JP2008226664A - Image display device - Google Patents

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JP2008226664A JP2007063810A JP2007063810A JP2008226664A JP 2008226664 A JP2008226664 A JP 2008226664A JP 2007063810 A JP2007063810 A JP 2007063810A JP 2007063810 A JP2007063810 A JP 2007063810A JP 2008226664 A JP2008226664 A JP 2008226664A
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JP2007063810A
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Yusuke Kasahara
佑介 笠原
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image display device capable of keeping excellent display performance over a long term by a small quantity of getter. <P>SOLUTION: This image display device is provided with: an envelope 10 having a front substrate 11 having a display surface thereon, and a back substrate 12 arranged oppositely to the front substrate; and a plurality of getter vessels 50 and 52 having getter chambers 54 and 56 provided with getters 60a and 60b, respectively, and respectively jointed to the envelope. The plurality of getter chambers communicate with the inside of the envelope with conductance values different from one another. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明は、対向配置された前面基板および背面基板を有し内部が真空に維持された外囲器を備えた画像表示装置に関する。   The present invention relates to an image display device including an envelope having a front substrate and a rear substrate arranged to face each other and maintained inside a vacuum.

近年、軽量・薄型の画像表示装置として様々な平面型の画像表示装置が注目されている。例えば、プラズマ放電の紫外線により蛍光体を発光させるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称する)、主として電界による電子放出を利用したフィールド・エミッション・ディスプレイ(以下、FEDと称する)、表面伝導型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させる表面伝導型電子放出ディスプレイ(以下、SEDと称する)などが開発されている。   In recent years, various flat-type image display devices have attracted attention as lightweight and thin image display devices. For example, a plasma display panel (hereinafter referred to as “PDP”) that emits a phosphor by ultraviolet rays of plasma discharge, a field emission display (hereinafter referred to as “FED”) that mainly uses electron emission by an electric field, and a surface conduction electron-emitting device A surface-conduction electron emission display (hereinafter referred to as SED) that emits phosphors with an electron beam has been developed.

これらの画像表示装置は、基本構成として、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有し、これらの基板は周辺部同士を互いに接合することにより偏平な外囲器を構成している。FEDやSEDでは、前面基板と背面基板との間の空間、すなわち外囲器内部を高い真空度に維持することで良好な画像表示を可能としている。また、PDPでは、外囲器の内部を満たした不活性ガスを高純度に保つことが重要な技術となっている。   These image display devices have a front substrate and a rear substrate opposed to each other with a predetermined gap as a basic configuration, and these substrates constitute a flat envelope by joining the peripheral parts to each other. is doing. In the FED and SED, a good image display is enabled by maintaining the space between the front substrate and the rear substrate, that is, the inside of the envelope at a high degree of vacuum. Further, in PDP, it is an important technique to keep the inert gas filling the inside of the envelope with high purity.

そこで、長期間にわたって外囲器内部を高い真空度に維持するため、外囲器内部に不所望なガス分子を吸着するゲッタを設けることが通常行われる。このようなゲッタとして、例えば、PDPのパネル側辺に隣り合う領域に非蒸発型ゲッタ層を形成する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、蛍光表示管の外囲器周辺部にゲッタボックスを設け、ゲッタボックス内にバリウムからなるゲッタを形成する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特開平11−191378号 実用新案登録2547509号公報
Therefore, in order to maintain a high degree of vacuum inside the envelope for a long period of time, it is usual to provide a getter that adsorbs undesired gas molecules inside the envelope. As such a getter, for example, a method of forming a non-evaporable getter layer in a region adjacent to the panel side of the PDP has been proposed (see, for example, Patent Document 1). In addition, a method has been proposed in which a getter box is provided in the periphery of the envelope of the fluorescent display tube, and a getter made of barium is formed in the getter box (see, for example, Patent Document 2).
JP-A-11-191378 Utility Model Registration No. 2547509

従来、外囲器とゲッタボックスとのコンダクタンスは、表示装置のガス放出レートが最大となる駆動初期において外囲器内を所定の真空度以下に保つことができるように、決められている。ゲッタボックスが1つの場合、あるいは、複数のゲッタボックスと外囲器との間のコンダクタンスが全て同じ場合、表示装置の動作時間経過と共にすべてのゲッタが同時に劣化していき、経時的にガス吸着能力が低下する。ゲッタボックス内のゲッタの量を増やすことで寿命を長くすることはできるが、製造コストが高くなる問題がある。   Conventionally, the conductance between the envelope and the getter box is determined so that the inside of the envelope can be kept below a predetermined degree of vacuum at the initial stage of driving when the gas discharge rate of the display device is maximized. When there is a single getter box or when the conductances between multiple getter boxes and the envelope are all the same, all getters deteriorate simultaneously with the operating time of the display device, and the gas adsorption capacity over time Decreases. Although the lifetime can be extended by increasing the amount of getters in the getter box, there is a problem that the manufacturing cost is increased.

