JP2008232774A - Sample holder - Google Patents

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Hitoshi Nakada
仁志 中田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means to fix a film-like sample in a sample holder in such a state that the film-like sample is free of deflection or creasing in the sample holder in which the film-like sample is fixed between the sample holder plates with a through hole. <P>SOLUTION: The sample holder is provided with a means to apply a pulling force to a peripheral edge of the film-like sample having a deflected portion. The means moves toward the peripheral part of the sample holder plate while the tip part remains in contact with the film-like sample without slipping on the surface of the film-like sample. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、分析装置による分析に供する試料、特に、フィルム状試料を固定する試料ホルダーの構造に関する。   The present invention relates to a structure of a sample holder for fixing a sample to be analyzed by an analyzer, particularly a film-like sample.

各種の分析装置では、分析に供する試料を固定するため、試料ホルダーを用いるものがある。二次イオン質量分析装置において、従来、使用されている試料ホルダー１の一例を図３ａ、３ｂに示す。図３ａは試料ホルダー１を上から見た上面図であり、図３ｂは図３ａのＸ−Ｙ線における断面図を表す。試料ホルダー１は、２個の試料ホルダー板２ａ、２ｂの間に、フィルム状試料１０を挟み、蝶形ネジ３で固定するものである。試料ホルダー板２ａ、２ｂの一方の２ｂには、その中央部にくり抜き孔４が設けられている。くり抜き孔４を通して、一次イオンがフィルム状試料１０に入射され、またフィルム状試料１０から二次イオンが放射される。試料ホルダー板２ａ、２ｂに挟まれ、固定されたフィルム状試料１０は、くり抜き孔４を通して、外部から視認される。図３ａ、３ｂでは、くり抜き孔４は、試料ホルダー板２ｂのみに設けられているが、反射光の他、透過光を用いて分析する赤外分光分析などの場合では、くり抜き孔４は試料ホルダー板２ａ、２ｂの両方に設けられる。   Some types of analyzers use a sample holder to fix a sample for analysis. An example of a sample holder 1 conventionally used in a secondary ion mass spectrometer is shown in FIGS. 3a and 3b. 3A is a top view of the sample holder 1 as viewed from above, and FIG. 3B represents a cross-sectional view taken along line XY of FIG. 3A. The sample holder 1 has a film sample 10 sandwiched between two sample holder plates 2a and 2b and fixed with a butterfly screw 3. One of the sample holder plates 2a and 2b is provided with a cutout hole 4 at the center thereof. Through the cut-out hole 4, primary ions are incident on the film sample 10, and secondary ions are emitted from the film sample 10. The film-like sample 10 sandwiched and fixed between the sample holder plates 2 a and 2 b is visually recognized from the outside through the cutout hole 4. 3a and 3b, the hollow 4 is provided only in the sample holder plate 2b. However, in the case of infrared spectroscopic analysis in which transmitted light is used in addition to reflected light, the hollow 4 is formed in the sample holder. Provided on both plates 2a, 2b.

この視認されるフィルム状試料の部分１０ａ（以下、視認部分１０ａ）は、試料ホルダー板２ｂによって押さえられていない。このため、フィルム状試料１０に、たわみ、しわ、そりなどがある場合、フィルム状試料１０が試料ホルダー板２ａ、２ｂに挟まれ、固定されるときに、視認部分１０ａにたわみなどがある状態のまま、固定されることがある。視認部分１０ａに、たわみ、しわがあるフィルム状試料１０を、二次イオン質量分析により、分析した結果は次のようなものであった。   This visually recognized film-like sample portion 10a (hereinafter, visually recognized portion 10a) is not pressed by the sample holder plate 2b. For this reason, when the film-like sample 10 has a bend, a wrinkle, a warp, etc., when the film-like sample 10 is sandwiched between the sample holder plates 2a and 2b and fixed, the visual recognition part 10a has a bend, etc. It may remain fixed. As a result of analyzing the film-like sample 10 having bending or wrinkle in the visual recognition portion 10a by secondary ion mass spectrometry, the following results were obtained.

分析したフィルム状試料１０は、厚み５０μｍのポリイミドフィルムの表面に、ホウ素（Ｂ）を含むケイ素（Ｓi）の薄膜を形成したものである。二次イオン質量分析により、得られたマトリックス（２９Ｓｉ２ ＋）強度と１１Ｂ＋の相対感度係数（ＲＦＳ）との関係を図４に示す。この１１Ｂ＋の相対感度係数（ＲＦＳ）の値に基づいて、ケイ素薄膜に含まれるホウ素（Ｂ）の濃度が求められる。視認部分１０ａにたわみ、しわがある試料を、３箇所測定した結果をプロットした３点（図の■）は互いに異なり、ばらつきが生じた。一方、視認部分１０ａに、たわみ、しわのない場合、３箇所測定した結果をプロットした３点（図の□）はほぼ一致した。ここで、視認部分１０ａの大きさ、すなわち、くり抜き孔４の大きさは、１０ｍｍ径である。 The analyzed film-like sample 10 is obtained by forming a silicon (Si) thin film containing boron (B) on the surface of a polyimide film having a thickness of 50 μm. FIG. 4 shows the relationship between the matrix ( 29 Si 2 + ) intensity obtained by secondary ion mass spectrometry and the relative sensitivity coefficient (RFS) of 11 B + . Based on the value of the relative sensitivity coefficient (RFS) of 11 B + , the concentration of boron (B) contained in the silicon thin film is obtained. The three points (■ in the figure) plotting the results of measuring the three samples of the sample with deflection and wrinkle in the visual recognition portion 10a were different from each other, resulting in variations. On the other hand, when the visual recognition portion 10a is not bent or wrinkled, the three points (□ in the figure) plotting the results of measurement at three places almost coincided. Here, the size of the visual recognition part 10a, that is, the size of the cutout hole 4 is 10 mm in diameter.

同一のフィルム状試料１０について、視認部分１０ａに、たわみ、しわがある場合と、ない場合では、分析結果が異なった。たわみ、しわがない場合、プロットした３点はほぼ一致し、たわみ、しわがある場合より望ましい。たわみ、しわがある場合、測定値にばらつきを生じたのは、たわみ、しわがあるため、測定箇所によって、一次イオンの入射角度や二次イオン引き出し電界強度分布が異なることによると考えられる。   About the same film-like sample 10, the analysis result differed when the visual recognition part 10a had a bending and a wrinkle, and the case where it did not. When there is no deflection or wrinkle, the three plotted points are almost the same, which is more desirable than when there is a deflection or wrinkle. In the case where there are deflections and wrinkles, it is considered that the variation in the measured value is due to the deflections and wrinkles, so that the incident angle of the primary ions and the secondary ion extraction electric field strength distribution differ depending on the measurement location.

