JP2008245474A - リニアモータ - Google Patents

Abstract

【課題】コイルから発生する熱を効率よく吸収して大気に逃がすことができるリニアモータを提供する。
【解決手段】リニアモータは、マグネット２が設けられる固定部材１と、マグネット２に向かい合うコイルが設けられる可動部材４と、を有し、電流が流れるコイル３とマグネット２の磁界の作用により生じた力を利用して、可動部材４を固定部材１に対して直線又は曲線的に運動させる。コイル３の内側には、磁性体からなるコア１１が設けられる。コイル３の内側には、コア１１よりも熱伝導率が高い熱伝導部１４が設けられる。放熱部１２は、熱伝導部１４に接触すると共に大気に接触し、コイル３から発生する熱を大気に放熱する。
【選択図】図１

Description

本発明は、マグネットの磁界とコイルに流す電流によって、直線又は曲線運動するための推力を得るリニアモータに関する。

リニアモータは、回転型のモータの固定子側と回転子側を直線状に引き伸ばしたもので、電気エネルギを直線運動するための推力に変換する。直線的な推力が得られるリニアモータは、移動体を直線運動させる一軸のアクチュエータとして用いられる。

リニアモータにおいては、固定子が軌道になり、可動子は固定子に沿って運動する。固定子には、長さ方向にＮ極及びＳ極の磁極を持つ平板状のマグネットが交互に配列される。可動子には、マグネットに向かい合う複数のコイルが可動子の進行方向に複数並べられる。コイルの内部には、コイルが生じさせる磁力を強くするためのコアが設けられる。Ｕ・Ｖ・Ｗ相の三相に分けた複数のコイルに１２０°ずつ位相が異なる三相交流電流を流すと、可動子の進行方向に移動する移動磁界が発生する。電流が流れるコイルとマグネットの磁界の作用により生じた推力によって、可動子が固定子に対して相対的に運動する。

回転型モータ及びリニアモータのいずれにあっても、コイルに電流を流すと熱が発生する。大きな推力を得ようとして、コイルに大きな電流を流すと、発生する熱量も大きくなる。しかし、熱によってコイルの温度が高くなると、コイルが生じさせる磁力が弱くなり、リニアモータの効率が落ちる。この問題を解決するために、図１３に示されるように、コイルから発生する熱を放熱させる放熱部材を設けたリニアモータが開示されている（特許文献１、段落［００３３］参照）。このリニアモータにおいて、固定子５１には、上下方向に間隔を開けて一組のマグネット５２が配置される。可動子５６には、上側のマグネット５２に向かい合う上段側のコイル５３ａと、下側のマグネット５２に向かい合う下段側のコイル５３ｂとが設けられる。上段側のコイル５３ａ及び下段側のコイル５３ｂの内側には、共通のコア５５が設けられる。放熱部材５４は、熱伝導が良好なアルミニウムからなり、コア５５を貫通する。コイル５３ａ，５３ｂから発生する熱はコア５５、放熱部材５４を伝導し、放熱部材５４の冷却フィン５４ａから放熱される。
特開2002-112525号公報

しかし、従来のリニアモータにあっては、磁力を強くするために、コイルの内側の全体空間はコアによって占められる。コイルから発生する熱は磁性体であるコアを経由してコイルの外側の放熱部材に伝わる。コアには、一般的に透磁率が大きいケイ素鋼が用いられる。ケイ素鋼の熱伝導率は、アルミニウムの約１／５であるから、放熱部材に熱伝導率が高いアルミニウムを用いたとしても、熱伝導率が低いコアを経由することで、コイルから発生する熱が放熱部材に伝わりにくくなる。

そこで、本発明は、コイルから発生する熱を効率よく吸収して大気に逃がすことができるリニアモータを提供することを目的とする。

ところで、熱の伝わり方は、熱伝導、熱対流及び熱放射の三種類に大別できる。熱伝導は、熱が物体の高温部から低温部へ物体中を伝わって移動する現象である。熱対流は、熱対流は空気の流れによって熱が運ばれる現象である。熱放射は、物体から熱エネルギが電磁波として放射される現象である。

従来のリニアモータにおいて、放熱部材として使用されるアルミニウムは、熱伝導率は高いが熱放射率が低い。熱放射率が低い分だけ、冷却フィンから効率よく熱を逃がすことができない。アルミニウムの表面に、アルマイト処理と呼ばれる陽極酸化皮膜を形成すると、熱放射率が格段に向上する。ただし、アルマイト処理すると、今度は陽極酸化皮膜の部分で熱伝導率が低下し、コイルから発生する熱を熱伝導しにくくなる。