複数のゲッタボックスにそれぞれ吸着特性の異なるゲッタ材を入れ異なる種類のガスを選択的に吸着させることを考えた場合、複数のゲッタボックスのコンダクタンスが同一であると、各ゲッタボックスには、本来は吸着させたくないガスも混じって流入してしまう。そのため、ゲッタは吸着させたいガス以外も吸着してしまい、選択的なガス吸着を行うことはできない。   When considering the getter materials with different adsorption characteristics in each getter box and selectively adsorbing different kinds of gases, if the conductance of the getter boxes is the same, each getter box originally has Gas that you don't want to adsorb also flows in. For this reason, the getter adsorbs gas other than the gas to be adsorbed, and selective gas adsorption cannot be performed.

本発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、少量のゲッタで長期にわたって良好な表示性能を維持することができる画像表示装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an image display apparatus capable of maintaining good display performance over a long period of time with a small amount of getter.

この発明の態様に係る画像表示装置は、表示面が設けられた前面基板および前面基板に対向配置された背面基板を有する外囲器と、それぞれゲッタが設けられたゲッタ室を有し、それぞれ前記外囲器に接合された複数のゲッタ容器と、を備え、前記複数のゲッタ室は、互いに異なるコンダクタンスで前記外囲器内に連通している。   An image display apparatus according to an aspect of the present invention includes an envelope having a front substrate provided with a display surface and a rear substrate disposed opposite to the front substrate, and getter chambers each provided with a getter. A plurality of getter containers joined to the envelope, and the plurality of getter chambers communicate with each other with different conductances.

この発明の態様によれば、配置されたゲッタ全てが同時に劣化していくことがなく各ゲッタが選択的にガスを吸着することが可能となる。これにより、少ないゲッタ量で長期に渡って良好な表示性能を維持することが可能な画像表示装置を提供することができる。   According to this aspect of the present invention, it is possible for each getter to selectively adsorb a gas without all the getters disposed at the same time being deteriorated. Accordingly, it is possible to provide an image display device capable of maintaining good display performance over a long period with a small amount of getter.

以下図面を参照しながら、この発明の画像表示装置をSEDに適用した実施形態について詳細に説明する。
図1および図2に示すように、SEDは、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板11、および背面基板12を備え、これらの基板は所定の間隔で対向配置されている。背面基板12は、前面基板11よりも大きな寸法に形成されている。前面基板11および背面基板12は、矩形枠状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態に維持された偏平な外囲器10を構成している。接合部材として機能する側壁13は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材25により、前面基板11の周縁部および背面基板12の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。
Hereinafter, an embodiment in which an image display device of the present invention is applied to an SED will be described in detail with reference to the drawings.
As shown in FIGS. 1 and 2, the SED includes a front substrate 11 and a rear substrate 12 each made of a rectangular glass plate, and these substrates are arranged to face each other at a predetermined interval. The back substrate 12 is formed with a size larger than that of the front substrate 11. The front substrate 11 and the back substrate 12 constitute a flat envelope 10 whose peripheral portions are joined to each other through a rectangular frame-shaped side wall 13 and the inside is maintained in a vacuum state. The side wall 13 functioning as a bonding member is sealed to the peripheral edge of the front substrate 11 and the peripheral edge of the back substrate 12 by, for example, a sealing material 25 such as low melting glass or low melting metal, and these substrates are bonded to each other. is doing.

外囲器10の内部には、前面基板11および背面基板12に加わる大気圧荷重を支えるため、複数の板状の支持部材14が設けられている。これらの支持部材14は、外囲器10の一辺と平行な方向にそれぞれ延在しているとともに、上記一辺と直交する方向に沿って所定の間隔を置いて配置されている。各支持部材14の長手方向両端部は、それぞれ側壁13と隙間を置いて対向している。なお、支持部材は、板状に限らず、柱状の支持部材を用いてもよい。   A plurality of plate-like support members 14 are provided inside the envelope 10 in order to support an atmospheric pressure load applied to the front substrate 11 and the rear substrate 12. These support members 14 extend in a direction parallel to one side of the envelope 10 and are arranged at a predetermined interval along a direction orthogonal to the one side. Both ends in the longitudinal direction of each support member 14 are opposed to the side wall 13 with a gap. The support member is not limited to a plate shape, and a columnar support member may be used.