フィルム状試料１０を二次イオン質量分析の試料とする場合、上記のようなばらつきを生じない分析結果を得るためには、視認部分１０ａに、たわみ、しわがない状態で、分析することが求められる。ここで、たわみなどをなくするため、フィルム状試料１０以外の物で視認部分１０ａを押さえるなどの手段をとることができる。例えば、くり抜き孔４に嵌合する充填物を用いて、くり抜き孔４を一時的に満たしたのち、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間にフィルム状試料１０を挟むときは、当該充填物によって視認部分１０ａが押さえられることとなるため、視認部分１０ａにたわみ、しわを生じることなく、フィルム状試料１０を挟み、固定できると考えられる。しかし、当該充填物に付着した不純物、汚れなどに触れて、フィルム状試料１０が汚染されることもあり、当該充填物を用いることは望ましくない。   When the film-like sample 10 is used as a sample for secondary ion mass spectrometry, in order to obtain an analysis result that does not cause the above-described variations, it is required to analyze the visual recognition portion 10a without bending or wrinkling. It is done. Here, in order to eliminate bending and the like, it is possible to take measures such as pressing the visual recognition portion 10a with an object other than the film-like sample 10. For example, when the film-like sample 10 is sandwiched between the sample holder plates 2a and 2b after temporarily filling the cut-out hole 4 using a filling material that fits into the cut-out hole 4, the portion to be viewed is Since 10a is pressed, it is considered that the film-like sample 10 can be sandwiched and fixed without causing the visual recognition portion 10a to bend or wrinkle. However, the film-like sample 10 may be contaminated by contact with impurities, dirt, etc. adhering to the filling, and it is not desirable to use the filling.

以上のように、視認部分１０ａに、たわみなどがある状態で、フィルム状試料１０を固定し、分析した場合、たわみなどがあるために、分析結果にばらつきを生じることがある。たわみなどをなくするため、フィルム状試料１０以外の物で視認部分１０ａを押さえるなどの手段では、視認部分１０ａを汚染するおそれがあり、採用することができない。
そこで、本発明は、視認部分１０ａに触れることなく、視認部分１０ａのたわみなどをなくした状態で、フィルム状試料１０を試料ホルダー板２ａ、２ｂの間に挟み、固定する手段を提供することを課題とする。 As described above, when the film-like sample 10 is fixed and analyzed in a state where there is a deflection or the like in the visual recognition portion 10a, the analysis result may vary due to the deflection or the like. In order to eliminate the deflection and the like, a means such as pressing the visual recognition part 10a with an object other than the film sample 10 may contaminate the visual recognition part 10a and cannot be employed.
Therefore, the present invention provides a means for sandwiching and fixing the film-like sample 10 between the sample holder plates 2a and 2b without touching the visual recognition part 10a and without bending the visual recognition part 10a. Let it be an issue.

上記課題は、視認部分１０ａの外縁から、視認部分１０ａを引っ張る力を視認部分１０ａに加えて、視認部分１０ａのたわみ、しわなどをなくしたのち、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間に挟んだフィルム状試料１０を固定することにより解決される。視認部分１０ａを引っ張る力は、試料ホルダー板２ａ、２ｂのいずれか一方に設けられた手段によって与えられる。当該手段は、フィルム状試料１０が試料ホルダー板２ａ、２ｂの間に挟持される際に、当該手段の先端部がフィルム状試料１０に当接したまま、フィルム状試料１０の表面上を滑ることなく、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動するものである。   The above-described problem is that a film is sandwiched between the sample holder plates 2a and 2b after applying the force pulling the visual recognition part 10a from the outer edge of the visual recognition part 10a to the visual recognition part 10a to eliminate the bending and wrinkling of the visual recognition part 10a. This is solved by fixing the sample 10. The force pulling the visual recognition part 10a is given by means provided on either one of the sample holder plates 2a and 2b. The means slides on the surface of the film-like sample 10 while the tip of the means is in contact with the film-like sample 10 when the film-like sample 10 is sandwiched between the sample holder plates 2a, 2b. It moves toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b.

当該手段とフィルム状試料１０との関係は、次のようなものである。試料ホルダー板２ａ、２ｂに挟まれているフィルム状試料１０は、試料ホルダー板２ａ、２ｂのいずれか一方に設けられた当該手段の先端部によって当接されている。そして、当該当接されている箇所（以下、当接箇所）が、視認部分１０ａの外縁にあり、当該手段の先端部が当接したまま、フィルム状試料１０の表面上を滑ることなく、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周に向かって移動するときは、当該当接箇所のフィルム状試料１０は当該手段の先端部とともに移動することとなる。   The relationship between the means and the film sample 10 is as follows. The film-like sample 10 sandwiched between the sample holder plates 2a and 2b is brought into contact with the tip of the means provided on either one of the sample holder plates 2a and 2b. And the location (henceforth, contact location) which is contact | abutted exists in the outer edge of the visual recognition part 10a, and the sample is not slid on the surface of the film-like sample 10, with the front-end | tip part of the said means contacting. When moving toward the outer periphery of the holder plates 2a, 2b, the film-like sample 10 at the contact location moves together with the tip of the means.

すなわち、フィルム状試料１０は、当該当接箇所で、当該手段の先端部により、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周に向かって移動する力を与えられ、当該手段の設けられていない試料ホルダー板（２ａまたは２ｂ）の表面上を滑り、移動する。このとき、当該当接箇所の近傍にある視認部分１０ａも、同じ方向、すなわち、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周に向かって移動することとなり、視認部分１０ａに存在したたわみ、しわは解消する。ここで、試料ホルダー板２ａ、２ｂのいずれか一方に設けられた当該手段は、２以上の箇所に設けられており、視認部分１０ａは、２以上の方向から引っ張る力を与えられる。   That is, the film-like sample 10 is given a force to move toward the outer periphery of the sample holder plate 2a, 2b by the tip portion of the means at the contact point, and the sample holder plate (where the means is not provided) Slide and move on the surface of 2a or 2b). At this time, the visual recognition portion 10a in the vicinity of the contact portion also moves in the same direction, that is, toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b, and the deflection and wrinkle existing in the visual recognition portion 10a are eliminated. Here, the means provided on either one of the sample holder plates 2a and 2b are provided at two or more locations, and the visual recognition portion 10a is given a pulling force from two or more directions.

