JP2008246328A - 静電噴霧装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 22
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 18
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 claims description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 16
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 15
- 238000007590 electrostatic spraying Methods 0.000 claims description 13
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 34
- 239000003595 mist Substances 0.000 abstract description 10
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 13
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 7
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 5
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003905 agrochemical Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrostatic Spraying Apparatus (AREA)
- Catching Or Destruction (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
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Abstract
【解決手段】3次元位置制御装置15により、ノズル保持プレート7の位置決めを行う。その後、シリンダポンプ2の送り量を調節しながら、主ノズル4から基板8上に堆積させたい原料50及び溶媒51の混合液を噴霧させる。このとき、高電圧の印加に伴い、主ノズル4から霧状化された液体が拡散噴霧される。一方、補助ノズル5からは堆積させたい原料50を含まない、かつ揮発する溶媒53を噴霧させる。主ノズル4及び補助ノズル5には高圧電源装置10により高電圧が掛けられているため、原料50及び溶媒51の混合液の霧と溶媒53の霧とは共にプラスに帯電された状態であり、互いに反発し合う。このため、原料50及び溶媒51の混合液の霧は、四方より噴霧範囲を絞られ基板8の中心部に集中される。
【選択図】図1
Description
ノズルから液体を放出する際には、接地された基板に向けて霧状化した液体が円錐状に拡散噴霧される。
また、試薬の量も噴霧範囲の面積に比例して沢山必要であった。
一方、ノズルからの噴霧範囲を狭くするにはノズルと基板間の距離を近づけることも考えられるが、余り近づけると、高電圧で引火するという危険があった。
また、本発明(請求項2)は、前記主剤には前記基板において所定温度にて揮発する液体、スラリー、若しくは粉体を含むことを特徴とする。
更に、本発明(請求項3)は、前記主剤に含まれ所定温度にて揮発する液体、スラリー、若しくは粉体と、前記補助剤に含まれ所定温度にて揮発する液体、スラリー、若しくは粉体とが同一物であることを特徴とする。
更に、本発明(請求項4)は、前記主ノズル及び前記補助ノズルの前記基板に対する空間位置を座標決めする位置決め手段を備えて構成した。
一つの原料の堆積を得た後、主ノズル及び補助ノズルの基板に対する空間座標位置を移動させ、次の位置決めを行う。その後、この座標地点での原料の堆積を再び行う。
堆積物より溶媒等を揮発させ、後に主剤の原料のみを残すことができる。
3次元位置制御装置15により、ノズル保持プレート7の位置決めを行う。その後、シリンダポンプ1、2の送り量を調節しながら、主ノズル4から基板8上に堆積させたい原料50及び溶媒51の混合液を噴霧させる。このとき、高電圧の印加に伴い、主ノズル4から霧状化された液体が拡散噴霧される。一方、補助ノズル5からは堆積させたい原料50を含まない、かつ揮発する溶媒53を噴霧させる。
一つの原料50の堆積を得た後、3次元位置制御装置15により、ノズル保持プレート7を移動させ、次の位置決めを行う。その後、この座標地点での原料50の堆積を再び行う。
図3のステップ1では、混合される複数種の無機物質原料の識別名や濃度、組成図の座標の分割数、混合される無機物質原料の化学処理条件がデータとして入力される。但し、原料は一種類であってもよい。識別名の入力の方法は、原料名を入力することや、予めパソコン11の入力画面に示された識別名に濃度を入力したり、識別名を選択したりすることによって行われる。原料名と識別名とは別途対応させることになる。化学処理条件とは、具体的には、試料生成、盛付、加熱、計測、分析等の各要素操作の条件である。
入力が終わると、ステップ2が実行され、パソコン11の画面に図4に示す組成図61が表示される。
主ノズル4から原料50を溶媒51に溶かした溶液を、かつ周囲の4本の補助ノズル5から溶媒53のみをそれぞれ25μ./min.で1分間、同時に噴霧させた。このときのノズル先端から基板8までの距離は45mmであった。ノズルへの印加電圧は9000Vである。得られた堆積物は図5に示されるように5mm程度の直径を有する円状になった。
3 マニホールド
4 主ノズル
5 補助ノズル
7 ノズル保持プレート
8 基板
9 加熱素子
10 高圧電源装置
11 パソコン
13 温度コントローラ
15 3次元位置制御装置
50 原料
51、53 溶媒
61 組成図
Claims (5)
- 液体、スラリー、若しくは粉体の少なくとも一つの原料を含む主剤と、
該主剤を基板に向けて噴霧する主ノズルと、
前記基板において所定温度にて揮発する液体、スラリー、若しくは粉体の補助剤と、
前記主ノズルの回りに複数配設され該補助剤を基板に向けて噴霧する補助ノズルと、
該補助ノズルと前記主ノズルを共に同極性に電圧印加する電圧印加手段とを備えた静電噴霧装置であって、
前記主ノズルより噴霧された主剤が前記補助ノズルより噴霧された補助剤により噴霧範囲を絞られ基板上に集中されることを特徴とする静電噴霧装置。 - 前記主剤には前記基板において所定温度にて揮発する液体、スラリー、若しくは粉体を含むことを特徴とする請求項1記載の静電噴霧装置。
- 前記主剤に含まれ所定温度にて揮発する液体、スラリー、若しくは粉体と、前記補助剤に含まれ所定温度にて揮発する液体、スラリー、若しくは粉体とが同一物であることを特徴とする請求項2記載の静電噴霧装置。
- 前記主ノズル及び前記補助ノズルの前記基板に対する空間位置を座標決めする位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項1、2又は3記載の静電噴霧装置。
- 前記基板を加熱する加熱手段を備えたことを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の静電噴霧装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007089101A JP5016960B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 静電噴霧装置及び主剤からなる試料の作製方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007089101A JP5016960B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 静電噴霧装置及び主剤からなる試料の作製方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008246328A true JP2008246328A (ja) | 2008-10-16 |
JP2008246328A5 JP2008246328A5 (ja) | 2010-05-20 |
JP5016960B2 JP5016960B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=39971919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007089101A Active JP5016960B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 静電噴霧装置及び主剤からなる試料の作製方法 |
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