図2および図3に示すように、前面基板11の内面には、表示面として機能する蛍光体スクリーン16が形成されている。この蛍光体スクリーン16は、赤、緑、青の蛍光体層R、G、B、およびこれらの蛍光体層間に位置した黒色の遮光層20を並べて構成されている。赤、緑、青の3色の蛍光体層R、G、Bは、第1方向に隙間を置いて交互に並んで形成され、同一色の蛍光体層が第1方向と直交する第2方向に隙間を置いて配列されている。蛍光体層R、G、Bはそれぞれ、赤、緑、青の単色でサブピクセルを構成し、3色のサブピクセルを合わせて一画素を構成している。   As shown in FIGS. 2 and 3, a phosphor screen 16 that functions as a display surface is formed on the inner surface of the front substrate 11. The phosphor screen 16 is configured by arranging red, green, and blue phosphor layers R, G, and B, and a black light-shielding layer 20 positioned between the phosphor layers. The phosphor layers R, G, and B of three colors of red, green, and blue are formed alternately with a gap in the first direction, and the phosphor layers of the same color are in the second direction orthogonal to the first direction. Are arranged with a gap in between. Each of the phosphor layers R, G, and B constitutes a subpixel with single colors of red, green, and blue, and constitutes one pixel by combining the subpixels of three colors.

蛍光体スクリーン16上には、アルミニウム膜等からなるメタルバック層17が形成されている。本実施形態によれば、メタルバック層17は、縦方向および横方向に分断され、互いに電気的に分離した複数の分断領域を有している。電気的に分断したメタルバック層17は、蛍光体層R、G、Bに夫々重なって設けられている。   A metal back layer 17 made of an aluminum film or the like is formed on the phosphor screen 16. According to the present embodiment, the metal back layer 17 has a plurality of divided regions that are divided in the vertical direction and the horizontal direction and are electrically separated from each other. The electrically separated metal back layer 17 is provided so as to overlap the phosphor layers R, G, and B, respectively.

図2に示すように、背面基板12の内面上には、蛍光体スクリーン16の蛍光体層R、G、Bを励起する電子源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子18が設けられている。これらの電子放出素子18は、画素に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子18は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。背面基板12の内面には、電子放出素子18に電位を供給する多数本の配線21がマトリック状に設けられ、その端部は外囲器10の外部に引出されている。   As shown in FIG. 2, on the inner surface of the back substrate 12, a number of surface conduction type electron emitters each emitting an electron beam as an electron source for exciting the phosphor layers R, G, B of the phosphor screen 16 are provided. An element 18 is provided. These electron-emitting devices 18 are arranged in a plurality of columns and a plurality of rows corresponding to the pixels. Each electron-emitting device 18 includes an electron emitting portion (not shown) and a pair of device electrodes for applying a voltage to the electron emitting portion. A large number of wirings 21 for supplying a potential to the electron-emitting devices 18 are provided in a matrix on the inner surface of the rear substrate 12, and end portions thereof are drawn out of the envelope 10.

背面基板12の周縁部、例えば、コーナー部には排気工程において外囲器10内部を排気するための排気孔29が貫通形成されている。排気孔29は、蛍光体スクリーン16から外れた位置、つまり、有効表示領域から外れた位置に設けられている。排気孔29は蓋部材30によって気密に封止されている。排気孔29は、1つに限らず、必要に応じて増加可能である。   Exhaust holes 29 for exhausting the inside of the envelope 10 in the exhaust process are formed through the periphery of the back substrate 12, for example, corners. The exhaust hole 29 is provided at a position away from the phosphor screen 16, that is, at a position away from the effective display area. The exhaust hole 29 is hermetically sealed by the lid member 30. The number of exhaust holes 29 is not limited to one, and can be increased as necessary.

このようなSEDでは、画像を表示する場合、蛍光体スクリーン16およびメタルバック層17にアノード電圧を印加して、電子放出素子18から放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光体スクリーンへ衝突させる。これにより、蛍光体スクリーン16の蛍光体層R、G、Bが励起されて発光し、カラー画像を表示する。   In such an SED, when displaying an image, an anode voltage is applied to the phosphor screen 16 and the metal back layer 17, and the electron beam emitted from the electron-emitting device 18 is accelerated by the anode voltage to the phosphor screen. Collide. Thereby, the phosphor layers R, G, and B of the phosphor screen 16 are excited to emit light, and a color image is displayed.

図2および図4に示すように、SEDは、外囲器10内の真空度を維持するため、それぞれゲッタ室を有した複数のゲッタボックス、例えば、2つのゲッタボックス50、52を備えている。ゲッタ室は、背面基板12に形成された連通孔を通して外囲器10内に連通しているとともに、ゲッタ室にはそれぞれゲッタが設けられている。これらゲッタのガス吸着により、外囲器10内の真空度の劣化を抑制している。   As shown in FIGS. 2 and 4, the SED includes a plurality of getter boxes each having a getter chamber, for example, two getter boxes 50 and 52, in order to maintain the degree of vacuum in the envelope 10. . The getter chamber communicates with the inside of the envelope 10 through a communication hole formed in the back substrate 12, and each getter chamber is provided with a getter. By the gas adsorption of these getters, deterioration of the degree of vacuum in the envelope 10 is suppressed.