請求項１に記載の発明は、くり抜き孔を、いずれか一方、または両方に設けた2個の試料ホルダー板の間にフィルム状試料が挟持されたとき、前記くり抜き孔を通して前記フィルム状試料が視認される試料ホルダーにおいて、前記フィルム状試料が挟持される際に、手段の先端部が前記フィルム状試料に当接したまま、前記フィルム状試料の表面上を滑ることなく、前記試料ホルダー板の外周部に向かって移動する手段を、前記試料ホルダー板のいずれか一方に設けたことを特徴とする。試料ホルダー板２ａ、２ｂのいずれか一方に設けられた当該手段の作用によって、視認部分１０ａを試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周に向かって引っ張る力が視認部分１０ａに与えられ、視認部分１０ａに存在したたわみ、しわは解消する。   According to the first aspect of the present invention, when a film sample is sandwiched between two sample holder plates provided with one or both of the hollow holes, the film sample is visually recognized through the hollow holes. In the sample holder, when the film-like sample is sandwiched, the tip of the means is in contact with the film-like sample, and does not slide on the surface of the film-like sample, but on the outer periphery of the sample holder plate. The moving means is provided on either one of the sample holder plates. By the action of the means provided on one of the sample holder plates 2a and 2b, a force for pulling the visual recognition portion 10a toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b is given to the visual recognition portion 10a and exists in the visual recognition portion 10a. Bending and wrinkles are eliminated.

請求項２に記載の発明は、前記先端部が移動する際に、前記先端部と前記フィルム状試料との間に発生する摩擦力が、前記手段を有しない前記試料ホルダー板と前記フィルム状試料との間に発生する摩擦力より大であることを特徴とする請求項１記載の試料ホルダーに係るものである。
請求項１に記載の発明に係る当該手段によって、視認部分１０ａを試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が視認部分１０ａに与えられる。このとき、当該手段の先端部とフィルム状試料１０との関係、およびフィルム状試料１０と当該手段を有しない試料ホルダー板（２ａまたは２ｂ）との関係は次のようなものである。 According to a second aspect of the present invention, when the tip portion moves, a frictional force generated between the tip portion and the film-like sample causes the sample holder plate and the film-like sample not having the means. 2. The sample holder according to claim 1, wherein the friction force is larger than a frictional force generated between the two and the specimen holder.
By the means according to the first aspect of the present invention, a force for pulling the visual recognition portion 10a toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b is given to the visual recognition portion 10a. At this time, the relationship between the tip of the means and the film sample 10 and the relationship between the film sample 10 and the sample holder plate (2a or 2b) not having the means are as follows.

当該手段の先端部がフィルム状試料１０に当接したまま、フィルム状試料１０の表面上を滑ることなく、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動するとき、当該先端部とフィルム状試料１０との間、および当該手段を有しない試料ホルダー板（２ａまたは２ｂ）とフィルム状試料１０との間に、摩擦力が発生する。そして、当該先端部とフィルム状試料１０との間に発生する摩擦力が、当該手段を有しない試料ホルダー板（２ａまたは２ｂ）とフィルム状試料１０との間に発生する摩擦力より大であるとき、当該手段の先端部はフィルム状試料１０の表面上を滑らないが、フィルム状試料１０は試料ホルダー板（２ａまたは２ｂ）の表面上を滑る。   When moving toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b without sliding on the surface of the film sample 10 while the tip of the means is in contact with the film sample 10, the tip and the film A frictional force is generated between the sample 10 and between the sample holder plate (2a or 2b) that does not have the means and the film sample 10. The frictional force generated between the tip and the film-like sample 10 is larger than the frictional force generated between the sample holder plate (2a or 2b) that does not have the means and the film-like sample 10. Sometimes, the tip of the means does not slide on the surface of the film-like sample 10, but the film-like sample 10 slides on the surface of the sample holder plate (2a or 2b).

このため、視認部分１０ａの外縁において、当該先端部が当接している箇所のフィルム状試料１０は、試料ホルダー板（２ａまたは２ｂ）の表面上を滑り、当該先端部とともに、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動する。そして、当該当接箇所の近傍にある視認部分１０ａも、同じ方向、すなわち、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動することとなり、視認部分１０ａに存在したたわみ、しわは解消する。   For this reason, at the outer edge of the visual recognition part 10a, the film-like sample 10 where the tip is in contact slides on the surface of the sample holder plate (2a or 2b), and together with the tip, the sample holder plate 2a, It moves toward the outer periphery of 2b. Then, the visual recognition portion 10a in the vicinity of the contact portion also moves in the same direction, that is, toward the outer peripheral portion of the sample holder plate 2a, 2b, and the bending and wrinkle existing in the visual recognition portion 10a are eliminated.

請求項３に記載の発明は、前記手段の一部、または全部が弾性体により構成され、前記弾性体が屈曲することにより、前記先端部が前記試料ホルダー板の外周部に向かって移動することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の試料ホルダーに係るものである。
請求項１または請求項２に係る当該手段の作用によって、視認部分１０ａを試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が視認部分１０ａに与えられ、視認部分１０ａに存在したたわみ、しわは解消する。当該手段の作用は、当該手段の一部、または全部を弾性体により構成することにより生じさせることができる。当該弾性体は、試料ホルダー板２ａ、２ｂに対し垂直な方向の力が、当該手段の先端部に加わったとき、同方向に屈曲する。 According to a third aspect of the present invention, a part or all of the means is constituted by an elastic body, and the distal end portion moves toward the outer peripheral portion of the sample holder plate when the elastic body is bent. The sample holder according to claim 1 or 2, characterized in that.
By the action of the means according to claim 1 or claim 2, a force for pulling the visual recognition portion 10a toward the outer peripheral portion of the sample holder plate 2a, 2b is given to the visual recognition portion 10a, and the bending or wrinkle existing in the visual recognition portion 10a is provided. Is resolved. The effect | action of the said means can be produced by comprising a part or all of the said means with an elastic body. The elastic body bends in the same direction when a force perpendicular to the sample holder plates 2a and 2b is applied to the tip of the means.

フィルム状試料１０が、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間に挟まれ、当該手段の先端部により当接されている状態において、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間隙をさらに狭くしたとき、当該弾性体は試料ホルダー板２ａ、２ｂに対し垂直な方向に屈曲する。このとき、当該手段の先端部も同方向に屈曲するが、この屈曲により、当該先端部を試料ホルダー板２ａ、２ｂ上に投影した位置は、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動する。したがって、当該弾性体が屈曲することにより、当該手段の先端部は、フィルム状試料１０に当接したまま、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動することとなり、視認部分１０ａを試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が視認部分１０ａに与えられる。   When the film sample 10 is sandwiched between the sample holder plates 2a and 2b and is in contact with the tip of the means, when the gap between the sample holder plates 2a and 2b is further narrowed, the elastic body becomes Bends in a direction perpendicular to the sample holder plates 2a, 2b. At this time, the tip portion of the means is also bent in the same direction, and the position where the tip portion is projected onto the sample holder plates 2a and 2b moves toward the outer peripheral portion of the sample holder plates 2a and 2b. To do. Therefore, when the elastic body is bent, the tip of the means moves toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b while being in contact with the film-like sample 10, and the visual recognition portion 10a is moved to the sample. A pulling force toward the outer peripheral portion of the holder plates 2a and 2b is given to the visual recognition portion 10a.