そこで本発明の他の目的は、熱伝導率及び熱放射率の両方を高くすることができ、コイルの冷却に適した冷却手段を備えるリニアモータを提供することにある。

以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、マグネット(2)又はマグネット(2)に向かい合うコイル(3)の一方が設けられる固定部材(1)と、前記マグネット(2)又は前記コイル(3)の他方が設けられる可動部材(4)と、を有し、電流が流れるコイル(3)とマグネット(2)の磁界の作用により生じた力を利用して、可動部材(4)を固定部材(1)に対して直線又は曲線的に運動させるリニアモータにおいて、前記コイル(3)の内側に設けられ、磁性体からなるコア(11,26)と、前記コイル(3)の内側に、かつ前記コア(11,26)の内側若しくは外側に設けられ、前記コア(11,26)よりも熱伝導率が高い熱伝導部(14,27)と、前記熱伝導部(14,27)に接触すると共に大気に接触し、前記コイル(3)から発生する熱を大気に放熱する放熱部(12)と、を備えるリニアモータである。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のリニアモータにおいて、前記熱伝導部(27)は、前記コア(26)の外側に前記コア(26)を囲むように設けられることを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のリニアモータにおいて、前記コイル(3)は、前記可動部材(4)の進行方向に複数並べて配列され、前記熱伝導部(14,27)は、前記複数のコイル(3)の前記マグネット(2)に対向する側とは反対側に設けられ、前記複数のコイル(3)を跨るように前記複数のコイル(3)が配列される方向に伸びると共に、前記放熱部(12)に接触する基部プレート(14a,27a)と、前記基部プレート(14a,27a)から前記複数のコイル(3)それぞれの内側に向かって突出する複数の櫛歯部(14b,27b)と、を有することを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記熱伝導部(14)が前記コア(11)の内側に配置される場合、前記熱伝導部(14)が前記マグネット(2)に向かい合う前記コア(11)の端面(11b-1)から露出しないように、前記熱伝導部(14)が前記コア(11)の内部に埋め込まれ、前記熱伝導部(27)が前記コア(26)の外側に配置される場合、前記マグネット(2)に向かい合う前記熱伝導部(27)の端面が、前記マグネット(2)に向かい合う前記コア(26)の端面よりも前記マグネット(2)から離間し、前記コア(26)が前記熱伝導部(27)から露出することを特徴とする。

請求項１に記載の発明によれば、コアよりも熱伝導率が高い熱伝導部がコイルの内側に設けられるので、コアから発生する熱を熱伝導部で効率良く吸い上げることができる。

請求項２に記載の発明によれば、コイルから発生する熱は直近の熱伝導部に直接的に伝導するので、コアから発生する熱を熱伝導部で効率良く吸い上げることができる。また、コアには熱が伝わりにくくなるので、コアの温度上昇も抑えることができる。このため、温度上昇に伴って磁性体であるコアの磁化特性が落ちるのを防止できる。

請求項３に記載の発明によれば、可動子の進行方向に並べられる複数のコイルから熱を吸い上げることができる。

請求項４に記載の発明によれば、マグネットに対向するコアの端面に磁束を集めることができる。このため、コイルの内側に磁束が通りにくい熱伝導部を設けたとしても、モータの推力が低下するのを防止できる。

添付図面に基づいて本発明の一実施形態のリニアモータを詳細に説明する。図１及び図２は本発明の一実施形態におけるリニアモータを示す。図１は斜視図を示し、図２は正面図を示す。この実施形態のリニアモータは、一軸のアクチュエータで、テーブル等に移動体を一軸方向に移動させるのに用いられる。固定部材１には、Ｎ極及びＳ極の複数のマグネット２が交互に配列される。可動部材４は、マグネット２に向かい合う複数の例えば三つのコイル３を有する。電流が流れるコイル３とマグネット２の磁界の作用により生じた推力によって、可動部材４が固定部材１に対して直線運動する。