ゲッタ容器としてのゲッタボックス50、52は、例えば、ガラスあるいは金属によって形成され、外囲器10の周縁部に取り付けられている。ここでは、ゲッタボックス50、52は、背面基板12の外面であって、排気孔29と反対側に位置した2つのコーナ部にそれぞれ接合され、このゲッタボックスにより2つのゲッタ室54、56が規定されている。ゲッタボックス50、52は、例えば、ガラスあるいは金属により断面矩形状に形成され、背面基板12の1側縁に沿って延びている。各ゲッタボックス50、52は、例えば、低融点ガラス51により背面基板12に接合されている。   The getter boxes 50 and 52 as getter containers are made of, for example, glass or metal and are attached to the peripheral portion of the envelope 10. Here, the getter boxes 50 and 52 are respectively joined to two corner portions located on the outer surface of the back substrate 12 and on the opposite side of the exhaust hole 29, and two getter chambers 54 and 56 are defined by the getter box. Has been. The getter boxes 50 and 52 are formed of, for example, glass or metal in a rectangular cross section and extend along one side edge of the back substrate 12. Each getter box 50, 52 is bonded to the back substrate 12 by, for example, a low melting point glass 51.

ゲッタボックス50、52のゲッタ室54、56には、それぞれ目的に応じて一種類のゲッタが設けられている。ここでは、ゲッタ室54、56の内面に、Baからなるゲッタ膜60a、60bを蒸着形成されている。   In the getter chambers 54 and 56 of the getter boxes 50 and 52, one type of getter is provided for each purpose. Here, getter films 60a and 60b made of Ba are formed on the inner surfaces of the getter chambers 54 and 56 by vapor deposition.

ゲッタ室54、56は、互いに異なるコンダクタンスで外囲器10内に連通している。ゲッタ室54は、背面基板12に形成された第1連通孔58aを通して外囲器10内に連通している。ゲッタ室56は、背面基板12に形成された第2連通孔58bを通して外囲器10内に連通している。第1連通孔58aおよび第2連通孔58bは、互いに異なる孔径に形成されている。例えば、第1連通孔58aは孔径3mm、第2連通孔58bは孔径1mmに形成されている。これにより、外囲器10内部に対するゲッタ室54のコンダクタンスは、ゲッタ室56のコンダクタンスの9倍となっている。   The getter chambers 54 and 56 communicate with the inside of the envelope 10 with different conductances. The getter chamber 54 communicates with the inside of the envelope 10 through a first communication hole 58 a formed in the back substrate 12. The getter chamber 56 communicates with the inside of the envelope 10 through a second communication hole 58 b formed in the back substrate 12. The first communication hole 58a and the second communication hole 58b are formed to have different hole diameters. For example, the first communication hole 58a is formed with a hole diameter of 3 mm, and the second communication hole 58b is formed with a hole diameter of 1 mm. Thus, the conductance of the getter chamber 54 with respect to the inside of the envelope 10 is nine times the conductance of the getter chamber 56.

大きい方の第1連通孔58aの孔径は、SEDの駆動初期において最もガス放出レートが高い時に外囲器10内が所定の圧力以下に維持されるように決められている。また、ゲッタのガス吸着特性の低下が外囲器10のガス放出レートの減衰よりも小さくなるように小さい方の第2連通孔58bの孔径、及び、ゲッタ室54のゲッタ量が決められている。   The diameter of the larger first communication hole 58a is determined so that the inside of the envelope 10 is maintained at a predetermined pressure or lower when the gas discharge rate is the highest in the initial stage of driving the SED. Further, the hole diameter of the smaller second communication hole 58b and the amount of getter in the getter chamber 54 are determined so that the decrease in the gas adsorption characteristic of the getter is smaller than the attenuation of the gas discharge rate of the envelope 10. .