請求項４に記載の発明は、前記手段が、前記試料ホルダー板に形成された傾斜面と、前記傾斜面上に置かれたスライダーとから構成され、前記傾斜面上に静止していたスライダーが、前記フィルム状試料が挟持される際に、前記傾斜面を滑り動くことにより、前記スライダーの先端部が、前記フィルム状試料に当接したまま、前記フィルム状試料の表面上を滑ることなく、前記試料ホルダー板の外周部に向かって移動することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の試料ホルダーに係るものである。   According to a fourth aspect of the present invention, the means is composed of an inclined surface formed on the sample holder plate and a slider placed on the inclined surface, and a slider that is stationary on the inclined surface is provided. When the film sample is sandwiched, by sliding on the inclined surface, the tip of the slider remains in contact with the film sample without sliding on the surface of the film sample, 3. The sample holder according to claim 1, wherein the sample holder plate moves toward an outer peripheral portion of the sample holder plate.

請求項１または請求項２に係る当該手段の作用によって、視認部分１０ａを試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が視認部分１０ａに与えられ、視認部分１０ａに存在したたわみ、しわは解消する。当該手段の作用は、当該手段を、試料ホルダー板２ａ、２ｂに形成された傾斜面と、当該傾斜面上に置かれたスライダーとから構成することにより生じさせることができる。当該傾斜面は、その最大傾斜角をなす方向が、当該傾斜面に向きあう試料ホルダー板の稜に対し、垂直となるよう形成されている。当該傾斜面は、試料ホルダー板（２ａまたは２ｂ）の２箇所ないし４箇所に設けることができる。   By the action of the means according to claim 1 or claim 2, a force for pulling the visual recognition portion 10a toward the outer peripheral portion of the sample holder plate 2a, 2b is given to the visual recognition portion 10a, and the bending or wrinkle existing in the visual recognition portion 10a Is resolved. The effect | action of the said means can be produced by comprising the said means from the inclined surface formed in the sample holder plates 2a and 2b, and the slider set | placed on the said inclined surface. The inclined surface is formed such that the direction of the maximum inclination angle is perpendicular to the edge of the sample holder plate facing the inclined surface. The inclined surfaces can be provided at two to four locations on the sample holder plate (2a or 2b).

フィルム状試料１０が、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間に挟まれ、当該傾斜面上に置かれた当該スライダーの先端部がフィルム状試料１０に当接している状態において、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間隙をさらに狭くしたとき、当該傾斜面上に静止していた当該スライダーは、当該傾斜面を滑り動き、下降して、試料ホルダー板の外周部に向かって移動する。このとき、当該スライダーの先端部は、フィルム状試料１０に当接したまま、フィルム状試料１０の表面上を滑ることなく、試料ホルダー板の外周部に向かって移動することとなり、視認部分１０ａを試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が視認部分１０ａに与えられる。   In a state where the film sample 10 is sandwiched between the sample holder plates 2a and 2b and the tip of the slider placed on the inclined surface is in contact with the film sample 10, the sample holder plates 2a and 2b When the gap is further narrowed, the slider that has been stationary on the inclined surface slides on the inclined surface, moves down, and moves toward the outer peripheral portion of the sample holder plate. At this time, the tip of the slider moves toward the outer peripheral portion of the sample holder plate without sliding on the surface of the film-like sample 10 while being in contact with the film-like sample 10, so that the visual recognition portion 10a is moved. A pulling force toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b is given to the visual recognition portion 10a.

請求項１、請求項２、請求項３または請求項４に記載の発明によれば、試料ホルダー板２ａ、２ｂのいずれか一方に設けられた当該手段の作用によって、フィルム状試料１０の視認部分１０ａを試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が視認部分１０ａに与えられる。このため、視認部分１０ａに存在するたわみなどをなくした状態にて、フィルム状試料１０を、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間に挟み、固定することができることとなり、従来、視認部分１０ａにたわみなどがあることによって生じていた分析結果の値のばらつきの発生を防止することができる。また、当該手段は、視認部分１０ａの外縁から、視認部分１０ａを引っ張る力を加えるものであり、視認部分１０ａに直接、力を加えたり、接触したりするものではない。このため、視認部分１０ａが汚染されることはなく、かかる汚染を原因として分析結果に誤りを生じることはない。   According to the invention of claim 1, claim 2, claim 3 or claim 4, the visible portion of the film sample 10 is obtained by the action of the means provided on one of the sample holder plates 2a and 2b. A force for pulling 10a toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b is given to the visual recognition portion 10a. Therefore, the film-like sample 10 can be sandwiched and fixed between the sample holder plates 2a and 2b in a state in which the deflection existing in the viewing portion 10a is eliminated. It is possible to prevent the occurrence of variation in the value of the analysis result that has occurred due to the presence of the error. Moreover, the said means adds the force which pulls the visual recognition part 10a from the outer edge of the visual recognition part 10a, and does not apply force or contact directly to the visual recognition part 10a. For this reason, the visual recognition part 10a is not contaminated, and no error is caused in the analysis result due to the contamination.

請求項１、請求項２、請求項３または請求項４に記載の発明は、発明に係る当該手段を、試料ホルダー板２ａ、２ｂのいずれか一方に設けることによって、実施することができる。当該手段の一部、または全部が弾性体により構成された場合の実施例を実施例１に、当該手段が、試料ホルダー板に形成された傾斜面と、前記傾斜面上に置かれたスライダーとから構成された場合の実施例を実施例２に、それぞれ記載し説明する。   The invention according to claim 1, claim 2, claim 3 or claim 4 can be implemented by providing the means according to the invention on either one of the sample holder plates 2a and 2b. An embodiment in which a part or the whole of the means is constituted by an elastic body is shown in Example 1. The means includes an inclined surface formed on the sample holder plate, and a slider placed on the inclined surface. Embodiments in the case of being constructed from are described and described in Embodiment 2, respectively.

