3a及び排出路3bのそれぞれに関連して設けられる弁体が、第1逆止弁6及び第2逆止弁7から成ることから、これらの第1逆止弁6及び第2逆止弁7を介して、流体の漏れを生じさせることなくポンプ室12に対して精度良く流体を吸排させることができ、これにより高い信頼性が得られる。   Further, since the valve body provided in association with each of the suction passage 3a and the discharge passage 3b is composed of the first check valve 6 and the second check valve 7, the first check valve 6 and the second check valve 6 Through the check valve 7, the fluid can be accurately sucked into and discharged from the pump chamber 12 without causing fluid leakage, thereby obtaining high reliability.

また、上述したように、第1逆止弁6の傘部6aに弁ホルダ8の第2平板部8bに当接する平坦部6cを設け、第2逆止弁7の傘部7aに下ケース3の傾斜面3fに当接する平坦部7cを設けたことから、弁ホルダ8と下ケース3を介して第1逆止弁6及び第2逆止弁7の安定した保持を実現でき、この点でも信頼性の高いポンプが得られる。   Further, as described above, the flat portion 6 c that contacts the second flat plate portion 8 b of the valve holder 8 is provided on the umbrella portion 6 a of the first check valve 6, and the lower case 3 is provided on the umbrella portion 7 a of the second check valve 7. Since the flat portion 7c that comes into contact with the inclined surface 3f is provided, the first check valve 6 and the second check valve 7 can be stably held via the valve holder 8 and the lower case 3. A highly reliable pump can be obtained.

また、ダイアフラム9を駆動する駆動部材1bを、アクチュエータ1の軸部1aに一体に形成したことから、部品数を少なくすることができ、これによって製作費を抑えることができる。なお、部品数の増加を考慮しなくて済む場合等にあっては、駆動部材1bとアクチュエータ1の軸部1aとをそれぞれ別部材によって構成することもできる。   Further, since the driving member 1b for driving the diaphragm 9 is formed integrally with the shaft portion 1a of the actuator 1, the number of parts can be reduced, thereby reducing the manufacturing cost. In addition, when it is not necessary to consider the increase in the number of parts, the driving member 1b and the shaft portion 1a of the actuator 1 can be configured by separate members.

また、ダイアフラム9が収納されるダイアフラムホルダ10の基部10aに、ダイアフラム9を駆動する駆動部材1bが移動可能に挿入される穴部10a1を設けたことから、このダイアフラムホルダ10によってダイアフラム9を安定して保持できるとともに、ダイアフラムホルダ10の穴部10a1を介して駆動部材1bを移動させることによって、ダイアフラム9を確実に駆動させることができ、この点でも信頼性の高いポンプが得られる。   Moreover, since the hole 10a1 into which the drive member 1b which drives the diaphragm 9 is movably inserted is provided in the base 10a of the diaphragm holder 10 in which the diaphragm 9 is accommodated, the diaphragm 9 is stabilized by the diaphragm holder 10. The diaphragm 9 can be reliably driven by moving the driving member 1b through the hole 10a1 of the diaphragm holder 10, and a highly reliable pump can be obtained in this respect as well.

また、下ケース3と弁ホルダ8との間にパッキン5を備えるとともに、ダイアフラム9もシール機能を有することから、ポンプ室12を含めて精度の高いシール構造を実現でき、流体の漏れを確実に防止することができる。   In addition, since the packing 5 is provided between the lower case 3 and the valve holder 8 and the diaphragm 9 also has a sealing function, a highly accurate sealing structure including the pump chamber 12 can be realized, and fluid leakage is ensured. Can be prevented.