上記構成において、SEDの駆動に伴い外囲器10内で発生した一酸化炭素、二酸化炭素、等のガスは、第1連通孔58aを通してゲッタ室54内に入りゲッタ膜60aによって吸着され、また、第2連通孔58bを通してゲッタ室56内に入りゲッタ膜60bに吸着される。この際、ゲッタ室54は、ゲッタ室56よりもコンダクタンスが大きいことから、ゲッタ室54にはゲッタ室56よりも多くのガスが流入する。そのため、ガス放出量の多いSEDの駆動初期の段階では、主にゲッタ室54のゲッタ膜60aによってより多くのガスを吸着し、他方のゲッタ室56内に設けられたゲッタ膜60bは少量ずつ長期に亘ってガスを吸着する。ゲッタ室54のゲッタ膜60aはパネルの寿命より短い時間で劣化してガスを吸着しなくなるが、パネル内のガス放出レートも経時的に減少する。そのため、駆動初期からの一定時間の放出ガスをゲッタ室54のゲッタ膜60aで吸着した後はゲッタ室56内に設けられたゲッタ膜60bによるガス吸着だけで外囲器10内を所望の真空度を維持することができる。   In the above configuration, the gas such as carbon monoxide and carbon dioxide generated in the envelope 10 as the SED is driven enters the getter chamber 54 through the first communication hole 58a and is adsorbed by the getter film 60a. It enters the getter chamber 56 through the second communication hole 58b and is adsorbed by the getter film 60b. At this time, the getter chamber 54 has a larger conductance than the getter chamber 56, so that more gas flows into the getter chamber 54 than the getter chamber 56. Therefore, at the initial stage of driving the SED with a large amount of gas release, more gas is adsorbed mainly by the getter film 60a of the getter chamber 54, and the getter film 60b provided in the other getter chamber 56 is gradually increased by a small amount. Gas is adsorbed over the entire area. The getter film 60a in the getter chamber 54 deteriorates in a time shorter than the lifetime of the panel and does not adsorb gas, but the gas release rate in the panel also decreases with time. For this reason, after the released gas for a certain period of time from the initial stage of the drive is adsorbed by the getter film 60a of the getter chamber 54, the inside of the envelope 10 has a desired degree of vacuum only by gas adsorption by the getter film 60b provided in the getter chamber 56 Can be maintained.

図4は、SEDの駆動経過時間に応じたゲッタの吸着速度の変化を、本実施形態に係るゲッタボックスを備えたSED、および比較例に係るSEDについて比較した結果を示している。比較例に係るSEDでは、2つのゲッタ室はコンダクタンスが等しい、すなわち、第1連通孔および第2連通孔の孔径が同じに形成されている。図4において、外囲器10内部を所定の圧力以下に維持するために必要なガス吸着速度を示した一点鎖線の曲線B、本実施形態に係るSEDのガス吸着速度を実線の曲線C、比較例に係るSEDのガス吸着速度を鎖線の曲線Dで示している。   FIG. 4 shows the result of comparing the change in the getter adsorption speed according to the SED driving elapsed time for the SED including the getter box according to the present embodiment and the SED according to the comparative example. In the SED according to the comparative example, the two getter chambers have the same conductance, that is, the first communication hole and the second communication hole have the same diameter. In FIG. 4, a one-dot chain line curve B showing the gas adsorption speed necessary for maintaining the inside of the envelope 10 below a predetermined pressure, and a solid line curve C comparing the gas adsorption speed of the SED according to this embodiment. The gas adsorption rate of the SED according to the example is indicated by a chain line curve D.

これらの曲線B、C、Dの比較から分かるように、比較例に係るSEDでは、a点において、ゲッタのガス吸着能力が必要なガス吸着速度を下回るのに対して、本実施形態に係るSEDによれば、B点まで必要なガス吸着速度を維持することができ、比較例に係るSEDよりも、長期間に亘って充分なガス吸着能力を発揮することができる。すなわち、比較例と同量のゲッタ材を用いた場合、本実施形態に係るSEDの方がパネル寿命が長くなることを示している。   As can be seen from the comparison of these curves B, C, and D, in the SED according to the comparative example, the gas adsorption capacity of the getter is lower than the required gas adsorption speed at the point a, whereas the SED according to the present embodiment. According to the above, it is possible to maintain a necessary gas adsorption speed up to the point B, and it is possible to exhibit a sufficient gas adsorption capacity over a long period of time compared to the SED according to the comparative example. That is, when the same amount of getter material as that in the comparative example is used, the panel life of the SED according to the present embodiment is longer.