固定部材１は、可動部材４の移動方向に細長く伸びている。固定部材１は、矩形状の底部プレート１ａと、底部プレート１ａの幅方向の両端部に設けられる一対の側壁部１ｂとを有する。一対の側壁部１ｂの上面それぞれには、リニアガイドのレール５が取り付けられる。レール５は、側壁部１ｂの長さ方向のほぼ全長に渡って細長く伸びる。レール５の外周面には、リニアガイドのブロック６のボール、ローラ等の転動体が転がり運動する転動体転走溝がレール５に沿って形成される。固定部材１の底部プレート１ａの上面には、Ｎ極及びＳ極の複数のマグネット２が交互に配列される。マグネット２は幅方向に細長い板状の永久磁石からなる。複数のマグネット２は固定部材１の長さ方向に一定のピッチで配列される。

可動部材４は、左右一対のレール５それぞれにスライド可能に組み付けられるリニアガイドのブロック６と、左右のブロック６に跨る結合天板７と、結合天板７の下面に設けられる可動子９と、から構成される。

結合天板７は、幅方向に細長く伸びる天井部７ａと、天井部７ａの幅方向の両端に設けられ、下方に垂れ下がる一対の脚部７ｂと、を有する。脚部７ｂの下端には、リニアガイドのブロック６が取り付けられる。天井部７ａの下面には、可動子９が取り付けられる。天井部７ａの上面には、テーブル等の移動体を取り付けるための取付けねじが加工される。

ブロック６は、レール５を跨る鞍形状に形成される。一つのレール５に対して二つのブロック６が組み付けられる。ブロック６には、レール５の転動体転走溝に対向する負荷転動体転走溝が形成されると共に、転動体を循環させるためのサーキット状の転動体循環経路が設けられる。ブロック６の転動体循環経路には複数の転動体が配列・収容される。レール５に対してブロック６がスライドすると、レール５の転動体転走溝とブロック６の負荷転動体転走溝との間に介在された転動体が転がり運動する。これと同時に転動体はサーキット状の転動体循環経路を循環する。転動体の転がり運動によって、レール５に対してブロック６がスライドするときの摩擦抵抗が低減される。

可動子９は、マグネット２に向かい合う複数の、例えば三つのコイル３と、コイル３が発生する磁界を強めるコア１１と、コイル３から発生する熱を大気に逃がす放熱部であるヒートシンク１２と、を備える。

コイル３は、コア１１の周囲にエナメル線を巻いたものであり、可動子９の幅方向に細長い四角形の環状に形成される。三つのコイル３は可動部材４の移動方向に隣接して並べられる。Ｕ・Ｖ・Ｗ相の三相に分けた三つのコイル３に１２０°ずつ位相が異なる三相交流電流を流すと、可動子９の進行方向に移動する移動磁界が発生する。電流が流れるコイル３とマグネット２の磁界の作用により生じた推力によって、可動子９が固定部材１に対して相対的に運動する。

コイル３に流れる電流は、制御装置によって制御される。固定部材１には可動部材４の位置を検出するリニアスケールが取り付けられる。制御装置は、リニアスケールが検出した可動部材４の位置情報及び速度情報をフィードバックし、目標値との差分を算出し、可動部材４の位置及び速度が目標値に近づくようにコイル３に電流を流す。

図３及び図４は、可動子９の詳細図を示す。コア１１は、複数のコイル３のマグネット２に対向する側とは反対側に設けられ、複数のコイル３を跨るように複数のコイル３の配列方向に伸びる基部プレート１１ａと、基部プレート１１ａから複数のコイル３それぞれの内側に向かって突出する複数の櫛歯部１１ｂと、を有する。基部プレート１１ａは可動子９の進行方向に細長い矩形状に形成される。コア１１の基部プレート１１ａの上面は、ヒートシンク１２の下面に接触する。複数の櫛歯部１１ｂは、基部プレート１１ａに直交する板形状に形成されると共に、基部プレート１１ａの幅方向に全長に渡って伸びる（図５参照）。コア１１の内部空間は、コア１１の櫛歯部１１ｂによって占められる。コア１１の櫛歯部１１ｂは、コイル３よりもマグネット２側に突出する。コア１１の材質は、ケイ素鋼等の磁性体である。