当該手段の一部、または全部が弾性体により構成された場合の実施例を図１ａ〜１ｅにて説明する。当該手段５が設けられた試料ホルダー板２ａを真上から見た上面図を図１ａに、図１ａのＸ―Ｙ線における断面図を図１ｂに示す。図１ａの試料ホルダー板２ａには、蝶形ネジ３用の雌ネジ３ａが４箇所設けられている。蝶形ネジ３と蝶形ネジ用雌ネジ３ａを用いて、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間にフィルム状試料１０を挟むことができる。   An embodiment in which a part or all of the means is constituted by an elastic body will be described with reference to FIGS. A top view of the sample holder plate 2a provided with the means 5 as seen from directly above is shown in FIG. 1a, and a cross-sectional view taken along line XY in FIG. 1a is shown in FIG. 1b. The sample holder plate 2a of FIG. 1a is provided with four female screws 3a for butterfly screws 3. The film sample 10 can be sandwiched between the sample holder plates 2a and 2b by using the butterfly screw 3 and the butterfly screw female screw 3a.

図１ａ、１ｂにおいて、当該手段５は、その全部が弾性体７により構成されており、その一端において、試料ホルダー板２ａに固定されている。当該手段５の他の一端６（以下、先端部６）は、試料ホルダー板２ａの上方に立ち上がっている。図１ａでは、当該手段５は、試料ホルダー板２ａの中央を中心とする等配位置の８箇所に固定されている。これら８箇所の各手段５は、すべてが協動して、視認部分１０ａに存在するたわみ、しわなどをなくするように働く。図１ａでは、８箇所であるが、２箇所で足りる場合もある一方、８箇所以上を要する場合もあり、フィルム状試料のたわみ、しわの発生状況を考慮して、その個数を決定できる。   In FIGS. 1a and 1b, the means 5 is entirely constituted by an elastic body 7, and is fixed to the sample holder plate 2a at one end thereof. The other end 6 (hereinafter referred to as the tip 6) of the means 5 rises above the sample holder plate 2a. In FIG. 1 a, the means 5 is fixed at eight positions that are equidistant from the center of the sample holder plate 2 a. All of these eight means 5 work together to eliminate deflections, wrinkles, etc. present in the visual recognition portion 10a. In FIG. 1a, there are 8 places, but 2 places may be sufficient, while 8 places or more may be required, and the number of the specimens can be determined in consideration of the bending state of the film sample and the occurrence of wrinkles.

弾性体７として、ゴム、ばねを用いることができる。ばねとして、特に、板ばねを用いることができる。図１ａ、１ｂでは、当該手段５の全部が弾性体７により構成されているが、当該手段５の一部、例えば、試料ホルダー板２ａに固定されている部分と、その近傍部分のみが弾性体７で構成されていても良い。
当該手段５の一部、または全部が弾性体７により構成されているため、当該手段５の先端部６が上方から押されたときには、当該弾性体７が試料ホルダー板２ａに対し垂直な方向に屈曲し、当該先端部６も同方向に屈曲する。 Rubber or a spring can be used as the elastic body 7. In particular, a leaf spring can be used as the spring. In FIGS. 1a and 1b, all of the means 5 is constituted by an elastic body 7, but only a part of the means 5, for example, a portion fixed to the sample holder plate 2a and its vicinity are elastic bodies. 7 may be comprised.
Since part or all of the means 5 is constituted by the elastic body 7, when the tip portion 6 of the means 5 is pushed from above, the elastic body 7 is in a direction perpendicular to the sample holder plate 2a. The tip 6 is bent in the same direction.

次に、当該手段５が設けられた試料ホルダー板２ａと、当該手段５が設けられていない試料ホルダー板２ｂとの間にフィルム状試料１０が挟まれ、固定されるまでの過程を、図１ｃ〜１ｅにて説明する。
図１ｃ〜１ｅは、図１ｂと同様、図１ａの試料ホルダー板２ａに係るＸ―Ｙ線における断面図を表している。図１ｃにおいて、試料ホルダー板２ａと２ｂの間にフィルム状試料１０が挟まれ、当該手段５の先端部６は、図のアにおいて、フィルム状試料１０に当接している。このアは、試料ホルダー板２ｂ上の位置では、イの位置に相当する。ここで、先端部６には、弾性体７が屈曲するほどには、力が加わっていない。試料ホルダー板２ｂには、くり抜き孔４が設けられている。このため、フィルム状試料１０は視認部分１０ａにおいて、たわみを生じている。 Next, the process until the film sample 10 is sandwiched and fixed between the sample holder plate 2a provided with the means 5 and the sample holder plate 2b not provided with the means 5 is shown in FIG. This will be described in ~ 1e.
1c to 1e are sectional views taken along the line XY of the sample holder plate 2a of FIG. 1a as in FIG. 1b. In FIG. 1c, a film sample 10 is sandwiched between sample holder plates 2a and 2b, and the tip 6 of the means 5 is in contact with the film sample 10 in FIG. This "a" corresponds to the position "a" at the position on the sample holder plate 2b. Here, a force is not applied to the distal end portion 6 such that the elastic body 7 is bent. The sample holder plate 2b is provided with a cut-out hole 4. For this reason, the film-like sample 10 is bent at the visual recognition portion 10a.

図１ｄは、蝶形ネジ３による締めを増し、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間隙をより狭くした状態を示したものである。先端部６には、押圧が加わり、弾性体７が屈曲している。この弾性体７の屈曲により、先端部６は、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動し、試料ホルダー板２ｂ上の位置では、イから移動してロの位置にある。このとき、先端部６はフィルム状試料１０に対し、アにて当接したままであり、アの位置から滑り動いてはいない。一方、フィルム状試料１０は、先端部６が当接するアの位置にて、先端部６から試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動する力を与えられる。このため、試料ホルダー板２ｂの表面を滑り、先端部６とともに移動している。先端部６が当接するアの位置のフィルム状試料１０が滑り、移動した長さは、イからロに至る長さである。このアの位置のフィルム状試料１０が移動するとき、視認部分１０ａには、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が与えられる。この引っ張る力を受け、たわみ、しわを生じていた視認部分１０ａは、平坦化するように変化する。   FIG. 1d shows a state in which tightening by the butterfly screw 3 is increased and the gap between the sample holder plates 2a and 2b is further narrowed. The distal end portion 6 is pressed and the elastic body 7 is bent. Due to the bending of the elastic body 7, the distal end portion 6 moves toward the outer peripheral portion of the sample holder plate 2a, 2b. At this time, the tip 6 remains in contact with the film-like sample 10 at A and does not slide from the position of A. On the other hand, the film-like sample 10 is given a force to move from the tip 6 toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b at the position a where the tip 6 abuts. For this reason, the surface of the sample holder plate 2 b slides and moves together with the tip 6. The length in which the film-like sample 10 at the position “a” where the tip 6 abuts slides and moves is the length from A to B. When the film-like sample 10 at the position a moves, the visual recognition portion 10a is given a pulling force toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b. Under this pulling force, the visual recognition portion 10a that has been bent and wrinkled changes so as to be flattened.