以上のように構成されたSEDによれば、SEDの駆動初期のガス放出が多い段階では、主に、ゲッタ室54に設けられたゲッタ膜60aにより外囲器10内の放出ガスを吸着する。ゲッタ室56に設けられたゲッタ膜60bは、SED稼動初期段階でほとんどガスを吸着せず、パネルライフの後半用のゲッタとして温存しておくことが可能となる。本実施形態によれば、ゲッタを大量に使用することなく長期に渡り外囲器内を良好な真空に維持することができ、長期間に渡って高い表示性能を維持可能なSEDを得ることができる。また、外囲器内部に連通した複数のゲッタ室を設け、これらのゲッタ室内にゲッタを配置することにより、ゲッタ形成工程を簡素化することができる。ゲッタ室内にゲッタを設けることにより、ゲッタ膜は、蛍光体スクリーンや電子放出素子の構造的な制約を受けることがなくなる。そのため、蛍光体スクリーンのガス放出特性や画像表示装置の性能に合わせてゲッタを形成することが可能となる。   According to the SED configured as described above, the released gas in the envelope 10 is mainly adsorbed by the getter film 60a provided in the getter chamber 54 at a stage where the gas release at the initial stage of driving of the SED is large. The getter film 60b provided in the getter chamber 56 hardly adsorbs gas at the initial stage of SED operation, and can be kept as a getter for the second half of the panel life. According to this embodiment, it is possible to maintain a good vacuum inside the envelope for a long period without using a large amount of getters, and to obtain an SED that can maintain high display performance for a long period of time. it can. Further, by providing a plurality of getter chambers communicating with the inside of the envelope and arranging the getters in these getter chambers, the getter forming process can be simplified. By providing the getter in the getter chamber, the getter film is not subject to structural restrictions of the phosphor screen or the electron-emitting device. Therefore, a getter can be formed in accordance with the gas release characteristics of the phosphor screen and the performance of the image display device.

次に、第2の実施形態に係るSEDについて説明する。第2の実施形態において、SEDの構成は前述した実施形態と同一であるが、ゲッタ室に連通した第1連通孔58aおよび第2連通孔58bの孔径を変えるとともに、2つのゲッタ室54、56内に互いに異なる種類のゲッタを配置している。   Next, the SED according to the second embodiment will be described. In the second embodiment, the configuration of the SED is the same as that of the above-described embodiment, but the diameters of the first communication hole 58a and the second communication hole 58b communicating with the getter chamber are changed and the two getter chambers 54, 56 are used. Different types of getters are arranged inside.

すなわち、ゲッタボックス50により規定されたゲッタ室54は、第1連通孔58aを通して外囲器10内部に連通し、ゲッタボックス52により規定されたゲッタ室56は、第2連通孔58bを通して外囲器10内部に連通している。第1連通孔58aの孔径は10mm、第2連通孔58bの孔径は3mmにそれぞれ形成されている。   That is, the getter chamber 54 defined by the getter box 50 communicates with the inside of the envelope 10 through the first communication hole 58a, and the getter chamber 56 defined by the getter box 52 communicates with the envelope through the second communication hole 58b. 10 communicates with the interior. The diameter of the first communication hole 58a is 10 mm, and the diameter of the second communication hole 58b is 3 mm.

ゲッタ室54には、Baを蒸着してゲッタ膜60aが形成され、ゲッタ室56にはTiを蒸着してゲッタ膜60bが形成されている。Tiが配置されたゲッタ室56のコンダクタンス、ここでは、第2連通孔58bの孔径は、外囲器10内のTi分圧が所定以下に保たれるように決められる。一方、Baが配置されたゲッタ室54のコンダクタンス、ここでは、第1連通孔58aの孔径は、第2連通孔58bの孔径よりも十分に大きく形成され、コンダクタンスが10倍程度になるように設定されている。   In the getter chamber 54, Ba is vapor-deposited to form a getter film 60a, and in the getter chamber 56 Ti is vapor-deposited to form a getter film 60b. The conductance of the getter chamber 56 in which Ti is disposed, here, the diameter of the second communication hole 58b, is determined so that the Ti partial pressure in the envelope 10 is kept below a predetermined value. On the other hand, the conductance of the getter chamber 54 in which Ba is arranged, here, the hole diameter of the first communication hole 58a is formed sufficiently larger than the hole diameter of the second communication hole 58b, and the conductance is set to be about 10 times. Has been.

BaはHをあまり吸着しないため、COなど炭酸系のガスを主に吸着する目的で配置する。Baの量は、SEDの寿命中に放出されるCOなどの炭酸系ガスを十分に吸着できる量に設定する。TiはHおよび炭酸系のガスをよく吸着するが、本実施形態では、Baが配置されているゲッタ室54の方がTiが配置されたゲッタ室56よりもコンダクタンスが約10倍大きい。そのため、Tiが吸着する炭酸系のガスの量は、Baの1/10程度なる。 Since Ba does not adsorb much H 2 , it is arranged for the purpose of mainly adsorbing carbonic acid gas such as CO. The amount of Ba is set to an amount that can sufficiently adsorb carbon dioxide gas such as CO released during the life of the SED. Ti adsorbs H 2 and carbon dioxide gas well, but in this embodiment, the getter chamber 54 in which Ba is disposed has a conductance approximately 10 times larger than the getter chamber 56 in which Ti is disposed. Therefore, the amount of carbonic acid gas on which Ti is adsorbed is about 1/10 of Ba.