図５は、コア１１及び熱伝導部１４の斜視図を示す。コア１１の内部には、熱伝導部１４が挿入される。熱伝導部１４は、複数のコイル３のマグネット２と対向する側とは反対側に設けられ、複数のコイル３を跨るように複数のコイル３が配列される方向に伸びる基部プレート１４ａと、基部プレート１４ａから複数のコイル３それぞれの内側に突出する櫛歯部１４ｂと、を有する。熱伝導部１４の形状は、コア１１の形状と相似形である。図６に示されるように、コア１１には、熱伝導部１４の櫛歯部１４ｂの形状に合わせた櫛歯部挿入溝１１ｃが形成される。コア１１の上面の中央部には、熱伝導部１４の基部プレート１４ａに接触する基部プレート接触面１１ｄが形成される。基部プレート接触面１１ｄは、周囲の枠部１１ｅよりも熱伝導部１４の厚さ分だけ低く形成される。熱伝導部１４をコア１１に装着したとき、熱伝導部１４の基部プレート１４ａの上面とコア１１の枠部１１ｅの上面とが同一平面になる。そして、熱伝導部１４を埋め込んだコア１１をヒートシンク１２の下面に装着したとき、熱伝導部１４及びコア１１の双方が、ヒートシンク１２の下面に接触する。

図６に示されるように、櫛歯部挿入溝１１ｃは、コア１１の櫛歯部１１ｂの底面まで貫通していない。すなわち、図３に示されるように、熱伝導部１４の櫛歯部１４ｂは、マグネット２に向かい合うコア１１の端面１１ｂ−１から露出しないように、コア１１の内部に埋め込まれている。マグネット２に向かい合うコア１１の端面１１ｂ−１は、磁束が集中するところである。熱伝導部１４をコア１１の端面から露出させないことで、磁力の低下量を抑えることができる。コア１１の内部に埋め込まれているといっても、熱伝導部１４の櫛歯部１４ｂはコア１１の内側に突出し、熱伝導部１４の櫛歯部１４ｂの下端はマグネット２に向かい合うコイル３の端面３ａと同じ平面まで伸びる。

熱伝導部１４の材質は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる。アルミニウム合金としては、Ａｌ−Ｃｕ系合金、Ａｌ−Ｍｎ系合金、Ａｌ−Ｓｉ系合金、Ａｌ−Ｍｇ系合金、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系合金、Ａｌ−Ｍｎ系合金を用いることができる。熱伝導部１４の表面には、陽極酸化皮膜が形成されると共に、陽極酸化皮膜中にアルミニウム以外の金属、例えば銀が含浸される。

陽極酸化とは、金属を陽極とし、電解質水溶液の電気分解によって金属の表面に耐食性の酸化皮膜を生成することである。例えば、図７に示されるように、電解槽２１に電解質溶液として、２５０ｇｒ／ｌ以上３５０ｇｒ／ｌ以下の硫酸と、１５ｇｒ／ｌ以上２５ｇｒ／ｌ以下の硫酸ニッケルとを含む水溶液２２を溜める。電解槽２１の内部にカーボン、グラファイト等の非消耗性電極２３を配置し、熱伝導部１４を保持する治具２４を配置する。そして、非消耗性電極２３を直流電源の陰極に接続し、治具２４を陽極に接続する。溶液温度：−１０℃以上＋２５℃以下、電圧：ＤＣ１００Ｖ以上２００Ｖ以下、電流密度：０．５Ａ／ｄｍ²以上２０．０Ａ／ｄｍ²以下という条件で陽極酸化を行うと、熱伝導部１４の表面に陽極酸化皮膜が形成される。

熱伝導部１４の表面に陽極酸化皮膜を形成した後、１０ｇｒ／ｌ以上３０ｇｒ／ｌ以下の硫酸銀又は硝酸銀と、１５ｇｒ／ｌ以上２０ｇｒ／ｌ以下のホウ酸と、１ｇｒ／ｌ以上２ｇｒ／ｌ以下の硫酸ニッケルとを含む水溶液からなる電解質溶液を用い、溶液温度：＋１０℃以上＋２０℃以下、交流電圧：ＡＣ１０Ｖ以上１５Ｖ以下、電流密度：１Ａ／ｄｍ²以上２Ａ／ｄｍ²以下、通電時間２分以上３分以下という条件で陽極酸化を行うと、陽極酸化皮膜中に銀を含浸させることができる。銀のほかに、金、プラチナ、銅、チタン、タングステン、マグネシウム、ロジューム、パラジューム、コバルト、ニッケル等の金属を含浸させてもよい。

熱伝導部１４の表面に陽極酸化皮膜を形成すると、表１に示されるように、熱伝導部１４の熱放射率を格段に向上させることができる。

陽極酸化皮膜の熱伝導率は、アルミニウムよりも低くなる。陽極酸化皮膜の厚みは薄いけれども、熱伝導率が低くなる分、熱伝導も悪くなる。陽極酸化皮膜に銀を含浸させることで、陽極酸化皮膜の欠点である熱伝導率が低くなるという問題を解消することができる。すなわち、熱放射率及び熱伝導率を共に高くすることができる。