以上は、Ｘ―Ｙ線での断面に示された手段５の作用について述べたものであるが、試料ホルダー板２ａに設けられた他の手段５も、同様な作用を視認部分１０ａに及ぼす。その結果、試料ホルダー板２ａに設けられたすべての手段５が、協動して、視認部分１０ａに存在するたわみ、しわをなくするように働く。
図１ｅは、さらに蝶形ネジ３を締め、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間隙を狭くした状態を示している。弾性体７はさらに屈曲し、先端部６は試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動し、試料ホルダー板２ｂ上の位置では、ロから移動してハの位置にある。試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が与えられた視認部分１０ａは、平坦化し、たわみ、しわは解消する。ここで、弾性体７の弾発力と、蝶形ネジ３による締め付け力とは釣り合いがとれた状態にあり、試料ホルダー板２ａ、２ｂは一定の間隙を保持して固定されている。 The above has described the operation of the means 5 shown in the cross section along the line XY, but the other means 5 provided on the sample holder plate 2a also exerts the same action on the visual recognition portion 10a. As a result, all the means 5 provided on the sample holder plate 2a work together to eliminate the deflection and wrinkle present in the visual recognition part 10a.
FIG. 1e shows a state in which the butterfly screw 3 is further tightened to narrow the gap between the sample holder plates 2a and 2b. The elastic body 7 is further bent, and the distal end portion 6 moves toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b. The visual recognition part 10a to which the pulling force is applied toward the outer peripheral part of the sample holder plates 2a and 2b is flattened and the bending and wrinkle are eliminated. Here, the elastic force of the elastic body 7 and the tightening force by the butterfly screw 3 are in a balanced state, and the sample holder plates 2a and 2b are fixed while holding a certain gap.

フィルム状試料１０が、厚み５０μｍのポリイミドフィルムの場合、10ｍｍ径の視認部分に生じるたわみ、しわが解消されるとき、先端部６がイからハまで移動する長さは、１〜２ｍｍである。この先端部６が移動する長さは、手段５の長さ（先端部６から他端までの長さ）、先端部６の試料ホルダー板２ａからの立ち上がりの角度などを変えることによって、調整できる。また、先端部６はフィルム状試料１０の表面上を滑りにくいが、フィルム状試料１０は試料ホルダー２ｂの表面上を滑りやすいことが求められる。このため、先端部６がフィルム状試料１０に当接する部分は、ざらざらした凹凸形状とする一方、試料ホルダー２ｂの表面は、鏡面加工を施し平滑化することが望ましい。   In the case where the film sample 10 is a polyimide film having a thickness of 50 μm, when the deflection or wrinkle generated in the visually recognized part having a diameter of 10 mm is eliminated, the length that the tip 6 moves from a to c is 1 to 2 mm. The length of movement of the tip 6 can be adjusted by changing the length of the means 5 (length from the tip 6 to the other end), the rising angle of the tip 6 from the sample holder plate 2a, and the like. . Moreover, although the front-end | tip part 6 is hard to slide on the surface of the film-like sample 10, it is calculated | required that the film-like sample 10 is easy to slide on the surface of the sample holder 2b. For this reason, it is desirable that the portion where the tip 6 abuts on the film-like sample 10 has a rough concavo-convex shape, while the surface of the sample holder 2b is preferably mirror-finished and smoothed.

当該手段５が、試料ホルダー板２ａに形成された傾斜面８と、傾斜面８上に置かれたスライダー９とから構成された場合の実施例を図２ａ〜２ｆにて説明する。
当該手段５が設けられた試料ホルダー板２ａを真上から見た上面図を図２ａに、図２ａのＸ―Ｙ線での断面図を図２ｂにそれぞれ示す。図２ａの試料ホルダー板２ａには、蝶形ネジ３用の雌ネジ３ａが４箇所設けられている。蝶形ネジ３と蝶形ネジ用雌ネジ３ａを用いて、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間にフィルム状試料１０を挟むことができる。 An embodiment in which the means 5 is composed of an inclined surface 8 formed on the sample holder plate 2a and a slider 9 placed on the inclined surface 8 will be described with reference to FIGS.
FIG. 2a shows a top view of the sample holder plate 2a provided with the means 5 as seen from directly above, and FIG. 2b shows a cross-sectional view taken along line XY of FIG. 2a. The sample holder plate 2a of FIG. 2a is provided with four female screws 3a for butterfly screws 3. The film sample 10 can be sandwiched between the sample holder plates 2a and 2b by using the butterfly screw 3 and the butterfly screw female screw 3a.

試料ホルダー板２ａには、傾斜面８が４箇所形成されている。傾斜面８の最大傾斜角をなす方向は、傾斜面８が向き合う試料ホルダー板２ａの稜に対し、垂直な方向である。傾斜面８の中央には、断面が四角形状の溝８ａが形成されている。傾斜面８の溝８ａにはスライダー９が置かれている。スライダー９の底面９ａには、傾斜面８の最大傾斜角と同じ角度の傾斜面が形成されている。スライダー９の上面９ｂは、スライダー９を試料ホルダー板２ａの溝８ａに置いたとき、上面９ｂが試料ホルダー板２ａの底面に対し平行となるよう形成されている。すなわち、スライダー９の形状は、四角柱において、その上面は側面に対し垂直な平坦面であるが、底面は傾斜面を形成したものである。   Four inclined surfaces 8 are formed on the sample holder plate 2a. The direction forming the maximum inclination angle of the inclined surface 8 is a direction perpendicular to the ridge of the sample holder plate 2a facing the inclined surface 8. A groove 8a having a square cross section is formed at the center of the inclined surface 8. A slider 9 is placed in the groove 8 a of the inclined surface 8. On the bottom surface 9 a of the slider 9, an inclined surface having the same angle as the maximum inclination angle of the inclined surface 8 is formed. The upper surface 9b of the slider 9 is formed so that the upper surface 9b is parallel to the bottom surface of the sample holder plate 2a when the slider 9 is placed in the groove 8a of the sample holder plate 2a. That is, the shape of the slider 9 is a quadrangular prism whose top surface is a flat surface perpendicular to the side surface, but whose bottom surface forms an inclined surface.