本発明に係るポンプの一実施形態を示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view showing one embodiment of a pump concerning the present invention. 本実施形態の組立図を示し、(a)図は平面図、(b)図は(a)図のA−A断面図である。The assembly drawing of this embodiment is shown, (a) figure is a top view, (b) figure is AA sectional drawing of (a) figure. 本実施形態に備えられる弁ホルダを示す図で、(a)図は斜視図、(b)図は平面図、(c)図は側面図である。It is a figure which shows the valve holder with which this embodiment is equipped, (a) A figure is a perspective view, (b) A figure is a top view, (c) A figure is a side view. 本実施形態に備えられる第1逆止弁及び第2逆止弁を示す図で、(a)図は上方から見た斜視図、(b)図は下方から見た斜視図、(c)図は平面図、(d)図は側面図である。It is a figure which shows the 1st check valve and 2nd check valve with which this embodiment is equipped, (a) A figure is a perspective view seen from the upper part, (b) A figure is a perspective view seen from the lower part, (c) Figure Is a plan view, and (d) is a side view. 本実施形態に備えられるダイアフラムを示す図で、(a)図は上方から見た斜視図、(b)図は下方から見た斜視図、(c)図は平面図、(d)図は側面図、(e)図は(c)図のB−B断面図である。It is a figure which shows the diaphragm with which this embodiment is equipped, (a) A figure is a perspective view seen from the top, (b) A figure is a perspective view seen from the bottom, (c) A figure is a top view, (d) A figure is a side view The figure and (e) figure are BB sectional drawings of (c) figure. 本実施形態に備えられるダイアフラムホルダを示す図で、(a)図は上方から見た斜視図、(b)図は下方から見た斜視図、(c)図は平面図(d)図は側面図、(e)図は正面図である。It is a figure which shows the diaphragm holder with which this embodiment is equipped, (a) A figure is a perspective view seen from the upper part, (b) A figure is a perspective view seen from the lower part, (c) A figure is a top view (d) A figure is a side view Figures (e) and (e) are front views. 本実施形態に備えられるパッキンを示す図で(a)図は斜視図、(b)図は平面図、(c)図は正面図である。It is a figure which shows the packing with which this embodiment is equipped, (a) A figure is a perspective view, (b) A figure is a top view, (c) A figure is a front view. 本実施形態で実施される吸入工程を示す図で、(a)図は平面図、(b)図は(a)図のC−C断面図である。It is a figure which shows the suction | inhalation process implemented by this embodiment, (a) A figure is a top view, (b) A figure is CC sectional drawing of (a) figure. 本実施形態で実施される排出工程を示す図で、(a)図は平面図(b)図は(a)図のD−D断面図である。It is a figure which shows the discharge process implemented by this embodiment, (a) A figure is a top view, (b) A figure is DD sectional drawing of (a) figure.

符号の説明Explanation of symbols

1 アクチュエータ
1a 軸
1b 駆動部材
1b1 先端部
2 ポンプ本体
3 下ケース
3a 吸入路
3b 排出路
3c 孔部
3e 平坦面
3f 傾斜面
5 パッキン
5a 第1枠部
5b 第2枠部
5c 傾斜部
5d 傾斜部
6 第1逆止弁
6a 傘部
6b 軸部
6c 平坦部
7 第2逆止弁
7a 傘部
7b 軸部
7c 平坦部
8 弁ホルダ
8a 第1平板部
8b 第2平板部
8c 傾斜部
8d 第1流路
8e 第2流路
8f 孔部
9 ダイアフラム
9a 第1平板部(弾性変形部)
9b 第2平板部(弾性変形部)
9c 傾斜部(弾性変形部)
9c1 第1傾斜部
9c2 第2傾斜部
9d 第1端部
9e 第2端部
9f 箱状部(弾性変形部)
9f1 第1面部
9f2 第2面部
9f3 第3面部
9f4 第4面部
9f5 空間部
9f6 係合部
10 ダイアフラムホルダ
10a1 穴部
12 ポンプ室
13 仮想線
14 中心線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator 1a Shaft 1b Drive member 1b1 Tip part 2 Pump main body 3 Lower case 3a Intake path 3b Discharge path 3c Hole part 3e Flat surface 3f Inclined surface 5 Packing 5a 1st frame part 5b 2nd frame part 5c Inclined part 5d Inclined part 6 1st check valve 6a Umbrella part 6b Shaft part 6c Flat part 7 2nd check valve 7a Umbrella part 7b Shaft part 7c Flat part 8 Valve holder 8a 1st flat plate part 8b 2nd flat plate part 8c Inclined part 8d 1st flow path 8e 2nd flow path 8f Hole 9 Diaphragm 9a 1st flat plate part (elastic deformation part)
9b 2nd flat plate part (elastic deformation part)
9c Inclined part (elastically deformed part)
9c1 1st inclination part 9c2 2nd inclination part 9d 1st edge part 9e 2nd edge part 9f Box-shaped part (elastic deformation part)
9f1 First surface portion 9f2 Second surface portion 9f3 Third surface portion 9f4 Fourth surface portion 9f5 Space portion 9f6 Engaging portion 10 Diaphragm holder 10a1 Hole portion 12 Pump chamber 13 Virtual line 14 Center line

Claims (9)