図３及び図４に示されるように、ヒートシンク１２は、ほぼ立方体形状に形成されると共に、その上面に可動部材４の進行方向に細長く伸びる複数の溝１２ａが形成される。複数の溝１２ａを形成することによって、ヒートシンク１２の上面には表面積を大きくする冷却フィン１２ｂが形成される。

熱伝導部１４と同様に、ヒートシンク１２にも表面に陽極酸化皮膜が形成されるアルミニウム又はアルミニウム合金からなる。陽極酸化皮膜中には、アルミニウム以外の金属が含浸される。ヒートシンク１２も熱放射率、熱伝導率が共に高くなる。ヒートシンク１２は、熱伝導や熱対流だけでなく、熱放射、すなわち熱を電磁波として大気に放出する。

エナメル銅線からなるコイル３に電流を流すと、コイル３に熱が発生する。コイル３から発生する熱は、コア１１の内部に埋め込まれた熱伝導部１４に効率よく吸収される。熱伝導部１４に吸収された熱は、ヒートシンク１２に伝わり、ヒートシンク１２から大気に効率よく放出される。

図８及び図９は、可動子の他の例を示す。図３及び図４に示される可動子９は、熱伝導部１４がコア１１に挿入され、熱伝導部１４の櫛歯部１４ｂがコア１１の内側に配置されていた。これに対し、この例の可動子２５においては、熱伝導部２７とコア２６とを入れ替えている。すなわち、コア２６が熱伝導部２７に挿入され、熱伝導部２７の櫛歯部２７ｂがコア２６の櫛歯部２６ｂを囲むように櫛歯部２６ｂの外側に配置される。

図１０に示されるように、コア２６は、複数のコイル３のマグネット２に対向する側とは反対側に設けられ、複数のコイル３を跨るように複数のコイル３の配列方向に伸びる基部プレート２６ａと、基部プレート２６ａから複数のコイル３それぞれの内側に向かって突出する複数の櫛歯部２６ｂと、を有する。基部プレート２６ａは可動子２５の進行方向に細長い矩形状に形成される。コア２６の基部プレート２６ａの上面は、ヒートシンク１２の下面に接触する。コア２６の複数の櫛歯部２６ｂは、基部プレート２６ａに直交する板形状に形成されると共に、基部プレート２６ａの幅方向に全長に渡って伸びる。

熱伝導部２７は、複数のコイル３のマグネット２と対向する側とは反対側に設けられ、複数のコイル３を跨るように複数のコイル３が配列される方向に伸びる基部プレート２７ａと、基部プレート２７ａから複数のコイル３それぞれの内側に突出する櫛歯部２７ｂと、を有する。熱伝導部２７の形状は、コア２６の形状の相似形である。熱伝導部２７の櫛歯部２７ｂには、コア２６の櫛歯部２６ｂの形状に合わせた櫛歯部挿入溝２７ｃが形成される。この櫛歯部挿入溝２７ｃは、熱伝導部２７の櫛歯部２７ｂの下端面２７ｄを貫通する。

図１１及び図１２に示されるように、コア２６を熱伝導部２７に装着したとき、コア２６の上面と、熱伝導部２７の基部プレート２７ａの上面とが同一平面になる。コア２６を装着した熱伝導部２７をヒートシンク１２の下面に装着したとき、コア２６及び熱伝導部２７の双方がヒートシンク１２に接触する。また、コア２６の櫛歯部２６ｂは、コイル３の中心に位置し、熱伝導部２７の櫛歯部２７ｂから露出する。

図８及び図９に示されるように、コア２６の櫛歯部２６ｂは、コイル３よりもマグネット２側に突出する。マグネット２に向かい合う熱伝導部２７の櫛歯部２７ｂの端面は、コイル３のマグネット２と向かい合う端面３ａと同一平面内にあり、マグネット２に向かい合うコア２６の櫛歯部２６ｂの端面よりもマグネット２から離間する。

熱伝導部２７は、表面に陽極酸化皮膜が形成されると共に、陽極酸化皮膜中にアルミニウム以外の金属が含浸されたアルミニウム又はアルミニウム合金からなる。ヒートシンク１２も、上記図３及び図４に示されるヒートシンク１２と同一である。