Baが配置されたゲッタ室とTiが配置されたゲッタ室とのコンダクタンスを同じに設定した場合に比べ、本実施形態によれば、Tiが配置されたゲッタ室56への炭酸系のガスの流量は、ゲッタ室54の1/5程度になる。このため、Tiからなるゲッタ膜の早期の劣化を抑えることができ、少量のTiであっても長時間Hを吸着することができる。 Compared to the case where the conductances of the getter chamber in which Ba is arranged and the getter chamber in which Ti is arranged are set to be the same, according to the present embodiment, the flow rate of carbon dioxide gas to the getter chamber 56 in which Ti is arranged Is about 1/5 of the getter chamber 54. For this reason, early deterioration of the getter film made of Ti can be suppressed, and even a small amount of Ti can adsorb H 2 for a long time.

上記のように構成された第2の実施形態によれば、配置されたゲッタ全てが同時に劣化していくことがなく、目的に応じて外囲器の真空度を設計することができる。また、外囲器内の放出ガスを種類に応じてゲッタ室毎に選択的に吸着することが可能になる。これにより、ゲッタ量が少なくても長期に渡って良好な表示性能の画像表示装置を提供することができる。   According to the second embodiment configured as described above, all the arranged getters are not deteriorated at the same time, and the degree of vacuum of the envelope can be designed according to the purpose. Moreover, it becomes possible to selectively adsorb the released gas in the envelope for each getter chamber according to the type. As a result, an image display device having good display performance over a long period of time can be provided even if the amount of getter is small.

この発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of components disclosed in the embodiment. Some constituent elements may be deleted from all the constituent elements shown in the embodiments, or constituent elements over different embodiments may be appropriately combined.

上述した実施形態では、第1、第2連通孔の孔径を調整することにより、ゲッタ室のコンダクタンスを調整する構成としたが、孔径に限らず、孔の長さを変えることによってコンダクタンスを調整してもよい。また、各ゲッタ室は、1つの連通孔を通して外囲器内部に連通する構成としたが、複数の連通孔を通して外囲器内部に連通する構成としてもよい。複数の連通孔を設けた場合、ゲッタ室のコンダクタンスは、複数の連通孔の孔径、つまり、面積の和によって決められる。   In the embodiment described above, the conductance of the getter chamber is adjusted by adjusting the hole diameters of the first and second communication holes. However, the conductance is adjusted not only by the hole diameter but also by changing the hole length. May be. Each getter chamber is configured to communicate with the inside of the envelope through one communication hole, but may be configured to communicate with the interior of the envelope through a plurality of communication holes. When a plurality of communication holes are provided, the conductance of the getter chamber is determined by the diameter of the plurality of communication holes, that is, the sum of the areas.

上述した実施形態では、内面に蛍光体スクリーンを有する前面基板を備えたSEDを例にとって説明したが、この発明はこれに限定されること無く、FED、PDP、蛍光表示管、半導体センサーなど他のデバイスに対しても適用することができる。電子放出素子は、pn型の冷陰極素子あるいは電界放出型の電子放出素子等を用いてもよい。各構成要素の寸法、材料等は、上述の実施の形態で示した数値、材料に限定されることなく、必要に応じて種々選択可能である。   In the above-described embodiments, the SED including the front substrate having the phosphor screen on the inner surface has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and other types such as FED, PDP, fluorescent display tube, and semiconductor sensor are used. It can also be applied to devices. As the electron-emitting device, a pn-type cold cathode device or a field-emission type electron-emitting device may be used. The dimensions, materials, and the like of each component are not limited to the numerical values and materials shown in the above-described embodiments, and can be variously selected as necessary.

ゲッタはTi、Baなどに限らず、使用するデバイスの真空特性や放出ガス特性、耐熱性などに合わせ、種々使用することができる。その他金属材料、有機材料、無機材料などが選択可能である。例えば、蒸発型ゲッタとして、Zr、V、Ta、Y、Laの純金属や合金を使用することができる、また、非蒸発型ゲッタとして、Ti、Zr、V、Fe、Al、Cr、Nb、Ta、W、Mo、Ni、Mn、Yなどの金属、あるいはこれらの合金を用いても良い。   The getter is not limited to Ti, Ba, and the like, and various getters can be used according to the vacuum characteristics, emission gas characteristics, heat resistance, etc. of the device to be used. Other metal materials, organic materials, inorganic materials, and the like can be selected. For example, Zr, V, Ta, Y, La pure metals and alloys can be used as the evaporative getter, and Ti, Zr, V, Fe, Al, Cr, Nb, non-evaporable getters can be used. You may use metals, such as Ta, W, Mo, Ni, Mn, and Y, or these alloys.