ポンプ室と、このポンプ室内に配置されるダイアフラムと、このダイアフラムを駆動する駆動部材と、この駆動部材を作動させる軸を有するアクチュエータとを備え、上記ダイアフラムの駆動によって上記ポンプ室への流体の吸入、及び上記ポンプ室からの上記流体の排出を行なうとともに、
上記アクチュエータの上記軸の移動方向と直交する方向に延設され、上記流体を上記ポンプ室に導く吸入路、及び上記ポンプ室の上記流体を外部に導く排出路と、
これらの吸入路及び排出路のそれぞれに関連して設けられる弁体とを備えたことを特徴とするポンプ。
A pump chamber, a diaphragm disposed in the pump chamber, a driving member that drives the diaphragm, and an actuator having a shaft that operates the driving member, and suction of fluid into the pump chamber by driving the diaphragm And discharging the fluid from the pump chamber,
A suction path that extends in a direction orthogonal to the direction of movement of the shaft of the actuator, guides the fluid to the pump chamber, and a discharge path that guides the fluid in the pump chamber to the outside;
And a valve body provided in association with each of the suction passage and the discharge passage.
上記請求項1記載の発明において、
上記駆動部材と、上記ダイアフラムの主要部とを上記アクチュエータの上記軸を中心として、一方の側に偏らせて配置したことを特徴とするポンプ。
In the invention of claim 1,
The pump according to claim 1, wherein the driving member and the main part of the diaphragm are arranged so as to be biased to one side around the axis of the actuator.
上記請求項1または2記載の発明において、
上記弁体が、上記吸入路を開閉する第1逆止弁と、上記ポンプ室と上記排出路との間に設けられる第2逆止弁とから成ることを特徴とするポンプ。
In the invention according to claim 1 or 2,
The pump, wherein the valve body includes a first check valve that opens and closes the suction passage, and a second check valve provided between the pump chamber and the discharge passage.
上記請求項3記載の発明において、
上記第1逆止弁、及び上記第2逆止弁のそれぞれが、可動可能な傘部と、この傘部の拡開方向と直交する方向に連設される軸部とを有し、
上記第1逆止弁の上記軸部を、上記吸入路と平行に上記アクチュエータの上記軸の移動方向と直交する方向に延設させ、上記第2逆止弁の上記軸部を、上記アクチュエータの上記軸の移動方向に対して斜め方向に延設させたことを特徴とするポンプ。
In the invention of claim 3,
Each of the first check valve and the second check valve has a movable umbrella part and a shaft part provided in a direction orthogonal to the expanding direction of the umbrella part,
The shaft portion of the first check valve is extended in a direction perpendicular to the moving direction of the shaft of the actuator in parallel to the suction path, and the shaft portion of the second check valve is extended to the actuator. A pump characterized by extending in an oblique direction with respect to the moving direction of the shaft.
上記請求項4記載の発明において、
上記第2逆止弁を保持し、上記ポンプ室を形成する弁ホルダを備え、
この弁ホルダが、上記アクチュエータの上記軸の移動方向と直交する方向に延設され、上記第1逆止弁を介して上記吸入路と上記ポンプ室とを連通させる第1流路と、上記アクチュエータの上記軸の移動方向に対して斜め方向に延設され、上記第2逆止弁を介して上記排出路と上記ポンプ室とを連通させる第2流路とを有し、
上記弁ホルダの上記第2流路を開閉可能に上記第2逆止弁を設けたことを特徴とするポンプ。
In the invention of claim 4,
A valve holder for holding the second check valve and forming the pump chamber;
A first flow path that extends in a direction orthogonal to the direction of movement of the shaft of the actuator, and that connects the suction path and the pump chamber via the first check valve; and the actuator. A second passage that extends in an oblique direction with respect to the moving direction of the shaft and communicates the discharge passage and the pump chamber via the second check valve,
The pump characterized in that the second check valve is provided so that the second flow path of the valve holder can be opened and closed.
上記請求項5記載の発明において、
上記弁ホルダが、
上記吸入路から離れた位置に配置される第1平板部と、上記吸入路に近い位置であって上記第1平板部から離隔して配置される第2平板部と、上記第2逆止弁の上記軸部が保持され、上記第1平板部と上記第2平板部とを接続する傾斜部とを有し、
上記第1流路を上記第2平板部に形成し、上記第2流路を上記傾斜部に形成するとともに、
上記吸入路及び上記排出路が形成され、上記第1逆止弁の上記軸部が保持されるケースを備え、
上記第1逆止弁の上記傘部が上記弁ホルダの上記第2平板部に当接する平坦部を有し、上記第2逆止弁の上記傘部が上記ケースに当接する平坦部を有することを特徴とするポンプ。
In the invention of claim 5,
The valve holder is
A first flat plate portion disposed at a position away from the suction passage; a second flat plate portion disposed at a position close to the suction passage and spaced from the first flat plate portion; and the second check valve. The shaft portion is held, and has an inclined portion connecting the first flat plate portion and the second flat plate portion,
The first channel is formed in the second flat plate portion, the second channel is formed in the inclined portion,
A case in which the suction passage and the discharge passage are formed and the shaft portion of the first check valve is held;
The umbrella portion of the first check valve has a flat portion that contacts the second flat plate portion of the valve holder, and the umbrella portion of the second check valve has a flat portion that contacts the case. Features a pump.
上記請求項1記載の発明において、
上記ダイアフラムは、上記ポンプ室内に配置された際に保持される互いに反対側に位置する2つの端部を有し、
これらの2つの端部のうちの一方の端部である第1端部と、他方の端部である第2端部とを結ぶ仮想線が、上記アクチュエータの上記軸の移動方向に対して傾くように、上記ダイアフラムを設けたことを特徴とするポンプ。
In the invention of claim 1,
The diaphragm has two ends located on opposite sides that are held when arranged in the pump chamber,
An imaginary line connecting the first end which is one end of these two ends and the second end which is the other end is inclined with respect to the moving direction of the shaft of the actuator. Thus, the pump characterized by providing the said diaphragm.
上記請求項1記載の発明において、
上記駆動部材を上記アクチュエータの上記軸に一体に形成したことを特徴とするポンプ。
In the invention of claim 1,
A pump characterized in that the drive member is formed integrally with the shaft of the actuator.
上記請求項1記載の発明において、
上記ポンプ室を形成し上記ダイアフラムが収納されるダイアフラムホルダを備え、このダイアフラムホルダに上記駆動部材が移動可能に挿入される穴部を設けたことを特徴とするポンプ。
In the invention of claim 1,
A pump comprising a diaphragm holder that forms the pump chamber and accommodates the diaphragm, and the diaphragm holder is provided with a hole into which the driving member is movably inserted.
JP2007092785A 2007-03-30 2007-03-30 Pump Withdrawn JP2008248835A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007092785A JP2008248835A (en) 2007-03-30 2007-03-30 Pump
CN2008100878773A CN101275550B (en) 2007-03-30 2008-03-27 Pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007092785A JP2008248835A (en) 2007-03-30 2007-03-30 Pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008248835A true JP2008248835A (en) 2008-10-16