スライダー９を溝８ａに置いたとき、スライダー７は静止し、滑り落ちることはない。スライダー９の側面および底面と、溝８ａの壁面との間に発生する摩擦力により滑り落ちないもので、スライダー９の側面と溝８ａの壁面との隙間（クリアランス）を小とすることにより摩擦力の大きさを調整している。図２ａ、２ｂでは、傾斜面８は４箇所形成されているが、２箇所ないし３箇所であってもよい。また、図２ａ、２ｂに示された各傾斜面に形成された溝８ａの数は１であるが、２以上とすることもできる。   When the slider 9 is placed in the groove 8a, the slider 7 stops and does not slide down. The frictional force generated between the side surface and bottom surface of the slider 9 and the wall surface of the groove 8a does not slide down, and the frictional force is reduced by reducing the clearance (clearance) between the side surface of the slider 9 and the wall surface of the groove 8a. The size of is adjusted. In FIGS. 2a and 2b, four inclined surfaces 8 are formed, but two or three may be provided. Further, the number of grooves 8a formed on each inclined surface shown in FIGS. 2a and 2b is 1, but it may be 2 or more.

次に、当該手段５が設けられた試料ホルダー板２ａと、当該手段５が設けられていない試料ホルダー板２ｂとの間にフィルム状試料１０が挟まれ、固定されるまでの過程を、図２ｃ〜２ｆにて説明する。
図２ｃ〜２ｅは、図２ｂと同様、図２ａの試料ホルダー板２ａに係るＸ―Ｙ線での断面図を表している。図２ｃにおいて、試料ホルダー板２ａと２ｂの間にフィルム状試料１０が挟まれ、スライダー９の上面９ｂは手段５の先端部６として、図のアにおいて、フィルム状試料１０に当接している。このアは、試料ホルダー板２ｂ上の位置では、イの位置に相当する。ここで、先端部６には、静止したスライダー９が滑り落ちるほどには、力が加わっていない。試料ホルダー板２ｂには、くり抜き孔４が設けられている。このため、フィルム状試料１０は視認部分１０ａにおいて、たわみを生じている。 Next, a process until the film-like sample 10 is sandwiched and fixed between the sample holder plate 2a provided with the means 5 and the sample holder plate 2b not provided with the means 5 is shown in FIG. This will be described in ˜2f.
2c to 2e are sectional views taken along line XY of the sample holder plate 2a in FIG. 2a, as in FIG. 2b. In FIG. 2c, the film sample 10 is sandwiched between the sample holder plates 2a and 2b, and the upper surface 9b of the slider 9 is in contact with the film sample 10 in FIG. This "a" corresponds to the position "a" at the position on the sample holder plate 2b. Here, no force is applied to the distal end portion 6 such that the stationary slider 9 slides down. The sample holder plate 2b is provided with a cut-out hole 4. For this reason, the film-like sample 10 is bent at the visual recognition portion 10a.

図２ｄは、蝶形ネジ３による締めを増し、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間隙をより狭くした状態を示したものである。先端部６には、押圧が加わり、スライダー９が降下している。このスライダー９の降下により、先端部６は、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動し、試料ホルダー板２ｂ上の位置では、イから移動してロの位置にある。このとき、先端部６はフィルム状試料１０に対し、アにて当接したままであり、アの位置から滑り動いてはいない。一方、フィルム状試料１０は、先端部６が当接するアの位置にて、先端部６から試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動する力を与えられる。このため、試料ホルダー板２ｂの表面を滑り、先端部６とともに移動している。先端部６が当接するアの位置のフィルム状試料１０が滑り、移動した長さは、イからロに至る長さである。このアの位置のフィルム状試料１０が移動するとき、視認部分１０ａには、試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が与えられる。この引っ張る力を受け、たわみ、しわを生じていた視認部分１０ａは、平坦化するように変化する。   FIG. 2d shows a state in which tightening by the butterfly screw 3 is increased and the gap between the sample holder plates 2a and 2b is further narrowed. A pressure is applied to the tip 6 and the slider 9 is lowered. As the slider 9 descends, the tip 6 moves toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b. At the position on the sample holder plate 2b, the tip 6 moves from A to the position of B. At this time, the tip 6 remains in contact with the film-like sample 10 at A and does not slide from the position of A. On the other hand, the film-like sample 10 is given a force to move from the tip 6 toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b at the position a where the tip 6 abuts. For this reason, the surface of the sample holder plate 2 b slides and moves together with the tip portion 6. The length of the film-like sample 10 at the position “a” where the tip 6 abuts is slid and moved is the length from A to B. When the film-like sample 10 at the position a moves, the visual recognition portion 10a is given a pulling force toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b. Under this pulling force, the visual recognition portion 10a that has been bent and wrinkled changes so as to be flattened.

以上は、Ｘ―Ｙ線での断面に示された手段５の作用について述べたものであるが、試料ホルダー板２ａに設けられた他の手段５も、同様な作用を視認部分１０ａに及ぼす。その結果、試料ホルダー板２ａに設けられたすべての手段５が、協動して、視認部分１０ａに存在するたわみ、しわをなくするように働く。
図２ｅは、さらに蝶形ネジ３を締め、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間隙を狭くした状態を示している。スライダー９はさらに降下し、先端部６は試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって移動して、試料ホルダー板２ｂ上の位置では、イから移動してハの位置にある。試料ホルダー板２ａ、２ｂの外周部に向かって引っ張る力が与えられた視認部分１０ａは、平坦化し、たわみ、しわは解消する。ここで、スライダー９が受ける摩擦力と、蝶形ネジ３による締め付け力とは釣り合いがとれた状態にあり、試料ホルダー板２ａ、２ｂは一定の間隙を保持して固定されている。 The above has described the operation of the means 5 shown in the cross section along the line XY, but the other means 5 provided on the sample holder plate 2a also exerts the same action on the visual recognition portion 10a. As a result, all the means 5 provided on the sample holder plate 2a work together to eliminate the deflection and wrinkle present in the visual recognition part 10a.
FIG. 2e shows a state in which the butterfly screw 3 is further tightened to narrow the gap between the sample holder plates 2a and 2b. The slider 9 further descends, and the tip 6 moves toward the outer periphery of the sample holder plates 2a and 2b. At the position on the sample holder plate 2b, it moves from A and is in the position C. The visual recognition part 10a to which the pulling force is applied toward the outer peripheral parts of the sample holder plates 2a and 2b is flattened and the bending and wrinkle are eliminated. Here, the frictional force received by the slider 9 and the tightening force by the butterfly screw 3 are in a balanced state, and the sample holder plates 2a and 2b are fixed while holding a certain gap.