この例の可動子２５によれば、熱伝導率及び熱放射率の高い熱伝導部の櫛歯部がコイル３の直近に位置する。エナメル銅線からなるコイル３は熱放射率が高い。コイル３の直近に熱放射率の高い熱伝導部を配置することで、直接的に熱伝導できるだけでなく、熱放射の観点からも熱交換する熱量を大きくすることができる。

また、この例の可動子２５においては、熱伝導部２７の櫛歯部２７ｂの端面がマグネット２に対向している。可動子２５がマグネット２に対して移動すると、アルミ製の熱伝導部２７の櫛歯部２７ｂに渦電流が発生するおそれがある。熱伝導部２７の厚みは、渦電流の発生を考慮して決定される。

なお、本発明は上記実施形態に限られることなく、本発明の要旨を変更しない範囲で種々変更できる。例えば、熱伝導部は、コアよりも熱伝導率が高ければよく、アルミニウムに陽極酸化皮膜したものに限られない。コアの外側に設けられる熱伝導部は、コアの周囲を囲まなくても、コアの周囲の一部に設けられてもよい。さらに、熱伝導部とヒートシンクとを一体にしてもよい。さらに、熱伝導部とヒートシンクの材質を異ならせ、熱伝導部を熱伝導率が高い材質とし、ヒートシンクを熱放射率の高い材質としてもよい。

本発明の一実施形態におけるリニアモータの斜視図 リニアモータの正面図 リニアモータの可動子の詳細斜視図 図３とは異なる角度からみた可動子の斜視図 コア及び熱伝導部の分解斜視図 熱伝導部の斜視図 陽極酸化処理用の電解槽を示す概念図。 可動子の他の例を示す斜視図 異なる角度からみた可動子の他の例を示す斜視図 熱伝導部及びコイルの分解斜視図 コアを熱伝導部に装着した状態を示す斜視図（下方からみた斜視図） コアを熱伝導部に装着した状態を示す斜視図（上方からみた斜視図） 従来のリニアモータの放熱構造を示す断面図

符号の説明

１…固定部材
２…マグネット
３…コイル
３ａ…端面
４…可動部材
９，２５…可動子
１１…コア
１１ａ…コアの基部プレート
１１ｂ…コアの櫛歯部
１１ｂ−１…コアの端面
１２…ヒートシンク（放熱部）
１４…熱伝導部
１４ａ…熱伝導部の基部プレート
１４ｂ…熱伝導部の櫛歯部
２６…コア
２６ａ…コアの基部プレート
２６ｂ…コアの櫛歯部
２７…熱伝導部
２７ａ…熱伝導部の基部プレート
２７ｂ…熱伝導部の櫛歯部

Claims (4)

1. マグネット又はマグネットに向かい合うコイルの一方が設けられる固定部材と、前記マグネット又は前記コイルの他方が設けられる可動部材と、を有し、電流が流れるコイルとマグネットの磁界の作用により生じた力を利用して、可動部材を固定部材に対して直線又は曲線的に運動させるリニアモータにおいて、
   前記コイルの内側に設けられ、磁性体からなるコアと、
   前記コイルの内側に、かつ前記コアの内側若しくは外側に設けられ、前記コアよりも熱伝導率が高い熱伝導部と、
   前記熱伝導部に接触すると共に大気に接触し、前記コイルから発生する熱を大気に放熱する放熱部と、を備えるリニアモータ。
2. 前記熱伝導部は、前記コアの外側に前記コアを囲むように設けられることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
3. 前記コイルは、前記可動部材の進行方向に複数並べて配列され、
   前記熱伝導部は、前記複数のコイルの前記マグネットに対向する側とは反対側に設けられ、前記複数のコイルを跨るように前記複数のコイルが配列される方向に伸びると共に、前記放熱部に接触する基部プレートと、
   前記基部プレートから前記複数のコイルそれぞれの内側に向かって突出する複数の櫛歯部と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ。
4. 前記熱伝導部が前記コアの内側に配置される場合、
   前記熱伝導部が前記マグネットに向かい合う前記コアの端面から露出しないように、前記熱伝導部が前記コアの内部に埋め込まれ、
   前記熱伝導部が前記コアの外側に配置される場合、
   前記マグネットに向かい合う前記熱伝導部の端面が、前記マグネットに向かい合う前記コアの端面よりも前記マグネットから離間し、前記コアが前記熱伝導部から露出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のリニアモータ。

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