Family

ID=39974060

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007092785A Withdrawn JP2008248835A (en) 2007-03-30 2007-03-30 Pump

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2008248835A (en)
CN (1) CN101275550B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115137513A (en) * 2022-07-01 2022-10-04 东莞市因范生活科技有限公司 Tooth flushing device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT8221999V0 (en) * 1982-05-26 1982-05-26 Kamyr Srl DIAPHRAGM DOSING PUMP, EQUIPPED WITH DOUBLE CHECK VALVES.
CN2055873U (en) * 1989-02-21 1990-04-11 黄涛 Diaphragm pump
CN2090886U (en) * 1991-04-11 1991-12-18 中国科学院山西煤炭化学研究所 Mini-circulating air compressor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115137513A (en) * 2022-07-01 2022-10-04 东莞市因范生活科技有限公司 Tooth flushing device
CN115137513B (en) * 2022-07-01 2024-02-23 东莞市因范生活科技有限公司 Tooth washing device

Also Published As

Publication number Publication date
CN101275550B (en) 2010-06-16
CN101275550A (en) 2008-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4422040B2 (en) Valve device
EP1253320B1 (en) Pump and method of manufacturing same
KR100714249B1 (en) Rectangular gate valve
US8066494B2 (en) Micropump
JPH01503479A (en) multi-directional dialect
US20190375378A1 (en) Device for spraying fluid on vehicle camera
JP6683828B2 (en) Spring type gate valve
US20170175725A1 (en) Variable-capacity compressor control valve
KR20020010678A (en) Gate valve for semiconductor processing system
JP2006063960A (en) Check valve and diaphragm pump
JP2008248835A (en) Pump
JP2008248834A (en) Pump
CN109416035B (en) Control valve for variable displacement compressor
CN113062991B (en) Gate valve with dustproof function
KR102650263B1 (en) Piezoelectric valve and method of manufacturing the piezoelectric valve
JP2001021048A (en) Gate valve having lamp actuator mechanism
JP3707380B2 (en) Diaphragm pump
JP2008025684A (en) Actuator
TW201812200A (en) Electromagnetic valve
JP4597799B2 (en) Solenoid switching valve
JP7193804B2 (en) Piezoelectric Actuator, Piezoelectric Valve, and Piezoelectric Actuator Manufacturing Method
CN217534605U (en) Suction nozzle assembly
JP2007113764A (en) Diaphragm type control valve
JP2005054658A (en) Pump device
JP7433993B2 (en) three-way valve

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20100601