フィルム状試料１０が、厚み５０μｍのポリイミドフィルムの場合、10ｍｍ径の視認部分に生じるたわみ、しわが解消されるとき、先端部６がイからハまで移動する長さは、１〜２ｍｍである。この先端部６が移動する長さは、蝶形ネジ３の締め付けにより、試料ホルダー板２ａ、２ｂの間隙を調整することによって、調整できる。また、先端部６はフィルム状試料１０の表面上を滑りにくいが、フィルム状試料１０は試料ホルダー２ｂの表面上を滑りやすいことが求められる。このため、先端部６としてフィルム状試料１０に当接するスライダー９の上面９ｂは、ざらざらした凹凸形状とする一方、試料ホルダー２ｂの表面は、鏡面加工を施し平滑化することが望ましい。また、先端部６がフィルム状試料１０に当接する面積を大として、フィルム状試料１０との間に発生する摩擦力を増し、先端部６がフィルム状試料１０の表面上を滑りにくくすることができる。このため、スライダー９の上面９ｂの大きさを、四角柱形状のスライダー９本体の断面より大きくすることができる。溝８ａの断面形状についても、図２ｆに示すような形状として、スライダー９と溝８ａとの間に発生する摩擦力の大きさを調整することができる。   When the film-like sample 10 is a polyimide film having a thickness of 50 μm, when the deflection and wrinkle generated in the 10 mm-diameter visible portion are eliminated, the length that the tip 6 moves from a to c is 1 to 2 mm. The length of movement of the tip 6 can be adjusted by adjusting the gap between the sample holder plates 2 a and 2 b by tightening the butterfly screw 3. Moreover, although the front-end | tip part 6 is hard to slide on the surface of the film-like sample 10, it is calculated | required that the film-like sample 10 is easy to slide on the surface of the sample holder 2b. For this reason, it is desirable that the upper surface 9b of the slider 9 that contacts the film-like sample 10 as the tip portion 6 has a rough uneven shape, while the surface of the sample holder 2b is smoothed by applying a mirror finish. Further, the area where the tip 6 abuts on the film-like sample 10 is increased to increase the frictional force generated between the film 6 and the tip 6 is less likely to slip on the surface of the film-like sample 10. it can. For this reason, the magnitude | size of the upper surface 9b of the slider 9 can be made larger than the cross section of the slider 9 main body of a quadratic prism shape. As for the cross-sectional shape of the groove 8a, the magnitude of the frictional force generated between the slider 9 and the groove 8a can be adjusted as shown in FIG. 2f.

本発明の実施例１に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder which concerns on Example 1 of this invention 本発明の実施例１に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder which concerns on Example 1 of this invention 本発明の実施例１に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder which concerns on Example 1 of this invention 本発明の実施例１に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder which concerns on Example 1 of this invention 本発明の実施例１に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder which concerns on Example 1 of this invention 本発明の実施例２に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder concerning Example 2 of the present invention. 本発明の実施例２に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder concerning Example 2 of the present invention. 本発明の実施例２に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder concerning Example 2 of the present invention. 本発明の実施例２に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder concerning Example 2 of the present invention. 本発明の実施例２に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder concerning Example 2 of the present invention. 本発明の実施例２に係る試料ホルダーを表した図The figure showing the sample holder concerning Example 2 of the present invention. 従来の試料ホルダーを表した図Diagram showing a conventional sample holder 従来の試料ホルダーを表した図Diagram showing a conventional sample holder 二次イオン質量分析の結果を示す図Diagram showing the results of secondary ion mass spectrometry

符号の説明Explanation of symbols

１ 試料ホルダー
２ａ、２ｂ 試料ホルダー板
３ 蝶形ネジ
３ａ 蝶形ネジ用雌ネジ
４ くり抜き孔
５ 手段
６ 手段の先端部
７ 弾性体
８ 傾斜面
８ａ 溝
９ スライダー
９ａ スライダー底面
９ｂ スライダー上面
１０ フィルム状試料
１０ａ 視認部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sample holder 2a, 2b Sample holder plate 3 Butterfly screw 3a Female screw for butterfly screw 4 Hollow hole 5 Means 6 Tip part 7 Elastic body 8 Inclined surface 8a Groove 9 Slider 9a Slider bottom surface 9b Slider upper surface 10 Film sample 10a Viewing part

Claims (4)

くり抜き孔を、いずれか一方、または両方に設けた2個の試料ホルダー板の間にフィルム状試料が挟持されたとき、前記くり抜き孔を通して前記フィルム状試料が視認される試料ホルダーにおいて、前記フィルム状試料が挟持される際に、手段の先端部が前記フィルム状試料に当接したまま、前記フィルム状試料の表面上を滑ることなく、前記試料ホルダー板の外周部に向かって移動する手段を、前記試料ホルダー板のいずれか一方に設けたことを特徴とする試料ホルダー   In the sample holder in which the film-like sample is visually recognized through the cut-out hole when the film-like sample is sandwiched between two sample holder plates provided with either or both of the cut-out holes, the film-like sample is Means for moving toward the outer periphery of the sample holder plate without slipping on the surface of the film sample while the tip of the means is in contact with the film sample when sandwiched; Sample holder provided on either one of the holder plates 前記先端部が移動する際に、前記先端部と前記フィルム状試料との間に発生する摩擦力が、前記手段を有しない前記試料ホルダー板と前記フィルム状試料との間に発生する摩擦力より大であることを特徴とする請求項１記載の試料ホルダー   When the tip moves, the frictional force generated between the tip and the film sample is less than the friction force generated between the sample holder plate that does not have the means and the film sample. 2. The sample holder according to claim 1, wherein the sample holder is large. 前記手段の一部、または全部が弾性体により構成され、前記弾性体が屈曲することにより、前記先端部が前記試料ホルダー板の外周部に向かって移動することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の試料ホルダー   2. A part or all of the means is constituted by an elastic body, and the distal end portion moves toward an outer peripheral portion of the sample holder plate when the elastic body is bent. Item holder according to Item 2 前記手段が、前記試料ホルダー板に形成された傾斜面と、前記傾斜面上に置かれたスライダーとから構成され、前記傾斜面上に静止していたスライダーが、前記フィルム状試料が挟持される際に、前記傾斜面を滑り動くことにより、前記スライダーの先端部が、前記フィルム状試料に当接したまま、前記フィルム状試料の表面上を滑ることなく、前記試料ホルダー板の外周部に向かって移動することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の試料ホルダー   The means is composed of an inclined surface formed on the sample holder plate and a slider placed on the inclined surface, and the film-like sample is sandwiched between the slider which is stationary on the inclined surface. At this time, by sliding on the inclined surface, the tip of the slider moves toward the outer peripheral portion of the sample holder plate without sliding on the surface of the film sample while being in contact with the film sample. The sample holder according to claim 1 or 2, wherein
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