ゲッタ室およびゲッタボックスの大きさ、形状、設置数は、上記実施形態に限られるものではなく、例えば、ゲッタ室は、2つに限らず、3つ以上としてもよい。また、ゲッタ室は、外囲器の背面基板側に限らず、外囲器の側壁の一部を切り欠いてゲッタ室を外囲器の側面に設けても良い。   The size, shape, and number of installations of the getter chambers and getter boxes are not limited to the above-described embodiment. For example, the number of getter chambers is not limited to two, and may be three or more. In addition, the getter chamber is not limited to the rear substrate side of the envelope, and a portion of the side wall of the envelope may be cut out to provide the getter chamber on the side surface of the envelope.

図1は、この発明の実施形態に係るSEDを一部破断して示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a partially broken SED according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1の線A−Aに沿ったSEDの断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of the SED along line AA in FIG. 図3は、前記SEDの前面基板および蛍光体スクリーンの一部を拡大して示す平面図。FIG. 3 is an enlarged plan view showing a part of the front substrate and phosphor screen of the SED. 図4は、ゲッタボックスを示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing a getter box. 図5は、本実施形態と、比較例とのガス吸着速度の変化を比較して示す図。FIG. 5 is a diagram showing a comparison of changes in gas adsorption speed between the present embodiment and a comparative example.

符号の説明Explanation of symbols

10…外囲器、 11…前面基板、 12…背面基板、 13…側壁、
14…支持部材、 16…蛍光体スクリーン、 17…メタルバック層、
18…電子放出素子、 R、G、B…蛍光体層、 20…遮光層、
50、52…ゲッタボックス、 54、56…ゲッタ室、 58a…第1連通孔、
58b…第2連通孔、 60a、60b…ゲッタ膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Envelope, 11 ... Front substrate, 12 ... Back substrate, 13 ... Side wall,
14 ... support member, 16 ... phosphor screen, 17 ... metal back layer,
18 ... electron-emitting device, R, G, B ... phosphor layer, 20 ... light shielding layer,
50, 52: Getter box, 54, 56: Getter chamber, 58a: First communication hole,
58b ... second communication hole, 60a, 60b ... getter film

Claims (7)

表示面が設けられた前面基板および前面基板に対向配置された背面基板を有する外囲器と、
それぞれゲッタが設けられたゲッタ室を有し、それぞれ前記外囲器に接合された複数のゲッタ容器と、を備え、前記複数のゲッタ室は、互いに異なるコンダクタンスで前記外囲器内に連通している画像表示装置。
An envelope having a front substrate provided with a display surface and a rear substrate disposed opposite to the front substrate;
Each having a getter chamber provided with a getter, and a plurality of getter containers each joined to the envelope, wherein the plurality of getter chambers communicate with each other with different conductances in the envelope. Image display device.
前記各ゲッタ室には、1種類のゲッタが配置されている請求項1に記載の画像表示装置。   The image display apparatus according to claim 1, wherein one type of getter is disposed in each getter chamber. 前記複数のゲッタ室には、同一種類のゲッタが配置されている請求項1に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 1, wherein the plurality of getter chambers are provided with the same type of getter. 前記複数のゲッタ室には、互いに異なる種類のゲッタが配置されている請求項1に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 1, wherein different types of getters are arranged in the plurality of getter chambers. 前記複数のゲッタ室は、それぞれ前記外囲器に形成された連通孔を通して前記外囲器内に連通し、前記複数の連通孔は、前記外囲器内に対して互いに異なるコンダクタンスを有している請求項1ないし4のいずれか1項に記載の画像表示装置。   Each of the plurality of getter chambers communicates with the envelope through a communication hole formed in the envelope, and the plurality of communication holes have different conductances with respect to the interior of the envelope. The image display device according to any one of claims 1 to 4. 前記ゲッタは、Ba、Ti、Zr、V、Fe、Al、Cr、Nb、Ta、W、Mo、Ni、Mn、Y、La、Hfの内のいずれかの金属またはその合金を用いる請求項1に記載の画像表示装置。   2. The getter uses any one of Ba, Ti, Zr, V, Fe, Al, Cr, Nb, Ta, W, Mo, Ni, Mn, Y, La, and Hf or an alloy thereof. The image display device described in 1. 前記前面基板に配置された蛍光体スクリーンと、前記背面基板上に配置された電子源と、を備えた請求項1に記載の画像表示装置。   The image display apparatus according to claim 1, further comprising: a phosphor screen disposed on the front substrate; and an electron source disposed on the rear substrate.
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